KR20220107928A - Screen printing plate and screen printing method - Google Patents

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KR20220107928A
KR20220107928A KR1020210188001A KR20210188001A KR20220107928A KR 20220107928 A KR20220107928 A KR 20220107928A KR 1020210188001 A KR1020210188001 A KR 1020210188001A KR 20210188001 A KR20210188001 A KR 20210188001A KR 20220107928 A KR20220107928 A KR 20220107928A
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KR1020210188001A
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신이치 코카와
히로유키 히라노
미츠루 이케다
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가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
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Abstract

Provided are a screen printing plate capable of forming an after-printing pattern with a high level of precision, and a screen printing method. A screen printing plate (30) includes: an inner frame (31) having a rectangular shape; a screen (61) having a printing pattern (65) with an opening (64) formed thereon, and unfolded in a state in which tension is exerted to the inside of the inner frame (31); an outer frame (41) placed on the outside of the inner frame (31) while surrounding the inner frame (31); a connection member (51) connecting the inner frame (31) with the outer frame (41); and a bolt (71) adjusting the tension of the screen (61) by adding stress to the inner frame (31) such that the inner frame (31) is moved with respect to the outer frame (41).

Description

스크린 인쇄판 및 스크린 인쇄 방법{SCREEN PRINTING PLATE AND SCREEN PRINTING METHOD}SCREEN PRINTING PLATE AND SCREEN PRINTING METHOD

본 발명은 스크린 인쇄판 및 스크린 인쇄 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a screen printing plate and a screen printing method.

종래, 유전체 세라믹층과 내부전극층을 다층화한 적층체를 포함한 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층 세라믹 전자부품이 알려져 있다. 이 종류의 전자부품은 유전체 세라믹층 및 내부전극층을 인쇄에 의해 형성함으로써, 박막화가 도모되고 있다. BACKGROUND ART [0002] Multilayer ceramic electronic components such as a multilayer ceramic capacitor including a laminate in which a dielectric ceramic layer and an internal electrode layer are multilayered are known. In this type of electronic component, thinning is achieved by forming the dielectric ceramic layer and the internal electrode layer by printing.

예를 들면 특허문헌 1에는 지지 시트의 표면에 그라비아 코팅법에 의해 유전체 재료를 포함하는 유전체 페이스트를 도포하여 내부전극층의 패턴과 상보적인 패턴으로 복수개의 오목부가 형성된 스페이서층을 형성하고, 스페이서층의 복수개의 오목부 내에 전극 페이스트를 인쇄하여 내부전극층을 형성하며, 내부전극층 및 스페이서층 상에 유전체 재료를 포함하는 세라믹 그린시트를 형성하는 기술이 개시되어 있다. For example, in Patent Document 1, a dielectric paste containing a dielectric material is applied to the surface of a support sheet by a gravure coating method to form a spacer layer in which a plurality of recesses are formed in a pattern complementary to the pattern of the internal electrode layer, and Disclosed is a technique for forming an internal electrode layer by printing an electrode paste in a plurality of recesses, and forming a ceramic green sheet including a dielectric material on the internal electrode layer and the spacer layer.

일본 공개특허공보 특개2004-304000호Japanese Patent Laid-Open No. 2004-304000

상기 특허문헌 1에 기재된 바와 같이, 지지 시트에 도포되어서 형성되는 세라믹 그린시트는 지지 시트와 함께 열이나 기계적 요인에 의해 신축된다. 그에 따라, 세라믹 그린시트 상에 인쇄된 내부전극층의 패턴의 위치도 변동되어 버리고, 높은 정밀도로 내부전극층의 패턴을 형성하기 어려운 경우가 있었다. As described in Patent Document 1, the ceramic green sheet formed by being applied to the support sheet is stretched and contracted together with the support sheet by heat or mechanical factors. Accordingly, the position of the pattern of the internal electrode layer printed on the ceramic green sheet is also changed, and it is difficult to form the pattern of the internal electrode layer with high precision in some cases.

본 발명은 인쇄 후의 패턴을 높은 정밀도로 형성할 수 있는 스크린 인쇄판 및 스크린 인쇄 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a screen printing plate and a screen printing method capable of forming a pattern after printing with high precision.

본 발명의 스크린 인쇄판은 직사각형상의 내측 프레임과, 개구가 형성된 인쇄 패턴을 가지며 상기 내측 프레임의 내측에 텐션을 가한 상태로 펴지는 스크린과, 상기 내측 프레임의 외측에 상기 내측 프레임을 둘러싸는 상태로 배치되는 외측 프레임과, 상기 내측 프레임과 상기 외측 프레임을 연결하는 연결 부재와, 상기 내측 프레임이 상기 외측 프레임에 대하여 이접(離接)하도록 상기 내측 프레임에 응력을 부가함으로써 상기 스크린의 텐션을 조정하는 조정 부재를 포함한다. The screen printing plate of the present invention has a rectangular inner frame, a printed pattern having an opening formed therein, a screen that is stretched in a state in which tension is applied to the inner side of the inner frame, and the inner frame is disposed on the outside of the inner frame in a state surrounding the inner frame an adjustment for adjusting the tension of the screen by applying a stress to the inner frame such that the outer frame is formed, a connecting member connecting the inner frame and the outer frame, and the inner frame is abutted with respect to the outer frame include absence.

본 발명에 의하면, 인쇄 후의 패턴을 높은 정밀도로 형성할 수 있는 스크린 인쇄판 및 스크린 인쇄 방법을 제공할 수 있다. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the screen printing plate and screen printing method which can form the pattern after printing with high precision can be provided.

도 1은 실시형태에 따른 스크린 인쇄판에 의해 내부전극층이 형성되는 적층 세라믹 콘덴서의 개략 사시도이다.
도 2는 도 1의 II-II 단면도이다.
도 3은 세라믹 그린시트에 내부전극층 패턴이 형성된 제1 소재 시트를 나타내는 평면도이다 .
도 4는 도 3의 제1 소재 시트에, 추가로 제3 유전체 세라믹층이 인쇄에 의해 형성된 제2 소재 시트를 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 4의 V부 확대도로서, 세라믹 그린시트의 분할선을 나타내는 도면이다.
도 6은 실시형태에 따른 스크린 인쇄판의 평면도이다.
도 7은 실시형태에 따른 스크린 인쇄판을 이용하여 세라믹 그린시트에 내부전극층 패턴을 인쇄하는 상태를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 8은 실시형태에 따른 스크린 인쇄판을 구성하는 내측 프레임의 일부를 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 9는 실시형태에 따른 스크린 인쇄판에 의해 내부전극층 패턴의 위치가 보정되는 작용의 일례를 설명하는 도면이다.
도 10은 실시형태에 따른 스크린 인쇄판에 의해 내부전극층 패턴의 위치가 보정되는 작용의 다른 예를 설명하는 도면이다.
도 11은 내부전극층의 일그러짐 경향을 파악하는 수법의 일례를 설명하는 도면으로서, 세라믹 그린시트에 내부전극층을 모의적으로 형성한 상태를 나타내는 도면이다.
도 12는 제3 유전체 세라믹층을 내부전극층의 사이에 형성하는 스크린 인쇄판의 일부를 나타내는 단면도이다.
도 13은 실시형태에 따른 스크린 인쇄판에 의해 내부전극층 패턴 및 제3 유전체 세라믹층의 위치가 보정되는 작용의 일례를 설명하는 도면이다. 1 is a schematic perspective view of a multilayer ceramic capacitor in which an internal electrode layer is formed by a screen printing plate according to an embodiment.
FIG. 2 is a cross-sectional view II-II of FIG. 1 .
3 is a plan view illustrating a first material sheet in which an internal electrode layer pattern is formed on a ceramic green sheet.
FIG. 4 is a plan view illustrating a second material sheet in which a third dielectric ceramic layer is further formed by printing on the first material sheet of FIG. 3 .
FIG. 5 is an enlarged view of a portion V of FIG. 4 , and is a view showing a dividing line of the ceramic green sheet.
6 is a plan view of a screen printing plate according to an embodiment.
7 is a side view schematically illustrating a state in which an internal electrode layer pattern is printed on a ceramic green sheet using the screen printing plate according to the embodiment.
Fig. 8 is an enlarged plan view of a part of an inner frame constituting the screen printing plate according to the embodiment.
9 is a view for explaining an example of the operation of correcting the position of the internal electrode layer pattern by the screen printing plate according to the embodiment.
10 is a view for explaining another example of the operation of correcting the position of the internal electrode layer pattern by the screen printing plate according to the embodiment.
11 is a view for explaining an example of a method for detecting the distortion tendency of the internal electrode layer, and is a view showing a state in which the internal electrode layer is simulatedly formed on a ceramic green sheet.
12 is a cross-sectional view showing a part of a screen printing plate in which a third dielectric ceramic layer is formed between internal electrode layers.
Fig. 13 is a view for explaining an example of an operation in which the positions of the internal electrode layer pattern and the third dielectric ceramic layer are corrected by the screen printing plate according to the embodiment.

이하, 도면을 참조하면서 실시형태에 대해 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment is described, referring drawings.

