KR20220143331A - 웨이퍼 정렬시스템 및 웨이퍼 정렬방법 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼가 배치되는 로봇암, 상기 웨이퍼와 이격된 위치에서 상기 로봇암에 배치된 웨이퍼의 기설정된 기준위치를 센싱하는 비전센서 및 상기 로봇암의 위치를 연산하고, 상기 비전센서가 센싱한 위치를 연산하여 기설정된 기준이 되는 웨이퍼의 위치인 기준위치값과 비교하여 상기 웨이퍼가 정렬되어 있는지 판단하는 제어부를 포함하는 웨이퍼 정렬시스템이 개시된다.

Description

웨이퍼 정렬시스템 및 웨이퍼 정렬방법{ALIGN SYSTEM AND ALIGN METHOD FOR WAFER}
본 발명은 웨이퍼의 위치를 정렬하는 정렬시스템과 정렬방법에 관한 것이다. 특히, 비전센서를 활용하여 웨이퍼의 위치를 확인하고 웨이퍼의 위치를 정렬할 수 있는 정렬시스템과 정렬방법에 관한 것이다.
스스로 복잡한 임무를 수행할 수 있는 로봇은 현대 산업 현장에서 필수적인 구성이다. 로봇은 인간과 다르게 피로를 느끼지 않으며, 신호에 따라 정밀한 동작을 반복 수행하여 인간을 대체, 다양한 업무를 수행하고 있다.
로봇이 활용되는 대표적인 분야로는 반도체 분야가 있다. 반도체는 아주 작은 사이즈의 직접 회로로, 웨이퍼에 다양한 공정이 수행되어 제조된다. 반도체는 미시세계에서 동작되므로 가공 시 정밀성이 요구되고, 거시세계와는 다르게 화학 약품 등을 활용하여 인체에 유해한 물질들이 생성되므로 로봇이 활용된다.
로봇은 웨이퍼의 불량을 관찰할 때도 활용된다. 웨이퍼는 반도체의 기초가 되는 플레이트로 완성 후 검사가 필요한데, 일반적으로는 웨이퍼의 내구성을 고려하여 웨이퍼의 하측에서 로봇암이 웨이퍼를 들어올리고 웨이퍼를 움직인 후 웨이퍼의 불량을 검사한다. 그러나 검사를 수행하기 위하여 웨이퍼를 움직이는 이 때 로봇암에서 웨이퍼의 정렬된 위치가 움직이고, 회전되는 등 웨이퍼의 위치가 이동되어 웨이퍼의 검사가 제대로 되지 않는 문제가 발생된다.
국내 공개특허 출원번호 "10-2008-0130316"
본 발명은 전술한 문제점을 해결하고자 하는 것으로 웨이퍼를 검사하기 전 웨이퍼의 위치를 측정하고, 웨이퍼가 정위치에 위치되지 않은 경우 로봇암을 움직여 위치를 얼라인 할 수 있는 웨이퍼 정렬시스템 및 정렬방법을 제공하는데 목적이 있다.
웨이퍼 정렬시스템은 웨이퍼가 배치되는 로봇암, 상기 웨이퍼와 이격된 위치에서 상기 로봇암에 배치된 웨이퍼의 기설정된 기준위치를 센싱하는 비전센서 및 상기 로봇암의 위치를 연산하고, 상기 비전센서가 센싱한 위치를 연산하여 기설정된 기준이 되는 웨이퍼의 위치인 기준위치값과 비교하여 상기 웨이퍼가 정렬되어 있는지 판단하는 제어부를 포함한다.
상기 제어부에 설정된 기준위치값은 상기 로봇암에 상기 웨이퍼가 정렬되어 있을 때 상기 비전센서가 촬영한 위치의 값인 것을 특징으로 한다.
상기 제어부는 상기 기준위치값과 상기 비전센서가 촬영한 위치의 값을 비교하여 오차값이 있는 경우, 상기 오차값에 대응되는 위치로 상기 로봇암이 이동되도록 제어신호를 송신하는 것을 특징으로 한다.
상기 로봇암으로부터 기설정된 정기구학 연산 알고리즘을 활용하여 상기 로봇암의 단부의 위치인 단부위치값을 연산하는 것을 특징으로 한다.
