KR20220139692A - Anti-vibration table system using precast concrete base pad - Google Patents

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KR20220139692A KR1020210045958A KR20210045958A KR20220139692A KR 20220139692 A KR20220139692 A KR 20220139692A KR 1020210045958 A KR1020210045958 A KR 1020210045958A KR 20210045958 A KR20210045958 A KR 20210045958A KR 20220139692 A KR20220139692 A KR 20220139692A
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김옥룡
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알엠에스테크놀러지(주)
주식회사 드림에스이
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Abstract

The present invention relates to an anti-vibration table system with a divided base for ultra-precision equipment, and more specifically, to an anti-vibration table system with a divided base for ultra-precision equipment, wherein a plurality of modularized precast concrete (PC) base pads are installed in divided areas of the entire anti-vibration table system, respectively. According to the present invention, provided is an anti-vibration table system, wherein the anti-vibration table system is configured using a plurality of modularized PC base pads, and even if the entire size of an anti-vibration table is very large, PC base pad modules are nevertheless installed to be adjacent to one another, thereby reducing a construction period greatly, reducing construction costs, maintaining an installation site to be clean, and moreover enabling the PC base pad modules to be recycled partially if a facility is changed.

Description

초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템{Anti-vibration table system using precast concrete base pad}Split foundation vibration isolation table system for ultra-precision equipment {Anti-vibration table system using precast concrete base pad}

본 발명은 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 모듈화된 다수의 PC(precast concrete) 기초 패드(pad)들이 전체 제진대 시스템의 분할된 영역에 각각 설치되어 이루어진, 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a divided foundation vibration isolation table system for ultra-precision equipment, and more particularly, a plurality of modularized PC (precast concrete) foundation pads are respectively installed in divided areas of the entire vibration isolation system system. It relates to a divided foundation vibration isolation table system for ultra-precision equipment.

종래 초정밀 설비에 전달되는 진동을 최소화하기 위한 제진대 시스템의 경우, 제진 패드로서 단일 콘크리트 패드(concrete pad)를 사용하였다. 작은 제진대의 경우는 콘크리트 패드를 미리 제작하여 설치 위치로 이동하는 것이 용이하나, 넓은 영영역을 차지하는 큰 제진대의 경우, 그와 같이 콘크리트 패드를 미리 제작하여 설치 위치로 이동하는 것은 불가능하며, 현장에서 직접 콘크리트를 타설하여 습식으로 제진대를 설치할 수 밖에 없었다. 이와 같은 현장 타설의 경우, 설치 공정이 복잡하고, 설치 비용이 커지며, 설치 현장의 청결성이 유지되기 어려울 뿐만 아니라, 설치에 장시간이 소요되는 문제점이 있었다. 또한 일단 설치 후에는 해당 콘크리트 패드를 다른 위치로 설치 위치를 변경하는 것이나, 설비 변경 등의 경우에 다른 제진대로의 재활용은 전혀 불가능하다는 문제점 또한 있어왔다.In the case of a vibration damping table system for minimizing vibration transmitted to a conventional ultra-precision facility, a single concrete pad is used as a vibration damping pad. In the case of a small vibration isolation table, it is easy to make a concrete pad in advance and move it to the installation location. We had no choice but to install the damping table by pouring concrete directly on site. In the case of such on-site casting, the installation process is complicated, the installation cost is increased, and it is difficult to maintain the cleanliness of the installation site, and there are problems that the installation takes a long time. In addition, there has also been a problem that, once installed, changing the installation location of the concrete pad to a different location, or recycling of the other vibration suppression path in the case of a change of equipment, is not possible at all.

