KR20210036611A - Electrostatic precipitator - Google Patents

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Abstract

An electrostatic precipitator is provided. The electrostatic precipitator comprises: a housing; a filter unit disposed on the inlet side of a harmful gas in the housing; a dust collecting unit disposed in the housing to receive a process gas from the filter unit to perform electrical dust collection; and a water tank unit disposed under the filter unit and the dust collecting unit to receive water used for cleaning the filter unit and the dust collecting unit. The water tank unit includes a water rotation means for rotating the received water therein, and cleaning units for cleaning are disposed in the filter unit and the dust collecting unit, respectively, to clean assigned elements.

Description

전기 집진 장치{ELECTROSTATIC PRECIPITATOR}Electric dust collector {ELECTROSTATIC PRECIPITATOR}

본 발명은 전기 집진 장치 분야에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다량의 미세입자가 발생되는 반도체 제조 공정에 바람직하게 적용되는 전기 집진 장치에 관한 것이다.The present invention relates to the field of an electrostatic precipitator, and more particularly, to an electrostatic precipitator preferably applied to a semiconductor manufacturing process in which a large amount of fine particles are generated.

반도체 제조 시설에서는 다양한 유해가스가 발생되고 있다. 이를 저감하기 위해 일반적으로 1차 처리 스크러버로 처리하고 있으나, 그 후단에서는 정부 규제 대상 물질의 미세입자가 다량 발생된다. 특히, 반도체 제조 공정 중 파우더가 많이 배출되는 디퓨전 공정은 1차 처리 설비인 POU 스크러버 후단 덕트에 파우더가 적체되는 문제가 자주 발생하고 있다. 이 때문에 빈번한 PM(Pre Maintenance)이 요구되고 있으며, 장기적으로 설치되어 운영되어야 할 유해가스 처리 설비가 안정성과 신뢰성을 인정받지 못하고 있다. 미세먼지 배출 규제가 강화되고 있기 때문에 공정 중 발생하는 미세입자를 효율적으로 처리할 수 있는 장치가 필요하다. 반도체 제조 공정은 쉴새 없이 미세입자가 발생되기 때문에, 미세 입자 처리 장치 자체에도 미세 입자가 퇴적되기 때문에 미세 입자의 처리와 함께 세정을 병행하여야 한다.Various harmful gases are generated in semiconductor manufacturing facilities. In order to reduce this, it is generally treated with a primary treatment scrubber, but a large amount of fine particles of substances subject to government regulation are generated at the rear stage. In particular, in the diffusion process in which a large amount of powder is discharged during the semiconductor manufacturing process, there is a problem that the powder accumulates in the duct after the POU scrubber, which is a primary treatment facility. For this reason, frequent PM (Pre Maintenance) is required, and the stability and reliability of hazardous gas treatment facilities to be installed and operated for a long time are not recognized. Due to the tightening of fine dust emission regulations, there is a need for a device that can efficiently treat fine particles generated during the process. In the semiconductor manufacturing process, since fine particles are constantly generated, fine particles are also deposited in the fine particle processing apparatus itself, and thus cleaning must be performed concurrently with the treatment of the fine particles.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 감안한 것으로서, 자동 세정 요소들을 구비하여 장시간 안정적으로 미세 입자를 처리할 수 있는 전기 집진 장치를 제공한다.In view of the problems of the prior art described above, the present invention provides an electrostatic precipitator capable of stably treating fine particles for a long time by including automatic cleaning elements.

본 발명은 전기 집진 장치를 제공하며, 이는: 하우징; 상기 하우징 내 유해가스의 인입측에 배치된 필터부; 상기 하우징 내 배치되어 상기 필터부로부터 처리 가스를 전달받아 전기적인 집진을 수행하는 집진부; 및 상기 필터부 및 상기 집진부의 아래에 배치되어 상기 필터부 및 상기 집진부의 세정에 사용된 물이 수용되는 수조부;를 포함하고, 상기 수조부는 수용된 물을 내부에서 회전시키는 물 회전 수단을 구비한다.The present invention provides an electrostatic precipitator, comprising: a housing; A filter unit disposed on the inlet side of the harmful gas in the housing; A dust collecting unit disposed in the housing to receive processing gas from the filter unit to perform electric dust collection; And a water tank part disposed below the filter part and the dust collecting part to receive water used for cleaning the filter part and the dust collecting part, wherein the water tank part includes a water rotating means for rotating the received water inside. .

