KR20210009543A - Egg membrane humidity sensing apparatus - Google Patents

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KR20210009543A
KR20210009543A KR1020190086207A KR20190086207A KR20210009543A KR 20210009543 A KR20210009543 A KR 20210009543A KR 1020190086207 A KR1020190086207 A KR 1020190086207A KR 20190086207 A KR20190086207 A KR 20190086207A KR 20210009543 A KR20210009543 A KR 20210009543A
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제주대학교 산학협력단
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Abstract

The present disclosure is to provide a device capable of reliably sensing humidity even on a surface of various shapes or a surface that can be deformed into various shapes. The present disclosure may provide a humidity sensor comprising: an egg membrane; and an interdigital electrode formed on the egg membrane.

Description

난막 습도 센싱 장치{EGG MEMBRANE HUMIDITY SENSING APPARATUS}Nanmak humidity sensing device {EGG MEMBRANE HUMIDITY SENSING APPARATUS}

본 개시는 난막을 이용하는 장치에 관하고, 구체적으로, 난막을 이용하여 습도를 센싱하는 장치에 관한다.The present disclosure relates to an apparatus using the egg membrane, and specifically, to an apparatus for sensing humidity by using the egg membrane.

습도 모니터링은 의료, 음식 등 일상생활 및 산업 환경에서 중요한 환경 센싱 요소이다.Humidity monitoring is an important environmental sensing element in daily life and industrial environments such as medical and food.

습도 센서는 저항 (임피던스), 커패시턴스, 표면탄성파 및 압전을 포함하는 다양한 파라미터의 변화를 통해 공기 중의 수분을 검출한다. 특히, 저항 및 커패시턴스 센서는 낮은 비용, 제조의 용이성, 그리고 직접 전기 판독 때문에 전기 회로의 집적 측면에서 관심을 얻었다.The humidity sensor detects moisture in the air through changes in various parameters including resistance (impedance), capacitance, surface acoustic waves, and piezoelectricity. In particular, resistance and capacitance sensors have gained interest in terms of integration of electrical circuits because of their low cost, ease of manufacture, and direct electrical reading.

이에 따라, 저항 및 커패시턴스 센서로서 기능함과 동시에, 다양한 장소에서 효과적으로 습도를 센싱할 수 있는 장치의 개발이 필요한 실정이다.Accordingly, there is a need to develop a device capable of effectively sensing humidity in various places while functioning as a resistance and capacitance sensor.

본 개시는, 다양한 형태의 표면, 또는 다양한 형태로 변형될 수 있는 표면 상에서도 신뢰할 수 있게 (reliably) 습도를 센싱할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.An object of the present disclosure is to provide a device capable of reliably sensing humidity even on a surface of various shapes or on a surface that can be deformed into various shapes.

본 개시는, 유연성을 가지고 구부려질 수 있는 장치를 제공하고자 한다.The present disclosure is intended to provide a device that can be bent with flexibility.

본 개시는, 친환경적인 장치를 제공하고자 한다.The present disclosure is to provide an eco-friendly device.

본 개시는 자가 발전하여 습도를 센싱할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.An object of the present disclosure is to provide a device capable of self-generating and sensing humidity.

본 개시에 의해, 난막 (egg membrane); 및 상기 난막에 형성된 인터디지털 전극을 포함하는 습도 센서가 제공될 수 있다. By the present disclosure, the egg membrane (egg membrane); And a humidity sensor including an interdigital electrode formed on the egg membrane may be provided.

일 실시예에 따르면, 상기 난막은 달걀의 난막인 습도 센서가 제공될 수 있다. According to an embodiment, the egg membrane may be provided with a humidity sensor that is an egg egg membrane.

일 실시예에 따르면, 상기 인터디지털 전극의 핑거폭 (finger width) 및 스페이싱폭 (spacing width) 은 서로 동일한 습도 센서가 제공될 수 있다. According to an embodiment, a humidity sensor having the same finger width and spacing width of the interdigital electrode may be provided.

일 실시예에 따르면, 상기 핑거폭 및 상기 스페이싱폭은 100 μm 인 습도 센서가 제공될 수 있다. According to an embodiment, a humidity sensor having the finger width and the spacing width of 100 μm may be provided.

