KR20210156357A - Germanium-Phosphide Nanosheets and Preparation Method Thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 갖는 광전소자용 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트 및 이의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a germanium-phosphide nanosheet for an optoelectronic device having a bandgap in the visible-near-infrared region, and a method for manufacturing the same.
일반적으로, 고체는 결정구조에 따라 0차원(0D), 1차원(1D), 2차원(2D), 3차원(3D)으로 구분되며, 같은 원소로 이루어진 물질이라도 차원이 달라지면 원자들 사이의 결합특성이 달라지므로, 기계적 강도나 전기전도도 등의 물성이 변하게 된다. 물질의 형태를 벌크 결정에서 2차원으로 줄이면 양자구속효과(quantum confinement effect)가 나타나면서 밴드갭(band gap)이 증가하거나 전기적 특성이 크게 변한다. In general, solids are classified into 0-dimensional (0D), 1-dimensional (1D), 2-dimensional (2D), and 3-dimensional (3D) depending on the crystal structure. As the characteristics change, physical properties such as mechanical strength and electrical conductivity change. When the shape of a material is reduced from a bulk crystal to two dimensions, a quantum confinement effect appears and the band gap increases or electrical properties change significantly.
그 중, 그래핀(graphene)은 탄소 원자들이 한 층으로 이루어진 2차원 구조의 대표적인 물질로서, 기계적 굽힘 및 늘림에 대한 강도가 우수하고, 다이아몬드보다 단단하며, 높은 캐리어 이동도(105 cm2/Vs)를 갖는다. 또한, 상기 그래핀(graphene)은 입사되는 빛의 대부분을 투과하는 특성을 가지고 있어, 투명전극 소재로 이용되며, 밴드갭이 콘 형태를 갖는 준금속과 비슷한 특성을 보여준다. 따라서, 플렉서블 태양전지, 플렉서블 디스플레이에 적용하기 위한 연구가 진행되고 있으나, 실제적으로는 밴드갭이 없기 때문에 전계효과트랜지스터(field effect transistor, FET)와 같은 소자에 응용되기 쉽지 않다는 문제를 가지고 있다.Among them, graphene is a representative material with a two-dimensional structure composed of one layer of carbon atoms, has excellent strength against mechanical bending and stretching, is harder than diamond, and has high carrier mobility (10 5 cm 2 / Vs) has In addition, the graphene (graphene) has a characteristic of transmitting most of the incident light, it is used as a material for a transparent electrode, and shows a characteristic similar to that of a metalloid having a cone-shaped band gap. Therefore, although research for application to flexible solar cells and flexible displays is being conducted, there is a problem in that it is not easy to apply to devices such as field effect transistors (FETs) because there is no band gap in reality.
이를 해결하기 위하여, 그래핀처럼 원자층이 반데르발스 힘에 의해 쌓이는 새로운 2차원 소재를 찾기 위한 연구가 많이 진행되고 있다.In order to solve this problem, many studies are being conducted to find a new two-dimensional material, such as graphene, in which atomic layers are accumulated by van der Waals forces.
최근 2차원 구조를 갖는 전이금속 다이칼코겐(transition metal dichalcogenides, TMD) 화합물로 MoS2, MoSe2, WS2, WSe2 등이 있으며, 이들은 큰 밴드갭 에너지로 인해 많은 관심을 끌고 있다. 상기 전이금속 다이칼코겐(TMD) 화합물 단분자층은 3차원 결정에 비해 훨씬 큰 밴드갭 에너지를 갖는다. 즉, 상기 전이금속 다이칼코겐(TMD) 화합물 3차원 결정은 밴드갭이 1.1 eV인데 반하여 상기 전이금속 다이칼코겐(TMD) 화합물 단분자층은 1.9 eV으로 0.8 eV 정도 더 크다. Recently, transition metal dichalcogenides (TMD) compounds having a two-dimensional structure include MoS 2 , MoSe 2 , WS 2 , WSe 2 , and the like, which are attracting much attention due to their large bandgap energy. The transition metal dichalcogen (TMD) compound monolayer has a much larger bandgap energy than a three-dimensional crystal. That is, the three-dimensional crystal of the transition metal dichalcogen (TMD) compound has a band gap of 1.1 eV, whereas the monolayer of the transition metal dichalcogen (TMD) compound is 1.9 eV, which is 0.8 eV larger.
또한, 상기 전이금속 다이칼코겐(TMD) 화합물 단분자층은 광흡수 및 광방출 특성이 크게 증가하게 되는 밴드갭 구조를 가지므로, 붉은색 파장을 내는 뛰어난 발광 소재로서 주목받고 있다. In addition, since the transition metal dichalcogen (TMD) compound monolayer has a bandgap structure in which light absorption and light emission characteristics are greatly increased, it is attracting attention as an excellent light emitting material emitting a red wavelength.
그리고, 2차원 구조를 갖는 V족 단일원소로 이루어진 흑린 또는 포스포렌(black phosphorus 또는 phosphorene)도 많은 관심을 받고 있다. 상기 흑린 또는 포스포렌(black phosphorus 또는 phosphorene)이 단분자층으로 되면, 밴드갭 에너지 값이 0.35 eV에서 1.7 eV로 증가하고, 캐리어 이동도가 104 cm2/Vs까지 증가하므로, 우수한 전도성 소재로서 기대를 모으고 있다. 그러나 상기 흑린 또는 포스포렌(black phosphorus 또는 phosphorene) 단분자층은 수분, 산소 및 열에 약한 문제가 있어, 이에 대한 보완방법이 개발 중에 있다. In addition, black phosphorus or phosphorene, which consists of a single element of group V having a two-dimensional structure, is also receiving a lot of attention. When the black phosphorus or phosphorene becomes a monolayer, the bandgap energy value increases from 0.35 eV to 1.7 eV, and the carrier mobility increases to 10 4 cm 2 /Vs, so it is expected as an excellent conductive material. are collecting However, the black phosphorus or phosphorene monolayer has a weak problem in moisture, oxygen, and heat, and a complementary method is being developed.
상기 흑린 또는 포스포렌(black phosphorus 또는 phosphorene) 단분자층의 수분, 산소 및 열에 약한 문제가 해결된다면, 가격이 저렴한 고성능 전자장치를 설계할 수 있는 큰 기회를 제공할 수 있을 것이다. If the weakness of the black phosphorus or phosphorene monolayer to moisture, oxygen, and heat is solved, it will provide a great opportunity to design a high-performance electronic device at a low price.
이외에도 V족 As, Sb도 2차원 소재로 개발하고 있으며, IV족으로 Si, Ge도 2차원 소재로 은 기판을 사용한 화학기상증착법으로 2차원 소재 합성에 성공한 바 있다. In addition, Group V As and Sb are also being developed as two-dimensional materials, and Group IV Si and Ge have also succeeded in synthesizing two-dimensional materials by chemical vapor deposition using a silver substrate as two-dimensional materials.
그리고, 2차원 V족의 불안정성을 보완하면서, 어려운 합성법을 적용하여 얻을 수 있는 IV족 대신에 IV족과 V족을 결합시킨 이성분 화합물 반도체가 관심을 끌고 있다. 즉, 상기 IV족과 V족을 결합시킨 이성분 화합물 반도체는 산소, 수분에 대해서도 안정적이며, 상기 IV족과 V족을 결합시킨 이성분 화합물 반도체 단일층의 밴드갭이 상기 전이금속 다이칼코겐(TMD) 화합물 단분자층 또는 흑린 또는 포스포렌(black phosphorus 또는 phosphorene)을 포함하는 V족보다 높다는 특징을 가지고 있어, 기존의 2차원 소재의 단점을 보완할 수 있을 것으로 기대되고 있다.In addition, while compensating for the instability of the two-dimensional group V, a binary compound semiconductor in which groups IV and V are combined instead of group IV, which can be obtained by applying a difficult synthesis method, is attracting attention. That is, the binary compound semiconductor combining groups IV and V is stable to oxygen and moisture, and the band gap of the single layer of the binary compound semiconductor combining groups IV and V is the transition metal dichalcogen ( TMD) compound monolayer or black phosphorus or phosphorene (black phosphorus or phosphorene) has a higher characteristic than group V, so it is expected to complement the disadvantages of the existing two-dimensional material.
또한, 최근 이론 계산으로부터 2차원 IV-V족 MX 화합물(M = Si, Ge, Sn 및 X = P, As, Sb, Bi)이 제안되었다. 즉, SiP, SiAs, GeP, GeAs, SnP 등을 2차원 층상구조로 예측하였다. 상기 이론 계산에 따르면 상기 MX 화합물(M = Si, Ge, Sn 및 X = P, As, Sb, Bi) 3차원 결정의 밴드갭은 1 eV 미만인 반면, MX 화합물 (M = Si, Ge, Sn 및 X = P, As, Sb, Bi)이 단분자층이 되면, 밴드갭이 2 내지 3 eV 영역대로 상승한다. 이에 따라, 가시광선을 효율적으로 수집하기에 충분하며, 태양광을 이용한 물분해에 적합한 밴드갭 위치를 가지고 있다고 예측하고 있다. 또한, MX 화합물(M = Si, Ge, Sn 및 X = P, As, Sb, Bi) 단분자층은 캐리어 이동도가 103 cm2/Vs까지 증가하는 우수한 전도성 반도체 소재로 평가되고 있다. In addition, two-dimensional group IV-V MX compounds (M = Si, Ge, Sn and X = P, As, Sb, Bi) have been proposed from recent theoretical calculations. That is, SiP, SiAs, GeP, GeAs, SnP, etc. were predicted as a two-dimensional layered structure. According to the theoretical calculation, the bandgap of the three-dimensional crystal of the MX compound (M = Si, Ge, Sn and X = P, As, Sb, Bi) is less than 1 eV, whereas the MX compound (M = Si, Ge, Sn and When X = P, As, Sb, Bi) becomes a monolayer, the band gap rises in the range of 2 to 3 eV. Accordingly, it is predicted that it is sufficient to efficiently collect visible light and has a bandgap position suitable for water decomposition using sunlight. In addition, the MX compound (M = Si, Ge, Sn and X = P, As, Sb, Bi) monolayer is evaluated as an excellent conductive semiconductor material in which the carrier mobility increases up to 10 3 cm 2 /Vs.
또한, 지금까지 2차원 물질 중 V족이 포함된 물질들은 결정성장방법으로 촉매를 이용한 고온 용융성장법을 사용하였다. 이때, 반응 촉매 물질로는 Bi, Pb, I2 등을 섞어 합성한다. 따라서, 촉매를 사용하여 합성된 결정은 상기 촉매 성분이 불순물로 남아 도핑이 되거나 결정으로 같이 석출되어, 이들에 대한 정제과정이 필요하고, 합성된 결정의 물성이 저하되는 단점이 있다.In addition, high-temperature melt growth method using a catalyst was used as a crystal growth method for materials containing group V among two-dimensional materials. At this time, as the reaction catalyst material, Bi, Pb, I 2 and the like are mixed and synthesized. Accordingly, crystals synthesized using a catalyst have disadvantages in that the catalyst components remain as impurities and are doped or precipitated together as crystals, and thus a purification process is required and the properties of the synthesized crystals are deteriorated.
본 발명은 인화게르마늄 나노시트 및 이의 제조방법으로, 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 갖는 광전소자용 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트를 제공하며, 이러한 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트를 촉매를 사용하지 않음으로써 불순물 없는 순수한 결정상으로 저렴하게 생산할 수 있는 단순하고 경제적인 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides a germanium phosphide nanosheet and a manufacturing method thereof, a germanium-phosphide nanosheet for an optoelectronic device having a bandgap in the visible-near-infrared region, and the germanium-phosphide nanosheet An object of the present invention is to provide a simple and economical manufacturing method capable of inexpensively producing a pure crystalline phase without impurities by not using a catalyst.
