KR20210110243A - Apparatus and method for surface inspection - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a surface tester and a surface inspection method. According to the present invention, the surface tester comprises: a linear or bar-shaped light source irradiating light to one surface of an object to be inspected; a driving unit moving the object to be inspected in a direction forming a first tilt angle with respect to a longitudinal direction of the light source in relative to the light source; and a sensor unit receiving the light reflected by one surface of the moving object to be inspected to convert the light into an electrical signal.

Description

표면 검사기 및 표면 검사 방법{Apparatus and method for surface inspection}Apparatus and method for surface inspection

본 발명은 표면 검사기 및 표면 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a surface inspection machine and a surface inspection method.

산업 현장에서 물체 표면의 결함(defect)을 검사하기 위한 용도로 광학 검사 방식의 표면 검사기가 널리 사용되고 있다. 이른 바 머신 비전이라 하여, 이미지 센서와 광학 렌즈를 내장한 카메라를 이용하여 검사 대상 제품의 표면을 스캔 촬영하고, 그 이미지를 분석하여 결함이나 문제 공정을 인식하는 기술을 이용하는 것이다. 머신 비전은 최근의 공장 자동화 및 스마트 공장 구축에 있어서는 필수적인 기술로 손꼽히고 있기도 하다.An optical inspection type surface inspection machine is widely used for the purpose of inspecting defects on the surface of an object in an industrial field. So-called machine vision uses a technology that scans the surface of a product to be inspected using a camera with an image sensor and an optical lens, and analyzes the image to recognize defects or problematic processes. Machine vision is also considered as an essential technology in the recent factory automation and smart factory construction.

이와 같이 물체 표면을 검사하기 위한 스캔 방식은 이미지를 얻는 방식에 따라 크게 영역 스캔 방식과 라인 스캔 방식으로 구분할 수 있다. 이 중에서 라인 스캔 방식은 빛의 밝기(또는 세기)를 감지하는 픽셀이 일렬로 배열된 이미지 센서를 이용하여, 물체의 표면을 스캐닝하여 촬영한다. 라인 스캔 방식은 주로 물체가 연속적으로 움직이는 경우에 적용되고, 설치 공간이 좁은 경우에도 고해상도의 이미지를 얻을 수 있어, 제조 공정의 품질 검사에 널리 활용된다. As such, a scanning method for inspecting the surface of an object can be largely divided into an area scan method and a line scan method according to a method of obtaining an image. Among them, the line scan method uses an image sensor in which pixels that detect the brightness (or intensity) of light are arranged in a line, and scans the surface of an object to photograph it. The line scan method is mainly applied when an object moves continuously, and can obtain a high-resolution image even when the installation space is narrow, so it is widely used for quality inspection in the manufacturing process.

이와 같이 라인 스캔 방식을 적용하기 위해서는 검사 대상 표면에 광(光)을 비추어 밝게 하는 것이 중요하다. 이를 위해 표면의 촬영 대상이 되는 영역에 라인 형태로 광이 집중 조사되도록 광원 또한 라인 형상으로 배열 또는 제작되는 것이 바람직하다. In order to apply the line scan method as described above, it is important to illuminate the surface to be inspected with light to brighten it. To this end, it is preferable that the light source is also arranged or manufactured in a line shape so that the light is intensively irradiated in the form of a line on the area to be photographed on the surface.

그러나 금속 재질과 같이 표면 가공을 거치는 물체의 경우에는 그 표면에 특유의 결 무늬가 있을 수 있으며, 이에 따라 입사된 빛이 특정한 방향으로 퍼지는 현상이 발생할 수 있다. 이에 따라 라인 스캔 방식을 금속판과 같은 재질의 표면 검사에 활용할 경우 조명의 운용에 주의를 기울일 필요가 있으나, 산업 현장에서 종종 간과되는 것이 현실이다. 특히 디스플레이 패널에 포함되는 금속판의 품질은, 내부의 기밀성(air tightness, 氣密性) 확보 등 디스플레이 패널의 품질을 좌우하는 중요한 요소로서, 라인 스캔 검사에 있어서 조명의 운용이 더더욱 중요하게 인식되어야 한다.However, in the case of an object undergoing surface processing, such as a metal material, there may be a characteristic grain pattern on the surface, and accordingly, a phenomenon in which incident light is spread in a specific direction may occur. Accordingly, when the line scan method is used to inspect the surface of a material such as a metal plate, it is necessary to pay attention to the operation of lighting, but in reality, it is often overlooked in the industrial field. In particular, the quality of the metal plate included in the display panel is an important factor influencing the quality of the display panel, such as securing the air tightness (气密性) inside. .

본 발명은 상술한 필요성에 따라 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 금속과 같이 특정 방향으로 결 무늬가 형성된 물체 표면의 경우에도 안정적인 검사 성능을 발휘하는 표면 검사기 및 그 검사 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised in response to the above needs, and an object of the present invention is to provide a surface inspector and an inspection method thereof that exhibit stable inspection performance even in the case of a surface of an object having a grain pattern formed in a specific direction, such as a metal.

또한 본 발명의 다른 목적은 물체 표면의 결함을 효과적으로 검출할 수 있도록 결함이 강조된 이미지를 획득할 수 있는 표면 검사기를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a surface inspector capable of acquiring an image in which defects are emphasized so as to effectively detect defects on the surface of an object.

더 나아가 본 발명의 또 다른 목적은 미러와 같은 추가적인 구성을 최소화함으로써 비용을 절감 가능한 표면 검사기의 광학계 구성을 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide an optical system configuration of a surface inspector capable of reducing costs by minimizing additional configurations such as mirrors.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 표면 검사기는, 피검사체의 일면에 광을 조사하는 선형 또는 막대형의 광원; 상기 피검사체를, 상기 광원에 대하여 상대적으로, 그리고 상기 광원의 길이 방향에 대하여 제1 경사각을 이루는 방향으로 운동시킬 수 있는 구동부; 및 상기 운동하는 피검사체의 상기 일면에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환할 수 있는 센서부를 포함할 수 있다.Surface inspection device of the present invention for solving the above technical problem, a linear or rod-shaped light source for irradiating light on one surface of the object to be inspected; a driving unit capable of moving the subject relative to the light source and in a direction forming a first inclination angle with respect to the longitudinal direction of the light source; and a sensor unit capable of receiving the light reflected from the one surface of the moving subject and converting the light into an electrical signal.

그리고, 상기 광원은 그 길이 방향이 상기 피검사체의 상기 일면과 평행을 이루고, 상기 제1 경사각은 30도 이상 60도 이하, 120도 이상 150도 이하, 210도 이상 240도 이하 및 300도 이상 330도 이하 중 어느 하나의 범위에 속할 수 있다.In addition, the light source has a longitudinal direction parallel to the one surface of the subject, and the first inclination angle is 30 degrees or more and 60 degrees or less, 120 degrees or more and 150 degrees or less, 210 degrees or more and 240 degrees or less, and 300 degrees or more 330 degrees. It may also belong to any one of the following ranges.

또한, 상기 제1 경사각은 45도, 135도, 225도 및 315도 중 어느 하나일 수 있다.Also, the first inclination angle may be any one of 45 degrees, 135 degrees, 225 degrees, and 315 degrees.

그리고, 상기 구동부에 의해 상기 피검사체가 상기 광원에 대하여 상대적으로 운동하는 방향과 상기 광원의 길이 방향이 이루는 각은, 직각 및 상기 제1 경사각 중 어느 하나로 절환될 수 있다.In addition, an angle between a direction in which the subject moves relative to the light source and a longitudinal direction of the light source by the driving unit may be switched to any one of a right angle and the first inclination angle.

그리고, 상기 광원은, 상기 피검사체의 상기 일면의 적어도 하나의 법선(normal line) 및 상기 센서부의 중심 축(axis) 중 적어도 하나와 제2 경사각을 이루는 방향으로 상기 일면에 상기 광을 조사할 수 있다.In addition, the light source may irradiate the light to the one surface in a direction forming a second inclination angle with at least one of at least one normal line of the one surface of the object and at least one of a central axis of the sensor unit. have.

그리고, 상기 제2 경사각은 2도 이상 80도 이하일 수 있다.In addition, the second inclination angle may be greater than or equal to 2 degrees and less than or equal to 80 degrees.

그리고, 상기 제2 경사각은 10도인 것이 바람직하다.And, it is preferable that the second inclination angle is 10 degrees.

또한, 상기 센서부는, 상기 반사된 광이 입사되는 렌즈 및 상기 렌즈를 투과한 상기 반사된 광이 입사되는 이미지 센서를 포함하고, 상기 센서부의 중심 축은 상기 렌즈의 축(axis)이고, 상기 광원은 상기 렌즈의 축과 상기 제2 경사각을 이루는 방향으로 상기 일면에 상기 광을 조사할 수 있다.In addition, the sensor unit includes a lens to which the reflected light is incident and an image sensor to which the reflected light passing through the lens is incident, the central axis of the sensor unit is an axis of the lens, and the light source is The light may be irradiated to the one surface in a direction forming the second inclination angle with the axis of the lens.

그리고, 상기 광의 조사 방향과 상기 적어도 하나의 법선 방향이 이루는 각도는, 상기 제2 경사각을 포함하는 소정의 각도 범위 내에서 변경 가능할 수 있다.An angle between the light irradiation direction and the at least one normal direction may be changed within a predetermined angle range including the second inclination angle.

그리고, 상기 광원의 상기 광의 조사 방향과 상기 적어도 하나의 법선 방향이 이루는 각도를 변경하는 각도 조절부를 더 포함할 수 있다.The light source may further include an angle adjusting unit configured to change an angle between the light irradiation direction and the at least one normal direction.

그리고, 상기 광원의 상기 피검사체로부터 떨어진 거리를 조절 가능한 위치 조절부를 더 포함할 수 있다.The light source may further include a position adjusting unit capable of adjusting a distance away from the subject.

그리고, 상기 각도 조절부는, 일측에 돌출된 걸림구가 형성된 제1 부재 및 상기 걸림구가 삽입되어 제한된 굴절범위를 갖도록 소정의 유동 폭을 갖는 원호 형상의 장홈이 형성된 제2 부재를 포함할 수 있다.In addition, the angle adjusting unit may include a first member having a locking hole protruding from one side and a second member having a long groove in an arc shape having a predetermined flow width so that the locking hole is inserted and has a limited refraction range. .

또한, 상기 센서부는, 상기 광원의 길이 방향에 나란하게 일렬 배치되어 상기 반사된 광을 상기 전기적 신호로 변환시키는 복수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 포함하고, 상기 표면 검사기는, 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 상기 복수의 픽셀에 대응하는 복수의 픽셀값을 획득하고 상기 획득된 복수의 픽셀값을 기초로 영상을 생성하는 영상 생성부를 더 포함하고, 상기 영상 생성부는, 상기 제1 경사각에 따라 발생하는 상기 복수의 픽셀값의 왜곡 정보를, 좌표 이동 변환 작용, 좌표 회전 변환 작용 및 픽셀값 보간 작용 중 적어도 하나를 포함하는 보정 작업을 거쳐 상기 영상을 생성할 수 있다.In addition, the sensor unit includes an image sensor including a plurality of pixels arranged in parallel in a longitudinal direction of the light source to convert the reflected light into the electrical signal, and the surface inspector includes the converted electrical signal and an image generator configured to obtain a plurality of pixel values corresponding to the plurality of pixels based on The image may be generated by correcting the distortion information of the plurality of pixel values through a correction operation including at least one of a coordinate movement transformation operation, a coordinate rotation transformation operation, and a pixel value interpolation operation.

그리고, 상기 영상 생성부는, 상기 복수의 픽셀값의 각각에 제1 좌표 및 제2 좌표를 매칭시키고, 상기 보정 작업은, 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 일그러짐과 관련된 왜곡 정보를 보정하는 상기 이동 변환 작용, 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 좌표 회전 변환을 통해 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 자세와 관련된 왜곡 정보를 보정하는 상기 좌표 회전 변환 작용 및 상기 복수의 픽셀값에 보간된 픽셀값을 추가하여 상기 영상의 외곽 영역의 영상 품질을 향상시키는 상기 픽셀값 보간 작용을 포함할 수 있다.In addition, the image generator may match a first coordinate and a second coordinate to each of the plurality of pixel values, and the correction operation may include moving at least one of the first coordinate and the second coordinate in the image. Correcting distortion information related to the posture of the shape of the subject in the image through the movement transformation action of correcting distortion information related to the distortion of the shape of the subject, and the coordinate rotation transformation of the first coordinate and the second coordinate The coordinate rotation transformation operation and the pixel value interpolation operation of improving the image quality of the outer region of the image by adding interpolated pixel values to the plurality of pixel values may be included.

그리고, 상기 제1 좌표는, 상기 피검사체의 상대적인 운동의 경과에 따라 상기 복수의 픽셀 중 하나에 의한 복수 회 촬영 시 획득되는 픽셀값들의 집합인 컬럼 단위의 위치 정보를 포함하고, 상기 제2 좌표는, 상기 복수의 픽셀에 의한 1회 촬영 시 획득되어 상기 복수의 픽셀 각각에 대응되는 픽셀값들의 집합인 라인 단위의 위치 정보를 포함하고, 상기 이동 변환 작용은, 상기 제1 경사각에 대응하여 상기 영상의 일그러짐 왜곡을 보정하기 위해 상기 복수의 픽셀값 각각에 매칭된 제1 좌표를 이동시킬 수 있다.In addition, the first coordinate includes column-wise position information that is a set of pixel values obtained when one of the plurality of pixels is photographed a plurality of times according to the passage of relative motion of the subject, and the second coordinate includes position information in units of lines, which is a set of pixel values corresponding to each of the plurality of pixels obtained during one-time photographing by the plurality of pixels, and the movement conversion operation is performed in response to the first inclination angle. In order to correct the image distortion, the first coordinates matched to each of the plurality of pixel values may be moved.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 표면 검사기는, 금속 재질 피검사체의 선형 결무늬가 새겨진 일면에 광을 조사하는 선형 또는 막대형의 광원; 상기 금속 재질 피검사체를, 상기 광원에 대하여 상대적으로, 그리고 상기 선형 결무늬의 길이 방향이 광원의 길이 방향에 대하여 제1 경사각을 이루도록 유지하면서 운동시킬 수 있는 구동부; 및 상기 운동하는 금속 재질 피검사체의 상기 일면에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환할 수 있는 센서부를 포함할 수 있다.Surface inspection device of the present invention for solving the above-described technical problem, a linear or rod-shaped light source for irradiating light on one side of the linear texture pattern of the object to be inspected made of metal; a driving unit capable of moving the metallic object to be inspected while maintaining a first inclination angle with respect to the light source and a longitudinal direction of the linear grain pattern with respect to the longitudinal direction of the light source; and a sensor unit capable of receiving the light reflected from the one surface of the moving metallic object and converting the light into an electrical signal.