일 실시예에 따르면, 상기 습도 센서는 별도의 기판을 구비하지 않는 습도 센서가 제공될 수 있다. According to an embodiment, the humidity sensor may be provided with a humidity sensor that does not have a separate substrate.

일 실시예에 따르면, 상기 난막은 액티브 센싱 레이어 및 기판으로 기능하는 습도 센서가 제공될 수 있다. According to an embodiment, the egg membrane may be provided with a humidity sensor that functions as an active sensing layer and a substrate.

일 실시예에 따르면, 임피던스 응답 및 커패시턴스 응답 모두에 의해 습도를 센싱할 수 있는 습도 센서가 제공될 수 있다. According to an embodiment, a humidity sensor capable of sensing humidity by both impedance response and capacitance response may be provided.

일 실시예에 따르면, 상기 난막이 전기 발생 동력으로 기능하는 습도 센서가 제공될 수 있다. According to an embodiment, a humidity sensor in which the egg membrane functions as electricity generation power may be provided.

일 실시예에 따르면, 상기 난막에서 상기 인터디지털 전극이 위치하지 않은 영역에서 마찰전기가 발생하는 습도 센서가 제공될 수 있다. According to an exemplary embodiment, a humidity sensor for generating triboelectricity in a region in the egg membrane where the interdigital electrode is not located may be provided.

일 실시예에 따르면, 상기 난막의 상부 및 하부에 각각 위치하는 2개의 전극; 및 상기 2개의 전극을 봉지하는 봉지부를 더 포함하는 습도 센서가 제공될 수 있다. According to an embodiment, two electrodes respectively positioned above and below the egg membrane; And a humidity sensor may be provided that further includes an encapsulation unit for sealing the two electrodes.

일 실시예에 따르면, 다양한 형태의 표면, 또는 다양한 형태로 변형될 수 있는 표면 상에서도 신뢰할 수 있게 (reliably) 습도를 센싱할 수 있는 장치를 제공할 수 있다.According to an embodiment, a device capable of reliably sensing humidity may be provided on a surface of various shapes or on a surface that can be deformed into various shapes.

일 실시예에 따르면, 유연성을 가지고 구부려질 수 있는 장치를 제공할 수 있다.According to one embodiment, it is possible to provide a device that can be bent with flexibility.

일 실시예에 따르면, 친환경적인 장치를 제공할 수 있다. According to an embodiment, an eco-friendly device may be provided.

일 실시예에 따르면, 자가 발전하여 습도를 센싱할 수 있는 장치를 제공할 수 있다. According to an embodiment, a device capable of self-powered and sensing humidity may be provided.

도 1은, 일 실시예에 따라 달걀로부터 난막을 추출하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 난막의 특성을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 일 실시예에 따라 난막을 포함하는 습도 센서를 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 일 실시예에 따른 습도 센서의 전극의 특성을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 일 실시예에 따른 습도 센서의 임피던스와 상대 습도의 관계를 설명하기 위한 그래프이다.
도 6은 일 실시예에 따른 습도 센서의 커패시턴스와 상대 습도의 관계를 설명하기 위한 그래프이다.
도 7은 일 실시예에 따른 습도 센서의 신뢰성 (reliability) 을 설명하기 위한 그래프이다.
도 8은 일 실시예에 따른 습도 센서의 물 흡수 및 제거 시 차이를 설명하기 위한 그래프이다.
도 9는 일 실시예에 따른 습도 센서의 유연성을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 일 실시예에 따라 난막을 포함하는 전력 발생 장치를 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 일 실시예에 따른 전력 발생 장치에서 전기가 발생하는 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 일 실시예에 따른 전력 발생 장치에서 발생한 전기의 전압을 나타내는 도면이다.
도 13은 일 실시예에 따른 자가 발전 습도 센서의 블록도이다.
도 14는 일 실시예에 따른 자가 발전 습도 센서를 도시한다.
1 is a diagram illustrating a method of extracting egg yolk from an egg according to an exemplary embodiment.
2 is a view for explaining the characteristics of the egg membrane.
3 is a diagram for describing a method of manufacturing a humidity sensor including an egg membrane according to an exemplary embodiment.
4 is a diagram for describing characteristics of electrodes of a humidity sensor according to an exemplary embodiment.
5 is a graph for explaining a relationship between impedance and relative humidity of a humidity sensor according to an exemplary embodiment.
6 is a graph for explaining a relationship between capacitance and relative humidity of a humidity sensor according to an exemplary embodiment.
7 is a graph for explaining the reliability of a humidity sensor according to an embodiment.
8 is a graph for explaining a difference in absorbing and removing water by a humidity sensor according to an exemplary embodiment.
9 is a view for explaining the flexibility of the humidity sensor according to an embodiment.
10 is a diagram for describing a method of manufacturing a power generating device including a Nanmak according to an exemplary embodiment.
11 is a diagram for describing a principle of generating electricity in a power generating device according to an exemplary embodiment.
12 is a diagram illustrating a voltage of electricity generated by a power generating device according to an exemplary embodiment.
13 is a block diagram of a self-generated humidity sensor according to an embodiment.
14 illustrates a self-generated humidity sensor according to an embodiment.