상기 물 회전수단은 물을 상기 수조부 내벽과 나란한 방향으로 배출하도록 설치되는 하나 이상의 배출꼭지를 포함할 수 있다.The water rotating means may include one or more discharge faucets installed to discharge water in a direction parallel to the inner wall of the water tank.

상기 수조부는 수용된 물을 배출하도록 설치되는 드레인 노즐, 드레인 배관 및 펌프를 구비할 수 있다.The water tank may include a drain nozzle, a drain pipe, and a pump installed to discharge the received water.

상기 하나 이상의 배출꼭지는 상기 드레인 배관의 드레인된 물의 일부를 공급받도록 상기 드레인 배관에 연결될 수 있다.The one or more discharge taps may be connected to the drain pipe to receive part of the drained water of the drain pipe.

상기 수조부의 내부 바닥면은 경사면이고, 상기 노즐은 경사면의 하위에 배치될 수 있다.The inner bottom surface of the water tank part is an inclined surface, and the nozzle may be disposed below the inclined surface.

상기 집진부는: 방전극과 집진판이 설치되는 집진실; 상기 집진실의 요소들에 전압을 인가하기 위하여 마련되는 전기장치 요소들이 배치되는 절연실; 상기 집진실의 요소들을 세정하도록 배치되는 복수개의 노즐을 포함하는 제1세정부; 및 상기 절연실의 요소들을 세정하도록 배치되는 복수개의 노즐을 포함하는 제2세정부;를 포함할 수 있다.The dust collecting unit: a dust collecting chamber in which a discharge electrode and a dust collecting plate are installed; An insulation chamber in which electrical device elements provided to apply voltage to the elements of the dust collection chamber are disposed; A first cleaning unit including a plurality of nozzles disposed to clean the elements of the dust collecting chamber; And a second cleaning unit including a plurality of nozzles disposed to clean the elements of the insulating chamber.

상기 제1세정부는 물과 에어가 혼합되어 분사되는 이류체 노즐을 포함할 수 있다.The first washing unit may include a two-fluid nozzle in which water and air are mixed and sprayed.

상기 제2세정부는 에어 노즐과 수 노즐을 구비하는 하나 이상의 노즐 세트를 포함할 수 있다.The second cleaning unit may include one or more nozzle sets including an air nozzle and a male nozzle.

상기 하나 이상의 노즐 세트 각각은 수 노즐로 소정 시간 세정 후 에어 노즐로 소정 시간 건조할 수 있다.Each of the one or more nozzle sets may be cleaned with a male nozzle for a predetermined time and then dried for a predetermined time with an air nozzle.

