KR20220125910A - Inkjet printing device - Google Patents

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KR20220125910A
KR20220125910A KR1020210029745A KR20210029745A KR20220125910A KR 20220125910 A KR20220125910 A KR 20220125910A KR 1020210029745 A KR1020210029745 A KR 1020210029745A KR 20210029745 A KR20210029745 A KR 20210029745A KR 20220125910 A KR20220125910 A KR 20220125910A
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inkjet
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inkjet head
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KR1020210029745A
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츠네오 타카시마
고우리
사토시 토모에다
아츠시 야마우치
민청완
최재혁
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

An inkjet printing device includes: a substrate stage movable in a first direction with a substrate loaded thereon; an inkjet head assembly including a plurality of inkjet heads spaced apart from each other by a first distance and ejecting ink to the substrate on the substrate; a plurality of ink storage members respectively connected to the plurality of inkjet heads by a plurality of ink supply pipes on the inkjet head assembly and spaced apart from each other at a second distance wider than the first distance; and an actuator connected to the inkjet head assembly between the plurality of inkjet storage members and the inkjet head assembly to adjust an inclination of the inkjet head assembly. Accordingly, the inkjet printing device can eject ink in place.

Description

잉크젯 프린팅 장치{INKJET PRINTING DEVICE}Inkjet printing device {INKJET PRINTING DEVICE}

본 발명은 잉크젯 프린팅 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 정밀하게 조작 가능하고, 유지 보수가 용이한 잉크젯 프린팅 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inkjet printing apparatus. More particularly, the present invention relates to an inkjet printing apparatus that is precisely operable and easy to maintain.

정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED) 및 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 평판표시장치(Flat Panel Display: FPD)의 사용이 증가하고 있다.As information technology develops, the market for display devices, which is a connection medium between users and information, is growing. Accordingly, a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode (OLED), a flat panel display (FPD), such as a plasma display panel (PDP) usage is increasing.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.A flat panel display using such an organic light emitting diode has a fast response speed and a wide viewing angle, so it is emerging as a next-generation display device. In particular, since the manufacturing process is simple, there is an advantage that the production cost can be greatly reduced compared to the conventional liquid crystal display device.

유기 전계 발광소자를 이용하여 평판표시장치를 제조하는 방법으로서 잉크젯 프린팅 증착 방법이 있다. 일반적으로 잉크젯 프린팅 증착 방법은 기판이 로딩된 기판 스테이지가 이동하게 되고, 상부에서 기판을 향하여 잉크를 토출하게 된다. As a method of manufacturing a flat panel display using an organic electroluminescent device, there is an inkjet printing deposition method. In general, in the inkjet printing deposition method, a substrate stage loaded with a substrate is moved, and ink is discharged toward the substrate from the top.

이때, 기판 스테이지가 이동하는 과정에서 기판 스테이지의 위치 및 기울기가 변동될 수 있다. 또한, 잉크를 토출하는 잉크젯 헤드들의 위치 및 기울기가 변동될 수 있다. 이로 인해 잉크가 기판에 수직한 방향으로 토출되지 않으면(정위치에 토출되지 않으면) 목적하는 패턴이 균일하게 형성되지 않아 제품의 품질이 저하될 수 있다.In this case, the position and inclination of the substrate stage may be changed while the substrate stage is moved. Also, the positions and inclinations of the inkjet heads that discharge ink may be changed. For this reason, if the ink is not ejected in a direction perpendicular to the substrate (if not ejected at the correct position), a desired pattern may not be formed uniformly, and the quality of the product may be deteriorated.

본 발명의 일 목적은 잉크를 정위치에 토출하기 위한 잉크젯 프린팅 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION One object of the present invention is to provide an inkjet printing apparatus for discharging ink to a fixed position.

다만, 본 발명의 목적이 이와 같은 목적들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the object of the present invention is not limited to these objects, and may be variously expanded without departing from the spirit and scope of the present invention.

전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치는 기판이 로딩된 상태로 제1 방향으로 이동 가능한 기판 스테이지, 상기 기판 상에서 상기 기판에 잉크를 토출하고, 서로 제1 간격으로 이격되는 복수의 잉크젯 헤드들을 포함하는 잉크젯 헤드 어셈블리, 상기 잉크젯 헤드 어셈블리 상에서 복수의 잉크 공급관들에 의해 상기 복수의 잉크젯 헤드들과 각각 연결되고, 서로 상기 제1 간격보다 넓은 제2 간격으로 이격되는 복수의 잉크 저장 부재들, 및 상기 복수의 잉크젯 저장 부재들과 상기 잉크젯 헤드 어셈블리 사이에서 상기 잉크젯 헤드 어셈블리와 연결되어 상기 잉크젯 헤드 어셈블리의 기울기를 조절 가능한 액추에이터를 포함할 수 있다.In order to achieve the above object of the present invention, an inkjet printing apparatus according to embodiments includes a substrate stage movable in a first direction in a state in which a substrate is loaded, discharging ink to the substrate on the substrate, and each other first An inkjet head assembly including a plurality of inkjet heads spaced apart from each other, each connected to the plurality of inkjet heads by a plurality of ink supply pipes on the inkjet head assembly, and spaced apart from each other by a second interval wider than the first interval and an actuator connected to the inkjet head assembly between the plurality of inkjet storage members and the inkjet head assembly to adjust a tilt of the inkjet head assembly.

일 실시예에 있어서, 상기 액추에이터는 상기 잉크젯 헤드 어셈블리와 상기 기판 스테이지 사이의 거리를 조절 가능할 수 있다.In an embodiment, the actuator may be capable of adjusting a distance between the inkjet head assembly and the substrate stage.

일 실시예에 있어서, 상기 기판 스테이지 상에서 상기 잉크젯 헤드 어셈블리와 상기 복수의 잉크 저장 부재들을 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 이동시키는 갠트리를 더 포함할 수 있다.In an embodiment, the apparatus may further include a gantry that moves the inkjet head assembly and the plurality of ink storage members in a second direction crossing the first direction on the substrate stage.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 잉크 저장 부재들은 상기 갠트리의 상기 제1 방향에서 상기 갠트리와 연결될 수 있다.In an embodiment, the plurality of ink storage members may be connected to the gantry in the first direction of the gantry.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 잉크젯 헤드들을 구동하기 위한 구동 회로를 포함하고, 상기 복수의 잉크젯 헤드들 각각과 연결 케이블에 의해 연결되는 잉크젯 헤드 구동 어셈블리를 더 포함할 수 있다.In an embodiment, an inkjet head driving assembly including a driving circuit for driving the plurality of inkjet heads and connected to each of the plurality of inkjet heads by a connection cable may be further included.

일 실시예에 있어서, 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리는 상기 갠트리의 상기 제1 방향에서 상기 갠트리 및 상기 잉크젯 헤드들과 연결될 수 있다.In an embodiment, the inkjet head driving assembly may be connected to the gantry and the inkjet heads in the first direction of the gantry.

일 실시예에 있어서, 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리는 상기 갠트리의 상기 제1 방향에 반대되는 제3 방향에서 상기 갠트리 및 상기 잉크젯 헤드들과 연결될 수 있다.In an embodiment, the inkjet head driving assembly may be connected to the gantry and the inkjet heads in a third direction opposite to the first direction of the gantry.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 잉크 저장 부재들은 상기 복수의 잉크젯 헤드들을 구동하기 위한 구동 회로를 포함하는 잉크젯 헤드 구동 어셈블리를 포함하고, 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리는 상기 복수의 잉크젯 헤드들 각각과 연결 케이블에 의해 연결될 수 있다.In an embodiment, the plurality of ink storage members include an inkjet head driving assembly including a driving circuit for driving the plurality of inkjet heads, and the inkjet head driving assembly is connected to each of the plurality of inkjet heads. They can be connected by cables.

일 실시예에 있어서, 상기 갠트리는 상기 복수의 잉크젯 헤드들 및 상기 복수의 잉크 저장부재와 상기 기판 스테이지 사이의 거리를 조절 가능할 수 있다.In an embodiment, the gantry may be capable of adjusting a distance between the plurality of inkjet heads and the plurality of ink storage members and the substrate stage.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 잉크 저장 부재들은 상기 갠트리의 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향에 반대되는 제3 방향에서 상기 갠트리와 연결될 수 있다.In an embodiment, the plurality of ink storage members may be connected to the gantry in the first direction of the gantry and in a third direction opposite to the first direction.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 잉크젯 헤드들을 구동하기 위한 구동 회로를 포함하고, 상기 복수의 잉크젯 헤드들 각각과 연결 케이블에 의해 연결되는 복수의 잉크젯 헤드 구동 어셈블리들을 더 포함할 수 있다.In one embodiment, a driving circuit for driving the plurality of inkjet heads may be included, and the plurality of inkjet head driving assemblies may further include a plurality of inkjet head driving assemblies connected to each of the plurality of inkjet heads by a connection cable.