도 1은 유전체 세라믹층 및 내부전극층이 교대로 다층화된 적층체(12)를 내부에 포함하는 적층 세라믹 콘덴서(10)를 나타내고 있다. 내부전극층은 실시형태에 따른 스크린 인쇄판을 이용하여 유전체 세라믹층 상에 스크린 인쇄에 의해 형성된다. 1 shows a multilayer ceramic capacitor 10 including a multilayer body 12 in which dielectric ceramic layers and internal electrode layers are alternately multilayered. The internal electrode layer is formed by screen printing on the dielectric ceramic layer using the screen printing plate according to the embodiment.

이하, 실시형태에 따른 스크린 인쇄판의 설명에 앞서, 유전체 세라믹층 및 내부전극층을 설명하기 위해 적층 세라믹 콘덴서(10)를 설명한다. Hereinafter, prior to the description of the screen printing plate according to the embodiment, the multilayer ceramic capacitor 10 will be described in order to describe the dielectric ceramic layer and the internal electrode layer.

도 1은 적층 세라믹 콘덴서(10)의 개략 사시도이다. 도 2는 도 1의 II-II 선을 따른 단면도이다. 1 is a schematic perspective view of a multilayer ceramic capacitor 10 . FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1 .

도 1에 나타내는 바와 같이, 적층 세라믹 콘덴서(10)는 전체적으로 대략 직방체 형상을 가지는 전자부품이며, 소체부(11)와 한 쌍의 외부전극(16)을 포함한다. As shown in FIG. 1 , the multilayer ceramic capacitor 10 is an electronic component having a generally rectangular parallelepiped shape, and includes a body portion 11 and a pair of external electrodes 16 .

도 1 및 도 2에서 화살표(T)는 적층 세라믹 콘덴서(10) 및 소체부(11)의 두께방향을 나타내고, 화살표(L)는 적층 세라믹 콘덴서(10) 및 소체부(11)의, 두께(T)방향에 직교하는 길이방향을 나타내고 있다. 도 1에서 화살표(W)는 적층 세라믹 콘덴서(10) 및 소체부(11)의, 두께(T)방향 및 길이(L)방향에 직교하는 폭방향을 나타내고 있다. 1 and 2, an arrow T indicates the thickness direction of the multilayer ceramic capacitor 10 and the body part 11, and an arrow L indicates the thickness ( The longitudinal direction orthogonal to the direction T) is shown. In FIG. 1 , an arrow W indicates the width direction of the multilayer ceramic capacitor 10 and the body portion 11 , which is orthogonal to the thickness (T) direction and the length (L) direction.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 외부전극(16)은 소체부(11)의 길이(L)방향의 양 단부(端部)의 외표면을 덮도록 서로 이간되어 마련되어 있다. 한 쌍의 외부전극(16)은 각각 도전막에 의해 구성되어 있다. 1 and 2 , a pair of external electrodes 16 are provided to be spaced apart from each other so as to cover the outer surfaces of both ends of the body part 11 in the length L direction. Each of the pair of external electrodes 16 is constituted by a conductive film.

한 쌍의 외부전극(16)은 예를 들면 소결 금속층과 도금층의 적층막으로 구성된다. 소결 금속층은 예를 들면 Cu, Ni, Ag, Pd, Ag-Pd 합금, Au 등의 페이스트를 베이킹함으로써 형성된다. 도금층은 예를 들면 Ni 도금층과 이를 덮는 Sn 도금층에 의해 구성된다. 도금층은 이 대신에 Cu 도금층이나 Au 도금층이어도 된다. 또한, 한 쌍의 외부전극(16)은 도금층에 의해서만 구성되어 있어도 된다. 나아가서는, 한 쌍의 외부전극(16)으로서 도전성 수지 페이스트를 이용하는 것도 가능하다. The pair of external electrodes 16 is composed of, for example, a lamination film of a sintered metal layer and a plating layer. The sintered metal layer is formed by, for example, baking a paste of Cu, Ni, Ag, Pd, Ag-Pd alloy, Au or the like. The plating layer is composed of, for example, a Ni plating layer and a Sn plating layer covering the Ni plating layer. A Cu plating layer or an Au plating layer may be sufficient as a plating layer instead of this. In addition, the pair of external electrodes 16 may be constituted only by the plating layer. Furthermore, it is also possible to use a conductive resin paste as the pair of external electrodes 16 .

도 2에 나타내는 바와 같이, 소체부(11)는 두께(T)방향을 따라 교대로 적층된 유전체 세라믹층(13) 및 내부전극층(14)으로 이루어지는 적층체(12)를 포함하고 있다. As shown in Fig. 2, the body portion 11 includes a laminate 12 comprising dielectric ceramic layers 13 and internal electrode layers 14 alternately laminated along the thickness T direction.

유전체 세라믹층(13)은 예를 들면 티탄산바륨을 주성분으로 하는 세라믹스 재료에 의해 형성되어 있다. 유전체 세라믹층(13)은 다른 고유전율의 세라믹스 재료(예를 들면, CaTiO3, SrTiO3, CaZrO3 등을 주성분으로 하는 것)이어도 된다. The dielectric ceramic layer 13 is formed of, for example, a ceramic material containing barium titanate as a main component. The dielectric ceramic layer 13 may be made of a ceramic material having another high dielectric constant (for example, a material containing CaTiO 3 , SrTiO 3 , CaZrO 3 as a main component or the like).

내부전극층(14)은 예를 들면 Ni, Cu, Ag, Pd, Ag-Pd 합금, Au 등으로 대표되는 금속 재료에 의해 형성되어 있다. 내부전극층(14)은 이들 금속 재료에 한정되지 않고, 다른 도전 재료로 형성되어도 된다. The internal electrode layer 14 is formed of a metal material typified by, for example, Ni, Cu, Ag, Pd, Ag-Pd alloy, Au, or the like. The internal electrode layer 14 is not limited to these metal materials, and may be formed of other conductive materials.

도 2에 나타내는 바와 같이, 두께(T)방향을 따라 유전체 세라믹층(13)을 끼고 서로 이웃하는 한 쌍의 내부전극층(14) 중 한쪽은 적층 세라믹 콘덴서(10)의 내부에서 한 쌍의 외부전극(16) 중 한쪽에 전기적으로 접속되어 있고, 두께(T)방향을 따라 유전체 세라믹층(13)을 끼고 서로 이웃하는 한 쌍의 내부전극층(14) 중 다른 쪽은 적층 세라믹 콘덴서(10)의 내부에서 한 쌍의 외부전극(16) 중 다른 쪽에 전기적으로 접속되어 있다. 이로써, 한 쌍의 외부전극(16) 사이는 복수개의 콘덴서 요소가 전기적으로 병렬로 접속된 구조로 되어 있다. As shown in FIG. 2 , one of the pair of internal electrode layers 14 adjacent to each other across the dielectric ceramic layer 13 along the thickness (T) direction is a pair of external electrodes inside the multilayer ceramic capacitor 10 . The other of a pair of internal electrode layers 14 that are electrically connected to one of (16) and are adjacent to each other with a dielectric ceramic layer (13) interposed along the thickness (T) direction is the inside of the multilayer ceramic capacitor (10). is electrically connected to the other of the pair of external electrodes 16 . Accordingly, a plurality of capacitor elements are electrically connected in parallel between the pair of external electrodes 16 .

유전체 세라믹층(13)은 내부전극층(14)의 사이에 끼인 복수개의 제1 유전체 세라믹층(13a)과, 두께(T)방향의 양 단에 배치되고 제1 유전체 세라믹층(13a)보다도 두께가 큰 한 쌍의 제2 유전체 세라믹층(13b)과, 내부전극층(14)을 사이에 두고 대향하는 제1 유전체 세라믹층(13a) 사이의, 내부전극(14)의 주위이며 내부전극층(14)이 배치되어 있지 않은 영역에 배치된 복수개의 제3 유전체 세라믹층(13c)을 가진다. The dielectric ceramic layer 13 includes a plurality of first dielectric ceramic layers 13a sandwiched between the internal electrode layers 14, disposed at both ends in the thickness T direction, and having a thickness greater than that of the first dielectric ceramic layer 13a. Between the large pair of second dielectric ceramic layers 13b and the first dielectric ceramic layers 13a facing each other with the internal electrode layer 14 interposed therebetween, around the internal electrode 14, the internal electrode layer 14 is formed. It has a plurality of third dielectric ceramic layers 13c disposed in non-arranged regions.

적층체(12)는 내부전극층(14)이 제1 유전체 세라믹층(13a)을 사이에 두고 대향하는 내층부(12A)와, 내층부(12A)를 적층(T)방향으로 끼우도록 배치되는 한 쌍의 외층부(12B)를 가진다. As long as the stacked body 12 is arranged such that the inner electrode layer 14 sandwiches the opposite inner layer portion 12A with the first dielectric ceramic layer 13a interposed therebetween, and the inner layer portion 12A in the stacking (T) direction. It has a pair of outer layer portions 12B.

도 3은 적층체(12)를 제조할 때의 제1 소재 시트(20A)를 나타내고, 도 4는 적층체(12)를 제조할 때의 제2 소재 시트(20B)를 나타내고 있다. FIG. 3 shows the first material sheet 20A when the laminate 12 is manufactured, and FIG. 4 shows the second material sheet 20B when the laminate 12 is manufactured.

