KR20220033637A - Display device - Google Patents
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- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 647
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 227
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims abstract description 215
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 71
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 74
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 16
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 16
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 15
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 description 23
- 230000008569 process Effects 0.000 description 22
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 18
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 17
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 15
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 14
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 14
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 13
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 11
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 10
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- -1 polyethylene Naphthalate Polymers 0.000 description 9
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 9
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 8
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 8
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 8
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 8
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 7
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 7
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 5
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 5
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 5
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920008347 Cellulose acetate propionate Polymers 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N triacetic acid Chemical compound CC(=O)CC(=O)CC(O)=O ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
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- H01L27/3276—
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- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
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Abstract
Description
본 개시는 표시 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a display device.
표시 장치는 화면을 표시하는 장치로서, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Diode, OLED) 등이 있다. 이러한 표시 장치는 휴대 전화, 네비게이션, 디지털 사진기, 전자 북, 휴대용 게임기, 또는 각종 단말기 등과 같이 다양한 전자 기기들에 사용되고 있다.A display device is a device that displays a screen, and includes a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode (OLED), and the like. Such a display device is used in various electronic devices such as a mobile phone, a navigation system, a digital camera, an electronic book, a portable game machine, or various terminals.
유기 발광 표시 장치는 자발광(self-luminance) 특성을 가지며, 액정 표시 장치와 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 두께와 무게를 줄일 수 있다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 빠른 응답 속도 등의 고품위 특성을 가진다.The organic light emitting diode display has a self-luminance characteristic, and unlike the liquid crystal display, it does not require a separate light source, so that the thickness and weight can be reduced. In addition, the organic light emitting diode display has high quality characteristics such as low power consumption, high luminance, and fast response speed.
한편, 유기 발광 표시 장치로 입사되는 외부 광이 장치 표면에서 반사되어 콘트라스트가 감소할 수 있다. 따라서, 유기 발광 표시 장치에 반사 방지부를 구비하여 외부 광에 의한 콘트라스트의 저하를 방지함으로써 시인성을 향상시킬 필요가 있다. 반사 방지부에 따른 투과율 저하를 방지하기 위하여, 비발광부에 광차단층을 형성하고 발광부와 중첩하는 발광부의 발광층에서 발광되는 빛과 유사한 파장대의 빛을 투과하는 색필터를 형성할 수 있다. 이처럼, 반사 방지부에 색필터를 형성할 때, 표시 영역의 발광층 아래에 위치하는 배선에 의한 단차로 인해 외부 빛이 반사되어 시인됨으로 인해, 색감 및 콘트라스트가 저하될 수 있다.Meanwhile, external light incident on the organic light emitting diode display may be reflected from the surface of the device, thereby reducing contrast. Accordingly, it is necessary to improve visibility by providing an antireflection unit in the organic light emitting diode display to prevent a decrease in contrast caused by external light. In order to prevent a decrease in transmittance due to the anti-reflection portion, a light blocking layer may be formed on the non-emissive portion and a color filter that transmits light in a wavelength band similar to that of light emitted from the light emitting layer of the light emitting portion overlapping the light emitting portion may be formed. As such, when the color filter is formed in the anti-reflection unit, external light is reflected and viewed due to a step caused by a wiring positioned under the light emitting layer of the display area, thereby reducing color and contrast.
실시예들은 콘트라스트 저하를 방지하면서 투과율 저하를 방지할 수 있고, 발광층 아래에 위치하는 배선에 의한 단차로 인해 외부 빛이 반사되어 시인되는 것을 방지할 수 있는 표시 장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY Embodiments provide a display device capable of preventing a decrease in transmittance while preventing a decrease in contrast and preventing external light from being reflected and viewed due to a step caused by a wiring positioned under an emission layer.
본 발명의 목적은 상술한 목적으로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있음이 자명하다.It is apparent that the object of the present invention is not limited to the above-mentioned purpose, and can be variously expanded without departing from the spirit and scope of the present invention.
일 실시예에 의한 표시 장치는 기판, 상기 기판 위에 위치하는 트랜지스터, 상기 트랜지스터 위에 위치하는 층간 절연막, 상기 층간 절연막 위에 위치하고, 상기 트랜지스터와 연결되어 있는 구동 전압선 및 데이터선, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 위에 위치하는 보호막, 상기 보호막 위에 위치하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 중 적어도 일부와 중첩하는 화소 전극, 상기 화소 전극 위에 위치하고, 화소 개구부를 포함하는 화소 정의막, 상기 화소 전극 위에 위치하는 발광 소자층, 및 상기 발광 소자층 및 상기 화소 정의막 위에 위치하는 공통 전극을 포함하고, 상기 층간 절연막은 그루브를 포함하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선은 상기 그루브 내에 위치한다.A display device according to an exemplary embodiment includes a substrate, a transistor disposed on the substrate, an interlayer insulating layer disposed over the transistor, a driving voltage line and a data line disposed on the interlayer insulating layer and connected to the transistor, the driving voltage line, and the data line a passivation layer positioned on the passivation layer, a pixel electrode positioned on the passivation layer and overlapping at least a portion of the driving voltage line and the data line, a pixel defining layer positioned over the pixel electrode and including a pixel opening, and a light emitting element layer positioned over the pixel electrode , and a common electrode disposed on the light emitting device layer and the pixel defining layer, wherein the interlayer insulating layer includes a groove, and the driving voltage line and the data line are located in the groove.
상기 층간 절연막은 제1 그루브 및 제2 그루브를 포함하고, 상기 구동 전압선은 상기 제1 그루브 내에 위치하고, 상기 데이터선은 상기 제2 그루브 내에 위치할 수 있다.The interlayer insulating layer may include a first groove and a second groove, the driving voltage line may be located in the first groove, and the data line may be located in the second groove.
상기 제1 그루브의 깊이는 상기 구동 전압선의 두께와 동일하고, 상기 제2 그루브의 깊이는 상기 데이터선의 두께와 동일할 수 있다.A depth of the first groove may be equal to a thickness of the driving voltage line, and a depth of the second groove may be equal to a thickness of the data line.
상기 제1 그루브의 폭은 상기 구동 전압선의 폭보다 크거나 동일하고, 상기 제2 그루브의 폭은 상기 데이터선의 폭보다 크거나 동일할 수 있다.A width of the first groove may be greater than or equal to a width of the driving voltage line, and a width of the second groove may be greater than or equal to a width of the data line.
상기 표시 장치는 서로 이격되어 있는 복수의 데이터선을 포함하고, 상기 제2 그루브 내에는 상기 복수의 데이터선 중 적어도 2개의 데이터선이 위치할 수 있다.The display device may include a plurality of data lines spaced apart from each other, and at least two data lines among the plurality of data lines may be positioned in the second groove.
상기 제2 그루브 내에는 1개의 상기 데이터선이 위치할 수 있다.One data line may be positioned in the second groove.
상기 층간 절연막은 하부 층간 절연막 및 상기 하부 층간 절연막 위에 위치하는 상부 층간 절연막을 포함하고, 상기 하부 층간 절연막은 상기 기판 위에 전체적으로 위치하고, 상기 상부 층간 절연막이 제거된 부분이 상기 그루브가 될 수 있다.The interlayer insulating film may include a lower interlayer insulating film and an upper interlayer insulating film positioned on the lower interlayer insulating film, the lower interlayer insulating film being entirely positioned on the substrate, and a portion from which the upper interlayer insulating film is removed may become the groove.
상기 그루브의 바닥면은 상기 하부 층간 절연막의 상부면과 접하고, 상기 그루브의 측면은 상기 상부 층간 절연막의 측면과 접할 수 있다.A bottom surface of the groove may be in contact with a top surface of the lower interlayer insulating layer, and a side surface of the groove may be in contact with a side surface of the upper interlayer insulating layer.
상기 표시 장치는 서로 이격되어 있는 복수의 구동 전압선을 포함하고, 상기 그루브 내에는 상기 복수의 구동 전압선 중 적어도 2개의 구동 전압선이 위치할 수 있다.The display device may include a plurality of driving voltage lines spaced apart from each other, and at least two driving voltage lines among the plurality of driving voltage lines may be positioned in the groove.
일 실시예에 의한 표시 장치는 상기 공통 전극 위에 위치하는 봉지층, 상기 봉지층 위에 위치하는 터치부, 및 상기 터치부 위에 위치하는 반사 방지부를 더 포함하고, 상기 반사 방지부는 상기 화소 정의막과 중첩하는 차광층, 및 상기 화소 전극과 중첩하는 색필터를 포함할 수 있다.The display device according to an embodiment further includes an encapsulation layer positioned on the common electrode, a touch unit positioned on the encapsulation layer, and an anti-reflection part positioned on the touch part, wherein the anti-reflection part overlaps the pixel defining layer a light blocking layer, and a color filter overlapping the pixel electrode.
상기 표시 장치의 각 화소는 복수의 트랜지스터를 포함하고, 상기 복수의 트랜지스터는 산화물 반도체를 포함하는 산화물 트랜지스터 및 다결정 반도체를 포함하는 다결정 트랜지스터를 포함할 수 있다.Each pixel of the display device may include a plurality of transistors, and the plurality of transistors may include an oxide transistor including an oxide semiconductor and a polycrystalline transistor including a polycrystalline semiconductor.
일 실시예에 의한 표시 장치는 기판, 상기 기판 위에 위치하는 트랜지스터, 상기 트랜지스터 위에 위치하는 층간 절연막, 상기 층간 절연막 위에 위치하고, 상기 트랜지스터와 연결되어 있는 구동 전압선 및 데이터선, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 위에 위치하는 보호막, 상기 보호막 위에 위치하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 중 적어도 일부와 중첩하는 화소 전극, 상기 화소 전극 위에 위치하고, 화소 개구부를 포함하는 화소 정의막, 상기 화소 전극 위에 위치하는 발광 소자층, 및 상기 발광 소자층 및 상기 화소 정의막 위에 위치하는 공통 전극을 포함하고, 상기 보호막은 제1 보호막 및 상기 제1 보호막 위에 위치하는 제2 보호막을 포함하고, 상기 제2 보호막은 상기 기판 위의 일부 영역에 위치하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선과 중첩할 수 있다.A display device according to an exemplary embodiment includes a substrate, a transistor disposed on the substrate, an interlayer insulating layer disposed over the transistor, a driving voltage line and a data line disposed on the interlayer insulating layer and connected to the transistor, the driving voltage line, and the data line a passivation layer positioned on the passivation layer, a pixel electrode positioned on the passivation layer and overlapping at least a portion of the driving voltage line and the data line, a pixel defining layer positioned over the pixel electrode and including a pixel opening, and a light emitting element layer positioned over the pixel electrode , and a common electrode disposed on the light emitting device layer and the pixel defining layer, wherein the passivation layer includes a first passivation layer and a second passivation layer over the first passivation layer, and the second passivation layer is disposed on the substrate. It may be located in a partial region and overlap the driving voltage line and the data line.
상기 제1 보호막은 상기 기판 위에 전체적으로 위치하고, 상기 제2 보호막은 상기 화소 전극과 중첩하고, 상기 화소 전극은 상기 제2 보호막 위에 위치하고, 상기 제2 보호막은 상기 화소 정의막의 가장자리와 중첩하고, 상기 화소 정의막의 중심부와 중첩하지 않을 수 있다.The first passivation layer is entirely disposed on the substrate, the second passivation layer overlaps the pixel electrode, the pixel electrode is disposed on the second passivation layer, the second passivation layer overlaps an edge of the pixel defining layer, and the pixel It may not overlap with the center of the defining film.
상기 제1 보호막 및 상기 제2 보호막은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.The first passivation layer and the second passivation layer may include an organic insulating material.
일 실시예에 의한 표시 장치는 상기 보호막은 상기 제1 보호막 아래에 위치하는 제3 보호막을 더 포함하고, 상기 제3 보호막은 무기 절연 물질을 포함할 수 있다.In the display device according to an embodiment, the passivation layer may further include a third passivation layer positioned under the first passivation layer, and the third passivation layer may include an inorganic insulating material.
상기 제1 보호막 및 상기 제3 보호막은 상기 기판 위에 전체적으로 위치할 수 있다.The first passivation layer and the third passivation layer may be entirely disposed on the substrate.
상기 제3 보호막은 상기 기판 위에 전체적으로 위치하고, 상기 제1 보호막은 상기 기판 위의 일부 영역에 위치하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선과 중첩할 수 있다.The third passivation layer may be entirely disposed on the substrate, and the first passivation layer may be positioned on a partial region of the substrate and overlap the driving voltage line and the data line.
일 실시예에 의한 표시 장치는 기판, 상기 기판 위에 위치하는 트랜지스터, 상기 트랜지스터 위에 위치하는 층간 절연막, 상기 층간 절연막 위에 위치하고, 상기 트랜지스터와 연결되어 있는 구동 전압선 및 데이터선, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 위에 위치하는 보호막, 상기 보호막 위에 위치하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 중 적어도 일부와 중첩하는 화소 전극, 상기 화소 전극 위에 위치하고, 화소 개구부를 포함하는 화소 정의막, 상기 화소 전극 위에 위치하는 발광 소자층, 및 상기 발광 소자층 및 상기 화소 정의막 위에 위치하는 공통 전극을 포함하고, 상기 보호막은 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선과 중첩하는 제1 부분 및 상기 제1 부분을 제외한 제2 부분을 포함하고, 상기 제1 부분의 두께가 상기 제2 부분의 두께보다 두꺼울 수 있다.A display device according to an exemplary embodiment includes a substrate, a transistor disposed on the substrate, an interlayer insulating layer disposed over the transistor, a driving voltage line and a data line disposed on the interlayer insulating layer and connected to the transistor, the driving voltage line, and the data line a passivation layer positioned on the passivation layer, a pixel electrode positioned on the passivation layer and overlapping at least a portion of the driving voltage line and the data line, a pixel defining layer positioned over the pixel electrode and including a pixel opening, and a light emitting element layer positioned over the pixel electrode and a common electrode positioned on the light emitting device layer and the pixel defining layer, wherein the passivation layer includes a first portion overlapping the driving voltage line and the data line, and a second portion excluding the first portion, wherein A thickness of the first portion may be greater than a thickness of the second portion.
상기 보호막의 제1 부분은 상기 화소 전극과 중첩하고, 상기 화소 정의막의 가장자리와 중첩하고, 상기 화소 정의막의 중심부와 중첩하지 않을 수 있다.A first portion of the passivation layer may overlap the pixel electrode, overlap an edge of the pixel defining layer, and not overlap a central portion of the pixel defining layer.
상기 보호막은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.The passivation layer may include an organic insulating material.
실시예들에 따른 표시 장치에 따르면, 색필터를 포함하는 반사 방지부를 포함하여 콘트라스트 저하를 방지하면서 투과율 저하를 방지할 수 있고, 발광층 아래에 위치하는 배선에 의한 단차로 인해 외부 빛이 반사되어 시인되는 것을 방지할 수 있다.According to the display device according to the exemplary embodiment, it is possible to prevent a decrease in transmittance while preventing a decrease in contrast by including an anti-reflection unit including a color filter, and external light is reflected and recognized due to a step difference due to a wiring located under the emission layer can be prevented from becoming
본 발명의 효과는 상술한 효과에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있음이 자명하다.It is apparent that the effect of the present invention is not limited to the above-described effect, and can be variously expanded without departing from the spirit and scope of the present invention.
도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 2는 일 실시예에 의한 표시 장치의 일부를 나타낸 배치도이다.
도 3은 도 2의 III-III선을 따라 나타낸 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.
도 4는 일 실시예에 의한 표시 장치의 회로도이다.
도 5는 일 실시예에 의한 표시 장치를 나타낸 평면도이다.
도 6은 도 5의 VI-VI선을 따라 나타낸 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.
도 7 내지 도 13은 일 실시예에 의한 표시 장치의 제조 순서에 따라 순차적으로 도시한 평면도이다.
도 14은 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.
도 15은 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.
도 16는 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.
도 17은 도 16의 실시예에 의한 표시 장치의 제3 층간 절연막을 나타낸 도면이다.
도 18은 도 3의 실시예에 의한 표시 장치의 제3 층간 절연막을 나타낸 도면이다.