일 실시예에 있어서, 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리들은 상기 갠트리의 상기 제1 방향 및 상기 제3 방향에서 상기 갠트리 및 상기 잉크젯 헤드들과 연결될 수 있다.In an embodiment, the inkjet head driving assemblies may be connected to the gantry and the inkjet heads in the first direction and the third direction of the gantry.

일 실시예에 있어서, 상기 기판 스테이지의 상기 제2 방향에 배치되고, 상기 복수의 잉크젯 헤드들을 유지 보수하는 메인터넌스 스테이지를 더 포함할 수 있다.In an embodiment, the display device may further include a maintenance stage disposed in the second direction of the substrate stage and configured to maintain the plurality of inkjet heads.

일 실시예에 있어서, 상기 복수의 잉크 공급관들은 상기 복수의 잉크 저장 부재들 각각과 커플러에 의해 연결될 수 있다.In an embodiment, the plurality of ink supply pipes may be connected to each of the plurality of ink storage members by a coupler.

본 발명의 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치는 기판이 로딩된 상태로 제1 방향으로 이동 가능한 기판 스테이지, 상기 기판 상에서 상기 기판에 잉크를 토출하고, 서로 제1 간격으로 이격되는 복수의 잉크젯 헤드들을 포함하는 잉크젯 헤드 어셈블리 및 복수의 잉크 공급관들에 의해 상기 복수의 잉크젯 헤드들과 각각 연결되고, 서로 제1 간격보다 넓은 제2 간격으로 이격되는 복수의 잉크 저장 부재들을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크젯 프린팅 장치가 대형화되어도 상기 구성들을 연결하는 배선 및 공급관들이 배치되기 위한 공간을 용이하게 확보할 수 있다.Inkjet printing apparatus according to embodiments of the present invention includes a substrate stage movable in a first direction in a state in which a substrate is loaded, and a plurality of inkjet heads that discharge ink to the substrate on the substrate and are spaced apart from each other by a first interval. The plurality of ink storage members may be respectively connected to the plurality of inkjet heads by an inkjet head assembly including a plurality of ink supply pipes and spaced apart from each other by a second interval wider than the first interval. Accordingly, even if the inkjet printing apparatus is enlarged, it is possible to easily secure a space for arranging wirings and supply pipes connecting the components.

또한, 상기 잉크젯 프린팅 장치는 액추에이터를 더 포함할 수 있다. 상기 액추에이터는 상기 잉크젯 헤드 어셈블리와 인접한 부분에서 상기 잉크젯 헤드 어셈블리와 연결되어 상기 잉크젯 헤드 어셈블리의 기울기를 조절 가능하고, 상기 잉크젯 헤드 어셈블리와 상기 기판 스테이지 사이의 거리를 조절 가능할 수 있다.In addition, the inkjet printing apparatus may further include an actuator. The actuator may be connected to the inkjet head assembly at a portion adjacent to the inkjet head assembly to adjust a tilt of the inkjet head assembly and to adjust a distance between the inkjet head assembly and the substrate stage.

이와 같이, 상기 액추에이터가 상기 잉크젯 헤드 어셈블리의 높이 및 기울기를 상기 잉크젯 헤드 어셈블리와 인접한 위치에서 조절함으로써, 잉크 저장 부재 등의 높이를 조절할 필요 없이 최소한의 움직임으로 잉크젯 헤드들의 높이 및 기울기를 조절하게 되어 정밀하고 세밀하게 잉크젯 프린팅 장치를 조절할 수 있다.In this way, the actuator adjusts the height and inclination of the inkjet head assembly at a position adjacent to the inkjet head assembly, thereby adjusting the height and inclination of the inkjet heads with minimal movement without the need to adjust the height of the ink storage member. The inkjet printing device can be controlled precisely and precisely.

다만, 본 발명의 효과가 전술한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and may be variously expanded without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 2는 도 1의 I-I' 라인을 따라 절취한 일 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치를 나타내는 도면들이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치를 나타내는 도면들이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치를 나타내는 도면들이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치를 나타내는 도면들이다.
1 is a block diagram schematically illustrating a display device according to an exemplary embodiment.
FIG. 2 is a cross-sectional view schematically illustrating an embodiment taken along line II′ of FIG. 1 .
3 and 4 are views illustrating an inkjet printing apparatus according to embodiments of the present invention.
5 and 6 are views illustrating an inkjet printing apparatus according to embodiments of the present invention.
7 and 8 are views illustrating an inkjet printing apparatus according to embodiments of the present invention.
9 and 10 are views illustrating an inkjet printing apparatus according to embodiments of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들에 따른 본딩 장치를 보다 상세하게 설명한다. 첨부된 도면들 상의 동일한 구성 요소들에 대해서는 동일하거나 유사한 참조 부호들을 사용한다.Hereinafter, a bonding apparatus according to embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The same or similar reference numerals are used for the same components in the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타내는 블록도이다.1 is a block diagram schematically illustrating a display device according to an exemplary embodiment.

도 1을 참조하면, 상기 표시 장치는 복수의 화소들(P)을 포함하는 표시 패널(DP), 데이터 구동부(DDV), 게이트 구동부(GDV) 및 타이밍 제어부(CON)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1 , the display device may include a display panel DP including a plurality of pixels P, a data driver DDV, a gate driver GDV, and a timing controller CON.

상기 표시 장치는 상기 표시 패널(DP)을 통해 영상을 표시할 수 있다. 이를 위해, 상기 표시 패널(DP)은 상기 화소들(P) 및 상기 화소들(P)과 연결되는 발광 소자들을 포함할 수 있다. 실시예들에 있어서, 상기 표시 패널(DP)은 단일한 패널로 구성될 수 있다. 또는, 실시예들에 있어서, 상기 표시 패널(DP)은 복수의 패널들이 연결되어 구성될 수 있다. The display device may display an image through the display panel DP. To this end, the display panel DP may include the pixels P and light emitting devices connected to the pixels P. In some embodiments, the display panel DP may be configured as a single panel. Alternatively, in some embodiments, the display panel DP may be configured by connecting a plurality of panels.

상기 타이밍 제어부(CON)는 외부로부터 제공되는 제어 신호(CTRL) 및 입력 영상 데이터(IDAT)에 기초하여 게이트 제어 신호(GCTRL), 데이터 제어 신호(DCTRL) 및 출력 영상 데이터(ODAT)를 생성할 수 있다. 예를 들어, 상기 제어 신호(CTRL)는 수직 동기 신호, 수평 동기 신호, 입력 데이터 인에이블 신호, 마스터 클록 신호 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 입력 영상 데이터(IDAT)는 적색 영상 데이터, 녹색 영상 데이터 및 청색 영상 데이터를 포함하는 RGB 데이터일 수 있다. 또는, 상기 입력 영상 데이터(IDAT)는 마젠타색 영상 데이터, 시안색 영상 데이터, 황색 영상 데이터를 포함할 수도 있다.The timing controller CON may generate the gate control signal GCTRL, the data control signal DCTRL, and the output image data ODAT based on the control signal CTRL and the input image data IDAT provided from the outside. have. For example, the control signal CTRL may include a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, an input data enable signal, a master clock signal, and the like. For example, the input image data IDAT may be RGB data including red image data, green image data, and blue image data. Alternatively, the input image data IDAT may include magenta image data, cyan image data, and yellow image data.