본 발명에 따르면, 반도체 제조 공정에서 발생하는 다량의 미세 입자를 효율적으로 처리할 수 있는 전기 집진 장치가 제공된다. 이러한 전기 집진 장치는 필터와 집진부의 요소들을 세정한 물이 수조 내에서 회전함으로써 함유된 미세 입자들이 퇴적되는 것이 방지된다. 또한, 집진실의 경우에는 에어와 물이 혼합된 이류체 노즐을 채용하여 상대적으로 강한 압력으로 세정수를 분사하여 미세 입자를 제거할 수 있다. 또한 절연실의 경우에는 세정수와 에어를 번갈아 분사하여 세정 후 건조까지 빠르게 수행될 수 있다.According to the present invention, there is provided an electrostatic precipitator capable of efficiently treating a large amount of fine particles generated in a semiconductor manufacturing process. Such an electrostatic precipitator is prevented from accumulating fine particles contained by rotating the water after washing the elements of the filter and the dust collecting unit in the water tank. In addition, in the case of the dust collecting chamber, a two-fluid nozzle in which air and water are mixed is employed, and the washing water can be sprayed with a relatively strong pressure to remove fine particles. In addition, in the case of the insulating room, washing water and air are alternately sprayed to allow rapid drying after washing.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전기 집진 장치를 개략적으로 도시한 정단면도이다.
도 2는 도 1의 전기 집진 장치에 채용된 집진부를 보여주는 도면으로서, (a)는 정단면도이고 (b)는 (a)의 우측에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 1의 전기 집진 장치에 채용된 절연실을 보여주는 도면으로서, (a)는 정단면도이고 (b)는 평면도이며 (c)는 세정 과정을 보여주는 도면이다.
도 4는 도 1의 전기 집진 장치에 채용된 수조부를 보여주는 도면으로서, (a)는 정단면도이고 (b)는 평단면도이다.
도 5는 도 1의 전기 집진 장치의 동작을 설명하기 위해 도시한 도면이다.1 is a front cross-sectional view schematically showing an electric dust collecting device according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a dust collecting unit employed in the electric dust collecting device of FIG. 1, in which (a) is a front cross-sectional view and (b) is a view viewed from the right side of (a).
3 is a view showing an insulating room employed in the electrostatic precipitator of FIG. 1, in which (a) is a front cross-sectional view, (b) is a plan view, and (c) is a view showing a cleaning process.
4 is a view showing a water tank used in the electrostatic precipitator of FIG. 1, (a) is a front cross-sectional view and (b) is a top cross-sectional view.
FIG. 5 is a diagram illustrating an operation of the electrostatic precipitator of FIG. 1.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In describing the embodiments of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전기 집진 장치를 개략적으로 도시한 정단면도이다. 도 2는 도 1의 전기 집진 장치에 채용된 집진부를 보여주는 도면으로서, (a)는 정단면도이고 (b)는 (a)의 우측에서 바라본 도면이다. 도 3은 도 1의 전기 집진 장치에 채용된 절연실을 보여주는 도면으로서, (a)는 정단면도이고 (b)는 평면도이며 (c)는 세정 과정을 보여주는 도면이다. 도 4는 도 1의 전기 집진 장치에 채용된 수조부를 보여주는 도면으로서, (a)는 정단면도이고 (b)는 평단면도이다. 도 5는 도 1의 전기 집진 장치의 동작을 설명하기 위해 도시한 도면이다.1 is a front cross-sectional view schematically showing an electric dust collecting device according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view showing a dust collecting unit employed in the electric dust collecting device of FIG. 1, in which (a) is a front cross-sectional view and (b) is a view viewed from the right side of (a). 3 is a view showing an insulating room employed in the electrostatic precipitator of FIG. 1, in which (a) is a front cross-sectional view, (b) is a plan view, and (c) is a view showing a cleaning process. 4 is a view showing a water tank used in the electrostatic precipitator of FIG. 1, in which (a) is a front cross-sectional view and (b) is a plan cross-sectional view. FIG. 5 is a diagram illustrating an operation of the electrostatic precipitator of FIG. 1.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전기 집진 장치는 하우징(1), 하우징(1) 내 유해가스의 인입측에 배치된 필터부(2), 하우징(1) 내 배치되어 필터부(2)로부터 처리 가스를 전달받아 전기적인 집진을 수행하는 집진부(3), 및 필터부(2)와 집진부(3)의 아래에 배치되어 필터부(2) 및 집진부(3)의 세정에 사용된 물이 수용되는 수조부(4)를 포함한다.The electrostatic precipitator according to a preferred embodiment of the present invention is processed from the filter unit 2 by being disposed in the housing 1, the filter unit 2 disposed on the inlet side of the harmful gas in the housing 1, and the housing 1 A dust collecting unit 3 that receives gas and performs electrical dust collection, and is disposed under the filter unit 2 and the dust collecting unit 3 to receive water used for cleaning the filter unit 2 and the dust collecting unit 3 It includes a water tank (4).