도 19는 일 실시예에 의한 표시 장치의 평면도이다.
도 20은 도 19의 XX-XX선을 따라 나타낸 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.
도 21는 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.
도 22는 일 실시예에 의한 표시 장치의 일부를 나타낸 도면이다.
도 23는 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.
도 24은 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.
도 25은 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
2 is a layout view illustrating a part of a display device according to an exemplary embodiment.
3 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment taken along line III-III of FIG. 2 .
4 is a circuit diagram of a display device according to an exemplary embodiment.
5 is a plan view illustrating a display device according to an exemplary embodiment.
6 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment taken along line VI-VI of FIG. 5 .
7 to 13 are plan views sequentially illustrating a manufacturing sequence of a display device according to an exemplary embodiment.
14 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
15 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
16 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
17 is a diagram illustrating a third interlayer insulating layer of the display device according to the exemplary embodiment of FIG. 16 .
18 is a diagram illustrating a third interlayer insulating layer of the display device according to the exemplary embodiment of FIG. 3 .
19 is a plan view of a display device according to an exemplary embodiment.
20 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment taken along line XX-XX of FIG. 19 .
21 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
22 is a diagram illustrating a part of a display device according to an exemplary embodiment.
23 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
24 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
25 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, various embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in several different forms and is not limited to the embodiments described herein.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly explain the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.In addition, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily indicated for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the illustrated bar. In order to clearly express various layers and regions in the drawings, the thicknesses are enlarged. And in the drawings, for convenience of description, the thickness of some layers and regions are exaggerated.
또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.Further, when a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be “on” or “on” another part, it includes not only cases where it is “directly on” another part, but also cases where another part is in between. . Conversely, when we say that a part is "just above" another part, we mean that there is no other part in the middle. In addition, to be "on" or "on" the reference part is located above or below the reference part, and does not necessarily mean to be located "on" or "on" the opposite direction of gravity. .
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In addition, throughout the specification, when a part "includes" a certain component, this means that other components may be further included, rather than excluding other components, unless otherwise stated.
또한, 명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.In addition, throughout the specification, when referring to "planar", it means when the target part is viewed from above, and "cross-sectional" means when viewed from the side when a cross-section of the target part is vertically cut.
먼저, 도 1을 참고하여, 일 실시예에 따른 표시 장치에 대하여 간략하게 설명한다. 도 1은 일 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.First, a display device according to an exemplary embodiment will be briefly described with reference to FIG. 1 . 1 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
도 1을 참고하면, 실시예에 따른 표시 장치(10)는 표시부(1000), 터치부(2000), 반사 방지부(3000)를 포함한다. 표시부(1000)와 반사 방지부(3000) 사이에 터치부(2000)가 위치할 수 있다. 표시 장치(10)는 표시 영역(DA)과 비표시 영역(PA)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1 , the
표시부(1000)는 기판(110)을 포함하고, 기판(110) 위에는 버퍼층(111)이 위치할 수 있다.The
기판(110)은 폴리스티렌(polystyrene), 폴리비닐알코올(polyvinyl alcohol), 폴리메틸메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate), 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 트리아세테이트 셀룰로오스(triacetate cellulose), 셀룰로오스아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 기판(110)은 리지드(rigid) 기판이거나 벤딩(bending), 폴딩(folding), 롤링(rolling) 등이 가능한 플렉서블(flexible) 기판일 수 있다. 기판(110)은 단층 또는 다층일 수 있다. 기판(110)은 순차적으로 적층된 고분자 수지를 포함하는 적어도 하나의 베이스층과 적어도 하나의 무기층이 교번하여 적층될 수 있다.The
버퍼층(111)은 기판(110)과 제2 반도체(130) 사이에 위치하여 다결정 규소를 형성하기 위한 결정화 공정 시 기판(110)으로부터 불순물을 차단하여 다결정 규소의 특성을 향상시키고, 기판(110)을 평탄화시켜 버퍼층(111) 위에 형성되는 제2 반도체(130)의 스트레스를 완화할 수 있다. The
버퍼층(111)은 실리콘산화물(SiOx), 실리콘질화물(SiNx), 그리고 실리콘질산화물(SiOxNy)과 같은 무기 절연 물질을 포함할 수 있다. 버퍼층(111)은 비정질 실리콘(a-Si)을 포함할 수 있다.The
도시하지는 않았지만, 기판(110)과 버퍼층(111) 사이에는 베리어층이 더 위치할 수 있다. 베리어층은 단층 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 베리어층은 실리콘산화물, 실리콘질화물, 그리고 실리콘질산화물과 같은 무기 절연 물질을 포함할 수 있다.Although not shown, a barrier layer may be further positioned between the
버퍼층(111) 위에는 제2 반도체(130)가 위치할 수 있다. 제2 반도체(130)는 다결정 실리콘 물질을 포함할 수 있다. 즉, 제2 반도체(130)는 다결정 반도체로 이루어질 수 있다. 제2 반도체(130)는 소스 영역(131), 채널 영역(132) 및 드레인 영역(133)을 포함할 수 있다.The
제2 반도체(130)의 소스 영역(131)은 제2 소스 전극(SE2)과 연결될 수 있고, 제2 반도체(130)의 드레인 영역(133)은 제2 드레인 전극(DE2)과 연결될 수 있다.The
제2 반도체(130) 위에는 제1 게이트 절연막(141)이 위치할 수 있다. 제1 게이트 절연막(141)은 실리콘질화물, 실리콘산화물, 실리콘질산화물 등을 포함 하는 단일층 또는 다층 구조일 수 있다.A first
제1 게이트 절연막(141) 위에는 제2 게이트 하부 전극(GE2_L)이 위치할 수 있다. 제2 게이트 하부 전극(GE2_L)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및/또는 티타늄(Ti)을 포함할 수 있고, 이를 포함하는 단일층 또는 다층 구조일 수 있다.A second gate lower electrode GE2_L may be positioned on the first
제2 게이트 하부 전극(GE2_L) 위에는 제2 게이트 절연막(142)이 위치할 수 있다. 제2 게이트 절연막(142)은 실리콘질화물, 실리콘산화물, 실리콘질산화물 등을 포함할 수 있다. 제2 게이트 절연막(142)은 실리콘질화물, 실리콘산화물, 실리콘질산화물을 포함하는 단일층 또는 다층 구조일 수 있다. A second
제2 게이트 절연막(142) 위에는 제2 게이트 상부 전극(GE2_U)이 위치할 수 있다. 제2 게이트 하부 전극(GE2_L)과 제2 게이트 상부 전극(GE2_U)은 제2 게이트 절연막(142)을 사이에 두고 중첩할 수 있다. 제2 게이트 상부 전극(GE2_U)과 제2 게이트 하부 전극(GE2_L)은 제2 게이트 전극(GE2)을 구성한다. 제2 게이트 전극(GE2)은 제2 반도체(130)의 채널 영역(132)과 기판(110)에 수직한 방향으로 중첩할 수 있다.A second gate upper electrode GE2_U may be positioned on the second
제2 게이트 상부 전극(GE2_U)과 게이트선(GL)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 은(Ag), 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti) 등을 포함할 수 있고, 이를 포함하는 단일층 또는 다층 구조일 수 있다.The second gate upper electrode GE2_U and the gate line GL are made of molybdenum (Mo), aluminum (Al), copper (Cu) silver (Ag), chromium (Cr), tantalum (Ta), titanium (Ti), etc. It may include, and may have a single-layer or multi-layer structure including the same.
도시하지는 않았지만, 제2 게이트 절연막(142) 위에는 제2 게이트 상부 전극(GE2_U) 및 게이트선(GL)과 같은 층으로 이루어진 금속 차단층(BML)이 위치할 수 있고, 금속 차단층(BML)은 뒤에서 설명할 산화물 트랜지스터(To)와 중첩할 수 있다.Although not shown, a metal blocking layer BML made of the same layer as the second gate upper electrode GE2_U and the gate line GL may be positioned on the second
제2 반도체(130), 제2 게이트 전극(GE2), 제2 소스 전극(SE2) 및 제2 드레인 전극(DE2)은 다결정 트랜지스터(Tp)를 구성한다. 다결정 트랜지스터(Tp)는 발광 다이오드(LED)와 연결된 구동 트랜지스터일 수 있고, 다결정 반도체를 포함하는 트랜지스터로 이루어질 수 있다.The
제2 게이트 전극(GE2) 위에는 제1 층간 절연막(161)이 위치할 수 있다. 제1 층간 절연막(161)은 실리콘질화물, 실리콘산화물, 실리콘질산화물 등을 포함할 수 있다. 제1 층간 절연막(161)은 실리콘산화물을 포함하는 층과 실리콘질화물을 포함하는 층이 적층되어 있는 다중층으로 이루어질 수 있다. 이때, 제1 층간 절연막(161)에서 실리콘질화물을 포함하는 층이 실리콘산화물을 포함하는 층보다 기판(110)에 더 가까이 위치할 수 있다.A first
제1 층간 절연막(161) 위에는 제1 반도체(135)가 위치할 수 있다. 제1 반도체(135)는 금속 차단층(BML)과 중첩할 수 있다.A
제1 반도체(135)는 산화물 반도체를 포함할 수 있다. 예를 들면, 제1 반도체(135)는 IGZO(Indium-Gallium-Zinc Oxide)를 포함할 수 있다.The
제1 반도체(135)는 채널 영역(137)과 채널 영역(137)의 양 옆에 위치하는 소스 영역(136) 및 드레인 영역(138)을 포함할 수 있다. 제1 반도체(135)의 소스 영역(136)은 제1 소스 전극(SE1)과 연결될 수 있고, 제1 반도체(135)의 드레인 영역(138)은 제1 드레인 전극(DE1)과 연결될 수 있다.The
제1 반도체(135) 위에는 제3 게이트 절연막(143)이 위치할 수 있다. 제3 게이트 절연막(143)은 실리콘질화물, 실리콘산화물, 실리콘질산화물 등을 포함할 수 있다.A third
도시한 실시예에서, 제3 게이트 절연막(143)은 제1 반도체(135) 및 제1 층간 절연막(161) 위의 전면에 위치할 수 있다. 따라서, 제3 게이트 절연막(143)은 제1 반도체(135)의 소스 영역(136), 채널 영역(137) 및 드레인 영역(138)의 상부면 및 측면을 덮고 있다.In the illustrated embodiment, the third
고해상도를 구현하는 과정에서 각각의 화소의 크기는 줄어들게 되고, 이에 따라 반도체의 채널의 길이가 줄어들게 된다. 이때, 제3 게이트 절연막(143)이 소스 영역(136) 및 드레인 영역(138)의 상부면을 덮고 있지 않다면, 제1 반도체(135)의 일부 물질이 제3 게이트 절연막(143)의 측면으로 이동할 수도 있다. 본 실시예에서는 제3 게이트 절연막(143)이 제1 반도체(135) 및 제1 층간 절연막(161) 위의 전면에 위치함으로써, 금속 입자의 확산에 따른 제1 반도체(135)와 제1 게이트 전극(GE1)의 단락을 방지할 수 있다.In the process of realizing the high resolution, the size of each pixel is reduced, and accordingly, the length of the channel of the semiconductor is reduced. In this case, if the third
그러나 실시예들은 이에 한정되지 아니하고, 제3 게이트 절연막(143)은 제1 반도체(135) 및 제1 층간 절연막(161) 위의 전면에 위치하지 않을 수도 있다. 예를 들면, 제3 게이트 절연막(143)은 제1 게이트 전극(GE1)과 제1 반도체(135) 사이에만 위치할 수도 있다. 즉, 제3 게이트 절연막(143)은 제1 반도체(135)의 채널 영역(137)과 중첩하고, 소스 영역(136) 및 드레인 영역(138)과는 중첩하지 않을 수 있다.However, embodiments are not limited thereto, and the third
제3 게이트 절연막(143) 위에는 제1 게이트 전극(GE1)이 위치할 수 있다. A first gate electrode GE1 may be positioned on the third
제1 게이트 전극(GE1)은 제1 반도체(135)의 채널 영역(137)과 기판(110)에 수직한 방향으로 중첩할 수 있다. 제1 게이트 전극(GE1)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및/또는 티타늄(Ti)을 포함할 수 있으며, 이를 포함하는 단일층 또는 다층 구조일 수 있다. 예를 들어, 제1 게이트 전극(GE1)은 티타늄을 포함하는 하부층과 몰리브덴을 포함하는 상부층을 포함할 수 있고, 티타늄을 포함하는 하부층은 상부층의 건식 식각 시 식각 기체인 플르오린(F)이 확산되는 것을 방지할 수 있다.The first gate electrode GE1 may overlap the
제1 반도체(135), 제1 게이트 전극(GE1), 제1 소스 전극(SE1) 및 제1 드레인 전극(DE1)은 산화물 트랜지스터(To)를 구성한다. 산화물 트랜지스터(To)는 다결정 트랜지스터(Tp)의 스위칭을 위한 스위칭 트랜지스터일 수 있고, 산화물 반도체를 포함하는 트랜지스터로 이루어질 수 있다.The
제1 게이트 전극(GE1) 위에는 제2 층간 절연막(162)이 위치할 수 있다. 제2 층간 절연막(162)은 실리콘질화물, 실리콘산화물, 실리콘질산화물 등을 포함할 수 있다. 제2 층간 절연막(162)은 실리콘질화물을 포함하는 층과 실리콘산화물을 포함하는 층이 적층되어 있는 다중층으로 이루어질 수 있다.A second
제2 층간 절연막(162) 위에는 제1 소스 전극(SE1) 및 제1 드레인 전극(DE1), 그리고 제2 소스 전극(SE2) 및 제2 드레인 전극(DE2)이 위치할 수 있다. 제1 소스 전극(SE1), 제1 드레인 전극(DE1), 제2 소스 전극(SE2) 및 제2 드레인 전극(DE2)은 몰리브데늄(Mo), 크로뮴(Cr), 탄탈륨(Ta), 알루미늄(Al), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 칼슘(Ca), 티타늄(Ti), 텅스텐(W) 및/또는 구리(Cu) 등을 포함할 수 있으며, 이를 포함하는 단일층 또는 다층 구조일 수 있다. 예를 들어, 제1 소스 전극(SE1), 제1 드레인 전극(DE1), 제2 소스 전극(SE2) 및 제2 드레인 전극(DE2)은 몰리브덴, 크롬, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속(refractory metal) 또는 이들의 합금을 포함하는 하부막, 비저항이 낮은 알루미늄 계열 금속, 은 계열 금속, 구리 계열 금속을 포함하는 중간막, 몰리브덴, 크롬, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속을 포함하는 상부막의 삼중막 구조일 수 있다.A first source electrode SE1 and a first drain electrode DE1 , and a second source electrode SE2 and a second drain electrode DE2 may be positioned on the second
제1 소스 전극(SE1)은 제1 반도체(135)의 소스 영역(136)과 연결될 수 있고, 제1 드레인 전극(DE1)은 제1 반도체(135)의 드레인 영역(138)과 연결될 수 있다.The first source electrode SE1 may be connected to the
제2 소스 전극(SE2)은 제2 반도체(130)의 소스 영역(131)과 연결될 수 있고, 제2 드레인 전극(DE2)은 제2 반도체(130)의 드레인 영역(133)과 연결될 수 있다.The second source electrode SE2 may be connected to the
제1 소스 전극(SE1), 제1 드레인 전극(DE1), 제2 소스 전극(SE2) 및 제2 드레인 전극(DE2) 위에는 제3 층간 절연막(163)이 위치할 수 있다. 제3 층간 절연막(163)은 유기막일 수 있다. 예를 들어, 제3 층간 절연막(163)은 Polymethylmethacrylate(PMMA)나 Polystyrene(PS)과 같은 일반 범용 고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 폴리이미드, 아크릴계 폴리머, 실록산계 폴리머 등의 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.A third
제3 층간 절연막(163) 위에는 연결 전극(CE)과 데이터선(171), 구동 전압선(172)이 위치할 수 있다. 연결 전극(CE)과 데이터선(DL)은 알루미늄(Al), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 크로뮴(Cr), 칼슘(Ca), 몰리브데늄(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 및/또는 구리(Cu)등을 포함할 수 있고, 이를 포함하는 단일층 또는 다층 구조일 수 있다.A connection electrode CE, a
연결 전극(CE)은 제2 드레인 전극(DE2)과 연결된다.The connection electrode CE is connected to the second drain electrode DE2 .
