KR20210040012A - Organic light emitting display device and method of manufacturing an organic light emitting display device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 비대칭적인 형상들을 가지는 복수의 투과 영역들을 포함하는 유기 발광 표시 장치 및 이러한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the organic light emitting display device. More specifically, the present invention relates to an organic light emitting display device including a plurality of transmissive regions having asymmetric shapes and a method of manufacturing the organic light emitting display device.
유기 발광 표시 장치는 화소 영역과 상기 화소 영역에 인접하는 주변 영역을 포함할 수 있다. 일반적으로, 상기 화소 영역에는 영상을 표시할 수 있는 복수의 화소들이 배치될 수 있고, 상기 주변 영역에는 복수의 배선들이 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 화소 영역과 상기 주변 영역은 모두 불투명 영역들에 해당될 수 있다.The organic light emitting diode display may include a pixel region and a peripheral region adjacent to the pixel region. In general, a plurality of pixels capable of displaying an image may be disposed in the pixel area, and a plurality of wires may be disposed in the peripheral area. In this case, both the pixel area and the peripheral area may correspond to opaque areas.
최근, 투명 영역과 불투명 영역을 구비하여, 오프(OFF) 상태에서는 유기 발광 표시 장치의 반대편에 위치하는 사물들 및/또는 이미지들을 투과하는 투명 모드를 구현할 수 있고, 온(ON) 상태에서는 영상을 표시할 수 있는 디스플레이 모드를 구현할 수 있는 투명 유기 발광 표시 장치가 차세대 표시 장치로 각광받고 있다.Recently, since a transparent area and an opaque area are provided, it is possible to implement a transparent mode that transmits objects and/or images located on the opposite side of the organic light-emitting display device in the OFF state. A transparent organic light emitting display device capable of implementing a display mode capable of being displayed is in the spotlight as a next-generation display device.
그러나, 종래의 투명 유기 발광 표시 장치에 있어서, 상기 투과 영역들은 일정한 간격을 두고 주기적으로 배치되기 때문에, 상기 투과 영역들은 광학적으로 다중 슬릿의 역할을 할 수 있고, 이러한 다중 슬릿을 통과하는 광은 회절 간섭 현상을 유발할 수 있다. 그 결과, 투명 유기 발광 표시 장치가 오프 상태인 경우, 각각의 투과 영역들을 통해 투과되는 사물들 및/또는 이미지들이 왜곡되는 문제점이 있고, 투명 유기 발광 표시 장치가 온 상태인 경우, 상기 투과 영역들에 각기 발생하는 사물들 및/또는 이미지들의 왜곡으로 인해 상기 화소 영역들에 각기 표시되는 영상의 균일성도 저하되는 문제점이 있다.However, in a conventional transparent organic light emitting display device, since the transmissive regions are periodically arranged at regular intervals, the transmissive regions may optically serve as multiple slits, and light passing through these multiple slits is diffracted. It may cause interference. As a result, when the transparent organic light emitting display device is in the off state, there is a problem that objects and/or images transmitted through each of the transparent areas are distorted, and when the transparent organic light emitting display device is in the on state, the transparent areas There is a problem in that the uniformity of images displayed in the pixel regions is also degraded due to distortion of objects and/or images respectively occurring in the pixel area.
본 발명의 일 목적은 발명은 각기 비대칭적인 형상을 가지는 복수의 투과 영역들을 포함하여, 오프 상태에서는 광의 회절 간섭 현상을 방지하여 투과 영역들에 각기 발생하는 사물들 및/또는 이미지들의 왜곡을 방지하고, 온 상태에서는 화소 영역들에 각기 표시되는 영상의 균일성을 향상시킬 수 있는 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to prevent distortion of objects and/or images that occur in each of the transmissive regions by preventing diffraction interference of light in the off state, including a plurality of transmissive regions each having an asymmetric shape. In the on state, an organic light emitting display device capable of improving the uniformity of images displayed in each pixel area is provided.
본 발명의 다른 목적은 상기 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing the organic light emitting display device.
다만, 본 발명의 목적이 전술한 목적들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the object of the present invention is not limited to the above-described objects, and may be variously extended without departing from the spirit and scope of the present invention.
상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치는, 기판, 박막 트랜지스터, 절연층, 제1 전극, 화소 정의막, 유기 발광 구조, 제2 전극 등을 포함할 수 있다. 상기 기판은 복수의 화소 영역들 및 복수의 투과 영역들을 포함할 수 있다. 상기 박막 트랜지스터들은 상기 화소 영역들에 배치될 수 있다. 상기 절연층은 상기 박막 트랜지스터들 상에 배치될 수 있다. 상기 제1 전극들은 상기 박막 트랜지스터들과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 화소 정의막은 상기 제1 전극들 상에 배치되며, 흑색 물질(black material)을 포함하고, 상기 화소 영역들 중에서 적어도 하나를 개재하여 비대칭적인 형상들을 가지는 인접하는 투과 영역들을 정의할 수 있다. 상기 유기 발광 구조들은 상기 화소 정의막 상에 배치될 수 있다. 상기 제2 전극은 상기 유기 발광 구조들 상에 배치될 수 있다.In order to achieve one object of the present invention, an organic light emitting display device according to exemplary embodiments of the present invention includes a substrate, a thin film transistor, an insulating layer, a first electrode, a pixel defining layer, an organic light emitting structure, and a second light emitting structure. It may include an electrode or the like. The substrate may include a plurality of pixel regions and a plurality of transmissive regions. The thin film transistors may be disposed in the pixel regions. The insulating layer may be disposed on the thin film transistors. The first electrodes may be electrically connected to the thin film transistors. The pixel defining layer may be disposed on the first electrodes, include a black material, and may define adjacent transmissive regions having asymmetric shapes through at least one of the pixel regions. The organic light emitting structures may be disposed on the pixel defining layer. The second electrode may be disposed on the organic light emitting structures.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 박막 트랜지스터들은 각기, 상기 기판 상에 배치되는 액티브 패턴, 상기 액티브 패턴을 덮는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 상에 배치되는 게이트 전극, 상기 게이트 전극을 덮는 층간 절연막, 그리고 상기 게이트 절연막과 상기 층간 절연막을 통하여 상기 액티브 패턴에 접속되는 소스 및 드레인 전극들을 포함할 수 있다.In example embodiments, each of the thin film transistors includes an active pattern disposed on the substrate, a gate insulating layer covering the active pattern, a gate electrode disposed on the gate insulating layer, an interlayer insulating layer covering the gate electrode, and Source and drain electrodes connected to the active pattern through the gate insulating layer and the interlayer insulating layer may be included.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 게이트 절연막, 상기 층간 절연막 및 상기 절연층에 형성되며, 상기 투과 영역을 부분적으로 노출시키는 개구를 추가적으로 포함할 수 있다.In example embodiments, an opening formed in the gate insulating layer, the interlayer insulating layer, and the insulating layer may additionally include an opening partially exposing the transparent region.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 화소 정의막은 상기 개구의 측벽을 따라 연장되며, 상기 화소 영역을 개재하여 인접하는 상기 투과 영역들의 형상들은 상기 개구의 상기 측벽을 따라 배치되는 화소 정의막에 의해 정의될 수 있다.In example embodiments, the pixel-defining layer extends along the sidewall of the opening, and the shapes of the transmissive regions adjacent to each other through the pixel area are defined by Can be.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 화소 영역을 개재하여 인접하는 상기 투과 영역들의 면적들은 상기 개구의 상기 측벽을 따라 배치되는 화소 정의막에 의해 결정될 수 있다.In example embodiments, the areas of the transmissive regions adjacent to each other through the pixel region may be determined by a pixel defining layer disposed along the sidewall of the opening.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 화소 영역을 개재하여 인접하는 상기 투과 영역들은 다른 폭들 또는 다른 길이들을 가질 수 있다.In example embodiments, the transmissive regions adjacent to each other through the pixel region may have different widths or different lengths.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 흑색 물질은 카본 블랙(carbon black), 페닐렌 블랙(phenylene black), 아닐린 블랙(aniline black), 시아닌 블랙(cyanine black), 니그로신산 블랙(nigrosine acid black), 블랙 수지(black resin) 등을 포함할 수 있다.In exemplary embodiments, the black material is carbon black, phenylene black, aniline black, cyanine black, nigrosine acid black, It may contain black resin and the like.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 화소 영역에 배치되는 차광 부재를 추가적으로 포함할 수 있다.In example embodiments, a light blocking member disposed in the pixel area may be additionally included.
