KR20220013044A - Mass flowmeter - Google Patents

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KR20220013044A
KR20220013044A KR1020200092018A KR20200092018A KR20220013044A KR 20220013044 A KR20220013044 A KR 20220013044A KR 1020200092018 A KR1020200092018 A KR 1020200092018A KR 20200092018 A KR20200092018 A KR 20200092018A KR 20220013044 A KR20220013044 A KR 20220013044A
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rubber
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solenoid
flow rate
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KR1020200092018A
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Korean (ko)
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민병광
김신형
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엠케이프리시젼 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a mass flow meter, comprising: a body having a fluid inlet and a fluid outlet formed therein; a sensor unit that detects the flow rate of the fluid passing through the body and converts the same into an electrical quantity; and a flow control unit for controlling the flow rate discharged to the fluid outlet. The flow control unit comprises: a valve housing installed on the body and with a solenoid installed nearby; a valve plunger moves up and down in the valve housing according to the operation of the solenoid; a rubber disk that is fastened to the valve plunger to form an opening through which the fluid passes; and a nozzle that is compressed and separated while the rubber disk moves up and down according to the operation of the solenoid, wherein the rubber disk includes a pin member fastened to the valve plunger and a rubber member having a receiving groove formed therein, thereby capable of controlling larger flow rates with the same size.

Description

질량 유량계{Mass flowmeter}Mass flowmeter

본 발명은 동일한 크기에서 더 많은 유량을 제어할 수 있는 질량 유량계에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 노즐이 고무부재와 접촉할 수 있는 면적을 넓혀 노즐의 유로를 크게함으로써 더 많은 유량을 제어할 수 있는 질량 유량계에 관한 것이다.The present invention relates to a mass flow meter capable of controlling a larger flow rate with the same size, and more particularly, it is possible to control a larger flow rate by increasing the flow path of the nozzle by increasing the area in which the nozzle can contact the rubber member. It relates to mass flow meters.

질량 유량계(Mass Flow Controller, MFC)는 반도체 공정 등에서 유독성 또는 고반응성 가스와 같은 유체의 질량 유동을 정밀하게 제어하기 위하여 사용되었다. 최근에는 산업플랜트 등으로 그 분야가 확산되어 공기, 산소 등의 유량 지시 및 제어 목적으로도 사용되고 있다. A mass flow controller (MFC) has been used to precisely control the mass flow of a fluid, such as a toxic or highly reactive gas, in a semiconductor process. Recently, the field has been spread to industrial plants, etc., and it is also used for the purpose of indicating and controlling the flow rate of air and oxygen.

질량 유량계는 열선식, 코리올리스식, 차압식, 각운동량식으로 구별되는 직접식 질량 유량계와, PQ2를 검출하는 유량계와 밀도계의 조합형, Q를 검출하는 유량계와 밀도계의 조합형, PQ2를 검출하는 유량계와 Q를 검출하는 유량계의 조합형, 온도, 압력보정형 또는 온도보정형 등으로 구별되는 간접식 질량 유량계로 구별된다. The mass flow meter is a direct type mass flow meter that is divided into hot wire type, Coriolis type, differential pressure type, and angular momentum type, a flow meter and density meter combination to detect PQ 2 , a flow meter and density meter to detect Q, and a density meter to detect PQ 2 It is divided into an indirect type mass flow meter that is divided into a combination type of a flow meter that detects Q and a flow meter that detects Q, a temperature, pressure compensation type, or a temperature compensation type.

