KR20220111850A - Flexible oxide thin film transistor-based multiple sensors capable of measuring light/strain and manufacturing method thereof - Google Patents
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 8
- -1 p-phenylenevinylene Chemical group 0.000 claims description 6
- SVNDCMCAPDWHPV-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(1,3-benzoxazol-2-yl)-1,2-diphenylethenyl]-1,3-benzoxazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C=1OC2=CC=CC=C2N=1)=C(C=1C=CC=CC=1)C1=NC2=CC=CC=C2O1 SVNDCMCAPDWHPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 claims description 4
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 abstract description 10
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008921 facial expression Effects 0.000 abstract description 4
- 230000036544 posture Effects 0.000 abstract description 4
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 abstract 1
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N niobium pentoxide Chemical compound O=[Nb](=O)O[Nb](=O)=O ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018572 CuAlO2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004481 Ta2O3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008559 TiSrO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007717 ZnSnO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007694 ZnSnO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007696 ZnSnO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- QZQVBEXLDFYHSR-UHFFFAOYSA-N gallium(III) oxide Inorganic materials O=[Ga]O[Ga]=O QZQVBEXLDFYHSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N tungsten(VI) oxide Inorganic materials O=[W](=O)=O ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
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- A61B5/024—Detecting, measuring or recording pulse rate or heart rate
- A61B5/02416—Detecting, measuring or recording pulse rate or heart rate using photoplethysmograph signals, e.g. generated by infrared radiation
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- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/0059—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons using light, e.g. diagnosis by transillumination, diascopy, fluorescence
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- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/02—Detecting, measuring or recording pulse, heart rate, blood pressure or blood flow; Combined pulse/heart-rate/blood pressure determination; Evaluating a cardiovascular condition not otherwise provided for, e.g. using combinations of techniques provided for in this group with electrocardiography or electroauscultation; Heart catheters for measuring blood pressure
- A61B5/024—Detecting, measuring or recording pulse rate or heart rate
- A61B5/02416—Detecting, measuring or recording pulse rate or heart rate using photoplethysmograph signals, e.g. generated by infrared radiation
- A61B5/02427—Details of sensor
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- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/02—Detecting, measuring or recording pulse, heart rate, blood pressure or blood flow; Combined pulse/heart-rate/blood pressure determination; Evaluating a cardiovascular condition not otherwise provided for, e.g. using combinations of techniques provided for in this group with electrocardiography or electroauscultation; Heart catheters for measuring blood pressure
- A61B5/024—Detecting, measuring or recording pulse rate or heart rate
- A61B5/02438—Detecting, measuring or recording pulse rate or heart rate with portable devices, e.g. worn by the patient
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/103—Detecting, measuring or recording devices for testing the shape, pattern, colour, size or movement of the body or parts thereof, for diagnostic purposes
- A61B5/11—Measuring movement of the entire body or parts thereof, e.g. head or hand tremor, mobility of a limb
- A61B5/1116—Determining posture transitions
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/145—Measuring characteristics of blood in vivo, e.g. gas concentration, pH value; Measuring characteristics of body fluids or tissues, e.g. interstitial fluid, cerebral tissue
- A61B5/1455—Measuring characteristics of blood in vivo, e.g. gas concentration, pH value; Measuring characteristics of body fluids or tissues, e.g. interstitial fluid, cerebral tissue using optical sensors, e.g. spectral photometrical oximeters
- A61B5/14551—Measuring characteristics of blood in vivo, e.g. gas concentration, pH value; Measuring characteristics of body fluids or tissues, e.g. interstitial fluid, cerebral tissue using optical sensors, e.g. spectral photometrical oximeters for measuring blood gases
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- A—HUMAN NECESSITIES
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- A61B5/68—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient
- A61B5/6801—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be attached to or worn on the body surface
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- A—HUMAN NECESSITIES
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- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B2562/00—Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
- A61B2562/02—Details of sensors specially adapted for in-vivo measurements
- A61B2562/0233—Special features of optical sensors or probes classified in A61B5/00
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- A—HUMAN NECESSITIES
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- A61B2562/0261—Strain gauges
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Medical Informatics (AREA)
- Surgery (AREA)
- Biophysics (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Cardiology (AREA)
- Physiology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
Description
본 발명은 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor.