상기 제어부는 상기 비전센서로부터 신호를 수신받아, 상기 웨이퍼의 위치를 연산한 웨이퍼위치값을 연산하고, 상기 단부위치값에서 상기 웨이퍼위치값을 마이너스 하는 경로값을 연산하는 것을 특징으로 한다.
상기 제어부는 상기 경로값에 상기 기준위치값을 플러스하고, 상기 단부위치값을 마이너스하여 정렬체크값을 연산하는 것을 특징으로 한다.
상기 제어부는 정렬체크값이 0으로 연산되는 경우 상기 웨이퍼가 정위치에 정렬되어 있다고 판단하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명인 웨이퍼 정렬시스템은 봇암에 웨이퍼가 정렬되어 위치된 상태의 웨이퍼의 위치인 기준위치값을 제어부에 기저장하는 기준값저장단계, 상기 로봇암이 웨이퍼를 이동시켜 설정된 위치로 이동시키는 웨이퍼이동단계, 상기 로봇암과 이격된 위치에 배치된 비전센서가 이동된 웨이퍼의 위치를 센싱하고 제어부가 센싱된 값을 수신하여 웨이퍼의 위치인 웨이퍼위치값을 연산하는 측정단계 및 제어부가 상기 기준위치값과 상기 웨이퍼위치값을 비교하여 웨이퍼가 정렬되어 있는지를 판단하는 연산단계를 포함한다.
상기 연산단계는 상기 제어부가 상기 로봇암의 단부의 위치인 단부위치값에서 상기 웨이퍼위치값을 마이너스한 경로값을 연산하는 경로값연산단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 연산단계는 상기 제어부가 상기 경로값에 상기 기준위치값을 플러스하고, 상기 단부위치값을 마이너스하여 정렬체크값을 연산하는 정렬체크값연산단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 로봇암의 단부의 위치를 연산하고, 웨이퍼가 정렬되어 위치를 연산하여 웨이퍼가 얼라인되어 있는지 확인하고, 웨이퍼가 정위치에 정렬되어 있지 않은 경우 로봇암의 이동 경로를 연산하고 로봇암의 위치를 변경하므로 웨이퍼를 정위치에 정렬시킬 수 있다.
도 1은 일 실시예에 의한 본 발명인 웨이퍼 정렬 시스템을 도시한 것이다.
도 2에서 (a)는 웨이퍼가 로봇암의 단부에 정렬되어 위치된 경우를, (b)는 웨이퍼가 로봇암 단부의 정위치에서 어긋나 위치된 경우를 도시한 것이다.
도 3은 일 실시예에 의한 본 발명인 웨이퍼 정렬 시스템의 제어부의 연산과정을 블록도로 도시한 것이다.
도 4는 일 실시예에 의한 본 발명인 웨이퍼 정렬방법의 순서도를 블록도로 도시한 것이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예를 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 발명에서, '포함하다' 또는 '가지다' 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 이 때, 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음에 유의한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략할 것이다. 마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다.
도 1은 일 실시예에 의한 본 발명인 웨이퍼 정렬 시스템을 도시한 것이다.
본 발명인 웨이퍼 정렬시스템은 로봇암(100), 비전센서(200), 제어부(300)를 포함한다.
로봇암(100)은 관절과 단부를 포함하여 형성될 수 있다. 로봇암(100)의 관절은 설정된 방향으로 회전 운동을 할 수 있다. 여기서 로봇암(100)의 관절은 복수개로 형성되는 바, 로봇암(100)의 단부는 복수개의 관절들의 회전 이동에 의하여 위치가 변경될 수 있으며, 회전될 수 있다.
로봇암(100)의 단부는 웨이퍼를 지지할 수 있는 형상으로 형성될 수 있다. 즉, 로봇암(100)의 단부는 매우 얇은 플레이트의 형상으로 평평한 면을 포함하여 형성될 수 있으며, 중심 부근에는 홀이 형성된 형태로 형성될 수 있다.
따라서 로봇암(100)의 단부의 홀은 웨이퍼를 중앙에서 지지하고 있는 프레임을 중심 부근의 홀에 위치된 후, 상부로 이동되어 양측면이 웨이퍼의 하측을 지지하는 형태로 형성될 수 있다.
