KR20220085585A - Apparatus for measuring droplet and method for measuring droplet - Google Patents

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Abstract

약액 측정 장치는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 대한 상태를 측정하기 위한 것으로써, 조사부, 영상부, 반사부를 포함할 수 있다. 상기 조사부는 상기 약액에 대한 상태의 측정시 상기 잉크젯 헤드의 일측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 광원을 조사하도록 구비될 수 있다. 상기 영상부는 상기 조사부와 마주하는 상기 잉크젯 헤드의 타측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 영상을 획득하도록 구비될 수 있다. 상기 반사부는 상기 영상부 쪽에 배치되도록 구비되되, 상기 조사부로부터 상기 영상부 쪽으로 조사되는 상기 광원을 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 반사하도록 구비될 수 있다.The chemical liquid measuring apparatus is for measuring the state of the chemical discharged from the inkjet head, and may include an irradiation unit, an image unit, and a reflection unit. The irradiator may be provided to irradiate a light source from one side of the inkjet head toward a nozzle surface of the inkjet head when the state of the chemical is measured. The image unit may be provided to acquire an image from the other side of the inkjet head facing the irradiation unit toward a nozzle surface of the inkjet head. The reflection unit may be provided to be disposed toward the image unit, and may be provided to reflect the light source irradiated from the irradiation unit toward the image unit toward the nozzle surface of the inkjet head.

Description

약액 측정 장치 및 약액 측정 방법{APPARATUS FOR MEASURING DROPLET AND METHOD FOR MEASURING DROPLET}Chemical liquid measuring device and chemical liquid measuring method

본 발명은 약액 측정 장치 및 약액 측정 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 디스플레이 소자의 제조시 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 대한 상태를 측정하기 위한 약액 측정 장치 및 약액 측정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid measuring apparatus and a chemical liquid measuring method. More particularly, the present invention relates to a chemical liquid measuring apparatus and a chemical liquid measuring method for measuring a state of a chemical liquid discharged from an inkjet head when a display device is manufactured.

유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 픽셀 형성을 위한 약액 토출 공정, 소자 보호용 봉지막 형성을 위한 약액 토출 공정 등을 수행할 수 있다.In manufacturing a display device such as an organic EL device, a chemical liquid discharge process for forming a pixel, a chemical liquid discharge process for forming an encapsulation film for device protection, and the like may be performed.

언급한 약액 토출 공정은 다수개의 노즐이 일정 간격을 갖도록 배치되는 노즐면을 갖는 잉크젯 헤드를 구비하는 약액 토출 장치를 사용함에 의해 달성할 수 있다.The above-mentioned chemical liquid discharging process can be achieved by using a chemical liquid discharging apparatus having an inkjet head having a nozzle surface in which a plurality of nozzles are arranged to have a predetermined interval.

그리고 약액 토출 공정의 수행시 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 볼륨(volume) 등과 같은 약액의 상태가 설정된 스펙을 유지하지 못할 경우에는 토출 불량으로 이어질 수 있다.In addition, when the state of the chemical, such as the volume of the chemical discharged from the inkjet head, does not maintain the set specifications when the chemical discharge process is performed, discharge failure may occur.

이에, 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액의 상태를 측정하고, 이를 통하여 약액 토출 공정을 관리하고 있는데, 약액의 상태에 대해서는 주로 영상 획득을 통하여 약액의 상태를 측정할 수 있는 약액 측정 장치를 사용함에 의해 달성할 수 있다.Accordingly, the state of the chemical liquid discharged from the inkjet head is measured and the chemical liquid discharge process is managed through this. For the state of the chemical liquid, it is achieved by using a chemical liquid measuring device that can measure the state of the chemical liquid mainly through image acquisition can do.