본 발명에서 사용되는 기술적 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아님을 유의해야 한다. 또한, 본 발명에서 사용되는 기술적 용어는 본 발명에서 특별히 다른 의미로 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미로 해석되어야 하며, 과도하게 포괄적인 의미로 해석되거나, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다. 또한, 본 발명에서 사용되는 기술적인 용어가 본 발명의 사상을 정확하게 표현하지 못하는 잘못된 기술적 용어일 때에는, 당업자가 올바르게 이해할 수 있는 기술적 용어로 대체되어 이해되어야 할 것이다. 또한, 본 발명에서 사용되는 일반적인 용어는 사전에 정의되어 있는 바에 따라, 또는 전후 문맥상에 따라 해석되어야 하며, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다.It should be noted that the technical terms used in the present invention are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. In addition, the technical terms used in the present invention should be interpreted as generally understood by those of ordinary skill in the technical field to which the present invention belongs, unless otherwise defined in the present invention, and is excessively comprehensive. It should not be construed as a human meaning or an excessively reduced meaning. In addition, when a technical term used in the present invention is an incorrect technical term that does not accurately express the spirit of the present invention, it should be replaced with a technical term that can be correctly understood by those skilled in the art. In addition, general terms used in the present invention should be interpreted as defined in the dictionary or according to the context before and after, and should not be interpreted as an excessively reduced meaning.

또한, 본 발명에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 본 발명에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 발명에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계를 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.In addition, the singular expression used in the present invention includes a plurality of expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present invention, terms such as “consisting of” or “comprising” should not be construed as necessarily including all of the various elements or various steps described in the invention, and some of the elements or some steps are included. It should be construed that it may not be, or may further include additional components or steps.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the same or similar components are assigned the same reference numerals regardless of the reference numerals, and redundant descriptions thereof will be omitted.

도 1은, 일 실시예에 따라 달걀로부터 난막 (egg membrane) 을 추출하는 방법을 설명하기 위한 도면이다. 일 실시예에 따라 달걀로부터 난막이 추출되었으나, 난막은 닭 이외의 다른 동물의 알로부터 추출될 수도 있다. 일 실시예에 따른 난막으로서 난각막 (egg shell membrane) 이 이용될 수 있다. 일 실시예에 따른 난간막으로서 내난각막 (inner egg shell membrane;IESM) 이 이용될 수 있다. 1 is a view for explaining a method of extracting an egg membrane (egg membrane) from an egg according to an embodiment. Although the egg membrane was extracted from an egg according to an embodiment, the egg membrane may be extracted from eggs of animals other than chicken. As the egg membrane according to an embodiment, an egg shell membrane may be used. As the handrail according to an embodiment, an inner egg shell membrane (IESM) may be used.