다른 예시적인 실시예들에 있어서, 상기 절연층은 상기 흑색 물질을 포함하며, 상기 화소 영역을 개재하여 비대칭적인 형상들을 가지는 인접하는 상기 투과 영역들을 정의할 수 있다.In other exemplary embodiments, the insulating layer may include the black material, and may define adjacent transmissive regions having asymmetric shapes through the pixel region.
또한, 전술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치는, 기판, 블랙 매트릭스, 박막 트랜지스터들, 절연층, 제1 전극들, 화소 정의막, 유기 발광 구조들, 제2 전극 등을 포함할 수 있다. 상기 기판은 복수의 화소 영역들 및 복수의 투과 영역들을 포함할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스는 상기 화소 영역에 배치되며, 흑색 물질을 포함하고, 하나의 상기 화소 영역을 중심으로 비대칭적인 형상들을 가지는 인접하는 투과 영역들을 정의할 수 있다. 상기 박막 트랜지스터들은 상기 블랙 매트릭스 상에 배치될 수 있다. 상기 절연층은 상기 박막 트랜지스터들 상에 배치될 수 있다. 상기 제1 전극들은 상기 박막 트랜지스터들과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 화소 정의막은 상기 제1 전극들 상에 배치될 수 있다. 상기 유기 발광 구조들은 상기 화소 정의막 상에 배치될 수 있다. 상기 제2 전극은 상기 유기 발광 구조들 상에 배치될 수 있다.In addition, in order to achieve one object of the present invention, an organic light emitting display device according to other exemplary embodiments of the present invention includes a substrate, a black matrix, thin film transistors, an insulating layer, first electrodes, and a pixel definition. It may include a film, organic light emitting structures, a second electrode, and the like. The substrate may include a plurality of pixel regions and a plurality of transmissive regions. The black matrix is disposed in the pixel area, includes a black material, and may define adjacent transmissive areas having asymmetric shapes around one pixel area. The thin film transistors may be disposed on the black matrix. The insulating layer may be disposed on the thin film transistors. The first electrodes may be electrically connected to the thin film transistors. The pixel defining layer may be disposed on the first electrodes. The organic light emitting structures may be disposed on the pixel defining layer. The second electrode may be disposed on the organic light emitting structures.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 박막 트랜지스터들은 각기, 상기 기판 상에 배치되는 액티브 패턴, 상기 액티브 패턴을 덮는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 상에 배치되는 게이트 전극, 상기 게이트 전극을 덮는 층간 절연막, 그리고 상기 게이트 절연막 및 상기 층간 절연막을 통해 상기 액티브 패턴에 접속되는 소스 및 드레인 전극들을 포함할 수 있다.In example embodiments, each of the thin film transistors includes an active pattern disposed on the substrate, a gate insulating layer covering the active pattern, a gate electrode disposed on the gate insulating layer, an interlayer insulating layer covering the gate electrode, and Source and drain electrodes connected to the active pattern through the gate insulating layer and the interlayer insulating layer may be included.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 게이트 절연막, 상기 층간 절연막 및 상기 절연층을 통해 상기 투과 영역을 부분적으로 노출시키는 개구를 추가적으로 포함할 수 있다.In example embodiments, the gate insulating layer, the interlayer insulating layer, and an opening partially exposing the transparent region through the insulating layer may be additionally included.
예시적인 실시예들에 있어서, 하나의 화소 영역을 중심으로 인접하는 투과 영역들의 형상들은 상기 블랙 매트릭스에 의해 노출되는 투과 영역들의 면적에 근거하여 결정될 수 있다.In exemplary embodiments, the shapes of the transmission areas adjacent to one pixel area may be determined based on the area of the transmission areas exposed by the black matrix.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 블랙 매트릭스에 의해 노출되는 상기 투과 영역들의 면적들은 상이할 수 있다.In example embodiments, areas of the transmissive areas exposed by the black matrix may be different.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 화소 영역을 중심으로 소정의 간격으로 이격되는 상기 투과 영역들은 다른 폭들 또는 다른 길이들을 가질 수 있다.In example embodiments, the transmissive regions spaced apart from the pixel region at a predetermined interval may have different widths or different lengths.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 복수의 화소 영역들 및 복수의 투과 영역들을 포함하는 기판을 제공한 후, 상기 화소 영역에 박막 트랜지스터들을 형성할 수 있다. 상기 박막 트랜지스터들 상에 절연층을 형성할 수 있다. 상기 박막 트랜지스터들과 전기적으로 연결되는 제1 전극들을 형성할 수 있다. 상기 제1 전극들 상에 흑색 물질을 사용하여 상기 화소 영역들 중에서 적어도 하나를 개재하여 비대칭적인 형상들을 가지는 인접하는 투과 영역들을 정의하는 화소 정의막을 형성할 수 있다. 상기 화소 정의막 상에 유기 발광 구조들을 형성할 수 있다. 상기 유기 발광 구조들 상에 제2 전극을 형성할 수 있다.In order to achieve another object of the present invention described above, in a method of manufacturing an organic light emitting display device according to exemplary embodiments of the present invention, after providing a substrate including a plurality of pixel regions and a plurality of transmissive regions, , Thin film transistors may be formed in the pixel region. An insulating layer may be formed on the thin film transistors. First electrodes electrically connected to the thin film transistors may be formed. A pixel defining layer defining adjacent transmissive regions having asymmetric shapes may be formed on the first electrodes by using a black material interposing at least one of the pixel regions. Organic light-emitting structures may be formed on the pixel defining layer. A second electrode may be formed on the organic light emitting structures.
예시적인 실시예들에 있어서, 각각의 박막 트랜지스터들을 형성하는 과정에 있어서, 상기 기판 상에 액티브 패턴을 형성할 수 있다. 상기 액티브 패턴을 덮는 게이트 절연막을 형성할 수 있다. 상기 게이트 절연막 상에 게이트 전극을 형성할 수 있다. 상기 게이트 전극 상에 층간 절연막을 형성할 수 있다. 상기 게이트 절연막 및 상기 층간 절연막을 통해 상기 액티브 패턴에 접속되는 소스 및 드레인 전극들을 형성할 수 있다.In example embodiments, in the process of forming respective thin film transistors, an active pattern may be formed on the substrate. A gate insulating layer may be formed to cover the active pattern. A gate electrode may be formed on the gate insulating layer. An interlayer insulating layer may be formed on the gate electrode. Source and drain electrodes connected to the active pattern may be formed through the gate insulating layer and the interlayer insulating layer.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 유기 발광 표시 장치를 형성하는 과정에 있어서, 상기 게이트 절연막, 상기 층간 절연막 및 상기 절연층을 통해 상기 투과 영역을 부분적으로 노출시키는 개구를 추가적으로 형성할 수 있다. 상기 화소 영역에 차광 부재를 추가적으로 형성할 수 있다.In example embodiments, in the process of forming the organic light emitting display device, an opening partially exposing the transmissive region through the gate insulating layer, the interlayer insulating layer, and the insulating layer may be additionally formed. A light blocking member may be additionally formed in the pixel area.