또한, 상기 광원은, 상기 금속 재질 피검사체의 상기 일면의 적어도 하나의 법선(normal line) 및 상기 센서부의 중심 축 중 적어도 하나와 제2 경사각을 이루는 방향으로 상기 일면에 상기 광을 조사할 수 있다.In addition, the light source may irradiate the light to the one surface in a direction forming a second inclination angle with at least one of a normal line and a central axis of the sensor unit of the one surface of the metal material to be inspected. .

상기 광원은 그 길이 방향이 상기 금속 재질 피검사체의 상기 일면과 평행을 이루고, 상기 제1 경사각은 30도 이상 60도 이하, 120도 이상 150도 이하, 210도 이상 240도 이하 및 300도 이상 330도 이하 중 어느 하나의 범위에 속할 수 있다.The light source has a longitudinal direction parallel to the one surface of the metal material to be inspected, and the first inclination angle is 30 degrees or more and 60 degrees or less, 120 degrees or more and 150 degrees or less, 210 degrees or more and 240 degrees or less, and 300 degrees or more 330 degrees. It may also belong to any one of the following ranges.

그리고, 상기 제1 경사각은 45도, 135도, 225도 및 315도 중 어느 하나인 것이 바람직하다.In addition, the first inclination angle is preferably any one of 45 degrees, 135 degrees, 225 degrees and 315 degrees.

그리고, 상기 센서부는, 상기 광원의 길이 방향에 나란하게 일렬 배치되어 상기 반사된 광을 상기 전기적 신호로 변환시키는 복수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 포함하고, 상기 표면 검사기는, 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 상기 복수의 픽셀에 대응하는 복수의 픽셀값을 획득하고 상기 획득된 복수의 픽셀값을 기초로 영상을 생성하는 영상 생성부를 더 포함하고, 상기 영상 생성부는, 상기 제1 경사각에 따라 발생하는 상기 복수의 픽셀값의 왜곡 정보를, 좌표 이동 변환 작용, 좌표 회전 변환 작용 및 픽셀값 보간 작용 중 적어도 하나를 포함하는 보정 작업을 거쳐 상기 영상을 생성하는 것이 바람직하다.And, the sensor unit includes an image sensor including a plurality of pixels arranged in parallel in the longitudinal direction of the light source to convert the reflected light into the electrical signal, the surface inspector, the converted electrical signal and an image generator configured to obtain a plurality of pixel values corresponding to the plurality of pixels based on Preferably, the image is generated through a correction operation including at least one of a coordinate movement transformation operation, a coordinate rotation transformation operation, and a pixel value interpolation operation on the distortion information of the plurality of pixel values.

그리고, 상기 영상 생성부는, 상기 복수의 픽셀값의 각각에 제1 좌표 및 제2 좌표를 매칭시키고, 상기 보정 작업은, 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 일그러짐과 관련된 왜곡 정보를 보정하는 상기 이동 변환 작용, 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 좌표 회전 변환을 통해 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 자세와 관련된 왜곡 정보를 보정하는 상기 좌표 회전 변환 작용 및 상기 복수의 픽셀값에 보간된 픽셀값을 추가하여 상기 영상의 외곽 영역의 영상 품질을 향상시키는 상기 픽셀값 보간 작용을 포함할 수 있다.In addition, the image generator may match a first coordinate and a second coordinate to each of the plurality of pixel values, and the correction operation may include moving at least one of the first coordinate and the second coordinate in the image. Correcting distortion information related to the posture of the shape of the subject in the image through the movement transformation action of correcting distortion information related to the distortion of the shape of the subject, and the coordinate rotation transformation of the first coordinate and the second coordinate The coordinate rotation transformation operation and the pixel value interpolation operation of improving the image quality of the outer region of the image by adding interpolated pixel values to the plurality of pixel values may be included.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 디스플레이 제조 장치는 상기 기재된 표면 검사기를 포함할 수 있다.The display manufacturing apparatus of the present invention for solving the above-described technical problem may include the surface inspection machine described above.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 선형 또는 막대형의 광원, 구동부 및 센서부를 포함하는 표면 검사기에서 피검사체의 표면을 검사하는 방법은, 상기 광원이 상기 피검사체의 일면에 광을 조사하는 단계; 상기 구동부가 상기 피검사체를, 상기 광원에 대하여 상대적으로, 그리고 상기 광원의 길이 방향에 대하여 제1 경사각을 이루는 방향으로 운동시키는 단계; 및 상기 센서부가, 상기 운동하는 피검사체의 상기 일면에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환하는 단계를 포함할 수 있다.The method of inspecting the surface of a subject in a surface inspector including a linear or rod-shaped light source, a driving unit and a sensor unit of the present invention for solving the above technical problem, the light source irradiates light to one surface of the subject step; moving, by the driving unit, the target object relative to the light source and in a direction forming a first inclination angle with respect to the longitudinal direction of the light source; and receiving, by the sensor unit, the light reflected from the one surface of the moving object to be converted into an electrical signal.

그리고, 상기 광을 조사하는 단계는, 상기 광원이, 상기 피검사체의 상기 일면의 적어도 하나의 법선(normal line) 및 상기 센서부의 중심 축(axis) 중 적어도 하나와 제2 경사각을 이루는 방향으로 상기 일면에 상기 광을 조사할 수 있다.And, the step of irradiating the light, the light source in a direction forming a second inclination angle with at least one of a normal line (normal line) of the one surface of the object and at least one of a central axis (axis) of the sensor unit One surface may be irradiated with the light.

그리고, 상기 센서부는 상기 광원의 길이 방향에 나란하게 일렬 배치되어 상기 반사된 광을 상기 전기적 신호로 변환시키는 복수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 포함하고, 상기 표면 검사기는 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 영상을 생성하는 영상 생성부를 더 포함하고, 상기 영상 생성부가, 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 상기 복수의 픽셀에 대응하는 복수의 픽셀값을 획득하고 상기 복수의 픽셀값의 각각에 제1 좌표 및 제2 좌표를 매칭시키는 단계; 상기 매칭된 제1 좌표 및 상기 매칭된 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 일그러짐과 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계; 및 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 좌표 회전 변환을 통해 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 자세와 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계; 및 상기 복수의 픽셀값에 보간된 픽셀값을 추가하여 상기 영상의 외곽 영역의 영상 품질을 향상시키는 단계를 더 포함할 수 있다.And, the sensor unit includes an image sensor including a plurality of pixels arranged in parallel in the longitudinal direction of the light source to convert the reflected light into the electrical signal, the surface inspector based on the converted electrical signal Further comprising an image generator for generating a raw image, wherein the image generator obtains a plurality of pixel values corresponding to the plurality of pixels based on the converted electrical signal, and a first coordinate to each of the plurality of pixel values and matching the second coordinates; correcting distortion information related to distortion of the shape of the subject in the image by moving at least one of the matched first coordinates and the matched second coordinates; and correcting distortion information related to the posture of the shape of the object in the image through coordinate rotation transformation of the first coordinate and the second coordinate. and improving the image quality of the outer region of the image by adding interpolated pixel values to the plurality of pixel values.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 선형 또는 막대형의 광원, 구동부 및 센서부를 포함하는 표면 검사기에서 금속 재질 피검사체의 표면을 검사하는 방법은, 상기 광원이 상기 금속 재질 피검사체의 선형 결무늬가 새겨진 일면에 광을 조사하는 단계; 상기 구동부가 상기 금속 재질 피검사체를, 상기 광원에 대하여 상대적으로, 그리고 상기 선형 결무늬의 길이 방향이 상기 광원의 길이 방향에 대하여 제1 경사각을 이루도록 유지하면서 운동시키는 단계; 및 상기 센서부가, 상기 운동하는 금속 재질 피검사체의 상기 일면에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환하는 단계를 포함할 수 있다.In the method of inspecting the surface of a metallic object in a surface inspector including a linear or rod-shaped light source, a driving unit, and a sensor unit of the present invention for solving the above-described technical problem, the light source is a linear texture of the metallic object to be inspected. Irradiating light on one side of the pattern; moving, by the driving unit, the metallic object to be inspected while maintaining a first inclination angle with respect to the light source and a longitudinal direction of the linear grain pattern with respect to the longitudinal direction of the light source; and receiving, by the sensor unit, the light reflected from the one surface of the moving metallic object to be converted into an electrical signal.

그리고, 상기 광을 조사하는 단계는, 상기 광원이, 상기 운동하는 금속 재질 피검사체의 상기 일면의 적어도 하나의 법선(normal line) 및 상기 센서부의 중심 축(axis) 중 적어도 하나와 제2 경사각을 이루는 방향으로 상기 일면에 상기 광을 조사할 수 있다.And, the step of irradiating the light, the light source, at least one normal line (normal line) of the one surface of the moving metallic object and at least one of the central axis (axis) of the sensor unit and a second inclination angle The light may be irradiated to the one surface in a direction formed.

또한, 상기 센서부는 상기 광원의 길이 방향에 나란하게 일렬 배치되어 상기 반사된 광을 상기 전기적 신호로 변환시키는 복수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 포함하고, 상기 표면 검사기는 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 영상을 생성하는 영상 생성부를 더 포함하고, 상기 영상 생성부가, 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 상기 복수의 픽셀에 대응하는 복수의 픽셀값을 획득하고 상기 복수의 픽셀값의 각각에 제1 좌표 및 제2 좌표를 매칭시키는 단계; 상기 매칭된 제1 좌표 및 상기 매칭된 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 영상 내 상기 금속 재질 피검사체의 형상의 일그러짐과 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계; 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 좌표 회전 변환을 통해 상기 영상 내 상기 금속 재질 피검사체의 형상의 자세와 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계; 및 상기 복수의 픽셀값에 보간된 픽셀값을 추가하여 상기 영상의 외곽 영역의 영상 품질을 향상시키는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the sensor unit includes an image sensor including a plurality of pixels arranged in parallel in the longitudinal direction of the light source to convert the reflected light into the electrical signal, the surface inspector based on the converted electrical signal Further comprising an image generator for generating a raw image, wherein the image generator obtains a plurality of pixel values corresponding to the plurality of pixels based on the converted electrical signal, and a first coordinate to each of the plurality of pixel values and matching the second coordinates; correcting distortion information related to distortion of the shape of the metallic object in the image by moving at least one of the matched first coordinates and the matched second coordinates; correcting distortion information related to a posture of the shape of the metallic object in the image through coordinate rotation transformation of the first coordinate and the second coordinate; and improving the image quality of the outer region of the image by adding interpolated pixel values to the plurality of pixel values.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록 매체는, 상기에 기재된 표면 검사 방법을 컴퓨터에서 실행시키기 위한 프로그램이 기록될 수 있다.In the computer-readable recording medium of the present invention for solving the above-described technical problem, a program for executing the surface inspection method described above in a computer may be recorded.

상술한 본 발명의 다양한 실시 예에 따르면, 표면 검사기 및 그 검사 방법에 있어서 금속과 같이 특정 방향으로 결 무늬가 형성된 물체 표면의 경우에도 빛 퍼짐의 방향성에 따른 광학 특성을 배제함으로써, 안정적인 검사 성능을 발휘할 수 있게 된다.According to the above-described various embodiments of the present invention, stable inspection performance is improved by excluding optical characteristics according to the direction of light spread even in the case of a surface of an object having a grain pattern formed in a specific direction, such as a metal, in a surface inspector and an inspection method thereof be able to perform

또한, 본 발명의 다양한 실시 예에 따르면, 결함이 강조된 표면 이미지를 획득하게 되어 물체 표면의 결함을 더욱 효과적으로 검출할 수 있게 된다.In addition, according to various embodiments of the present disclosure, a surface image in which a defect is emphasized is acquired, so that a defect on the surface of an object can be more effectively detected.

또한, 본 발명의 다양한 실시 예에 따르면, 미러와 같은 추가적인 구성을 최소화함으로써 표면 검사기의 광학계를 구성함에 있어 비용을 최소화할 수 있다.In addition, according to various embodiments of the present disclosure, it is possible to minimize the cost in configuring the optical system of the surface inspector by minimizing an additional configuration such as a mirror.

도 1은 금속 표면 가공에 따른 결 무늬를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 결 무늬 방향과 막대형 광원이 상호 이루는 자세에 따른 빛의 퍼짐 현상의 차이를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기를 나타내는 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기와 피검사체가 상호 이루는 자세를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기와 피검사체가 상호 이루는 자세를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기의 광원 및 센서부의 외관을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기의 각도 조절부 및 위치 조절부의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법을 수행하는 경우의 이미지 데이터의 처리 절차를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.1 is a view for explaining a grain pattern according to the metal surface processing.
2 is a diagram illustrating a difference in light spreading according to a direction of a grain pattern and a posture formed by a rod-shaped light source.
3 is a block diagram illustrating a surface inspector according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram illustrating a posture between a surface inspector and an object to be inspected according to an embodiment of the present invention.
5 is a diagram illustrating a posture between a surface inspector and an object to be inspected according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing the appearance of a light source and a sensor unit of the surface inspector according to an embodiment of the present invention.
7 is a view for explaining the operation of the angle adjusting unit and the position adjusting unit of the surface inspector according to an embodiment of the present invention.
8 is a view for explaining a processing procedure of image data when performing a surface inspection method according to an embodiment of the present invention.
9 is a flowchart illustrating a surface inspection method according to an embodiment of the present invention.
10 is a flowchart illustrating a surface inspection method according to an embodiment of the present invention.
11 is a flowchart illustrating a surface inspection method according to an embodiment of the present invention.
12 is a flowchart illustrating a surface inspection method according to an embodiment of the present invention.

