KR20210065846A - Method for mounting and dismounting cutting blade, and blade holder - Google Patents

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KR20210065846A
KR20210065846A KR1020200149191A KR20200149191A KR20210065846A KR 20210065846 A KR20210065846 A KR 20210065846A KR 1020200149191 A KR1020200149191 A KR 1020200149191A KR 20200149191 A KR20200149191 A KR 20200149191A KR 20210065846 A KR20210065846 A KR 20210065846A
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슌 나카가와
šœ 나카가와
나오코 야마모토
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

The present invention provides a novel technology that makes it possible to easily perform the operation of attaching and detaching a cutting blade to and from a blade mount. Provided is a method of mounting a cutting blade to a blade mount fixed to a tip of a spindle, The method comprises: a gripping step for gripping a hub base of the cutting blade on which a fitting hole is formed with a blade gripping tool; a heating step of heating the hub base with a heater formed in the blade gripping tool to enlarge the fitting hole; and a mounting step of moving the blade gripping tool while gripping the cutting blade and inserting a boss portion of the blade mount into the fitting hole.

Description

절삭 블레이드의 장착 방법, 분리 방법, 및, 블레이드 파지구{METHOD FOR MOUNTING AND DISMOUNTING CUTTING BLADE, AND BLADE HOLDER}A method of mounting a cutting blade, a method of removing it, and a blade gripping tool {METHOD FOR MOUNTING AND DISMOUNTING CUTTING BLADE, AND BLADE HOLDER}

본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 착탈하기 위한 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a technique for attaching and detaching a cutting blade for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer.

종래, 예를 들어 특허문헌 1 에 개시되는 바와 같이, 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 절삭 가공하여 다이싱하는 절삭 장치는 알려져 있다. 이 종류의 절삭 장치에는, 블레이드 마운트에 고정되는 절삭 블레이드를 고속 회전시키는 절삭 수단이 구비되어 있고, 절삭 블레이드가 소모되었을 때에는, 적절히 절삭 블레이드의 교환 작업이 발생하는 것이다.DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, as disclosed by patent document 1, for example, the cutting apparatus which cuts and dices to-be-processed objects, such as a semiconductor wafer, is known. This type of cutting device is provided with cutting means for rotating the cutting blade fixed to the blade mount at a high speed, and when the cutting blade is consumed, the operation of replacing the cutting blade occurs appropriately.

특허문헌 1 에서는, 기록 코드가 부착된 절삭 블레이드의 교환 작업을 간단하고 또한 효율적으로 실시하는 것을 과제로 하고, 교환 대상이 되는 절삭 블레이드를 교환 작업을 위해서 파지부에 의해 파지하는 것만으로 기록 코드의 정보도 별개 전용의 조작을 필요로 하지 않고 확실하게 취득할 수 있는 기술에 대해 개시가 되어 있다.In Patent Document 1, a simple and efficient replacement operation of a cutting blade with a recording code is performed simply and efficiently, and the cutting blade to be replaced is only gripped by the gripper for the replacement operation. Also disclosed is a technique that can reliably acquire information without requiring a separate, dedicated operation.

일본 공개특허공보 2009-241177호Japanese Patent Laid-Open No. 2009-241177

특허문헌 1 에 개시되는 구성과 같이, 절삭 블레이드의 관통공에 블레이드 마운트의 보스부가 관통 삽입되는 구성에 있어서는, 관통공과 보스부의 끼워 맞춤을 설계할 필요가 있다.As in the configuration disclosed in Patent Document 1, in a configuration in which the boss portion of the blade mount is inserted through the through hole of the cutting blade, it is necessary to design the fit between the through hole and the boss portion.

양자의 끼워 맞춤을 간극 끼워 맞춤으로 하는 것에 따르면, 절삭 블레이드의 착탈 작업은 용이한 것이 되지만, 블레이드 마운트, 및 블레이드 마운트를 고정시키는 스핀들과, 절삭 블레이드의 축심에 발생하는 어긋남량이 커지는 것이 염려되어, 절삭 블레이드가 편심되어 고정밀도의 가공을 할 수 없게 된다는 문제가 발생한다.According to the gap fit between the two fittings, the removal of the cutting blade becomes easy, but there is a concern that the amount of misalignment between the blade mount and the spindle fixing the blade mount and the shaft center of the cutting blade increases, There arises a problem that the cutting blade is eccentric, making it impossible to perform high-precision machining.

한편, 양자가 빡빡하게 끼워 맞춰지는 억지 끼워 맞춤으로 하는 것에 따르면, 편심의 문제는 적어지지만, 착탈 작업에 곤란을 증가시키게 된다. 특히, 절삭 블레이드의 절삭날은 매우 얇기 때문에, 외력을 부가했을 때에 충격으로 절삭날을 파손시킬 우려도 있다.On the other hand, according to the interference fit in which both are tightly fitted, the problem of eccentricity is reduced, but the difficulty in attaching and detaching operation is increased. In particular, since the cutting edge of the cutting blade is very thin, there is a possibility that the cutting edge may be damaged by impact when an external force is applied.

따라서, 본 발명의 목적은, 블레이드 마운트에 대한 절삭 블레이드의 착탈 작업을 용이하게 실시하는 것을 가능하게 하는 신규 기술을 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a novel technology that makes it possible to easily perform the operation of attaching and detaching a cutting blade to and from a blade mount.

