KR20210116369A - 2-Dimensional scanning optical system by simple objective lens sequential actuation - Google Patents

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    • G02B26/10Scanning systems

Abstract

The present invention relates to a two-dimensional scanning optical system using simple sequential control of objective lens positions, which can overcome the technical limitations of solid-state LiDAR sensors, such as field of view (FOV) and measuring distance, thereby enabling ultra-wide-angle spatial detection. In accordance with an embodiment of the present invention, a two-dimensional scanning optical system using simple sequential control of objective lens positions comprises: a light source unit; a first condensing lens; an optical steering unit; a driving unit; a magnification adjustment optical unit; and a wide-angle lens unit. The light source unit emits laser light. The first condensing lens is provided in a path of the laser light emitted from the light source unit to convert the laser light so that the same is parallel to an optical axis, or to reduce the angle at which the laser light is emitted. The optical steering unit is installed on a path of the light converted through the first condensing lens to adjust the position at which the laser light is formed. The driving unit drives the optical steering unit. The magnification adjustment optical unit enlarges or reduces the laser light of which the optical path has been changed through the optical steering unit so as to be positioned on a preset image plane of the wide-angle lens unit, to form an image. The wide-angle lens unit emits the laser light having passed through the image plane at a preset angle and area to increase the scan area and FOV of the laser light.

Description

간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템{2-Dimensional scanning optical system by simple objective lens sequential actuation}Two-dimensional scanning optical system by simple objective lens sequential actuation

본 발명은 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 FOV(Field of View) 및 측정거리 등의 솔리드스테이트(Solid-state) 라이다 센서의 기술적 한계를 극복하여 초광각 공간 검출이 가능하도록 하는 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a two-dimensional scanning optical system through a simple objective lens position sequential control, and more particularly, overcomes technical limitations of solid-state lidar sensors such as FOV (Field of View) and measurement distance Thus, it relates to a two-dimensional scanning optical system through a simple objective lens position sequential control that enables ultra-wide-angle spatial detection.

일반적으로 라이다(Light detection and ranging, LiDAR) 센서는 레이저 광원을 통해 타겟까지의 거리를 측정하는 측량기술로 광원에서 조사된 빛의 비행시간(Time of flight, TOF)을 계산함으로써 타겟의 디지털 3D 형상을 측량할 수 있다. 라이다(LiDAR) 센서는 우주선 및 탐사 로봇에 장착되어 카메라 기능을 보완하기 위한 수단으로 활용되어 왔으며, 최근에는 미래 무인자동차의 3D 영상 카메라의 핵심기술로 활용되며 중요성이 점차 증가되고 있다.In general, a light detection and ranging (LiDAR) sensor is a survey technology that measures the distance to a target through a laser light source. shape can be measured. The LiDAR sensor has been used as a means to supplement the camera function by being installed in spacecraft and rover, and recently, its importance is increasing as it is used as a core technology for the 3D image camera of the future driverless vehicle.

현재 무인 자동차의 3D 영상 모델링을 위해 개발된 라이다(LiDAR) 센서는 레이저에서 조사된 빛을 회전 스캐닝함으로써 영상정보를 수집하는 3D 레이저 스캐너(Laser scanner) 타입과, 레이저 빔을 확장 조사 후 반사되는 빛을 다중 배열 수신소자를 통해 수신하여 실시간 영상정보를 획득하는 3D Flash 타입으로 분류된다. 3D 레이저 스캐너 타입은 스캐닝 모듈로 인한 크기 및 안정성이, 3D Flash 타입은 해상도와 시야각 확보를 위한 수신기 개발이 문제가 되고 있다.Currently, the LiDAR sensor developed for 3D image modeling of unmanned vehicles is a 3D laser scanner type that collects image information by rotatingly scanning the light irradiated from the laser, and a 3D laser scanner type that collects image information by expanding the laser beam and then reflecting it. It is classified as a 3D Flash type that acquires real-time image information by receiving light through a multi-array receiving element. The 3D laser scanner type has problems in size and stability due to the scanning module, and the 3D Flash type has problems in developing a receiver to secure resolution and viewing angle.

한편, 라이다(LiDAR) 센서를 실제 상용차의 자율주행환경에 적용하기 위해서는 양산에 적용할 수 있도록 라이다(LiDAR) 센서의 시스템 코스트(System cost)를 낮추는 것이 매우 중요하다. 이를 위하여 스캔(Scan) 대응각이 작은 복수개의 소형 라이다 센서를 차량의 사방에 배치하여 공간을 분해하는 연구가 활발하게 진행 중에 있다.Meanwhile, in order to apply the LiDAR sensor to the autonomous driving environment of actual commercial vehicles, it is very important to lower the system cost of the LiDAR sensor so that it can be applied to mass production. To this end, research on decomposing the space by disposing a plurality of small lidar sensors with small scan angles in all directions of the vehicle is being actively conducted.

Solid-state 라이다 센서는 기구 구동부가 없거나 최소화하는 장점으로 소형화에 큰 이점이 있어 OSLAM 사를 비롯한 전세계의 일류(Top Tier) 전장부품업체에서 활발하게 개발하고 있다. 그러나 광속을 편향(Deflection)하는 광기전 소자와 물체로부터 산란된 광속을 검출하는 다중배열수신소자(Focal Plane Array) 등의 작동특성이 온도, 습도, 진동, 충격 등의 구동환경에 민감하며, 측정대응영역(FOV)이 40ㅀ 이하 수준으로 좁고, 50m 이상의 거리 측정을 위해 극히 높은 출력을 갖는 광원을 필요로 하기 때문에 아직까지 실제 자율주행테스트에 활발하게 적용되지 않고 있다.Solid-state LiDAR sensor has a great advantage in miniaturization due to the fact that it has no or minimized mechanical driving part, so it is being actively developed by top tier electronic component companies around the world including OSLAM. However, the operating characteristics of the photovoltaic element that deflects the light flux and the Focal Plane Array that detects the light flux scattered from the object are sensitive to the driving environment such as temperature, humidity, vibration, and shock, and the measurement It has not yet been actively applied to actual autonomous driving tests because the response area (FOV) is as narrow as 40° or less, and a light source with extremely high output is required for distance measurement of 50m or more.

운전자의 개입 없이 주행하는 레벨(Level) 4 이상의 자율주행기술을 구현하고 있는 여러 완성차 업체에서는 회전기구부를 소형화한 라이다(LiDAR) 센서를 적용하여 우수한 자율주행성과를 거두고 있다. 그러나 이 경우 복수의 고출력 광원과 고관성 회전기구부를 필요로 하여 센서를 더욱 소형화하는 것이 어렵고, 센서 단가가 높아 복수의 센서를 적용해야 하는 것을 감안할 때 다양한 차종에 적용하기 어려운 문제점이 있다.Several automakers that are implementing level 4 or higher autonomous driving technology that drive without driver intervention are achieving excellent autonomous driving performance by applying a LiDAR sensor with a miniaturized rotating mechanism. However, in this case, it is difficult to further miniaturize the sensor because a plurality of high-output light sources and a high-inertia rotating mechanism are required, and it is difficult to apply the sensor to various vehicle types considering that a plurality of sensors must be applied due to the high sensor cost.

대한민국 등록특허 제10-1773020호(2017년 09월 12일 공고)Republic of Korea Patent No. 10-1773020 (Announced on September 12, 2017)

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 종래의 단점을 해결한 것으로서, 차량의 주행환경 변화에 따른 온도, 진동 및 충격 등의 센서 구동조건 변화에 따른 검출위치 오차를 실시간으로 인지하고 보상할 수 있는 구동 메커니즘을 가지며, FOV 및 측정거리 등 솔리드스테이트(Solid-state) 라이다 센서의 기술적 한계를 극복하여 초광각(>150ㅀ) 공간 검출이 가능한 라이다 센서를 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to solve the conventional disadvantages, and it is possible to recognize and compensate in real time the detection position error according to the change of the sensor driving conditions such as temperature, vibration, and shock according to the change of the driving environment of the vehicle. It aims to provide a lidar sensor that has a driving mechanism and can detect an ultra-wide angle (>150°) space by overcoming the technical limitations of solid-state lidar sensors such as FOV and measuring distance.

이러한 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템은 광원부, 제1 집광렌즈, 광스티어링부, 구동부, 배율조정 광학부, 광각렌즈부, 광속분할소자, 제3 집광렌즈, 디텍터 및 컨트롤러를 포함할 수 있다.A two-dimensional scanning optical system through a simple objective lens position sequential control according to an aspect of the present invention for achieving this technical task is a light source unit, a first condensing lens, an optical steering unit, a driving unit, a magnification adjustment optical unit, a wide-angle lens unit, and a luminous flux. It may include a division element, a third condensing lens, a detector, and a controller.

상기 광원부는 레이저 광을 조사한다. 상기 제1 집광렌즈는 상기 광원부로부터 조사되는 광의 경로 상에 마련되어 상기 레이저 광이 광축에 평행하게 되도록 변환하거나 상기 레이저 광이 방사되는 각도를 줄여준다. 또한, 상기 광스티어링부는 상기 제1 집광렌즈를 통해 변환된 광 경로 상에 설치되어 상기 레이저 광이 중간 가상 결상면 상에 결상되는 위치를 조절한다.The light source unit irradiates laser light. The first condensing lens is provided on a path of the light irradiated from the light source unit to convert the laser light to be parallel to the optical axis or reduce an angle at which the laser light is emitted. In addition, the optical steering unit is installed on the optical path converted through the first condensing lens to adjust a position at which the laser light is imaged on the intermediate virtual imaging plane.