일반적으로, 웨어러블 디바이스는 신체에 착용하는 형태로 컴퓨팅 기능을 수행하는 모든 디바이스로서, 사용자의 거부감 없이 신체의 일부처럼 항상 착용하고 사용이 가능하다. In general, a wearable device is any device that performs a computing function in the form of being worn on the body, and can always be worn and used as a part of the body without a user's objection.
이러한, 웨어러블 디바이스는, 안경, 시계, 밴드 형태 외에 입는 형태나 부착형 등 다양한 형태로 개발되고 있으며, 지속적인 성장이 이루어지고 있다.Such wearable devices are being developed in various forms, such as wearable or attachable types, in addition to glasses, watches, and bands, and continuous growth is being achieved.
또한, 웨어러블 디바이스는 음성, 동작, 위치, 신체신호 등 사용자의 생체신호를 감지할 수 있는 센서가 구비되고, 센서로부터 측정한 생체신호를 스마트폰, 태블릿, PC 등의 스마트 기기로 나타내고, 확인 및 제어할 수 있다.In addition, the wearable device is equipped with a sensor capable of detecting the user's bio-signals such as voice, motion, location, and body signals, and displays the bio-signals measured from the sensors with smart devices such as smartphones, tablets, PCs, etc., can be controlled
그러나, 도 1과 같이, 특정 생체신호를 센싱하기 위해서, 이에 해당하는 웨어러블 디바이스를 착용하거나 부착해야 하고, 측정하고자 하는 생체신호가 늘어날수록 더 많은 웨어러블 디바이스를 착용해야하므로, 사용자에게 불편함을 유발할 수 있다. However, as shown in FIG. 1 , in order to sense a specific bio-signal, a corresponding wearable device must be worn or attached, and as the number of bio-signals to be measured increases, more wearable devices must be worn, which may cause inconvenience to the user. can
이러한, 불편함의 개선을 위해, 단일 소자로 다중 생체신호를 검출할 수 있는 연구의 필요성이 있다.In order to improve such inconvenience, there is a need for a study capable of detecting multiple biosignals with a single device.
상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 유연 산화물로 포토 박막트랜지스터를 제작하여, 단일 소자로 인장정도와 빛을 검출함으로써, 인체의 다양한 관절 굽힘 동작, 표정, 자세 등 신체 움직임과 더불어 맥박을 연속적으로 측정할 수 있고, 간편하게 신체의 특정부위에 부착하여 저전력으로 구동가능하고 소형화된 웨어러블 디바이스에 활용할 수 있는 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서를 제공하기 위함이다.The purpose of the present invention, which was devised to solve the above problems, is to manufacture a photo thin film transistor with a flexible oxide and detect the tensile degree and light with a single element, so that various joint bending movements of the human body, facial expressions, postures, etc. This is to provide a flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor that can continuously measure the pulse along with movement, can be easily attached to a specific part of the body, can be driven with low power, and can be used in miniaturized wearable devices.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서에 따르면, 피부로 광을 발광하는 발광부; 상기 피부를 통해 반사되는 반사광을 수광하는 수광부; 상기 수광부 상에 구비되고, 상기 반사광을 투과하는 기계변색 소재로 이루어진 보호층; 및 상기 수광부의 수광된 반사광으로 맥박을 센싱하고, 상기 보호층의 인장정도를 센싱하는 센싱부;를 포함한다.According to the flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor of the present invention for achieving the object as described above, the light emitting unit for emitting light to the skin; a light receiving unit for receiving reflected light reflected through the skin; a protective layer provided on the light receiving unit and made of a mechanically chromic material that transmits the reflected light; and a sensing unit that senses a pulse with the reflected light received by the light receiving unit and senses a degree of tension of the protective layer.