도 1에 종래 사용되던 질량 유량계의 한 종류가 도시되어 있으며, 도 2a 내지 도 2c에는 도 1에서 유량 제어부의 작동 상태가 도시되어 있다. 도 1, 2a 내지 2c는 등록특허공보 제10-0812758호의 도 4에 개시되어 있거나 도 4에 개시된 내용이 작동하는 상태에 관한 것인데, 질량유량계는 양단에 관로유입구(Pi)와 관로유출구(Po)가 설치된 가스유통로(P)를 가지는 관로부(A), 관로부(A)를 통과하는 가스유량을 감지하여 전기적량으로 변환시키는 센서부(1), 감지된 유량과 설정치를 비교하여 제어신호를 발하는 PC제어부(4), 상기 관로부(A)의 가스유통로(P) 하류에 설치되어 PC제어부(4)로부터 신호에 따라 유량을 조절하는 밸브(6)를 포함하고 있다.One type of a mass flow meter conventionally used is shown in FIG. 1 , and an operating state of the flow control unit in FIG. 1 is shown in FIGS. 2A to 2C . 1, 2a to 2c relate to a state in which the contents disclosed in FIG. 4 or disclosed in FIG. 4 of Korean Patent Publication No. 10-0812758 are operating, and the mass flow meter has a pipe inlet (P i ) and a pipe outlet (P) at both ends. o ) having a gas flow path (P) installed, the sensor unit (1) that detects the gas flow rate passing through the pipe line (A) and converts it into an electrical quantity, and compares the detected flow rate with the set value. It includes a PC control unit 4 that emits a control signal, and a valve 6 that is installed downstream of the gas flow path P of the pipe line A and adjusts the flow rate according to a signal from the PC control unit 4 .

(선행기술 001) 등록특허공보 제10-0812758호(Prior art 001) Registered Patent Publication No. 10-0812758

유량 조절 밸브(6, 유량 조절부)는 관로부(A)의 가스유통로(P) 하류측(유출구에 인접한 위치)에 설치되어, 가스유통로(P)의 상, 하류측을 연결하는 밸브시트(5a), 밸브시트(5a)를 개폐하거나 개방량을 제어하는 밸브디스크(5b) 및 솔레노이드(5c) 등을 포함하고 있다. The flow rate control valve (6, flow rate control unit) is installed on the downstream side of the gas flow path (P) of the pipe line (A) (a position adjacent to the outlet), and connects the upper and downstream sides of the gas flow path (P). It includes a seat 5a, a valve disk 5b and a solenoid 5c for opening/closing or controlling the opening amount of the valve seat 5a.

센서부(1) 신호는 PC제어부(4)로 전송되고, PC제어부(4)는 설정값과 비교하여 제어신호를 유량 조절 밸브(6)로 보내고, 유량 조절 밸브(6)는 솔레노이드(5c)로 밸브디스크(5b)를 상하 이동하도록 제어하여 밸브시트(5a)의 개방량을 변경한다. 그리고 관로부(A)의 가스유통로(P)를 통해 유동하는 가스의 유량이 밸브시트(5a)의 개방량에 따라 제어되며, 그 제어된 유량이 관로유출구(Po)를 통해 유출된다. 밸브플런져(도면번호 없음)는 솔레노이드(5c)에 의해 전자기력이 인가(여자)되어 상하 이동하는 한편, 하부에 제공되는 밸브 스프링(도시되지 않음)으로부터의 스프링력이 평형을 이루어, 그 자리를 유지하면서 일정한 유량이 통과되도록 한다. The sensor unit (1) signal is transmitted to the PC control unit (4), the PC control unit (4) compares the set value and sends a control signal to the flow control valve (6), and the flow control valve (6) is a solenoid (5c) By controlling the valve disk (5b) to move up and down, the opening amount of the valve seat (5a) is changed. And the flow rate of the gas flowing through the gas flow path (P) of the pipe section (A) is controlled according to the opening amount of the valve seat (5a), the controlled flow rate flows out through the pipe outlet ( Po ). The valve plunger (without reference number) moves up and down when electromagnetic force is applied (excited) by the solenoid 5c, while the spring force from the valve spring (not shown) provided at the bottom is balanced, and takes its place while maintaining a constant flow rate.

한편 많은 유량을 내보내려는 경우, 밸브시트(5a)에서 유체가 통과하는 부분으로 밸브시트(5a) 중앙에 형성된 유로가 넓혀져야 하는데(직경이 커져야 함), 밸브디스크(5b) 자체의 구조 때문에 유로를 넓히는 것에는 상당한 어려움이 있고, 이에 많은 유량을 보내는 것이 가능하지 않았다. 많은 유량을 제어하기 위하여는 질량 유량계 자체를 전체적으로 키워야만 했다.On the other hand, in the case of sending out a large amount of flow, the flow path formed in the center of the valve seat 5a should be widened (diameter should be increased) to the part through which the fluid passes from the valve seat 5a, but due to the structure of the valve disk 5b itself, the flow path It is quite difficult to widen it, and it was not possible to send a lot of flow to it. In order to control a large flow rate, the mass flow meter itself had to be enlarged as a whole.

