KR20210077210A - Closing Method for Unused hole - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 폐공 마감 방법에 관한 것으로, 더 구체적으로는 반도체 디스플레이 제조 설비에 사용되었던 진공배관의 해체 후 방치된 폐공을 메우는 폐공 마감 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for closing a closed hole, and more particularly, to a method for closing a closed hole that is left unattended after dismantling a vacuum pipe used in a semiconductor display manufacturing facility.
LCD, OLED 등의 디스플레이와 반도체를 제조하는 과정에서는 여러 가지 반응 가스 등의 유체가 적용되고, 그에 따라 반도체와 디스플레이 중 적어도 하나를 제조하기 위한 반도체 디스플레이 제조 설비에는 상술한 여러 가지 반응 가스 등의 유체를 유동시키기 위한 진공배관들이 다수 설치되었다.In the process of manufacturing displays and semiconductors such as LCD and OLED, fluids such as various reactive gases are applied, and accordingly, fluids such as various reactive gases are applied to semiconductor display manufacturing facilities for manufacturing at least one of semiconductors and displays. A number of vacuum pipes were installed to flow the
반도체 디스플레이 제조 설비가 설치된 작업장은 다층 구조로 형성되고, 도 7에 도시된 바와 같이, 그 다층 구조를 형성하는 바닥체(10)에 진공배관(1)이 설치되는 관통홀(11)이 형성된다. 즉 이 진공배관(1)은 관통홀(11)에 지지허브(2)를 매개로 고정되게 결합되며, 지지허브(2)는 별도의 볼트 등의 수단을 통해 바닥체(10)에 고정되게 된다. 그에 따라 바닥체 상측에 설치된 반도체 디스플레이 제조 설비의 반응 챔버 등의 설비와 바닥체 하측 공간에 설치된 진공펌프가 진공배관에 의해 연결될 수 있게 된다.The workshop where the semiconductor display manufacturing equipment is installed is formed in a multi-layer structure, and as shown in FIG. 7 , a
그러나, 이와 같은 종래의 반도체 제조 설비에서 진공배관이 더 이상 사용되지 않아 해체되는 경우, 바닥체(10)에는 관통홀(11) 및 지지허브(2)가 결합되는 결합홀(12)이 다수 남아있게 된다. 즉 바닥체(10)에는 수많은 폐공(廢孔)이 방치되게 되고, 이러한 폐공들은 제조 설비에 화재가 발생했을 시 화염의 이동로 또는 유독성 연기의 통로가 되는 문제점이 있었다. 따라서, 진공배관이 해체된 이후 수많은 폐공을 막아 마감해야 할 필요가 있었다.However, when the vacuum pipe is no longer used in such a conventional semiconductor manufacturing facility and is disassembled, a plurality of
본 발명은 폐공을 통해 화재 번짐이나 유독성 가스의 전달 통로가 되는 문제점을 해결하기 위해, 간편하게 폐공을 메울 수 있는 폐공 마감 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a closed hole closing method that can easily fill the closed hole in order to solve the problem of the fire spreading or the passage of the toxic gas through the closed hole.
본 발명은 바닥체의 배관을 제거한 후 남은 폐공을 폐공 마감 유닛을 사용하여 폐쇄하기 위한 폐공 마감 방법으로서, 채움공간이 형성된 폐공 마감 유닛을 준비하는 단계(S110); 상기 폐공 마감 유닛의 상기 채움공간에 채움 부재를 주입하여 경화시키는 단계(S120); 상기 폐공의 내벽부에 불연 충진재를 도포하는 단계(S130); 및 상기 폐공에 상기 폐공 마감 유닛을 삽입하는 단계(S140)를 포함할 수 있다.The present invention provides a closed hole closing method for closing the closed hole remaining after removing the pipe of the floor using a closed hole closing unit, comprising the steps of: preparing a closed hole closing unit having a filling space (S110); hardening by injecting a filling member into the filling space of the closed hole closing unit (S120); applying a non-combustible filler to the inner wall of the closed hole (S130); and inserting the closed hole closing unit into the closed hole (S140).
