KR20220011558A - Semiconductor device, and semiconductor package comprising the same device - Google Patents
Semiconductor device, and semiconductor package comprising the same device Download PDFInfo
- Publication number
- KR20220011558A KR20220011558A KR1020200160445A KR20200160445A KR20220011558A KR 20220011558 A KR20220011558 A KR 20220011558A KR 1020200160445 A KR1020200160445 A KR 1020200160445A KR 20200160445 A KR20200160445 A KR 20200160445A KR 20220011558 A KR20220011558 A KR 20220011558A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- disposed
- bank
- banks
- peripheral region
- pads
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 219
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 169
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 14
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N [Ag].[Sn] Chemical compound [Ag].[Sn] QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B12/00—Dynamic random access memory [DRAM] devices
-
- H01L27/108—
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
Description
본 발명의 기술적 사상은 반도체 소자에 관한 것으로, 특히, 복수의 뱅크들의 셀 영역을 포함한 반도체 소자 및 그 반도체 소자를 구비한 반도체 패키지에 관한 것이다. The technical idea of the present invention relates to a semiconductor device, and more particularly, to a semiconductor device including a cell region of a plurality of banks and a semiconductor package including the semiconductor device.
메모리 소자와 같은 반도체 소자는 컴퓨터, 무선 통신 디바이스, 카메라, 디지털 디스플레이 등과 같은 다양한 전자 장치에 정보를 저장하기 위해 널리 사용되고 있다. 정보는 메모리 소자의 여러 상태를 프로그래밍하는 것에 의해 저장될 수 있다. 예컨대, 정보는 논리 "1" 또는 논리 "0"으로 표시되는 2개의 상태로 저장될 수 있다. 정보를 저장하기 위해, 전자 장치의 구성 요소는 메모리 소자에 상태를 기록하거나 또는 프로그래밍할 수 있고, 또한, 저장된 정보에 액세스하기 위해, 메모리 소자에 저장된 상태를 판독하거나 감지할 수 있다. 메모리 소자는 크게 휘발성과 비-휘발성 메모리 소자로 구별될 수 있다. 메모리 소자와 관련하여, 메모리 셀의 밀도 증가, 판독/기록 속도 증가, 신뢰성 증가, 데이터 보유성 증가, 전력 소비 감소, 또는 제조 비용 감소 등이 꾸준히 연구 발전되고 있다.BACKGROUND Semiconductor devices such as memory devices are widely used to store information in various electronic devices such as computers, wireless communication devices, cameras, and digital displays. Information may be stored by programming the various states of the memory element. For example, information may be stored in two states, denoted by a logical “1” or a logical “0”. To store information, a component of the electronic device may write or program a state to the memory element, and may also read or sense the state stored in the memory element to access the stored information. Memory devices can be broadly classified into volatile and non-volatile memory devices. In relation to memory devices, research and development are steadily being conducted to increase the density of memory cells, increase read/write speed, increase reliability, increase data retention, decrease power consumption, or decrease manufacturing cost.
본 발명의 기술적 사상이 해결하고자 하는 과제는, 제한된 패키지의 사이즈에 적합한 뱅크 구조의 셀 영역과 페리 영역을 포함하고, 또한, 테스트와 패키징에 용이한 패드 구조를 포함한 반도체 소자, 및 그 반도체 소자를 구비한 반도체 패키지를 제공하는 데에 있다.The problem to be solved by the technical idea of the present invention is to provide a semiconductor device including a cell region and a peripheral region of a bank structure suitable for a limited package size, and including a pad structure that is easy for testing and packaging, and the semiconductor device It is to provide a semiconductor package equipped with.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 기술적 사상은, 복수의 메모리 셀들이 어레이 구조로 배치된 셀 영역; 및 상기 메모리 셀들을 구동하기 위한 회로들이 배치되고, 상기 셀 영역의 주변에 배치된 적어도 2개의 페리 영역;을 포함하고, 상기 셀 영역은 다수의 뱅크들로 구별되며, 상기 뱅크들은 기본 사이즈를 갖는 제1 뱅크와 상기 기본 사이즈의 1/(2*n)(n은 1 이상의 정수) 사이즈를 갖는 제2 뱅크를 포함하며, 상기 적어도 2개의 상기 페리 영역은 제1 방향으로 연장하고, 상기 다수의 뱅크들에 바로 인접하여 배치되며, 칩 패드들이 상기 칩의 외곽 부분에 "L"자 형태로 배치되며, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 길쭉한 직사각형 칩의 형태를 갖는, 반도체 소자를 제공한다.In order to solve the above problems, a technical idea of the present invention is to provide a cell region in which a plurality of memory cells are arranged in an array structure; and at least two peripheral regions in which circuits for driving the memory cells are disposed and disposed around the cell region, wherein the cell region is divided into a plurality of banks, wherein the banks have a basic size. a first bank and a second bank having a size of 1/(2*n) (n being an integer greater than or equal to 1) of the basic size, wherein the at least two peripheral regions extend in a first direction, and the plurality of Provided is a semiconductor device, which is disposed immediately adjacent to the banks, wherein chip pads are disposed in an “L” shape at an outer portion of the chip, and has the shape of a rectangular chip elongated in a second direction perpendicular to the first direction do.
또한, 본 발명의 기술적 사상은, 상기 과제를 해결하기 위하여, 복수의 메모리 셀들이 어레이 구조로 배치된 셀 영역; 및 상기 메모리 셀들을 구동하기 위한 회로들이 배치되고, 상기 셀 영역의 주변에 배치된 페리 영역;을 포함하고, 상기 셀 영역은 다수의 뱅크들로 구별되며, 상기 뱅크들은 제1 방향과 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향을 따라 배치되고, 기본 사이즈를 갖는 제1 뱅크와 상기 기본 사이즈의 1/(2*n)(n은 1 이상의 정수) 사이즈를 갖는 제2 뱅크를 포함하며, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 길쭉한 직사각형 칩의 형태를 갖는, 반도체 소자를 제공한다.In addition, the technical idea of the present invention, in order to solve the above problems, a cell region in which a plurality of memory cells are arranged in an array structure; and a peripheral region in which circuits for driving the memory cells are disposed and disposed around the cell region, wherein the cell region is divided into a plurality of banks, wherein the banks are arranged in a first direction and the first direction A first bank disposed along a second direction perpendicular to the direction and comprising a first bank having a basic size and a second bank having a size of 1/(2*n) (n is an integer greater than or equal to 1) of the basic size, wherein A semiconductor device having a shape of a rectangular chip elongated in a second direction perpendicular to one direction is provided.
더 나아가, 본 발명의 기술적 사상은, 상기 과제를 해결하기 위하여, 패키지 기판; 상기 패키지 기판 상에 실장되고, 복수의 칩들이 적층된 제1 적층 구조체; 상기 패키지 기판 상에 실장되고, 상기 제1 적층 구조체에 인접하여 배치되며, 상기 제1 적층 구조체와 동일한 개수의 칩들이 적층된 제2 적층 구조체; 및 상기 패키기 기판 상에, 상기 제1 적층 구조체, 및 상기 제2 적층 구조체를 밀봉하는 밀봉재;를 포함하고, 상기 칩들 각각은, 복수의 메모리 셀들이 어레이 구조로 배치된 셀 영역, 및 상기 메모리 셀들을 구동하기 위한 회로들이 배치되고, 상기 셀 영역의 주변에 배치된 페리 영역을 포함하고, 상기 셀 영역은 다수의 뱅크들로 구별되며, 상기 뱅크들은 제1 방향과 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향을 따라 배치되고, 기본 사이즈를 갖는 제1 뱅크와 상기 기본 사이즈의 1/(2*n)(n은 1 이상의 정수) 사이즈를 갖는 제2 뱅크를 포함하며, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 길쭉한 직사각형 형태를 갖는, 반도체 패키지를 제공한다.Further, the technical idea of the present invention, in order to solve the above problems, a package substrate; a first stacked structure mounted on the package substrate and stacked with a plurality of chips; a second stacked structure mounted on the package substrate and disposed adjacent to the first stacked structure, in which the same number of chips as the first stacked structure are stacked; and a sealing material sealing the first stacked structure and the second stacked structure on the package substrate, wherein each of the chips includes a cell region in which a plurality of memory cells are disposed in an array structure, and the memory Circuits for driving cells are disposed, and include a peripheral region disposed around the cell region, wherein the cell region is divided into a plurality of banks, wherein the banks are in a first direction and perpendicular to the first direction. disposed along a second direction, comprising a first bank having a basic size and a second bank having a size of 1/(2*n) (n being an integer greater than or equal to 1) of the basic size, the second bank being perpendicular to the first direction A semiconductor package having a rectangular shape elongated in the second direction is provided.
본 발명의 기술적 사상에 의한, 반도체 소자는, 제2 뱅크가 다양한 사이즈를 가짐에 따라, 제1 뱅크와 제2 뱅크를 조합하여, 셀 영역에 다양한 뱅크 구조를 구현할 수 있다. 예컨대, 반도체 소자가 기본 사이즈의 제1 뱅크만을 포함하는 경우, 셀 영역 내의 뱅크 구조는 한정적일 수 밖에 없으나 제1 뱅크의 1/(2*n) 사이즈의 제2 뱅크를 함께 구비함으로써, 셀 영역 내의 뱅크 구조는 제2 뱅크에 기초하여, 보다 다양하게 변경될 수 있다.According to the inventive concept, in a semiconductor device, as the second bank has various sizes, various bank structures can be implemented in a cell region by combining the first bank and the second bank. For example, when the semiconductor device includes only the first bank of the basic size, the structure of the bank in the cell region is inevitably limited. The bank structure in the second bank may be changed more variously based on the second bank.
또한, 본 발명의 기술적 사상에 의한 반도체 소자는, 제2 방향(y 방향)으로 길쭉한 직사각형 칩의 형태를 가지고, 적층 구조체를 구성할 수 있다. 또한, 적층 구조체는, 패키지 기판 상에 2개 인접하여 배치되어 반도체 패키지를 구성할 수 있으며, 이러한 반도체 패키지는 JEDEC의 패키지 사이즈의 표준 규격을 만족시키면서, 대폭 증가한 메모리의 용량을 가질 수 있다.In addition, the semiconductor device according to the technical idea of the present invention has the shape of a rectangular chip elongated in the second direction (y-direction), and can constitute a stacked structure. In addition, two stacked structures may be disposed adjacent to each other on a package substrate to constitute a semiconductor package, and such a semiconductor package may have a significantly increased memory capacity while satisfying the standard standard for package size of JEDEC.
도 1a 내지 도 1d는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 영역과 페리 영역을 포함한 반도체 소자에 대한 평면도 및 개념도들이다.
도 2a 내지 도 3b는 본 발명의 일 실시예들에 따른 셀 영역과 페리 영역을 포함한 반도체 소자들에 대한 평면도들이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 구조를 포함한 반도체 소자에 대한 평면도이다.
도 5a 내지 도 7b는 본 발명의 일 실시예들에 따른 패드 구조 및 패드로 연결되는 배선의 구조를 포함하는 반도체 소자들에 대한 평면도들이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지에 대한 평면도, 및 단면도이다.
도 9a 내지 도 10b는 도 8a의 반도체 패키지에서, 반도체 칩들이 다양하게 적층된 구조를 보여주는 평면도들이다.1A to 1D are plan views and conceptual views of a semiconductor device including a cell region and a peripheral region according to an embodiment of the present invention.
2A to 3B are plan views of semiconductor devices including a cell region and a peripheral region according to embodiments of the present invention.
4 is a plan view of a semiconductor device including a pad structure according to an embodiment of the present invention.
5A to 7B are plan views of semiconductor devices including a structure of a pad and a structure of a wiring connected to the pad according to an exemplary embodiment of the present invention.
8A and 8B are a plan view and a cross-sectional view of a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.
9A to 10B are plan views illustrating a structure in which semiconductor chips are variously stacked in the semiconductor package of FIG. 8A .