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전기 집진 장치는 수조부(4) 내에서 물이 내벽을 따라 회전하는 구성을 채택한다. 그럼으로써 미세 입자가 벽체 등에 퇴적되지 않게 된다. 이를 위해서, 수조부(4)는 물 회전 수단을 구비한다. 물 회전수단은 물을 수조부(4) 내벽과 나란한 방향으로 배출하도록 설치되는 하나 이상의 배출꼭지(44)를 포함할 수 있다.The electrostatic precipitator according to a preferred embodiment of the present invention adopts a configuration in which water rotates along an inner wall in the water tank 4. This prevents fine particles from being deposited on the wall or the like. To this end, the water tank 4 is provided with water rotating means. The water rotating means may include one or more discharge taps 44 installed to discharge water in a direction parallel to the inner wall of the water tank 4.

하우징(1)은 장치의 요소들을 수용 및 지지하는 역할을 수행한다. 하우징(1)은 필터부(2), 집진부(3), 및 수조부(4)를 위한 공간을 제공하고, 그들을 지지한다. The housing 1 serves to accommodate and support the elements of the device. The housing 1 provides space for the filter portion 2, the dust collecting portion 3, and the water tank portion 4, and supports them.

유해가스가 인입되는 측의 하우징(1) 내에는 필터부(2)가 배치된다. 필터부(2)는 2개의 필터(21, 22)를 구비할 수 있다. 1단계 필터(21)는, 예를 들어, 10 마이크로 이하의 입자를 필터링하도록 구성된다. 2단계 필터(22)는, 예를 들어, 1 내지 5 마이크로 입자를 필터링하도록 구성된다. 이와 같이 필터부(2)를 다단계로 배치할 경우 실질적으로 필터의 사용 주기가 길어지고 필터링 효율이 높다. 단일 필터를 사용할 경우에 1 내지 5 마이크로 입자를 필터링 하는 필터를 배치하여야 하는데, 5 마이크로 이상의 입자의 다수가 먼저 필터를 막게 되는 현상이 발생할 수 있기 때문에, 본 발명에서와 같이 다단계 필터를 배치하면 미세 필터가 조기에 막히는 현상이 발생하지 않는다. 필터부(2)에는 필터(21, 22)를 세정할 수 있는 제3세정부(51)가 배치된다. 제3세정부(51)는 1 및 2단계 필터(22)에 세정수를 분사할 수 있는 복수개의 노즐을 포함한다.A filter unit 2 is disposed in the housing 1 on the side to which noxious gas is introduced. The filter unit 2 may include two filters 21 and 22. The one-stage filter 21 is configured to filter particles of 10 microns or less, for example. The two-stage filter 22 is configured to filter 1 to 5 micro particles, for example. In this way, when the filter unit 2 is arranged in multiple stages, the period of use of the filter is substantially longer and filtering efficiency is high. In the case of using a single filter, a filter for filtering 1 to 5 microparticles should be disposed.Since a phenomenon in which a large number of particles of 5 microns or more block the filter first may occur, when a multi-stage filter is disposed as in the present invention, There is no premature clogging of the filter. A third cleaning unit 51 capable of cleaning the filters 21 and 22 is disposed in the filter unit 2. The third washing unit 51 includes a plurality of nozzles capable of spraying washing water onto the first and second stage filters 22.

집진부(3)는 WET E.P로서 필터부(2)를 통과한 유해가스에 대하여 전기 집진 처리를 수행한다. 집진부(3)는 방전극(31) 및 집진판(32)이 배치되는 집진실과 집진실의 요소들에 전압을 인가하기 위해 마련되는 전기장치 요소들이 배치되는 절연실(33)을 포함한다.The dust collecting unit 3 is a WET E.P and performs electric dust collection treatment on the harmful gas that has passed through the filter unit 2. The dust collecting unit 3 includes a dust collecting chamber in which the discharge electrode 31 and the dust collecting plate 32 are disposed, and an insulating chamber 33 in which electric device elements provided to apply voltage to the elements of the dust collecting chamber are disposed.