상기 게이트 구동부(GDV)는 상기 타이밍 제어부(CON)로부터 제공되는 상기 게이트 제어 신호(GCTRL)에 기초하여 게이트 신호들을 생성할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 제어 신호(GCTRL)는 수직 개시 신호, 클록 신호 등을 포함할 수 있다. 실시예들에 있어서, 상기 게이트 구동부(GDV)는 별도의 패널로 제작되어 상기 표시 패널(DP)에 연결될 수 있다. 상기 게이트 구동부(GDV)는 상기 표시 패널(DP)과 전기적으로 연결되며, 상기 게이트 신호들을 순차적으로 출력할 수 있다. 상기 화소들(P) 각각은 상기 게이트 신호들 각각의 제어에 따라 데이터 전압을 제공받을 수 있다.The gate driver GDV may generate gate signals based on the gate control signal GCTRL provided from the timing controller CON. For example, the gate control signal GCTRL may include a vertical start signal, a clock signal, and the like. In some embodiments, the gate driver GDV may be manufactured as a separate panel and connected to the display panel DP. The gate driver GDV may be electrically connected to the display panel DP and sequentially output the gate signals. Each of the pixels P may receive a data voltage according to control of each of the gate signals.

상기 데이터 구동부(DDV)는 상기 타이밍 제어부(CON)로부터 제공되는 상기 데이터 제어 신호(DCTRL) 및 상기 출력 영상 데이터(ODAT)에 기초하여 상기 데이터 전압을 생성할 수 있다. 예를 들어, 상기 데이터 제어 신호(DCTRL)는 출력 데이터 인에이블 신호, 수평 개시 신호, 로드 신호 등을 포함할 수 있다. 실시예들에 있어서, 상기 데이터 구동부(DDV)는 별도의 패널로 제작되어 상기 표시 패널(DP)과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 데이터 구동부(DDV)는 상기 표시 패널(DP)과 전기적으로 연결되며, 복수의 데이터 전압들을 생성할 수 있다. 상기 화소들(P) 각각은 상기 데이터 전압들 각각에 상응하는 휘도에 대한 신호를 상기 발광 소자들로 전달할 수 있다. The data driver DDV may generate the data voltage based on the data control signal DCTRL provided from the timing controller CON and the output image data ODAT. For example, the data control signal DCTRL may include an output data enable signal, a horizontal start signal, and a load signal. In some embodiments, the data driver DDV may be manufactured as a separate panel and may be electrically connected to the display panel DP. The data driver DDV may be electrically connected to the display panel DP and may generate a plurality of data voltages. Each of the pixels P may transmit a luminance signal corresponding to each of the data voltages to the light emitting devices.

도 2는 도 1의 I-I' 라인을 따라 절취한 일 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view schematically illustrating an embodiment taken along line I-I' of FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 표시 장치는 기판(SUB), 버퍼층(BUF), 게이트 절연층(GI), 층간 절연층(ILD), 비아 절연층(VIA), 트랜지스터(TFT), 화소 정의막(PDL), 및 유기 발광 다이오드(OLED)를 포함할 수 있다.1 and 2 , the display device includes a substrate SUB, a buffer layer BUF, a gate insulating layer GI, an interlayer insulating layer ILD, a via insulating layer VIA, a transistor TFT, and a pixel. It may include a defining layer (PDL) and an organic light emitting diode (OLED).

상기 트랜지스터(TFT)는 액티브층(ACT), 게이트 전극(GAT), 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)을 포함할 수 있다. 상기 유기 발광 다이오드(OLED)는 애노드 전극(AND), 발광층(EL) 및 캐소드 전극(CATH)을 포함할 수 있다. The transistor TFT may include an active layer ACT, a gate electrode GAT, a source electrode SE, and a drain electrode DE. The organic light emitting diode OLED may include an anode electrode AND, an emission layer EL, and a cathode electrode CATH.

실시예들에 있어서, 상기 기판(SUB)은 리지드한 특성을 가질 수 있다. 이 때, 상기 기판(SUB)은 유리, 석영 등을 포함할 수 있다. 또한, 실시예들에 있어서, 상기 기판(SUB)은 플렉서블한 특성을 가질 수 있다. 이 때, 상기 기판(SUB)은 플라스틱 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 기판(SUB)은 폴리이미드를 포함할 수 있다.In some embodiments, the substrate SUB may have a rigid characteristic. In this case, the substrate SUB may include glass, quartz, or the like. Also, in some embodiments, the substrate SUB may have a flexible characteristic. In this case, the substrate SUB may include plastic or the like. For example, the substrate SUB may include polyimide.

상기 버퍼층(BUF)은 상기 기판(SUB) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 버퍼층(BUF)은 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산질화물(SiON) 등을 포함할 수 있다. 상기 버퍼층(BUF)은 금속 원자들이나 불순물들이 상기 액티브층(ACT)으로 확산되지 않도록 할 수 있다. 또한, 상기 버퍼층(BUF)은 상기 액티브층(ACT)을 형성하기 위한 결정화 공정 동안 상기 액티브층(ACT)으로 제공되는 열의 속도를 조절할 수 있다.The buffer layer BUF may be disposed on the substrate SUB. For example, the buffer layer BUF may include silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), or the like. The buffer layer BUF may prevent metal atoms or impurities from diffusing into the active layer ACT. Also, the buffer layer BUF may control the rate of heat provided to the active layer ACT during a crystallization process for forming the active layer ACT.

상기 액티브층(ACT)은 상기 버퍼층(BUF) 상에 배치될 수 있다. 실시예들에 있어서, 상기 액티브층(ACT)은 실리콘 반도체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 액티브층(ACT)은 비정질 실리콘, 다결정 실리콘 등을 포함할 수 있다. 또는, 실시예들에 있어서, 상기 액티브층(ACT)은 산화물 반도체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 액티브층(ACT)은 인듐-갈륨-아연 산화물(IGZO), 인듕-갈륨 산화물(IGO), 인듐-아연 산화물(IZO) 등을 포함할 수 있다.The active layer ACT may be disposed on the buffer layer BUF. In some embodiments, the active layer ACT may include a silicon semiconductor. For example, the active layer ACT may include amorphous silicon, polycrystalline silicon, or the like. Alternatively, in some embodiments, the active layer ACT may include an oxide semiconductor. For example, the active layer ACT may include indium-gallium-zinc oxide (IGZO), indium-gallium oxide (IGO), indium-zinc oxide (IZO), or the like.

상기 게이트 절연층(GI)은 상기 버퍼층(BUF) 상에 배치될 수 있다. 상기 게이트 절연층(GI)은 상기 액티브층(ACT)을 덮으며 배치될 수 있다. 상기 게이트 절연층(GI)은 절연 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 절연층(GI)은 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산질화물(SiON) 등을 포함할 수 있다.The gate insulating layer GI may be disposed on the buffer layer BUF. The gate insulating layer GI may be disposed to cover the active layer ACT. The gate insulating layer GI may include an insulating material. For example, the gate insulating layer GI may include silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), or the like.

상기 게이트 전극(GAT)은 상기 게이트 절연층(GI) 상에 배치될 수 있다. 상기 게이트 전극(GAT)은 상기 액티브층(ACT)과 중첩할 수 있다. 상기 게이트 전극(GAT)으로 제공되는 게이트 신호에 응답하여, 상기 액티브층(ACT)에 신호 및/또는 전압이 흐를 수 있다. 일 실시예에서, 상기 게이트 전극(GAT)은 금속, 합금, 금속 산화물, 투명 도전 물질 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 전극(GAT)은 은(Ag), 은을 함유하는 합금, 몰리브데늄(Mo), 몰리브데늄을 함유하는 합금, 알루미늄(Al), 알루미늄을 함유하는 합금, 알루미늄 질화물(AlN), 텅스텐(W), 텅스텐 질화물(WN), 구리(Cu), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 크롬 질화물(CrN), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 백금(Pt), 스칸듐(Sc), 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO) 등을 포함할 수 있다.The gate electrode GAT may be disposed on the gate insulating layer GI. The gate electrode GAT may overlap the active layer ACT. A signal and/or a voltage may flow through the active layer ACT in response to a gate signal provided to the gate electrode GAT. In an embodiment, the gate electrode GAT may include a metal, an alloy, a metal oxide, a transparent conductive material, or the like. For example, the gate electrode GAT may include silver (Ag), an alloy containing silver, molybdenum (Mo), an alloy containing molybdenum, aluminum (Al), an alloy containing aluminum, or aluminum nitride. (AlN), tungsten (W), tungsten nitride (WN), copper (Cu), nickel (Ni), chromium (Cr), chromium nitride (CrN), titanium (Ti), tantalum (Ta), platinum (Pt) , scandium (Sc), indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and the like.

