KR20210123334A - Work holding jig and surface treatment device - Google Patents

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KR20210123334A
KR20210123334A KR1020217027426A KR20217027426A KR20210123334A KR 20210123334 A KR20210123334 A KR 20210123334A KR 1020217027426 A KR1020217027426 A KR 1020217027426A KR 20217027426 A KR20217027426 A KR 20217027426A KR 20210123334 A KR20210123334 A KR 20210123334A
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KR
South Korea
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work
clamper
dummy
dummy plate
holding jig
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Application number
KR1020217027426A
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Korean (ko)
Inventor
카츠미 이시이
Original Assignee
가부시키가이샤 아루멕쿠스 테크놀로지스
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Abstract

표면처리될 워크(20)를 유지 가능하면서 정류기와 전기적으로 접속이 가능한 워크 유지 지그(30)는 정류기와 도통이 가능한 도전성의 적어도 하나의 지지부(521, 522)와, 지지부에 지지되어 워크의 가장자리부의 일부를 클램프하는 도전성의 적어도 하나의 클램퍼(510, 520)와, 지지부에 지지되며 워크의 가장자리부 중 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 배치되는 도전성의 적어도 하나의 더미판과, 더미판의 적어도 한 면에 그 한 면을 덮도록 이동이 가능하게 지지되며 더미판의 노출 도전 면적을 조정하는 적어도 하나의 절연판(630, 630A, 630B)을 가진다.The work holding jig 30 capable of holding the work 20 to be surface treated and electrically connected to the rectifier includes at least one conductive support portion 521 and 522 capable of conducting with the rectifier, and the support portion is supported on the edge of the work. At least one conductive clamper (510, 520) for clamping a part of the part, at least one conductive dummy plate supported by the support and disposed in proximity to a region not held by the clamper among the edge portions of the work; It has at least one insulating plate 630, 630A, 630B that is movably supported on at least one surface to cover the one surface and adjusts the exposed conductive area of the dummy plate.

Description

워크 유지 지그 및 표면처리 장치 Work holding jig and surface treatment device

본 발명은 전해 도금 등의 표면처리에 사용되는 워크 유지 지그 및 표면처리 장치 등에 관한 것이다. The present invention relates to a work holding jig, a surface treatment apparatus, and the like used for surface treatment such as electrolytic plating.

워크 유지 지그에 의해 워크를 아래로 늘어뜨려서 처리조 내의 처리액에 침지하고, 워크를 연속 반송하면서 전해 도금하는 연속 도금 장치가 알려져 있다(특허문헌 1, 2). 워크 유지 지그는 워크를 유지함과 함께, 워크를 음극으로 설정한다.The continuous plating apparatus which hangs down a workpiece|work with a workpiece holding jig, is immersed in the processing liquid in a processing tank, and carries out electrolytic plating of a workpiece|work is known (patent document 1, 2). The work holding jig holds the work and sets the work to the negative electrode.

일본 특허공보 특허제5898540호Japanese Patent Publication No. 5898540 국제공개공보 WO2018/062259International Publication WO2018/062259

워크 유지 지그는 클램퍼에 의해 워크의 가장자리부를 클램프하여 워크를 유지함과 함께, 클램퍼가 워크를 음극으로 설정하기 위한 도통(導通) 경로가 된다. 표면처리될 워크의 가장자리부는 클램프되는 영역의 부근과 클램프되지 않는 영역에서, 예를 들어 도금이라면 도금 막 두께가 달라, 표면처리될 워크의 면 내 균일성을 저해한다. The workpiece holding jig clamps the edge of the workpiece by the clamper to hold the workpiece, and serves as a conduction path for the clamper to set the workpiece to the negative electrode. The edge portion of the work to be surface treated has a different plating film thickness in the vicinity of the clamped region and the non-clamped region, for example, in the case of plating, impairing in-plane uniformity of the work to be surface treated.

본 발명의 몇 가지 양태는 워크 유지 지그에 마련되는 더미판에 의해 워크의 가장자리부에 흐르는 전류를 조정하여 표면처리될 워크의 면 내 균일성을 높이는 것을 목적으로 한다. An object of some aspects of the present invention is to increase the in-plane uniformity of the work to be surface-treated by adjusting the current flowing to the edge of the work by a dummy plate provided on the work holding jig.

본 발명의 다른 몇 가지 양태는 워크의 가장자리부 중 클램프되지 않는 영역의 표면처리를 더미판에 의해 조정이 가능하게 하면서, 자동기에 의해 워크를 워크 유지 지그에 탈착할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다. Another aspect of the present invention is to enable adjustment of the surface treatment of a non-clamped area among the edges of a work by a dummy plate, while allowing the work to be detached from a work holding jig by an automatic machine.

(1) 본 발명의 한 양태는 표면처리될 워크를 유지 가능하면서 정류기와 전기적으로 접속이 가능한 워크 유지 지그에 있어서, (1) One aspect of the present invention is a work holding jig capable of holding a work to be surface treated and electrically connecting to a rectifier,

상기 정류기와 도통이 가능한 적어도 하나의 지지부와, At least one support portion capable of conducting with the rectifier;

상기 적어도 하나의 지지부에 지지되며 상기 워크의 가장자리부의 일부를 클램프하는 도전성의 적어도 하나의 클램퍼와, at least one conductive clamper supported by the at least one support and clamping a portion of an edge of the work;

상기 적어도 하나의 지지부에 지지되며 상기 워크의 상기 가장자리부 중 상기 적어도 하나의 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 배치되는 도전성의 적어도 하나의 더미판과, at least one conductive dummy plate supported by the at least one support and disposed in proximity to an area of the edge of the work not held by the at least one clamper;

상기 적어도 하나의 더미판의 적어도 한 면에 상기 적어도 한 면을 덮도록 이동이 가능하게 지지되고, 상기 적어도 하나의 더미판의 노출 도전 면적을 조정하는 적어도 하나의 절연판을 가지는 워크 유지 지그에 관한 것이다. It relates to a work holding jig which is movably supported on at least one surface of the at least one dummy plate so as to cover the at least one surface, and has at least one insulating plate for adjusting the exposed conductive area of the at least one dummy plate. .

본 발명의 한 양태에 따르면, 더미판의 노출 도전 면적을 절연판의 이동에 의해 조정할 수 있다. 더미판의 노출 도전 면적을 변경함으로써 더미판에 대한 표면처리에 소비되는 전류가 조정된다. 그로써, 클램퍼를 개재하여 워크의 가장자리부에 흐르는 전류가 조정되어, 표면처리될 워크의 면 내 균일성을 높일 수 있다. 한편, 본 발명의 한 양태에 따른 지그는 처리조 내를 연속 반송 또는 간헐 반송되어도 되고, 혹은 반송되지 않고 처리조 내에 출입이 자유롭게 지지되어도 된다. According to one aspect of the present invention, the exposed conductive area of the dummy plate can be adjusted by moving the insulating plate. By changing the exposed conductive area of the dummy plate, the current consumed for surface treatment of the dummy plate is adjusted. Thereby, the current flowing to the edge of the work through the clamper is adjusted, so that the in-plane uniformity of the work to be surface-treated can be improved. On the other hand, the jig which concerns on one aspect of this invention may be conveyed continuously or intermittently in a processing tank, or may be freely supported in and out of a processing tank without being conveyed.

(2) 본 발명의 한 양태(1)에서는, (2) In one aspect (1) of the present invention,

상기 워크를 둘러싸는 프레임 보디를 가지며, 상기 프레임 보디는 상부 프레임, 하부 프레임 및 한 쌍의 세로 프레임을 포함하고, and a frame body surrounding the work, wherein the frame body includes an upper frame, a lower frame and a pair of vertical frames,

상기 적어도 하나의 지지부는 상기 상부 프레임과 상기 하부 프레임을 포함하며, The at least one support includes the upper frame and the lower frame,

상기 적어도 하나의 클램퍼는 상기 상부 프레임에 지지되어 상기 워크의 상부 가장자리부의 일부를 클램프하는 상측 클램퍼와, 상기 하부 프레임에 지지되어 상기 워크의 하부 가장자리부의 일부를 클램프하는 하측 클램퍼를 포함하고, The at least one clamper comprises an upper clamper supported by the upper frame to clamp a portion of the upper edge of the work, and a lower clamper supported by the lower frame to clamp a portion of the lower edge of the work,

상기 적어도 하나의 더미판은 상기 워크의 상기 상부 가장자리부 중 상기 상측 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 배치되는 상측 더미판과, 상기 워크의 상기 하부 가장자리부 중 상기 하측 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 배치되는 하측 더미판을 포함하며, The at least one dummy plate includes an upper dummy plate disposed in proximity to an area of the upper edge of the work that is not held by the upper clamper, and an area of the lower edge of the work that is not held by the lower clamper; Including a lower dummy plate disposed to approach,

상기 적어도 하나의 절연판은 상기 상측 더미판의 적어도 한 면을 덮는 상측 절연판과, 상기 하측 더미판의 적어도 한 면을 덮는 하측 절연판을 포함할 수 있다. The at least one insulating plate may include an upper insulating plate covering at least one surface of the upper dummy plate and a lower insulating plate covering at least one surface of the lower dummy plate.

이렇게 하면, 워크의 상부 가장자리부 및 하부 가장자리부에 흐르는 전류를 조정하여 표면처리될 워크의 면 내 균일성을 높일 수 있다. In this way, the in-plane uniformity of the workpiece to be surface-treated can be increased by adjusting the current flowing to the upper and lower edges of the workpiece.

(3) 본 발명의 한 양태(1) 또는 (2)에서는, (3) In one aspect (1) or (2) of the present invention,

상기 적어도 하나의 절연판은 상기 적어도 하나의 더미판의 표면을 덮는 표측 절연판과, 상기 적어도 하나의 더미판의 이면을 덮는 이측 절연판을 포함할 수 있다. The at least one insulating plate may include a front insulating plate covering a surface of the at least one dummy plate and a back insulating plate covering a rear surface of the at least one dummy plate.

이렇게 하면, 워크의 표면 및 이면 쌍방에서 워크의 가장자리부(상부 가장자리부 및 하부 가장자리부)에 흐르는 전류를 조정하여 표면처리될 워크의 면 내 균일성을 높일 수 있다. In this way, the in-plane uniformity of the workpiece to be surface-treated can be improved by adjusting the current flowing to the edge portions (upper edge portion and lower edge portion) of the workpiece on both the front and back surfaces of the workpiece.

(4) 본 발명의 한 양태(1)~(3) 중 어느 하나에서는, (4) In any one of aspects (1) to (3) of the present invention,

상기 적어도 하나의 더미판은 힌지를 개재하여 굴곡이 가능하고, 상기 워크의 상기 가장자리부 중 상기 적어도 하나의 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 상기 워크와 평행하게 배치되는 제1 위치와, 상기 힌지에 의해 굴곡되어 상기 워크와 평행하지 않도록 배치되는 제2 위치로 가변되게 할 수 있다. The at least one dummy plate may be bent through a hinge, and a first position of the edge portion of the work that is not held by the at least one clamper is approached and disposed parallel to the work, and the hinge; It can be bent by the variable to a second position arranged not to be parallel to the work.

워크를 표면처리할 때에는 더미판은 제1 위치로 설정되고, 워크 유지 지그에 대하여 워크를 자동기에 의해 탈착할 때에는 더미판은 제2 위치로 설정된다. 더미판을 제2 위치로 설정함으로써, 워크의 가장자리부와 지지부 사이에 간극이 확보된다. 그로써, 워크 유지 지그의 클램퍼와는 다른 위치에서 자동기에 의해 워크의 가장자리부를 클램프할 수 있다. 이 경우, 더미판을 자동기에 의해 밀어 움직여서, 더미판을 제1 위치로부터 제2 위치로 이동시켜도 된다. When the work is surface treated, the dummy plate is set to the first position, and when the work is detached from the work holding jig by an automatic machine, the dummy plate is set to the second position. By setting the dummy plate to the second position, a gap is secured between the edge portion of the work and the support portion. Thereby, the edge of the work can be clamped by an automatic machine at a position different from the clamper of the work holding jig. In this case, the dummy plate may be moved from the first position to the second position by pushing the dummy plate by an automatic machine.

(5) 본 발명의 한 양태(4)에서는 상기 적어도 하나의 더미판은 상기 힌지 자체의 스프링성 또는 상기 힌지에 마련된 바이어스(bias) 부재(付勢部材)에 의해, 상기 제1 위치로 이동이 바이어싱되어도 된다. (5) In one aspect (4) of the present invention, the at least one dummy plate is moved to the first position by the spring properties of the hinge itself or a bias member provided on the hinge. It may be biased.

이렇게 하면, 복귀 외력을 부여하지 않고, 더미판을 제2 위치로부터 제1 위치로 복귀시킬 수 있다. 특히, 자동기의 전진 외력에 의해 더미판을 밀어서 움직이게 하여 더미판을 제1 위치로부터 제2 위치로 이동시키고, 자동기의 후퇴 시에 외력이 아닌 바이어싱 파워에 의해 더미판을 제2 위치로부터 제1 위치로 복귀시킬 수 있다. In this way, the dummy plate can be returned from the second position to the first position without applying a return external force. In particular, the dummy plate is moved from the first position to the second position by pushing the dummy plate by the forward external force of the automatic machine. It can be returned to the first position.