IESM은 난각, 즉, 계란 껍질에 붙어 있고, 달걀로부터 IESM을 추출하기 위해, IESM is attached to the egg shell, i.e. the egg shell, to extract IESM from the egg,

도 1에 도시된 바와 같이 달걀을 식초로 소정 시간 이상 처리할 수 있다. 예를 들어, 상온 28도에서 식초에 달걀을 담가둘 수 있다. 시간이 흐름에 따라, 달걀에서 껍질이 제거될 수 있다.As shown in Fig. 1, eggs may be treated with vinegar for a predetermined time or longer. For example, you can soak an egg in vinegar at room temperature of 28 degrees. Over time, the shell can be removed from the egg.

껍질이 제거된, 즉, 위 과정을 통해 처리된 달걀은 고무알 같은 질감을 가질 수 있고, 처리된 달걀은 IESM으로 둘러쌓여 있다. IESM 표면에 구멍을 내고 구멍을 통해 백색난황 과 황색난황을 흘려보냄으로써, 도 1에 도시된 바와 같이 IESM이 획득될 수 있다.Eggs from which the shell has been removed, that is, processed through the above process, can have a rubber-like texture, and the processed eggs are surrounded by IESM. By making a hole on the surface of the IESM and flowing white and yellow yolk through the hole, the IESM can be obtained as shown in FIG. 1.

획득된 IESM은 세척될 수 있다. 세척에 에탄올과 초순수가 이용될 수 있다. IESM은 상온에서 건조될 수 있으나, 드라이어로 건조될 수도 있다.The obtained IESM can be cleaned. Ethanol and ultrapure water can be used for washing. IESM may be dried at room temperature, but may also be dried with a dryer.

도 2는 난막의 특성을 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining the characteristics of the egg membrane.

일 실시예에 따르면, 달걀의 난막으로서, 내난각막 (inner egg shell membrane;IESM) 이 이용될 수 있다. According to an embodiment, as the egg membrane of an egg, an inner egg shell membrane (IESM) may be used.

도 2(a)는 IESM의 단면을 도시한다. 건조된 IESM의 두께는 약 19㎛일 수 있다. 건조된 IESM의 평균값(μ)은 19.67㎛이고, 표준편차(σ)는 0.94㎛이고, 분산(σ²)은 0.89㎛를 나타냈다. 일 실시예에 따른 습도센서에 사용되는 IESM의 두께는 약 19㎛일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.Figure 2(a) shows a cross section of the IESM. The dried IESM may have a thickness of about 19 μm. The average value (μ) of the dried IESM was 19.67 μm, the standard deviation (σ) was 0.94 μm, and the dispersion (σ²) was 0.89 μm. The thickness of the IESM used in the humidity sensor according to an embodiment may be about 19 μm, but is not limited thereto.

도 2(b)는 IESM의 FTIR (form infrared spectroscopy) 결과를 도시한다. 도 2(b)를 참조하면, 일 실시예에 따른습도센서에 사용되는 IESM에서는, C=O 신축 진동 (stretching vibration) 을 나타내는 아미드 I (amide I)의 피크가 약 1650cm-1에서 나타나고, NH 면굽힘 (in plane bending) 과 CN 신축을 나타내는 아미드 II (amide II)의 피크가 약 1440cm-1에서 나타나고, NH 신축 진동을 나타내는 아미드 A (amide A)의 피크가 약 3400cm-1에서 나타날 수 있다. IESM에서는, 흡수 밴드가 670cm-1에서 C-S 결합의 신축 진동을 나타낼 수 있다.2(b) shows the result of FTIR (form infrared spectroscopy) of IESM. Referring to FIG. 2(b), in the IESM used for the humidity sensor according to an embodiment, a peak of amide I representing C=O stretching vibration appears at about 1650cm -1 , and NH The peak of amide II, indicating in plane bending and CN stretching, may appear at about 1440cm -1 , and the peak of amide A, indicating NH stretching vibration, may appear at about 3400cm -1 . . In IESM, the absorption band may exhibit the stretching vibration of the CS coupling at 670 cm -1 .