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 도면 상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고, 이들에 대한 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and duplicate descriptions thereof are omitted.
도 1a 내지 도 1d는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 영역과 페리 영역을 포함한 반도체 소자에 대한 평면도 및 개념도들로서, 도 1b는 도 1a의 반도체 소자에서 하나의 뱅크 부분에 대한 평면도이고, 도 1c는 도 1b의 뱅크 내의 메모리 셀들과 주변 회로들 및/또는 코어 회로들과의 연결 관계를 보여주는 개념도이며, 도 1d는 도 1a의 반도체 소자에서 데이터의 입출력을 위한 배선 구조를 보여주는 개념도이다.1A to 1D are plan views and conceptual views of a semiconductor device including a cell region and a peripheral region according to an embodiment of the present invention. FIG. 1B is a plan view of one bank portion in the semiconductor device of FIG. 1A, and FIG. 1C FIG. 1B is a conceptual diagram illustrating a connection relationship between memory cells in a bank and peripheral circuits and/or core circuits, and FIG. 1D is a conceptual diagram illustrating a wiring structure for input/output of data in the semiconductor device of FIG. 1A.
도 1a 내지 도 1d를 참조하면, 본 실시예의 반도체 소자(100)는 셀 영역(110, cell area), 및 페리 영역(120, peripheral area)을 포함할 수 있다.1A to 1D , the
셀 영역(110)에는 복수의 메모리 셀들이 2차원 어레이 구조로 배치될 수 있다. 도 1a에 도시된 바와 같이, 셀 영역(110)은 다수의 뱅크들(banks, B1, B2)로 구별될 수 있고, 뱅크들(B1, B2) 각각에 복수의 메모리 셀들이 2차원 어레이 구조로 배치될 수 있다. 한편, 반도체 소자(100)는 셀 영역(110)에 배치된 메모리 셀들의 종류에 따라, 다양한 메모리 소자들로 구별될 수 있다. 예컨대, 셀 영역(110)에는, planar FET(Field Effect Transistor)이나 FinFET 등의 FET, 플래시(flash) 메모리, DRAM(Dynamic Random Access Memory), SRAM(Static Random Access Memory), EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory), PRAM(Phase-change Random Access Memory), MRAM(Magnetoresistive Random Access Memory), FeRAM(Ferroelectric Random Access Memory), RRAM(Resistive Random Access Memory) 등의 메모리 셀들이 배치될 수 있고, 그에 따라, 반도체 소자(100)는 FET 메모리, 플래시 메모리, DRAM, SRAM, EEPROM, PRAM, MRAM, FeRAM, RRAM 소자 등으로 구별될 수 있다. 본 실시예의 반도체 소자(100)는 DRAM 소자일 수 있고, 그에 따라, 셀 영역(110)에 DRAM 셀들이 배치될 수 있다. 물론, 본 실시예의 반도체 소자(100)가 DRAM 소자에 한정되는 것은 아니다. 이하, 설명의 편의상 본 실시예의 반도체 소자(100)에 대해 DRAM 소자를 위주로 설명한다.A plurality of memory cells may be arranged in a two-dimensional array structure in the
본 실시예의 반도체 소자(100)에서, 셀 영역(110)은 17개의 뱅크들(B1, B2)를 포함할 수 있다. 또한, 뱅크들(B1, B2)은 기본 사이즈의 제1 뱅크(B1)와 기본 사이즈의 1/2의 사이즈를 갖는 제2 뱅크(B2)를 포함할 수 있다. 여기서, 사이즈는 물리적인 넓이를 의미할 수도 있다. 또한, 사이즈는 뱅크 내에 포함된 메모리 셀들의 수, 즉 뱅크의 메모리 용량을 의미할 수도 있다. 예컨대, 본 실시예의 반도체 소자(100)에서, 제1 뱅크(B1)와 제2 뱅크(B2)는 제2 방향(y 방향)으로 동일 크기를 갖고, 제1 방향(x 방향)으로 제1 뱅크(B1)가 '1'의 크기를 갖는 경우, 제2 뱅크(B2)는 '1/2'의 크기를 가질 수 있다. 한편, 메모리 용량으로 설명하면, 본 실시예의 반도체 소자(100)가 16Gb(Gigabit) 또는 2GB(GigaByte)의 메모리 용량을 갖는다고 할 때, 제1 뱅크(B1)는 1Gb의 메모리 용량을 갖고, 제2 뱅크(B2)는 0.5Gb의 메모리 용량을 가질 수 있다.In the
본 실시예의 반도체 소자(100)에서, 제2 뱅크(B2)의 사이즈가 제1 뱅크(B1)의 1/2의 사이즈에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 실시예에 따라, 제2 뱅크(B2)는 제1 뱅크(B1)의 1/4, 1/8 등의 사이즈를 가질 수 있다. 즉, 제2 뱅크(B2)는 제1 뱅크(B1)의 1/(2*n)(n은 1 이상의 정수)의 사이즈를 가질 수 있다. 또한, 실시예에 따라, 제2 뱅크(B2)는 서로 다른 사이즈의 뱅크들을 포함할 수도 있다. 예컨대, 제2 뱅크(B2)는 제1 뱅크(B1)의 1/2의 사이즈의 뱅크와 1/4의 사이즈의 뱅크를 포함할 수 있다. 다만, 제2 뱅크(B2)의 전체 사이즈는 제1 뱅크(B1)의 사이즈의 정수배일 수 있다. 예컨대, 제2 뱅크(B2)는 제1 뱅크(B1)의 1/2의 사이즈의 뱅크 1개와 1/4의 사이즈의 뱅크 2개를 포함하고, 전체 사이즈는 1개의 제1 뱅크(B1)의 사이즈와 동일할 수 있다.In the
본 실시예의 반도체 소자(100)에서, 도 1a에 도시된 바와 같이, 셀 영역(110) 내에, 제1 뱅크(B1)가 15개 배치되고, 제2 뱅크(B2)가 2개 배치될 수 있다. 제1 뱅크(B1)는 제1 방향(x 방향)을 따라 5개 배치되고, 제2 방향(y 방향)을 따라 3개가 배치될 수 있다. 또한, 제2 뱅크(B2)는 제2 방향(y 방향)을 따라, 2개 배치될 수 있다. 좀더 구체적으로, 제2 뱅크(B2)는 제1 방향(x 방향)의 두 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 오른쪽에 인접하여 배치될 수 있다. 또한, 제2 뱅크(B2)는 제2 방향(y 방향)으로 아래에서부터 첫 번째와 두 번째 위치에 배치될 수 있다. In the
본 실시예의 반도체 소자(100)에서, 제1 뱅크(B1)와 제2 뱅크(B2)의 배치 구조가 도 1a의 배치 구조에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 실시예에 따라, 제2 뱅크(B2)는 제2 방향(y 방향)으로 아래에서부터 첫 번째와 세 번째 위치에 배치되거나, 두 번째와 세 번째 위치에 배치될 수 있다. 또한, 제1 방향(x 방향)의 제1 코어 영역(122)의 폭이 어느 정도 확보되는 경우, 제2 뱅크(B2)는 제1 방향(x 방향)으로 어느 위치에도 배치될 수 있다.In the
페리 영역(120)은 셀 영역(110)의 주변에 배치될 수 있다. 좀더 구체적으로 페리 영역(120)은 제2 방향(y 방향)으로 아래에서부터 첫 번째 위치의 뱅크들(B1, B2)과 두 번째 위치의 뱅크들(B1, B2) 사이에 배치되고, 제1 방향(x 방향)으로 연장할 수 있다. 페리 영역(120)에는 메모리 셀들의 동작을 위한 주변 회로들 및/또는 연산 등을 위한 코어 회로 등이 배치될 수 있다. 본 실시예의 반도체 소자(100)에서, 페리 영역(120)은, 하나의 페리 영역, 예컨대, 제1 페리 영역(P1)을 포함할 수 있다.The
한편, 셀 영역(110)의 뱅크(B1, B2)에 인접하여 코어 영역들(122, 124)이 배치될 수 있다. 페리 영역(120)에는 데이터나 커맨드의 입출력, 또는 파워/그라운드의 입력을 위한 주변 회로들이 배치되고, 코어 영역(122, 124)에는 디코더와 같이 연산을 수행하는 코어 회로들이 배치될 수 있다. 실시예에 따라, 셀 영역(110)을 제외한 나머지 영역들 전체를 페리 영역, 또는 코어-페리 영역이라고 하기도 한다. 본 실시예의 반도체 소자(100)에서, 페리 영역(120)과 코어 영역(122, 124)을 구별하여 사용할 수 있다. 페리 영역(120)와 코어 영역(122, 124)에 배치된 주변 회로들과 코어 회로들에 대해서는 도 1b, 및 도 1c의 설명 부분에서 좀더 상세히 설명한다.Meanwhile, the
본 실시예의 반도체 소자(100)에서, 셀 영역(110)의 주변에 추가 페리 영역(125)이 더 배치될 수 있다. 추가 페리 영역(125)은 제2 뱅크(B2)와 제1 방향(x 방향)으로 왼쪽에서 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1) 사이에 배치되고, 제2 방향(y 방향)으로 연장할 수 있다. 추가 페리 영역(125)에는 주변 회로들, 코어 회로들, 배선들 등이 배치될 수 있다. 예컨대, 추가 페리 영역(125)에는 뱅크들(B1, B2)에 대한 코어 회로들이 배치될 수 있다. 한편, 추가 페리 영역(125)은 제2 방향(y 방향)으로 페리 영역(120)의 상부에 배치된 제1 추가 페리 영역(AP1)과 하부에 배치된 제2 추가 페리 영역(AP2)를 포함할 수 있다. 실시예에 따라, 제2 추가 페리 영역(AP2) 상에는, 페리 영역(120) 상의 배선들을 칩 외곽의 패드들(도 4의 140 참조)로 연결하는 재배선이 배치될 수 있다.In the
제1 방향(x 방향)으로 제2 뱅크(B2)가 배치된 위치에서, 제2 방향(y 방향)으로 아래에서부터 세 번째 위치에 유사 뱅크 영역(SB)이 배치될 수 있다. 유사 뱅크 영역(SB)의 물리적인 크기는 제2 뱅크(B2)와 실질적으로 동일할 수 있다. 그러나 유사 뱅크 영역(SB)에는 메모리 셀들이 아닌 다른 소자들이 배치될 수 있다. 예컨대, 유사 뱅크 영역(SB)에 안티-퓨즈나 DC 제너레이터 등의 소자가 배치될 수 있다. 물론, 유사 뱅크 영역(SB)에 배치되는 소자들이 전술한 소자들에 한정되는 것은 아니다.A similar bank area SB may be disposed at a third location from the bottom in the second direction (y direction) at a location where the second bank B2 is disposed in the first direction (x-direction). The physical size of the similar bank area SB may be substantially the same as that of the second bank B2. However, devices other than memory cells may be disposed in the similar bank area SB. For example, a device such as an anti-fuse or a DC generator may be disposed in the similar bank region SB. Of course, the devices disposed in the similar bank region SB are not limited to the aforementioned devices.