도 3에 나타내는 제1 소재 시트(20A)는 제1 유전체 세라믹층(13a) 또는 제2 유전체 세라믹층(13b)이 되는 세라믹 그린시트(21)의 표면에, 복수개의 내부전극층(14)을 포함하는 내부전극층 패턴(22)이 인쇄에 의해 형성되어 있다. 한편, 세라믹 그린시트(21)는 유전체 시트로서 피(被)인쇄물의 일례이다. The first material sheet 20A shown in FIG. 3 includes a plurality of internal electrode layers 14 on the surface of the ceramic green sheet 21 serving as the first dielectric ceramic layer 13a or the second dielectric ceramic layer 13b. The internal electrode layer pattern 22 is formed by printing. On the other hand, the ceramic green sheet 21 is an example of a printed object as a dielectric sheet.

도 4에 나타내는 제2 소재 시트(20B)는 도 3에 나타내는 제1 소재 시트(20A)에 추가로 복수개의 제3 유전체 세라믹층(13c)이 내부전극(14) 주위에 인쇄에 의해 형성된 것이다. 도 5는 도 4의 V부 확대도이며, 도 5에 나타내는 바와 같이 제3 유전체 세라믹층(13c)은 내부전극(14)의 주위 전체 둘레에 형성된다. 도 3, 도 4 및 도 5에서는 적층 세라믹 콘덴서(10)에 대응하는 길이(L)방향 및 폭(W)방향을 각각 나타내고 있다. In the second material sheet 20B shown in FIG. 4 , in addition to the first material sheet 20A shown in FIG. 3 , a plurality of third dielectric ceramic layers 13c are formed around the internal electrodes 14 by printing. FIG. 5 is an enlarged view of part V of FIG. 4 , and as shown in FIG. 5 , the third dielectric ceramic layer 13c is formed around the entire periphery of the internal electrode 14 . 3, 4, and 5 show the length (L) direction and the width (W) direction corresponding to the multilayer ceramic capacitor 10, respectively.

적층체(12)는 복수매의 도 4에 나타내는 제2 소재 시트(20B)를 적층하여 분단함으로써 얻어진다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 세라믹 그린시트(21)의 표면에는 연속하는 2개분의 내부전극층(14)과, 내부전극층(14) 사이의 2개분의 제3 유전체 세라믹층(13c)이 복수개 형성되어 있다. 제2 소재 시트(20B)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 폭(W)방향을 따른 복수개의 제1 분할선(W1) 및 제2 분할선(W2)을 따라 분할됨으로써 긴 쪽 방향으로 분할됨과 함께, 길이(L)방향을 따른 복수개의 분할선(L1)을 따라 분할됨으로써 폭방향으로 분할된다. 제1 분할선(W1)은 2개분의 내부전극층(14)의 길이(L)방향의 분할 경계가 되는 중앙 부분을 분할한다. 제2 분할선(W2)은 2개분의 제3 유전체 세라믹층(13c)의 길이(L)방향의 분할 경계가 되는 중앙 부분을 분할한다. 분할선(L1)은 폭(W)방향으로 늘어서는 내부전극층(14) 및 제3 유전체 세라믹층(13c) 사이의 중앙을 분할한다. 이로써, 1층의 제1 유전체 세라믹층(13a)(또는 제2 유전체 세라믹층(13b)), 1층의 내부전극층(14), 및 제3 유전체 세라믹층(13c)이 형성된다. 한편, 복수매의 제2 소재 시트(20B)는 제3 유전체 세라믹층(13c)이 내부전극층(14)의 길이(L)방향의 일단(一端) 측 및 타단(他端) 측에 교대로 적층되도록, 제1 분할선(W1)이 제2 분할선(W2)에 겹치도록, 1매씩 길이(L)방향으로 교대로 어긋나게 적층된다. The laminate 12 is obtained by laminating and dividing a plurality of the second material sheets 20B shown in FIG. 4 . As shown in Fig. 5, for example, two continuous internal electrode layers 14 and two third dielectric ceramic layers 13c between the internal electrode layers 14 are formed on the surface of the ceramic green sheet 21, for example. A plurality are formed. As shown in Fig. 5, the second material sheet 20B is divided in the longitudinal direction by dividing along the plurality of first dividing lines W1 and the second dividing line W2 along the width W direction. , is divided in the width direction by dividing along a plurality of dividing lines L1 along the length (L) direction. The first dividing line W1 divides a central portion serving as a dividing boundary in the length L direction of the two internal electrode layers 14 . The second dividing line W2 divides a central portion serving as a dividing boundary in the length L direction of the third dielectric ceramic layer 13c for two parts. The dividing line L1 divides the center between the internal electrode layer 14 and the third dielectric ceramic layer 13c arranged in the width W direction. Thus, one first dielectric ceramic layer 13a (or second dielectric ceramic layer 13b), one internal electrode layer 14, and a third dielectric ceramic layer 13c are formed. On the other hand, in the plurality of second material sheets 20B, third dielectric ceramic layers 13c are alternately laminated on one end side and the other end side of the internal electrode layer 14 in the length (L) direction. As much as possible, the first dividing line W1 is alternately stacked one by one in the longitudinal L direction so that the first dividing line W1 overlaps the second dividing line W2.

이어서, 도 6~도 8을 참조하여, 실시형태에 따른 스크린 인쇄판(30)을 설명한다. 이 스크린 인쇄판(30)을 이용하여 상기 제1 소재 시트(20A)가 얻어진다. Next, with reference to FIGS. 6-8, the screen printing plate 30 which concerns on embodiment is demonstrated. The first material sheet 20A is obtained by using the screen printing plate 30 .

도 6은 실시형태에 따른 스크린 인쇄판(30)의 평면도이다. 도 7은 스크린 인쇄판(30)을 이용하여 세라믹 그린시트(21)의 표면에 복수개의 내부전극층(14)을 인쇄하는 상태를 개략적으로 나타내는 측면도이다. 도 8은 스크린 인쇄판(30)의 일부 확대도이다. 6 is a plan view of the screen printing plate 30 according to the embodiment. 7 is a side view schematically illustrating a state in which a plurality of internal electrode layers 14 are printed on the surface of the ceramic green sheet 21 using the screen printing plate 30 . 8 is a partially enlarged view of the screen printing plate 30 .

도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 스크린 인쇄판(30)은 직사각형상의 내측 프레임(31) 및 외측 프레임(41)과 복수개의 연결 부재(51)와 스크린(61)과 복수개의 볼트(71)를 포함한다. 한편, 볼트(71)는 조정 부재 및 나사 부재의 일례이다. 6 and 7, the screen printing plate 30 includes a rectangular inner frame 31 and an outer frame 41, a plurality of connecting members 51, a screen 61, and a plurality of bolts 71. include In addition, the bolt 71 is an example of an adjustment member and a screw member.

내측 프레임(31)은 네 변을 구성하는 4개의 변부(32)와, 인접하는 한 쌍의 변부(32) 각각의 사이에 배치된 네 모퉁이의 코너부(33)를 가진다. The inner frame 31 has four edges 32 constituting the four sides, and the corner portions 33 of four corners disposed between each of a pair of adjacent edges 32 .

도 8에 나타내는 바와 같이, 인접하는 한 쌍의 변부(32)는 코너부(33)를 통해 접속되어 있다. 코너부(33)는 R 형상으로 형성되어 있다. 변부(32)는 코너부(33)에 근접하는 단부에 접속편부(32a)를 가지고 있다. 접속편부(32a)를 코너부(33)에 체결 부재(34)로 체결함으로써, 변부(32)가 코너부(33)에 고정된다. 체결 부재(34)는 예를 들면 볼트·너트의 조합이다. 체결 부재(34)를 체결하거나 떼어 냄으로써, 변부(32)는 코너부(33)에 탈착이 가능하게 되어 있다. As shown in FIG. 8 , a pair of adjacent edge portions 32 are connected via a corner portion 33 . The corner portion 33 is formed in an R shape. The edge portion 32 has a connecting piece portion 32a at an end portion adjacent to the corner portion 33 . By fastening the connecting piece portion 32a to the corner portion 33 with the fastening member 34 , the edge portion 32 is fixed to the corner portion 33 . The fastening member 34 is, for example, a bolt-nut combination. By fastening or removing the fastening member 34 , the edge portion 32 is detachable from the corner portion 33 .

한편, 본 실시형태의 내측 프레임(31)은 상기와 같이 복수개의 부재, 즉 4개의 변부(32)와 4개의 코너부(33)의 조합으로 구성되어 있는데, 내측 프레임(31)은 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면 1개의 직사각형상 부재로 구성되어 있어도 된다. On the other hand, the inner frame 31 of the present embodiment is composed of a combination of a plurality of members, that is, four sides 32 and four corner portions 33 as described above, and the inner frame 31 has such a configuration. Not limited to, for example, you may be comprised by one rectangular member.

외측 프레임(41)은 내측 프레임(31)의 외측에 내측 프레임(31)을 둘러싸는 상태로 배치되어 있다. 외측 프레임(41)은 내측 프레임(31)의 각 변부(32)에 각각 대향하는 4개의 프레임부(42)를 가진다. The outer frame 41 is disposed on the outside of the inner frame 31 to surround the inner frame 31 . The outer frame 41 has four frame portions 42 respectively opposing each side portion 32 of the inner frame 31 .