도 2(c)는 IESM의 표면 모폴로지를 설명하는 그래프이다. 도 2(c)를 참조하면, IESM은 직경 약 5㎛의 기공 및, 교차결합된 직경 약0.5-1.5㎛의 단백질 섬유로 구성될 수 있다.2(c) is a graph illustrating the surface morphology of IESM. Referring to FIG. 2(c), the IESM may be composed of pores having a diameter of about 5 μm and protein fibers having a cross-linked diameter of about 0.5-1.5 μm.

도 2(d)는 IESM의 원소조성을 나타내는 EDS (energy dispersive x-ray spectroscopy) 그래프이다. 도 2(d)를 참조하면, IESM은 C, O, Na, 및 S 를 포함할 수 있고, 이때, 질량비는 각각 67.06%, 27.03%, 0.14%, 및 5.77%일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. IESM은 카르보닐(carbonyl), 아미노 단백질 (amino protein) 및 카복시기(carboxyl group)을 포함할 수 있다.2(d) is an EDS (energy dispersive x-ray spectroscopy) graph showing the element composition of IESM. 2(d), IESM may include C, O, Na, and S, and in this case, the mass ratio may be 67.06%, 27.03%, 0.14%, and 5.77%, respectively, but is not limited thereto. . IESM may include a carbonyl, an amino protein and a carboxyl group.

도 3은 일 실시예에 따라 난막을 포함하는 습도 센서를 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.3 is a diagram for describing a method of manufacturing a humidity sensor including an egg membrane according to an exemplary embodiment.

도 3을 참조하면, 일 실시예에 따른 습도센서는 난막 및 그 난막에 인터디지털 전극 (inter digital electrodes;IDEs)을 형성함으로써 구현될 수 있다. IDEs는 IESM에 프린팅될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 다양한 방법을 통해 IESM 상에 형성될 수 있다. IDEs는 Ag를 포함할 수 있고, Ag 나노 파티클에 의해 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. Referring to FIG. 3, the humidity sensor according to an embodiment may be implemented by forming a egg membrane and inter digital electrodes (IDEs) on the egg membrane. IDEs may be printed on the IESM, but are not limited thereto and may be formed on the IESM through various methods. IDEs may include Ag and may be formed by Ag nanoparticles, but are not limited thereto.

이때, 난막, 즉, IESM은 센서의 기판과 액티브 센싱 레이어 (active sensing layer) 모두로 기능하므로, 얇은 두께의 습도센서가 구현될 수 있다. At this time, since the egg film, that is, the IESM, functions as both the substrate of the sensor and the active sensing layer, a humidity sensor having a thin thickness can be implemented.

IDEs는 전극 자체의 폭인 핑거폭 (finger width) 과 전극 사이 공간의 폭인 스페이싱폭 (spacing width) 에 의해 정의될 수 있다. 예를 들어, IDEs는 100㎛의 핑거폭과 100㎛의 스페이싱폭을 가질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. IDEs의 핑거폭과 스페이싱폭은 200㎛, 300㎛, 400㎛, 등일 수 있으나, 핑거폭과 스페이싱폭은 서로 상이할 수 있다. IDEs can be defined by the finger width, which is the width of the electrode itself, and the spacing width, which is the width of the space between the electrodes. For example, IDEs may have a finger width of 100 μm and a spacing width of 100 μm, but are not limited thereto. The finger width and spacing width of IDEs may be 200 μm, 300 μm, 400 μm, etc., but the finger width and spacing width may be different from each other.

본 개시에서 테스트된 습도센서의 IDEs은 100㎛의 핑거폭과 100㎛의 스페이싱폭을 가지고, 10mm * 4mm 의 면적을 가지는 제 1 습도센서, 12mm * 6mm 의 면적을 가지는 제 2 습도센서가 테스트에 이용되었다.IDEs of the humidity sensor tested in the present disclosure have a finger width of 100㎛ and a spacing width of 100㎛, the first humidity sensor having an area of 10mm * 4mm, the second humidity sensor having an area of 12mm * 6mm for the test. Was used.

도 4는 일 실시예에 따른 습도 센서의 전극의 특성을 설명하기 위한 도면이다.4 is a diagram for describing characteristics of electrodes of a humidity sensor according to an exemplary embodiment.