도 1b를 통해 알 수 있듯이, 뱅크(B1, B2)의 주변에는 코어 영역(122, 124)이 배치될 수 있다. 코어 영역(122, 124)은 제2 방향(y 방향)으로 연장하는 제1 코어 영역(122)와 제1 방향(x 방향)으로 연장하는 제2 코어 영역(124)으로 구별될 수 있다. 제1 코어 영역(122)에는 로우 디코더(Row Decoder: R/D)가 배치되고, 제2 코어 영역(124)에는 컬럼 디코더(Column Decoder: C/D)가 배치될 수 있다. 로우 디코더(R/D)는 X-디코더라고 하기도 한다. 한편, 제2 코어 영역(124)에는 컬럼 디코더(C/D)와 함께 센스 앰프(Sense Amp.: S/A)가 배치될 수 있다.As can be seen from FIG. 1B , the
도 1c를 참조하여, 뱅크(B1 or B2)의 메모리 셀들과 주변에 배치된 주변 회로들 및/또는 코어 회로들과의 연결관계 및 동작들을 좀더 상세히 설명하면, 메모리 셀들의 판독 및 기록과 같은 동작을 위한 워드 라인(132)과 비트 라인(134)이 메모리 셀들(112)에 연결되도록 배치될 수 있다. 워드 라인(132)은, 예컨대, 제1 방향(x 방향)으로 연장하고, 비트 라인(134)은 제2 방향(y 방향)으로 연장할 수 있다. 워드 라인(132) 및 비트 라인(134)은, 예컨대, 구리(Cu), 알루미늄(Al), 금(Au), 텅스텐(W) 등의 메탈로 형성될 수 있다. 그러나 워드 라인(132) 및 비트 라인(134)의 재질이 메탈에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 워드 라인(132) 및 비트 라인(134)은 금속 합금, 탄소, 불순물로 도핑된 반도체, 다른 전도성의 화합물 등과 같은 전도성 물질로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 1C , the connection relationship and operations between the memory cells of the bank B1 or B2 and the peripheral circuits and/or core circuits disposed in the peripheral circuits and/or core circuits will be described in more detail. Operations such as reading and writing of memory cells A
메모리 셀들(112)의 각 행(row)은 워드 라인(132)에 연결될 수 있다. 또한, 메모리 셀들(112)의 각 열(column)은 비트 라인(134)에 연결될 수 있다. 하나의 워드 라인(132) 및 하나의 비트 라인(134)을 활성화함으로써, 예컨대, 해당 워드 라인(132)와 해당 비트 라인(134)에 전압을 인가함으로써, 그 교차점에 대응하는 하나의 메모리 셀(112)이 액세스될 수 있다. 메모리 셀(112)을 액세스하는 것은 메모리 셀(112)을 판독하거나 또는 메모리 셀(112)에 기록하는 것을 포함할 수 있다. 워드 라인(132)과 비트 라인(134)의 교차점은 메모리 셀(112)의 어드레스로 언급될 수 있다. Each row of
DRAM 소자를 가지고 메모리 셀(112)의 액세스에 대해 간단히 설명하면, 메모리 셀(112)의 논리 저장 소자, 예컨대, 커패시터는 트랜지스터를 통해 비트 라인(134)으로부터 전기적으로 절연될 수 있다. 한편, 워드 라인(132)은 트랜지스터에 연결될 수 있고 트랜지스터를 제어할 수 있다. 예컨대, 워드 라인(132)은 트랜지스터의 게이트에 연결될 수 있다. 이러한 연결 구조를 가지고, 워드 라인(132)을 활성화시키면 메모리 셀(112)의 커패시터와 그 대응하는 비트 라인(134) 사이에 전기적 연결 회로 또는 폐쇄 회로가 형성되고, 이후 비트 라인(134)을 통해 메모리 셀(112)을 판독하거나 메모리 셀(112)에 기록하기 위해 액세스될 수 있다.Briefly describing the access of the
메모리 셀(112)에 액세스하는 것은 로우 디코더(R/D) 및 컬럼 디코더(C/D)를 통해 제어될 수 있다. 예컨대, 로우 디코더(R/D)는 메모리 컨트롤러(Memory Controller: M/C)로부터 행 어드레스를 수신하고, 수신된 행 어드레스에 기초하여 적절한 워드 라인(132)을 활성화할 수 있다. 유사하게, 컬럼 디코더(C/D)는 메모리 컨트롤러(M/C)로부터 열 어드레스를 수신하고, 적절한 비트 라인(134)을 활성화할 수 있다. 메모리 컨트롤러(M/C)는, 예컨대, 페리 영역(120)에 배치될 수 있다.Accessing the
로우 디코더(R/D)와 컬럼 디코더(C/D)는 전술한 바와 같이, 뱅크(B1 or B2)에 인접하여 코어 영역(122, 124)에 배치될 수 있다. 그에 따라, 로우 디코더(R/D) 및 컬럼 디코더(C/D)는 뱅크(B1 or B2) 내에 위치된 메모리 셀(112)에 대해 각각 행 어드레스 및 열 어드레스를 수신할 수 있다. 예컨대, 뱅크(B1 or B2)는 WL_1 내지 WL_M으로 표시된 다수의 워드 라인(132), 및 DL_1 내지 DL_N으로 표시된 다수의 비트 라인(134)을 포함할 수 있으며, 여기서 M 및 N은 뱅크(B1 or B2)의 어레이 크기에 의존할 수 있다. 따라서, 워드 라인(132) 및 비트 라인(134), 예컨대, WL_2 및 DL_3을 활성화함으로써, 그 교차점에 있는 메모리 셀(112)이 액세스될 수 있다.As described above, the row decoder R/D and the column decoder C/D may be disposed in the
한편, 메모리 셀(112)에 액세스할 때, 메모리 셀(112)의 저장된 상태를 결정하기 위해 센스 앰프(S/A)에 의해 판독되거나 감지될 수 있다. 예컨대, 메모리 셀(112)에 액세스한 후, 메모리 셀(112)의 커패시터는 대응하는 비트 라인(134)으로 방전될 수 있다. 방전되면 비트 라인(134)의 전압의 변화를 야기할 수 있고, 센스 앰프(S/A)는 기준 전압과 비교하여 메모리 셀(112)의 저장된 상태를 판단할 수 있다. On the other hand, when the
센스 앰프(S/A)는 전술한 바와 같이, 제2 코어 영역(124)에 컬럼 디코더(C/D)와 함께 배치될 수 있다. 센스 앰프(S/A)는 신호의 차이를 검출 및 증폭하기 위한 다양한 트랜지스터 또는 증폭기를 포함할 수 있다. 메모리 셀(112)의 검출된 논리 상태는 컬럼 디코더(C/D), 및 입출력부(Input-Output unit: I/O)를 통해 출력될 수 있다. 실시예에 따라, 센스 앰프(S/A)는 컬럼 디코더(C/D)의 일부로 취급될 수도 있다. 한편, 입출력부(I/O)는 데이터와 커맨드의 입출력, 파워/그라운드 입력 등을 위한 패드들(도 4의 140, 150 참조)을 포함할 수 있다.As described above, the sense amplifier S/A may be disposed together with the column decoder C/D in the
메모리 컨트롤러(M/C)는 다양한 구성 요소, 예컨대, 로우 디코더(R/D), 컬럼 디코더(C/D), 센스 앰프(S/A) 등을 통해 메모리 셀(112)의 동작을 제어할 수 있다. 메모리 셀(112)의 동작은, 예컨대, 판독, 기록, 재기록, 리프레시, 방전 등을 포함할 수 있다. 메모리 컨트롤러(M/C)는 워드 라인(132) 및 비트 라인(134)을 활성화시키기 위해 행 어드레스 신호 및 열 어드레스 신호를 생성할 수 있다. 또한, 메모리 컨트롤러(M/C)는 메모리 셀(112)의 동작을 위해 사용되는 다양한 전압 또는 전류를 생성 및 제어할 수 있다. 메모리 컨트롤러(M/C)는 커맨드, 데이터 및 다른 정보를 호스트 디바이스와 통신하도록 할 수 있다. The memory controller M/C may control the operation of the
본 실시예에 반도체 소자(100)에서, 뱅크(B1 or B2) 내의 메모리 셀(112)로의 데이터의 입출력은 다음과 같은 과정을 통해 이루어질 수 있다. 메모리 셀(112)로부터의 데이터는 해당 뱅크의 제2 코어 영역(124)을 거쳐 페리 영역(120)으로 전달되고, 페리 영역(120)에서 재배선을 통해 칩의 외곽에 배치된 입출력용 패드들(도 4의 140 참조)로 전달되는 식으로 출력될 수 있다. 반대로, 입출력용 패드들(140)로부터의 데이터가 재배선, 페리 영역(120), 및 해당 뱅크의 제2 코어 영역(124)을 거쳐 해당 뱅크의 메모리 셀(112)로 전달되는 식으로 입력될 수 있다. 여기서, 데이터의 출력은 데이터의 판독을 의미하고, 데이터의 입력은 데이터의 기록 또는 저장을 의미할 수 있다.In the
한편, 도 1d를 통해 알 수 있듯이, 배선(130)은 제1 배선(130-1), 제2 배선(130-2), 제3 배선(130-3)을 포함할 수 있다. 제1 배선(130-1)은 페리 영역(120) 상에 배치될 수 있다. 제2 배선(130-2)은 제2 방향(y 방향)의 첫 번째와 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2)의 제2 코어 영역(124)의 회로들을 페리 영역(120)의 제1 배선(130-1)으로 연결할 수 있다. 제3 배선(130-3)은 제2 방향(y 방향)의 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)의 회로들을 페리 영역(120)의 제1 배선(130-1)으로 연결할 수 있다. 제2 방향(y 방향)의 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)은 제2 방향(y 방향)의 첫 번째와 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2)의 제2 코어 영역(124)과 비교하여, 페리 영역(120)으로부터 상대적으로 멀고, 그에 따라, 제2 배선(130-2)은 제3 배선(130-3)보다 짧을 수 있다.Meanwhile, as can be seen from FIG. 1D , the
이러한 배선(130) 구조에 기초하여, 상대적으로 긴 제3 배선(130-3)을 이용하는 제2 방향(y 방향)의 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 메모리 셀들(112)로의 데이터의 입출력은, 짧은 제2 배선(130-2)을 이용하는 제2 방향(y 방향)의 첫 번째와 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2)의 메모리 셀들(112)로의 데이터의 입출력보다는 느릴 수 있다. 또한, 제3 배선(130-3)은 제2 방향(y 방향)의 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2)를 통과하도록 배치될 수 있다. 덧붙여, 제2 뱅크(B2)의 경우, 제2 코어 영역(124)과 페리 영역(120)과의 거리, 및 그에 따른 배선 길이를 고려할 때, 제2 방향(y 방향)의 첫 번째와 두 번째 위치에 배치될 수 있다. 또한, 페리 영역(120)은 제2 방향(y 방향)의 첫 번째 위치의 제2 뱅크(B2)와 두 번째 위치의 제2 뱅크(B2) 사이에 배치될 수 있다.Based on the structure of the
도 1a에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 반도체 소자(100)는 제2 방향(y 방향)으로 길쭉한 직사각형 칩의 형태를 가질 수 있다. 직사각형 칩은 제1 방향(x 방향)으로 제1 폭(W1)을 가지며, 제2 방향(y 방향)으로 제2 폭(W2)을 가질 수 있다. 예컨대, 제1 폭(W1)은 5.7㎜이하이고, 제2 폭(W2)는 10.92㎜이하일 수 있다. 물론, 제1 폭(W1), 및 제2 폭(W2)이 상기 수치들에 한정되는 것은 아니다. 본 실시예의 반도체 소자(100)를 가지고 반도체 패키지를 구현할 때, 전술한 칩의 사이즈에 기초하여 반도체 소자(100)는 패키지 기판(도 8a의 200 참조) 상에 제1 방향(x 방향)으로 인접하여 2개가 실장될 수 있다. 또한, 반도체 소자(100)는 x-y 평면 상에 수직하는 제3 방향으로 복수 개가 적층되어 적층 구조체(도 8a의 100S1, 100S2 참조)를 구성할 수 있다. 반도체 소자(100)와 유사하게, 적층 구조체(100S1, 100S2)는 패키지 기판(200) 상에 제1 방향(x 방향)으로 인접하여 2개가 실장될 수 있다. 본 실시예의 반도체 소자(100)를 포함한 반도체 패키지에 대해서는, 도 8a 내지 도 10b의 설명 부분에서 좀더 상세히 설명한다.As shown in FIG. 1A , the
본 실시예의 반도체 소자(100)에서, 제2 뱅크(B2)가 다양한 사이즈를 가짐에 따라, 제1 뱅크(B1)와 제2 뱅크(B2)를 조합하여, 셀 영역(110)에 다양한 뱅크 구조를 구현할 수 있다. 참고로, 반도체 소자가 기본 사이즈의 제1 뱅크(B1)만을 포함하는 경우, 셀 영역(110) 내의 뱅크 구조는 한정적일 수 밖에 없다. 예컨대, 16Gb의 반도체 소자(100)가 1Gb의 기본 사이즈의 제1 뱅크(B1)만을 포함하는 경우, 셀 영역(110)에는 16개의 제1 뱅크(B1)을 가지고, 1*16, 2*8, 및 4*4 배치 구조만이 가능할 수 있다. 그에 반해, 16Gb의 반도체 소자(100)가 1Gb의 기본 사이즈의 제1 뱅크(B1)와 0.5Gb의 1/2의 사이즈의 제2 뱅크(B2)를 함께 포함하는 경우, 셀 영역(110)에는 15개의 제1 뱅크(B1)와 2개의 제2 뱅크(B2)를 가지고, 3*5 + 0.5*2 등과 같은 배치 구조가 가능해질 수 있다. 물론, 셀 영역(110) 내의 뱅크 구조는 제2 뱅크(B2)의 다양한 사이즈에 기초하여, 보다 다양하게 변경될 수 있다.In the