도 2의 (a) 및 (b)는 집진부(3)의 집진실을 보여주는 도면으로서, (a)는 개략적인 정단면도이고 (b)는 (a)를 우측에서 바라본 도면이다.2A and 2B are views showing the dust collecting chamber of the dust collecting unit 3, in which (a) is a schematic front cross-sectional view and (b) is a view viewed from the right side.

집진실에는 방전극(31), 집진판(32), 및 제1세정부(52)가 배치된다. 또한 집진실에는 가로방향으로 형성된 수개의 개폐가능한 점검구(34)가 마련되어 원활한 유지보수가 가능하도록 한다.A discharge electrode 31, a dust collecting plate 32, and a first cleaning unit 52 are disposed in the dust collecting chamber. In addition, the dust collecting room is provided with several open and close inspection holes 34 formed in the horizontal direction to enable smooth maintenance.

집진부(3)는 코로나 방전 원리를 이용한 전기집진이 수행되어, 집진실에서 0.1 마이크로 이상의 입자들이 포집된다. 점성이 강한 파우더들이 방전극(31), 집진판(32) 등에 부착되고 있으며, 이들이 고착될 경우 일반적인 물 세정으로는 완전하게 세척되지 않는다. 따라서, 에어를 주입하여 물과 에어의 혼합물이 고압으로 분사될 수 있도록 제1이류체 노즐(521)을 적용한다. 도시한 바와 같이, 제1세정부(52)의 제1이류체 노즐(521)들은 종방향과 횡방향으로 배열된 복수개가 배치되어, 할당된 영역(방전극 및 집진판)에 대하여 집중 세정 동작을 수행한다.The dust collecting unit 3 performs electric dust collection using the corona discharge principle, so that particles of 0.1 microns or more are collected in the dust collection chamber. Strongly viscous powders are attached to the discharge electrode 31, the dust collecting plate 32, and the like, and when they are fixed, they are not completely washed with general water washing. Therefore, the first air nozzle 521 is applied so that the mixture of water and air can be injected at high pressure by injecting air. As shown, a plurality of first air-fluid nozzles 521 of the first cleaning unit 52 are arranged in a longitudinal direction and a transverse direction to perform an intensive cleaning operation on an allocated area (discharge electrode and dust collecting plate). do.

도 3의 본 발명의 전기 집진 장치에 채용된 절연실을 보여주는 도면으로서, (a)는 정단면도이고 (b)는 평면도이며 (c)는 공정 플로우를 나타낸다.3 is a view showing an insulating room employed in the electric dust collector of the present invention, (a) is a front cross-sectional view, (b) is a plan view, and (c) is a process flow.