다른 예시적인 실시예들에 있어서, 상기 절연층은 흑색 물질을 사용하여, 상기 화소 영역을 개재하여 비대칭적인 형상들을 가지는 인접하는 상기 투과 영역들을 정의하도록 형성될 수 있다.In other exemplary embodiments, the insulating layer may be formed of a black material to define adjacent transmissive regions having asymmetric shapes through the pixel region.
전술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 복수의 화소 영역들 및 상기 화소 영역들에 인접하는 복수의 투과 영역들을 포함하는 기판을 제공한 후, 상기 화소 영역들에 흑색 물질을 사용하여 상기 화소 영역들 중에서 적어도 하나를 사이에 개재하여 비대칭적인 형상들을 가지는 인접하는 투과 영역들을 정의하는 블랙 매트릭스를 형성할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스 상에 박막 트랜지스터들을 형성할 수 있다. 상기 박막 트랜지스터들 상에 절연층을 형성할 수 있다. 상기 박막 트랜지스터들과 전기적으로 연결되는 제1 전극들을 형성할 수 있다. 상기 제1 전극들 상에 화소 정의막을 형성할 수 있다. 상기 화소 정의막 상에 유기 발광 구조들을 형성할 수 있다. 상기 유기 발광 구조들 상에 제2 전극을 형성할 수 있다.In order to achieve another object of the present invention described above, in a method of manufacturing an organic light emitting display device according to other exemplary embodiments of the present invention, a plurality of pixel areas and a plurality of transmissive areas adjacent to the pixel areas After providing the substrate including the pixel regions, a black matrix may be formed using a black material for the pixel regions to define adjacent transmissive regions having asymmetric shapes by interposing at least one of the pixel regions. . Thin film transistors may be formed on the black matrix. An insulating layer may be formed on the thin film transistors. First electrodes electrically connected to the thin film transistors may be formed. A pixel defining layer may be formed on the first electrodes. Organic light-emitting structures may be formed on the pixel defining layer. A second electrode may be formed on the organic light emitting structures.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치는 기판의 투과 영역을 부분적으로 노출시키는 개구를 구비하며, 상기 개구의 측벽을 따라 연장되며 흑색 물질을 구비하여 화소 영역들 중에서 적어도 하나를 개재하여 서로 인접하는 투과 영역들이 각기 비대칭적인 형상을 가지도록 정의할 수 있는 화소 정의막을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 하나의 화소 영역을 개재하여 서로 인접하는 상기 투과 영역들의 면적은 각기 상기 개구 및 상기 개구의 측벽을 따라 연장되는 상기 화소 정의막에 의해 결정될 수 있으며, 서로 다른 면적을 가질 수 있다. 달리 말하면, 하나의 화소 영역을 개재하여 서로 인접하는 투과 영역들의 형상은 비대칭적으로 설계될 수 있다. 따라서, 일정한 간격을 두고 배치되며 대칭적인 형상을 가지는 복수의 투과 영역들을 구비하는 종래의 유기 발광 표시 장치에 비해, 투과 영역들의 주기성은 약화되거나 실질적으로 제거되므로, 상기 투과 영역들을 각기 투과하는 광의 회절 간섭 현상은 완화될 수 있다. 그 결과, 유기 발광 표시 장치는 오프 상태에서는 투과 영역들에 각기 발생하는 사물들 및/또는 이미지들의 왜곡 현상을 방지할 수 있기 때문에, 유기 발광 표시 장치는 보다 선명한 영상을 표시할 수 있다. 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치는 기판의 투과 영역을 부분적으로 노출시키는 개구를 구비하며, 상기 개구 내에는 위치하지 않으며(즉, 화소 영역에서 기판 상에 배치되며) 흑색 물질을 구비하여 화소 영역을 개재하여 서로 인접하는 투과 영역들이 각기 비대칭적인 형상을 가지도록 정의할 수 있는 블랙 매트릭스를 포함할 수 있다. 이러한 블랙 매트릭스에 의해 상기 투과 영역들의 면적은 서로 다르게 설계되기 때문에, 상기 투과 영역들이 갖는 주기성을 효과적으로 제거할 수 있다. 이에 따라, 상기 유기 발광 표시 장치를 투과하는 광의 회절 간섭 현상을 효율적으로 억제할 수 있다. 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 투과 영역을 노출시키며 인접하는 투과 영역들이 각기 비대칭적인 형상을 가지도록 정의하는 개구를 형성하는 간단한 공정을 추가함에 따라, 유기 발광 표시 장치의 제조 비용을 크게 증가시키지 않는 선에서 유기 발광 표시 장치의 상기 투과 영역들에서 상기 유기 발광 표시 장치의 후면에 위치하는 이미지들 및/또는 사물들이 겹쳐보이거나 흐려보이는 왜곡 현상을 실질적으로 저하시키거나 제거할 수 있다.The organic light emitting display device according to exemplary embodiments of the present invention has an opening partially exposing a transmission region of a substrate, extends along a sidewall of the opening, and includes a black material to interpose at least one of the pixel regions. Thus, a pixel defining layer that can be defined so that each of the adjacent transmissive regions has an asymmetric shape may be included. For example, the areas of the transmissive regions adjacent to each other through the one pixel region may be determined by the opening and the pixel defining layer extending along a sidewall of the opening, respectively, and may have different areas. . In other words, the shapes of the transmissive regions adjacent to each other through one pixel region may be designed asymmetrically. Therefore, compared to a conventional organic light-emitting display device having a plurality of transmissive regions arranged at regular intervals and having a symmetrical shape, the periodicity of the transmissive regions is weakened or substantially eliminated, so the diffraction of light passing through each of the transmissive regions The interference phenomenon can be mitigated. As a result, in the off state, the organic light emitting display device can prevent distortion of objects and/or images occurring in the transmissive regions, respectively, so that the organic light emitting display device can display a clearer image. The organic light emitting diode display according to other exemplary embodiments of the present invention has an opening that partially exposes a transmission region of the substrate, and is not located within the opening (ie, is disposed on the substrate in the pixel region). The material may include a black matrix that can be defined so that each of the transparent regions adjacent to each other through the pixel region has an asymmetric shape. Since the areas of the transmissive areas are designed to be different from each other by the black matrix, the periodicity of the transmissive areas can be effectively removed. Accordingly, it is possible to effectively suppress a diffraction interference phenomenon of light passing through the organic light emitting display device. In the method of manufacturing an organic light emitting diode display according to exemplary embodiments of the present invention, by adding a simple process of exposing a transmissive region and forming an opening defining adjacent transmissive regions to each have an asymmetric shape, A distortion phenomenon in which images and/or objects located on the rear surface of the organic light-emitting display device overlap or blur in the transparent regions of the organic light-emitting display device is substantially reduced without significantly increasing the manufacturing cost of the organic light-emitting display device. Can be reduced or eliminated.
다만, 본 발명의 효과가 상술한 바에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to those described above, and may be variously extended without departing from the spirit and scope of the present invention.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 유기 발광 표시 장치를 A-A'라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 3 내지 도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 8은 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 9 내지 도 13은 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.1 is a plan view illustrating an organic light emitting display device according to exemplary embodiments of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the organic light emitting diode display of FIG. 1 taken along line A-A'.
3 to 7 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to exemplary embodiments of the present invention.
8 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to other exemplary embodiments of the present invention.
9 to 13 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to other exemplary embodiments of the present invention.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, an organic light-emitting display device and a method of manufacturing the organic light-emitting display device according to exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 도 2는 도 1의 유기 발광 표시 장치를 A-A'라인을 따라 절단한 단면도이다.1 is a plan view illustrating an organic light emitting display device according to exemplary embodiments of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the organic light emitting diode display of FIG. 1 taken along line A-A'.
도 1 및 도 2를 참조하면, 유기 발광 표시 장치(100)는, 기판(110), 박막 트랜지스터들, 절연층(170), 제1 전극(175)들, 화소 정의막(180), 유기 발광 구조(185)들, 제2 전극(190) 등을 포함할 수 있다.1 and 2, the organic light emitting
기판(110)은 투명 절연 기판으로 구성될 수 있다. 이러한 기판(110)은 복수의 화소 영역(Ⅰ)들 및 화소 영역(Ⅰ)들에 인접하는 복수의 투과 영역(Ⅱ)들을 포함할 수 있다.The
버퍼층(115)은 기판(110) 상에 배치될 수 있다. 버퍼층(115)은 실질적으로 평탄한 상면을 가지므로, 기판(110)의 표면이 균일하지 않을 경우, 기판(110)의 표면의 평탄도를 향상시키는 역할을 수행할 수 있다.The
도 2를 참조하면, 기판(110)의 화소 영역(Ⅰ) 내에 형성된 버퍼층(115) 상에 차광 부재(120)가 배치될 수 있으며, 외부로부터 입사되는 광의 투과를 실질적으로 차단할 수 있다. 예를 들면, 차광 부재(120)는 기판(110)의 화소 영역(Ⅰ) 내에 부분적으로 배치될 수 있다. 따라서, 이러한 차광 부재(120)는 유기 발광 표시 장치(100)에 외부 광이 개입되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 유기 발광 표시 장치(100)가 온 상태인 경우, 유기 발광 표시 장치(100)에 표시되는 영상의 균일성을 확보할 수 있다. 예를 들면, 차광 부재(120)는 금속 화합물, 흑색 물질(black material), 상대적으로 낮은 반사율을 갖는 금속, 절연 수지, 차광 도료 등을 사용하여 형성될 수 있다. 한편, 도 2에 있어서는 버퍼층(115) 상에 차광 부재(120)가 배치되는 구성에 대하여 설명하였으나, 유기 발광 표시 장치(100)의 구성이 도 2에 예시한 바에 한정되는 것은 아니다. 선택적으로는, 버퍼층(115) 상에 차광 부재(120)가 배치되지 않을 수도 있다.Referring to FIG. 2, a
상기 박막 트랜지스터들은 각기 차광 부재(120) 상에 배치될 수 있다. 이러한 박막 트랜지스터들은 각기 실리콘을 함유하는 액티브 패턴(125) 또는 반도체 산화물로 구성된 액티브 패턴(125)을 갖는 박막 트랜지스터를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 박막 트랜지스터들은 각기 액티브 패턴(125), 제1 게이트 절연막(130), 게이트 전극(135), 제2 게이트 절연막(140), 제1 층간 절연막(145), 소스 전극(150), 드레인 전극(155) 등을 구비할 수 있다.Each of the thin film transistors may be disposed on the
액티브 패턴(125)은 차광 부재(120) 상에 배치될 수 있다. 예를 들면, 액티브 패턴(125)은 불순물들이 각기 도핑된 소스 영역(126), 드레인 영역(127) 및 소스 영역(126)과 드레인 영역(127) 사이에 위치하는 채널 영역(128)을 포함할 수 있다.The
제1 게이트 절연막(130)은 버퍼층(115) 상에 배치되어 액티브 패턴(125)을 실질적으로 커버할 수 있다. 예를 들면, 제1 게이트 절연막(130)은 실리콘 산화물, 금속 산화물 등으로 구성될 수 있다.The first
게이트 전극(135)은 제1 게이트 절연막(130) 상에 배치될 수 있다. 게이트 전극(135)은 제1 게이트 절연막(130) 중에서 아래에 액티브 패턴(125)이 위치하는 부분 상에 형성될 수 있다.The
제1 게이트 절연막(130) 상에는 게이트 전극(135)을 덮는 제2 게이트 절연막(140)이 배치될 수 있다. 제2 게이트 절연막(140)은 제1 게이트 절연막(130)과 실질적으로 동질의 물질을 포함할 수 있다. 선택적으로는, 제2 게이트 절연막(140)과 제1 게이트 절연막(130)은 서로 다른 물질로 이루어질 수도 있다.A second
제2 게이트 절연막(140) 상에 제1 층간 절연막(145)이 배치될 수 있다. 제1 층간 절연막(145)은 소스 전극(150)과 드레인 전극(155)으로부터 게이트 전극(135)을 전기적으로 절연시킬 수 있다. 제1 층간 절연막(145)은 게이트 전극(135)의 프로파일을 따라 제2 게이트 절연막(140) 상에 실질적으로 균일한 두께로 형성될 수 있다. 제1 층간 절연막(145)은 실리콘 화합물로 이루어질 수 있다.A first
도 2에 예시한 바와 같이, 소스 전극(150) 및 드레인 전극(155)은 제1 층간 절연막(145) 상에 배치될 수 있다. 소스 및 드레인 전극들(150, 155)은 제1 층간 절연막(145)을 관통하여 액티브 패턴(125)의 소스 및 드레인 영역들(126, 127)에 각기 접촉될 수 있으며, 소스 및 드레인 전극들(150, 155)은 각기 금속, 합금, 금속 질화물, 도전성 금속 산화물, 투명 도전성 물질 등으로 구성될 수 있다.As illustrated in FIG. 2, the
제1 층간 절연막(145) 상에는 소스 및 드레인 전극들(150, 155)을 커버하며 제2 층간 절연막(160)이 배치될 수 있다. 여기서, 제2 층간 절연막(160)은 제1 층간 절연막(145)과 실질적으로 동질의 물질을 포함할 수 있다.A second
제2 층간 절연막(160) 상에는 제3 층간 절연막(165)이 배치될 수 있다. 이 경우, 제3 층간 절연막(165)은 제1 층간 절연막(145) 및 제2 층간 절연막(160)과 실질적으로 동일한 같은 물질을 포함할 수 있다.A third