상기 층간 절연층(ILD)은 상기 게이트 절연층(GI) 상에 배치될 수 있다. 상기 층간 절연층(ILD)은 상기 게이트 전극(GAT)을 덮으며 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 층간 절연층(ILD)은 절연 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 층간 절연층(ILD)은 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산질화물(SiON) 등을 포함할 수 있다.The interlayer insulating layer ILD may be disposed on the gate insulating layer GI. The interlayer insulating layer ILD may be disposed to cover the gate electrode GAT. In an embodiment, the interlayer insulating layer ILD may include an insulating material. For example, the interlayer insulating layer ILD may include silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), or the like.

상기 소스 전극(SE) 및 상기 드레인 전극(DE)은 상기 층간 절연층(ILD) 상에 배치될 수 있다. 상기 소스 전극(SE) 및 상기 드레인 전극(DE)은 상기 액티브층(ACT)과 접촉할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 소스 전극(SE) 및 상기 드레인 전극(DE)은 금속, 합금, 금속 산화물, 투명 도전 물질 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 소스 전극(SE) 및 상기 드레인 전극(DE)은 은(Ag), 은을 함유하는 합금, 몰리브데늄(Mo), 몰리브데늄을 함유하는 합금, 알루미늄(Al), 알루미늄을 함유하는 합금, 알루미늄 질화물(AlN), 텅스텐(W), 텅스텐 질화물(WN), 구리(Cu), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 크롬 질화물(CrN), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 백금(Pt), 스칸듐(Sc), 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO) 등을 포함할 수 있다.The source electrode SE and the drain electrode DE may be disposed on the interlayer insulating layer ILD. The source electrode SE and the drain electrode DE may contact the active layer ACT. In an embodiment, the source electrode SE and the drain electrode DE may include a metal, an alloy, a metal oxide, a transparent conductive material, or the like. For example, the source electrode SE and the drain electrode DE may include silver (Ag), an alloy containing silver, molybdenum (Mo), an alloy containing molybdenum, aluminum (Al), or aluminum. Alloys containing Ta), platinum (Pt), scandium (Sc), indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and the like.

상기 비아 절연층(VIA)은 상기 층간 절연층(ILD) 상에 배치될 수 있다. 상기 비아 절연층(VIA)은 상기 소스 전극(SE) 및 상기 드레인 전극(DE)을 덮으며 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 비아 절연층(VIA)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 그에 따라, 상기 비아 절연층(VIA)은 실질적으로 평탄한 상면을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 비아 절연층(VIA)은 포토레지스트, 폴리아크릴계 수지, 폴리이미드계 수지, 아크릴계 수지 등을 포함할 수 있다.The via insulating layer VIA may be disposed on the interlayer insulating layer ILD. The via insulating layer VIA may be disposed to cover the source electrode SE and the drain electrode DE. In an embodiment, the via insulating layer VIA may include an organic insulating material. Accordingly, the via insulating layer VIA may have a substantially flat top surface. For example, the via insulating layer VIA may include a photoresist, a polyacrylic resin, a polyimide resin, an acrylic resin, or the like.

상기 애노드 전극(AND)은 상기 비아 절연층(VIA) 상에 배치될 수 있다. 상기 애노드 전극(AND)은 상기 드레인 전극(DE)과 접촉할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 애노드 전극(AND)은 금속, 합금, 금속 산화물, 투명 도전 물질 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 애노드 전극(AND)은 은(Ag), 은을 함유하는 합금, 몰리브데늄(Mo), 몰리브데늄을 함유하는 합금, 알루미늄(Al), 알루미늄을 함유하는 합금, 알루미늄 질화물(AlN), 텅스텐(W), 텅스텐 질화물(WN), 구리(Cu), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 크롬 질화물(CrN), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 백금(Pt), 스칸듐(Sc), 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO) 등을 포함할 수 있다.The anode electrode AND may be disposed on the via insulating layer VIA. The anode electrode AND may contact the drain electrode DE. In an embodiment, the anode electrode AND may include a metal, an alloy, a metal oxide, a transparent conductive material, or the like. For example, the anode electrode AND may include silver (Ag), an alloy containing silver, molybdenum (Mo), an alloy containing molybdenum, aluminum (Al), an alloy containing aluminum, or aluminum nitride. (AlN), tungsten (W), tungsten nitride (WN), copper (Cu), nickel (Ni), chromium (Cr), chromium nitride (CrN), titanium (Ti), tantalum (Ta), platinum (Pt) , scandium (Sc), indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and the like.

상기 화소 정의막(PDL)은 상기 비아 절연층(VIA) 상에 배치될 수 있다. 상기 화소 정의막(PDL)에는 상기 애노드 전극(AND)을 노출시키는 개구가 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 화소 정의막(PDL)은 유기 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 화소 정의막(PDL)은 포토레지스트, 폴리아크릴계 수지, 폴리이미드계 수지, 아크릴계 수지 등을 포함할 수 있다.The pixel defining layer PDL may be disposed on the via insulating layer VIA. An opening exposing the anode electrode AND may be formed in the pixel defining layer PDL. In an embodiment, the pixel defining layer PDL may include an organic material. For example, the pixel defining layer PDL may include a photoresist, a polyacrylic resin, a polyimide resin, an acrylic resin, or the like.

실시예들에 있어서, 상기 화소 정의막(PDL)은 상기 수지 조성물을 포함할 수 있다. 즉, 상기 화소 정의막(PDL)은 상기 폴리이미드, 상기 자외선 흡수제, 및 상기 N-메틸-2-피롤리돈(N-methyl-2-pyrrolidone)을 포함하는 수지 조성물을 이용하여 형성될 수 있다. In some embodiments, the pixel defining layer PDL may include the resin composition. That is, the pixel defining layer PDL may be formed using a resin composition including the polyimide, the ultraviolet absorber, and the N-methyl-2-pyrrolidone. .

상기 발광층(EL)은 상기 애노드 전극(AND) 상에 배치될 수 있다. 상기 발광층(EL)은 기설정된 색의 광을 방출하는 유기물을 포함할 수 있다. 상기 발광층(EL)은 상기 애노드 전극(AND) 및 상기 캐소드 전극(CATH)의 전위차에 기초하여 상기 광을 방출할 수 있다.The emission layer EL may be disposed on the anode electrode AND. The emission layer EL may include an organic material emitting light of a predetermined color. The light emitting layer EL may emit the light based on a potential difference between the anode electrode AND and the cathode electrode CATH.

또한, 상기 발광층(EL)은 정공 주입층(hole injection layer, HIL), 정공 수송층(hole transport layer, HTL), 전자 수송층(electron transport layer, ETL) 및 전자 주입층(electron injection layer, EIL) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. In addition, the light emitting layer EL may include a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), an electron transport layer (ETL), and an electron injection layer (EIL). It may include at least one.

상기 캐소드 전극(CATH)은 상기 발광층(EL) 상에 배치될 수 있다. 상기 캐소드 전극(CATH)은 은 금속, 합금, 금속 산화물, 투명 도전 물질 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 캐소드 전극(CATH)은 은(Ag), 은을 함유하는 합금, 몰리브데늄(Mo), 몰리브데늄을 함유하는 합금, 알루미늄(Al), 알루미늄을 함유하는 합금, 알루미늄 질화물(AlN), 텅스텐(W), 텅스텐 질화물(WN), 구리(Cu), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 크롬 질화물(CrN), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 백금(Pt), 스칸듐(Sc), 인듐-주석 산화물(ITO), 인듐-아연 산화물(IZO) 등을 포함할 수 있다.The cathode electrode CATH may be disposed on the emission layer EL. The cathode electrode CATH may include silver metal, an alloy, a metal oxide, a transparent conductive material, or the like. For example, the cathode electrode CATH may include silver (Ag), an alloy containing silver, molybdenum (Mo), an alloy containing molybdenum, aluminum (Al), an alloy containing aluminum, or aluminum nitride. (AlN), tungsten (W), tungsten nitride (WN), copper (Cu), nickel (Ni), chromium (Cr), chromium nitride (CrN), titanium (Ti), tantalum (Ta), platinum (Pt) , scandium (Sc), indium-tin oxide (ITO), indium-zinc oxide (IZO), and the like.