이하의 내용은 단지 본 발명의 원리를 예시한다. 그러므로 당업자는 비록 본 명세서에 명확히 설명되거나 도시되지 않았지만 본 발명의 원리를 구현하고 본 발명의 개념과 범위에 포함된 다양한 장치를 발명할 수 있는 것이다. 또한, 본 명세서에 열거된 모든 조건부 용어 및 실시 예들은 원칙적으로, 본 발명의 개념이 이해되도록 하기 위한 목적으로만 명백히 의도되고, 이와 같이 특별히 열거된 실시 예들 및 상태들에 제한적이지 않는 것으로 이해되어야 한다.The following is merely illustrative of the principles of the invention. Therefore, those skilled in the art will be able to devise various devices which, although not explicitly described or shown herein, embody the principles of the present invention and are included within the spirit and scope of the present invention. In addition, it should be understood that all conditional terms and examples listed herein are, in principle, expressly intended only for the purpose of understanding the inventive concept and are not limited to the specifically enumerated embodiments and states as such. do.

또한, 본 발명의 원리, 관점 및 실시 예들뿐만 아니라 특정 실시 예를 열거하는 모든 상세한 설명은 이러한 사항의 구조적 및 기능적 균등물을 포함하도록 의도되는 것으로 이해되어야 한다. 또한 이러한 균등물들은 현재 공지된 균등물뿐만 아니라 장래에 개발될 균등물 즉 구조와 무관하게 동일한 기능을 수행하도록 발명된 모든 소자를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Moreover, it is to be understood that all detailed description reciting specific embodiments, as well as principles, aspects, and embodiments of the present invention, are intended to cover structural and functional equivalents thereof. It is also to be understood that such equivalents include not only currently known equivalents, but also equivalents developed in the future, i.e., all devices invented to perform the same function, regardless of structure.

따라서, 예를 들어, 본 명세서의 블럭도는 본 발명의 원리를 구체화하는 예시적인 회로의 개념적인 관점을 나타내는 것으로 이해되어야 한다. 이와 유사하게, 모든 흐름도, 상태 변환도, 의사 코드 등은 컴퓨터가 판독 가능한 매체에 실질적으로 나타낼 수 있고 컴퓨터 또는 프로세서가 명백히 도시되었는지 여부를 불문하고 컴퓨터 또는 프로세서에 의해 수행되는 다양한 프로세스를 나타내는 것으로 이해되어야 한다.Thus, for example, the block diagrams herein are to be understood as representing conceptual views of illustrative circuitry embodying the principles of the present invention. Similarly, all flowcharts, state transition diagrams, pseudo code, etc. may be tangibly embodied on computer-readable media and be understood to represent various processes performed by a computer or processor, whether or not a computer or processor is explicitly shown. should be

프로세서 또는 이와 유사한 개념으로 표시된 기능 블럭을 포함하는 도면에 도시된 다양한 소자의 기능은 전용 하드웨어뿐만 아니라 적절한 소프트웨어와 관련하여 소프트웨어를 실행할 능력을 가진 하드웨어의 사용으로 제공될 수 있다. 프로세서에 의해 제공될 때, 상기 기능은 단일 전용 프로세서, 단일 공유 프로세서 또는 복수의 개별적 프로세서에 의해 제공될 수 있고, 이들 중 일부는 공유될 수 있다.The functions of the various elements shown in the figures including a processor or functional blocks represented by similar concepts may be provided by the use of dedicated hardware as well as hardware having the ability to execute software in association with appropriate software. When provided by a processor, the functionality may be provided by a single dedicated processor, a single shared processor, or a plurality of separate processors, some of which may be shared.

또한 프로세서, 제어 또는 이와 유사한 개념으로 제시되는 용어의 명확한 사용은 소프트웨어를 실행할 능력을 가진 하드웨어를 배타적으로 인용하여 해석되어서는 아니되고, 제한 없이 디지털 신호 프로세서(DSP) 하드웨어, 소프트웨어를 저장하기 위한 롬(ROM), 램(RAM) 및 비 휘발성 메모리를 암시적으로 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 주지관용의 다른 하드웨어도 포함될 수 있다.In addition, clear use of terms presented as processor, control, or similar concepts should not be construed as exclusively referring to hardware having the ability to execute software, and without limitation, digital signal processor (DSP) hardware, ROM for storing software. It should be understood to implicitly include (ROM), RAM (RAM) and non-volatile memory. Other common hardware may also be included.

본 명세서의 청구범위에서, 상세한 설명에 기재된 기능을 수행하기 위한 수단으로 표현된 구성요소는 예를 들어 상기 기능을 수행하는 회로 소자의 조합 또는 펌웨어/마이크로 코드 등을 포함하는 모든 형식의 소프트웨어를 포함하는 기능을 수행하는 모든 방법을 포함하는 것으로 의도되었으며, 상기 기능을 수행하도록 상기 소프트웨어를 실행하기 위한 적절한 회로와 결합된다. 이러한 청구범위에 의해 정의되는 본 발명은 다양하게 열거된 수단에 의해 제공되는 기능들이 결합되고 청구항이 요구하는 방식과 결합되기 때문에 상기 기능을 제공할 수 있는 어떠한 수단도 본 명세서로부터 파악되는 것과 균등한 것으로 이해되어야 한다.In the claims of the present specification, a component expressed as a means for performing the function described in the detailed description includes, for example, a combination of circuit elements that perform the function or software in any form including firmware/microcode, etc. It is intended to include all methods of performing the functions of the device, coupled with suitable circuitry for executing the software to perform the functions. Since the present invention defined by these claims is combined with the functions provided by the various enumerated means and combined in a manner required by the claims, any means capable of providing the functions are equivalent to those contemplated from the present specification. should be understood as

상술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이며, 그에 따라 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. The above-described objects, features and advantages will become more apparent through the following detailed description in relation to the accompanying drawings, and accordingly, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement the technical idea of the present invention. There will be. In addition, in the description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a known technology related to the present invention may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

금속판은 산업계에서 제품의 외관 또는 지지구조를 형성하기 위해 광범위하게 사용된다. 특히 LCD와 같은 디스플레이 패널의 경우, 금속판 위에 백라이트, TFT, 컬러 필터와 같은 발광을 위한 부품들이 적층되는 구조로 형성된다. BACKGROUND ART Metal plates are widely used in industry to form the exterior or support structure of products. In particular, in the case of a display panel such as an LCD, it is formed in a structure in which light-emitting components such as a backlight, a TFT, and a color filter are stacked on a metal plate.

최근에 각광을 받고 있는 OLED([Organic Light Emitting Diodes) 방식의 디스플레이 패널은, 백라이트가 없이 유리판 위에 OLED 발광 소자 층을 올리고 그 위에 금속판을 얹는 방식으로 제조된다. 특히 OLED의 열화 현상을 방지하기 위해서는 금속판과 유리판 사이의 공간의 진공 상태를 유지하기 위해 기밀성을 확보하는 것이 중요하다. OLED (Organic Light Emitting Diodes) type display panel, which has recently been spotlighted, is manufactured by placing an OLED light emitting device layer on a glass plate without a backlight and placing a metal plate thereon. In particular, in order to prevent deterioration of the OLED, it is important to secure airtightness in order to maintain a vacuum state of the space between the metal plate and the glass plate.

또한 근래에는 디스플레이 패널의 금속판이 스피커의 진동판 역할을 겸하는 등 그 중요성이 강화되고 있기도 하다.Also, in recent years, the importance of the metal plate of the display panel has been strengthened, such as serving as the diaphragm of the speaker.

상기와 같은 기밀성, 음향 특성 등의 품질을 확보하기 위해 디스플레이 제조 공정에서 금속판의 표면 품질을 관리하는 것은 매우 중요한 일이다. 금속판의 경우, 찍힘이나 긁힘 등의 외부 충격에 취약하며 이로 인해 발생한 자국 등의 결함은 기밀성 등에 부정적인 영향을 미칠 수 있다. 이에 따라 디스플레이 패널의 제조 공정에는 상기 금속판의 표면을 검사하는 공정이 포함되어야 한다.It is very important to manage the surface quality of the metal plate in the display manufacturing process in order to secure the quality such as airtightness and acoustic properties as described above. In the case of a metal plate, it is vulnerable to external impacts such as dents or scratches, and defects such as marks may have a negative effect on airtightness and the like. Accordingly, the manufacturing process of the display panel should include a process of inspecting the surface of the metal plate.

다만 본 발명의 표면 검사기 및 표면 검사 방법의 표면 검사 대상인 피검사체는 상기와 같은 금속판에 한정되지는 않는다. 실시 예에 따라, 합성 수지나 목재 등 다양한 재질의 피검사체의 표면 검사에 적용될 수 있다.However, the object to be inspected for the surface inspection of the surface inspection machine and the surface inspection method of the present invention is not limited to the metal plate as described above. According to an embodiment, it may be applied to the surface inspection of an object to be inspected of various materials such as synthetic resin or wood.

이와 같은 금속판 등 피검사체의 표면 검사는 라인 스캐닝 등 비파괴 광학 검사 방식의 표면 검사기를 사용하여 진행될 수 있다. 이러한 라인 스캔 방식의 표면 검사기는 광원과 상기 광원에서 조사되어 피검사체의 일 표면에서 반사되는 광을 픽셀이 일렬로 배치된 이미지 센서를 통해 스캔하여 영상을 획득하고, 이 영상을 분석하여 결함(defect)를 검출하는 방식으로 운용된다. 이를 위해 상기 광원은 막대 모양 등의 길쭉한 직선 형태로 형성되어 피검사체 표면의 촬영 대상 영역을 집중적으로 비추는 것이 바람직하다.The surface inspection of an object to be inspected, such as a metal plate, may be performed using a non-destructive optical inspection type surface inspector such as line scanning. Such a line scan type surface inspector scans a light source and light reflected from one surface of the object after being irradiated from the light source through an image sensor in which pixels are arranged in a row to obtain an image, and analyzing the image to detect defects. ) is used to detect To this end, it is preferable that the light source is formed in an elongated straight shape, such as a bar shape, to intensively illuminate the area to be photographed on the surface of the subject.

그러나 피검사체의 표면에 결무늬와 같은 특정 형태의 비 결함 패턴이 형성되어 있는 경우, 그에 따라 빛 퍼짐 현상과 같은 광학 특성이 존재하게 된다.However, when a specific type of non-defect pattern such as a grain pattern is formed on the surface of the object, optical properties such as light diffusion are present accordingly.

도 1은 금속 표면 가공에 따른 결무늬를 설명하기 위한 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 금속 재질 피검사체(1100)의 표면(1110)에는, 특정 방향(도 1의 가로 방향)으로 특유의 결무늬가 관찰된다. 이러한 결무늬는 복수의 골과 산으로 이루어진 라인(line)이 나란하게 배열된 패턴을 의미할 수 있다. 1 is a view for explaining a grain pattern according to the metal surface processing. As shown in FIG. 1 , a characteristic grain pattern is observed in a specific direction (horizontal direction in FIG. 1 ) on the surface 1110 of the metallic object 1100 . Such a grain pattern may mean a pattern in which a line consisting of a plurality of valleys and mountains is arranged side by side.

상기 결무늬는 금속 표면 가공에 의해 형성될 수 있다. 이러한 금속 표면 가공 중 대표적인 것은 사포질과 같은 연마 가공이며, 그외 선반, 밀링머신 등의 삭제 공정이나 압출 공정 등에 의해서도 발생할 수 있다. 또한 비금속 재질의 경우에도 역시 압출, 롤러와 같은 성형 공정이나, 대패, 연마 공정 등에 의해 의해 결무늬가 발생할 수 있다.The grain pattern may be formed by metal surface processing. A typical example of such metal surface processing is abrasive processing such as sandpapering, and it may also be generated by a removal process such as a lathe or milling machine or an extrusion process. Also, in the case of non-metallic materials, grain patterns may be generated by molding processes such as extrusion and rollers, planers, and polishing processes.

이러한 결무늬의 배열에 따라 금속 등 피검사체의 표면은 특정한 광학 성질을 갖게 된다. According to the arrangement of the grain pattern, the surface of the object, such as metal, has specific optical properties.

도 2는 결무늬 방향과 막대형 광원이 상호 이루는 자세에 따른 빛의 퍼짐 현상의 차이를 나타내는 도면이다. 도 2 (a), (b)의 상단의 화살표는 피검사체(1000, 1100)의 조명에 대한 상대적인 운동 방향을 의미한다. 이와 같은 상대적인 운동 중에 상기 피검사체를 스캔 촬영하게 된다.2 is a diagram illustrating a difference in light spreading according to a direction of a grain pattern and a posture formed by a rod-shaped light source. The arrows at the top of FIGS. 2 (a) and (b) mean the relative movement directions of the objects 1000 and 1100 to the illumination. During this relative movement, the subject is scanned and photographed.

도 2 (a)에 도시된 바와 같이, 막대형 광원(100)의 길이 방향(도 2 (a)의 가로 방향)과 피검사체(1000, 1100)의 결무늬가 형성된 방향이 동일한 경우, 피검사체(1000, 1100)의 일면에 조사된 빛이 폭 방향(도 2 (a)의 세로 방향)으로 많이 퍼지지 않아 촬영 대상 영역이 집중적으로 밝게 빛나는 것을 알 수 있다. As shown in Fig. 2 (a), when the longitudinal direction of the rod-shaped light source 100 (the horizontal direction of Fig. 2 (a)) and the direction in which the grain patterns of the subjects 1000 and 1100 are formed are the same, the subject to be inspected It can be seen that the light irradiated on one surface of (1000, 1100) does not spread much in the width direction (the vertical direction of FIG.