제3 층간 절연막(163), 연결 전극(CE)과 데이터선(DL) 위에는 보호막(180)이 위치할 수 있다. 보호막(180)은 그 위에 형성될 발광 소자의 발광 효율을 높이기 위해 단차를 없애고 평탄화하는 역할을 할 수 있다. 보호막(180)은 Polymethylmethacrylate(PMMA)나 Polystyrene(PS)과 같은 일반 범용 고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 폴리이미드, 아크릴계 폴리머, 실록산계 폴리머 등의 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.A
보호막(180) 위에는 화소 전극(191)이 위치할 수 있다. 화소 전극(191)은 보호막(180)의 접촉구를 통해 제2 드레인 전극(DE2)과 연결될 수 있다.A
화소 전극(191)은 화소(PX)마다 개별적으로 제공될 수 있다. 화소 전극(191)은 은(Ag), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 금(Au) 같은 금속을 포함할 수 있고, 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO) 같은 투명 도전성 산화물(TCO)을 포함할 수도 있다. 화소 전극(191)은 금속 물질 또는 투명 도전성 산화물을 포함하는 단일층 또는 이들을 포함하는 다중층으로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 화소 전극(191)은 인듐 주석 산화물(ITO)/은(Ag)/인듐 주석 산화물(ITO)의 삼중막 구조를 가질 수 있다.The
화소 전극(191) 위에는 화소 정의막(360)이 위치할 수 있다. 화소 정의막(360)은 Polymethylmethacrylate(PMMA)나 Polystyrene(PS)과 같은 일반 범용 고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 폴리이미드, 아크릴계 폴리머, 실록산계 폴리머 등의 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 화소 정의막(360)은 블랙 염료를 포함하여 빛을 투과하지 않을 수 있다.A
화소 정의막(360)에는 화소 개구부(365)가 형성되어 있으며, 화소 정의막(360)의 화소 개구부(365)는 화소 전극(191)과 중첩할 수 있다. 화소 정의막(360)의 화소 개구부(365) 내에는 발광 소자층(370)이 위치할 수 있다.A
발광 소자층(370)은 적색, 녹색 및 청색 등의 기본 색의 광을 고유하게 내는 물질층을 포함할 수 있다. 발광 소자층(370)은 서로 다른 색의 광을 내는 복수의 물질층이 적층된 구조를 가질 수도 있다. The light emitting
발광 소자층(370) 및 화소 정의막(360) 위에는 공통 전극(270)이 위치할 수 있다. 공통 전극(270)은 모든 화소(PX)에 공통으로 제공될 수 있고, 비표시 영역(PA)의 공통 전압 전달부(27)를 통해 공통 전압(ELVSS)을 인가받을 수 있다. A
공통 전극(270)은 칼슘(Ca), 바륨(Ba), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 은(Ag), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크로뮴(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca) 등을 포함하는 반사성 금속 또는 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO) 같은 투명 도전성 산화물(TCO)을 포함할 수 있다.The
화소 전극(191), 발광 소자층(370) 및 공통 전극(270)은 발광 다이오드(LED)를 이룬다. 여기서, 화소 전극(191)은 정공 주입 전극인 애노드이며, 공통 전극(270)은 전자 주입 전극인 캐소드일 수 있다. 그러나 실시예는 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 유기 발광 표시장치의 구동 방법에 따라 화소 전극(191)이 캐소드가 되고, 공통 전극(270)이 애노드가 될 수도 있다. The
화소 전극(191) 및 공통 전극(270)으로부터 각각 정공과 전자가 발광 소자층(370) 내부로 주입되고, 주입된 정공과 전자가 결합한 엑시톤(exiton)이 여기상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광이 이루어진다.When holes and electrons are injected into the light emitting
실시예에 따른 표시 장치의 스위칭 트랜지스터의 일부인 산화물 트랜지스터(To)가 산화물 반도체를 포함할 수 있고, 구동 트랜지스터인 다결정 트랜지스터(Tp)가 다결정 반도체를 포함할 수 있다. 고속 구동을 위해 기존의 약 60Hz의 주파수를 약 120Hz로 높임으로써 동영상의 움직임을 더 자연스럽게 표현할 수 있으나, 이로 인해 소비 전력이 증가하게 된다. 높아진 소비 전력을 보상하기 위해 정지 영상을 구동할 때의 주파수를 낮출 수 있다. 예를 들면, 정지 영상 구동시 약 1Hz로 구동할 수 있다. 이처럼 주파수가 낮아지는 경우 누설 전류가 발생할 수 있다. 일 실시예에 의한 표시 장치에서는 스위칭 트랜지스터인 산화물 트랜지스터(To)가 산화물 반도체를 포함하도록 함으로써, 누설 전류를 최소화할 수 있다. 또한, 구동 트랜지스터인 다결정 트랜지스터(Tp)가 다결정 반도체를 포함하도록 함으로써, 높은 전자이동도를 가질 수 있다. 즉, 스위칭 트랜지스터와 구동 트랜지스터가 서로 다른 반도체 물질을 포함하도록 함으로써 보다 안정적으로 구동할 수 있으며 높은 신뢰성을 가질 수 있다. The oxide transistor To, which is a part of the switching transistor of the display device according to the embodiment, may include an oxide semiconductor, and the polycrystalline transistor Tp, which is the driving transistor, may include a polycrystalline semiconductor. By raising the existing frequency of about 60Hz to about 120Hz for high-speed operation, the motion of a video can be expressed more naturally, but power consumption increases. In order to compensate for the increased power consumption, the frequency when driving a still image may be lowered. For example, when driving a still image, it may be driven at about 1 Hz. When the frequency is lowered in this way, leakage current may occur. In the display device according to an exemplary embodiment, the oxide transistor To, which is a switching transistor, includes an oxide semiconductor, thereby minimizing leakage current. In addition, since the polycrystalline transistor Tp, which is the driving transistor, includes the polycrystalline semiconductor, high electron mobility may be achieved. That is, the switching transistor and the driving transistor may be driven more stably and have high reliability by including different semiconductor materials.
공통 전극(270) 위에 봉지층(390)이 위치한다. 봉지층(390)은 표시부(1000)의 상부면 뿐만 아니라 측면까지 덮어 표시부(1000)을 밀봉할 수 있다. 봉지층(390)은 표시 영역(DA)의 전면에 위치하고, 표시 영역(DA)에서 연장되어 비표시 영역(PA)에 봉지층(390)의 끝단이 위치할 수 있다. An
유기 발광 소자는 수분과 산소에 매우 취약하므로, 봉지층(390)이 표시부(1000)을 밀봉하여 외부의 수분 및 산소의 유입을 차단한다. 봉지층(390)은 복수의 층을 포함할 수 있고, 그 중 무기막과 유기막을 모두 포함하는 복합막으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 봉지층(390)은 제1 무기막(390a), 유기막(390b), 제2 무기막(390c)이 순차적으로 형성된 3중층으로 이루어질 수 있다. Since the organic light emitting diode is very vulnerable to moisture and oxygen, the
봉지층(390) 위에 터치부(2000)가 위치한다.The
터치부(2000)에 대하여 간략하게 설명한다. 봉지층(390) 위에 제1 절연막(410)이 위치한다. 제1 절연막(410)은 금속 산화물, 금속 산질화물, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 및 실리콘 산질화물 등의 무기층이나 유기층으로 이루어질 수 있다. 제1 절연막(410)은 봉지층(390)을 덮어 봉지층(390)을 보호하고, 투습을 방지할 수 있다. 또한, 제1 절연막(410)은 공통 전극(270)과 터치 전극 사이의 기생 커패시턴스를 줄이는 역할을 할 수 있다.The
제1 절연막(410) 위에 제1 터치 셀 연결부(452)가 위치하고, 제1 터치 셀 연결부(452) 위에 제2 절연막(420)이 위치한다. 제2 절연막(420)은 금속 산화물, 금속 산질화물, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 및 실리콘 산질화물 등의 무기층이나 유기층으로 이루어질 수 있다.The first touch
제2 절연막(420) 위에 제1 터치 셀(451)이 위치한다. 또한, 도시하지는 않았지만, 제2 절연막(420) 위에 제2 터치 셀 및 제2 터치 셀 연결부도 위치할 수 있다. 이때, 제1 터치 셀(451)과 제2 터치 셀 중 어느 하나는 감지 입력 전극이고, 다른 하나는 감지 출력 전극일 수 있다. 제1 터치 셀(451)과 제2 터치 셀은 전기적으로 서로 분리될 수 있으며, 서로 중첩하지 않도록 분산되어 메쉬 형태로 배치될 수 있다. 제1 터치 셀(451)은 제1 터치 셀 연결부(452)에 의해 서로 연결될 수 있고, 제2 터치 셀은 제2 터치 셀 연결부에 의해 서로 연결될 수 있다. A
제1 터치 셀(451)과 제2 터치 셀(도시하지 않음) 위에 터치 셀 보호막(430)이 위치할 수 있다. 터치 셀 보호막(430)은 제1 터치 셀(451) 및 제2 터치 셀(도시하지 않음)이 외부로 노출되지 않도록 덮어 제1 터치 셀(451) 및 제2 터치 셀(도시하지 않음)을 보호할 수 있다. 터치 셀 보호막(430)은 실리콘질화물(SiNx) 또는 실리콘산화물(SiO2) 등의 무기물 또는 폴리아크릴계 수지(polyacrylates resin) 및 폴리이미드계 수지(polyimides resin) 등의 유기물을 포함할 수 있다.A touch
터치부(2000) 위에 반사 방지부(3000)가 위치한다.The
반사 방지부(3000)는 차광층(520)과 색필터(530A, 530B, 530C)를 포함한다.The
차광층(520)은 표시부(1000)의 화소 정의막(360)과 중첩하고, 화소 정의막(360)보다 폭이 좁을 수 있다. 차광층(520)은 비표시 영역(PA)의 전반에 위치할 수 있다.The
차광층(520)은 화소 정의막(360)의 화소 개구부(365)와 중첩하는 복수의 개구부(521)를 가지고, 각 개구부(521)는 화소 개구부(365)와 중첩한다. 차광층(520)의 개구부(521)의 폭은 각기 중첩하는 화소 개구부(365)의 폭보다 넓을 수 있다.The
색필터(530A, 530B, 530C)는 차광층(520) 위에 위치한다. 각 색필터(530A, 530B, 530C)의 대부분은 차광층(520)의 개구부(521)에 위치한다. 복수의 색필터(530A, 530B, 530C) 위에는 평탄화층(540)이 위치할 수 있다.The
반사 방지부(3000)는 외부로부터 입사되는 외광이 배선 등에 의해 반사되어 시인되는 것을 방지한다. 반사 방지부(3000)의 차광층(520)은 비표시 영역(PA)과 표시 영역(DA)의 발광 영역 가장자리에 중첩하도록 위치하여, 입사되는 외광을 흡수하여 발광 영역으로 입사되는 것을 줄인다. 이에 의해 외광이 반사되어 시인되는 정도를 줄일 수 있다.The
반사 방지부(3000)의 색필터(530A, 530B, 530C)는 외부로부터 입사되는 외광이 화소 정의막(360) 등으로 입사된 후 반사되어 시인되는 것을 감소시킨다. 색필터(530A, 530B, 530C)는 빛을 완전히 차단하지 않기 때문에, 발광 소자층(370)에서 발광된 빛의 효율을 줄이지 않으면서, 외광의 반사광이 시인되는 것을 방지할 수 있다.The
일반적으로 외광의 반사광의 시인을 방지하기 위하여, 편광층을 이용할 수 있으나, 이는 발광 소자층에서 발광된 빛의 효율을 낮추게 된다. 그러나, 실시예에 따르면, 반사 방지부(3000)를 통해 발광 소자층(370)에서 발광된 빛의 효율을 줄이지 않으면서, 외광의 반사광이 시인되는 것을 방지할 수 있다.In general, a polarization layer may be used in order to prevent recognition of reflected light of external light, but this lowers the efficiency of light emitted from the light emitting device layer. However, according to the embodiment, it is possible to prevent the reflection of external light from being viewed without reducing the efficiency of the light emitted from the light emitting
다음으로, 도 2 및 도 3을 참조하여, 표시부(1000)의 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 그 아래에 위치하는 제3 층간 절연막(163)에 대해 더욱 설명한다.Next, with reference to FIGS. 2 and 3 , the
도 2는 일 실시예에 의한 표시 장치의 일부를 나타낸 배치도이고, 도 3은 도 2의 III-III선을 따라 나타낸 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다. 도 2 및 도 3은 도 1의 일 실시예에 의한 표시 장치의 일부 층을 도시하고 있으며, 나머지 일부 층은 도시를 생략하였다. 도 3에서 기판(110) 위에 제3 층간 절연막(163)이 위치하는 것으로 도시되어 있으며, 기판(110)과 제3 층간 절연막(163) 사이에 위치하는 버퍼층(111), 제1 게이트 절연막(141), 제2 게이트 절연막(142), 제1 층간 절연막(161), 제3 게이트 절연막(143) 및 제2 층간 절연막(162)의 도시는 생략되었다.FIG. 2 is a layout view illustrating a portion of a display device according to an exemplary embodiment, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the display device according to an exemplary embodiment taken along line III-III of FIG. 2 . 2 and 3 illustrate some layers of the display device according to the exemplary embodiment of FIG. 1 , and the remaining partial layers are omitted. In FIG. 3 , the third
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 표시 장치는 서로 다른 색을 표시하는 복수 개의 제1 화소(PXA), 복수 개의 제2 화소(PXB), 복수 개의 제3 화소(PXC)를 포함할 수 있다.2 and 3 , in the display device according to an exemplary embodiment, a plurality of first pixels PXA, a plurality of second pixels PXB, and a plurality of third pixels PXC display different colors. ) may be included.
표시 장치의 어느 한 행에는 제1 화소(PXA)와 제3 화소(PXC)가 소정 간격 이격되어 위치할 수 있고, 인접한 다른 한 행에는 제2 화소(PXB)가 소정 간격 이격되어 위치할 수 있다. 이러한 제1 화소(PXA) 및 제3 화소(PXC)가 교대로 배치되어 있는 행과 제2 화소(PXB)가 반복 배치되어 있는 행이 교대로 반복될 수 있다. 이러한 화소 배치 구조를 펜타일 매트릭스(PenTile Matrix)라고 하며, 인접한 화소를 공유하여 색상을 표현함으로써, 작은 수의 화소로 고해상도를 구현할 수 있다.In one row of the display device, the first pixel PXA and the third pixel PXC may be positioned to be spaced apart from each other by a predetermined distance, and the second pixel PXB may be positioned to be spaced apart from each other by a predetermined distance in the other adjacent row. . A row in which the first pixel PXA and the third pixel PXC are alternately arranged and a row in which the second pixel PXB is repeatedly arranged may be alternately repeated. Such a pixel arrangement structure is called a PenTile matrix, and by sharing adjacent pixels to express colors, high resolution can be realized with a small number of pixels.
예들 들어, 제1 화소(PXA)는 청색을 표시하는 청색 화소일 수 있고, 제2 화소(PXB)는 녹색을 표시하는 녹색 화소일 수 있고, 제3 화소(PXC)는 적색을 표시하는 적색 화소일 수 있다. 그러나, 이는 하나의 예시에 불과하며, 각 화소가 표시하는 색은 다양하게 변경될 수 있다.For example, the first pixel PXA may be a blue pixel displaying blue, the second pixel PXB may be a green pixel displaying green, and the third pixel PXC may be a red pixel displaying red. can be However, this is only an example, and the color displayed by each pixel may be variously changed.