그러나 언급한 약액 측정 장치를 사용하는 영상 획득시 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 광원을 조사할 수 있는데, 잉크젯 헤드의 노즐면에 단차가 있기 때문에 단차가 있는 부분에서는 광원의 조사로 인한 명암이 발생할 수 있고, 그 결과 명암이 발생하는 부분에서의 약액의 상태에 대해서는 정확하게 측정하지 못하는 문제점이 있을 수 있다.However, when acquiring an image using the aforementioned chemical measurement device, the light source can be irradiated toward the nozzle face of the inkjet head. As a result, there may be a problem in that it is not possible to accurately measure the state of the chemical in the portion where the light and dark occurs.

본 발명의 일 과제는 잉크젯 헤드의 노즐면 전체에 걸쳐 토출되는 약액에 대한 상태를 보다 정확하게 측정할 수 있는 약액 측정 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a chemical liquid measuring device capable of more accurately measuring a state of a chemical liquid discharged over the entire nozzle surface of an inkjet head.

본 발명의 다른 과제는 잉크젯 헤드의 노즐면 전체에 걸쳐 토출되는 약액에 대한 상태를 보다 정확하게 측정할 수 있는 약액 측정 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a method for measuring a chemical solution capable of more accurately measuring a state of a chemical solution discharged over the entire nozzle surface of an inkjet head.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치는 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 대한 상태를 측정하기 위한 것으로써, 조사부, 영상부, 반사부를 포함할 수 있다. 상기 조사부는 상기 약액에 대한 상태의 측정시 상기 잉크젯 헤드의 일측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 광원을 조사하도록 구비될 수 있다. 상기 영상부는 상기 조사부와 마주하는 상기 잉크젯 헤드의 타측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 영상을 획득하도록 구비될 수 있다. 상기 반사부는 상기 영상부 쪽에 배치되도록 구비되되, 상기 조사부로부터 상기 영상부 쪽으로 조사되는 상기 광원을 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 반사하도록 구비될 수 있다.An apparatus for measuring a chemical solution according to exemplary embodiments for achieving the object of the present invention is for measuring a state of a chemical solution discharged from an inkjet head, and may include an irradiation unit, an image unit, and a reflection unit. The irradiator may be provided to irradiate a light source from one side of the inkjet head toward a nozzle surface of the inkjet head when the state of the chemical is measured. The image unit may be provided to acquire an image from the other side of the inkjet head facing the irradiation unit toward a nozzle surface of the inkjet head. The reflection unit may be provided to be disposed toward the image unit, and may be provided to reflect the light source irradiated from the irradiation unit toward the image unit toward the nozzle surface of the inkjet head.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 영상부는 카메라로 이루어질 수 있다.In example embodiments, the imaging unit may be a camera.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 반사부는 각도 조정이 가능하도록 구비될 수 있다.In example embodiments, the reflector may be provided to enable angle adjustment.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 반사부는 상기 영상부의 양쪽에 대칭 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In example embodiments, the reflection unit may be provided to have a symmetrical structure on both sides of the image unit.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 영상부로부터 획득하는 영상에 근거하여 상기 반사부의 각도 조정을 제어하도록 구비되는 제어부를 더 포함할 수 있다.In example embodiments, the control unit may further include a controller configured to control angle adjustment of the reflection unit based on the image obtained from the image unit.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드는 주연부가 돌출되는 단차진 구조를 가지면서 상기 노즐면이 단차진 구조 내부에 배치되도록 구비될 수 있다.In example embodiments, the inkjet head may have a stepped structure in which a periphery protrudes, and the nozzle surface may be disposed inside the stepped structure.