본 발명의 하나의 측면에 의하면, 스핀들의 선단에 고정된 블레이드 마운트에 대한 절삭 블레이드의 장착 방법으로서, 끼워 맞춤공이 형성되는 절삭 블레이드의 허브 기대를 블레이드 파지구로 파지하는 파지 스텝과, 그 블레이드 파지구에 형성한 히터로 그 허브 기대를 가열하여, 그 끼워 맞춤공을 확경 (擴徑) 하는 가열 스텝과, 그 절삭 블레이드를 파지한 채로 그 블레이드 파지구를 이동시켜, 그 끼워 맞춤공에 그 블레이드 마운트의 보스부를 삽입시키는 장착 스텝을 구비한 절삭 블레이드의 장착 방법이 제공된다.According to one aspect of the present invention, there is provided a method for mounting a cutting blade to a blade mount fixed to the tip of a spindle, the gripping step for gripping a hub base of the cutting blade in which a fitting hole is formed with a blade gripper, and the blade gripper A heating step for heating the base of the hub by heating the base of the hub with a heater provided in the , and a heating step for expanding the diameter of the fitting hole, and moving the blade gripping tool while gripping the cutting blade, and mounting the blade in the fitting hole A method of mounting a cutting blade having a mounting step for inserting a boss portion of the cutting blade is provided.

바람직하게는, 그 절삭 블레이드의 그 끼워 맞춤공의 직경은, 상온시에 그 보스부의 직경보다 작은 값으로 설정되어 있다.Preferably, the diameter of the fitting hole of the cutting blade is set to a value smaller than the diameter of the boss portion at room temperature.

바람직하게는, 그 장착 스텝 후, 방치에 의한 자연 냉각에 의해 그 절삭 블레이드를 그 보스부에 끼워 맞춤 고정시킨다.Preferably, after the mounting step, the cutting blade is fitted and fixed to the boss portion by natural cooling by standing still.

본 발명의 다른 측면에 의하면, 상기 기재된 절삭 블레이드의 장착 방법에 사용되는 블레이드 파지구로서, 통 (筒) 축 방향과 직교하는 단면 (斷面) 이, 간극부에 의해 대략 C 자상을 이루는 파지부와, 그 파지부의 내측에 형성되고, 그 파지부의 내주면에서 유지되는 그 허브 기대에 당착 (當着) 하는 히터를 구비하고, 그 파지부는, 외주부를 잡고 그 간극부를 좁히도록 휘고, 그 내주부에서 그 허브 기대의 피파지부를 둘러싸 유지하는, 블레이드 파지구가 제공된다.According to another aspect of the present invention, as a blade gripper used in the above-described method for mounting a cutting blade, a gripping portion having a cross section orthogonal to the cylinder axis direction substantially C-shaped by the gap portion and a heater formed on the inside of the gripping part and abutting against the hub base held on the inner circumferential surface of the gripping part, wherein the gripping part grabs the outer peripheral part and bends to narrow the gap, A blade gripper is provided, which surrounds and holds a gripped portion of its hub base in the main body.

본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 스핀들의 선단에 고정된 블레이드 마운트에 장착된 절삭 블레이드의 분리 방법으로서, 절삭 블레이드의 허브 기대를 블레이드 파지구로 파지하는 파지 스텝과, 그 블레이드 파지구에 형성한 히터로 그 허브 기대를 가열하여, 그 끼워 맞춤공을 확경하는 가열 스텝과, 그 절삭 블레이드를 파지한 채로 그 블레이드 파지구를 이동시켜, 그 끼워 맞춤공으로부터 그 블레이드 마운트의 보스부를 인발하는 분리 스텝을 구비한 절삭 블레이드의 분리 방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of separating a cutting blade mounted on a blade mount fixed to the tip of a spindle, a gripping step for gripping a hub base of the cutting blade with a blade gripping tool, and a heater formed in the blade gripping tool A heating step of heating the hub base of the log to expand the diameter of the fitting hole, and a separation step of moving the blade gripping tool while holding the cutting blade and drawing the boss portion of the blade mount from the fitting hole. A method of separating a cutting blade provided with

바람직하게는, 그 절삭 블레이드의 그 끼워 맞춤공의 직경은, 상온시에 그 보스부의 직경보다 작은 값으로 설정되어 있다.Preferably, the diameter of the fitting hole of the cutting blade is set to a value smaller than the diameter of the boss portion at room temperature.

본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 상기 기재된 절삭 블레이드의 분리 방법에 사용되는 블레이드 파지구로서, 통축 방향과 직교하는 단면이, 간극부에 의해 대략 C 자상을 이루는 파지부와, 그 파지부의 내측에 형성되고, 그 파지부의 내주면에서 유지되는 그 허브 기대에 당착하는 히터를 구비하고, 그 파지부는, 외주부를 잡고 그 간극부를 좁히도록 휘고, 그 내주부에서 그 허브 기대의 피파지부를 둘러싸 유지하는, 블레이드 파지구가 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a blade gripper used in the above-described method for separating a cutting blade, a gripper having a cross-section perpendicular to the cylindrical axis direction substantially C-shaped by a gap portion, and an inner side of the gripper and a heater formed in the clasp and abutting against the hub base held on the inner circumferential surface of the gripping portion, the gripping portion holding the outer peripheral portion and bending to narrow the gap, and surrounding and holding the gripped portion of the hub base at the inner peripheral portion A blade gripper is provided.

본 발명에 의하면, 가열에 의해 절삭 블레이드의 끼워 맞춤공의 내경이 확장되어 있기 때문에, 블레이드 마운트의 보스부를 원활하게 삽입시킬 수 있다. 특히, 억지 끼워 맞춤에 의한 고정이 이루어지는 설계에 있어서는 우수한 장착성을 실현할 수 있고, 또, 장착된 절삭 블레이드의 축심의 어긋남이 발생하기 어려워 고정밀도의 가공이 가능해진다.According to the present invention, since the inner diameter of the fitting hole of the cutting blade is expanded by heating, the boss portion of the blade mount can be smoothly inserted. In particular, in a design in which clamping is performed by interference fit, excellent mountability can be realized, and shifting of the axial center of the mounted cutting blade is less likely to occur, enabling high-precision machining.

