KR20210083090A - Semiconductor memory device and method of operating the same - Google Patents

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Abstract

The present technology relates to a semiconductor memory device and to an operating method thereof. The semiconductor memory device includes: a memory block connected to a plurality of word lines and a plurality of bit lines; a peripheral circuit for performing a program operation or a read operation on the memory block; and control logic controlling the peripheral circuit so that a word line overdrive section and a bit line overdrive section overlap, during the bit line precharge operation during the program operation or the read operation.

Description

반도체 메모리 장치 및 이의 동작 방법{Semiconductor memory device and method of operating the same}BACKGROUND ART Semiconductor memory device and method of operating the same

본 발명은 전자 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 메모리 장치 및 이의 동작 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an electronic device, and more particularly, to a semiconductor memory device and a method of operating the same.

반도체 장치 중 특히 반도체 메모리 장치는 크게 휘발성 메모리 장치(Volatile memory device)와 불휘발성 메모리 장치(Nonvolatile memory device)로 구분된다.Among semiconductor devices, a semiconductor memory device is largely divided into a volatile memory device and a nonvolatile memory device.

불휘발성 메모리 장치는 쓰기 및 읽기 속도가 상대적으로 느리지만 전원 공급이 차단되더라도 저장 데이터를 유지한다. 따라서 전원 공급 여부와 관계없이 유지되어야 할 데이터를 저장하기 위해 불휘발성 메모리 장치가 사용된다. 불휘발성 메모리 장치에는 ROM(Read Only Memory), MROM(Mask ROM), PROM(Programmable ROM), EPROM(Erasable Programmable ROM), EEPROM(Electrically Erasable Programmable ROM), 플래시 메모리(Flash memory), PRAM(Phase change Random Access Memory), MRAM(Magnetic RAM), RRAM(Resistive RAM), FRAM(Ferroelectric RAM) 등이 있다. 플래시 메모리는 노어 타입과 낸드 타입으로 구분된다.Although the nonvolatile memory device has relatively slow write and read speeds, it retains stored data even when power supply is cut off. Accordingly, a nonvolatile memory device is used to store data to be maintained regardless of whether power is supplied or not. Nonvolatile memory devices include ROM (Read Only Memory), MROM (Mask ROM), PROM (Programmable ROM), EPROM (Erasable Programmable ROM), EEPROM (Electrically Erasable Programmable ROM), Flash memory, PRAM (Phase change) Random Access Memory), Magnetic RAM (MRAM), Resistive RAM (RRAM), Ferroelectric RAM (FRAM), and the like. The flash memory is divided into a NOR type and a NAND type.

플래시 메모리는 데이터의 프로그램과 소거가 자유로운 RAM의 장점과 전원 공급이 차단되어도 저장된 데이터를 보존할 수 있는 ROM의 장점을 가진다. 플래시 메모리는 디지털 카메라, PDA(Personal Digital Assistant) 및 MP3 플레이어와 같은 휴대용 전자기기의 저장 매체로 널리 사용되고 있다.Flash memory has the advantage of RAM, which allows data to be programmed and erased, and the advantage of ROM, which can preserve stored data even when power supply is cut off. Flash memory is widely used as a storage medium for portable electronic devices such as digital cameras, personal digital assistants (PDAs), and MP3 players.

플래시 메모리 장치는 메모리 스트링이 반도체 기판에 수평하게 형성된 2차원 반도체 메모리 장치와, 메모리 스트링이 반도체 기판에 수직으로 형성된 3차원 반도체 메모리 장치로 구분될 수 있다. The flash memory device may be divided into a two-dimensional semiconductor memory device in which a memory string is formed horizontally on a semiconductor substrate and a three-dimensional semiconductor memory device in which the memory string is formed vertically on the semiconductor substrate.

3차원 반도체 메모리 장치는 2차원 반도체 장치의 집적도 한계를 해소하기 위하여 고안된 메모리 장치로써, 반도체 기판 상에 수직으로 형성된 다수의 메모리 스트링들을 포함한다. 메모리 스트링들은 비트라인과 소스 라인 사이에 직렬로 연결된 드레인 선택 트랜지스터, 메모리 셀들 및 소스 선택 트랜지스터를 포함한다.A three-dimensional semiconductor memory device is a memory device designed to overcome the limitations of integration of a two-dimensional semiconductor device, and includes a plurality of memory strings vertically formed on a semiconductor substrate. The memory strings include a drain select transistor, memory cells and a source select transistor coupled in series between a bit line and a source line.

본 발명의 실시 예는 반도체 메모리 장치의 동작 시 비트라인들의 프리차지 동작 시간을 개선할 수 있는 반도체 메모리 장치 및 이의 동작 방법을 제공한다.SUMMARY Embodiments of the present invention provide a semiconductor memory device capable of improving a precharge operation time of bit lines during operation of the semiconductor memory device, and a method of operating the same.

본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치는 다수의 워드라인들과 다수의 비트라인들에 연결된 메모리 블록; 상기 메모리 블록에 대한 프로그램 동작 또는 리드 동작을 수행하기 위한 주변 회로; 및 상기 프로그램 동작 또는 리드 동작 중 비트라인 프리차지 동작 시 워드라인 오버드라이브 구간과 비트라인 오버드라이브 구간이 중첩되도록 상기 주변 회로를 제어하는 제어 로직을 포함한다.A semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention includes a memory block connected to a plurality of word lines and a plurality of bit lines; a peripheral circuit for performing a program operation or a read operation on the memory block; and a control logic for controlling the peripheral circuit so that a word line overdrive section and a bit line overdrive section overlap during a bit line precharge operation during the program operation or the read operation.

본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치는 다수의 워드라인들과 다수의 비트라인들에 연결된 메모리 블록; 상기 다수의 워드라인들 및 상기 다수의 비트라인들에 설정 전압을 인가하기 위한 주변 회로; 및 비트라인 프리차지 동작 시 상기 다수의 워드라인들 중 선택된 워드라인에 제1 오버드라이브 전압을 인가하는 워드라인 오버드라이브 구간과 상기 다수의 비트라인들에 제2 오버드라이브 전압을 인가하는 비트라인 오버드라이브 구간이 일부 중첩되도록 상기 주변 회로를 제어하는 제어 로직을 포함한다.A semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention includes a memory block connected to a plurality of word lines and a plurality of bit lines; a peripheral circuit for applying a set voltage to the plurality of word lines and the plurality of bit lines; and a word line overdrive period in which a first overdrive voltage is applied to a selected one of the plurality of word lines during a bit line precharge operation and a bit line over in which a second overdrive voltage is applied to the plurality of bit lines. and control logic for controlling the peripheral circuit so that the drive section partially overlaps.

본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치의 동작 방법은 워드라인 오버드라이브 구간에서 선택된 워드라인에 제1 오버드라이브 전압을 인가하는 단계; 비트라인 오버드라이브 구간에서 비트라인들에 제2 오버드라이브 전압을 인가하는 단계; 상기 워드라인 오버드라이브 구간 이후, 상기 선택된 워드라인에 제1 타겟 전압을 인가하는 단계; 및 상기 비트라인 오버드라이브 구간 이 후, 상기 비트라인들을 제2 타겟 전압으로 프리차지하는 단계를 포함하며, 상기 워드라인 오버드라이브 구간과 상기 비트라인 오버드라이브 구간은 일부 중첩된다.A method of operating a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention includes: applying a first overdrive voltage to a selected word line in a word line overdrive period; applying a second overdrive voltage to the bit lines in a bit line overdrive period; applying a first target voltage to the selected word line after the word line overdrive period; and precharging the bit lines to a second target voltage after the bit line overdrive period, wherein the word line overdrive period and the bit line overdrive period partially overlap.

본 기술에 따르면, 워드라인의 오버 드라이브 구간과 비트라인들의 오버 드라이브 구간을 일부 중첩시켜 비트라인들의 프리차지 동작을 빠르게 수행함으로써, 반도체 메모리 장치의 동작 시간을 개선할 수 있다.According to the present technology, the operation time of the semiconductor memory device may be improved by partially overlapping the overdrive period of the word line and the overdrive period of the bit lines to quickly perform the precharge operation of the bit lines.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치를 포함하는 메모리 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 3차원으로 구성된 메모리 블록들을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 어느 하나의 메모리 블록을 구체적으로 설명하기 위한 회로도이다.
도 5는 도 4에 도시된 메모리 스트링들을 설명하기 위한 회로도이다.
도 6은 도 2의 페이지 버퍼들에 포함된 비트라인 프리차지 회로를 설명하기 위한 회로도이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치의 동작 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치의 동작 방법을 설명하기 위한 동작 전압들의 파형도이다.
도 9는 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
1 is a block diagram illustrating a memory system including a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram for explaining a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram for explaining three-dimensional memory blocks.
FIG. 4 is a circuit diagram specifically explaining any one of the memory blocks shown in FIG. 3 .
FIG. 5 is a circuit diagram for explaining the memory strings shown in FIG. 4 .
6 is a circuit diagram illustrating a bit line precharge circuit included in the page buffers of FIG. 2 .
7 is a flowchart illustrating a method of operating a semiconductor memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.
8 is a waveform diagram of operating voltages for explaining a method of operating a semiconductor memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.
9 is a diagram for describing another embodiment of a memory system.
10 is a diagram for describing another embodiment of a memory system.
11 is a diagram for describing another embodiment of a memory system.
12 is a diagram for describing another embodiment of a memory system.

본 명세서 또는 출원에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본 명세서 또는 출원에 설명된 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.Specific structural or functional descriptions of the embodiments according to the concept of the present invention disclosed in this specification or application are only exemplified for the purpose of explaining the embodiments according to the concept of the present invention, and implementation according to the concept of the present invention Examples may be embodied in various forms and should not be construed as being limited to the embodiments described in the present specification or application.

이하에서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, in order to describe in detail enough that a person of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement the technical idea of the present invention, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. .

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치를 포함하는 메모리 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.1 is a block diagram illustrating a memory system including a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 메모리 시스템(Memory System; 1000)은 메모리 장치(Memory Device; 1100), 컨트롤러(Controller; 1200), 및 호스트(Host; 1300)를 포함한다. 메모리 장치(1100)는 복수의 반도체 메모리 장치(Semiconductor Memory; 100)들을 포함한다. 복수의 반도체 메모리 장치(100)들은 복수의 그룹들(GR1 내지 GRn)로 분할될 수 있다. 본 발명의 실시 예에서는 호스트(1300)가 메모리 시스템(1000)에 포함되는 것으로 도시 및 설명하였으나, 메모리 시스템(1000)이 컨트롤러(1200) 및 메모리 장치(1100)만을 포함하고, 호스트(1300)는 메모리 시스템(1000)의 외부에 배치되는 것으로 구성될 수도 있다.Referring to FIG. 1 , a memory system 1000 includes a memory device 1100 , a controller 1200 , and a host 1300 . The memory device 1100 includes a plurality of semiconductor memory devices (Semiconductor Memory) 100 . The plurality of semiconductor memory devices 100 may be divided into a plurality of groups GR1 to GRn. In the embodiment of the present invention, the host 1300 is illustrated and described as being included in the memory system 1000 , but the memory system 1000 includes only the controller 1200 and the memory device 1100 , and the host 1300 is It may be configured to be disposed outside the memory system 1000 .