그러나 도 2 (b)에 도시된 바와 같이, 막대형 광원(100)의 길이 방향(도 2 (a)의 가로 방향)과 피검사체(1000, 1100)의 결무늬가 형성된 방향이 수직인 경우, 피검사체(1000, 1100)의 일면에 조사된 빛이 폭 방향(도 2 (a)의 세로 방향)으로 넓게 분산(퍼짐)되어 정작 촬영 대상 영역은 상대적으로 어둡게 된다. 따라서 도 2 (b)의 경우 피검사체(1000, 1100)의 표면의 결함이 제대로 검출되지 못하게 되어 품질 저하로 이어질 가능성이 매우 높다.However, as shown in Fig. 2 (b), when the longitudinal direction of the rod-shaped light source 100 (the horizontal direction of Fig. 2 (a)) and the direction in which the grain patterns of the subject 1000 and 1100 are formed are perpendicular, Light irradiated to one surface of the objects 1000 and 1100 is widely dispersed (spread) in the width direction (the vertical direction in FIG. Therefore, in the case of (b) of FIG. 2 , defects on the surfaces of the objects 1000 and 1100 are not properly detected, which is highly likely to lead to deterioration in quality.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기를 나타내는 블록도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기(10)는, 광원(100), 구동부(200) 및 센서부(300)를 포함할 수 있다.3 is a block diagram illustrating a surface inspector according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3 , the surface inspector 10 according to an embodiment of the present invention may include a light source 100 , a driving unit 200 , and a sensor unit 300 .

상기 광원(100)는 피검사체(1000)의 일면(1010)에 광(光)을 조사할 수 있다. 또한 일 실시 예에 따라 선형 또는 막대형으로 형성될 수 있다. 이러한 광원의 형상은 라인 스캔 방식의 촬영 시에 촬영 영역을 집중적으로 조사함으로써 유리하게 이용될 수 있다. 긴 막대 형상의 램프나, LED 램프의 일직선 배열 등에 의해 구현될 수 있다. 또한 렌즈 등의 광학 구성을 포함하여 피검사체(1000)의 표면에 집광이 이루어지도록 구성하는 것도 바람직하다.The light source 100 may irradiate light to one surface 1010 of the subject 1000 . In addition, according to an embodiment, it may be formed in a linear or bar shape. The shape of such a light source may be advantageously used by intensively irradiating a photographing area during line scan imaging. It may be implemented by a long bar-shaped lamp or a straight-line arrangement of LED lamps. In addition, it is also preferable to include an optical configuration such as a lens so that light is collected on the surface of the inspected object 1000 .

상기의 기재에서 선형 또는 막대형이라 함은, 광을 형성하는 램프와 같은 소스(source)의 형상 또는 배열이 실질적으로 일직선 형태인 것을 포함하는 것을 의미할 수 있다. 따라서, 광을 형성하는 소스를 일직선으로 배열하고, 이러한 소스를 지지하는 하우징 등의 부재를 다른 형태로 구성한 경우는 본 발명의 선형 또는 막대형의 광원(100)의 의미 범위에 포함된다. 또한 실질적으로 일직선으로 배열된 소스들을 포함하고, 일부 일직선을 이탈하는 소스를 추가하는 경우에도 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 보아야 한다.In the above description, the term “linear” or “rod” may mean that the shape or arrangement of a source such as a lamp for forming light is substantially linear. Accordingly, a case in which a source for forming light is arranged in a straight line and a member such as a housing supporting the source is configured in another form is included in the meaning of the linear or rod-shaped light source 100 of the present invention. In addition, it should be considered to be included in the scope of the present invention even if it includes sources that are substantially arranged in a straight line, and adds a source that deviates from some straight lines.

상기 광원(100)에서 조사되는 광은 가시광선인 것이 바람직하다. 다만 실시 예에 따라서는 레이저나, 적외선, 자외선과 같은 다른 광을 활용할 수 있다.The light irradiated from the light source 100 is preferably visible light. However, depending on the embodiment, other light such as a laser, infrared rays, or ultraviolet rays may be used.

상기 피검사체(1000)는 일면(1010)에는 특정 방향의 결무늬가 형성되어 있을 수 있다.A grain pattern in a specific direction may be formed on one surface 1010 of the subject 1000 .

상기 피검사체(1000)는 금속 재질의 피검사체(1100)일 수 있다. 또한 상기 피검사체(1000)의 일면(1010)은 금속 재질의 피검사체(1100)의 일면(1110)일 수 있다.The subject 1000 may be the subject 1100 made of a metal material. In addition, one surface 1010 of the object 1000 may be one surface 1110 of the object 1100 made of a metal material.

상기 금속 재질의 피검사체(1100)의 일면(1110)에는 특정 방향의 결무늬가 형성되어 있을 수 있다.A grain pattern in a specific direction may be formed on one surface 1110 of the object 1100 made of metal.

상기 구동부(200)는, 상기 피검사체(1000)를, 상기 광원(100)에 대하여 상대적으로, 그리고 상기 광원(100)의 길이 방향에 대하여 제1 경사각(180)을 이루는 방향으로 운동시킬 수 있다.The driving unit 200 may move the subject 1000 relative to the light source 100 and in a direction forming a first inclination angle 180 with respect to the longitudinal direction of the light source 100 . .

상기와 같이 상대적으로 운동한다 함은, 상기 피검사체(1000)가 운동하고 상기 광원(100)이 고정되는 경우, 상기 피검사체(1000)가 고정되고 상기 광원(100)이 운동하는 경우, 상기 피검사체(1000)와 상기 광원(100)이 모두 운동하되 그 운동 방향 또는 속도 중 적어도 하나가 다른 경우를 모두 포함한다.Relatively moving as described above means when the subject 1000 moves and the light source 100 is fixed, when the subject 1000 is fixed and the light source 100 moves, This includes all cases in which the cadaver 1000 and the light source 100 both move, but at least one of the direction or speed of the movement is different.

구동부(200)는 상기와 같은 상대적인 운동을 구현하기 위해 다양하게 구현될 수 있다. 일 실시 예로, 상기 피검사체(1000)를 거치하는 거치대 (미도시)를 구비하고, 상기 거치대(미도시)를 리니어 모터, 컨베이어 벨트 등의 직선 구동 수단에 의해 이동시키는 방식으로 구현될 수 있다. 다른 실시 예로 상기 광원(100)을 직선 이동시키는 방식으로 구현될 수도 있다. 다만 이에 국한 되지 않고 검사 환경에 맞게 로봇, 드론 등의 다양한 수단으로 구현될 수 있다.The driving unit 200 may be implemented in various ways to implement the relative motion as described above. In one embodiment, a cradle (not shown) on which the subject 1000 is mounted may be provided, and the cradle (not shown) may be implemented in a manner of moving the cradle (not shown) by a linear driving means such as a linear motor or a conveyor belt. In another embodiment, the light source 100 may be implemented in a linear manner. However, the present invention is not limited thereto and may be implemented by various means such as robots and drones to suit the inspection environment.

도 4 및 도 5는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기와 피검사체가 상호 이루는 자세를 나타내는 도면이다. 도 4 (a)는 본 발명에 따른 표면 검사기(10)의 광원(100)의 길이 방향(도 4(a)의 가로 방향) 상기 피검사체(1000)의 일면의 상기 광원에 대한 상대적인 진행 방향(도 4의 상단의 화살표 방향)과 수직인 경우를 의미한다. 4 and 5 are diagrams illustrating the postures of the surface inspector and the object to be inspected, respectively, according to an embodiment of the present invention. 4 (a) is a longitudinal direction (horizontal direction in FIG. 4 (a)) of the light source 100 of the surface inspector 10 according to the present invention. It means a case perpendicular to the direction of the arrow at the top of FIG. 4 ).

도 4와 같은 경우, 상기 피검사체(1000)의 광학 검사 대상인 일면(1010)에 형성된 결무늬의 방향이 광원(100)과 나란하게 배치되어 있다면, 광(光)이 상기 일면(1010) 상에서 폭 방향으로 넓게 퍼지지 않아 집중적인 조명 효과가 발생하게 되고 이에 따라 스캔 촬영 및 검사 성능이 만족스럽지만, 그렇지 않고 수직으로 배치된 경우에는 스캔 촬영 및 검사 성능이 현저하게 떨어지게 된다. 즉, 피검사체(1000)를 투입 상태에 따라 검사 결과가 불균일할 수 있다. In the case of FIG. 4 , if the direction of the grain pattern formed on one surface 1010 , which is the optical inspection target of the object 1000 , is arranged in parallel with the light source 100 , the light is spread on the one surface 1010 . Since it does not spread widely in the direction, an intensive lighting effect is generated. Accordingly, the scanning and inspection performance is satisfactory, but if it is otherwise vertically arranged, the scanning and inspection performance is remarkably deteriorated. That is, the test result may be non-uniform depending on the input state of the subject 1000 .

본 발명의 표면 검사기(10)의 구동부(200)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 피검사체(1000)를 광원(100)에 대하여 상대적으로 운동시키면서, 상기 광원(100)의 길이 방향에 대하여 제1 경사각(180)을 이루는 운동 방향을 유지할 수 있다.As shown in FIG. 5 , the driving unit 200 of the surface inspector 10 of the present invention moves the subject 1000 relative to the light source 100 , while in the longitudinal direction of the light source 100 . The direction of movement forming the first inclination angle 180 may be maintained.

제1 경사각(180)은 경사를 이루는 소정의 각을 의미할 수 있다. 경사를 이룬다 함은 비스듬히 기울어진 상태를 의미하며 이는 수평이나 수직이 되지 아니하고 한쪽으로 기운 상태를 의미할 수 있다.The first inclination angle 180 may mean a predetermined angle forming an inclination. Inclined means a state that is inclined at an angle, which may mean a state that is inclined to one side rather than being horizontal or vertical.

본 발명의 기재에서 수직, 평행, 나란함, 경사(각) 등은 기하학적으로 정확한 개념으로 한정되지는 않으며, 본 발명이 적용되는 기술 분야에서 통용되는 실질적인 개념을 포함할 수 있다. 또는 소정의 오차 범위를 허용하는 개념일 수 있다. 따라서 '실질적으로 수직', '실질적으로 평행', '실질적으로 나란함', '실질적인 경사(각)' 등으로 대체될 수 있다.In the description of the present invention, vertical, parallel, parallel, inclination (angle), etc. are not limited to geometrically precise concepts, and may include practical concepts commonly used in the technical field to which the present invention is applied. Alternatively, it may be a concept that allows a predetermined error range. Therefore, 'substantially perpendicular', 'substantially parallel', 'substantially parallel', 'substantially inclined (angle)', etc. may be replaced.

그리고, 상기 광원(100)은 그 길이 방향이 상기 피검사체(1000)의 상기 일면(1010)과 평행을 이룰 수 있다. 즉, 상기 일면(1010)의 측방에서 관찰했을 때, 상기 일면(1010)과 상기 광원(100)은 나란하게 관찰될 수 있다.In addition, the light source 100 may have a longitudinal direction parallel to the one surface 1010 of the subject 1000 . That is, when viewed from the side of the one surface 1010 , the one surface 1010 and the light source 100 may be observed side by side.

상기 제1 경사각(180)은 30도 이상 60도 이하, 120도 이상 150도 이하, 210도 이상 240도 이하 및 300도 이상 330도 이하 중 어느 하나의 범위에 속할 수 있다. 보다 바람직하게는, 상기 제1 경사각(180)은 45도 또는 135도 또는 225도 또는 315도일 수 있다. 도 5의 경우, 상기 제1 경사각(180)은 실질적으로 45도인 것으로 도시되어 있다.The first inclination angle 180 may be in any one of 30 degrees or more and 60 degrees or less, 120 degrees or more and 150 degrees or less, 210 degrees or more and 240 degrees or less, and 300 degrees or more and 330 degrees or less. More preferably, the first inclination angle 180 may be 45 degrees or 135 degrees or 225 degrees or 315 degrees. 5 , the first inclination angle 180 is illustrated as being substantially 45 degrees.

이와 같이 제1 경사각(180)을 이루도록 상기 광원(100)을 배치함으로써, 일면(1010)에 새겨진 결무늬의 방향에 상관 없이 상기 일면(1010)에서의 빛의 퍼지는 정도를 균일하게 유지하고 이에 따라 촬영 및 검사의 성능도 균일하게 유지할 수 있게 된다. By disposing the light source 100 so as to form the first inclination angle 180 in this way, the degree of spread of light on the one surface 1010 is uniformly maintained regardless of the direction of the grain pattern engraved on the one surface 1010, and accordingly The performance of imaging and inspection can also be maintained uniformly.

또한 이에 따라 영역 스캔(area scanning) 방식의 별도 검사 장비를 추가하거나 육안 감별 등 별도의 번거로운 절차를 거치지 않고도 고성능의 검사가 구현될 수 있다.In addition, high-performance inspection can be implemented without adding separate inspection equipment of an area scanning method or going through a separate cumbersome procedure such as visual identification.

상기 센서부(300)는, 상기 운동하는 피검사체(1000)의 상기 일면(1010)에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환할 수 있다. 상기 변환된 전기적 신호는 결함 검출을 위한 영상을 생성하기 위한 기초가 될 수 있다.The sensor unit 300 may receive the light reflected from the one surface 1010 of the moving subject 1000 and convert it into an electrical signal. The converted electrical signal may be a basis for generating an image for detecting a defect.

본 발명의 일 실시 예에 따라 상기 표면 검사기(10)는 제어부(800), 입력부(910), 통신부(920), 전원 공급부(930) 및 출력부(940)를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the surface inspector 10 may further include a control unit 800 , an input unit 910 , a communication unit 920 , a power supply unit 930 , and an output unit 940 .