(6) 본 발명의 다른 양태는 표면처리될 워크를 유지 가능하면서 정류기와 전기적으로 접속이 가능한 워크 유지 지그에 있어서, (6) Another aspect of the present invention is a work holding jig capable of holding a work to be surface treated and electrically connecting to a rectifier,

상기 정류기와 도통이 가능한 적어도 하나의 지지부와, At least one support portion capable of conducting with the rectifier;

상기 적어도 하나의 지지부에 지지되며 상기 워크의 가장자리부의 일부를 클램프하는 도전성의 적어도 하나의 클램퍼와, at least one conductive clamper supported by the at least one support and clamping a portion of an edge of the work;

상기 적어도 하나의 지지부에 지지되며 상기 워크의 상기 가장자리부 중 상기 적어도 하나의 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 배치되는 도전성의 적어도 하나의 더미판과, at least one conductive dummy plate supported by the at least one support and disposed in proximity to an area of the edge of the work not held by the at least one clamper;

상기 적어도 하나의 지지부에 힌지를 개재하여 지지되며 상기 워크의 상기 가장자리부 중 상기 적어도 하나의 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 상기 워크와 평행하게 배치되는 제1 위치와, 상기 힌지에 의해 굴곡되어 상기 워크와 평행하지 않게 배치되는 제2 위치로 가변되는 적어도 하나의 더미판을 가지는 워크 유지 지그에 관한 것이다. a first position supported by a hinge on the at least one support part and arranged parallel to the work by approaching an area of the edge of the work that is not held by the at least one clamper, and bent by the hinge It relates to a work holding jig having at least one dummy plate variable to a second position disposed non-parallel to the work.

본 발명의 다른 양태(6)에 따르면, 본 발명의 한 양태(4)와 마찬가지로 하여, 워크의 가장자리부 중 클램프되지 않는 영역의 표면처리를 더미판에 의해 조정이 가능하게 하면서 자동기에 의해 워크를 워크 유지 지그에 탈착할 수 있다. According to the other aspect (6) of the present invention, in the same manner as in the aspect (4) of the present invention, the work is processed by an automatic machine while the surface treatment of the non-clamped area among the edges of the work can be adjusted by the dummy plate. It can be detached from the work holding jig.

(7) 본 발명의 또 다른 양태는, (7) Another aspect of the present invention,

상술된 (1)~(6) 중 어느 하나의 워크 유지 지그와, The workpiece holding jig of any one of (1) to (6) described above, and

정류기에 접속되며 상기 유지 지그와 접촉하는 급전부와, a power feeding part connected to the rectifier and in contact with the holding jig;

상기 정류기에 접속되는 양극을 갖춘 표면처리조를 가지며, It has a surface treatment tank having an anode connected to the rectifier,

상기 워크 유지 지그는 상기 급전부와 접촉하면서 상기 적어도 하나의 지지부와 도통하는 접촉부를 포함하는 표면처리 장치에 관한 것이다. The work holding jig relates to a surface treatment apparatus including a contact portion conducting with the at least one support portion while in contact with the power feeding portion.

본 발명의 또 다른 양태(7)에 따르면, 상술된 (1)~(6)의 각 양태의 작용 효과에 의해, 표면처리될 워크의 면 내 균일성을 높이고, 혹은 더미판을 마련하면서 자동기에 의해 워크를 워크 유지 지그에 탈착할 수 있다. 한편, 지그가 표면처리조 내에서 반송되는 경우, 표면처리 장치에 마련되어 지그에 접촉하는 급전부는 급전 레일이 된다. 지그가 반송되지 않는 경우, 급전부는 지그의 도전 부재와 접촉하는 고정 접점으로 할 수 있다. According to another aspect (7) of the present invention, the in-plane uniformity of the workpiece to be surface-treated is increased by the effects of the respective aspects of (1) to (6) described above, or the automatic machine is machined while providing a dummy plate. Thus, the work can be detached from the work holding jig. On the other hand, when the jig is conveyed in the surface treatment tank, a power feeding portion provided in the surface treatment apparatus and contacting the jig becomes a power feeding rail. When the jig is not conveyed, the power feeding portion can be a fixed contact contacting the conductive member of the jig.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 표면처리 장치의 종단면도이다.
도 2는 도 1의 부분 확대도이다.
도 3은 워크 유지 지그를 반송방향에서 본 측면도이다.
도 4는 워크 유지구에 마련되는 접촉부의 지지 구조를 나타내는 도면이다.
도 5는 워크 유지 지그의 정면도이다.
도 6은 비교예의 지그를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 도 6 중의 지그에 흐르는 전류를 나타내는 비교예의 특성도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태에 따른 지그를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 9는 도 8 중의 지그에 흐르는 전류를 나타내는 본 실시형태의 특성도이다.
도 10은 상측 더미판 및 절연판을 확대하여 나타내는 도면이다.
도 11은 상측 더미판의 측면도이다.
도 12는 상측 더미판이 제1 위치와 제2 위치 사이에서 이동이 가능한 것을 나타내는 도면이다.
도 13은 하측 클램퍼에 마련되는 더미판 및 조정 부재를 나타내는 도면이다.
도 14는 더미판에 조정 부재를 겹친 상태를 나타내는 평면도이다.
도 15는 도 5의 D-D 화살표 방향에서 본 도면이다.
도 16은 제1 사이드 더미 부재의 정면도이다.
도 17은 제1 및 제2 사이드 더미 부재의 상부 지지 구조를 나타내는 도면이다.
도 18은 제1 및 제2 사이드 더미 부재의 상부 지지 구조의 평면도이다.
도 19는 제1 및 제2 사이드 더미 부재의 하부 지지 구조를 나타내는 도면이다. 1 is a longitudinal cross-sectional view of a surface treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partially enlarged view of FIG. 1 .
Fig. 3 is a side view of the work holding jig viewed from the conveying direction.
Fig. 4 is a view showing a support structure of a contact portion provided on a work holding tool.
5 is a front view of the work holding jig.
It is a figure which shows typically the jig of a comparative example.
7 is a characteristic diagram of a comparative example showing the current flowing through the jig in FIG. 6 .
It is a figure which shows typically the jig which concerns on embodiment of this invention.
Fig. 9 is a characteristic diagram of the present embodiment showing the current flowing through the jig in Fig. 8;
10 is an enlarged view of an upper dummy plate and an insulating plate.
11 is a side view of an upper dummy plate.
12 is a view showing that the upper dummy plate is movable between the first position and the second position.
13 is a view showing a dummy plate and an adjustment member provided in the lower clamper.
Fig. 14 is a plan view showing a state in which an adjustment member is superimposed on a dummy plate.
FIG. 15 is a view viewed from the direction of arrow DD of FIG. 5 .
16 is a front view of the first side dummy member;
17 is a view showing an upper support structure of the first and second side dummy members.
18 is a plan view of an upper support structure of the first and second side dummy members;
19 is a view illustrating a lower support structure of the first and second side dummy members.

이하의 개시에서, 제시된 주제의 다른 특징을 실시하기 위한 많은 다른 실시형태나 실시예를 제공한다. 물론 이들은 단순한 예이며, 한정적인 것을 의도하는 것이 아니다. 또한, 본 개시에서는 다양한 예에서 참조 번호 및/또는 문자를 반복하는 경우가 있다. 이와 같이 반복하는 것은 간결명료하게 하기 위함이며, 그 자체가 다양한 실시형태 및/또는 설명된 구성과의 사이에 관계가 있는 것을 필요로 하는 것이 아니다. 또한, 제1 요소가 제2 요소에 "접속된다" 또는 "연결된다"라고 기술할 때, 그와 같은 기술은 제1 요소와 제2 요소가 서로 직접적으로 접속 또는 연결된 실시형태를 포함함과 함께, 제1 요소와 제2 요소가 그 사이에 개재하는 1개 이상의 다른 요소를 가져서 서로 간접적으로 접속 또는 연결되는 실시형태도 포함한다. 또한, 제1 요소가 제2 요소에 대하여 "이동한다"라고 기술할 때, 그와 같은 기술은 제1 요소 및 제2 요소 중 적어도 한쪽이 다른 쪽에 대하여 이동하는 상대적인 이동의 실시형태를 포함한다. In the following disclosure, many other embodiments or examples are provided for practicing different features of the presented subject matter. Of course, these are merely examples and are not intended to be limiting. In addition, in the present disclosure, reference numerals and/or letters may be repeated in various examples. Such repetition is for the sake of brevity and, in itself, does not require a relationship between the various embodiments and/or configurations described. Also, when a first element is described as being “connected” or “connected” to a second element, such description includes embodiments in which the first element and the second element are directly connected or connected to each other. , in which the first element and the second element are indirectly connected or connected to each other by having one or more other elements interposed therebetween. Also, when a first element is described as “moving” with respect to a second element, such description includes embodiments of relative movement in which at least one of the first and second elements moves relative to the other.

1. 표면처리 장치의 개요 1. Overview of surface treatment equipment

도 1은 표면처리 장치, 예를 들면 연속 도금 처리 장치의 종단면도이다. 연속 도금 처리 장치(10)는 회로 기판 등의 워크(20)를 각각 유지하는 복수개의 반송 지그(30)가 도 1의 지면과 수직인 방향으로 순환 반송된다. 도 1에서는 순환 반송로(100) 중에는 평행한 2개의 직선 반송로(110, 120)를 나타낸다. 이 2개의 직선 반송로(110, 120)는 양단에서 연결되어 루프 형상의 순환 반송로(100)를 형성한다. 1 is a longitudinal sectional view of a surface treatment apparatus, for example, a continuous plating apparatus. In the continuous plating apparatus 10 , a plurality of conveying jigs 30 each holding a work 20 such as a circuit board are circulated and conveyed in a direction perpendicular to the paper of FIG. 1 . In FIG. 1 , in the circulation conveyance path 100 , two parallel linear conveyance paths 110 and 120 are shown. These two straight conveyance paths 110 and 120 are connected at both ends to form a loop-shaped circulation conveyance path 100 .

순환 반송로(100)에는 복수개의 워크 유지 지그(30) 각각에 유지된 워크(20)를 표면처리, 예를 들면 도금처리하는 도금조(광의로는 표면처리조)(200)와, 미(未)처리 워크(20)의 복수개의 반송 지그(30)에 반입하는 반입부(도시하지 않음)와, 처리 완료된 워크(20)를 복수개의 워크 유지 지그(30)로부터 반출하는 반출부(도시하지 않음)가 마련된다. In the circulation conveyance path 100, a plating tank (in a broad sense, a surface treatment tank) 200 for surface-treating, for example, plating the workpiece 20 held by each of the plurality of workpiece holding jigs 30,未) a carrying-in unit (not shown) for carrying in the plurality of conveying jigs 30 of the processed work 20, and a discharging unit (not shown) for carrying out the processed work 20 from the plurality of work holding jigs 30 not) is provided.

본 실시형태에서는 도금조(200)는 제2 직선 반송로(120)를 따라 마련되며, 반입부 및 반출부는 제1 직선 반송로(110)에 마련된다. 순환 반송로(100)에는 도금조(200)의 상류 측에 배치되는 전처리조군(230)과, 도금조(200)의 하류 측에 배치되는 후처리조군(도시하지 않음)을 더 가진다. In this embodiment, the plating tank 200 is provided along the 2nd linear conveyance path 120, and the carrying in part and the carrying out part are provided in the 1st linear conveyance path 110. As shown in FIG. The circulation transport path 100 further includes a pre-treatment tank group 230 disposed on the upstream side of the plating tank 200 and a post-treatment tank group (not shown) disposed on the downstream side of the plating tank 200 .

도 1에 나타내는 바와 같이, 연속 도금처리 장치(10)는 도금액(광의로는 처리액)이 수용되고, 상단 개구(201)를 가지는 도금조(광의로는 표면처리조)(200)를 가진다. 연속 도금처리 장치(10)는 또한, 도 1의 일부를 확대하여 나타내는 도 2에 나타내는 바와 같이, 도금조(200)의 상단 개구(201)의 상방에서 벗어난 위치에서, 도금조(200)의 긴 쪽 방향과 평행한 제1 방향(지면과 수직인 방향)을 따라 연장되어 마련되는 적어도 1개, 예를 들면 2개의 제1 안내레일(130) 및 제2 안내레일(140)을 가진다. 복수개의 반송 지그(30)는 도금조(200)의 처리액 중에 배치시켜서 워크(20)를 각각 유지하고, 제1, 제2 안내레일(130, 140)에 지지된다. As shown in FIG. 1 , the continuous plating apparatus 10 has a plating tank (in a broad sense, a surface treatment tank) 200 in which a plating liquid (a treatment liquid in a broad sense) is accommodated, and which has an upper end opening 201 . As shown in FIG. 2 which shows an enlarged part of FIG. 1, the continuous plating apparatus 10 is also a position deviated from the upper side of the upper end opening 201 of the plating bath 200, The long plating bath 200 is shown. It has at least one, for example, two first guide rails 130 and two second guide rails 140 extending along a first direction parallel to the side direction (direction perpendicular to the ground). The plurality of conveying jigs 30 are disposed in the treatment liquid of the plating bath 200 to hold the work 20 , respectively, and are supported by the first and second guide rails 130 and 140 .

복수개의 워크 유지 지그(30) 각각은 도 3에 나타내는 바와 같이, 크게 구별하여 반송부(300)와 워크 유지부(500)를 가진다. 반송부(300)로서, 수평 암(arm)부(301)와 제1 피(被)안내부(310)와 제2 피안내부(320)를 가진다. 제1 피안내부(310)는 수평 암부(301)의 일단(一端) 측에 지지되어, 제1 안내레일(130)에 안내된다. 제2 피안내부(320)는 수평 암부(301)의 타단(他端) 측에 지지되어, 제2 안내레일(140)에 안내된다. 제1 피안내부(310)는 제1 안내레일(130)의 윗면 및 양 측면과 굴림 접촉되는 롤러(311, 312, 313)를 포함한다. 제2 피안내부(320)는 제2 안내레일(140)의 윗면에 굴림 접촉하는 롤러(321)를 포함한다. Each of the plurality of work holding jigs 30 has a conveying unit 300 and a work holding unit 500 in a large manner as shown in FIG. 3 . As the transport unit 300 , it has a horizontal arm unit 301 , a first guided unit 310 , and a second guided unit 320 . The first guided portion 310 is supported on one end side of the horizontal arm portion 301 and is guided by the first guide rail 130 . The second guided portion 320 is supported on the other end side of the horizontal arm portion 301 , and is guided by the second guide rail 140 . The first guided portion 310 includes rollers 311 , 312 , and 313 in rolling contact with the upper and both sides of the first guide rail 130 . The second guided portion 320 includes a roller 321 in rolling contact with the upper surface of the second guide rail 140 .