각 화소에는 화소 전극(191), 발광 소자층(370) 및 공통 전극(270)이 적층되어 있으며, 이들은 발광 다이오드(LED)를 이룰 수 있다. 일 실시예에 의한 표시 장치에서 외부로부터 입사되는 외광은 반사 방지부(3000)에 의해 대부분 차단될 수 있다. 이러한 외광은 화소 전극(191) 등에 의해 반사되는 것으로서, 화소 전극(191)이 평탄한 형상을 가지는 경우 외광의 반사율을 낮추어 외광 반사 차단율을 더욱 낮출 수 있다.A
일 실시예에 의한 표시 장치는 기판(110)과 화소 전극(191) 사이에 위치하는 제3 층간 절연막(163), 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 보호막(180)을 포함할 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163)과 보호막(180) 사이에 위치할 수 있다. 보호막(180)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치할 수 있고, 보호막(180) 위에는 화소 전극(191)이 위치할 수 있다. 화소 전극(191)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 중 적어도 일부와 중첩할 수 있다. 예를 들면, 제1 화소(PXA) 및 제3 화소(PXC)에서 화소 전극(191)은 구동 전압선(172)과 중첩할 수 있고, 제2 화소(PXB)에서 화소 전극(191)은 데이터선(171)과 중첩할 수 있다. 제1 화소(PXA) 및 제3 화소(PXC)에서 화소 전극(191)은 구동 전압선(172)의 넓은 부분과 중첩하는 것으로 도시되어 있으나, 화소 전극(191)의 위치는 다양하게 변경될 수 있다. 예를 들면, 화소 전극(191)의 절반 정도의 면적이 구동 전압선(172)과 중첩할 수도 있다. 화소 전극(191)의 하부에 위치하면서, 화소 전극(191)과 중첩하는 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 등에 의해 단차가 발생할 수 있다. 이러한 단차를 감소시켜, 보호막(180)의 상부면이 평탄하게 형성되면 화소 전극(191)이 평탄한 형상을 가질 수 있다. 이하에서는 보호막(180)의 상부면이 평탄하게 이루어질 수 있도록 하기 위한 제3 층간 절연막(163)과 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)의 관계에 대해 설명한다.The display device according to an embodiment may include a third
제3 층간 절연막(163)은 제1 그루브(163g1) 및 제2 그루브(163g2)를 포함할 수 있다. 제3 층간 절연막(163)은 제1 그루브(163g1)가 형성되어 있는 제1 부분(163a), 제2 그루브(163g2)가 형성되어 있는 제2 부분(163b), 및 나머지 영역에 위치하는 제3 부분(163c)을 포함할 수 있다. 제3 층간 절연막(163)의 제1 부분(163a)의 두께(THa)는 제3 부분(163c)의 두께(THc)보다 얇을 수 있다. 제3 층간 절연막(163)의 제2 부분(163b)의 두께(THb)는 제3 부분(163c)의 두께(THc)보다 얇을 수 있다. 제3 층간 절연막(163)의 제1 부분(163a)의 두께(THa)는 제3 층간 절연막(163)의 제2 부분(163b)의 두께(THb)와 실질적으로 동일할 수 있다.The third
제3 층간 절연막(163) 위에는 구동 전압선(172)이 위치할 수 있다. 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1) 내에 위치할 수 있다. 따라서, 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163)의 제1 부분(163a)과 중첩할 수 있다. 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1)의 깊이(Dg1)는 구동 전압선(172)의 두께(THe)에 상응할 수 있다. 예를 들면, 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1)의 깊이(Dg1)는 구동 전압선(172)의 두께(THe)와 실질적으로 동일할 수 있다. 구동 전압선(172)의 두께(THe)와 제3 층간 절연막(163)의 제1 부분(163a)의 두께(THa)의 합은 제3 층간 절연막(163)의 제3 부분(163c)의 두께(THc)와 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 제3 층간 절연막(163)의 제3 부분(163c)의 상부면과 구동 전압선(172)의 상부면이 일치할 수 있다. 즉, 제3 층간 절연막(163)의 제3 부분(163c)의 상부면과 구동 전압선(172)의 상부면이 평평하게 이루어질 수 있다. 따라서, 제3 층간 절연막(163) 및 구동 전압선(172) 위에 위치하는 보호막(180)의 상부면이 평탄하게 이루어질 수 있다. 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1)의 폭(Wg1)은 구동 전압선(172)의 폭(We)보다 클 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1)의 폭(Wg1)은 구동 전압선(172)의 폭(We)과 실질적으로 동일할 수도 있다.A driving
제3 층간 절연막(163) 위에는 데이터선(171)이 위치할 수 있다. 데이터선(171)은 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2) 내에 위치할 수 있다. 따라서, 데이터선(171)은 제3 층간 절연막(163)의 제2 부분(163b)과 중첩할 수 있다. 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2)의 깊이(Dg2)는 데이터선(171)의 두께(THd)에 상응할 수 있다. 예를 들면, 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2)의 깊이(Dg2)는 데이터선(171)의 두께(THd)와 실질적으로 동일할 수 있다. 데이터선(171)의 두께(THd)와 제3 층간 절연막(163)의 제2 부분(163b)의 두께(THb)의 합은 제3 층간 절연막(163)의 제3 부분(163c)의 두께(THc)와 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 제3 층간 절연막(163)의 제3 부분(163c)의 상부면과 데이터선(171)의 상부면이 일치할 수 있다. 즉, 제3 층간 절연막(163)의 제3 부분(163c)의 상부면과 데이터선(171)의 상부면이 평평하게 이루어질 수 있다. 따라서, 제3 층간 절연막(163) 및 데이터선(171) 위에 위치하는 보호막(180)의 상부면이 평탄하게 이루어질 수 있다. 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2)의 폭(Wg2)은 데이터선(171)의 폭(Wd)보다 클 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2)의 폭(Wg2)은 데이터선(171)의 폭(Wd)과 실질적으로 동일할 수도 있다. 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2) 내에는 2개의 데이터선(171)이 위치할 수 있다. 이때, 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2)의 폭(Wg2)은 데이터선(171)의 폭(Wd)의 2배 이상일 수 있다.A
이처럼, 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1) 내에 구동 전압선(172)이 위치하고, 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2) 내에 데이터선(171)이 위치함으로써, 보호막(180)의 상부면이 평탄하게 이루어질 수 있다. 즉, 구동 전압선(172) 및 데이터선(171) 등에 의해 단차가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 보호막(180) 위에는 화소 전극(191)이 위치하며, 화소 전극(191)의 상부면이 평탄하게 이루어질 수 있다. 외부에서 입사한 광이 단차가 형성되어 있는 화소 전극(191)에 반사되는 경우 색번짐이 발생할 수 있다. 일 실시예에 의한 표시 장치에서 화소 전극(191)은 평탄한 상부면을 가짐으로써, 외광의 반사율을 낮출 수 있고, 이러한 색번짐을 방지할 수 있다.As such, the driving
이때, 화소 전극(191)의 아래에 위치하는 보호막(180)의 두께가 두꺼울 경우, 보호막(180) 아래에 위치하는 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 같은 신호 배선에 따른 단차가 화소 전극(191)에 영향을 주지 않을 수 있으나, 보호막(180)과 그 아래에 위치하는 절연층들을 형성하기 위한 베이킹 공정에서 발생된 내부 기체가 외부로 배출되지 못할 수 있고, 이에 의해, 발광 소자층이 열화되거나, 유기 소자의 전극층이 변색되어 발광 소자층의 발광 특성이 저하될 수 있다.In this case, when the
또한, 유기 물질을 포함하는 절연층의 형성 공정에서 발생할 수 있는 내부 기체를 배출하기 위해 보호막(180)의 두께를 얇게 형성할 경우에는 보호막(180)의 아래에 위치하는 위치하는 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 같은 신호 배선에 따른 단차의 영향을 받아, 화소 전극(191)의 표면에도 단차가 발생할 수 있다.In addition, when the
일 실시예에 의한 표시 장치에서는 제3 층간 절연막(163)에 그루브(163g1, 163g2)를 형성하고, 그루브(163g1, 163g2) 내에 구동 전압선(172) 및 데이터선(171)을 위치시킴으로써, 구동 전압선(172) 및 데이터선(171)에 의한 단차의 발생을 방지할 수 있다. 따라서, 보호막(180)을 얇게 형성하면서도 보호막(180)의 상부면이 평탄할 수 있다. 예를 들면, 제3 층간 절연막(163)에 그루브(163g1, 163g2)가 형성되어 있지 않은 구조에서 보호막(180)을 평탄하게 형성하기 위해서는 보호막(180)의 두께가 약 3.1㎛ 일 수 있다. 일 실시예에 의한 표시 장치에서는 보호막(180)의 두께를 약 2.4㎛ 로 낮추면서도 평탄하게 형성할 수 있다. 이로 인해 유기 물질을 포함하는 절연층의 형성 공정에서 발생할 수 있는 내부 기체의 배출이 원활하게 이루어질 수 있다.In the display device according to the exemplary embodiment, the driving voltage line is formed by forming the grooves 163g1 and 163g2 in the third
상기에서 제3 층간 절연막(163)이 제1 그루브(163g1) 및 제2 그루브(163g2)를 포함하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다양하게 변경이 가능하다. 예를 들면, 제3 층간 절연막(163)이 제1 그루브(163g1)를 포함하고, 제2 그루브(163g2)를 포함하지 않을 수도 있다. 또한, 제3 층간 절연막(163)이 제2 그루브(163g2)를 포함하고, 제1 그루브(163g1)를 포함하지 않을 수도 있다.Although it has been described above that the third
다음으로, 도 4 내지 도 13을 참조하여, 일 실시예에 의한 표시 장치의 표시부(1000)의 어느 한 화소에 대하여 더욱 설명한다.Next, any one pixel of the
도 4는 일 실시예에 의한 표시 장치의 회로도이고, 도 5는 일 실시예에 의한 표시 장치를 나타낸 평면도이며, 도 6은 도 5의 VI-VI선을 따라 나타낸 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다. 도 7 내지 도 13은 일 실시예에 의한 표시 장치의 제조 순서에 따라 순차적으로 도시한 평면도이다.4 is a circuit diagram of a display device according to an embodiment; It is a cross section. 7 to 13 are plan views sequentially illustrating a manufacturing sequence of a display device according to an exemplary embodiment.
먼저 도 4를 참고하여, 일 실시예에 따른 표시 장치의 표시부(1000)의 한 화소의 회로도에 대하여 설명한다.First, a circuit diagram of one pixel of the
도 4에 도시한 바와 같이, 일 실시예에 따른 표시 장치의 하나의 화소(PX)는 여러 배선(127, 128, 151, 152, 153, 154, 155, 171, 172, 741)들에 연결되어 있는 복수의 트랜지스터(T1, T2, T3, T4, T5, T6, T7), 유지 커패시터(Cst), 부스트 커패시터(Cbt) 그리고 발광 다이오드(LED)를 포함한다.As shown in FIG. 4 , one pixel PX of the display device according to an exemplary embodiment is connected to
하나의 화소(PX)에는 복수의 배선(127, 128, 151, 152, 153, 154, 155, 171, 172, 741)이 연결되어 있다. 복수의 배선은 제1 초기화 전압선(127), 제2 초기화 전압선(128), 제1 스캔선(151), 제2 스캔선(152), 초기화 제어선(153), 바이패스 제어선(154), 발광 제어선(155), 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 공통 전압선(741)을 포함한다.A plurality of
제1 스캔선(151)은 게이트 구동부(도시되지 않음)에 연결되어 제1 스캔 신호(GW)를 제2 트랜지스터(T2)에 전달한다. 제2 스캔선(152)은 제1 스캔선(151)의 신호와 동일한 타이밍에 제1 스캔선(151)에 인가되는 전압과 반대 극성의 전압이 인가될 수 있다. 예를 들면, 제1 스캔선(151)에 부극성의 전압이 인가될 때, 제2 스캔선(152)에 정극성의 전압이 인가될 수 있다. 제2 스캔선(152)은 제2 스캔 신호(GC)를 제3 트랜지스터(T3)에 전달한다.The
초기화 제어선(153)은 초기화 제어 신호(GI)를 제4 트랜지스터(T4)에 전달한다. 바이패스 제어선(154)은 바이패스 신호(GB)를 제7 트랜지스터(T7)에 전달한다. 바이패스 제어선(154)은 전단의 제1 스캔선(151)으로 이루어질 수 있다. 발광 제어선(155)은 발광 제어 신호(EM)를 제5 트랜지스터(T5) 및 제6 트랜지스터(T6)에 전달한다.The
데이터선(171)은 데이터 구동부(도시되지 않음)에서 생성되는 데이터 전압(DATA)을 전달하는 배선으로 화소(PX)에 인가되는 데이터 전압(DATA)에 따라서 발광 다이오드(LED)가 발광하는 휘도가 변한다.The
구동 전압선(172)은 구동 전압(ELVDD)을 인가한다. 제1 초기화 전압선(127)은 제1 초기화 전압(VINT)을 전달하고, 제2 초기화 전압선(128)은 제2 초기화 전압(AINT)을 전달한다. 공통 전압선(741)은 공통 전압(ELVSS)을 발광 다이오드(LED)의 캐소드 전극으로 인가한다. 본 실시예에서 구동 전압선(172), 제1 및 제2 초기화 전압선(127, 128) 및 공통 전압선(741)에 인가되는 전압은 각각 일정한 전압일 수 있다.The driving
복수의 트랜지스터는 구동 트랜지스터(T1), 제2 트랜지스터(T2), 제3 트랜지스터(T3), 제4 트랜지스터(T4), 제5 트랜지스터(T5), 제6 트랜지스터(T6) 및 제7 트랜지스터(T7)를 포함할 수 있다. 복수의 트랜지스터는 산화물 반도체를 포함하는 산화물 트랜지스터 및 다결정 반도체를 포함하는 다결정 트랜지스터를 포함할 수 있다. 예를 들면, 제3 트랜지스터(T3) 및 제4 트랜지스터(T4)는 산화물 트랜지스터로 이루어질 수 있고, 구동 트랜지스터(T1), 제2 트랜지스터(T2), 제5 트랜지스터(T5), 제6 트랜지스터(T6) 및 제7 트랜지스터(T7)는 다결정 트랜지스터로 이루어질 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 복수의 트랜지스터가 모두 다결정 트랜지스터로 이루어질 수도 있다.The plurality of transistors include a driving transistor T1 , a second transistor T2 , a third transistor T3 , a fourth transistor T4 , a fifth transistor T5 , a sixth transistor T6 , and a seventh transistor T7 . ) may be included. The plurality of transistors may include an oxide transistor including an oxide semiconductor and a polycrystalline transistor including a polycrystalline semiconductor. For example, the third transistor T3 and the fourth transistor T4 may be formed of an oxide transistor, and the driving transistor T1 , the second transistor T2 , the fifth transistor T5 , and the sixth transistor T6 . ) and the seventh transistor T7 may be formed of a polycrystalline transistor. However, the present invention is not limited thereto, and all of the plurality of transistors may be formed of polycrystalline transistors.
상기에서 하나의 화소(PX)가 7개의 트랜지스터(T1 내지 T7), 1개의 유지 커패시터(Cst), 1개의 부스트 커패시터(Cbt)를 포함하는 것으로 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니며, 트랜지스터의 수와 커패시터의 수, 그리고 이들의 연결 관계는 다양하게 변경될 수 있다.Although it has been described above that one pixel PX includes seven transistors T1 to T7, one storage capacitor Cst, and one boost capacitor Cbt, the present invention is not limited thereto, and the number of transistors and capacitors is not limited thereto. The number of , and their connection relationship may be variously changed.