본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 갖는 광전소자용 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트를 포함한다. A germanium-phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention includes a germanium-phosphide nanosheet for an optoelectronic device having a band gap in the visible-near-infrared region.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 상기 밴드갭은 0.92 eV 내지 2.5 eV 일 수 있다. The band gap of the germanium-phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention may be 0.92 eV to 2.5 eV.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 게르마늄(Ge)과 인(P)의 몰비가 1:5 내지 5:1 일 수 있다.In the germanium-phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention, a molar ratio of germanium (Ge) to phosphorus (P) may be 1:5 to 5:1.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 게르마늄(Ge)과 인(P)이 상기 나노시트에 균일하게 분포될 수 있다.In the germanium-phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention, germanium (Ge) and phosphorus (P) may be uniformly distributed in the nanosheet.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.The crystalline phase of the germanium-phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention may be a monoclinic crystal system crystalline phase.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 공간군(space group)은 C2/m 일 수 있다.A space group of the germanium-phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention may be C2/m.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 13.0°내지 15.0°에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 27.0°내지 29.0°에서 나타날 수 있다.When XRD analysis of the germanium-phosphide nanosheet in the monoclinic crystal system crystal phase according to an embodiment of the present invention The diffraction angle 2θ of the peak appears at 13.0° to 15.0°, The diffraction angle 2θ of the peak may appear at 27.0° to 29.0°.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 격자상수 a는 15.140 Å이고, 격자상수 b는 3.638 Å이고, 격자상수 c는 9.190 Å이고, 격자상수 β는 101.1°일 수 있다.The lattice constant a of the Germanium-Phosphide nanosheet in the monoclinic crystal system crystal phase according to an embodiment of the present invention is 15.140 Å, the lattice constant b is 3.638 Å, and the lattice constant c is 9.190 Å , and the lattice constant β may be 101.1°.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 단결정(single crystal) 일 수 있다.The germanium-phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention may be a single crystal.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간 거리는 1 내지 5 Å 일 수 있다. The germanium-phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention has a monolayer of a layered structure, and an interlayer distance of the monolayer may be 1 to 5 Å.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 (204) 면간거리 d204는 2.1 Å이고, 면간거리 은 6.4 Å 일 수 있다. (204) interplanar distance d 204 of the germanium-phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention is 2.1 Å, face-to-face distance may be 6.4 Å.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 두께는 0.8 nm 내지 200 nm 일 수 있다. The thickness of the germanium-phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention may be 0.8 nm to 200 nm.
본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트 제조방법은Germanium-Phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet manufacturing method according to an embodiment of the present invention
게르마늄(Ge) 분말과 인(P) 분말을 몰비(Ge:P) 1:5 내지 5:1로 혼합하여 반응물을 준비하는 단계;preparing a reactant by mixing germanium (Ge) powder and phosphorus (P) powder in a molar ratio (Ge:P) of 1:5 to 5:1;
상기 반응물을 석영 앰플에 넣고 진공상태로 밀봉하는 단계;putting the reactant in a quartz ampoule and sealing in a vacuum state;
온도 조절되는 전기로 안에 상기 반응물이 들어있는 석영 앰플을 넣고 반응온도 1000 내지 1400 ℃, 반응시간 12 내지 64 시간 동안 고온에서 용융하여 결정을 성장시키는 방법으로 합성하여 인화게르마늄 결정을 수득하는 단계; Putting a quartz ampoule containing the reactant in a temperature-controlled electric furnace and synthesizing it by melting it at a high temperature for a reaction temperature of 1000 to 1400° C. and a reaction time of 12 to 64 hours to grow crystals to obtain germanium phosphide crystals;
상기 인화게르마늄 결정을 유기용매에 넣고, 2 내지 10 ℃의 온도에서 초음파장치를 사용하여 단속적으로 1 내지 5시간 동안 초음파처리하여 인화게르마늄 나노시트로 박리하는 단계; 및exfoliating the germanium phosphide nanosheets by placing the germanium phosphide crystals in an organic solvent and ultrasonicating them intermittently for 1 to 5 hours at a temperature of 2 to 10° C. using an ultrasonic device; and
박리 끝난 용액을 원심분리하여 상층의 액체를 수집한 후, 상기 액체의 유기용매를 증발시켜 인화게르마늄 나노시트 분말을 수득하는 단계를 포함한다.and centrifuging the peeled solution to collect the liquid in the upper layer, and then evaporating the organic solvent of the liquid to obtain a germanium phosphide nanosheet powder.
본 발명의 실시예를 따르는 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.The crystalline phase of the germanium-phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention may be a monoclinic crystal system crystalline phase.
본 발명의 인화게르마늄 나노시트는 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 가지므로, 가시광선을 효율적으로 수집하기에 충분하며, 태양광을 이용한 물분해에 적합하다.Since the germanium phosphide nanosheet of the present invention has a band gap in the visible-near-infrared region, it is sufficient to efficiently collect visible light, and is suitable for water decomposition using sunlight.
또한, 본 발명의 인화게르마늄 나노시트는 양자구속효과로 인해 밴드갭이 크게 증가하여 전도성 반도체 소재로 활용될 수 있다.In addition, the germanium phosphide nanosheet of the present invention can be used as a conductive semiconductor material because the band gap is greatly increased due to the quantum confinement effect.
그리고, 본 발명의 인화게르마늄 나노시트는 상온 또는 고온의 고습 조건에서도 물성변화가 없다.In addition, the germanium phosphide nanosheet of the present invention does not have any change in physical properties even under high humidity conditions at room temperature or high temperature.
또한, 본 발명의 인화게르마늄 나노시트는 게르마늄과 인의 두 성분만으로 구성되므로 환경오염을 유발하지 않는다.In addition, since the germanium phosphide nanosheet of the present invention is composed of only two components of germanium and phosphorus, it does not cause environmental pollution.
그리고, 본 발명의 인화게르마늄 나노시트의 제조방법은 비교적 낮은 온도에서 저비용 공정으로 수행될 수 있다. And, the method of manufacturing the germanium phosphide nanosheet of the present invention can be performed at a relatively low temperature and low-cost process.
도 1a는 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 나노시트의 원료물질인 인화게르마늄 화합물 반도체 결정을 합성하는 용융성장법에 대한 모식도이고, 도 1b는 상기 용융성장법 반응조건에 대한 그래프이다.
도 2는 본 발명의 실시예를 따르는 용융성장법으로 합성된 인화게르마늄 화합물 반도체 결정 덩어리 사진이다.
도 3은 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 화합물 반도체 결정 덩어리를 기계적 방법으로 박리하여 인화게르마늄 나노시트를 제조하는 과정에 대한 도식화 이미지이다.
도 4는 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 결정 및 인화게르마늄 나노시트의 X-선 회절(XRD, X-Ray Diffraction) 패턴이다.
도 5a는 본 발명의 비교예를 따르는 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정의 XRD 회절 패턴이고, 도 5b는 확대된 XRD 회절 패턴이다.
도 6a는 본 발명의 실시예를 따르는 볼 및 스틱(ball-and-stick) 모델에서 계산된 인화게르마늄 나노시트의 결정구조를 도식화한 이미지이고, 도 6b 및 도 6c는 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 나노시트의 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지이고, 도 6i 및 도 6ii는 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 나노시트의 투과전자현미경(TEM, transmission electron microscope) 이미지이고, 도 6d는 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 나노시트의 에너지분산형 분광분산법(EDX, energy-dispersive X-ray spectroscopy) 원소 맵핑 결과 및 원소 함량 분석 결과이다.
도 7은 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 결정 및 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭을 측정한 흡수 모드에서의 확산 반사 스펙트럼이다.1A is a schematic diagram of a melt growth method for synthesizing a germanium phosphide compound semiconductor crystal, which is a raw material of a germanium phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a graph for the reaction conditions of the melt growth method.
2 is a photograph of a crystal mass of a germanium phosphide compound semiconductor synthesized by a melt growth method according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic image of a process of manufacturing a germanium phosphide nanosheet by exfoliating a germanium phosphide compound semiconductor crystal mass according to an embodiment of the present invention by a mechanical method.
4 is an X-ray diffraction (XRD, X-Ray Diffraction) pattern of a germanium phosphide crystal and a germanium phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention.
5A is an XRD diffraction pattern of a germanium phosphide-germanium mixed crystal according to a comparative example of the present invention, and FIG. 5B is an enlarged XRD diffraction pattern.
6A is a schematic image of the crystal structure of a germanium phosphide nanosheet calculated in a ball-and-stick model according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 6B and 6C are images according to an embodiment of the present invention A scanning electron microscope (SEM) image of a germanium phosphide nanosheet, FIGS. 6i and 6ii are a transmission electron microscope (TEM) image of a germanium phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6d is an energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX) element mapping result and element content analysis result of a germanium phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention.
7 is a diffuse reflection spectrum in an absorption mode in which band gaps of a germanium phosphide crystal and a germanium phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention are measured.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 이들 실시예는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이므로, 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되는 것으로 해석되지는 않는다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail through examples. These examples are only for illustrating the present invention, and therefore, the scope of the present invention is not to be construed as being limited by these examples.
본 명세서에서 사용되는 "포함하는"과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 문구 또는 문장에서 특별히 다르게 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.As used herein, an expression such as “comprising” is understood as an open-ended term that includes the possibility of including other embodiments, unless specifically stated otherwise in the phrase or sentence in which the expression is included. should be
본 명세서에서 사용되는 "바람직한" 및 "바람직하게"는 소정 환경 하에서 소정의 이점을 제공할 수 있는 본 발명의 실시 형태를 지칭한다. 그러나, 동일한 환경 또는 다른 환경 하에서, 다른 실시 형태가 또한 바람직할 수 있다. 추가로, 하나 이상의 바람직한 실시 형태의 언급은 다른 실시 형태가 유용하지 않다는 것을 의미하지 않으며, 본 발명의 범주로부터 다른 실시 형태를 배제하고자 하는 것은 아니다.As used herein, “preferred” and “preferably” refer to embodiments of the invention that may provide certain advantages under certain circumstances. However, other embodiments may also be desirable, under the same or other circumstances. Additionally, the recitation of one or more preferred embodiments does not imply that other embodiments are not useful, nor is it intended to exclude other embodiments from the scope of the invention.
이하, 본 발명의 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet of the present invention will be described in detail.
본 발명의 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 갖는 광전소자용 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트를 포함한다.The germanium-phosphide nanosheet of the present invention includes a germanium-phosphide nanosheet for an optoelectronic device having a band gap in the visible-near-infrared region.
고체는 결정구조에 따라 0차원(0D), 1차원(1D), 2차원(2D), 3차원(3D)으로 구분되며, 같은 원소로 이루어진 물질이라도 차원이 달라지면 원자들 사이의 결합특성이 달라지므로, 기계적 강도나 전기전도도 등의 물성이 변하게 된다. Solids are classified into 0-dimensional (0D), 1-dimensional (1D), 2-dimensional (2D), and 3-dimensional (3D) according to their crystal structure. Therefore, physical properties such as mechanical strength and electrical conductivity are changed.
특히, 물질의 형태를 벌크 결정에서 2차원으로 줄이면 양자구속효과(quantum confinement effect)가 나타나면서 밴드갭(band gap)이 증가하거나 전기적 특성이 크게 변한다.In particular, when the shape of a material is reduced from a bulk crystal to two dimensions, a quantum confinement effect appears and a band gap increases or electrical properties change significantly.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 나타낼 수 있다.The germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet may exhibit a band gap in the visible-near-infrared region.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 상기 밴드갭은 0.92 eV 내지 2.5 eV 일 수 있다.The band gap of the germanium-phosphide nanosheet may be 0.92 eV to 2.5 eV.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 상기 밴드갭은 파장으로 환산하면 500 nm 내지 1350 nm 일 수 있다.The band gap of the germanium-phosphide nanosheet may be 500 nm to 1350 nm in terms of wavelength.
또한, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 상기 밴드갭은 바람직하게는 1.2 eV 내지 2.4 eV 일 수 있고, 보다 바람직하게는 1.5 eV 내지 2.4 eV 일 수 있고, 보다 더 바람직하게는 1.7 eV 내지 2.3 eV 일 수 있다.In addition, the band gap of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet may be preferably 1.2 eV to 2.4 eV, more preferably 1.5 eV to 2.4 eV, even more preferably 1.7 eV to It can be 2.3 eV.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide)은 벌크 결정일 때 0.5 내지 0.9 eV의 밴드갭에서 다수층(단일층, 이중층, 삼중층 등을 포함하는 다중층)으로 구성된 나노시트가 되었을 때 0.92 내지 2.5 eV로 밴드갭의 변화를 유도할 수 있다.The germanium phosphide (Germanium-Phosphide) has a band gap of 0.5 to 0.9 eV when it is a bulk crystal, and a band of 0.92 to 2.5 eV when it becomes a nanosheet composed of multiple layers (multilayer including single layer, double layer, triple layer, etc.) A change in the gap can be induced.