도금 처리 장치(10)에서는 워크(20)를 캐소드(음극)로 하고, 도금조(200)가 워크(20)의 반송 경로를 끼운 양 옆에 애노드(양극)(410L, 410R)를 수용하는 애노드 박스(202, 203)를 마련한다. 도시하지 않은 정류기에 의해 캐소드-애노드 사이에 전계를 형성하여 도금액을 전기분해하여 워크(20)를 전계 도금한다. 이 때문에, 반송 중인 워크(20)에 통전시킬 필요가 있다. 워크(20)에 급전하기 위해, 급전부 예를 들면 급전 레일(210)을 마련했다. 특히, 본 실시형태의 급전 레일(210)은 일본 공개특허 특개2009-132999에 개시된 전류제어 방법을 실시하기 위해, 도 2에 나타내는 바와 같이, 서로 절연된 복수개, 예를 들면 4개의 분할 급전 레일(210A~210D)을 가진다. 복수개의 워크 유지 지그(30) 각각은 4개의 분할 급전 레일(210A~210D) 중 어느 하나와 접촉하여 급전되는 피(被)급전부(340)(도 2 및 도 3)를 가진다. In the plating apparatus 10, the work 20 is used as a cathode (cathode), and the plating tank 200 is an anode that accommodates the anodes (anodes) 410L and 410R on both sides of the conveying path of the work 20 . Boxes 202 and 203 are provided. An electric field is formed between the cathode and the anode by a rectifier (not shown) to electrolyze the plating solution, thereby performing electric field plating on the workpiece 20 . For this reason, it is necessary to energize the workpiece 20 being conveyed. In order to feed the workpiece|work 20, the power feeding part, for example, the power feeding rail 210 was provided. In particular, in order to implement the current control method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-132999, the power supply rail 210 of the present embodiment, as shown in FIG. 210A to 210D). Each of the plurality of work holding jigs 30 has a feeding target 340 ( FIGS. 2 and 3 ) that is fed in contact with any one of the four divided power feeding rails 210A to 210D.

도 4는 피급전부(340)의 상세를 나타낸다. 접촉부(340)는 수평 암부(301)에 고정되는 지지판(330)에, 급전 레일(210)과 접촉하는 도전성의 접촉부(집전자)(341)를 가진다. 접촉부(341)는 2개의 평행 링크(342A, 342B)를 가지는 평행 링크 기구(342)에 의해 지지판(330)에 연결된다. 2개의 링크(342A, 342B)는 바이어스 부재인 꼬임 코일 스프링(343, 343)에 의해, 상시 시계 회전 방향으로 이동이 바이어싱된다. 이 결과, 접촉부(341)를 급전 레일(210)에 적당한 접촉압으로 접촉시킬 수 있다. 4 shows the details of the power supply unit 340 . The contact part 340 has a conductive contact part (current collector) 341 in contact with the feeding rail 210 on the support plate 330 fixed to the horizontal arm part 301 . The contact portion 341 is connected to the support plate 330 by a parallel link mechanism 342 having two parallel links 342A, 342B. The two links 342A and 342B are biased by the twisted coil springs 343 and 343 as biasing members to move them in the clockwise direction at all times. As a result, the contact portion 341 can be brought into contact with the power supply rail 210 with an appropriate contact pressure.

또한, 2개의 평행 링크(342A, 342B)는 지그(30)의 반송방향(A)에 대하여, 상측 지점이 선행하고, 하측 지점이 후행하도록 경사져 있다. 이 결과, 접촉부(341)는 워크 유지 지그(30)에 당겨지는 형태로 주행하므로, 주행이 안정된다. In addition, the two parallel links 342A and 342B are inclined so that an upper point leads and a lower point follows with respect to the conveyance direction A of the jig 30 . As a result, since the contact part 341 travels in the form pulled by the workpiece holding jig 30, the traveling is stabilized.

2. 워크 유지부 2. Work holding part

워크 유지부(500)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 직사각형 워크(20)의 상부 가장자리부(20a)를 클램프하는 도전성의 복수개의 상측 클램퍼(510)와, 직사각형 워크(20)의 하부 가장자리부(20b)를 클램프하는 도전성의 복수개의 하측 클램퍼(520)와, 직사각형 워크(20)를 둘러싸서 배치되며, 복수개의 상측 클램퍼(510) 및 복수개의 하측 클램퍼(520)를 지지하는 프레임 보디(530)를 가진다. As shown in FIG. 5, the work holding part 500 includes a plurality of conductive upper clampers 510 for clamping the upper edge 20a of the rectangular work 20, and the lower edge of the rectangular work 20 ( A plurality of conductive lower clampers 520 for clamping 20b) and a frame body 530 arranged to surround the rectangular work 20 and supporting the plurality of upper clampers 510 and the plurality of lower clampers 520 have

프레임 보디(530)는 복수개의 상측 클램퍼(510)를 지지하는 도전성의 상부 프레임(531)과, 복수개의 하측 클램퍼(520)를 지지하는 도전성의 하부 프레임(532)과, 상부 프레임(531)의 양 단부(端部)와 하부 프레임(532)의 양 단부와 각각을 연결하는 도전성의 한 쌍의 세로 프레임(533, 534)을 가진다. 여기서, 한 쌍의 세로 프레임(533, 534)은 상부 프레임(531)의 양 단부와 전기적으로 절연되는 한편, 하부 프레임(532)의 양 단부와는 전기적으로 접속된다. 한편, 상부 프레임(531) 및/또는 하부 프레임(532)은 클램퍼(상측 클램퍼(510) 및/또는 하측 클램퍼(520))를 지지하는 지지부라고도 칭해진다. The frame body 530 includes a conductive upper frame 531 supporting a plurality of upper clampers 510 , a conductive lower frame 532 supporting a plurality of lower clampers 520 , and an upper frame 531 . It has a pair of electrically conductive vertical frames 533 and 534 connecting both ends and both ends of the lower frame 532, respectively. Here, the pair of vertical frames 533 and 534 are electrically insulated from both ends of the upper frame 531 and are electrically connected to both ends of the lower frame 532 . Meanwhile, the upper frame 531 and/or the lower frame 532 is also referred to as a support for supporting the clamper (the upper clamper 510 and/or the lower clamper 520 ).

3. 워크를 음극으로 설정하는 도전 부재 3. A conductive member that sets the workpiece as the negative electrode

본 실시형태에서는 워크 유지 지그(30)에 마련되는 도전 부재로서, 정류기 및 워크(20)와 전기적으로 접속이 가능한 도전 부재가, 제1 및 제2 분기 도전 부재와, 제1 및 제2 분기 도전 부재와 전기적으로 접속된 공통 도전 부재를 포함한다. In this embodiment, as a conductive member provided in the work holding|maintenance jig 30, the conductive member which can be electrically connected to the rectifier and the workpiece|work 20 is a 1st and 2nd branching conductive member, and 1st and 2nd branching conductive member. and a common conductive member electrically connected to the member.

구체적으로는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 접촉부(341)가 워크 유지 지그(30)의 반송방향(A)에서 간격을 두고 2개 배치된다. 반송방향(A)의 상류 측의 접촉부(341)를 제1 접촉부(341A)라고 칭하고, 반송방향(A)의 하류 측의 접촉부(341)를 제2 접촉부(341B)라고 칭한다. 제1, 제2 접촉부(341A, 341B)에는 한 쌍의 제1 케이블(350A, 350B)의 각 일단이 전기적으로 접속된다. As specifically, shown in FIG. 5, two pair of contact parts 341 are spaced apart in the conveyance direction A of the work holding|maintenance jig 30, and two are arrange|positioned. The contact part 341 on the upstream side of the conveyance direction A is called a first contact part 341A, and the contact part 341 on the downstream side in the conveyance direction A is called a second contact part 341B. Each end of the pair of first cables 350A and 350B is electrically connected to the first and second contact portions 341A and 341B.

한 쌍의 제1 케이블(350A, 350B)의 각 타단은 공통 접속부(360)에 공통 접속된다. 공통 도전 부재인 공통 접속부(360)는 한 쌍의 제1 케이블(350A, 350B)의 각 타단이 전기적으로 공통 접속되는 제1 도전 부재(361)와, 제1 도전 부재(361)의 양 단부에 고정된 한 쌍의 제2 도전 부재(362, 363)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 제2 도전 부재(362, 363)는 제1 도전 부재(361)에 한 쌍의 제1 케이블(350A, 350B)의 각 타단이 전기적으로 공통 접속되는 위치로부터 등거리(L)의 위치에서, 제1 도전 부재(361)의 양 단부에 고정된다. 제1 도전 부재(361)의 양 단부로부터 등거리(L)의 위치에서 한 쌍의 제1 케이블(350A, 350)을 공통 접속하기 위해서는 한 쌍의 제1 케이블(350A, 350)의 한쪽을 제1 도전 부재(361)의 표면에 접속하고, 다른 쪽을 제1 도전 부재(361)의 이면에 접속해도 된다. Each other end of the pair of first cables 350A and 350B is commonly connected to the common connection part 360 . The common connection part 360, which is a common conductive member, is connected to the first conductive member 361 to which the other ends of the pair of first cables 350A and 350B are electrically commonly connected, and to both ends of the first conductive member 361. A pair of fixed second conductive members 362 and 363 may be included. The pair of second conductive members 362 and 363 are connected to the first conductive member 361 at an equidistant L from a position where the other ends of the pair of first cables 350A and 350B are electrically commonly connected to each other. , fixed to both ends of the first conductive member 361 . In order to connect the pair of first cables 350A and 350 in common at the equidistant L from both ends of the first conductive member 361, one of the pair of first cables 350A and 350 is connected to the first It may be connected to the front surface of the electrically-conductive member 361, and you may connect the other side to the back surface of the 1st electrically-conductive member 361.

워크 유지 지그(30)에 마련되는 도전 부재로서, 상부 프레임(531)의 양 단부와 공통 접속부(360)를 전기적으로 접속하는 한 쌍의 제1 접속부(370A, 370B)와, 하부 프레임(532)의 양 단부와 전기적으로 접속된 한 쌍의 세로 프레임(533, 534)과 공통 접속부(360)를 전기적으로 접속하는 한 쌍의 제2 접속부(380A, 380B)를 더 가진다. 한편, 한 쌍의 세로 프레임(533, 534)은 상부 프레임(531)과는 전기적으로 절연된다. 한 쌍의 제2 접속부(380A, 380B)의 형상, 두께, 재질 등의 조정에 의해 저항값을 조정함으로써, 상측 클램퍼(510)에 흐르는 전류를 조정할 수 있다. As a conductive member provided in the work holding jig 30 , a pair of first connecting portions 370A and 370B electrically connecting both ends of the upper frame 531 and the common connecting portion 360 , and a lower frame 532 ) It further includes a pair of vertical frames 533 and 534 electrically connected to both ends of the , and a pair of second connecting portions 380A and 380B electrically connecting the common connection portion 360 . Meanwhile, the pair of vertical frames 533 and 534 are electrically insulated from the upper frame 531 . By adjusting the resistance value by adjusting the shape, thickness, material, etc. of the pair of second connection parts 380A and 380B, the current flowing through the upper clamper 510 can be adjusted.

제1 분기 도전 부재는 공통 접속부(360)를, 한 쌍의 제1 접속부(370A, 370B) 중 한쪽 및 상부 프레임(531)을 경유하여 복수개의 상측 클램퍼(510) 중 하나와 전기적으로 도통시키는 부재로 형성된다. 이 경우, 제2 분기 도전 부재는 공통 접속부(360)를 한 쌍의 제1 접속부(370A, 370B) 중 다른 쪽 및 상부 프레임(531)을 경유하여 복수개의 상측 클램퍼(510) 중 다른 하나와 전기적으로 도통시키는 부재로 형성된다. The first branch conductive member electrically conducts the common connection portion 360 with one of the plurality of upper clampers 510 via one of the pair of first connection portions 370A and 370B and the upper frame 531 . is formed with In this case, the second branch conductive member connects the common connection part 360 to the other of the pair of first connection parts 370A and 370B and the other one of the plurality of upper clampers 510 via the upper frame 531 and electrically. It is formed of a member that conducts to the

혹은, 제1 분기 도전 부재는 공통 접속부(360)를, 한 쌍의 제2 접속부(380A, 380B) 중 한쪽, 한 쌍의 세로 프레임(533, 534) 중 한쪽 및 하부 프레임(532)을 경유하여 복수개의 하측 클램퍼(520) 중 하나와 전기적으로 도통시키는 부재로 형성된다. 이 경우, 제2 분기 도전 부재는, 공통 접속부(360)를, 한 쌍의 제2 접속부(380A, 380B) 중 다른 쪽, 한 쌍의 세로 프레임(533, 534) 중 다른 쪽 및 하부 프레임(532)을 경유하여 복수개의 하측 클램퍼(520) 중 다른 하나와 전기적으로 도통시키는 부재로 형성된다. Alternatively, the first branched conductive member connects the common connection portion 360 via one of the pair of second connection portions 380A and 380B, one of the pair of vertical frames 533 and 534 and the lower frame 532 . It is formed of a member electrically conducting with one of the plurality of lower clampers 520 . In this case, the second branched conductive member connects the common connection part 360 to the other of the pair of second connection parts 380A and 380B, the other of the pair of vertical frames 533 and 534 and the lower frame 532 . ) via the plurality of lower clampers 520 and is formed of a member electrically conducting with the other one.

여기서, 공통 도전 부재인 공통 접속부(360)는 제1 및 제2 분기 도전 부재 사이의 최대 저항차(ΔRΩ)의 103배 이상의 저항값이면서 구리 및 알루미늄보다도 큰 저항값(r)의 고저항 재료를 포함한다. 본 실시형태에서는 공통 접속부(360)는 한 쌍의 제2 도전 부재(362, 363)가 고저항 재료로 형성되고, 제1 도전 부재(361)는 저저항 부재로 형성된다. Here, the common connection portion 360, which is a common conductive member, is a high-resistance material having a resistance value of 10 3 times or more of the maximum resistance difference ΔRΩ between the first and second branched conductive members and a resistance value r greater than that of copper and aluminum. includes In the present embodiment, in the common connection portion 360 , a pair of second conductive members 362 and 363 are formed of a high-resistance material, and the first conductive member 361 is formed of a low-resistance member.