상기 구동부는 상기 광스티어링부를 구동한다. 상기 배율조정 광학부는 광스티어링부를 통해 광 경로가 변경된 레이저 광이 미리 설정된 광각렌즈부의 이미지면에 위치하도록 확대 또는 축소하여 결상한다. 또한, 상기 광각렌즈부는 레이저 광의 스캔 영역 및 FOV(Field of View)를 증대하기 위해 상기 이미지면을 통과한 레이저 광을 미리 설정된 각도 및 영역으로 방사한다.The driving unit drives the optical steering unit. The magnification adjustment optical unit enlarges or reduces the laser light whose optical path is changed through the optical steering unit so as to be positioned on the image plane of the preset wide-angle lens unit to form an image. In addition, the wide-angle lens unit radiates the laser light passing through the image plane at a preset angle and area in order to increase the scanning area and FOV (Field of View) of the laser light.

상기 광속분할소자는 레이저 광이 측정대상(Object)으로부터 반사된 반사광을 디텍터로 가이드한다. 상기 제3 집광렌즈는 광속분할소자와 디텍터 사이에 구비되어 상기 광속분할소자로부터 반사된 광속을 집광하여 디텍터로 전송한다. 상기 디텍터는 상기 반사광을 수신하여 전기로 변환함으로써 상기 측정대상을 감지한다.The beam splitter guides the laser beam reflected from the measurement object to the detector. The third condensing lens is provided between the beam splitter and the detector to condense the light beam reflected from the beam splitter and transmit it to the detector. The detector detects the measurement target by receiving the reflected light and converting it into electricity.

상기 컨트롤러는 광원부, 제1 집광렌즈, 배율조정 광학부, 광각렌즈부, 광속분할소자, 제3 집광렌즈 및 디텍터를 제어하며, 상기 레이저 광의 방사 범위를 설정하고, 상기 방사 범위에 따른 레이저 광의 각도를 판단하여 상기 광원부에서 조사된 레이저 광이 광각렌즈부의 이미지면을 통과할 수 있도록 구동부를 제어한다.The controller controls the light source unit, the first condensing lens, the magnification adjustment optical unit, the wide-angle lens unit, the beam splitter, the third condensing lens and the detector, and sets the emission range of the laser light, and the angle of the laser light according to the emission range to control the driving unit so that the laser light irradiated from the light source unit can pass through the image plane of the wide-angle lens unit.

또한, 본 발명의 다른 측면에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템은 광원부, 제1 집광렌즈, 맴스미러(MEMS Mirror), 구동부, 주사렌즈부 및 광각렌즈부를 포함할 수 있다.In addition, the two-dimensional scanning optical system through a simple objective lens position sequential control according to another aspect of the present invention may include a light source unit, a first condensing lens, a MEMS mirror, a driving unit, a scanning lens unit, and a wide-angle lens unit. .

상기 광원부는 레이저 광을 조사한다. 상기 제1 집광렌즈는 광원부로부터 조사되는 광의 경로 상에 마련되어 상기 레이저 광이 광축에 평행하게 되도록 변환하거나 상기 레이저 광이 방사되는 각도를 줄여준다. 또한, 상기 맴스미러(MEMS Mirror)는 제1 집광렌즈를 통과한 광 경로 상에 설치되어 제1 집광렌즈로부터 입사되는 광속을 2차원적으로 변경하여 주사한다.The light source unit irradiates laser light. The first condensing lens is provided on the path of the light irradiated from the light source unit to convert the laser light to be parallel to the optical axis or to reduce the angle at which the laser light is emitted. In addition, the MEMS mirror is installed on the optical path that has passed through the first condensing lens to two-dimensionally change and scan the light beam incident from the first condensing lens.

상기 주사렌즈부는 맴스미러(MEMS Mirror)를 통해 주사되는 광속이 맴스미러(MEMS Mirror)에 의한 주사 각도에 따라 광각렌즈부의 초점면 상에서 초점을 형성한 후 상기 광각렌즈부의 입사면 내로 전송되도록 상기 광속을 광각렌즈부의 초점면 상에 이미징한다. 또한, 상기 광각렌즈부는 레이저 광의 스캔 영역 및 FOV(Field of View)를 증대하기 위해 상기 입사면을 통과한 레이저 광을 미리 설정된 각도 및 영역으로 방사한다.The scanning lens unit forms a focal point on the focal plane of the wide-angle lens unit according to the scanning angle by the MEMS mirror, and then the light flux scanned through the MEMS Mirror is transmitted into the incident surface of the wide-angle lens unit. is imaged on the focal plane of the wide-angle lens unit. In addition, the wide-angle lens unit radiates the laser light passing through the incident surface at a preset angle and area in order to increase a scan area and a field of view (FOV) of the laser light.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템은 간단한 구동원리를 통해 수평 및 수직방향으로 순차적으로 광속을 주사함으로써 검출거리 및 FOV(Field of View)를 개선하여 순비용(Net cost)이 낮고 소형인 라이다 센서(LiDAR Sensor)를 구현할 수 있으며, 제어가 용이한 구동 메커니즘을 확보하고 있어 차량구동환경에 대한 구동안정성을 확보함으로서 안정적으로 자율주행 차량을 위한 고해상도 및 실시간 영상정보를 획득할 수 있는 효과가 있다.As described above, the two-dimensional scanning optical system through the sequential control of the position of the objective lens according to the present invention sequentially scans the light beam in the horizontal and vertical directions through a simple driving principle to determine the detection distance and FOV (Field of View). By improving it, it is possible to realize a small-sized LiDAR sensor with low net cost, and it has an easy-to-control driving mechanism to secure driving stability for the vehicle driving environment, thereby stably driving autonomous vehicles. It has the effect of acquiring high-resolution and real-time image information for

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 주사광학시스템을 나타내는 개념도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 주사광학시스템을 나타내는 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 주사광학시스템을 나타내는 구성도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에서 액체 렌즈를 이용하여 광의 각도를 조절하는 것을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다중 전극 액체 렌즈를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 주사광학시스템을 나타내는 구성도이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 중간 가상 결상면(Intermediate Image Plane, IIP)을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 주사광학시스템을 나타내는 블록도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 주사광학시스템을 나타내는 구성도이다.
1 is a conceptual diagram illustrating a scanning optical system according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram illustrating a scanning optical system according to an embodiment of the present invention.
3 is a block diagram illustrating a scanning optical system according to an embodiment of the present invention.
4A and 4B are diagrams illustrating adjusting the angle of light using a liquid lens in the present invention.
5 is a view showing a multi-electrode liquid lens according to another embodiment of the present invention.
6 is a block diagram showing a scanning optical system according to another embodiment of the present invention.
7 is a diagram illustrating an intermediate virtual image plane (IIP) according to an embodiment of the present invention.
8 is a block diagram illustrating a scanning optical system according to another embodiment of the present invention.
9 is a block diagram showing a scanning optical system according to another embodiment of the present invention.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면부호를 붙였다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. However, the present invention may be embodied in various different forms and is not limited to the embodiments described herein. And in order to clearly explain the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and similar reference numerals are attached to similar parts throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "…부", "…기", "…모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 또는 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.Throughout the specification, when a part "includes" a certain element, it means that other elements may be further included, rather than excluding other elements, unless otherwise stated. In addition, terms such as “…unit”, “…group”, “…module”, etc. described in the specification mean a unit that processes at least one function or operation, which is implemented by hardware or software or a combination of hardware and software. can be

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by describing preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings.

각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.Like reference numerals in each figure indicate like elements.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템을 나타내는 개념도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템을 나타내는 블록도이다.1 is a conceptual diagram illustrating a two-dimensional scanning optical system through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a two-dimensional scanning optical system through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention. It is a block diagram representing the system.

본 발명의 일 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템(10)은 광원부(100), 제1 집광렌즈(200), 광스티어링부(300), 구동부(400), 배율조정 광학부(500) 및 광각렌즈부(600)를 포함할 수 있다.The two-dimensional scanning optical system 10 through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention includes a light source unit 100, a first condensing lens 200, an optical steering unit 300, a driving unit 400, It may include a magnification adjustment optical unit 500 and a wide-angle lens unit 600 .

광원부(100)는 레이저 광을 조사할 수 있다. 바람직하게는 광원부(100)는 단일 레이저 광을 조사하는 레이저 다이오드(Laser Diode)를 포함할 수 있다. 제1 집광렌즈(200)는 광원부(100)로부터 조사되는 광의 경로 상에 마련되어 상기 레이저 광이 평행하게 되도록 평행 광으로 변환하거나, 상기 레이저 광이 방사되는 방사 각도를 줄여줄 수 있다. 여기에서, 제1 집광렌즈(200)는 콜리메이터(collimator) 렌즈가 사용될 수 있다.The light source unit 100 may irradiate laser light. Preferably, the light source unit 100 may include a laser diode irradiating a single laser light. The first condensing lens 200 may be provided on a path of the light irradiated from the light source unit 100 to convert the laser light into parallel light so that the laser light is parallel, or reduce the radiation angle at which the laser light is emitted. Here, the first condensing lens 200 may be a collimator lens.