여기서, 폐공 마감 유닛을 준비하는 단계(S110)는, 상기 폐공에 삽입되며 중앙부위에 채움공간이 형성되는 중공형 원통 부재; 상기 원통 부재의 일측을 덮어 상기 채움공간의 일측을 막으며 상기 폐공보다 큰 직경을 가져 상기 바닥체에 안착되는 덮개 부재; 및 상기 채움공간쪽으로 돌출되게 상기 원통 부재에 형성되어 상기 원통 부재에 상기 채움 부재를 고정되게 결합시키는 결합돌기;를 포함할 수 있다.Here, the step of preparing the closed hole closing unit (S110) includes: a hollow cylindrical member inserted into the closed hole and having a filling space formed in the central portion; a cover member that covers one side of the cylindrical member and blocks one side of the filling space and has a larger diameter than the closed hole and is seated on the bottom body; and a coupling protrusion formed on the cylindrical member so as to protrude toward the filling space to fix the filling member to the cylindrical member.
또한, 채움 부재를 주입하여 경화시키는 단계(S120)는 액상 또는 반경화 상태의 채움 부재를 상기 채움공간에 주입하되 상기 결합돌기들의 사이가 상기 채움 부재로 채워지도록 상기 채움공간에 가득 주입될 수 있다.In addition, in the step (S120) of injecting and curing the filling member, the filling member in a liquid or semi-cured state is injected into the filling space, but the filling space is filled with the filling member so that a space between the coupling protrusions is filled with the filling member. .
또한, 상기 폐공의 내벽부에 불연 충진재를 도포하는 단계(S130)는 상기 폐공의 내벽부 및 상기 폐공의 내벽부와 마주하는 상기 원통 부재의 외벽부에 불연 충진재를 도포할 수 있다.In addition, in the step of applying the non-combustible filler to the inner wall of the closed hole ( S130 ), the non-combustible filler may be applied to the inner wall of the closed hole and the outer wall of the cylindrical member facing the inner wall of the closed hole.
본 발명의 폐공 마감 방법에 따르면, 배관이 제거된 폐공을 간편한 방식으로 용이하게 폐쇄할 수 있다. According to the closed hole closing method of the present invention, the closed hole from which the pipe is removed can be easily closed in a simple manner.
도 1은 본 발명의 폐공 마감 방법의 순서도이다.
도 2는 본 발명의 폐공 마감 유닛의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 폐공 마감 유닛에 채움 부재를 주입하는 것을 나타내는 개략도이다.
도 4는 폐공의 내벽에 불연 충진재를 도포한 것을 나타내는 개략도이다.
도 5는 폐공에 폐공 마감 유닛을 삽입하는 것을 나타내는 개략도이다.
도 6은 폐공 마감 유닛에 의해 폐공이 마감 처리된 상태를 나타내는 개략도이다.
도 7은 종래 기술의 진공배관이 설치된 바닥체의 단면도이다.1 is a flowchart of a closed hole closing method of the present invention.
2 is a cross-sectional view of the closed hole closing unit of the present invention.
Figure 3 is a schematic view showing the injection of the filling member in the closed hole closing unit of the present invention.
4 is a schematic view showing that a non-combustible filler is applied to the inner wall of the closed hole.
5 is a schematic diagram showing the insertion of a closed hole closing unit into a closed hole;
6 is a schematic view showing a state in which the closed hole is closed by the closed hole closing unit.