또한, 상기 발광부가 구비되는 플렉시블 기판; 상기 플렉시블 기판 상에 구비되는 게이트전극; 상기 게이트전극 상에 구비되는 게이트 절연층; 및 상기 수광부 상에 구비되는 소스-드레인 전극;을 더 포함하고, 상기 수광부는, 상기 게이트 절연막 상에 구비되며, 유연 산화물로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the flexible substrate provided with the light emitting unit; a gate electrode provided on the flexible substrate; a gate insulating layer provided on the gate electrode; and a source-drain electrode provided on the light receiving unit, wherein the light receiving unit is provided on the gate insulating layer and made of a lead oxide.
또한, 상기 보호층은, 피부의 굴곡에 따라 인장되고, 인장정도에 따라 상기 반사광의 투과도를 변화시키는 것을 특징으로 한다.In addition, the protective layer is stretched according to the curvature of the skin, characterized in that the transmittance of the reflected light is changed according to the degree of tension.
또한, 상기 보호층은, 인장정도에 따라 상기 발광부가 발광하는 발광색을 따라 변화하고, 상기 발광색으로 변화하는 색에 따라 상기 반사광의 투과도를 변화시키는 것을 특징으로 한다.In addition, the protective layer is characterized in that it changes according to the emission color emitted by the light emitting unit according to the degree of tension, and the transmittance of the reflected light is changed according to the color changing to the emission color.
또한, 상기 보호층은, 인장력이 높아질수록 투명에서 상기 발광부가 발광하는 발광색으로 변화하고, 상기 발광색으로 변화하는 색에 따라 상기 반사광의 투과도를 변화시키는 것을 특징으로 한다.In addition, the protective layer is characterized in that as the tensile force increases, the light emitting color of the light emitting unit is changed from transparent to the light emitting color emitted by the light emitting unit, and the transmittance of the reflected light is changed according to the color changing to the light emitting color.
또한, 상기 보호층은, 상기 발광색으로 변화할수록 상기 반사광의 투과도는 낮아지고, 상기 센싱부는, 상기 반사광의 투과도에 따라 상기 보호층의 인장정도를 센싱하는 것을 특징으로 한다.In addition, the passivation of the reflected light decreases as the protective layer changes to the emission color, and the sensing unit senses the degree of tension of the protective layer according to the transmittance of the reflected light.
또한, 상기 보호층은, 올리고(p-페닐렌비닐렌), 페릴렌 비스이미드, 비스(벤즈옥사졸일)스틸벤 및 스파이로파이란 중 어느 하나의 화합물인 것을 특징으로 한다.In addition, the protective layer is characterized in that any one of oligo(p-phenylenevinylene), perylene bisimide, bis(benzoxazolyl)stilbene, and spiropyran.
이상 살펴본 바와 같은 본 발명의 효과는, 유연 산화물로 포토 박막트랜지스터를 제작하여, 단일 소자로 인장정도와 빛을 검출함으로써, 인체의 다양한 관절 굽힘 동작, 표정, 자세 등 신체 움직임과 더불어 맥박을 연속적으로 측정할 수 있고, 간편하게 신체의 특정부위에 부착하여 저전력으로 구동가능하고 소형화된 웨어러블 디바이스에 활용할 수 있는 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서를 제공할 수 있다.As described above, the effect of the present invention as described above is to produce a photo thin film transistor with a flexible oxide and detect the tensile degree and light with a single element, thereby continuously generating pulses along with body movements such as various joint bending movements, facial expressions, and postures of the human body. It is possible to provide a flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor that can be measured, can be easily attached to a specific part of the body, can be driven with low power, and can be used in a miniaturized wearable device.
도 1은 종래의 웨어러블 디바이스를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서의 보호층이 신장되는 상태를 나타낸 예시도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서를 통해 맥박을 검출하는 예시도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서의 인장정도에 따라 반사광이 보호층을 투과 또는 반사하는 상태를 나타낸 예시도이다.1 is a diagram illustrating a conventional wearable device.
2 is a plan view showing a flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing a flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor according to a preferred embodiment of the present invention.
4 is an exemplary view showing a state in which the protective layer of the flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor according to a preferred embodiment of the present invention is stretched.
5 is an exemplary diagram for detecting a pulse through a flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor according to a preferred embodiment of the present invention.