그러면, 도 5 내지 도 13을 참고하여, 일 실시예에 따른 표시 장치의 표시부(1000)의 하나의 화소의 층간 구조에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.Next, an interlayer structure of one pixel of the
기판(110) 위에는 버퍼층(111)이 위치하고, 버퍼층(111) 위에는 구동 트랜지스터(T1)의 채널(1132), 제1 영역(1131) 및 제2 영역(1133)을 포함하는 다결정 반도체층이 위치할 수 있다. 도 7은 다결정 반도체층을 도시하고 있다. 다결정 반도체층은 구동 트랜지스터(T1)뿐만 아니라 제2 트랜지스터(T2), 제5 트랜지스터(T5), 제6 트랜지스터(T6) 및 제7 트랜지스터(T7) 각각의 채널, 제1 영역 및 제2 영역을 더 포함할 수 있다.A
구동 트랜지스터(T1)의 채널(1132)은 평면 상에서 구부러진 형상으로 이루어질 수 있다. 다만, 구동 트랜지스터(T1)의 채널(1132)의 형상은 이에 한정되지 아니하며, 다양하게 변경될 수 있다. 예를 들면, 구동 트랜지스터(T1)의 채널(1132)은 다른 형상으로 구부러질 수도 있고, 막대 형상으로 이루어질 수도 있다. 구동 트랜지스터(T1)의 채널(1132)의 양측에 구동 트랜지스터(T1)의 제1 영역(1131) 및 제2 영역(1133)이 위치할 수 있다. 구동 트랜지스터(T1)의 제1 영역(1131)은 평면 상에서 위아래로 연장되어, 아래쪽으로 연장된 부분은 제2 트랜지스터(T2)의 제2 영역과 연결될 수 있고, 위쪽으로 연장된 부분은 제5 트랜지스터(T5)의 제2 영역과 연결될 수 있다. 구동 트랜지스터(T1)의 제2 영역(1133)은 평면 상에서 위로 연장되어 제6 트랜지스터(T6)의 제1 영역과 연결될 수 있다.The
구동 트랜지스터(T1)의 채널(1132), 제1 영역(1131) 및 제2 영역(1133)을 포함하는 다결정 반도체층 위에는 제1 게이트 절연막(141)이 위치할 수 있다.A first
제1 게이트 절연막(141) 위에는 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)을 포함하는 제1 게이트 도전체가 위치할 수 있다. 도 8은 다결정 반도체층 및 제1 게이트 도전체를 함께 도시하고 있다. 제1 게이트 도전체는 구동 트랜지스터(T1)뿐만 아니라 제2 트랜지스터(T2), 제5 트랜지스터(T5), 제6 트랜지스터(T6) 및 제7 트랜지스터(T7) 각각의 게이트 전극을 더 포함할 수 있다.A first gate conductor including the
구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)은 구동 트랜지스터(T1)의 채널(1132)과 중첩할 수 있다. 구동 트랜지스터(T1)의 채널(1132)은 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)에 의해 덮여 있다.The
제1 게이트 도전체는 제1 스캔선(151) 및 발광 제어선(155)을 더 포함할 수 있다. 제1 스캔선(151) 및 발광 제어선(155)은 대략 가로 방향으로 연장될 수 있다. 제1 스캔선(151)은 제2 트랜지스터(T2)의 게이트 전극과 일체로 이루어질 수 있다. 제7 트랜지스터(T7)에 연결되는 바이패스 제어선은 전단의 제1 스캔선(151)으로 이루어질 수 있다. 제5 트랜지스터(T5)의 게이트 전극 및 제6 트랜지스터(T6)의 게이트 전극은 발광 제어선(155)과 일체로 이루어질 수 있다.The first gate conductor may further include a
구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)을 포함하는 제1 게이트 도전체를 형성한 후 도핑 공정을 수행할 수 있다. 제1 게이트 도전체에 의해 가려진 다결정 반도체층은 도핑되지 않고, 제1 게이트 도전체에 의해 덮여 있지 않은 다결정 반도체층의 부분은 도핑되어 도전체와 동일한 특성을 가질 수 있다. 이때 p형 도펀트로 도핑 공정을 진행할 수 있으며, 다결정 반도체층을 포함하는 구동 트랜지스터(T1), 제2 트랜지스터(T2), 제5 트랜지스터(T5), 제6 트랜지스터(T6), 제7 트랜지스터(T7)는 p형 트랜지스터 특성을 가질 수 있다.After the first gate conductor including the
구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)을 포함하는 제1 게이트 도전체 및 제1 게이트 절연막(141) 위에는 제2 게이트 절연막(142)이 위치할 수 있다.A second
제2 게이트 절연막(142) 위에는 유지 커패시터(Cst)의 제1 유지 전극(1153), 제3 트랜지스터(T3)의 하부 게이트 전극(3155) 및 제4 트랜지스터(T4)의 하부 게이트 전극(4155)을 포함하는 제2 게이트 도전체가 위치할 수 있다. 도 9는 다결정 반도체, 제1 게이트 도전체 및 제2 게이트 도전체를 함께 도시하고 있다.The
제1 유지 전극(1153)은 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)과 중첩하여 유지 커패시터(Cst)를 이룬다. 유지 커패시터(Cst)의 제1 유지 전극(1153)에는 개구부(1152)가 형성되어 있다. 유지 커패시터(Cst)의 제1 유지 전극(1153)의 개구부(1152)는 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)과 중첩할 수 있다. 제3 트랜지스터(T3)의 하부 게이트 전극(3155)은 제3 트랜지스터(T3)의 채널(3137) 및 상부 게이트 전극(3151)과 중첩할 수 있다. 제4 트랜지스터(T4)의 하부 게이트 전극(4155)은 제4 트랜지스터(T4)의 채널(4137) 및 상부 게이트 전극(4151)과 중첩할 수 있다.The
제2 게이트 도전체는 하부 제2 스캔선(152a), 하부 초기화 제어선(153a) 및 제1 초기화 전압선(127)을 더 포함할 수 있다. 하부 제2 스캔선(152a), 하부 초기화 제어선(153a) 및 제1 초기화 전압선(127)은 대략 가로 방향으로 연장될 수 있다. 하부 제2 스캔선(152a)은 제3 트랜지스터(T3)의 하부 게이트 전극(3155)과 일체로 이루어질 수 있다. 하부 초기화 제어선(153a)은 제4 트랜지스터(T4)의 하부 게이트 전극(4155)과 일체로 이루어질 수 있다.The second gate conductor may further include a lower
유지 커패시터(Cst)의 제1 유지 전극(1153), 제3 트랜지스터(T3)의 하부 게이트 전극(3155) 및 제4 트랜지스터(T4)의 하부 게이트 전극(4155)을 포함하는 제2 게이트 도전체 위에는 제1 층간 절연막(161)이 위치할 수 있다.On the second gate conductor including the
제1 층간 절연막(161) 위에는 제3 트랜지스터(T3)의 채널(3137), 제1 영역(3136) 및 제2 영역(3138), 제4 트랜지스터(T4)의 채널(4137), 제1 영역(4136) 및 제2 영역(4138)을 포함하는 산화물 반도체층이 위치할 수 있다. 도 10은 다결정 반도체층, 제1 게이트 도전체, 제2 게이트 도전체 및 산화물 반도체층을 함께 도시하고 있다.On the first
제3 트랜지스터(T3)의 채널(3137), 제1 영역(3136) 및 제2 영역(3138), 제4 트랜지스터(T4)의 채널(4137), 제1 영역(4136) 및 제2 영역(4138)은 서로 연결되어 일체로 이루어질 수 있다. 제3 트랜지스터(T3)의 채널(3137)의 양측에 제3 트랜지스터(T3)의 제1 영역(3136) 및 제2 영역(3138)이 위치할 수 있다. 제4 트랜지스터(T4)의 채널(4137)의 양측에 제4 트랜지스터(T4)의 제1 영역(4136) 및 제2 영역(4138)이 위치할 수 있다. 제3 트랜지스터(T3)의 제2 영역(3138)은 제4 트랜지스터(T4)의 제2 영역(4138)과 연결될 수 있다. 제3 트랜지스터(T3)의 채널(3137)은 하부 게이트 전극(3155)과 중첩할 수 있다. 제4 트랜지스터(T4)의 채널(4137)은 하부 게이트 전극(4155)과 중첩할 수 있다.The
제3 트랜지스터(T3)의 채널(3137), 제1 영역(3136) 및 제2 영역(3138), 제4 트랜지스터(T4)의 채널(4137), 제1 영역(4136) 및 제2 영역(4138)을 포함하는 산화물 반도체층 위에는 제3 게이트 절연막(143)이 위치할 수 있다. 제3 게이트 절연막(143)은 산화물 반도체층 및 제1 층간 절연막(161) 위의 전면에 위치할 수 있다. 따라서, 제3 게이트 절연막(143)은 제3 트랜지스터(T3)의 채널(3137), 제1 영역(3136) 및 제2 영역(3138), 제4 트랜지스터(T4)의 채널(4137), 제1 영역(4136) 및 제2 영역(4138)의 상부면 및 측면을 덮을 수 있다. 다만, 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제3 게이트 절연막(143)이 산화물 반도체층 및 제1 층간 절연막(161) 위의 전면에 위치하지 않을 수도 있다. 예를 들면, 제3 게이트 절연막(143)이 제3 트랜지스터(T3)의 채널(3137)과 중첩하고, 제1 영역(3136) 및 제2 영역(3138)과는 중첩하지 않을 수도 있다. 또한, 제3 게이트 절연막(143)이 제4 트랜지스터(T4)의 채널(4137)과 중첩하고, 제1 영역(4136) 및 제2 영역(4138)과는 중첩하지 않을 수도 있다.The
제3 게이트 절연막(143) 위에는 제3 트랜지스터(T3)의 상부 게이트 전극(3151) 및 제4 트랜지스터(T4)의 상부 게이트 전극(4151)을 포함하는 제3 게이트 도전체가 위치할 수 있다. 도 11은 다결정 반도체층, 제1 게이트 도전체, 제2 게이트 도전체, 산화물 반도체층 및 제3 게이트 도전체를 함께 도시하고 있다.A third gate conductor including an
제3 트랜지스터(T3)의 상부 게이트 전극(3151)은 제3 트랜지스터(T3)의 채널(3137)과 중첩할 수 있다. 제3 트랜지스터(T3)의 상부 게이트 전극(3151)은 제3 트랜지스터(T3)의 하부 게이트 전극(3155)과 중첩할 수 있다.The
제4 트랜지스터(T4)의 상부 게이트 전극(4151)은 제4 트랜지스터(T4)의 채널(4137)과 중첩할 수 있다. 제4 트랜지스터(T4)의 상부 게이트 전극(4151)은 제4 트랜지스터(T4)의 하부 게이트 전극(4155)과 중첩할 수 있다.The
제3 게이트 도전체는 상부 제2 스캔선(152b) 및 상부 초기화 제어선(153b)을 더 포함할 수 있다.The third gate conductor may further include an upper
상부 제2 스캔선(152b) 및 상부 초기화 제어선(153b)은 대략 가로 방향으로 연장될 수 있다. 상부 제2 스캔선(152b)은 하부 제2 스캔선(152a)과 함께 제2 스캔선(152)을 이룬다. 상부 제2 스캔선(152b)은 제3 트랜지스터(T3)의 상부 게이트 전극(3151)과 일체로 이루어질 수 있다. 상부 초기화 제어선(153b)은 하부 초기화 제어선(153a)과 함께 초기화 제어선(153)을 이룬다. 상부 초기화 제어선(153b)은 제4 트랜지스터(T4)의 상부 게이트 전극(4151)과 일체로 이루어질 수 있다.The upper
제3 트랜지스터(T3)의 상부 게이트 전극(3151) 및 제4 트랜지스터(T4)의 상부 게이트 전극(4151)을 포함하는 제3 게이트 도전체를 형성한 후 도핑 공정을 수행할 수 있다. 제3 게이트 도전체에 의해 가려진 산화물 반도체층의 부분은 도핑되지 않고, 제3 게이트 도전체에 의해 덮여 있지 않은 산화물 반도체층의 부분은 도핑되어 도전체와 동일한 특성을 가질 수 있다. 제3 트랜지스터(T3)의 채널(3137)은 상부 게이트 전극(3151)과 중첩하도록 상부 게이트 전극(3151) 아래에 위치할 수 있다. 제3 트랜지스터(T3)의 제1 영역(3136) 및 제2 영역(3138)은 상부 게이트 전극(3151)과 중첩하지 않을 수 있다. 제4 트랜지스터(T4)의 채널(4137)은 상부 게이트 전극(4151)과 중첩하도록 상부 게이트 전극(4151) 아래에 위치할 수 있다. 제4 트랜지스터(T4)의 제1 영역(4136) 및 제2 영역(4138)은 상부 게이트 전극(4151)과 중첩하지 않을 수 있다. 상부 부스트 전극(3138t)은 제3 게이트 도전체와 중첩하지 않을 수 있다. 산화물 반도체층의 도핑 공정은 n형 도펀트로 진행할 수 있으며, 산화물 반도체층을 포함하는 제3 트랜지스터(T3) 및 제4 트랜지스터(T4)는 n형 트랜지스터 특성을 가질 수 있다.A doping process may be performed after the third gate conductor including the
제3 트랜지스터(T3)의 상부 게이트 전극(3151) 및 제4 트랜지스터(T4)의 상부 게이트 전극(4151)을 포함하는 제3 게이트 도전체 위에는 제2 층간 절연막(162)이 위치할 수 있다. 제2 층간 절연막(162)은 단층 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 제2 층간 절연막(162)은 질화규소(SiNx), 산화규소(SiOx), 질산화규소(SiOxNy) 등의 무기 절연 물질을 포함할 수 있다. 제2 층간 절연막(162)은 제1 개구부(1165), 제2 개구부(1166), 제3 개구부(3165) 및 제4 개구부(3166)를 포함할 수 있다.A second
제1 개구부(1165)는 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)의 적어도 일부와 중첩할 수 있다. 제1 개구부(1165)는 제3 게이트 절연막(143), 제1 층간 절연막(161) 및 제2 게이트 절연막(142)에 더 형성될 수 있다. 제1 개구부(1165)는 제1 유지 전극(1153)의 개구부(1152)와 중첩할 수 있다. 제1 개구부(1165)는 제1 유지 전극(1153)의 개구부(1152)의 내측에 위치할 수 있다. 제2 개구부(1166)는 부스트 커패시터(Cbt)와 적어도 일부 중첩할 수 있다. 제2 개구부(1166)는 제3 게이트 절연막(143)에 더 형성될 수 있다.The
제3 개구부(3165)는 구동 트랜지스터(T1)의 제2 영역(1133)의 적어도 일부와 중첩할 수 있다. 제3 개구부(3165)는 제3 게이트 절연막(143), 제1 층간 절연막(161), 제2 게이트 절연막(142) 및 제1 게이트 절연막(141)에 더 형성될 수 있다. 제4 개구부(3166)는 제3 트랜지스터(T3)의 제1 영역(3136)의 적어도 일부와 중첩할 수 있다. 제4 개구부(3166)는 제3 게이트 절연막(143)에 더 형성될 수 있다.The
제2 층간 절연막(162) 위에는 제1 연결 전극(1175) 및 제2 연결 전극(3175)을 포함하는 제1 데이터 도전체가 위치할 수 있다. 도 12는 다결정 반도체층, 제1 게이트 도전체, 제2 게이트 도전체, 산화물 반도체층, 제3 게이트 도전체 및 제1 데이터 도전체를 함께 도시하고 있다.A first data conductor including a
제1 연결 전극(1175)은 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)과 중첩할 수 있다. 제1 연결 전극(1175)은 제1 개구부(1165) 및 제1 유지 전극(1153)의 개구부(1152)를 통해 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)과 연결될 수 있다. 제1 연결 전극(1175)은 부스트 커패시터(Cbt)와 중첩할 수 있다. 제1 연결 전극(1175)은 제2 개구부(1166)를 통해 부스트 커패시터(Cbt)의 상부 부스트 전극(3138t)과 연결될 수 있다. 따라서, 제1 연결 전극(1175)에 의해 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)과 부스트 커패시터(Cbt)의 상부 부스트 전극(3138t)이 연결될 수 있다. 이때, 제1 연결 전극(1175)에 의해 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 전극(1151)은 제3 트랜지스터(T3)의 제2 영역(3138) 및 제4 트랜지스터(T4)의 제2 영역(4138)과도 연결될 수 있다.The
제2 연결 전극(3175)은 구동 트랜지스터(T1)의 제2 영역(1133)과 중첩할 수 있다. 제2 연결 전극(3175)은 제3 개구부(3165)를 통해 구동 트랜지스터(T1)의 제2 영역(1133)과 연결될 수 있다. 제2 연결 전극(3175)은 제3 트랜지스터(T3)의 제1 영역(3136)과 중첩할 수 있다. 제2 연결 전극(3175)은 제4 개구부(3166)를 통해 제3 트랜지스터(T3)의 제1 영역(3136)과 연결될 수 있다. 따라서, 제2 연결 전극(3175)에 의해 구동 트랜지스터(T1)의 제2 영역(1133)과 제3 트랜지스터(T3)의 제1 영역(3136)이 연결될 수 있다.The
제1 데이터 도전체는 제2 초기화 전압선(128)을 더 포함할 수 있다. 제2 초기화 전압선(128)은 대략 가로 방향으로 연장될 수 있다.The first data conductor may further include a second
제1 연결 전극(1175) 및 제2 연결 전극(3175)을 포함하는 제1 데이터 도전체 위에는 제3 층간 절연막(163)이 위치할 수 있다.A third
제3 층간 절연막(163) 위에는 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)을 포함하는 제2 데이터 도전체가 위치할 수 있다. 도 13은 다결정 반도체층, 제1 게이트 도전체, 제2 게이트 도전체, 산화물 반도체층, 제3 게이트 도전체, 제1 데이터 도전체 및 제2 데이터 도전체를 함께 도시하고 있다. A second data conductor including a
데이터선(171) 및 구동 전압선(172)은 대략 세로 방향으로 연장될 수 있다. 데이터선(171)은 제2 트랜지스터(T2)와 연결될 수 있다. 구동 전압선(172)은 제5 트랜지스터(T5)와 연결될 수 있다. 또한, 구동 전압선(172)은 제1 유지 전극(1153)과 연결될 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 제3 층간 절연막(163)은 제1 그루브(163g1) 및 제2 그루브(163g2)를 포함할 수 있다. 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1) 내에 위치할 수 있고, 데이터선(171)은 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2) 내에 위치할 수 있다.The
데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에는 보호막(180)이 위치할 수 있다. 도 5 및 도 6에서는 도시를 생략하였으나, 보호막(180) 위에는 화소 전극이 위치할 수 있다. 화소 전극 위에는 화소 정의막이 위치할 수 있고, 화소 정의막의 화소 개구부 내에는 발광 소자층이 위치할 수 있으며, 화소 정의막과 발광 소자층 위에는 공통 전극이 위치할 수 있다.A
다음으로, 도 14을 참조하여 일 실시예에 의한 표시 장치에 대해 설명하면 다음과 같다.Next, a display device according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIG. 14 .
