KR20210061797A - Polyethylene pipe inserting device in the manufacturing process of hydrofluoric acid piping - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a polyethylene pipe insertion device wherein a pipe used to supply a hydrofluoric acid gas is configured to be made of a double material, and a stainless steel pipe is located on the outside and a polyethylene pipe with excellent durability against the hydrofluoric acid gas is located on the inside; and is configured to allow the hydrofluoric acid gas pipe to have various diameters and lengths, wherein when inserting the polyethylene pipe into a stainless steel pipe after the polyethylene pipe is horizontally inserted into the stainless steel pipe while the stainless steel pipe is fixed horizontally, allows the polyethylene pipe to be inserted and fastened by forcing it into the stainless steel pipe using a hydraulic or pneumatic cylinder. Therefore, the present invention is capable of having a synergistic effect for which workers can work easily and process quickly.

Description

불산가스 배관 제작 공정 중에서 폴리에틸렌관 삽입장치{Polyethylene pipe inserting device in the manufacturing process of hydrofluoric acid piping}Polyethylene pipe inserting device in the manufacturing process of hydrofluoric acid piping}

본 발명은 스테인레스 스틸관 내부에 불산 가스에 내구성이 강한 폴리에틸렌관을 삽입하는데 사용되는 폴리에틸렌관 삽입장치에 관한 것이며, 보다 상세하게는 불산 가스를 공급하는데 사용되는 배관은 이중 재질로 제작되며, 외측에는 스테인레스 스틸관이 위치하고 내부에는 불산 가스에 내구성이 우수한 폴리에틸렌관이 위치하도록 구성되며, 이러한 불산 가스 배관은 다양한 직경과 길이를 가지며, 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관 내부에 삽입할 때, 스테인레스 스틸관을 수평으로 고정한 상태에서 폴리에틸렌관의 일측 가장자리를 스테인레스 스틸관에 삽입한 후 유압 또는 공기압 실린더를 이용하여 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관 내부로 강제로 밀어 넣어서 삽입 체결하도록 구성된 폴리에틸렌관 삽입장치에 관한 것이다. The present invention relates to a polyethylene pipe insertion device used to insert a durable polyethylene pipe into a stainless steel pipe, and more particularly, a pipe used to supply a hydrofluoric acid gas is made of a double material, and the outer side A stainless steel pipe is located and a polyethylene pipe with excellent durability against fluorinated gas is located inside. These fluorine gas pipes have various diameters and lengths. When inserting the polyethylene pipe into the stainless steel pipe, the stainless steel pipe is horizontally placed. It relates to a polyethylene pipe insertion device configured to insert one edge of a polyethylene pipe into a stainless steel pipe in a fixed state, and then forcibly push the polyethylene pipe into the stainless steel pipe using a hydraulic or pneumatic cylinder to insert and fasten it.

본 발명은 반도체 공정에 사용되는 불산 가스를 공급하는 배관을 제조하는 공정 중 하나로, 스테인레스 스틸관 내부에 삽입되는 폴리에틸렌관을 삽입하는데 사용되는 폴리에틸렌관 삽입장치에 관한 것이다. The present invention relates to a polyethylene pipe insertion device used to insert a polyethylene pipe inserted into a stainless steel pipe as one of the processes of manufacturing a pipe supplying a hydrofluoric acid gas used in a semiconductor process.

종래에는 불산 가스를 공급하는 배관 외측은 스테인레스 스틸관이 위치하고 내측에는 테프론 재질의 관을 삽입 체결하였고, 테프론 관의 경우에는 폴리에틸렌 재질의 관과 비교하여 온도에 덜 민감하고 쉽게 찌그러지지 않은 특성이 있다.Conventionally, a stainless steel pipe is located on the outside of the pipe supplying the hydrofluoric acid gas, and a Teflon pipe is inserted and connected to the inside, and the Teflon pipe is less sensitive to temperature than a polyethylene pipe and is not easily crushed. .

온도에 민감한 폴리에틸렌관을 삽입과 관련된 특허 또는 문헌은 이용분야가 극히 좁고 수요가 그다지 많지 아니하여 발명을 시도한 사람이 많이 있지는 않지만 사람의 힘으로 또는 도구를 이용하여 억지 끼움하기는 용이하지 않을 뿐만 아니라 시간이 많이 소요되는 문제점이 있다.Patents or documents related to inserting a polyethylene tube that are sensitive to temperature are very narrow in the field of use and there is not much demand, so there are not many people who have attempted to invent it, but it is not easy to forcefully fit it with human force or tools. There is a problem that takes a lot of time.

또한 삽입 대상물의 직경 및 길이가 다양하며, 직경이 큰 폴리에틸렌관을 공차가 없거나 팽창에 의하여 스테인레스 스틸관의 내부 직경보다 폴리에틸렌관의 외부 직경이 다소 큰 경우에 망치 또는 다른 도구를 이용하여 억지끼움으로 용이하게 삽입 체결할 수 없다. In addition, if the diameter and length of the inserted object are varied, and the outer diameter of the polyethylene pipe is slightly larger than the inner diameter of the stainless steel pipe due to no tolerance or expansion due to the expansion of the large diameter polyethylene pipe, it can be forcefully fitted with a hammer or other tool. It cannot be easily inserted and fastened.

공개특허공보 : 10-2004-0095902Unexamined Patent Publication: 10-2004-0095902 등록특허공보 제10-1587441호Registered Patent Publication No. 10-1587441