상기 제어부(800)는, 상기 광원(100), 구동부(200) 및 센서부(300)를 포함하여 본 발명의 표면 검사기(10)를 구성하는 각종의 기능부들의 동작을 제어하는 구성일 수 있다. 일 실시 예에 따라, 마이크로프로세서와 같은 연산 소자 및/또는 메모리칩과 같은 일시/비일시적 저장 수단을 포함할 수 있다. 또한 상기 기능부들의 근거리에서 전기적으로 유선 연결 될 수 있고, 또는 근거리 또는 원격으로 무선 연결될 수 있다.The control unit 800 may be configured to control the operation of various functional units constituting the surface inspector 10 of the present invention, including the light source 100 , the driving unit 200 , and the sensor unit 300 . . According to an embodiment, it may include an arithmetic element such as a microprocessor and/or temporary/non-transitory storage means such as a memory chip. In addition, the functional units may be electrically wired in a short distance, or may be wirelessly connected in a short distance or remotely.

입력부(910)는 표면 검사기(10)를 조작하는 사용자 입력을 수신할 수 있다. 특히, 입력부(910)는 표면 검사기(10)의 동작 모드를 선택하는 사용자 입력을 수신할 수 있다.The input unit 910 may receive a user input for operating the surface inspector 10 . In particular, the input unit 910 may receive a user input for selecting an operation mode of the surface inspector 10 .

여기서, 입력부(910)는 키 패드(key pad) 돔 스위치 (dome switch), 터치 패드(정압/정전), 조그 휠, 조그 스위치 등으로 구성될 수 있다.Here, the input unit 910 may include a keypad, a dome switch, a touch pad (static pressure/capacitance), a jog wheel, a jog switch, and the like.

통신부(920)는 표면 검사기(10)와 다른 무선 단말 사이 또는 표면 검사기(10)와 다른 무선 단말이 위치한 네트워크 사이의 무선 통신을 가능하게 하는 하나 이상의 모듈을 포함할 수 있다. 예를 들어, 통신부(920)는 원격 제어 장치로서의 무선 단말과 통신할 수 있으며, 이를 위한 근거리 통신 모듈 또는 무선 인터넷 모듈 등을 포함할 수 있다.The communication unit 920 may include one or more modules that enable wireless communication between the surface inspector 10 and another wireless terminal or between the surface inspector 10 and a network in which the other wireless terminal is located. For example, the communication unit 920 may communicate with a wireless terminal as a remote control device, and may include a short-range communication module or a wireless Internet module for this purpose.

전원 공급부(930)는 표면 검사기(10) 에 전원을 공급한다. 구체적으로 전원 공급부(930)는 표면 검사기(10)를 구성하는 각 기능부들에 전원을 공급할 수 있다. The power supply unit 930 supplies power to the surface inspector 10 . Specifically, the power supply unit 930 may supply power to each functional unit constituting the surface inspector 10 .

출력부(940)는 시각, 청각 등과 관련된 출력을 발생시키기 위한 것으로, 도면에는 도시되지 않았으나, 디스플레이부, 음향 출력 모듈 및 알람부 등이 포함될 수 있다. 디스플레이부는 표면 검사기(10)에서 처리되는 정보를 UI(User Interface) 또는 GUI(Graphic User Interface) 등으로 표시(출력)할 수 있다.The output unit 940 is for generating an output related to vision and hearing, and although not shown in the drawings, a display unit, a sound output module, an alarm unit, and the like may be included. The display unit may display (output) information processed by the surface inspector 10 as a user interface (UI) or a graphic user interface (GUI).

본 발명의 일 실시 예에 따라, 상기 구동부(200)에 의해 상기 피검사체(1000)이 상기 광원(100)에 대하여 상대적으로 운동하는 방향과 상기 광원(100)의 길이 방향이 이루는 각은, 직각 및 상기 제1 경사각(180) 중 어느 하나로 절환될 수 있다. 이에 따라 본 발명의 표면 검사기(10)는, 상기 절환 동작을 위한 별도의 절환부(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 절환부(미도시)는 수동으로 또는 상기 제어부(800)의 제어에 의해 자동으로 상기 절환 동작을 수행할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, an angle between a direction in which the subject 1000 moves relative to the light source 100 by the driving unit 200 and a longitudinal direction of the light source 100 is a right angle. and one of the first inclination angles 180 may be switched. Accordingly, the surface inspector 10 of the present invention may include a separate switching unit (not shown) for the switching operation. The switching unit (not shown) may perform the switching operation manually or automatically under the control of the controller 800 .

도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기의 광원 및 센서부의 외관을 나타내는 도면이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 광원(100)은, 상기 피검사체(1000)의 상기 일면(1010)의 적어도 하나의 법선(normal line)과 제2 경사각(190)을 이루는 방향으로 상기 일면(1010)에 상기 광을 조사할 수 있다.6 is a view showing the appearance of a light source and a sensor unit of the surface inspector according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6 , the light source 100 includes at least one normal line and a second inclination angle 190 of the one surface 1010 of the subject 1000 in a direction forming the one surface ( 1010) may be irradiated with the light.

또한 상기 광원(100)은, 상기 센서부(300)의 중심 축(axis)과 제2 경사각(190)을 이루는 방향으로 상기 일면(1010)에 상기 광을 조사할 수 있다.In addition, the light source 100 may irradiate the light to the one surface 1010 in a direction forming a second inclination angle 190 with a central axis of the sensor unit 300 .

이와 같이 광을 비스듬히 조사함으로써, 상기 피검사체(1000)의 일면(1010)에 형성된 결함(자국)에 음영이 도드라져, 영상에서 보다 선명하게 검출될 수 있다. By irradiating the light obliquely as described above, the shadows stand out on the defects (marks) formed on the one surface 1010 of the object 1000 , so that it can be detected more clearly in the image.

또한 광원(100)에서 조사된 광의 경로와 상기 센서부(300)의 수광 경로가 겹치거나 간섭되는 것을 피할 수 있게 되어 미러나 프리즘과 같은 광학 부재의 추가를 피할 수 있어 비용이 절감되는 효과가 있다.In addition, since it is possible to avoid overlapping or interfering with the path of the light irradiated from the light source 100 and the light receiving path of the sensor unit 300, it is possible to avoid adding an optical member such as a mirror or a prism, thereby reducing costs. .

또한 본 발명의 광원(100)의 길이 방향이 피검사체(1000)의 진행방향 또는 피검사면(1010)의 결무늬 방향과 제1 경사각(180)을 이루도록 배치됨으로 인하여 안정적인 빛 퍼짐 상태를 유지하는 것으로 인해 상기 광원(100)의 조사 경로를 비스듬히 제2 경사각(190)을 두고 배치하는 것 또한 상승 효과를 발휘하게 된다. 빛 퍼짐 상태가 피검사체(1000)의 결 무늬 방향에 따라 불균일한 경우, 상기 광원(100)의 조사 경로가 비스듬하게 되면, 경우에 따라 빛 퍼짐에 따른 부정적 효과가 확대될 수 있다. In addition, since the longitudinal direction of the light source 100 of the present invention is disposed to form a first inclination angle 180 with the moving direction of the subject 1000 or the grain pattern direction of the inspected surface 1010, to maintain a stable light spreading state. For this reason, arranging the irradiation path of the light source 100 obliquely with the second inclination angle 190 also exhibits a synergistic effect. When the light spreading state is non-uniform according to the grain pattern direction of the subject 1000, if the irradiation path of the light source 100 is oblique, the negative effect of the light spreading may be expanded in some cases.

상기 제2 경사각(190)은 2도 이상 80도 이하일 수 있다. 보다 바람직하게는 상기 제2 경사각(190)은 10도인 것이 바람직하다.The second inclination angle 190 may be 2 degrees or more and 80 degrees or less. More preferably, the second inclination angle 190 is 10 degrees.

또한 본 발명의 일 실시 예에 따라, 상기 센서부(300)는, 상기 반사된 광이 입사되는 렌즈(310) 및 상기 렌즈(310)를 투과한 상기 반사된 광이 입사되는 이미지 센서(320)를 포함할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, the sensor unit 300 includes a lens 310 to which the reflected light is incident and an image sensor 320 to which the reflected light passing through the lens 310 is incident. may include.

상기 이미지 센서(320)는, 광을 수광하여 전기적 신호로 변환시키는 픽셀(pixel)이 일렬로 배치된 픽셀 열을 포함할 수 있다.The image sensor 320 may include a pixel column in which pixels that receive light and convert it into an electrical signal are arranged in a row.

상기 이미지 센서(320)는, 이미지를 중첩적으로 촬영하여 이미지의 선명도를 향상시키도록, 상기의 픽셀 열이 다층으로 배치된 구조를 포함할 수 있다. 일 실시 예로 상기 이미지 센서(320)는 TDI(Time Delay and Integration) 센서로 구현될 수 있다.The image sensor 320 may include a structure in which the pixel columns are arranged in multiple layers so as to enhance image clarity by overlapping images. In an embodiment, the image sensor 320 may be implemented as a Time Delay and Integration (TDI) sensor.

본 발명의 일 실시 예에서, 상기의 이미지 센서(320)에 포함되는 픽셀 열은 상기 광원(100)의 길이 방향과 나란하게 배치될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the pixel column included in the image sensor 320 may be arranged in parallel with the longitudinal direction of the light source 100 .

본 발명의 다른 실시 예에서, 본 발명의 표면 검사기(10)에 반사경이나 프리즘, 또는 렌즈와 같은 별도의 광학계 구성을 부가하여, 상기 이미지 센서(320)가 상기 광원(100)의 길이 방향과 나란한 방향의 라인 형상의 이미지로 변환가능한 광을 수광하도록 형성하는 것도 가능하다.In another embodiment of the present invention, by adding a separate optical system configuration such as a reflector, a prism, or a lens to the surface inspector 10 of the present invention, the image sensor 320 is parallel to the longitudinal direction of the light source 100 . It is also possible to form so as to receive light convertible into a line-shaped image of a direction.

상기 센서부(300)의 중심 축(axis)은 상기 렌즈(310)의 축(311)이고, 상기 광원(100)은 상기 렌즈(310)의 축(311)과 상기 제2 경사각(190)을 이루는 방향으로 상기 일면(1010)에 상기 광을 조사할 수 있다.The central axis of the sensor unit 300 is the axis 311 of the lens 310 , and the light source 100 is the axis 311 of the lens 310 and the second inclination angle 190 . The light may be irradiated to the one surface 1010 in a direction formed.

그리고, 상기 광의 조사 방향과 상기 적어도 하나의 법선 방향 및/또는 이 이루는 각도는, 상기 제2 경사각(190)을 포함하는 소정의 각도 범위 내에서 변경 가능할 수 있다.In addition, the irradiation direction of the light and the at least one normal direction and/or an angle formed therebetween may be changeable within a predetermined angle range including the second inclination angle 190 .

도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기의 각도 조절부 및 위치 조절부의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 도 7 (a)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기(10)는, 상기 광원(100)의 상기 광의 조사 방향과, 상기 적어도 하나의 법선 방향 및/또는 상기 센서부(300)의 중심 축이 이루는 각도를 변경하는 각도 조절부(400)를 더 포함할 수 있다.7 is a view for explaining the operation of the angle adjusting unit and the position adjusting unit of the surface inspector according to an embodiment of the present invention. 7 (a), the surface inspector 10 according to an embodiment of the present invention, the light irradiation direction of the light source 100, the at least one normal direction and/or the sensor unit It may further include an angle adjusting unit 400 for changing the angle formed by the central axis of 300 .

그리고, 상기 각도 조절부(400)는, 일측에 돌출된 걸림구(411)가 형성된 제1 부재(410) 및 상기 걸림구(411)가 삽입되어 제한된 굴절범위를 갖도록 소정의 유동 폭을 갖는 원호 형상의 장홈(421)이 형성된 제2 부재(420)를 포함할 수 있다.In addition, the angle adjusting unit 400 is a circular arc having a predetermined flow width so that the first member 410 and the locking sphere 411 are inserted to have a limited refraction range, the first member 410 having a locking hole 411 protruding on one side is inserted. It may include a second member 420 in which the long groove 421 of the shape is formed.

또한 도 7 (b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기(10)는, 상기 광원(100)의 상기 피검사체(1000)으로부터 떨어진 거리를 조절 가능한 위치 조절부(500)를 더 포함할 수 있다. 이러한 위치 조절부(500)는 슬라이딩 방식으로 구현될 수 있다.In addition, as shown in Fig. 7 (b), the surface inspector 10 according to an embodiment of the present invention has a position adjusting unit 500 capable of adjusting the distance of the light source 100 away from the subject 1000 to be inspected. ) may be further included. The position adjusting unit 500 may be implemented in a sliding manner.

상기 각도 조절부(400) 및/또는 위치 조절부(500)는 수동으로, 또는 상기 제어부(800)의 제어에 의해 자동으로 동작할 수 있다.The angle adjusting unit 400 and/or the position adjusting unit 500 may be operated manually or automatically under the control of the controller 800 .

또한, 상기 센서부(300)는, 상기 광원(100)의 길이 방향에 나란하게 일렬 배치되어 상기 반사된 광을 상기 전기적 신호로 변환시키는 복수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서(320)를 포함할 수 있다. 일 실시 예에서 상기 이미지 센서(320)는 CCD 또는 CMOS 타입일 수 있다.In addition, the sensor unit 300 may include an image sensor 320 including a plurality of pixels arranged in parallel in the longitudinal direction of the light source 100 to convert the reflected light into the electrical signal. have. In an embodiment, the image sensor 320 may be a CCD or CMOS type.

상기 표면 검사기(10)는, 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 상기 복수의 픽셀에 대응하는 복수의 픽셀값을 획득하고 상기 획득된 복수의 픽셀값을 기초로 영상을 생성하는 영상 생성부(600)를 더 포함할 수 있다. The surface inspector 10 obtains a plurality of pixel values corresponding to the plurality of pixels based on the converted electrical signal and generates an image based on the obtained plurality of pixel values. may further include.