집진부(3)의 절연실(33)에는 코로나 방전을 위하여 집진실의 방전극(31), 집진판(32) 등과 같은 요소들에 전압을 인가하기 위한 전기장치 요소들이 배치된다. 예를 들어 절연실(33)에는 애자(332)와 같은 요소들이 배치될 수 있다. 파우더가 많이 발생되는 공정에서는 이러한 절연실(33)에도 파우더가 적체되어 집진 동작에 문제를 일으키게 된다. 따라서, 본 발명에서는 절연실(33)에 대한 세정 구성을 채용한다. 예를 들어, 절연실(33)의 요소들을 세정할 수 있는 제2세정부(53)를 포함한다. 제2세정부(53)는 세정수와 에어를 각각 분사하는 세정수 노즐(531)과 에어 노즐(532)이 분리된 노즐 세트인 제2이류체 노즐(531, 532)을 포함한다. 이러한 제2이류체 노즐(531, 532)은 적정한 시간차로 세정수와 물을 각각 분사하여 세정과 건조를 수행한다. 예를 들어, 세정을 위해 세정수 노즐(531)로 약 5초간 세정수를 분사하고, 이어 에어 노즐(532)로 에어를 30초간 분사하여 건조시킬 수 있다.In the insulating chamber 33 of the dust collecting unit 3, electrical device elements for applying voltage to elements such as the discharge electrode 31 and the dust collecting plate 32 of the dust collecting chamber for corona discharge are disposed. For example, elements such as the insulator 332 may be disposed in the insulating chamber 33. In a process in which a lot of powder is generated, the powder is accumulated in the insulating chamber 33 to cause a problem in the dust collection operation. Therefore, in the present invention, a cleaning configuration for the insulating chamber 33 is employed. For example, it includes a second cleaning part 53 capable of cleaning the elements of the insulating chamber 33. The second washing unit 53 includes a washing water nozzle 531 for spraying washing water and air, and second air nozzles 531 and 532 which are nozzle sets in which the air nozzle 532 is separated. The second air nozzles 531 and 532 spray washing water and water at an appropriate time difference to perform washing and drying. For example, for cleaning, washing water may be sprayed through the washing water nozzle 531 for about 5 seconds, and then air may be sprayed through the air nozzle 532 for 30 seconds to dry.

도 4는 본 발명의 전기 집진 장치에 채용된 수조부를 도시한 도면으로서, (a)는 정단면도이고 (b)는 평면도이다.4 is a view showing a water tank used in the electrostatic precipitator of the present invention, (a) is a front cross-sectional view and (b) is a plan view.

수조부(4)는 필터부(2)와 집진부(3)의 아래에 배치되어, 필터부(2)와 집진부(3)에 대한 세정 후 낙하되는 세정수가 모인다. 이러한 세정수에는 파우더가 포함되어 있고, 시간이 경과하면 수조부(4) 내에 적체될 수 있다. 수조부(4) 내에 파우더가 적체되는 것을 방지하기 위한 구성을 채용한다.The water tank 4 is disposed under the filter unit 2 and the dust collecting unit 3 to collect the washing water falling after washing the filter unit 2 and the dust collecting unit 3. The washing water contains powder and may accumulate in the water tank 4 over time. A configuration for preventing the powder from accumulating in the water tank 4 is adopted.

수조부(4)는 수용된 물을 배출하도록 설치되는 드레인 노즐(41), 드레인 배관(미도시), 및 펌프(미도시)를 포함한다. 또한, 수조부(4)는 내부 바닥면(43)이 경사면이고, 경사면의 하위 부근에 드레인 노즐(41)이 배치되어 자연스럽게 해당 부위에 퇴적되는 파우더들을 배출할 수 있게 된다.The water tank 4 includes a drain nozzle 41 installed to discharge the received water, a drain pipe (not shown), and a pump (not shown). In addition, in the water tank 4, the inner bottom surface 43 is an inclined surface, and the drain nozzle 41 is disposed near the lower portion of the inclined surface, so that the powder deposited on the corresponding area can be discharged naturally.

또한 바람직하게는 수조부(4)는, 위에서도 간략하게 설명한 바와 같이, 물 회전 수단을 포함한다. 물 회전 수단은 수조부(4) 내 수용된 물을 수조 내에서 회전시키는 구성이다. 이를 위해서, 수조부(4)는 물을 수조부(4) 내벽을 향해, 또는 내벽과 나란한 방향으로 물을 배출하는 하나 이상의 배출꼭지(44)를 포함한다. 따라서 배출꼭지(44)에서 물이 배출될 때 수조부(4) 내의 물들이 내벽을 따라 회전하여 세정수 내의 파우더들이 벽에 부착되거나 퇴적되는 것을 억제한다. 배출꼭지(44)는 바람직하게는 드레인 배관에 연결되어, 배출되는 배출수의 일부를 배출꼭지(44)로 배출할 수 있다.Also preferably, the water tank 4 includes a water rotating means, as briefly described above. The water rotating means is configured to rotate water contained in the water tank 4 in the water tank. To this end, the water tank part 4 includes one or more discharge taps 44 for discharging water toward the inner wall of the water tank part 4 or in a direction parallel to the inner wall. Therefore, when water is discharged from the discharging faucet 44, the water in the water tank 4 rotates along the inner wall to prevent powders in the washing water from adhering to or depositing on the wall. The discharge faucet 44 is preferably connected to a drain pipe, and a part of the discharged water may be discharged to the discharge faucet 44.