본 발명의 실시 예에 따라 제1 집광렌즈(200)를 통과한 레이저 광의 각도를 변경하여 중간 가상 결상면(IIP)(700) 상의 이미지를 이동하기 위해 다음의 2가지 방법이 사용할 수 있다.In order to move the image on the intermediate virtual imaging plane (IIP) 700 by changing the angle of the laser light passing through the first condensing lens 200 according to an embodiment of the present invention, the following two methods may be used.

하나는, 구동부(400)를 통해 대물렌즈(Objective Lens)의 위치를 2차원으로 조절함으로써 대물렌즈(Objective Lens)에 의한 중간 가상 결상면(IIP)(700)에서의 결상 위치를 2차원적으로 조절하여 광각렌즈를 통해 수평 및 수직방향으로의 방사각도를 조정할 수 있다.One is to two-dimensionally adjust the imaging position in the intermediate virtual imaging plane (IIP) 700 by the objective lens by adjusting the position of the objective lens through the driving unit 400 in two dimensions. You can adjust the angle of radiation in the horizontal and vertical directions through the wide-angle lens.

다른 하나는, 구동부(400)를 제어하여 액체렌즈의 렌즈 표면 곡률반경(Radius of curvature)을 변화시킴으로써 중간 가상 결상면(IIP)(700) 상의 이미지 위치를 이동할 수 있다.The other is, by controlling the driving unit 400 to change the radius of curvature of the lens surface of the liquid lens, the image position on the intermediate virtual imaging plane (IIP) 700 may be moved.

일반적으로 액체 렌즈(Liquid Lens)는 광의 디포커스(de-focus)를 보상하는데 사용되지만, 액체 렌즈에 대한 편향된 광의 입사는 출사되는 광의 편향을 발생하고, 중간 가상 결상면(IIP)(700) 상의 이미지를 이동할 수 있다. 또한, 액체 렌즈의 곡률 반경을 조정함으로써 입사되는 광의 편향 각도 및 초점거리를 제어할 수 있다.In general, a liquid lens is used to compensate for de-focus of light, but the incident of deflected light on the liquid lens causes deflection of the emitted light, and on the intermediate virtual imaging plane (IIP) 700 . Images can be moved. In addition, by adjusting the radius of curvature of the liquid lens, it is possible to control the deflection angle and focal length of the incident light.

또한, 일반적으로 수평 방향의 스캔은 용이한 반면에 수직 방향의 스캔이 어려운 라이다(LiDAR) 센서의 단점을 극복하기 위해 본 발명의 실시 예에 따른 주사광학시스템(10)은 광스티어링부(300) 및 구동부(400)를 구성하고, 각각 수평 방향과 수직 방향의 광각도 조절을 위해 구동부(400)를 제어할 수 있다.In addition, in order to overcome the disadvantages of a LiDAR sensor, which is generally easy to scan in a horizontal direction but difficult to scan in a vertical direction, the scanning optical system 10 according to an embodiment of the present invention includes an optical steering unit 300 ) and the driving unit 400 may be configured, and the driving unit 400 may be controlled to adjust the wide angles in the horizontal and vertical directions, respectively.

광스티어링부(300)는 제1 집광렌즈(200)를 통과한 레이저 광의 경로 상에 설치되어 상기 레이저 광이 중간 가상 결상면(700) 상에 결상되는 위치를 조절할 수 있다. 광스티어링부(300)는 액체렌즈 모듈(310)과 제2 집광렌즈(320)를 포함할 수 있다.The optical steering unit 300 may be installed on a path of the laser light passing through the first condensing lens 200 to adjust a position at which the laser light is imaged on the intermediate virtual imaging surface 700 . The optical steering unit 300 may include a liquid lens module 310 and a second condensing lens 320 .

액체렌즈 모듈(310)은 적어도 하나의 액체 렌즈(Liquid Lens)를 포함하고, 제2 집광렌즈(320)는 대물렌즈(Objective Lens) 또는 일반렌즈를 포함한다. 상기 액체 렌즈(Liquid Lens)는 연속 전압을 이용하여 미세한 공간 분해능을 얻을 수 있다. 또한, 제2 집광렌즈(320)는 상기 대물렌즈 또는 일반렌즈의 위치를 제어하여 입사되는 광의 편향각을 조절할 수 있다.The liquid lens module 310 includes at least one liquid lens, and the second condensing lens 320 includes an objective lens or a general lens. The liquid lens may obtain fine spatial resolution by using a continuous voltage. In addition, the second condensing lens 320 may control the position of the objective lens or the general lens to adjust the deflection angle of the incident light.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 주사광학시스템을 나타내는 구성도이고, 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시 예에 따른 주사광학시스템에서 액체 렌즈를 이용하여 광의 각도를 조절하는 것을 나타내는 도면이다. 즉, 도 3은 액체렌즈 모듈(310)을 이용하여 제1 집광렌즈(200)를 통과한 레이저 광의 각도를 변경하는 것을 나타내는 도면이다. 도 3의 4개 액체렌즈 중 우측 2개의 액체렌즈는 x축의 각도를 조절하고, 좌측 2개의 액체렌즈는 y축의 각도를 조절할 수 있다.3 is a block diagram illustrating a scanning optical system according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 4A and 4B are diagrams illustrating the adjustment of the angle of light using a liquid lens in the scanning optical system according to an embodiment of the present invention. am. That is, FIG. 3 is a diagram illustrating changing the angle of the laser light passing through the first condensing lens 200 using the liquid lens module 310 . Of the four liquid lenses of FIG. 3 , two liquid lenses on the right may adjust the angle of the x-axis, and the two liquid lenses on the left may adjust the angle of the y-axis.

또한, 도 4a는 도 3에서 광이 렌즈의 정점을 지나는 액체렌즈(311, 313)와 광의 중심축으로부터 편심된 액체렌즈(312, 314)가 각각 쌍을 이루어 광의 각도를 변경하는 것을 나타내는 도면이고, 도 4b는 도 4a에서 편심된 액체렌즈(312)의 곡률반경(Radius of curvature)을 조절하여 초점거리를 변경하는 것을 나타내는 도면이다.In addition, FIG. 4A is a view showing that the liquid lenses 311 and 313 through which the light passes through the vertex of the lens in FIG. 3 and the liquid lenses 312 and 314 eccentric from the central axis of the light form a pair to change the angle of the light. , FIG. 4B is a view showing changing the focal length by adjusting the radius of curvature of the liquid lens 312 eccentric in FIG. 4A.

액체렌즈를 이용하여 광의 각도를 변경하는 경우에는 1쌍(2개)의 액체렌즈 각각의 곡률반경(Radius of curvature)을 조정하여 1차원의 스캐닝을 구현하고, 2차원의 스캐닝 구동을 위해서는 1쌍(2개)의 액체렌즈가 더 필요하다.In the case of changing the angle of light using a liquid lens, one-dimensional scanning is realized by adjusting the radius of curvature of each of a pair (two) of liquid lenses, and one pair for two-dimensional scanning driving (2) more liquid lenses are needed.

본 발명의 일 실시 예에 따른 액체렌즈 모듈(310)은 4개의 액체 렌즈(Liquid Lens)로 이루어질 수 있다. 4개의 액체 렌즈는 각각 2개씩 쌍을 이루며, 두 쌍의 액체렌즈 중 어느 1쌍의 액체렌즈(311, 312)를 이용하여 광의 수직(Vertical, y축) 방향 각도를 조절하고, 다른 1쌍의 액체 렌즈(313, 314)를 이용하여 광의 수평(Horizontal, x축) 방향 각도를 조절할 수 있다.The liquid lens module 310 according to an embodiment of the present invention may include four liquid lenses. Each of the four liquid lenses forms two pairs, and adjusts the vertical (y-axis) direction angle of light using any one pair of liquid lenses 311 and 312 among the two pairs of liquid lenses, and the other pair of liquid lenses A horizontal (x-axis) direction angle of light may be adjusted by using the liquid lenses 313 and 314 .

즉, 액체렌즈 각각의 곡률반경(Radius of curvature)을 조절하여 원하는 각도로 광의 각도를 변경할 수 있다. 도 4a에서 도시된 바와 같이 2개의 액체렌즈로 이루어지는 각 쌍의 액체렌즈에서 어느 하나의 액체렌즈(312, 314)는 광축으로부터 중심축이 소정거리 편심되도록 구성되어 상기 액체렌즈(312, 314)의 곡률반경을 변경함으로써 광의 주사각을 변화시킬 수 있다.That is, the angle of light can be changed to a desired angle by adjusting the radius of curvature of each liquid lens. As shown in FIG. 4A, in each pair of liquid lenses composed of two liquid lenses, any one of the liquid lenses 312 and 314 is configured such that the central axis is eccentric from the optical axis by a predetermined distance. By changing the radius of curvature, the scanning angle of the light can be changed.