여기서, 2차원 IV-V족 MX 화합물(M = Si, Ge, Sn 및 X = P, As, Sb, Bi)의 한 종류인 인화게르마늄(Germanium-Phosphide)은 다수층(단일층, 이중층, 삼중층 등을 포함하는 다중층)으로 구성된 나노시트가 되면 밴드갭이 상승한다. 이에 따라, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 가시광선을 효율적으로 수집하기에 충분하며, 태양광을 이용한 물분해에 적합한 밴드갭을 가지고 있다. 또한, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 양자구속효과가 증가하여 밴드갭이 매우 크게 증가하는 우수한 전도성 반도체 소재이다.Here, Germanium-Phosphide, a type of two-dimensional group IV-V MX compound (M = Si, Ge, Sn, and X = P, As, Sb, Bi), has multiple layers (single layer, double layer, triple layer). When the nanosheet is composed of multiple layers including layers, the bandgap rises. Accordingly, the germanium-phosphide nanosheet is sufficient to efficiently collect visible light and has a band gap suitable for water decomposition using sunlight. In addition, the germanium-phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet is an excellent conductive semiconductor material having a significantly increased band gap due to an increase in quantum confinement effect.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 게르마늄(Ge)과 인(P)의 몰비가 1:5 내지 5:1 일 수 있다.In the germanium-phosphide nanosheet, a molar ratio of germanium (Ge) to phosphorus (P) may be 1:5 to 5:1.
또한, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 게르마늄(Ge)과 인(P)의 몰비가 바람직하게는 1:3 내지 3:1 일 수 있고, 보다 바람직하게는 1:1 일 수 있다.In addition, in the germanium-phosphide nanosheet, a molar ratio of germanium (Ge) to phosphorus (P) may be preferably 1:3 to 3:1, and more preferably 1:1.
게르마늄(Ge)과 인(P)의 몰비가 상기 범위내 포함될 때 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 양자구속효과로 인해 가시광선-근적외선 내의 밴드갭을 가지므로 가시광선-근적외선을 효율적으로 수집할 수 있다.When the molar ratio of germanium (Ge) and phosphorus (P) is included in the above range, the germanium-phosphide nanosheet has a band gap within visible-near-infrared rays due to the quantum confinement effect, so that visible-near-infrared rays are efficiently transmitted can be collected
또한, 게르마늄(Ge)과 인(P)의 몰비가 상기 범위내 포함되지 않을 때 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 가시광선-근적외선 밖의 밴드갭을 가지므로 가시광선-근적외선을 효율적으로 수집할 수 없다.In addition, when the molar ratio of germanium (Ge) to phosphorus (P) is not included within the above range, the germanium-phosphide nanosheet has a band gap outside the visible-near-infrared rays, so that the visible-near-infrared rays are efficiently collected. Can not.
여기서, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 게르마늄(Ge)과 인(P)의 몰비가 1:5 내지 5:1 인 것은 에너지분산형 분광분산법(EDX, energy-dispersive X-ray spectroscopy) 스펙트럼 분석하여 확인할 수 있다.Here, the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet is a molar ratio of germanium (Ge) and phosphorus (P) of 1:5 to 5:1 energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX) ) can be confirmed by spectral analysis.
그리고, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 게르마늄(Ge)과 인(P)이 상기 나노시트에 균일하게 분포될 수 있다.And, in the germanium-phosphide nanosheet, germanium (Ge) and phosphorus (P) may be uniformly distributed in the nanosheet.
여기서, 상기 게르마늄(Ge)과 상기 인(P)이 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트에 균일하게 분포되어 있음을 확인하는 방법은 에너지분산형 분광분산법(EDX, energy-dispersive X-ray spectroscopy)으로 상기 게르마늄(Ge)과 상기 인(P) 맵핑을 수행하는 것이다.Here, the method for confirming that the germanium (Ge) and the phosphorus (P) are uniformly distributed on the germanium-phosphide nanosheet is energy-dispersive X-ray (EDX) The germanium (Ge) and phosphorus (P) mapping is performed by spectroscopy.
상기 에너지분산형 분광분산법(EDX, energy-dispersive X-ray spectroscopy)으로 상기 게르마늄(Ge)과 상기 인(P) 맵핑하여 얻은 이미지에서 상기 게르마늄(Ge)과 상기 인(P) 원소가 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트에 골고루 분포되어 있다.In the image obtained by mapping the germanium (Ge) and the phosphorus (P) by the energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX), the germanium (Ge) and the phosphorus (P) elements are the phosphorus It is evenly distributed in the Germanium-Phosphide nanosheet.
또한, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.In addition, the crystalline phase of the germanium-phosphide nanosheet may be a monoclinic crystal system crystalline phase.
여기서, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 13.0°내지 15.0°에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 27.0°내지 29.0°에서 나타날 수 있다.Here, when XRD analysis of the germanium-phosphide nanosheet in the monoclinic crystal system The diffraction angle 2θ of the peak appears at 13.0° to 15.0°, The diffraction angle 2θ of the peak may appear at 27.0° to 29.0°.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 공간군(space group)은 C2/m 일 수 있다.A space group of the germanium-phosphide nanosheet may be C2/m.
그리고, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 격자상수 a는 15.140 Å이고, 격자상수 b는 3.638 Å이고, 격자상수 c는 9.190 Å이고, 격자상수 β는 101.1°일 수 있다.And, the lattice constant a of the Germanium-Phosphide nanosheet of the monoclinic crystal system crystal phase is 15.140 Å, the lattice constant b is 3.638 Å, the lattice constant c is 9.190 Å, and the lattice constant β may be 101.1°.
또한, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 단결정(single crystal) 일 수 있다.In addition, the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet may be a single crystal (single crystal).
여기서, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트가 단결정(single crystal)인 것은 투과전자현미경(TEM)의 FFT(Fast Fourier Transform) 이미지와 SAED(Selected Area Electron Diffraction) 패턴에서 전자빔이 단결정에 의해 회절되어 점 형상으로 분리되어 보이는 것으로부터 확인할 수 있다.Here, when the germanium-phosphide nanosheet is a single crystal, the electron beam is diffracted by a single crystal in a Fast Fourier Transform (FFT) image of a transmission electron microscope (TEM) and a Selected Area Electron Diffraction (SAED) pattern. It can be confirmed from what appears to be separated into dots.
그리고, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간 거리는 1 내지 5 Å 일 수 있다. And, the germanium-phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet has a monomolecular layer having a layered structure, and the interlayer distance of the monomolecular layer may be 1 to 5 Å.
또한, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간 거리는 바람직하게는 1 내지 4 Å 일 수 있고, 보다 바람직하게는 1 내지 3 Å 일 수 있다.In addition, the germanium-phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet has a monomolecular layer having a layered structure, and the interlayer distance of the monomolecular layer may be preferably 1 to 4 Å, more preferably 1 to 3 Å.
그리고, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 (204) 면간거리 d204는 2.1 Å이고, 면간거리 은 6.4 Å 일 수 있다.And, the (204) interplanar distance d 204 of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet is 2.1 Å, face-to-face distance may be 6.4 Å.
그리고, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 두께는 0.8 nm 내지 200 nm 일 수 있다. 여기서, 상기 인화게르마늄 나노시트는 일정하게 형성되어 상기 인화게르마늄 나노시트의 두께가 수 Å에서 수백 ㎛의 벌크 크기까지 증가될 수 있다.In addition, the germanium-phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet may have a thickness of 0.8 nm to 200 nm. Here, the germanium phosphide nanosheet is uniformly formed so that the thickness of the germanium phosphide nanosheet can be increased from a few Å to a bulk size of several hundreds of μm.
또한, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 두께는 바람직하게는 0.8 nm 내지 150 nm 일 수 있고, 보다 바람직하게는 1 nm 내지 100 nm 일 수 있고, 보다 더 바람직하게는 1 nm 내지 50 nm 일 수 있다.In addition, the thickness of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet may be preferably 0.8 nm to 150 nm, more preferably 1 nm to 100 nm, even more preferably 1 nm to 50 nm can be
이하, 본 발명의 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트 제조방법을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the germanium-phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet manufacturing method of the present invention will be described in detail.
본 발명의 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트 제조방법은The germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet manufacturing method of the present invention is
게르마늄(Ge) 분말과 인(P) 분말을 몰비(Ge:P) 1:5 내지 5:1로 혼합하여 반응물을 준비하는 단계;preparing a reactant by mixing germanium (Ge) powder and phosphorus (P) powder in a molar ratio (Ge:P) of 1:5 to 5:1;
상기 반응물을 석영 앰플에 넣고 진공상태로 밀봉하는 단계;putting the reactant in a quartz ampoule and sealing in a vacuum state;
온도 조절되는 전기로 안에 상기 반응물이 들어있는 석영 앰플을 넣고 반응온도 1000 내지 1400 ℃, 반응시간 12 내지 64 시간 동안 고온에서 용융하여 결정을 성장시키는 방법으로 합성하여 인화게르마늄 결정을 수득하는 단계; Putting a quartz ampoule containing the reactant in a temperature-controlled electric furnace and synthesizing it by melting it at a high temperature for a reaction temperature of 1000 to 1400° C. and a reaction time of 12 to 64 hours to grow crystals to obtain germanium phosphide crystals;
상기 인화게르마늄 결정을 유기용매에 넣고, 2 내지 10 ℃의 온도에서 초음파장치를 사용하여 단속적으로 1 내지 5 시간 동안 초음파처리하여 인화게르마늄 나노시트로 박리하는 단계; 및exfoliating the germanium phosphide nanosheets by placing the germanium phosphide crystals in an organic solvent and ultrasonicating them intermittently for 1 to 5 hours at a temperature of 2 to 10° C. using an ultrasonic device; and
박리 끝난 용액을 원심분리하여 상층의 액체를 수집한 후, 상기 액체의 유기용매를 증발시켜 인화게르마늄 나노시트 분말을 수득하는 단계를 포함한다.and centrifuging the peeled solution to collect the liquid in the upper layer, and then evaporating the organic solvent of the liquid to obtain a germanium phosphide nanosheet powder.
일 실시예로써, 인화게르마늄 화합물 반도체 결정 덩어리를 기계적 방법으로 박리하여 인화게르마늄 나노시트를 제조하는 과정으로서, 용융성장법으로 합성된 상기 인화게르마늄 화합물 반도체 결정 덩어리인 벌크 결정(bulk crystal)을 막자사발 또는 볼밀 등의 분쇄 장치를 이용하여 작은 결정으로 분쇄하기 위해 갈아준다. As an embodiment, as a process of manufacturing a germanium phosphide nanosheet by exfoliating a germanium phosphide compound semiconductor crystal mass by a mechanical method, a bulk crystal, which is a crystal mass of the germanium phosphide compound semiconductor synthesized by a melt growth method, is prepared by mortar Or, grind it to pulverize it into small crystals using a pulverizing device such as a ball mill.
상기 작은 결정으로 분쇄된 상기 인화게르마늄 결정을 유기용매에 첨가하여 인화게르마늄 결정이 분산된 용액을 준비한다. 그런 다음, 분산 용액이 담긴 반응기를 일반 초음파 장치(Hwashin 605, 40 kHz, 350 W)에서 1 내지 3 시간 동안 초음파 처리한다. 그 후, 진폭 20 %에서 작동하는 고밀도 프로브 초음파 장치(Sonics VCX-130; 20 kHz, a maximum power output of 130 W)에 배치한다. 상기 용액이 담긴 반응기를 온도 조절기가 있는 서큘레이터에 연결한 냉수통(water jacket)에 놓고, 반응기 온도를 2 내지 10 ℃로 유지한다. 상기 고밀도 프로브 초음파 장치의 초음파 팁은 과도한 가열을 방지하기 위하여 10 초 동안 반응시키고 2 초 동안 휴식기를 갖는 방식으로 1 내지 3 시간 동안 고밀도 프로브 초음파 장치를 이용하여 상기 인화게르마늄 결정을 박리한다. 박리가 끝나면 10 분 내지 1 시간 동안 3000 내지 15000 rpm으로 원심 분리하여 박리된 인화게르마늄 나노시트가 들어있는 상층 액체를 수집한다. 상기 상층 액체에서 유기용매를 증발시킨 후 인화게르마늄 나노시트를 파우더 형태로 수득한다.The germanium phosphide crystals pulverized into the small crystals are added to an organic solvent to prepare a solution in which the germanium phosphide crystals are dispersed. Then, the reactor containing the dispersion solution is sonicated in a general ultrasonicator (
여기서, 상기 인화게르마늄 결정 합성할 때 상기 게르마늄(Ge) 분말과 상기 인(P) 분말 외 다른 물질은 사용하지 않는다.Here, when synthesizing the germanium phosphide crystal, materials other than the germanium (Ge) powder and the phosphorus (P) powder are not used.