제3 층간 절연막(165) 상에는 절연층(170)이 배치될 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 절연층(170)은 흑색 물질을 포함할 수 있다. 절연층(170)으로 사용될 수 있는 흑색 물질은 카본 블랙(carbon black), 페닐렌 블랙(phenylene black), 아닐린 블랙(aniline black), 시아닌 블랙(cyanine black), 니그로신산 블랙(nigrosine acid black), 블랙 수지(black resin) 등으로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 도 1에 예시한 바와 같이, 하나의 화소 영역(Ⅰ)을 개재하여 소정의 간격을 가지고 서로 인접하는 투과 영역(Ⅱ)들은 각기 절연층(170)에 의해 비대칭적인 형상을 가지도록 정의될 수 있다. 달리 말하면, 투과 영역(Ⅱ)들의 면적들은 각기 상이할 수 있다. 그 결과, 화소 영역(Ⅰ)을 중심으로 서로 인접하는 투과 영역(Ⅱ)들은 다른 폭들 및/또는 길이를 가질 수 있다. 이와 같이, 화소 영역(Ⅰ)을 개재하여 서로 인접하는 투과 영역(Ⅱ)들은 소정의 폭 차이(W1) 및/또는 길이 차이(D1)를 가지기 때문에, 투과 영역(Ⅱ)이 가지는 주기성을 효과적으로 억제하여 유기 발광 표시 장치(100)를 투과하는 광의 회절 간섭 현상을 방지할 수 있다. 그 결과, 유기 발광 표시 장치(100)의 후면의 이미지들이나 사물들이 겹쳐보이거나 흐려보이는 현상을 실질적으로 저하시키거나 제거하여 유기 발광 표시 장치(100)는 고품질의 영상을 구현할 수 있다.An insulating
예시적인 실시예들에 따르면, 도 2에 예시한 바와 같이, 제1 및 제2 게이트 절연막들(130, 140), 제1 내지 제3 층간 절연막들(145, 160, 165) 그리고 절연층(170)을 관통하여 기판(110)의 투과 영역(Ⅱ)을 부분적으로 노출시키는 개구(174)가 위치할 수 있다. 상술한 바와 같이, 투과 영역(Ⅱ)의 형상은 절연층(170)에 의해 정의될 수 있지만, 개구(174)의 측벽 상에 배치되는 화소 정의막(180)에 의해 정의될 수도 있다. 이에 대해서는 후술한다.According to exemplary embodiments, as illustrated in FIG. 2, the first and second
다시 도 2를 참조하면, 제1 전극(175)은 절연층(170) 상에 배치될 수 있으며, 제2 층간 절연막(160), 제3 층간 절연막(165) 및 절연층(170)을 관통하는 콘택홀(172)를 통해 드레인 전극(155)에 접속될 수 있다. 예를 들면, 제1 전극(175)은 반사성을 가지는 물질이나 투과성을 가지는 물질로 구성될 수 있다.Referring back to FIG. 2, the
제1 전극(175) 상에는 화소 정의막(180)이 배치될 수 있다. 화소 정의막(180)은 제1 전극(175)을 부분적으로 노출시키는 화소 개구(182)를 포함할 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 화소 정의막(180)은 개구(174)의 측벽을 따라 연장될 수 있다. 이러한 화소 정의막(180)은 흑색 물질을 포함할 수 있다. 화소 정의막(180)으로 사용될 수 있는 흑색 물질은 카본 블랙, 페닐렌 블랙, 아닐린 블랙, 시아닌 블랙, 니그로신산 블랙, 블랙 수지 등을 포함할 수 있다. 이 경우, 개구(174)의 상기 측벽을 따라 배치된 화소 정의막(180)에 의해 노출되는 투과 영역(Ⅱ)들의 형상들은 각기 비대칭적으로 설계될 수 있으며, 이러한 투과 영역(Ⅱ)들의 면적들은 상이할 수 있다. 달리 말하면, 화소 영역(Ⅰ)들 중에서 적어도 하나를 개재하여 서로 인접하는 투과 영역(Ⅱ)들은 각기 화소 정의막(180)에 의해 비대칭적인 형상을 가지도록 정의될 수 있기 때문에, 이러한 투과 영역(Ⅱ)들은 다른 폭들 및/또는 길이들을 가질 수 있다. 도 1에 예시한 바와 같이, 화소 영역(Ⅰ)을 개재하여 소정의 간격으로 이격되는 투과 영역(Ⅱ)들은 소정의 폭 차이(W1) 및/또는 길이 차이(D1)를 가짐에 따라, 투과 영역(Ⅱ)의 주기성은 약화되거나 실질적으로 제거될 수 있다. 그 결과, 유기 발광 표시 장치(100)의 투과 영역(Ⅱ)을 통과하는 광의 회절 간섭 현상을 효과적으로 방지할 수 있으며, 이로 인해 영상의 균일성을 향상시킬 수 있다.The
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치(100)는 하나의 화소 영역(Ⅰ)을 중심으로 서로 인접하며 각기 비대칭적인 형상을 가지는 복수의 투과 영역(Ⅱ)들을 포함할 수 있다. 이에 따라, 일정한 간격을 두고 배치되며 대칭적인 형상을 가지는 투과 영역들을 구비하는 종래의 유기 발광 표시 장치에 비해, 투과 영역(Ⅱ)들의 주기성이 약화되기 때문에, 투과 영역(Ⅱ)들을 각기 통과하는 광의 회절간섭 현상을 실질적으로 완화시키거나 제거할 수 있다. 그 결과, 유기 발광 표시 장치(100)가 오프 상태인 경우, 투과 영역(Ⅱ)들을 통해 유기 발광 표시 장치(100)의 반대편에 위치한 사물들 및/또는 이미지들을 보다 선명하게 구현할 수 있고, 유기 발광 표시 장치(100)가 온 상태인 경우, 화소 영역(Ⅰ)들을 통해 고품질의 영상을 표시할 수 있다.The organic light emitting
유기 발광 구조(185)는 화소 정의막(180)의 화소 개구(182)를 통해 노출되는 제1 전극(175) 상에 배치될 수 있다. 선택적으로는, 유기 발광 구조(185)는 화소 정의막(180)의 화소 개구(182)의 측벽을 따라 연장될 수 있다. 유기 발광 구조(85)는 유기 발광 표시 장치(100)의 서로 상이한 색광들(예를 들면, 적색광, 녹색광, 청색광 등)을 방출시킬 수 있는 발광 물질들을 사용하여 형성될 수 있다. 선택적으로는, 유기 발광 구조(185)는 적색광, 녹색광, 청색광 등과 같은 상이한 색광들을 발생시킬 수 있는 발광 물질들이 적층되어 백색광을 발광할 수도 있다.The organic
제2 전극(190)은 화소 정의막(180) 및 유기 발광 구조(185) 상에 배치될 수 있다. 제2 전극(190)은 제1 전극(175)과 실질적으로 같은 물질로 이루어질 수 있다.The
도 3 내지 도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.3 to 7 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to exemplary embodiments of the present invention.