이에 대하여 자세히 설명하면, 밸브플런져는 솔레노이드에 의하여 위쪽으로 이동하는 방향의 힘을 받고, 외주연에는 스프링(도면번호 없음)이 설치되어 아래쪽으로 이동하는 힘을 받으며, 솔레노이드와 스프링의 힘을 평형에 따라 도 2c에서와 같이 밸브디스크(5b)가 상승하여 유체가 통과하게 된다. In detail, the valve plunger receives a force in the upward movement direction by the solenoid, and a spring (without reference number) is installed on the outer periphery to receive the downward movement force, and to balance the force of the solenoid and the spring. Accordingly, as shown in FIG. 2c, the valve disk 5b rises to allow the fluid to pass therethrough.

아울러 이 때 밸브시트(5a)를 통과하는 유량은 밸브시트(5a)의 중앙에 형성된 유로(도 2a에 직경 c를 갖는 것으로 표현)의 크기에 의하여 영향을 받으며. 더욱더 많은 유량이 흐르거나 이를 제어하기 위하여는 유로가 더 크게 형성되어야 한다. In addition, the flow rate passing through the valve seat (5a) at this time is affected by the size of the flow path (represented by having a diameter c in FIG. 2A) formed in the center of the valve seat (5a). In order to flow more and more flow or to control it, the flow path should be formed to be larger.

그런데 밸브디스크(5b)는 스테인리스 재질의 금속재 핀(도 2b에서 7)에 테프론 재질의 고무부재(도 2b에서 13)가 끼워지는 방식이어서, 밸브시트(5a) 상부면의 외경(도 2b에서 E)을 고무부재(도 2a에서 13)의 직경(도 2a에서 A)보다 크게 할 수는 없었다(도 2b에서 E < 도 2a에서 A). 왜냐하면 핀(도 2b에서 7)과 밸브시트(5a)는 모두 금속재로 형성되어 접촉하는 경우 실링을 이루기 어렵기 때문이었다. 아울러 이런 점으로 인하여 밸브시트(5a) 중앙에 형성된 유로 역시 그 직경(도 2b에서 D)이 결코 커질 수가 없었다(도 2b에서 D < 도 2b에서 E < 도 2a에서 A).By the way, the valve disk 5b is a method in which a Teflon rubber member (13 in FIG. 2b) is fitted to a stainless steel metal pin (7 in FIG. 2b), so the outer diameter of the upper surface of the valve seat 5a (E in FIG. 2b) ) could not be made larger than the diameter (A in FIG. 2A) of the rubber member (13 in FIG. 2A) (E in FIG. 2B < A in FIG. 2A). This is because the pin (7 in FIG. 2b) and the valve seat 5a are both formed of a metal material, so that it is difficult to achieve sealing when they come into contact with each other. In addition, due to this point, the diameter (D in FIG. 2B) of the flow path formed in the center of the valve seat 5a could never be increased (D in FIG. 2B < E in FIG. 2B < A in FIG. 2A).