도 14에 도시된 실시예에 의한 표시 장치는 도 1 내지 도 6에 도시된 실시예에 의한 표시 장치와 동일한 부분이 상당하므로, 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다. 본 실시예에서는 하나의 제2 그루브 내에 하나의 데이터선이 위치한다는 점에서 앞선 실시예와 상이하며, 이하에서 더욱 설명한다.The display device according to the embodiment shown in FIG. 14 has substantially the same parts as the display device according to the embodiment shown in FIGS. 1 to 6 , and thus descriptions of the same parts will be omitted. This embodiment is different from the previous embodiment in that one data line is positioned in one second groove, and will be described further below.
도 14은 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.14 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
도 14에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 표시 장치는 기판(110), 기판(110) 위에 위치하는 화소 전극(191), 기판(110)과 화소 전극(191) 사이에 위치하는 제3 층간 절연막(163), 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 보호막(180)을 포함할 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163) 위에 위치할 수 있고, 보호막(180)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치할 수 있다.As shown in FIG. 14 , the display device according to an exemplary embodiment includes a
제3 층간 절연막(163)은 제1 그루브(163g1) 및 제2 그루브(163g2)를 포함할 수 있다. 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1) 내에 위치할 수 있다. 데이터선(171)은 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2) 내에 위치할 수 있다.The third
앞선 실시예에서 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2) 내에는 2개의 데이터선(171)이 위치할 수 있고, 본 실시예에서 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2) 내에는 1개의 데이터선(171)이 위치할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2) 내에 위치하는 데이터선(171)의 개수는 다양하게 변경될 수 있다. 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2)의 폭(Wg2)은 데이터선(171)의 폭(Wd)보다 클 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2)의 폭(Wg2)은 데이터선(171)의 폭(Wd)과 실질적으로 동일할 수도 있다.In the previous embodiment, two
다음으로, 도 15을 참조하여 일 실시예에 의한 표시 장치에 대해 설명하면 다음과 같다.Next, a display device according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIG. 15 .
도 15에 도시된 실시예에 의한 표시 장치는 도 1 내지 도 6에 도시된 실시예에 의한 표시 장치와 동일한 부분이 상당하므로, 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다. 본 실시예에서는 구동 전압선과 데이터선이 제3 층간 절연막의 그루브 내를 채우도록 형성된다는 점에서 앞선 실시예와 상이하며, 이하에서 더욱 설명한다.The display device according to the embodiment shown in FIG. 15 has substantially the same parts as the display device according to the embodiment shown in FIGS. 1 to 6 , and thus descriptions of the same parts will be omitted. This embodiment is different from the previous embodiment in that the driving voltage line and the data line are formed to fill the groove of the third interlayer insulating layer, and will be described further below.
도 15은 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.15 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
도 15에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 표시 장치는 기판(110), 기판(110) 위에 위치하는 화소 전극(191), 기판(110)과 화소 전극(191) 사이에 위치하는 제3 층간 절연막(163), 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 보호막(180)을 포함할 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163) 위에 위치할 수 있고, 보호막(180)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치할 수 있다.15 , the display device according to an exemplary embodiment includes a
제3 층간 절연막(163)은 제1 그루브(163g1) 및 제2 그루브(163g2)를 포함할 수 있다. 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1) 내에 위치할 수 있다. 데이터선(171)은 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2) 내에 위치할 수 있다.The third
앞선 실시예에서 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1)의 폭(Wg1)은 구동 전압선(172)의 폭(We)보다 클 수 있고, 본 실시예에서 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1)의 폭(Wg1)은 구동 전압선(172)의 폭(We)과 실질적으로 동일할 수 있다. 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1)를 채우도록 형성될 수 있다.In the previous embodiment, the width Wg1 of the first groove 163g1 of the third
앞선 실시예에서 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2)의 폭(Wg2)은 데이터선(171)의 폭(Wd)보다 클 수 있고, 본 실시예에서 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2)의 폭(Wg2)은 데이터선(171)의 폭(Wd)과 실질적으로 동일할 수 있다. 데이터선(171)은 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2)를 채우도록 형성될 수 있다.In the previous embodiment, the width Wg2 of the second groove 163g2 of the third
구동 전압선(172) 및 데이터선(171)을 포함하는 제2 데이터 도전체는 포토 및 식각 공정으로 형성할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니고, 구동 전압선(172) 및 데이터선(171)을 포함하는 제2 데이터 도전체는 화학적 기계적 연마(CMP, Chemical Mechanical Polishing) 공정으로 형성할 수도 있다. 화학적 기계적 연마 공정을 이용하면, 제3 층간 절연막(163)의 그루브 내를 채우도록 구동 전압선(172) 및 데이터선(171)을 용이하게 형성할 수 있다.The second data conductor including the driving
다음으로, 도 16를 참조하여 일 실시예에 의한 표시 장치에 대해 설명하면 다음과 같다.Next, a display device according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIG. 16 .
도 16에 도시된 실시예에 의한 표시 장치는 도 1 내지 도 6에 도시된 실시예에 의한 표시 장치와 동일한 부분이 상당하므로, 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다. 본 실시예에서는 제3 층간 절연막이 이중층으로 이루어진다는 점에서 앞선 실시예와 상이하며, 이하에서 더욱 설명한다.The display device according to the embodiment shown in FIG. 16 has substantially the same parts as the display device according to the embodiment shown in FIGS. 1 to 6 , and thus a description of the same parts will be omitted. This embodiment is different from the previous embodiment in that the third interlayer insulating film has a double layer, which will be further described below.
도 16는 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.16 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
도 16에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 표시 장치는 기판(110), 기판(110) 위에 위치하는 화소 전극(191), 기판(110)과 화소 전극(191) 사이에 위치하는 제3 층간 절연막(163), 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 보호막(180)을 포함할 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163) 위에 위치할 수 있고, 보호막(180)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치할 수 있다.As shown in FIG. 16 , the display device according to an exemplary embodiment includes a
제3 층간 절연막(163)은 제1 그루브(163g1) 및 제2 그루브(163g2)를 포함할 수 있다. 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1) 내에 위치할 수 있다. 데이터선(171)은 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2) 내에 위치할 수 있다.The third
앞선 실시예에서 제3 층간 절연막(163)은 단일층으로 이루어질 수 있고, 본 실시예에서 제3 층간 절연막(163)은 이중층으로 이루어질 수 있다. 제3 층간 절연막(163)은 제3 하부 층간 절연막(163p) 및 제3 상부 층간 절연막(163q)을 포함할 수 있다. 제3 상부 층간 절연막(163q)은 제3 하부 층간 절연막(163p) 위에 위치할 수 있다. 제3 하부 층간 절연막(163p)과 제3 상부 층간 절연막(163q)은 동일한 물질을 포함할 수도 있고, 서로 다른 물질을 포함할 수도 있다. 제1 그루브(163g1) 및 제2 그루브(163g2)의 바닥면은 제3 하부 층간 절연막(163p)의 상부면과 접할 수 있다. 제1 그루브(163g1) 및 제2 그루브(163g2)의 측면은 제3 상부 층간 절연막(163q)의 측면과 접할 수 있다.In the previous embodiment, the third
앞선 실시예에서와 같이 제3 층간 절연막(163)이 단일층으로 이루어지는 경우 제3 층간 절연막(163)에 그루브(163g1, 163g2)를 형성하기 위해 하프톤 노광 공정을 이용할 수 있다. 이때, 제3 층간 절연막(163) 내의 원소 성분비는 위치에 따라 상이할 수 있다. 그루브(163g1, 163g2) 아래에 위치하는 제3 층간 절연막(163)의 제1 부분(163a) 및 제2 부분(163b) 내의 황(S) 원소의 함량은 제3 층간 절연막(163)의 제3 부분(163c) 내의 황(S) 원소의 함량보다 적을 수 있다. 제3 층간 절연막(163)의 제1 부분(163a) 및 제2 부분(163b)은 하프톤 노광이 이루어지는 부분으로서, 황(S) 원소가 일부 분해되기 때문이다.As in the previous embodiment, when the third
본 실시예에서와 같이 제3 층간 절연막(163)이 제3 하부 층간 절연막(163p)과 제3 상부 층간 절연막(163q)을 포함하는 경우 제3 하부 층간 절연막(163p)과 제3 상부 층간 절연막(163q)을 각각 별도의 공정으로 형성할 수 있다. 이때, 제3 층간 절연막(163) 내의 원소 성분비는 위치에 관계 없이 일정할 수 있다. 제3 하부 층간 절연막(163p)을 먼저 평탄하게 형성한 후, 제3 하부 층간 절연막(163p) 위에 제3 상부 층간 절연막(163q)을 형성하고 패터닝하여 그루브(163g1, 163g2)를 형성할 수 있다. 즉, 제3 상부 층간 절연막(163q)이 제거된 부분이 그루브(163g1, 163g2)가 될 수 있다.As in the present embodiment, when the third
이하에서 도 17 및 도 18을 참조하여 제3 층간 절연막(163)이 이중층으로 이루어지는 경우와 단일층으로 이루어지는 경우의 구조적 차이점에 대해 설명한다.Hereinafter, a structural difference between the case in which the third
도 17은 도 16의 실시예에 의한 표시 장치의 제3 층간 절연막을 나타낸 도면이고, 도 18은 도 3의 실시예에 의한 표시 장치의 제3 층간 절연막을 나타낸 도면이다.17 is a diagram illustrating a third interlayer insulating layer of the display device according to the embodiment of FIG. 16 , and FIG. 18 is a diagram illustrating a third interlayer insulating layer of the display device according to the embodiment of FIG. 3 .
도 17에 도시된 바와 같이, 제3 층간 절연막(163)이 이중층으로 이루어지는 경우 제3 하부 층간 절연막(163p) 및 제3 상부 층간 절연막(163q)을 별도의 공정으로 형성할 수 있다. 이때, 그루브가 형성되어 있는 부분의 경사면은 약 40도 내지 50도의 테이퍼 각을 가질 수 있다.17 , when the third
도 18에 도시된 바와 같이, 제3 층간 절연막(163)이 단일층으로 이루어지는 경우 제3 층간 절연막(163)은 하프톤 공정을 통해 형성할 수 있다. 이때, 그루브가 형성되어 있는 부분의 경사면은 약 25도 내지 30도의 테이퍼 각을 가질 수 있다. 하프톤 공정 진행시 하프톤 영역에서 회절된 빛에 의해 풀톤 영역의 일부가 노광되기 때문에 상대적으로 경사면의 테이퍼 각이 낮아질 수 있다.18 , when the third
다음으로, 도 19 및 도 20을 참조하여 일 실시예에 의한 표시 장치에 대해 설명하면 다음과 같다.Next, a display device according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIGS. 19 and 20 .
도 19 및 도 20에 도시된 실시예에 의한 표시 장치는 도 1 내지 도 6에 도시된 실시예에 의한 표시 장치와 동일한 부분이 상당하므로, 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다. 본 실시예에서는 인접한 구동 전압선이 서로 이격되어 있다는 점에서 앞선 실시예와 상이하며, 이하에서 더욱 설명한다.The display device according to the exemplary embodiment illustrated in FIGS. 19 and 20 has substantially the same parts as the display device according to the exemplary embodiment illustrated in FIGS. 1 to 6 , and thus descriptions of the same portions will be omitted. The present embodiment is different from the previous embodiment in that adjacent driving voltage lines are spaced apart from each other, which will be further described below.
도 19는 일 실시예에 의한 표시 장치의 평면도이고, 도 20은 도 19의 XX-XX선을 따라 나타낸 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.19 is a plan view of a display device according to an exemplary embodiment, and FIG. 20 is a cross-sectional view of the display device according to an exemplary embodiment taken along line XX-XX of FIG. 19 .
도 19 및 도 20에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 표시 장치는 기판(110), 기판(110) 위에 위치하는 화소 전극(191), 기판(110)과 화소 전극(191) 사이에 위치하는 제3 층간 절연막(163), 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 보호막(180)을 포함할 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163) 위에 위치할 수 있고, 보호막(180)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치할 수 있다.19 and 20 , the display device according to an exemplary embodiment includes a
제3 층간 절연막(163)은 제1 그루브(163g1) 및 제2 그루브(163g2)를 포함할 수 있다. 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1) 내에 위치할 수 있다. 데이터선(171)은 제3 층간 절연막(163)의 제2 그루브(163g2) 내에 위치할 수 있다.The third
앞선 실시예에서는 인접한 2개의 구동 전압선(172)이 서로 연결되어 일체로 이루어질 수 있고, 본 실시예에서는 인접한 2개의 구동 전압선(172)이 서로 분리될 수 있다. 인접한 2개의 구동 전압선(172) 사이에는 개구 패턴(72a)이 위치할 수 있으며, 개구 패턴(72a)에 의해 양측의 구동 전압선(172)이 서로 이격되도록 배치될 수 있다.In the previous embodiment, two adjacent
구동 전압선(172)은 확장부(72)를 포함할 수 있고, 인접한 2개의 구동 전압선(172)의 확장부(72)는 개구 패턴(72a)에 의해 서로 분리될 수 있다. 구동 전압선(172)이 확장부(72)를 포함함으로써, 구동 전압의 신호 지연을 방지할 수 있다. 확장부(72)는 상대적으로 넓은 면적을 가질 수 있으며, 이로 인해 구동 전압선(172)의 아래에 위치하고 유기 물질을 포함하는 절연층들을 형성하기 위한 베이킹 공정에서 발생된 내부 기체가 외부로 배출되지 못할 수 있고, 이로 인해 발광 소자층이 열화되거나, 유기 소자의 전극층이 변색되어 발광 소자층의 발광 특성이 저하될 수 있다. 일 실시예에 의한 표시 장치에서는 인접한 구동 전압선(172)의 확장부(72)가 개구 패턴(72a)에 의해 서로 분리되어 있으므로, 인접한 구동 전압선(172)의 확장부(72)가 연결되는 경우에 비해 절연층 형성시 발생될 수 있는 내부 기체가 외부로 배출될 수 있는 통로가 될 수 있다.The driving
인접한 구동 전압선(172)의 확장부(72)가 개구 패턴(72a)에 의해 서로 분리되는 경우 단차가 발생할 수 있다. 일 실시예에 의한 표시 장치에서는 구동 전압선(172)이 제3 층간 절연막(163)의 제1 그루브(163g1) 내에 위치함으로써, 이러한 단차가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제3 층간 절연막(163) 및 구동 전압선(172) 위에 위치하는 보호막(180)을 얇게 형성하면서도 평탄하게 형성할 수 있다.When the
도 20에서 하나의 제1 그루브(163g1) 내에 인접한 2개의 구동 전압선(172)이 위치하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 하나의 제1 그루브(163g1) 내에 1개의 구동 전압선(172)이 위치할 수도 있다. 이때, 개구 패턴(72a)과 중첩하는 제3 층간 절연막(163)의 부분의 상부면과 구동 전압선(172)의 상부면이 일치할 수 있다. 즉, 개구 패턴(72a)과 중첩하는 제3 층간 절연막(163)의 부분의 상부면과 구동 전압선(172)의 상부면이 평평하게 이루어질 수 있다. 따라서, 제3 층간 절연막(163) 및 구동 전압선(172) 위에 위치하는 보호막(180)의 상부면을 더욱 평탄하게 할 수 있다.In FIG. 20 , two driving
다음으로, 도 21를 참조하여 일 실시예에 의한 표시 장치에 대해 설명하면 다음과 같다.Next, a display device according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIG. 21 .