고저항 재료로서, 예를 들면 스테인리스(SUS)를 들 수 있다. 예를 들면 SUS304의 체적저항률(Ω·m)은 73.7이며, 구리의 1.7Ω·m나 알루미늄의 2.8Ω·m대비 1자리 이상이나 크다. 측정된 최대 저항차(ΔRΩ)가 10~20mΩ이기 때문에, 이 고저항 재료의 저항값(r)은 r≥ΔR×103을 충족한다. 마찬가지로, 예를 들면 53.3Ω·m의 티탄도 고저항 재료로서 알맞다. As a high-resistance material, stainless steel (SUS) is mentioned, for example. For example, the volume resistivity (Ω·m) of SUS304 is 73.7, which is more than one order of magnitude higher than that of 1.7Ω·m of copper or 2.8Ω·m of aluminum. Since the measured maximum resistance difference (ΔRΩ) is 10 to 20 mΩ, the resistance value (r) of this high-resistance material satisfies r≥ΔR×10 3 . Similarly, titanium of 53.3 Ω·m, for example, is also suitable as a high-resistance material.

여기서, 급전 레일(210)을 통해 워크 유지 지그(30)와 전기적으로 접속되는 정류기는 설정된 일정 전류(I)를 흐르게 하기 위해, 전류 경로의 폐루프계(closed-loop system)의 임피던스(Z)에 따라 E=R×I가 되도록 전압(E)을 조정한다. 본 실시형태에서는 폐루프계의 저항(R)은 일반적으로 저저항으로 여겨지는 구리나 알루미늄보다도 저항값이 큰, 공통 도전 부재인 한 쌍의 제2 도전 부재의 고저항값(r)을 포함한다. 제1 분기 도전 부재와 제2 분기 도전 부재 사이(즉, 복수개의 상측 클램퍼(510)사이, 또는 복수개의 하측 클램퍼(520) 사이)에서 생기는 최대 저항차(ΔRΩ)에 대하여 r≥103×ΔRΩ이면, 저항값(r)을 포함하는 계의 저항(R)도 커진다. 따라서, 정류기는 비교적 큰 전압(V)으로 조정하여 일정 전류(I)를 공급한다. 이와 같이, 제1, 제2 분기 도전 부재에 흐르는 전류(또는 전자)는 공통 접속부(360)에서 합류되고, 게다가 제1, 제2 분기 도전 부재 사이의 저항의 불균일(ΔRΩ)에 상당하는 불균일 전압(ΔV)을 크게 상회하는 전압(E)으로 전류(I)를 흐르게 하면, 저항의 불균일(ΔRΩ)은 무시할 수 있다. Here, the rectifier electrically connected to the work holding jig 30 through the feed rail 210 to flow a set constant current (I), the impedance (Z) of the closed-loop system of the current path Adjust the voltage (E) so that E=R×I according to In this embodiment, the resistance (R) of the closed loop system includes a high resistance value (r) of a pair of second conductive members, which are common conductive members, having a larger resistance value than copper or aluminum, which are generally considered to be low resistance. . With respect to the maximum resistance difference (ΔRΩ) generated between the first branched conductive member and the second branched conductive member (ie, between the plurality of upper clampers 510 or between the plurality of lower clampers 520 ), r≥10 3 ×ΔRΩ In this case, the resistance R of the system including the resistance value r also increases. Therefore, the rectifier supplies a constant current (I) by adjusting it to a relatively large voltage (V). In this way, the currents (or electrons) flowing through the first and second branched conductive members are joined at the common connection portion 360 , and furthermore, a non-uniform voltage corresponding to the non-uniformity of resistance (ΔRΩ) between the first and second branched conductive members. When the current I flows at a voltage E that greatly exceeds (ΔV), the non-uniformity of the resistance (ΔRΩ) is negligible.

3.1. 비교예의 전류 모니터 3.1. Current monitor of comparative example

도 6은 본 실시형태와 같이 공통 접속부(360)에 고저항값(r)의 재료를 포함하지 않는 비교예의 지그를 모식적으로 나타낸다. 도 6 중의 비교예의 지그의 반송방향(A)의 상류 측의 접촉부에 흐르는 전류(A1)와, 반송방향(A)의 하류 측의 접촉부에 흐르는 전류(A2)로 한다. 6 schematically shows the jig of the comparative example in which the material of the high resistance value r is not included in the common connection part 360 like this embodiment. Let the current A1 flowing in the upstream contact portion of the conveying direction A of the jig of the comparative example in Fig. 6 and the current A2 flowing in the downstream contact portion in the conveying direction A be defined.

도 7에 나타내는 측정에서는 정류기의 설정 전류를 204A(=A1+A2)로 하고, 2개로 분기되어 흐르는 분기 설정 전류(A1, A2)는 102A로 했다. 워크 유지 지그를 도 6의 반송방향(A)으로 반송하면서 측정된 전류(A1, A2)는 도 7과 같이 분기 설정 전류값에 대하여 상하로 변동시켰다. 시각(T1, T2)의 전후에서는 일본 공개특허 특개2009-132999에 개시된 바와 같이, 급전 레일 사이의 이음매를 통해 한쪽의 급전 레일로부터 다른 쪽의 급전 레일로 지그가 갈아타기 위해, 한쪽의 급전 레일과 접촉하는 접촉부의 전류값이 점감되고, 다른 쪽의 급전 레일과 접촉하는 접촉부의 전류값이 점증되는 제어가 정류기에서 실시된다. 이 전류 점감·점증 제어 이외의 구간에서는 정류기는 설정 전류대로 출력 제어한다. 그러나 도 7에 나타내는 비교예의 전류(A1, A2)는 정전류 제어 구간에서는 조금씩 변동되고, 전류 점감·점증 제어에서는 크게 변동된다. In the measurement shown in FIG. 7, the set current of the rectifier was 204A (=A1+A2), and the branch set currents A1 and A2 that branched into two and flow were 102A. The currents A1 and A2 measured while conveying the workpiece holding jig in the conveying direction A of FIG. 6 were fluctuated up and down with respect to the branch set current value as shown in FIG. 7 . Before and after the time (T1, T2), as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-132999, the jig changes from one feed rail to the other through the joint between the feed rails. Control is performed in the rectifier in which the current value of the contacting portion is decreased and the current value of the contact portion in contact with the other feeding rail is increased. In the section other than this current decreasing/increasing control, the rectifier performs output control according to the set current. However, the currents A1 and A2 of the comparative example shown in FIG. 7 vary little by little in the constant current control section, and vary greatly in the current decrement/increment control.

3.2. 본 실시형태의 전류 모니터 3.2. Current monitor of this embodiment

도 8은 공통 접속부(360)에 고저항값(r)의 재료를 포함하는 본 실시형태의 지그(30)를 모식적으로 나타낸다. 도 8 중의 지그(30)의 반송방향(A)의 상류 측의 접촉부(341A)에 흐르는 전류(A1)와, 반송방향(A)의 하류 측의 접촉부(341B)에 흐르는 전류(A2)와, 한 쌍의 제1 접속부(370A, 370B)에 흐르는 전류(A3, A4)와, 한 쌍의 제2 접속부(380A, 380B)에 흐르는 전류(A5, A6)로 한다. FIG. 8 schematically shows the jig 30 of this embodiment in which the material of the high resistance value r is included in the common connection part 360. As shown in FIG. A current A1 flowing through the contact portion 341A on the upstream side of the conveyance direction A of the jig 30 in FIG. 8, and a current A2 flowing through the contact portion 341B on the downstream side in the conveyance direction A; Let the currents A3 and A4 flowing through the pair of first connecting portions 370A and 370B and the currents A5 and A6 flowing through the pair of second connecting portions 380A and 380B be used.

도 9에 나타내는 측정에서는 정류기의 설정 전류를 131A(=A1+A2)로 하고, 2개로 분기되어 흐르는 분기 전류(A1, A2)는 65.5A로 했다. 시각(T)의 전후에서는 도 7에 나타내는 시각(T1, T2)과 마찬가지로 전류 점감·점증 제어를 실시하고, 그 이외의 구간에서는 설정 전류대로 출력 제어를 실시했다. 워크 유지 지그(30)를 도 8의 반송방향(A)으로 반송하면서 측정된 전류(A3~A6)는 도 9에 나타내는 바와 같이, 지그(30)의 좌우로부터 상측 클램퍼(510)로 흐르는 분기 전류(A3, A4)는 일정해지고, 지그(30)의 좌우로부터 하측 클램퍼(520)로 흐르는 분기 전류(A5, A6)도 일정해졌다. In the measurement shown in FIG. 9, the set current of the rectifier was 131A (=A1+A2), and the branch currents A1 and A2 that branched into two and flow were 65.5A. Before and after the time T, the current gradually decreasing/increasing control was performed similarly to the time T1 and T2 shown in Fig. 7 , and in the other sections, the output control was performed according to the set current. Currents A3 to A6 measured while conveying the workpiece holding jig 30 in the conveying direction A of FIG. 8 are branch currents flowing from the left and right of the jig 30 to the upper clamper 510, as shown in FIG. (A3, A4) became constant, and the branch currents A5 and A6 flowing from the left and right sides of the jig 30 to the lower clamper 520 also became constant.

본 실시형태에서는 정류기와 공통 접속부(360) 사이의 도통 경로에는 급전 레일(210)의 국소적인 오염 등으로 생기는 제1, 제2 접촉부(341A, 341B)의 접촉 저항의 불균일에 의한 저항차나, 급전 레일(210)의 환승 시의 저항차가 존재하는데, 상술한 저항값을 가지는 공통 접속부(360)를 마련함으로써 이들 악영향도 저감할 수 있다. In the present embodiment, in the conduction path between the rectifier and the common connection part 360, the resistance difference due to the non-uniformity of the contact resistance of the first and second contact parts 341A and 341B caused by the local contamination of the feeding rail 210, etc. Although there is a difference in resistance during transfer of the rail 210 , these adverse effects can also be reduced by providing the common connection part 360 having the above-described resistance value.

본 실시형태에서는 한 쌍의 제1 접속부는 한 쌍의 금속판(370A, 370B)을 포함하는 한편, 한 쌍의 제2 접속부는 한 쌍의 제2 케이블(380A, 380B)을 포함할 수 있다. 이렇게 하여, 공통 접속부(360)로부터 상측 클램퍼(510)까지 이르는 저항값을 공통 접속부(360)로부터 하측 클램퍼(520)까지 이르는 저항값보다도 크게 할 수 있다. In the present embodiment, the pair of first connecting portions may include a pair of metal plates 370A and 370B, while the pair of second connecting portions may include a pair of second cables 380A and 380B. In this way, the resistance value extending from the common connection part 360 to the upper clamper 510 can be made larger than the resistance value extending from the common connection part 360 to the lower clamper 520 .

이렇게 하면, 처리액 중에는 선단부밖에 침지되지 않는 상측 클램퍼(510)와 비교하여, 전체가 처리액 중에 침지되는 하측 클램퍼(520)의 표면처리에 소비되는 전류분만큼 많은 전류를 하측 클램퍼(520)를 통해 워크에 통전시킬 수 있다. 도 9 중에서, 상측 클램퍼(510)에 흐르는 전류(A3, A4)보다도 하측 클램퍼(520)에 흐르는 전류(A5, A6)를 크게 함으로써, 결과적으로 워크(20)에 상하로부터 흐르는 전류를 거의 일정하게 할 수 있다. In this way, compared to the upper clamper 510 in which only the tip is immersed in the treatment liquid, as much current as the current consumed for the surface treatment of the lower clamper 520, the entirety of which is immersed in the treatment liquid, is applied to the lower clamper 520. The work can be energized through In Fig. 9, by making the currents A5 and A6 flowing through the lower clamper 520 larger than the currents A3 and A4 flowing through the upper clamper 510, as a result, the current flowing from the top to the bottom of the workpiece 20 is substantially constant. can do.

4. 상측 더미판/하측 더미판 4. Upper dummy plate/lower dummy plate

도 5에 나타내는 바와 같이, 상부 프레임(531) 및/또는 하부 프레임(532)을 도전성의 지지부로 했을 때, 지지부에는 상측 및/또는 하측 클램퍼(510, 520)에 더하여, 도전성의 상측 더미판(610) 및/또는 도전성의 하측 더미판(620)을 가질 수 있다. 상측 더미판(610)은 워크(20)의 상부 가장자리부(20a) 중 상측 클램퍼(510)로 유지되지 않는 영역에서, 워크(20)의 상부 가장자리부(20a)와 접근하여 배치된다. 하측 더미판(620)은 워크(20)의 하부 가장자리부(20b) 중 하측 클램퍼(520)로 유지되지 않는 영역에서, 워크(20)의 하부 가장자리부(20b)와 접근하여 배치된다. As shown in Fig. 5, when the upper frame 531 and/or the lower frame 532 is used as a conductive support part, in addition to the upper and/or lower clampers 510 and 520, the support part has a conductive upper dummy plate ( 610) and/or a conductive lower dummy plate 620 . The upper dummy plate 610 is disposed close to the upper edge portion 20a of the work 20 in a region not held by the upper clamper 510 among the upper edge portions 20a of the work 20 . The lower dummy plate 620 is disposed close to the lower edge portion 20b of the work 20 in a region not held by the lower clamper 520 among the lower edge portions 20b of the work 20 .

상측 더미판(610) 및 도전성의 하측 더미판(620) 각각은 적어도 일면, 예를 들면 표리면에, 표면 및 이면을 각각 덮도록 이동이 가능하게 지지되어, 더미판(610, 620)의 노출 도전 면적을 각각 조정하는 절연판(630)을 가질 수 있다. Each of the upper dummy plate 610 and the conductive lower dummy plate 620 is movably supported on at least one surface, for example, the front and rear surfaces, so as to cover the front and rear surfaces, respectively, so that the dummy plates 610 and 620 are exposed. Insulation plates 630 each adjusting a conductive area may be provided.