복수개의 연결 부재(51)는 내측 프레임(31)과 외측 프레임(41)을 연결한다. 연결 부재(51)는 내측 프레임(31)의 각 코너부(33)와, 각 코너부(33)에 대향하는 외측 프레임(41)의 모서리부(41a) 사이 4군데에 배치되어 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 연결 부재(51)는 내측 프레임(31) 측의 단부가 코너부(33)에 체결 부재(52)로 체결된다. 체결 부재(52)는 예를 들면 볼트·너트의 조합이며, 체결 부재(52)를 체결하거나 떼어 냄으로써 연결 부재(51)는 코너부(33)에 탈착이 가능하게 된다. 즉, 외측 프레임(41)은 내측 프레임(31)에 탈착이 가능하다. 한편, 연결 부재(51)의 외측 프레임(41) 측 단부는 외측 프레임(41)에 탈착이 불가능하게 고정되거나, 또는 탈착이 가능하게 고정된다. The plurality of connecting members 51 connect the inner frame 31 and the outer frame 41 . The connecting member 51 is arranged in four places between each corner portion 33 of the inner frame 31 and the corner portion 41a of the outer frame 41 opposite to each corner portion 33 . As shown in FIG. 8 , the end of the connecting member 51 on the inner frame 31 side is fastened to the corner portion 33 by the fastening member 52 . The fastening member 52 is, for example, a combination of a bolt and a nut, and by fastening or detaching the fastening member 52 , the connecting member 51 can be detached from the corner portion 33 . That is, the outer frame 41 is detachable from the inner frame 31 . On the other hand, the end of the outer frame 41 side of the connection member 51 is fixed to the outer frame 41 in a non-detachable or detachable manner.

내측 프레임(31) 및 외측 프레임(41)은 금속에 의해 구성되는 것이 바람직하다. 외측 프레임(41)은 예를 들면 스테인리스나 스틸 등으로 이루어지고, 외측 및 내측에 휘어지기 어려운 강성을 가지는 것이 바람직하다. 한편, 내측 프레임(31)의 적어도 변부(32)는 내측 및 외측에 어느 정도 휘어져서 변형이 가능한 알루미늄 등의 탄성을 가지는 금속으로 구성된다. 이와 같이, 내측 프레임(31)의 변부(32)의 강성은 외측 프레임(41)의 강성보다도 낮은 것이 바람직하다. 내측 프레임(31)의 재료와 외측 프레임(41)의 재료를 다르게 함으로써, 내측 프레임(31)의 강성을 외측 프레임(41)의 강성보다도 낮게 할 수 있다. 또한, 내측 프레임(31)의 두께와 외측 프레임(41)의 두께를 다르게 하는 것에 의해서도, 내측 프레임(31)의 강성을 외측 프레임(41)의 강성보다도 낮게 할 수 있다. 한편, 다르게 하는 두께는 스크린(61)에 수직인 방향의 두께이어도 되고, 스크린(61)에 평행한 방향의 두께이어도 된다. The inner frame 31 and the outer frame 41 are preferably made of metal. It is preferable that the outer frame 41 is made of, for example, stainless steel or steel, and has rigidity that is difficult to bend on the outside and inside. On the other hand, at least the side portion 32 of the inner frame 31 is made of a metal having elasticity, such as aluminum, which can be deformed by bending to some extent on the inner and outer sides. As described above, the rigidity of the edge portion 32 of the inner frame 31 is preferably lower than that of the outer frame 41 . By making the material of the inner frame 31 and the material of the outer frame 41 different, the rigidity of the inner frame 31 can be made lower than that of the outer frame 41 . Also, by making the thickness of the inner frame 31 different from the thickness of the outer frame 41 , the rigidity of the inner frame 31 can be made lower than that of the outer frame 41 . On the other hand, the thickness to be different may be a thickness in a direction perpendicular to the screen 61 or a thickness in a direction parallel to the screen 61 .

도 6에 나타내는 바와 같이, 스크린(61)은 내측 프레임(31)의 내측에 텐션을 가한 상태로 펴지는 메시(mesh)(62)를 포함한다. 메시(62)는 미세한 그물코 구조를 가진다. 메시(62)는 예를 들면 스테인리스 등으로 이루어지는 금속 메시나, 나일론 메시 등의 수지제 메시로 구성된다. 메시(62)는 내측 프레임(31)의 적어도 각 변부(32)의 아랫면에 접착 등의 수단으로 고정된다. 메시(62)는 각 변부(32)와 함께 각 코너부(33)에도 고정되어도 된다. As shown in FIG. 6 , the screen 61 includes a mesh 62 that is stretched in a state in which tension is applied to the inside of the inner frame 31 . The mesh 62 has a fine mesh structure. The mesh 62 is composed of, for example, a metal mesh made of stainless steel or the like, or a resin mesh such as a nylon mesh. The mesh 62 is fixed to the underside of at least each side 32 of the inner frame 31 by means of adhesive or the like. The mesh 62 may be fixed to each corner portion 33 together with each edge portion 32 .

메시(62)의 중앙부에는 인쇄 영역(63)이 마련되어 있다. 인쇄 영역(63)은 복수개의 개구(64)가 형성된 인쇄 패턴(65)을 포함한다. 인쇄 패턴(65)은 메시(62)를 막는 마스크(66)와, 마스크(66)가 형성되지 않은 복수개의 개구(64)를 포함한다. 인쇄 패턴(65)은 예를 들면, 메시(62)에 감광성 에멀전을 도포하고, 포토리소마스크 등을 통해 UV에 의한 노광·현상 공정을 실시하는 등의 수법으로 형성된다. A printing area 63 is provided in the central portion of the mesh 62 . The print area 63 includes a print pattern 65 in which a plurality of openings 64 are formed. The printed pattern 65 includes a mask 66 that blocks the mesh 62 , and a plurality of openings 64 in which the mask 66 is not formed. The print pattern 65 is formed by, for example, applying a photosensitive emulsion to the mesh 62 and performing an exposure/development process with UV through a photolithomask or the like.

인쇄 영역(63)은 내부전극층 패턴(22)을 형성하는 세라믹 그린시트(21)의 표면과 대응하는 영역이다. 인쇄 패턴(65)은 내부전극층 패턴(22)에 대응하고, 복수개의 개구(64)를 도전 페이스트가 통과하여 세라믹 그린시트(21)에 인쇄되어서 복수개의 내부전극층(14)이 형성된다. The printing area 63 is an area corresponding to the surface of the ceramic green sheet 21 forming the internal electrode layer pattern 22 . The printed pattern 65 corresponds to the internal electrode layer pattern 22 , and the conductive paste passes through the plurality of openings 64 and is printed on the ceramic green sheet 21 to form the plurality of internal electrode layers 14 .

복수개의 볼트(71)는 외측 프레임(41)의 각 프레임부(42)에 외측에서 내측을 향해 나사 체결되어 있다. 각 볼트(71)의 축방향은 프레임부(42)의 길이방향에 직교하거나 혹은 그에 가까운 상태로 교차되어 있다. 즉 각 볼트(71)는 내측 프레임(31)에 대하여 진퇴가 가능하게 외측 프레임(41)에 장착되어 있다. 각 프레임부(42)는 볼트(71)가 나사 체결되는 나사 구멍(42a)을 가진다. 본 실시형태에서는 하나의 프레임부(42)에 3개의 볼트(71)가 프레임부(42)의 길이방향으로 등간격을 두고 배치되어 있는데, 프레임부(42)당 볼트(71)의 수는 임의이며, 한정되지 않는다. The plurality of bolts 71 are screwed to each frame portion 42 of the outer frame 41 from the outside to the inside. The axial direction of each bolt 71 is orthogonal to the longitudinal direction of the frame portion 42 or crosses in a state close thereto. That is, each bolt 71 is attached to the outer frame 41 so as to be able to advance and retreat with respect to the inner frame 31 . Each frame portion 42 has a screw hole 42a to which a bolt 71 is screwed. In this embodiment, three bolts 71 are arranged in one frame portion 42 at equal intervals in the longitudinal direction of the frame portion 42. The number of bolts 71 per frame portion 42 is arbitrary. and is not limited.

볼트(71)는 내측 프레임(31)의 변부(32)에 축 둘레로 회전이 가능하면서 축방향으로의 이동은 불가능한 상태로 편입되어 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 볼트(71)는 그 선단에 동일축상의 플랜지(71a)를 가지며, 이 플랜지(71a)가 변부(32)의 내부에 회전이 가능하게 수용되어 있다. 프레임부(42)의 나사 구멍(42a)에 나사 체결되는 볼트(71)가 회전되면, 플랜지(71a)가 변부(32)의 내부에 걸어맞춰짐으로써 볼트(71)의 진퇴에 추종하여 변부(32)가 변형된다. 즉, 볼트(71)를 조임 방향으로 회전시켜 내측으로 진출시키면, 변부(32)가 내측으로 가압되어 스크린(61) 측으로 휘어지도록 변형된다. 또한, 볼트(71)를 푸는 방향으로 회전시켜서 외측으로 후퇴시키면, 변부(32)는 외측으로 휘어지도록 변형된다. 이와 같이 하여, 볼트(71)는 내측 프레임(31)의 변부(32)가 외측 프레임(41)에 대하여 멀어지거나 접근하도록 변부(32)에 응력을 부가한다. 이로써 내측 프레임(31)의 내측에 펴진 스크린(61)은 변부(32)의 변위에 따라 텐션이 조정된다. The bolt 71 is incorporated into the side 32 of the inner frame 31 in a state where it is possible to rotate about the axis while being unable to move in the axial direction. As shown in FIG. 7 , the bolt 71 has a coaxial flange 71a at its tip end, and the flange 71a is rotatably accommodated in the side portion 32 . When the bolt 71 screwed to the screw hole 42a of the frame part 42 is rotated, the flange 71a is engaged with the inside of the edge part 32 to follow the advancing and retreating of the bolt 71 to the edge part ( 32) is transformed. That is, when the bolt 71 is rotated in the tightening direction to advance inward, the edge 32 is pressed inward and deformed to be bent toward the screen 61 . In addition, when the bolt 71 is rotated in the loosening direction to retreat outward, the edge 32 is deformed so as to be bent outward. In this way, the bolt 71 stresses the edge 32 of the inner frame 31 so that it approaches or moves away from the outer frame 41 . Accordingly, the tension of the screen 61 spread on the inside of the inner frame 31 is adjusted according to the displacement of the edge portion 32 .