이에 밸브시트(5a)의 유로를 키우기 위하여 밸브디스크(5b)를 크게 하면서 그것을 이루는 고무부재(도 2b에서 13)도 크게 할 수도 있는데, 이런 경우 밸브디스크(5b) 자체가 커질 뿐만 아니라 밸브디스크(5b)가 설치되어 있는 공간에 차 있는 유체가 밸브디스크(5b)의 윗부분을 누르는 압력 역시 커지게 되어, 유로를 열기 위하여 밸브디스크(5b)를 위로 이동함에 있어서 더 큰 힘이 필요하여 솔레노이드가 상당히 커져야 하였으며, 이는 결국 질량 유량계를 크게 해야 하였다. Accordingly, in order to increase the flow path of the valve seat 5a, the valve disk 5b may be enlarged and the rubber member (13 in FIG. 2b) constituting it may also be enlarged. In this case, not only the valve disk 5b itself becomes large, but also the valve disk ( The pressure that the fluid filled in the space where 5b) is installed presses the upper part of the valve disk 5b also increases. It had to be large, which in turn resulted in a large mass flow meter.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자 하는 것으로서, 동일한 밸브디스크 크기를 가짐에도 밸브시트가 고무부재와 접촉하는 면적을 넓힘으로서 밸브시트에 형성된 개도를 크게 하여 더 넓은 유량을 제어할 수 있는 질량 유량계를 제공하는데 있다. 종래와 동일한 크기를 가짐에도 더 넓은 유량을 제어할 수 있는 질량 유량계를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the problems of the prior art as described above. Even with the same valve disk size, by increasing the area in which the valve seat contacts the rubber member, the opening degree formed in the valve seat is increased to control a wider flow rate. To provide a mass flow meter that can An object of the present invention is to provide a mass flow meter capable of controlling a wider flow rate despite having the same size as the conventional one.

상기 과제를 해결하고자 본 발명은, 유체입구와 유체출구가 형성된 본체, 본체를 통과하는 유체의 유량을 감지하여 전기적 양으로 변환시키는 센서부, 유체출구로 토출되는 유량을 제어하는 유량 제어부를 포함하되, 유량 제어부는 본체 상에 설치되고 솔레노이드가 주위에 설치된 밸브 하우징, 솔레노이드 구동에 따라 밸브 하우징 내에서 상하 이동하는 밸브플런져, 밸브플런져 하부에 체결되어 있는 고무디스크, 솔레노이드 구동에 따라 고무디스크가 상하 이동하면서 고무디스크의 하부면과 압착되거나 분리되는 노즐을 포함하고, 고무디스크는 밸브플런져에 체결되어 있는 핀부재 및 상기 핀부재를 수용하기 위한 수용홈이 형성되어 있는 고무부재를 포함하는 것이 바람직하다.In order to solve the above problems, the present invention includes a body in which a fluid inlet and a fluid outlet are formed, a sensor unit that senses the flow rate of the fluid passing through the body and converts it into an electrical amount, and a flow rate control unit that controls the flow rate discharged to the fluid outlet , the flow control unit has a valve housing installed on the main body and a solenoid installed around it, a valve plunger that moves up and down in the valve housing according to the solenoid operation, a rubber disk fastened to the lower part of the valve plunger, and a rubber disk according to the solenoid operation. It includes a nozzle that is compressed or separated from the lower surface of the rubber disk while moving up and down, and the rubber disk includes a pin member fastened to the valve plunger and a rubber member having a receiving groove for accommodating the pin member. desirable.

아울러 상기 핀부재는 밸브플런져와 체결되는 바디부재 및 상기 바디부재의 하부 외주연에서 돌출되어 있는 디스크부재를 포함하고, 상기 고무부재에 형성된 수용홈은 디스크부재를 수용하는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the pin member includes a body member coupled to the valve plunger and a disk member protruding from a lower outer periphery of the body member, and the receiving groove formed in the rubber member accommodates the disk member.

그뿐만 아니라 상기 디스크부재는 하부면 중앙에 홈이 형성되고, 상기 고무부재에 형성된 수용홈에는 상기 디스크부재의 하부면 중앙에 형성된 홈이 끼워질 수 있는 돌출부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that a groove is formed in the center of the lower surface of the disk member, and a protrusion into which the groove formed in the center of the lower surface of the disk member can be fitted is preferably formed in the receiving groove formed in the rubber member.

본 발명의 질량 유량계는 동일한 크기를 가지면서도, 노즐에 형성된 개구를 크게하여 더 큰 유량을 제어할 수 있으며, 더 큰 유량 제어를 위하여 질량 유량계를 크게 할 필요가 없다. 다만 본 발명의 효과는 이런 문언적 기재에만 한정되지 않고, 통상의 기술자가 본 발명을 통해 유추할 수 있는 것까지 모두 포함한다.The mass flow meter of the present invention can control a larger flow rate by increasing the opening formed in the nozzle while having the same size, and there is no need to enlarge the mass flow meter for controlling the larger flow rate. However, the effect of the present invention is not limited to such verbal descriptions, and includes all things that those skilled in the art can infer through the present invention.