한편 정기구학을 통하여 연산되는 로봇암(100)의 단부의 위치가 연산될 수 있는데, 이는 로봇암(100)의 단부의 중심일 수 있다. 한편 로봇암(100)의 단부의 위치는 반드 시 로봇암(100)의 단부의 중심일 필요는 없으며, 로봇암(100)의 단부의 위치를 파악하기에 충분하면 그 설정된 위치는 문제되지 않을 수 있다.
로봇 또는 제어부(300)는 기준점을 기준으로 정기구학 연산을 통하여 각 관절의 위치값 또는 로봇암(100)의 단부의 위치를 연산할 수 있다. 즉, 로봇암(100)의 단부는 정기구학에 의하여 설정된 위치에 위치될 수 있다.
제어부(300)는 로봇암(100)과 연결되어 로봇암(100)의 단부의 단부위치값을 수신할 수 있다. 제어부(300)는 정기구학 알고리즘을 이용하여 로봇암(100)에 웨이퍼가 정위치에 정렬되어 위치된 경우 이 때의 로봇암(100)의 단부의 위치인 단부위치값을 저장할 수 있다.
비전센서(200)는 웨이퍼의 특정한 지점(기준지점)을 추적하여 센싱할 수 있다. 일례로 기준지점은 웨이퍼의 중심을 기준으로 x축과 y축을 그리면 x축과 y축이 90도가 되는 지점(1사분면과 2사분면 사이)의 중심에서부터 설정된 길이만큼 이격된 위치일 수 있다. 비전센서(200)는 이 지점을 기준지점으로 설정하고 체크할 수 있다.
제어부(300)는 비전센서(200)와 연결되어 있다. 그리고 제어부(300)는 비전센서(200)가 기준지점을 측정한 값을 통하여 기준위치값을 설정할 수 있다. 이 기준위치값은 웨이퍼가 로봇암(100)에 정렬되어 위치된 경우 특정지점의 위치일 수 있다. 즉, 로봇암(100)이 웨이퍼를 정위치에 위치시키면 전술한 기준지점을 기준위치값은 단부위치값과 직선 방향에 위치되는데, 이 때 기준위치값을 제어부(300)는 저장하여 기준으로 설정할 수 있다.
본 발명은 제어부(300)가 기준이 되는 기준위치값을 기저장하고, 연산된 로봇암(100)의 단부의 위치인 단부위치값을 이용하여 웨이퍼가 정렬되어 위치되어 있는지를 파악할 수 있다.
도 2에서 (a)는 웨이퍼가 로봇암의 단부에 정렬되어 위치된 경우를, (b)는 웨이퍼가 로봇암 단부의 정위치에서 어긋나 위치된 경우를 도시한 것이다.
도 3은 일 실시예에 의한 본 발명인 웨이퍼 정렬 시스템의 제어부의 연산과정을 블록도로 도시한 것이다.
이하에서는 동작 순서에 따라서 본 발명의 정렬시스템이 웨이퍼를 정위치에 위치시키는 과정을 설명하도록 하겠다.
로봇암(100)은 설정된 위치를 움직여 웨이퍼를 지지하며 웨이퍼를 배치하고, 기설정된 위치로 이동될 수 있다. 즉, 로봇암(100)은 관절 등을 움직여 웨이퍼 방향으로 로봇암(100)의 단부를 이동시켜 웨이퍼를 지지하고, 다시 이동되어 웨이퍼와 함께 기설정된 위치로 이동될 수 있다.
이 때 로봇암(100)의 단부의 위치는 전술한 바와 같이 로봇 그 자체에서 정기구학을 연산을 하여 제어부(300)로 로봇암(100)의 단부의 위치를 송신할 수 있으며 또는 그렇지 않고 제어부(300)가 로봇암(100)의 단부를 정기구학 알고리즘을 활용하여 실시간으로 연산할 수 있다. 그리고, 로봇암(100)의 단부는 전술한 단부위치값으로 이동될 수 있다. 로봇암(100)의 단부는 연산에 의하여 정확한 위치를 이동하므로, 그 위치는 변경되지 않을 수 있다.