상기 구성을 포함한 스크린 인쇄판(30)에 의해, 도 3에 나타낸 바와 같이 세라믹 그린시트(21) 상에 내부전극층 패턴(22)을 인쇄하기 위해서는 도 7에 나타내는 바와 같이 테이블(25) 위에 배치된 세라믹 그린시트(21)의 상방에 스크린(61)을 배치한다. 세라믹 그린시트(21)는 PET(폴리에틸렌테레프탈레이트) 등의 수지 시트로 이루어지는 지지 시트(26) 상에 지지된다. 세라믹 그린시트(21)는 지지 시트(26)의 표면에 예를 들면 닥터 블레이드법이나 스크린 인쇄 등에 의해 형성된다. In order to print the internal electrode layer pattern 22 on the ceramic green sheet 21 as shown in FIG. 3 by the screen printing plate 30 having the above configuration, as shown in FIG. 7 , the ceramic arranged on the table 25 . A screen 61 is disposed above the green sheet 21 . The ceramic green sheet 21 is supported on a support sheet 26 made of a resin sheet such as PET (polyethylene terephthalate). The ceramic green sheet 21 is formed on the surface of the support sheet 26 by, for example, a doctor blade method or screen printing.

도 7에 나타내는 바와 같이, 스크린 인쇄판(30)의 스크린(61)은 세라믹 그린시트(21)에 대하여 소정의 이간 거리를 두고 평행하게 배치된다. 스크린(61)의 윗면에 공급된 인쇄 재료로서의 도전 페이스트(P)를, 스퀴지(27)에 의해 화살표(F) 방향을 향해 끌어당기도록 인쇄 영역(63)으로 프레싱하여 이동시킨다. 이로써, 스퀴지(27)로 세라믹 그린시트(21)에 스크린(61)이 프레싱될 때에 개구(64)를 통과하는 도전 페이스트(P)가 세라믹 그린시트(21)에 인쇄되고, 복수개의 내부전극층에 의한 내부전극층 패턴(22)이 형성된다. As shown in FIG. 7 , the screen 61 of the screen printing plate 30 is arranged in parallel with the ceramic green sheet 21 with a predetermined separation distance therebetween. The conductive paste P as a printing material supplied to the upper surface of the screen 61 is pressed and moved to the printing area 63 so as to be drawn in the direction of the arrow F by the squeegee 27 . Accordingly, when the screen 61 is pressed on the ceramic green sheet 21 with the squeegee 27, the conductive paste P passing through the opening 64 is printed on the ceramic green sheet 21 and applied to the plurality of internal electrode layers. An internal electrode layer pattern 22 is formed by

이와 같이 하여 스크린 인쇄판(30)에 의해 내부전극층 패턴(22)을 스크린 인쇄하기에 앞서, 복수개의 볼트(71)를 이용하여 스크린(61)의 텐션을 조정한다. 스크린(61)의 텐션 조정에 의해, 인쇄 후에 지지 시트(26)가 근소하게 신축됨에 따라 내부전극층 패턴(22)이 일그러지는 사태를 억제할 수 있다. In this way, before screen printing the internal electrode layer pattern 22 by the screen printing plate 30, the tension of the screen 61 is adjusted using a plurality of bolts 71. By adjusting the tension of the screen 61 , it is possible to suppress a situation in which the internal electrode layer pattern 22 is distorted due to slight expansion and contraction of the support sheet 26 after printing.

스크린(61)의 텐션 조정은 다음과 같이 실시한다. 텐션을 조정하지 않은 상태로 세라믹 그린시트(21) 상에 내부전극층 패턴(22)을 인쇄하고, 인쇄 후의 지지 시트(26)의 변형에 기초하는 내부전극층 패턴(22)의 일그러짐 경향을 미리 파악한다. 그리고 파악된 일그러짐 경향이 보정되도록 볼트(71)에 의해 내측 프레임(31)을 통해 스크린(61)의 텐션을 조정한 후에, 도 7에 나타내는 바와 같이 스크린 인쇄한다. The tension adjustment of the screen 61 is performed as follows. The internal electrode layer pattern 22 is printed on the ceramic green sheet 21 without adjusting the tension, and the distortion tendency of the internal electrode layer pattern 22 based on the deformation of the support sheet 26 after printing is grasped in advance. . And after adjusting the tension of the screen 61 through the inner frame 31 by the bolt 71 so that the grasped distortion tendency is corrected, screen printing is performed as shown in FIG.

도 9 및 도 10은 텐션 조정의 예를 각각 나타낸다. 9 and 10 respectively show examples of tension adjustment.

도 9의 좌측 도면은 인쇄 후에 지지 시트(26)가 변형됨으로써 세라믹 그린시트(21)에 인쇄된 내부전극층 패턴(22)이 전체적으로 도면 중 상방으로 오목한 산형상으로 일그러진 상태를 나타내고 있다. 이 경우, 도 9의 우측 도면에 나타내는 바와 같이, 스크린(61)을 상방의 중앙 부분이 도면 중 하측으로 가압되고, 하방의 양측 부분이 도면 중 상측으로 가압되도록, 대응하는 부분의 복수개의 볼트(71)의 진퇴량을 조정하여 내측 프레임(31)을 변형시킨다. The left diagram of FIG. 9 shows a state in which the internal electrode layer pattern 22 printed on the ceramic green sheet 21 as a whole is distorted in an upwardly concave mountain shape as the support sheet 26 is deformed after printing. In this case, as shown in the right drawing of FIG. 9 , a plurality of bolts ( 71), the inner frame 31 is deformed by adjusting the advancing and retreating amount.

한편, 도 9 및 도 10의 우측 도면에서의 화살표는 내측 프레임(31)을 가압할 때의 세기를 나타내고 있고, 길수록 강하다. On the other hand, arrows in the right drawings of Figures 9 and 10 indicate the strength when pressing the inner frame 31, the longer the stronger.

이와 같은 텐션 조정을 실시한 상태에서 도 7에 나타낸 바와 같이 스크린 인쇄를 실시하고, 인쇄 후에 지지 시트(26)가 변형되면, 그 변형에 추종하여 내부전극층(14)의 위치에 변위가 생긴다. 그 결과, 도 9의 우측에 나타내는 바와 같이, 내부전극층(14)은 일그러짐 없이 정렬되고, 정연한 내부전극층 패턴(22)을 얻을 수 있다. When the support sheet 26 is deformed after screen printing is performed as shown in FIG. 7 in a state in which the tension is adjusted in this way, displacement occurs in the position of the internal electrode layer 14 following the deformation. As a result, as shown on the right side of FIG. 9 , the internal electrode layer 14 is aligned without distortion, and an orderly internal electrode layer pattern 22 can be obtained.

도 10의 좌측 도면은 인쇄 후에 지지 시트(26)가 변형됨으로써 세라믹 그린시트(21)에 인쇄된 내부전극층 패턴(22)의 상측 및 하측이 좌우로 퍼진 상태를 나타내고 있다. 이 경우, 도 10의 우측에 나타내는 바와 같이 스크린(61)의 도면 중 상측 및 하측 부분을 좌우에서 내측으로 가압되도록, 대응하는 복수개의 볼트(71)의 진퇴량을 조정하여 내측 프레임(31)을 변형시킨다. The left diagram of FIG. 10 shows a state in which the upper and lower sides of the internal electrode layer pattern 22 printed on the ceramic green sheet 21 spread to the left and right as the support sheet 26 is deformed after printing. In this case, as shown on the right side of FIG. 10 , the inner frame 31 is formed by adjusting the advance and retreat amounts of the corresponding plurality of bolts 71 so that the upper and lower portions in the drawing of the screen 61 are pressed from left to right inward. transform

이와 같은 텐션 조정을 실시한 상태에서, 도 7에 나타낸 바와 같이 스크린 인쇄를 실시하고, 인쇄 후에 지지 시트(26)가 변형되면, 그 변형에 추종하여 내부전극층(14)의 위치에 변위가 생긴다. 그 결과, 도 10의 우측에 나타내는 바와 같이 내부전극층(14)은 일그러짐 없이 정렬되고, 정연한 내부전극층 패턴(22)을 얻을 수 있다. In the state of such tension adjustment, if screen printing is performed as shown in FIG. 7 and the support sheet 26 is deformed after printing, displacement occurs in the position of the internal electrode layer 14 following the deformation. As a result, as shown on the right side of FIG. 10 , the internal electrode layer 14 is aligned without distortion, and an orderly internal electrode layer pattern 22 can be obtained.