도 1 은, 본 발명이 이용되는 절삭 장치의 일 실시형태에 대해 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 절삭 수단의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3 의 (A) 는 블레이드 파지구의 정면도, (B) 는 블레이드 파지구의 배면도이다.
도 4 는, 블레이드 파지구로 절삭 블레이드를 파지하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 5 의 (A) 는 절삭 블레이드를 유지한 상태를 나타내는 일부 단면 측면 도, (B) 는 절삭 블레이드를 보스부에 장착한 상태를 나타내는 일부 단면 측면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows about one Embodiment of the cutting device by which this invention is used.
It is an exploded perspective view which shows the structural example of a cutting means.
Fig. 3 (A) is a front view of the blade gripping tool, (B) is a rear view of the blade gripping tool.
Fig. 4 is a perspective view showing a state in which a cutting blade is gripped by a blade gripper.
Fig. 5 (A) is a partial cross-sectional side view showing a state in which the cutting blade is held, and (B) is a partial cross-sectional side view showing a state in which the cutting blade is attached to the boss.

이하 적절히 도면을 참조하여, 본원 발명의 일 실시형태에 대해 설명한다. 도 1 에 나타내는 절삭 장치 (1) 는, 도 2 에 나타내는 블레이드 파지구 (60) 를 사용하여 절삭 블레이드 (20) 가 착탈되는 장치의 예이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one Embodiment of this invention is described with reference to drawings suitably. The cutting device 1 shown in FIG. 1 is an example of the device from which the cutting blade 20 is attached and detached using the blade gripping tool 60 shown in FIG.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (1) 는 척 테이블 (2) 과, 이동 수단 (3) 과, 촬상 수단 (4) 과, 절삭 수단 (5) 을 갖고 구성된다. 피가공물은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 판상의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼, 판상의 무기 재료 기판, 판상의 연성 재료 등, 판상의 각종 가공 재료이다.As shown in FIG. 1, the cutting device 1 has the chuck table 2, the moving means 3, the imaging means 4, and the cutting means 5, and is comprised. Although a to-be-processed object is not specifically limited, For example, plate-shaped various processed materials, such as a plate-shaped semiconductor wafer and optical device wafer, a plate-shaped inorganic material board|substrate, and a plate-shaped flexible material.

척 테이블 (2) 은, 피가공물을 흡인 유지하는 것이다. 척 테이블 (2) 은 원반상으로 형성되어 있고, 상면이 수평 방향으로 평행이 되는 평면으로 형성되어 있다. 척 테이블 (2) 의 유지부는 포러스 세라믹으로 구성되어 있고, 도시되지 않은 진공 흡인원에 접속되어 있다.The chuck table 2 sucks and holds the workpiece. The chuck table 2 is formed in a disk shape, and is formed in a plane with an upper surface parallel to the horizontal direction. The holding portion of the chuck table 2 is made of porous ceramic and is connected to a vacuum suction source (not shown).

이동 수단 (3) 은 X 축 방향, Y 축 방향 및 Z 축 방향에 있어서, 척 테이블 (2) 과 절삭 수단 (5) 을 상대 이동시키는 것이다. 이동 수단 (3) 은 X 축 이동 수단 (3a) 과, Y 축 이동 수단 (3b) 과, Z 축 이동 수단 (3c) 을 포함하여 구성되어 있다. X 축 이동 수단 (3a) 은, 척 테이블 (2) 을 본체부 (6) 에 대해 X 축 방향 (절삭 이송 방향에 상당) 으로 상대 이동 가능하게 지지하고 있다. Y 축 이동 수단 (3b) 은, 절삭 수단 (5) 을 본체부 (6) 에 대해 Y 축 방향 (산출 이송 방향에 상당) 으로 상대 이동 가능하게 지지하고 있다. Z 축 이동 수단 (3c) 은, 절삭 수단 (5) 을 본체부 (6) 에 대해 Z 축 방향 (절입 이송 방향에 상당) 으로 상대 이동 가능하게 지지하고 있다. 각 이동 수단 (3a ∼ 3c) 은, 예를 들어, 모터, 볼 나사, 너트 등으로 구성되어 있다.The moving means 3 relatively moves the chuck table 2 and the cutting means 5 in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. The movement means 3 is comprised including the X-axis movement means 3a, the Y-axis movement means 3b, and the Z-axis movement means 3c. The X-axis moving means 3a supports the chuck table 2 so as to be relatively movable in the X-axis direction (corresponding to the cutting feed direction) with respect to the main body 6 . The Y-axis movement means 3b supports the cutting means 5 so that relative movement is possible in the Y-axis direction (corresponding to the calculated feed direction) with respect to the main body 6 . The Z-axis movement means 3c is supporting the cutting means 5 so that relative movement is possible in the Z-axis direction (corresponding to the cutting feed direction) with respect to the main-body part 6 . Each of the moving means 3a to 3c is constituted of, for example, a motor, a ball screw, a nut, or the like.

촬상 수단 (4) 은, 절삭 수단 (5) 을 피가공물의 분할 예정 라인 (스트리트) 에 대해 얼라인먼트 조정하기 위해서, 스트리트를 절삭 가공 전에 촬상하는 것이다. 촬상 수단 (4) 은, 예를 들어, CCD (Charge Coupled Device) 이미지 센서를 사용한 카메라 등이다.In order to align the cutting means 5 with respect to the division|segmentation line (street) of a to-be-processed object, the imaging means 4 images a street before cutting. The imaging means 4 is, for example, a camera using a CCD (Charge Coupled Device) image sensor.