6 is an exemplary view showing a state in which reflected light transmits or reflects the protective layer according to the tensile degree of the flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor according to a preferred embodiment of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for explaining the flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor according to embodiments of the present invention.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서는, 플렉시블 기판(10), 발광부(20), 게이트전극(30), 게이트 절연층(40), 수광부(50), 소스(61)-드레인(62) 전극, 보호층(70) 및 센싱부(80)를 포함한다.2 and 3 , the flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor according to the present invention includes a
먼저, 플렉시블 기판(10)은, 유연하여 휘어지거나 구부러지며 늘어날 수 있는 유연한 필름으로 이루질 수 있다. 즉, 플렉시블 기판(10)은, 평평하지 않은 인체에 부착될 수 있도록 유연성을 갖으며, 인체의 움직임에 의하여 늘어날 수 있도록 신축성도 갖는다.First, the
발광부(20)는, 플렉시블 기판(10) 상에 구비되고, 사용자의 피부 내의 혈관을 향해 광을 발광한다. 이때, 발광부(20)는, LED로 이루어질 수 있으며, 가시광을 발광할 수 있다. The
게이트전극(30)은, 플렉시블 기판(10) 상에 구비되며, 발광부(20)와 동일한 평면에 구비되되, 이격되어 구비된다. The
게이트 절연층(40)은, 게이트전극(30) 상에 구비된다. The
수광부(50)는, 게이트 절연층(40) 상에 구비되고, 피부 내의 혈관을 통해 반사되는 반사광을 수광한다.The
이때, 수광부(50)는, 유연 산화물로서, InGaZnO, ZnO, ZrInZnO, InZnO, AlInZnO, ZnO, InGaZnO4, ZnInO, ZnSnO, In2O3, Ga2O3, HfInZnO, GaInZnO, HfO2, SnO2, WO3, TiO2, Ta2O5, In2O3SnO2, MgZnO, ZnSnO3, ZnSnO4, CdZnO, CuAlO2, CuGaO2, Nb2O5 및 TiSrO3 중 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있다.At this time, the
소스(61)-드레인(62) 전극은 수광부(50) 상에 구비된다.The source 61-
보호층(70)은, 수광부(50) 상에 구비되고, 혈관을 통해 반사되는 반사광이 투과할 수 있는 기계변색 소재로 이루어진다.The
이때, 기계변색 소재는 물리적 자극에 의해 색이 변하고 자극이 제거되는 경우 다시 본래의 상태로 돌아가는 성질을 갖는다. 또한, 보호층(70)은 광이 투과할 수 있되, 기계변색 소재로 이루어짐에 따라 신장될 때 도 4와 같이, 색이 변화함에 따라 광의 투과도가 달라진다.At this time, the mechanical color change material has a property of changing color by a physical stimulus and returning to its original state when the stimulus is removed. In addition, the
보호층(70)은, 올리고(p-페닐렌비닐렌), 페릴렌 비스이미드, 비스(벤즈옥사졸일)스틸벤 및 스파이로파이란 중 어느 하나의 화합물일 수 있다.The
올리고(p-페닐렌비닐렌)(Oligo(p-phenylene vinylene):PPV)는 [화학식 1]과 같고, 페릴렌 비스이미드(Perylene bisimides)는 [화학식 2]와 같으며, 비스(벤즈옥사졸일)스틸벤(Bis(benzoxazolyl) stilbene)은 [화학식 3]과 같고, 스파이로파이란(Spiropyran)은 [화학식 4]와 같다.Oligo(p-phenylene vinylene):PPV) is the same as [Formula 1], and perylene bisimides are the same as [Formula 2], and bis(benzoxazolyl ) Stilbene (Bis(benzoxazolyl) stilbene) is the same as [Formula 3], and Spiropyran is the same as [Formula 4].