상측 더미판(610)을 확대하여 도 10에 나타낸다. 도 10에 나타내는 구조는 하측 더미판(620)에도 채용되어 있다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 상측 더미판(610)은 상측 더미판(610)과 일체 또는 별체로 형성되는 힌지(611)를 통해 상부 프레임(351)에 예를 들면 나사(612)에 의해 고정된다. 상측 더미판(610)의 양면을 덮는 절연판(630)은, 상측 더미판(610)의 표면을 덮는 절연판(630A)과, 상측 더미판(610)의 이면을 덮는 절연판(630B) 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 가질 수 있다. 절연판(620A, 620B)은 절연판(630A, 630B)에 각각 마련된 세로방향의 장공(長孔)(631A, 631B)(도 10에서는 장공(631A)만 도시) 및 상측 더미판(610)에 마련된 구멍(612)에 삽입 통과되는 볼트(641)와, 볼트(641)에 조여 맞춰지는 너트(642)에 의해, 상측 더미판(610)에 예를 들면 함께 조여진다. The upper dummy plate 610 is enlarged and shown in FIG. 10 . The structure shown in FIG. 10 is also employed in the lower dummy plate 620 . As shown in FIG. 10 , the upper dummy plate 610 is fixed to the upper frame 351 by, for example, screws 612 through a hinge 611 formed integrally or separately from the upper dummy plate 610 . . The insulating plate 630 covering both surfaces of the upper dummy plate 610 is one of the insulating plate 630A covering the surface of the upper dummy plate 610 and the insulating plate 630B covering the back surface of the upper dummy plate 610 or can have both. The insulating plates 620A and 620B have longitudinally long holes 631A and 631B (only the long hole 631A shown in FIG. 10) provided in the insulating plates 630A and 630B, respectively, and a hole provided in the upper dummy plate 610. The bolt 641 inserted through the bolt 612 and the nut 642 screwed to the bolt 641 are tightened together, for example, to the upper dummy plate 610 .

절연판(620A, 620B) 각각은 장공(631A, 631B)의 범위 내에서 상측 더미판(610)(하측 더미판(620))에 대하여 상하방향의 위치를 조정할 수 있다. 그로써, 도 10에 나타내는 바와 같이, 상측 더미판(610)의 선단부(610A)가 노출되는 도전면의 노출 면적(S1)을 표면과 이면으로 독립적으로 조정할 수 있다. 상측 더미판(610)의 노출 도전 면적(S1)을 변경함으로써 상측 더미판(610)에 대한 표면처리에 소비되는 전류가 조정된다. 그로써, 상측 클램퍼(510)를 통해 워크(20)의 상부 가장자리부(20a)에 흐르는 전류가 조정된다. 이렇게 하여, 워크(20)의 상부 가장자리부(20a)에 흐르는 전류를 조정하여 표면처리될 워크의 면 내 균일성을 높일 수 있다. 하측 더미판(620)에 대해서도 마찬가지로 조정함으로써, 워크(20)의 하부 가장자리부(20b)에 흐르는 전류를 조정하여 표면처리될 워크의 면 내 균일성을 높일 수 있다. Each of the insulating plates 620A and 620B may have a vertical position with respect to the upper dummy plate 610 (the lower dummy plate 620 ) within the range of the long holes 631A and 631B. As a result, as shown in FIG. 10 , the exposed area S1 of the conductive surface to which the tip 610A of the upper dummy plate 610 is exposed can be independently adjusted to the front surface and the rear surface. The current consumed for surface treatment of the upper dummy plate 610 is adjusted by changing the exposed conductive area S1 of the upper dummy plate 610 . Thereby, the current flowing through the upper clamper 510 to the upper edge portion 20a of the work 20 is adjusted. In this way, the in-plane uniformity of the work to be surface-treated can be increased by adjusting the current flowing through the upper edge portion 20a of the work 20 . By similarly adjusting the lower dummy plate 620 , the in-plane uniformity of the work to be surface-treated can be increased by adjusting the current flowing through the lower edge portion 20b of the work 20 .

상측 더미판(610)은 힌지(611)를 통해 도 12의 실선으로 나타내는 제1 위치(P1)와, 쇄선으로 나타내는 제2 위치(P2) 사이에서 굴곡이 가능하다. 제1 위치(P1)에서는 상측 더미판(610)이 워크(20)의 상부 가장자리부(20a) 중 상측 클램퍼(510)로 유지되지 않는 영역에 접근하여, 워크(20)와 평행하게 배치된다. 제2 위치의 제1 위치(P2)에서는 상측 더미판(610)은 워크(20)의 주면(主面)과 평행하지 않고, 예를 들면 워크(20)의 주면에 대하여 직각으로 교차한다. The upper dummy plate 610 can be bent between the first position P1 indicated by the solid line in FIG. 12 and the second position P2 indicated by the chain line through the hinge 611 . In the first position P1 , the upper dummy plate 610 approaches an area not held by the upper clamper 510 among the upper edge portions 20a of the work 20 and is disposed parallel to the work 20 . In the first position P2 of the second position, the upper dummy plate 610 is not parallel to the main surface of the work 20 , but intersects, for example, at right angles to the main surface of the work 20 .

워크(20)를 표면처리할 때에는 상측 더미판(610)은 제1 위치(P1)로 설정된다. 한편, 워크 유지 지그(30)에 대하여 워크(20)를 자동기에 의해 탈착할 때에는 상측 더미판(610)은 제2 위치(P2)로 설정된다. 상측 더미판(610)을 제2 위치(P2)로 설정함으로써, 워크(20)의 상부 가장자리부(20a)와 상부 프레임(351) 사이에 극간이 확보된다. 그로써, 워크 유지 지그(30)의 상측 클램퍼(510)와는 다른 위치에서, 워크(20)의 상부 가장자리부를 자동기에 의해 클램프할 수 있다. 이 경우, 상측 더미판(610)을 자동기에 의해 밀어서 움직이게 하여, 상측 더미판(610)을 제1 위치(P1)로부터 제2 위치(P2)를 향해 화살표(F1)방향으로 이동시켜도 된다. 예를 들면, 도 12에 나타내는 바와 같이, 자동기에 마련되어 이동하는 암(1000)의 천분의 롤러(1100)에 의해, 상측 더미판(610)을 밀어서 움직이게 해도 된다. 하측 더미판(620)에 대해서도 마찬가지로 하여, 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2) 사이에서 굴곡시킬 수 있다. When the work 20 is surface-treated, the upper dummy plate 610 is set to the first position P1. On the other hand, when the work 20 is detached from the work holding jig 30 by an automatic machine, the upper dummy plate 610 is set to the second position P2 . By setting the upper dummy plate 610 to the second position P2 , a gap is secured between the upper edge portion 20a of the work 20 and the upper frame 351 . Thereby, at a position different from the upper clamper 510 of the work holding jig 30, the upper edge of the work 20 can be clamped by an automatic machine. In this case, the upper dummy plate 610 may be moved in the direction of the arrow F1 from the first position P1 to the second position P2 by pushing and moving the upper dummy plate 610 by an automatic machine. For example, as shown in FIG. 12 , the upper dummy plate 610 may be moved by pushing the roller 1100 per thousand of the arm 1000 provided in the automatic machine and moving. The lower dummy plate 620 may be bent between the first position P1 and the second position P2 in the same manner.

상측 더미판(610)은 힌지(611) 자체의 스프링성 또는 힌지(611)에 마련된 판스프링 또는 코일 스프링 등의 바이어스 부재에 의해, 제1 위치(P1)에 이동이 바이어싱되어도 된다. 이렇게 하면, 복귀 외력을 부여하지 않고, 상측 더미판(610)을 제2 위치(P2)로부터 제1 위치(P1)를 향해 화살표(F2)방향으로 복귀시킬 수 있다. 하측 더미판(620)에 대해서도 마찬가지로 하여, 복귀 외력을 부여하지 않고, 제2 위치(P2)로부터 제1 위치(P1)를 향해 화살표(F2)방향으로 복귀시킬 수 있다. The movement of the upper dummy plate 610 may be biased to the first position P1 by the spring properties of the hinge 611 itself or a bias member such as a plate spring or a coil spring provided in the hinge 611 . In this way, it is possible to return the upper dummy plate 610 in the direction of the arrow F2 from the second position P2 to the first position P1 without applying a return external force. Similarly, the lower dummy plate 620 can be returned in the direction of the arrow F2 from the second position P2 to the first position P1 without applying a return external force.

한편, 워크 유지 지그가, 직사각형 워크(20)의 4변을 클램프하는 상하좌우의 클램퍼를 가지는 경우에는 4변의 각 클램퍼에 더미판 및 절연판을 마련해도 된다. On the other hand, when the work holding jig has the clampers of the upper, lower, left, and right for clamping the four sides of the rectangular work 20, you may provide a dummy plate and an insulating plate for each clamper of four sides.

5. 클램퍼의 더미판 및 조정 부재 5. Dummy plate and adjustment member of clamper

이하, 상측 클램퍼(510) 및 하측 클램퍼(520) 중 한쪽 또는 양쪽에 마련되는 더미판 및 조정 부재를 하측 클램퍼(520)를 예로 들어 설명한다. 상측 클램퍼(510)에 마련되는 더미판 및 조정 부재에 대해서는 이하의 설명 중의 "하측 클램퍼(520)"를 "상측 클램퍼(510)"로, "하부 프레임(532)"을 "상부 프레임(531)"으로 바꿔 읽음으로써 이해된다. Hereinafter, a dummy plate and an adjustment member provided on one or both of the upper clamper 510 and the lower clamper 520 will be described using the lower clamper 520 as an example. As for the dummy plate and the adjustment member provided in the upper clamper 510, in the following description, "lower clamper 520" is referred to as "upper clamper 510", and "lower frame 532" is referred to as "upper frame 531". It is understood by changing it to ".

도 13은 하측 클램퍼(520)에 마련되며 더미판(700) 및 조정 부재(720)를 나타낸다. 우선, 하측 클램퍼(520)는 하부 프레임(532)에 고정되는 고정부(521)와, 고정부(521)에 대하여 요동 가동(可動)하게 지지되는 가동부(523)를 포함한다. 고정부(521)는 제1 면(521A)과, 그 반대 측의 제2 면(521B)을 가진다. 고정부(521)는 제2 면(521B)이 하부 프레임(532)과 면 접촉하고, 볼트(522)에 의해 하부 프레임(532)에 고정된다. 고정부(521)는 제1 면(521A)으로부터 수직으로 기립하는 2개의 측벽(521C)을 가진다. 13 shows the dummy plate 700 and the adjustment member 720 provided on the lower clamper 520 . First, the lower clamper 520 includes a fixed portion 521 fixed to the lower frame 532 , and a movable portion 523 supported by swinging movement with respect to the fixed portion 521 . The fixing part 521 has a first surface 521A and a second surface 521B on the opposite side. The fixing part 521 has a second surface 521B in surface contact with the lower frame 532 , and is fixed to the lower frame 532 by a bolt 522 . The fixing portion 521 has two sidewalls 521C standing vertically from the first surface 521A.

요동하는 가동부(523)와, 고정부(521)의 제1 면(521A) 사이에서 워크(20)의 하부 가장자리부(20b)가 국소적으로 클램프된다. 가동부(523)는 고정부(521)의 2개의 측벽(521C)에 지지된 핀(524)의 주변에서 요동이 가능하다. 핀(524)에는 코일 스프링(525)이 삽입 통과된다. 가동부(523)는 코일 스프링(525)에 의해 고정부(521)를 향하도록 이동이 바이어싱된다. 가동부(523)는 고정부(521), 핀(524) 또는 코일 스프링(525)을 경유하여, 하부 프레임(532)과 전기적으로 접속된다. 이 도통 경로의 저항값을 낮추기 위해, 코일 스프링(525)을 판스프링 등으로 변경해도 된다. The lower edge portion 20b of the work 20 is locally clamped between the movable portion 523 that swings and the first surface 521A of the fixed portion 521 . The movable part 523 can swing around the pin 524 supported on the two sidewalls 521C of the fixed part 521 . A coil spring 525 is inserted through the pin 524 . The movable part 523 is biased to move toward the fixed part 521 by the coil spring 525 . The movable part 523 is electrically connected to the lower frame 532 via a fixed part 521 , a pin 524 , or a coil spring 525 . In order to lower the resistance value of the conduction path, the coil spring 525 may be changed to a leaf spring or the like.

도전성의 더미판(700)은 고정부(521)의 제2 면(521B)과 대향하는 제3 면(700A)과, 제3 면(700A)과는 반대 측의 제4 면(700B)을 포함한다. 또한, 더미판(700)의 일단부를 기단부(701)로 칭하고, 타단부를 선단부(704)로 칭한다. 더미판(700)은, 제4 면(700B)이 고정부(521)의 제2 면(521B)과 평행해지도록 하여, 기단부(701)가 고정부(521)에 지지된다. The conductive dummy plate 700 includes a third surface 700A opposite to the second surface 521B of the fixing part 521 and a fourth surface 700B opposite to the third surface 700A. do. In addition, one end of the dummy plate 700 is referred to as a base end 701 , and the other end is referred to as a front end 704 . The dummy plate 700 has the fourth surface 700B parallel to the second surface 521B of the fixing part 521 , so that the base end 701 is supported by the fixing part 521 .

여기서, 도 14에 나타내는 바와 같이, 더미판(4700)의 기단부(701)에는 예를 들면 2개의 장공(702, 703)을 형성할 수 있다. 이 장공(702, 703) 각각에 볼트(710)를 삽입 통과하여, 볼트(710)를 하부 프레임(532)에 체결했다. 장공(702, 703)에 의해, 더미판(700)은 도 13의 화살표(C)방향에서 고정 위치를 조정할 수 있다. Here, as shown in FIG. 14 , for example, two long holes 702 and 703 can be formed in the base end 701 of the dummy plate 4700 . A bolt 710 was inserted through each of the long holes 702 and 703 , and the bolt 710 was fastened to the lower frame 532 . Due to the long holes 702 and 703, the dummy plate 700 can adjust the fixing position in the direction of the arrow C in FIG. 13 .