KRUS 10-198219510-1982195 B1B1

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 모듈화된 다수의 PC(precast concrete) 기초 패드(pad)들을 사용하여 제진대 시스템을 구성함으로써, 제진대의 전체 크기가 매우 크더라도, 그에 관계없이 PC 기초 패드 모듈들을 인접하여 설치해 나감으로써 공사기간을 크게 단축시키고, 공사비용을 절감하며, 설치현장의 청결성이 유지되도록 하고, 나아가 설비 변경이 있는 경우 PC 기초 패드 모듈의 부분적 재활용도 가능하도록 하는 제진대 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was devised to solve such a problem, and by configuring a vibration isolation table system using a plurality of modularized PC (precast concrete) foundation pads, even if the overall size of the vibration isolation table is very large, the relation By installing the PC foundation pad modules adjacent to each other, the construction period is greatly shortened, the construction cost is reduced, the cleanliness of the installation site is maintained, and furthermore, the partial recycling of the PC foundation pad module is possible in case of a facility change. An object of the present invention is to provide a vibration isolation system.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템은, 일정 간격으로 평행하게 다수 배치된 'H'자 형상의 빔 구조물(이하 'H 빔(H beam)'이라 한다); 상기 H 빔과 수직하게 배치되어, 상기 각 H 빔 사이를 연결하는 다수의 H 빔 연결부; 좌우측 단부가 각각, 좌우측에 설치된 상기 H 빔의 상단에, 상기 H 빔에 의해 지지되도록 설치되는 하나 이상의 장비 기초 패드 모듈(이하 '패드 모듈'이라 한다)을 포함한다.In order to achieve the above object, the split-based vibration isolation table system for ultra-precision equipment according to the present invention is an 'H'-shaped beam structure (hereinafter referred to as 'H beam') arranged in parallel at regular intervals. ); a plurality of H-beam connecting units disposed perpendicular to the H-beam and connecting the respective H-beams; Each of the left and right ends includes one or more equipment base pad modules (hereinafter referred to as 'pad modules') installed so as to be supported by the H-beams, on top of the H-beams installed on the left and right sides.

상기 각 패드 모듈은, 좌우측 측면부에 금속판이 부착되어 있고, 상기 금속판의 하단부는 'ㄴ'자 형상으로 구성되며, 상기 'ㄴ'자 형상의 수평부는, 상기 H 빔의 상단과 체결되어 고정될 수 있다.Each of the pad modules has a metal plate attached to the left and right side parts, the lower end of the metal plate is configured in a 'L' shape, and the horizontal part of the 'L' shape is fastened to the upper end of the H-beam to be fixed. have.

상기 각 패드 모듈은, 전후측 측면부에 금속판이 부착되어 있고, 상기 금속판의 하단부는 'ㄴ'자 형상으로 구성되며, 상기 'ㄴ'자 형상의 수평부는, 상기 H 빔 연결부의 상단과 체결되어 고정될 수 있다.Each of the pad modules has a metal plate attached to the front and rear side portions, the lower end of the metal plate is configured in a 'L' shape, and the horizontal part of the 'L' shape is fastened to the upper end of the H-beam connection part and fixed can be

상기 패드 모듈의 몸체(body)부는, PC(precast concrete)로 구성될 수 있다.The body (body) portion of the pad module may be composed of PC (precast concrete).

상기 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템은, 상기 각 H 빔 하부에서 일정 간격으로 배치되어 상기 각 H 빔을 지지하는 H 빔 지지부를 더 포함할 수 있다.The split-based vibration isolation table system for the ultra-precision facility may further include an H-beam support unit disposed at a predetermined interval under each H-beam to support each H-beam.

본 발명에 의하면, 모듈화된 다수의 PC(precast concrete) 기초 패드(pad)들을 사용하여 제진대 시스템을 구성함으로써, 제진대의 전체 크기가 매우 크더라도, 그에 관계없이 PC 기초 패드 모듈들을 인접하여 설치해 나감으로써 공사기간을 크게 단축시키고, 공사비용을 절감하며, 설치현장의 청결성이 유지되도록 하고, 나아가 설비 변경이 있는 경우 PC 기초 패드 모듈의 부분적 재활용도 가능하도록 하는 제진대 시스템을 제공하는 효과가 있다.According to the present invention, by configuring the vibration isolation table system using a plurality of modularized PC (precast concrete) foundation pads, even if the overall size of the vibration table is very large, regardless of it, the PC foundation pad modules are installed adjacent to each other. This has the effect of significantly shortening the construction period, reducing construction costs, maintaining the cleanliness of the installation site, and providing an anti-vibration system that enables partial recycling of the PC base pad module in case of equipment change. .