도 1에서, 메모리 장치(1100)의 복수의 그룹들(GR1 내지 GRn)은 각각 제 1 내지 제 n 채널들(CH1~CHn)을 통해 컨트롤러(1200)와 통신하는 것으로 도시되어 있다. 각 반도체 메모리 장치(100)는 도 2를 참조하여 후술하도록 한다.In FIG. 1 , the plurality of groups GR1 to GRn of the memory device 1100 are illustrated to communicate with the controller 1200 through first to nth channels CH1 to CHn, respectively. Each semiconductor memory device 100 will be described later with reference to FIG. 2 .

각 그룹(GR1 내지 GRn)은 하나의 공통 채널을 통해 컨트롤러(1200)와 통신하도록 구성된다. 컨트롤러(1200)는 복수의 채널들(CH1~CHn)을 통해 메모리 장치(1100)의 복수의 반도체 메모리(100)들을 제어하도록 구성된다.Each group GR1 to GRn is configured to communicate with the controller 1200 through one common channel. The controller 1200 is configured to control the plurality of semiconductor memories 100 of the memory device 1100 through the plurality of channels CH1 to CHn.

본 발명의 실시 예에서 메모리 장치(1100)에 포함된 복수의 반도체 메모리 장치(100)들은 프로그램 동작, 리드 동작 등과 같은 제반 동작 중 비트라인들을 프리차지하는 비트라인 프리차지 동작 시 워드라인의 오버드라이브 구간과 비트라인의 오버드라이브 구간을 중첩시켜 비트라인 프리차지 동작을 보다 빠르게 수행하여 반도체 메모리 장치(100)의 동작 속도를 개선할 수 있다. 예를 들어 비트라인 프리차지 동작 시 워드라인에 오버드라이브 전압을 인가한 후, 워드라인 오버드라이브 구간이 종료되기 전에 비트라인에 비트라인 오버드라이브 전압을 인가할 수 있다. 즉, 반도체 메모리 장치(100)는 비트라인 프리차지 동작 시 워드라인의 오버드라이브 구간이 종료되기 전에 비트라인의 오버드라이브 구간을 시작할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the plurality of semiconductor memory devices 100 included in the memory device 1100 have an overdrive section of a word line during a bit line precharge operation for precharging bit lines during general operations such as a program operation and a read operation. The operation speed of the semiconductor memory device 100 may be improved by performing the bit line precharge operation faster by overlapping the overdrive period of the bit line and the bit line. For example, after applying the overdrive voltage to the word line during the bit line precharge operation, the bit line overdrive voltage may be applied to the bit line before the word line overdrive period ends. That is, during the bit line precharge operation, the semiconductor memory device 100 may start the overdrive period of the bit line before the overdrive period of the word line ends.

컨트롤러(1200)는 호스트(1300)와 메모리 장치(1100) 사이에 연결된다. 컨트롤러(1200)는 호스트(1300)로부터의 요청에 응답하여 메모리 장치(1100)를 액세스하도록 구성된다. 예를 들어 컨트롤러(1200)는 호스트(1300)로부터 수신되는 호스트 커맨드(Host_CMD)에 응답하여 메모리 장치(1100)의 리드, 라이트, 이레이즈, 그리고 배경 동작을 제어하도록 구성된다. 라이트 동작 시 호스트(1300)는 어드레스(ADD)와 데이터(DATA)를 호스트 커맨드(Host_CMD)와 함께 전송하고, 리드 동작 시 어드레스(ADD)를 호스트 커맨드(Host_CMD)와 함께 전송할 수 있다. 컨트롤러(1200)는 라이트 동작 시 라이트 동작에 대응하는 커맨드와 프로그램할 데이터(DATA)를 메모리 장치(1100)로 전송한다. 컨트롤러(1200)는 리드 동작 시 리드 동작에 대응하는 커맨드를 메모리 장치(1100)로 전송하고, 리드된 데이터(DATA)를 메모리 장치(1100)로부터 전송받고, 전송받은 데이터(DATA)를 호스트(1300)로 전송한다. 컨트롤러(1200)는 메모리 장치(1100) 및 호스트(1300) 사이에 인터페이스를 제공하도록 구성된다. 컨트롤러(1200)는 메모리 장치(1100)를 제어하기 위한 펌웨어(firmware)를 구동하도록 구성된다.The controller 1200 is connected between the host 1300 and the memory device 1100 . The controller 1200 is configured to access the memory device 1100 in response to a request from the host 1300 . For example, the controller 1200 is configured to control read, write, erase, and background operations of the memory device 1100 in response to a host command Host_CMD received from the host 1300 . During a write operation, the host 1300 may transmit the address ADD and data DATA together with the host command Host_CMD, and during a read operation, the host 1300 may transmit the address ADD together with the host command Host_CMD. During a write operation, the controller 1200 transmits a command corresponding to the write operation and data DATA to be programmed to the memory device 1100 . During a read operation, the controller 1200 transmits a command corresponding to the read operation to the memory device 1100 , receives read data DATA from the memory device 1100 , and transmits the received data DATA to the host 1300 . ) is sent to The controller 1200 is configured to provide an interface between the memory device 1100 and the host 1300 . The controller 1200 is configured to drive firmware for controlling the memory device 1100 .

호스트(1300)는 컴퓨터, PDA, PMP, MP3 플레이어, 카메라, 캠코더, 모바일 폰 등과 같은 휴대용 전자 장치를 포함한다. 호스트(1300)는 메모리 시스템(1000)의 라이트 동작, 리드 동작, 이레이즈 동작 등을 호스트 커맨드(Host_CMD)를 통해 요청할 수 있다. 호스트(1300)는 메모리 장치(1100)의 라이트 동작을 위해 라이트 동작에 대응하는 호스트 커맨드(Host_CMD), 데이터(DATA), 어드레스(ADD)를 컨트롤러(1200)로 전송하고, 리드 동작을 위해 리드 동작에 대응하는 호스트 커맨드(Host_CMD) 및 어드레스(ADD)를 컨트롤러(1200)로 전송할 수 있다. 이때 어드레스(ADD)는 데이터의 논리 어드레스(logical address)일 수 있다.The host 1300 includes a portable electronic device such as a computer, PDA, PMP, MP3 player, camera, camcorder, mobile phone, and the like. The host 1300 may request a write operation, a read operation, an erase operation, etc. of the memory system 1000 through the host command Host_CMD. The host 1300 transmits a host command (Host_CMD), data (DATA), and an address (ADD) corresponding to a write operation to the controller 1200 for a write operation of the memory device 1100 , and performs a read operation for the read operation. A host command (Host_CMD) and an address (ADD) corresponding to may be transmitted to the controller 1200 . In this case, the address ADD may be a logical address of data.

컨트롤러(1200) 및 메모리 장치(1100)는 하나의 반도체 메모리 장치로 집적될 수 있다. 예시적인 실시 예로서, 컨트롤러(1200) 및 메모리 장치(1100)는 하나의 반도체 메모리 장치로 집적되어, 메모리 카드를 구성할 수 있다. 예를 들면, 컨트롤러(1200) 및 메모리 장치(1100)는 하나의 반도체 메모리 장치로 집적되어 PC 카드(PCMCIA, personal computer memory card international association), 컴팩트 플래쉬 카드(CF), 스마트 미디어 카드(SM, SMC), 메모리 스틱, 멀티미디어 카드(MMC, RS-MMC, MMCmicro), SD 카드(SD, miniSD, microSD, SDHC), 유니버설 플래쉬 기억장치(UFS) 등과 같은 메모리 카드를 구성할 것이다.The controller 1200 and the memory device 1100 may be integrated into one semiconductor memory device. In an exemplary embodiment, the controller 1200 and the memory device 1100 may be integrated into one semiconductor memory device to constitute a memory card. For example, the controller 1200 and the memory device 1100 are integrated into one semiconductor memory device, such as a personal computer memory card international association (PCMCIA), a compact flash card (CF), and a smart media card (SM, SMC). ), memory stick, multimedia card (MMC, RS-MMC, MMCmicro), SD card (SD, miniSD, microSD, SDHC), universal flash memory (UFS), etc.

다른 예로서, 메모리 시스템(1000)은 컴퓨터, UMPC (Ultra Mobile PC), 워크스테이션, 넷북(net-book), PDA (Personal Digital Assistants), 포터블(portable) 컴퓨터, 웹 타블렛(web tablet), 무선 전화기(wireless phone), 모바일 폰(mobile phone), 스마트폰(smart phone), e-북(e-book), PMP(portable multimedia player), 휴대용 게임기, 네비게이션(navigation) 장치, 블랙박스(black box), 디지털 카메라(digital camera), 3차원 수상기(3-dimensional television), 디지털 음성 녹음기(digital audio recorder), 디지털 음성 재생기(digital audio player), 디지털 영상 녹화기(digital picture recorder), 디지털 영상 재생기(digital picture player), 디지털 동영상 녹화기(digital video recorder), 디지털 동영상 재생기(digital video player), 정보를 무선 환경에서 송수신할 수 있는 장치, 홈 네트워크를 구성하는 다양한 전자 장치들 중 하나, 컴퓨터 네트워크를 구성하는 다양한 전자 장치들 중 하나, 텔레매틱스 네트워크를 구성하는 다양한 전자 장치들 중 하나, RFID 장치, 또는 컴퓨팅 시스템을 구성하는 다양한 구성 요소들 중 하나 등과 같은 전자 장치의 다양한 구성 요소들 중 하나로 제공된다.As another example, the memory system 1000 may be a computer, an Ultra Mobile PC (UMPC), a workstation, a net-book, a Personal Digital Assistants (PDA), a portable computer, a web tablet, a wireless A wireless phone, a mobile phone, a smart phone, an e-book, a portable multimedia player (PMP), a portable game machine, a navigation device, a black box ), digital camera, 3-dimensional television, digital audio recorder, digital audio player, digital picture recorder, digital image player ( digital picture player, digital video recorder, digital video player, device capable of transmitting and receiving information in a wireless environment, one of various electronic devices constituting a home network, composing a computer network It is provided as one of various components of an electronic device, such as one of various electronic devices constituting a telematics network, one of various electronic devices constituting a telematics network, an RFID device, or one of various components constituting a computing system.

예시적인 실시 예로서, 메모리 장치(1100) 또는 메모리 시스템(1000)은 다양한 형태들의 패키지로 실장될 수 있다. 예를 들면, 메모리 장치(1100) 또는 메모리 시스템(1000)은 PoP(Package on Package), Ball grid arrays(BGAs), Chip scale packages(CSPs), Plastic Leaded Chip Carrier(PLCC), Plastic Dual In Line Package(PDIP), Die in Waffle Pack, Die in Wafer Form, Chip On Board(COB), Ceramic Dual In Line Package(CERDIP), Plastic Metric Quad Flat Pack(MQFP), Thin Quad Flatpack(TQFP), Small Outline(SOIC), Shrink Small Outline Package(SSOP), Thin Small Outline(TSOP), System In Package(SIP), Multi Chip Package(MCP), Wafer-level Fabricated Package(WFP), Wafer-Level Processed Stack Package(WSP) 등과 같은 방식으로 패키지화되어 실장될 수 있다.As an exemplary embodiment, the memory device 1100 or the memory system 1000 may be mounted in various types of packages. For example, the memory device 1100 or the memory system 1000 may include Package on Package (PoP), Ball grid arrays (BGAs), Chip scale packages (CSPs), Plastic Leaded Chip Carrier (PLCC), and Plastic Dual In Line Package. (PDIP), Die in Waffle Pack, Die in Wafer Form, Chip On Board(COB), Ceramic Dual In Line Package(CERDIP), Plastic Metric Quad Flat Pack(MQFP), Thin Quad Flatpack(TQFP), Small Outline(SOIC) ), Shrink Small Outline Package(SSOP), Thin Small Outline(TSOP), System In Package(SIP), Multi Chip Package(MCP), Wafer-level Fabricated Package(WFP), Wafer-Level Processed Stack Package(WSP), etc. It can be packaged and mounted in the same way.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치를 설명하기 위한 도면이다.2 is a diagram for explaining a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 반도체 메모리 장치(100)는 메모리 셀 어레이(110), 어드레스 디코더(120), 읽기 및 쓰기 회로(130), 제어 로직(140), 그리고 전압 생성 회로(150)를 포함한다. 어드레스 디코더(120), 읽기 및 쓰기 회로(130) 및 전압 생성 회로(150)는 메모리 셀 어레이(110)에 대한 리드 동작을 수행하는 주변 회로(160)로 정의될 수 있다.Referring to FIG. 2 , the semiconductor memory device 100 includes a memory cell array 110 , an address decoder 120 , a read/write circuit 130 , a control logic 140 , and a voltage generation circuit 150 . . The address decoder 120 , the read/write circuit 130 , and the voltage generation circuit 150 may be defined as a peripheral circuit 160 that performs a read operation on the memory cell array 110 .