상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법은 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 대한 상태를 측정하기 위한 것으로써, 약액에 대한 상태의 측정시 상기 잉크젯 헤드의 일측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 광원을 조사하는 단계와, 상기 잉크젯 헤드의 타측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 영상을 획득하는 단계, 및 상기 영상의 획득시 상기 잉크젯 헤드의 일측으로부터 상기 잉크젯 헤드의 타측으로 조사되는 상기 광원을 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 반사하는 단계를 포함할 수 있다.The chemical liquid discharging method according to exemplary embodiments for achieving another object of the present invention is for measuring the state of the chemical discharged from the inkjet head, and when the state of the chemical is measured, at one side of the inkjet head irradiating a light source toward a nozzle surface of the inkjet head; acquiring an image from the other side of the inkjet head toward a nozzle surface of the inkjet head; and acquiring the image from one side of the inkjet head to the inkjet head and reflecting the light source irradiated to the other side of the inkjet head toward a nozzle surface of the inkjet head.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 획득하는 영상에 근거하여 상기 광원이 반사되는 각도를 조정하는 단계를 더 포함할 수 있다.In example embodiments, the method may further include adjusting an angle at which the light source is reflected based on the acquired image.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드는 주연부가 돌출되는 단차진 구조를 가지면서 상기 노즐면이 단차진 구조 내부에 배치되도록 구비될 수 있다.In example embodiments, the inkjet head may have a stepped structure in which a periphery protrudes, and the nozzle surface may be disposed inside the stepped structure.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치 및 약액 측정 방법은 잉크젯 헤드의 노즐면 전체에 걸쳐 약액에 대한 상태를 보다 정확하게 측정할 수 있기 때문에 약액 토출 공정에서의 약액의 상태에 대한 설정된 스펙을 보다 정확하게 관리할 수 있을 것이고, 그 결과 약액 토출 공정에 따른 토출 불량의 발생을 최소화할 수 있을 것이다.Since the chemical liquid measuring apparatus and the chemical liquid measuring method according to exemplary embodiments of the present invention can more accurately measure the state of the chemical over the entire nozzle surface of the inkjet head, set specifications for the state of the chemical in the chemical liquid discharging process will be able to more accurately manage, and as a result, it will be possible to minimize the occurrence of discharging defects according to the chemical discharging process.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치 및 약액 측정 방법은 토출 불량의 최소화를 통하여 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.Accordingly, the chemical solution measuring apparatus and the chemical solution measuring method according to the exemplary embodiments of the present invention can be expected to improve the process reliability according to the manufacturing of the display device such as an organic EL device through the minimization of the discharge defect.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and may be variously expanded without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 약액 측정 장치에서의 반사부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram for explaining an apparatus for measuring a chemical solution according to exemplary embodiments of the present invention.
FIG. 2 is a schematic view for explaining a reflection unit in the chemical liquid measuring device of FIG. 1 .

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention may have various changes and may have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprises" or "consisting of" are intended to designate the presence of a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It is to be understood that this does not preclude the possibility of addition or existence of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.In addition, exemplary embodiments will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and repeated descriptions of the same components are omitted.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 2는 도 1의 약액 측정 장치에서의 반사부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.FIG. 1 is a schematic diagram for explaining an apparatus for measuring a chemical according to exemplary embodiments of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a reflection unit in the apparatus for measuring a chemical of FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 먼저 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)에 의해 측정되는 대상물인 약액은 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자로 제조하기 위한 기판 상에 토출하는 것으로써, 특히 픽셀 형성, 소자 보호용 봉지막 형성을 위하여 기판 상에 토출되는 것이다.1 and 2, first, the chemical, which is an object to be measured by the chemical measurement apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention, is discharged onto a substrate for manufacturing as a display device such as an organic EL device. As a result, in particular, it is discharged on the substrate for pixel formation and formation of an encapsulation film for device protection.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)를 적용하기 위한 잉크젯 헤드(11)는 주연부가 돌출되는 단차진 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 단차진 구조 내부에 노즐면(13)이 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The inkjet head 11 for applying the chemical liquid measuring apparatus 100 according to the exemplary embodiments of the present invention is provided to have a stepped structure in which a periphery protrudes, and the nozzle surface 13 is disposed inside the stepped structure It may be provided to have a structure that becomes