도 1은 본 발명에 따른 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템(이하 '분할기초 제진대 시스템'이라 한다)의 구조 및 시공 단계를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명에 따른 분할기초 제진대 시스템이 액세스 플로어(access floor) 상에 설치된 최종 상태를 나타내는 모식도.
도 3은 본 발명에 따른 분할기초 제진대 시스템의 측면 단면도를 도시한 도면.
도 4는 본 발명에 따른 분할기초 제진대 시스템에서, PC 기초 패드 모듈의 측면부 구조 및, 2개의 PC 기초 패드 모듈이 인접하여 설치된 경우, 그 접합부의 구조의 일 실시예를 도시한 도면.
도 5는 2개의 PC 기초 패드 모듈이 인접하여 설치된 경우, 그 접합부의 구조의 다른 실시예를 도시한 도면.1 is a view showing the structure and construction steps of a divided-based vibration isolation table system (hereinafter referred to as a 'divided-based vibration isolation system system') for ultra-precision equipment according to the present invention.
2 is a schematic diagram showing a final state in which the division-based vibration isolation table system according to the present invention is installed on an access floor.
3 is a view showing a cross-sectional side view of the divided foundation vibration isolation table system according to the present invention.
4 is a view showing an embodiment of the structure of the side part of the PC foundation pad module and the structure of the joint part when two PC foundation pad modules are installed adjacently in the divided foundation vibration isolation table system according to the present invention.
Fig. 5 is a view showing another embodiment of the structure of the joint portion when two PC base pad modules are installed adjacently;

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to conventional or dictionary meanings, and the inventor should properly understand the concept of the term in order to best describe his invention. Based on the principle that it can be defined, it should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention. Therefore, the configuration shown in the embodiments and drawings described in the present specification is merely the most preferred embodiment of the present invention and does not represent all of the technical spirit of the present invention, so at the time of the present application, various It should be understood that there may be equivalents and variations.

도 1은 본 발명에 따른 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템(이하 '분할기초 제진대 시스템'이라 한다)(100)의 구조 및 시공 단계를 나타내는 도면이다.1 is a view showing the structure and construction steps of a divided-based vibration isolation table system (hereinafter referred to as a 'divided-based vibration isolation system system') 100 for ultra-precision equipment according to the present invention.

분할기초 제진대 시스템(100)은, 진동 전달을 최소화하기 위한 초정밀 설비를 올려놓는 제진대의 장비기초 영역을 분할하여, 미리 제작되어 있는 다수의 장비 기초 패드 모듈(이하 '패드 모듈'이라 한다)(140)들의 조립 체결에 의해 전체 제진대 시스템을 구성하도록 한 것이다. 패드 모듈(140) 몸체(body)부는, PC(precast concrete)로 구성될 수 있다.The divided base vibration isolation table system 100 divides the equipment base area of the vibration isolation table on which ultra-precision equipment for minimizing vibration transmission is placed, and a plurality of equipment base pad modules (hereinafter referred to as 'pad modules') that are manufactured in advance. The whole vibration isolation table system is constituted by the assembly and fastening of (140). The pad module 140 body (body) portion may be composed of PC (precast concrete).

도 1은 이러한 분할기초 제진대 시스템(100)을 시공하는 단계를 도시한 도면이다. 도 1(a)는 패드 모듈(140)을 그 위에 체결 설치하기 위한 하부 구조물을 나타낸다. 도 1(a)를 참조하면, 하부 구조물에서 일정 간격으로 평행하게 다수 배치된 'H'자 형상의 빔 구조물(이하 'H 빔(H beam)'이라 한다)(140)은, 각 H 빔 하부에서 일정 간격으로 배치된 H 빔 지지부(130) 위에 설치된다. 각 H 빔(140) 간에는, H 빔(140)과 수직하게 배치되어, 각 H 빔 사이를 연결하는 다수의 H 빔 연결부(120)가 결합되어 있다.FIG. 1 is a diagram illustrating the steps of constructing such a split-based vibration isolation table system 100 . 1 (a) shows a lower structure for fastening and installing the pad module 140 thereon. Referring to FIG. 1( a ), a plurality of 'H'-shaped beam structures (hereinafter referred to as 'H beams') 140 arranged in parallel at regular intervals in the lower structure are formed under each H-beam. It is installed on the H-beam support 130 arranged at regular intervals in the. Between each H-beam 140 , a plurality of H-beam connecting units 120 are coupled to each other, which is disposed perpendicular to the H-beam 140 and connects the H-beams.