메모리 셀 어레이(110)는 복수의 메모리 블록들(BLK1~BLKz)을 포함한다. 복수의 메모리 블록들(BLK1~BLKz)은 워드라인들(WL)을 통해 어드레스 디코더(120)에 연결된다. 복수의 메모리 블록들(BLK1~BLKz)은 비트라인들(BL1 내지 BLm)을 통해 읽기 및 쓰기 회로(130)에 연결된다. 복수의 메모리 블록들(BLK1~BLKz) 각각은 복수의 메모리 셀들을 포함한다. 실시 예로서, 복수의 메모리 셀들은 불휘발성 메모리 셀들이다. 복수의 메모리 셀들 중 하나의 워드라인에 연결된 복수의 메모리 셀들을 하나의 페이지로 정의할 수 있다. 즉 메모리 셀 어레이(110)는 다수의 페이지로 구성될 수 있다.The memory cell array 110 includes a plurality of memory blocks BLK1 to BLKz. The plurality of memory blocks BLK1 to BLKz are connected to the address decoder 120 through word lines WL. The plurality of memory blocks BLK1 to BLKz are connected to the read and write circuit 130 through bit lines BL1 to BLm. Each of the plurality of memory blocks BLK1 to BLKz includes a plurality of memory cells. In an embodiment, the plurality of memory cells are nonvolatile memory cells. A plurality of memory cells connected to one word line among the plurality of memory cells may be defined as one page. That is, the memory cell array 110 may be composed of a plurality of pages.

메모리 셀 어레이(110)의 복수의 메모리 블록들(BLK1~BLKz) 각각은 다수의 메모리 스트링을 포함한다. 다수의 메모리 스트링 각각은 비트라인과 소스 라인 사이에 직렬 연결된 드레인 선택 트랜지스터, 다수의 메모리 셀들, 및 소스 선택 트랜지스터를 포함한다. 또한 다수의 메모리 스트링 각각은 소스 선택 트랜지스터와 메모리 셀들 사이 및 드레인 선택 트랜지스터와 메모리 셀들 사이에 각각 패스 트랜지스터를 포함할 수 있으며, 메모리 셀들 사이에 파이프 게이트 트랜지스터를 더 포함할 수 있다. 메모리 셀 어레이(110)의 상세한 설명은 후술하도록 한다.Each of the plurality of memory blocks BLK1 to BLKz of the memory cell array 110 includes a plurality of memory strings. Each of the plurality of memory strings includes a drain select transistor coupled in series between a bit line and a source line, a plurality of memory cells, and a source select transistor. In addition, each of the plurality of memory strings may include a pass transistor between the source select transistor and the memory cells and between the drain select transistor and the memory cells, and may further include a pipe gate transistor between the memory cells. A detailed description of the memory cell array 110 will be provided later.

어드레스 디코더(120)는 워드라인들(WL)을 통해 메모리 셀 어레이(110)에 연결된다. 어드레스 디코더(120)는 제어 로직(140)에서 생성되는 어드레스 디코더 제어 신호들(AD_signals)에 동작하도록 구성된다. 어드레스 디코더(120)는 반도체 메모리 장치(100) 내부의 입출력 버퍼(미도시)를 통해 어드레스(ADDR)를 수신한다.The address decoder 120 is connected to the memory cell array 110 through word lines WL. The address decoder 120 is configured to operate on the address decoder control signals AD_signals generated by the control logic 140 . The address decoder 120 receives the address ADDR through an input/output buffer (not shown) inside the semiconductor memory device 100 .

어드레스 디코더(120)는 프로그램 동작 또는 리드 동작 중 비트라인 프리차지 동작 시 전압 생성 회로(150)에서 생성된 프로그램 전압(Vpgm) 또는 리드 전압(Vread), 패스 전압(Vpass), 드레인 선택 라인 전압(VDSL), 및 소스 선택 라인 전압(VSSL)을 포함하는 다수의 동작 전압들을 수신된 어드레스(ADDR) 중 행 어드레스를 디코딩하고 디코딩된 행 어드레스에 따라 메모리 셀 어레이(110)의 다수의 메모리 셀들, 드레인 선택 트랜지스터들 및 소스 선택 트랜지스터들에 인가할 수 있다.The address decoder 120 generates a program voltage Vpgm or a read voltage Vread, a pass voltage Vpass, and a drain select line voltage (Vpgm) generated by the voltage generation circuit 150 during a bit line precharge operation during a program operation or a read operation. V DSL ), and a plurality of operating voltages including a source select line voltage V SSL , decode a row address of the received address ADDR and select a plurality of memory cells of the memory cell array 110 according to the decoded row address , may be applied to drain select transistors and source select transistors.

어드레스 디코더(120)는 수신된 어드레스(ADDR) 중 열 어드레스를 디코딩하도록 구성된다. 어드레스 디코더(120)는 디코딩된 열 어드레스(Yi)를 읽기 및 쓰기 회로(130)에 전송한다.The address decoder 120 is configured to decode a column address among the received addresses ADDR. The address decoder 120 transmits the decoded column address Yi to the read/write circuit 130 .

프로그램 동작 또는 리드 동작시 수신되는 어드레스(ADDR)는 블록 어드레스, 행 어드레스 및 열 어드레스를 포함한다. 어드레스 디코더(120)는 블록 어드레스 및 행 어드레스에 따라 하나의 메모리 블록 및 하나의 워드라인을 선택한다. 열 어드레스는 어드레스 디코더(120)에 의해 디코딩되어 읽기 및 쓰기 회로(130)에 제공된다.The address ADDR received during a program operation or a read operation includes a block address, a row address, and a column address. The address decoder 120 selects one memory block and one word line according to the block address and the row address. The column address is decoded by the address decoder 120 and provided to the read and write circuit 130 .

어드레스 디코더(120)는 블록 디코더, 행 디코더, 열 디코더 및 어드레스 버퍼 등을 포함할 수 있다.The address decoder 120 may include a block decoder, a row decoder, a column decoder, an address buffer, and the like.

읽기 및 쓰기 회로(130)는 복수의 페이지 버퍼들(PB1~PBm)을 포함한다. 복수의 페이지 버퍼들(PB1~PBm)은 비트라인들(BL1 내지 BLm)을 통해 메모리 셀 어레이(110)에 연결된다. 복수의 페이지 버퍼들(PB1~PBm) 각각은 프로그램 동작 시 도 1의 컨트롤러(1200)로부터 수신된 프로그램할 데이터(DATA)를 임시 저장하고, 임시 저장된 데이터(DATA)에 따라 비트라인들(BL1 내지 BLm)의 전위 레벨을 제어한다. 또한, 읽기 및 쓰기 회로(130)는 리드 동작 시 비트라인들(BL1 내지 BLm)의 전위 레벨 또는 전류량을 센싱하여 리드 동작을 수행하고, 리드된 데이터(DATA)를 도 1의 컨트롤러(1200)로 출력한다.The read and write circuit 130 includes a plurality of page buffers PB1 to PBm. The plurality of page buffers PB1 to PBm are connected to the memory cell array 110 through bit lines BL1 to BLm. Each of the plurality of page buffers PB1 to PBm temporarily stores data to be programmed received from the controller 1200 of FIG. 1 during a program operation, and the bit lines BL1 to PBm according to the temporarily stored data DATA. BLm) to control the potential level. In addition, the read and write circuit 130 performs a read operation by sensing the potential level or current amount of the bit lines BL1 to BLm during the read operation, and transmits the read data DATA to the controller 1200 of FIG. 1 . print out

복수의 페이지 버퍼들(PB1~PBm) 각각은 프로그램 동작 또는 리드 동작 중 비트라인 프리차지 동작 시 대응하는 비트라인들(BL1 내지 BLm)을 설정 레벨로 프리차지하며, 비트라인 프리차지 동작 중 비트라인 오버드라이브 구간 동안 비트라인들에 오버드라이브 전압을 인가하여 비트라인들을 빠르게 프리차지할 수 있다.Each of the plurality of page buffers PB1 to PBm precharges the corresponding bit lines BL1 to BLm to a set level during the bit line precharge operation during the program operation or the read operation, and the bit line during the bit line precharge operation During the overdrive period, an overdrive voltage may be applied to the bit lines to quickly precharge the bit lines.

읽기 및 쓰기 회로(130)는 제어 로직(140)에서 출력되는 페이지 버퍼 제어 신호들(PB_signals)에 응답하여 동작한다.The read/write circuit 130 operates in response to the page buffer control signals PB_signals output from the control logic 140 .

예시적인 실시 예로서, 읽기 및 쓰기 회로(130)는 페이지 버퍼들(또는 페이지 레지스터들), 열 선택 회로 등을 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, the read and write circuit 130 may include page buffers (or page registers), a column selection circuit, and the like.

전압 생성 회로(150)는 프로그램 동작 시 제어 로직(140)에서 출력되는 전압 생성 회로 제어 신호들(VG_signals)의 제어에 따라 프로그램 전압(Vpgm), 패스 전압(Vpass), 드레인 선택 라인 전압(VDSL), 및 소스 선택 라인 전압(VSSL)을 포함하는 다수의 동작 전압들을 생성하여 어드레스 디코더(120)로 출력한다. 또한 전압 생성 회로(150)는 리드 동작 시 제어 로직(140)에서 출력되는 전압 생성 회로 제어 신호들(VG_signals)의 제어에 따라 리드 전압(Vread), 패스 전압(Vpass), 드레인 선택 라인 전압(VDSL), 및 소스 선택 라인 전압(VSSL)을 포함하는 다수의 동작 전압들을 생성하여 어드레스 디코더(120)로 출력한다.The voltage generating circuit 150 may generate a program voltage Vpgm, a pass voltage Vpass, and a drain selection line voltage V DSL according to the control of the voltage generating circuit control signals VG_signals output from the control logic 140 during a program operation. ), and a plurality of operating voltages including the source selection line voltage V SSL are generated and output to the address decoder 120 . In addition, the voltage generating circuit 150 may have a read voltage Vread, a pass voltage Vpass, and a drain selection line voltage V according to the control of the voltage generating circuit control signals VG_signals output from the control logic 140 during a read operation. DSL ) and a plurality of operating voltages including the source selection line voltage V SSL are generated and output to the address decoder 120 .

전압 생성 회로(150)는 프로그램 동작 또는 리드 동작 중 비트라인 프리차지 동작 시 비선택된 워드라인들에 인가하기 위한 패스 전압(Vpass)을 생성하고, 선택된 워드라인에 인가하기 위한 동작 전압(프로그램 전압(Vpgm) 또는 리드 전압(Vread))을 생성한다. 전압 생성 회로(150)는 비트라인 프리차지 동작 중 워드라인 오버드라이브 구간에서 선택된 워드라인에 인가하기 위한 오버드라이브 전압을 생성하며, 오버드라이브 전압은 동작 전압(Vpgm or Vread)보다 높은 전위 레벨을 가질 수 있다.The voltage generation circuit 150 generates a pass voltage Vpass to be applied to unselected word lines during a bit line precharge operation during a program operation or a read operation, and an operating voltage (program voltage (program voltage) Vpgm) or read voltage (Vread)). The voltage generation circuit 150 generates an overdrive voltage to be applied to the selected word line in the word line overdrive section during the bit line precharge operation, and the overdrive voltage has a potential level higher than the operating voltage Vpgm or Vread. can

추가적으로 전압 생성 회로(150)는 소거 동작 시 소거 전압(Vera)을 생성하여 메모리 셀 어레이(110)에 제공할 수 있다.Additionally, the voltage generation circuit 150 may generate an erase voltage Vera during an erase operation and provide it to the memory cell array 110 .

제어 로직(140)은 어드레스 디코더(120), 읽기 및 쓰기 회로(130), 및 전압 생성 회로(150)에 연결된다. 제어 로직(140)은 반도체 메모리 장치(100)의 입출력 버퍼(미도시)를 통해 커맨드(CMD)를 수신한다. 제어 로직(140)은 커맨드(CMD)에 응답하여 반도체 메모리 장치(100)의 제반 동작을 제어하도록 구성된다. 예를 들어 제어 로직(140)은 프로그램 동작 또는 리드 동작에 대응하는 커맨드(CMD)를 수신하고, 수신된 커맨드(CMD)에 응답하여 어드레스 디코더(120)를 제어하기 위한 어드레스 디코더 제어 신호들(AD_signals), 읽기 및 쓰기 회로(130)를 제어하기 위한 페이지 버퍼 제어 신호들(PB_signals), 전압 생성 회로(150)를 제어하기 위한 전압 생성 회로 제어 신호들(VG_signals)을 생성하여 출력한다.The control logic 140 is connected to the address decoder 120 , the read and write circuit 130 , and the voltage generation circuit 150 . The control logic 140 receives the command CMD through an input/output buffer (not shown) of the semiconductor memory device 100 . The control logic 140 is configured to control general operations of the semiconductor memory device 100 in response to the command CMD. For example, the control logic 140 receives a command CMD corresponding to a program operation or a read operation, and receives address decoder control signals AD_signals for controlling the address decoder 120 in response to the received command CMD. ), the page buffer control signals PB_signals for controlling the read and write circuit 130 , and voltage generation circuit control signals VG_signals for controlling the voltage generation circuit 150 are generated and output.

본 발명의 일 실시 예에 따른 제어 로직(140)은 프로그램 동작 또는 리드 동작 중 비트라인 프리차지 동작 시 선택된 워드라인에 오버드라이브 전압을 인가하는 워드라인 오버드라이브 구간과 비트라인들에 오버드라이브 전압을 인가하는 비트라인 오버드라이브 구간이 중첩되도록 어드레스 디코더(120), 읽기 및 쓰기 회로(130) 및 전압 생성 회로(150)를 제어할 수 있다. The control logic 140 according to an embodiment of the present invention applies the overdrive voltage to the bit lines and the word line overdrive section for applying the overdrive voltage to the selected word line during the bit line precharge operation during the program operation or the read operation. The address decoder 120 , the read/write circuit 130 , and the voltage generation circuit 150 may be controlled so that the applied bit line overdrive period overlaps.

도 3은 3차원으로 구성된 메모리 블록들을 설명하기 위한 도면이다.3 is a diagram for explaining three-dimensional memory blocks.

도 3을 참조하면, 3차원으로 구성된 메모리 블록들(BLK1~BLKz)은 비트라인들(BL1~BLm)이 연장된 방향(Y)을 따라 서로 이격되어 배열될 수 있다. 예를 들면, 제1 내지 제z 메모리 블록들(BLK1~BLKz)은 제2 방향(Y)을 따라 서로 이격되어 배열될 수 있으며, 제3 방향(Z)을 따라 적층된 다수의 메모리 셀들을 포함할 수 있다. 제1 내지 제z 메모리 블록들(BLK1~BLKz) 중 어느 하나의 메모리 블록의 구성은 후술하는 도 4 및 도 5를 통해 구체적으로 설명한다.Referring to FIG. 3 , the three-dimensional memory blocks BLK1 to BLKz may be arranged to be spaced apart from each other along the direction Y in which the bit lines BL1 to BLm extend. For example, the first to z-th memory blocks BLK1 to BLKz may be arranged to be spaced apart from each other in the second direction Y, and include a plurality of memory cells stacked along the third direction Z. can do. The configuration of any one of the first to z-th memory blocks BLK1 to BLKz will be described in detail with reference to FIGS. 4 and 5 to be described later.

도 4는 도 3에 도시된 어느 하나의 메모리 블록을 구체적으로 설명하기 위한 회로도이다.FIG. 4 is a circuit diagram specifically explaining any one of the memory blocks shown in FIG. 3 .

도 5는 도 4에 도시된 메모리 스트링들을 설명하기 위한 회로도이다.FIG. 5 is a circuit diagram for explaining the memory strings shown in FIG. 4 .

도 4 및 도 5를 참조하면, 각 메모리 스트링(ST)은 비트라인(BL1~BLm)과 소스 라인(source line; SL) 사이에 연결될 수 있다. 제1 비트라인(BL1)과 소스 라인(SL) 사이에 연결된 메모리 스트링(ST)을 예를 들어 설명하면 다음과 같다. 4 and 5 , each memory string ST may be connected between bit lines BL1 to BLm and a source line SL. The memory string ST connected between the first bit line BL1 and the source line SL will be described as an example.

메모리 스트링(ST)은 소스 라인(SL)과 제1 비트라인(BL1) 사이에서 서로 직렬로 연결된 소스 선택 트랜지스터(source select transistor; SST), 메모리 셀들(F1~Fn; n은 양의 정수) 및 드레인 선택 트랜지스터(drain select transistor; DST)를 포함할 수 있다. 서로 다른 비트라인들(BL1~BLm)에 연결된 서로 다른 메모리 스트링들(ST)에 포함된 소스 선택 트랜지스터들(SST)의 게이트들은 제1 소스 선택 라인(SSL0)에 연결될 수 있고 제2 소스 선택 라인(SSL1)에 연결될 수 있다. 일예로 소스 선택 트랜지스터들(SST) 중 서로 제2 방향(Y)으로 인접한 소스 선택 트랜지스터들은 동일한 소스 선택 라인에 연결될 수 있다. 예를 들면, 제2 방향(Y)을 따라 소스 선택 트랜지스터들(SST)이 순차적으로 배열된다고 가정하면, 첫 번째 소스 선택 트랜지스터(SST)로부터 제1 방향(X)으로 배열되고 다른 메모리 스트링들(ST)에 포함된 소스 선택 트랜지스터들(SST)의 게이트들과 두 번째 소스 선택 트랜지스터(SST)로부터 제1 방향(X)으로 배열되고 다른 메모리 스트링들(ST)에 포함된 소스 선택 트랜지스터들(SST)의 게이트들은 제1 소스 선택 라인(SSL0)에 연결될 수 있다. 또한 세 번째 소스 선택 트랜지스터(SST)로부터 제1 방향(X)으로 배열되고 다른 메모리 스트링들(ST)에 포함된 소스 선택 트랜지스터들(SST)의 게이트들과 네 번째 소스 선택 트랜지스터(SST)로부터 제1 방향(X)으로 배열되고 다른 메모리 스트링들(ST)에 포함된 소스 선택 트랜지스터들(SST)의 게이트들은 제2 소스 선택 라인(SSL1)에 연결될 수 있다.The memory string ST includes a source select transistor SST, memory cells F1 to Fn; n is a positive integer, connected in series between the source line SL and the first bit line BL1; It may include a drain select transistor (DST). Gates of the source select transistors SST included in the different memory strings ST connected to the different bit lines BL1 to BLm may be connected to the first source select line SSL0 and the second source select line (SSL1) can be connected. For example, source select transistors adjacent to each other in the second direction Y among the source select transistors SST may be connected to the same source select line. For example, assuming that the source select transistors SST are sequentially arranged along the second direction Y, the other memory strings SST are arranged in the first direction X from the first source select transistor SST. The gates of the source select transistors SST included in ST and the source select transistors SST arranged in the first direction X from the second source select transistor SST and included in other memory strings ST. ) may be connected to the first source select line SSL0. In addition, gates of the source select transistors SST arranged in the first direction X from the third source select transistor SST and included in other memory strings ST and the fourth source select transistor SST Gates of the source select transistors SST arranged in the first direction X and included in the other memory strings ST may be connected to the second source select line SSL1 .

메모리 셀들(F1~Fn)의 게이트들은 워드라인들(WL1~WLn)에 연결될 수 있으며, 드레인 선택 트랜지스터들(DST)의 게이트들은 제1 내지 제4 드레인 선택 라인들(DSL0 내지 DSL3) 중 어느 하나에 연결될 수 있다. Gates of the memory cells F1 to Fn may be connected to the word lines WL1 to WLn, and gates of the drain select transistors DST may be any one of the first to fourth drain select lines DSL0 to DSL3. can be connected to

드레인 선택 트랜지스터들(DST) 중에서 제1 방향(X)으로 배열된 트랜지스터들의 게이트들은 동일한 드레인 선택 라인(예를 들어 DSL0)에 공통으로 연결되지만, 제2 방향(Y)으로 배열된 트랜지스터들은 서로 다른 드레인 선택 라인들(DSL1~DSL3)에 연결될 수 있다. 예를 들면, 제2 방향(Y)을 따라 드레인 선택 트랜지스터들(DST)이 순차적으로 배열된다고 가정하면, 첫 번째 드레인 선택 트랜지스터(DST)로부터 제1 방향(X)으로 배열되고 다른 메모리 스트링들(ST)에 포함된 드레인 선택 트랜지스터들(DST)의 게이트들은 제1 드레인 선택 라인(DSL0)에 연결될 수 있다. 제1 드레인 선택 라인(DSL0)에 연결된 드레인 선택 트랜지스터들(DST)로부터 제2 방향(Y)으로 배열된 드레인 선택 트랜지스터들(DST)은 제2 내지 제4 드레인 선택 라인들(DSL1~DSL3)에 순차적으로 연결될 수 있다. 따라서, 선택된 메모리 블록 내에서는 선택된 드레인 선택 라인에 연결된 메모리 스트링들(ST)이 선택될 수 있고, 나머지 비선택된 드레인 선택 라인들에 연결된 메모리 스트링들(ST)은 비선택될 수 있다. Among the drain select transistors DST, gates of transistors arranged in the first direction (X) are commonly connected to the same drain select line (eg, DSL0), but transistors arranged in the second direction (Y) are different from each other. It may be connected to the drain select lines DSL1 to DSL3. For example, assuming that the drain select transistors DST are sequentially arranged along the second direction Y, the other memory strings DST are arranged in the first direction X from the first drain select transistor DST. Gates of the drain select transistors DST included in ST may be connected to the first drain select line DSL0. The drain select transistors DST arranged in the second direction Y from the drain select transistors DST connected to the first drain select line DSL0 are connected to the second to fourth drain select lines DSL1 to DSL3. They can be connected sequentially. Accordingly, in the selected memory block, the memory strings ST connected to the selected drain select line may be selected, and the memory strings ST connected to the remaining unselected drain select lines may be unselected.