또한, 상기 인화게르마늄 결정 합성할 때, Bi, Pb, I2 등의 반응 촉매를 사용하지 않는다.In addition, when synthesizing the germanium phosphide crystal, a reaction catalyst such as Bi, Pb, or I 2 is not used.
따라서, 상기 인화게르마늄 결정 합성 후, 상기 촉매 성분이 불순물로 남아 도핑이 되거나 결정으로 같이 석출되지 않고, 이들에 대한 정제과정이 필요하지 않으며, 고온에서 진공상태로 반응하고, 이물질이 없으므로 합성된 인화게르마늄 결정의 물성도 저하되지 않는다.Therefore, after synthesizing the germanium phosphide crystal, the catalyst component remains as an impurity and is not doped or precipitated as crystals, and a purification process is not required for them. The physical properties of the germanium crystal are not deteriorated either.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 결정의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.The crystal phase of the germanium-phosphide crystal may be a monoclinic crystal system crystal phase.
또한, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 결정의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 13.0°내지 15.0°에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 27.0°내지 29.0°에서 나타날 수 있다.In addition, when XRD analysis of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) crystal The diffraction angle 2θ of the peak appears at 13.0° to 15.0°, The diffraction angle 2θ of the peak may appear at 27.0° to 29.0°.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 결정의 격자상수 a는 15.140 Å이고, 격자상수 b는 3.638 Å이고, 격자상수 c는 9.190 Å이고, 격자상수 β는 101.1°일 수 있다.The lattice constant a of the germanium-phosphide crystal may be 15.140 Å, the lattice constant b may be 3.638 Å, the lattice constant c may be 9.190 Å, and the lattice constant β may be 101.1°.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.The crystalline phase of the germanium-phosphide nanosheet may be a monoclinic crystal system crystalline phase.
또한, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 13.0°내지 15.0°에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 27.0°내지 29.0°에서 나타날 수 있다.In addition, when XRD analysis of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet The diffraction angle 2θ of the peak appears at 13.0° to 15.0°, The diffraction angle 2θ of the peak may appear at 27.0° to 29.0°.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 공간군(space group)은 C2/m 일 수 있다.A space group of the germanium-phosphide nanosheet may be C2/m.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 격자상수 a는 15.140 Å이고, 격자상수 b는 3.638 Å이고, 격자상수 c는 9.190 Å이고, 격자상수 β는 101.1°일 수 있다.The lattice constant a of the Germanium-Phosphide nanosheet may be 15.140 Å, the lattice constant b may be 3.638 Å, the lattice constant c may be 9.190 Å, and the lattice constant β may be 101.1°.
상기 인화게르마늄 결정의 결정상과 인화게르마늄 나노시트의 결정상은 단사정계로 동일한 결정상을 나타낸다.The crystal phase of the germanium phosphide crystal and the crystal phase of the germanium phosphide nanosheet are monoclinic and represent the same crystal phase.
그리고, 상기 인화게르마늄 결정 및 상기 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭을 측정하기 위하여 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인을 사용하여, 상기 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인 표면에 인화게르마늄 벌크 박막 또는 인화게르마늄 나노시트를 형성한 후, 흡수 모드에서 확산 반사 스펙트럼을 측정하여 상기 인화게르마늄 벌크 박막 또는 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭을 측정한다.Then, using an anodized aluminum oxide (AAO) membrane to measure the band gaps of the germanium phosphide crystal and the germanium phosphide nanosheet, a bulk germanium phosphide thin film was placed on the surface of the anodized aluminum oxide (AAO) membrane. Alternatively, after forming the germanium phosphide nanosheet, a diffuse reflection spectrum is measured in absorption mode to measure the band gap of the germanium phosphide bulk thin film or germanium phosphide nanosheet.
먼저, 상기 인화게르마늄 결정이 분산된 분산액을 기공크기 10 내지 50 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 후 진공건조하여 양극 알루미나 표면에 인화게르마늄(GeP) 벌크 박막을 형성한다.First, the dispersion in which the germanium phosphide crystals are dispersed is dropped on the surface of an anodized aluminum oxide (AAO) membrane having a pore size of 10 to 50 nm and applied, followed by vacuum drying to form a germanium phosphide (GeP) bulk thin film on the surface of the anode alumina. to form
그런 다음 UV-Vis-NIR spectrometer(Agilent Cary 5000)로 흡수 모드에서 확산 반사 스펙트럼을 측정하여 상기 인화게르마늄(GeP) 벌크 박막의 밴드갭을 측정한다.Then, the band gap of the germanium phosphide (GeP) bulk thin film is measured by measuring the diffuse reflection spectrum in absorption mode with a UV-Vis-NIR spectrometer (Agilent Cary 5000).
여기서, 상기 인화게르마늄 벌크 박막의 밴드갭은 0.5 내지 0.9 eV(빛 파장으로 환산시 1380 내지 2480 nm)로 가시광선-근적외선 영역대가 아니다.Here, the band gap of the germanium phosphide bulk thin film is 0.5 to 0.9 eV (1380 to 2480 nm in terms of light wavelength), which is not in the visible-near-infrared region.
또한, 상기 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭을 측정하기 위하여 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인을 사용한다.In addition, an anodized aluminum oxide (AAO) membrane is used to measure the band gap of the germanium phosphide nanosheet.
먼저, 상기 박리된 인화게르마늄 나노시트가 들어있는 상층 액체를 기공크기 10 내지 50 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 후 진공건조하여 양극 알루미나 표면에 인화게르마늄(GeP) 나노시트를 형성한다.First, the upper layer liquid containing the exfoliated germanium phosphide nanosheet is dropped on the surface of an anodized aluminum oxide (AAO) membrane having a pore size of 10 to 50 nm and applied, followed by vacuum drying to apply germanium phosphide (GeP) to the anode alumina surface. ) to form nanosheets.
그런 다음 UV-Vis-NIR spectrometer(Agilent Cary 5000)로 흡수 모드에서 확산 반사 스펙트럼을 측정하여 상기 인화게르마늄(GeP) 나노시트의 밴드갭을 측정한다.Then, the band gap of the germanium phosphide (GeP) nanosheet is measured by measuring the diffuse reflection spectrum in absorption mode with a UV-Vis-NIR spectrometer (Agilent Cary 5000).
여기서, 상기 인화게르마늄 니노시트의 밴드갭은 0.92 내지 2.5 eV(빛 파장으로 환산시 500 nm 내지 1350 nm)로 가시광선-근적외선 영역대의 밴드갭을 나타낸다.Here, the band gap of the germanium phosphide nino sheet is 0.92 to 2.5 eV (500 nm to 1350 nm in terms of light wavelength), indicating a band gap in the visible-near-infrared region.
도 1a는 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 나노시트의 원료물질인 인화게르마늄 화합물 반도체 결정을 합성하는 용융성장법에 대한 모식도이고, 도 1b는 상기 용융성장법 반응조건에 대한 그래프이다.1A is a schematic diagram of a melt growth method for synthesizing a germanium phosphide compound semiconductor crystal, which is a raw material of a germanium phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a graph for the reaction conditions of the melt growth method.
도 1a 및 도 1b와 같이, 상기 인화게르마늄 결정 합성할 때, 상기 게르마늄(Ge) 분말과 상기 인(P) 분말을 몰비(Ge:P) 1:5 내지 5:1로 혼합한 후, 석영 앰플에 넣고, 진공상태로 밀봉하여, 온도 조절되는 전기로 안에 상기 반응물이 들어있는 석영 앰플을 넣고, 반응온도 1000 내지 1400 ℃, 반응시간 12 내지 64 시간 동안 고온에서 용융하여 결정을 성장시키는 방법(고온 용융성장법)을 사용하므로, 상기 합성된 인화게르마늄 결정은 불순물 없이 순수한 상태로 합성될 수 있다.1A and 1B, when synthesizing the germanium phosphide crystal, the germanium (Ge) powder and the phosphorus (P) powder are mixed in a molar ratio (Ge:P) of 1:5 to 5:1, and then a quartz ampoule A method of growing crystals by putting the quartz ampoule containing the reactant in a temperature-controlled electric furnace, sealing it in a vacuum, and melting it at a high temperature for a reaction temperature of 1000 to 1400 ° C and a reaction time of 12 to 64 hours (high temperature melting growth method), the synthesized germanium phosphide crystal can be synthesized in a pure state without impurities.
도 2는 본 발명의 실시예를 따르는 용융성장법으로 합성된 인화게르마늄 화합물 반도체 결정 덩어리 사진이다.2 is a photograph of a crystal mass of a germanium phosphide compound semiconductor synthesized by a melt growth method according to an embodiment of the present invention.
도 2와 같이, 상기 인화게르마늄 화합물 결정은 검은 회색의 결정 덩어리 형상으로 얻어진다.As shown in FIG. 2 , the germanium phosphide compound crystal is obtained in the form of a black gray crystal mass.
또한, 상기 고온 용융성장법으로 합성된 상기 인화게르마늄 결정은 단일상의 결정으로 성장할 수 있다.In addition, the germanium phosphide crystal synthesized by the high-temperature melt growth method may be grown as a single-phase crystal.
이때, 상기 인화게르마늄 결정의 단일상의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.In this case, the single-phase crystal phase of the germanium phosphide crystal may be a monoclinic crystal system crystal phase.
상기 합성된 인화게르마늄 결정을 다양한 기계적 박리법, 즉 스카치 테입법, 폴리디메틸실록산 (Poly (dimethylsiloxane), PDMS) 스탬프법, 또는 용매를 사용한 초음파 분쇄법을 포함한 기계적 박리법 중 어느 하나 이상의 방법으로 박리하여 0.8 nm 내지 200 nm 두께의 나노시트를 얻을 수 있다.The synthesized germanium phosphide crystal is peeled off by any one or more of various mechanical peeling methods, that is, a mechanical peeling method including a scotch tape method, a poly(dimethylsiloxane), PDMS stamping method, or an ultrasonic grinding method using a solvent. Thus, a nanosheet having a thickness of 0.8 nm to 200 nm can be obtained.
그러나, 상기 인화게르마늄 결정을 박리하여 상기 인화게르마늄 나노시트를 형성하는 방법은 상기 기계적 박리법에 한정되지 않는다.However, the method of exfoliating the germanium phosphide crystal to form the germanium phosphide nanosheet is not limited to the mechanical exfoliation method.
도 3은 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 화합물 반도체 결정 덩어리를 기계적 방법으로 박리하여 인화게르마늄 나노시트를 제조하는 과정에 대한 도식화 이미지이다.3 is a schematic image of a process of manufacturing a germanium phosphide nanosheet by exfoliating a germanium phosphide compound semiconductor crystal mass according to an embodiment of the present invention by a mechanical method.
도 3과 같이, 상기 용융성장법으로 합성된 상기 인화게르마늄 화합물 반도체 결정 덩어리인 벌크 결정(bulk crystal)을 막자사발 또는 볼밀 등을 이용하여 작은 결정으로 분쇄하기 위해 갈아준 다음(grinding) 상기 스카치 테입법, 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS) 스탬프법, 또는 용매를 사용한 초음파 분쇄법을 포함한 기계적 박리법 중 어느 하나 이상의 방법으로 박리하여 상기 인화게르마늄 나노시트를 형성할 수 있다.As shown in FIG. 3 , the bulk crystal, which is a crystal mass of the germanium phosphide compound semiconductor synthesized by the melt growth method, is ground to be pulverized into small crystals using a mortar or ball mill, and then the Scotch tape The germanium phosphide nanosheet may be formed by exfoliation by any one or more methods of legislation, a polydimethylsiloxane (PDMS) stamping method, or a mechanical exfoliation method including a solvent ultrasonic pulverization method.
그러나, 상기 인화게르마늄 결정을 박리하여 상기 인화게르마늄 나노시트를 형성하는 방법은 상기 기계적 박리법에 한정되지 않는다.However, the method of exfoliating the germanium phosphide crystal to form the germanium phosphide nanosheet is not limited to the mechanical exfoliation method.
일 실시예로, 액체상 박리법인 용매를 사용한 초음파 분쇄법은 하기와 같다.In one embodiment, the ultrasonic pulverization method using a solvent, which is a liquid phase peeling method, is as follows.