본 실시예의 반도체 소자(100)는, 제2 방향(y 방향)으로 길쭉한 직사각형 칩의 형태를 가지고, 복수 개가 적층된 형태의 적층 구조체를 구성할 수 있다. 또한, 적층 구조체는, 직사각형 칩의 형태에 기초하여, 패키지 기판(200) 상에 2개 인접하여 배치되어 반도체 패키지를 구성할 수 있으며, 이러한 반도체 패키지는 JEDEC(Joint Electron Device Engineering Council)의 패키지 사이즈의 표준 규격을 만족시키면서, 대폭 증가한 메모리 용량을 가질 수 있다.The
도 2a 내지 도 3b는 본 발명의 일 실시예들에 따른 셀 영역과 페리 영역을 포함한 반도체 소자들에 대한 평면도들이다. 도 1a 내지 도 1d의 설명 부분에서 이미 설명한 내용은 간단히 설명하거나 생략한다.2A to 3B are plan views of semiconductor devices including a cell region and a peripheral region according to embodiments of the present invention. Contents already described in the description part of FIGS. 1A to 1D will be briefly described or omitted.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 실시예의 반도체 소자(100a)는 페리 영역(120a)의 구조, 및 그에 따른 셀 영역(110a)의 제1 뱅크(B1)의 구조에서, 도 1a의 반도체 소자(100)와 다를 수 있다. 구체적으로, 본 실시예의 반도체 소자(100a)에서, 페리 영역(120a)는 제1 페리 영역(P1)과 제2 페리 영역(P2)을 포함할 수 있다. 제1 페리 영역(P1)은 도 1a의 반도체 소자(100)의 제1 페리 영역(P1)과 실질적으로 동일할 수 있다. 그에 따라, 제1 페리 영역(P1)은 제2 방향(y 방향)의 첫 번째 위치의 뱅크(B1, B2)와 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2) 사이에 배치되고, 제1 방향(x 방향)으로 연장할 수 있다.Referring to FIGS. 2A and 2B , the
제2 페리 영역(P2)은 제2 방향(y 방향)으로 반도체 소자(100a)의 최외곽 쪽에 배치되고, 제1 방향(x 방향)으로 연장할 수 있다. 예컨대, 제2 페리 영역(P2)은 제2 방향(y 방향)의 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 외부에 배치될 수 있다. 또한, 제1 페리 영역(P1)과 제2 페리 영역(P2) 사이에 제2 방향(y 방향)의 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2)와 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)가 배치될 수 있다.The second peripheral region P2 may be disposed on the outermost side of the
제2 페리 영역(P2)이 제2 방향(y 방향)으로 반도체 소자(100a)의 외곽 부분에 배치됨에 따라, 셀 영역(110a)에서 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)이 제2 방향(y 방향)으로 상부 쪽에 배치될 수 있다. 예컨대, 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)은 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)와 제2 페리 영역(P2) 사이에 배치될 수 있다.As the second peripheral region P2 is disposed at the outer portion of the
한편, 도 2b를 통해 알 수 있듯이, 배선(130a)은 제1 배선(130-1), 제2 배선(130-2), 및 제4 배선(130-4)을 포함할 수 있다. 제1 배선(130-1)은 페리 영역(120a) 상에 배치될 수 있다. 제2 배선(130-2)은 제2 방향(y 방향)의 첫 번째 내지 세 번째 위치의 뱅크(B1, B2)의 제2 코어 영역(124)의 회로들을 페리 영역(120a)의 제1 배선(130-1)으로 연결할 수 있다. 좀더 구체적으로, 제2 배선(130-2)은 제2 방향(y 방향)의 첫 번째 및 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2)의 제2 코어 영역(124)의 회로들을 제1 페리 영역(P1)의 제1 배선(130-1)으로 연결하고, 또한, 제2 방향(y 방향)의 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)의 회로들을 제2 페리 영역(P2)의 제1 배선(130-1)으로 연결할 수 있다. 제4 배선(130-4)은 제1 페리 영역(P1)의 제1 배선(130-1)을 제2 페리 영역(P2)의 제1 배선(130-1)으로 연결할 수 있다. 제4 배선(130-4)은 제1 추가 페리 영역(AP1) 상에 배치될 수 있다. Meanwhile, as can be seen from FIG. 2B , the
본 실시예의 반도체 소자(100a)에서, 뱅크(B1, B2) 내의 메모리 셀(112)로의 데이터의 입출력은, 다음과 같은 과정을 통해 이루어질 수 있다. 제2 방향(y 방향)의 첫 번째와 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2)의 메모리 셀(112)로부터의 데이터는 해당 뱅크의 제2 코어 영역(124)을 거쳐 제1 페리 영역(P1)으로 전달되고, 제1 페리 영역(P1)에서 제4 배선(130-4)을 통해 제2 페리 영역(P2) 상에 배치된 입출력용 패드들(도 4의 140 참조)로 전달되는 식으로 출력될 수 있다. 또한, 제2 방향(y 방향)의 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 메모리 셀(112)로부터의 데이터는 해당 뱅크의 제2 코어 영역(124)을 거쳐 제2 페리 영역(P2)으로 전달된 후, 바로 제2 페리 영역(P2) 상에 배치된 입출력용 패드들(140)로 전달되는 식으로 출력될 수 있다. 반대로, 입출력용 패드들(140)로부터의 데이터는, 제2 페리 영역(P2), 제1 페리 영역(P1), 및 해당 뱅크의 제2 코어 영역(124)을 거쳐 해당 뱅크의 메모리 셀(112)로 전달되거나, 또는 제2 페리 영역(P2), 및 해당 뱅크의 제2 코어 영역(124)을 거쳐 해당 뱅크의 메모리 셀(112)로 전달되는 식으로 입력될 수 있다.In the
본 실시예의 반도체 소자(100a)에서, 제2 페리 영역(P2)이 제2 방향(y 방향)의 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 외부에 추가적으로 배치되고, 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)가 제2 페리 영역(P2)에 바로 인접하여 배치될 수 있다. 그에 따라, 도 1a의 반도체 소자(100)에서와 같은, 뱅크(B1, B2)를 통과하여 길게 연장하는 제3 배선(130-3)이 존재하지 않을 수 있다. 또한, 제4 배선(130-4)이 제1 추가 페리 영역(AP1) 상에 배치되므로, 별도의 배선 영역이 필요하거나, 또는 배선이 뱅크를 통과해야 하는 등의 문제는 발생하지 않을 수 있다. 더 나아가, 본 실시예의 반도체 소자(100a)에서는, 제2 페리 영역(P2)에 입출력용 패드들(140)이 배치되고, 그에 따라, 제2 페리 영역(P2)의 제1 배선(130-1)이 패드들(140)에 바로 연결될 수 있으므로, 도 1a의 반도체 소자(100)에서와 같은 재배선이 불필요할 수 있다. 결과적으로, 본 실시예의 반도체 소자(100a)는, 페리 영역(120a)의 구조와 셀 영역(110a)의 뱅크(B1, B2) 구조에 기초하여, 메모리 셀(112)로의 데이터의 입출력이 매우 용이하고 신속하게 이루어질 수 있다.In the
한편, 본 실시예의 반도체 소자(100a), 역시, 제2 방향(y 방향)으로 길쭉한 직사각형 칩의 형태를 가질 수 있다. 직사각형 칩은 제1 방향(x 방향)으로 5.7㎜이하의 제1 폭(W1)을 가지며, 제2 방향(y 방향)으로 10.92㎜이하의 제2 폭(W2)을 가질 수 있다. 물론, 제1 폭(W1)과 제2 폭(W2)이 상기 수치에 한정되는 것은 아니다. 다만, 본 실시예의 반도체 소자(100a)의 경우, 제2 페리 영역(P2)을 더 포함하기 때문에, 도 1a의 반도체 소자(100)와 비교하여, 뱅크(B1, B2) 및 제2 코어 영역(124) 중 적어도 하나는 제2 방향(y 방향)의 폭이 작을 수 있다.Meanwhile, the
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 실시예의 반도체 소자(100b)는 페리 영역(120a)의 구조, 및 그에 따른 셀 영역(110b)의 제1 뱅크(B1)의 구조에서, 도 2a의 반도체 소자(100a)와 다를 수 있다. 구체적으로, 본 실시예의 반도체 소자(100b)에서, 페리 영역(120b)는, 도 2a의 반도체 소자(100a)와 유사하게, 제1 페리 영역(P1)과 제2 페리 영역(P2)을 포함할 수 있다. 제1 페리 영역(P1)은 도 2a의 반도체 소자(100a)의 제1 페리 영역(P1)과 실질적으로 동일할 수 있다. 그에 따라, 제1 페리 영역(P1)은 제2 방향(y 방향)의 첫 번째 위치의 뱅크(B1, B2)와 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2) 사이에 배치되고, 제1 방향(x 방향)으로 연장할 수 있다.Referring to FIGS. 3A and 3B , the
그러나 도 2a의 반도체 소자(100a)와 달리, 제2 페리 영역(P2)은, 제2 방향(y 방향)의 두 번째의 뱅크(B1, B2)와 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 사이에 배치되고, 제1 방향(x 방향)으로 연장될 수 있다. 또한, 제1 페리 영역(P1)과 제2 페리 영역(P2) 사이에 제2 방향(y 방향)의 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2)가 배치될 수 있다.However, unlike the
제2 페리 영역(P2)이 제2 방향(y 방향)의 두 번째의 뱅크(B1, B2)와 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 사이에 배치됨에 따라, 셀 영역(110a)에서 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)은 제2 방향(y 방향)으로 하부 쪽에 배치될 수 있다. 예컨대, 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)은 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)와 제2 페리 영역(P2) 사이에 배치될 수 있다.As the second peripheral region P2 is disposed between the second banks B1 and B2 in the second direction (y-direction) and the first bank B1 in the third position, in the
한편, 도 3b를 통해 알 수 있듯이, 배선(130b)은 제1 배선(130-1), 제2 배선(130-2), 및 제4 배선(130-4')을 포함할 수 있다. 제1 배선(130-1)은 페리 영역(120b) 상에 배치될 수 있다. 제2 배선(130-2)은 제2 방향(y 방향)의 첫 번째 내지 세 번째 위치의 뱅크(B1, B2)의 제2 코어 영역(124)의 회로들을 페리 영역(120b)의 제1 배선(130-1)으로 연결할 수 있다. 좀더 구체적으로, 제2 배선(130-2)은 제2 방향(y 방향)의 첫 번째 및 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2)의 제2 코어 영역(124)의 회로들을 제1 페리 영역(P1)의 제1 배선(130-1)으로 연결하고, 또한, 제2 방향(y 방향)의 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)의 회로들을 제2 페리 영역(P2)의 제1 배선(130-1)으로 연결할 수 있다. 제4 배선(130-4')은 제1 페리 영역(P1)의 제1 배선(130-1)을 제2 페리 영역(P2)의 제1 배선(130-1)으로 연결할 수 있다. 제4 배선(130-4')은 제1 추가 페리 영역(AP1) 상에 배치될 수 있다. Meanwhile, as can be seen from FIG. 3B , the