도 21에 도시된 실시예에 의한 표시 장치는 도 1 내지 도 6에 도시된 실시예에 의한 표시 장치와 동일한 부분이 상당하므로, 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다. 본 실시예에서는 보호막이 제1 보호막과 제2 보호막을 포함한다는 점에서 앞선 실시예와 상이하며, 이하에서 더욱 설명한다.The display device according to the embodiment shown in FIG. 21 has substantially the same parts as the display device according to the embodiment shown in FIGS. 1 to 6 , and thus descriptions of the same parts will be omitted. This embodiment is different from the previous embodiment in that the passivation layer includes a first passivation layer and a second passivation layer, which will be further described below.
도 21는 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.21 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
도 21에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 표시 장치는 기판(110), 기판(110) 위에 위치하는 화소 전극(191), 기판(110)과 화소 전극(191) 사이에 위치하는 제3 층간 절연막(163), 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 보호막(180)을 포함할 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163) 위에 위치할 수 있고, 보호막(180)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치할 수 있다.As shown in FIG. 21 , the display device according to an exemplary embodiment includes a
앞선 실시예에서 보호막(180)은 단일층으로 이루어질 수 있고, 본 실시예에서 보호막(180)은 제1 보호막(180p) 및 제2 보호막(180q)을 포함할 수 있다.In the previous embodiment, the
제1 보호막(180p)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치할 수 있다. 제1 보호막(180p)은 기판(110) 위에 전체적으로 형성될 수 있다. 제2 보호막(180q)은 제1 보호막(180p) 위에 위치할 수 있다. 제2 보호막(180q)은 일부 영역에만 형성될 수 있다. 제2 보호막(180q)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 중첩할 수 있다. 제2 보호막(180q)은 화소 전극(191)과 중첩할 수 있다. 제2 보호막(180q)은 화소 정의막(360)의 가장자리와 중첩할 수 있다. 제2 보호막(180q)은 화소 정의막(360)의 중심부와는 중첩하지 않을 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 중첩하지 않는 제2 보호막(180q)의 부분이 제거되도록 패터닝할 수 있다.The
제1 보호막(180p) 및 제2 보호막(180q)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 제1 보호막(180p)과 제2 보호막(180q)은 동일한 물질을 포함할 수도 있고, 서로 다른 물질을 포함할 수도 있다.The
앞선 실시예에서는 제3 층간 절연막(163)이 그루브를 포함하고, 그루브 내에 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)이 위치할 수 있고, 본 실시예에서는 제3 층간 절연막(163)이 그루브를 포함하지 않을 수 있다. 제3 층간 절연막(163)은 평탄하게 이루어지고, 제3 층간 절연막(163) 위에 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)이 위치함으로써, 단차가 발생할 수 있다. 따라서, 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치하는 제1 보호막(180p)의 상부면은 평탄하지 않을 수 있다. 일 실시예에 의한 표시 장치에서는 제1 보호막(180p) 위에 제2 보호막(180q)이 위치하며, 제2 보호막(180q)의 상부면은 평탄하게 이루어질 수 있다. 따라서, 보호막(180) 위에 위치하는 화소 전극(191)은 평탄한 상부면을 가질 수 있고, 외광의 반사율을 낮출 수 있으며, 색번짐을 방지할 수 있다.In the previous embodiment, the third
또한, 제1 보호막(180p)은 얇은 두께로 형성하고, 제2 보호막(180q)은 일부 영역에만 위치하도록 패터닝함으로써, 절연층의 형성 공정에서 발생할 수 있는 내부 기체의 배출이 원활하게 이루어질 수 있다.In addition, the
상기에서 제3 층간 절연막(163)은 그루브를 포함하지 않는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 제3 층간 절연막(163)이 그루브를 포함하고, 그루브 내에 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)이 위치할 수도 있다. 이로 인해 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치하는 보호막(180)이 평평하게 이루어질 수 있다. 이때, 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 전체적으로 제1 보호막(180p)을 형성하고, 제1 보호막(180p) 위에 제2 보호막(180q)을 추가적으로 형성함으로써, 보호막(180)의 상부면의 평탄도를 더욱 향상시킬 수 있다.Although it has been described above that the third
도 21에서 인접한 구동 전압선(172)이 서로 분리되어 있는 구조를 도시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 앞선 실시예와 마찬가지로 인접한 구동 전압선(172)이 서로 연결되어 일체로 이루어질 수도 있다.21 illustrates a structure in which adjacent
이하에서 도 22를 참조하여 일 실시예에 의한 표시 장치의 보호막의 단면 형상에 대해 더욱 설명한다.Hereinafter, a cross-sectional shape of the passivation layer of the display device according to an exemplary embodiment will be further described with reference to FIG. 22 .
도 22는 일 실시예에 의한 표시 장치의 일부를 나타낸 도면이다. 도 22는 도 21의 실시예에 의한 표시 장치의 보호막 및 그 주변을 나타낸 도면이다.22 is a diagram illustrating a part of a display device according to an exemplary embodiment. FIG. 22 is a view illustrating a protective film and its periphery of the display device according to the embodiment of FIG. 21 .
도 22에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 표시 장치의 보호막(180)은 제1 보호막(180p) 및 제2 보호막(180q)을 포함할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 일 실시예에 의한 표시 장치에서는 보호막(180)의 두께를 얇게 형성하면서도 평탄하게 형성할 수 있다. 제2 보호막(180q)은 일부 영역에만 위치하도록 패터닝되며, 이때, 제2 보호막(180q)의 경사면은 완만하게 이루어질 수 있다.22 , the
다음으로, 도 23을 참조하여 일 실시예에 의한 표시 장치에 대해 설명하면 다음과 같다.Next, a display device according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIG. 23 .
도 23에 도시된 실시예에 의한 표시 장치는 도 1 내지 도 6에 도시된 실시예에 의한 표시 장치와 동일한 부분이 상당하므로, 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다. 본 실시예에서는 보호막이 제1 보호막, 제2 보호막 및 제3 보호막을 포함한다는 점에서 앞선 실시예와 상이하며, 이하에서 더욱 설명한다.Since the display device according to the embodiment shown in FIG. 23 has substantially the same parts as the display device according to the embodiment shown in FIGS. 1 to 6 , descriptions of the same parts will be omitted. This embodiment is different from the previous embodiment in that the protective film includes a first protective film, a second protective film, and a third protective film, which will be further described below.
도 23은 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.23 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
도 23에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 표시 장치는 기판(110), 기판(110) 위에 위치하는 화소 전극(191), 기판(110)과 화소 전극(191) 사이에 위치하는 제3 층간 절연막(163), 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 보호막(180)을 포함할 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163) 위에 위치할 수 있고, 보호막(180)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치할 수 있다.23 , the display device according to an exemplary embodiment includes a
앞선 실시예에서 보호막(180)은 단일층으로 이루어질 수 있고, 본 실시예에서 보호막(180)은 제1 보호막(180p), 제2 보호막(180q) 및 제3 보호막(180r)을 포함할 수 있다.In the previous embodiment, the
제1 보호막(180p)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치할 수 있다. 제1 보호막(180p)은 기판(110) 위에 전체적으로 형성될 수 있다. 제1 보호막(180p)은 실리콘산화물(SiOx), 실리콘질화물(SiNx), 그리고 실리콘질산화물(SiOxNy)과 같은 무기 절연 물질을 포함할 수 있다. 제2 보호막(180q)은 제1 보호막(180p) 위에 위치할 수 있다. 제2 보호막(180q)은 기판(110) 위에 전체적으로 형성될 수 있다. 제2 보호막(180q)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 제3 보호막(180r)은 제2 보호막(180q) 위에 위치할 수 있다. 제3 보호막(180r)은 일부 영역에 형성될 수 있다. 제3 보호막(180r)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 중첩할 수 있다. 제3 보호막(180r)은 화소 정의막(360)의 가장자리와 중첩할 수 있다. 제3 보호막(180r)은 화소 정의막(360)의 중심부와는 중첩하지 않을 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 중첩하지 않는 제3 보호막(180r)의 부분이 제거되도록 패터닝할 수 있다. 제3 보호막(180r)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.The
앞선 실시예에서는 제3 층간 절연막(163)이 그루브를 포함하고, 그루브 내에 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)이 위치할 수 있고, 본 실시예에서는 제3 층간 절연막(163)이 그루브를 포함하지 않을 수 있다. 제3 층간 절연막(163)은 평탄하게 이루어지고, 제3 층간 절연막(163) 위에 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)이 위치함으로써, 단차가 발생할 수 있다. 따라서, 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치하는 제1 보호막(180p)의 상부면은 평탄하지 않을 수 있다. 일 실시예에 의한 표시 장치에서는 제1 보호막(180p) 위에 제2 보호막(180q)이 위치하고, 제2 보호막(180q) 위에 제3 보호막(180r)이 위치하며, 제3 보호막(180r)의 상부면은 평탄하게 이루어질 수 있다. 따라서, 보호막(180) 위에 위치하는 화소 전극(191)은 평탄한 상부면을 가질 수 있고, 외광의 반사율을 낮출 수 있으며, 색번짐을 방지할 수 있다.In the previous embodiment, the third
또한, 제1 보호막(180p) 및 제2 보호막(180q)은 얇은 두께로 형성하고, 제3 보호막(180r)은 일부 영역에만 위치하도록 패터닝함으로써, 절연층의 형성 공정에서 발생할 수 있는 내부 기체의 배출이 원활하게 이루어질 수 있다.In addition, the
상기에서 제3 층간 절연막(163)은 그루브를 포함하지 않는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 제3 층간 절연막(163)이 그루브를 포함하고, 그루브 내에 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)이 위치할 수도 있다. 이로 인해 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치하는 보호막(180)이 평평하게 이루어질 수 있다. 이때, 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 전체적으로 제1 보호막(180p) 및 제2 보호막(180q)을 형성하고, 제2 보호막(180q) 위에 제3 보호막(180r)을 추가적으로 형성함으로써, 보호막(180)의 상부면의 평탄도를 더욱 향상시킬 수 있다.Although it has been described above that the third
도 23에서 인접한 구동 전압선(172)이 서로 분리되어 있는 구조를 도시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 앞선 실시예와 마찬가지로 인접한 구동 전압선(172)이 서로 연결되어 일체로 이루어질 수도 있다.23 illustrates a structure in which adjacent
다음으로, 도 24을 참조하여 일 실시예에 의한 표시 장치에 대해 설명하면 다음과 같다.Next, a display device according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIG. 24 .
도 24에 도시된 실시예에 의한 표시 장치는 도 23에 도시된 실시예에 의한 표시 장치와 동일한 부분이 상당하므로, 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다. 본 실시예에서는 제2 보호막이 일부 영역에만 위치한다는 점에서 앞선 실시예와 상이하며, 이하에서 더욱 설명한다.Since the display device according to the embodiment shown in FIG. 24 has substantially the same parts as the display device according to the embodiment shown in FIG. 23 , descriptions of the same parts will be omitted. This embodiment is different from the previous embodiment in that the second passivation layer is located only in a partial region, which will be further described below.
도 24은 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.24 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
도 24에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 표시 장치는 기판(110), 기판(110) 위에 위치하는 화소 전극(191), 기판(110)과 화소 전극(191) 사이에 위치하는 제3 층간 절연막(163), 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 보호막(180)을 포함할 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163) 위에 위치할 수 있고, 보호막(180)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치할 수 있다. 보호막(180)은 제1 보호막(180p), 제2 보호막(180q) 및 제3 보호막(180r)을 포함할 수 있다.24 , a display device according to an exemplary embodiment includes a
앞선 실시예에서 제2 보호막(180q)은 기판(110) 위에 전체적으로 형성될 수 있고, 본 실시예에서 제2 보호막(180q)은 일부 영역에 형성될 수 있다. 제2 보호막(180q)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 중첩할 수 있다. 제2 보호막(180q)은 화소 전극(191)과 중첩할 수 있다. 제2 보호막(180q)은 화소 정의막(360)의 가장자리와 중첩할 수 있다. 제2 보호막(180q)은 화소 정의막(360)의 중심부와는 중첩하지 않을 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 중첩하지 않는 제2 보호막(180q)의 부분이 제거되도록 패터닝할 수 있다. 이때, 제2 보호막(180q)과 제3 보호막(180r)은 동일한 마스크를 이용하여 패터닝할 수 있고, 동일한 공정에서 동시에 패터닝할 수 있으며, 실질적으로 동일한 평면 형상을 가질 수 있다.In the previous embodiment, the
다음으로, 도 25을 참조하여 일 실시예에 의한 표시 장치에 대해 설명하면 다음과 같다.Next, a display device according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIG. 25 .
도 25에 도시된 실시예에 의한 표시 장치는 도 1 내지 도 6에 도시된 실시예에 의한 표시 장치와 동일한 부분이 상당하므로, 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다. 본 실시예에서는 보호막의 두께가 위치에 따라 상이하다는 점에서 앞선 실시예와 상이하며, 이하에서 더욱 설명한다.The display device according to the embodiment shown in FIG. 25 has substantially the same parts as the display device according to the embodiment shown in FIGS. 1 to 6 , and thus descriptions of the same parts will be omitted. This embodiment is different from the previous embodiment in that the thickness of the passivation layer is different depending on the position, which will be further described below.
도 25은 일 실시예에 의한 표시 장치의 단면도이다.25 is a cross-sectional view of a display device according to an exemplary embodiment.