이때 중심축으로부터 편심된 액체렌즈(312, 314)의 굴절력 변화로 인해 초점위치가 달라지게 될 수 있다. 즉, 도 4b에서 상단의 액체렌즈(312)는 중간 가상 결상면(700) 상에 초점이 형성되고 있지만, 곡률반경(Radius of curvature)을 변경된 하단의 액체렌즈(312)는 초점 거리가 증대되어 중간 가상 결상면(700) 상에 초점이 형성되지 않는다.At this time, the focal position may be changed due to a change in refractive power of the liquid lenses 312 and 314 eccentric from the central axis. That is, in FIG. 4b, the liquid lens 312 at the upper end is focused on the intermediate virtual imaging surface 700, but the liquid lens 312 at the lower end of which the radius of curvature is changed has an increased focal length. A focal point is not formed on the intermediate virtual imaging plane 700 .

이를 보상하기 위해 입사광속이 렌즈의 정점을 지나는 또 다른 액체렌즈(311, 313)를 구성하고, 상기 정점 액체렌즈(311, 313)의 곡률반경을 조정하여 광의 초점(focusing)을 맞출 수 있다. 이를 통해, 액체렌즈 모듈(310)은 2차원 평면상의 원하는 위치로 레이저 광의 각도를 조절할 수 있다.In order to compensate for this, another liquid lens 311, 313 through which the incident light flux passes through the apex of the lens is constituted, and the focusing radius of the apex liquid lens 311 and 313 is adjusted to adjust the focusing of the light. Through this, the liquid lens module 310 can adjust the angle of the laser light to a desired position on a two-dimensional plane.

도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다중 전극(Multiple Electrodes)을 갖는 액체 렌즈를 나타내는 도면이다. 도 5에서 도시된 바와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 액체렌즈 모듈(310)은 다중 전극(Multiple Electrodes)을 이용하여 액체 렌즈(Liquid Lens)의 입력 전극으로부터 유도되는 전류의 방향과 전압을 조정함으로써 입사되는 레이저 광의 출사각도 및 초점거리를 조정할 수 있다.5 is a view showing a liquid lens having multiple electrodes according to another embodiment of the present invention. As shown in FIG. 5, the liquid lens module 310 according to an embodiment of the present invention adjusts the direction and voltage of the current induced from the input electrode of the liquid lens by using multiple electrodes. The emission angle and focal length of the incident laser light can be adjusted.

즉, 광스티어링부(300)는 다중 전극(Multiple Electrodes)을 갖는 2개의 액체렌즈(Liquid Lens)로 이루어질 수 있다. 이때, 구동부(400)에는 다중 전극(Multiple Electrodes)에 각각 독립적으로 전압을 인가할 수 있는 전압공급 모듈(410)이 포함된다.That is, the optical steering unit 300 may be formed of two liquid lenses having multiple electrodes. In this case, the driving unit 400 includes a voltage supply module 410 capable of independently applying voltages to multiple electrodes.

또한, 전압공급 모듈(410)로부터 상기 다중 전극(Multiple Electrodes)을 갖는 액체렌즈(Liquid Lens)의 각 다중 전극에 각각 독립적으로 인가되는 입력전압을 조정하여 서로 다른 굴절률을 갖는 이종 액체 계면의 곡률과 계면 정점(Vertex Point)의 위치를 변경함으로써 광스티어링부(300)로부터 출사되는 레이저 광의 출사각도 및 초점거리를 제어할 수 있다.In addition, by adjusting the input voltage applied independently from the voltage supply module 410 to each of the multiple electrodes of the liquid lens having the multiple electrodes, the curvature of the interface of the heterogeneous liquids having different refractive indices and By changing the position of the interface vertex point, it is possible to control the emission angle and focal length of the laser light emitted from the optical steering unit 300 .

예를 들어, 도 5의 좌측 도면에서 상단의 제1전압(310c)을 하단의 제2전압(310d)보다 상대적으로 높게 인가하는 경우에 오일(Oil)(310a)과 물(Water)(310b)의 경계면으로 이루어지는 굴곡면(310e)이 상층보다 하층에 두껍게 형성됨으로써 입사되는 레이저 광은 상대적으로 하향 출사된다. 반대로, 도 5의 우측 도면에서 상단의 제1전압(310c)보다 하단의 제2전압(310d)을 상대적으로 높게 인가하는 경우에는 오일(Oil)(310a)과 물(Water)(310b)로 이루어지는 굴곡면(310e)이 하층보다 상층에 두껍게 형성됨으로써 입사되는 레이저 광은 상대적으로 상향 출사된다.For example, in the left drawing of FIG. 5 , when the upper first voltage 310c is applied relatively higher than the lower second voltage 310d, Oil 310a and Water 310b) Since the curved surface 310e made of the interface of is thicker than the upper layer, the incident laser light is emitted relatively downward. Conversely, in the right diagram of FIG. 5 , when the second voltage 310d at the lower end is applied relatively higher than the first voltage 310c at the upper end, it is composed of Oil 310a and Water 310b. Since the curved surface 310e is formed thicker on the upper layer than the lower layer, the incident laser light is emitted relatively upward.

도 5의 다중 전극을 갖는 액체렌즈는 액체 사이의 계면 곡률과 정점을 동시에 변경함으로써 하나의 소자(액체렌즈)로 한 축 방향의 빔 스티어링(beam steering)을 구현할 수 있다. 따라서, 도 3의 경우는 4개의 액체렌즈를 이용하여 레이저 광의 출사각도 및 초점거리를 제어하는 반면, 도 5의 다중 전극(Multiple Electrodes)을 갖는 액체 렌즈(Liquid Lens)는 2개의 소자(액체렌즈)만을 사용하여 수평 및 수직 스티어링(steering)을 구현하고, 레이저 광의 출사각도 및 초점거리를 제어할 수 있다.The liquid lens having multiple electrodes of FIG. 5 can implement beam steering in one axial direction with one element (liquid lens) by simultaneously changing the interfacial curvature and apex between the liquids. Therefore, in the case of FIG. 3, the laser light emission angle and focal length are controlled using four liquid lenses, whereas the liquid lens having multiple electrodes of FIG. 5 has two elements (liquid lenses). ) can be used to implement horizontal and vertical steering, and to control the emission angle and focal length of laser light.

이와 같이 다중 전극(Multiple Electrodes)을 갖는 액체 렌즈(Liquid Lens)를 이용함으로써 레이저 광의 출사각도 및 초점거리를 제어하기 위한 액체 렌즈의 수를 줄일 수 있다.As described above, by using a liquid lens having multiple electrodes, the number of liquid lenses for controlling the emission angle and focal length of laser light can be reduced.

한편, 제1 집광렌즈(200)와 광스티어링부(300)의 사이에는 파장판(wave plate)이 더 포함될 수 있다. 또한, 광스티어링부(300)와 배율조정 광학부(500)의 사이에는 프리즘(Prism)이 더 포함될 수 있다. 이를 통해 광원부(100)로부터 조사되는 광을 필터링하여 직선 편광을 추출할 수 있다.Meanwhile, a wave plate may be further included between the first condensing lens 200 and the optical steering unit 300 . In addition, a prism may be further included between the optical steering unit 300 and the magnification adjustment optical unit 500 . Through this, the light irradiated from the light source unit 100 may be filtered to extract linearly polarized light.

구동부(400)는 광스티어링부(300)를 구동하여 상기 레이저 광을 2차원 중간 가상 결상면(IIP)(700) 상에 선택적으로 이미징할 수 있다. 즉, 구동부(400)에는 액체렌즈 모듈(310)을 구동하기 위해 각 액체렌즈에 선택적으로 전압을 공급하는 전압공급 모듈(410)이 포함된다.The driving unit 400 may drive the optical steering unit 300 to selectively image the laser light on the two-dimensional intermediate virtual imaging plane (IIP) 700 . That is, the driving unit 400 includes a voltage supply module 410 for selectively supplying a voltage to each liquid lens in order to drive the liquid lens module 310 .

전압공급 모듈(410)은 컨트롤러(1100)의 제어에 따라 동작 되어 액체렌즈 모듈(310)에 선택적으로 전압을 공급한다. 즉, 액체렌즈 모듈(310)이 단일 전극을 갖는 4개의 액체렌즈로 이루어지는 경우 컨트롤러(1100)는 전압공급 모듈(410)을 제어하여 각 액체렌즈의 단일 전극에 전압을 공급한다.The voltage supply module 410 is operated under the control of the controller 1100 to selectively supply a voltage to the liquid lens module 310 . That is, when the liquid lens module 310 is composed of four liquid lenses having a single electrode, the controller 1100 controls the voltage supply module 410 to supply a voltage to a single electrode of each liquid lens.

또한, 액체렌즈 모듈(310)이 다중 전극(Multiple Electrodes)을 갖는 2개의 액체렌즈(Liquid Lens)로 이루어지는 경우 컨트롤러(1100)는 전압공급 모듈(410)을 제어하여 각 액체렌즈의 다중 전극에 각각 독립적으로 전압을 인가할 수 있다.In addition, when the liquid lens module 310 is composed of two liquid lenses having multiple electrodes, the controller 1100 controls the voltage supply module 410 to each of the multiple electrodes of each liquid lens. Voltage can be applied independently.

구동부(400)는 상기 액체 렌즈(Liquid Lens) 중 적어도 어느 하나를 구동하여 중간 가상 결상면(700) 상에 이미징되는 광의 수직 방향 각도 또는 수평 방향 각도를 조절할 수 있다.The driving unit 400 may drive at least one of the liquid lenses to adjust a vertical angle or a horizontal angle of light imaged on the intermediate virtual imaging plane 700 .