한편, 본 실시예의 반도체 소자(100b)에서, 추가 페리 영역(125a)은 제1 내지 제3 추가 페리 영역(AP1, AP2, AP3)을 포함할 수 있다. 제1 추가 페리 영역(AP1)은 제2 뱅크(B2)와 제1 방향(x 방향)으로 왼쪽에서 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1) 사이에 배치되고, 제2 방향(y 방향)의 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2)에 대응하는 부분에 배치되며, 제2 방향(y 방향)으로 연장할 수 있다. 제2 추가 페리 영역(AP2)은 제2 뱅크(B2)와 제1 방향(x 방향)으로 왼쪽에서 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1) 사이에 배치되고, 제2 방향(y 방향)의 첫 번째 위치의 뱅크(B1, B2)에 대응하는 부분에 배치되며, 제2 방향(y 방향)으로 연장할 수 있다. 제3 추가 페리 영역(AP3)은 제2 뱅크(B2)와 제1 방향(x 방향)으로 왼쪽에서 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1) 사이에 배치되고, 제2 방향(y 방향)의 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)에 대응하는 부분에 배치되며, 제2 방향(y 방향)으로 연장할 수 있다.Meanwhile, in the
본 실시예의 반도체 소자(100b)에서, 뱅크(B1, B2) 내의 메모리 셀(112)로의 데이터의 입출력은, 다음과 같은 과정을 통해 이루어질 수 있다. 제2 방향(y 방향)의 첫 번째와 두 번째 위치의 뱅크(B1, B2)의 메모리 셀(112)로부터의 데이터는 해당 뱅크의 제2 코어 영역(124)을 거쳐 제1 페리 영역(P1)으로 전달되고, 제1 페리 영역(P1)에서 재배선을 통해 칩의 외곽에 배치된 입출력용 패드들(140)로 전달되는 식으로 출력될 수 있다. 또한, 제2 방향(y 방향)의 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 메모리 셀(112)로부터의 데이터는 해당 뱅크의 제2 코어 영역(124)을 거쳐 제2 페리 영역(P2)으로 전달되고, 제4 배선(130-4')을 통해 제1 페리 영역(P1)으로 전달되며, 제1 페리 영역(P1)에서 재배선을 통해 입출력용 패드들(140)로 전달되는 식으로 출력될 수 있다. 반대로, 입출력용 패드들(140)로부터의 데이터는, 재배선, 제1 페리 영역(P1), 및 해당 뱅크의 제2 코어 영역(124)을 거쳐 해당 뱅크의 메모리 셀(112)로 전달되거나, 또는 재배선, 제1 페리 영역(P1), 제2 페리 영역(P2), 및 해당 뱅크의 제2 코어 영역(124)을 거쳐 해당 뱅크의 메모리 셀(112)로 전달되는 식으로 입력될 수 있다.In the
본 실시예의 반도체 소자(100b)에서, 제2 페리 영역(P2)이 제2 방향(y 방향)의 두 번째의 뱅크(B1, B2)와 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1) 사이에 추가적으로 배치되고, 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)이 제2 페리 영역(P2)에 바로 인접하여 배치될 수 있다. 그에 따라, 도 1a의 반도체 소자(100)에서와 같은, 뱅크(B1, B2)를 통과하여 길게 연장하는 제3 배선(130-3)이 존재하지 않을 수 있다. 또한, 제4 배선(130-4')이 제1 추가 페리 영역(AP1) 상에 배치되므로, 별도의 배선 영역이 필요하거나, 또는 배선이 뱅크를 통과해야 하는 등의 문제는 발생하지 않을 수 있다. 결과적으로, 본 실시예의 반도체 소자(100b)는, 페리 영역(120b)의 구조와 셀 영역(110b)의 뱅크(B1, B2) 구조에 기초하여, 메모리 셀(112)로의 데이터의 입출력이 매우 용이하고 신속하게 이루어질 수 있다.In the
한편, 본 실시예의 반도체 소자(100b)는, 도 2a의 반도체 소자(100a)와 비교하여, 제2 방향(y 방향)으로 제2 페리 영역(P2)과 세 번째 위치의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)의 위치만 변경되었으므로, 제1 방향(x 방향)의 제1 폭(W1)과 제2 방향(y 방향)의 제2 폭(W2)은 도 2a의 반도체 소자(100a)의 제1 폭(W1) 및 제2 폭(W2)과 실질적으로 동일할 수 있다.Meanwhile, the
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 구조를 포함한 반도체 소자에 대한 평면도이다. 도 1a 내지 도 3b의 설명 부분에서 이미 설명한 내용을 간단히 설명하거나 생략한다.4 is a plan view of a semiconductor device including a pad structure according to an embodiment of the present invention. The content already described in the description part of FIGS. 1A to 3B will be briefly described or omitted.
도 4를 참조하면, 본 실시예의 반도체 소자(100a)는, "L"자 형태의 칩 패드(CP)를 포함할 수 있다. 칩 패드(CP)는 패키지용 제1 패드(140)와 테스트용 제2 패드(150)를 포함할 수 있다. 제1 패드(140)는 반도체 소자(100a)가 패키지 기판(도 8a의 200 참조) 상에 와이어 본딩을 통해 실장될 때, 와이어에 연결되는 패드에 해당할 수 있다. 제2 패드(150)는 반도체 소자(100a)가 정상인지 테스트할 때 사용하는 패드일 수 있고, 테스트 후에는 이용되지 않은 패드일 수 있다.Referring to FIG. 4 , the
제1 패드(140)는 제2 페리 영역(AP2) 상에 배치될 수 있고, 제1 방향(x 방향)을 따라 배치될 수 있다. 도 4에서, 제1 패드(140)가 제1 방향(x 방향)을 따라 1열로 배치되고 있지만, 실시예에 따라, 제1 패드(140)는 2열 이상으로 배치될 수도 있다. 한편, 명확하게 구별하고 있지 않지만, 제1 패드(140)는 데이터 패드, 커맨드 패드, 및 파워/그라운드 패드 등으로 구별될 수 있다. 여기서, 데이터 패드를 통해 데이터들이 전송되고, 커맨드 패드를 통해 커맨드가 전송되며, 파워/그라운드 패드를 통해 파워와 그라운드 전압이 인가될 수 있다. 일반적으로 데이터 패드와 파워/그라운드 패드는 양쪽 외곽 쪽에 배치되고, 커맨드 패드는 중앙 부분에 배치될 수 있다. 그러나 데이터 패드, 커맨드 패드, 및 파워/그라운드 패드의 위치가 전술한 위치에 한정되는 것은 아니다.The
제2 패드(150)는 제2 페리 영역(AP2)에 인접하는 변 부분에 배치될 수 있다. 예컨대, 제2 패드(150)는 제2 페리 영역(AP2)에 인접하는 오른쪽 변 부분에 배치되고, 제2 방향(y 방향)을 따라 배치될 수 있다. 그러나 그에 한하지 않고, 제2 패드(150)는 제2 페리 영역(AP2)에 인접하는 왼쪽 변 부분에 배치될 수도 있다. 한편, 제2 패드(150)의 기능상, 제2 패드(150)는 제2 페리 영역(AP2)과 마주보는 변 부분에 배치될 수도 있다. 그러나 그러한 패드 구조의 경우 "L"자 형태를 벗어날 수 있다.The
한편, 본 실시예의 반도체 소자(100a)는 도 2a의 반도체 소자(100a)일 수 있다. 그에 따라, 본 실시예의 반도체 소자(100a)에서, 페리 영역(120a)은 제1 페리 영역(P1)과 제2 페리 영역(P2)을 포함하고, 제2 페리 영역(P2)은 제2 방향(y 방향)으로 반도체 소자(100a)의 최외곽에 배치될 수 있다. 또한, 제2 방향(y 방향)의 세 번째의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)은 세 번째의 제1 뱅크(B1)의 상부 쪽에 배치되어 제2 페리 영역(P2)에 바로 인접할 수 있다. 그러나 본 실시예의 반도체 소자(100a)가 도 2a의 반도체 소자(100a)에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 본 실시예의 반도체 소자(100a)는 제1a의 반도체 소자(100) 또는 도 3a의 반도체 소자(100b)일 수도 있다.Meanwhile, the
본 실시예의 반도체 소자(100a)는 "L"자 형태의 칩 패드(CP)를 포함함으로써, 칩 테스트 시에 이용 가능한 패드의 수를 증가시키고, 또한, 요구되는 반도체 패키지의 사이즈에 맞춰 용이하게 패키징이 수행되도록 할 수 있다. 예컨대, 본 실시예의 반도체 소자(100a)에서, 제2 페리 영역(P2)이 배치된 단변 부분에 패키징 시에 필요한 제1 패드(140)를 배치하고, 인접하는 장변 부분에 테스트 시에 필요한 제2 패드(150)를 배치함으로써, 칩 테스트 시에 활용 가능한 패드의 수를 늘릴 수 있고, 또한, 패키징 시의 패드가 한쪽 변에 몰아서 배치되기 때문에, 반도체 패키지의 요구되는 사이즈에 맞춰 반도체 소자(100a)가 패키지 기판(200) 상에 용이하게 배치될 수 있다. 제1 패드(140)와 패키지 기판(200) 사이의 연결 구조에 대해서는 도 8a 내지 도 10b의 설명 부분에서 좀더 상세히 설명한다.The
도 5a 내지 도 7b는 본 발명의 일 실시예들에 따른 패드 구조 및 패드로 연결되는 배선의 구조를 포함하는 반도체 소자들에 대한 평면도들로서, 도 5a 및 도 5b는 도 1a의 반도체 소자에 대응하고, 도 6a 및 도 6b는 도 2a의 반도체 소자에 대응할 수 있다. 도 1a 내지 도 4의 설명 부분에서 이미 설명한 내용은 간단히 설명하거나 생략한다.5A to 7B are plan views of semiconductor devices including a pad structure and a structure of a wiring connected to the pad according to an embodiment of the present invention, wherein FIGS. 5A and 5B correspond to the semiconductor device of FIG. 1A, and , FIGS. 6A and 6B may correspond to the semiconductor device of FIG. 2A . Contents already described in the description part of FIGS. 1A to 4 will be briefly described or omitted.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 본 실시예의 반도체 소자(100)는 패키지용 제1 패드(140a)를 포함할 수 있다. 제1 패드(140a)는 반도체 소자(100)의 단변에 배치된 제1 부분 패드(142)와 장변에 배치된 제2 부분 패드(144)를 포함할 수 있다. 예컨대, 제1 부분 패드(142)는 커맨드 패드이고, 제2 부분 패드(144)는 데이터 패드일 수 있다. 한편, 파워/그라운드 패드는 제1 부분 패드(142) 및 제2 부분 패드(144) 중 적어도 하나에 포함될 수 있다. 덧붙여, 도 5a 및 도 5b의 반도체 소자(100)는 도 1a의 반도체 소자(100)가 180° 회전된 형태에 대응할 수 있다.5A and 5B , the
도 5b에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 반도체 소자(100)는, 제1 패드(140a)의 구조를 가지고, 페리 영역(120)의 배선(130), 예컨대, 제1 배선(130-1)을 제1 패드(140a)로 연결하는 재배선(160)을 포함할 수 있다. 재배선(160)은 제1 재배선(162)과 제2 재배선(164)을 포함할 수 있다. 제1 재배선(162)은 페리 영역(120)의 배선(130)을 제1 부분 패드(142)로 연결하고, 제2 재배선(164)은 페리 영역(120)의 배선(130)을 제2 부분 패드(144)로 연결할 수 있다.As shown in FIG. 5B , the
도 6a 및 도 6b를 참조하면, 본 실시예의 반도체 소자(100a)는 패키지용 제1 패드(140)를 포함할 수 있다. 제1 패드(140)는 반도체 소자(100a)의 제2 페리 영역(P2)에 배치되고, 제1 방향(x 방향)을 따라 배치될 수 있다. 구별하여 도시하지는 않았지만, 제1 패드(140)는, 데이터 패드, 커맨드 패드, 파워/그라운드 패드를 포함할 수 있다. 예컨대, 데이터 패드와 파워/드라운드 패드는 양쪽 외곽 쪽에 배치되고, 커맨드 패드는 중앙 부분에 배치될 수 있다.6A and 6B , the
도 6b에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 반도체 소자(100a)는, 제1 패드(140)의 구조를 가지고, 별도의 재배선을 포함하지 않을 수 있다. 다시 말해서, 제2 페리 영역(P2)의 제1 배선(130-1)은 별도의 재배선없이 제1 패드(140)에 바로 연결될 수 있다. 또한, 제1 페리 영역(P1)의 제1 배선(130-1)은 제4 배선(130-4)을 통해 제1 페리 영역(P1)의 제1 배선(130-1)에 연결되고, 제1 페리 영역(P1)의 제1 배선(130-1)은 별도의 재배선없이 제1 패드(140)에 바로 연결될 수 있다.As shown in FIG. 6B , the