도 13 및 도 14에 나타내는 바와 같이, 절연성의 조정 부재(720)는 더미판(700)의 제4 면(700B)의 일부를 덮어, 더미판(700)에 겹쳐진다. 조정 부재(720)에 의해 상시 덮이지 않는 도전면은 선단부(704)만으로 할 수 있다. 도 13 및 도 14에 해칭으로 나타내는 바와 같이, 조정 부재(720)에 의해 덮이지 않는 다른 면은 절연 코팅된다. 13 and 14 , the insulating adjustment member 720 covers a part of the fourth surface 700B of the dummy plate 700 and overlaps the dummy plate 700 . The conductive surface that is not always covered by the adjustment member 720 can be made only by the tip portion 704 . As indicated by hatching in FIGS. 13 and 14 , the other side not covered by the adjustment member 720 is coated with an insulating coating.

도 14에 나타내는 바와 같이, 조정 부재(720)에는 예를 들면 2개의 장공(721, 722)이 형성된다. 이 장공(721, 722) 각각에 볼트(730)를 삽입 통과시켜, 볼트(730)를 더미판(700)에 체결했다. 장공(702, 703)에 의해, 조정 부재(720)는 도 13의 화살표(C)방향에서 고정 위치를 조정할 수 있다. 그로써, 조정 부재(720)는 더미판(700)의 선단부(704)에서의 제4 면(700B) 측의 노출 도전 면적(S2)을 조정할 수 있다. As shown in FIG. 14, two long holes 721 and 722 are formed in the adjustment member 720, for example. A bolt 730 was inserted through each of the long holes 721 and 722 , and the bolt 730 was fastened to the dummy plate 700 . By means of the long holes 702 and 703, the adjustment member 720 can adjust the fixing position in the direction of the arrow C in FIG. 13 . Thereby, the adjustment member 720 can adjust the exposed conductive area S2 of the fourth surface 700B side of the front end 704 of the dummy plate 700 .

더미판(700)의 선단부(704)에서의 제4 면(700B) 측의 노출 도전면이 표면처리된다. 더미판(700)의 노출 도전 면적(S2)을 변경함으로써 더미판(700)에 대한 표면처리에 소비되는 전류가 조정된다. 그로써, 하측 클램퍼(520)의 고정부(521)를 통해 워크(20)의 하부 가장자리부(20b)에 흐르는 전류가 조정된다. 더미판(700) 및 조정 부재(720)가 없으면, 하측 클램퍼(520)의 고정부(521)를 통해 워크(20)의 하부 가장자리부(20b)에 흐르는 전류가 증대된다. 왜냐하면, 상술한 바와 같이 가동부(523)와 하부 프레임(532) 사이의 저항값은 비교적 크기 때문이다. 따라서, 가동부(523)와 접하는 영역 부근의 워크(20)의 하부 가장자리부(20b)이면서, 가동부(523)와 접하는 측의 면(20b1)(도 13)에 전류가 집중될 일은 없다. 그 한편으로, 고정부(521)와 접하는 영역 부근의 워크(20)의 하부 가장자리부(20b)이면서, 고정부(521)와 접하는 측의 면(20b2)(도 13)에 전류가 집중되는 경향이 강하다. 결과적으로, 고정부(521) 부근의 영역에서 워크(20)의 표면처리가 국소적으로 진행되어 버린다. 본 실시형태에 따르면, 워크(20)의 하부 가장자리부(20b)의 국소 영역(20b2)에 흐르는 전류를 조정하여, 표면처리될 워크의 면 내 균일성을 높일 수 있다. The exposed conductive surface on the side of the fourth surface 700B of the tip 704 of the dummy plate 700 is surface-treated. The current consumed for surface treatment of the dummy plate 700 is adjusted by changing the exposed conductive area S2 of the dummy plate 700 . Thereby, the current flowing through the fixing portion 521 of the lower clamper 520 to the lower edge portion 20b of the workpiece 20 is adjusted. Without the dummy plate 700 and the adjustment member 720 , the current flowing through the fixing portion 521 of the lower clamper 520 to the lower edge portion 20b of the work 20 is increased. This is because, as described above, the resistance value between the movable part 523 and the lower frame 532 is relatively large. Accordingly, current is not concentrated on the lower edge portion 20b of the work 20 in the vicinity of the region in contact with the movable portion 523 and the surface 20b1 ( FIG. 13 ) on the side in contact with the movable portion 523 . On the other hand, the tendency for current to concentrate on the lower edge portion 20b of the workpiece 20 in the vicinity of the region in contact with the fixing portion 521 and the surface 20b2 (Fig. 13) on the side in contact with the fixing portion 521 this is strong As a result, the surface treatment of the work 20 locally advances in the region near the fixing portion 521 . According to this embodiment, the in-plane uniformity of the workpiece to be surface-treated can be improved by adjusting the current flowing in the local region 20b2 of the lower edge portion 20b of the workpiece 20 .

또한, 장공(702, 703)에 의해, 고정부(521)에 대한 더미판(700)의 기단부(701)의 고정 위치를, 조정 부재(720)가 이동이 가능한 화살표(C)방향과 평행한 방향으로 변경이 가능하게 할 수 있다. 이렇게 하면, 워크(20)의 주면과 직교하는 방향에서 본 측면에서 봤을 때, 하측 클램퍼(520)의 고정부(521)의 제2 면(521B) 또는 워크의 주면과 더미판(700)의 겹침 면적을 조정할 수 있다. 그 위치 조정에 따라서도 더미판(700)에 대한 표면처리에 소비되는 전류가 조정된다. In addition, the fixing position of the base end 701 of the dummy plate 700 with respect to the fixing portion 521 by the long holes 702 and 703 is parallel to the direction of the arrow C in which the adjustment member 720 is movable. direction can be changed. In this way, the second surface 521B of the fixing part 521 of the lower clamper 520 or the main surface of the workpiece and the dummy plate 700 overlap when viewed from the side viewed in a direction orthogonal to the main surface of the workpiece 20 . The area can be adjusted. The current consumed for surface treatment of the dummy plate 700 is also adjusted according to the position adjustment.

여기서, 도 1에 나타내는 처리조(200) 내의 처리액(Q)은 지그(30)에 대하여 도 5에 나타내는 액면(L)이 설정된다. 따라서, 하측 클램퍼(520)는 그 전체가 처리액(Q)에 가라앉는다. 그 때문에, 더미판(700)은 선단부(704)에서의 제4 면(700B)을 제외하고, 도 13 및 도 14에 해칭으로 나타내는 바와 같이, 조정 부재(720)에 의해 덮이지 않는 다른 면은 절연 코팅된다. 그로써, 더미판(700)의 선단부(704)에서의 제4 면(700B) 이외가 헛되게 표면처리될 일이 없다. Here, the liquid level L shown in FIG. 5 is set with respect to the jig 30 of the processing liquid Q in the processing tank 200 shown in FIG. Accordingly, the entire lower clamper 520 sinks in the treatment liquid Q. For this reason, the dummy plate 700 has, except for the fourth surface 700B at the tip portion 704, the other surface not covered by the adjustment member 720 as shown by hatching in FIGS. 13 and 14 . Insulation coated. Thereby, surfaces other than the fourth surface 700B of the tip 704 of the dummy plate 700 are not treated in vain.

상술된 하측 클램퍼(520)에 마련되는 더미판(700) 및 조정 부재(720)의 구조는 상측 클램퍼(510)에 마련되는 더미판 및 조정 부재에도 적용할 수 있다. 한편, 도 5에 나타내는 처리액(Q)의 액면(L)의 위치로부터, 상측 클램퍼(510)는 그 전체가 처리액(Q)에 가라앉을 일이 없는 점에서 하측 클램퍼(520)와 다르다. 이 때문에, 상측 클램퍼(510)에 마련되는 더미판은 절연 코팅 영역을 처리액(Q) 중에 가라앉는 영역에만 좁혀도 된다. 처리액(Q)에 침지되지 않는 영역은 표면처리되지 않으므로, 절연 코팅할 필요는 없기 때문이다. The above-described structures of the dummy plate 700 and the adjustment member 720 provided in the lower clamper 520 may also be applied to the dummy plate and the adjustment member provided in the upper clamper 510 . On the other hand, from the position of the liquid level L of the processing liquid Q shown in FIG. 5 , the upper clamper 510 is different from the lower clamper 520 in that the entirety of the upper clamper 510 does not sink into the processing liquid Q. For this reason, the dummy plate provided in the upper clamper 510 may narrow the insulating coating area only to the area sinking in the treatment liquid Q. This is because the area that is not immersed in the treatment liquid Q is not subjected to surface treatment, and thus there is no need for insulating coating.

6. 제1, 제2 사이드 더미 부재 6. First and second side dummy members

도 5에 나타내는 바와 같이, 워크 유지 지그(30)는 워크(20)의 양 옆가장자리부에 접근하여 배치되는 도전성의 제1 및 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)를 더 가질 수 있다. 도 5의 D-D 화살표 방향에서 본 도면인 도 15에 나타내는 바와 같이, 제1 사이드 더미 부재(800A)는 워크(20)의 옆가장자리부(20d)와 세로 프레임(534) 사이에 배치된다. 제2 사이드 더미 부재(800B)는 워크(20)의 옆가장자리부(20c)와 세로 프레임(534) 사이에 배치된다. As shown in FIG. 5 , the work holding jig 30 may further include conductive first and second side dummy members 800A and 800B disposed close to both side edges of the work 20 . As shown in FIG. 15 which is a figure seen from the D-D arrow direction of FIG. 5, 800 A of 1st side dummy members are arrange|positioned between the side edge part 20d of the workpiece|work 20 and the vertical frame 534. As shown in FIG. The second side dummy member 800B is disposed between the side edge portion 20c of the work 20 and the vertical frame 534 .

여기서, 공통 도전 부재(360)의 제2 도전 부재(362)와 전기적으로 접속되며 공통 도전 부재(360)로부터 분기되어, 상측 클램퍼(510)를 통해 워크(20)와 도통하는 제1 분기 도통 부재가, 한 쌍의 제1 접속부(370A, 370B)와, 그들이 양 단부에 접속되는 상부 프레임(531)으로 정의된다. 워크 유지 지그(30)는 또한, 공통 도전 부재(360)와 전기적으로 접속되며 공통 도전 부재(360)로부터 분기되어, 제1 및 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)와 도통하는 제2 분기 도통 부재(900(900A, 900B))를 더 가진다. 제2 분기 도통 부재(900)의 제1 더미 도통 부재(900A)는 공통 도전 부재(360)로부터 분기되어 제1 사이드 더미 부재(800A)와 도통한다. 제2 분기 도통 부재(900)의 제2 더미 도통 부재(900B)는 공통 도전 부재(360)로부터 분기되어 제2 사이드 더미 부재(800B)와 도통한다. Here, the first branched conductive member electrically connected to the second conductive member 362 of the common conductive member 360 and branched from the common conductive member 360 to conduct the work 20 through the upper clamper 510 . A is defined by a pair of first connecting portions 370A and 370B, and an upper frame 531 connected to both ends thereof. The work holding jig 30 is also electrically connected to the common conductive member 360 and branched from the common conductive member 360 to conduct a second branch conduction conducting with the first and second side dummy members 800A and 800B. It further has a member 900 (900A, 900B). The first dummy conductive member 900A of the second branched conductive member 900 is branched from the common conductive member 360 to conduct the first side dummy member 800A. The second dummy conductive member 900B of the second branched conductive member 900 is branched from the common conductive member 360 and conducts with the second side dummy member 800B.

정류기와 전기적으로 접속이 가능한 공통 도전 부재(360)는 제1 분기 도통 부재(370A, 370B, 531)를 경유하여 상측 클램퍼(510)에 의해 워크(20)와 도통된다. 이 공통 도전 부재(360)는 제2 분기 도통 부재(900(900A, 900B))를 통해 제1 및 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)와 도통된다. 워크(20), 제1 및 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)에 흐르는 토탈 전류는 정류기에 의해 설정이 가능하다. 여기서, 세로 프레임(533, 534)은 절연 코팅되어 있는 것으로 가정한다. 제1 및 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)가 없으면, 워크(20)의 양 옆가장자리부(20c, 20d)에 전계가 집중되고, 워크(20)의 양 옆가장자리부(20c, 20d)에 흐르는 전류가 많아진다. 세로 프레임(533, 534)은 절연 코팅되지 않은 경우에는 도전성의 세로 프레임(533, 534)을 도금하기 위해 전류가 소비되어, 워크(20)의 양 옆가장자리부(20c, 20d)에 흐르는 전류가 감소한다. 그 때문에, 제1 더미 도통 부재(900A)와 제2 더미 도통 부재(900B)를 마련하고, 워크(20)의 양 옆가장자리부(20c, 20d)에 흐르는 전류를 조정이 가능하게 했다. 게다가, 제1 분기 도통 부재(370A, 370B, 531)에 대하여, 제2 분기 도통 부재(900(900A, 900B))의 저항값을 독자적으로 설정함으로써, 워크(20)에 흐르는 전류와는 독립적으로, 제1 및 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)에 흐르는 전류를 설정할 수 있다. 그로써, 워크(20)의 옆가장자리부(20c, 20d)에 근접 배치되는 제1 및 제2 사이드 더미 부재도 표면처리함으로써, 워크(20)의 옆가장자리부(20c, 20d)에 흐르는 전류를 조정하여, 표면처리될 워크의 면 내 균일성을 높일 수 있다. 또한, 제1 더미 도통 부재(900A)와 제2 더미 도통 부재(900B)의 저항값을 독자적으로 설정함으로써, 제1 및 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)에 흐르는 전류를 독자적으로 설정할 수 있다. 이로써, 워크(20)의 한쪽의 옆가장자리부(20c)와 다른 쪽의 옆가장자리부(20d)에 흐르는 전류를 조정할 수 있다. The common conductive member 360 electrically connectable to the rectifier is in conduction with the work 20 by the upper clamper 510 via the first branch conductive members 370A, 370B, and 531 . The common conductive member 360 conducts with the first and second side dummy members 800A and 800B through the second branch conductive members 900 ( 900A and 900B). The total current flowing through the work 20 and the first and second side dummy members 800A and 800B can be set by a rectifier. Here, it is assumed that the vertical frames 533 and 534 are coated with insulation. Without the first and second side dummy members 800A and 800B, an electric field is concentrated on both side edge portions 20c and 20d of the work 20, and both side edge portions 20c and 20d of the work 20. current flowing through the In the case where the vertical frames 533 and 534 are not coated with insulation, current is consumed to plate the conductive vertical frames 533 and 534, so that the current flowing in the side edges 20c and 20d of the work 20 is decreases. Therefore, the first dummy conductive member 900A and the second dummy conductive member 900B are provided, and the current flowing through the side edge portions 20c and 20d of the work 20 can be adjusted. In addition, by independently setting the resistance value of the second branch conductive member 900 (900A, 900B) with respect to the first branch conductive member 370A, 370B, 531, independent of the current flowing through the work 20 , current flowing through the first and second side dummy members 800A and 800B may be set. Thereby, the first and second side dummy members disposed adjacent to the side edges 20c and 20d of the work 20 are also surface treated to adjust the current flowing in the side edges 20c and 20d of the work 20 . Thus, the in-plane uniformity of the workpiece to be surface-treated can be improved. In addition, by independently setting the resistance values of the first dummy conductive member 900A and the second dummy conductive member 900B, the currents flowing through the first and second side dummy members 800A and 800B can be independently set. . Thereby, the electric current which flows through the one side edge part 20c and the other side edge part 20d of the workpiece|work 20 can be adjusted.