상기 영상 생성부(600)는, 상기 제1 경사각(180)에 따라 발생하는 상기 복수의 픽셀값의 왜곡 정보를, 좌표 이동 변환 작용, 좌표 회전 변환 작용 및 픽셀값 보간 작용 중 적어도 하나를 포함하는 보정 작업을 거쳐 상기 영상을 생성할 수 있다. The image generator 600 includes at least one of a coordinate movement transformation operation, a coordinate rotation transformation operation, and a pixel value interpolation operation for the distortion information of the plurality of pixel values generated according to the first inclination angle 180 . The image may be generated through a correction operation.

상기 영상 생성부(600)는, 상기 센서부(300)와 유선으로 연결될 수 있다. 다른 실시 예로 근거리에 분리되어 무선 연결될 수 있고, 또는 외부 서버나 단말기 등으로 구현되어 장거리 원격으로 영상을 생성할 수 있다.The image generating unit 600 may be connected to the sensor unit 300 by wire. In another embodiment, it may be separated and wirelessly connected in a short distance, or it may be implemented as an external server or terminal to generate an image remotely over a long distance.

상기 픽셀은 상기 이미지 센서(320)를 이루는 단위 소자로서, 수광한 광을 전기적 신호로 바꾸는 소자를 의미할 수 있다. 상기 픽셀값은 상기 픽셀에서 출력되는 전기적 신호의 세기의 정보를 포함하는 값일 수 있다. 실시 예에 따라 0 내지 255 또는 0 내지 65535 등의 값 범위를 가질 수 있다.The pixel is a unit element constituting the image sensor 320 and may refer to an element that converts received light into an electrical signal. The pixel value may be a value including information on the strength of an electrical signal output from the pixel. According to an embodiment, it may have a value range of 0 to 255 or 0 to 65535.

도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법을 수행하는 경우의 이미지 데이터의 처리 절차를 설명하기 위한 도면이다.8 is a view for explaining a processing procedure of image data when performing a surface inspection method according to an embodiment of the present invention.

도 8의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 영상 생성부(600)는, 상기 복수의 픽셀값의 각각에 제1 좌표 및 제2 좌표를 매칭시킬 수 있다.As illustrated in FIG. 8A , the image generator 600 may match a first coordinate and a second coordinate to each of the plurality of pixel values.

또한 도 8 (b)에 도시된 바와 같이 상기 보정 작업에 포함된 상기 이동 변환 작용은 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 영상 내 상기 피검사체(1000)의 형상의 일그러짐과 관련된 왜곡 정보를 보정하는 작용일 수 있다. In addition, as shown in FIG. 8 (b) , the movement transformation operation included in the correction operation moves at least one of the first coordinate and the second coordinate, thereby distorting the shape of the object 1000 in the image. It may be an action of correcting distortion information related to .

이러한 형상의 일그러짐은, 센서부(300)의 이미지 센서(320)의 픽셀이 배열된 길이 방향이, 상기 광원(100)과 같이, 상기 피검사체(1000)의 진행 방향 과 비스듬하게 경사를 이룸으로 인하여 비스듬한 방향의 스캔 촬영이 구현되는 것에 의해 발생할 수 있다.The distortion of this shape is due to the fact that the longitudinal direction in which the pixels of the image sensor 320 of the sensor unit 300 are arranged is obliquely inclined to the moving direction of the subject 1000, like the light source 100. Due to this, scan imaging in an oblique direction may be implemented.

따라서 본원 발명에서는 상기와 같이 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시키는 것에 의해 상기와 같은 형상의 일그러짐을 보정할 수 있다.Therefore, in the present invention, the distortion of the shape as described above can be corrected by moving at least one of the first coordinate and the second coordinate as described above.

또한 도 8 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 보정 작업에 포함된 상기 회전 변환 작용은 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 좌표 회전 변환을 통해 상기 영상 내 상기 피검사체(1000)의 형상의 자세와 관련된 왜곡 정보를 보정하는 작용일 수 있다. 이와 같이 좌표 회전 변환에 의해 픽셀값의 배열 버퍼에 포함되는 상기 일면(1000) 형상의 회전된 왜곡 정보를 보정할 수 있게 된다.In addition, as shown in FIG. 8 ( c ), the rotation transformation operation included in the correction operation is performed by changing the shape of the object 1000 in the image through the coordinate rotation transformation of the first coordinates and the second coordinates. It may be an action of correcting distortion information related to posture. As described above, the rotated distortion information of the shape of the one surface 1000 included in the pixel value array buffer can be corrected by the coordinate rotation transformation.

또한 도 8 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 보정 작업에 포함된 상기 픽셀값 보간 작용은, 상기 복수의 픽셀값에 보간된 픽셀값을 추가하여 상기 영상의 외곽 영역의 영상 품질을 향상시키는 작용일 수 있다. 상기 외곽 영역이라 함은 영상의 바깥쪽 경계를 이루는 픽셀값의 위치의 집합으로 표현할 수 있다.Also, as shown in FIG. 8D , the pixel value interpolation included in the correction operation is an operation of improving the image quality of the outer region of the image by adding interpolated pixel values to the plurality of pixel values. can be The outer region may be expressed as a set of pixel values forming an outer boundary of an image.

상기 픽셀값 보간 작용은 영상에 포함되는 경계선의 톱니 형상과 같은 부자연스러운 이미지 왜곡을 부드럽게 보정하는 작용일 수 있다. 일 실시 예로, 도 8 (d)에서와 같이, 경계 영역에 주변 8개 픽셀값을 평균한 값을 경계영역의 픽셀의 바깥에 추가하는 것에 의해 상기 보간 작용을 구현할 수 있다.The pixel value interpolation may be an operation of smoothly correcting unnatural image distortion such as a sawtooth shape of a boundary line included in an image. In an embodiment, as shown in FIG. 8( d ), the interpolation operation may be implemented by adding a value obtained by averaging the values of 8 surrounding pixels to the boundary area outside the pixels of the boundary area.

그리고 도 8 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 보정 작업은 영상 크기를 조정하는 작용을 더 포함할 수 있다. 이는 영상을 구현하기 위한 픽셀값의 행렬 버퍼의 사이즈를 조정하는 작용일 수 있다. 이는 영상의 정보를 최종적으로 직사각 형태의 배열로 제공할 수 있게 한다.And, as shown in FIG. 8(e) , the correction operation may further include adjusting the image size. This may be an action of adjusting the size of a matrix buffer of pixel values for implementing an image. This makes it possible to finally provide image information in a rectangular arrangement.

상기와 같은 일련의 작용들은 본 발명의 보정 작업에 바람직하게는 모두 포함될 수 있다. 그러나 실시 예에 따라 선택적으로 포함될 수 있다. 그 진행 순서는 필요에 따라 달리 배치될 수 있다.A series of actions as described above may preferably all be included in the correction operation of the present invention. However, it may be optionally included according to an embodiment. The proceeding order may be arranged differently according to need.

본 발명의 일 실시 예에 따라, 도 8 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 좌표는, 상기 피검사체(1000)의 상대적인 운동의 경과에 따라 상기 복수의 픽셀 중 하나에 의한 복수 회 촬영 시 획득되는 픽셀값들의 집합인 컬럼 단위의 위치 정보를 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, as shown in FIG. 8A , the first coordinate is photographed a plurality of times by one of the plurality of pixels according to the passage of relative motion of the subject 1000 . It may include position information in units of columns, which is a set of pixel values obtained at the time of operation.

또한 도 8 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 제2 좌표는, 상기 복수의 픽셀에 의한 1회 촬영 시 획득되어 상기 복수의 픽셀 각각에 대응되는 픽셀값들의 집합인 라인 단위의 위치 정보를 포함할 수 있다.Also, as shown in FIG. 8 ( a ), the second coordinate includes position information in units of lines, which is a set of pixel values corresponding to each of the plurality of pixels obtained during one-time photographing by the plurality of pixels. can do.

도 8 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 이동 변환 작용은, 상기 제1 경사각(180)에 대응하여 상기 영상의 일그러짐 왜곡을 보정하기 위해 상기 복수의 픽셀값 각각에 매칭된 제1 좌표를 이동시킬 수 있다. 상기 이미지 센서(320)의 픽셀 어레이(pixel array)가 그 길이 방향이 상기 광원(100)에서와 같이 상기 피검사체(1000)의 진행 방향과 제1 경사각(180)을 이루어 배치되거나 또는 제1 경사각(180)에 따라 왜곡된 광 정보를 수광하는 경우, 상기 일그러짐은 상기 제1 경사각(180)에 따라 발생하는 것일 수 있다. As shown in (b) of FIG. 8 , the movement transformation action moves the first coordinates matched to each of the plurality of pixel values in order to correct the distortion of the image in response to the first inclination angle 180 . can do it A pixel array of the image sensor 320 is disposed such that its longitudinal direction forms a first inclination angle 180 with the moving direction of the subject 1000 as in the light source 100 or at a first inclination angle When the optical information distorted according to (180) is received, the distortion may be generated according to the first inclination angle (180).

상술한 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기(10)의 피검사체(1000)는 금속 재질의 피검사체(1100)일 수 있다. As described above, the inspected object 1000 of the surface inspector 10 according to an embodiment of the present invention may be the inspected object 1100 made of a metal material.

상기 금속 재질 피검사체(1100)의 검사 대상이 되는 일면(1100)에는 선형 결무늬가 새겨질 수 있다. A linear texture pattern may be engraved on one surface 1100 of the metallic object 1100 to be inspected.

본 발명의 일 실시 예에 따른 구동부(200)는, 상기 금속 재질 피검사체(1100)를, 상기 광원(100)에 대하여 상대적으로 운동시키되, 상기 선형 결무늬의 길이 방향이 광원(100)의 길이 방향에 대하여 상기 제1 경사각(180)을 이루도록 유지하면서 운동시킬 수 있다.The driving unit 200 according to an embodiment of the present invention moves the metallic object 1100 relatively to the light source 100 , and the longitudinal direction of the linear texture pattern is the length of the light source 100 . The movement may be performed while maintaining the first inclination angle 180 with respect to the direction.

상기 센서부(300)는 상기 운동하는 금속 재질 피검사체(1100)의 상기 일면(1110)에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환할 수 있다.The sensor unit 300 may receive the light reflected from the one surface 1110 of the moving metallic object 1100 and convert it into an electrical signal.

본 발명의 일 실시 예에 따른 디스플레이 제조 장치(미도시)는 상기 기재된 표면 검사기(10)를 포함할 수 있다. 디스플레이 제조 장치(미도시)는 디스플레이 패널을, 구성 자재의 인입, 적층, 검사하는 작용 중 적어도 하나를 포함하는 작업을 통해 제조하는 장비일 수 있다.A display manufacturing apparatus (not shown) according to an embodiment of the present invention may include the surface inspector 10 described above. A display manufacturing apparatus (not shown) may be equipment for manufacturing a display panel through an operation including at least one of an operation of drawing in, laminating, and inspecting a constituent material.

도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.9 is a flowchart illustrating a surface inspection method according to an embodiment of the present invention.

도 9에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기(10)에서 피검사체(1000)의 표면을 검사하는 방법은, 상기 광원(100)이 상기 피검사체(1000)의 일면(1010)에 광을 조사하는 단계(S110); 상기 구동부(200)가 상기 피검사체(1000)를, 상기 광원(100)에 대하여 상대적으로, 그리고 상기 광원(100)의 길이 방향에 대하여 제1 경사각(180)을 이루도록 유지하면서 운동시키는 단계(S120); 및 상기 센서부(300)가, 상기 운동하는 피검사체(1000)의 상기 일면(1010)에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환하는 단계(S130)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 9 , in the method of inspecting the surface of the inspected object 1000 in the surface inspector 10 according to an embodiment of the present invention, the light source 100 is one surface 1010 of the inspected object 1000 . ) irradiating light to (S110); The driving unit 200 moves the subject 1000 while maintaining a first inclination angle 180 relative to the light source 100 and in the longitudinal direction of the light source 100 (S120) ); and a step (S130) of the sensor unit 300 receiving the light reflected from the one surface 1010 of the moving subject 1000 and converting the light into an electrical signal (S130).

그리고, 상기 광을 조사하는 단계(S110)는, 상기 광원(100)이, 상기 피검사체(1000)의 상기 일면(1010)의 적어도 하나의 법선(normal line) 및 상기 센서부(300)의 중심 축(axis) 중 적어도 하나와 제2 경사각(190)을 이루는 방향으로 상기 일면(1010)에 상기 광을 조사할 수 있다.And, in the step of irradiating the light ( S110 ), the light source 100 , at least one normal line of the one surface 1010 of the subject 1000 and the center of the sensor unit 300 . The light may be irradiated to the one surface 1010 in a direction forming a second inclination angle 190 with at least one of the axes.

도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법은, 상기 영상 생성부(600)가, 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 상기 복수의 픽셀에 대응하는 복수의 픽셀값을 획득하고 상기 복수의 픽셀값의 각각에 제1 좌표 및 제2 좌표를 매칭시키는 단계(S140); 상기 매칭된 제1 좌표 및 상기 매칭된 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 영상 내 상기 피검사체(1000)의 형상의 일그러짐과 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계(S150); 및 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 좌표 회전 변환을 통해 상기 영상 내 상기 피검사체(1000)의 형상의 자세와 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계(S160); 및 상기 복수의 픽셀값에 보간된 픽셀값을 추가하여 상기 영상의 외곽 영역의 영상 품질을 향상시키는 단계(S170)를 더 포함할 수 있다.10 is a flowchart illustrating a surface inspection method according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 10 , in the surface inspection method according to an embodiment of the present invention, the image generator 600 selects a plurality of pixel values corresponding to the plurality of pixels based on the converted electrical signal. obtaining and matching the first coordinate and the second coordinate to each of the plurality of pixel values (S140); correcting distortion information related to distortion of the shape of the subject 1000 in the image by moving at least one of the matched first coordinates and the matched second coordinates (S150); and correcting distortion information related to the posture of the shape of the object 1000 in the image through coordinate rotation transformation of the first coordinates and the second coordinates (S160). and improving the image quality of the outer region of the image by adding interpolated pixel values to the plurality of pixel values (S170).