도 7a 및 도 7b를 참조하면, 본 실시예의 반도체 소자(100c)는 패키지용 제1 패드(140b)를 포함할 수 있다. 제1 패드(140b)는 반도체 소자(100c)의 단변에 배치된 제1 부분 패드(142a)와 장변에 배치된 제2 부분 패드(144a)를 포함할 수 있다. 예컨대, 제1 부분 패드(142a)는 데이트 패드와 커맨드 패드를 포함하고, 제2 부분 패드(144a)는 파워/그라운드 패드를 포함할 수 있다. 그러나 제1 부분 패드(142a)와 제2 부분 패드(144a)의 종류가 전술한 패드들에 한정되는 것은 아니다.7A and 7B , the
도 7b에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 반도체 소자(100c)는, 제1 패드(140b)의 구조를 가지고, 제2 페리 영역(P2)의 제1 배선(130-1) 중 일부를 제2 부분 패드(144a)로 연결하는 재배선(160a)을 포함할 수 있다. 한편, 제2 페리 영역(P2)의 제1 배선(130-1) 중 일부는 재배선없이 제1 부분 패드(142a)에 바로 연결될 수 있다. 또한, 제1 페리 영역(P1)의 제1 배선(130-1)은 제4 배선(130-4)을 통해 제2 페리 영역(P2)의 제1 배선(130-1)으로 연결되고, 다시, 제2 페리 영역(P2)의 제1 배선(130-1) 중 일부는 재배선(160a)를 통해 제2 부분 패드(144a)로 연결되고, 나머지 일부는 재배선없이 제1 부분 패드(142a)에 바로 연결될 수 있다.As shown in FIG. 7B , the
한편, 본 실시예의 반도체 소자(100c)에서, 제1 패드(140b)의 배치 구조만을 제외하고, 셀 영역(110a)의 뱅크(B1, B2) 구조와 페리 영역(120a)의 구조는 도 2a의 반도체 소자(100a)와 실질적으로 동일할 수 있다. 그에 따라, 본 실시예의 반도체 소자(100c)에서, 페리 영역(120a)은 제1 페리 영역(P1)과 제2 페리 영역(P2)을 포함하고, 제2 페리 영역(P2)은 제2 방향(y 방향)으로 반도체 소자(100c)의 최외곽에 배치될 수 있다. 또한, 제2 방향(y 방향)의 세 번째의 제1 뱅크(B1)의 제2 코어 영역(124)은 세 번째의 제1 뱅크(B1)의 상부 쪽에 배치되어 제2 페리 영역(P2)에 바로 인접할 수 있다.Meanwhile, in the
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지에 대한 평면도, 및 단면도로서, 도 8a은 밀봉재를 생략하고 적층 구조체 각각의 최하부의 제1 반도체 칩(100-1)만을 보여주고, 도 8b는 도 8a의 I-I' 부분을 절단하여 보여준다. 도 1a 내지 도 7b의 설명 부분에서 이미 설명한 내용은 간단히 설명하거나 생략한다.8A and 8B are a plan view and a cross-sectional view of a semiconductor package according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8A shows only the first semiconductor chip 100-1 at the bottom of each of the stacked structures without the sealing material; FIG. 8B is a cutaway view of part II′ of FIG. 8A . The content already described in the description part of FIGS. 1A to 7B will be briefly described or omitted.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 본 실시예의 반도체 패키지(1000)는 패키지 기판(200), 적층 구조체(100S1, 100S2), 접착층(300), 및 밀봉재(400)를 포함할 수 있다.8A and 8B , the
패키지 기판(200)은 상부에 적층 구조체(100S1, 100S2)가 실장되는 지지 기판으로서, 내부에 적어도 한 층의 배선을 포함할 수 있다. 배선이 다중층으로 형성된 경우에, 다른 층의 배선들은 수직 콘택을 통해 서로 연결될 수 있다. 실시예에 따라, 패키지 기판(200)은 상면 및 하면 상의 패드들을 바로 연결하는 관통 전극을 포함할 수도 있다. 도시하지 않았지만, 패키지 기판(200)의 상면과 하면 상에는 솔더 레지스트 등의 보호층들이 형성될 수 있다. 패드들은 배선층의 배선들에 연결되고 보호층으로부터 노출될 수 있다. 패키지 기판(200)은, 예컨대, 세라믹 기판, PCB, 유기 기판, 인터포저 기판 등을 기반으로 형성될 수 있다. 실시예에 따라, 패키지 기판(200)은 실리콘 웨이퍼와 같은 액티브 웨이퍼로 형성될 수도 있다.The
도 8b에 도시된 바와 같이, 패키지 기판(200)의 하면 상에는 범프 또는 솔더 볼과 같은 외부 접속 부재(250)가 배치될 수 있다. 외부 접속 부재(250)는 반도체 패키지(1000)를 외부의 시스템 기판이나 메인 보드에 실장시키는 기능을 할 수 있다. 외부 접속 부재(250)는 다중층 또는 단일층으로 형성될 수 있다. 예컨대, 다중층으로 형성되는 경우에, 외부 접속 부재(250)는 구리 필러(pillar) 및 솔더를 포함할 수 있다. 단일층으로 형성되는 경우에, 접속 부재(330)는 주석-은 솔더나 구리를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 8B , an
한편, 본 실시예의 반도체 패키지(1000)는 DRAM 소자를 포함하는 반도체 패키지에 대한 JEDEC의 표준 규격을 만족할 수 있다. 그에 따라, 패키지 기판(200)은 제1 방향(x 방향)으로 제3 폭(W3)을 가지며, 제2 방향(y 방향)으로 제4 폭(W4)을 가질 수 있다. 예컨대, 제3 폭(W3)은 12.4㎜이고, 제4 폭(W4)은 14㎜일 수 있다.Meanwhile, the
적층 구조체(100S1, 100S2)는 제1 적층 구조체(100S1)와 제2 적층 구조체(100S2)를 포함할 수 있다. 제1 적층 구조체(100S1)와 제2 적층 구조체(100S2)는 패키지 기판(200) 상에 제1 방향(x 방향)을 따라 인접하여 배치될 수 있다. 제1 적층 구조체(100S1)와 제2 적층 구조체(100S2)의 구조는 실질적으로 동일하므로, 이하에서는 제1 적층 구조체(100S1) 위주로 설명한다.The stacked structures 100S1 and 100S2 may include a first stacked structure 100S1 and a second stacked structure 100S2 . The first stacked structure 100S1 and the second stacked structure 100S2 may be disposed adjacent to each other in the first direction (x-direction) on the
제1 적층 구조체(100S1)는 순차적으로 적층된 제1 내지 제4 반도체 칩(100-1 ~ 100-4)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제4 반도체 칩(100-1 ~ 100-4) 각각은 예컨대, 도 2a의 반도체 소자(100a)일 수 있다. 그러나 그에 한하지 않고, 제1 내지 제4 반도체 칩(100-1 ~ 100-4) 각각은 도 1a, 도 3a, 도 7a의 반도체 소자(100, 100b, 100c)일 수도 있다. The first stacked structure 100S1 may include first to fourth semiconductor chips 100-1 to 100-4 sequentially stacked. Each of the first to fourth semiconductor chips 100-1 to 100-4 may be, for example, the
제1 내지 제4 반도체 칩(100-1 ~ 100-4) 각각은 접착층(300)을 통해 패키지 기판(200), 또는 하부의 대응하는 반도체 칩 상에 접착되어 적층될 수 있다. 접착층(300)은 예컨대, DAF(Die Attach Film)일 수 있다. 그러나 접착층(300)의 재질이 DAF에 한정되는 것은 아니다. 한편, 제1 적층 구조체(100S1)는 제1 내지 제4 반도체 칩(100-1 ~ 100-4)의 적층 구조에 따라 다양한 형태를 가질 수 있다. 제1 적층 구조체(100S1)의 적층 구조에 대해서는 도 9a 내지 도 10b의 설명 부분에서 좀더 상세히 설명한다.Each of the first to fourth semiconductor chips 100 - 1 to 100 - 4 may be laminated by being adhered to the
밀봉재(400)는 패키지 기판(200) 상의 적층 구조체(100S1, 100S2)를 덮어 밀봉할 수 있다. 밀봉재(400)는 적층 구조체(100S1, 100S2)를 밀봉하여 외부의 물리적 화학적 손상으로부터 보호할 수 있다. 밀봉재(400)는 예컨대, 에폭시 계열 물질, 열경화성 물질, 열가소성 물질, UV 처리(UV curable) 물질 등으로 형성될 수 있다. 또한, 밀봉재(400)는 레진으로 형성되되, 필러(filler)를 함유할 수 있다. 도 8b에 도시된 바와 같이, 밀봉재(400)는 적층 구조체(100S1, 100S2)의 상면을 덮는 구조를 가질 수 있다. 그러나 그에 한하지 않고, 밀봉재(400)는 적층 구조체(100S1, 100S2)의 상면을 덮지 않는 구조를 가질 수도 있다. 예컨대, 제4 반도체 칩(100-4)의 상면은 밀봉재(400)로부터 노출될 수 있다.The sealing
본 실시예의 반도체 패키지(1000)에서, 적층 구조체(100S1, 100S2) 각각을 구성하는 반도체 칩들의 개수가 4개에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 적층 구조체(100S1, 100S2) 각각은 1개 내지 3개 또는 5개 이상의 반도체 칩들을 포함할 수 있다. 참고로, 본 실시예의 반도체 패키지(1000)에서, 적층 구조체(100S1, 100S2)의 제1 내지 제4 반도체 칩(100-1 ~ 100-4) 각각은 도 2a의 반도체 소자(100a)이고, 반도체 소자(100a)가 16Gb의 메모리 용량을 가지며, 반도체 패키지(1000)가 8GB, 즉 64Gb의 메모리 용량을 갖는 경우, 4개의 반도체 칩이 패키지 기판(200) 상에 배치될 수 있고, 적층 구조체(100S1, 100S2) 각각은 2개의 반도체 칩을 포함할 수 있다. 또한, 반도체 패키지(1000)가 16GB, 즉 128Gb의 용량을 갖는 경우, 8개의 반도체 칩이 패키지 기판(200) 상에 배치될 수 있고, 적층 구조체(100S1, 100S2) 각각은 4개의 반도체 칩을 포함할 수 있다.In the
본 실시예의 반도체 패키지(1000)에서, 적층 구조체(100S1, 100S2) 각각의 반도체 칩들(100-1 ~ 100-4)은 패드들이 노출되도록 적층될 수 있다. 그에 따라, 반도체 칩들(100-1 ~ 100-4)을 패키지 기판(200) 또는 하부의 대응하는 반도체 칩으로 접착시키는 접착층(300)의 두께가 최소화될 수 있다. 따라서, 반도체 패키지(1000)의 전체 두께가 최소화될 수 있다. 예컨대, 반도체 패키지(1000)의 전체 두께는 0.7㎜이하일 수 있고, 접착층(300)의 두께는 0.01㎜이하일 수 있다. 한편, 실시예에 따라, 반도체 패키지(1000)는, 반도체 칩들(100-1 ~ 100-4), 패키지 기판(200), 및 밀봉재(400) 중 적어도 하나의 두께가 조절됨으로써, 0.67㎜이하의 두께를 가질 수도 있다.In the
도 9a 내지 도 10b는 도 8a의 반도체 패키지에서, 반도체 칩들이 다양하게 적층된 구조를 보여주는 평면도들로서, 도 9a 내지 도 10b에서, 반도체 칩들만을 도시하고, 패키지 기판과 밀봉재 등은 생략하여 도시하고 있다. 도 8a 및 도 8b를 함께 참조하여 설명하고, 도 1a 내지 도 8b의 설명 부분에서 이미 설명한 내용은 간단히 설명하거나 생략한다.9A to 10B are plan views illustrating a structure in which semiconductor chips are stacked in various ways in the semiconductor package of FIG. 8A. In FIGS. 9A to 10B, only the semiconductor chips are shown, and the package substrate and sealing material are omitted. have. It will be described with reference to FIGS. 8A and 8B , and the content already described in the description part of FIGS. 1A to 8B will be briefly described or omitted.