즉, 언급한 잉크젯 헤드(11)는 기판과 마주하는 일면이 안쪽으로 움푹 파인 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 움푹 파인 일면에 노즐들이 일정 간격을 갖도록 배치되는 노즐면(13)이 구비될 수 있는 것이다.That is, the aforementioned inkjet head 11 is provided so that one surface facing the substrate has a structure that is recessed inward, and the nozzle surface 13 on which the nozzles are disposed to have a predetermined interval on one surface of the depression may be provided.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)는 약액 토출 공정의 수행시 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액의 볼륨 등과 같은 약액의 상태를 실시간으로 측정하기 위한 것으로써, 조사부(15), 영상부(17), 반사부(19), 제어부(21) 등이 구비될 수 있다.And the chemical liquid measuring apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention is for measuring the state of the chemical in real time, such as the volume of the chemical discharged from the inkjet head 11 when the chemical liquid discharging process is performed, in real time, the irradiation unit (15), an image unit 17, a reflection unit 19, a control unit 21, and the like may be provided.

조사부(15)는 약액에 대한 상태의 측정시 잉크젯 헤드(11)의 일측에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 광원을 조사하도록 구비될 수 있는 것으로써, 예들 들면 잉크젯 헤드(11)의 일측 아래쪽에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 소정 각도의 경로를 갖도록 광원을 조사할 수 있는 램프 등을 들 수 있다.The irradiator 15 may be provided to irradiate a light source from one side of the inkjet head 11 toward the nozzle face 13 of the inkjet head 11 when the state of the chemical is measured. For example, the inkjet head 11 ), a lamp capable of irradiating a light source to have a path at a predetermined angle toward the nozzle face 13 of the inkjet head 11 from the lower side of the side of the inkjet head 11 .

영상부(17)는 약액에 대한 상태의 측정시 잉크젯 헤드(11)의 타측, 즉 조사부(15)와 마주하는 잉크젯 헤드(11)의 타측에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 영상을 획득하도록 구비될 수 있는 것으로써, 예를 들면 잉크젯 헤드(11)의 타측 아래쪽에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 영상을 획득할 수 있는 비전 카메라 등일 수 있다.The image unit 17 is directed toward the nozzle face 13 of the inkjet head 11 from the other side of the inkjet head 11, that is, the other side of the inkjet head 11 facing the irradiation unit 15 when measuring the state of the chemical. As what may be provided to acquire an image, it may be, for example, a vision camera capable of acquiring an image toward the nozzle surface 13 of the inkjet head 11 from the lower side of the other side of the inkjet head 11 .

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)는 잉크젯 헤드(11)의 일측 아래쪽에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 광원을 조사함과 아울러 마주하는 잉크젯 헤드(11)의 타측 아래쪽에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 영상을 획득함에 의해 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)으로부터 토출되는 약액의 상태를 측정하고, 그 측정 결과에 근거하여 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액의 볼륨 등과 같은 약액의 상태가 설정된 스펙을 유지하는 가를 확인함과 아울러 약액 토출 공정을 관리할 수 있는 것이다.Accordingly, the chemical liquid measuring apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention irradiates a light source from one side of the lower side of the inkjet head 11 toward the nozzle face 13 of the inkjet head 11 and faces the inkjet The state of the chemical discharged from the nozzle surface 13 of the inkjet head 11 is measured by acquiring an image from the lower side of the other side of the head 11 toward the nozzle surface 13 of the inkjet head 11, and the measurement result Based on this, it is possible to check whether the state of the chemical, such as the volume of the chemical discharged from the inkjet head 11, maintains the set specifications, and to manage the chemical discharge process.