동일한 워드라인에 연결된 메모리 셀들은 하나의 페이지(page; PG)를 이룰 수 있다. 여기서, 페이지는 물리적인(physical) 페이지를 의미한다. 예를 들면, 제1 비트라인(BL1) 내지 제m 비트라인(BLm)에 연결된 메모리 스트링들(ST) 중, 서로 동일한 워드라인에서 제1 방향(X)으로 연결된 메모리 셀들의 그룹을 페이지(PG)라 한다. 예를 들면, 제1 워드라인(WL1)에 연결된 제1 메모리 셀들(F1) 중에서 제1 방향(X)을 따라 배열된 메모리 셀들이 하나의 페이지(PG)를 이룰 수 있다. 제1 워드라인(WL1)에 공통으로 연결된 제1 메모리 셀들(F1) 중에서 제2 방향(Y)으로 배열된 셀들은 서로 다른 페이지로 구분될 수 있다. 따라서, 제1 드레인 선택 라인(DSL0)이 선택된 드레인 선택 라인이고 제1 워드라인(WL1)이 선택된 워드라인인 경우, 제1 워드라인(WL1)에 연결된 다수의 페이지들(PG) 중에서 제1 드레인 선택 라인(DSL0)에 연결된 페이지가 선택된 페이지가 된다. 제1 워드라인(WL1)에 공통으로 연결되지만, 비선택된 제2 내지 제4 드레인 선택 라인들(DSL1~DSL3)에 연결된 페이지들은 비선택된 페이지들이 된다. Memory cells connected to the same word line may form one page (PG). Here, the page means a physical page. For example, among the memory strings ST connected to the first bit line BL1 to the m th bit line BLm, a group of memory cells connected in the first direction X in the same word line as the page PG ) is called For example, among the first memory cells F1 connected to the first word line WL1 , memory cells arranged along the first direction X may form one page PG. Among the first memory cells F1 commonly connected to the first word line WL1 , cells arranged in the second direction Y may be divided into different pages. Accordingly, when the first drain select line DSL0 is the selected drain select line and the first word line WL1 is the selected word line, the first drain among the plurality of pages PG connected to the first word line WL1 . The page connected to the selection line DSL0 becomes the selected page. Pages commonly connected to the first word line WL1 but connected to the unselected second to fourth drain select lines DSL1 to DSL3 become unselected pages.

도면에서는 하나의 메모리 스트링(ST) 내에 소스 선택 트랜지스터(SST)와 드레인 선택 트랜지스터(DST)가 각각 하나씩 포함되는 것으로 도시되었으나, 반도체 메모리 장치에 따라 하나의 메모리 스트링(ST) 내에 다수의 소스 선택 트랜지스터들(SST) 및 드레인 선택 트랜지스터들(DST)이 포함될 수 있다. 또한, 반도체 메모리 장치에 따라 소스 선택 트랜지스터(SST), 메모리 셀들(F1~Fn) 및 드레인 선택 트랜지스터(DST) 사이에 더미 셀들(dummy cells)이 포함될 수도 있다. 더미 셀들은 일반 메모리 셀들(F1~Fn) 처럼 사용자 데이터를 저장하지 않으나, 각 메모리 스트링(ST)의 전기적 특성을 개선하기 위해 사용될 수 있다. 다만, 더미 셀들은 본 실시 예에서는 중요한 구성이 아니므로 구체적인 설명은 생략하도록 한다.Although the figure shows that one source select transistor SST and one drain select transistor DST are included in one memory string ST, a plurality of source select transistors are included in one memory string ST depending on the semiconductor memory device. SST and drain select transistors DST may be included. Also, depending on the semiconductor memory device, dummy cells may be included between the source select transistor SST, the memory cells F1 to Fn, and the drain select transistor DST. The dummy cells do not store user data like the general memory cells F1 to Fn, but may be used to improve electrical characteristics of each memory string ST. However, since the dummy cells are not an important configuration in this embodiment, a detailed description thereof will be omitted.

도 6은 도 2의 페이지 버퍼들에 포함된 비트라인 프리차지 회로를 설명하기 위한 회로도이다.6 is a circuit diagram illustrating a bit line precharge circuit included in the page buffers of FIG. 2 .

도 2의 페이지 버퍼들(PB1~PBm) 각각은 대응하는 비트라인들(BL1 내지 BLm)을 프리차지하기 위한 비트라인 프리차지 회로를 포함하며, 본 발명의 설명에서는 페이지 버퍼(PB1)에 포함된 비트라인 프리차지 회로(131)를 일예로 설명하도록 한다.Each of the page buffers PB1 to PBm of FIG. 2 includes a bit line precharge circuit for precharging the corresponding bit lines BL1 to BLm, and in the description of the present invention, the page buffer PB1 includes The bit line precharge circuit 131 will be described as an example.

비트라인 프리차지 회로(131)는 비트라인(BL1)과 연결되며, 제어 신호들(V1, V2)에 응답하여 전원 전압(VDD)을 비트라인(BL1)에 인가하여 비트라인(BL1)을 프리차지한다. 제어 신호들(V1, V2)은 도 2의 제어 로직(140)에서 생성되는 페이지 버퍼 제어 신호들(PB_signals)에 포함될 수 있다.The bit line precharge circuit 131 is connected to the bit line BL1 and applies the power voltage V DD to the bit line BL1 in response to the control signals V1 and V2 to turn the bit line BL1 on. pre-charge The control signals V1 and V2 may be included in the page buffer control signals PB_signals generated by the control logic 140 of FIG. 2 .

비트라인 프리차지 회로(131)는 전원 전압(VDD) 단자와 비트라인(BL1) 사이에 직렬 연결된 제1 스위치 소자(M1)와 제2 스위치 소자(M2)를 포함하여 구성될 수 있다. 제1 스위치 소자(M1)는 제어 신호(V2)에 응답하여 턴온되고, 제2 스위치 소자(M2)는 제어 신호(V1)에 응답하여 턴온되어 비트라인(BL1)에 전원 전압(VDD)을 인가할 수 있다. 또한 제2 스위치 소자(M2)는 제어 신호(V1)의 전위 레벨에 따라 비트라인(BL1)에 인가되는 전류량을 조절할 수 있다.The bit line precharge circuit 131 may include a first switch element M1 and a second switch element M2 connected in series between the power supply voltage (V DD ) terminal and the bit line BL1 . The first switch element M1 is turned on in response to the control signal V2, and the second switch element M2 is turned on in response to the control signal V1 to apply the power supply voltage V DD to the bit line BL1. can be authorized Also, the second switch element M2 may adjust the amount of current applied to the bit line BL1 according to the potential level of the control signal V1 .

예를 들어 비트라인 프리차지 회로(131)는 비트라인 프리차지 동작 시 비트라인 오버드라이브 구간에서 오버드라이브 전위 레벨의 제어 신호(V1) 및 로직 로우 레벨의 제어 신호(V2)에 응답하여 비트라인(BL1)에 전원 전압(VDD)을 인가하되, 오버드라이브 전위 레벨의 제어 신호(V1)에 따라 상대적으로 많은 전류량을 비트라인(BL1)에 인가하여 비트라인(BL1)의 전위 레벨을 빠르게 상승시킬 수 있다. 또한 비트라인 프리차지 회로(131)는 비트라인 프리차지 동작 시 비트라인 오버드라이브 구간이 종료된 후 타겟 레벨의 제어 신호(V1) 및 로직 로우 레벨의 제어 신호(V2)에 응답하여 전원 전압(VDD)을 비트라인(BL1)에 계속적으로 인가하여 프리차지 레벨을 유지시킬 수 있다. 타겟 레벨은 오버드라이브 전위 레벨보다 낮은 것이 바람직하다.For example, during the bit line precharge operation, the bit line precharge circuit 131 responds to the control signal V1 of the overdrive potential level and the control signal V2 of the logic low level in the bit line overdrive section. The power supply voltage V DD is applied to BL1), but a relatively large amount of current is applied to the bit line BL1 according to the control signal V1 of the overdrive potential level to rapidly increase the potential level of the bit line BL1. can In addition, the bit line precharge circuit 131 responds to the target level control signal V1 and the logic low level control signal V2 after the bit line overdrive period ends during the bit line precharge operation to provide a power supply voltage V DD ) may be continuously applied to the bit line BL1 to maintain the precharge level. The target level is preferably lower than the overdrive potential level.

실시 예로써, 제1 스위치 소자(M1)는 PMOS 트랜지스터로 구성될 수 있으며, 제2 스위치 소자(M2)는 NMOS 트랜지스터로 구성될 수 있다.As an embodiment, the first switch device M1 may be configured as a PMOS transistor, and the second switch device M2 may be configured as an NMOS transistor.

도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치의 동작 방법을 설명하기 위한 순서도이다.7 is a flowchart illustrating a method of operating a semiconductor memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치의 동작 방법을 설명하기 위한 동작 전압들의 파형도이다.8 is a waveform diagram of operating voltages for explaining a method of operating a semiconductor memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 메모리 장치의 동작 방법을 설명하면 다음과 같다.An operating method of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 8 .

본 발명의 실시 예에서는 리드 동작 중 수행되는 비트라인 프리차지 동작을 설명하도록 한다.In an embodiment of the present invention, a bit line precharge operation performed during a read operation will be described.

제어 로직(140)은 컨트롤러(1200)로부터 리드 동작에 대응하는 커맨드(CMD)를 수신하고, 수신된 커맨드(CMD)에 응답하여 리드 동작을 수행하도록 주변 회로(160)를 제어한다.The control logic 140 receives the command CMD corresponding to the read operation from the controller 1200 and controls the peripheral circuit 160 to perform the read operation in response to the received command CMD.

t1 구간에서, 전압 생성 회로(150)는 전압 생성 회로 제어 신호들(VG_signals)의 제어에 따라 비선택 워드라인들(Unsel_WLs, 예를 들어 WL2 내지 WLn)에 인가하기 위한 설정 전압(예를 들어 Vpass)을 생성한다. 어드레스 디코더(120)는 어드레스 디코더 제어 신호들(AD_signals)에 응답하여 전압 생성 회로(150)에서 생성된 설정 전압(Vpass)을 선택된 메모리 블록(예를 들어 BLK1)의 비선택 워드라인들(Unsel_WLs, WL2 내지 WLn)에 인가한다(S710).In the t1 period, the voltage generating circuit 150 sets a set voltage (eg, Vpass) to be applied to the unselected word lines Unsel_WLs (eg, WL2 to WLn) according to the control of the voltage generating circuit control signals VG_signals. ) is created. The address decoder 120 converts the set voltage Vpass generated by the voltage generation circuit 150 in response to the address decoder control signals AD_signals to the unselected word lines Unsel_WLs, WL2 to WLn) is applied (S710).

t2 구간에서, 전압 생성 회로(150)는 전압 생성 회로 제어 신호들(VG_signals)의 제어에 따라 선택 워드라인(Sel_WL, 예를 들어 WL1)에 인가하기 위한 제1 오버드라이브 전압(V_WL_od)을 생성한다. 제1 오버드라이브 전압(V_WL_od)은 비트라인 프리차지 동작 시 선택 워드라인(Sel_WL, WL1)의 제1 타겟 전압(V_WL) 레벨보다 높은 전위 레벨을 가질 수 있다. 제1 타겟 전압(V_WL) 레벨은 리드 전압(Vread) 레벨일 수 있다.In a t2 period, the voltage generating circuit 150 generates a first overdrive voltage V_WL_od to be applied to the selected word line Sel_WL (eg, WL1) according to the control of the voltage generating circuit control signals VG_signals. . The first overdrive voltage V_WL_od may have a higher potential level than the first target voltage V_WL level of the selected word lines Sel_WL and WL1 during the bit line precharge operation. The level of the first target voltage V_WL may be the level of the read voltage Vread.

어드레스 디코더(120)는 어드레스 디코더 제어 신호들(AD_signals)에 응답하여 전압 생성 회로(150)에서 생성된 제1 오버드라이브 전압(V_WL_od)을 선택된 메모리 블록(BLK1)의 선택 워드라인(Sel_WL, WL1)에 인가한다(S720). 제1 오버드라이브 전압(V_WL_od)은 t2 구간에서 t4 구간까지 인가되며, 제1 오버드라이브 전압(V_WL_od)이 인가되는 구간을 워드라인 오버드라이브 구간(WLoverdrive)으로 정의한다.The address decoder 120 applies the first overdrive voltage V_WL_od generated by the voltage generation circuit 150 in response to the address decoder control signals AD_signals to the selected word lines Sel_WL and WL1 of the selected memory block BLK1 . to (S720). The first overdrive voltage V_WL_od is applied from a section t2 to a section t4, and a section to which the first overdrive voltage V_WL_od is applied is defined as a word line overdrive section WLoverdrive.

워드라인 오버드라이브 구간(WLoverdrive) 중 t3 구간에서, 페이지 버퍼들(PB1 내지 PBm) 각각에 포함된 비트라인 프리차지 회로(131)들은 제어 신호들(V1, V2)에 응답하여 전원 전압(VDD)을 비트라인들(BL1 내지 BLm; BLs)에 인가한다. 이때, 비트라인 프리차지 회로(131)들은 오버드라이브 전위(V1_od)를 가지는 제어 신호(V1)에 응답하여 비트라인들(BL1 내지 BLm; BLs)에 제2 오버드라이브 전압을 인가한다(S730). 제2 오버드라이브 전압은 t3 구간에서 t5 구간까지 인가되며, 제2 오버드라이브 전압이 인가되는 구간을 비트라인 오버드라이브 구간(BLoverdrive)으로 정의한다. 비트라인 오버드라이브 구간(BLoverdrive)은 제어 신호(V1)가 오버드라이브 전위(V1_od)를 가지는 구간일 수 있다. 비트라인 오버드라이브 구간(BLoverdrive)에서 비트라인들(BL1 내지 BLm; BLs)에 인가되는 제1 전류량은 비트라인 오버드라이브 구간(BLoverdrive)이 종료된 후(예를 들어 t6 구간) 비트라인들(BL1 내지 BLm; BLs)에 인가되는 제2 전류량보다 상대적으로 클 수 있다.During the t3 period of the word line overdrive period WLoverdrive, the bit line precharge circuits 131 included in each of the page buffers PB1 to PBm respond to the control signals V1 and V2 to the power supply voltage V DD ) is applied to the bit lines BL1 to BLm; BLs. In this case, the bit line precharge circuits 131 apply the second overdrive voltage to the bit lines BL1 to BLm (BLs) in response to the control signal V1 having the overdrive potential V1_od ( S730 ). The second overdrive voltage is applied from a section t3 to a section t5, and a section to which the second overdrive voltage is applied is defined as a bit line overdrive section (BLoverdrive). The bit line overdrive section BLoverdrive may be a section in which the control signal V1 has the overdrive potential V1_od. The first amount of current applied to the bit lines BL1 to BLm (BLs) in the bit line overdrive period BLoverdrive is applied to the bit lines BL1 after the bit line overdrive period BLoverdrive is finished (eg, period t6). to BLm; BLs) may be relatively larger than the amount of the second current applied to them.

이 때, 워드라인에 인가되는 제1 오버드라이브 전압(V_WL_od)이 비트라인들(BL1 내지 BLm; BLs)에 인가되는 제2 오버드라이브 전압보다 높으며, 이에 따라 비트라인들(BL1 내지 BLm; BLs)의 전위 레벨은 제2 타겟 전압(V_BL) 레벨보다 낮은 프리 비트라인 전압(V_BL_pre) 레벨로 프리차지된다. 워드라인 오버드라이브 구간(WLoverdrive)은 메모리 스트링 내의 셀 커런트가 큰 시점이며, 워드라인 오버드라이브 구간(WLoverdrive)과 비트라인 오버드라이브 구간(BLoverdrive)이 중첩되면, 비트라인들(BLs)의 전위 레벨이 제2 타겟 전압(V_BL) 레벨보다 높게 형성되는 비트라인 오버 슈팅(overshoot) 현상을 회피할 수 있다.At this time, the first overdrive voltage V_WL_od applied to the word line is higher than the second overdrive voltage applied to the bit lines BL1 to BLm; BLs, and accordingly, the bit lines BL1 to BLm; BLs. The potential level of is precharged to a pre-bit line voltage (V_BL_pre) level lower than the second target voltage (V_BL) level. The word line overdrive section WLoverdrive is a point in time when the cell current in the memory string is large, and when the word line overdrive section WLoverdrive and the bit line overdrive section BLoverdrive overlap, the potential levels of the bit lines BLs are A bit line overshoot phenomenon that is formed to be higher than the level of the second target voltage V_BL may be avoided.

워드라인 오버드라이브 구간(WLoverdrive)과 비트라인 오버드라이브 구간(BLoverdrive)은 도 8과 같이 일부 구간(t3 및 t4)에서 서로 중첩될 수 있다.The word line overdrive section WLoverdrive and the bit line overdrive section BLoverdrive may overlap each other in some sections t3 and t4 as shown in FIG. 8 .

t4 구간에서, 전압 생성 회로(150)는 전압 생성 회로 제어 신호들(VG_signals)의 제어에 따라 선택 워드라인(Sel_WL, 예를 들어 WL1)에 인가하기 위한 제1 오버드라이브 전압(V_WL_od)의 전위 레벨을 하향시켜 선택 워드라인(Sel WL, WL1)을 제1 타겟 전압(V_WL) 레벨로 제어한다(S740). 선택 워드라인(Sel WL, WL1)의 전위 레벨이 하강함에 따라 비트라인들(BL1 내지 BLm; BLs)의 프리차지 레벨은 상승하게 된다.In the period t4 , the voltage generating circuit 150 sets the potential level of the first overdrive voltage V_WL_od to be applied to the selected word line Sel_WL (eg, WL1 ) under the control of the voltage generating circuit control signals VG_signals to control the selected word lines Sel WL and WL1 to the level of the first target voltage V_WL ( S740 ). As the potential levels of the selected word lines Sel WL and WL1 fall, the precharge levels of the bit lines BL1 to BLm (BLs) rise.

t5 구간에서, 제어 신호(V1)의 전위 레벨은 타겟 레벨(V1_target)로 하향하게 되고, 비트라인들(BL1 내지 BLm; BLs)의 전위 레벨은 제2 타겟 전압(V_BL)로 프리차지된다(S750).In the period t5, the potential level of the control signal V1 is lowered to the target level V1_target, and the potential levels of the bit lines BL1 to BLm; BLs are precharged to the second target voltage V_BL (S750). ).

이 후, t6 구간에서 선택된 워드라인(Sel_WL)은 제1 타겟 전압(V_WL) 레벨을 유지하고, 비트라인들(BL1 내지 BLm; BLs)은 제2 타겟 전압(V_BL) 레벨을 유지한다.Thereafter, the selected word line Sel_WL maintains the level of the first target voltage V_WL in the period t6, and the bit lines BL1 to BLm (BLs) maintain the level of the second target voltage V_BL.

도 9는 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다. 9 is a diagram for describing another embodiment of a memory system.

도 9를 참조하면, 메모리 시스템(Memory System; 30000)은 이동 전화기(cellular phone), 스마트폰(smart phone), 태블릿(tablet) PC, PDA(personal digital assistant) 또는 무선 교신 장치로 구현될 수 있다. 메모리 시스템(30000)은 메모리 장치(1100)와 상기 메모리 장치(1100)의 동작을 제어할 수 있는 메모리 컨트롤러(1200)를 포함할 수 있다. 메모리 컨트롤러(1200)는 프로세서(Processor; 3100)의 제어에 따라 메모리 장치(1100)의 데이터 액세스 동작, 예컨대 프로그램(program) 동작, 이레이즈(erase) 동작 또는 리드(read) 동작을 제어할 수 있다.Referring to FIG. 9 , a memory system 30000 may be implemented as a cellular phone, a smart phone, a tablet PC, a personal digital assistant (PDA), or a wireless communication device. . The memory system 30000 may include a memory device 1100 and a memory controller 1200 capable of controlling an operation of the memory device 1100 . The memory controller 1200 may control a data access operation, for example, a program operation, an erase operation, or a read operation, of the memory device 1100 according to the control of the processor 3100 . .

메모리 장치(1100)에 프로그램된 데이터는 메모리 컨트롤러(1200)의 제어에 따라 디스플레이(Display; 3200)를 통하여 출력될 수 있다.Data programmed in the memory device 1100 may be output through a display 3200 under the control of the memory controller 1200 .

무선 송수신기(RADIO TRANSCEIVER; 3300)는 안테나(ANT)를 통하여 무선 신호를 주고받을 수 있다. 예컨대, 무선 송수신기(3300)는 안테나(ANT)를 통하여 수신된 무선 신호를 프로세서(3100)에서 처리(process)될 수 있는 신호로 변경할 수 있다. 따라서, 프로세서(3100)는 무선 송수신기(3300)로부터 출력된 신호를 처리(process)하고 처리(process)된 신호를 메모리 컨트롤러(1200) 또는 디스플레이(3200)로 전송할 수 있다. 메모리 컨트롤러(1200)는 프로세서(3100)에 의하여 처리(process)된 신호를 메모리 장치(1100)에 프로그램할 수 있다. 또한, 무선 송수신기(3300)는 프로세서(3100)로부터 출력된 신호를 무선 신호로 변경하고 변경된 무선 신호를 안테나(ANT)를 통하여 외부 장치로 출력할 수 있다. 입력 장치(Input Device; 3400)는 프로세서(3100)의 동작을 제어하기 위한 제어 신호 또는 프로세서(3100)에 의하여 처리(process)될 데이터를 입력할 수 있는 장치로서, 터치 패드(touch pad)와 컴퓨터 마우스(computer mouse)와 같은 포인팅 장치(pointing device), 키패드(keypad) 또는 키보드로 구현될 수 있다. 프로세서(3100)는 컨트롤러(1200)로부터 출력된 데이터, 무선 송수신기(3300)로부터 출력된 데이터, 또는 입력 장치(3400)로부터 출력된 데이터가 디스플레이(3200)를 통하여 출력될 수 있도록 디스플레이(3200)의 동작을 제어할 수 있다.The radio transceiver (RADIO TRANSCEIVER) 3300 may transmit and receive radio signals through the antenna ANT. For example, the wireless transceiver 3300 may change a wireless signal received through the antenna ANT into a signal that can be processed by the processor 3100 . Accordingly, the processor 3100 may process the signal output from the wireless transceiver 3300 and transmit the processed signal to the memory controller 1200 or the display 3200 . The memory controller 1200 may program a signal processed by the processor 3100 in the memory device 1100 . Also, the wireless transceiver 3300 may change the signal output from the processor 3100 into a wireless signal and output the changed wireless signal to an external device through the antenna ANT. The input device 3400 is a device capable of inputting a control signal for controlling the operation of the processor 3100 or data to be processed by the processor 3100 , and includes a touch pad and a computer. It may be implemented as a pointing device such as a computer mouse, a keypad, or a keyboard. The processor 3100 controls the display 3200 so that data output from the controller 1200, data output from the wireless transceiver 3300, or data output from the input device 3400 can be output through the display 3200. You can control the action.