도 9a를 참조하면, 본 실시예의 반도체 패키지(1000)는 도 8a의 반도체 패키지(1000)일 수 있다. 본 실시예의 반도체 패키지(1000)에서, 제1 적층 구조체(100S1)는 제2 방향(y 방향)으로 반도체 칩들(100-1 ~ 1004)이 지그재그 형태로 적층된 구조를 가질 수 있다. 또한, 반도체 칩들(100-1 ~ 1004)의 제1 패드(140)는 제2 방향(y 방향)으로 상방과 하방으로 번갈아 배치될 수 있다. 좀더 구체적으로, 제1 반도체 칩(100-1)은 제2 방향(y 방향) 하방으로 돌출되고, 제1 패드(140)가 제2 방향(y 방향) 하방의 단변 부분에 배치될 수 있다. 제2 반도체 칩(100-2)은 제2 방향(y 방향) 상방으로 돌출되고, 제1 패드(140)가 제2 방향(y 방향) 상방의 단변 부분에 배치될 수 있다. 계속해서, 제3 반도체 칩(100-3)은 제2 방향(y 방향) 하방으로 돌출되고, 제1 패드(140)가 제2 방향(y 방향) 하방의 단변 부분에 배치되고, 제4 반도체 칩(100-4)은 제2 방향(y 방향) 상방으로 돌출되고, 제1 패드(140)가 제2 방향(y 방향) 상방의 단변 부분에 배치될 수 있다. 참고로, 도 9a의 경우, 제1 적층 구조체(100S1)의 지그재그 적층 구조에 기인하여, 제3 반도체 칩(100-3) 및 제4 반도체 칩(100-4)만이 보여지고 있다.Referring to FIG. 9A , the
도 9b를 참조하면, 본 실시예의 반도체 패키지(1000a)의 제1 적층 구조체(100S1a)는 도 2a 또는 도 6a의 반도체 소자(100a)의 반도체 칩들(100-1 ~ 100-4)을 포함할 수 있다. 본 실시예의 반도체 패키지(1000a)에서, 제1 적층 구조체(100S1a)는 제2 방향(y 방향)으로 반도체 칩들(100-1 ~ 1004)이 계단 형태로 적층된 구조를 가질 수 있다. 또한, 반도체 칩들(100-1 ~ 1004)의 제1 패드(140)는 제2 방향(y 방향)으로 하방으로만 배치될 수 있다. 좀더 구체적으로, 반도체 칩들(100-1 ~ 1004)은 제2 방향(y 방향) 하방으로 순차적으로 돌출된 계단 형태를 가지며, 반도체 칩들(100-1 ~ 1004) 각각의 제1 패드(140)는 모두 제2 방향(y 방향) 하방의 단변 부분에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 9B , the first stacked structure 100S1a of the
도 10a를 참조하면, 본 실시예의 반도체 패키지(1000b)의 제1 적층 구조체(100S1b)는 도 7a의 반도체 소자(100c)의 반도체 칩들(100-1 ~ 100-4)을 포함할 수 있다. 본 실시예의 반도체 패키지(1000b)에서, 제1 적층 구조체(100S1b)는 대각선 방향으로 반도체 칩들(100-1 ~ 1004)이 지그재그 형태로 적층된 구조를 가질 수 있다. 또한, 반도체 칩들(100-1 ~ 1004)의 제1 패드(140)는 대각선 방향의 상방과 하방으로 번갈아 배치될 수 있다. 좀더 구체적으로, 제1 반도체 칩(100-1)은 대각선 방향의 상방으로 돌출되고, 제1 패드(140)가 대각선 방향의 상방의 단변과 장변 일부에 배치될 수 있다. 제2 반도체 칩(100-2)은 대각선 방향의 하방으로 돌출되고, 제1 패드(140)가 대각선 방향의 하방의 단변과 장변 일부에 배치될 수 있다. 계속해서, 제3 반도체 칩(100-3)은 대각선 방향의 상방으로 돌출되고, 제1 패드(140)가 대각선 방향의 상방의 단변과 장변 일부에 배치되고, 제4 반도체 칩(100-4)은 대각선 방향의 하방으로 돌출되고, 제1 패드(140)가 대각선 방향의 하방의 단변과 장변 일부에 배치될 수 있다. 참고로, 도 10a의 경우, 제1 적층 구조체(100S1b)의 지그재그 적층 구조에 기인하여, 제3 반도체 칩(100-3) 및 제4 반도체 칩(100-4)만이 보여지고 있다.Referring to FIG. 10A , the first stacked structure 100S1b of the
도 10b를 참조하면, 본 실시예의 반도체 패키지(1000c)의 제1 적층 구조체(100S1c)는 도 7a의 반도체 소자(100c)의 반도체 칩들(100-1 ~ 100-4)을 포함할 수 있다. 본 실시예의 반도체 패키지(1000c)에서, 제1 적층 구조체(100S1c)는 대각선 방향으로 반도체 칩들(100-1 ~ 1004)이 계단 형태로 적층된 구조를 가질 수 있다. 또한, 반도체 칩들(100-1 ~ 1004)의 제1 패드(140)는 대각선 방향의 상방으로만 배치될 수 있다. 좀더 구체적으로, 반도체 칩들(100-1 ~ 1004)은 대각선 방향의 상방으로 순차적으로 돌출된 계단 형태를 가지며, 반도체 칩들(100-1 ~ 1004) 각각의 제1 패드(140)는 모두 대각선 방향의 상방의 단변과 장변 일부에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 10B , the first stacked structure 100S1c of the
지금까지, 본 발명을 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Up to now, the present invention has been described with reference to the embodiment shown in the drawings, but this is only exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. will be. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.
100, 100a ~ 100c: 반도체 소자, 100-1 ~ 100-4: 반도체 칩, 100S1, 100S1a, 100S1b, 100S1c, 100S2: 적층 구조체, 110, 110a, 100b: 셀 영역, 112: 메모리 셀, 120, 120a, 120b: 페리 영역, 122, 124: 코어 영역, 130, 130a, 130b: 배선, 132: 워드 라인, 134: 비트 라인, 140, 140a, 140b: 제1 패드, 150: 제2 패드, 160, 160a: 재배선, 200: 패키지 기판, 250: 외부 접속 부재, 300: 접착층, 400: 밀봉재, 1000, 1000a ~ 1000c: 반도체 패키지100, 100a to 100c: semiconductor device, 100-1 to 100-4: semiconductor chip, 100S1, 100S1a, 100S1b, 100S1c, 100S2: stacked structure, 110, 110a, 100b: cell region, 112: memory cell, 120, 120a , 120b: peripheral region, 122, 124: core region, 130, 130a, 130b: wiring, 132: word line, 134: bit line, 140, 140a, 140b: first pad, 150: second pad, 160, 160a : rewiring, 200: package substrate, 250: external connection member, 300: adhesive layer, 400: sealing material, 1000, 1000a to 1000c: semiconductor package
Claims (20)
상기 메모리 셀들을 구동하기 위한 회로들이 배치되고, 상기 셀 영역의 주변에 배치된 적어도 2개의 페리 영역;을 포함하고,
상기 셀 영역은 다수의 뱅크들로 구별되며,
상기 뱅크들은 기본 사이즈를 갖는 제1 뱅크와 상기 기본 사이즈의 1/(2*n)(n은 1 이상의 정수) 사이즈를 갖는 제2 뱅크를 포함하며,
상기 적어도 2개의 상기 페리 영역은 제1 방향으로 연장하고, 상기 다수의 뱅크들에 바로 인접하여 배치되며,
칩 패드들이 상기 칩의 외곽 부분에 "L"자 형태로 배치되며,
상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 길쭉한 직사각형 칩의 형태를 갖는, 반도체 소자.a cell region in which a plurality of memory cells are arranged in an array structure; and
circuits for driving the memory cells are disposed, and at least two peripheral regions disposed around the cell region;
The cell area is divided into a plurality of banks,
The banks include a first bank having a basic size and a second bank having a size of 1/(2*n) (n is an integer greater than or equal to 1) of the basic size,
the at least two of the peripheral regions extend in a first direction and are disposed immediately adjacent to the plurality of banks;
Chip pads are arranged in an "L" shape on the outer part of the chip,
A semiconductor device having a shape of a rectangular chip elongated in a second direction perpendicular to the first direction.
상기 제2 뱅크는 상기 기본 사이즈의 1/2의 사이즈를 가지며,
상기 셀 영역은 15개의 상기 제1 뱅크, 및 2개의 상기 제2 뱅크를 포함하며,
상기 제1 뱅크는 상기 제1 방향을 따라 5개 배치되고, 상기 제2 방향을 따라 3개 배치되며,
상기 제2 뱅크는 상기 제1 방향의 두 번째와 세 번째 위치의 상기 제1 뱅크들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.According to claim 1,
The second bank has a size of 1/2 of the basic size,
The cell region includes 15 of the first banks and two of the second banks,
Five of the first banks are arranged along the first direction, and three are arranged along the second direction,
The second bank is disposed between the first banks at second and third positions in the first direction.
상기 적어도 2개의 페리 영역은 제1 페리 영역과 제2 페리 영역을 포함하고,
상기 제1 페리 영역은 상기 제2 방향의 첫 번째와 두 번째 위치의 상기 뱅크들 사이에 배치되며,
상기 제2 페리 영역은 상기 제2 방향의 세 번째 위치의 상기 제1 뱅크의 외부에 배치되며,
상기 제2 방향의 상기 제1 페리 영역과 제2 페리 영역 사이에 두 번째와 세 번째 위치의 상기 뱅크들이 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자.3. The method of claim 2,
wherein the at least two peripheral regions include a first peripheral region and a second peripheral region;
The first peripheral region is disposed between the banks at first and second positions in the second direction,
the second peripheral region is disposed outside the first bank at a third position in the second direction;
and the banks at second and third positions are disposed between the first and second peripheral regions in the second direction.
상기 제1 방향의 상기 제2 뱅크와 상기 제1 뱅크 사이에 상기 제2 방향으로 연장하는 추가 페리 영역이 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자.4. The method of claim 3,
An additional peripheral region extending in the second direction is disposed between the second bank in the first direction and the first bank.