비전센서(200)는 설정된 위치를 센싱할 수 있다. 제어부(300)는 비전센서(200)가 기준지점을 측정한 위치를 값으로 하여 연산할 수 있다. 즉, 도 2의 (b)와 같이 웨이퍼가 로봇암(100)에 일측으로 치우쳐서 위치되는 경우, 제어부(300)는 비전센서(200)가 측정한 기준지점의 위치인 웨이퍼위치값을 연산할 수 있다.
그 후 제어부(300)는 경로값을 연산한다. 경로값은 정기구학을 통하여 연산된 단부위치값에서 웨이퍼위치값을 마이너스 하는 연산을 수행하는 것이다.
일례로 각 값들은 (x, y, θ)로 설정될 수 있다. 단부위치값이 (a, b, c)인 좌표로 표현될 수 있으며, 중간오차값이 (d, e, f)로 표현될 수 있으면 (a-d, b-e, c-f)가 경로값을 연산할 수 있다.
그 후 제어부(300)는 새경로값을 연산할 수 있다. 새경로값은 경로값에 기준위치값을 플러스하는 연산을 수행하는 것이다.
만약 기준위치값이 (g, h, i)로 표현될 수 있다면, 새경로값은 (a-d+g, b-e+h, c-f+i)로 표현될 수 있을 것이다.
이후 제어부(300)는 최종적으로 정렬체크값을 연산한다. 정렬체크값은 새경로값에 단부위치값을 마이너스하는 연산을 의미한다. 전술한 바와 같이 단부위치값은 (a, b, c)이므로 새경로값에 단부위치값을 마이너스 하면 최종적으로 도출되는 값은 (-d+g, -e+h, -f+i)가 남게 된다.
제어부(300)는 각각의 값들이 0이 되는지를 체크한다. 즉, 제어부(300)는 -d+g = 0, -e+h = 0, -f+i = 0 인지 체크한다. 그리고 제어부(300)는 정렬체크값의 각각의 값들이 0이 아니라면 이를 수정하는 동작을 한다.
즉, 제어부(300)는 -d+g가 +로 도출되면 기준위치값보다 우측으로 치우쳐 있다고 판단하고, -e+h가 -로 도출되면 기준위치값보다 아래로 치우쳐 있다고 판단할 것이며, -f+i가 -로 연산되면 시계방향만큼 회전되어 있다고 판단할 것이다.
그러면 제어부(300)는 제어신호를 로봇암(100)으로 송신한다. 그러면 로봇암(100)은 x축을 기준으로 좌측으로 -d+g의 연산값만큼 이동하고, 상측으로 -e+h의 연산값만큼 이동하며, -f+i의 연산값만큼 반시계 방향으로 회전될 수 있을 것이다.
이와 같이 본 발명은 웨이퍼의 위치를 연산하고, 연산된 값에 따라 로봇암(100)을 이동하므로 웨이퍼의 위치를 정렬할 수 있다.
한편, 본 발명은 위와 같이 로봇암(100)이 움직인 후, 다시 한 번 동일한 연산을 수행할 수 있다. 즉, 로봇암(100)이 이동된 후 제어부(300)는 다시 한 번 정렬체크값을 연산할 수 있다. 그 후 정렬체크값이 0이라면 제어부(300)는 웨이퍼가 정위치에 정렬되어 있음을 인지할 수 있다.
또한, 본 발명은 기설정된 시간을 두고, 제어부(300)는 정렬체크값을 연산할 수 있다. 이를 통하여 웨이퍼 검사가 수행되는 동안 웨이퍼의 위치가 정위치에 위치되어 있는지 지속적, 반복적 체크할 수 있다.
한편 위의 실시예에서는 각 값들이 x, y, θ임을 가정하여 설명하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 일 실시예에 의한 것임을 유의하여야 한다. 즉, θ는 z값일 수 있으며, θ값이 없어도 문제되지 않는다. 왜냐하면 제어부(300)는 최종적으로 도출되는 정렬체크값의 x, y값만을 연산하여 로봇암(100)을 이동시키고, 정기구학을 통하여 연산되는 로봇암(100)의 단부의 위치를 토대로 현재 로봇암(100)이 단부가 기준이 되는 로봇암(100)의 단부의 위치 대비 어느정도 회전되어 있는지 체크할 수 있기 때문이다.