도 4(a)는 IDEs의 마이크로스코픽 이미지와 2D 나노 형상 (nano profile) 을 도시한다. 도 4(b)는 IDEs의 3D 표면 나노 프로필을 도시한다. 도 4(a) 및 (b) 를 참조하면, IESM에 프린팅된 IDEs는 약 197.33nm의 거칠기(roughness)를 가지고, 균일하게 조직될 수 있다.Figure 4(a) shows a microscopic image of IDEs and a 2D nano profile. Figure 4(b) shows the 3D surface nanoprofiles of IDEs. 4(a) and (b), IDEs printed on IESM have a roughness of about 197.33 nm and may be uniformly structured.

도 4(c)는 IDEs의 높이 형상 (height profile) 에 대한 히스토그램을 도시한다. 도 4(c)를 참조하면, IESM에 프린팅된 IDEs는 약 1.77㎛ 두께를 가질 수 있다.Figure 4(c) shows a histogram for the height profile of IDEs. Referring to FIG. 4(c), IDEs printed on IESM may have a thickness of about 1.77 μm.

도 4(d)는 IDEs의 SEM (scanning electron microscopy) 이미지를 도시한다. Figure 4(d) shows a scanning electron microscopy (SEM) image of IDEs.

도 5는 일 실시예에 따른 습도 센서의 임피던스와 상대 습도의 관계를 설명하기 위한 그래프이다.5 is a graph for explaining a relationship between impedance and relative humidity of a humidity sensor according to an exemplary embodiment.

도 5(a) 및 도 5(b)는 제 1 습도센서의 1Khz 및 10Khz 에서 임피던스와 상대 습도의 관계를 나타낸다. 도 5(c) 및 도 5(d)는 제 2 습도센서의 1Khz 및 10Khz 에서 임피던스와 상대 습도의 관계를 나타낸다.5(a) and 5(b) show the relationship between impedance and relative humidity at 1Khz and 10Khz of the first humidity sensor. 5(c) and 5(d) show the relationship between impedance and relative humidity at 1Khz and 10Khz of the second humidity sensor.

도 5(a) 내지 도 5(d)를 참조하면, 습도 센서는, 상대 습도의 변화에 따라 임피던스가 변화하므로, 즉, 습도 수준의 증가에 따라 임피던스가 감소하므로, 이러한 관계에 의거하여 습도를 센싱할 수 있다. 한편, 아래의 수학식 (1) 에 기초하여, 습도센서의 임피던스 상태는 테스트 주파수에 반비례한다.5(a) to 5(d), since the impedance of the humidity sensor changes according to the change in relative humidity, that is, the impedance decreases as the humidity level increases, the humidity is controlled based on this relationship. You can sense it. On the other hand, based on the following equation (1), the impedance state of the humidity sensor is inversely proportional to the test frequency.

Figure pat00001
(1)
Figure pat00001
(One)

여기서 R, f, 및 C 는 각각 저항, 주파수, 및 커패시턴스이다.Where R, f, and C are resistance, frequency, and capacitance, respectively.

도 6은 일 실시예에 따른 습도 센서의 커패시턴스와 상대 습도의 관계를 설명하기 위한 그래프이다.6 is a graph for explaining a relationship between capacitance and relative humidity of a humidity sensor according to an exemplary embodiment.

도 6(a) 및 도 6(b)는 제 1 습도센서의 1Khz 및 10Khz 에서 커패시턴스와 상대 습도의 관계를 나타낸다. 도 6(c) 및 도 6(d)는 제 2 습도센서의 1Khz 및 10Khz 에서 커패시턴스와 상대 습도의 관계를 나타낸다.6(a) and 6(b) show the relationship between capacitance and relative humidity at 1Khz and 10Khz of the first humidity sensor. 6(c) and 6(d) show the relationship between capacitance and relative humidity at 1Khz and 10Khz of the second humidity sensor.