2개의 상기 제2 뱅크는 상기 제2 방향을 따라 인접하여 배치되거나, 또는 서로 이격되어 배치되며,
상기 제2 방향을 따라, 상기 제2 뱅크의 외부 또는 2개의 상기 제2 뱅크들 사이에 유사 뱅크 영역이 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자.3. The method of claim 2,
The two second banks are disposed adjacent to each other in the second direction, or disposed spaced apart from each other,
A similar bank region is disposed outside the second bank or between the two second banks along the second direction.
상기 칩 패드들은 패키지용 제1 패드들과 테스트용 제2 패드들을 포함하고,
상기 제1 패드들은 상기 칩의 단변에 배치되고, 상기 제2 패드들은 상기 칩의 장변에 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자.According to claim 1,
The chip pads include first pads for a package and second pads for a test,
The semiconductor device of claim 1, wherein the first pads are disposed on a short side of the chip, and the second pads are disposed on a long side of the chip.
상기 제1 패드들 중 일부는 상기 장변에 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자.7. The method of claim 6,
Some of the first pads are disposed on the long side.
상기 칩은 상기 제1 방향으로 5.7㎜ 이하이고, 상기 제2 방향으로 10.92㎜이하의 사이즈를 가지며,
상기 반도체 소자는 16Gb(Gigabit)의 메모리 용량을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.According to claim 1,
The chip has a size of 5.7 mm or less in the first direction and 10.92 mm or less in the second direction,
The semiconductor device, characterized in that it has a memory capacity of 16 Gb (Gigabit).
상기 메모리 셀들을 구동하기 위한 회로들이 배치되고, 상기 셀 영역의 주변에 배치된 페리 영역;을 포함하고,
상기 셀 영역은 다수의 뱅크들로 구별되며,
상기 뱅크들은 제1 방향과 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향을 따라 배치되고, 기본 사이즈를 갖는 제1 뱅크와 상기 기본 사이즈의 1/(2*n)(n은 1 이상의 정수) 사이즈를 갖는 제2 뱅크를 포함하며,
상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 길쭉한 직사각형 칩의 형태를 갖는, 반도체 소자.a cell region in which a plurality of memory cells are arranged in an array structure; and
a peripheral region in which circuits for driving the memory cells are disposed and disposed around the cell region;
The cell area is divided into a plurality of banks,
The banks are arranged along a first direction and a second direction perpendicular to the first direction, and the size of a first bank having a basic size and 1/(2*n) (n is an integer greater than or equal to 1) of the basic size Including a second bank having,
A semiconductor device having a shape of a rectangular chip elongated in a second direction perpendicular to the first direction.
상기 제2 뱅크는 상기 기본 사이즈의 1/2의 사이즈를 가지며,
상기 셀 영역은 15개의 상기 제1 뱅크, 및 2개의 상기 제2 뱅크를 포함하며,
상기 제1 뱅크는 상기 제1 방향을 따라 5개 배치되고, 상기 제2 방향을 따라 3개 배치되며,
상기 제2 뱅크는 상기 제1 방향의 두 번째와 세 번째 위치의 상기 제1 뱅크들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.10. The method of claim 9,
The second bank has a size of 1/2 of the basic size,
The cell region includes 15 of the first banks and two of the second banks,
Five of the first banks are arranged along the first direction, and three are arranged along the second direction,
The second bank is disposed between the first banks at second and third positions in the first direction.
상기 페리 영역은, 상기 제1 페리 영역과 제2 페리 영역을 포함하고,
상기 제1 페리 영역과 제2 페리 영역은 각각 상기 제1 방향을 따라 연장하며,
상기 제1 페리 영역은 상기 제2 방향의 첫 번째와 두 번째 위치의 상기 뱅크들 사이에 배치되고,
상기 제2 페리 영역은 상기 제2 방향으로 상기 칩의 외곽 부분에 배치된 것을 특징으로 반도체 소자.10. The method of claim 9,
The peripheral region includes the first peripheral region and the second peripheral region;
the first and second peripheral regions extend along the first direction, respectively;
the first peripheral region is disposed between the banks at first and second positions in the second direction;
The second peripheral region is disposed at an outer portion of the chip in the second direction.
칩 패드들이 상기 칩의 외곽 부분에 "L"자 형태로 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자.10. The method of claim 9,
A semiconductor device, characterized in that the chip pads are arranged in an "L" shape on the outer portion of the chip.
상기 칩 패드들은 패키지용 제1 패드들과 테스트용 제2 패드들을 포함하고,
상기 제1 패드들은 상기 칩의 단변, 또는 단변과 장변에 배치되고, 상기 제2 패드들은 상기 칩의 장변에 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자.13. The method of claim 12,
The chip pads include first pads for a package and second pads for a test,
The first pads are disposed on a short side or a short side and a long side of the chip, and the second pads are disposed on a long side of the chip.
상기 패키지 기판 상에 실장되고, 복수의 칩들이 적층된 제1 적층 구조체;
상기 패키지 기판 상에 실장되고, 상기 제1 적층 구조체에 인접하여 배치되며, 상기 제1 적층 구조체와 동일한 개수의 칩들이 적층된 제2 적층 구조체; 및
상기 패키기 기판 상에, 상기 제1 적층 구조체, 및 상기 제2 적층 구조체를 밀봉하는 밀봉재;를 포함하고,
상기 칩들 각각은,
복수의 메모리 셀들이 어레이 구조로 배치된 셀 영역, 및 상기 메모리 셀들을 구동하기 위한 회로들이 배치되고, 상기 셀 영역의 주변에 배치된 페리 영역을 포함하고,
상기 셀 영역은 다수의 뱅크들로 구별되며,
상기 뱅크들은 제1 방향과 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향을 따라 배치되고, 기본 사이즈를 갖는 제1 뱅크와 상기 기본 사이즈의 1/(2*n)(n은 1 이상의 정수) 사이즈를 갖는 제2 뱅크를 포함하며,
상기 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 길쭉한 직사각형 형태를 갖는, 반도체 패키지.package substrate;
a first stacked structure mounted on the package substrate and stacked with a plurality of chips;
a second stacked structure mounted on the package substrate and disposed adjacent to the first stacked structure, in which the same number of chips as the first stacked structure are stacked; and
a sealing material sealing the first laminated structure and the second laminated structure on the package substrate;
Each of the chips,
a cell region in which a plurality of memory cells are arranged in an array structure; and a peripheral region in which circuits for driving the memory cells are arranged, and arranged around the cell region;
The cell area is divided into a plurality of banks,
The banks are arranged along a first direction and a second direction perpendicular to the first direction, and the size of a first bank having a basic size and 1/(2*n) (n is an integer greater than or equal to 1) of the basic size Including a second bank having,
A semiconductor package having a rectangular shape elongated in a second direction perpendicular to the first direction.
상기 패키지 기판은 상기 제1 방향으로 12.4㎜ 이하이고 상기 제2 방향으로 14㎜ 이하이며,
상기 칩들 각각은 16Gb의 용량을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.15. The method of claim 14,
The package substrate is 12.4 mm or less in the first direction and 14 mm or less in the second direction,
The semiconductor package, characterized in that each of the chips has a capacity of 16 Gb.
상기 제2 뱅크는 상기 기본 사이즈의 1/2의 사이즈를 가지며,
상기 셀 영역은 15개의 상기 제1 뱅크, 및 2개의 상기 제2 뱅크를 포함하며,
상기 제1 뱅크는 상기 제1 방향을 따라 5개 배치되고, 상기 제2 방향을 따라 3개 배치되며,
상기 제2 뱅크는 상기 제1 방향의 두 번째와 세 번째 위치의 상기 제1 뱅크들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.15. The method of claim 14,
The second bank has a size of 1/2 of the basic size,
The cell region includes 15 of the first banks and two of the second banks,
Five of the first banks are arranged along the first direction, and three are arranged along the second direction,
The second bank is disposed between the first banks at second and third positions in the first direction.
상기 페리 영역은, 상기 제1 페리 영역과 제2 페리 영역을 포함하고,
상기 제1 페리 영역과 제2 페리 영역은 각각 상기 제1 방향을 따라 연장하며,
상기 제1 페리 영역은 상기 제2 방향의 첫 번째와 두 번째 위치의 상기 뱅크들 사이에 배치되고,
상기 제2 페리 영역은 상기 제2 방향으로 상기 칩들 각각의 외곽 부분에 배치된 것을 특징으로 반도체 패키지.15. The method of claim 14,
The peripheral region includes the first peripheral region and the second peripheral region;
the first and second peripheral regions extend along the first direction, respectively;
the first peripheral region is disposed between the banks at first and second positions in the second direction;
The second peripheral region is disposed at an outer portion of each of the chips in the second direction.
칩 패드들이 상기 칩들 각각의 외곽 부분에 "L"자 형태로 배치되고,
상기 칩 패드들은 패키지용 제1 패드들과 테스트용 제2 패드들을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.15. The method of claim 14,
Chip pads are arranged in an "L" shape on the outer portion of each of the chips,
wherein the chip pads include first pads for a package and second pads for a test.
상기 제1 패드들은 상기 칩들 각각의 단변, 또는 단변과 장변에 배치되고,
상기 제2 패드들은 상기 칩의 장변에 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.19. The method of claim 18,
The first pads are disposed on a short side or a short side and a long side of each of the chips,
The second pads are disposed on a long side of the chip.
상기 제1 패드들이 상기 칩들 각각의 단면에만 배치된 경우, 상기 칩들은 상기 제2 방향으로 지그재그 형태도 적층되고,
상기 제1 패드들이 상기 칩들 각각의 단면과 장변에 배치된 경우, 상기 칩들은 상기 제1 패드들이 노출된 형태로 대각선 방향으로 지그재그 형태로 적층된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.
20. The method of claim 19,
When the first pads are disposed only on the end surfaces of each of the chips, the chips are also stacked in a zigzag shape in the second direction,
When the first pads are disposed on the end face and the long side of each of the chips, the chips are stacked in a zigzag shape in a diagonal direction with the first pads exposed.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US17/356,080 US11538506B2 (en) | 2020-07-21 | 2021-06-23 | Semiconductor device and semiconductor package including the semiconductor device |
CN202110796992.3A CN113964126A (en) | 2020-07-21 | 2021-07-14 | Semiconductor device and semiconductor package including the same |
TW110126473A TWI799919B (en) | 2020-07-21 | 2021-07-19 | Semiconductor device and semiconductor package including the semiconductor device |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200090626 | 2020-07-21 | ||
KR20200090626 | 2020-07-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20220011558A true KR20220011558A (en) | 2022-01-28 |
Family
ID=80051381
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020200160445A KR20220011558A (en) | 2020-07-21 | 2020-11-25 | Semiconductor device, and semiconductor package comprising the same device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20220011558A (en) |
-
2020
- 2020-11-25 KR KR1020200160445A patent/KR20220011558A/en active Search and Examination
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8339826B2 (en) | Stacked semiconductor devices including a master device | |
US10741529B2 (en) | Semiconductor packages | |
TWI700804B (en) | Semiconductor chip module and semiconductor package including the same | |
JP2001273755A (en) | Semiconductor device and semiconductor module | |
KR20040065176A (en) | Semiconductor device | |
US11798917B2 (en) | Stack package including core die stacked over a controller die | |
US10262935B2 (en) | Memory device and method of disposing conduction lines of the same | |
JP2006318634A (en) | Stacked semiconductor memory device | |
US11538506B2 (en) | Semiconductor device and semiconductor package including the semiconductor device | |
US10679956B2 (en) | Semiconductor memory chip, semiconductor memory package, and electronic system using the same | |
KR20220011558A (en) | Semiconductor device, and semiconductor package comprising the same device | |
US20200082862A1 (en) | Semiconductor packages | |
JP7341927B2 (en) | semiconductor storage device | |
US20220130849A1 (en) | Memory device | |
US20240206182A1 (en) | Non-volatile memory device | |
US11756918B2 (en) | Semiconductor device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination |