KR20210107963A - Method for producing polysilazane-based film - Google Patents

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Abstract

The present invention includes the steps of: preparing a mixed solution comprising a substrate and a polysilazane-based resin composition; applying the mixed solution on the substrate; and curing the resin composition by immersing the substrate coated with the mixed solution in ammonia water in which oxygen is dissolved. A method for preparing a polysilazane-based film of the present invention can shorten a curing time of a curing step.

Description

폴리실라잔계 필름의 제조방법{Method for producing polysilazane-based film} Method for producing polysilazane-based film {Method for producing polysilazane-based film}

본 발명은 폴리실라잔계 필름의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 표면에 도포된 폴리실라잔계 수지 조성물을 암모니아수 함침법을 이용하여 경화하는 단계를 포함하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method for producing a polysilazane-based film, and more particularly, to a method for producing a polysilazane-based film comprising curing a polysilazane-based resin composition applied to the surface of a substrate using an ammonia water impregnation method. will be.

실리카(Silica) 막은 투명하면서도 우수한 절연특성 및 내마모성을 갖고 있어 반도체의 절연막, 반사방지막, 부식방지막, 포장재 등의 기능성 재료로 다양하게 응용되고 있다. 이는 주로 물리적 증착(PVD), 화학적 증착(CVD), 플라즈마 화학기상 증착(PECVD) 및 원자층 증착(ALD)과 같은 진공증착을 이용하여 형성된다.Silica film is transparent and has excellent insulating properties and wear resistance, so it is widely applied as a functional material for semiconductor insulating film, anti-reflection film, anti-corrosion film, and packaging material. It is mainly formed using vacuum deposition such as physical vapor deposition (PVD), chemical vapor deposition (CVD), plasma chemical vapor deposition (PECVD) and atomic layer deposition (ALD).

그러나, 이러한 진공증착으로 형성된 박막의 경우 핀홀 및 크랙 발생율이 높을 뿐만 아니라 고가이면서 공정시간이 길어 제조단가가 높은 단점이 있다.However, in the case of a thin film formed by vacuum deposition, pinholes and cracks are high, and the manufacturing cost is high because of high cost and long process time.

따라서, 이를 대체하기 위해 용액상태로 프린팅 공정이 가능한 유기재료 중에 박막형성 후 화학적, 물리적 특성이 우수한 실란계 소재에 대한 관심이 증가하고 있다. 그 중 고분자 주쇄에 Si-N 반복단위를 갖는 폴리실라잔은 기재와의 부착력이 우수하여 다양한 기재에 적용이 가능하며, 내스크래치성, 내부식성, 내화학성, 내열성, 내구성 등이 우수한 특징을 가지고 있어, 활발한 연구가 진행 중에 있다. Therefore, interest in silane-based materials with excellent chemical and physical properties after thin film formation among organic materials that can be printed in a solution state to replace them is increasing. Among them, polysilazane having a Si-N repeating unit in the polymer main chain has excellent adhesion to the substrate and can be applied to various substrates, and has excellent scratch resistance, corrosion resistance, chemical resistance, heat resistance, durability, etc. Therefore, active research is in progress.

상기 폴리실라잔 소재의 경화공정으로, 초기에는 유기실라잔이 산소 및 수분과의 반응성이 높고, 암모니아 촉매에 빠른 경화 거동을 보이는 점을 이용하여, 일정 산소 및 습도 조건 하에 코팅막을 경화시키는 다양한 방법이 연구되었으며, 암모니아수, 과산화수소수, 증류수 등의 증기를 이용한 경화방법 및 코팅막의 특성에 관한 연구를 진행하였다. As the curing process of the polysilazane material, various methods of curing the coating film under certain oxygen and humidity conditions by using the fact that the organosilazane has high reactivity with oxygen and moisture and shows a fast curing behavior with an ammonia catalyst This study was conducted, and a study was conducted on the curing method using steam such as ammonia water, hydrogen peroxide solution, and distilled water, and the characteristics of the coating film.

그러나, 상기 암모니아수 및 과산화수소수 분위기 하에서 수행되는 경화 공정은 장시간이 소요되고, 상기 경화 공정을 포함하는 폴리실라잔계 필름의 제조공정 시간 또한 장시간이 소요된다는 단점이 있다. However, the curing process performed in the atmosphere of aqueous ammonia and hydrogen peroxide takes a long time, and the manufacturing process of the polysilazane-based film including the curing process also takes a long time.

따라서, 공정시간이 단축될 수 있음은 물론이고, 이와 동시에 표면 경도 및 균일도가 향상된 폴리실라잔계 필름을 제조할 수 있는 제조방법이 요구된다. Accordingly, there is a need for a manufacturing method capable of producing a polysilazane-based film with improved surface hardness and uniformity as well as shortening of the process time.

대한민국 공개특허 제 10-2019-0067644 호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0067644

상기의 기술적 문제점을 개선하기 위하여, 본 발명의 일 기술적 과제는 경화시간이 단축된 폴리실라잔계 필름의 제조방법을 제공하는 것이다. In order to improve the above technical problems, one technical object of the present invention is to provide a method for producing a polysilazane-based film having a shortened curing time.

본 발명의 다른 기술적 과제는 상기 제조방법을 이용하여 제조된 폴리실라잔계 필름을 제공하는 것이다. Another technical object of the present invention is to provide a polysilazane-based film manufactured by using the above manufacturing method.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기판으로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned can be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the following substrate. There will be.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 양태는 기판 및 폴리실라잔계 수지 조성물을 포함하는 혼합용액을 준비하는 단계; 상기 혼합용액을 상기 기판상에 도포하는 단계; 및 상기 혼합용액이 도포된 기판을 산소가 용해된 암모니아수에 함침하여 상기 수지 조성물을 경화하는 단계;를 포함하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법을 제공한다. In order to achieve the above technical problem, one aspect of the present invention comprises the steps of preparing a mixed solution comprising a substrate and a polysilazane-based resin composition; applying the mixed solution on the substrate; and curing the resin composition by impregnating the substrate coated with the mixed solution in aqueous ammonia in which oxygen is dissolved.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 경화하는 단계에서, 상기 암모니아수의 용존산소(DO; dissolved oxygen)는 10 ppm 내지 100 ppm일 수 있다. In an embodiment of the present invention, in the curing step, the dissolved oxygen (DO) of the ammonia water may be 10 ppm to 100 ppm.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 경화하는 단계에서, 상기 암모니아수의 농도는 5 % 내지 35 %일 수 있다. In one embodiment of the present invention, in the curing step, the concentration of the ammonia water may be 5% to 35%.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 경화하는 단계는 20 ℃ 내지 40 ℃의 온도에서 수행될 수 있다. In one embodiment of the present invention, the curing step may be performed at a temperature of 20 ℃ to 40 ℃.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 경화하는 단계는 1 시간 내지 4 시간 동안 수행될 수 있다. In one embodiment of the present invention, the curing step may be performed for 1 hour to 4 hours.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 도포하는 단계는 담지법, 함침법 및 분사법 중 어느 하나를 통해 수행될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the applying may be performed through any one of a supporting method, an impregnating method, and a spraying method.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 기판은 플라스틱, 금속 또는 세라믹 소재를 포함할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the substrate may include a plastic, metal, or ceramic material.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 폴리실라잔계 수지 조성물은 하기의 화학식 1, 화학식 2 및 화학식 3으로 표시되는 폴리실라잔계 소재 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다:In an embodiment of the present invention, the polysilazane-based resin composition may include any one or more of polysilazane-based materials represented by the following Chemical Formulas 1, 2, and 3:

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 식에서, In the above formula,

R, R' 및 R''은 각각 수소, C1 내지 C20의 알킬 또는 아크릴레이트이고, R, R' and R'' are each hydrogen, C 1 to C 20 alkyl or acrylate,

n은 1 내지 10,000의 정수이다.n is an integer from 1 to 10,000.

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00002
Figure pat00002

상기 식에서, In the above formula,

R은 아미노기, 클로로기 또는 하이드록시기이고,R is an amino group, a chloro group or a hydroxy group,

R'은 에테르기(-O-) 또는 2차 아민기(-NH-)이고,R' is an ether group (-O-) or a secondary amine group (-NH-),

a 및 b는 각각 1 내지 20의 정수이고, a and b are each an integer from 1 to 20,

x 는 1 내지 10,000의 정수이고,x is an integer from 1 to 10,000,

y 는 1 내지 2,000의 정수이다.y is an integer from 1 to 2,000.

[화학식 3][Formula 3]

Figure pat00003
Figure pat00003

상기 식에서, In the above formula,

R은 아미노기, 클로로기 또는 하이드록시기이고,R is an amino group, a chloro group or a hydroxy group,

R'은 에테르기(-O-) 또는 2차 아민기(-NH-)이고,R' is an ether group (-O-) or a secondary amine group (-NH-),

a, b 및 c는 각각 1 내지 20의 정수이고, a, b and c are each an integer from 1 to 20;

x 는 1 내지 10,000의 정수이고,x is an integer from 1 to 10,000,

y 및 z 는 각각 1 내지 2,000의 정수이다.y and z are each an integer from 1 to 2,000.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 폴리실라잔계 수지 조성물은 선형, 가지형, 고리형 및 이들의 혼합형일 수 있다. In one embodiment of the present invention, the polysilazane-based resin composition may be linear, branched, cyclic, or a mixture thereof.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 폴리실라잔계 수지 조성물의 분자량은 1,000 내지 400,000일 수 있다. In one embodiment of the present invention, the molecular weight of the polysilazane-based resin composition may be 1,000 to 400,000.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 폴리실라잔계 수지 조성물은 폴리실라잔계 필름 100 wt%에 대하여 1 wt% 내지 20 wt%로 포함될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the polysilazane-based resin composition may be included in an amount of 1 wt% to 20 wt% based on 100 wt% of the polysilazane-based film.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 혼합용액은 용매를 포함할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the mixed solution may contain a solvent.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 혼합용액은 첨가제를 포함할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the mixed solution may include an additive.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 혼합용액은 촉매를 포함할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the mixed solution may contain a catalyst.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 도포하는 단계 이후에 상기 형성된 필름을 열처리하는 단계를 더 포함할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the method may further include heat-treating the formed film after the applying.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 열처리하는 단계는 70 ℃ 내지 150 ℃의 온도에서 수행될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the heat treatment may be performed at a temperature of 70 °C to 150 °C.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 열처리하는 단계는 10 분 내지 120 분 동안 수행될 수 있다. In one embodiment of the present invention, the heat treatment may be performed for 10 minutes to 120 minutes.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 경화하는 단계 이후에 상기 형성된 필름을 열처리하는 단계를 더 포함할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the method may further include heat-treating the formed film after the curing step.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 열처리하는 단계는 70 ℃ 내지 150 ℃의 온도에서 수행될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the heat treatment may be performed at a temperature of 70 °C to 150 °C.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 열처리하는 단계는 10 분 내지 120 분 동안 수행될 수 있다. In one embodiment of the present invention, the heat treatment may be performed for 10 minutes to 120 minutes.

본 발명의 일 양태는 상기 제조방법에 의해 제조되는 폴리실라잔계 필름을 제공한다. One aspect of the present invention provides a polysilazane-based film prepared by the above manufacturing method.

본 발명의 폴리실라잔계 필름의 제조방법은 기판에 코팅된 폴리실라잔계 수지 조성물을 산소가 용해된 암모니아수에 함침시키는 간단한 방법으로 경화하는 공정을 수행하여 경화 공정시간을 단축함과 동시에 표면 경도 및 균일도가 향상된 폴리실라잔계 필름을 제조할 수 있다. The method for producing a polysilazane-based film of the present invention performs a curing process in a simple method of impregnating a polysilazane-based resin composition coated on a substrate in ammonia water in which oxygen is dissolved, thereby shortening the curing process time and at the same time reducing surface hardness and uniformity. It is possible to prepare an improved polysilazane-based film.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and include all effects that can be inferred from the configuration of the invention described in the detailed description or claims of the present invention.

도 1은 본 발명의 폴리실라잔계 필름의 제조방법의 흐름도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예 및 비교예의 FT-IR 분석 그래프이다.
1 is a flowchart of a method for manufacturing a polysilazane-based film of the present invention.
2 and 3 are FT-IR analysis graphs of an embodiment and a comparative example of the present invention.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be embodied in several different forms, and thus is not limited to the embodiments described herein. And in order to clearly explain the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and similar reference numerals are attached to similar parts throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to be “connected (connected, contacted, coupled)” with another part, it is not only “directly connected” but also “indirectly connected” with another member interposed therebetween. "Including cases where In addition, when a part "includes" a certain component, this means that other components may be further provided without excluding other components unless otherwise stated.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used herein are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate that the features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification exist, but one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

본 명세서에서, 폴리실라잔(polysilazane)이란, 고분자 주쇄에 Si-N 반복단위를 가지는 기능성 무기 고분자를 지칭하며, 이산화규소(SiO2), 질화규소(Si3N4) 및 질화탄화규소(SixNyCz) 층을 형성하기 위한 세라믹 전구체로 주로 사용하는 물질이다. 상기 폴리실라잔은 용액공정으로 비교적 쉽게 박막의 형성이 가능하고, 기판과의 부착력이 우수하여 다양한 소재의 기판에 적용이 가능하고, 내스크래치성, 내부식성, 내화학성, 내열성, 내구성 등이 우수한 특징을 가진다. In the present specification, polysilazane (polysilazane) refers to a functional inorganic polymer having a Si-N repeating unit in the polymer main chain, silicon dioxide (SiO 2 ), silicon nitride (Si 3 N 4 ), and silicon nitride carbide (Si x N y C z ) It is a material mainly used as a ceramic precursor for forming the layer. The polysilazane can be formed into a thin film relatively easily through a solution process, and has excellent adhesion to the substrate, so it can be applied to substrates of various materials, and has excellent scratch resistance, corrosion resistance, chemical resistance, heat resistance, and durability. have characteristics.

본 발명의 일 양태는 본 발명의 폴리실라잔계 필름의 제조방법을 제공한다. One aspect of the present invention provides a method for producing a polysilazane-based film of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 폴리실라잔계 필름의 제조방법은 기판 및 폴리실라잔계 수지 조성물을 포함하는 혼합용액을 준비하는 단계(S100); 상기 혼합용액을 상기 기판상에 도포하는 단계(S200); 상기 혼합용액이 도포된 기판을 산소가 용해된 암모니아수에 함침하여 상기 수지 조성물을 경화하는 단계(S300); 및 상기 경화된 수지 조성물을 열처리하는 단계(S400)를 포함한다. Referring to FIG. 1 , the method for manufacturing a polysilazane-based film of the present invention includes the steps of preparing a mixed solution including a substrate and a polysilazane-based resin composition (S100); applying the mixed solution on the substrate (S200); curing the resin composition by impregnating the substrate coated with the mixed solution in ammonia water in which oxygen is dissolved (S300); and heat-treating the cured resin composition (S400).

먼저, 본 발명의 폴리실라잔계 필름의 제조방법은 기판 및 폴리실라잔계 수지 조성물을 포함하는 혼합용액을 준비하는 단계(S100)를 포함한다. First, the method for producing a polysilazane-based film of the present invention includes a step (S100) of preparing a mixed solution including a substrate and a polysilazane-based resin composition.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 기판은 플라스틱, 금속 또는 세라믹 소재를 포함할 수 있다. 종래 실리카 피막의 형성방법의 경우, 경화공정에서 고온에서의 열처리 공정이 수반되어야 하므로, 내열성이 있는 금속 또는 세라믹기판에 한정되는 문제점이 있었으나, 본 발명의 폴리실라잔계 필름의 제조방법은 경화공정이 상온에서 이루어지며, 폴리실라잔이 대부분의 소재와 부착력이 우수한 바, 상기 기판의 소재는 내열성이 있는 소재에 제한되지 않는다. In an embodiment of the present invention, the substrate may include a plastic, metal, or ceramic material. In the case of the conventional method of forming a silica film, since a heat treatment process at a high temperature is required in the curing process, there is a problem that is limited to a heat-resistant metal or ceramic substrate. It is made at room temperature, and since polysilazane has excellent adhesion to most materials, the material of the substrate is not limited to a material having heat resistance.

예를 들면, 상기 플라스틱은 PET, PI, PMMA, PP, PE, PEN, EVOH, PVA, TAC, PC 또는 생 플라스틱을 포함할 수 있다. For example, the plastic may include PET, PI, PMMA, PP, PE, PEN, EVOH, PVA, TAC, PC or raw plastic.

예를 들면, 상기 금속 소재는 알루미늄, 스테인레스스틸(SUS) 또는 철을 포함할 수 있다.For example, the metal material may include aluminum, stainless steel (SUS), or iron.

예를 들면, 상기 세라믹 소재는 유리, 실리콘 웨이퍼를 포함할 수 있다.For example, the ceramic material may include glass or a silicon wafer.

본 발명의 일 실시예에서 상기 폴리실라잔계 수지 조성물은 상기 폴리실라잔을 포함하여 형성된 고분자 조성물을 의미할 수 있고, 하기의 화학식 1, 화학식 2 및 화학식 3으로 표시되는 폴리실라잔계 소재 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다:In an embodiment of the present invention, the polysilazane-based resin composition may refer to a polymer composition formed including the polysilazane, and any one of the polysilazane-based materials represented by the following Chemical Formulas 1, 2 and 3 These may include, but are not limited to:

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00004
Figure pat00004

상기 식에서, In the above formula,

R, R' 및 R''은 각각 수소, C1 내지 C20의 알킬 또는 아크릴레이트이고, R, R' and R'' are each hydrogen, C 1 to C 20 alkyl or acrylate,

n은 1 내지 10,000의 정수이다.n is an integer from 1 to 10,000.

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00005
Figure pat00005

상기 식에서, In the above formula,

R은 아미노기, 클로로기 또는 하이드록시기이고,R is an amino group, a chloro group or a hydroxy group,

R'은 에테르기(-O-) 또는 2차 아민기(-NH-)이고,R' is an ether group (-O-) or a secondary amine group (-NH-),

a 및 b는 각각 1 내지 20의 정수이고, a and b are each an integer from 1 to 20,

x 는 1 내지 10,000의 정수이고,x is an integer from 1 to 10,000,

y 는 1 내지 2,000의 정수이다.y is an integer from 1 to 2,000.

[화학식 3][Formula 3]

Figure pat00006
Figure pat00006

상기 식에서, In the above formula,

R은 아미노기, 클로로기 또는 하이드록시기이고,R is an amino group, a chloro group or a hydroxy group,

R'은 에테르기(-O-) 또는 2차 아민기(-NH-)이고,R' is an ether group (-O-) or a secondary amine group (-NH-),

a, b 및 c는 각각 1 내지 20의 정수이고, a, b and c are each an integer from 1 to 20;

x 는 1 내지 10,000의 정수이고,x is an integer from 1 to 10,000,

y 및 z 는 각각 1 내지 2,000의 정수이다.y and z are each an integer from 1 to 2,000.

상기 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재는 탄소를 포함하지 않을 수 있고, 예를 들면, 분자의 구조가 Si-N, Si-H, N-H로만 이루어 지는 무기폴리실라잔, 예를 들면 퍼하이드로폴리실라잔(perhydropolysilazane)일 수 있다. The polysilazane-based material represented by Formula 1 may not contain carbon, for example, an inorganic polysilazane having a molecular structure consisting only of Si-N, Si-H, and NH, for example, perhydropoly It may be a silazane (perhydropolysilazane).

상기 화학식 2로 표시되는 폴리실라잔계 소재는 플루오로를 포함하는 플루오로계 폴리실라잔일 수 있고, 하기의 화학식 4로 표시되는 플루오로알킬기를 포함하는 실란 및 상기 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 혼합하여 제조 될 수 있다:The polysilazane-based material represented by Formula 2 may be a fluoro-based polysilazane including fluoro, and a silane including a fluoroalkyl group represented by Formula 4 below and a polysilazane-based material represented by Formula 1 It can be prepared by mixing:

[화학식 4][Formula 4]

Figure pat00007
Figure pat00007

상기 식에서, In the above formula,

R, R' 및 R''은 독립적으로 수소 또는 C1 내지 C3의 알킬기이고, R, R' and R'' are independently hydrogen or a C 1 to C 3 alkyl group,

a 및 b는 1 내지 20의 정수이다.a and b are integers from 1 to 20;

상기 플루오로알킬기를 포함하는 알킬기는 낮은 표면에너지를 부여하는 성분인 CF3 또는 CF2가 풍부하게 존재하고 구조적으로 직선형 구조를 가지고 있어, 발수기의 조밀도를 증가시켜 상기 폴리실라잔계 소재에 발수성을 제공할 수 있다. The alkyl group including the fluoroalkyl group is rich in CF 3 or CF 2 , a component that imparts low surface energy, and has a structurally linear structure. can provide

상기 화학식 3으로 표시되는 폴리실라잔계 소재는 플루오로를 포함하는 플루오로계 폴리실라잔일 수 있고, 하기의 화학식 5로 표시되는 알킬기를 포함하는 실란, 상기 화학식 4로 표시되는 폴리실라잔계 소재 및 상기 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 혼합하여 제조될 수 있다:The polysilazane-based material represented by Formula 3 may be a fluoro-based polysilazane including fluoro, a silane including an alkyl group represented by Formula 5 below, a polysilazane-based material represented by Formula 4, and the It can be prepared by mixing the polysilazane-based material represented by Formula 1:

[화학식 5][Formula 5]

Figure pat00008
Figure pat00008

상기 식에서, In the above formula,

R, R' 및 R”은 독립적으로 수소 또는 C1 내지 C3의 알킬기이고, R, R' and R" are independently hydrogen or a C 1 to C 3 alkyl group,

c는 1 내지 20의 정수이다.c is an integer from 1 to 20;

본 발명의 일 실시예에서, 상기 화학식 1, 화학식 2 및 화학식 3으로 표시되는 폴리실라잔계 소재는 각각 선형, 가지형, 고리형 및 이들의 혼합형일 수 있다. 따라서, 본 발명의 폴리실라잔계 수지 조성물은 선형, 가지형, 고리형 및 이들의 혼합형일 수 있다. In an embodiment of the present invention, the polysilazane-based material represented by Chemical Formulas 1, 2, and 3 may be linear, branched, cyclic, or a mixture thereof, respectively. Accordingly, the polysilazane-based resin composition of the present invention may be linear, branched, cyclic, or a mixture thereof.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 폴리실라잔계 수지 조성물의 분자량은 1,000 내지 400,000일 수 있고, 제조되는 폴리실라잔계 필름100 wt%에 대하여 1 wt% 내지 20 wt%로 포함될 수 있다. In one embodiment of the present invention, the molecular weight of the polysilazane-based resin composition may be 1,000 to 400,000, and may be included in an amount of 1 wt% to 20 wt% based on 100 wt% of the polysilazane-based film to be prepared.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 혼합용액은 상술한 폴리실라잔계 수지 조성물을 포함하고, 또한 용매를 포함할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the mixed solution includes the polysilazane-based resin composition described above, and may also include a solvent.

상기 용매는 상기 폴리실라잔계 수지 조성물을 용해하여 분산시킬 수 있는 물질이라면 이를 제한하지 않는다. 예를 들면, 상기 용매는 디부틸에터(DBE, dibutylether), 톨루엔, 테트라하이드로퓨란(THF, tetrahydrofuran), n-메틸피롤리돈(NMP, n-methyl pyrolidone), 자일렌(Xylene), 프로필렌 글리콜 메틸 에터 아세테이트(PGMEA, propylene glycol methyl ether acetate), 프로필렌 글리콜 모노메틸 에터 아세테이트(PMA, propylene glycol monomethyl ether acetate) 또는 시클로헥세인(cyclohexane)을 포함할 수 있다.The solvent is not limited as long as it is a material capable of dissolving and dispersing the polysilazane-based resin composition. For example, the solvent is dibutyl ether (DBE, dibutylether), toluene, tetrahydrofuran (THF, tetrahydrofuran), n-methylpyrrolidone (NMP, n-methyl pyrolidone), xylene (Xylene), propylene It may include glycol methyl ether acetate (PGMEA, propylene glycol methyl ether acetate), propylene glycol monomethyl ether acetate (PMA, propylene glycol monomethyl ether acetate), or cyclohexane.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 혼합용액은 첨가제 및/또는 촉매를 포함할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the mixed solution may include an additive and/or a catalyst.

상기 첨가제는 상기 혼합용액의 안정성을 유지할 수 있는 물질이라면 이를 제한하지 않고, 예를 들면, 산화방지제, UV 흡수제 등이 상기 첨가제에 포함될 수 있다. The additive is not limited as long as it is a material capable of maintaining the stability of the mixed solution, and for example, an antioxidant, a UV absorber, etc. may be included in the additive.

또한, 상기 촉매는 상기 폴리실라잔계 수지 조성물의 경화를 촉진할 수 있는 물질로서, 상기 폴리실라잔계 수지 조성물 또는 바인더를 전환시킬 수 있는 물질이라면 이를 제한하지 않으며, 예를 들면, 1차 아민계 촉매, 2차 아민계 촉매 또는 3차 아민계 촉매일 수 있고, 예를 들면, 메틸아민, 아닐린, 1,3-사이클로헥산바이스(메틸아민), 1,5-다이아미노-2-메틸펜탄, 2,4-다이아미노톨루엔, 2,2-다이메틸-1,3-프로판다이아민, 4.4'-메틸렌바이스(사이클로헥실아민), 다이메틸아민, 다이에틸아민, 피페리딘, N,N'-다이에틸-2-부텐-1,4-다이아민, N,N'-다이아이소프로필에틸렌다이아민, N,N'-다이아이소프로필-1,3-프로판다이아민, N,N'-다이페틸-p-페틸렌다이아민, 2-아이소프로필-2-옥사졸린, 1,4,8,12-테트라자사이클로펜타데칸, 1,4,8,11-테트라자사이클로테느라데칸-2.7-다이온, 트라이메틸아민, 트라이에틸아민, N,N-다이메틸펜틸아민, N-에틸-N-메틸부틸아민, N-에틸-N-프로필아닐린, N,N,N',N'-테트라메틸-1,6-다이아미노헥산 또는 N,N-다이메틸벤즈안트라센-6-아민일 수 있다.In addition, the catalyst is a material capable of accelerating the curing of the polysilazane-based resin composition, and is not limited as long as it is a material capable of converting the polysilazane-based resin composition or the binder, for example, a primary amine-based catalyst , may be a secondary amine-based catalyst or a tertiary amine-based catalyst, for example, methylamine, aniline, 1,3-cyclohexanebis(methylamine), 1,5-diamino-2-methylpentane, 2 ,4-Diaminotoluene, 2,2-dimethyl-1,3-propanediamine, 4.4'-methylenebis(cyclohexylamine), dimethylamine, diethylamine, piperidine, N,N'- Diethyl-2-butene-1,4-diamine, N,N'-diisopropylethylenediamine, N,N'-diisopropyl-1,3-propanediamine, N,N'-diethyl -p-Petylenediamine, 2-isopropyl-2-oxazoline, 1,4,8,12-tetrazacyclopentadecane, 1,4,8,11-tetrazacycloterenadecane-2.7-da Ion, trimethylamine, triethylamine, N,N-dimethylpentylamine, N-ethyl-N-methylbutylamine, N-ethyl-N-propylaniline, N,N,N',N'-tetramethyl -1,6-diaminohexane or N,N-dimethylbenzanthracen-6-amine.

다음으로, 본 발명의 폴리실라잔계 필름의 제조방법은 상기 혼합용액을 상기 기판상에 도포하는 단계(S200)를 포함한다. Next, the method of manufacturing the polysilazane-based film of the present invention includes the step of applying the mixed solution on the substrate (S200).

본 발명의 일 실시예에서, 상기 기판상에 도포하는 단계(S200)는 담지법, 함침법 및 분사법 중 어느 하나일 수 있다. 상기 분사법은, 예를 들면, 상기 기판의 표면에 상기 수지 조성물을 스피닝, 슬롯다이, 마이크로 그라비아, 그라비아 또는 스프레이를 이용하여 분사하는 방법을 통해 수행할 수 있다. 예를 들면, 상기 기판상에 도포하는 단계(S200)가 스피닝을 이용하여 분사하는 방법을 통하여 수행되는 경우, 상기 기판을 500 rpm 내지 4,000 rpm으로 회전하며 상기 수지 조성물을 상기 기판에 1 초 내지 20 분 동안 분사하여 수행될 수 있다. 상기 기판상에 코팅하는 단계(S200)는 상기 폴리실라잔계 수지 조성물의 상태가 균일하게 존재함과 동시에 일정하게 도포되기 위하여 수행하는 공정으로서, 상기 도포 방법은 이에 한정되지 않는다. In one embodiment of the present invention, the step (S200) of applying on the substrate may be any one of a supporting method, an impregnating method, and a spraying method. The spraying method may be performed, for example, by spraying the resin composition onto the surface of the substrate using spinning, slot die, micro gravure, gravure, or spraying. For example, when the step (S200) of applying on the substrate is performed through a method of spraying using spinning, the substrate is rotated at 500 rpm to 4,000 rpm and the resin composition is applied to the substrate for 1 second to 20 This can be done by spraying for minutes. The coating on the substrate (S200) is a process performed so that the state of the polysilazane-based resin composition is uniformly present and uniformly applied at the same time, and the coating method is not limited thereto.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 폴리실라잔계 수지 조성물을 도포하는 단계(S200) 및 상기 경화하는 단계(S300) 사이에 전처리 단계를 선택적으로 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 전처리 단계는 70 ℃ 내지 150 ℃의 온도조건 하에서 상기 폴리실라잔계 수지 조성물이 도포된 기판을 열처리함으로써 수행될 수 있다. 상기 전처리 단계는 상기 기판의 소재를 고려하여 선택적으로 포함하는 것이 바람직하다. In an embodiment of the present invention, a pretreatment step may be optionally further included between the step of applying the polysilazane-based resin composition (S200) and the step of curing (S300). For example, the pretreatment step may be performed by heat-treating the substrate coated with the polysilazane-based resin composition under a temperature condition of 70°C to 150°C. Preferably, the pretreatment step is selectively included in consideration of the material of the substrate.

다음으로, 본 발명의 폴리실라잔계 필름의 제조방법은 상기 수지 조성물이 도포된 기판을 산소가 용해된 암모니아수에 함침하여 상기 수지 조성물을 경화하는 단계(S300)를 포함한다. Next, the method for producing a polysilazane-based film of the present invention includes a step (S300) of curing the resin composition by immersing the substrate coated with the resin composition in ammonia water in which oxygen is dissolved.

본 발명에서 상기 경화하는 단계(S300)는 상기 수지 조성물이 코팅된 기판을 암모니아수에 함침함과 동시에 산소를 공급하는 방법, 예를 들면, 산소가 용해된 암모니아수에 함침하는 방법을 통하여 수행될 수 있다. In the present invention, the curing step (S300) may be performed through a method of impregnating the substrate coated with the resin composition in ammonia water and supplying oxygen at the same time, for example, impregnating in ammonia water in which oxygen is dissolved. .

상기 암모니아수에 상기 폴리실라잔계 수지 조성물이 노출된 경우 암모니아 촉매 및 수분에 의해 상기 폴리실라잔계 수지 조성물에 포함된 Si-H 결합이 Si-O결합으로 변화되며 실리카 막이 형성될 수 있고, 기판의 표면에 실리카 막이 형성된 폴리실라잔계 필름을 수득할 수 있다. When the polysilazane-based resin composition is exposed to the ammonia water, the Si-H bond contained in the polysilazane-based resin composition is changed to a Si-O bond by the ammonia catalyst and moisture, and a silica film may be formed, and the surface of the substrate A polysilazane-based film having a silica film formed thereon can be obtained.

상기 경화하는 공정에서 상기 암모니아수에 포함된 산소의 농도는 폴리실라잔계 수지 조성물을 실리카 막(SiO2)으로 전환시키기 위한 중요한 인자 일 수 있으며, 예를 들면, 상기 암모니아수의 용존산소(DO; dissolved oxygen)는 10 ppm 내지 100 ppm, 예를 들면, 30 ppm 내지 40 ppm일 수 있다. In the curing process, the concentration of oxygen contained in the ammonia water may be an important factor for converting the polysilazane-based resin composition into a silica film (SiO 2 ), for example, dissolved oxygen (DO) in the ammonia water. ) may be 10 ppm to 100 ppm, for example, 30 ppm to 40 ppm.

상기 경화하는 공정은 산소를 공급하는 공정을 포함하여, 상기 암모니아수의 용존산소를 30 ppm이상으로 함으로써, 산소를 공급하지 않고, 단순히 암모니아수에 침지시켜 경화하는 공정에 비하여 제조되는 필름 표면의 경도 및 균일성이 향상되는 장점이 있다. The curing process includes a process of supplying oxygen, and by making the dissolved oxygen of the ammonia water 30 ppm or more, the hardness and uniformity of the surface of the film produced compared to the process of curing by simply immersing in ammonia water without supplying oxygen It has the advantage of improving performance.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 암모니아수의 농도는 5 % 내지 35 %, 예를 들면, 30 %일 수 있다. In one embodiment of the present invention, the concentration of the aqueous ammonia may be 5% to 35%, for example, 30%.

상기 암모니아수의 농도가 5 % 미만인 경우, 빠른 경화가 이루어 지지 않아 필름이 박리될 수 있으며, 상기 암모니아수의 농도가 35 % 이상인 경우, 필름의 균일성이 저하 될 수 있다. If the concentration of the ammonia water is less than 5%, the film may be peeled off because fast curing is not made, and if the concentration of the ammonia water is 35% or more, the uniformity of the film may be deteriorated.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 경화하는 단계(S300)는 20 ℃ 내지 40 ℃의 온도, 예를 들면, 30 ℃에서 수행될 수 있다. 상기 경화하는 단계(S300)가 약 25 ℃ 내지 30 ℃의 상온에서 수행될 수 있으므로, 상기 기판의 소재에 제한을 받지 않고 사용하고자 하는 기판을 사용하여 폴리실라잔계 필름을 제조할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the curing step (S300) may be performed at a temperature of 20 °C to 40 °C, for example, 30 °C. Since the curing step ( S300 ) may be performed at room temperature of about 25° C. to 30° C., the polysilazane-based film can be manufactured using the substrate to be used without being limited by the material of the substrate.

또한, 상기 경화하는 단계(S300)는 1 시간 내지 4 시간, 예를 들면, 3 시간 동안 수행될 수 있어, 종래의 암모니아 증기에 노출하여 경화하는 공정의 수행시간(약 3일)에 비하여 경화하는 공정의 시간을 매우 단축할 수 있다는 장점이 있다. In addition, the curing step (S300) may be performed for 1 hour to 4 hours, for example, 3 hours, compared to the execution time (about 3 days) of the conventional curing process by exposure to ammonia vapor. There is an advantage that the process time can be greatly shortened.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 수지 조성물을 경화하는 단계(S300) 이후, 상기 경화된 수지 조성물을 열처리하는 단계(S400)를 더 포함할 수 있다. In one embodiment of the present invention, after the step of curing the resin composition (S300), the step of heat-treating the cured resin composition (S400) may be further included.

예를 들면, 상기 열처리하는 단계(S400)는 상기 필름에 존재하는 플루오로알킬기가 상기 필름 표면을 향해 배열되도록 하기 위해 수행할 수 있는데, 상기 플루오로알킬기가 상기 필름 표면을 향해 배열될 경우 상기 필름의 발수 특성이 향상될 수 있다.For example, the heat treatment ( S400 ) may be performed so that fluoroalkyl groups present in the film are aligned toward the film surface. When the fluoroalkyl groups are aligned toward the film surface, the film of water-repellent properties may be improved.

상기 필름을 열처리하는 단계는, 예를 들면, 70 ℃ 내지 150 ℃의 온도에서 수행할 수 있다. 그러나, 상기 온도에 반드시 한정되는 것은 아니며, 상기 플루오로알킬기가 상기 코팅표면 쪽으로 배열이 유도되는 범위의 온도 조건이면 열처리 수행 온도로서 적합할 수 있다. 상기 필름을 열처리하는 단계는 10 분 내지 120 분, 예를 들면, 20 분 내지 60 분 동안 수행될 수 있다.Heating the film may be performed, for example, at a temperature of 70 °C to 150 °C. However, it is not necessarily limited to the above temperature, and if the temperature condition is within a range in which the fluoroalkyl group is induced toward the coating surface, it may be suitable as the temperature for performing the heat treatment. Heating the film may be performed for 10 minutes to 120 minutes, for example, 20 minutes to 60 minutes.

상기 열처리하는 단계는 상기 기판의 소재를 고려하여 선택적으로 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the heat treatment is selectively included in consideration of the material of the substrate.

본 발명의 다른 일 양태는 기판 및 폴리실라잔계 수지 조성물을 준비하는 단계(S100); 상기 수지 조성물을 상기 기판상에 도포하는 단계(S200); 및 상기 수지 조성물이 도포된 기판을 산소가 용해된 암모니아수에 함침하여 상기 수지 조성물을 경화하는 단계(S300); 를 포함하는 제조방법을 이용하여 제조된 폴리실라잔계 필름을 제공한다. Another aspect of the present invention comprises the steps of preparing a substrate and a polysilazane-based resin composition (S100); applying the resin composition on the substrate (S200); and impregnating the substrate coated with the resin composition in ammonia water in which oxygen is dissolved to cure the resin composition (S300); It provides a polysilazane-based film prepared using a manufacturing method comprising a.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 수지 조성물을 경화하는 단계(S300)는 상기 수지 조성물이 도포된 기판을 암모니아수에 함침함과 동시에 산소를 공급하여 수행될 수 있다.In an embodiment of the present invention, curing the resin composition (S300) may be performed by immersing the substrate coated with the resin composition in ammonia water and supplying oxygen at the same time.

상기 제조방법에 대한 설명은 상기 양태에서 설명한 것으로 갈음한다. The description of the manufacturing method is replaced with that described in the above embodiment.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 제조방법에 의하여 제조된 폴리실라잔계 필름은 약 95 % 이상의 경화도를 가질 수 있다. In one embodiment of the present invention, the polysilazane-based film prepared by the above method may have a degree of curing of about 95% or more.

또한, 상기 폴리실라잔계 필름의 연필경도는 9 H 이상일수 있고, 표면경도의 균일도가 양호할 수 있다. In addition, the pencil hardness of the polysilazane-based film may be 9 H or more, and the uniformity of the surface hardness may be good.

본 발명의 다른 실시예에서, 상기 제조방법에 의하여 제조된 폴리실라잔계 필름은 물방울과의 접촉각이 약 100 ° 이상으로, 발수 특성을 가질 수 있다. In another embodiment of the present invention, the polysilazane-based film prepared by the manufacturing method may have a water repellency property with a contact angle with water droplets of about 100° or more.

본 발명의 일 실시예에 따른 폴리실라잔계 필름은 코팅을 형성하는 다양한 응용분야에 적용할 수 있다. 예를 들면, 상기 응용분야는 디스플레이, 태양광, 건축 내외장재, 열교환용 파이프, 전선표면, 교각, 정수기용 파이프, 자동차, 운송기기 또는 광학기기의 표면처리를 포함할 수 있으며, 이에 한정하는 것은 아니다. 이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리실라잔계 필름을 적용함으로써 상기 응용분야의 발수 특성을 향상시킬 수 있다.The polysilazane-based film according to an embodiment of the present invention can be applied to various applications of forming a coating. For example, the application field may include, but is not limited to, the surface treatment of displays, sunlight, building interior and exterior materials, heat exchange pipes, electric wire surfaces, piers, water purifier pipes, automobiles, transportation devices, or optical devices. . In this case, by applying the polysilazane-based film according to an embodiment of the present invention, it is possible to improve the water-repellent properties of the application field.

이하에서는, 실시예 및 비교예를 참조하면서, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 폴리실라잔계 필름에 대하여 구체적으로 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 일 예시이며, 본 발명의 범위가 이에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, a polysilazane-based film according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to Examples and Comparative Examples. In addition, the examples shown below are examples for helping understanding of the present invention, and the scope of the present invention is not limited thereto.

실시예 1. 폴리실라잔계 필름의 제조 Example 1. Preparation of polysilazane-based film

1-1. 폴리실라잔계 필름의 제조 (1시간 함침)1-1. Preparation of polysilazane-based film (Impregnation for 1 hour)

폴리실라잔계 수지 조성물을 코팅하기 위한 글라스를 40 ℃ 알카리 세정액에 30 분간 담근 후, 초음파 세척기를 이용하여 증류수, 아세톤, 아이소프로필알콜에 각각 5 분간 초음파 처리를 한 후 120 ℃ 오븐에서 건조하였다. The glass for coating the polysilazane-based resin composition was immersed in an alkaline cleaning solution at 40° C. for 30 minutes, followed by ultrasonic treatment in distilled water, acetone, and isopropyl alcohol for 5 minutes each using an ultrasonic cleaner, and then dried in an oven at 120° C.

세척된 글라스 위에 하기의 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재인 퍼하이드로폴리실라잔을 포함하는 폴리실라잔계 수지 조성물을 적하하여 1,000 rpm에서 10 초 동안 도포하였고, 핫플레이트 위에서 120 ℃에서 1 분간 프리-베이크 공정을 진행하였다.A polysilazane-based resin composition containing perhydropolysilazane, which is a polysilazane-based material represented by the following Chemical Formula 1, was dripped onto the washed glass and applied at 1,000 rpm for 10 seconds, and freed for 1 minute at 120° C. on a hot plate. - The bake process was performed.

상기 수지 조성물이 코팅된 글래스를 30 ℃에서 1 시간 동안 용존산소(DO)가 38.5 ppm, 농도는 30 %인 암모니아수에 함침하여 경화하고, 120 ℃의 온도에서 1 시간동안 건조하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다: The glass coated with the resin composition was impregnated in ammonia water having a dissolved oxygen (DO) of 38.5 ppm and a concentration of 30% for 1 hour at 30 ° C. Prepared:

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00009
Figure pat00009

상기 식에서, In the above formula,

R, R' 및 R''은 각각 수소, C1 내지 C20의 알킬 또는 아크릴레이트이고, R, R' and R'' are each hydrogen, C 1 to C 20 alkyl or acrylate,

n은 1 내지 10,000의 정수이다.n is an integer from 1 to 10,000.

1-2. 폴리실라잔계 필름의 제조1-2. Preparation of polysilazane-based film

상기 실시예 1-1에서, 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재 대신, 하기의 화학식 2로 표시되는 폴리실라잔계 소재인 플루오로계 폴리실라잔을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1-1과 동일한 방법을 수행하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다:In Example 1-1, except that fluoro-based polysilazane, which is a polysilazane-based material represented by the following Chemical Formula 2, was used instead of the polysilazane-based material represented by Formula 1, The same method was performed to prepare a polysilazane-based film:

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00010
Figure pat00010

상기 식에서, In the above formula,

R은 아미노기, 클로로기 또는 하이드록시기이고,R is an amino group, a chloro group or a hydroxy group,

R'은 에테르기(-O-) 또는 2차 아민기(-NH-)이고,R' is an ether group (-O-) or a secondary amine group (-NH-),

a 및 b는 각각 1 내지 20의 정수이고, a and b are each an integer from 1 to 20,

x 는 1 내지 10,000의 정수이고,x is an integer from 1 to 10,000,

y 는 1 내지 2,000의 정수이다.y is an integer from 1 to 2,000.

1-3. 폴리실라잔계 필름의 제조1-3. Preparation of polysilazane-based film

상기 실시예 1-1에서, 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재 대신, 하기의 화학식 3으로 표시되는 폴리실라잔계 소재인 플루오로 알킬계 폴리실라잔을 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1-1과 동일한 방법을 수행하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다:Example 1-1, except that in Example 1-1, fluoroalkyl-based polysilazane, which is a polysilazane-based material represented by the following Chemical Formula 3, was used instead of the polysilazane-based material represented by Chemical Formula 1 A polysilazane-based film was prepared by the same method as:

[화학식 3][Formula 3]

Figure pat00011
Figure pat00011

상기 식에서, In the above formula,

R은 아미노기, 클로로기 또는 하이드록시기이고,R is an amino group, a chloro group or a hydroxy group,

R'은 에테르기(-O-) 또는 2차 아민기(-NH-)이고,R' is an ether group (-O-) or a secondary amine group (-NH-),

a, b 및 c는 각각 1 내지 20의 정수이고, a, b and c are each an integer from 1 to 20;

x 는 1 내지 10,000의 정수이고,x is an integer from 1 to 10,000,

y 및 z 는 각각 1 내지 2,000의 정수이다.y and z are each an integer from 1 to 2,000.

실시예 2. 폴리실라잔계 필름의 제조 (3시간 함침)Example 2. Preparation of polysilazane-based film (impregnated for 3 hours)

2-1. 폴리실라잔계 필름의 제조2-1. Preparation of polysilazane-based film

폴리실라잔계 수지 조성물을 코팅하기 위한 글라스를 40 ℃ 알카리 세정액에 30 분간 담근 후, 초음파 세척기를 이용하여 증류수, 아세톤, 아이소프로필알콜에 각각 5 분간 초음파 처리를 한 후 120 ℃ 오븐에서 건조하였다. The glass for coating the polysilazane-based resin composition was immersed in an alkaline cleaning solution at 40° C. for 30 minutes, followed by ultrasonic treatment in distilled water, acetone, and isopropyl alcohol for 5 minutes each using an ultrasonic cleaner, and then dried in an oven at 120° C.

세척된 글라스 위에 상기 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 포함하는 폴리실라잔계 수지 조성물을 적하하여 1,000 rpm에서 10 초 동안 도포하였고, 핫플레이트 위에서 120 ℃에서 1 분간 프리-베이크 공정을 진행하였다.The polysilazane-based resin composition including the polysilazane-based material represented by Chemical Formula 1 was dripped onto the washed glass and applied at 1,000 rpm for 10 seconds, and a pre-bake process was performed on a hot plate at 120° C. for 1 minute.

상기 수지 조성물이 코팅된 글래스를 30 ℃에서 3 시간 동안 용존산소(DO)가 38.5 ppm, 농도는 30 %인 암모니아수에 함침하여 경화하고, 120 ℃의 온도에서 1 시간동안 건조하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다.The glass coated with the resin composition was impregnated in ammonia water having a dissolved oxygen (DO) of 38.5 ppm and a concentration of 30% at 30° C. for 3 hours to cure, and dried at a temperature of 120° C. for 1 hour to obtain a polysilazane-based film. prepared.

2-2. 폴리실라잔계 필름의 제조2-2. Preparation of polysilazane-based film

상기 실시예 2-1에서, 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재 대신, 상기 화학식 2로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 2-1과 동일한 방법을 수행하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다.In Example 2-1, the same method as in Example 2-1 was performed, except that the polysilazane-based material represented by Formula 2 was used instead of the polysilazane-based material represented by Formula 1, and the polysilazane-based material was used. A film was prepared.

2-3. 폴리실라잔계 필름의 제조2-3. Preparation of polysilazane-based film

상기 실시예 2-1에서, 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재 대신, 상기 화학식 3으로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 2-1과 동일한 방법을 수행하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다.In Example 2-1, the same method as in Example 2-1 was performed, except that the polysilazane-based material represented by Formula 3 was used instead of the polysilazane-based material represented by Formula 1, and the polysilazane-based material was used. A film was prepared.

비교예 1. 경화되지 않은 폴리실라잔계 필름의 제조Comparative Example 1. Preparation of uncured polysilazane-based film

1-1. 경화되지 않은 폴리실라잔계 필름의 제조1-1. Preparation of uncured polysilazane-based film

폴리실라잔계 수지 조성물을 코팅하기 위한 글라스를 40 ℃ 알카리 세정액에 30 분간 담근 후, 초음파 세척기를 이용하여 증류수, 아세톤, 아이소프로필알콜에 각각 5 분간 초음파 처리를 한 후 120 ℃ 오븐에서 건조하였다. The glass for coating the polysilazane-based resin composition was immersed in an alkaline cleaning solution at 40° C. for 30 minutes, followed by ultrasonic treatment in distilled water, acetone, and isopropyl alcohol for 5 minutes each using an ultrasonic cleaner, and then dried in an oven at 120° C.

세척된 글라스 위에 상기 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 포함하는 폴리실라잔계 수지 조성물을 적하하여 1,000 rpm에서 10 초 동안 도포하였고, 핫플레이트 위에서 120 ℃에서 1 분간 프리-베이크 공정을 진행하였다.The polysilazane-based resin composition including the polysilazane-based material represented by Chemical Formula 1 was dripped onto the washed glass and applied at 1,000 rpm for 10 seconds, and a pre-bake process was performed on a hot plate at 120° C. for 1 minute.

상기 수지 조성물이 코팅된 글래스를 경화하지 않고 폴리실라잔계 필름을 제조하였다.A polysilazane-based film was prepared without curing the glass coated with the resin composition.

1-2. 경화되지 않은 폴리실라잔계 필름의 제조1-2. Preparation of uncured polysilazane-based film

상기 비교예 1-1에서, 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재 대신, 상기 화학식 2로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 사용한 것을 제외하고는 상기 비교예 1-1과 동일한 방법을 수행하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다.In Comparative Example 1-1, the same method as in Comparative Example 1-1 was performed except that the polysilazane-based material represented by Formula 2 was used instead of the polysilazane-based material represented by Formula 1, and the polysilazane-based material was used. A film was prepared.