도 25에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 표시 장치는 기판(110), 기판(110) 위에 위치하는 화소 전극(191), 기판(110)과 화소 전극(191) 사이에 위치하는 제3 층간 절연막(163), 데이터선(171), 구동 전압선(172) 및 보호막(180)을 포함할 수 있다. 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)은 제3 층간 절연막(163) 위에 위치할 수 있고, 보호막(180)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치할 수 있다.25 , the display device according to an exemplary embodiment includes a
앞선 실시예에서 보호막(180)은 거의 일정한 두께를 가질 수 있고, 본 실시예에서 보호막(180)은 위치에 따라 서로 다른 두께를 가질 수 있다.In the previous embodiment, the
보호막(180)은 제1 두께(THi)를 가지는 제1 부분(180i) 및 제2 두께(THj)를 가지는 제2 부분(180j)을 포함할 수 있다. 이때, 보호막(180)의 제1 부분(180i)의 제1 두께(THi)는 보호막(180)의 제2 부분(180j)의 제2 두께(THj)보다 두꺼울 수 있다. 보호막(180)의 제1 부분(180i)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 중첩할 수 있다. 보호막(180)의 제1 부분(180i)은 화소 정의막(360)의 가장자리와 중첩할 수 있다. 보호막(180)의 제1 부분(180i)은 화소 정의막(360)의 중심부와는 중첩하지 않을 수 있다. 보호막(180)의 제2 부분(180j)은 화소 정의막(360)의 중심부와 중첩할 수 있다. 보호막(180)의 제2 부분(180j)은 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 중첩하지 않을 수 있다. 하프톤 노광 공정을 이용하여 보호막(180)을 형성할 수 있으며, 이때 보호막(180)의 제2 부분(180j)이 제1 부분(180i)보다 얇은 두께를 가질 수 있도록 패터닝할 수 있다.The
앞선 실시예에서는 제3 층간 절연막(163)이 그루브를 포함하고, 그루브 내에 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)이 위치할 수 있고, 본 실시예에서는 제3 층간 절연막(163)이 그루브를 포함하지 않을 수 있다. 제3 층간 절연막(163)은 평탄하게 이루어지고, 제3 층간 절연막(163) 위에 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)이 위치함으로써, 단차가 발생할 수 있다. 따라서, 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치하는 보호막(180)의 상부면은 평탄하지 않을 수 있다. 일 실시예에 의한 표시 장치에서는 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 중첩하는 보호막(180)의 제1 부분(180i)이 상대적으로 두꺼운 두께를 가짐으로써, 보호막(180)의 제1 부분(180i)의 상부면이 평탄하게 이루어질 수 있다. 화소 전극(191)은 보호막(180)의 제1 부분(180i) 위에 위치함으로써 평탄한 상부면을 가질 수 있고, 외광의 반사율을 낮출 수 있으며, 색번짐을 방지할 수 있다.In the previous embodiment, the third
또한, 보호막(180)의 제2 부분(180j)은 상대적으로 얇은 두께를 가짐으로써, 절연층의 형성 공정에서 발생할 수 있는 내부 기체의 배출이 원활하게 이루어질 수 있다.In addition, since the
상기에서 제3 층간 절연막(163)은 그루브를 포함하지 않는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 제3 층간 절연막(163)이 그루브를 포함하고, 그루브 내에 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)이 위치할 수도 있다. 이로 인해 데이터선(171) 및 구동 전압선(172) 위에 위치하는 보호막(180)이 평평하게 이루어질 수 있다. 이때, 데이터선(171) 및 구동 전압선(172)과 중첩하는 보호막(180)의 제1 부분(180i)을 상대적으로 두껍게 형성함으로써, 보호막(180)의 상부면의 평탄도를 더욱 향상시킬 수 있다.Although it has been described above that the third
도 25에서 인접한 구동 전압선(172)이 서로 분리되어 있는 구조를 도시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 앞선 실시예와 마찬가지로 인접한 구동 전압선(172)이 서로 연결되어 일체로 이루어질 수도 있다.Although FIG. 25 illustrates a structure in which adjacent
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements by those skilled in the art using the basic concept of the present invention as defined in the following claims are also provided. is within the scope of the right.
110: 기판
111: 버퍼층
161: 제1 층간 절연막
162: 제2 층간 절연막
163: 제3 층간 절연막
163a: 제3 층간 절연막의 제1 부분
163b: 제3 층간 절연막의 제2 부분
163c: 제3 층간 절연막의 제3 부분
163g1: 제1 그루브
163g2: 제2 그루브
163p: 제3 하부 층간 절연막
163q: 제3 상부 층간 절연막
171: 데이터선
172: 구동 전압선
180: 보호막
180i: 보호막의 제1 부분
180j: 보호막의 제2 부분
180p: 제1 보호막
180q: 제2 보호막
180r: 제3 보호막
191: 화소 전극
270: 공통 전극
360: 화소 정의막
365: 화소 개구부
370: 발광 소자층110: substrate 111: buffer layer
161: first interlayer insulating film 162: second interlayer insulating film
163: third
163b: second portion of third
163g1: first groove 163g2: second groove
163p: third lower
171: data line 172: driving voltage line
180:
180j: the second portion of the
180q:
191: pixel electrode 270: common electrode
360: pixel defining layer 365: pixel opening
370: light emitting device layer
Claims (20)
상기 기판 위에 위치하는 트랜지스터,
상기 트랜지스터 위에 위치하는 층간 절연막,
상기 층간 절연막 위에 위치하고, 상기 트랜지스터와 연결되어 있는 구동 전압선 및 데이터선,
상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 위에 위치하는 보호막,
상기 보호막 위에 위치하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 중 적어도 일부와 중첩하는 화소 전극,
상기 화소 전극 위에 위치하고, 화소 개구부를 포함하는 화소 정의막,
상기 화소 전극 위에 위치하는 발광 소자층, 및
상기 발광 소자층 및 상기 화소 정의막 위에 위치하는 공통 전극을 포함하고,
상기 층간 절연막은 그루브를 포함하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선은 상기 그루브 내에 위치하는 표시 장치.Board,
a transistor positioned on the substrate;
an interlayer insulating film positioned over the transistor;
a driving voltage line and a data line positioned on the interlayer insulating layer and connected to the transistor;
a protective film positioned on the driving voltage line and the data line;
a pixel electrode positioned on the passivation layer and overlapping at least a portion of the driving voltage line and the data line;
a pixel defining layer disposed on the pixel electrode and including a pixel opening;
a light emitting element layer positioned on the pixel electrode; and
a common electrode positioned on the light emitting device layer and the pixel defining layer;
The interlayer insulating layer includes a groove, and the driving voltage line and the data line are positioned in the groove.
상기 층간 절연막은 제1 그루브 및 제2 그루브를 포함하고,
상기 구동 전압선은 상기 제1 그루브 내에 위치하고,
상기 데이터선은 상기 제2 그루브 내에 위치하는 표시 장치.In claim 1,
The interlayer insulating film includes a first groove and a second groove,
The driving voltage line is located in the first groove,
The data line is located in the second groove.
상기 제1 그루브의 깊이는 상기 구동 전압선의 두께와 동일하고,
상기 제2 그루브의 깊이는 상기 데이터선의 두께와 동일한 표시 장치.In claim 2,
The depth of the first groove is the same as the thickness of the driving voltage line,
A depth of the second groove is the same as a thickness of the data line.
상기 제1 그루브의 폭은 상기 구동 전압선의 폭보다 크거나 동일하고,
상기 제2 그루브의 폭은 상기 데이터선의 폭보다 크거나 동일한 표시 장치.In claim 2,
a width of the first groove is greater than or equal to a width of the driving voltage line;
A width of the second groove is greater than or equal to a width of the data line.
상기 표시 장치는 서로 이격되어 있는 복수의 데이터선을 포함하고,
상기 제2 그루브 내에는 상기 복수의 데이터선 중 적어도 2개의 데이터선이 위치하는 표시 장치.In claim 2,
The display device includes a plurality of data lines spaced apart from each other;
At least two data lines among the plurality of data lines are positioned in the second groove.
상기 제2 그루브 내에는 1개의 상기 데이터선이 위치하는 표시 장치.In claim 2,
A display device in which one data line is positioned in the second groove.
상기 층간 절연막은 하부 층간 절연막 및 상기 하부 층간 절연막 위에 위치하는 상부 층간 절연막을 포함하고,
상기 하부 층간 절연막은 상기 기판 위에 전체적으로 위치하고,
상기 상부 층간 절연막이 제거된 부분이 상기 그루브가 되는 표시 장치.In claim 1,
The interlayer insulating film includes a lower interlayer insulating film and an upper interlayer insulating film positioned on the lower interlayer insulating film,
The lower interlayer insulating film is entirely located on the substrate,
A portion from which the upper interlayer insulating layer is removed becomes the groove.
상기 그루브의 바닥면은 상기 하부 층간 절연막의 상부면과 접하고,
상기 그루브의 측면은 상기 상부 층간 절연막의 측면과 접하는 표시 장치.In claim 7,
a bottom surface of the groove is in contact with an upper surface of the lower interlayer insulating film;
A side surface of the groove is in contact with a side surface of the upper interlayer insulating layer.
상기 표시 장치는 서로 이격되어 있는 복수의 구동 전압선을 포함하고,
상기 그루브 내에는 상기 복수의 구동 전압선 중 적어도 2개의 구동 전압선이 위치하는 표시 장치.In claim 1,
The display device includes a plurality of driving voltage lines spaced apart from each other;
At least two driving voltage lines among the plurality of driving voltage lines are positioned in the groove.
상기 공통 전극 위에 위치하는 봉지층,
상기 봉지층 위에 위치하는 터치부, 및
상기 터치부 위에 위치하는 반사 방지부를 더 포함하고,
상기 반사 방지부는
상기 화소 정의막과 중첩하는 차광층, 및
상기 화소 전극과 중첩하는 색필터를 포함하는 표시 장치.In claim 1,
an encapsulation layer positioned on the common electrode;
a touch unit positioned on the encapsulation layer; and
Further comprising an anti-reflection unit positioned on the touch unit,
The anti-reflection part
a light blocking layer overlapping the pixel defining layer; and
and a color filter overlapping the pixel electrode.
상기 표시 장치의 각 화소는 복수의 트랜지스터를 포함하고,
상기 복수의 트랜지스터는 산화물 반도체를 포함하는 산화물 트랜지스터 및 다결정 반도체를 포함하는 다결정 트랜지스터를 포함하는 표시 장치.In claim 1,
Each pixel of the display device includes a plurality of transistors,
The plurality of transistors includes an oxide transistor including an oxide semiconductor and a polycrystalline transistor including a polycrystalline semiconductor.
상기 기판 위에 위치하는 트랜지스터,
상기 트랜지스터 위에 위치하는 층간 절연막,
상기 층간 절연막 위에 위치하고, 상기 트랜지스터와 연결되어 있는 구동 전압선 및 데이터선,
상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 위에 위치하는 보호막,
상기 보호막 위에 위치하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 중 적어도 일부와 중첩하는 화소 전극,
상기 화소 전극 위에 위치하고, 화소 개구부를 포함하는 화소 정의막,
상기 화소 전극 위에 위치하는 발광 소자층, 및
상기 발광 소자층 및 상기 화소 정의막 위에 위치하는 공통 전극을 포함하고,
상기 보호막은 제1 보호막 및 상기 제1 보호막 위에 위치하는 제2 보호막을 포함하고,
상기 제2 보호막은 상기 기판 위의 일부 영역에 위치하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선과 중첩하는 표시 장치.Board,
a transistor positioned on the substrate;
an interlayer insulating film positioned over the transistor;
a driving voltage line and a data line positioned on the interlayer insulating layer and connected to the transistor;
a protective film positioned on the driving voltage line and the data line;
a pixel electrode positioned on the passivation layer and overlapping at least a portion of the driving voltage line and the data line;
a pixel defining layer disposed on the pixel electrode and including a pixel opening;
a light emitting element layer positioned on the pixel electrode; and
a common electrode positioned on the light emitting device layer and the pixel defining layer;
The passivation layer includes a first passivation layer and a second passivation layer positioned on the first passivation layer,
The second passivation layer is positioned on a partial region of the substrate and overlaps the driving voltage line and the data line.
상기 제1 보호막은 상기 기판 위에 전체적으로 위치하고,
상기 제2 보호막은 상기 화소 전극과 중첩하고, 상기 화소 전극은 상기 제2 보호막 위에 위치하고,
상기 제2 보호막은 상기 화소 정의막의 가장자리와 중첩하고, 상기 화소 정의막의 중심부와 중첩하지 않는 표시 장치.In claim 12,
The first protective film is positioned entirely on the substrate,
the second passivation layer overlaps the pixel electrode, and the pixel electrode is positioned on the second passivation layer;
The second passivation layer overlaps an edge of the pixel defining layer and does not overlap a central portion of the pixel defining layer.
상기 제1 보호막 및 상기 제2 보호막은 유기 절연 물질을 포함하는 표시 장치.In claim 13,
The first passivation layer and the second passivation layer include an organic insulating material.
상기 보호막은 상기 제1 보호막 아래에 위치하는 제3 보호막을 더 포함하고,
상기 제3 보호막은 무기 절연 물질을 포함하는 표시 장치.In claim 12,
The protective film further includes a third protective film positioned under the first protective film,
The third passivation layer includes an inorganic insulating material.
상기 제1 보호막 및 상기 제3 보호막은 상기 기판 위에 전체적으로 위치하는 표시 장치.In claim 15,
The first passivation layer and the third passivation layer are entirely disposed on the substrate.
상기 제3 보호막은 상기 기판 위에 전체적으로 위치하고,
상기 제1 보호막은 상기 기판 위의 일부 영역에 위치하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선과 중첩하는 표시 장치.In claim 15,
The third protective film is entirely located on the substrate,
The first passivation layer is positioned on a partial region on the substrate and overlaps the driving voltage line and the data line.
상기 기판 위에 위치하는 트랜지스터,
상기 트랜지스터 위에 위치하는 층간 절연막,
상기 층간 절연막 위에 위치하고, 상기 트랜지스터와 연결되어 있는 구동 전압선 및 데이터선,
상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 위에 위치하는 보호막,
상기 보호막 위에 위치하고, 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선 중 적어도 일부와 중첩하는 화소 전극,
상기 화소 전극 위에 위치하고, 화소 개구부를 포함하는 화소 정의막,
상기 화소 전극 위에 위치하는 발광 소자층, 및
상기 발광 소자층 및 상기 화소 정의막 위에 위치하는 공통 전극을 포함하고,
상기 보호막은 상기 구동 전압선 및 상기 데이터선과 중첩하는 제1 부분 및 상기 제1 부분을 제외한 제2 부분을 포함하고,
상기 제1 부분의 두께가 상기 제2 부분의 두께보다 두꺼운 표시 장치.Board,
a transistor positioned on the substrate;
an interlayer insulating film positioned over the transistor;
a driving voltage line and a data line positioned on the interlayer insulating layer and connected to the transistor;
a protective film positioned on the driving voltage line and the data line;
a pixel electrode positioned on the passivation layer and overlapping at least a portion of the driving voltage line and the data line;
a pixel defining layer disposed on the pixel electrode and including a pixel opening;
a light emitting element layer positioned on the pixel electrode; and
a common electrode positioned on the light emitting device layer and the pixel defining layer;
the passivation layer includes a first portion overlapping the driving voltage line and the data line and a second portion excluding the first portion,
A thickness of the first portion is greater than a thickness of the second portion.
상기 보호막의 제1 부분은 상기 화소 전극과 중첩하고, 상기 화소 정의막의 가장자리와 중첩하고, 상기 화소 정의막의 중심부와 중첩하지 않는 표시 장치.In claim 18,
A first portion of the passivation layer overlaps the pixel electrode, overlaps an edge of the pixel-defining layer, and does not overlap a central portion of the pixel-defining layer.
상기 보호막은 유기 절연 물질을 포함하는 표시 장치.In paragraph 19,
The passivation layer includes an organic insulating material.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200115379A KR20220033637A (en) | 2020-09-09 | 2020-09-09 | Display device |
US17/154,922 US20220077269A1 (en) | 2020-09-09 | 2021-01-21 | Display device |
CN202110652584.0A CN114242749A (en) | 2020-09-09 | 2021-06-11 | Display device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200115379A KR20220033637A (en) | 2020-09-09 | 2020-09-09 | Display device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20220033637A true KR20220033637A (en) | 2022-03-17 |
Family
ID=80470972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020200115379A KR20220033637A (en) | 2020-09-09 | 2020-09-09 | Display device |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220077269A1 (en) |
KR (1) | KR20220033637A (en) |
CN (1) | CN114242749A (en) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9013461B2 (en) * | 2010-03-18 | 2015-04-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display |
KR102596065B1 (en) * | 2016-07-04 | 2023-11-01 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and method of the same |
JP6947536B2 (en) * | 2017-05-26 | 2021-10-13 | 株式会社ジャパンディスプレイ | Display device |
KR102504436B1 (en) * | 2017-12-18 | 2023-03-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device |
KR102495845B1 (en) * | 2017-12-26 | 2023-02-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display apparatus |
KR20190100554A (en) * | 2018-02-19 | 2019-08-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display device |
-
2020
- 2020-09-09 KR KR1020200115379A patent/KR20220033637A/en unknown
-
2021
- 2021-01-21 US US17/154,922 patent/US20220077269A1/en active Pending
- 2021-06-11 CN CN202110652584.0A patent/CN114242749A/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220077269A1 (en) | 2022-03-10 |
CN114242749A (en) | 2022-03-25 |
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