그런데 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)를 사용하는 영상의 획득시에 잉크젯 헤드(11)가 단차진 구조를 갖도록 구비되기 때문에 광원의 조사로 인하여 잉크젯 헤드(11)의 일측에서의 단차가 있는 부분에 광원의 조사로 인한 명암 부분(14)이 발생할 수 있고, 그 결과 명암 부분에서는 다른 부분보다 상대적으로 정확한 영상을 획득하지 못할 수도 있다.However, since the inkjet head 11 is provided to have a stepped structure when an image is acquired using the chemical liquid measuring apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention, the inkjet head 11 is irradiated with a light source. The light and dark portions 14 may be generated in the portion having the step on one side due to the irradiation of the light source, and as a result, it may not be possible to obtain a relatively accurate image from the light and dark portion compared to the other portions.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)는 반사부(19)를 적용함에 의해 언급한 명암 부분(14)에서도 다른 부분과 마찬가지로 보다 정확한 영상을 획득할 수 있다.Accordingly, the chemical solution measuring apparatus 100 according to the exemplary embodiments of the present invention can acquire a more accurate image like the other parts in the light and dark part 14 mentioned by applying the reflector 19 .

반사부(19)는 조사부(15)로부터 조사되는 광원을 반사할 수 있어야 하기 때문에 조사부(15)와 마주하게 배치될 수 있는데, 바람직하게는 영상부(17) 쪽에 배치되어 조사부(15)로부터 영상부(17) 쪽으로 조사되는 광원을 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 반사하도록 구비될 수 있다.Since the reflector 19 must be able to reflect the light source irradiated from the irradiator 15 , it may be disposed to face the irradiator 15 , and is preferably disposed on the image unit 17 side to receive an image from the irradiator 15 . The light source irradiated toward the portion 17 may be provided to reflect the light source toward the nozzle surface 13 of the inkjet head 11 .

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)는 잉크젯 헤드(11)의 일측 아래쪽에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 광원을 조사함과 아울러 마주하는 잉크젯 헤드(11)의 타측 아래쪽에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 영상을 획득할 수 있고, 그리고 반사부(19)를 사용하여 조사부(15)로부터 영상부(17) 쪽으로 조사되는 광원을 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13), 특히 언급한 명암 부분(14)으로 반사되도록 함에 의해 명암 부분(14)에서의 영상도 정확하게 획득함으로써 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13) 전체에 걸쳐 토출되는 약액의 상태를 보다 정확하게 측정할 수 있다.Accordingly, the chemical liquid measuring apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention irradiates a light source from one side of the lower side of the inkjet head 11 toward the nozzle face 13 of the inkjet head 11 and faces the inkjet head An image can be acquired from the lower side of the other side of the inkjet head 11 toward the nozzle face 13 of the inkjet head 11 , and the light source irradiated from the irradiator 15 toward the image unit 17 using the reflection unit 19 . is reflected to the nozzle surface 13 of the inkjet head 11, especially the light and dark portion 14 mentioned above, thereby accurately acquiring an image in the light and dark portion 14, so that the entire nozzle surface 13 of the inkjet head 11 is It is possible to more accurately measure the state of the chemical liquid discharged over the

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)를 사용하는 약액의 상태에 대한 측정시 명암 부분이 다소 크게 발생하여도 반사부(19)에 의해서 명암 부분이 충분하게 커버될 수 있어야 하기 때문에 반사부(19)는 영상부(17)의 한쪽이 아니라 영상부(17)이 양쪽에 구비되는 것이 바람직할 것이고, 특히 영상부(17)의 양쪽에 대칭 구조를 갖도록 구비되는 것이 보다 바람직할 것이다.When measuring the state of the chemical using the chemical liquid measuring device 100 according to the exemplary embodiments of the present invention, even if the light and dark portion is somewhat large, the light and dark portion should be sufficiently covered by the reflection unit 19 . Therefore, it is preferable that the reflective unit 19 is provided on both sides of the image unit 17 instead of on one side of the image unit 17, and in particular, it is more preferable to have a symmetrical structure on both sides of the image unit 17. something to do.