제1 더미 도통 부재(900A)는 예를 들면, 공통 도전 부재(360)의 제2 도전 부재(362)에 일단이 접속된 케이블(910A)과, 케이블(910A)의 타단이 접속된 도전판(920A)과, 일단이 도전판에 접속되고 타단이 제1 사이드 더미 부재(800A)에 접속된 케이블(930A)을 가진다. 제2 더미 도통 부재(900B)도 마찬가지로, 케이블(910B), 도전판(920B) 및 케이블(930B)을 가진다. The first dummy conductive member 900A includes, for example, a cable 910A having one end connected to the second conductive member 362 of the common conductive member 360 and a conductive plate having the other end connected to the cable 910A ( 920A) and a cable 930A having one end connected to the conductive plate and the other end connected to the first side dummy member 800A. The second dummy conductive member 900B also has a cable 910B, a conductive plate 920B, and a cable 930B.

제1, 제2 더미 도통 부재(900A, 900B)는 제1, 제2 가변 저항기를 가질 수 있다. 제1 더미 도통 부재(900A)에 마련되는 제1 가변 저항기는 도전판(920A)에 마련된 장공(921A)과, 장공(921A)을 따라 이동하는 가동 접점부(922A)로 구성된다. 장공(921A)은 케이블(910A)의 접속부로부터의 거리가 길어지는 방향(도 5에서는 수평방향)을 긴 쪽 방향으로 한다. 케이블(930A)과 접속된 가동 접점부(922A)의 위치를 변경함으로써 저항값이 가변된다. 제2 더미 도통 부재(900B)에 마련되는 제1 가변 저항기도 마찬가지로 하여, 장공(921B)과 가동 접점부(922B)로 구성된다. 이렇게 하면, 제1, 제2 가변 저항기로 저항값을 조정함으로써, 제1 더미 도통 부재(900A)의 저항값과 제2 사이드 더미 부재(800B)의 저항값을 소정의 범위 내에서 임의로 조정할 수 있다. 한편, 가동 접점부(922A) 및 가동 접점부(922B)는 수동 또는 자동으로 위치 조정된다. The first and second dummy conductive members 900A and 900B may include first and second variable resistors. The first variable resistor provided in the first dummy conductive member 900A includes a long hole 921A provided in the conductive plate 920A, and a movable contact portion 922A moving along the long hole 921A. In the long hole 921A, the direction (horizontal direction in Fig. 5) in which the distance from the connection portion of the cable 910A becomes longer is the longer direction. The resistance value is varied by changing the position of the movable contact portion 922A connected to the cable 930A. The first variable resistor provided in the second dummy conductive member 900B is similarly configured with a long hole 921B and a movable contact portion 922B. In this way, by adjusting the resistance value with the first and second variable resistors, the resistance value of the first dummy conductive member 900A and the resistance value of the second side dummy member 800B can be arbitrarily adjusted within a predetermined range. . On the other hand, the movable contact portion 922A and the movable contact portion 922B are manually or automatically positioned.

본 실시형태에서는 도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 더미 도통 부재(900A)는 제1 사이드 더미 부재(800A)의 상부와 도통하고, 제2 더미 도통 부재(900B)는 제2 사이드 더미 부재(800B)의 상부와 도통한다. 이 경우, 도 16에 나타내는 바와 같이, 제1 사이드 더미 부재(800A) 및 제2 사이드 더미 부재(800B) 각각은 워크(20)의 두께방향과 평행한 폭(W1, W2, W3)이 하부보다도 상부가 좁게 형성되는 것이 바람직하다(W1＜W2＜W3). 폭은 단계적으로 바꿔도 되고, 연속적으로 바꿔도 된다. 제1 및 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)는 상부 쪽이 정류기에 가까우므로, 상부가 하부보다도 많이 표면처리되는 경향이 있다. 그에 기인하여 워크(20)의 양 옆가장자리부(20c, 20d)의 상부가 표면처리되기 어려운 경향이 있다(도금 두께가 얇아짐). 제1 및 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)의 폭을 상부에서 좁게 함으로써 워크(20)의 양 옆가장자리부(20c, 20d)의 상부가 표면처리되기 쉬워져, 상부에서도 도금막 두께가 확보된다. 그로써, 워크(20)의 양 옆가장자리부에서 상부로부터 하부에 걸쳐 흐르는 전류의 조정을 효과적으로 실시할 수 있다. In the present embodiment, as shown in FIG. 5 , the first dummy conductive member 900A conducts with the upper portion of the first side dummy member 800A, and the second dummy conductive member 900B is the second side dummy member 800B. ) and conduction with the upper part. In this case, as shown in Fig. 16, each of the first side dummy member 800A and the second side dummy member 800B has widths W1, W2, and W3 parallel to the thickness direction of the work 20 greater than the lower portion. It is preferable that the upper part is formed narrowly (W1<W2<W3). The width may be changed step by step or continuously. Since the upper side of the first and second side dummy members 800A and 800B is closer to the rectifier, the upper part tends to be surface treated more than the lower part. Due to this, the upper portions of the side edge portions 20c and 20d of the work 20 tend to be difficult to be surface treated (plating thickness becomes thinner). By narrowing the width of the first and second side dummy members 800A and 800B at the top, the upper portions of the side edges 20c and 20d of the work 20 are easily surface treated, and the plating film thickness is ensured even at the top. do. Thereby, adjustment of the electric current which flows from the upper part to the lower part in the both-side edge part of the workpiece|work 20 can be performed effectively.

워크 유지 지그(30)에 마련되는 제1, 제2 사이드 더미 지지부에 대해, 도 17~도 19를 참조하여 설명한다. 도 17~도 19에 제1, 제2 사이드 더미 지지부는 예를 들면, 도 15에 나타내는 바와 같이, 제1, 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)를 워크(20)의 폭방향인 화살표(E)방향과, 워크(20)의 두께방향인 화살표(F)방향으로 가변시킬 수 있다. The 1st, 2nd side dummy support part provided in the work holding|maintenance jig 30 is demonstrated with reference to FIGS. 17-19. 17-19, the 1st, 2nd side dummy support part, for example, as shown in FIG. 15, the 1st, 2nd side dummy member 800A, 800B is the width direction of the workpiece|work 20 arrow ( The direction E) and the direction of the arrow (F), which is the thickness direction of the work 20, can be varied.

도 17 및 도 18은 제1 사이드 더미 부재(800A)의 상부를 지지하는 지지부의 정면도 및 평면도이다. 세로 프레임(534)의 상부에는 워크 유지 지그(30)의 내측을 향해 연장되는 2개의 장착편(820A)이 마련된다. 이 2개의 장착편(820A) 사이에, 제1 사이드 더미 부재(800A)의 상부를 지지하는 상부 지지편(830A)이 배치된다. 2개의 장착편(820A)은 화살표(E)방향을 긴 쪽 방향으로 하는 장공(821)을 가진다. 이 장공(821)에 삽입 통과되는 볼트(835)가 상부 지지편(830A)에 조여 맞춰진다. 볼트(835)를 느슨하게 하면, 상부 지지편(830A)은 제1 사이드 더미 부재(800A)와 함께 화살표(E)방향으로 이동이 가능해진다. 볼트(835)를 조이면 상부 지지편(830A)은 2개의 장착편(820A)에 고정된다. 17 and 18 are front and plan views of a support for supporting an upper portion of the first side dummy member 800A. Two mounting pieces 820A extending toward the inside of the work holding jig 30 are provided on the upper portion of the vertical frame 534 . An upper support piece 830A for supporting the upper portion of the first side dummy member 800A is disposed between the two mounting pieces 820A. The two mounting pieces 820A have a long hole 821 in which the direction of the arrow E is the longitudinal direction. A bolt 835 inserted through the long hole 821 is tightened to the upper support piece 830A. When the bolt 835 is loosened, the upper support piece 830A can move in the direction of the arrow E together with the first side dummy member 800A. When the bolt 835 is tightened, the upper support piece 830A is fixed to the two mounting pieces 820A.

도 18에 나타내는 바와 같이, 상부 지지편(830A)은 상하로 관통하며, 화살표(F)방향을 긴 쪽 방향으로 하는 장공(831)을 가진다. 이 장공(831)에 삽입 통과되는 볼트(810)가 제1 사이드 더미 부재(800A)의 상부에 조여 맞춰진다. 볼트(810)를 느슨하게 하면, 제1 사이드 더미 부재(800A)는 화살표(F)방향으로 이동이 가능해진다. 볼트(810A)를 조이면 제1 사이드 더미 부재(800A)는 상부 지지편(830A)에 고정된다. 도시는 생략하지만, 제2 사이드 더미 부재(800B)의 상부도 제1 사이드 더미 부재(800A)의 상부와 마찬가지로 하여 지지된다. As shown in FIG. 18, the upper support piece 830A penetrates up and down, and has the long hole 831 which makes the arrow F direction the longitudinal direction. A bolt 810 inserted through the long hole 831 is tightened and fitted to the upper portion of the first side dummy member 800A. When the bolt 810 is loosened, the first side dummy member 800A is movable in the direction of the arrow F. When the bolt 810A is tightened, the first side dummy member 800A is fixed to the upper support piece 830A. Although not shown, the upper part of the second side dummy member 800B is supported in the same manner as the upper part of the first side dummy member 800A.

도 19는 제1 사이드 더미 부재(800A)의 하부를 지지하는 지지부를 나타낸다. 세로 프레임(534)의 상부에는 워크 유지 지그(30)의 내측을 향해 연장되는 2개의 장착편(820A)이 마련된다. 이 2개의 장착편(820A) 사이에, 제1 사이드 더미 부재(800A)의 하부를 지지하는 하부 지지편(830B)이 배치된다. 하부 지지편(830B)은 후술하는 접속부(850)를 지지하는 구조를 제외하고, 상부 지지편(830A)과 동일한 구조를 가진다. 또한, 제2 사이드 더미 부재(800B)의 하부도 제1 사이드 더미 부재(800A)의 하부와 마찬가지로 하여 지지된다. 19 shows a support portion supporting a lower portion of the first side dummy member 800A. Two mounting pieces 820A extending toward the inside of the work holding jig 30 are provided on the upper portion of the vertical frame 534 . A lower support piece 830B for supporting the lower portion of the first side dummy member 800A is disposed between the two mounting pieces 820A. The lower support piece 830B has the same structure as the upper support piece 830A except for the structure for supporting the connection part 850, which will be described later. Also, the lower portion of the second side dummy member 800B is supported in the same manner as the lower portion of the first side dummy member 800A.

제1, 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)는 예를 들면 도 18에 나타내는 볼트(810)에 케이블(930A, 930B)을 접속함으로써, 정류기와 접속이 가능해진다. 한편, 제1, 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)를 세로 프레임(933, 934)으로부터 전기적으로 절연하기 위해, 장착편(820A) 및/또는 상부·하부 지지편(830A, 830B)은 절연체로 형성된다. The 1st, 2nd side dummy member 800A, 800B becomes connection with a rectifier by connecting cables 930A, 930B to the bolt 810 shown in FIG. 18, for example. On the other hand, in order to electrically insulate the first and second side dummy members 800A and 800B from the vertical frames 933 and 934, the mounting piece 820A and/or the upper and lower support pieces 830A and 830B are insulators. is formed with

제1, 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)를 워크(20)의 폭방향(E)에서 이동시킴으로써, 워크의 양 옆가장자리부(20c, 20d) 각각에서 워크의 표면처리량(도금막 두께)을 조정할 수 있다. 예를 들면, 도 15의 왼쪽 방향으로 제1 사이드 더미 부재(800A)를 이동시키면, 워크(20)의 옆가장자리부(20d)의 도금막 두께를 얇게 할 수 있다. 반대로, 도 15의 오른쪽 방향으로 제1 사이드 더미 부재(800A)를 이동시키면, 워크(20)의 옆가장자리부(20d)의 도금막 두께를 얇게 할 수 있다. 따라서, 제1, 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)를 워크(20)의 폭방향(E)으로만 이동시키는 구조여도 된다. By moving the first and second side dummy members 800A and 800B in the width direction E of the work 20, the surface treatment amount (plating film thickness) of the work at both side edge portions 20c and 20d of the work, respectively. can be adjusted. For example, if the first side dummy member 800A is moved in the left direction in FIG. 15 , the plating film thickness of the side edge portion 20d of the work 20 can be reduced. Conversely, if the first side dummy member 800A is moved in the right direction in FIG. 15 , the plating film thickness of the side edge portion 20d of the work 20 can be reduced. Therefore, the structure in which the 1st, 2nd side dummy members 800A, 800B is moved only in the width direction E of the workpiece|work 20 may be sufficient.