도 1(b)는, H 빔(110) 위에 1개의 패드 모듈(140)을 설치한 상태를 나타낸다. 각 패드 모듈(140)은 좌우측 단부가, 해당 패드 모듈(140)의 좌우측의 H 빔(110) 위에 각각 체결 설치된다. 또한 전후측 단부는, 해당 패드 모듈(140)의 전후측의 H 빔 연결부(120) 위에 각각 체결 설치될 수 있다. 패드 모듈(140)을 H 빔(110)에 체결 설치하는 방식에 대하여는 도 4 및 도 5를 참조하여 상세히 후술한다.FIG. 1( b ) shows a state in which one pad module 140 is installed on the H-beam 110 . Left and right ends of each pad module 140 are respectively fastened and installed on the H beams 110 on the left and right sides of the corresponding pad module 140 . In addition, the front and rear end portions may be respectively fastened and installed on the H-beam connector 120 on the front and rear sides of the corresponding pad module 140 . A method of fastening and installing the pad module 140 to the H-beam 110 will be described later in detail with reference to FIGS. 4 and 5 .

도 1(c)는, 도 1(b)와 같은 방법으로 4개의 패드 모듈(140)을 설치한 상태를 나타내는 도면이다.FIG. 1C is a diagram illustrating a state in which four pad modules 140 are installed in the same manner as in FIG. 1B .

도 2는 본 발명에 따른 분할기초 제진대 시스템(100)이 액세스 플로어(access floor) 상(30)에 설치된 최종 상태를 나타내는 모식도이다.2 is a schematic diagram showing a final state in which the divided-based vibration isolation table system 100 according to the present invention is installed on an access floor 30 .

액세스 플로어(30)는, 작업자들이 진동 전달 억제가 필요한 초정밀 설비를 분할기초 제진대 시스템(100) 위로 이송하는 바닥면으로서, 액세스 플로어(30)와 분할기초 제진대 시스템(100)의 각 패드 모듈(140) 상부면은 동일한 높이로 일체화되어, 초정밀 설비의 패드 모듈(140) 위로의 이동 배치를 원활하게 하는 것이 바람직하다.The access floor 30 is a floor surface on which workers transfer ultra-precision equipment requiring vibration transmission suppression onto the divided-based vibration isolation table system 100 , and each pad module of the access floor 30 and the divided-based vibration isolation table system 100 . (140) It is preferable that the upper surface is integrated at the same height to facilitate the movement and arrangement of the pad module 140 of the ultra-precision facility.

도 2는 분할기초 제진대 시스템(100)이 4개의 패드 모듈(140)를 포함하는 경우를 나타내고 있으나, 더 많은 패드 모듈(140)로 구성되는 것도 물론 가능하며, 또한 도 2는 전체 패드 모듈(140)이 차지하는 전체 제진대 영역이 사각형을 구성하고 있으나, 제진대 설계에 따라 다양한 모양을 형성하도록 할 수도 있으며, 본 발명의 패드 모듈(140)에 의한 제진대 구성은 그와 같은 제진대 모양의 변화에도 용이하게 대처할 수 있게 하는 장점이 있다.2 shows a case in which the divided-based vibration isolation table system 100 includes four pad modules 140, it is of course possible to include more pad modules 140, and FIG. 2 shows the entire pad module ( Although the entire vibration isolation table area occupied by 140) has a rectangular shape, various shapes may be formed according to the design of the vibration isolation table. It has the advantage of being able to easily cope with changes.

도 3은 본 발명에 따른 분할기초 제진대 시스템(100)의 측면 단면도를 도시한 도면이다.3 is a view showing a cross-sectional side view of the divided-based vibration isolation table system 100 according to the present invention.

도 3은 도 2의 분할기초 제진대 시스템(100)의 측면 단면도로서, 1개의 패드 모듈(140)의 좌우측 단부 모양(10) 및, 2개의 패드 모듈(140)이 연결되는 접합부(20)가 도시되어 있다.3 is a side cross-sectional view of the divided-based vibration isolation table system 100 of FIG. 2 , in which the left and right end shapes 10 of one pad module 140 and the joint 20 to which the two pad modules 140 are connected are shown. is shown.