전술한 표시 장치를 구성하는 각 층들 중 적어도 일부는 잉크젯 프린팅 공정에 의해 형성될 수 있다. 최근 상기 표시 장치는 대형화되고, 동일한 면적에 더 많은 수의 화소들이 배치되고 있다. 상기 표시 장치에 잉크젯 공정을 효율적으로 진행하기 위해, 잉크젯 프린팅 장치도 대형화되고 있다. 또한, 화소들이 배치되는 밀도가 증가함에 따라 잉크젯 프린팅 공정이 더욱 정밀하게 진행되어야 할 필요가 있다. 이하, 도 3 이하를 참조하여 정밀한 잉크젯 프린팅 공정이 가능한 본 발명의 실시예들을 설명하기로 한다.At least a portion of each of the layers constituting the above-described display device may be formed by an inkjet printing process. Recently, the display device has been enlarged, and a larger number of pixels are disposed in the same area. In order to efficiently perform an inkjet process on the display device, an inkjet printing device has also been enlarged. In addition, as the density at which pixels are disposed increases, the inkjet printing process needs to be performed more precisely. Hereinafter, embodiments of the present invention capable of a precise inkjet printing process will be described with reference to FIG. 3 or less.

도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치를 나타내는 도면들이다.3 and 4 are views illustrating an inkjet printing apparatus according to embodiments of the present invention.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 잉크젯 프린팅 장치는 기판 스테이지(2), 갠트리, 베이스층(5), 및 메인터넌스 스테이지(6)를 포함할 수 있다. 상기 기판 스테이지(2) 상에는 기판(1)이 로딩 또는 언로딩 될 수 있다. 상기 갠트리는 갠트리 스테이지(3) 및 갠트리 프레임(4)을 포함할 수 있다. 상기 갠트리 스테이지(3)는 상기 갠트리 프레임(4)에 연결되어 이동할 수 있다.3 and 4 , the inkjet printing apparatus may include a substrate stage 2 , a gantry, a base layer 5 , and a maintenance stage 6 . A substrate 1 may be loaded or unloaded on the substrate stage 2 . The gantry may include a gantry stage 3 and a gantry frame 4 . The gantry stage 3 is connected to the gantry frame 4 to move.

상기 기판(1)이 상기 기판 스테이지(2) 상에 로딩된 후, 잉크젯 프린팅 공정이 완료되면 상기 기판(1)은 상기 기판 스테이지(2) 상에서 언로딩되어야 한다. 이를 위해, 상기 기판 스테이지(2)는 제1 방향(Y)으로 이동할 수 있다. 도 3에서는 상기 기판 스테이지(2)가 제1 방향(Y)으로만 이동 가능하도록 도시되었지만, 이는 예시적인 것으로 상기 기판 스테이지(2)는 필요에 따라 상기 제1 방향(Y)에 교차하는 제2 방향(X)으로도 움직일 수 있다. After the substrate 1 is loaded on the substrate stage 2 , when the inkjet printing process is completed, the substrate 1 should be unloaded on the substrate stage 2 . To this end, the substrate stage 2 may move in the first direction Y. Although the substrate stage 2 is illustrated to be movable only in the first direction Y in FIG. 3 , this is exemplary and the substrate stage 2 may be moved in a second direction intersecting the first direction Y if necessary. It can also move in the direction (X).

상기 갠트리 스테이지(3)는 상기 갠트리 프레임(4)에 연결되어 상기 제2 방향(X)으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 갠트리 스테이지(3)는 상기 메인터넌스 스테이지(6) 상으로 이동할 수 있다. 실시예들에 있어서, 상기 갠트리 스테이지(3)에는 잉크젯 헤드가 연결될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드를 이용하여 잉크젯 프린팅 공정이 진행되는 중에, 상기 잉크젯 헤드에 문제가 발생할 수 있다. 예를 들어, 상기 잉크젯 헤드의 토출구가 막힐 수 있다. 이와 같은 문제를 해결하기 위해, 상기 갠트리 스테이지(3)가 상기 메인터넌스 스테이지(6) 상으로 이동하여 상기 잉크젯 헤드를 유지 보수할 수 있다. 즉, 상기 갠트리 스테이지(3)는 상기 갠트리 프레임(4)에 연결된 채로 상기 제2 방향(X)으로 이동할 수 있다.The gantry stage 3 may be connected to the gantry frame 4 and move in the second direction X. Accordingly, the gantry stage 3 may move onto the maintenance stage 6 . In some embodiments, an inkjet head may be connected to the gantry stage 3 . During an inkjet printing process using the inkjet head, a problem may occur in the inkjet head. For example, the discharge port of the inkjet head may be blocked. In order to solve such a problem, the gantry stage 3 may be moved onto the maintenance stage 6 to maintain the inkjet head. That is, the gantry stage 3 may move in the second direction X while being connected to the gantry frame 4 .

상기 베이스층(5)은 전술한 구성들이 배치되는 베이스 공간을 제공할 수 있다. 즉, 상기 기판 스테이지(2), 상기 갠트리, 상기 메인터넌스 스테이지(6) 등은 상기 베이스층(5) 상에 배치될 수 있다.The base layer 5 may provide a base space in which the above-described components are disposed. That is, the substrate stage 2 , the gantry, the maintenance stage 6 , and the like may be disposed on the base layer 5 .

도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치를 나타내는 도면들이다. 도 5 및 도 6은 도 3 및 도 4의 잉크젯 프린팅 장치를 상세하게 도시한 것이다. 이에 따라, 중복되는 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다.5 and 6 are views illustrating an inkjet printing apparatus according to embodiments of the present invention. 5 and 6 are detailed views of the inkjet printing apparatus of FIGS. 3 and 4 . Accordingly, a description of the overlapping configuration will be omitted.

도 3 내지 도 6을 참조하면, 상기 잉크젯 프린팅 장치는 잉크 공급 박스(7), 복수의 잉크젯 헤드들(8), 상기 잉크젯 헤드들(8)이 탑재되는 잉크젯 헤드 어셈블리(9), 액추에이터(10), 복수의 잉크 공급관들(11), 커플러(12), 복수의 잉크 저장 부재들(13), 잉크젯 헤드 어셈블리(9) 및 잉크 저장 부재들(13)을 제3 방향(Z)으로 이동시키는 승강 스테이지(14), 구동 회로(15), 상기 구동 회로(15)를 포함하는 잉크젯 헤드 구동 어셈블리(16), 및 연결 케이블(17)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제3 방향(Z)은 상기 제1 방향(Y) 및 상기 제2 방향(X)에 수직한 방향으로 정의될 수 있다.3 to 6 , the inkjet printing apparatus includes an ink supply box 7 , a plurality of inkjet heads 8 , an inkjet head assembly 9 on which the inkjet heads 8 are mounted, and an actuator 10 . ), the plurality of ink supply pipes 11 , the coupler 12 , the plurality of ink storage members 13 , the inkjet head assembly 9 and the ink storage members 13 to move in the third direction Z It may include a lifting stage 14 , a driving circuit 15 , an inkjet head driving assembly 16 including the driving circuit 15 , and a connection cable 17 . Here, the third direction (Z) may be defined as a direction perpendicular to the first direction (Y) and the second direction (X).

상기 잉크 공급 박스(7) 내에는 복수의 잉크 저장 부재(13)가 배치될 수 있다. 상기 잉크 저장 부재(13)는 잉크 저장 탱크 및 제어 밸브를 포함할 수 있다. 상기 잉크 저장 부재(13)의 잉크 저장 탱크에는 잉크가 저장될 수 있다. 상기 잉크 저장 부재(13)는 상기 잉크 공급관들(11)에 의해 상기 잉크젯 헤드들(8)과 연결될 수 있다. 상기 잉크 저장 부재(13)에 저장되어 있는 잉크는 상기 잉크 공급관(11)을 통해 상기 잉크젯 헤드들(8)로 흐를 수 있다. 이 후, 상기 잉크젯 헤드들(8)에서 토출된 잉크는 표시 장치의 제조에 사용될 수 있다.A plurality of ink storage members 13 may be disposed in the ink supply box 7 . The ink storage member 13 may include an ink storage tank and a control valve. Ink may be stored in the ink storage tank of the ink storage member 13 . The ink storage member 13 may be connected to the inkjet heads 8 by the ink supply pipes 11 . Ink stored in the ink storage member 13 may flow to the inkjet heads 8 through the ink supply pipe 11 . Thereafter, the ink discharged from the inkjet heads 8 may be used for manufacturing a display device.