또한, 구동부(400)는 액츄에이터(actuator)(420)를 포함할 수 있다. 바람직하게는 광스티어링부(300)의 정밀한 제어를 위해 마이크로 엑츄에이터(μ-actuator)(421)(미도시)가 이용될 수 있다. 또한, 구동부(400)는 AO(Adaptive Optics) 액츄에이터, EO(Electroosmotic) 액츄에이터, VCM(Voice Coil Motor) 액츄에이터 및 선형 액츄에이터 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Also, the driving unit 400 may include an actuator 420 . Preferably, a micro-actuator 421 (not shown) may be used for precise control of the optical steering unit 300 . Also, the driving unit 400 may include at least one of an adaptive optics (AO) actuator, an electroosmotic (EO) actuator, a voice coil motor (VCM) actuator, and a linear actuator.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템(10)을 나타내는 구성도이다. 즉, 도 6은 도 1의 구성을 더욱 구체화하기 위한 실시 예로서 배율조정 광학부(500)를 이용하여 광속이 중간 가상 결상면(IIP)(700) 상에 위치하도록 조절하는 것을 나타내는 도면이다.6 is a block diagram showing a two-dimensional scanning optical system 10 through a simple objective lens position sequential control according to another embodiment of the present invention. That is, FIG. 6 is a view showing that the light flux is adjusted to be located on the intermediate virtual imaging plane (IIP) 700 by using the magnification optical unit 500 as an embodiment for further specifying the configuration of FIG. 1 .

도 6에서 도시된 바와 같이 제2 집광렌즈(320)를 이용하여 제1 집광렌즈(200)를 통과한 레이저 광의 레이저 광의 초점위치를 순차적으로 변화시킬 수 있다.As shown in FIG. 6 , the focal position of the laser light of the laser light passing through the first condensing lens 200 may be sequentially changed using the second condensing lens 320 .

또한, 도 6에서 도시된 바와 같이 구동부(400)는 제2 집광렌즈(320)의 위치를 상하좌우 2차원으로 조절하여 제2 집광렌즈(320)에 의한 초점의 위치를 상하좌우 2차원으로 변경할 수 있다. 즉, 구동부(400)를 이용하여 평행한 광속이 입사되는 제2 집광렌즈(320)를 광축에 수직한 2차원 방향으로 구동시킴으로써 제2 집광렌즈(320)에 의한 초점의 위치를 상하좌우 2차원적으로 변경할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 6 , the driving unit 400 adjusts the position of the second condensing lens 320 in two dimensions, up, down, left, and right to change the position of the focus by the second condensing lens 320 in two dimensions. can That is, by using the driving unit 400 to drive the second condensing lens 320 into which a parallel light beam is incident in a two-dimensional direction perpendicular to the optical axis, the position of the focus by the second condensing lens 320 is two-dimensionally up, down, left and right. can be changed negatively.

제2 집광렌즈(320)를 구동하는 구동부(400)는 VCM(Voice Coil Motor) 액츄에이터(actuator) 및 PZT(Piezoelectric) 액츄에이터(actuator) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 제2 집광렌즈(320)는 대물렌즈(Objective Lens) 또는 일반렌즈가 될 수 있다.The driving unit 400 for driving the second condensing lens 320 may include at least one of a voice coil motor (VCM) actuator and a piezoelectric (PZT) actuator. In addition, the second condensing lens 320 may be an objective lens or a general lens.

일반적으로 광각렌즈부(600)의 입사면(센서면) 크기는 광스티어링부(300)를 통해 각도가 변경된 광의 이미지 영역 크기와 동일하지 않다. 만약에 광각렌즈부(600)의 입사면(센서면) 크기를 상기 광의 이미지 영역 크기와 동일하도록 광각렌즈부(600)를 설계하는 경우에는 배율조정 광학부(500)가 사용되지 않을 수 있어 주사광학시스템(10)의 크기를 혁신적으로 줄일 수 있다.In general, the size of the incident surface (sensor surface) of the wide-angle lens unit 600 is not the same as the size of the image area of the light whose angle is changed through the light steering unit 300 . If the wide-angle lens unit 600 is designed so that the size of the incident surface (sensor surface) of the wide-angle lens unit 600 is the same as the size of the image area of the light, the magnification adjustment optical unit 500 may not be used, so that the scanning The size of the optical system 10 can be innovatively reduced.

그러나 이 경우에는 종래에 개발되어 있는 광각렌즈를 사용할 수 없는 단점이 있다. 따라서, 배율조정 광학부(500)는 광스티어링부(300)를 통해 광 경로가 변경된 레이저 광의 이미지 영역 크기를 광각렌즈부(600)의 입사면(센서면) 크기에 대응되도록 변경할 수 있다.However, in this case, there is a disadvantage that the conventionally developed wide-angle lens cannot be used. Accordingly, the magnification adjustment optical unit 500 may change the size of the image area of the laser light whose optical path is changed through the optical steering unit 300 to correspond to the size of the incident surface (sensor surface) of the wide-angle lens unit 600 .

배율조정 광학부(500)는 광스티어링부(300)를 통해 광 경로가 변경된 레이저 광을 미리 설정된 광각렌즈부(600)의 이미지면 또는 입사면에 위치하도록 확대 또는 축소하여 결상할 수 있다. 또한, 배율조정 광학부(500)는 광스티어링부(300)를 통해 광 경로가 변경된 레이저 광이 미리 설정된 광각렌즈부(600)의 이미지면에 평행하게 입사되도록 레이저 광의 방사 각도를 변환하여 전송할 수 있다.The magnification adjustment optical unit 500 may form an image by enlarging or reducing the laser light whose optical path has been changed through the optical steering unit 300 to be located on the image plane or the incident plane of the preset wide-angle lens unit 600 . In addition, the magnification adjustment optical unit 500 converts the radiation angle of the laser light so that the laser light whose optical path is changed through the optical steering unit 300 is incident parallel to the image plane of the preset wide-angle lens unit 600 can be transmitted. have.

즉, 배율조정 광학부(500)는 광스티어링부(300)를 통해 광 경로가 변경된 광이 위치할 수 있는 영역의 크기를 확대 또는 축소하여 미리 센서의 크기가 정해진 광각렌즈부(600)의 입사면(센서면) 영역으로 광을 결상할 수 있다. 또는, 광각렌즈부(600)의 입사면으로 입사되는 광이 수평하게 입사되도록 조절할 수 있다. 이때, 배율조정 광학부(500)는 다수의 렌즈로 구성되는 릴레이 광학계로 구성할 수 있다.That is, the magnification adjustment optical unit 500 enlarges or reduces the size of a region in which the light whose optical path is changed through the optical steering unit 300 can be located, so that the size of the sensor is determined in advance by the incidence of the wide-angle lens unit 600 . Light can be imaged in the surface (sensor surface) area. Alternatively, the light incident to the incident surface of the wide-angle lens unit 600 may be adjusted to be incident horizontally. In this case, the magnification adjustment optical unit 500 may be configured as a relay optical system composed of a plurality of lenses.

여기에서, 광속이 광각렌즈부(600)의 이미지면에 평행하게 입사되도록 변환하는 것은 광각렌즈부(600)를 통해 레이저 광속이 공간상으로 주사될 때 광속의 손실을 최소화하여 주사하는 각도별 광량 편차를 억제하고, 검출 광량을 높일 수 있는 효과가 있다.Here, the conversion of the light beam to be incident parallel to the image plane of the wide-angle lens unit 600 minimizes the loss of the light beam when the laser beam is spatially scanned through the wide-angle lens unit 600, and thus the amount of light for each angle scanned. There is an effect of suppressing variation and increasing the amount of detected light.

본 발명의 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템(10)은 자율주행 차량을 위한 라이다(Light detection and ranging, LiDAR)에 적용될 수 있다. 라이다(LiDAR) 센서는 공간을 통해 근적외선 파장의 광을 조사하고, 측정대상물로부터 산란된 광의 비행시간(Time of Flight, TOF)을 측정하여 동작한다.The two-dimensional scanning optical system 10 through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention may be applied to a light detection and ranging (LiDAR) for an autonomous vehicle. The LiDAR sensor operates by irradiating near-infrared wavelength light through space and measuring the time of flight (TOF) of the light scattered from the measurement object.

일반적으로 라이다(LiDAR)의 성능에 영향을 미치는 요소는 광원의 세기(Power) 및 파장(wavelength)과, 센서(Sensor)의 감도(Sensitivity) 및 다이나믹 레인지(Dynamic range)와, 광학(Optical) 시스템의 FOV 및 공간 해상도이다. 이러한 요소 중에서 라이다 센서의 FOV 관점에서 만약 광원이 종래의 광대역 필드 광학의 이미지 평면(Image plane)에 할당되면 넓은 FOV를 갖는 3D 공간을 스캔할 수 있다. 그러나 이미지 평면에 여러 개의 레이저를 적용하기는 어렵다.In general, the factors that affect the performance of LiDAR are the power and wavelength of the light source, the sensitivity and dynamic range of the sensor, and the optical FOV and spatial resolution of the system. Among these factors, in terms of the FOV of the lidar sensor, if the light source is assigned to the image plane of the conventional broadband field optics, it can scan 3D space with a wide FOV. However, it is difficult to apply multiple lasers to the image plane.