*X = H, methoxy group*X = H, methoxy group
센싱부(80)는, 수광부(50)의 수광된 반사광으로 맥박을 센싱하고, 보호층(70)의 인장정도를 센싱한다.The
여기서, 센싱부(80)가 맥박을 센싱하는 것은, 도 5를 참고하면, 혈관으로 발광되는 광이 혈관의 변화에 따라 흡수가 변하고, 광의 흡수에 따라 반사되는 반사광량이 달라져 보호층(70)을 투과하여 수광부(50)에 수광된 반사광량으로 맥박을 검출할 수 있다. 이때, 보호층(70)은 인장되지 않은 상태가 바람직하나, 이에 한정하지 않는다. Here, the
또한, 센싱부(80)가 인장정도를 센싱하는 것은, 도 6을 참조하면, 피부 또는 혈관에 의해 반사되는 반사광이 보호층(70)을 투과할 때, 보호층(70)의 인장정도에 따라 반사광의 투과도가 변화됨으로써, 투과도에 의한 수광부(50)에 수광되는 반사광량의 변화로 인장정도를 검출할 수 있다. 이때, 투과도의 변화는 일부는 투과하고 나머지는 반사됨에 따라 변화됨을 나타낸다.In addition, the
즉, 보호층(70)은, 피부의 굴곡에 따라 인장될 수 있도록 기계변색 소재로 이루어짐으로써, 인장정도에 따라 반사광의 투과도를 변화시킬 수 있고, 이에 수광부(50)에 수광되는 반사광량은 변화하는 것이다.That is, the
또한, 보호층(70)은, 인장정도에 따라 발광부(20)가 발광하는 발광색을 따라 변화하고, 발광색으로 변화하는 색에 따라 반사광의 투과도를 변화시킬 수 있다. 이에, 수광부(50)에 수광되는 반사광량이 변화한다. In addition, the
여기서, 보호층(70)이 발광색을 따라 변화하는 것은, 인장되지 않은 원상태에서는 투명이고, 인장정도에 따라 변화하되, 인장력이 높아질수록 채도가 높아지며 발광색의 색상으로 변화하는 것이다. Here, the change in the color of the
즉, 보호층(70)은, 발광색으로 변화할수록 반사광의 투과도는 낮아진다.That is, as the
따라서, 보호층(70)은, 인장력이 높아질수록 투명에서 발광부(20)가 발광하는 발광색으로 변화하고, 발광색으로 변화하는 색에 따라 반사광의 투과도를 변화시킨다.Accordingly, as the tensile force increases, the
그리고 수광부(50)로 수광되는 반사광량이 변화하고, 이 변화를 통해 센싱부(80)는, 반사광의 투과도에 따라 보호층(70)의 인장정도를 센싱한다.Then, the amount of reflected light received by the
본 발명에 따른 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서는, 단일 포토 박막트랜지스터로 인장정도와 빛을 검출함으로써, 인체의 다양한 관절 굽힘 동작, 자세, 표정 등 신체 움직임과 더불어 맥박을 연속적으로 측정할 수 있는 웨어러블 장치에 활용할 수 있다. 게다가, 하나의 센서로 제작할 수 있어 저전력과 소형화가 가능하다.The flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor according to the present invention detects the degree of tension and light with a single photo thin film transistor, thereby continuously measuring the pulse along with body movements such as various joint bending movements, postures, and facial expressions of the human body. It can be used in wearable devices. In addition, since it can be manufactured with one sensor, low power consumption and miniaturization are possible.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다. 더불어, 상술하는 과정에서 기술된 구성의 작동순서는 반드시 시계열적인 순서대로 수행될 필요는 없으며, 각 구성 및 단계의 수행 순서가 바뀌어도 본 발명의 요지를 충족한다면 이러한 과정은 본 발명의 권리범위에 속할 수 있음은 물론이다.Those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will understand that the present invention may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the claims described later rather than the above detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts are included in the scope of the present invention. should be interpreted In addition, the operation sequence of the components described in the above process does not necessarily have to be performed in a time series order, and if the gist of the present invention is satisfied even if the execution order of each configuration and step is changed, such a process may fall within the scope of the present invention. Of course you can.