상기 작은 결정으로 분쇄된 상기 인화게르마늄 결정을 유기용매에 첨가한 다음 고밀도 프로브 초음파 장치를 이용하여 2 내지 10 ℃의 저온에서 3 내지 20 초간 초음파 반응시키고, 2 내지 5초간 휴식기를 갖는 방법으로 1 내지 5 시간 초음파 처리하여 박리시킨다. 박리가 끝나면 용액을 10 분 내지 1 시간 동안 2000 내지 5000 rpm으로 원심분리하여 박리된 인화게르마늄 나노시트가 들어있는 상층에 떠있는 액체를 수집한다. 상기 상층에 떠있는 액체에서 유기용매를 증발시킨 후 장축 1 내지 100 ㎛, 두께 0.8 내지 200 nm의 상기 인화게르마늄 나노시트를 파우더 형태로 수득한다.The germanium phosphide crystals pulverized into the small crystals are added to an organic solvent, followed by ultrasonic reaction at a low temperature of 2 to 10° C. for 3 to 20 seconds using a high-density probe ultrasonic device, followed by a rest period of 2 to 5 seconds. It is exfoliated by ultrasonication for 5 hours. After the exfoliation, the solution is centrifuged at 2000 to 5000 rpm for 10 minutes to 1 hour to collect the liquid floating on the upper layer containing the exfoliated germanium phosphide nanosheets. After evaporating the organic solvent from the liquid floating on the upper layer, the germanium phosphide nanosheets having a long axis of 1 to 100 μm and a thickness of 0.8 to 200 nm are obtained in powder form.
도 4는 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 나노시트의 X-선 회절 (XRD, X-Ray Diffraction) 패턴이다.4 is an X-ray diffraction (XRD, X-Ray Diffraction) pattern of a germanium phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention.
도 4와 같이, 상기 인화게르마늄 나노시트의 단일상의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 일 수 있다.4 , the single-phase crystalline phase of the germanium phosphide nanosheet may be a monoclinic crystal system crystalline phase.
여기서, 상기 인화게르마늄 결정 및 상기 인화게르마늄 나노시트 모두 동일한 단사정계 결정상을 가질 수 있다. Here, both the germanium phosphide crystal and the germanium phosphide nanosheet may have the same monoclinic crystal phase.
상기 인화게르마늄 결정의 결정상이 단사정계이면 박리가 용이하게 수행되었을 때 상기 인화게르마늄 나노시트의 결정상도 동일하게 단사정계일 수 있다.If the crystalline phase of the germanium phosphide crystal is monoclinic, the crystalline phase of the germanium phosphide nanosheet may also be monoclinic when exfoliation is easily performed.
또한, 상기 박리된 인화게르마늄 나노시트의 결정상이 단사정계이면 상기 인화게르마늄 결정의 결정상도 동일하게 단사정계일 수 있다.In addition, if the crystalline phase of the exfoliated germanium phosphide nanosheet is monoclinic, the crystalline phase of the germanium phosphide crystal may also be monoclinic.
여기서, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 13.0°내지 15.0°에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 27.0°내지 29.0°에서 나타날 수 있다.Here, when XRD analysis of the germanium-phosphide nanosheet in the monoclinic crystal system The diffraction angle 2θ of the peak appears at 13.0° to 15.0°, The diffraction angle 2θ of the peak may appear at 27.0° to 29.0°.
도 4의 하부 계산값은 VESTA 프로그램 (http://jp-minerals.org /vesta/en/)을 사용하여 인화게르마늄(GeP)의 계산된 XRD 패턴을 생성한 것이고, 도 4의 중간 측정값은 인화게르마늄 결정의 XRD 패턴이고, 도 4의 상부 측정값은 인화게르마늄 나노시트의 XRD 패턴이다. 인화게르마늄(GeP)의 계산된 XRD 패턴의 격자상수(a = 15.140 Å, b = 3.638 Å, c = 9.190 Å, β = 101.1°)는 합성한 인화게르마늄 나노시트의 측정된 XRD 패턴의 격자상수(a = 15.140 Å, b = 3.638 Å, c = 9.190 Å, β = 101.1°)와 일치하는 것을 확인할 수 있다.The lower calculated value of FIG. 4 is a calculated XRD pattern of germanium phosphide (GeP) using the VESTA program (http://jp-minerals.org /vesta/en/), and the intermediate measured value of FIG. 4 is It is an XRD pattern of a germanium phosphide crystal, and the upper measurement value of FIG. 4 is an XRD pattern of a germanium phosphide nanosheet. The lattice constant of the calculated XRD pattern of germanium phosphide (GeP) (a = 15.140 Å, b = 3.638 Å, c = 9.190 Å, β = 101.1°) is the lattice constant of the measured XRD pattern of the synthesized germanium phosphide nanosheet ( a = 15.140 Å, b = 3.638 Å, c = 9.190 Å, β = 101.1°).
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 공간군(space group)은 C2/m 일 수 있다.A space group of the germanium-phosphide nanosheet may be C2/m.
즉, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 격자상수 a는 15.140 Å이고, 격자상수 b는 3.638 Å이고, 격자상수 c는 9.190 Å이고, 격자상수 β는 101.1°일 수 있다.That is, the lattice constant a of the Germanium-Phosphide nanosheet in the monoclinic crystal system crystal phase is 15.140 Å, the lattice constant b is 3.638 Å, the lattice constant c is 9.190 Å, and the lattice constant β is may be 101.1°.
도 5a는 본 발명의 비교예를 따르는 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정의 XRD 회절 패턴이고, 도 5b는 확대된 XRD 회절 패턴이다.5A is an XRD diffraction pattern of a germanium phosphide-germanium mixed crystal according to a comparative example of the present invention, and FIG. 5B is an enlarged XRD diffraction pattern.
도 5a 및 도 5b와 같이, 용융성장법 합성 시 반응온도 930 ℃로 합성한 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정은 XRD 패턴에서 27.3˚ 전후에서 게르마늄의 피크가 관찰되므로, 상기 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정은 인화게르마늄 화합물 및 잔여(Residue) 게르마늄이 혼재된 혼합 결정임을 확인할 수 있다.As shown in FIGS. 5A and 5B , the germanium phosphide-germanium mixed crystal synthesized at a reaction temperature of 930° C. during the melt growth method has a peak of germanium observed around 27.3° in the XRD pattern, so the germanium phosphide-germanium mixed crystal is phosphide. It can be confirmed that the germanium compound and residual germanium are mixed crystals.
도 6a는 본 발명의 실시예를 따르는 볼 및 스틱(ball-and-stick) 모델에서 계산된 인화게르마늄 나노시트의 결정구조를 도식화한 이미지이고, 도 6b 및 도 6c는 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 나노시트의 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지이고, 도 6i 및 도 6ii는 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 나노시트의 투과전자현미경(TEM, transmission electron microscope) 이미지이고, 도 6d는 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 나노시트의 에너지분산형 분광분산법(EDX, energy-dispersive X-ray spectroscopy) 원소 맵핑 결과 및 원소 함량 분석 결과이다.6A is a schematic image of the crystal structure of a germanium phosphide nanosheet calculated in a ball-and-stick model according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 6B and 6C are images according to an embodiment of the present invention A scanning electron microscope (SEM) image of a germanium phosphide nanosheet, FIGS. 6i and 6ii are a transmission electron microscope (TEM) image of a germanium phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6d is an energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX) element mapping result and element content analysis result of a germanium phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention.
도 6a는 볼 및 스틱(ball-and-stick) 모델로 계산한 Ge:P 몰비가 1:1 인 인화게르마늄 나노시트의 결정구조를 도식화한 이미지이다. 도 6a와 같이, 측면도는 [010] 정대축에서의 게르마늄(Ge) 원자와 인(P) 원자의 배열을 보여주었고, 정면도는 정대축에서의 게르마늄(Ge) 원자와 인(P) 원자의 배열을 보여주었다.6A is a schematic image of the crystal structure of a germanium phosphide nanosheet having a Ge:P molar ratio of 1:1 calculated using a ball-and-stick model. As shown in FIG. 6a, the side view shows the arrangement of germanium (Ge) atoms and phosphorus (P) atoms in the [010] axis, and the front view is The arrangement of germanium (Ge) atoms and phosphorus (P) atoms on the ordinate is shown.
모든 게르마늄(Ge) 원자는 3개의 인(P) 원자와 그리고 다른 하나의 게르마늄(Ge)원자에 배위되며, 모든 인(P) 원자는 3개의 게르마늄(Ge) 원자에 배위된다.Every germanium (Ge) atom is coordinated with three phosphorus (P) atoms and another germanium (Ge) atom, and every phosphorus (P) atom is coordinated with three germanium (Ge) atoms.
이때, 인화게르마늄 나노시트 각각의 단분자층은 반데르발스 상호작용으로 단분자층이 쌓이게 되며 1 내지 5 Å 간격으로 떨어진 층상구조 또는 시트구조를 이룬다.At this time, the monomolecular layers of each germanium phosphide nanosheet are stacked by van der Waals interaction to form a layered structure or a sheet structure spaced apart by 1 to 5 Å intervals.
즉, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간 거리는 1 내지 5 Å 일 수 있다.That is, the germanium-phosphide nanosheet has a monolayer of a layered structure, and the interlayer distance of the monolayer may be 1 to 5 Å.
또한, 도 6b의 주사전자현미경(SEM) 이미지로부터 상기 인화게르마늄 나노시트는 얇은 판이 겹겹이 쌓여 있는 구조로 이루어진 것을 확인할 수 있다.In addition, it can be confirmed from the scanning electron microscope (SEM) image of FIG. 6b that the germanium phosphide nanosheet has a structure in which thin plates are stacked on top of each other.
여기서, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 두께는 0.8 nm 내지 200 nm 일 수 있다. 그리고, 얇은 판이 겹겹이 쌓여 있는 구조의 상기 인화게르마늄 나노시트는 일정하게 형성되어 상기 인화게르마늄 나노시트의 두께가 수 Å에서 수백 ㎛의 벌크 크기까지 증가될 수 있다.Here, the germanium-phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet may have a thickness of 0.8 nm to 200 nm. In addition, the germanium phosphide nanosheets having a structure in which thin plates are stacked are uniformly formed, so that the thickness of the germanium phosphide nanosheets can be increased from a few Å to a bulk size of several hundreds of μm.
또한, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 두께는 바람직하게는 0.8 nm 내지 150 nm 일 수 있고, 보다 바람직하게는 1 nm 내지 100 nm 일 수 있고, 보다 더 바람직하게는 1 nm 내지 50 nm 일 수 있다.In addition, the thickness of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet may be preferably 0.8 nm to 150 nm, more preferably 1 nm to 100 nm, even more preferably 1 nm to 50 nm can be
그리고, 도 6c의 주사전자현미경(SEM) 이미지와 SEM 이미지상의 특정 위치(i 또는 ii)에서 측정한 도 6i 및 도 6ii의 투과전자현미경(TEM) 이미지 및 SAED점패턴으로부터 상기 인화게르마늄 나노시트는 단결정이고, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간 거리는 1 내지 5 Å 이며, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 (204) 면간거리 d204는 2.1 Å이고, 면간거리 은 6.4 Å 임을 확인할 수 있다.And, from the scanning electron microscope (SEM) image of FIG. 6c and the transmission electron microscope (TEM) image and SAED dot pattern of FIGS. 6i and 6ii measured at a specific position (i or ii) on the SEM image, the germanium phosphide nanosheet is It is a single crystal, and the germanium-phosphide nanosheet has a monolayer of a layered structure, the interlayer distance of the monolayer is 1 to 5 Å, and the (204) interplanar distance d 204 of the germanium-phosphide nanosheet. is 2.1 Å, face-to-face distance It can be confirmed that is 6.4 Å.
또한, 도 6d의 EDX 원소 맵핑 결과로부터, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 게르마늄(Ge) 원소와 인(P) 원소가 상기 인화게르마늄 나노시트에 골고루 분산되어 있음을 확인할 수 있다. 그리고, 상기 EDX 원소 함량 분석 결과로부터 상기 게르마늄(Ge) 원소와 인(P)원소는 몰비(Ge:P)가 1:1로 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트를 구성함을 확인할 수 있다.In addition, from the EDX element mapping result of FIG. 6d , it can be confirmed that, in the germanium-phosphide nanosheet, a germanium (Ge) element and a phosphorus (P) element are evenly dispersed in the germanium phosphide nanosheet. And, from the EDX element content analysis result, it can be confirmed that the germanium (Ge) element and the phosphorus (P) element have a molar ratio (Ge:P) of 1:1 to constitute a germanium-phosphide nanosheet.