실시 예에 따라, 메모리 장치(1100)의 동작을 제어할 수 있는 메모리 컨트롤러(1200)는 프로세서(3100)의 일부로서 구현될 수 있고 또한 프로세서(3100)와 별도의 칩으로 구현될 수 있다. 또한 메모리 컨트롤러(1200)는 도 1에 도시된 컨트롤러(1200)의 예시를 통해 구현될 수 있다.According to an embodiment, the memory controller 1200 capable of controlling the operation of the memory device 1100 may be implemented as a part of the processor 3100 or as a chip separate from the processor 3100 . Also, the memory controller 1200 may be implemented through the example of the controller 1200 illustrated in FIG. 1 .

도 10은 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다. 10 is a diagram for describing another embodiment of a memory system.

도 10을 참조하면, 메모리 시스템(Memory System; 40000)은 PC(personal computer), 태블릿(tablet) PC, 넷-북(net-book), e-리더(e-reader), PDA(personal digital assistant), PMP(portable multimedia player), MP3 플레이어, 또는 MP4 플레이어로 구현될 수 있다.Referring to FIG. 10 , a memory system (Memory System) 40000 includes a personal computer (PC), a tablet PC, a net-book, an e-reader, and a personal digital assistant (PDA). ), a portable multimedia player (PMP), an MP3 player, or an MP4 player.

메모리 시스템(40000)은 메모리 장치(Memory Device; 1100)와 메모리 장치(1100)의 데이터 처리 동작을 제어할 수 있는 메모리 컨트롤러(memory Controller; 1200)를 포함할 수 있다. The memory system 40000 may include a memory device 1100 and a memory controller 1200 capable of controlling a data processing operation of the memory device 1100 .

프로세서(Processor; 4100)는 입력 장치(Input Device; 4200)를 통하여 입력된 데이터에 따라 메모리 장치(1100)에 저장된 데이터를 디스플레이(Display; 4300)를 통하여 출력할 수 있다. 예컨대, 입력 장치(4200)는 터치 패드 또는 컴퓨터 마우스와 같은 포인팅 장치, 키패드, 또는 키보드로 구현될 수 있다.The processor 4100 may output data stored in the memory device 1100 through the display 4300 according to data input through the input device 4200 . For example, the input device 4200 may be implemented as a pointing device such as a touch pad or a computer mouse, a keypad, or a keyboard.

프로세서(4100)는 메모리 시스템(40000)의 전반적인 동작을 제어할 수 있고 메모리 컨트롤러(1200)의 동작을 제어할 수 있다. 실시 예에 따라 메모리 장치(1100)의 동작을 제어할 수 있는 메모리 컨트롤러(1200)는 프로세서(4100)의 일부로서 구현되거나, 프로세서(4100)와 별도의 칩으로 구현될 수 있다. 또한 메모리 컨트롤러(1200)는 도 1에 도시된 컨트롤러(1200)의 예시를 통해 구현될 수 있다.The processor 4100 may control the overall operation of the memory system 40000 and may control the operation of the memory controller 1200 . According to an embodiment, the memory controller 1200 capable of controlling the operation of the memory device 1100 may be implemented as a part of the processor 4100 or as a chip separate from the processor 4100 . Also, the memory controller 1200 may be implemented through the example of the controller 1200 illustrated in FIG. 1 .

도 11은 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다. 11 is a diagram for describing another embodiment of a memory system.

도 11을 참조하면, 메모리 시스템(50000)은 이미지 처리 장치, 예컨대 디지털 카메라, 디지털 카메라가 부착된 이동 전화기, 디지털 카메라가 부착된 스마트 폰, 또는 디지털 카메라가 부착된 태블릿 PC로 구현될 수 있다.Referring to FIG. 11 , a memory system 50000 may be implemented as an image processing device, for example, a digital camera, a mobile phone with a digital camera, a smart phone with a digital camera, or a tablet PC with a digital camera.

메모리 시스템(50000)은 메모리 장치(Memory Device; 1100)와 상기 메모리 장치(1100)의 데이터 처리 동작, 예컨대 프로그램 동작, 이레이즈 동작 또는 리드 동작을 제어할 수 있는 메모리 컨트롤러(1200)를 포함한다.The memory system 50000 includes a memory device 1100 and a memory controller 1200 that can control a data processing operation of the memory device 1100 , for example, a program operation, an erase operation, or a read operation.

메모리 시스템(50000)의 이미지 센서(Image Sensor; 5200)는 광학 이미지를 디지털 신호들로 변환할 수 있고, 변환된 디지털 신호들은 프로세서(Processor; 5100) 또는 메모리 컨트롤러(1200)로 전송될 수 있다. 프로세서(5100)의 제어에 따라, 상기 변환된 디지털 신호들은 디스플레이(Display; 5300)를 통하여 출력되거나 컨트롤러(1200)를 통하여 메모리 장치(1100)에 저장될 수 있다. 또한, 메모리 장치(1100)에 저장된 데이터는 프로세서(5100) 또는 메모리 컨트롤러(1200)의 제어에 따라 디스플레이(5300)를 통하여 출력될 수 있다.The image sensor 5200 of the memory system 50000 may convert the optical image into digital signals, and the converted digital signals may be transmitted to the processor 5100 or the memory controller 1200 . Under the control of the processor 5100 , the converted digital signals may be output through a display 5300 or stored in the memory device 1100 through the controller 1200 . Also, data stored in the memory device 1100 may be output through the display 5300 under the control of the processor 5100 or the memory controller 1200 .

실시 예에 따라 메모리 장치(1100)의 동작을 제어할 수 있는 메모리 컨트롤러(1200)는 프로세서(5100)의 일부로서 구현되거나 프로세서(5100)와 별개의 칩으로 구현될 수 있다. 또한 메모리 컨트롤러(1200)는 도 1에 도시된 컨트롤러(1200)의 예시를 통해 구현될 수 있다.According to an embodiment, the memory controller 1200 that can control the operation of the memory device 1100 may be implemented as a part of the processor 5100 or as a chip separate from the processor 5100 . Also, the memory controller 1200 may be implemented through the example of the controller 1200 illustrated in FIG. 1 .

도 12는 메모리 시스템의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다. 12 is a diagram for describing another embodiment of a memory system.

도 12를 참조하면, 메모리 시스템(Memory System; 70000)은 메모리 카드(memory card) 또는 스마트 카드(smart card)로 구현될 수 있다. 메모리 시스템(70000)은 메모리 장치(Memory Device; 1100), 메모리 컨트롤러(Memory Controller; 1200) 및 카드 인터페이스(Card Interface; 7100)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 12 , a memory system 70000 may be implemented as a memory card or a smart card. The memory system 70000 may include a memory device 1100 , a memory controller 1200 , and a card interface 7100 .

메모리 컨트롤러(1200)는 메모리 장치(1100)와 카드 인터페이스(7100) 사이에서 데이터의 교환을 제어할 수 있다. 실시 예에 따라, 카드 인터페이스(7100)는 SD(secure digital) 카드 인터페이스 또는 MMC(multi-media card) 인터페이스일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 또한 메모리 컨트롤러(1200)는 도 1에 도시된 컨트롤러(1200)의 예시를 통해 구현될 수 있다.The memory controller 1200 may control data exchange between the memory device 1100 and the card interface 7100 . According to an embodiment, the card interface 7100 may be a secure digital (SD) card interface or a multi-media card (MMC) interface, but is not limited thereto. Also, the memory controller 1200 may be implemented through the example of the controller 1200 illustrated in FIG. 1 .

카드 인터페이스(7100)는 호스트(HOST; 60000)의 프로토콜에 따라 호스트(60000)와 메모리 컨트롤러(1200) 사이에서 데이터 교환을 인터페이스할 수 있다. 실시 예에 따라 카드 인터페이스(7100)는 USB(Universal Serial Bus) 프로토콜, IC(InterChip)-USB 프로토콜을 지원할 수 있다. 여기서, 카드 인터페이스는 호스트(60000)가 사용하는 프로토콜을 지원할 수 있는 하드웨어, 상기 하드웨어에 탑재된 소프트웨어 또는 신호 전송 방식을 의미할 수 있다. The card interface 7100 may interface data exchange between the host 60000 and the memory controller 1200 according to a protocol of the host (HOST) 60000 . According to an embodiment, the card interface 7100 may support a Universal Serial Bus (USB) protocol and an InterChip (IC)-USB protocol. Here, the card interface may refer to hardware capable of supporting a protocol used by the host 60000, software installed in the hardware, or a signal transmission method.

메모리 시스템(70000)이 PC, 태블릿 PC, 디지털 카메라, 디지털 오디오 플레이어, 이동 전화기, 콘솔 비디오 게임 하드웨어, 또는 디지털 셋-탑 박스와 같은 호스트(60000)의 호스트 인터페이스(6200)와 접속될 때, 호스트 인터페이스(6200)는 마이크로프로세서(Microprocessor; 6100)의 제어에 따라 카드 인터페이스(7100)와 메모리 컨트롤러(1200)를 통하여 메모리 장치(1100)와 데이터 교신을 수행할 수 있다.When the memory system 70000 is connected with the host interface 6200 of the host 60000, such as a PC, tablet PC, digital camera, digital audio player, mobile phone, console video game hardware, or digital set-top box, the host The interface 6200 may perform data communication with the memory device 1100 through the card interface 7100 and the memory controller 1200 under the control of the microprocessor 6100 .