도 1은 종래의 질량 유량계를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2a 내지 도 2c는 종래의 질량 유량계에 적용되어 있는 유량 조절부의 작동을 보이는 상태도이다.
도 3a, 3b는 본 발명의 실시예에 따른 유량 조절부를 가지는 질량 유량계를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유량 조절부를 가지는 질량 유량계를 도시한 단면도이다.
도 5a, 5b는 본 발명의 실시예에 따른 고무부재의 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically illustrating a conventional mass flow meter.
2A to 2C are state diagrams illustrating the operation of a flow rate controller applied to a conventional mass flow meter.
3A and 3B are cross-sectional views illustrating a mass flow meter having a flow rate controller according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view illustrating a mass flow meter having a flow control unit according to an embodiment of the present invention.
5A and 5B are cross-sectional views of a rubber member according to an embodiment of the present invention.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다. 이런 실시예들은 본 발명을 쉽게 설명하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되지는 않는다.　명세서에서 사용한 용어는 특정 실시예를 설명하기 위해 사용되었으며, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 구성 등이 존재한다는 것을 의미한다.Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. These examples are provided to easily illustrate the present invention, and the present invention is not limited thereto. Terms used in the specification are used to describe specific embodiments, and terms such as “include” or “have” mean that there is a configuration or the like.

도 3a, 3b, 4는 본 발명의 실시예에 따른 유량 조절부를 가지는 질량 유량계가 작동하는 상태를 도시한 단면도이다.3A, 3B, and 4 are cross-sectional views illustrating an operating state of a mass flow meter having a flow rate control unit according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 질량 유량계는 유체입구와 유체출구가 형성된 본체, 상기 본체를 통과하는 유체의 유량을 감지하여 전기적 양으로 변환시키는 센서부 및 상기 유체출구로 토출되는 유량을 제어하는 유량 제어부를 포함한다. A mass flow meter according to the present invention includes a body having a fluid inlet and a fluid outlet formed therein, a sensor unit that senses a flow rate of fluid passing through the body and converts it into an electrical quantity, and a flow rate control unit that controls the flow rate discharged to the fluid outlet .

유량 제어부는 본체 상에 설치되고 솔레노이드가 주위에 설치된 밸브 하우징, 상기 솔레노이드 구동에 따라 상기 밸브 하우징 내에서 상하 이동하는 밸브플런져, 상기 밸브플런져에 체결되어 있는 고무디스크(200) 및 상기 솔레노이드 구동에 따라 상기 고무디스크(200)가 상하 이동하면서 압착 및 분리되는 노즐(300)을 포함한다. The flow control unit includes a valve housing installed on the main body and having a solenoid installed around it, a valve plunger that moves up and down in the valve housing according to driving the solenoid, a rubber disk 200 coupled to the valve plunger, and driving the solenoid Accordingly, the rubber disk 200 includes a nozzle 300 that is compressed and separated while moving up and down.

즉 솔레노이드 구동에 따라 밸브플런져에 체결되어 있는 고무디스크(200)의 하부면이 노즐(300)의 상부면에 압착되거나 분리되는데, 노즐(300)에는 일정 직경을 갖는 유로(도 3a에서 직경 c 부분)가 형성되어 있어서, 고무디스크(200)의 하부면이 노즐(300)의 상부면에 압착되는 경우 유로는 폐쇄되고, 솔레노이드 구동에 의하여 고무디스크(200)의 하부면이 노즐(300)의 상부면에서 분리되어 이격되는 경우 유로를 통해 유체가 흐르게 된다. 아울러 솔레노이드 구동에 의하여 이격되는 정도를 조절하여 유량을 제어할 수 있다.That is, the lower surface of the rubber disk 200 coupled to the valve plunger is compressed or separated from the upper surface of the nozzle 300 according to the solenoid driving, and the nozzle 300 has a flow path having a certain diameter (diameter c in FIG. portion) is formed, and when the lower surface of the rubber disk 200 is pressed against the upper surface of the nozzle 300, the flow path is closed, and the lower surface of the rubber disk 200 is moved to the nozzle 300 by the solenoid drive. When separated from the upper surface and spaced apart, the fluid flows through the flow path. In addition, it is possible to control the flow rate by adjusting the degree of separation by the solenoid drive.