도 7은 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 결정 및 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭을 측정한 흡수 모드에서의 확산 반사 스펙트럼이다.7 is a diffuse reflection spectrum in an absorption mode in which the band gap of a germanium phosphide crystal and a germanium phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention is measured.
상기 인화게르마늄 결정 및 상기 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭을 측정하기 위하여 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인을 사용한다.In order to measure the band gap of the germanium phosphide crystal and the germanium phosphide nanosheet, an anodized aluminum oxide (AAO) membrane is used.
먼저, 상기 인화게르마늄 결정이 분산된 분산액을 기공크기 20 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 후 진공건조하여 양극 알루미나 표면에 인화게르마늄(GeP) 벌크 박막을 형성한다.First, the dispersion in which the germanium phosphide crystals are dispersed is dropped on the surface of an anodized aluminum oxide (AAO) membrane having a pore size of 20 nm and applied, followed by vacuum drying to form a germanium phosphide (GeP) bulk thin film on the surface of the anode alumina. .
그런 다음, UV-Vis-NIR spectrometer(Agilent Cary 5000)로 흡수 모드에서 확산 반사 스펙트럼을 측정하여 상기 인화게르마늄(GeP) 벌크 박막의 밴드갭을 측정한다.Then, the band gap of the germanium phosphide (GeP) bulk thin film is measured by measuring the diffuse reflection spectrum in absorption mode with a UV-Vis-NIR spectrometer (Agilent Cary 5000).
여기서, 상기 인화게르마늄 벌크 박막의 밴드갭은 0.9 eV(빛 파장으로 환산시 1380 nm)로 가시광선-근적외선 영역대가 아니다.Here, the band gap of the germanium phosphide bulk thin film is 0.9 eV (1380 nm when converted to a light wavelength), which is not in the visible-near-infrared region.
또한, 상기 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭을 측정하기 위하여 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인을 사용한다.In addition, an anodized aluminum oxide (AAO) membrane is used to measure the band gap of the germanium phosphide nanosheet.
먼저, 상기 박리된 인화게르마늄 나노시트가 들어있는 상층 액체를 기공크기 20 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide, AAO) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 후 진공건조하여 양극 알루미나 표면에 인화게르마늄(GeP) 나노시트를 형성한다.First, the upper layer liquid containing the exfoliated germanium phosphide nanosheet was dropped on the surface of an anodized aluminum oxide (AAO) membrane having a pore size of 20 nm and applied, followed by vacuum drying to apply germanium phosphide (GeP) nanoparticles to the surface of the anode alumina. form a sheet
그런 다음, UV-Vis-NIR spectrometer (Agilent Cary 5000)로 흡수 모드에서 확산 반사 스펙트럼을 측정하여 상기 인화게르마늄(GeP) 나노시트의 밴드갭을 측정한다.Then, the band gap of the germanium phosphide (GeP) nanosheet is measured by measuring the diffuse reflection spectrum in absorption mode with a UV-Vis-NIR spectrometer (Agilent Cary 5000).
여기서, 상기 인화게르마늄 박막의 밴드갭은 2.3 eV(빛 파장으로 환산시 540 nm)로, 가시광선 영역대의 밴드갭을 나타낸다.Here, the band gap of the germanium phosphide thin film is 2.3 eV (540 nm in terms of light wavelength), indicating a band gap in the visible ray region.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되는 것으로 해석되지는 않는다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail through examples. It should not be construed that the scope of the present invention is limited by these examples.
<실시예><Example>
<실시예 1> 인화게르마늄(Germanium-Phosphide, GeP) 결정 제조<Example 1> Preparation of Germanium-Phosphide (GeP) crystals
도 1a 및 도 1b와 같이, 게르마늄 분말(순도 99.999%, 제조사: 알파에이서)과 인 분말(순도 99.9%, 제조사: 알파에이서)을 1:1 몰비(Ge:P; 0.7 g: 0.3 g)로 혼합한 후 석영 앰플에 넣고 진공상태로 밀봉하였다. 상기 석영 앰플의 외경은 1 cm, 길이는 2 내지 3 cm이고, 벽 두께는 2 mm이였다. 혼합 분말 시료가 들어간 상기 석영 앰플을 온도 조절이 가능한 전기로 내부에 놓고, 용융성장법(melt-growth method)으로 합성하였다. 상기 용융성장법 합성 조건을 하기 표 1에 기재하였다. 즉, 반응온도 1100 ℃까지 24 시간에 걸쳐 승온 조건 44.8 ℃/hr에 따라 천천히 승온하고, 48 시간 동안 반응시킨 후, 24 시간에 걸쳐 상온까지 천천히 식혀주어 도 2와 같이 검은회색의 인화게르마늄(Germanium-Phosphide, GeP) 결정을 수득하였다.1a and 1b, germanium powder (purity 99.999%, manufacturer: Alpha-Acer) and phosphorus powder (purity 99.9%, manufacturer: Alpha-Acer) in a 1:1 molar ratio (Ge:P; 0.7 g: 0.3 g) After mixing, it was placed in a quartz ampoule and sealed under vacuum. The outer diameter of the quartz ampoule was 1 cm, the length was 2-3 cm, and the wall thickness was 2 mm. The quartz ampoule containing the mixed powder sample was placed inside an electric furnace capable of temperature control, and synthesized by a melt-growth method. The melt growth method synthesis conditions are described in Table 1 below. That is, the reaction temperature was slowly raised to 1100 °C over 24 hours according to the temperature increase condition of 44.8 °C/hr, reacted for 48 hours, and then slowly cooled to room temperature over 24 hours, as shown in FIG. -Phosphide, GeP) crystals were obtained.
<실시예 2> 인화게르마늄(Germanium-Phosphide, GeP) 나노시트 제조<Example 2> Preparation of Germanium-Phosphide (GeP) nanosheets
도 3의 인화게르마늄 화합물 반도체 결정 덩어리를 기계적 방법으로 박리하여 인화게르마늄 나노시트를 제조하는 과정에 대한 도식화 이미지와 같이, 실시예 1에서 용융성장법으로 합성된 상기 인화게르마늄 화합물 반도체 결정 덩어리인 벌크 결정(bulk crystal)을 막자사발을 이용하여 작은 결정으로 분쇄하기 위해 갈아주었다(grinding). As shown in the schematic image of the process of manufacturing the germanium phosphide nanosheet by exfoliating the germanium phosphide compound semiconductor crystal mass of FIG. 3 by a mechanical method, the bulk crystal which is the germanium phosphide compound semiconductor crystal mass synthesized by the melt growth method in Example 1 (bulk crystal) was ground using a mortar to grind into small crystals.
상기 작은 결정으로 분쇄된 상기 인화게르마늄 결정 20 mg을 유기용매인 10 mL의 NMP(N-methyl-2-pyrrolidone, Sigma-Aldrich, anhydrous, 99.5%)에 첨가하여 인화게르마늄 결정이 분산된 용액을 준비하였다. 그런 다음, 용액이 담긴 반응기를 일반 초음파 장치(Hwashin 605, 40 kHz, 350 W)에서 2 시간 동안 초음파 처리하였다. 그런 다음, 진폭 20 %에서 작동하는 고밀도 프로브 초음파 장치(Sonics VCX-130; 20 kHz, a maximum power output of 130 W)에 배치하였다. 상기 용액이 담긴 반응기를 온도 조절기가 있는 서큘레이터에 연결한 냉수통(water jacket)에 놓고, 반응기 온도를 4 ℃로 유지하였다. 상기 고밀도 프로브 초음파 장치의 초음파 팁은 과도한 가열을 방지하기 위하여 10 초 동안 반응시키고, 2 초 동안 휴식기를 갖는 방식으로, 2 시간 동안 고밀도 프로브 초음파 장치를 이용하여 상기 인화게르마늄 결정을 박리하였다. 박리가 끝나면 20 분 동안 3000 rpm으로 원심 분리하여 박리된 인화게르마늄 나노시트가 들어있는 상층 액체를 수집하였다. 상기 상층 액체에서 유기용매를 증발시킨 후 장축 2 내지 10 ㎛, 두께 1 내지 30 nm의 인화게르마늄 나노시트를 파우더 형태로 수득하였다.20 mg of the germanium phosphide crystals pulverized into small crystals were added to 10 mL of NMP (N-methyl-2-pyrrolidone, Sigma-Aldrich, anhydrous, 99.5%) as an organic solvent to prepare a solution in which germanium phosphide crystals were dispersed did Then, the reactor containing the solution was sonicated for 2 hours in a general ultrasonicator (
<실시예 3> 양극 알루미나 표면에 인화게르마늄(GeP) 벌크 박막 형성<Example 3> Formation of a bulk thin film of germanium phosphide (GeP) on the surface of alumina anode
상기 실시예 1에서 제조한 인화게르마늄 결정이 분산된 분산액을 기공크기 20 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide (AAO)) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 후 진공건조하여 양극 알루미나 표면에 인화게르마늄(GeP) 벌크 박막을 형성하였다.The dispersion in which the germanium phosphide crystals prepared in Example 1 are dispersed is dropped onto the surface of an anodized aluminum oxide (AAO) membrane having a pore size of 20 nm and applied, followed by vacuum drying to form germanium phosphide (GeP) on the anode alumina surface. A bulk thin film was formed.
<실시예 4> 양극 알루미나 표면에 인화게르마늄(GeP) 나노시트 형성<Example 4> Formation of germanium phosphide (GeP) nanosheets on the surface of alumina anode
상기 실시예 2의 박리된 인화게르마늄 나노시트가 들어있는 상층 액체를 기공크기 20 nm인 양극 알루미나(anodized aluminum oxide (AAO)) 멤브레인 표면에 떨어뜨려 도포한 후 진공건조하여 양극 알루미나 표면에 인화게르마늄(GeP) 나노시트를 형성하였다.The upper layer liquid containing the exfoliated germanium phosphide nanosheets of Example 2 was dropped onto the surface of an anodized aluminum oxide (AAO) membrane having a pore size of 20 nm and applied, followed by vacuum drying and drying the germanium phosphide ( GeP) nanosheets were formed.
<비교예 1> 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정 제조<Comparative Example 1> Preparation of germanium phosphide-germanium mixed crystal
용융성장법 합성 시 반응온도 930 ℃로 합성하는 것을 제외하고, 실시예 1과 같은 방법으로 합성하여 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정을 제조하였다.A germanium phosphide-germanium mixed crystal was prepared by synthesizing in the same manner as in Example 1, except that the synthesis was performed at a reaction temperature of 930° C. during the melt growth method synthesis.
<비교예 2> 인화게르마늄-게르마늄 혼합 나노시트 제조<Comparative Example 2> Preparation of germanium phosphide-germanium mixed nanosheets
상기 비교예 1의 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정을 사용하는 것을 제외하고, 실시예 2와 같은 방법으로 박리하여 인화게르마늄-게르마늄 혼합 나노시트를 수득하였다.A germanium phosphide-germanium mixed nanosheet was obtained by peeling in the same manner as in Example 2, except that the germanium phosphide-germanium mixed crystal of Comparative Example 1 was used.
<실험예><Experimental example>
합성한 인화게르마늄 결정 및 상기 인화게르마늄 결정을 박리하여 얻은 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭, 형태 및 결정상을 관찰하고 격자 구조를 분석하기 위해 UV-Vis-NIR spectrometer (Agilent Cary 5000), SEM (Hitachi S-4700), 포항 방사성 가속기 XRD(9B beam line of the Pohang Light Source (PLS), 또는 Cu Kα radiation(λ = 1.54056 Å)를 사용하는 실험실용 XRD(Rigaku D/MAX-2500 V/PC), TEM(FEI TECNAI G2 200kV), High-Voltage TEM HVEM(Jeol JEM ARM 1300S, 1.25 MV) 등의 장비를 이용하였다. UV-Vis-NIR spectrometer (Agilent Cary 5000), SEM (Hitachi S -4700), Pohang Radiation Accelerator XRD (9B beam line of the Pohang Light Source (PLS), or laboratory XRD (Rigaku D/MAX-2500 V/PC) using Cu Kα radiation (λ = 1.54056 Å), TEM (FEI TECNAI G2 200kV) and High-Voltage TEM HVEM (Jeol JEM ARM 1300S, 1.25 MV) were used.