1-3. 경화되지 않은 폴리실라잔계 필름의 제조1-3. Preparation of uncured polysilazane-based film

상기 비교예 1-1에서, 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재 대신, 상기 화학식 3으로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 사용한 것을 제외하고는 상기 비교예 1-1과 동일한 방법을 수행하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다. In Comparative Example 1-1, the same method as in Comparative Example 1-1 was performed except that the polysilazane-based material represented by Formula 3 was used instead of the polysilazane-based material represented by Formula 1, and the polysilazane-based material was used. A film was prepared.

비교예 2. 폴리실라잔계 필름의 제조Comparative Example 2. Preparation of polysilazane-based film

2-1. 폴리실라잔계 필름의 제조2-1. Preparation of polysilazane-based film

폴리실라잔계 수지 조성물을 코팅하기 위한 글라스를 40 ℃ 알카리 세정액에 30 분간 담근 후, 초음파 세척기를 이용하여 증류수, 아세톤, 아이소프로필알콜에 각각 5 분간 초음파 처리를 한 후 120 ℃ 오븐에서 건조하였다. The glass for coating the polysilazane-based resin composition was immersed in an alkaline cleaning solution at 40° C. for 30 minutes, followed by ultrasonic treatment in distilled water, acetone, and isopropyl alcohol for 5 minutes each using an ultrasonic cleaner, and then dried in an oven at 120° C.

세척된 글라스 위에 상기 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 포함하는 폴리실라잔계 수지 조성물을 적하하여 1,000 rpm에서 10 초 동안 도포하였고, 핫플레이트 위에서 120 ℃에서 1 분간 프리-베이크 공정을 진행하였다.The polysilazane-based resin composition including the polysilazane-based material represented by Chemical Formula 1 was dripped onto the washed glass and applied at 1,000 rpm for 10 seconds, and a pre-bake process was performed on a hot plate at 120° C. for 1 minute.

상기 수지 조성물이 코팅된 글래스를 30 ℃에서 30 % 농도의 암모니아수의 증기에 3일간 노출하여 경화하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다.A polysilazane-based film was prepared by curing the glass coated with the resin composition by exposing it to steam of 30% ammonia water at 30° C. for 3 days.

2-2. 폴리실라잔계 필름의 제조2-2. Preparation of polysilazane-based film

상기 비교예 2-1에서, 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재 대신, 상기 화학식 2로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 사용한 것을 제외하고는 상기 비교예 2-1과 동일한 방법을 수행하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다.In Comparative Example 2-1, the same method as in Comparative Example 2-1 was performed except that the polysilazane-based material represented by Chemical Formula 2 was used instead of the polysilazane-based material represented by Chemical Formula 1, and a polysilazane-based material was used. A film was prepared.

2-3. 폴리실라잔계 필름의 제조2-3. Preparation of polysilazane-based film

상기 비교예 2-1에서, 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재 대신, 상기 화학식 3으로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 사용한 것을 제외하고는 상기 비교예 2-1과 동일한 방법을 수행하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다.In Comparative Example 2-1, the same method as in Comparative Example 2-1 was performed, except that the polysilazane-based material represented by Chemical Formula 3 was used instead of the polysilazane-based material represented by Chemical Formula 1, and the polysilazane-based material was used. A film was prepared.

비교예 3. 폴리실라잔계 필름의 제조Comparative Example 3. Preparation of polysilazane-based film

3-1. 폴리실라잔계 필름의 제조3-1. Preparation of polysilazane-based film

폴리실라잔계 수지 조성물을 코팅하기 위한 글라스를 40 ℃ 알카리 세정액에 30 분간 담근 후, 초음파 세척기를 이용하여 증류수, 아세톤, 아이소프로필알콜에 각각 5 분간 초음파 처리를 한 후 120 ℃ 오븐에서 건조하였다. The glass for coating the polysilazane-based resin composition was immersed in an alkaline cleaning solution at 40° C. for 30 minutes, followed by ultrasonic treatment in distilled water, acetone, and isopropyl alcohol for 5 minutes each using an ultrasonic cleaner, and then dried in an oven at 120° C.

세척된 글라스 위에 상기 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 포함하는 폴리실라잔계 수지 조성물을 적하하여 1000 rpm에서 10 초 동안 도포하였고, 핫플레이트 위에서 120 ℃에서 1 분간 프리-베이크 공정을 진행하였다.The polysilazane-based resin composition including the polysilazane-based material represented by Chemical Formula 1 was dripped onto the washed glass and applied at 1000 rpm for 10 seconds, and a pre-bake process was performed on a hot plate at 120° C. for 1 minute.

상기 수지 조성물이 코팅된 글래스를 30 ℃에서 3 시간 동안 산소가 용해되지 않고, 농도는 30 %인 암모니아수에 함침하여 경화하고, 120℃의 온도에서 1 시간동안 건조하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다.The glass coated with the resin composition was cured by being impregnated with ammonia water having a concentration of 30% and not dissolved in oxygen at 30° C. for 3 hours, and dried at 120° C. for 1 hour to prepare a polysilazane-based film.

3-2. 폴리실라잔계 필름의 제조3-2. Preparation of polysilazane-based film

상기 비교예 3-1에서, 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재 대신, 상기 화학식 2로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 사용한 것을 제외하고는 상기 비교예 3-1과 동일한 방법을 수행하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다.In Comparative Example 3-1, the same method as in Comparative Example 3-1 was performed, except that the polysilazane-based material represented by Formula 2 was used instead of the polysilazane-based material represented by Formula 1, and the polysilazane-based material was used. A film was prepared.

3-3. 폴리실라잔계 필름의 제조3-3. Preparation of polysilazane-based film

상기 비교예 3-1에서, 화학식 1로 표시되는 폴리실라잔계 소재 대신, 상기 화학식 3으로 표시되는 폴리실라잔계 소재를 사용한 것을 제외하고는 상기 비교예 3-1과 동일한 방법을 수행하여 폴리실라잔계 필름을 제조하였다.In Comparative Example 3-1, the same method as in Comparative Example 3-1 was performed except that the polysilazane-based material represented by Formula 3 was used instead of the polysilazane-based material represented by Formula 1, and the polysilazane-based material was used. A film was prepared.

실험예 1. 폴리실라잔계 필름의 특성 평가Experimental Example 1. Evaluation of properties of polysilazane-based films

상기 실시예 1 내지 2 및 비교예 1 내지 3에서 수득한 필름의 특성을 평가하기 위하여 상기 폴리실라잔계 필름의 FT-IR 분석을 수행하여 그 결과 그래프를 도 2 내지 도 3에 표시하고, 상기 폴리실라잔계 필름의 표면과 물방울과의 접촉각(W.C.A; water contact angle), 경화도, 연필경도 및 표면상태를 평가하여 그 결과를 하기의 표 1에 표시하였다:In order to evaluate the properties of the films obtained in Examples 1 to 2 and Comparative Examples 1 to 3, FT-IR analysis of the polysilazane-based film was performed, and the result graph is shown in FIGS. 2 to 3, and the polysilazane-based film The water contact angle (WCA), curing degree, pencil hardness, and surface condition of the surface of the silazane-based film and water droplets were evaluated, and the results are shown in Table 1 below:

W.C.A (°)W.C.A (°) 경화도 (%)Hardening (%) 연필경도 (1Kg)Pencil Hardness (1Kg) 표면상태surface condition 실시예 1-1Example 1-1 1515 98.6598.65 9 H9H GoodGood 실시예 1-2Example 1-2 102102 98.4898.48 9 H9H GoodGood 실시예 1-3Examples 1-3 107107 98.0798.07 9 H9H GoodGood 실시예 2-1Example 2-1 1717 99.4099.40 9 H9H GoodGood 실시예 2-2Example 2-2 104104 99.5199.51 9 H9H GoodGood 실시예 2-3Example 2-3 109109 99.6199.61 9 H9H GoodGood 비교예 2-1Comparative Example 2-1 5454 99.6099.60 9 H9H GoodGood 비교예 2-2Comparative Example 2-2 111111 99.3099.30 9 H9H GoodGood 비교예 2-3Comparative Example 2-3 111111 99.4099.40 9 H9H GoodGood 비교예 3-1Comparative Example 3-1 1313 98.2098.20 7 H7H BadBad 비교예 3-2Comparative Example 3-2 100100 98.3098.30 8 H8H GoodGood 비교예 3-3Comparative Example 3-3 105105 98.2098.20 8 H8H GoodGood

도 2 내지 도 3을 참조하면, 실시예 1 및 실시예 2에서 경화가 진행됨에 따라 Si-H, Si-N, N-H peak들은 Si-O의 peak으로 전환됨을 확인할 수 있었다. Referring to FIGS. 2 to 3 , it was confirmed that Si-H, Si-N, and N-H peaks were converted to Si-O peaks as curing proceeded in Examples 1 and 2 .