또한 수조부(4)에는 내부를 세정할 수 있는 제4세정부(42)를 포함할 수 있다. 이는 수조부(4)를 세정하기 위해 주기적으로 세정수를 분사하여 수조부(4) 내부를 세정한다.In addition, the water tank 4 may include a fourth washing unit 42 capable of cleaning the inside. This cleans the inside of the water tank 4 by periodically spraying the washing water in order to clean the water tank 4.

도 5는 본 발명의 전기 집진 장치의 동작을 설명하기 위해 도시한 도면이다. 먼저 도면에서 좌상측의 화살표로 나타낸 방향으로 유해가스가 유입되어, 필터부(2)에서 1 및 2 단계 필터링이 수행된 후, 필터링된 가스가 집진부(3)로 전달된다. 유해가스는 집진부(3)에서 코로나 방전에 의해 집진된 후 우상측의 화살표와 같이 배출된다. 이러한 본 발명의 전기 집진 장치는 유해가스 처리 과정 중에 각 요소에 대하여 세정을 실시함으로써 파우더가 적체나 퇴적되는 것을 방지할 수 있고, 장시간 가동하여도 파우더를 포함하는 오염물질의 배출이 원활하게 되어 빈번한 유지보수를 수행하지 않아도 된다.5 is a diagram illustrating the operation of the electrostatic precipitator according to the present invention. First, noxious gas is introduced in the direction indicated by the arrow on the upper left in the drawing, filtering in steps 1 and 2 is performed in the filter unit 2, and then the filtered gas is delivered to the dust collecting unit 3. The harmful gas is collected by corona discharge in the dust collecting unit 3 and then discharged as shown by the arrow on the upper right. The electrostatic precipitator of the present invention can prevent powder from accumulating or accumulating by washing each element during the process of treating harmful gas, and even if it is operated for a long time, pollutants including powder can be discharged smoothly. There is no need to perform maintenance.

이상, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.As described above, in the detailed description of the present invention, specific embodiments have been described, but it will be apparent to those of ordinary skill in the art that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

1: 하우징, 2: 필터부, 3: 집진부, 4: 수조부, 21: 1단계 필터, 22: 2단계 필터, 31: 방전극, 32: 집진판, 33: 절연실, 41: 드레인 노즐, 42: 제4세정부, 43: 내부 바닥면, 44: 배출꼭지, 51: 제3세정부, 52: 제1세정부, 53: 제2세정부 332: 애자, 521: 제1이류체노즐, 531, 532: 제2이류체노즐1: housing, 2: filter unit, 3: dust collecting unit, 4: water tank unit, 21: first-stage filter, 22: second-stage filter, 31: discharge electrode, 32: dust collecting plate, 33: insulation chamber, 41: drain nozzle, 42: 4th tax administration, 43: inner floor surface, 44: drainage faucet, 51: third taxation department, 52: first taxation department, 53: second taxation department 332: insulator, 521: first two-fluid nozzle, 531, 532: second air nozzle

Claims (9)