특히, 반사부(19)가 대칭 구조를 갖도록 구비되지 않을 경우 영상부(17)가 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하도록 구비되는 영상부(17)의 배치 각도 등에 지장을 끼칠 수 있기 때문에 반사부(19)를 영상부(17)의 양쪽에 대칭 구조를 갖도록 구비할 수 있는 것으로써, 이는 대칭 구조가 아닐 경우 약액 측정 장치(100)의 계속적인 사용시 영상부(17)가 어느 한쪽으로 기울질 수도 있기 때문이다.In particular, if the reflection unit 19 is not provided to have a symmetrical structure, the arrangement angle of the image unit 17 provided so that the image unit 17 faces the nozzle face 13 of the inkjet head 11 may be disturbed. Since the reflection unit 19 can be provided to have a symmetrical structure on both sides of the imaging unit 17, which is not a symmetrical structure, the imaging unit 17 is Because it can lean to either side.

제어부(21)는 반사부(19)의 각도 조정을 제어하도록 구비될 수 있는데, 특히 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)에서의 제어부(21)는 영상부(17)로부터 획득하는 영상에 근거하여 반사부(19)의 각도 조정을 제어하도록 구비될 수 있다.The control unit 21 may be provided to control the angle adjustment of the reflection unit 19 , in particular, the control unit 21 in the chemical measurement apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention is the image unit 17 . It may be provided to control the angle adjustment of the reflector 19 based on the image obtained from the .

즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)는 반사부(19)를 각도 조정이 가능한 구조를 갖도록 구비시킴과 아울러 영상부(17)로부터 획득하는 영상에 근거한 제어부(21)의 제어를 통하여 반사부(19)의 각도를 조정할 수 있게 구비될 수 있는 것이다.That is, the chemical measurement apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention includes the reflective unit 19 to have an angle-adjustable structure, and the control unit 21 based on the image obtained from the image unit 17 . ) can be provided to adjust the angle of the reflection unit 19 through the control.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)는 약액의 상태에 대한 측정시 조사부(15)로부터의 광이 조사되는 경로가 다소 변경되거나, 잉크젯 헤드(11)의 종류가 변경되거나 하여도 제어부(21)를 사용하여 반사부(19)의 각도를 조정하여 명암 부분(14)으로 충분하게 반사되도록 할 수 있다.Accordingly, in the chemical liquid measuring apparatus 100 according to the exemplary embodiments of the present invention, when the state of the chemical is measured, the path to which the light from the irradiation unit 15 is irradiated is slightly changed, or the type of the inkjet head 11 is changed. Even if it is changed, the angle of the reflection unit 19 may be adjusted using the control unit 21 to be sufficiently reflected by the light and dark portion 14 .

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치(100)는 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13) 전체에 걸쳐 약액에 대한 상태를 보다 정확하게 측정할 수 있기 때문에 약액 토출 공정에서의 약액의 상태에 대한 설정된 스펙을 보다 정확하게 관리할 수 있을 것이다.As described above, since the chemical liquid measuring apparatus 100 according to exemplary embodiments of the present invention can more accurately measure the state of the chemical over the entire nozzle surface 13 of the inkjet head 11, in the chemical liquid discharging process You will be able to more accurately manage the set specifications for the state of the drug.

이하, 언급한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치를 사용하는 약액 측정 방법에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a method for measuring a chemical using the device for measuring a chemical according to exemplary embodiments of the present invention will be described.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법의 경우에도 주연부가 돌출되는 단차 구조를 가질 수 있을 것이고, 나아가 단차 구조 내부에 노즐면(13)이 배치되도록 구비될 수 있는 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 토출되는 약액을 측정 대상으로 할 수 있다.Even in the case of the method for discharging the chemical according to the exemplary embodiments of the present invention, the inkjet head 11 may have a stepped structure in which the periphery protrudes, and further, the nozzle face 13 may be disposed inside the stepped structure. The chemical liquid discharged from the can be measured as a measurement target.