실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드들(8)이 서로 이격되는 제1 거리는 상기 잉크 저장 부재들(13)이 서로 이격되는 제2 거리보다 작을 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크 저장 부재들(13)과 인접한 영역에서 상기 잉크젯 헤드들(8)과 상기 잉크 저장 부재들(13)을 연결하는 잉크 공급관들(11)이 배치되는 공간을 넓게 확보할 수 있다. 다시 말하면, 상기 잉크젯 헤드들(8)과 인접한 영역에서는 잉크 공급관들(11)이 서로 밀집하게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크 공급관들(11)에 문제(예를 들어, 관 막힘 등)가 발생했을 때, 상기 잉크 저장 부재들(13)과 인접한 영역에서 상기 잉크 공급관들(11)을 유지 보수하는 것이 더 용이할 수 있다.In some embodiments, a first distance by which the inkjet heads 8 are spaced apart from each other may be smaller than a second distance by which the ink storage members 13 are spaced apart from each other. Accordingly, it is possible to secure a wide space in which the ink supply pipes 11 connecting the inkjet heads 8 and the ink storage members 13 are disposed in an area adjacent to the ink storage members 13 . . In other words, in an area adjacent to the inkjet heads 8 , the ink supply pipes 11 may be densely disposed with each other. Accordingly, when a problem (eg, tube blockage, etc.) occurs in the ink supply pipes 11 , it is better to maintain the ink supply pipes 11 in an area adjacent to the ink storage members 13 . It could be easier.

또한, 상기 제2 거리가 상기 제1 거리보다 크게 배치됨에 따라, 상기 잉크 저장 부재(13)에서 상기 잉크 공급관(11)을 탈부착할 수 있도록 연결하는 커플러(12)가 용이하게 사용될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 거리가 넓게 배치됨에 따라, 크기가 상대적으로 큰 커플러(12)가 사용될 수 있다. 상기 커플러(12)로는 누수방지 밸브 타입이 사용될 수 있다. 이를 통해, 상기 잉크 공급관(11)을 상기 잉크 저장 부재(13)에서 탈착할 때마다 잉크 배출을 할 필요가 없어져서 잉크젯 프린팅 장치의 유지 보수성이 향상될 수 있다.In addition, as the second distance is greater than the first distance, the coupler 12 for connecting the ink supply pipe 11 to and from the ink storage member 13 to be detachably attached can be easily used. For example, as the second distance is widened, a coupler 12 having a relatively large size may be used. As the coupler 12, a leak-proof valve type may be used. As a result, there is no need to discharge ink every time the ink supply pipe 11 is detached from the ink storage member 13 , so that the maintainability of the inkjet printing apparatus can be improved.

다만, 실시예들에 있어서, 상기 잉크 공급관들(11) 및 상기 잉크 저장 부재들(13)은 멀티 조인트 커넥터 또는 유사 탈착식 배관 연결 부재들을 통해 서로 연결될 수도 있다.However, in some embodiments, the ink supply pipes 11 and the ink storage members 13 may be connected to each other through a multi-joint connector or similar detachable pipe connection members.

상기 잉크젯 헤드들(8)은 잉크젯 헤드 어셈블리(9)에 탑재될 수 있다. 이 때, 상기 잉크젯 헤드 어셈블리(9)는 상기 잉크젯 헤드들(8)의 높이 및 기울기를 조절하여 잉크가 기판에 정밀하게 토출되도록 할 수 있다. 상기 표시 장치의 크기가 대형화되고, 화소들이 배치되는 밀도가 커짐에 따라, 상기 잉크젯 헤드들(8)을 정밀하게 조절할 필요가 있다.The inkjet heads 8 may be mounted on the inkjet head assembly 9 . In this case, the inkjet head assembly 9 may adjust the height and inclination of the inkjet heads 8 so that ink is precisely discharged to the substrate. As the size of the display device increases and the density at which pixels are arranged increases, it is necessary to precisely control the inkjet heads 8 .

상기 잉크젯 헤드 어셈블리(9)의 높이 및 기울기는 상기 액추에이터(10)에 의해 조절될 수 있다. 상기 액추에이터(10)는 상기 제3 방향(Z)으로 길이를 조절함으로써, 상기 잉크젯 헤드 어셈블리(9)와 기판 사이의 거리를 조절할 수 있다.The height and inclination of the inkjet head assembly 9 may be adjusted by the actuator 10 . The actuator 10 may adjust the distance between the inkjet head assembly 9 and the substrate by adjusting the length in the third direction Z.

실시예들에 있어서, 상기 액추에이터(10)는 복수 개일 수 있다. 예를 들어, 상기 액추에이터(10)는 3개일 수 있고, 3개의 액추에이터들(10)은 서로 정삼각형의 형상을 이루며 이격되어 배치될 수 있다. 복수의 액추에이터들(10) 중 일부만 상기 제3 방향(Z)으로 길이를 조절하여 상기 잉크젯 헤드 어셈블리(9)의 기울기를 조절할 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크젯 프린팅 장치는 상기 잉크젯 헤드 어셈블리(9)가 기판과 평행하게 배치된 상태에서 잉크를 토출할 수 있다.In some embodiments, the actuator 10 may be plural. For example, the number of actuators 10 may be three, and the three actuators 10 may form an equilateral triangle and be spaced apart from each other. Only some of the plurality of actuators 10 may adjust the length in the third direction Z to adjust the inclination of the inkjet head assembly 9 . Accordingly, the inkjet printing apparatus may discharge ink while the inkjet head assembly 9 is disposed parallel to the substrate.

이와 같이, 상기 액추에이터(10)가 상기 잉크젯 헤드들(8)에 인접하게 배치됨으로써, 상기 잉크젯 프린팅 장치는 최소한의 움직임으로 상기 잉크젯 헤드들(8)의 높이 및 기울기를 조절할 수 있다. 상기 액추에이터(10)가 다른 구성들(예를 들어, 잉크 공급 박스(7) 등)의 높이 및 기울기까지 함께 조절하게 되면 잉크젯 헤드들(8)이 움직이는 폭이 커질 수 있다. 따라서, 상기 액추에이터(10)가 잉크젯 헤드들(8)과 인접하게 배치되어 최소한의 움직으로 상기 잉크젯 헤드들(8)의 높이 및 기울기를 조절하는 것이 바람직하다.As described above, since the actuator 10 is disposed adjacent to the inkjet heads 8 , the inkjet printing apparatus can adjust the height and inclination of the inkjet heads 8 with minimal movement. When the actuator 10 adjusts the height and inclination of other components (eg, the ink supply box 7, etc.) together, the moving width of the inkjet heads 8 may be increased. Accordingly, it is preferable that the actuator 10 be disposed adjacent to the inkjet heads 8 to adjust the height and inclination of the inkjet heads 8 with minimal movement.

상기 승강 스테이지(14)는 상기 갠트리에 탑재될 수 있다. 상기 승강 스테이지(14)는 상기 잉크젯 헤드 어셈블리(9) 및 상기 잉크 저장 부재들(13)을 상기 제3 방향(Z)으로 이동시킬 수 있다. 상기 잉크젯 프린팅 장치는 상기 승강 스테이지(14) 및 상기 액추에이터(10)를 이용하여 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드들(8) 사이의 거리를 조절할 수도 있다.The lifting stage 14 may be mounted on the gantry. The lifting stage 14 may move the inkjet head assembly 9 and the ink storage members 13 in the third direction Z. The inkjet printing apparatus may adjust the distance between the substrate and the inkjet heads 8 using the elevating stage 14 and the actuator 10 .

상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리(16)에는 상기 구동 회로(15)가 배치될 수 있다. 상기 구동 회로(15)는 상기 잉크젯 헤드(8)가 잉크를 토출할 수 있도록 구동 신호를 생성할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드들(8)은 상기 잉크 저장 부재들(13)과 서로 상기 연결 케이블(17)에 의해 연결될 수 있다. 상기 구동 신호는 상기 연결 케이블(17)을 통해 상기 잉크젯 헤드들(8)로 전달될 수 있다. 실시예들에 있어서, 상기 잉크 저장 부재(8) 및 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리(16)는 각각 갠트리의 동일한 일 측에서 상기 갠트리와 연결될 수 있다. The driving circuit 15 may be disposed in the inkjet head driving assembly 16 . The driving circuit 15 may generate a driving signal so that the inkjet head 8 may discharge ink. The inkjet heads 8 may be connected to the ink storage members 13 by the connecting cable 17 . The driving signal may be transmitted to the inkjet heads 8 through the connection cable 17 . In embodiments, the ink storage member 8 and the inkjet head driving assembly 16 may each be connected to the gantry at the same side of the gantry.