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 불산 가스를 공급하기 위한 배관 제작 시 불산 가스에 내구성이 우수한 폴리에틸렌관이 스테인레스 스틸관 내부에 강제끼움으로 삽입되며, 삽입 체결 시 스테인레스 스틸관을 수평으로 고정시켜 놓은 상태에서 고정시켜 놓은 스테인레스 스틸관의 내부 직경에 맞는 폴리에틸렌관을 수평으로 위치시킨 후, 실린더를 동작시켜 스테인레스 스틸관 내부로 폴리에틸렌관을 밀어넣어서 보다 용이하게 삽입 체결을 이룰 수 있는 폴리에틸렌관 삽입장치를 제공하는데 있다. The problem to be solved by the present invention is a state in which a polyethylene pipe having excellent durability against fluorine gas is inserted into the stainless steel pipe by force fitting when manufacturing a pipe for supplying fluorine gas, and the stainless steel pipe is fixed horizontally during the insertion and fastening. Provides a polyethylene pipe insertion device that can be inserted and fastened more easily by placing a polyethylene pipe that fits the inner diameter of the stainless steel pipe fixed at horizontally, and then operating the cylinder to push the polyethylene pipe into the stainless steel pipe. There is it.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 스테인레스 스틸관 내부로 폴리에틸렌관을 밀어 넣어서 삽입할 때, 불산 가스에 내구성이 약한 스테인레스 스틸관에 불산 가스가 접촉하지 않도록 폴리에틸렌관이 스테인레스 스틸관의 양측 후렌치로부터 소정 길이로 더 길게 돌출되게 형성시킬 수 있도록 삽입할 수 있는 폴리에틸렌관 삽입장치를 제공하는데 있다. Another problem to be solved by the present invention is that when the polyethylene pipe is pushed and inserted into the stainless steel pipe, the polyethylene pipe is placed on both sides of the stainless steel pipe so that the hydrofluoric acid gas does not come into contact with the stainless steel pipe, which is weak in durability to the hydrofluoric acid gas. It is to provide a polyethylene tube insertion device that can be inserted so that it can be formed to protrude longer from a predetermined length.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 스테인레스 스틸관의 양측 가장자리보다 길게 돌출되게 형성하기 위하여 스테인레스 스틸관을 수평으로 견고하게 잡고 있는 상태에서 폴리에틸렌관이 삽입되는 반대측 가장자리에 폴리에틸렌관이 돌출을 유지하기 위한 공간을 가진 폴리에틸렌관 삽입장치를 제공하는데 있다. Another problem to be solved by the present invention is to maintain the protrusion of the polyethylene pipe at the opposite edge where the polyethylene pipe is inserted while holding the stainless steel pipe horizontally and firmly in order to protrude longer than both edges of the stainless steel pipe. It is to provide a polyethylene tube insertion device with a space for.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 폴리에틸렌관을 수평으로 위치시킨 후 실린더를 동작시켜 스테인레스 스틸관 내부로 폴리에틸렌관을 강제로 삽입 체결할 때, 받침벽을 포함한 받침벽을 지지하는 부재들을 용이하게 지탱하면서 이동할 수 있도록 안내 레일 상에 복수의 롤러(도르레)가 설치된 폴리에틸렌관 삽입장치를 제공하는데 있다.Another problem to be solved by the present invention is to facilitate members supporting the supporting wall including the supporting wall when the polyethylene tube is forcibly inserted into the stainless steel tube by operating the cylinder after placing the polyethylene tube horizontally. It is to provide a polyethylene pipe insertion device in which a plurality of rollers (pulleys) are installed on a guide rail so that it can move while being supported.

본 발명의 과제 해결 수단은 스테인레스 스틸관의 후렌치 부분을 고정하기 위한 후렌치 고정대와, 스테인레스 스틸관을 수평으로 맞추기 위한 높이 조절부와, 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관 내부로 밀어 넣기 위한 실린더와, 실린더와 결합되어 폴리에틸렌관의 일측 가장자리를 잡고 스테인레스 스틸관 내부로 삽입 체결하기 위한 폴리에틸렌관 받침벽을 구비한 폴리에틸렌관 삽입장치를 제공하는데 있다.The problem solving means of the present invention includes a french fixture for fixing a french portion of a stainless steel tube, a height adjusting part for aligning the stainless steel tube horizontally, a cylinder for pushing the polyethylene tube into the stainless steel tube, It is to provide a polyethylene pipe insertion device having a polyethylene pipe support wall for holding the edge of one side of the polyethylene pipe and inserting and fastening it into the stainless steel pipe by being combined with the cylinder.

본 발명의 또 다른 과제 해결 수단으로 스테인레스 스틸관의 후렌치 고정대는 폴리에틸렌관을 강제 끼움으로 삽입 체결하기 위하여 소정의 높이로 견고하게 고정하되, 스테인레스 스틸관의 후렌지의 가장자리의 돌출부가 고정대에 걸려서 실린더를 이용하여 강하게 밀어서 삽입하는 힘에 견딜 수 있도록 하고, 높이와 직경 변화에 대응하여 가변할 수 있도록 설계 제작된 폴리에틸렌관 삽입장치를 제공하는데 있다. As another problem solving means of the present invention, the french fixture of the stainless steel pipe is firmly fixed to a predetermined height in order to insert and fasten the polyethylene pipe by force-fitting, but the protrusion of the edge of the flange of the stainless steel pipe is caught on the fixture and the cylinder It is intended to provide a polyethylene pipe insertion device designed and manufactured to be able to withstand the force of insertion by strongly pushing it using and to be variable in response to changes in height and diameter.

본 발명의 또 다른 과제 해결 수단으로 폴리에틸렌관을 실린더로 밀어 넣기 위하여 폴리에틸렌관의 일측 가장자리와 접촉하는 받침벽은 하나의 커다란 벽 형상으로 좌측 및 우측 가장자리에 실린더가 부착 설치되고, 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관 내부에 삽입 체결하기 위하여 후렌치 고정대와 소정의 거리를 두고 전진 또는 후진하면서 후렌치 고정대에 고정 설치된 스테인레스 스틸관 내부로 폴리에틸렌관을 실린더를 사용하여 밀어 넣을 수 있도록 설계 제작된 폴리에틸렌관 삽입장치를 제공하는데 있다.As another problem solving means of the present invention, in order to push the polyethylene pipe into the cylinder, the support wall in contact with one edge of the polyethylene pipe has a single large wall shape, and cylinders are attached to the left and right edges, and the polyethylene pipe is made of stainless steel. A polyethylene pipe insertion device designed and manufactured to push the polyethylene pipe into the stainless steel pipe fixedly installed on the French fixture while moving forward or backward at a predetermined distance from the French fixture to insert and fasten it into the pipe. It is in providing.

본 발명의 또 다른 과제 해결 수단은 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관 내부에 보다 용이하게 삽입 체결하기 위하여 폴리에틸렌관 및 스테인레스 스틸관을 서로 수평으로 일직선으로 위치시키는 것이 중요하므로 후렌치 고정대, 높이 조절부 및 폴리에틸렌관 받침벽들은 삽입 체결 대상의 배관들의 직경 및 길이 등의 변화에 대응할 수 있도록 설계 제작된 폴리에틸렌관 삽입장치를 제공하는데 있다.Another problem solving means of the present invention is that it is important to position the polyethylene pipe and the stainless steel pipe horizontally and in a straight line in order to more easily insert and fasten the polyethylene pipe into the stainless steel pipe. The pipe support walls are intended to provide a polyethylene pipe insertion device designed and manufactured to cope with changes in diameter and length of pipes to be inserted and fastened.

본 발명의 또 다른 과제 해결 수단은 폴리에틸렌관이 스테인레스 스틸관의 양측 후렌치로부터 소정 길이로 더 길게 돌출되게 삽입 체결할 수 있도록 양측 후렌치의 가잘자리에 공간이 확보된 폴리에틸렌관 삽입장치를 제공하는데 있다.Another problem solving means of the present invention is to provide a polyethylene pipe insertion device with a space secured in the fringes of both sides of the french so that the polyethylene pipe can be inserted and fastened to protrude longer by a predetermined length from both sides of the stainless steel pipe. have.

본 발명은 불산 가스를 공급하기 위한 배관 제작 시 불산 가스에 내구성이 우수한 폴리에틸렌관이 스테인레스 스틸관 내부에 강제끼움으로 삽입되며, 삽입 체결 시 스테인레스 스틸관을 수평으로 고정시켜 놓은 상태에서 고정시켜 놓은 스테인레스 스틸관의 내부 직경에 맞는 폴리에틸렌관을 수평으로 위치시킨 후 실린더를 동작시켜 스테인레스 스틸관 내부로 폴리에틸렌관을 강제로 삽입 체결하므로 작업자들이 용이하게 작업이 가능하고 신속하게 처리할 수 있는 상승된 효과가 있다.In the present invention, when manufacturing a pipe for supplying fluorine gas, a polyethylene pipe having excellent durability against fluorine gas is inserted into the stainless steel pipe by force fitting, and the stainless steel pipe is fixed while the stainless steel pipe is horizontally fixed during the insertion and fastening. The polyethylene pipe that fits the inner diameter of the steel pipe is placed horizontally, and the cylinder is operated to forcefully insert and fasten the polyethylene pipe into the stainless steel pipe. have.

본 발명의 또 다른 효과는 스테인레스 스틸관 내부로 폴리에틸렌관을 밀어 넣어서 삽입할 때, 불산 가스에 내구성이 약한 스테인레스 스틸관에 불산 가스가 접촉하지 않도록 폴리에틸렌관이 스테인레스 스틸관의 양측 후렌치로부터 소정 길이로 더 길게 돌출되게 형성시키므로 스테인레스 스틸관의 플랜지 부분을 폴리에틸렌으로 소정 두께로 형성할 수 있는 유리한 효과가 있다. Another effect of the present invention is that when the polyethylene pipe is pushed and inserted into the stainless steel pipe, the polyethylene pipe is a predetermined length from the flanges on both sides of the stainless steel pipe so that the hydrofluoric acid gas does not come into contact with the stainless steel pipe, which is weak in durability against the hydrofluoric acid gas. Since it is formed to protrude longer, there is an advantageous effect that the flange portion of the stainless steel pipe can be formed of polyethylene to have a predetermined thickness.

본 발명의 또 다른 효과는 스테인레스 스틸관을 수평으로 견고하게 잡고 있는 상태에서 폴리에틸렌관이 삽입되는 반대측 가장자리에 폴리에틸렌관이 돌출을 유지하기 위한 공간을 가지므로 스테인레스 스틸관의 양측 후렌치보다 더 길게 돌출되게 형성시킬 수 있는 유리한 효과가 있다.Another effect of the present invention is that while the stainless steel pipe is held horizontally and firmly, the polyethylene pipe has a space to maintain the protrusion at the opposite edge of the polyethylene pipe, so that it protrudes longer than the two sides of the stainless steel pipe. There is an advantageous effect that can be formed.

본 발명의 또 다른 효과는 폴리에틸렌관을 수평으로 위치시킨 후, 실린더를 동작시켜 스테인레스 스틸관 내부로 폴리에틸렌관을 강제로 삽입 체결할 때 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관 내부로 삽입하기 위하여 실린더의 일측과 고정 설치된 받침벽이 용이하게 이동할 수 있도록 안내 레일 상에 복수의 롤러(도르레)가 설치하므로 작은 유압으로 작동시킬 수 있는 유리한 효과가 있다.Another effect of the present invention is to position the polyethylene pipe horizontally, and then operate the cylinder to forcibly insert the polyethylene pipe into the stainless steel pipe and fix it with one side of the cylinder in order to insert the polyethylene pipe into the stainless steel pipe. Since a plurality of rollers (pulleys) are installed on the guide rail so that the installed support wall can move easily, there is an advantageous effect that it can be operated with a small hydraulic pressure.

도 1은 본 발명에 따른 폴리에틸렌관 삽입 장치의 정면도를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 폴리에틸렌관 삽입 장치의 일부를 촬영한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 폴리에틸렌관 삽입 장치 중 또 다른 일부를 촬영한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 폴리에틸렌관 삽입 장치 중 또 다른 일부를 촬영한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 폴리에틸렌관 삽입 장치에 의하여 폴리에틸렌관이 삽입된 상태를 촬영한 것이다.
1 is a front view of a polyethylene pipe insertion device according to the present invention.
Figure 2 is a photograph of a part of the polyethylene pipe insertion device according to the present invention.
Figure 3 is a photograph of another part of the polyethylene pipe insertion device according to the present invention.
Figure 4 is a photograph of another part of the polyethylene pipe insertion device according to the present invention.
5 is a photograph of a state in which the polyethylene tube is inserted by the polyethylene tube insertion device according to the present invention.

본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 살펴본다. Look at the specific content for carrying out the present invention.

본 발명은 스테인레스 스틸관의 후렌치 부분을 고정하기 위한 후렌치 고정대와, 스테인레스 스틸관을 수평으로 맞추기 위한 높이 조절부와, 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관 내부로 밀어 넣기 위한 실린더를 구비하고, 억지끼움으로 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관 내부에 삽입 체결하는 삽입장치에 관한 것입니다. The present invention includes a french fixture for fixing the french part of the stainless steel pipe, a height adjustment part for aligning the stainless steel pipe horizontally, and a cylinder for pushing the polyethylene pipe into the stainless steel pipe, and forcibly fitting It relates to an insertion device that inserts and fastens a polyethylene pipe into a stainless steel pipe.

실린더 일측과 고정 설치된 받침벽은 일측 폴리에틸렌관이 스테인레스 스틸관에 삽입된 상태에서 다른 일측 폴리에틸렌관의 가장자리를 실린더의 힘(유압 또는 공기압)으로 스테인레스 스틸관 내부로 삽입 체결하도록 구성되어 있다. One side of the cylinder and the fixed support wall are configured to insert and fasten the edge of the other side of the polyethylene tube into the stainless steel tube by the force (hydraulic or pneumatic pressure) of the cylinder while the polyethylene tube on one side is inserted into the stainless steel tube.

본 발명에 따른 구체적인 실시 예를 살펴본다. It looks at a specific embodiment according to the present invention.

<실시 예><Example>

본 발명에 따른 실시 예를 살펴본다.An embodiment according to the present invention will be described.

도 1은 본 발명에 따른 폴리에틸렌관 삽입 장치의 정면도를 나타낸 것이다.1 is a front view of a polyethylene pipe insertion device according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 폴리에틸렌관 삽입 장치 중 스테인레스 스틸관이 위치한 부분을 촬영한 것이다.2 is a photograph of a portion of the polyethylene pipe insertion device according to the present invention where a stainless steel pipe is located.

도 3은 본 발명에 따른 폴리에틸렌관 삽입 장치 중 스테인레스 스틸관 내부에 폴리에틸렌관이 삽입된 형상을 촬영한 것이다.3 is a photograph of a shape in which a polyethylene tube is inserted into a stainless steel tube in the polyethylene tube insertion device according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 폴리에틸렌관 삽입 장치 중 폴리에틸렌관을 삽입하기 위한 받침벽 및 실린더를 포함하는 폴리에틸렌관 삽입 장치의 일부를 촬영한 것이다.4 is a photograph of a part of a polyethylene pipe insertion apparatus including a support wall and a cylinder for inserting a polyethylene pipe among the polyethylene pipe insertion apparatus according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 폴리에틸렌관 삽입 장치에 의하여 폴리에틸렌관이 삽입된 상태를 촬영한 것이다. 5 is a photograph of a state in which the polyethylene tube is inserted by the polyethylene tube insertion device according to the present invention.

본 발명 명세서 상의 좌, 우, 앞, 뒤, 상부, 하부 등은 도면에 기준하여 기재한 것이며, 이 기술분야에 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형 또는 표현으로 변경할 수 있다. Left, right, front, back, upper, lower, etc. in the present specification are described based on the drawings, and those of ordinary skill in the art may change into various modifications or expressions.

본 발명은 반도체 공정에 사용되는 불산 가스를 공급하는데 사용되는 스테인레스 스틸관 내부에 삽입되는 불산 가스에 내구성이 우수한 폴리에틸렌관(도3의 44)을 억지끼움으로 삽입 체결하기 위한 폴리에틸렌관 삽입장치이다.The present invention is a polyethylene pipe inserting device for inserting and fastening a polyethylene pipe (44 in FIG. 3) having excellent durability to the hydrofluoric acid gas inserted into the stainless steel pipe used to supply the hydrofluoric acid gas used in the semiconductor process by force fitting.

공차가 없는 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관 내부로 삽입 체결하거나 공차가 없거나 다소 직경이 작다 하더라도 온도 변화에 의하여 폴리에틸렌관(도3의 44)이 팽창하여 다소 큰 직경을 가지는 경우가 발생하며, 이 경우에 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관의 내부로 강제로 밀어서 삽입 체결하는 것은 용이하지 않다. Even if a polyethylene pipe without tolerance is inserted into the stainless steel pipe, or even if there is no tolerance or the diameter is slightly smaller, the polyethylene pipe (44 in Fig. 3) expands due to temperature change and has a somewhat larger diameter. It is not easy to insert and fasten the polyethylene pipe by forcibly pushing it into the interior of the stainless steel pipe.

또한 본 발명은 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 양측 후렌치가 불산 가스에 노출되지 않도록 제작하기 위하여 폴리에틸렌관(도3의 44)을 억지끼움으로 스테인레스 스틸관(도2의 21) 내부에 삽입하였을 때, 폴리에틸렌관(도3의 44)이 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 양측 후렌치 가장자리보다 더 길게 소정 길이로 돌출되게 형성되어야 한다. In addition, the present invention is a polyethylene pipe (44 in FIG. 3) is forcibly fitted inside the stainless steel pipe (21 in FIG. 2) in order to make the both sides of the stainless steel pipe (21 in FIG. 2) not exposed to fluorinated gas. When inserted, the polyethylene tube (44 in Fig. 3) should be formed to protrude to a predetermined length longer than the edges of the both sides of the stainless steel tube (21 in Fig. 2).

삽입되는 폴리에틸렌관(도3의 44)이 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 양측 후렌치보다 더 길게 돌출되게 형성하기 위하여서는 폴리에틸렌관(도3의 44)이 삽입되는 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 반대편에 폴리에틸렌관(도3의 44)이 소정 길이로 돌출되도록 유지할 수 있는 공간이 확보되어야 한다. In order to form the inserted polyethylene pipe (44 in Fig. 3) to protrude longer than the flanges on both sides of the stainless steel pipe (21 in Fig. 2), the stainless steel pipe into which the polyethylene pipe (44 in Fig. 3) is inserted (Fig. 2) On the other side of 21) of Fig. 3, a space that can be maintained so that the polyethylene pipe (44 in Fig. 3) protrudes to a predetermined length must be secured.

삽입되는 입구 측 역시 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 후렌치 보다 소정길이 더 돌출되도록 받침벽을 이동시키도록 제어기를 제어하여야 한다.The controller must be controlled to move the support wall to protrude a predetermined length longer than the French inlet side of the stainless steel pipe (21 in Fig. 2) to be inserted.

스테인레스 스틸관(도2의 21)의 양측 후렌치로부터 소정길이 돌출된 폴리에틸렌관(도3의 44)은 히터 또는 토치 등의 가열 수단으로 가열하여 녹인 후 성형틀을 체결하여 냉각시켜 소정 두께로 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 양측 후렌치에 폴리에틸렌을 접착시켜 고정한다. Polyethylene pipes (44 in Fig. 3) protruding a predetermined length from both sides of the stainless steel pipe (21 in Fig. 2) are heated by heating means such as a heater or a torch to melt, and then fasten the mold to cool the stainless steel to a predetermined thickness. Bonded polyethylene to both sides of the steel pipe (21 in Fig. 2) to fix it.

이와 같이 제작된 불산 가스를 공급하는 배관을 서로 연결할 때, 폴리에틸렌 재질이 서로 맞닿아서 불산 가스에 약한 스테인레스 스틸관(도2의 21)이 불산 가스에 노출되는 것을 방지하여 내구성을 높일 수 있다. When the pipes for supplying the HF gas manufactured as described above are connected to each other, the stainless steel pipe (21 in FIG. 2), which is weak to the HF gas due to the contact of the polyethylene material, can be prevented from being exposed to HF gas, thereby increasing durability.

스테인레스 스틸관 고정대는 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 후렌치가 다소 돌출되어 있으므로 돌출된 부분을 이용하여 고정하는 것이 억지끼움 시 미는 힘에 견딜 수 있는 유리한 효과가 있다. Since the stainless steel tube holder has a slightly protruding French of the stainless steel tube (21 in Fig. 2), fixing using the protruding part has an advantageous effect that it can withstand the force of pushing during force-fitting.

즉, 폴리에스텔관을 삽입하여야할 스테인레스 스틸관(도2의 21)을 고정하기 위한 스테인레스 스틸관 고정대는 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 직경 또는 직경보다 다소 큰 간격을 두고 후렌치 부분을 이용하여 지지할 수 있는 지지부재(도2의 26,27)와 하부에 받침 막대(도2의 23)가 설치되어 있다. In other words, the stainless steel pipe holder for fixing the stainless steel pipe (21 in Fig. 2) to which the polyester pipe is to be inserted is the diameter of the stainless steel pipe (21 in Fig. 2), or the French part at a slightly larger distance than the diameter. Support members (26 and 27 in Fig. 2) and a support rod (23 in Fig. 2) that can be supported by using are installed.

지지부재(도2의 26,27)는 삽입 대상인 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 직경에 따라 스크루 나사(도2의 24) 등을 이용하여 하부에 형성된 레일을 따라 좌우로 이동할 수 있으며, 지지부재(도2의 26,27)사이의 간격을 넓게 또는 좁게 조절한 후 볼트로 쪼여서 고정할 수 있도록 구성되어 있다. The support members (26, 27 in Fig. 2) can be moved left and right along the rail formed at the bottom using screw screws (24 in Fig. 2), etc., depending on the diameter of the stainless steel pipe (21 in Fig. 2) to be inserted, It is configured so that the gap between the support members (26 and 27 in Fig. 2) can be adjusted to be wide or narrow, and then fastened by bolts.

지지부재(도2의 26,27)의 전면은 삽입 대상 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 후렌치(도3의 42)와 접촉면이 넓게 형성하여 견고하게 위치할 수 있도록 바닥면과 수직되게 고정되고, 후면은 하부를 길게 상부를 짧게 형성하여 강한 압력으로 밀 때도 전체적으로 안정되게 지탱할 수 있도록 설계 제작되어 있다. The front surface of the support member (26, 27 in Fig. 2) is perpendicular to the bottom surface so that the contact surface is wide and the contact surface of the stainless steel pipe to be inserted (21 in Fig. 2) is formed wide. It is fixed, and the rear is designed and manufactured so that the lower part is long and the upper part is short, so that the overall support can be stably supported even when pressed with strong pressure.

지지부재(도2의 26,27)는 2개로 구성되며, 견고한 지지를 위하여 앞뒤로 하부를 넓게 상부를 좁게 설계 제작되고, 각각의 지지 부재(도2의 26,27)에는 폴리에틸렌관(도3의 44)을 삽입할 스테인레스 스틸관(도2의 21)을 받쳐주는 받침 막대(도2의 23)를 끼어 넣을 구멍(도2의 28)을 소정 간격으로 상하로 복수개 형성되어 있다.The support members (26 and 27 in Fig. 2) are composed of two, and are designed and manufactured with a wide lower side and a narrow upper side for solid support. Each support member (26 and 27 in Fig. 2) has a polyethylene tube (Fig. 3). A plurality of holes (28 in Fig. 2) for inserting a support rod (23 in Fig. 2) supporting the stainless steel tube (21 in Fig. 2) to be inserted 44) are formed vertically at predetermined intervals.

각각의 지지 부재(도2의 26,27)에 상하로 형성된 복수 개의 구멍(도2의 28)은 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 직경 또는 작업자의 작업 편의를 고려하여 받침 막대(도2의 23)를 삽입하여 삽입대상인 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 높낮이를 조절할 수 있도록 상하로 형성되어 있다. A plurality of holes (28 in FIG. 2) formed vertically in each support member (26 and 27 in FIG. 2) are formed by taking into account the diameter of the stainless steel tube (21 in FIG. 2) or the operator's convenience, and the support rod (FIG. 2). It is formed up and down so that the height of the stainless steel tube (21 in Fig. 2), which is the object of insertion, can be adjusted by inserting the 23).

스테인레스 스틸관(도2의 21)의 일측 후렌치는 지지 부재(도2의 26,27)와 받침 막대(도2의 23)로 구성된 스테인레스 스틸관 고정대 상에 위치하고, 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 다른 일측 후렌치(도3의 42)는 폴리에스텔관 삽입을 용이하게 하기 위하여 수평을 유지하도록 수평유지 받침대(도3의 43) 상에 위치한다. One side of the wrench of the stainless steel pipe (21 in Fig. 2) is located on a stainless steel pipe fixing stand composed of a support member (26, 27 in Fig. 2) and a support rod (23 in Fig. 2), and the stainless steel pipe (Fig. The other side of the wrench (42 in Fig. 3) of 21) is placed on a leveling pedestal (43 in Fig. 3) to keep it horizontal to facilitate insertion of the polyester tube.

수평유지 받침대(도3의 43)는 통상의 물건을 들어 올릴 때 사용하는 리프트(잭,도3의 43) 등으로 높낮이를 용이하게 조절할 수 있으면 족하다. The leveling support (43 in Fig. 3) suffices if the height can be easily adjusted with a lift (jack, 43 in Fig. 3), etc., used to lift ordinary objects.

지지 부재(도2의 26,27)와 받침 막대(도2의 23)로 구성된 스테인레스 스틸관 고정대의 앞부분에는 폴리에스텔관을 스테인레스 스틸관(도2의 21) 내부로 밀어 넣기 위한 받침벽(도4의 67)이 있다. In the front part of the stainless steel pipe fixing table consisting of a support member (26 and 27 in Fig. 2) and a support rod (23 in Fig. 2), a support wall (Fig. 2) for pushing the polyester pipe into the stainless steel pipe (21) (Fig. There are 4 of 67).

받침벽(도4의 67)은 스테인레스 스틸관 고정대를 기준으로 폴리에틸렌관 삽입장치의 하부의 앞과 뒤에 설치된 실린더(도2의 29,30)와 체결되어 실린더(도2의 29,30)의 길이 방향과 수직하게 위치한다. The support wall (67 in Fig. 4) is connected to the cylinder (29, 30 in Fig. 2) installed in front and behind the lower part of the polyethylene pipe insertion device based on the stainless steel pipe fixing unit, and the length of the cylinder (29, 30 in Fig. 2) It is located perpendicular to the direction.

받침벽(도4의 67)은 받침벽 지지 부재(도2의 33-36)에 의하여 지지되어 안정되게 이동하도록 설계 제작되어 있다.The support wall (67 in Fig. 4) is designed and manufactured to move stably by being supported by the support wall support member (33-36 in Fig. 2).

스테인레스 스틸관 고정대와 받침벽(도4의 67)사이의 간격은 실린더(도2의 29,30)에 의하여 조절 가능하며, 스테인레스 스틸관 내부에 삽입될 폴리에틸렌관(도3의 44)의 길이보다 다소 길게 유지하여 삽입될 폴리에틸렌관(도3의 44)을 작업자가 용이하게 스테인레스 스틸관(도2의 21) 내부에 위치시킬 수 있으면 족하다. The distance between the stainless steel pipe fixing stand and the support wall (67 in Fig. 4) can be adjusted by cylinders (29 and 30 in Fig. 2), and is less than the length of the polyethylene pipe (44 in Fig. 3) to be inserted inside the stainless steel pipe. It is sufficient if the operator can easily position the polyethylene pipe (44 in Fig. 3) to be inserted by keeping it somewhat long inside the stainless steel pipe (21 in Fig. 2).

받침벽(도4의 67)의 상부에는 받침벽(도4의 67)에 수직되게 지지하기 위하여 아이들 실린더 또는 유압 또는 공기압 실린더를 더 설치할 수 있다. An idle cylinder or a hydraulic or pneumatic cylinder may be further installed at the top of the supporting wall (67 in Fig. 4) to support it perpendicular to the supporting wall (67 in Fig. 4).

삽입 대상인 스테인레스 스틸관(도2의 21)은 받침벽(도4의 67)과 수직되게 위치되도록 스테인레스 스틸 고정대와 리프트를 위치시키는 것이 바람직하다. It is preferable to position the stainless steel fixture and the lift so that the stainless steel pipe (21 in Fig. 2) to be inserted is positioned perpendicular to the support wall (67 in Fig. 4).

상기 실린더(도2의 29,30)는 유압 또는 공기압 실린더를 사용하여 설치할 수 있다. The cylinders (29 and 30 in Fig. 2) can be installed using hydraulic or pneumatic cylinders.

장치의 바닥으로부터 수평으로 고정 설치된 스테인레스 스틸관(도2의 21)에 폴리에틸렌관(도3의 44)을 위치시키는 것은 무게가 작은 폴리에틸렌관의 경우에 작업자가 직접 들어서 폴리에틸렌관(도3의 44)의 일측 가장자리를 스테인레스 스틸관 고정대에 위치한 스테인레스 스틸관(도2의 21)의 구멍에 위치시키고 실린더(도2의 29,30)를 작동시켜 받침벽(도4의 67)으로 폴리에틸렌관(도3의 44)을 밀어서 스테인레스 스틸관(도2의 21)내부로 삽입할 수 있다. Placing a polyethylene pipe (44 in FIG. 3) in a stainless steel pipe (21 in FIG. 2) fixed horizontally from the bottom of the device is a polyethylene pipe (44 in FIG. 3) that the operator directly lifts in the case of a polyethylene pipe with a small weight. Position one edge of the stainless steel pipe in the hole of the stainless steel pipe (21 in Fig. 2) located on the stainless steel pipe fixing, and operate the cylinder (29 and 30 in Fig. 2) to form a polyethylene pipe (Fig. 3) with the support wall (67 in Fig. 4). 44) can be pushed and inserted into the stainless steel tube (21 in Fig. 2).

삽입 시 폴리에틸렌관(도3의 44)이 스테인레스 스틸관(도2의 21) 내부로 소정 길이만큼 삽입되면, 수평으로 위치한 스테인레스 스틸관(도2의 21)에 의하여 자동으로 수평을 유지하여 삽입이 순조롭게 이루어진다. When the polyethylene tube (44 in Fig. 3) is inserted into the stainless steel tube (21 in Fig. 2) for a predetermined length during insertion, it is automatically maintained horizontally by the stainless steel tube (21 in Fig. 2) and inserted. It is done smoothly.

만약, 작업자가 용이하게 삽입할 수 없을 경우에는 받침벽(도4의 67) 상에 복수 개의 볼트 체결 구멍을 형성하고 체결 구멍에 볼트를 삽입하여 볼트를 수평 유지용 받침 막대(도2의 23)로 이용하거나 또는 리프트 등으로 사용할 수도 있다.If the operator cannot easily insert it, form a plurality of bolt fastening holes on the base wall (67 in Fig. 4) and insert the bolts into the fastening holes to keep the bolt horizontally (23 in Fig. 2). It can be used as a lift or used as a lift.

받침벽(도4의 67)을 포함하는 폴리에틸렌관(도3의 44)을 삽입하기 위한 실린더(도2의 29,30) 등의 무게를 지탱하면서 용이하게 이동할 수 있도록 이동을 안내하는 각각의 안내레일 하부에 2개 이상의 복수 개의 도르레가 설치되어 있다.Each guide that guides the movement so that it can be easily moved while supporting the weight of the cylinder (29, 30 in Fig. 2), etc. for inserting the polyethylene pipe (44 in Fig. 3) including the supporting wall (67 in Fig. 4) Two or more pulleys are installed under the rail.

복수의 도르레를 설치할 경우에 작은 힘으로 받침벽(도4의 67)을 이동시킬 수 있는 유리한 효과가 있다. When installing a plurality of pulleys, there is an advantageous effect that the support wall (67 in Fig. 4) can be moved with a small force.

안내레일은 스테인레스 스틸관 고정대를 기준으로 앞과 뒤 각각 하나씩 설치되어 있다. Guide rails are installed one at the front and one at the rear based on the stainless steel pipe fixture.

삽입 대상인 폴리에틸렌관(도3의 44)의 일측은 리프트 등을 이용하여 스테인레스 스틸관(도2의 21) 내부 구멍 위치로 들어올려서 삽입할 수도 있다. One side of the polyethylene pipe (44 in Fig. 3) to be inserted may be lifted to the position of the inner hole of the stainless steel pipe (21 in Fig. 2) using a lift or the like and inserted.

폴리에틸렌관(도3의 44)은 절단된 부분 즉 가장자리가 내측으로 살짝 들어간 상태(삽입 대상 스테인레스 스틸관의 직경보다 다소 작음)를 유지하기 때문에 공차가 없는 상태에서도 작업자가 최초 삽입 시 용이하게 삽입할 수 있다. Since the polyethylene pipe (44 in Fig. 3) maintains the cut part, that is, the edge slightly inward (slightly smaller than the diameter of the stainless steel pipe to be inserted), the operator can easily insert it at the time of initial insertion even without tolerance. I can.

또한 폴리에틸렌관(도3의 44)이 삽입되는 스테인레스 스틸의 후렌치에 형성된 구멍의 가장자리 역시 삽입이 용이하도록 주입구 내측으로 살짝 경사지게 형성되어 있다.In addition, the edge of the hole formed in the stainless steel french french into which the polyethylene tube (44 in FIG. 3) is inserted is also slightly inclined to the inside of the injection port to facilitate insertion.

작업자의 안전 및 장치의 효율적 제어를 위하여 리미터 스위치를 포함하는 다양한 센서를 설치할 수 있다. Various sensors including a limiter switch can be installed for the safety of workers and efficient control of the device.

앞서 기술된 내용을 바탕으로 본 발명의 권리범위를 요약한다.Based on the above-described contents, the scope of the present invention is summarized.

본 발명의 하나의 실시 예는 불산 가스를 공급하기 위하여 불산 가스에 내구성이 높은 폴리에틸렌관(도3의 44)을 스테인레스틸 관 내부에 삽입하기 위한 폴리에틸렌관 삽입 장치에 있어서, One embodiment of the present invention is a polyethylene pipe insertion device for inserting a highly durable polyethylene pipe (44 in Fig. 3) into a stainless steel pipe to supply a hydrofluoric acid gas,

폴리에틸렌관을 삽입하기 위한 스테인레스 스틸관을 고정하기 위한 고정대와, 고정대에 위치한 스테인레스 스틸관 내부로 폴리에틸렌관을 억지끼움으로 삽입하기 위하여 폴리에틸렌관을 받쳐주는 받침벽과, 받침벽과 체결되어 받침벽을 고정대 방향으로 이동시켜 폴리에틸렌관을 스테인레스틸관 내부에 삽입하도록 구성된 복수의 실린더를 포함한다. A holder for fixing a stainless steel pipe for inserting a polyethylene pipe, a support wall that supports the polyethylene pipe in order to forcefully insert the polyethylene pipe into the stainless steel pipe located on the fixing table, and a support wall that is fastened with the support wall to secure the support wall. It includes a plurality of cylinders configured to move in the direction of the fixture and insert the polyethylene pipe into the stainless steel pipe.

또 다른 하나의 실시 예는 고정대와 리프트에 의하여 고정된 스테인레스 스틸관에 폴리에틸렌관을 삽입할 때, 스테인레스 스틸관의 양측 후렌치 표면의 소정 부분을 폴리에틸렌관을 녹여서 접착시킬 수 있도록 소정 길이만큼 스테인레스 스틸관의 양측 후렌치로부터 돌출되게 삽입할 수 있는 공간을 가지도록 구성되어 있다.In another embodiment, when inserting a polyethylene pipe into a stainless steel pipe fixed by a fixture and a lift, a predetermined length of the polyethylene pipe is melted and adhered to a predetermined portion of the surface of both sides of the stainless steel pipe. It is configured to have a space that can be inserted protruding from the flanges on both sides of the tube.

상기 스테인레스 스틸관 고정대는 스테인레스 스틸관의 직경 또는 직경보다 다소 큰 간격을 두고, 후렌치 부분을 이용하여 지지할 수 있는 지지 부재(도2의 26,27)와 하부에 받침 막대(도2의 23)가 설치되어 있다. The stainless steel pipe fixing stand is spaced slightly larger than the diameter or diameter of the stainless steel pipe, and a support member (26 and 27 in Fig. 2) that can be supported by using a French wrench and a support rod (23 in Fig. 2) ) Is installed.

삽입 대상인 스테인레스 스틸관은 받침벽과 수직되게 위치되도록 스테인레스 스틸 고정대와 리프트를 이용하여 스테인레스 스틸관을 바닥과 수평되게 위치시키는 것이 바람직하다. It is preferable to position the stainless steel pipe horizontally with the floor by using a stainless steel fixture and a lift so that the stainless steel pipe to be inserted is positioned perpendicular to the support wall.

받침벽에는 삽입 작업을 용이하게 할 수 있도록 받침벽 상에 복수개의 볼트 체결 구멍을 형성하고 체결 구멍에 볼트를 삽입하여 볼트를 수평 유지용 받침 막대(도2의 23)로 사용할 수도 있다. In the supporting wall, a plurality of bolt fastening holes are formed on the supporting wall so as to facilitate the insertion work, and bolts are inserted into the fastening holes so that the bolt can be used as a supporting rod (23 in Fig. 2) for horizontal maintenance.

또한, 본 발명의 또 다른 실시 예는 받침벽를 포함하는 폴리에틸렌관을 삽입하기 실린더(도2의 29,30)를 포함하는 무게를 지탱하면서 용이하게 이동할 수 있도록 이동을 안내하는 각각의 안내레일 하부에 2개 이상의 복수 개의 도르레가 설치될 수 있다.In addition, another embodiment of the present invention is to support the weight including the cylinder (29, 30 in Fig. 2) for inserting a polyethylene pipe including a support wall, in the lower part of each guide rail that guides the movement so that it can be easily moved. Two or more pulleys may be installed.

본 발명은 작업자의 안전과 작업의 편의성을 높이기 위하여 안내 레일을 따라 받침벽을 이동시키는 실린더(도2의 29,30)의 이동범위의 제한 및/또는 작업자의 안전을 위한 리미터 스위치 및/또는 센서들이 안내 레일 일측 또는 폴리에틸렌관 삽입 장치의 일측에 설치되어 있다. The present invention is to limit the movement range of the cylinder (29, 30 in Fig. 2) moving the support wall along the guide rail in order to increase the safety and convenience of the operator and/or the limiter switch and/or sensor for the safety of the operator. They are installed on one side of the guide rail or on one side of the polyethylene pipe insertion device.

받침벽은 복수개의 받침벽 지지 부재에 의하여 상하 좌우에 설치되어 안정되게 이동하도록 구성되어 있다. The supporting wall is configured to move stably by being installed at the top, bottom, left and right by a plurality of supporting wall support members.

본 발명은 불산 가스를 공급하는데 사용되는 배관은 이중 재질로 제작되며, 외측에는 스테인레스 스틸관이 위치하고 내부에는 불산 가스에 내구성이 우수한 폴리에틸렌관이 위치하도록 구성되고, 이러한 불산 가스 배관은 다양한 직경과 길이를 가지며, 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관 내부에 삽입할 때 스테인레스 스틸관을 수평으로 고정한 상태에서 폴리에틸렌관을 수평으로 스테인레스 스틸관에 삽입 후 유압 또는 공기압 실린더를 이용하여 폴리에틸렌관을 스테인레스 스틸관 내부로 강제로 밀어넣어 삽입 체결하도록 구성된 폴리에틸렌관 삽입장치를 제공할 수 있으므로 산업상 이용가능성이 매우 높다.In the present invention, the pipe used to supply the HF gas is made of a double material, and a stainless steel pipe is placed on the outside and a polyethylene pipe having excellent durability against HF gas is placed inside, and such a HF gas pipe has various diameters and lengths. When inserting the polyethylene pipe into the stainless steel pipe, insert the polyethylene pipe horizontally into the stainless steel pipe while the stainless steel pipe is fixed horizontally, and then force the polyethylene pipe into the stainless steel pipe using a hydraulic or pneumatic cylinder. Since it is possible to provide a polyethylene pipe insertion device configured to be pushed into and inserted into, the industrial applicability is very high.

11; 폴리에틸렌관 삽입장치 12; 스테인레스 스틸관
13; 폴리에틸렌관 14; 삽입 방향
21; 스테인레스 스틸관 22; 후렌치
23; 받침 막대 24; 스크루 나사
25; 스크루 핸들 26, 27; 지지 부재
28; 받침 막대 삽입 구멍 29, 30; 실린더
31; 안내 레일(지지 부재)
32; 볼트(안내 레일에 삽입 체결됨) 33 -36; 받침벽 지지대
41; 스테인레스 스틸관 42; 후렌치
43; 리프트 44; 폴리에틸렌관
45 받침 막대 46; 스크루 나사
47; 스크루 핸들 48 받침 막대 삽입 구멍
49; 볼트(안내 레일에 삽입 체결됨 50, 51; 지지 부재
52; 실린더 53; 받침 막대 삽입 구멍
61; 스테인레스 스틸관 62; 받침 막대
63; 스크루 나사 64; 스크루 핸들
65, 66; 지지 부재 67; 받침벽
68, 69; 실린더 70; 리프트
71-74; 받침벽 지지대 75; 작업자
81; 후렌치 82; 폴리에틸렌관
83; 불산가스 배관
11; Polyethylene tube insertion device 12; Stainless steel tube
13; Polyethylene pipe 14; Insertion direction
21; Stainless steel tube 22; French
23; Support rod 24; Screw screw
25; Screw handles 26, 27; Support member
28; Support rod insertion holes 29, 30; cylinder
31; Guide rail (support member)
32; Bolt (inserted into the guide rail) 33 -36; Support wall support
41; Stainless steel tube 42; French
43; Lift 44; Polyethylene pipe
45 support rod 46; Screw screw
47; Screw handle 48 Foot rod insertion hole
49; Bolts (inserted into guide rails 50, 51; support member)
52; Cylinder 53; Support rod insertion hole
61; Stainless steel tube 62; Support rod
63; Screw screw 64; Screw handle
65, 66; Support member 67; Base wall
68, 69; Cylinder 70; lift
71-74; Support wall support 75; worker
81; French 82; Polyethylene pipe
83; Hydrofluoric acid gas piping

Claims (8)