따라서 약액에 대한 상태의 측정시 잉크젯 헤드(11)의 일측에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 광원을 조사함과 아울러 잉크젯 헤드(11)의 타측에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 영상을 획득함에 의해 잉크젯 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 대한 상태를 측정할 수 있다.Therefore, when measuring the state of the chemical, the light source is irradiated from one side of the inkjet head 11 toward the nozzle surface 13 of the inkjet head 11 , and the nozzle of the inkjet head 11 is irradiated from the other side of the inkjet head 11 . By acquiring an image toward the surface 13 , the state of the chemical discharged from the inkjet head 11 may be measured.

그런데 광원의 조사 및 잉크젯 헤드(11)의 단차 구조로 인하여 명암 부분(14)이 발생할 수 있고, 명암 부분(14)에서의 노즐면(13)으로부터 토출되는 약액에 대한 영상을 정확하게 획득하지 못할 수도 있다.However, due to the irradiation of the light source and the step structure of the inkjet head 11, a light and dark portion 14 may occur, and an image of the chemical discharged from the nozzle surface 13 in the light and dark portion 14 may not be accurately obtained. have.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 방법에서는 영상의 획득시 잉크젯 헤드(11)의 일측으로부터 잉크젯 헤드(11)의 타측으로 조사되는 광원을 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 반사할 수 있고, 이때 획득하는 영상에 근거하여 광원이 반사되는 각도를 조정할 수도 있다.Accordingly, in the method for measuring a chemical according to exemplary embodiments of the present invention, when an image is acquired, a light source irradiated from one side of the inkjet head 11 to the other side of the inkjet head 11 is applied to the nozzle surface 13 of the inkjet head 11 . ), and the angle at which the light source is reflected can be adjusted based on the acquired image.

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 방법은 잉크젯 헤드(11)의 일측 아래쪽에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 광원을 조사함과 아울러 마주하는 잉크젯 헤드(11)의 타측 아래쪽에서 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13)을 향하여 영상을 획득할 수 있고, 그리고 조사부(15)로부터 영상부(17) 쪽으로 조사되는 광원을 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13), 특히 언급한 명암 부분(14)으로 반사되도록 함에 의해 명암 부분(14)에서의 영상도 정확하게 획득함으로써 잉크젯 헤드(11)의 노즐면(13) 전체에 걸쳐 토출되는 약액의 상태를 보다 정확하게 측정할 수 있다.Accordingly, in the method for measuring a chemical according to exemplary embodiments of the present invention, the inkjet head 11 faces the light source from the lower side of the inkjet head 11 toward the nozzle face 13 of the inkjet head 11 . An image may be acquired toward the nozzle surface 13 of the inkjet head 11 from the lower side of the ), in particular, by accurately acquiring an image in the light/dark area 14 by making it reflected by the mentioned light/dark area 14, more accurately measure the state of the chemical discharged over the entire nozzle surface 13 of the inkjet head 11 can do.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 측정 장치 및 약액 측정 방법은 약액 토출 장치로부터 토출되는 약액에 대한 상태를 측정할 수 있기 때문에 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조 공정에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.Since the chemical liquid measuring apparatus and the chemical liquid measuring method according to exemplary embodiments of the present invention can measure the state of the chemical liquid discharged from the chemical liquid discharging device, it can be more actively applied to the manufacturing process of a display device such as an organic EL device. will be able

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

11 : 잉크젯 헤드 13 : 노즐면
15 :조사부 17 : 영상부
19 : 반사부 21 : 제어부
100 : 약액 측정 장치11: inkjet head 13: nozzle face
15: irradiation unit 17: imaging unit
19: reflection unit 21: control unit
100: chemical liquid measuring device

Claims (9)

잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 대한 상태를 측정하기 위한 약액 측정 장치에 있어서,
상기 약액에 대한 상태의 측정시 상기 잉크젯 헤드의 일측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 광원을 조사하도록 구비되는 조사부;
상기 조사부와 마주하는 상기 잉크젯 헤드의 타측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 영상을 획득하도록 구비되는 영상부; 및
상기 영상부 쪽에 배치되도록 구비되되, 상기 조사부로부터 상기 영상부 쪽으로 조사되는 상기 광원을 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 반사하도록 구비되는 반사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 측정 장치.A chemical liquid measurement device for measuring a state of a chemical liquid discharged from an inkjet head, the apparatus comprising:
an irradiator provided to irradiate a light source from one side of the inkjet head toward a nozzle surface of the inkjet head when the state of the chemical is measured;
an imaging unit provided to acquire an image from the other side of the inkjet head facing the irradiation unit toward a nozzle surface of the inkjet head; and
and a reflective part provided to be disposed on the image part side, and a reflective part provided to reflect the light source irradiated from the irradiation part toward the image part toward the nozzle surface of the inkjet head. 제1 항에 있어서,
상기 영상부는 카메라로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 측정 장치.According to claim 1,
The image unit is a chemical solution measuring device, characterized in that made of a camera. 제1 항에 있어서,
상기 반사부는 각도 조정이 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 측정 장치.According to claim 1,
The reflective part is a chemical measuring device, characterized in that it is provided so as to be able to adjust the angle. 제3 항에 있어서,
상기 반사부는 상기 영상부의 양쪽에 대칭 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 측정 장치.4. The method of claim 3,
The reflective part is a chemical solution measuring device, characterized in that provided to have a symmetrical structure on both sides of the image part. 제3 항에 있어서,
상기 영상부로부터 획득하는 영상에 근거하여 상기 반사부의 각도 조정을 제어하도록 구비되는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 측정 장치.4. The method of claim 3,
The device for measuring the chemical solution further comprising a control unit provided to control the angle adjustment of the reflection unit based on the image obtained from the image unit. 제1 항에 있어서,
상기 잉크젯 헤드는 주연부가 돌출되는 단차진 구조를 가지면서 상기 노즐면이 단차진 구조 내부에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 측정 장치.According to claim 1,
The inkjet head has a stepped structure in which a periphery protrudes, and the nozzle surface is disposed inside the stepped structure. 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액에 대한 상태를 측정하기 위한 약액 측정 방법에 있어서,
약액에 대한 상태의 측정시 상기 잉크젯 헤드의 일측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 광원을 조사하는 단계;
상기 잉크젯 헤드의 타측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 영상을 획득하는 단계; 및
상기 영상의 획득시 상기 잉크젯 헤드의 일측으로부터 상기 잉크젯 헤드의 타측으로 조사되는 상기 광원을 상기 잉크젯 헤드의 노즐면을 향하여 반사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 측정 장치.A chemical liquid measurement method for measuring a state of a chemical liquid discharged from an inkjet head, the method comprising:
irradiating a light source from one side of the inkjet head toward a nozzle surface of the inkjet head when measuring the state of the chemical;
acquiring an image from the other side of the inkjet head toward a nozzle surface of the inkjet head; and
and reflecting the light source irradiated from one side of the inkjet head to the other side of the inkjet head toward a nozzle surface of the inkjet head when the image is acquired. 제7 항에 있어서,
상기 획득하는 영상에 근거하여 상기 광원이 반사되는 각도를 조정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 측정 방법.8. The method of claim 7,
Based on the acquired image, the method further comprising adjusting the angle at which the light source is reflected. 제7 항에 있어서,
상기 잉크젯 헤드는 주연부가 돌출되는 단차진 구조를 가지면서 상기 노즐면이 단차진 구조 내부에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 측정 방법.8. The method of claim 7,
The inkjet head has a stepped structure in which a periphery protrudes, and the nozzle surface is disposed inside the stepped structure.
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