<실험예 1> 인화게르마늄 나노시트의 X-선 회절(XRD) 패턴 측정<Experimental Example 1> Measurement of X-ray diffraction (XRD) pattern of germanium phosphide nanosheets
상기 실시예 1에서 제조한 인화게르마늄 결정 및 상기 실시예 2에서 제조한 인화게르마늄 나노시트의 X-선 회절(XRD) 패턴을 측정하였다.X-ray diffraction (XRD) patterns of the germanium phosphide crystals prepared in Example 1 and the germanium phosphide nanosheets prepared in Example 2 were measured.
도 4는 실시예 1에서 제조한 인화게르마늄 결정 및 상기 실시예 2에서 제조한 인화게르마늄 나노시트의 XRD 회절 패턴이다. 도 4의 실시예 1의 인화게르마늄 결정 및 실시예 2의 인화게르마늄 나노시트의 X-선 회절(XRD, X-Ray Diffraction) 패턴을 얻기 위하여, 포항 방사성 가속기 XRD(9B beam line of the Pohang Light Source (PLS), 또는 Cu Kα radiation(λ = 1.54056 Å)를 사용하는 실험실용 XRD(Rigaku D/MAX-2500 V/PC)를 사용하였다.4 is an XRD diffraction pattern of the germanium phosphide crystal prepared in Example 1 and the germanium phosphide nanosheet prepared in Example 2 above. In order to obtain an X-ray diffraction (XRD, X-Ray Diffraction) pattern of the germanium phosphide crystal of Example 1 and the germanium phosphide nanosheet of Example 2 of FIG. 4, Pohang Radiation Accelerator XRD (9B beam line of the Pohang Light Source) (PLS), or laboratory XRD (Rigaku D/MAX-2500 V/PC) using Cu Kα radiation (λ = 1.54056 Å) was used.
도 4의 하부 계산값은 VESTA 프로그램 (http://jp-minerals.org /vesta/en/)을 사용하여 인화게르마늄(GeP)의 계산된 XRD 패턴을 생성한 것이고, 도 4의 중간 측정값은 상기 실시예 1에서 얻은 인화게르마늄 결정의 XRD 패턴이고, 도 4의 상부 측정값은 상기 실시예 2에서 얻은 인화게르마늄 나노시트의 XRD 패턴이다. 인화게르마늄(GeP)의 계산된 XRD 패턴의 격자상수(a = 15.140 Å, b = 3.638 Å, c = 9.190 Å, β = 101.1°)는 합성한 인화게르마늄 나노시트의 측정된 XRD 패턴의 격자상수(a = 15.140 Å, b = 3.638 Å, c = 9.190 Å, β = 101.1°)와 일치하는 것을 확인할 수 있었다.The lower calculated value of FIG. 4 is a calculated XRD pattern of germanium phosphide (GeP) using the VESTA program (http://jp-minerals.org /vesta/en/), and the intermediate measured value of FIG. 4 is It is the XRD pattern of the germanium phosphide crystal obtained in Example 1, and the upper measurement value in FIG. 4 is the XRD pattern of the germanium phosphide nanosheet obtained in Example 2. The lattice constant of the calculated XRD pattern of germanium phosphide (GeP) (a = 15.140 Å, b = 3.638 Å, c = 9.190 Å, β = 101.1°) is the lattice constant of the measured XRD pattern of the synthesized germanium phosphide nanosheet ( a = 15.140 Å, b = 3.638 Å, c = 9.190 Å, β = 101.1°).
상기 XRD 분석으로부터, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 결정의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 이였다.From the XRD analysis, the crystalline phase of the germanium-phosphide crystal was a monoclinic crystal system.
여기서, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 실시예 1에서 제조된 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 결정의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 13.0°내지 15.0°에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 27.0°내지 29.0°에서 나타났다. Here, when XRD analysis of the germanium-phosphide crystal prepared in Example 1 of the monoclinic crystal system crystal phase The diffraction angle 2θ of the peak appears at 13.0° to 15.0°, The diffraction angle 2θ of the peak appeared at 27.0° to 29.0°.
그리고, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 실시예 1에서 제조된 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 결정의 격자상수 a는 15.140 Å이고, 격자상수 b는 3.638 Å이고, 격자상수 c는 9.190 Å이고, 격자상수 β는 101.1°이였다.And, the lattice constant a of the germanium-phosphide crystal prepared in Example 1 of the monoclinic crystal system crystal phase is 15.140 Å, the lattice constant b is 3.638 Å, and the lattice constant c is 9.190 Å. , and the lattice constant β was 101.1°.
또한, 상기 XRD 분석으로부터, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 이였다.In addition, from the XRD analysis, the crystalline phase of the germanium-phosphide nanosheet was a monoclinic crystal system crystalline phase.
여기서, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 실시예 2에서 제조된 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 13.0°내지 15.0°에서 나타났고, 피크의 회절각 2θ는 27.0°내지 29.0°에서 나타났다.Here, when XRD analysis of the germanium-phosphide nanosheet prepared in Example 2 of the monoclinic crystal system crystal phase The diffraction angle 2θ of the peak appeared at 13.0° to 15.0°, The diffraction angle 2θ of the peak appeared at 27.0° to 29.0°.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 공간군(space group)은 C2/m 이였다. A space group of the germanium-phosphide nanosheet was C2/m.
그리고, 상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 실시예 2에서 제조된 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 격자상수 a는 15.140 Å이고, 격자상수 b는 3.638 Å이고, 격자상수 c는 9.190 Å이고, 격자상수 β는 101.1°이였다.And, the lattice constant a of the germanium-phosphide nanosheet prepared in Example 2 of the monoclinic crystal system crystal phase is 15.140 Å, the lattice constant b is 3.638 Å, and the lattice constant c is 9.190 Å, and the lattice constant β was 101.1°.
상기 실시예 1에서 제조된 인화게르마늄 결정의 결정상과 상기 실시예 2에서 제조된 인화게르마늄 나노시트의 결정상은 단사정계로 동일한 결정상을 나타내었다.The crystal phase of the germanium phosphide crystal prepared in Example 1 and the crystal phase of the germanium phosphide nanosheet prepared in Example 2 were monoclinic and exhibited the same crystal phase.
<실험예 2> 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정의 X-선 회절(XRD) 패턴 측정<Experimental Example 2> Measurement of X-ray diffraction (XRD) pattern of germanium phosphide-germanium mixed crystal
상기 비교예 1에서 제조한 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정의 X-선 회절(XRD) 패턴을 측정하였다.An X-ray diffraction (XRD) pattern of the germanium phosphide-germanium mixed crystal prepared in Comparative Example 1 was measured.
도 5a는 비교예 1에서 제조한 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정의 XRD 회절 패턴이고, 도 5b는 확대된 XRD 회절 패턴이다.5A is an XRD diffraction pattern of the germanium phosphide-germanium mixed crystal prepared in Comparative Example 1, and FIG. 5B is an enlarged XRD diffraction pattern.
도 5a 및 도 5b와 같이, 상기 비교예 1에서 제조한 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정의 XRD 패턴에서 27.3˚ 전후에서 게르마늄의 피크가 관찰되었다. 따라서, 상기 비교예 1에서 제조한 인화게르마늄-게르마늄 혼합 결정은 인화게르마늄 화합물 및 잔여(Residue) 게르마늄이 혼재된 혼합 결정임을 확인하였다.As shown in FIGS. 5A and 5B , in the XRD pattern of the germanium phosphide-germanium mixed crystal prepared in Comparative Example 1, a germanium peak was observed around 27.3°. Therefore, it was confirmed that the germanium phosphide-germanium mixed crystal prepared in Comparative Example 1 was a mixed crystal in which a germanium phosphide compound and residual germanium were mixed.
<실험예 3> 인화게르마늄 나노시트의 게르마늄과 인의 원자배열 모델링<Experimental Example 3> Modeling the atomic arrangement of germanium and phosphorus in germanium phosphide nanosheets
도 6a는 볼 및 스틱(ball-and-stick) 모델로 계산한 Ge:P 몰비가 1:1 인 인화게르마늄 나노시트의 결정구조를 도식화한 이미지이다. 도 6a와 같이, 측면도는 [010] 정대축에서의 게르마늄(Ge) 원자와 인(P) 원자의 배열을 보여주었고, 정면도는 정대축에서의 게르마늄(Ge) 원자와 인(P) 원자의 배열을 보여주었다.6A is a schematic image of the crystal structure of a germanium phosphide nanosheet having a Ge:P molar ratio of 1:1 calculated using a ball-and-stick model. 6a, the side view shows the arrangement of germanium (Ge) atoms and phosphorus (P) atoms in the [010] axis, and the front view is The arrangement of germanium (Ge) atoms and phosphorus (P) atoms on the ordinate is shown.
모든 게르마늄(Ge) 원자는 3개의 인(P) 원자와 그리고 다른 하나의 게르마늄(Ge)원자에 배위되었고, 모든 인(P) 원자는 3개의 게르마늄(Ge) 원자에 배위되었다.Every germanium (Ge) atom was coordinated with three phosphorus (P) atoms and another germanium (Ge) atom, and every phosphorus (P) atom was coordinated with three germanium (Ge) atoms.
<실험예 4> 인화게르마늄 나노시트의 SEM 이미지 측정<Experimental Example 4> SEM image measurement of germanium phosphide nanosheets
상기 실시예 2에서 제조된 인화게르마늄 나노시트의 형태를 알기 위하여 주사전자현미경(SEM, 장비: Hitachi S-4700)으로 측정하였다. In order to know the shape of the germanium phosphide nanosheet prepared in Example 2, it was measured with a scanning electron microscope (SEM, equipment: Hitachi S-4700).
도 6b의 주사전자현미경(SEM) 이미지로부터 상기 실시예 2에서 제조된 인화게르마늄 나노시트는 얇은 판이 겹겹이 쌓여 있는 구조로 이루어진 것을 확인할 수 있었다.From the scanning electron microscope (SEM) image of FIG. 6B , it was confirmed that the germanium phosphide nanosheet prepared in Example 2 had a structure in which thin plates were stacked on top of each other.
상기 얇은 판이 겹겹이 쌓여 있는 구조의 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 전체 두께는 2 ㎛ 내지 9 ㎛ 이였다.The total thickness of the germanium-phosphide nanosheets having the structure in which the thin plates were stacked was 2 μm to 9 μm.
<실험예 5> 인화게르마늄 나노시트의 TEM 이미지 측정<Experimental Example 5> TEM image measurement of germanium phosphide nanosheets
상기 실시예 2에서 제조된 인화게르마늄 나노시트의 형태를 알기 위하여 투과전자현미경(TEM, 장비: TEM(FEI TECNAI G2 200kV) 및 High-Voltage TEM HVEM(Jeol JEM ARM 1300S, 1.25 MV))으로 측정하였다. In order to know the shape of the germanium phosphide nanosheet prepared in Example 2, it was measured with a transmission electron microscope (TEM, equipment: TEM (FEI TECNAI G2 200kV) and High-Voltage TEM HVEM (Jeol JEM ARM 1300S, 1.25 MV)). .
도 6c의 주사전자현미경(SEM) 이미지와 SEM 이미지상의 특정 위치(i 또는 ii)에서 측정한 도 6i 및 도 6ii의 투과전자현미경(TEM) 이미지 및 SAED 점패턴으로부터 상기 인화게르마늄 나노시트는 단결정임을 확인할 수 있었다.From the scanning electron microscope (SEM) image of FIG. 6c and the transmission electron microscope (TEM) image and SAED dot pattern of FIGS. 6i and 6ii measured at a specific position (i or ii) on the SEM image, it was confirmed that the germanium phosphide nanosheet was a single crystal. could check
여기서, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트가 단결정(single crystal)인 것은 투과전자현미경(TEM)의 FFT(Fast Fourier Transform) 이미지와 SAED(Selected Area Electron Diffraction) 패턴에서 전자빔이 단결정에 의해 회절되어 점 형상으로 분리되어 보이는 것으로부터 확인할 수 있었다.Here, when the germanium-phosphide nanosheet is a single crystal, the electron beam is diffracted by a single crystal in a Fast Fourier Transform (FFT) image of a transmission electron microscope (TEM) and a Selected Area Electron Diffraction (SAED) pattern. It could be confirmed from what appeared to be separated into dots.
또한, 상기 인화게르마늄 나노시트 각각의 단분자층은 반데르발스 상호작용으로 단분자층이 쌓이며 2 Å 간격으로 떨어진 층상구조 또는 시트구조를 이루었다.In addition, the monomolecular layers of each of the germanium phosphide nanosheets were stacked by van der Waals interaction to form a layered structure or a sheet structure spaced apart by 2 Å intervals.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간 거리는 2 Å 간격이였다.The germanium-phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet had a monolayer of a layered structure, and the interlayer distance of the monolayer was 2 Å apart.