도 3을 참조하면, 버퍼층(115)을 기판(110) 상에 형성할 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 기판(110)은 복수의 화소 영역(Ⅰ)들 및 화소 영역(Ⅰ)들에 인접하는 복수의 투과 영역(Ⅱ)들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 버퍼층(115)은 실리콘 질화물 또는 실리콘 산화물을 사용하여 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, a
버퍼층(115) 상에는 액티브 패턴(125)을 형성할 수 있다. 액티브 패턴(125)은 실리콘 또는 산화물 반도체를 사용하여 수득될 수 있다.An
다시 도 3을 참조하면, 버퍼층(115) 상에 액티브 패턴(125)을 커버하는 제1 게이트 절연막(130)을 형성할 수 있다. 예를 들면, 제1 게이트 절연막(130)은 실리콘 산화물, 실리콘 탄산화물 등과 같은 실리콘 화합물을 사용하여 형성될 수 있다.Referring back to FIG. 3, a first
제1 게이트 절연막(130) 상에는 게이트 전극(135)이 형성될 수 있다. 게이트 전극(135)은 금속, 합금, 도전성 금속 산화물, 투명 도전성 물질 등을 사용하여 얻어질 수 있다. 게이트 전극(135)은 제1 게이트 절연막(130) 중에서 아래에 액티브 패턴(125)이 위치하는 부분들 상에 형성될 수 있다. 또한, 게이트 전극(135)을 마스크들로 이용하여 액티브 패턴(125)에 불순물들을 주입함으로써, 액티브 패턴(125)에 소스 영역(126) 및 드레인 영역(127)을 형성할 수 있다.A
제2 게이트 절연막(140)은 게이트 전극(135)을 커버할 수 있으며 제1 게이트 절연막(130) 상에 형성될 수 있다. 제2 게이트 절연막(140)은 제1 게이트 절연막(130)과 실질적으로 동질의 물질을 사용하여 형성될 수 있으나, 제1 게이트 절연막(130)과 다른 물질을 사용하여 얻어질 수도 있다.The second
제1 층간 절연막(145)은 제2 게이트 절연막(140) 상에 형성될 수 있다. 제1 층간 절연막(145)은 실리콘 화합물, 투명 수지 등을 사용하여 형성될 수 있다.The first
이어서, 제1 층간 절연막(145) 상에 소스 전극(150) 및 드레인 전극(155)을 형성할 수 있다. 예를 들면, 소스 전극(150) 및 드레인 전극(155)은 금속, 합금, 금속 질화물, 도전성 금속 산화물, 투명 도전성 물질 등을 사용하여 형성될 수 있다. 드레인 전극(155)은 액티브 패턴(125)의 드레인 영역(127)에 접속될 수 있고, 소스 전극(150)은 액티브 패턴(125)의 소스 영역(126)에 접속될 수 있다.Subsequently, a
도 4를 참조하면, 제2 층간 절연막(160)은 소스 및 드레인 전극들(150, 155)을 커버할 수 있으며, 제1 층간 절연막(145) 상에 형성될 수 있다. 이어서, 제3 층간 절연막(165)은 제2 층간 절연막(160) 상에 형성될 수 있다. 제2 및 제3 층간 절연막(160, 165)은 제1 층간 절연막(145)와 실질적으로 동일한 물질로 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 4, the second
도 5를 참조하면, 절연층(170)은 상기 박막 트랜지스터를 덮으며 제3 층간 절연막(165) 상에 형성될 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 제2 층간 절연막(160), 제3 층간 절연막(165) 및 절연층(170)을 부분적으로 식각하여 드레인 전극(155)을 부분적으로 노출시키는 콘택홀(172)를 형성할 수 있고, 동시에 제1 게이트 절연막(130), 제2 게이트 절연막(140), 제1 층간 절연막(145), 제2 층간 절연막(160), 제3 층간 절연막(165) 및 절연층(170)을 부분적으로 식각하여 기판(110)의 투과 영역(Ⅱ)을 부분적으로 노출시키는 개구(174)를 형성할 수 있다. 콘택홀(172) 및 개구(174)는 하나의 마스크를 사용하는 동일한 건식 또는 습식 식각 공정에 의해 형성될 수 있다. 예를 들면, 콘택홀(172) 및 개구(174)는 동일한 식각 가스 또는 동일한 식각액에 의해 동시에 형성될 수 있다. 예를 들면, 절연층(170)은 유기 물질, 무기 물질 등을 사용하여 형성될 수 있다. 선택적으로는, 절연층(170)은 흑색 물질을 포함할 수 있다. 이러한 흑색 물질은 카본 블랙, 페닐렌 블랙, 아닐린 블랙, 시아닌 블랙, 니그로신산 블랙, 블랙 수지 등으로 이루어질 수 있다. 절연층(170)은 스핀 코팅 공정, 프린팅 공정, 스퍼터링 공정, 화학 기상 증착 공정, 원자층 적층 공정, 플라즈마 증대 화학 기상 증착 공정, 고밀도 플라즈마-화학 기상 증착 공정, 진공 증착 공정 등을 이용하여 수득될 수 있다. 이에 따라, 하나의 화소 영역(Ⅰ)을 개재하여 서로 인접하는 투과 영역(Ⅱ)들은 각기 절연층(170)에 의해 비대칭적인 형상을 가지도록 설계될 수 있다. 예를 들면, 하나의 화소 영역(Ⅰ)을 중심으로 서로 인접하는 투과 영역(Ⅱ)들은 다른 폭들 및/또는 길이들을 가짐에 따라, 서로 다른 면적을 가질 수 있다. 이와 같이, 화소 영역(Ⅰ)을 개재하여 소정의 간격으로 이격된 투과 영역(Ⅱ)들은 소정의 폭 차이(W1) 및/또는 길이 차이(D1)를 가지기 때문에, 유기 발광 표시 장치(100)의 투과 영역(Ⅱ)의 주기성을 약화시키거나 실질적으로 제거할 수 있다. 그 결과, 유기 발광 표시 장치(100)의 투과 영역(Ⅱ)을 투과하는 광이 회절되거나 서로 간섭되는 것을 억제할 수 있으므로, 유기 발광 표시 장치(100)의 반대편에 위치하는 사물들 및/또는 이미지들이 왜곡되어 표시되는 현상을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 5, an insulating
다시 도 5를 참조하면, 콘택홀(172)을 채우면서 절연층(170) 상에 제1 전극(175)을 형성할 수 있다. 제1 전극(175)은 반사성을 가지는 물질로 이루어질 수 있다. 선택적으로는, 제1 전극(175)은 투과성을 가지는 물질로 구성될 수도 있다.Referring back to FIG. 5, the
도 6을 참조하면, 제1 전극(175)과 절연층(170) 상에 제1 전극(155)을 부분적으로 노출시키는 화소 개구(182)를 구비하는 화소 정의막(180)을 형성할 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 화소 정의막(180)은 상술한 개구(174)의 측벽을 따라 연장될 수 있다. 예를 들면, 화소 정의막(180)은 흑색 물질을 포함할 수 있다. 화소 정의막(180)으로 사용될 수 있는 상기흑색 물질은 카본 블랙, 페닐렌 블랙, 아닐린 블랙, 시아닌 블랙, 니그로신산 블랙, 블랙 수지 등일 수 있다. 화소 정의막(180)은 프린팅(printing) 공정, 스프레이(spray) 공정, 스핀 코팅(spin coating) 공정, 화학 기상 증착(CVD) 공정 등을 이용하여 절연층(170) 상에 형성될 수 있다. 이에 따라, 개구(174)의 상기 측벽을 따라 배치된 화소 정의막(180)에 의해 노출되는 투과 영역(Ⅱ)들의 면적들은 각기 서로 다를 수 있다. 그 결과, 화소 영역(Ⅰ)들 중에서 적어도 하나의 화소 영역(Ⅰ)을 개재하여 인접하는 투과 영역(Ⅱ)들은 각기 개구(174)의 상기 측벽 상에 배치된 화소 정의막(180)에 의해 비대칭적인 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 화소 영역(Ⅰ)을 개재하여 소정의 간격으로 이격된 투과 영역(Ⅱ)들은 다른 폭들 및/또는 길이를 가지기 때문에, 인접하는 투과 영역(Ⅱ)들은 소정의 폭 차이(W1) 및/또는 길이 차이(D1)를 가질 수 있다. 따라서, 투과 영역(Ⅱ)이 갖는 주기성은 저하될 수 있다. 그 결과, 유기 발광 표시 장치(100)의 투과 영역(Ⅱ)을 지나는 광이 회절되거나 간섭됨으로 인해 유기 발광 표시 장치(100)의 후면에 위치하는 사물들과 이미지들이 왜곡되는 현상을 실질적으로 약화시킬 수 있다.Referring to FIG. 6, a
다시 도 7을 참조하면, 화소 정의막(180)의 화소 개구(182)를 통해 노출되는 제1 전극(175) 상에 유기 발광 구조(185)를 형성할 수 있다. 또한, 유기 발광 구조(185)는 화소 정의막(180)의 화소 개구(182)의 측벽을 따라 연장될 수 있다. 제2 전극(190)은 제1 전극(175)과 실질적으로 동질의 물질을 포함할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 선택적으로는, 제2 전극(190)과 제1 전극(175)은 다른 물질로 이루어질 수도 있다.Referring back to FIG. 7, the organic