절삭 수단 (5) 은, 피가공물에 대해 절삭 가공을 실시하는 것이다. 절삭 수단 (5) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 회전 구동 수단 (10) 과, 절삭 블레이드 (20) 와, 블레이드 마운트 (30) 와, 블레이드 고정 너트 (40) 를 갖고 구성된다.The cutting means 5 performs cutting with respect to a to-be-processed object. The cutting means 5 has, as shown in FIG. 2, the rotation drive means 10, the cutting blade 20, the blade mount 30, and the blade fixing nut 40, and is comprised.

회전 구동 수단 (10) 은, 절삭 블레이드 (20) 를 고속으로 회전 구동시키는 것이다. 회전 구동 수단 (10) 은, 스핀들 (11) 과, 스핀들 하우징 (12) 과, 도시되지 않은 모터를 구비하고 있다. 스핀들 (11) 의 선단에는, 블레이드 마운트 (30) 가 마운트 고정 너트 (50) 에 의해 착탈 가능하게 고정된다.The rotation drive means 10 rotationally drives the cutting blade 20 at high speed. The rotation drive means 10 includes a spindle 11 , a spindle housing 12 , and a motor (not shown). A blade mount 30 is detachably fixed to the tip of the spindle 11 by a mount fixing nut 50 .

절삭 블레이드 (20) 는, 이른바 허브 블레이드로서 구성되는 것으로, 알루미늄 합금 등의 금속으로 구성된 원환상의 허브 기대 (21) 와, 허브 기대 (21) 의 외주를 둘러싸도록 형성되는 원환상의 절삭날 (22) 을 갖고 구성된다.The cutting blade 20 is configured as a so-called hub blade, and includes an annular hub base 21 made of a metal such as an aluminum alloy, and an annular cutting edge formed to surround the outer periphery of the hub base 21 ( 22) and is composed of

허브 기대 (21) 는, 블레이드 마운트 (30) 의 보스부 (34) 에 장착하기 위한 끼워 맞춤공 (24) 이 중앙에 형성되어 있다. 끼워 맞춤공 (24) 은, 내측에 블레이드 마운트 (30) 의 보스부 (34) 가 관통 삽입된다. 절삭날 (22) 은, 다이아몬드나 CBN (Cubic Boron Nitride) 등의 지립과, 금속이나 수지 등의 본드재 (결합재) 로 이루어지며 소정 두께로 형성되어 있다.The hub base 21 is provided with a fitting hole 24 for mounting to the boss part 34 of the blade mount 30 in the center. In the fitting hole 24 , the boss portion 34 of the blade mount 30 is inserted through the inside. The cutting edge 22 consists of abrasive grains, such as diamond and CBN (Cubic Boron Nitride), and a bond material (binding material), such as a metal and resin, and is formed in predetermined thickness.

블레이드 마운트 (30) 는, 절삭 블레이드 (20) 의 절삭날 (22) 을 협지하기 위한 플랜지부 (32) 와, 절삭 블레이드 (20) 의 끼워 맞춤공 (24) 에 관통 삽입되는 보스부 (34) 와, 블레이드 고정 너트 (40) 가 체결되는 수나사 (36) 를 갖고 구성된다.The blade mount 30 includes a flange portion 32 for clamping the cutting edge 22 of the cutting blade 20 and a boss portion 34 inserted through the fitting hole 24 of the cutting blade 20 . and an external screw 36 to which the blade fixing nut 40 is fastened.

또한, 도 2 에 나타내는 구성에 있어서, 절삭 블레이드 (20) 의 끼워 맞춤공 (24) 의 내경은, 블레이드 마운트 (30) 의 보스부 (34) 의 외경 이하로 설정되고, 상세하게는 후술하는 바와 같이, 절삭 블레이드 (21) 가 블레이드 마운트 (24) 에 대해 억지 끼워 맞춤될 수 있다. 이 밖에, 절삭 블레이드 (20) 의 끼워 맞춤공 (24) 의 내경이, 블레이드 마운트 (30) 의 보스부 (34) 의 외경보다 큰 경우에 있어서도, 본 발명은 적용 가능하다.In addition, in the configuration shown in Fig. 2, the inner diameter of the fitting hole 24 of the cutting blade 20 is set to be equal to or less than the outer diameter of the boss portion 34 of the blade mount 30, which will be described later in detail. Likewise, the cutting blade 21 can be press fit against the blade mount 24 . In addition, also when the inner diameter of the fitting hole 24 of the cutting blade 20 is larger than the outer diameter of the boss part 34 of the blade mount 30, this invention is applicable.

블레이드 고정 너트 (40) 는 링상으로 구성되고, 그 내주면에 블레이드 마운트 (30) 의 수나사 (36) 에 나사 결합하는 암나사 (42) 가 형성된다. 블레이드 고정 너트 (40) 의 단면 (端面) 에는, 4 개의 핀 삽입공 (44) 이 각각 90 도 어긋나게 하여 형성되고, 도시되지 않은 체결 지그의 걸어 맞춤 핀을 삽입하여, 회전 조작할 수 있도록 구성된다.The blade fixing nut 40 is configured in a ring shape, and a female screw 42 screwed to the male screw 36 of the blade mount 30 is formed on its inner circumferential surface. In the end face of the blade fixing nut 40, four pin insertion holes 44 are formed to be shifted by 90 degrees, respectively, and an engaging pin of a fastening jig (not shown) is inserted so that rotation can be performed. .

다음으로, 절삭 블레이드의 교환에 이용하는 블레이드 파지구에 대해 설명한다. 도 3(A) ∼ 도 5(B) 에 나타내는 바와 같이, 블레이드 파지구 (60) 는, 손가락으로 잡아 조작하는 파지부 (62) 와, 히터 (64) 를 갖고 구성된다.Next, a blade gripping tool used for exchanging the cutting blade will be described. As shown to Fig.3(A) - FIG.5(B), the blade holding|gripping tool 60 has the holding part 62 which grasps and operates with a finger|toe, and the heater 64, and is comprised.

파지부 (62) 는, 통상 부재에 있어서 통벽의 일부에 축 방향으로 연장되는 간극부 (62s) 를 형성함으로써, 통축 방향과 직교하는 단면에 있어서 대략 C 자 형상을 이루는 링상의 부재로 구성된다. 파지부 (62) 는, 예를 들어, 수지, 금속, 고무, 또는, 이것들의 조합에 의해 구성할 수 있다.The gripping portion 62 is a ring-shaped member that forms a substantially C-shape in a cross section orthogonal to the cylindrical axial direction by forming a gap portion 62s extending in the axial direction in a part of the cylindrical member in the cylindrical member. The holding part 62 can be comprised by resin, a metal, rubber|gum, or these combinations, for example.

파지부 (62) 의 내주면 (62c) 은, 절삭 블레이드 (20) 의 허브 기대 (21) 에 형성되는 허브 (21a) 의 외주면 (21c) 에 맞닿도록 구성된다.The inner peripheral surface 62c of the gripping portion 62 is configured to abut against the outer peripheral surface 21c of the hub 21a formed on the hub base 21 of the cutting blade 20 .

구체적으로는, 파지부 (62) 는, 손가락으로 잡고 하중을 가함으로써, 간극부 (62s) 의 간극이 좁아지도록 휘어 내경이 축소되고, 내주면 (62c) 이 허브 (21a) 의 외주면 (21c) 에 맞닿도록 구성된다. 이와 같이 하여, 블레이드 파지구 (60) 에 의해 절삭 블레이드 (20) 를 유지하는 것이 가능해진다. 허브 (21a) 의 외주면 (21c) 은, 피파지부로서 기능하게 된다.Specifically, the gripping portion 62 is bent so that the gap between the gap portion 62s is narrowed and the inner diameter is reduced by holding the grip portion 62 with a finger and applying a load, and the inner peripheral surface 62c is attached to the outer peripheral surface 21c of the hub 21a. configured to abut. In this way, it becomes possible to hold|maintain the cutting blade 20 by the blade gripper 60. As shown in FIG. The outer peripheral surface 21c of the hub 21a functions as a part to be gripped.

파지부 (62) 의 외주면 (62d) 에는, 절삭 블레이드 (20) 의 절삭날 (22) 측으로 손가락이 이동하지 않도록 하기 위한 보호 플레이트 (62a, 62a) 가 둘레 방향으로 세워 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 2 장의 보호 플레이트 (62a, 62a) 가, 둘레 방향으로 어긋난 위치에 배치되어, 넓은 범위에서 손가락이 보호가 되도록 구성된다.Protective plates 62a and 62a for preventing a finger from moving toward the cutting edge 22 of the cutting blade 20 are formed on the outer circumferential surface 62d of the gripping portion 62 upright in the circumferential direction. In the present embodiment, the two protective plates 62a and 62a are arranged at positions shifted in the circumferential direction, and are configured to protect the fingers in a wide range.

파지부 (62) 의 외주면 (62d) 에 있어서, 통축 방향에 있어서의 보호 플레이트 (62a, 62a) 의 일측, 즉, 절삭 블레이드 (20) 를 파지했을 때에, 절삭 블레이드 (20) 와는 반대측이 되는 측에는, 손가락을 걸기 쉽게 하기 위한 그립부 (62b) 가 형성된다. 본 실시예에서는, 표면이 연속하는 파형을 이루도록 구성함으로써, 움푹 패인 지점에 손가락이 들어가기 쉬운 구성으로 하고 있다.In the outer peripheral surface 62d of the gripping portion 62, one side of the protection plates 62a, 62a in the cylindrical axial direction, that is, the side opposite to the cutting blade 20 when the cutting blade 20 is gripped. , a grip portion 62b for making it easy to hang a finger is formed. In this embodiment, by configuring the surface to form a continuous wave, a finger can easily enter the depression.

히터 (64) 는, 가열면을 갖는 시트상의 부재로 구성되고, 파지부 (62) 의 내측의 복수 지점에 형성한 걸림부 (62k, 62k) 에 고정된다. 히터 (64) 는, 본 실시예에서는, 전원 코드 (62m) (도 3(A)) 를 통하여 급전되어 가열되는 실리콘 히터로 구성할 수 있다.The heater 64 is composed of a sheet-like member having a heating surface, and is fixed to locking portions 62k and 62k formed at a plurality of points inside the gripping portion 62 . The heater 64 can be constituted by a silicon heater which is heated by being supplied with electricity through a power supply cord 62m (Fig. 3A) in the present embodiment.

도 5(A) 에 나타내는 바와 같이, 히터 (64) 는, 절삭 블레이드 (20) 를 파지한 상태에서, 절삭 블레이드 (20) 의 허브 기대 (21) 의 허브 (21a) 의 단면 (21b) 에 당착하는 것으로, 당착하는 면이 히터면 (64h) 으로서 구성된다.As shown in Fig. 5(A) , the heater 64 abuts against the end face 21b of the hub 21a of the hub base 21 of the cutting blade 20 in a state in which the cutting blade 20 is gripped. By doing so, the surface to be hit is constituted as the heater surface 64h.

도 5(B) 에 나타내는 바와 같이, 히터 (64) 에는, 절삭 블레이드 (20) 의 장착시에, 블레이드 마운트 (30) 의 보스부 (34) 를 삽입 통과 가능하게 하기 위한 삽입 통과공 (64a) 이 형성된다.As shown in Fig. 5(B) , the heater 64 has an insertion hole 64a for enabling the boss portion 34 of the blade mount 30 to be inserted through the heater 64 when the cutting blade 20 is mounted. this is formed

다음으로, 이상과 같이 구성한 블레이드 파지구 (60) 의 사용 방법에 대해 설명한다.Next, the usage method of the blade holding|gripping tool 60 comprised as mentioned above is demonstrated.

먼저, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드 (20) 의 허브 기대 (21) 의 허브 (21a) 를, 파지부 (62) 의 내측에 삽입함과 함께, 손가락으로 그립부 (62b) 를 잡고 하중을 가함으로써, 절삭 블레이드 (20) 를 유지하여, 도 5(A) 에 나타내는 상태로 한다.First, as shown in Fig. 4, the hub 21a of the hub base 21 of the cutting blade 20 is inserted inside the gripping portion 62, and while holding the grip portion 62b with a finger, the load is applied. By adding it, the cutting blade 20 is hold|maintained, and it is set as the state shown to FIG.5(A).

이어서, 도 5(A) 에 나타내는 바와 같이, 히터 (64) 를 통전함으로써 절삭 블레이드 (20) 의 허브 기대 (21) 를 가열한다. 히터 (64) 의 통전의 ON/OFF 조작은, 예를 들어, 히터 (64) 가 절삭 장치 (1) (도 1) 의 제어 장치에 접속되는 경우에는, 당해 제어 장치의 인터페이스를 조작함으로써 실시하는 구성으로 할 수 있다. 히터 (64) 가 절삭 장치와 접속되지 않고 독립된 장치로서 구성되는 경우에는, 도시되지 않은 전원으로부터의 급전을 적절히 ON/OFF 조작함으로써 실시할 수 있다.Next, as shown in FIG. 5(A) , the hub base 21 of the cutting blade 20 is heated by energizing the heater 64 . The ON/OFF operation of energization of the heater 64 is performed by, for example, operating the interface of the control device when the heater 64 is connected to the control device of the cutting device 1 ( FIG. 1 ). configuration can be done. When the heater 64 is not connected to a cutting device and is configured as an independent device, it can be implemented by appropriately turning ON/OFF power from a power source (not shown).

이와 같이, 히터 (64) 에 의한 절삭 블레이드 (20) 의 가열이 됨으로써, 허브 기대 (21) 의 온도가 상승하고, 이에 수반하여 끼워 맞춤공 (24) 의 내경이 확장된다.Thus, by heating of the cutting blade 20 by the heater 64, the temperature of the hub base 21 rises, and the inner diameter of the fitting hole 24 expands with this.

이어서, 도 5(A), 도 5(B) 에 나타내는 바와 같이, 블레이드 마운트 (30) 의 보스부 (34) 의 위치에 절삭 블레이드 (20) 의 끼워 맞춤공 (24) 을 대향시키고, 끼워 맞춤공 (24) 에 보스부 (34) 가 삽입되도록 블레이드 파지구 (60) 를 이동시킨다. 이 때, 가열에 의해 끼워 맞춤공 (24) 의 내경이 확장되어 있기 때문에, 보스부 (34) 를 원활하게 삽입시킬 수 있다. 또한, 절삭 블레이드 (20) 의 끼워 맞춤공 (24) 의 내경이, 블레이드 마운트 (30) 의 보스부 (34) 의 외경보다 큰 경우에 있어서도, 끼워 맞춤공 (24) 의 내경이 확장됨으로써, 절삭 블레이드 (20) 의 착탈을 원활하게 실시하는 것이 가능해진다.Next, as shown in Figs. 5(A) and 5(B), the fitting hole 24 of the cutting blade 20 is opposed to the position of the boss portion 34 of the blade mount 30, and the fitting hole 24 is fitted. The blade gripper 60 is moved so that the boss part 34 is inserted into the ball 24 . At this time, since the inner diameter of the fitting hole 24 is expanded by heating, the boss part 34 can be inserted smoothly. Further, even when the inner diameter of the fitting hole 24 of the cutting blade 20 is larger than the outer diameter of the boss portion 34 of the blade mount 30, the inner diameter of the fitting hole 24 is expanded, thereby cutting It becomes possible to perform attachment/detachment of the blade 20 smoothly.

도 5(B) 와 같이, 절삭날 (22) 이 블레이드 마운트 (30) 의 플랜지부 (32) 에 당착하는 위치까지 절삭 블레이드 (20) 를 이동시킨 후, 블레이드 파지구 (60) 에 가하는 힘을 완화시킴으로써 허브 기대 (21) 의 유지를 해방하고, 블레이드 파지구 (60) 를 절삭 블레이드 (20) 와 분리하여 퇴피시킨다.5 (B), after moving the cutting blade 20 to the position where the cutting edge 22 hits the flange portion 32 of the blade mount 30, the force applied to the blade gripper 60 By loosening, the holding of the hub base 21 is released, and the blade gripping tool 60 is separated from the cutting blade 20 and retracted.

이상과 같이 하여, 블레이드 파지구 (60) 에 의한 절삭 블레이드 (20) 의 장착이 실시된다. 그 후, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 블레이드 고정 너트 (40) 를 블레이드 마운트 (30) 의 수나사 (36) 에 체결함으로써, 절삭 블레이드 (20) 의 장착에 관한 모든 공정이 완료된다.As described above, the cutting blade 20 is mounted by the blade gripping tool 60 . Thereafter, as shown in FIG. 2 , by fastening the blade fixing nut 40 to the male screw 36 of the blade mount 30 , all processes related to the mounting of the cutting blade 20 are completed.