표 1을 참조하면, 실시예 1 및 실시예 2의 경우, 공정시간이 단축되었음에도 불구하고, 평균 경화도가 95 % 이상이며, 표면경도의 균일도가 상승한 것을 확인할 수 있었다. Referring to Table 1, in the case of Examples 1 and 2, although the process time was shortened, it was confirmed that the average degree of curing was 95% or more, and the uniformity of the surface hardness was increased.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The description of the present invention described above is for illustration, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can understand that it can be easily modified into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a dispersed form, and likewise components described as distributed may be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention.

Claims (21)

기판 및 폴리실라잔계 수지 조성물을 포함하는 혼합용액을 준비하는 단계;
상기 혼합용액을 상기 기판상에 도포하는 단계; 및
상기 혼합용액이 도포된 기판을 산소가 용해된 암모니아수에 함침하여 상기 수지 조성물을 경화하는 단계;
를 포함하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
preparing a mixed solution comprising a substrate and a polysilazane-based resin composition;
applying the mixed solution on the substrate; and
curing the resin composition by immersing the substrate coated with the mixed solution in ammonia water in which oxygen is dissolved;
A method for producing a polysilazane-based film comprising a.
제 1 항에 있어서,
상기 경화하는 단계에서, 상기 암모니아수의 용존산소(DO; dissolved oxygen)는 10 ppm 내지 100 ppm인 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
The method of claim 1,
In the curing step, the dissolved oxygen (DO) of the ammonia water is a method of manufacturing a polysilazane-based film, characterized in that 10 ppm to 100 ppm.
제 1 항에 있어서,
상기 경화하는 단계에서, 상기 암모니아수의 농도는 5 % 내지 35 %인 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
The method of claim 1,
In the curing step, the concentration of the ammonia water is a method of producing a polysilazane-based film, characterized in that 5% to 35%.
제 1 항에 있어서,
상기 경화하는 단계는 20 ℃ 내지 40 ℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
The method of claim 1,
The curing step is a method for producing a polysilazane-based film, characterized in that performed at a temperature of 20 ℃ to 40 ℃.
제 1 항에 있어서,
상기 경화하는 단계는 1 시간 내지 4 시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
The method of claim 1,
The curing step is a method for producing a polysilazane-based film, characterized in that it is performed for 1 hour to 4 hours.
제 1 항에 있어서,
상기 도포하는 단계는 담지법, 함침법 및 분사법 중 어느 하나를 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
The method of claim 1,
The applying step is a method for producing a polysilazane-based film, characterized in that it is performed through any one of a supporting method, an impregnation method and a spraying method.
제 1 항에 있어서,
상기 기판은 플라스틱, 금속 또는 세라믹 소재를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
The method of claim 1,
The substrate is a method of manufacturing a polysilazane-based film, characterized in that it comprises a plastic, metal, or ceramic material.
제 1 항에 있어서,
상기 폴리실라잔계 수지 조성물은 하기의 화학식 1, 화학식 2 및 화학식 3으로 표시되는 폴리실라잔계 소재 중 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조 방법:
[화학식 1]
Figure pat00012

상기 식에서,
R, R' 및 R''은 각각 수소, C1 내지 C20의 알킬 또는 아크릴레이트이고,
n은 1 내지 10,000의 정수이다.
[화학식 2]
Figure pat00013

상기 식에서,
R은 아미노기, 클로로기 또는 하이드록시기이고,
R'은 에테르기(-O-) 또는 2차 아민기(-NH-)이고,
a 및 b는 각각 1 내지 20의 정수이고,
x 는 1 내지 10,000의 정수이고,
y 는 1 내지 2,000의 정수이다.
[화학식 3]
Figure pat00014

상기 식에서,
R은 아미노기, 클로로기 또는 하이드록시기이고,
R'은 에테르기(-O-) 또는 2차 아민기(-NH-)이고,
a, b 및 c는 각각 1 내지 20의 정수이고,
x 는 1 내지 10,000의 정수이고,
y 및 z 는 각각 1 내지 2,000의 정수이다.
The method of claim 1,
The polysilazane-based resin composition is a method for producing a polysilazane-based film, characterized in that it comprises any one or more of the polysilazane-based material represented by the following Chemical Formulas 1, 2, and 3:
[Formula 1]
Figure pat00012

In the above formula,
R, R' and R'' are each hydrogen, C 1 to C 20 alkyl or acrylate,
n is an integer from 1 to 10,000.
[Formula 2]
Figure pat00013

In the above formula,
R is an amino group, a chloro group or a hydroxy group,
R' is an ether group (-O-) or a secondary amine group (-NH-),
a and b are each an integer from 1 to 20,
x is an integer from 1 to 10,000,
y is an integer from 1 to 2,000.
[Formula 3]
Figure pat00014

In the above formula,
R is an amino group, a chloro group or a hydroxy group,
R' is an ether group (-O-) or a secondary amine group (-NH-),
a, b and c are each an integer from 1 to 20;
x is an integer from 1 to 10,000,
y and z are each an integer from 1 to 2,000.
제 1 항에 있어서,
상기 폴리실라잔계 수지 조성물은 선형, 가지형, 고리형 및 이들의 혼합형인 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조 방법.
The method of claim 1,
The polysilazane-based resin composition is a method for producing a polysilazane-based film, characterized in that linear, branched, cyclic, and a mixture thereof.
제 1 항에 있어서,
상기 폴리실라잔계 수지 조성물의 분자량은 1,000 내지 400,000인 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조 방법.
The method of claim 1,
The method for producing a polysilazane-based film, characterized in that the molecular weight of the polysilazane-based resin composition is 1,000 to 400,000.
제 1 항에 있어서,
상기 폴리실라잔계 수지 조성물은 폴리실라잔계 필름 100 wt%에 대하여 1 wt% 내지 20 wt%로 포함되는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조 방법.
The method of claim 1,
The polysilazane-based resin composition is a method for producing a polysilazane-based film, characterized in that it is included in an amount of 1 wt% to 20 wt% based on 100 wt% of the polysilazane-based film.
제 1 항에 있어서,
상기 혼합용액은 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조 방법.
The method of claim 1,
The method for producing a polysilazane-based film, characterized in that the mixed solution contains a solvent.
제 1 항에 있어서,
상기 혼합용액은 첨가제를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조 방법.
The method of claim 1,
The method for producing a polysilazane-based film, characterized in that the mixed solution includes an additive.
제 1 항에 있어서,
상기 혼합용액은 촉매를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조 방법.
The method of claim 1,
The method for producing a polysilazane-based film, characterized in that the mixed solution contains a catalyst.
제 1 항에 있어서,
상기 도포하는 단계 이후에 상기 형성된 필름을 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
The method of claim 1,
Method for producing a polysilazane-based film, characterized in that it further comprises the step of heat-treating the formed film after the applying step.
제 15 항에 있어서,
상기 열처리하는 단계는 70 ℃ 내지 150 ℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
16. The method of claim 15,
The heat treatment step is a method for producing a polysilazane-based film, characterized in that performed at a temperature of 70 ℃ to 150 ℃.
제 15 항에 있어서,
상기 열처리하는 단계는 10 분 내지 120 분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
16. The method of claim 15,
The method of manufacturing a polysilazane-based film, characterized in that the heat treatment is performed for 10 to 120 minutes.
제 1 항에 있어서,
상기 경화하는 단계 이후에 상기 형성된 필름을 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
The method of claim 1,
Method for producing a polysilazane-based film, characterized in that it further comprises the step of heat-treating the formed film after the curing step.
제 18 항에 있어서,
상기 열처리하는 단계는 70 ℃ 내지 150 ℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
19. The method of claim 18,
The heat treatment step is a method for producing a polysilazane-based film, characterized in that performed at a temperature of 70 ℃ to 150 ℃.
제 18 항에 있어서,
상기 열처리하는 단계는 10 분 내지 120 분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 폴리실라잔계 필름의 제조방법.
19. The method of claim 18,
The method of manufacturing a polysilazane-based film, characterized in that the heat treatment is performed for 10 to 120 minutes.
제 1 항의 제조방법에 의해 제조되는 폴리실라잔계 필름.A polysilazane-based film produced by the method of claim 1 .
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