10 : 플렉시블 기판
20 : 발광부
30 : 게이트전극
40 : 게이트 절연층
50 : 수광부
61 : 소스
62 : 드레인
70 : 보호층
80 : 센싱부10: flexible substrate 20: light emitting part
30: gate electrode 40: gate insulating layer
50: light receiving unit 61: source
62: drain 70: protective layer
80: sensing unit
Claims (7)
상기 피부를 통해 반사되는 반사광을 수광하는 수광부;
상기 수광부 상에 구비되고, 상기 반사광을 투과하는 기계변색 소재로 이루어진 보호층; 및
상기 수광부의 수광된 반사광으로 맥박을 센싱하고, 상기 보호층의 인장정도를 센싱하는 센싱부;를 포함하는 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서.
a light emitting unit that emits light to the skin;
a light receiving unit for receiving reflected light reflected through the skin;
a protective layer provided on the light receiving unit and made of a mechanically chromic material that transmits the reflected light; and
Flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor comprising a; sensing a pulse by the reflected light received by the light receiving unit, and sensing the degree of tension of the protective layer.
상기 발광부가 구비되는 플렉시블 기판;
상기 플렉시블 기판 상에 구비되는 게이트전극;
상기 게이트전극 상에 구비되는 게이트 절연층; 및
상기 수광부 상에 구비되는 소스-드레인 전극;을 더 포함하고,
상기 수광부는, 상기 게이트 절연막 상에 구비되며, 유연 산화물로 이루어진 것을 특징으로 하는 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서.
According to claim 1,
a flexible substrate provided with the light emitting part;
a gate electrode provided on the flexible substrate;
a gate insulating layer provided on the gate electrode; and
It further includes; a source-drain electrode provided on the light receiving unit,
The light receiving unit is provided on the gate insulating film, and is a flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor, characterized in that it is made of a flexible oxide.
상기 보호층은, 피부의 굴곡에 따라 인장되고, 인장정도에 따라 상기 반사광의 투과도를 변화시키는 것을 특징으로 하는 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서.
According to claim 1,
The protective layer is stretched according to the curvature of the skin, and the flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor, characterized in that the transmittance of the reflected light is changed according to the degree of tension.
상기 보호층은, 인장정도에 따라 상기 발광부가 발광하는 발광색을 따라 변화하고, 상기 발광색으로 변화하는 색에 따라 상기 반사광의 투과도를 변화시키는 것을 특징으로 하는 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서.
According to claim 1,
The protective layer is a flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor, characterized in that it changes according to the emission color emitted by the light emitting part according to the degree of tension, and the transmittance of the reflected light according to the color changing to the emission color.
상기 보호층은, 인장력이 높아질수록 투명에서 상기 발광부가 발광하는 발광색으로 변화하고, 상기 발광색으로 변화하는 색에 따라 상기 반사광의 투과도를 변화시키는 것을 특징으로 하는 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서.
5. The method of claim 4,
The protective layer is a flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor, characterized in that the higher the tensile force, the more transparent the light emitting color emitted by the light emitting part, and the transmittance of the reflected light is changed according to the color changing to the light emitting color.
상기 보호층은, 상기 발광색으로 변화할수록 상기 반사광의 투과도는 낮아지고,
상기 센싱부는, 상기 반사광의 투과도에 따라 상기 보호층의 인장정도를 센싱하는 것을 특징으로 하는 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서.
6. The method according to claim 4 or 5,
As the protective layer changes to the emission color, the transmittance of the reflected light decreases,
The sensing unit, a flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor, characterized in that for sensing the degree of tension of the protective layer according to the transmittance of the reflected light.
상기 보호층은,
올리고(p-페닐렌비닐렌), 페릴렌 비스이미드, 비스(벤즈옥사졸일)스틸벤 및 스파이로파이란 중 어느 하나의 화합물인 것을 특징으로 하는 유연 산화물 박막트랜지스터형 생체신호 측정센서.
According to claim 1,
The protective layer is
A flexible oxide thin film transistor type biosignal measuring sensor, characterized in that it is any one of oligo(p-phenylenevinylene), perylene bisimide, bis(benzoxazolyl)stilbene, and spiropyran.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102548167B1 (en) |
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2021
- 2021-02-03 KR KR1020210015130A patent/KR102548167B1/en active IP Right Grant
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