도 4는 본 발명에 따른 분할기초 제진대 시스템(100)에서, 패드 모듈(140)의 측면부 구조 및, 2개의 패드 모듈(140)이 인접하여 설치된 경우, 그 접합부의 구조의 일 실시예를 도시한 도면이다.4 shows an embodiment of the structure of the side part of the pad module 140 and the structure of the joint part when two pad modules 140 are installed adjacent to each other in the divided-based vibration isolation table system 100 according to the present invention. it is one drawing

도 4(a)는 도 3에서의 연결되지 않은 측면부(10)를 나타내고, 도 4(b)는 도 3에서의 패드 모듈(140)이 서로 인접된 부분(20)을 나타낸다.FIG. 4(a) shows the side portions 10 that are not connected to each other in FIG. 3 , and FIG. 4(b) shows the portion 20 where the pad module 140 in FIG. 3 is adjacent to each other.

패드 모듈(140)은, 몸체부가 콘크리트이므로, H 빔(110) 및 H 빔 연결부(120)와 체결될 수 있도록 하기 위하여, 그 둘레 측면부에 특정 형상의 금속판(141)이 부착되어 있다. 도 4의 경우는 패드 모듈(140) 콘크리트 몸체부의 상부가 지붕 형상과 유사하게 볼록 튀어나와 있는 형태로서, 이에 따라 패드 모듈(140)의 좌우측 측면부 상부에는 'ㄴ'자형의 금속판(141.1)이 부착되어 있고, 측면부 하부에는 'ㄷ'자형의 금속판(141.2)이 부착되어 있다. 두 금속판은 수평부분에서 겹쳐져 있는 상태이다. 하부 'ㄷ'자형의 금속판(141.2)의 하단 수평부분은, H 빔(110)의 상단과 볼트 등의 H 빔 체결부(142)에 의해 체결 고정되어 있다.Since the pad module 140 has a concrete body, a metal plate 141 of a specific shape is attached to the peripheral side portion thereof in order to be fastened to the H-beam 110 and the H-beam connection part 120 . In the case of FIG. 4 , the upper part of the concrete body of the pad module 140 protrudes convexly similar to the shape of the roof, and accordingly, the 'L'-shaped metal plate 141.1 is attached to the upper left and right side parts of the pad module 140 . and a 'C'-shaped metal plate 141.2 is attached to the lower side of the side part. The two metal plates are superimposed on the horizontal part. The lower horizontal portion of the lower 'C'-shaped metal plate 141.2 is fastened and fixed by the upper end of the H-beam 110 and the H-beam fastening part 142 such as a bolt.

또한 도면에는 도시되어 있지 않으나, 패드 모듈(140)의 전후측 측면부에서도, 상부에는 'ㄴ'자형의 금속판이 부착되어 있고, 하부에는 'ㄷ'자형의 금속판이 부착되어 있을 수 있으며, 역시 하부 'ㄷ'자형의 금속판의 하단 수평부분은, H 빔 연결부(120)의 상단과 볼트 등의 H 빔 체결부에 의해 체결 고정되어 있을 수 있다.Also, although not shown in the drawing, in the front and rear side surfaces of the pad module 140, a 'L'-shaped metal plate is attached to the upper part, and a 'C'-shaped metal plate may be attached to the lower part, and also to the lower part ' The lower horizontal portion of the 'c'-shaped metal plate may be fastened to the upper end of the H-beam connecting part 120 by an H-beam fastening part such as a bolt.

도 4(b)의 양 패드 모듈(140)의 측면 금속판이 인접한 부분의 상단에 약간의 틈이 있으나, 이러한 틈은, 코킹(cocking)에 의해 메워지도록 한다.Although there is a slight gap at the upper end of the adjacent portion of the side metal plates of both pad modules 140 of FIG. 4(b), the gap is filled by cocking.

도 5는 2개의 패드 모듈(140)이 인접하여 설치된 경우, 그 접합부의 구조의 다른 실시예를 도시한 도면이다.FIG. 5 is a view showing another embodiment of the structure of the joint portion when two pad modules 140 are installed adjacent to each other.