최종적으로 정리를 하자면 본 발명은 다음과 같은 순서를 통하여 웨이퍼를 정렬한다.
(i) 기준위치값 저장
(ii) 로봇암(100)의 웨이퍼 이동
(iii) 비전센서(200)가 웨이퍼위치값 센싱 후 제어부(300)로 송신
(iv) 제어부(300)는 경로값 연산(단부위치값 - 웨이퍼위치값)
(v) 제어부(300)는 새경로값 연산 (경로값 + 기준위치값)
(vi) 제어부(300)는 정렬체크값 연산 (새경로값 - 단부위치값)
(vii) 제어부(300)가 로봇암(100)에 제어신호 송신
(첫번째 웨이퍼의 검사가 종료되면 (ii) ~ (vii) 반복하여 수행함)
도 4는 일 실시예에 의한 본 발명인 웨이퍼 정렬방법의 순서도를 블록도로 도시한 것이다.
본 발명인 웨이퍼 정렬방법은 기준값저장단계(S100), 웨이퍼이동단계(S200), 측정단계(S300), 연산단계(S400) 및 정렬단계(S500)를 포함한다.
기준값저장단계(S100)는 전술한 기준위치값을 제어부(300)가 저장하는단계이다.
기준위치값은 전술한 바와 같이 로봇암(100)의 단부가 기설정된 위치되고, 웨이퍼가 로봇암(100)의 단부에 정렬되어 위치되었을 때 웨이퍼의 기준지점의 위치를 비전센서(200)로 촬영한 경우 기준지점의 위치의 값을 의미한다. 제어부(300)는 기준값저장단계(S100)가 수행되어 저장된 기준위치값을 기준으로 웨이퍼의 위치가 정렬되어 있는지 아닌지를 파악할 수 있다.
웨이퍼이동단계(S200)는 로봇암(100)이 웨이퍼를 이동시키는 단계이다. 로봇암(100)은 전술한 바와 같이 웨이퍼의 하측을 지지하여 기설정된 위치로 웨이퍼를 이동시킨다. 여기서 제어부(300)는 로봇암(100)과 연결되어 있으므로, 로봇암(100)의 단부의 위치를 정확하게 알 수 있다. 로봇암(100)은 웨이퍼를 검사하기 위하여 기설정된 위치로 로봇암(100)의 단부를 이동시킬 수 있다.
측정단계(S300)는 로봇암(100)의 단부가 기설정된 위치로 이동된 경우, 로봇암(100)과 이격되어 위치된 비전센서(200)가 웨이퍼의 기준위치를 센싱하는 단계이다. 제어부(300)는 비전센서(200)가 센싱한 값을 수신하고 웨이퍼의 위치인 웨이퍼위치값을 연산할 수 있다.
또한, 전술한 바와 같이 제어부(300)는 로봇암(100)의 단부를 정기구학 알고리즘을 이용하여 연산할 수 있다.
이처럼 측정단계(S300)에서 제어부(300)는 단부위치값, 웨이퍼위치값을 연산하여 저장하고 있다.
연산단계(S400)는 제어부(300)가 기준위치값과 웨이퍼위치값을 이용하여 웨이퍼의 위치가 정렬되어 있는지를 판단하는 단계이다.
이를 위하여 연산단계(S400)는 경로값연산단계(S410), 새경로값연산단계(S420), 정렬체크값연산단계(S430)를 포함할 수 있다.
경로값연산단계(S410), 새경로값연산단계(S420), 정렬체크값연산단계(S430)는 제어부(300)가 기준위치값, 단부위치값, 웨이퍼위치값을 이용하여 연산을 수행한다.
경로값연산단계(S410)는 전술한 바와 같이 제어부(300)가 경로값을 연산하는 단계로 측정단계(S300)까지 수행되어 획득된 단부위치값과 웨이퍼위치값을 이용하여 단부위치값에 웨이퍼위치값을 마이너스 하는 연산을 하여 경로값을 연산한다.
새경로값연산단계(S420)는 제어부(300)가 경로값을 연산한 후 경로값을 이용하여 새경로값을 연산하는 단계로 경로값에 기준위치값을 플러스하여 연산을 수행하여 새경로값을 연산한다.