다만, 실시예들에 있어서, 상기 구동 회로(15)는 상기 잉크 공급 박스(7) 내에 배치될 수도 있다. 이 경우, 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리(16)가 별도로 배치되지 않아도 되어 상기 잉크젯 프린팅 장치의 크기가 줄어들 수 있다.However, in some embodiments, the driving circuit 15 may be disposed in the ink supply box 7 . In this case, since the inkjet head driving assembly 16 does not need to be separately disposed, the size of the inkjet printing apparatus may be reduced.

도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치를 나타내는 도면들이다. 도 7 및 도 8은 도 5 및 도 6에서 잉크젯 헤드 구동 어셈블리(16)가 배치되는 위치를 제외하면 도 5 및 도 6과 실질적으로 동일할 수 있다. 이에 따라, 중복되는 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다.7 and 8 are views illustrating an inkjet printing apparatus according to embodiments of the present invention. 7 and 8 may be substantially the same as in FIGS. 5 and 6 except for a position in which the inkjet head driving assembly 16 is disposed in FIGS. 5 and 6 . Accordingly, a description of the overlapping configuration will be omitted.

도 3, 도 4, 도 7 및 도 8을 참조하면, 상기 잉크젯 프린팅 장치는 배관 및 케이블이 다수 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 잉크 저장 부재(13) 및 상기 잉크젯 헤드들(8)을 연결하는 잉크 공급관들(11)이 배치될 수 있다. 또한, 상기 잉크젯 헤드들(8)과 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리(16)를 연결하는 연결 케이블(17)이 배치될 수 있다. Referring to FIGS. 3, 4, 7 and 8 , a plurality of pipes and cables may be disposed in the inkjet printing apparatus. For example, ink supply pipes 11 connecting the ink storage member 13 and the inkjet heads 8 may be disposed. In addition, a connection cable 17 connecting the inkjet heads 8 and the inkjet head driving assembly 16 may be disposed.

상기 잉크젯 프린팅 장치가 대형화 되고, 구조가 복잡해 짐에 따라, 상기 잉크 공급관들(11) 및 상기 연결 케이블(17)의 개수도 증가할 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크 공급관들(11) 및 상기 연결 케이블(17)이 각각 상기 잉크젯 헤드들(8)과 연결되는 부분의 구조가 복잡해지고, 상기 잉크 공급관들(11) 및 상기 연결 케이블(17)이 각각 상기 잉크젯 헤드들(8)과 연결되는 부분에 문제가 발생할 경우 유지 보수가 힘들 수 있다.As the inkjet printing apparatus becomes larger and more complex in structure, the number of the ink supply pipes 11 and the connection cable 17 may also increase. Accordingly, the structure of the portion where the ink supply pipes 11 and the connection cable 17 are respectively connected to the inkjet heads 8 is complicated, and the ink supply pipes 11 and the connection cable 17 are complicated. If a problem occurs in a portion connected to each of the inkjet heads 8 , maintenance may be difficult.

이에 따라, 상기 잉크 공급 박스(7)와 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리(16)가 서로 갠트리의 다른 측면에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 잉크 공급 박스(7)가 상기 갠트리의 상기 제1 방향(Y)과 반대되는 방향에 배치되고, 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리(16)는 상기 갠트리의 상기 제1 방향(Y)에 배치될 수 있다.Accordingly, the ink supply box 7 and the inkjet head driving assembly 16 may be disposed on different sides of the gantry. For example, the ink supply box 7 is disposed in a direction opposite to the first direction Y of the gantry, and the inkjet head driving assembly 16 is disposed in the first direction Y of the gantry. can be placed.

도 9 및 도 10은 본 발명의 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치를 나타내는 도면들이다. 도 9 및 도 10은 도 3 및 도 4의 잉크젯 프린팅 장치를 상세하게 도시한 것이다. 이에 따라, 중복되는 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다.9 and 10 are views illustrating an inkjet printing apparatus according to embodiments of the present invention. 9 and 10 are detailed views of the inkjet printing apparatus of FIGS. 3 and 4 . Accordingly, a description of the overlapping configuration will be omitted.

도 3, 도 4, 도 9 및 도 10을 참조하면, 상기 잉크젯 프린팅 장치는 복수의 잉크 공급 박스들(7a, 7b), 복수의 잉크젯 헤드들(8), 상기 잉크젯 헤드들(8)이 탑재되는 잉크젯 헤드 어셈블리(9), 액추에이터(10), 복수의 잉크 공급관들(11a, 11b), 복수의 커플러들(12a, 12b), 복수의 잉크 저장 부재들(13), 잉크젯 헤드 어셈블리(9) 및 잉크 저장 부재들(13)을 제3 방향(Z)으로 이동시키는 승강 스테이지(14), 적어도 하나의 구동 회로(15), 상기 구동 회로(15)를 포함하는 복수의 잉크젯 헤드 구동 어셈블리들(16a, 16b), 및 복수의 연결 케이블들(17a, 17b)을 포함할 수 있다. 3, 4, 9 and 10 , the inkjet printing apparatus includes a plurality of ink supply boxes 7a and 7b, a plurality of inkjet heads 8, and the inkjet heads 8 are mounted. An inkjet head assembly 9, an actuator 10, a plurality of ink supply pipes 11a, 11b, a plurality of couplers 12a, 12b, a plurality of ink storage members 13, an inkjet head assembly 9 and a plurality of inkjet head driving assemblies including an elevation stage 14 for moving the ink storage members 13 in the third direction Z, at least one driving circuit 15 , and the driving circuit 15 ( 16a, 16b), and a plurality of connection cables 17a, 17b.

도 9 및 도 10는 상기 갠트리의 상기 제1 방향(Y)에 잉크 공급 박스(7b) 및 잉크젯 헤드 구동 어셈블리(16b)가 추가로 배치되는 것을 제외하면 도 4 및 도 5와 실질적으로 동일할 수 있다. 이에 따라, 중복되는 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다.9 and 10 may be substantially the same as FIGS. 4 and 5 except that an ink supply box 7b and an inkjet head driving assembly 16b are additionally disposed in the first direction Y of the gantry. have. Accordingly, a description of the overlapping configuration will be omitted.

상기 잉크 공급 박스들(7a, 7b)이 상기 갠트리의 양 측에 배치됨에 따라, 상기 잉크 저장 부재들(13)도 상기 갠트리의 양 측에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크 저장 부재들(13)은 상기 갠트리의 일 측에서 배열될 때보다 더 넓은 간격으로 이격되어 배치되어도 상기 잉크젯 헤드들(8)과 모두 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크 공급관들(11a, 11b)도 서로 이격됨에 따라 공간을 폭 넓게 사용할 수 있어서, 상기 잉크젯 프린팅 장치의 유지 보수가 용이할 수 있다.As the ink supply boxes 7a and 7b are disposed on both sides of the gantry, the ink storage members 13 may also be disposed on both sides of the gantry. Accordingly, even if the ink storage members 13 are spaced apart from each other at a wider interval than when they are arranged on one side of the gantry, they may all be connected to the inkjet heads 8 . Accordingly, since the ink supply pipes 11a and 11b are also spaced apart from each other, a space can be widely used, and maintenance of the inkjet printing apparatus can be facilitated.

예를 들어, 홀수 번째 라인에 배치되는 잉크젯 헤드들(8)에는 상기 갠트리의 제1 방향(Y)에 배치되는 잉크 공급 박스(7b)가 연결되고, 짝수 번째 라인에 배치되는 잉크젯 헤드들(8)에는 상기 갠트리의 제1 방향(Y)의 반대 방향에 배치되는 잉크 공급 박스(7a)가 연결될 수 있다.For example, the ink supply box 7b disposed in the first direction Y of the gantry is connected to the inkjet heads 8 disposed on the odd-numbered line, and the inkjet heads 8 disposed on the even-numbered line are connected. ) may be connected to an ink supply box 7a disposed in a direction opposite to the first direction Y of the gantry.

이 때, 상기 홀수 번째 라인에 배치되는 잉크젯 헤드들(8)에는 상기 갠트리의 제1 방향(Y)의 반대 방향에 배치되는 잉크젯 헤드 구동 어셈블리(16a)가 연결되고, 상기 짝수 번째 라인에 배치되는 잉크젯 헤드들(8)에는 상기 갠트리의 상기 제1 방향(Y)에 배치되는 잉크젯 헤드 구동 어셈블리(16b)가 연결될 수 있다.In this case, an inkjet head driving assembly 16a disposed in a direction opposite to the first direction Y of the gantry is connected to the inkjet heads 8 disposed on the odd-numbered line, and disposed on the even-numbered line An inkjet head driving assembly 16b disposed in the first direction Y of the gantry may be connected to the inkjet heads 8 .