100 : 반도체 메모리 장치
110 : 메모리 셀 어레이
120 : 어드레스 디코더
130 : 읽기 및 쓰기 회로
140 : 제어 로직
150 : 전압 생성 회로
160 : 주변 회로
100: semiconductor memory device
110: memory cell array
120: address decoder
130: read and write circuit
140: control logic
150: voltage generation circuit
160: peripheral circuit

Claims (20)

다수의 워드라인들과 다수의 비트라인들에 연결된 메모리 블록;
상기 메모리 블록에 대한 프로그램 동작 또는 리드 동작을 수행하기 위한 주변 회로; 및
상기 프로그램 동작 또는 리드 동작 중 비트라인 프리차지 동작 시 워드라인 오버드라이브 구간과 비트라인 오버드라이브 구간이 중첩되도록 상기 주변 회로를 제어하는 제어 로직을 포함하는 반도체 메모리 장치.
a memory block coupled to a plurality of word lines and a plurality of bit lines;
a peripheral circuit for performing a program operation or a read operation on the memory block; and
and a control logic for controlling the peripheral circuit so that a word line overdrive section and a bit line overdrive section overlap during a bit line precharge operation during the program operation or the read operation.
제 1 항에 있어서,
상기 제어 로직은 상기 워드라인 오버드라이브 구간에서 상기 다수의 워드라인들 중 선택된 워드라인에 제1 타겟 전압보다 높은 제1 오버드라이브 전압을 인가하도록 상기 주변 회로를 제어하는 반도체 메모리 장치.
The method of claim 1,
The control logic controls the peripheral circuit to apply a first overdrive voltage higher than a first target voltage to a selected word line among the plurality of word lines in the word line overdrive period.
제 2 항에 있어서,
상기 제어 로직은 상기 비트라인 오버드라이브 구간에서 상기 비트라인들에 제1 전류량을 인가하도록 상기 주변 회로를 제어하는 반도체 메모리 장치.
3. The method of claim 2,
and the control logic controls the peripheral circuit to apply a first amount of current to the bit lines in the bit line overdrive period.
제 3 항에 있어서,
상기 제어 로직은 상기 비트라인 오버드라이브 구간이 종료된 후 상기 비트라인들에 제2 전류량을 인가하도록 상기 주변 회로를 제어하며,
상기 제2 전류량은 상기 제1 전류량보다 작은 반도체 메모리 장치.
4. The method of claim 3,
the control logic controls the peripheral circuit to apply a second amount of current to the bit lines after the bit line overdrive period ends;
The second amount of current is smaller than the first amount of current.
제 2 항에 있어서,
상기 제어 로직은 상기 비트라인 오버드라이브 구간에서 상기 비트라인들에 제2 오버드라이브 전압을 인가하도록 상기 주변 회로를 제어하며,
상기 제2 오버드라이브 전압은 상기 제1 오버드라이브 전압보다 낮은 반도체 메모리 장치.
3. The method of claim 2,
the control logic controls the peripheral circuit to apply a second overdrive voltage to the bit lines in the bit line overdrive period;
The second overdrive voltage is lower than the first overdrive voltage.
제 5 항에 있어서,
상기 워드라인 오버드라이브 구간과 상기 비트라인 오버드라이브가 중첩되는 구간에서 상기 비트라인들은 제2 타겟 전압보다 낮은 전압 레벨로 프리차지되는 반도체 메모리 장치.
6. The method of claim 5,
In a section where the word line overdrive section and the bit line overdrive section overlap, the bit lines are precharged to a voltage level lower than a second target voltage.
제 6 항에 있어서,
상기 워드라인 오버드라이브 구간과 상기 비트라인 오버드라이브가 중첩되는 구간이 종료되면 상기 비트라인들은 상기 제2 타겟 전압으로 프리차지되는 반도체 메모리 장치.
7. The method of claim 6,
and the bit lines are precharged to the second target voltage when an overlapping period of the word line overdrive period and the bit line overdrive period ends.
제 6 항에 있어서,
상기 주변 회로는 상기 워드라인들 중 상기 선택된 워드라인에 상기 제1 오버드라이브 전압을 인가하기 위한 전압 생성 회로; 및
상기 비트라인들에 상기 제2 오버드라이브 전압을 인가하기 위한 비트라인 프리차지 회로를 포함하며,
상기 비트라인 프리차지 회로는 상기 비트라인 오버드라이브 구간에서 오버드라이브 전위 레벨을 가지는 제어 신호에 응답하여 상기 제2 오버드라이브 전압을 상기 비트라인들에 인가하고, 상기 비트라인 오버드라이브 구간이 종료된 후 상기 오버드라이브 전위 레벨보다 낮은 타겟 레벨로 하향된 상기 제어 신호에 응답하여 상기 비트라인들의 전위가 상기 제2 타겟 전압이 되도록 제어하는 반도체 메모리 장치.
7. The method of claim 6,
The peripheral circuit may include a voltage generation circuit for applying the first overdrive voltage to the selected one of the word lines; and
a bit line precharge circuit for applying the second overdrive voltage to the bit lines;
The bit line precharge circuit applies the second overdrive voltage to the bit lines in response to a control signal having an overdrive potential level in the bit line overdrive period, and after the bit line overdrive period ends The semiconductor memory device controls the potential of the bit lines to become the second target voltage in response to the control signal lowered to a target level lower than the overdrive potential level.
제 1 항에 있어서,
상기 제어 로직은 상기 워드라인 오버드라이브 구간이 시작된 후 상기 워드라인 오버드라이브 구간이 종료되기 이전에 상기 비트라인 오버드라이브 구간을 시작하도록 상기 주변 회로를 제어하는 반도체 메모리 장치.
The method of claim 1,
The control logic controls the peripheral circuit to start the bit line overdrive period after the word line overdrive period starts and before the word line overdrive period ends.
다수의 워드라인들과 다수의 비트라인들에 연결된 메모리 블록;
상기 다수의 워드라인들 및 상기 다수의 비트라인들에 설정 전압을 인가하기 위한 주변 회로; 및
비트라인 프리차지 동작 시 상기 다수의 워드라인들 중 선택된 워드라인에 제1 오버드라이브 전압을 인가하는 워드라인 오버드라이브 구간과 상기 다수의 비트라인들에 제2 오버드라이브 전압을 인가하는 비트라인 오버드라이브 구간이 일부 중첩되도록 상기 주변 회로를 제어하는 제어 로직을 포함하는 반도체 메모리 장치.
a memory block coupled to a plurality of word lines and a plurality of bit lines;
a peripheral circuit for applying a set voltage to the plurality of word lines and the plurality of bit lines; and
During the bit line precharge operation, a word line overdrive section in which a first overdrive voltage is applied to a selected word line among the plurality of word lines and a bit line overdrive period in which a second overdrive voltage is applied to the plurality of bit lines and a control logic for controlling the peripheral circuit so that sections partially overlap.
제 10 항에 있어서,
상기 제어 로직은 상기 워드라인 오버드라이브 구간에서 상기 선택된 워드라인에 제1 타겟 전압보다 높은 상기 제1 오버드라이브 전압을 인가하고, 상기 워드라인 오버드라이브 구간이 종료된 후 상기 제1 타겟 전압을 상기 선택된 워드라인에 인가하도록 상기 주변 회로를 제어하는 반도체 메모리 장치.
11. The method of claim 10,
The control logic applies the first overdrive voltage higher than a first target voltage to the selected word line in the word line overdrive period, and applies the first target voltage to the selected word line after the word line overdrive period ends. A semiconductor memory device for controlling the peripheral circuit to be applied to a word line.
제 10 항에 있어서,
상기 제어 로직은 상기 비트라인 오버드라이브 구간에서 상기 비트라인들에 제1 전류량을 가지는 상기 제2 오버드라이브 전압을 인가하도록 상기 주변 회로를 제어하는 반도체 메모리 장치.
11. The method of claim 10,
and the control logic controls the peripheral circuit to apply the second overdrive voltage having a first amount of current to the bit lines in the bit line overdrive period.
제 12항에 있어서,
상기 제어 로직은 상기 비트라인 오버드라이브 구간이 종료된 후 상기 제2 오버드라이브 전압의 전류량을 상기 제1 전류량보다 작은 제2 전류량으로 감소시키도록 상기 주변 회로를 제어하는 반도체 메모리 장치.
13. The method of claim 12,
and the control logic controls the peripheral circuit to decrease the amount of current of the second overdrive voltage to a second amount of current smaller than the first amount of current after the bit line overdrive period ends.
제 10 항에 있어서,
상기 제2 오버드라이브 전압은 상기 제1 오버드라이브 전압보다 낮은 반도체 메모리 장치.
11. The method of claim 10,
The second overdrive voltage is lower than the first overdrive voltage.
제 10 항에 있어서,
상기 워드라인 오버드라이브 구간과 상기 비트라인 오버드라이브가 중첩되는 구간에서 상기 비트라인들은 제2 타겟 전압보다 낮은 전압 레벨로 프리차지되고,
상기 비트라인 오버드라이브 구간이 종료되면 상기 비트라인들은 상기 제2 타겟 전압으로 프리차지되는 반도체 메모리 장치.
11. The method of claim 10,
In a section in which the word line overdrive section and the bit line overdrive overlap, the bit lines are precharged to a voltage level lower than a second target voltage;
When the bit line overdrive period ends, the bit lines are precharged to the second target voltage.
제 15 항에 있어서,
상기 주변 회로는 상기 선택된 워드라인에 상기 제1 오버드라이브 전압을 인가하기 위한 전압 생성 회로; 및
상기 비트라인들에 상기 제2 오버드라이브 전압을 인가하기 위한 비트라인 프리차지 회로를 포함하며,
상기 비트라인 프리차지 회로는 상기 비트라인 오버드라이브 구간에서 오버드라이브 전위 레벨을 가지는 제어 신호에 응답하여 상기 제2 오버드라이브 전압을 상기 비트라인들에 인가하고, 상기 비트라인 오버드라이브 구간이 종료된 후 상기 오버드라이브 전위 레벨보다 낮은 타겟 레벨로 하향된 상기 제어 신호에 응답하여 상기 비트라인들의 전위가 상기 제2 타겟 전압이 되도록 제어하는 반도체 메모리 장치.
16. The method of claim 15,
The peripheral circuit may include: a voltage generation circuit for applying the first overdrive voltage to the selected word line; and
a bit line precharge circuit for applying the second overdrive voltage to the bit lines;
The bit line precharge circuit applies the second overdrive voltage to the bit lines in response to a control signal having an overdrive potential level in the bit line overdrive period, and after the bit line overdrive period ends The semiconductor memory device controls the potential of the bit lines to become the second target voltage in response to the control signal lowered to a target level lower than the overdrive potential level.
워드라인 오버드라이브 구간에서 선택된 워드라인에 제1 오버드라이브 전압을 인가하는 단계;
비트라인 오버드라이브 구간에서 비트라인들에 제2 오버드라이브 전압을 인가하는 단계;
상기 워드라인 오버드라이브 구간 이후, 상기 선택된 워드라인에 제1 타겟 전압을 인가하는 단계; 및
상기 비트라인 오버드라이브 구간 이 후, 상기 비트라인들을 제2 타겟 전압으로 프리차지하는 단계를 포함하며,
상기 워드라인 오버드라이브 구간과 상기 비트라인 오버드라이브 구간은 일부 중첩되는 반도체 메모리 장치의 동작 방법.
applying a first overdrive voltage to a selected word line in a word line overdrive period;
applying a second overdrive voltage to the bit lines in a bit line overdrive period;
applying a first target voltage to the selected word line after the word line overdrive period; and
precharging the bit lines to a second target voltage after the bit line overdrive period;
The method of operating a semiconductor memory device in which the word line overdrive section and the bit line overdrive section partially overlap.
제 17 항에 있어서,
상기 제1 오버드라이브 전압은 상기 제2 오버드라이브 전압보다 높은 반도체 메모리 장치의 동작 방법.
18. The method of claim 17,
The method of operating a semiconductor memory device, wherein the first overdrive voltage is higher than the second overdrive voltage.
제 17 항에 있어서,
상기 비트라인 오버드라이브 구간에서 상기 제1 오버드라이브 전압이 인가되는 동안 상기 비트라인들은 상기 제2 타겟 전압보다 낮은 프리 비트라인 전압으로 프리차지되는 반도체 메모리 장치의 동작 방법.
18. The method of claim 17,
In the bit line overdrive period, the bit lines are precharged with a pre bit line voltage lower than the second target voltage while the first overdrive voltage is applied.
제 19 항에 있어서,
상기 비트라인 오버드라이브 구간이 종료되면, 상기 비트라인들은 상기 프리 비트라인 전압에서 상기 제2 타겟 전압으로 상승하여 프리차지되는 반도체 메모리 장치의 동작 방법.
20. The method of claim 19,
When the bit line overdrive period ends, the bit lines are precharged by increasing from the pre bit line voltage to the second target voltage.
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