또한, 절삭 블레이드 (20) 의 끼워 맞춤공 (24) 과 블레이드 마운트 (30) 의 보스부 (34) 사이에 있어서 죔새가 큰 억지 끼워 맞춤에 의해 절삭 블레이드 (20) 가 고정되는 구성이나, 블레이드 마운트 (30) 측에 형성하는 흡인 유지 기구에 의해 절삭 블레이드 (20) 가 고정되는 구성 등, 블레이드 고정 너트 (40) 를 사용하지 않는 구성에 있어서도 동일하게, 블레이드 파지구 (60) 를 이용한 절삭 블레이드 (20) 의 장착은 가능하다.In addition, between the fitting hole 24 of the cutting blade 20 and the boss portion 34 of the blade mount 30, the cutting blade 20 is fixed by a tight interference fit between the cutting blade 20 and the blade mount. Similarly, in a configuration in which the blade fixing nut 40 is not used, such as a configuration in which the cutting blade 20 is fixed by a suction holding mechanism formed on the side (30), the cutting blade using the blade gripper 60 ( 20) can be installed.

이상은, 절삭 블레이드 (20) 의 장착에 대해 설명했지만, 절삭 블레이드 (20) 를 분리하는 경우에는, 도 5(B) 의 상태로 하여 히터 (64) 에 의해 허브 기대 (21) 를 가열하여 끼워 맞춤공 (24) 의 내경을 확장함으로써, 절삭 블레이드 (20) 를 보스부 (34) 로부터 원활하게 분리할 수 있다.In the above, the attachment of the cutting blade 20 has been described. However, when the cutting blade 20 is removed, the hub base 21 is heated by the heater 64 as shown in Fig. 5(B) and sandwiched. By expanding the inner diameter of the dowel hole 24 , the cutting blade 20 can be smoothly separated from the boss portion 34 .

본 발명의 절삭 블레이드의 장착 방법에서는, 가열에 의해 끼워 맞춤공 (24) 의 내경은 확장되어 있기 때문에, 보스부 (34) 를 원활하게 삽입시킬 수 있다. 특히, 억지 끼워 맞춤에 의한 고정이 이루어지는 설계에 있어서는 우수한 장착성을 실현할 수 있고. 또, 장착된 절삭 블레이드의 축심의 어긋남이 발생하기 어려워 고정밀도의 가공이 가능해진다.In the method of mounting the cutting blade of the present invention, the inner diameter of the fitting hole 24 is expanded by heating, so that the boss portion 34 can be smoothly inserted. In particular, in a design in which fixation by interference fit is made, excellent mountability can be realized. Moreover, it is difficult to generate|occur|produce the shift|offset|difference of the axial center of the attached cutting blade, and high-precision machining becomes possible.

바람직하게는, 도 5(A), 도 5(B) 에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드 (20) 의 끼워 맞춤공 (24) 의 직경은, 상온시에 보스부 (34) 의 직경보다 작은 값으로 설정되어 있다. 이 경우에는, 억지 끼워 맞춤에 의한 고정이 이루어지는 설계로 되어 있어, 우수한 장착성과 고정밀도의 가공이 가능해진다.Preferably, as shown in Figs. 5A and 5B, the diameter of the fitting hole 24 of the cutting blade 20 is smaller than the diameter of the boss portion 34 at room temperature. It is set. In this case, it is designed to be fixed by an interference fit, and excellent mountability and high-precision processing are possible.

또, 도 5(B) 에 나타내는 바와 같이, 장착 스텝 후, 방치에 의한 자연 냉각에 의해 절삭 블레이드 (20) 를 보스부 (34) 에 끼워 맞춤 고정시킨다. 이 경우에는, 예를 들어, 블레이드 고정 너트 (40) (도 2) 를 생략한 절삭 블레이드 (20) 의 고정 방법도 실현 가능해진다.Moreover, as shown in FIG.5(B), the cutting blade 20 is fitted and fixed to the boss|hub part 34 by natural cooling by leaving-to-stand after a mounting step. In this case, for example, the fixing method of the cutting blade 20 which abbreviate|omitted the blade fixing nut 40 (FIG. 2) also becomes realizable.

본 발명의 절삭 블레이드의 분리 방법에서는, 가열에 의해 끼워 맞춤공 (24) 의 내경은 확장되어 있기 때문에, 보스부 (34) 로부터 원활하게 인발할 수 있다. 특히, 억지 끼워 맞춤에 의한 고정이 이루어지는 설계에 있어서는 우수한 분리성을 실현할 수 있다.In the method of separating the cutting blade of the present invention, since the inner diameter of the fitting hole 24 is expanded by heating, it can be smoothly pulled out from the boss portion 34 . In particular, in a design in which fixation is performed by interference fit, excellent separability can be realized.

1 : 절삭 장치
5 : 절삭 수단
10 : 회전 구동 수단
11 : 스핀들
12 : 스핀들 하우징
20 : 절삭 블레이드
21 : 허브 기대
21a : 허브
21b : 단면
21c : 외주면
22 : 절삭날
24 : 끼워 맞춤공
30 : 블레이드 마운트
32 : 플랜지부
34 : 보스부
36 : 수나사
40 : 블레이드 고정 너트
42 : 암나사
44 : 핀 삽입공
50 : 마운트 고정 너트
60 : 블레이드 파지구
62 : 파지부
62a : 보호 플레이트
62b : 그립부
62c : 내주면
62d : 외주면
62k : 걸림부
62s : 간극부
64 : 히터
64a : 삽입 통과공
64h : 히터면1: cutting device
5: cutting means
10: rotation drive means
11: Spindle
12: spindle housing
20: cutting blade
21: Expect Herbs
21a: Hub
21b: cross section
21c: outer periphery
22: cutting edge
24 : fitter
30 : Blade Mount
32: flange part
34: boss
36: male thread
40: blade fixing nut
42: female thread
44: pin insertion hole
50: mount fixing nut
60: blade gripper
62: grip part
62a: protection plate
62b: grip part
62c: If you give it inside
62d: outer periphery
62k: catch
62s: gap
64: heater
64a: insertion hole
64h: heater side