본 발명의 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템(10)은 광스티어링부(300)를 통한 레이저 광을 2차원 중간 가상 결상면(IIP, Intermediate Image Plane)(700) 상에 선택적으로 이미징함으로써 중간 가상 결상면(700) 상에 2차원 광원이 있는 것과 같은 어레이 광원 효과를 구현할 수 있다.The two-dimensional scanning optical system 10 through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention transmits the laser light through the optical steering unit 300 to a two-dimensional intermediate image plane (IIP) (700). ), an array light source effect such as a two-dimensional light source on the intermediate virtual imaging plane 700 can be implemented.

도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 중간 가상 결상면(Intermediate Image Plane, IIP)을 나타내는 도면이다. 본 발명의 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템(10)은 광각렌즈부(600)의 입사면에 가상의 2차원 중간 가상 결상면(IIP, Intermediate Image Plane)(700) 영역을 설정하고, 광원부(100)로부터 조사되는 광이 광스티어링부(300)를 통해 상기 2차원 중간 가상 결상면(IIP, Intermediate Image Plane)(700) 영역에 선택적으로 이미징되도록 함으로써 가상의 2차원 중간 가상 결상면(IIP, Intermediate Image Plane)(700)에 2차원 광원이 있는 것과 같은 효과를 나타낼 수 있다.7 is a diagram illustrating an intermediate virtual image plane (IIP) according to an embodiment of the present invention. The two-dimensional scanning optical system 10 through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention is a virtual two-dimensional intermediate image plane (IIP, Intermediate Image Plane) on the incident surface of the wide-angle lens unit 600 ( 700) by setting a region, and allowing the light emitted from the light source unit 100 to be selectively imaged on the two-dimensional intermediate virtual image plane (IIP, Intermediate Image Plane) 700 region through the optical steering unit 300 . The same effect as having a two-dimensional light source in the two-dimensional intermediate virtual image plane (IIP) 700 may be exhibited.

중간 가상 결상면(IIP)(700) 또는 광각렌즈부(600)의 이미지면을 통과한 레이저 광은 광각렌즈부(600)에 입사되어 미리 설정된 각도 및 영역으로 방사된다. 광각렌즈부(600)에는 어안렌즈(Fish Eye Lens)(610)가 포함될 수 있다. 광각렌즈부(600)는 레이저 광의 넓은 스캔 영역 및 FOV(Field of View)를 확보하기 위한 것으로 180도 이상의 화각을 제공할 수 있다.The laser light passing through the intermediate virtual imaging plane (IIP) 700 or the image plane of the wide-angle lens unit 600 is incident on the wide-angle lens unit 600 and is emitted at a preset angle and area. The wide-angle lens unit 600 may include a fish-eye lens 610 . The wide-angle lens unit 600 is for securing a wide scan area of laser light and a Field of View (FOV), and may provide an angle of view of 180 degrees or more.

본 발명의 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템(10)은 광속분할소자(800), 제3 집광렌즈(900) 및 디텍터(1000)를 더 포함할 수 있다.The two-dimensional scanning optical system 10 through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention may further include a beam splitter 800 , a third condensing lens 900 , and a detector 1000 .

광속분할소자(800)는 상기 레이저 광이 측정대상(Object)으로부터 반사된 반사광을 디텍터(1000)로 가이드할 수 있다. 제3 집광렌즈(900)는 광속분할소자(800)와 디텍터(1000) 사이에 구비되어 광속분할소자(800)로부터 반사된 광속을 집광하여 디텍터(1000)로 전송할 수 있다.The beam splitter 800 may guide the laser light reflected from the measurement object to the detector 1000 . The third condensing lens 900 may be provided between the beam splitting device 800 and the detector 1000 to condense the light beam reflected from the beam splitting device 800 and transmit it to the detector 1000 .

디텍터(1000)는 상기 반사광을 수신하여 전기로 변환함으로써 상기 측정대상을 감지할 수 있다. 즉, 디텍터(1000)는 레이저 광이 측정대상에 반사되어 형성되는 반사광을 획득하여 상기 측정대상을 감지할 수 있다. 디텍터(1000)는 SPAD(Single Photon Avalanche Detector)를 활용하여 검출신호 특성을 분석할 수 있다.The detector 1000 may detect the measurement target by receiving the reflected light and converting it into electricity. That is, the detector 1000 may detect the measurement object by acquiring reflected light formed by reflecting laser light on the measurement object. The detector 1000 may analyze the characteristics of the detection signal by using a Single Photon Avalanche Detector (SPAD).

컨트롤러(1100)는 상기 레이저 광의 방사 범위를 설정하고, 상기 방사 범위에 따른 레이저 광의 각도를 판단하여 구동부(400)를 제어할 수 있다. 즉, 컨트롤러(1100)는 구동부(400)를 제어하여 광스티어링부(300)를 조절함으로써 광각렌즈부(600)의 입사면 또는 이미지면에 입사되는 레이저 광의 각도를 조절할 수 있다.The controller 1100 may control the driving unit 400 by setting an emission range of the laser light and determining an angle of the laser light according to the emission range. That is, the controller 1100 may control the driving unit 400 to adjust the optical steering unit 300 to adjust the angle of the laser light incident on the incident surface or the image surface of the wide-angle lens unit 600 .

또한, 컨트롤러(1100)는 광원부(100)에서 조사된 레이저 광이 광각렌즈부(600)의 이미지면을 통과할 수 있도록 구동부(400)를 제어할 수 있다. 또한, 컨트롤러(1100)는 가상의 2차원 중간 가상 결상면(IIP, Intermediate Image Plane) 영역을 설정하고, 광원부(100)에서 조사된 레이저 광이 설정된 2차원 중간 가상 결상면(IIP, Intermediate Image Plane) 영역으로 투사되도록 구동부(400)를 제어할 수 있다.Also, the controller 1100 may control the driving unit 400 so that the laser light irradiated from the light source unit 100 may pass through the image plane of the wide-angle lens unit 600 . In addition, the controller 1100 sets a virtual two-dimensional intermediate virtual image plane (IIP, Intermediate Image Plane) region, and a two-dimensional intermediate virtual image plane (IIP, Intermediate Image Plane) in which the laser light irradiated from the light source unit 100 is set. ), the driving unit 400 may be controlled to be projected onto the area.

또한, 컨트롤러(1100)는 광원부(100), 제1 집광렌즈(200), 배율조정 광학부(500) 및 디텍터(1000)를 제어할 수 있다.Also, the controller 1100 may control the light source unit 100 , the first condensing lens 200 , the magnification adjustment optical unit 500 , and the detector 1000 .

표1. 초정밀 광각 공간분해가 가능한 Compact LiDAR SensorTable 1. Compact LiDAR Sensor capable of ultra-precise wide-angle spatial resolution

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 표1은 본 발명의 실시 예에 따른 주사광학시스템(10)이 적용되어 초정밀 광각 공간분해가 가능한 컴팩트 라이다 센서(Compact LiDAR Sensor)를 나타낸다. 표1에서 나타낸 바와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템(10)을 이용하여 수평방향화각(HFOV) 150ㅀ, 수직방향화각(VFOV) 8ㅀ이상의 공간에 대한 물체 측위가 가능하다.Table 1 shows a compact LiDAR sensor capable of ultra-precise wide-angle spatial resolution by applying the scanning optical system 10 according to an embodiment of the present invention. As shown in Table 1, using the two-dimensional scanning optical system 10 through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention, a horizontal angle of view (HFOV) of 150°, a vertical angle of view (VFOV) of 8° or more Positioning of objects in space is possible.

또한, 단일 고출력 레이저를 활용하여 각 공간상의 위치마다 순차적으로 정보를 취득함으로써 종래의 기구부 회전식 라이다(LiDAR)와 동등한 수준으로 100m 이상의 측정거리를 구현할 수 있다. 또한, 구동부(400)를 이용하여 광스티어링부(300)를 좌우 ㅁ50mm로 구동시 150ㅀ이상의 FOV를 구현할 수 있다.In addition, by using a single high-power laser to sequentially acquire information for each location in each space, it is possible to implement a measurement distance of 100m or more at the same level as that of a conventional mechanical rotating LiDAR (LiDAR). In addition, when the optical steering unit 300 is driven by 50 mm left and right using the driving unit 400, an FOV of 150° or more can be realized.

종래의 기구부 회전식 라이다는 단일 반사면을 갖는 회전체의 정속 구동을 이용하므로 서로 기울어져 입사하는 다중 레이저 광속에 의하여 수직방향 공간을 분해하기 때문에 온도, 습도, 진동 및 충격 등 차량의 주행환경 변화 시 수평 및 수직 방향으로 주사 대응각에 오차가 발생하는 것을 보상할 수 없다.Since the conventional mechanical rotating lidar uses constant speed driving of a rotating body having a single reflective surface, it decomposes the vertical space by multiple laser beams incident at an angle to each other. It is not possible to compensate for errors occurring in the corresponding scan angles in the horizontal and vertical directions.