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치는 컴퓨터, 노트북, 휴대폰, 스마트폰, 스마트패드, 피엠피(PMP), 피디에이(PDA), MP3 플레이어 등에 포함되는 표시 장치의 제조 방법에 적용될 수 있다.The inkjet printing apparatus according to exemplary embodiments of the present invention may be applied to a method of manufacturing a display device included in a computer, a notebook computer, a mobile phone, a smart phone, a smart pad, a PMP, a PDA, an MP3 player, etc. .

이상, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 프린팅 장치에 대하여 도면들을 참조하여 설명하였지만, 설시한 실시예들은 예시적인 것으로서 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 수정 및 변경될 수 있을 것이다.In the above, the inkjet printing apparatus according to the exemplary embodiments of the present invention has been described with reference to the drawings, but the described embodiments are exemplary and are not departing from the technical spirit of the present invention described in the claims below. It may be modified and changed by those of ordinary skill in the art.

1: 기판 2: 스테이지
3: 갠트리 스테이지 4: 갠트리 프레임
5: 베이스층 6: 메인터넌스 스테이지
7: 잉크 공급 박스 8: 잉크젯 헤드
9: 잉크젯 헤드 어셈블리 10: 액추에이터
11: 잉크 공급관 12: 커플러
13: 잉크 저장 부재 14: 승강 스테이지
15: 구동 회로 16: 잉크젯 헤드 구동 어셈블리
17: 연결 케이블
1: substrate 2: stage
3: Gantry stage 4: Gantry frame
5: Base layer 6: Maintenance stage
7: Ink supply box 8: Inkjet head
9: inkjet head assembly 10: actuator
11: ink supply pipe 12: coupler
13: ink storage member 14: elevating stage
15: drive circuit 16: inkjet head drive assembly
17: connecting cable

Claims (14)

기판이 로딩된 상태로 제1 방향으로 이동 가능한 기판 스테이지;
상기 기판 상에서 상기 기판에 잉크를 토출하고, 서로 제1 간격으로 이격되는 복수의 잉크젯 헤드들을 포함하는 잉크젯 헤드 어셈블리;
상기 잉크젯 헤드 어셈블리 상에서 복수의 잉크 공급관들에 의해 상기 복수의 잉크젯 헤드들과 각각 연결되고, 서로 상기 제1 간격보다 넓은 제2 간격으로 이격되는 복수의 잉크 저장 부재들; 및
상기 복수의 잉크젯 저장 부재들과 상기 잉크젯 헤드 어셈블리 사이에서 상기 잉크젯 헤드 어셈블리와 연결되어 상기 잉크젯 헤드 어셈블리의 기울기를 조절 가능한 액추에이터를 포함하는 잉크젯 프린팅 장치.
a substrate stage movable in a first direction with a substrate loaded thereon;
an inkjet head assembly including a plurality of inkjet heads spaced apart from each other by a first interval from the substrate to discharge ink to the substrate;
a plurality of ink storage members respectively connected to the plurality of inkjet heads by a plurality of ink supply pipes on the inkjet head assembly and spaced apart from each other by a second interval wider than the first interval; and
and an actuator connected to the inkjet head assembly between the plurality of inkjet storage members and the inkjet head assembly to adjust a tilt of the inkjet head assembly.
제1 항에 있어서, 상기 액추에이터는 상기 잉크젯 헤드 어셈블리와 상기 기판 스테이지 사이의 거리를 조절 가능한 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.The inkjet printing apparatus of claim 1, wherein the actuator is capable of adjusting a distance between the inkjet head assembly and the substrate stage. 제1 항에 있어서,
상기 기판 스테이지 상에서 상기 잉크젯 헤드 어셈블리와 상기 복수의 잉크 저장 부재들을 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 이동시키는 갠트리를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.
The method of claim 1,
and a gantry for moving the inkjet head assembly and the plurality of ink storage members in a second direction crossing the first direction on the substrate stage.
제3 항에 있어서, 상기 복수의 잉크 저장 부재들은 상기 갠트리의 상기 제1 방향에서 상기 갠트리와 연결되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.The inkjet printing apparatus of claim 3 , wherein the plurality of ink storage members are connected to the gantry in the first direction of the gantry. 제4 항에 있어서,
상기 복수의 잉크젯 헤드들을 구동하기 위한 구동 회로를 포함하고, 상기 복수의 잉크젯 헤드들 각각과 연결 케이블에 의해 연결되는 잉크젯 헤드 구동 어셈블리를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.
5. The method of claim 4,
The inkjet printing apparatus of claim 1, further comprising: an inkjet head driving assembly including a driving circuit for driving the plurality of inkjet heads and connected to each of the plurality of inkjet heads by a connection cable.
제5 항에 있어서, 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리는 상기 갠트리의 상기 제1 방향에서 상기 갠트리 및 상기 잉크젯 헤드들과 연결되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.The inkjet printing apparatus of claim 5 , wherein the inkjet head driving assembly is connected to the gantry and the inkjet heads in the first direction of the gantry. 제5 항에 있어서, 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리는 상기 갠트리의 상기 제1 방향에 반대되는 제3 방향에서 상기 갠트리 및 상기 잉크젯 헤드들과 연결되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.The inkjet printing apparatus of claim 5 , wherein the inkjet head driving assembly is connected to the gantry and the inkjet heads in a third direction opposite to the first direction of the gantry. 제4 항에 있어서, 상기 복수의 잉크 저장 부재들은 상기 복수의 잉크젯 헤드들을 구동하기 위한 구동 회로를 포함하는 잉크젯 헤드 구동 어셈블리를 포함하고,
상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리는 상기 복수의 잉크젯 헤드들 각각과 연결 케이블에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.
5. The method of claim 4, wherein the plurality of ink storage members comprises an inkjet head driving assembly including a driving circuit for driving the plurality of inkjet heads;
and the inkjet head driving assembly is connected to each of the plurality of inkjet heads by a connection cable.
제3 항에 있어서, 상기 갠트리는 상기 복수의 잉크젯 헤드들 및 상기 복수의 잉크 저장부재와 상기 기판 스테이지 사이의 거리를 조절 가능한 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.The inkjet printing apparatus of claim 3 , wherein the gantry is capable of adjusting a distance between the plurality of inkjet heads and the plurality of ink storage members and the substrate stage. 제3 항에 있어서, 상기 복수의 잉크 저장 부재들은 상기 갠트리의 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향에 반대되는 제3 방향에서 상기 갠트리와 연결되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.The inkjet printing apparatus of claim 3 , wherein the plurality of ink storage members are connected to the gantry in the first direction of the gantry and in a third direction opposite to the first direction. 제10 항에 있어서,
상기 복수의 잉크젯 헤드들을 구동하기 위한 구동 회로를 포함하고, 상기 복수의 잉크젯 헤드들 각각과 연결 케이블에 의해 연결되는 복수의 잉크젯 헤드 구동 어셈블리들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.
11. The method of claim 10,
An inkjet printing apparatus comprising a driving circuit for driving the plurality of inkjet heads, and further comprising a plurality of inkjet head driving assemblies connected to each of the plurality of inkjet heads by a connection cable.
제11 항에 있어서, 상기 잉크젯 헤드 구동 어셈블리들은 상기 갠트리의 상기 제1 방향 및 상기 제3 방향에서 상기 갠트리 및 상기 잉크젯 헤드들과 연결되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.The inkjet printing apparatus of claim 11 , wherein the inkjet head driving assemblies are connected to the gantry and the inkjet heads in the first direction and the third direction of the gantry. 제3 항에 있어서,
상기 기판 스테이지의 상기 제2 방향에 배치되고, 상기 복수의 잉크젯 헤드들을 유지 보수하는 메인터넌스 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.
4. The method of claim 3,
and a maintenance stage disposed in the second direction of the substrate stage and configured to maintain the plurality of inkjet heads.
제1 항에 있어서,
상기 복수의 잉크 공급관들은 상기 복수의 잉크 저장 부재들 각각과 커플러에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.
The method of claim 1,
The plurality of ink supply pipes are connected to each of the plurality of ink storage members by a coupler.
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