불산 가스를 공급하기 위하여 불산 가스에 내구성이 높은 폴리에틸렌관을 스테인레스틸 관 내부에 삽입하기 위한 폴리에틸렌관 삽입 장치에 있어서,
폴리에틸렌관을 삽입하기 위한 스테인레스 스틸관을 고정하기 위한 고정대와,
고정대에 위치한 스테인레스 스틸관 내부로 폴리에틸렌관을 억지끼움으로 삽입하기 위하여 폴리에틸렌관을 받쳐주는 받침벽과,
받침벽과 체결되어 받침벽을 고정대 방향으로 이동시켜 폴리에틸렌관을 스테인레스틸관 내부에 삽입하는 실린더로 구성된 폴리에틸렌관 삽입 장치.
In the polyethylene pipe insertion device for inserting a polyethylene pipe with high durability against the fluorine gas into the stainless steel pipe to supply the fluorine gas,
A fixture for fixing a stainless steel pipe for inserting a polyethylene pipe,
A support wall that supports the polyethylene pipe in order to forcefully insert the polyethylene pipe into the stainless steel pipe located on the fixture,
A polyethylene pipe insertion device consisting of a cylinder that is connected to the support wall and moves the support wall in the direction of the fixture to insert the polyethylene pipe into the stainless steel pipe.
제1항에 있어서,
고정대와 리프트에 의하여 고정된 스테인레스 스틸관에 폴리에틸렌관을 삽입할 때, 스테인레스 스틸관의 양측 후렌치 표면의 소정 부분을 폴리에틸렌관을 녹여서 접착시킬 수 있도록 소정 길이만큼 스테인레스 스틸관의 양측 후렌치로부터 돌출되게 삽입할 수 있는 공간을 가지도록 구성됨을 특징으로 하는 폴리에틸렌관 삽입 장치.
The method of claim 1,
When inserting a polyethylene pipe into a stainless steel pipe fixed by a fixture and a lift, a predetermined portion of the surface of both sides of the stainless steel pipe is protruded from the flanges on both sides of the stainless steel pipe by a predetermined length so that the polyethylene pipe can be melted and bonded. Polyethylene tube insertion device, characterized in that it is configured to have a space that can be inserted.
제1항에 있어서,
스테인레스 스틸관 고정대는 스테인레스 스틸관의 직경 또는 직경보다 큰 간격을 두고 후렌치 부분을 이용하여 지지할 수 있는 지지부재와 하부에 받침 부재가 설치됨을 특징으로 하는 폴리에틸렌관 삽입 장치.
The method of claim 1,
The stainless steel pipe fixing unit is a polyethylene pipe insertion device, characterized in that a support member that can be supported using a french portion and a support member is installed at a lower portion with an interval greater than the diameter or diameter of the stainless steel pipe.
제1항에 있어서,
삽입 대상인 스테인레스 스틸관은 받침벽과 수직되게 위치되도록 스테인레스 스틸 고정대와 리프트를 이용하여 스테인레스 스틸관을 바닥과 수평되게 위치시킴을 특징으로 하는 폴리에틸렌관 삽입 장치.
The method of claim 1,
A polyethylene pipe insertion device, characterized in that the stainless steel pipe is positioned horizontally with the floor by using a stainless steel fixture and a lift so that the stainless steel pipe to be inserted is positioned perpendicular to the supporting wall.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
받침벽에는 삽입 작업을 용이하게 할 수 있도록 받침벽 상에 복수개의 볼트 체결 구멍을 형성하고, 체결 구멍에 볼트를 삽입하여 볼트를 수평 유지용 받침 부재로 사용함을 특징으로 하는 폴리에틸렌관 삽입 장치.
The method according to any one of claims 1 to 4,
A polyethylene pipe insertion device, characterized in that a plurality of bolt fastening holes are formed on the supporting wall to facilitate insertion in the supporting wall, and the bolt is inserted into the fastening hole to use the bolt as a supporting member for horizontal maintenance.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
받침벽를 포함하는 폴리에틸렌관을 삽입하기 실린더를 포함하는 무게를 지탱하면서 용이하게 이동할 수 있도록 이동을 안내하는 각각의 안내레일 하부에 2개 이상의 복수 개의 도르레가 설치됨을 폴리에틸렌관 삽입 장치.
The method according to any one of claims 1 to 4,
Inserting a polyethylene pipe including a support wall A polyethylene pipe insertion device in which two or more pulleys are installed under each guide rail to guide the movement so as to easily move while supporting the weight including the cylinder.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
작업자의 안전과 작업의 편의성을 높이기 위하여 안내 레일을 따라 받침벽을 이동시키는 실린더의 이동범위를 제한하기 위한 리미터 스위치가 안내 레일 일측 또는 폴리에틸렌관 삽입 장치의 일측에 설치됨을 특징으로 하는 폴리에틸렌관 삽입 장치.
The method according to any one of claims 1 to 4,
Polyethylene pipe insertion device, characterized in that a limiter switch is installed on one side of the guide rail or on one side of the polyethylene pipe insertion device to limit the movement range of the cylinder that moves the supporting wall along the guide rail in order to increase the safety and convenience of the operator. .
제1항에 있어서,
받침벽은 복수개의 받침벽 지지 부재에 의하여 상하 좌우에 설치되어 안정되게 이동하도록 구성됨을 특징으로 하는 폴리에틸렌관 삽입 장치.
The method of claim 1,
The support wall is a polyethylene pipe insertion device, characterized in that it is configured to move stably by being installed in the upper and lower left and right by a plurality of support wall support members.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116025775A (en) * 2022-10-26 2023-04-28 江西省得一康管业有限公司 Plastic composite pipe with steel wire mesh framework and production equipment

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09187866A (en) * 1996-01-08 1997-07-22 Kubota Corp Production of pipe lined by synthetic resin
KR19990034443U (en) * 1998-01-23 1999-08-25 홍민규 Blocking and Restoration Device of PE Pipe
KR19990084132A (en) * 1999-09-16 1999-12-06 류제진 A method for manufacturing a double pipe by inserting a synthetic resin pipe into inside of a metallic pipe
KR20040095902A (en) 2003-04-29 2004-11-16 아남반도체 주식회사 Auto fill device of hydro fluoric liquid and its method
KR20060129652A (en) * 2005-06-13 2006-12-18 주식회사 홍우파이프 Method for manufacturing a complex pipe by adhering to a synthetic resin pipe into inside of a metallic pipe with flange and a complex pipe manufactured thereof
KR101587441B1 (en) 2014-08-13 2016-01-21 보성정공 주식회사 Flange for adhesion of stainless pipe and resin pipe and its manufacturing method

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09187866A (en) * 1996-01-08 1997-07-22 Kubota Corp Production of pipe lined by synthetic resin
KR19990034443U (en) * 1998-01-23 1999-08-25 홍민규 Blocking and Restoration Device of PE Pipe
KR19990084132A (en) * 1999-09-16 1999-12-06 류제진 A method for manufacturing a double pipe by inserting a synthetic resin pipe into inside of a metallic pipe
KR20040095902A (en) 2003-04-29 2004-11-16 아남반도체 주식회사 Auto fill device of hydro fluoric liquid and its method
KR20060129652A (en) * 2005-06-13 2006-12-18 주식회사 홍우파이프 Method for manufacturing a complex pipe by adhering to a synthetic resin pipe into inside of a metallic pipe with flange and a complex pipe manufactured thereof
KR101587441B1 (en) 2014-08-13 2016-01-21 보성정공 주식회사 Flange for adhesion of stainless pipe and resin pipe and its manufacturing method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116025775A (en) * 2022-10-26 2023-04-28 江西省得一康管业有限公司 Plastic composite pipe with steel wire mesh framework and production equipment

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