도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사기(10)에서 금속 재질 피검사체(1100)의 표면을 검사하는 방법은, 상기 광원(100)이 상기 금속 재질 피검사체(1100)의 선형 결무늬가 새겨진 일면(1110)에 광을 조사하는 단계(S210); 상기 구동부(200)가 상기 금속 재질 피검사체(1100)를, 상기 광원(100)에 대하여 상대적으로, 그리고 상기 선형 결무늬의 길이 방향이 상기 광원(100)의 길이 방향에 대하여 제1 경사각(180)을 이루도록 유지하면서 운동시키는 단계(S220); 및 상기 센서부(300)가, 상기 운동하는 금속 재질 피검사체(1100)의 상기 일면(1110)에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환하는 단계(S230)를 포함할 수 있다.11 is a flowchart illustrating a surface inspection method according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 11 , in the method of inspecting the surface of the metallic subject 1100 in the surface inspector 10 according to an embodiment of the present invention, the light source 100 is the metallic subject 1100 ) irradiating light on one surface 1110 on which a linear grain pattern is engraved (S210); The driving unit 200 moves the metallic object 1100 relative to the light source 100 , and the longitudinal direction of the linear grain pattern is a first inclination angle 180 with respect to the longitudinal direction of the light source 100 . ) while maintaining the exercise step (S220); and converting, by the sensor unit 300, the light reflected from the one surface 1110 of the moving metallic object 1100 into an electrical signal (S230).

상기 광을 조사하는 단계(S210)는, 상기 광원(100)이, 상기 운동하는 금속 재질 피검사체(1100)의 상기 일면(1110)의 적어도 하나의 법선(normal line) 및 상기 센서부(300)의 중심 축(axis) 중 적어도 하나와 제2 경사각(190)을 이루는 방향으로 상기 일면(1110)에 상기 광을 조사할 수 있다.In the step of irradiating the light (S210), the light source 100 includes at least one normal line of the one surface 1110 of the moving metallic object 1100 and the sensor unit 300. The light may be irradiated to the one surface 1110 in a direction forming a second inclination angle 190 with at least one of the central axes.

도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 표면 검사 방법은, 상기 영상 생성부(600)가, 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 상기 복수의 픽셀에 대응하는 복수의 픽셀값을 획득하고 상기 복수의 픽셀값의 각각에 제1 좌표 및 제2 좌표를 매칭시키는 단계(S240); 상기 매칭된 제1 좌표 및 상기 매칭된 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 영상 내 상기 금속 재질 피검사체(1100)의 형상의 일그러짐과 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계(S250); 상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 좌표 회전 변환을 통해 상기 영상 내 상기 금속 재질 피검사체(1100)의 형상의 자세와 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계(S260); 및 상기 복수의 픽셀값에 보간된 픽셀값을 추가하여 상기 영상의 외곽 영역의 영상 품질을 향상시키는 단계(S270)를 더 포함할 수 있다.12 is a flowchart illustrating a surface inspection method according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 12 , in the surface inspection method according to an embodiment of the present invention, the image generating unit 600 determines a plurality of pixel values corresponding to the plurality of pixels based on the converted electrical signal. obtaining and matching the first coordinate and the second coordinate to each of the plurality of pixel values (S240); correcting distortion information related to distortion of the shape of the metallic object 1100 in the image by moving at least one of the matched first coordinates and the matched second coordinates (S250); correcting distortion information related to the posture of the shape of the metallic object 1100 in the image through the coordinate rotation transformation of the first coordinate and the second coordinate (S260); and adding interpolated pixel values to the plurality of pixel values to improve the image quality of the outer region of the image (S270).

한편, 상술한 본 발명의 다양한 실시 예들에 따른 제어 방법은 프로그램 코드로 구현되어 다양한 비일시적 판독 가능 매체(non-transitory computer readable medium)에 저장된 상태로 각 서버 또는 기기들에 제공될 수 있다. Meanwhile, the above-described control method according to various embodiments of the present invention may be implemented as a program code and stored in various non-transitory computer readable media, and may be provided to each server or device.

비일시적 판독 가능 매체란 레지스터, 캐쉬, 메모리 등과 같이 짧은 순간 동안 데이터를 저장하는 매체가 아니라 반영구적으로 데이터를 저장하며, 기기에 의해 판독(reading)이 가능한 매체를 의미한다. 구체적으로는, 상술한 다양한 어플리케이션 또는 프로그램들은 CD, DVD, 하드 디스크, 블루레이 디스크, USB, 메모리카드, ROM 등과 같은 비일시적 판독 가능 매체에 저장되어 제공될 수 있다.The non-transitory readable medium refers to a medium that stores data semi-permanently, rather than a medium that stores data for a short moment, such as a register, cache, memory, etc., and can be read by a device. Specifically, the above-described various applications or programs may be provided by being stored in a non-transitory readable medium such as a CD, DVD, hard disk, Blu-ray disk, USB, memory card, ROM, and the like.

또한, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.In addition, although preferred embodiments of the present invention have been illustrated and described above, the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and the technical field to which the present invention pertains without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims Various modifications are possible by those of ordinary skill in the art, and these modifications should not be individually understood from the technical spirit or prospect of the present invention.

10: 표면 검사기 100: 광원
180: 제1 경사각 190: 제2 경사각
200: 구동부 300: 센서부
310: 렌즈 311: 렌즈 축
320: 이미지 센서
400: 각도 조절부 410: 제1 부재
411: 걸림구 420: 제2 부재
421: 장홈 500: 위치 조절부
600: 영상 생성부 800: 제어부
910: 입력부 920: 통신부
930: 전원 공급부 940: 출력부
1000: 피검사체 1010: 일면
1100: 금속 재질 피검사체 1110: 일면10: surface inspector 100: light source
180: first inclination angle 190: second inclination angle
200: driving unit 300: sensor unit
310: lens 311: lens axis
320: image sensor
400: angle adjustment unit 410: first member
411: catch 420: second member
421: long groove 500: position control unit
600: image generating unit 800: control unit
910: input unit 920: communication unit
930: power supply 940: output
1000: subject 1010: one side
1100: metal material inspected object 1110: one side

Claims (29)