Figure 7 is a cross-sectional view of the prior art vacuum pipe is installed on the floor.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참고부호를 붙였다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly explain the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In the present specification, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. Further, when a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be “on” another part, this includes not only the case where the other part is “directly on” but also the case where there is another part in between. Conversely, when a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be “under” another part, this includes not only cases where it is “directly under” another part, but also a case where another part is in between.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 폐공 마감 방법(S100)은 채움공간이 형성된 폐공 마감 유닛을 준비하는 단계(S110), 폐공 마감 유닛의 채움공간에 채움 부재를 주입하여 경화시키는 단계(S120), 폐공의 내벽부에 불연 충진재를 도포하는 단계(S130), 폐공에 폐공 마감 유닛을 삽입하는 단계(S140)를 포함할 수 있다.1, the closed hole closing method (S100) according to the present invention comprises the steps of preparing a closed hole closing unit having a filling space (S110), injecting a filling member into the filling space of the closed hole closing unit and hardening ( S120), applying a non-combustible filler to the inner wall of the closed hole (S130), and inserting the closed hole closing unit into the closed hole (S140) may include.
폐공 마감 유닛을 준비하는 단계(S110)는 도 2에 도시한 바와 같은 폐공 마감 유닛(100)을 제조하여 준비한다. 본 발명의 폐공 마감 유닛(100)은 폐공(11)에 삽입되는 원통 부재(110), 원통 부재(110)의 일측을 덮는 덮개 부재(120) 및 원통 부재(110)의 내부를 채우는 채움 부재(130)를 포함할 수 있다.In the step (S110) of preparing the closed hole closing unit, the closed
원통 부재(110)는 중심부위에 원통 부재(110)를 완전히 관통하며 채움 부재(130)가 채워지는 채움공간(111)이 형성되며 이 채움공간(111)에 채움 부재(130)가 채워져 경화될 수 있다. 원통 부재(110)는 폐공(11)의 내경과 유사한 외경, 즉 원통 부재(110)는 진공배관(1)과 동일한 외경을 갖는 것이 바람직할 수 있다. 또한 원통 부재(110)는 폐공(11)과 동일한 높이를 가질 수 있다. 또한, 원통 부재(110)는 채움 부재(130)와의 결합력을 향상시키기 위해 내부에 결합돌기(112)가 형성될 수 있다. 결합돌기(112)는 원통 부재(110)의 내벽부에서 채움공간(111)을 향해, 즉 원통 부재(110)의 중심을 향해 돌출되게 형성될 수 있다. 결합돌기(112)는 채움 부재(130)와의 사이에 접촉 면적을 증대시킴으로써 채움 부재(130)를 고정되게 지지하며, 이로 인해 채움 부재(130)가 자중에 의해 낙하하는 것을 방지할 수 있다.The
덮개 부재(120)는 원통 부재(110)의 일측을 막기 위한 것으로, 도 1에 도시한 바와 같이, 원통 부재(110)의 상측부를 막도록 원통 부재(110)와 일체로 형성될 수 있다. 또한, 덮개 부재(120)는 폐공(11)보다 큰 직경을 갖는 원반 형상으로, 바닥체(10)에 안착될 수 있다. 덮개 부재(120)는 원통 부재(110)와 동일한 금속 재질로 원통 부재(110)와 함께 일체로 제작될 수도 있고, 원통 부재(110)의 상측부에 용접 등의 공정을 통해 일체로 결합될 수도 있다. 덮개 부재(120)가 원통 부재(110)의 상측부를 덮음으로써 원통 부재(110) 내에 채움 부재(130)가 채워져 수용되는 채움공간(111)이 형성된다. The