Claims (7)

스핀들의 선단에 고정된 블레이드 마운트에 대한 절삭 블레이드의 장착 방법으로서,
끼워 맞춤공이 형성되는 절삭 블레이드의 허브 기대를 블레이드 파지구로 파지하는 파지 스텝과,
그 블레이드 파지구에 형성한 히터로 그 허브 기대를 가열하여, 그 끼워 맞춤공을 확경하는 가열 스텝과,
그 절삭 블레이드를 파지한 채로 그 블레이드 파지구를 이동시켜, 그 끼워 맞춤공에 그 블레이드 마운트의 보스부를 삽입하는 장착 스텝을 구비한 절삭 블레이드의 장착 방법.A method of mounting a cutting blade to a blade mount fixed to a tip of a spindle, the method comprising:
A gripping step for gripping the hub base of the cutting blade on which the fitting hole is formed with a blade gripping tool;
A heating step of heating the base of the hub with a heater formed in the blade gripping tool to expand the diameter of the fitting hole;
A method for mounting a cutting blade, comprising: a mounting step of moving the blade holding tool while holding the cutting blade, and inserting a boss portion of the blade mount into the fitting hole. 제 1 항에 있어서,
그 절삭 블레이드의 그 끼워 맞춤공의 직경은, 상온시에 그 보스부의 직경보다 작은 값으로 설정되어 있는 절삭 블레이드의 장착 방법.The method of claim 1,
The cutting blade mounting method, wherein the diameter of the fitting hole of the cutting blade is set to a value smaller than the diameter of the boss portion at room temperature. 제 2 항에 있어서,
그 장착 스텝 후, 방치에 의한 자연 냉각에 의해 그 절삭 블레이드를 그 보스부에 끼워 맞춤 고정시키는 절삭 블레이드의 장착 방법.3. The method of claim 2,
After the mounting step, a cutting blade mounting method in which the cutting blade is fitted and fixed to the boss portion by natural cooling by standing still. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 절삭 블레이드의 장착 방법에 사용되는 블레이드 파지구로서,
통축 방향과 직교하는 단면이, 간극부에 의해 대략 C 자상을 이루는 파지부와,
그 파지부의 내측에 형성되고, 그 파지부의 내주면에서 유지되는 그 허브 기대에 당착하는 히터를 구비하고,
그 파지부는, 외주부를 잡고 그 간극부를 좁히도록 휘고, 그 내주부에서 그 허브 기대의 피파지부를 둘러싸 유지하는, 블레이드 파지구.A blade gripper used in the method for mounting the cutting blade according to any one of claims 1 to 3, comprising:
a gripping portion having a cross section orthogonal to the cylindrical axis direction substantially C-shaped by the gap portion;
a heater formed on the inside of the gripping part and abutting against the hub base held on the inner circumferential surface of the gripping part;
The gripping portion holds the outer periphery and bends to narrow the gap, and surrounds and holds the gripped portion of the hub base at the inner periphery. 스핀들의 선단에 고정된 블레이드 마운트에 장착된 절삭 블레이드의 분리 방법으로서,
절삭 블레이드의 허브 기대를 블레이드 파지구로 파지하는 파지 스텝과,
그 블레이드 파지구에 형성한 히터로 그 허브 기대를 가열하여, 그 끼워 맞춤공을 확경하는 가열 스텝과,
그 절삭 블레이드를 파지한 채로 그 블레이드 파지구를 이동시켜, 그 끼워 맞춤공으로부터 그 블레이드 마운트의 보스부를 인발하는 분리 스텝을 구비한 절삭 블레이드의 분리 방법.A method of separating a cutting blade mounted on a blade mount fixed to the tip of a spindle, the method comprising:
A gripping step for gripping the hub base of the cutting blade with a blade gripping tool;
A heating step of heating the base of the hub with a heater formed in the blade gripping tool to expand the diameter of the fitting hole;
A method for separating a cutting blade, comprising: a separating step of moving the blade holding tool while holding the cutting blade, and withdrawing a boss portion of the blade mount from the fitting hole. 제 5 항에 있어서,
그 절삭 블레이드의 그 끼워 맞춤공의 직경은, 상온시에 그 보스부의 직경보다 작은 값으로 설정되어 있는 절삭 블레이드의 분리 방법.6. The method of claim 5,
The cutting blade separation method, wherein the diameter of the fitting hole of the cutting blade is set to a value smaller than the diameter of the boss portion at room temperature. 제 5 항 또는 제 6 항에 기재된 절삭 블레이드의 분리 방법에 사용되는 블레이드 파지구로서,
통축 방향과 직교하는 단면이, 간극부에 의해 대략 C 자상을 이루는 파지부와,
그 파지부의 내측에 형성되고, 그 파지부의 내주면에서 유지되는 그 허브 기대에 당착하는 히터를 구비하고,
그 파지부는, 외주부를 잡고 그 간극부를 좁히도록 휘고, 그 내주부에서 그 허브 기대의 피파지부를 둘러싸 유지하는, 블레이드 파지구.A blade gripper used in the method of separating the cutting blade according to claim 5 or 6, comprising:
a gripping portion having a cross section orthogonal to the cylindrical axis direction substantially C-shaped by the gap portion;
a heater formed on the inside of the gripping part and abutting against the hub base held on the inner circumferential surface of the gripping part;
The gripping portion holds the outer periphery and bends to narrow the gap, and surrounds and holds the gripped portion of the hub base at the inner periphery.
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