그러나 본 발명의 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템(10)은 컴팩트(Compact)하며 우수한 응답특성을 갖는 저가의 액츄에이터(actuator)를 구동부(400)에 적용하여 광스티어링부(300)를 2차원으로 구동할 수 있다. 또한, 단일 레이저에서 출사된 광속을 공간상에 순차적으로 주사함으로써 주사되는 광속의 수평 및 수직방향 각도 정보를 직접적으로 알 수 있고, 단일 세그먼트(Segment)를 갖는 검출소자를 활용하여 각 주사각에 대한 TOF(Time of Flight)를 검출할 수 있어 시스템을 보다 컴팩트(Compact)하게 구현할 수 있는 효과가 있다.However, the two-dimensional scanning optical system 10 through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention is compact and a low-cost actuator having excellent response characteristics is applied to the driving unit 400 to light The steering unit 300 may be driven in two dimensions. In addition, by sequentially scanning the beam emitted from a single laser in space, the horizontal and vertical angle information of the scanned beam can be directly known, and the detection element with a single segment can be used to measure each scanning angle. Since TOF (Time of Flight) can be detected, there is an effect that the system can be implemented more compactly.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 주사광학시스템(10)을 나타내는 블록도이고, 도 9는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 주사광학시스템(10)을 나타내는 구성도이다. 즉, 도 8 및 도 9는 맴스미러(MEMS Mirror)(1200)를 이용하여 제1 집광렌즈(200)를 통과한 레이저 광의 각도를 변경하는 것을 나타내는 도면이다.8 is a block diagram showing a scanning optical system 10 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a block diagram showing a scanning optical system 10 according to another embodiment of the present invention. That is, FIGS. 8 and 9 are views illustrating changing the angle of the laser light passing through the first condensing lens 200 using the MEMS Mirror 1200 .

본 발명의 실시 예에 따른 주사광학시스템(10)은 평행하게 입사되는 광속을 맴스미러(MEMS Mirror)(1200)를 이용하여 여러 방향으로 스캐닝(주사)한 후, 광학적인 필드(Field)를 플렛(Flat)하게 만들어 주는 주사렌즈부(1300)를 이용하여 중간 가상 결상면(700) 상에 직접적으로 결상함으로써 광각 스캐닝을 구현할 수 있다.The scanning optical system 10 according to an embodiment of the present invention scans (scans) parallel incident light beams in various directions using a MEMS Mirror 1200, and then sets the optical field to the flat. Wide-angle scanning can be implemented by directly forming an image on the intermediate virtual imaging surface 700 using the scanning lens unit 1300 that makes it flat.

도 8 및 도 9에서 도시된 바와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 주사광학시스템(10)은 광원부(100), 제1 집광렌즈(200), 맴스미러(MEMS Mirror)(1200), 구동부(400), 주사렌즈부(1300) 및 광각렌즈부(600)를 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 8 and 9 , the scanning optical system 10 according to an embodiment of the present invention includes a light source unit 100 , a first condensing lens 200 , a MEMS Mirror 1200 , and a driving unit 400 . ), a scanning lens unit 1300 and a wide-angle lens unit 600 may be included.

광원부(100)는 레이저 광을 조사할 수 있다. 제1 집광렌즈(200)는 광원부(100)로부터 조사되는 광의 경로 상에 마련되어 상기 레이저 광이 광축에 평행하게 되도록 평행 광으로 변환하거나 상기 레이저 광이 방사되는 방사 각도를 줄여준다.The light source unit 100 may irradiate laser light. The first condensing lens 200 is provided on the path of the light irradiated from the light source unit 100 to convert the laser light into parallel light so that it is parallel to the optical axis or reduce the radiation angle at which the laser light is emitted.

맴스미러(MEMS Mirror)(1200)는 제1 집광렌즈(200)를 통과한 광의 경로 상에 설치되어 제1 집광렌즈(200)로부터 입사되는 광속을 2차원적으로 변경하여 주사한다. 구동부(400)는 맴스미러(MEMS Mirror)(1200)를 구동하여 광의 각도를 제어할 수 있다.The MEMS mirror 1200 is installed on the path of the light passing through the first condensing lens 200 , and two-dimensionally changes and scans the light flux incident from the first condensing lens 200 . The driving unit 400 may control the angle of light by driving the MEMS Mirror 1200 .

주사렌즈부(1300)는 맴스미러(MEMS Mirror)(1200)를 통해 각도가 변경되어 주사되는 광속이 맴스미러(MEMS Mirror)(1200)에 의한 주사 각도에 따라 광각렌즈부(600)의 중간 가상 결상면(IIP)(700) 또는 초점면 상에서 초점을 형성한 후 광각렌즈부(600)의 이미지면 또는 입사면 내로 전송되도록 상기 광속을 광각렌즈부(600)의 중간 가상 결상면(IIP)(700) 또는 초점면 상에 이미징할 수 있다.The scanning lens unit 1300 is an intermediate virtual image of the wide-angle lens unit 600 according to the scanning angle by the MEMS Mirror 1200 by changing the angle of the scanning lens unit 1300 through the MEMS Mirror 1200 . After forming a focus on the imaging plane (IIP) 700 or the focal plane, the light beam is transmitted into the image plane or the incident plane of the wide-angle lens unit 600. The intermediate virtual imaging plane (IIP) of the wide-angle lens unit 600 ( 700) or imaging on the focal plane.

또한, 광각렌즈부(600)는 상기 레이저 광의 스캔 영역 및 FOV(Field of View)를 증대하기 위해 상기 이미지면 또는 입사면을 통과한 레이저 광을 미리 설정된 각도 및 영역으로 방사할 수 있다.In addition, the wide-angle lens unit 600 may radiate the laser light passing through the image plane or the incident surface at a preset angle and region in order to increase the scan area and Field of View (FOV) of the laser light.

VCM(Voice Coil Motor) 액츄에이터(actuator)를 이용한 제2 집광렌즈(320)나 액체렌즈를 이용한 액체렌즈 모듈(310)은 구동량이 커지면 구동주파수를 크게 구현할 수 없어 광스티어링부(300)를 통한 이미지 위치 변동량이 적다. 따라서, 액체렌즈 모듈(310)이나 제2 집광렌즈(320)는 광각렌즈부(600)의 입사면에 이미지를 형성하기 위해서는 배율조정 광학부(500)가 필요하지만, 맴스미러(MEMS Mirror)(1200)는 구동주파수가 높아 배율조정 광학부(500)가 필요하지 않다.The second condensing lens 320 using a VCM (Voice Coil Motor) actuator or the liquid lens module 310 using a liquid lens cannot realize a large driving frequency when the driving amount increases, so the image through the optical steering unit 300 There is little change in position. Therefore, the liquid lens module 310 or the second condensing lens 320 requires the magnification adjustment optical unit 500 to form an image on the incident surface of the wide-angle lens unit 600, but the MEMS Mirror (MEMS Mirror) ( 1200) does not require the magnification adjustment optical unit 500 because the driving frequency is high.

따라서, 맴스미러(MEMS Mirror)(1200)를 이용한 주사광학시스템(10)은 주사렌즈부(1300)를 이용하여 직접적으로 광각렌즈부(600)의 입사면에 결상할 수 있는 장점이 있다.Accordingly, the scanning optical system 10 using the MEMS Mirror 1200 has an advantage in that it can form an image directly on the incident surface of the wide-angle lens unit 600 using the scanning lens unit 1300 .

이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템(10)은 다중 레이저 광원 및 다중 수광소자를 이용하여 수직방향의 공간을 분해하는 종래의 기구부 회전형 라이다 대비 고가의 요소부품을 현격히 줄일 수 있고, 최근 활발히 연구되고 있는 솔리드스테이트(Solid-state) 라이다 센서의 기술적 취약점인 좁은 FOV, 짧은 검출거리, 고가의 2차원 FPA를 사용해야 하는 문제점을 극복할 수 있다.As described above, the two-dimensional scanning optical system 10 through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention is a conventional mechanism rotating type lidar that uses multiple laser light sources and multiple light receiving elements to decompose the space in the vertical direction. It can significantly reduce expensive component parts and overcome the technical weaknesses of the solid-state LiDAR sensor, which are being actively researched recently, that require the use of a narrow FOV, short detection distance, and expensive two-dimensional FPA. have.

또한, 광스티어링부(300)의 2차원 변위에 대한 위치 제어를 통하여 주행환경(온도, 습도, 진동, 충격 등) 변화에 따른 센서의 측위 오차를 최소화하여 종래의 라이다 센서 대비 구동 안정성을 확보할 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명의 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템(10)은 광각 이미징시 발생할 수 있는 왜곡과 화각별 광량의 불균형을 해결할 수 있는 광학/이미지 처리 솔루션을 통해 초광각 공간분해 특성을 확보할 수 있는 효과가 있고, 온도 및 습도 변화에 따른 광스티어링부(300)의 초정밀 제어기술을 통해 구동환경에 강건한 작동특성을 확보할 수 있는 효과가 있다.In addition, through position control for the two-dimensional displacement of the optical steering unit 300, the positioning error of the sensor according to changes in the driving environment (temperature, humidity, vibration, shock, etc.) is minimized to secure driving stability compared to the conventional lidar sensor There is an effect that can be done. In addition, the two-dimensional scanning optical system 10 through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention provides an optical/image processing solution that can solve distortion that may occur during wide-angle imaging and an imbalance in the amount of light for each angle of view. There is an effect of securing ultra-wide-angle spatial resolution characteristics, and there is an effect of securing robust operating characteristics in a driving environment through the ultra-precise control technology of the optical steering unit 300 according to temperature and humidity changes.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 간단한 대물렌즈위치 순차제어를 통한 2차원 주사광학시스템(10)은 지속적인 전압 조절을 통해 미세한 공간 분해능을 구현할 수 있는 광속 편향식 액체 렌즈로 이루어지는 액체렌즈 모듈(310)과, 어안렌즈(610)를 활용하여 FOV를 개선할 수 있는 효과가 있다.In addition, the two-dimensional scanning optical system 10 through a simple objective lens position sequential control according to an embodiment of the present invention is a liquid lens module 310 composed of a beam-biased liquid lens capable of realizing fine spatial resolution through continuous voltage control. ) and using the fisheye lens 610, there is an effect of improving the FOV.