도 8은 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다. 도 8에 예시한 유기 발광 표시 장치(200)는 블랙 매트릭스(220)을 제외하면, 도 1을 참조하여 설명한 유기 발광 표시 장치(100)와 실질적으로 동일하거나 유사한 구성을 가질 수 있다. 따라서, 도 2에 있어서, 도 1을 참조하여 설명한 구성 요소들과 실질적으로 동일한 구성 요소들에 대해서는 상세한 설명은 생략한다.8 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to other exemplary embodiments of the present invention. The organic light emitting
도 8을 참조하면, 유기 발광 표시 장치(200)는 유기 발광 표시 장치(200)는 기판(210), 블랙 매트릭스(220), 박막 트랜지스터들, 절연층(270), 제1 전극(265)들, 화소 정의막(280), 유기 발광 구조(275)들, 제2 전극(280) 등을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8, the organic light emitting
버퍼층(215) 상에 블랙 매트릭스(220)가 배치될 수 있다. 블랙 매트릭스(220)는 화소 영역(Ⅰ)과 투과 영역(Ⅱ)을 정의할 수 있으며, 동시에 차광막으로서 기능할 수 있다. 다만, 도 8에 있어서, 블랙 매트릭스(220)가 도 1에 예시한 차광 부재(120)와 실질적으로 유사한 영역에 배치되는 것으로 예시되어 있지만, 블랙 매트릭스(220)는 차광 부재(120)보다 투과 영역(Ⅱ)으로 좀 더 연장됨에 따라, 차광막의 역할만을 수행하는 차광 부재(120)에 비해 투과 영역(Ⅱ)의 형상 또한 정의할 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 블랙 매트릭스(220)는 흑색 물질을 포함할 수 있다. 블랙 매트릭스(220)로 사용될 수 있는 흑색 물질은 카본 블랙, 페닐렌 블랙, 아닐린 블랙, 시아닌 블랙, 니그로신산 블랙, 블랙 수지 등을 포함할 수 있다. 이에 따라, 블랙 매트릭스(220)에 의해 노출되는 투과 영역(Ⅱ)들의 면적들은 각기 서로 다를 수 있다. 그 결과, 화소 영역(Ⅰ)들 중에서 적어도 하나를 개재하여 서로 인접하는 투과 영역(Ⅱ)들이 각기 비대칭적인 형상을 가지도록 정의될 수 있으며, 서로 다른 폭 및/또는 길이를 가질 수 있다. 이와 같이, 화소 영역(Ⅰ)을 개재하여 상기 제1 방향을 따라 인접하는 투과 영역(Ⅱ)들은 소정의 폭 차이(W1) 및/또는 길이 차이(D1)를 가지기 때문에, 투과 영역(Ⅱ)이 갖는 주기성을 없앨 수 있다. 그 결과, 유기 발광 표시 장치(200)의 투과 영역(Ⅱ)을 투과하는 광의 회절 간섭 현상을 실질적으로 약화시킬 수 있다.A
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치(200)는 블랙 매트릭스(220)에 의해 각기 비대칭적인 형상을 가지도록 설계되는 복수의 투과 영역(Ⅱ)들을 포함할 수 있다. 이에 따라, 일정한 간격을 두고 배치되며 대칭적인 형상을 가지는 투과 영역들을 구비하는 종래의 유기 발광 표시 장치에 비해, 투과 영역(Ⅱ)들을 통과하는 광의 회절 간섭 현상을 완화시킬 수 있다. 이에 따라, 유기 발광 표시 장치(200)가 오프 상태일 때, 투과 영역(Ⅱ)들을 통해 유기 발광 표시 장치(200)의 반대편에 위치한 사물들 및/또는 이미지들을 보다 선명하게 구현할 수 있다.The organic light emitting
제3 층간 절연막(265) 상에는 절연층(270)이 배치될 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 제1 게이트 절연막(230), 제2 게이트 절연막(240), 제1 층간 절연막(245), 제2 층간 절연막(260), 제3 층간 절연막(265) 및 절연층(270)을 부분적으로 식각하여 기판(210)의 투과 영역(Ⅱ)을 노출시키는 개구(274)를 형성할 수 있다.An insulating
상술한 바와 같이, 도 8에 예시한 유기 발광 표시 장치(200)는 기판(210)의 투과 영역을 부분적으로 노출시키는 개구(274)를 구비할 수 있다. 또한, 흑색 물질을 구비하여 화소 영역을 개재하여 서로 인접하는 투과 영역들이 각기 비대칭적인 형상을 가지도록 정의할 수 있는 블랙 매트릭스(220)를 포함할 수 있다. 이러한 블랙 매트릭스(215)는 화소 영역(Ⅰ) 내에서 기판(210) 상에 배치될 수 있지만, 개구(274) 내에는 배치되지 않을 수 있다. 이에 따라, 투과 영역(Ⅱ)들의 면적은 각기 다르게 설계되므로, 상기 투과 영역(Ⅱ)들이 갖는 주기성을 효과적으로 억제할 수 있다. 이에 따라, 유기 발광 표시 장치(200)의 반대편에 있는 사물이나 이미지들이 흐려보이거나 겹쳐보이는 왜곡 현상을 방지할 수 있다.As described above, the organic light emitting
도 9 내지 도 13은 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.9 to 13 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to other exemplary embodiments of the present invention.
도 9를 참조하면, 버퍼층(215)을 기판(210) 상에 형성할 수 있다.Referring to FIG. 9, a
이어서, 블랙 매트릭스(220)을 기판(210)의 화소 영역(Ⅰ) 내에 형성된 버퍼층(215) 상에 형성할 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 블랙 매트릭스(220)은 카본 블랙, 페닐렌 블랙, 아닐린 블랙, 시아닌 블랙, 니그로신산 블랙, 블랙 수지 등을 구비하는 흑색 물질을 사용하여 수득될 수 있다. 예를 들면, 블랙 매트릭스(220)은 프린팅 공정, 잉크젯 공정, 스핀 코팅 공정 등을 통해 형성될 수 있다. 이에 따라, 블랙 매트릭스(220)에 의해 노출되는 투과 영역(Ⅱ)들의 면적들은 상이할 수 있다. 그 결과, 하나의 화소 영역(Ⅰ)을 중심으로 서로 인접하는 투과 영역(Ⅱ)들은 각기 블랙 매트릭스(220)에 의해 비대칭적인 형상을 가지도록 설계될 수 있으며, 외부로부터 입사되는 광을 차단할 수 있다. 이러한 블랙 매트릭스(220)을 형성하기 위한 공정은 도 2를 참조하여 설명한 차광 부재(120)를 형성하기 위한 공정들과 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사하다.Subsequently, the
블랙 매트릭스(220) 상에는 액티브 패턴(225)이 형성될 수 있다. 액티브 패턴(225)은 실리콘, 산화물 반도체 등을 사용하여 얻어질 수 있다.An
다시 도 9를 참조하면, 버퍼층(215) 상에 액티브 패턴(225)을 커버하는 제1 게이트 절연막(230)을 형성할 수 있다. 제1 게이트 절연막(230)은 실리콘 산화물, 실리콘 탄산화물 등과 같은 실리콘 화합물을 사용하여 형성될 수 있다.Referring back to FIG. 9, a first
제1 게이트 절연막(230) 상에는 게이트 전극(235)이 형성될 수 있다. 게이트 전극(235)은 제1 게이트 절연막(230)을 개재하여 액티브 패턴(225)과 중첩될 수 있다. 게이트 전극(235)은 금속, 합금, 도전성 금속 산화물, 투명 도전성 물질 등을 사용하여 형성될 수 있다. 게이트 전극(235)을 마스크들로 이용하여 액티브 패턴(225)에 불순물들을 주입하여 액티브 패턴(225)에 소스 영역(226), 드레인 영역(227) 및 채널 영역(228)을 형성할 수 있다.A
제2 게이트 절연막(140)은 게이트 전극(235)을 덮으며 제1 게이트 절연막(230) 상에 형성될 수 있다. 제2 게이트 절연막(240)은 제1 게이트 절연막(230)과 실질적으로 동일한 같은 물질로 형성될 수 있다.The second
제1 층간 절연막(245)은 제2 게이트 절연막(240) 상에 형성될 수 있다. 제1 층간 절연막(245)은 실리콘 화합물, 투명 수지 등을 사용하여 수득될 수 있다.The first
제1 층간 절연막(245)을 부분적으로 식각하여 액티브 패턴(225)의 소스영역(232) 및 드레인 영역(234)을 노출시키는 콘택홀들을 형성할 수 있다. 이러한 콘택홀들을 채우면서 제1 층간 절연막(245) 상에 소스 전극(250) 및 드레인 전극(255)을 형성할 수 있다.The first
제1 층간 절연막(245) 상에 액티브 패턴(225)의 드레인 영역(227)에 접속되는 소스 전극(250), 액티브 패턴(225)의 소스 영역(226)에 접속되는 드레인 전극(255)을 형성할 수 있다.A
도 10을 참조하면, 제2 층간 절연막(260)은 소스 및 드레인 전극들(250, 255)을 덮으면서 제1 층간 절연막(245) 상에 형성될 수 있으며, 제3 층간 절연막(265)은 제2 층간 절연막(260) 상에 형성될 수 있다. 제2 층간 절연막(260) 및 제3 층간 절연막(265)은 각기 제1 층간 절연막(245)과 실질적으로 같은 물질로 구성될 수 있다.Referring to FIG. 10, the second