한편 본 발명의 고무디스크(200)는, 밸브플런져에 볼트 등의 수단으로 체결되어 있는 핀부재(210) 및 상기 핀부재(210)을 수용하기 위한 수용홈(225)이 형성되어 있는 고무부재(22O)를 포함하고 있다. 고무디스크(200)는 핀부재(210) 하부를 고무부재(220)의 상부에 끼운 후 감싸 수용하는 구조를 채택하고 있는데, 도 3b에서 볼 수 있는 바와 같이 고무디스크(200)에서 노즐(300)과 접촉하는 부분은 모두 고무부재(220)로 이루어져 있다Meanwhile, in the rubber disk 200 of the present invention, a pin member 210 fastened to a valve plunger by means such as a bolt and a rubber member having a receiving groove 225 for accommodating the pin member 210 are formed. (22O) is included. The rubber disk 200 adopts a structure in which the lower part of the pin member 210 is inserted into the upper part of the rubber member 220 and then wrapped and accommodated. As can be seen in FIG. 3b , the nozzle 300 in the rubber disk 200 All parts in contact with the rubber member 220 are made of

상기 핀부재(210)는 상기 밸브플런져와 체결되며 수직 방향으로 설치되는 바디부재(211) 및 상기 바디부재(211)의 하부 외주연에서 돌출되어 있는 원형의 디스크부재(212)를 포함하며, 상기 바디부재(211)와 디스크부재(212)는 하나의 부재로 형성될 수 있다. 핀부재(210)를 수용하도록 고무부재(220)에 형성된 수용홈(225)에 디스크부재(212)가 전체적으로 삽입될 수 있는 것이다. The pin member 210 is coupled to the valve plunger and includes a body member 211 installed in a vertical direction and a circular disk member 212 protruding from the lower outer periphery of the body member 211, The body member 211 and the disk member 212 may be formed as one member. The disk member 212 can be fully inserted into the receiving groove 225 formed in the rubber member 220 to accommodate the pin member 210 .

이와 같이 본 발명은 고무디스크(200)에서 노즐(300)과 접촉하는 부분이 모두 고무부재(220)로 이루어짐으로써, 노즐(300)과 상기 노즐(300)에 형성된 직경을 상당 부분 키울 수 있다. 도 3b에서 볼 수 있는 바와 같이, 본 발명은 노즐(300)의 외경(G)이 고무부재(220)의 외경(B)에 근접할 수 있으며, 노즐(300)에 형성된 유로의 직경(F) 역시, 종래 동일한 직경의 밸브시트 구조와 대비하여 상당히 커질 수 있는 것이다.As described above, in the present invention, since all parts of the rubber disk 200 in contact with the nozzle 300 are made of the rubber member 220, the nozzle 300 and the diameter formed in the nozzle 300 can be significantly increased. As can be seen in Figure 3b, in the present invention, the outer diameter (G) of the nozzle 300 may be close to the outer diameter (B) of the rubber member 220, the diameter (F) of the flow path formed in the nozzle (300) Also, compared to the conventional valve seat structure having the same diameter, it can be significantly increased.

종래기술로서 도 2b와 본 발명에서 도 3b를 대비하면, 종래기술에서의 밸브시트(5a, 도 2b)와 본 발명에서의 고무디스크(200, 도 3b)가 동일한 직경(B)를 가지고 있는 경우, 본 발명에서 노즐(300)에 형성된 유로(F)가 종래기술에서 유로(D)보다 훨씬 크고, 이로 인하여 더 큰 유량을 제어할 수 있는 것이다.If FIG. 2b as a prior art and FIG. 3b in the present invention are compared, when the valve seat 5a in the prior art and the rubber disk 200 in FIG. 3b in the present invention have the same diameter (B) , the flow path (F) formed in the nozzle 300 in the present invention is much larger than the flow path (D) in the prior art, thereby allowing a larger flow rate to be controlled.

한편 본 발명의 핀부재(210)의 디스크부재(212)는 바람직하게 그 바닥 중앙에 원형의 홈(213)이 형성되고, 고무부재(220)의 디스크부재를 수용하는 홈(225)에는 상기 원형 홈(213)의 지름에 대응하는 지름을 가지며, 상기 원형 홈(213)에 끼워질 수 있는 원형 돌출부(224)를 가진다.On the other hand, the disk member 212 of the pin member 210 of the present invention preferably has a circular groove 213 formed in the center of the bottom thereof, and the groove 225 for accommodating the disk member of the rubber member 220 has the circular shape. It has a diameter corresponding to the diameter of the groove 213 and has a circular protrusion 224 that can be fitted into the circular groove 213 .

이와 같이 디스크부재(212)의 하부면 중앙에 원형의 홈(213)이 형성되고, 고무부재(220)에 디스크부재를 수용하는 홈(225)에 돌출부(224)가 제공됨에 따라, 디스크부재(212)와 고무부재(220)가 서로 조립될 때 용이하게 동심으로 조립될 수 있다. 또한 원형의 홈(213)과 돌출부(224)로 인하여, 디스크부재(212)와 고무부재(220) 사이의 접촉 면적이 증가하여 두 부재 사이의 결합 강도가 증가될 수 있다. 디스크부재(212)를 수용홈(225)에 수용하기 위하여 그 사이에는 접착제가 도포될 수 있으며, 결합력이 증가하여 장시간 사용되는 경우에도 두 부재 사이의 분리가 방지될 수 있는 것이다.As described above, a circular groove 213 is formed in the center of the lower surface of the disk member 212, and as the protrusion 224 is provided in the groove 225 for accommodating the disk member in the rubber member 220, the disk member ( When the 212 and the rubber member 220 are assembled with each other, they can be easily assembled concentrically. In addition, due to the circular groove 213 and the protrusion 224 , the contact area between the disk member 212 and the rubber member 220 increases, so that the bonding strength between the two members may be increased. In order to accommodate the disc member 212 in the receiving groove 225, an adhesive may be applied therebetween, and the coupling force increases, so that separation between the two members can be prevented even when used for a long time.

도 5a, 5b는 본 발명의 실시예에 따른 고무부재의 단면도이다. 도 5a에서 볼 수 있는 바와 같이 본 발명은 디스크부재(212) 외부면과 고무부재(220) 수용홈(225)의 측벽(222)은 두 부재의 조립을 용이하게 하도록 모두 수직의 직선으로 형성될 수 있지만, 도 5b에서 볼 수 있는 바와 같이 두 부재 사이의 결합 강도를 증가시키기 고무무재(220)의 상부에 테이퍼면(221)을 형성하고 디스크부재(212)에는 이에 대응하도록 모따기면이 형성될 수 있다. 5A and 5B are cross-sectional views of a rubber member according to an embodiment of the present invention. As can be seen in FIG. 5A, in the present invention, both the outer surface of the disk member 212 and the sidewall 222 of the rubber member 220 receiving groove 225 are formed in a vertical straight line to facilitate the assembly of the two members. However, as can be seen in FIG. 5B, a tapered surface 221 is formed on the upper portion of the rubber material 220 to increase the bonding strength between the two members, and a chamfered surface is formed on the disk member 212 to correspond thereto. can

또한 본 발명은 노즐(300)의 상부면과 접촉하는 고무부재(220)의 하부면에, 고무부재(220)에 접촉하는 노즐의(300)의 상부면을 수용할 수 있는 노즐 수용홈(227)이 제공될 수 있다. 노즐 수용홈(227)은 노즐(220)의 상부면의 크기에 따라서 그 지름(H) 및 깊이가 결정될 수 있는데, 노즐의 상부면과 고무부재(220) 하부면 사이의 긴밀한 접촉에 도움이 된다. In addition, the present invention provides a nozzle receiving groove 227 that can accommodate the upper surface of the nozzle 300 in contact with the rubber member 220 on the lower surface of the rubber member 220 in contact with the upper surface of the nozzle 300 . ) can be provided. The nozzle accommodating groove 227 may have a diameter H and a depth determined according to the size of the upper surface of the nozzle 220, which helps in close contact between the upper surface of the nozzle and the lower surface of the rubber member 220 .