폐공 마감 유닛의 채움공간에 채움 부재를 주입하여 경화시키는 단계(S120)는 도 3에 도시한 바와 같이, 폐공 마감 유닛(100)의 원통 부재(110)에 형성된 채움공간(111)에 채움 부재(130)를 주입하여 경화시킬 수 있다.The step of hardening by injecting a filling member into the filling space of the closed hole closing unit (S120) is, as shown in FIG. 3, a filling member in the
채움 부재(130)는 원통 부재(110)에 채워져 경화되는 콘트리트나 시멘트일 수 있다. 채움 부재(130)는 미경화 상태에서 원통 부재(110)에 주입되고 이후 경화될 수 있으며, 미경화 상태에서 결합돌기(112)들의 사이를 메우도록 채움공간(111)에 가득 채워질 수 있다. 채움 부재(130)는 결합돌기(112)를 포함하여 경화됨으로써 원통 부재(110)에 단단히 고정 결합될 수 있다. 즉, 결합돌기(112)는 경화된 채움 부재(130)를 지지함으로써 채움 부재(130)가 원통 부재(110)로부터 낙하되는 것을 방지할 수 있다.The filling
폐공의 내벽부에 불연 충진재를 도포하는 단계(S130)는 도 4에 도시한 바와 같이, 폐공(11)과 폐공 마감 유닛(100) 사이의 공간을 메우기 위해 폐공(11)의 내벽부에 불연 충진재(140)를 도포한다. In the step (S130) of applying the non-combustible filler to the inner wall of the closed hole, as shown in FIG. 4 , the non-combustible filler to the inner wall of the closed
바닥체(10)는 일반적으로 콘크리트나 시멘트 등을 양생하여 형성되고, 이러한 바닥체(10)에 형성되는 폐공(11)은 그 내경에서 공차가 발생할 수 있다. 즉, 폐공(11)의 내경 크기가 서로 달라 폐공(11)에 삽입되는 원통 부재(110)와 폐공(11)의 내벽부 사이에 공간(갭)이 발생할 수 있다. 이와 같이 형성되는 갭은, 원통 부재(110)의 흔들림을 유발하는 원인이 됨과 동시에 화재 발생시 유독성 연기의 통로로 작용할 수 있는 바, 반드시 마감 처리되어야 할 필요가 있다. 즉, 원통 부재(110)와 폐공(11)의 내벽 사이의 갭을 제거하기 위해 폐공(11)의 내벽에는 불연 충진재(140)가 개재될 수 있다. 불연 충진재(140)는 원통 부재(110)의 삽입 이전에 폐공(11)의 내벽에 도포되는 방화용 실란트가 적용될 수 있다. 이러한 불연 충진재(140)는 원통 부재(110)의 삽입 이후 경화되어 폐공(11)의 내벽과 원통 부재(110) 사이의 갭을 완전히 제거할 수 있다.The
한편, 불연 충진재(140)는 폐공(11)의 내벽부와 마주하는 폐공 마감 유닛(100)의 원통 부재(110)의 외벽부에도 도포될 수 있다.Meanwhile, the
폐공에 폐공 마감 유닛을 삽입하는 단계(S140)는 도 5에 도시한 바와 같이, 채움 부재(130)가 경화된 폐공 마감 유닛(100)을 뒤집어 폐공 마감 유닛(100)의 원통 부재(110)를 폐공(11)의 내부로 삽입시킨다. 도 6를 참조로, 폐공 마감 유닛(100)의 덮개 부재(120)는 폐공(11)에 비해 큰 직경을 가지므로 덮개 부재(120)가 바닥체(10)의 상면에 안착되고, 이때 원통 부재(110)는 폐공(11)에 완전히 삽입되게 된다. 원통 부재(110)와 폐공(11)의 내벽부 사이에는 불연 충진재(140)가 미리 도포되어 있어, 원통 부재(110)와 폐공(11) 사이의 공간이 완전히 메워질 수 있다.In the step of inserting the closed hole closing unit into the closed hole (S140), as shown in FIG. 5 , the
폐공 마감 유닛(100)에 주입되어 경화되는 채움 부재(130)의 무게로 인해 폐공 마감 유닛(100)의 흔들림이 방지되어 바닥체(10)의 폐공(11)이 안전하게 마감 처리될 수 있다. 그러나 이와 달리 폐공 마감 유닛(100)을 바닥체(10)에 고정되게 결합할 수도 있다. 즉, 도면에 구체적으로 도시하지는 않았으나 폐공 마감 유닛(100)의 덮개 부재(120), 구체적으로는 바닥체(10)에 안착되는 부위에 구멍을 복수개 형성하고, 볼트 등의 체결수단을 활용하여 덮개 부재(120)를 바닥체(10)에 고정 체결할 수도 있다.Due to the weight of the filling
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described above, the spirit of the present invention is not limited to the embodiments presented herein, and those skilled in the art who understand the spirit of the present invention can add components, Other embodiments may be easily proposed by changes, deletions, additions, etc., but these will also fall within the scope of the present invention.