도 5의 경우는 패드 모듈(140)의 좌우측 측면부 상부에는 'ㄴ'자형의 금속판이 부착되어 있고, 측면부 하부에는 'ㄷ'자형의 금속판(141.2)이 부착되어 있으며 두 금속판은 수평부분에서 겹쳐져 있는 상태이다. 단, 도 5의 경우는 도 4와 달리 패드 모듈(140) 콘크리트 몸체부의 상부가 지붕 형상과 유사하게 볼록 튀어나와 있지 않고 일직선으로 내려오는 형태이며, 이에 따라 위의 'ㄴ'자형의 금속판은 도 4와 반대 방향으로 돌려져 있으며, 'ㄴ'자형의 금속판과 'ㄷ'자형의 금속판은, 수평부분에서 볼트 등의 체결부(144)에 의해 체결되어 있다. 또한 이에 따라 양 금속판 사이 상부의 오목한 부분은 몰탈(mortar)(50) 등으로 메워져 있게 한다.In the case of FIG. 5, a 'L'-shaped metal plate is attached to the upper left and right side of the pad module 140, and a 'C'-shaped metal plate 141.2 is attached to the lower side of the side part, and the two metal plates are overlapped in the horizontal part. is the state However, in the case of FIG. 5, unlike FIG. 4, the upper part of the concrete body of the pad module 140 does not protrude similarly to the roof shape, but descends in a straight line. It is rotated in the opposite direction to 4, and the 'B'-shaped metal plate and the 'C'-shaped metal plate are fastened by a fastening part 144 such as a bolt in the horizontal part. In addition, according to this, the upper concave portion between the two metal plates is filled with mortar 50 or the like.

한편, 도 5(a)에는 도시되어 있지는 않으나, 하부 'ㄷ'자형의 금속판의 하단 수평부분은, H 빔(110)의 상단과 볼트 등의 H 빔 체결부에 의해 체결 고정되어 있을 수 있다.On the other hand, although not shown in FIG. 5( a ), the lower horizontal portion of the lower 'C'-shaped metal plate may be fastened to the upper end of the H-beam 110 by an H-beam fastening part such as a bolt.

도 5(b) 역시 도 5(a)와 같이, 패드 모듈(140) 콘크리트 몸체부가 튀어나온 부분 없이 일직선으로 내려오는 구조이다. 다만, 도 5(a)와 달리 도 5(b)에는 'ㄴ'자형의 금속판만이 패드 모듈(140) 측면부에 부착되어 있고 금속판의 수평부분은 H 빔(110)의 상단과 볼트 등의 체결부(143)에 의해 체결 고정되어 있으며, 양 금속판 사이 오목한 부분은 역시 몰탈(mortar)(60)에 의해 채워져 있도록 한다.5(b) also has a structure in which the concrete body of the pad module 140 descends in a straight line without a protruding portion, as in FIG. 5(a). However, unlike FIG. 5(a), in FIG. 5(b), only the 'L'-shaped metal plate is attached to the side part of the pad module 140, and the horizontal part of the metal plate is fastened with the upper end of the H-beam 110 and bolts, etc. It is fastened and fixed by the part 143 , and the concave portion between the two metal plates is also filled with a mortar 60 .

10: PC 기초 패드 모듈 측면부
20: PC 기초 패드 모듈 접합부
30: 액세스 플로어(access floor)
40: 코킹(cocking)부
50, 60: 몰탈(mortar)
100: 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템
110: H 빔(H beam)
120: H 빔 연결부
130: H 빔 지지부
140: PC 기초 패드 모듈
141, 141.1, 141.2: 측면 금속판
142, 143: H 빔 체결부
144: 금속판 체결부10: PC base pad module side part
20: PC base pad module joint
30: access floor (access floor)
40: cocking part
50, 60: mortar
100: Split-based vibration isolation table system for ultra-precision equipment
110: H beam (H beam)
120: H-beam connection
130: H-beam support
140: PC base pad module
141, 141.1, 141.2: side metal plate
142, 143: H-beam fastening part
144: metal plate fastening part

Claims (5)