도 11을 참조하면, 절연층(270)은 상기박막 트랜지스터를 덮으며 제3 층간 절연막(265) 상에 형성될 수 있다. 예를 들면, 절연층(270)은 예시적인 실시예들에 있어서, 제2 층간 절연막(260), 제3 층간 절연막(265) 및 절연층(270)을 부분적으로 식각하여 드레인 전극(255)을 부분적으로 노출시키는 콘택홀(272)를 형성할 수 있다. 동시에, 제1 게이트 절연막(230), 제2 게이트 절연막(240), 제1 층간 절연막(245), 제2 층간 절연막(260), 제3 층간 절연막(265) 및 절연층(270)을 부분적으로 식각하여 기판(210)의 투과 영역(Ⅱ)을 노출시키는 개구(274)를 형성할 수 있다. 콘택홀(272)와 개구(274)는 하나의 마스크를 사용하는 동일한 건식 또는 습식 식각 공정에 의해 형성될 수 있다. 예를 들면, 콘택홀(272) 및 개구(274)는 동일한 식각 가스나 동일한 식각액에 의해 동시에 형성될 수 있다.Referring to FIG. 11, an insulating
다시 도 11을 참조하면, 콘택홀(272)을 채우면서 절연층(270) 상에 제1 전극(275)을 형성할 수 있다. 제1 전극(275)은 금속, 합금, 금속 질화물, 도전성 금속 산화물, 투명 도전성 물질 등과 같이 반사성을 가지거나 투과성을 가지는 물질을 사용하여 형성될 수 있다.Referring back to FIG. 11, the
이어서, 제1 전극(275)과 절연층(270) 상에 화소 개구(282)를 구비하는 화소 정의막(280)을 형성할 수 있다. 이 경우, 화소 정의막(280)은 개구(274)의 측벽을 따라 연장될 수 있다. 예를 들면, 화소 정의막(280)은 유기 물질, 무기 물질 등으로 형성될 수 있다.Subsequently, a
도 12를 참조하면, 화소 정의막(280)의 화소 개구(282)를 통해 노출되는 제1 전극(275) 상에 유기 발광 구조(285)를 형성할 수 있다. 또한, 유기 발광 구조(285)는 화소 정의막(280)의 화소 개구(282)의 측벽을 따라 연장될 수 있다. Referring to FIG. 12, an organic
상술한 바에 있어서는, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 대해 도면들을 참조하여 설명하였지만, 상술한 실시예들은 예시적인 것으로서, 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 수정, 변형 및 변경될 수 있을 것이다.In the above description, the organic light emitting display device and the manufacturing method of the organic light emitting display device according to exemplary embodiments of the present invention have been described with reference to the drawings, but the above-described embodiments are illustrative and described in the claims. Modifications, modifications, and changes may be made by those of ordinary skill in the relevant technical field without departing from the technical spirit of the present invention.
본 발명은 투명 유기 발광 표시 장치를 구비하는 다양한 전자 기기들에 적용될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 업소용 냉장고, 스마트 윈도우, 투명 태블릿, 헤드업 디스플레이 장치, 웨어러블 디스플레이 장치 등과 같은 다양한 전자 기기들에 적용될 수 있다.The present invention can be applied to various electronic devices including a transparent organic light emitting display device. For example, the present invention can be applied to various electronic devices such as a commercial refrigerator, a smart window, a transparent tablet, a head-up display device, and a wearable display device.
100, 200: 유기 발광 표시 장치
110, 210: 기판
115, 215: 버퍼층
120: 차광 부재
220: 블랙 매트릭스
125, 225: 액티브 패턴
130, 230: 제1 게이트 절연막
135, 235: 게이트 전극
140, 240: 제2 게이트 절연막
145, 245: 제1 층간 절연막
150, 250: 소스 전극
155, 255: 드레인 전극
160, 260: 제2 층간 절연막
165, 265: 제3 층간 절연막
170, 270: 절연층
172, 272: 콘택홀
174, 274: 개구
175, 275: 제1 전극
180, 280: 화소 정의막
182, 282: 화소 개구
185, 285: 유기 발광 구조
190, 290: 제2 전극
195, 295: 제2 기판100, 200: organic light emitting display device
110, 210: substrate
115, 215: buffer layer
120: light blocking member
220: black matrix
125, 225: active pattern
130, 230: first gate insulating layer
135, 235: gate electrode
140, 240: second gate insulating layer
145, 245: first interlayer insulating film
150, 250: source electrode
155, 255: drain electrode
160, 260: second interlayer insulating film
165, 265: third interlayer insulating film
170, 270: insulating layer
172, 272: contact hole
174, 274: opening
175, 275: first electrode
180, 280: pixel defining layer
182, 282: pixel aperture
185, 285: organic light emitting structure
190, 290: second electrode
195, 295: second substrate
Claims (9)
상기 화소 영역들에 배치되는 박막 트랜지스터들;
상기 박막 트랜지스터들 상에 배치되는 절연층;
상기 절연층 상에 배치되고, 상기 박막 트랜지스터들과 전기적으로 연결되는 제1 전극들;
상기 제1 전극들 상에 배치되는 화소 정의막;
상기 화소 정의막 상에 배치되는 유기 발광 구조들; 및
상기 유기 발광 구조들 상에 배치되는 제2 전극을 포함하고,
상기 투과 영역들 중에서 인접하는 투과 영역들은 다른 폭들 또는 다른 길이들을 가지는 유기 발광 표시 장치.A substrate including a plurality of pixel regions and a plurality of transmissive regions;
Thin film transistors disposed in the pixel regions;
An insulating layer disposed on the thin film transistors;
First electrodes disposed on the insulating layer and electrically connected to the thin film transistors;
A pixel defining layer disposed on the first electrodes;
Organic light emitting structures disposed on the pixel defining layer; And
Including a second electrode disposed on the organic light emitting structures,
An organic light emitting diode display device wherein adjacent transmissive regions among the transmissive regions have different widths or different lengths.
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