100 : 폐공 마감 유닛
110 : 원통 부재
112 : 결합돌기
120 : 덮개 부재
130 : 채움 부재
140 : 불연 충진재100: closed hole closing unit
110: cylindrical member
112: coupling protrusion
120: cover member
130: no filling
140: non-combustible filler
Claims (4)
채움공간이 형성된 폐공 마감 유닛을 준비하는 단계(S110);
상기 폐공 마감 유닛의 상기 채움공간에 채움 부재를 주입하여 경화시키는 단계(S120);
상기 폐공의 내벽부에 불연 충진재를 도포하는 단계(S130);
상기 폐공에 상기 폐공 마감 유닛을 삽입하는 단계(S140)를 포함하는 폐공 마감 방법.
A closed hole closing method for closing the remaining closed hole after removing the pipe of the floor using a closed hole closing unit,
Preparing a closed hole closing unit in which the filling space is formed (S110);
hardening by injecting a filling member into the filling space of the closed hole closing unit (S120);
applying a non-combustible filler to the inner wall of the closed hole (S130);
A closed hole closing method comprising the step (S140) of inserting the closed hole closing unit into the closed hole.
폐공 마감 유닛을 준비하는 단계(S110)는, 상기 폐공에 삽입되며 중앙부위에 채움공간이 형성되는 중공형 원통 부재; 상기 원통 부재의 일측을 덮어 상기 채움공간의 일측을 막으며 상기 폐공보다 큰 직경을 가져 상기 바닥체에 안착되는 덮개 부재; 및 상기 채움공간쪽으로 돌출되게 상기 원통 부재에 형성되어 상기 원통 부재에 상기 채움 부재를 고정되게 결합시키는 결합돌기;를 포함하는 폐공 마감 유닛을 준비하는 것을 특징으로 하는 폐공 마감 방법.
The method according to claim 1,
Preparing the closed hole closing unit (S110), a hollow cylindrical member inserted into the closed hole and having a filling space formed in the central portion; a cover member covering one side of the cylindrical member to block one side of the filling space and having a larger diameter than the closed hole to be seated on the floor; and a coupling protrusion formed on the cylindrical member so as to protrude toward the filling space and fixedly coupling the filling member to the cylindrical member.
채움 부재를 주입하여 경화시키는 단계(S120)는 액상 또는 반경화 상태의 채움 부재를 상기 채움공간에 주입하되 상기 결합돌기들의 사이가 상기 채움 부재로 채워지도록 상기 채움공간에 가득 주입되는 것을 특징으로 하는 폐공 마감 방법.
3. The method according to claim 2,
In the step (S120) of injecting and hardening the filling member, the filling member in a liquid or semi-cured state is injected into the filling space, and the filling space is filled with the filling member so that the space between the coupling protrusions is filled with the filling member. How to close a closed hole.
상기 폐공의 내벽부에 불연 충진재를 도포하는 단계(S130)는 상기 폐공의 내벽부 및 상기 폐공의 내벽부와 마주하는 상기 원통 부재의 외벽부에 불연 충진재를 도포하는 것을 특징으로 하는 폐공 마감 방법.
3. The method according to claim 2,
The step of applying the non-combustible filler to the inner wall of the closed hole (S130) is to apply the non-combustible filler to the inner wall of the closed hole and the outer wall of the cylindrical member facing the inner wall of the closed hole.
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