인쇄 후의 지지 시트(26)의 변형에 기초하는 내부전극층 패턴(22)의 일그러짐 경향을 미리 파악하기 위해서는 예를 들면 다음의 수법이 채용된다. In order to grasp in advance the distortion tendency of the internal electrode layer pattern 22 based on the deformation|transformation of the support sheet 26 after printing, the following method is employ|adopted, for example.

도 11에 나타내는 바와 같이, 지지 시트(26) 상에 지지한 세라믹 그린시트(21)에 모의적으로 3열×3열의 내부전극층(14)을 인쇄하고, 인쇄 직후에 그들 내부전극층(14)의 왼쪽 위 코너부를 측정 포인트로 하여 위치를 측정한다. 이후 내부전극층(14)이 건조되는 시간을 포함시켜 지지 시트(26)가 변형되는 시간을 경과시키고, 다시 측정 포인트를 측정하여 측정 포인트의 변동을 조사한다. 이로써, 인쇄 후의 지지 시트(26)의 변형에 기초하는 내부전극층 패턴(22)의 일그러짐 경향을 미리 파악할 수 있다. 11, three rows by three rows of internal electrode layers 14 are simulatedly printed on the ceramic green sheet 21 supported on the support sheet 26, and the internal electrode layers 14 are formed immediately after printing. Measure the position using the upper left corner as the measuring point. Thereafter, the time for the support sheet 26 to deform including the time for which the internal electrode layer 14 is dried elapses, and the measurement point is measured again to investigate the variation of the measurement point. Thereby, the distortion tendency of the internal electrode layer pattern 22 based on the deformation|transformation of the support sheet 26 after printing can be grasped|ascertained in advance.

도 12는 제3 유전체 세라믹층(13c)을 스크린 인쇄판(80)에 의해 스크린 인쇄하는 형태를 개략적으로 나타내고 있다. 제3 유전체 세라믹층(13c)은 내부전극층(14)의 인쇄 후에 세라믹 그린시트(21) 상에 인쇄하는 것에 의해 형성된다. 스크린 인쇄판(80)은 복수개의 내부전극층(14)을 인쇄하는 상기 실시형태의 스크린 인쇄판(30)과 구조는 동일하며, 개구(64) 대신에 제3 유전체 세라믹층(13c)을 인쇄하는 복수개의 개구(84)가 형성되어 있다. 도 12에서는 적층 세라믹 콘덴서(10)에 대응하는 길이(L)방향 및 두께(T)방향을 각각 나타내고 있다. 12 schematically shows a form in which the third dielectric ceramic layer 13c is screen-printed by the screen printing plate 80 . The third dielectric ceramic layer 13c is formed by printing on the ceramic green sheet 21 after the internal electrode layer 14 is printed. The screen printing plate 80 has the same structure as the screen printing plate 30 of the above embodiment for printing a plurality of internal electrode layers 14, and has a plurality of third dielectric ceramic layers 13c printed instead of the opening 64. An opening 84 is formed. In FIG. 12 , the length (L) direction and the thickness (T) direction corresponding to the multilayer ceramic capacitor 10 are respectively shown.

스크린 인쇄판(80)에 관한 이하의 설명에서, 스크린 인쇄판(30)과 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 붙여 그들의 설명을 생략한다. In the following description of the screen printing plate 80, the same components as those of the screen printing plate 30 are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.

스크린 인쇄판(80)의 스크린(61)을 구성하는 메시(62)에 형성된 개구(84)의 길이(L)방향의 가장자리부에는 세라믹 그린시트(21) 측으로 돌출되는 후육부(厚肉部)(87)가 형성되어 있다. At the edge in the length (L) direction of the opening 84 formed in the mesh 62 constituting the screen 61 of the screen printing plate 80, a thick portion protruding toward the ceramic green sheet 21 ( 87) is formed.

기설의 내부전극층(14)의 긴 쪽(L)방향의 단부에는 세라믹 그린시트(21)를 향함에 따라 퍼지도록 경사진 테이퍼부(14t)가 형성되어 있다. 스크린(61)의 후육부(87)는 그 테이퍼부(14t) 및 테이퍼부(14t)에 연속하는 표면 측 단부(14s)에 대응하여, 이들 테이퍼부(14t) 및 표면 측 단부(14s)의 상방에 위치하도록 형성된다. At the end of the existing internal electrode layer 14 in the long side (L) direction, a tapered portion 14t inclined to spread toward the ceramic green sheet 21 is formed. The thick portion 87 of the screen 61 corresponds to the tapered portion 14t and the surface-side end 14s continuous to the tapered portion 14t, so that the tapered portion 14t and the surface-side end 14s are formed. It is formed to be located above.

후육부(87)의 개구(84)에 면하는 외측 가장자리는 하방의 세라믹 그린시트(21) 측을 향함에 따라 개구(84)로부터 멀어지도록 테이퍼면(87a)이 형성되어 있다. 이 테이퍼면(87a)에 의해, 개구(84)를 통과하여 세라믹 그린시트(21)에 인쇄되는 제3 유전체 세라믹층(13c)은 테이퍼 형상의 내부전극층(14)의 둘레 가장자리(14t)에 오버랩되도록 유동되어 인쇄된다. The outer edge of the thick portion 87 facing the opening 84 has a tapered surface 87a so as to move away from the opening 84 as it faces the lower ceramic green sheet 21 side. Due to the tapered surface 87a, the third dielectric ceramic layer 13c passed through the opening 84 and printed on the ceramic green sheet 21 overlaps the peripheral edge 14t of the tapered internal electrode layer 14. It is printed as fluidly as possible.

제3 유전체 세라믹층(13c)의 긴 쪽(L)방향의 양 단부는 도 12에 나타내는 바와 같이 내부전극층(14)의 둘레 가장자리(14t)에 오버랩되고, 더욱이 내부전극층(14)의 표면 측 단부(14s)를 덮어서 중첩되는 중첩부(13e)가 형성되는 경우가 있다. 그 때, 표면 측 단부(14s) 상을 덮도록 하여 유동된 도전 페이스트는 그 표면 측 단부(14s) 상에서 절단면이 산형상으로 솟아오르고, 이른바 새들(saddle)이라고 불리는 돌출부에 형성되기 쉽다. 그러나 그와 같은 돌출부는 후육부(87)로 프레싱됨으로써 형성되기 어렵고, 도 12에 나타내는 중첩부(13e)와 같이 얇고 평탄한 상태로 형성된다. 이 때문에, 두께의 불균일이 억제된다. Both ends of the third dielectric ceramic layer 13c in the long side (L) direction overlap the peripheral edge 14t of the internal electrode layer 14 as shown in FIG. An overlapping portion 13e that covers and overlaps 14s may be formed. At that time, the conductive paste flowed so as to cover the surface-side end 14s has a cut surface rising up in a mountain shape on the surface-side end 14s, and is likely to be formed in a protrusion called a saddle. However, such a protrusion is difficult to be formed by being pressed into the thick portion 87, and is formed in a thin and flat state like the overlapping portion 13e shown in FIG. For this reason, the nonuniformity of thickness is suppressed.

상기와 같이 내부전극층(14) 인쇄 후에 제3 유전체 세라믹층(13c)을 세라믹 그린시트(21) 상에 인쇄하는 경우에도 스크린 인쇄판(30)을 이용할 수 있다. As described above, even when the third dielectric ceramic layer 13c is printed on the ceramic green sheet 21 after the internal electrode layer 14 is printed, the screen printing plate 30 may be used.

도 13의 좌측 도면은 인쇄 후에 상기 지지 시트(26)가 변형됨으로써, 세라믹 그린시트(21)에 인쇄된 내부전극층 패턴(22) 및 복수개의 내부전극층(14) 사이의 제3 유전체 세라믹층(13c)이 전체적으로 도면 중 상방으로 볼록한 산형상으로 일그러진 상태를 나타내고 있다. 이 경우, 도 13의 우측 도면에 나타내는 바와 같이, 스크린 인쇄판(30)의 스크린(61)을 상방의 중앙 부분이 도면 중 하측으로 가압되고, 하방의 양측 부분이 도면 중 상측으로 가압되도록, 대응하는 부분의 복수개의 볼트(71)의 진퇴량을 조정하여 내측 프레임(31)을 변형시킨다. 13 shows the third dielectric ceramic layer 13c between the internal electrode layer pattern 22 and the plurality of internal electrode layers 14 printed on the ceramic green sheet 21 as the support sheet 26 is deformed after printing. ) indicates a distorted state in the shape of an upward convex mountain in the drawing as a whole. In this case, as shown in the right drawing of FIG. 13, the upper central portion of the screen 61 of the screen printing plate 30 is pressed to the lower side in the drawing, and the lower both sides are pressed to the upper side in the drawing, corresponding to the corresponding The inner frame 31 is deformed by adjusting the amount of advance and retreat of the plurality of bolts 71 of the portion.

한편, 도 13의 우측 도면에서의 화살표는 내측 프레임(31)을 가압할 때의 세기를 나타내고, 길수록 강하다. On the other hand, an arrow in the right drawing of FIG. 13 indicates the strength when pressing the inner frame 31, and the longer it is, the stronger it is.