이상으로 본 발명에 관한 바람직한 실시 예를 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 실시 예로부터 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의한 용이하게 변경되어 균등하다고 인정되는 범위의 모든 변경을 포함한다.Although the preferred embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and it is easily changed by a person skilled in the art from the embodiment of the present invention to equivalent It includes all changes to the extent recognized as such.

10 : 주사광학시스템 100 : 광원부
200 : 제1 집광렌즈 300 : 광스티어링부
310 : 액체렌즈 모듈 310a : 오일(Oil)
310b : 물(Water) 310c : 제1전압
310d : 제2전압 310e : 굴곡면
311 : 제1 액체렌즈 312 : 제2 액체렌즈
313 : 제3 액체렌즈 314 : 제4 액체렌즈
320 : 제2 집광렌즈 400 : 구동부
410 : 전압공급 모듈 420 : 액츄에이터
500 : 배율조정 광학부 600 : 광각렌즈부
610 : 어안렌즈 700 : 중간 가상 결상면(IIP)
800 : 광속분할소자 900 : 제3 집광렌즈
1000 : 디텍터 1100 : 컨트롤러
1200 : 맴스미러(MEMS Mirror) 1300 : 주사렌즈부
10: scanning optical system 100: light source unit
200: first condensing lens 300: optical steering unit
310: liquid lens module 310a: oil
310b: Water 310c: First voltage
310d: second voltage 310e: curved surface
311: first liquid lens 312: second liquid lens
313: third liquid lens 314: fourth liquid lens
320: second condensing lens 400: driving unit
410: voltage supply module 420: actuator
500: magnification adjustment optical unit 600: wide-angle lens unit
610: fisheye lens 700: intermediate virtual imaging plane (IIP)
800: beam splitting element 900: third condensing lens
1000: detector 1100: controller
1200: MEMS Mirror 1300: scanning lens unit

Claims (9)

레이저 광을 조사하는 광원부;
상기 광원부로부터 조사되는 광의 경로 상에 마련되어 상기 레이저 광이 광축에 평행하게 되도록 변환하거나 상기 레이저 광이 방사되는 각도를 줄여주는 제1 집광렌즈;
상기 제1 집광렌즈를 통해 변환된 광 경로 상에 대물렌즈가 탑재된 렌즈 쉬프트 액츄에이터가 설치되어 상기 레이저 광이 중간 가상 결상면 상에 결상되는 위치를 조절하는 광스티어링부;
상기 광스티어링부를 구동하는 구동부;
상기 광스티어링부를 통해 광 경로가 변경된 레이저 광이 미리 설정된 광각렌즈부의 이미지면에 위치하도록 확대 또는 축소하여 결상하는 배율조정 광학부; 및
상기 레이저 광의 스캔 영역 및 FOV(Field of View)를 증대하기 위해 상기 이미지면을 통과한 레이저 광을 미리 설정된 각도 및 영역으로 방사하는 광각렌즈부;를 포함하며,
상기 대물렌즈가 탑재된 렌즈 쉬프트 액츄에이터는 상기 대물렌즈의 위치를 상하좌우 2차원으로 조절하여 대물렌즈에 의한 초점의 위치를 상하좌우 2차원으로 조절하되, 순차적으로 변화시키는 것을 특징으로 하는 주사광학시스템.
a light source for irradiating laser light;
a first condensing lens provided on a path of light irradiated from the light source unit to convert the laser light to be parallel to an optical axis or reduce an angle at which the laser light is emitted;
an optical steering unit in which a lens shift actuator having an objective lens mounted on the optical path converted through the first condensing lens is installed to adjust a position at which the laser light is imaged on an intermediate virtual imaging plane;
a driving unit for driving the optical steering unit;
a magnification adjustment optical unit for forming an image by enlarging or reducing the laser light whose optical path has been changed through the optical steering unit to be positioned on the image plane of the preset wide-angle lens unit; and
and a wide-angle lens unit emitting the laser light passing through the image plane at a preset angle and area to increase the scan area and FOV (Field of View) of the laser light;
The lens shift actuator on which the objective lens is mounted controls the position of the objective lens in two dimensions, up, down, left, and right to control the position of the focus by the objective lens in two dimensions, up, down, left and right, but sequentially changing the scanning optical system .
제1항에 있어서,
상기 광스티어링부는 렌즈의 위치를 제어하여 입사되는 광의 편향각을 조절할 수 있는 제2 집광렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사광학시스템.
According to claim 1,
and the optical steering unit includes a second condensing lens capable of adjusting the deflection angle of the incident light by controlling the position of the lens.
제2항에 있어서,
상기 구동부는 상기 제2 집광렌즈의 위치를 상하좌우 2차원으로 조절하여 상기 중간 가상 결상면 상의 이미지를 2차원적으로 조절하는 것을 특징으로 하는 주사광학시스템.
3. The method of claim 2,
The driving unit adjusts the position of the second condensing lens in two dimensions, up, down, left, and right to two-dimensionally adjust the image on the intermediate virtual imaging plane.
제3항에 있어서,
상기 구동부는 2차원 VCM(Voice Coil Motor) 액츄에이터 또는 2차원 선형 액츄에이터를 포함하고, 상기 2차원 VCM(Voice Coil Motor) 액츄에이터 또는 2차원 선형 액츄에이터를 이용하여 상기 제2 집광렌즈의 위치를 상하좌우 2차원으로 조절하여 상기 중간 가상 결상면 상의 이미지를 2차원적으로 조절하는 것을 특징으로 하는 주사광학시스템.
4. The method of claim 3,
The driving unit includes a two-dimensional VCM (Voice Coil Motor) actuator or a two-dimensional linear actuator, and uses the two-dimensional VCM (Voice Coil Motor) actuator or the two-dimensional linear actuator to adjust the position of the second condensing lens up, down, left, and right 2 A scanning optical system, characterized in that two-dimensionally adjusting the image on the intermediate virtual imaging plane by adjusting it dimensionally.
제1항에 있어서,
상기 광각렌즈부는 어안렌즈(Fish Eye Lens)를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사광학시스템.
According to claim 1,
The scanning optical system, characterized in that the wide-angle lens unit comprises a fish-eye lens (Fish Eye Lens).
제1항에 있어서,
상기 레이저 광이 측정대상(Object)으로부터 반사된 반사광을 디텍터로 가이드하는 광속분할소자;
상기 광속분할소자와 디텍터 사이에 구비되어 상기 광속분할소자로부터 반사된 광속을 집광하여 디텍터로 전송하는 제3 집광렌즈;
상기 반사광을 수신하여 상기 측정대상을 감지하는 디텍터 및
상기 제1 집광렌즈와 광스티어링부의 사이에 파장판(Wave Plate)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사광학시스템.
According to claim 1,
a beam splitter for guiding the laser light reflected from the measurement target to the detector;
a third condensing lens provided between the beam splitter and the detector to collect the beam reflected from the beam splitter and transmit it to the detector;
a detector that receives the reflected light to detect the measurement target; and
The scanning optical system, characterized in that it further comprises a wave plate (Wave Plate) between the first condensing lens and the optical steering unit.
제1항에 있어서,
상기 광원부에서 조사된 레이저 광이 광각렌즈부의 이미지면을 통과할 수 있도록 구동부를 제어하는 컨트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사광학시스템.
According to claim 1,
The scanning optical system further comprises a controller for controlling the driving unit so that the laser light irradiated from the light source unit can pass through the image plane of the wide-angle lens unit.
제7항에 있어서,
상기 컨트롤러는 레이저 광이 광각렌즈부의 이미지면을 통과할 수 있도록 가상의 2차원 중간 가상 결상면(IIP, Intermediate Image Plane) 영역을 설정하고, 상기 광원부에서 조사된 레이저 광이 가상의 2차원 중간 가상 결상면(IIP, Intermediate Image Plane) 영역으로 투사되도록 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 주사광학시스템.
8. The method of claim 7,
The controller sets a virtual two-dimensional intermediate image plane (IIP) area so that the laser light can pass through the image plane of the wide-angle lens unit, and the laser light irradiated from the light source unit is a virtual two-dimensional intermediate virtual image plane. A scanning optical system, characterized in that the driving unit is controlled to be projected onto an intermediate image plane (IIP) area.
제1항에 있어서,
상기 배율조정 광학부는 상기 광스티어링부를 통해 광 경로가 변경된 레이저 광이 미리 설정된 광각렌즈부의 이미지면에 평행하게 입사되도록 레이저 광의 방사 각도를 변환하여 전송하는 것을 특징으로 하는 주사광학시스템.
According to claim 1,
The magnification adjustment optical unit converts the radiation angle of the laser light so that the laser light whose optical path is changed through the optical steering unit is incident parallel to the image plane of the preset wide-angle lens unit and transmits the converted laser light.
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