그리고, 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 (204) 면간거리 d204는 2.1 Å이고, 면간거리 은 6.4 Å 이라는 것을 확인할 수 있었다.And, the (204) interplanar distance d 204 of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet is 2.1 Å, face-to-face distance was confirmed to be 6.4 Å.
상기 격자 분해능 투과전자현미경과 고속 퓨리에 변환 (Fast-Fourier Transform, FFT) 분석 결과 (i)의 경우 [201] 정대축에서 [102] 방향은 [010] 방향에 수직이며 d204 = 2.1 Å으로 문헌값 (d204 = 2.117 Å)과 일치하며 (ii)의 경우 = 6.4 Å으로 문헌값( = 6.367 Å)과 일치하는 것을 확인하였다.In the case of the lattice-resolution transmission electron microscope and Fast-Fourier Transform (FFT) analysis result (i), the [102] direction from the [201] normal axis is perpendicular to the [010] direction, and d 204 = 2.1 Å. consistent with the value (d 204 = 2.117 Å) and for (ii) = 6.4 Å as the literature value ( = 6.367 Å) was confirmed.
또한, TEM 측정에서의 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 두께는 2 nm 내지 20 nm 이였다.In addition, the thickness of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet in the TEM measurement was 2 nm to 20 nm.
<실험예 6> 인화게르마늄 나노시트의 게르마늄 원소와 인 원소 분포 및 조성비율 측정<Experimental Example 6> Measurement of distribution and composition ratio of germanium and phosphorus elements in germanium phosphide nanosheets
인화게르마늄 나노시트의 게르마늄 원소와 인 원소 분포 및 조성비율을 측정하기 위하여 HAADF(High-angle annular dark field) STEM(scanning transmission electron microscopy) 이미지, EDX 맵핑 이미지 및 EDX 원소 함량 분석하였다.In order to measure the distribution and composition ratio of the germanium element and phosphorus element in the germanium phosphide nanosheet, a high-angle annular dark field (HAADF) scanning transmission electron microscopy (STEM) image, an EDX mapping image, and an EDX element content were analyzed.
도 6d는 HAADF(High-angle annular dark field) STEM(scanning transmission electron microscopy) 이미지 및 EDX 맵핑 이미지로 게르마늄(Ge) 원소와 인(P) 원소가 상기 인화게르마늄 나노시트 전체에 균일하게 분포한 것을 확인할 수 있었다. 6d is a high-angle annular dark field (HAADF) STEM (scanning transmission electron microscopy) image and an EDX mapping image to confirm that the germanium (Ge) element and the phosphorus (P) element are uniformly distributed throughout the germanium phosphide nanosheet. could
또한, 상기 EDX 원소 함량 분석 결과로부터 상기 게르마늄(Ge) 원소와 인(P)원소는 몰비(Ge:P)가 1:1로 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트를 구성함을 확인할 수 있었다. 상기 EDX 스펙트럼 분석 결과 게르마늄(Ge) 원소와 인(P) 원소의 비율이 1:1 임을 확인할 수 있었다.In addition, from the EDX element content analysis result, it was confirmed that the germanium (Ge) element and the phosphorus (P) element constitute a germanium-phosphide nanosheet in a molar ratio (Ge:P) of 1:1. As a result of the EDX spectrum analysis, it was confirmed that the ratio of the element germanium (Ge) to the element phosphorus (P) was 1:1.
<실험예 7> 인화게르마늄 결정 및 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭 측정<Experimental Example 7> Band gap measurement of germanium phosphide crystals and germanium phosphide nanosheets
도 7은 본 발명의 실시예를 따르는 인화게르마늄 결정 및 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭을 측정한 흡수 모드에서의 확산 반사 스펙트럼이다.7 is a diffuse reflection spectrum in an absorption mode in which the band gap of a germanium phosphide crystal and a germanium phosphide nanosheet according to an embodiment of the present invention is measured.
상기 실시예 3에서 제조한 양극 알루미나 표면에 형성된 인화게르마늄 벌크 박막 및 상기 실시예 4에서 제조한 양극 알루미나 표면에 형성된 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭을 흡수모두에서 확산 반사 스펙트럼(측정장비: UV-Vis-NIR spectrometer; Agilent Cary 5000)으로 측정하였다. The band gap of the germanium phosphide bulk thin film formed on the surface of the anode alumina prepared in Example 3 and the germanium phosphide nanosheet formed on the surface of the anode alumina prepared in Example 4 was measured in both absorption and diffuse reflection spectra (measurement equipment: UV-Vis) -NIR spectrometer; Agilent Cary 5000).
도 7과 같이, 상기 실시예 3의 인화게르마늄 벌크 박막의 밴드갭은 0.9 eV(빛 파장으로 환산시 1380 nm)이고, 상기 실시예 4의 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭은 2.3 eV(빛 파장으로 환산시 540 nm)이였다.7, the band gap of the germanium phosphide bulk thin film of Example 3 is 0.9 eV (1380 nm when converted to a light wavelength), and the band gap of the germanium phosphide nanosheet of Example 4 is 2.3 eV (at a light wavelength). 540 nm in terms of conversion).
여기서, 상기 실시예 4의 인화게르마늄 나노시트의 밴드갭은 2.3 eV(빛 파장으로 환산시 540 nm)으로 가시광선 영역대의 밴드갭을 나타내었다.Here, the band gap of the germanium phosphide nanosheet of Example 4 was 2.3 eV (540 nm in terms of light wavelength), indicating a band gap in the visible ray region.
이상으로 본 발명 내용의 특정한 부분을 상세히 기술하였는 바, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서, 이러한 구체적 기술은 단지 바람직한 실시 양태일 뿐이며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되는 것이 아닌 점은 명백할 것이다. 따라서 본 발명의 실질적인 범위는 첨부된 청구항들과 그것들의 등가물에 의하여 정의된다고 할 것이다.As described above in detail a specific part of the content of the present invention, for those of ordinary skill in the art, it is clear that this specific description is only a preferred embodiment, and the scope of the present invention is not limited thereby. something to do. Accordingly, the substantial scope of the present invention will be defined by the appended claims and their equivalents.
Claims (17)
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 상기 밴드갭은 0.92 eV 내지 2.5 eV 인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트.The method of claim 1,
The band gap of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet is 0.92 eV to 2.5 eV, characterized in that
Germanium-Phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 게르마늄(Ge)과 인(P)의 몰비가 1:5 내지 5:1 인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트.The method of claim 1,
The germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet is characterized in that the molar ratio of germanium (Ge) to phosphorus (P) is 1:5 to 5:1
Germanium-Phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 게르마늄(Ge)과 인(P)이 상기 나노시트에 균일하게 분포되는 것을 특징으로 하는
인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트.The method of claim 1,
The germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet is characterized in that germanium (Ge) and phosphorus (P) are uniformly distributed in the nanosheet
Germanium-Phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트.The method of claim 1,
The crystalline phase of the germanium-phosphide nanosheet is a monoclinic crystal system, characterized in that
Germanium-Phosphide nanosheets.
상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 13.0°내지 15.0°에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 27.0°내지 29.0°에서 나타나는 것을 특징으로 하는
인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트.6. The method of claim 5,
When XRD analysis of the germanium-phosphide nanosheet in the monoclinic crystal system The diffraction angle 2θ of the peak appears at 13.0° to 15.0°, The diffraction angle 2θ of the peak is characterized in that it appears at 27.0 ° to 29.0 °
Germanium-Phosphide nanosheets.
상기 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상의 상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 격자상수 a는 15.140 Å이고, 격자상수 b는 3.638 Å이고, 격자상수 c는 9.190 Å이고, 격자상수 β는 101.1°인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트.6. The method of claim 5,
The lattice constant a of the Germanium-Phosphide nanosheet on the monoclinic crystal system is 15.140 Å, the lattice constant b is 3.638 Å, the lattice constant c is 9.190 Å, and the lattice constant β is 101.1 ° characterized in that
Germanium-Phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 공간군(space group)은 C2/m 인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트.The method of claim 1,
The space group (space group) of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet is C2 / m characterized in that
Germanium-Phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 단결정(single crystal) 인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트.The method of claim 1,
The germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet, characterized in that the single crystal (single crystal)
Germanium-Phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트는 층상 구조의 단분자층을 가지며, 상기 단분자층의 층간 거리는 1 내지 5 Å 인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트.The method of claim 1,
The germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet has a monomolecular layer of a layered structure, characterized in that the interlayer distance of the monomolecular layer is 1 to 5 Å
Germanium-Phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 (204) 면간거리 d204는 2.1 Å이고, 면간거리 은 6.4 Å 인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트.The method of claim 1,
(204) interplanar distance d 204 of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet is 2.1 Å, face-to-face distance characterized in that the silver is 6.4 Å
Germanium-Phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 두께는 0.8 nm 내지 200 nm 인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트.The method of claim 1,
The thickness of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) nanosheet is 0.8 nm to 200 nm, characterized in that
Germanium-Phosphide nanosheets.
상기 반응물을 석영 앰플에 넣고 진공상태로 밀봉하는 단계;
온도 조절되는 전기로 안에 상기 반응물이 들어있는 석영 앰플을 넣고 반응온도 1000 내지 1400 ℃, 반응시간 12 내지 64 시간 동안 고온에서 용융하여 결정을 성장시키는 방법으로 합성하여 인화게르마늄 결정을 수득하는 단계;
상기 인화게르마늄 결정을 유기용매에 넣고, 2 내지 10 ℃의 온도에서 초음파장치를 사용하여 단속적으로 1 내지 5시간 동안 초음파처리하여 인화게르마늄 나노시트로 박리하는 단계; 및
박리 끝난 용액을 원심분리하여 상층의 액체를 수집한 후, 상기 액체의 유기용매를 증발시켜 인화게르마늄 나노시트 분말을 수득하는 단계를 포함하는
인화게르마늄 나노시트 제조방법.preparing a reactant by mixing germanium (Ge) powder and phosphorus (P) powder in a molar ratio (Ge:P) of 1:5 to 5:1;
putting the reactant in a quartz ampoule and sealing in a vacuum state;
Putting a quartz ampoule containing the reactant in a temperature-controlled electric furnace and synthesizing it by melting it at a high temperature for a reaction temperature of 1000 to 1400° C. and a reaction time of 12 to 64 hours to grow crystals to obtain germanium phosphide crystals;
exfoliating the germanium phosphide nanosheets by placing the germanium phosphide crystals in an organic solvent and ultrasonicating them intermittently for 1 to 5 hours at a temperature of 2 to 10° C. using an ultrasonic device; and
After centrifuging the peeled solution to collect the liquid in the upper layer, evaporating the organic solvent of the liquid to obtain a germanium phosphide nanosheet powder
Method for manufacturing germanium phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 결정의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄 나노시트 제조방법.14. The method of claim 13,
The crystalline phase of the germanium phosphide (Germanium-Phosphide) crystal is a monoclinic crystal system, characterized in that
Method for manufacturing germanium phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 결정상은 단사정계(Monoclinic crystal system) 결정상 인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄 나노시트 제조방법.14. The method of claim 13,
The crystalline phase of the germanium-phosphide nanosheet is a monoclinic crystal system, characterized in that
Method for manufacturing germanium phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 XRD 분석시 피크의 회절각 2θ는 13.0°내지 15.0°에서 나타나고, 피크의 회절각 2θ는 27.0°내지 29.0°에서 나타나는 것을 특징으로 하는
인화게르마늄 나노시트 제조방법.14. The method of claim 13,
When XRD analysis of the germanium-phosphide nanosheet The diffraction angle 2θ of the peak appears at 13.0° to 15.0°, The diffraction angle 2θ of the peak is characterized in that it appears at 27.0 ° to 29.0 °
Method for manufacturing germanium phosphide nanosheets.
상기 인화게르마늄(Germanium-Phosphide) 나노시트의 격자상수 a는 15.140 Å이고, 격자상수 b는 3.638 Å이고, 격자상수 c는 9.190 Å이고, 격자상수 β는 101.1°인 것을 특징으로 하는
인화게르마늄 나노시트 제조방법.14. The method of claim 13,
The lattice constant a of the Germanium-Phosphide nanosheet is 15.140 Å, the lattice constant b is 3.638 Å, the lattice constant c is 9.190 Å, and the lattice constant β is 101.1°
Method for manufacturing germanium phosphide nanosheets.
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