이와 같은 텐션 조정을 실시한 상태에서 제3 유전체 세라믹층(13c)를 스크린 인쇄에 의해 형성하면, 형성 후에 지지 시트(26)가 변형되었을 때 그 변형에 추종하여 내부전극층(14) 및 제3 유전체 세라믹층(13c)의 위치에 변위가 생긴다. 그 결과, 도 13의 우측에 나타내는 바와 같이, 내부전극층(14)과 함께 제3 유전체 세라믹층(13c)은 일그러짐 없이 정렬되고, 정연한 내부전극층 패턴(22) 및 제3 유전체 세라믹층(13c)을 얻을 수 있다. When the third dielectric ceramic layer 13c is formed by screen printing in such a state of adjusting the tension, the internal electrode layer 14 and the third dielectric ceramic layer 13c follow the deformation when the support sheet 26 is deformed after formation. A displacement occurs in the position of the layer 13c. As a result, as shown on the right side of FIG. 13 , the third dielectric ceramic layer 13c together with the internal electrode layer 14 are aligned without distortion, and an ordered internal electrode layer pattern 22 and the third dielectric ceramic layer 13c are formed. can be obtained

이와 같이 본 실시형태에서는 스크린 인쇄판(30)을 이용함으로써, 제3 유전체 세라믹층(13c)을 일그러짐 없이 정연하게 형성할 수 있다. As described above, in this embodiment, by using the screen printing plate 30, the third dielectric ceramic layer 13c can be formed in an orderly manner without distortion.

상기 실시형태에 따르면, 이하의 효과가 발휘된다. According to the said embodiment, the following effects are exhibited.

(1) 실시형태에 따른 스크린 인쇄판(30)은 직사각형상의 내측 프레임(31)과, 개구(64)가 형성된 인쇄 패턴(65)을 가지며 내측 프레임(31)의 내측에 텐션을 가한 상태로 펴지는 스크린(61)과, 내측 프레임(31)의 외측에 내측 프레임(31)을 둘러싸는 상태로 배치되는 외측 프레임(41)과, 내측 프레임(31)과 외측 프레임(41)을 연결하는 연결 부재(51)와, 내측 프레임(31)이 외측 프레임(41)에 대하여 이접하도록 내측 프레임(31)에 응력을 부가함으로써 스크린(61)의 텐션을 조정하는 조정 부재로서의 볼트(71)를 포함한다. (1) The screen printing plate 30 according to the embodiment has a rectangular inner frame 31 and a printed pattern 65 having an opening 64 formed therein, and is unfolded in a state in which tension is applied to the inner side of the inner frame 31 . The screen 61, the outer frame 41 disposed to surround the inner frame 31 on the outside of the inner frame 31, and a connecting member connecting the inner frame 31 and the outer frame 41 ( 51 , and a bolt 71 as an adjustment member for adjusting the tension of the screen 61 by applying a stress to the inner frame 31 so that the inner frame 31 abuts against the outer frame 41 .

이로써, 인쇄 후에 일그러짐이 발생하는 경우, 그 일그러짐이 보정되도록 볼트(71)에 의해 내측 프레임(31)을 통해 스크린(61)의 텐션을 조정함으로써, 인쇄 후의 내부전극층 패턴(22)을 설계대로 높은 정밀도로 형성할 수 있다. Accordingly, when distortion occurs after printing, by adjusting the tension of the screen 61 through the inner frame 31 with the bolt 71 to correct the distortion, the internal electrode layer pattern 22 after printing can be set as high as designed. It can be formed with precision.

(2) 실시형태에 따른 스크린 인쇄판(30)에서는 내측 프레임(31)의 변부(32)의 강성은 외측 프레임(41)의 강성보다도 낮은 것이 바람직하다. (2) In the screen printing plate 30 according to the embodiment, it is preferable that the rigidity of the edge portion 32 of the inner frame 31 is lower than that of the outer frame 41 .

이로써, 내측 프레임(31)의 변부(32)를 변형시키기 쉬워진다. 따라서 스크린(61)의 텐션 조정을 실시하기 쉬워져, 결과적으로 내부전극층 패턴(22)을 보다 높은 정밀도로 형성할 수 있다. Thereby, it becomes easy to deform|transform the edge part 32 of the inner frame 31. As shown in FIG. Therefore, it becomes easy to adjust the tension of the screen 61, and as a result, the internal electrode layer pattern 22 can be formed with higher precision.

(3) 실시형태에 따른 스크린 인쇄판(30)에서 내측 프레임(31)은 네 변을 구성하는 변부(32)와, 인접하는 한 쌍의 상기 변부(32) 각각의 사이에 배치된 네 모퉁이의 코너부(33)로 분할되어 있는 것이 바람직하다. (3) In the screen printing plate 30 according to the embodiment, the inner frame 31 has the edges 32 constituting the four sides, and the corners of the four corners disposed between each of the adjacent pair of the side portions 32 . It is preferable that it is divided into parts (33).

이로써, 변부(32)의 강성이 낮아지고, 변부(32)를 변형시키기 쉬워진다. 따라서 스크린(61)의 텐션 조정을 실시하기 쉬워져, 결과적으로 내부전극층 패턴(22)을 보다 높은 정밀도로 형성할 수 있다. Thereby, the rigidity of the edge part 32 becomes low, and it becomes easy to deform the edge part 32. As shown in FIG. Therefore, it becomes easy to adjust the tension of the screen 61, and as a result, the internal electrode layer pattern 22 can be formed with higher precision.

(4) 실시형태에 따른 스크린 인쇄판(30)에서 스크린(61)은 메시(62)가 에멀전에 의해 마스킹되어 인쇄 패턴(65)이 형성되어 있다. (4) In the screen printing plate 30 according to the embodiment, the screen 61 has a mesh 62 masked with an emulsion to form a printing pattern 65 .

이로써, 인쇄 패턴(65)을 간편하게 형성할 수 있다. Thereby, the print pattern 65 can be easily formed.

(5) 실시형태에 따른 스크린 인쇄판(80)에서는 스크린(61)에서의 개구(84)의 가장자리부에 피인쇄물인 세라믹 그린시트(21) 측으로 돌출되는 후육부(87)를 가진다. (5) In the screen printing plate 80 according to the embodiment, an edge portion of the opening 84 in the screen 61 has a thick portion 87 protruding toward the ceramic green sheet 21 as a printed object.

이로써, 개구(84)에 대응하여 인쇄되는 제3 유전체 세라믹층(13c)의 단부에 새들 형상의 돌출부가 형성되려고 한 경우, 후육부(87)로 프레싱됨으로써 그와 같은 돌출부는 형성되기 어렵고 평탄하게 형성되며, 두께의 불균일이 억제된다. Accordingly, when a saddle-shaped protrusion is intended to be formed at the end of the third dielectric ceramic layer 13c to be printed corresponding to the opening 84, it is difficult to form such a protrusion by pressing into the thick portion 87, and it is difficult to form such a protrusion flat. formed, and the unevenness of the thickness is suppressed.

(6) 실시형태에 따른 스크린 인쇄판(30)에서는 스크린(61)의 텐션을 조정하는 조정 부재로서, 내측 프레임(31)에 대하여 진퇴가 가능하게 외측 프레임(41)에 장착되는 볼트(71)를 채용하고 있다. (6) In the screen printing plate 30 according to the embodiment, as an adjustment member for adjusting the tension of the screen 61 , a bolt 71 mounted on the outer frame 41 so as to be able to advance and retreat with respect to the inner frame 31 is provided. are hiring

이로써, 조정 부재를 간소하게 구성할 수 있다. 또한, 볼트(71)의 회전에 의해 조정량을 세세하게 할 수 있기 때문에, 내부전극층 패턴(22)을 보다 높은 정밀도로 형성할 수 있다. Thereby, the adjustment member can be comprised simply. Further, since the adjustment amount can be finely adjusted by the rotation of the bolt 71, the internal electrode layer pattern 22 can be formed with higher precision.

(7) 실시형태에 따른 스크린 인쇄 방법은 스크린 인쇄판(30)을 이용한 스크린 인쇄 방법으로서, 세라믹 그린시트(21)에 인쇄되는 도전 페이스트(P)의, 인쇄면 방향의 일그러짐 경향을 미리 파악하는 단계를 포함하고, 일그러짐 경향이 보정되도록 볼트(71)에 의해 내측 프레임(31)을 통해 스크린(61)의 텐션을 조정한 후에 세라믹 그린시트(21)에 스크린 인쇄한다. (7) The screen printing method according to the embodiment is a screen printing method using the screen printing plate 30, and includes the steps of pre-figuring the distortion tendency of the conductive paste P printed on the ceramic green sheet 21 in the printing surface direction. and screen printing on the ceramic green sheet 21 after adjusting the tension of the screen 61 through the inner frame 31 by the bolt 71 so that the distortion tendency is corrected.

이로써, 인쇄 후에 일그러짐이 발생하는 경우, 그 일그러짐이 보정되도록 볼트(71)에 의해 내측 프레임(31)을 통해 스크린(61)의 텐션을 조정함으로써, 인쇄 후의 도전 페이스트(P)에 의한 내부전극층 패턴(22)을 설계대로 높은 정밀도로 형성할 수 있다. Accordingly, when distortion occurs after printing, the internal electrode layer pattern by the conductive paste P after printing by adjusting the tension of the screen 61 through the inner frame 31 with the bolts 71 so as to correct the distortion. (22) can be formed with high precision as designed.

(8) 실시형태에 따른 스크린 인쇄 방법에서 피인쇄물은 적층 세라믹 콘덴서(10)를 구성하는 세라믹 그린시트(21)이며, 인쇄 재료는 내부전극층(14)이 되는 도전 페이스트(P)이다. (8) In the screen printing method according to the embodiment, the printed object is the ceramic green sheet 21 constituting the multilayer ceramic capacitor 10 , and the printing material is the conductive paste P serving as the internal electrode layer 14 .

이로써, 적층 세라믹 콘덴서(10)의 내부전극층(14)을 높은 정밀도로 형성할 수 있다. Accordingly, the internal electrode layer 14 of the multilayer ceramic capacitor 10 can be formed with high precision.

(제조예) (Production example)

세라믹 그린시트 상에 매트릭스 형상으로 내부전극층(14) 및 제3 유전체 세라믹층(13c)을 인쇄하고, 각각의 코너를 포함하는 네 변의 각 변 중앙부의 내부전극(14)을 선택하고, 각각의 내부전극(14)과 내부전극(14)을 도포한 후에 도포된 중첩부(13e)의 단부의 설계값으로부터의 어긋남 양으로 하여 L방향 및 W방향의 어긋남 양을 측정하고, 평균화했다. 그 결과를 표 1에 나타낸다. The internal electrode layer 14 and the third dielectric ceramic layer 13c are printed on the ceramic green sheet in a matrix shape, the internal electrodes 14 at the center of each side of the four sides including each corner are selected, and each inner electrode 14 is selected. After the electrode 14 and the internal electrode 14 were coated, the amount of deviation in the L direction and the W direction was measured and averaged as the amount of deviation from the design value of the end portion of the applied overlapping portion 13e. The results are shown in Table 1.

Figure pat00001
Figure pat00001

또한, 실시형태의 스크린 인쇄판(30)과 동일한 구성을 포함하는 스크린 인쇄판을 이용하고, 텐션 조정을 실시하여 내부전극층(14) 및 제3 유전체 세라믹층(13c)을 형성한 적층 세라믹 콘덴서(10)를 제조하고, 동일한 구조를 포함한 종래의 적층 세라믹 콘덴서와 전기적인 쇼트의 발생 상황을 조사했다. 그 결과, 종래의 적층 세라믹 콘덴서는 100개 중 32개의 쇼트 불량이 나왔으나, 텐션 조정을 실시한 적층 세라믹 콘덴서에서는 쇼트 발생은 100개 중 0개이었다. In addition, a multilayer ceramic capacitor 10 in which an internal electrode layer 14 and a third dielectric ceramic layer 13c are formed by adjusting the tension using a screen printing plate having the same configuration as the screen printing plate 30 of the embodiment. was manufactured, and the occurrence of electrical short was investigated with a conventional multilayer ceramic capacitor having the same structure. As a result, in the conventional multilayer ceramic capacitor, short circuit failure occurred in 32 out of 100, but in the multilayer ceramic capacitor in which the tension was adjusted, the occurrence of short circuit was 0 out of 100.

이상, 실시형태에 대해 설명했는데, 본 발명은 상술한 실시형태에 제한되지는 않고, 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 범위에서의 변형, 개량 등은 본 발명에 포함되는 것이다. As mentioned above, although embodiment was described, this invention is not restrict|limited to embodiment mentioned above, A deformation|transformation, improvement, etc. within the range which can achieve the objective of this invention are included in this invention.

예를 들면, 내측 프레임(31)을 가압하여 스크린(61)의 텐션을 조정하는 조정 부재는 볼트(71)에 한정되지 않고, 동일한 작용을 내측 프레임(31)에 부여할 수 있는 것이라면, 다른 부재이어도 된다. For example, the adjusting member for adjusting the tension of the screen 61 by pressing the inner frame 31 is not limited to the bolt 71 , and other members as long as the same action can be imparted to the inner frame 31 . may be

적층 세라믹 콘덴서의 내부전극층을 먼저 인쇄하고, 그 후에 제3 유전체 세라믹층(13c)을 인쇄했는데, 인쇄 순서는 제한되지 않고, 이 반대이어도 된다. Although the internal electrode layer of the multilayer ceramic capacitor was first printed, and then the third dielectric ceramic layer 13c was printed, the printing order is not limited, and the reverse may be applied.

실시형태의 스크린 인쇄판은 적층 세라믹 콘덴서의 내부전극층 및 유전체 세라믹층의 인쇄에 적용되는데, 인쇄 대상 및 인쇄 재료는 임의이며, 이들에 한정되지 않는다. The screen printing plate of the embodiment is applied to the printing of the internal electrode layer and the dielectric ceramic layer of the multilayer ceramic capacitor, and the printing object and the printing material are arbitrary, but are not limited thereto.

21: 세라믹 그린시트(유전체 시트, 피인쇄물)
30, 80: 스크린 인쇄판
31: 내측 프레임
32: 변부
33: 코너부
41: 외측 프레임
51: 연결 부재
61: 스크린
62: 메시
64, 84: 개구
65: 인쇄 패턴
71: 볼트(조정 부재, 나사 부재)
87: 후육부
P: 도전 페이스트(인쇄 재료)21: Ceramic green sheet (dielectric sheet, to-be-printed material)
30, 80: screen printing plate
31: inner frame
32: edge
33: corner
41: outer frame
51: connection member
61: screen
62: mesh
64, 84: opening
65: print pattern
71: bolt (adjustment member, screw member)
87: thick part
P: conductive paste (printing material)

Claims (8)

직사각형상의 내측 프레임과,
개구가 형성된 인쇄 패턴을 가지며 상기 내측 프레임의 내측에 텐션을 가한 상태로 펴지는 스크린과,
상기 내측 프레임의 외측에 상기 내측 프레임을 둘러싸는 상태로 배치되는 외측 프레임과,
상기 내측 프레임과 상기 외측 프레임을 연결하는 연결 부재와,
상기 내측 프레임이 상기 외측 프레임에 대하여 이접(離接)하도록 상기 내측 프레임에 응력을 부가함으로써 상기 스크린의 텐션을 조정하는 조정 부재를 포함하는, 스크린 인쇄판. a rectangular inner frame;
A screen having a printed pattern having an opening formed therein and stretched while applying tension to the inner side of the inner frame;
an outer frame disposed on the outside of the inner frame in a state of surrounding the inner frame;
a connecting member connecting the inner frame and the outer frame;
and an adjustment member for adjusting the tension of the screen by applying a stress to the inner frame so that the inner frame is abutted with respect to the outer frame. 제1항에 있어서,
상기 내측 프레임의 강성은 상기 외측 프레임의 강성보다도 낮은, 스크린 인쇄판.According to claim 1,
and a rigidity of the inner frame is lower than that of the outer frame. 제1항에 있어서,
상기 내측 프레임은 네 변을 구성하는 변부와, 인접하는 한 쌍의 상기 변부 각각의 사이에 배치된 네 모퉁이의 코너부로 분할되는, 스크린 인쇄판. According to claim 1,
wherein the inner frame is divided into edges constituting four sides and corner portions of four corners disposed between each of the pair of adjacent edges. 제1항에 있어서,
상기 스크린은 메시(mesh)가 에멀전에 의해 마스킹되어 상기 인쇄 패턴이 형성되는, 스크린 인쇄판.According to claim 1,
The screen is a mesh (mesh) is masked by an emulsion to form the print pattern, a screen printing plate. 제1항에 있어서,
상기 스크린에서의 상기 개구의 가장자리부에 피(被)인쇄물 측으로 돌출되는 후육부(厚肉部)를 가지는, 스크린 인쇄판. According to claim 1,
A screen printing plate having a thick portion protruding toward an object to be printed at an edge portion of the opening in the screen. 제1항에 있어서,
상기 조정 부재는 상기 내측 프레임에 대하여 진퇴가 가능하게 상기 외측 프레임에 장착되는 나사 부재인, 스크린 인쇄판. According to claim 1,
wherein the adjusting member is a screw member mounted to the outer frame so as to be able to advance and retreat with respect to the inner frame. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 스크린 인쇄판을 이용한 스크린 인쇄 방법으로서,
피(被)인쇄물에 인쇄되는 인쇄 재료의, 인쇄면 방향의 일그러짐 경향을 미리 파악하는 단계를 포함하고,
상기 일그러짐 경향이 보정되도록, 상기 조정 부재에 의해 상기 내측 프레임을 통해 상기 스크린의 텐션을 조정한 후에 상기 피인쇄물에 스크린 인쇄하는, 스크린 인쇄 방법. A screen printing method using the screen printing plate according to any one of claims 1 to 6, comprising:
Including the step of grasping in advance the distortion tendency in the printing surface direction of the printing material to be printed on the printed matter,
screen printing on the to-be-printed object after adjusting the tension of the screen through the inner frame by the adjustment member so that the distortion tendency is corrected. 제7항에 있어서,
상기 피인쇄물은 유전체 시트이며,
상기 인쇄 재료는 도전 페이스트인, 스크린 인쇄 방법. 8. The method of claim 7,
The to-be-printed object is a dielectric sheet,
The printing material is a conductive paste, screen printing method.
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