전기 집진 장치로서:
하우징;
상기 하우징 내 유해가스의 인입측에 배치된 필터부;
상기 하우징 내 배치되어 상기 필터부로부터 처리 가스를 전달받아 전기적인 집진을 수행하는 집진부; 및
상기 필터부 및 상기 집진부의 아래에 배치되어 상기 필터부 및 상기 집진부의 세정에 사용된 물이 수용되는 수조부;를 포함하고,
상기 수조부는 수용된 물을 내부에서 회전시키는 물 회전 수단을 구비하는 것인 전기 집진 장치.
As an electrostatic precipitator:
housing;
A filter unit disposed on the inlet side of the harmful gas in the housing;
A dust collecting unit disposed in the housing to receive processing gas from the filter unit to perform electric dust collection; And
Including; a water tank disposed under the filter unit and the dust collecting unit to receive water used for cleaning the filter unit and the dust collecting unit,
The electric dust collecting device is provided with a water rotating means for rotating the water contained in the water tank portion inside.
 청구항 1에 있어서,
상기 물 회전수단은 물을 상기 수조부 내벽과 나란한 방향으로 배출하도록 설치되는 하나 이상의 배출꼭지를 포함하는 것인 전기 집진 장치.
The method according to claim 1,
The water rotating means is an electric dust collecting device comprising at least one discharging faucet installed to discharge water in a direction parallel to the inner wall of the water tank.
 청구항 1에 있어서,
상기 수조부는 수용된 물을 배출하도록 설치되는 드레인 노즐, 드레인 배관 및 펌프를 구비하는 것인 전기 집진 장치.
The method according to claim 1,
The water tank unit is an electric dust collecting device provided with a drain nozzle, a drain pipe, and a pump installed to discharge the received water.
 청구항 3에 있어서,
상기 하나 이상의 배출꼭지는 상기 드레인 배관의 드레인된 물의 일부를 공급받도록 상기 드레인 배관에 연결되는 것인 전기 집진 장치.
The method of claim 3,
The at least one discharge faucet is connected to the drain pipe to receive a portion of the drained water of the drain pipe.
 청구항 3에 있어서,
상기 수조부의 내부 바닥면은 경사면이고, 상기 노즐은 경사면의 하위에 배치되는 것인 전기 집진 장치.
The method of claim 3,
An electric dust collecting device wherein the inner bottom surface of the water tank part is an inclined surface, and the nozzle is disposed below the inclined surface.
 청구항 1에 있어서, 상기 집진부는:
방전극과 집진판이 설치되는 집진실;
상기 집진실의 요소들에 전압을 인가하기 위하여 마련되는 전기장치 요소들이 배치되는 절연실;
상기 집진실의 요소들을 세정하도록 배치되는 복수개의 노즐을 포함하는 제1세정부; 및
상기 절연실의 요소들을 세정하도록 배치되는 복수개의 노즐을 포함하는 제2세정부;를 포함하는 것인 전기 집진 장치.
The method according to claim 1, wherein the dust collecting unit:
A dust collecting room in which a discharge electrode and a dust collecting plate are installed;
An insulation chamber in which electrical device elements provided to apply voltage to the elements of the dust collection chamber are disposed;
A first cleaning unit including a plurality of nozzles disposed to clean the elements of the dust collecting chamber; And
And a second cleaning unit including a plurality of nozzles disposed to clean the elements of the insulating chamber.
 청구항 6에 있어서,
상기 제1세정부는 물과 에어가 혼합되어 분사되는 이류체 노즐을 포함하는 것인 전기 집진 장치.
The method of claim 6,
The first cleaning unit comprises a two-fluid nozzle in which water and air are mixed and sprayed.
 청구항 6에 있어서,
상기 제2세정부는 에어 노즐과 수 노즐을 구비하는 하나 이상의 노즐 세트를 포함하는 것인 전기 집진 장치.
The method of claim 6,
The second cleaning unit is an electric dust collecting device comprising at least one nozzle set having an air nozzle and a male nozzle.
 청구항 8에 있어서,
상기 하나 이상의 노즐 세트 각각은 수 노즐로 소정 시간 세정 후 에어 노즐로 소정 시간 건조하는 것인 전기 집진 장치.The method of claim 8,
Each of the one or more nozzle sets is cleaned with a male nozzle for a predetermined time and then dried with an air nozzle for a predetermined time.
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