제1, 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)를 워크(20)의 두께방향(F)에서 이동시킴으로써, 워크(20)의 양 옆가장자리부(20c, 20d) 각각에서 도 15에 나타내는 워크(20)의 표면(20d1) 및 이면(20d2)에서의 표면처리량(도금막 두께)을 조정할 수 있다. 예를 들면, 도 15의 윗방향으로 제1 사이드 더미 부재(800A)를 이동시키면, 워크(20)의 표면(20d1)의 도금막 두께를 얇게 할 수 있다. 반대로, 도 15의 아랫방향으로 제1 사이드 더미 부재(800A)를 이동시키면, 워크(20)의 이면(20d2)의 도금막 두께를 얇게 할 수 있다. 따라서, 제1, 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)를 워크(20)의 두께방향(F)으로만 이동시키는 구조여도 된다. By moving the first and second side dummy members 800A and 800B in the thickness direction F of the work 20, the work ( 20), the amount of surface treatment (plating film thickness) on the front surface 20d1 and the back surface 20d2 can be adjusted. For example, if the first side dummy member 800A is moved upward in FIG. 15 , the thickness of the plating film on the surface 20d1 of the work 20 can be reduced. Conversely, if the first side dummy member 800A is moved downward in FIG. 15 , the thickness of the plating film on the back surface 20d2 of the work 20 can be reduced. Therefore, the structure in which the 1st, 2nd side dummy members 800A, 800B is moved only in the thickness direction F of the workpiece|work 20 may be sufficient.

도 19에 나타내는 바와 같이, 제1 사이드 더미 부재(800A)의 하부와 제2 사이드 더미 부재(800B)의 하부를 전기적으로 접속하는 접속 부재(850)를 더 마련할 수 있다. 접속 부재(850)를 마련함으로써 제1 및 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)의 하부에도 전류가 흐르기 쉬워져, 워크(20)의 양 옆가장자리부(20c, 20d)에서 상부로부터 하부에 걸쳐 흐르는 전류의 조정을 효과적으로 실시할 수 있다. 19 , a connection member 850 for electrically connecting the lower portion of the first side dummy member 800A and the lower portion of the second side dummy member 800B can be further provided. By providing the connecting member 850, current also easily flows to the lower portions of the first and second side dummy members 800A and 800B, and from the upper to the lower in both side edge portions 20c and 20d of the work 20 It is possible to effectively adjust the flowing current.

접속 부재(850)의 양 단부는 도 19에 나타내는 2개의 하부 지지편(830B)에 예를 들면 슬라이드가 가능하게 지지된다. 그로써, 2개의 하부 지지편(830B)의 도 15에 나타내는 화살표(E)방향으로의 이동이 허용된다. 또한, 접속 부재(850)의 양 단부는 제1, 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)의 하부에 플렉시블(flexible)한 도전 부재로 전기적으로 접속된다. 그로써, 제1, 제2 사이드 더미 부재(800A, 800B)의 도 15에 나타내는 화살표(E, F)방향으로의 이동이 허용된다. The both ends of the connection member 850 are supported by the two lower support pieces 830B shown in FIG. 19 so that a slide is possible, for example. Thereby, movement of the two lower support pieces 830B in the direction of the arrow E shown in FIG. 15 is permitted. In addition, both ends of the connecting member 850 are electrically connected to the lower portions of the first and second side dummy members 800A and 800B by flexible conductive members. Thereby, movement of the 1st, 2nd side dummy members 800A, 800B in the direction of arrows E, F shown in FIG. 15 is permitted.

10: 워크 유지 지그
20: 워크
20a: 상부 가장자리부
20b: 하부 가장자리부
20c, 20d: 옆가장자리부
210: 급전부(급전 레일)
341A, 341B: 제1, 제2 접촉부
341A, 350A: 제1 분기 도통 부재
341B, 350B: 제2 분기 도통 부재
350A, 350B: 한 쌍의 제1 케이블
360: 공통 접속부(공통 도전 부재)
361: 제1 도전 부재
362, 363: 한 쌍의 제2 도전 부재
370A, 370B: 한 쌍의 제1 접속부(한 쌍의 금속판)
370A, 370B, 531: 제1 분기 도통 부재
380A, 380B: 한 쌍의 제2 접속부(한 쌍의 제2 케이블)
380A, 380B, 533, 534: 제2 분기 도통 부재
410R, 410L: 양극
510: 상측 클램퍼
520: 하측 클램퍼
521: 고정부
521A: 제1 면
521B: 제2 면
523: 가동부
530: 프레임 보디
531: 상부 프레임(지지부)
532: 하부 프레임(지지부)
533, 534: 한 쌍의 세로 프레임
610: 상측 더미판
620: 하측 더미판
611: 힌지
630, 630A, 630B: 절연판(상측 절연판, 하측 절연판, 표측 절연판, 이측 절연판)
700: 더미판
700A: 제3 면
700B: 제4 면
701: 기단부
704: 선단부
720: 조정 부재
800A: 제1 사이드 더미 부재
800B: 제2 사이드 더미 부재
850: 접속 부재
900(900A, 900B): 제2 분기 도통 부재
910A, 920A, 922A, 930A: 제1 더미 도통 부재
910B, 920B, 922B, 930B: 제2 더미 도통 부재
920A, 921A, 922A: 제1 가변 저항기
920B, 921B, 922B: 제2 가변 저항기
P1: 제1 위치
P2: 제2 위치
S1, S2: 노출 도전 면적10: Work holding jig
20: work
20a: upper edge
20b: lower edge
20c, 20d: side edge
210: feeding unit (feeding rail)
341A, 341B: first and second contacts
341A, 350A: first branch conducting member
341B, 350B: second branch conducting member
350A, 350B: a pair of first cables
360: common connection (common conductive member)
361: first conductive member
362, 363: a pair of second conductive members
370A, 370B: a pair of first connecting portions (a pair of metal plates)
370A, 370B, 531: first branch conducting member
380A, 380B: a pair of second connections (a pair of second cables)
380A, 380B, 533, 534: second branch conducting member
410R, 410L: positive
510: upper clamper
520: lower clamper
521: fixed part
521A: first side
521B: second side
523: movable part
530: frame body
531: upper frame (support)
532: lower frame (support)
533, 534: a pair of vertical frames
610: upper dummy plate
620: lower dummy plate
611: hinge
630, 630A, 630B: Insulation plate (upper insulating plate, lower insulating plate, front insulating plate, back insulating plate)
700: dummy board
700A: 3rd side
700B: 4th side
701: proximal end
704: tip
720: adjustment member
800A: first side dummy member
800B: second side dummy member
850: connection member
900 (900A, 900B): second branch conducting member
910A, 920A, 922A, 930A: first dummy conducting member
910B, 920B, 922B, 930B: second dummy conducting member
920A, 921A, 922A: first variable resistor
920B, 921B, 922B: second variable resistor
P1: first position
P2: second position
S1, S2: exposed conductive area

Claims (7)

표면처리될 워크를 유지 가능하면서 정류기와 전기적으로 접속이 가능한 워크 유지 지그에 있어서,
상기 정류기와 도통(導通)이 가능한 적어도 하나의 지지부와,
상기 적어도 하나의 지지부에 지지되며 상기 워크의 가장자리부의 일부를 클램프하는 도전성의 적어도 하나의 클램퍼와,
상기 적어도 하나의 지지부에 지지되며 상기 워크의 상기 가장자리부 중 상기 적어도 하나의 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 배치되는 도전성의 적어도 하나의 더미판과,
상기 적어도 하나의 더미판의 적어도 한 면에 상기 적어도 한 면을 덮도록 이동이 가능하게 지지되며 상기 적어도 하나의 더미판의 노출 도전 면적을 조정하는 적어도 하나의 절연판을 가지는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그. A work holding jig capable of holding a work to be surface treated and electrically connecting to a rectifier, the work holding jig comprising:
At least one support part capable of conducting with the rectifier;
at least one conductive clamper supported by the at least one support and clamping a portion of an edge of the work;
at least one conductive dummy plate supported by the at least one support and disposed in proximity to an area of the edge of the work not held by the at least one clamper;
Work holding jig, characterized in that it has at least one insulating plate movably supported on at least one surface of the at least one dummy plate so as to cover the at least one surface and adjusting the exposed conductive area of the at least one dummy plate. . 제1항에 있어서,
상기 워크를 둘러싸는 프레임 보디를 가지며, 상기 프레임 보디는 상부 프레임, 하부 프레임 및 한 쌍의 세로 프레임을 포함하고,
상기 적어도 하나의 지지부는 상기 상부 프레임과 상기 하부 프레임을 포함하며,
상기 적어도 하나의 클램퍼는 상기 상부 프레임에 지지되어 상기 워크의 상부 가장자리부의 일부를 클램프하는 상측 클램퍼와, 상기 하부 프레임에 지지되어 상기 워크의 하부 가장자리부의 일부를 클램프하는 하측 클램퍼를 포함하고,
상기 적어도 하나의 더미판은 상기 워크의 상기 상부 가장자리부 중 상기 상측 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 배치되는 상측 더미판과, 상기 워크의 상기 하부 가장자리부 중 상기 하측 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 배치되는 하측 더미판을 포함하며,
상기 적어도 하나의 절연판은 상기 상측 더미판의 적어도 한 면을 덮는 상측 절연판과, 상기 하측 더미판의 적어도 한 면을 덮는 하측 절연판을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그. According to claim 1,
and a frame body surrounding the work, wherein the frame body includes an upper frame, a lower frame and a pair of vertical frames,
The at least one support includes the upper frame and the lower frame,
The at least one clamper includes an upper clamper supported by the upper frame to clamp a portion of the upper edge of the work, and a lower clamper supported by the lower frame to clamp a portion of the lower edge of the work,
The at least one dummy plate includes an upper dummy plate disposed in proximity to an area of the upper edge of the work that is not held by the upper clamper, and an area of the lower edge of the work that is not held by the lower clamper; Including a lower dummy plate disposed to approach,
and the at least one insulating plate includes an upper insulating plate covering at least one surface of the upper dummy plate and a lower insulating plate covering at least one surface of the lower dummy plate. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 적어도 하나의 절연판은 상기 적어도 하나의 더미판의 표면을 덮는 표측 절연판과, 상기 적어도 하나의 더미판의 이면을 덮는 이측 절연판을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그. 3. The method of claim 1 or 2,
The at least one insulating plate comprises a front insulating plate covering a surface of the at least one dummy plate, and a back insulating plate covering a rear surface of the at least one dummy plate. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 더미판은 힌지를 개재하여 굴곡이 가능하고, 상기 워크의 상기 가장자리부 중 상기 적어도 하나의 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 상기 워크와 평행하게 배치되는 제1 위치와, 상기 힌지에 의해 굴곡되어 상기 워크와 평행하지 않게 배치되는 제2 위치로 가변되는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그. 4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The at least one dummy plate may be bent through a hinge, and a first position of the edge portion of the work that is not held by the at least one clamper is approached and disposed parallel to the work, and the hinge; The work holding jig, characterized in that it is bent by the variable to a second position disposed not parallel to the work. 제4항에 있어서,
상기 적어도 하나의 더미판은 상기 힌지 자체의 스프링성 또는 상기 힌지에 마련된 바이어스(bias) 부재(付勢部材)에 의해 상기 제1 위치로 이동이 바이어싱되는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그. 5. The method of claim 4,
The work holding jig, characterized in that the at least one dummy plate is biased to move to the first position by a spring property of the hinge itself or a bias member provided on the hinge. 표면처리될 워크를 유지 가능하면서 정류기와 전기적으로 접속이 가능한 워크 유지 지그에 있어서,
상기 정류기와 도통(導通)이 가능한 적어도 하나의 지지부와,
상기 적어도 하나의 지지부에 지지되며 상기 워크의 가장자리부의 일부를 클램프하는 도전성의 적어도 하나의 클램퍼와,
상기 적어도 하나의 지지부에 지지되며 상기 워크의 상기 가장자리부 중 상기 적어도 하나의 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 배치되는 도전성의 적어도 하나의 더미판과,
상기 적어도 하나의 지지부에 힌지를 개재하여 지지되며 상기 워크의 상기 가장자리부 중 상기 적어도 하나의 클램퍼로 유지되지 않는 영역과 접근하여 상기 워크와 평행하게 배치되는 제1 위치와, 상기 힌지에 의해 굴곡되어 상기 워크와 평행하지 않게 배치되는 제2 위치로 가변되는 적어도 하나의 더미판을 가지는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그. A work holding jig capable of holding a work to be surface treated and electrically connecting to a rectifier, the work holding jig comprising:
At least one support part capable of conducting with the rectifier;
at least one conductive clamper supported by the at least one support and clamping a portion of an edge of the work;
at least one conductive dummy plate supported by the at least one support and disposed in proximity to an area of the edge of the work not held by the at least one clamper;
a first position supported by a hinge on the at least one support portion and disposed parallel to the work by approaching an area not held by the at least one clamper among the edge portions of the work, and bent by the hinge A work holding jig, characterized in that it has at least one dummy plate that is variable to a second position disposed non-parallel to the work. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 워크 유지 지그와,
정류기에 접속되며 상기 유지 지그와 접촉하는 급전부와,
상기 정류기에 접속되는 양극을 갖춘 표면처리조를 가지며,
상기 워크 유지 지그는 상기 급전부와 접촉하면서 상기 적어도 하나의 지지부와 도통하는 접촉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면처리 장치. A work holding jig according to any one of claims 1 to 6;
a power feeding part connected to the rectifier and in contact with the holding jig;
It has a surface treatment tank having an anode connected to the rectifier,
The work holding jig is a surface treatment apparatus, characterized in that it includes a contact portion that is in contact with the at least one support portion while in contact with the feeding portion.
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