피검사체의 일면에 광을 조사하는 선형 또는 막대형의 광원;
상기 피검사체를, 상기 광원에 대하여 상대적으로, 그리고 상기 광원의 길이 방향에 대하여 제1 경사각을 이루는 방향으로 운동시킬 수 있는 구동부; 및
상기 운동하는 피검사체의 상기 일면에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환할 수 있는 센서부를 포함하는 표면 검사기.
a linear or rod-shaped light source irradiating light on one surface of the subject;
a driving unit capable of moving the subject relative to the light source and in a direction forming a first inclination angle with respect to the longitudinal direction of the light source; and
and a sensor unit capable of receiving the light reflected from the one surface of the moving subject and converting it into an electrical signal.
 제 1 항에 있어서,
상기 광원은 그 길이 방향이 상기 피검사체의 상기 일면과 평행을 이루고,
상기 제1 경사각은 30도 이상 60도 이하, 120도 이상 150도 이하, 210도 이상 240도 이하 및 300도 이상 330도 이하 중 어느 하나의 범위에 속하는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
The method of claim 1,
The light source has a longitudinal direction parallel to the one surface of the subject,
The first inclination angle is 30 degrees or more and 60 degrees or less, 120 degrees or more and 150 degrees or less, 210 degrees or more and 240 degrees or less, and 300 degrees or more and 330 degrees or less.
 제 2 항에 있어서,
상기 제1 경사각은 45도, 135도, 225도 및 315도 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
3. The method of claim 2,
The first inclination angle is a surface inspector, characterized in that any one of 45 degrees, 135 degrees, 225 degrees and 315 degrees.
 제 1 항에 있어서,
상기 구동부에 의해 상기 피검사체가 상기 광원에 대하여 상대적으로 운동하는 방향과 상기 광원의 길이 방향이 이루는 각은, 직각 및 상기 제1 경사각 중 어느 하나로 절환되는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
The method of claim 1,
An angle between a direction in which the object to be inspected relatively moves with respect to the light source and a longitudinal direction of the light source by the driving unit is switched to one of a right angle and the first inclination angle.
 제 1 항에 있어서,
상기 광원은,
상기 피검사체의 상기 일면의 적어도 하나의 법선(normal line) 및 상기 센서부의 중심 축(axis) 중 적어도 하나와 제2 경사각을 이루는 방향으로 상기 일면에 상기 광을 조사할 수 있는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
The method of claim 1,
The light source is
Surface, characterized in that the light can be irradiated to the one surface in a direction forming a second inclination angle with at least one of at least one normal line of the one surface of the object and at least one of a central axis of the sensor unit checker.
 제 5 항에 있어서,
상기 제2 경사각은 2도 이상 80도 이하인 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
6. The method of claim 5,
The second inclination angle is a surface inspection device, characterized in that 2 degrees or more and 80 degrees or less.
 제 6 항에 있어서,
상기 제2 경사각은 10도인 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
7. The method of claim 6,
The second inclination angle is a surface inspector, characterized in that 10 degrees.
 제 5 항에 있어서,
상기 센서부는,
상기 반사된 광이 입사되는 렌즈 및
상기 렌즈를 투과한 상기 반사된 광이 입사되는 이미지 센서를 포함하고,
상기 센서부의 중심 축은 상기 렌즈의 축(axis)이고,
상기 광원은 상기 렌즈의 축과 상기 제2 경사각을 이루는 방향으로 상기 일면에 상기 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
6. The method of claim 5,
The sensor unit,
a lens through which the reflected light is incident; and
An image sensor to which the reflected light passing through the lens is incident,
The central axis of the sensor unit is the axis of the lens,
The light source is a surface inspector, characterized in that for irradiating the light to the one surface in a direction forming the second inclination angle with the axis of the lens.
 제 5 항에 있어서,
상기 광의 조사 방향과 상기 적어도 하나의 법선 방향이 이루는 각도는, 상기 제2 경사각을 포함하는 소정의 각도 범위 내에서 변경 가능한 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
6. The method of claim 5,
An angle between the light irradiation direction and the at least one normal direction is changeable within a predetermined angle range including the second inclination angle.
 제 9 항에 있어서,
상기 광원의 상기 광의 조사 방향과 상기 적어도 하나의 법선 방향이 이루는 각도를 변경하는 각도 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
10. The method of claim 9,
The surface inspection device according to claim 1, further comprising an angle adjusting unit configured to change an angle between the light irradiation direction of the light source and the at least one normal direction.
 제 10 항에 있어서,
상기 광원의 상기 피검사체로부터 떨어진 거리를 조절 가능한 위치 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
11. The method of claim 10,
Surface inspection device, characterized in that it further comprises a position control unit adjustable the distance away from the subject of the light source.
 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 각도 조절부는,
일측에 돌출된 걸림구가 형성된 제1 부재; 및
상기 걸림구가 삽입되어 제한된 굴절범위를 갖도록 소정의 유동 폭을 갖는 원호 형상의 장홈이 형성된 제2 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
12. The method of claim 10 or 11,
The angle adjustment unit,
a first member formed with a locking hole protruding from one side; and
and a second member having an arc-shaped elongated groove having a predetermined flow width into which the locking hole is inserted to have a limited refraction range.
 제 1 항에 있어서,
상기 센서부는, 상기 광원의 길이 방향에 나란하게 일렬 배치되어 상기 반사된 광을 상기 전기적 신호로 변환시키는 복수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 포함하고,
상기 표면 검사기는, 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 상기 복수의 픽셀에 대응하는 복수의 픽셀값을 획득하고 상기 획득된 복수의 픽셀값을 기초로 영상을 생성하는 영상 생성부를 더 포함하고,
상기 영상 생성부는,
상기 제1 경사각에 따라 발생하는 상기 복수의 픽셀값의 왜곡 정보를, 좌표 이동 변환 작용, 좌표 회전 변환 작용 및 픽셀값 보간 작용 중 적어도 하나를 포함하는 보정 작업을 거쳐 상기 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
The method of claim 1,
The sensor unit includes an image sensor including a plurality of pixels arranged in parallel in the longitudinal direction of the light source to convert the reflected light into the electrical signal,
The surface inspector further comprises an image generator for obtaining a plurality of pixel values corresponding to the plurality of pixels based on the converted electrical signal and generating an image based on the obtained plurality of pixel values,
The image generating unit,
The image is generated through a correction operation including at least one of a coordinate movement transformation operation, a coordinate rotation transformation operation, and a pixel value interpolation operation on the distortion information of the plurality of pixel values generated according to the first inclination angle surface checker.
 제 13 항에 있어서,
상기 영상 생성부는,
상기 복수의 픽셀값의 각각에 제1 좌표 및 제2 좌표를 매칭시키고,
상기 보정 작업은,
상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 일그러짐과 관련된 왜곡 정보를 보정하는 상기 이동 변환 작용,
상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 좌표 회전 변환을 통해 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 자세와 관련된 왜곡 정보를 보정하는 상기 좌표 회전 변환 작용 및
상기 복수의 픽셀값에 보간된 픽셀값을 추가하여 상기 영상의 외곽 영역의 영상 품질을 향상시키는 상기 픽셀값 보간 작용을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
14. The method of claim 13,
The image generating unit,
Matching the first coordinates and the second coordinates to each of the plurality of pixel values,
The correction is
The movement transformation action of correcting distortion information related to distortion of the shape of the object in the image by moving at least one of the first coordinate and the second coordinate;
The coordinate rotation transformation action of correcting distortion information related to the posture of the shape of the object in the image through the coordinate rotation transformation of the first coordinate and the second coordinate; and
and interpolating the pixel values to improve the image quality of the outer region of the image by adding interpolated pixel values to the plurality of pixel values.
 제 14 항에 있어서,
상기 제1 좌표는, 상기 피검사체의 상대적인 운동의 경과에 따라 상기 복수의 픽셀 중 하나에 의한 복수 회 촬영 시 획득되는 픽셀값들의 집합인 컬럼 단위의 위치 정보를 포함하고,
상기 제2 좌표는, 상기 복수의 픽셀에 의한 1회 촬영 시 획득되어 상기 복수의 픽셀 각각에 대응되는 픽셀값들의 집합인 라인 단위의 위치 정보를 포함하고,
상기 이동 변환 작용은,
상기 제1 경사각에 대응하여 상기 영상의 일그러짐 왜곡을 보정하기 위해 상기 복수의 픽셀값 각각에 매칭된 제1 좌표를 이동시키는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
15. The method of claim 14,
The first coordinates include position information in units of columns, which is a set of pixel values obtained when photographing a plurality of times by one of the plurality of pixels according to the passage of relative motion of the subject,
The second coordinate includes position information in units of lines, which is a set of pixel values corresponding to each of the plurality of pixels obtained during one-time photographing by the plurality of pixels,
The movement conversion action is
The surface inspector of claim 1, wherein the first coordinates matched to each of the plurality of pixel values are moved to correct the distortion of the image in response to the first inclination angle.
 금속 재질 피검사체의 선형 결무늬가 새겨진 일면에 광을 조사하는 선형 또는 막대형의 광원;
상기 금속 재질 피검사체를, 상기 광원에 대하여 상대적으로, 그리고 상기 선형 결무늬의 길이 방향이 광원의 길이 방향에 대하여 제1 경사각을 이루도록 유지하면서 운동시킬 수 있는 구동부; 및
상기 운동하는 금속 재질 피검사체의 상기 일면에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환할 수 있는 센서부를 포함하는 표면 검사기.
A linear or rod-shaped light source that irradiates light on one surface of a metal object engraved with a linear grain pattern;
a driving unit capable of moving the metallic object to be inspected while maintaining a first inclination angle with respect to the light source and a longitudinal direction of the linear grain pattern with respect to the longitudinal direction of the light source; and
and a sensor unit capable of receiving the light reflected from the one surface of the moving metal object and converting the light into an electrical signal.
 제 16 항에 있어서,
상기 광원은,
상기 금속 재질 피검사체의 상기 일면의 적어도 하나의 법선(normal line) 및 상기 센서부의 중심 축 중 적어도 하나와 제2 경사각을 이루는 방향으로 상기 일면에 상기 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
17. The method of claim 16,
The light source is
The surface inspector, characterized in that the light is irradiated to the one surface in a direction forming a second inclination angle with at least one of at least one normal line of the one surface of the metallic object and at least one of a central axis of the sensor unit.
 제 16 항에 있어서,
상기 광원은 그 길이 방향이 상기 금속 재질 피검사체의 상기 일면과 평행을 이루고,
상기 제1 경사각은 30도 이상 60도 이하, 120도 이상 150도 이하, 210도 이상 240도 이하 및 300도 이상 330도 이하 중 어느 하나의 범위에 속하는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
17. The method of claim 16,
The light source has a longitudinal direction parallel to the one surface of the metal material to be inspected,
The first inclination angle is 30 degrees or more and 60 degrees or less, 120 degrees or more and 150 degrees or less, 210 degrees or more and 240 degrees or less, and 300 degrees or more and 330 degrees or less.
 제 18 항에 있어서,
상기 제1 경사각은 45도, 135도, 225도 및 315도 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
19. The method of claim 18,
The first inclination angle is a surface inspector, characterized in that any one of 45 degrees, 135 degrees, 225 degrees and 315 degrees.
 제 16 항에 있어서,
상기 센서부는, 상기 광원의 길이 방향에 나란하게 일렬 배치되어 상기 반사된 광을 상기 전기적 신호로 변환시키는 복수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 포함하고,
상기 표면 검사기는, 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 상기 복수의 픽셀에 대응하는 복수의 픽셀값을 획득하고 상기 획득된 복수의 픽셀값을 기초로 영상을 생성하는 영상 생성부를 더 포함하고,
상기 영상 생성부는,
상기 제1 경사각에 따라 발생하는 상기 복수의 픽셀값의 왜곡 정보를, 좌표 이동 변환 작용, 좌표 회전 변환 작용 및 픽셀값 보간 작용 중 적어도 하나를 포함하는 보정 작업을 거쳐 상기 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
17. The method of claim 16,
The sensor unit includes an image sensor including a plurality of pixels arranged in parallel in the longitudinal direction of the light source to convert the reflected light into the electrical signal,
The surface inspector further comprises an image generator for obtaining a plurality of pixel values corresponding to the plurality of pixels based on the converted electrical signal and generating an image based on the obtained plurality of pixel values,
The image generating unit,
The image is generated through a correction operation including at least one of a coordinate movement transformation operation, a coordinate rotation transformation operation, and a pixel value interpolation operation on the distortion information of the plurality of pixel values generated according to the first inclination angle surface checker.
 제 20 항에 있어서,
상기 영상 생성부는,
상기 복수의 픽셀값의 각각에 제1 좌표 및 제2 좌표를 매칭시키고,
상기 보정 작업은,
상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 일그러짐과 관련된 왜곡 정보를 보정하는 상기 이동 변환 작용,
상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 좌표 회전 변환을 통해 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 자세와 관련된 왜곡 정보를 보정하는 상기 좌표 회전 변환 작용 및
상기 복수의 픽셀값에 보간된 픽셀값을 추가하여 상기 영상의 외곽 영역의 영상 품질을 향상시키는 상기 픽셀값 보간 작용을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사기.
21. The method of claim 20,
The image generating unit,
Matching the first coordinates and the second coordinates to each of the plurality of pixel values,
The correction is
The movement transformation action of correcting distortion information related to distortion of the shape of the object in the image by moving at least one of the first coordinate and the second coordinate;
The coordinate rotation transformation action of correcting distortion information related to the posture of the shape of the object in the image through the coordinate rotation transformation of the first coordinate and the second coordinate; and
and interpolating the pixel values to improve the image quality of the outer region of the image by adding interpolated pixel values to the plurality of pixel values.
 제 1 항 내지 제 21 항 중 어느 한 항에 기재된 표면 검사기를 포함하는 디스플레이 패널 제조 장치.
A display panel manufacturing apparatus comprising the surface inspection machine according to any one of claims 1 to 21.
 선형 또는 막대형의 광원, 구동부 및 센서부를 포함하는 표면 검사기에서 피검사체의 표면을 검사하는 방법에 있어서,
상기 광원이 상기 피검사체의 일면에 광을 조사하는 단계;
상기 구동부가 상기 피검사체를, 상기 광원에 대하여 상대적으로, 그리고 상기 광원의 길이 방향에 대하여 제1 경사각을 이루는 방향으로 운동시키는 단계; 및
상기 센서부가, 상기 운동하는 피검사체의 상기 일면에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환하는 단계를 포함하는 표면 검사 방법.
A method of inspecting the surface of an object in a surface inspection machine including a linear or rod-shaped light source, a driving unit, and a sensor unit, the method comprising:
irradiating, by the light source, light to one surface of the subject;
moving, by the driving unit, the target object relative to the light source and in a direction forming a first inclination angle with respect to the longitudinal direction of the light source; and
and converting, by the sensor unit, the light reflected from the one surface of the moving object to an electrical signal.
 제 23 항에 있어서,
상기 광을 조사하는 단계는,
상기 광원이, 상기 피검사체의 상기 일면의 적어도 하나의 법선(normal line) 및 상기 센서부의 중심 축(axis) 중 적어도 하나와 제2 경사각을 이루는 방향으로 상기 일면에 상기 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 방법.
24. The method of claim 23,
The step of irradiating the light,
The light source irradiates the light to the one surface in a direction forming a second inclination angle with at least one of at least one normal line of the one surface of the object and at least one of a central axis of the sensor unit surface inspection method.
 제 23 항에 있어서,
상기 센서부는 상기 광원의 길이 방향에 나란하게 일렬 배치되어 상기 반사된 광을 상기 전기적 신호로 변환시키는 복수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 포함하고,
상기 표면 검사기는 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 영상을 생성하는 영상 생성부를 더 포함하고,
상기 영상 생성부가,
상기 변환된 전기적 신호를 기초로 상기 복수의 픽셀에 대응하는 복수의 픽셀값을 획득하고 상기 복수의 픽셀값의 각각에 제1 좌표 및 제2 좌표를 매칭시키는 단계;
상기 매칭된 제1 좌표 및 상기 매칭된 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 일그러짐과 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계; 및
상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 좌표 회전 변환을 통해 상기 영상 내 상기 피검사체의 형상의 자세와 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계; 및
상기 복수의 픽셀값에 보간된 픽셀값을 추가하여 상기 영상의 외곽 영역의 영상 품질을 향상시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 방법.
24. The method of claim 23,
The sensor unit includes an image sensor including a plurality of pixels arranged in parallel in the longitudinal direction of the light source to convert the reflected light into the electrical signal,
The surface inspector further comprises an image generator for generating an image based on the converted electrical signal,
The image generating unit,
obtaining a plurality of pixel values corresponding to the plurality of pixels based on the converted electrical signal and matching a first coordinate and a second coordinate to each of the plurality of pixel values;
correcting distortion information related to distortion of the shape of the subject in the image by moving at least one of the matched first coordinates and the matched second coordinates; and
correcting distortion information related to the posture of the shape of the object in the image through coordinate rotation transformation of the first coordinate and the second coordinate; and
The method of claim 1, further comprising: improving the image quality of an outer region of the image by adding interpolated pixel values to the plurality of pixel values.
 선형 또는 막대형의 광원, 구동부 및 센서부를 포함하는 표면 검사기에서 금속 재질 피검사체의 표면을 검사하는 방법에 있어서,
상기 광원이 상기 금속 재질 피검사체의 선형 결무늬가 새겨진 일면에 광을 조사하는 단계;
상기 구동부가 상기 금속 재질 피검사체를, 상기 광원에 대하여 상대적으로, 그리고 상기 선형 결무늬의 길이 방향이 상기 광원의 길이 방향에 대하여 제1 경사각을 이루도록 유지하면서 운동시키는 단계; 및
상기 센서부가, 상기 운동하는 금속 재질 피검사체의 상기 일면에서 반사된 상기 광을 수광하여 전기적 신호로 변환하는 단계를 포함하는 표면 검사 방법.
In the method of inspecting the surface of a metal material to be inspected in a surface inspection machine comprising a linear or rod-shaped light source, a driving unit and a sensor unit,
irradiating, by the light source, light on one surface of the metal material subject to be engraved with a linear grain pattern;
moving, by the driving unit, the metallic object to be inspected while maintaining a first inclination angle with respect to the light source and a longitudinal direction of the linear grain pattern with respect to the longitudinal direction of the light source; and
and converting, by the sensor unit, the light reflected from the one surface of the moving metallic object to an electrical signal.
 제 26 항에 있어서,
상기 광을 조사하는 단계는,
상기 광원이, 상기 운동하는 금속 재질 피검사체의 상기 일면의 적어도 하나의 법선(normal line) 및 상기 센서부의 중심 축(axis) 중 적어도 하나와 제2 경사각을 이루는 방향으로 상기 일면에 상기 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 방법.
27. The method of claim 26,
The step of irradiating the light,
The light source irradiates the light to the one surface in a direction forming a second inclination angle with at least one of at least one normal line of the one surface of the moving metallic object and at least one of a central axis of the sensor unit Surface inspection method, characterized in that.
 제 26 항에 있어서,
상기 센서부는 상기 광원의 길이 방향에 나란하게 일렬 배치되어 상기 반사된 광을 상기 전기적 신호로 변환시키는 복수의 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 포함하고,
상기 표면 검사기는 상기 변환된 전기적 신호를 기초로 영상을 생성하는 영상 생성부를 더 포함하고,
상기 영상 생성부가,
상기 변환된 전기적 신호를 기초로 상기 복수의 픽셀에 대응하는 복수의 픽셀값을 획득하고 상기 복수의 픽셀값의 각각에 제1 좌표 및 제2 좌표를 매칭시키는 단계;
상기 매칭된 제1 좌표 및 상기 매칭된 제2 좌표 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 영상 내 상기 금속 재질 피검사체의 형상의 일그러짐과 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계;
상기 제1 좌표 및 상기 제2 좌표의 좌표 회전 변환을 통해 상기 영상 내 상기 금속 재질 피검사체의 형상의 자세와 관련된 왜곡 정보를 보정하는 단계; 및
상기 복수의 픽셀값에 보간된 픽셀값을 추가하여 상기 영상의 외곽 영역의 영상 품질을 향상시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 방법.
27. The method of claim 26,
The sensor unit includes an image sensor including a plurality of pixels arranged in parallel in the longitudinal direction of the light source to convert the reflected light into the electrical signal,
The surface inspector further comprises an image generator for generating an image based on the converted electrical signal,
The image generating unit,
obtaining a plurality of pixel values corresponding to the plurality of pixels based on the converted electrical signal and matching a first coordinate and a second coordinate to each of the plurality of pixel values;
correcting distortion information related to distortion of the shape of the metallic object in the image by moving at least one of the matched first coordinates and the matched second coordinates;
correcting distortion information related to a posture of the shape of the metallic object in the image through coordinate rotation transformation of the first coordinate and the second coordinate; and
The method of claim 1, further comprising: improving the image quality of an outer region of the image by adding interpolated pixel values to the plurality of pixel values.
 제 23 항 내지 제 28 항 중 어느 한 항에 기재된 표면 검사 방법을 컴퓨터에서 실행시키기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록 매체.
A computer-readable recording medium in which a program for executing the surface inspection method according to any one of claims 23 to 28 on a computer is recorded.
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JP4429683B2 (en) * 2003-10-17 2010-03-10 大日本印刷株式会社 Image input device
JP6229968B2 (en) * 2013-05-13 2017-11-15 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 Concavity and convexity inspection equipment
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