초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템으로서,
일정 간격으로 평행하게 다수 배치된 'H'자 형상의 빔 구조물(이하 'H 빔(H beam)'이라 한다);
상기 H 빔과 수직하게 배치되어, 상기 각 H 빔 사이를 연결하는 다수의 H 빔 연결부;
좌우측 단부가 각각, 좌우측에 설치된 상기 H 빔의 상단에, 상기 H 빔에 의해 지지되도록 설치되는, 1개 이상의 장비 기초 패드 모듈(이하 '패드 모듈'이라 한다)
을 포함하는 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템.As a split-based vibration isolation table system for ultra-precision equipment,
a plurality of 'H'-shaped beam structures arranged in parallel at regular intervals (hereinafter referred to as 'H beam');
a plurality of H-beam connecting units disposed perpendicular to the H-beam and connecting the respective H-beams;
One or more equipment base pad modules (hereinafter referred to as 'pad modules'), each of which left and right ends are installed to be supported by the H-beam on the upper end of the H-beam installed on the left and right sides
Divided foundation vibration isolation table system for ultra-precision equipment comprising a. 청구항 1에 있어서,
상기 각 패드 모듈은,
좌우측 측면부에 금속판이 부착되어 있고,
상기 금속판의 하단부는 'ㄴ'자 형상으로 구성되며,
상기 'ㄴ'자 형상의 수평부는, 상기 H 빔의 상단과 체결되어 고정되는 °
을 특징으로 하는 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템.The method according to claim 1,
Each of the pad modules,
Metal plates are attached to the left and right side parts,
The lower end of the metal plate is configured in a 'L' shape,
The 'L'-shaped horizontal portion is fixed to the upper end of the H-beam °
A split-based vibration isolation table system for ultra-precision facilities, characterized by a. 청구항 1에 있어서,
상기 각 패드 모듈은,
전후측 측면부에 금속판이 부착되어 있고,
상기 금속판의 하단부는 'ㄴ'자 형상으로 구성되며,
상기 'ㄴ'자 형상의 수평부는, 상기 H 빔 연결부의 상단과 체결되어 고정되는 것
을 특징으로 하는 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템.The method according to claim 1,
Each of the pad modules,
Metal plates are attached to the front and rear side parts,
The lower end of the metal plate is configured in a 'L' shape,
The 'L'-shaped horizontal part is fixed by being fastened with the upper end of the H-beam connection part
A split-based vibration isolation table system for ultra-precision facilities, characterized by a. 청구항 1에 있어서,
상기 패드 모듈의 몸체(body)부는,
PC(precast concrete)로 구성되는 것
을 특징으로 하는 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템.The method according to claim 1,
The body portion of the pad module,
Composed of PC (precast concrete)
A split-based vibration isolation table system for ultra-precision facilities, characterized by a. 청구항 1에 있어서,
상기 각 H 빔 하부에서 일정 간격으로 배치되어 상기 각 H 빔을 지지하는 H 빔 지지부
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초정밀 설비를 위한 분할기초 제진대 시스템.The method according to claim 1,
H-beam support parts arranged at regular intervals below each H-beam to support each H-beam
Split-based vibration isolation table system for ultra-precision facilities further comprising a.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002030754A (en) * 2000-07-14 2002-01-31 East Japan Railway Co Supporting method for pc floor slab
KR100791079B1 (en) * 2007-01-22 2008-01-04 삼성전자주식회사 Pedestal for control vibration and installation method thereof
KR101510214B1 (en) * 2015-01-09 2015-04-08 (주)파워엔텍 Seismic Resistant Support Frame of Equipment Equipped with Isolation Properties and Vertical Vibration Reduction Device
KR101982195B1 (en) 2018-11-27 2019-05-24 주식회사 브이원 Separable vibration isolation table capable of integrated construction and construction method thereof
KR102232677B1 (en) * 2020-12-29 2021-03-25 황유하 Water tank having improved seismic performance

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002030754A (en) * 2000-07-14 2002-01-31 East Japan Railway Co Supporting method for pc floor slab
KR100791079B1 (en) * 2007-01-22 2008-01-04 삼성전자주식회사 Pedestal for control vibration and installation method thereof
KR101510214B1 (en) * 2015-01-09 2015-04-08 (주)파워엔텍 Seismic Resistant Support Frame of Equipment Equipped with Isolation Properties and Vertical Vibration Reduction Device
KR101982195B1 (en) 2018-11-27 2019-05-24 주식회사 브이원 Separable vibration isolation table capable of integrated construction and construction method thereof
KR102232677B1 (en) * 2020-12-29 2021-03-25 황유하 Water tank having improved seismic performance

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