정렬체크값연산단계(S430)는 제어부(300)가 새경로값을 연산한 후 이를 이용하여 정렬체크값을 연산하는 단계로, 새경로값에 단부위치값을 마이너스하는 연산을 수행하여 정렬체크값을 연산한다.
정렬단계(S500)에서는 정렬체크값에 따라 제어부(300)가 로봇암(100)을 제어하는 제어신호를 송신하여 로봇암(100)의 단부의 위치를 변경하여 웨이퍼의 위치를 정렬하는 단계이다. 여기서 정렬체크값이 0인 경우 전술한 바와 같이 로봇암(100)은 위치가 변경되지 않을 수 있다.
위와 같은 단계를 통하여 본 발명인 방법은 웨이퍼를 정렬할 수 있다. 아울러 본 발명은 웨이퍼이동단계(S200), 측정단계(S300), 연산단계(S400), 정렬단계(S500)를 설정된 시간 간격을 두고 지속적으로 수행할 수 있다. 또한, 정렬단계(S500)가 수행된 후 측정단계(S300)부터 다시 수행하여 웨이퍼의 위치를 다시 한 번 체크 후 정렬할 수 있다.
이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
100 : 로봇암
200 : 비전센서
300 : 제어부

Claims (10)

  1. 웨이퍼가 배치되는 로봇암;
    상기 웨이퍼와 이격된 위치에서 상기 로봇암에 배치된 웨이퍼의 기설정된 기준위치를 센싱하는 비전센서; 및
    상기 로봇암의 위치를 연산하고, 상기 비전센서가 센싱한 위치를 연산하여 기설정된 기준이 되는 웨이퍼의 위치인 기준위치값과 비교하여 상기 웨이퍼가 정렬되어 있는지 판단하는 제어부
    를 포함하는 웨이퍼 정렬시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부에 설정된 기준위치값은
    상기 로봇암에 상기 웨이퍼가 정렬되어 있을 때 상기 비전센서가 촬영한 위치의 값인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제어부는
    상기 기준위치값과 상기 비전센서가 촬영한 위치의 값을 비교하여 오차값이 있는 경우, 상기 오차값에 대응되는 위치로 상기 로봇암이 이동되도록 제어신호를 송신하는 것
    을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 로봇암으로부터 기설정된 정기구학 연산 알고리즘을 활용하여 상기 로봇암의 단부의 위치인 단부위치값을 연산하는 것
    을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제어부는
    상기 비전센서로부터 신호를 수신받아, 상기 웨이퍼의 위치를 연산한 웨이퍼위치값을 연산하고, 상기 단부위치값에서 상기 웨이퍼위치값을 마이너스 하는 경로값을 연산하는 것
    을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제어부는
    상기 경로값에 상기 기준위치값을 플러스하고, 상기 단부위치값을 마이너스하여 정렬체크값을 연산하는 것
    을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제어부는
    정렬체크값이 0으로 연산되는 경우 상기 웨이퍼가 정위치에 정렬되어 있다고 판단하는 것
    을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬시스템.
  8. 로봇암에 웨이퍼가 정렬되어 위치된 상태의 웨이퍼의 위치인 기준위치값을 제어부에 기저장하는 기준값저장단계;
    상기 로봇암이 웨이퍼를 이동시켜 설정된 위치로 이동시키는 웨이퍼이동단계;
    상기 로봇암과 이격된 위치에 배치된 비전센서가 이동된 웨이퍼의 위치를 센싱하고 제어부가 센싱된 값을 수신하여 웨이퍼의 위치인 웨이퍼위치값을 연산하는 측정단계; 및
    제어부가 상기 기준위치값과 상기 웨이퍼위치값을 비교하여 웨이퍼가 정렬되어 있는지를 판단하는 연산단계
    를 포함하는 웨이퍼 정렬방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 연산단계는
    상기 제어부가 상기 로봇암의 단부의 위치인 단부위치값에서 상기 웨이퍼위치값을 마이너스한 경로값을 연산하는 경로값연산단계를 더 포함하는 것
    을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 연산단계는
    상기 제어부가 상기 경로값에 상기 기준위치값을 플러스하고, 상기 단부위치값을 마이너스하여 정렬체크값을 연산하는 정렬체크값연산단계를 더 포함하는 것
    을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬방법.
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