본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은, 각각 독립적으로 실시될 수도 있고, 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.The present invention is not limited by the disclosed embodiments and the accompanying drawings, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. In addition, the technical ideas described in the embodiments of the present invention may be implemented independently, or two or more may be implemented in combination with each other.

1 : 센서부 4 : 제어부
5a : 밸브시트 5b : 밸브디스크
5c : 솔레노이드 6 : 유량 조절 밸브
200 : 고무디스크 210 : 핀부재
211 : 바디부재 212 : 디스크부재
220 : 고무부재 221 : 테이퍼면
222 : 측벽 223 : 바닥면
224 : 돌출부 225 : 디스크부재 수용홈
227 : 노즐 수용홈 300 : 노즐1: sensor unit 4: control unit
5a: valve seat 5b: valve disc
5c: solenoid 6: flow control valve
200: rubber disk 210: pin member
211: body member 212: disk member
220: rubber member 221: tapered surface
222: side wall 223: bottom surface
224: protrusion 225: disk member receiving groove
227: nozzle receiving groove 300: nozzle

Claims (3)

유체입구와 유체출구가 형성된 본체; 상기 본체를 통과하는 유체의 유량을 감지하여 전기적 양으로 변환시키는 센서부; 상기 유체출구로 토출되는 유량을 제어하는 유량 제어부를 포함하되,
상기 유량 제어부는, 상기 본체 상에 설치되고 솔레노이드가 주위에 설치된 밸브 하우징; 상기 솔레노이드 구동에 따라 상기 밸브 하우징 내에서 상하 이동하는 밸브플런져; 상기 밸브플런져 하부에 체결되어 있는 고무디스크(200); 상기 솔레노이드 구동에 따라 상기 고무디스크(200)가 상하 이동하면서 고무디스크(200)의 하부면과 압착되거나 분리되는 노즐(300)을 포함하고,
상기 고무디스크(200)는 상기 밸브플런져에 체결되어 있는 핀부재(210) 및 상기 핀부재(210)를 수용하기 위한 수용홈(225)이 형성되어 있는 고무부재(22O)를 포함하는 것을 특징으로 하는 질량 유량계a body having a fluid inlet and a fluid outlet formed therein; a sensor unit that senses the flow rate of the fluid passing through the body and converts it into an electrical quantity; Including a flow control unit for controlling the flow rate discharged to the fluid outlet,
The flow control unit may include: a valve housing installed on the main body and having a solenoid installed around it; a valve plunger that moves up and down in the valve housing according to the solenoid drive; a rubber disk 200 fastened to the lower part of the valve plunger; and a nozzle 300 that is compressed or separated from the lower surface of the rubber disk 200 while the rubber disk 200 moves up and down according to the solenoid driving,
The rubber disk 200 includes a pin member 210 coupled to the valve plunger and a rubber member 220 having a receiving groove 225 for accommodating the pin member 210 is formed. mass flow meter with 청구항 1에 있어서,
상기 핀부재(210)는 상기 밸브플런져와 체결되는 바디부재(211) 및 상기 바디부재(211)의 하부 외주연에서 돌출되어 있는 디스크부재(212)를 포함하고,
상기 수용홈(225)은 상기 핀부재(210) 중에서 디스크부재(212)를 수용하는 것을 특징으로 하는 질량 유량계The method according to claim 1,
The pin member 210 includes a body member 211 coupled to the valve plunger and a disk member 212 protruding from the lower outer periphery of the body member 211,
The accommodating groove 225 is a mass flow meter, characterized in that it accommodates the disk member 212 among the pin member 210 . 청구항 2에 있어서,
상기 디스크부재(212)는 하부면 중앙에 홈(213)이 형성되고, 상기 고무부재(220)에 형성된 수용홈(225)에는 상기 홈(213)에 끼워질 수 있는 돌출부(224)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 질량 유랑계3. The method according to claim 2,
A groove 213 is formed in the center of the lower surface of the disk member 212, and a protrusion 224 that can be fitted into the groove 213 is formed in the receiving groove 225 formed in the rubber member 220. Mass flow system characterized in that there is
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