도 6(a) 내지 도 6(d)를 참조하면, 습도 센서는, 상대 습도의 변화에 따라 커패시턴스가 변화하므로, 즉, 습도 수준의 증가에 따라 커패시턴스가 증가하므로, 이러한 관계에 의거하여 습도를 센싱할 수 있다. 이때, 물분자의 흡수는 유전 계수 (dielectric coefficient) 를 변화시키고, 이로 인해, 습도센서의 커패시턴스를 변화시킬 수 있다. 상대습도의 증가에 따라, 임피던스는 감소하고, 커패시턴스는 증가한다. 한편, 아래의 수학식 (2) 에 기초하여, 습도센서의 커패시턴스는 테스트 주파수의 증가에 따라 감소하고, 이러한 현상은 주파수가 높아질수록 누설 도통 (leakage conduction) 의 유출 등에 의해 발생한다.6(a) to 6(d), the humidity sensor changes the capacitance according to the change of the relative humidity, that is, the capacitance increases with the increase of the humidity level, so that the humidity is increased based on this relationship. You can sense it. At this time, absorption of water molecules changes a dielectric coefficient, and thus, a capacitance of the humidity sensor may be changed. As the relative humidity increases, the impedance decreases and the capacitance increases. On the other hand, based on Equation (2) below, the capacitance of the humidity sensor decreases as the test frequency increases, and this phenomenon occurs due to leakage of leakage conduction or the like as the frequency increases.

Figure pat00002
(2)
Figure pat00002
(2)

여기서,

Figure pat00003
Figure pat00004
은 각각 복소유전상수 (complexe dielectric constant), 예상 커패시턴스, 컨덕턴스, 주파수, 이상적 커패시터의 상대유전상수 (relative dielectric constant), 및 자유 공간의 유전율 (permittivity of free space) 이다.here,
Figure pat00003
Figure pat00004
Is the complex dielectric constant, the expected capacitance, conductance, frequency, the relative dielectric constant of the ideal capacitor, and the permittivity of free space, respectively.

도 7은 일 실시예에 따른 습도 센서의 신뢰성 (reliability) 을 설명하기 위한 그래프이다.7 is a graph for explaining the reliability of a humidity sensor according to an embodiment.

도 7(a) 및 도 7(b)는 제 1 습도센서와 제 2 습도센서의 응답시간 (Tres) 및 회복시간 (Trec) 을 설명하기 위한 그래프이다.7(a) and 7(b) are graphs for explaining a response time (T res ) and a recovery time (T rec ) of the first humidity sensor and the second humidity sensor.

도 7(a)를 참조하면, 제 1 습도센서의 과도 응답 (transient response) 에 있어, 응답시간 (Tres) 및 회복시간 (Trec) 은 각각 약 1.99초 및 약 8.76초를 나타내고, 도 7(b)를 참조하면, 제 2 습도센서의 과도 응답 (transient response) 에 있어, 응답시간 (Tres) 및 회복시간 (Trec) 은 각각 약 2.32초 및 약 9.21초를 나타내고, 이 정도의 빠른 응답시간과 회복시간으로 인해, IESM을 이용한 습도센서는 실생활에서도 충분히 활용될 수 있다.Referring to FIG. 7(a), in the transient response of the first humidity sensor, the response time (T res ) and the recovery time (T rec ) represent about 1.99 seconds and about 8.76 seconds, respectively, and FIG. 7 Referring to (b), in the transient response of the second humidity sensor, the response time (T res ) and the recovery time (T rec ) represent about 2.32 seconds and about 9.21 seconds, respectively. Due to the response time and recovery time, the humidity sensor using IESM can be fully utilized in real life.

도 7(c) 및 도 7(d)는 동일한 환경이 지속될 때 제 1 습도센서와 제 2 습도센서의 임피던스 일관성을 설명하기 위한 그래프이다. 제 1 습도센서와 제 2 습도센서는 120분 동안 챔버에서 1KHz 주파수로 각각 90%, 40%, 및 0% 상대습도 하에서 테스트되었고, 테스트 기간 동안, 상대습도에 대응하는 임피던스가 일관적으로 유지되었다. 이 정도의 일관성으로 인해, IESM을 이용한 습도센서는 실생활에서도 충분히 활용될 수 있다. 7(c) and 7(d) are graphs for explaining impedance consistency between the first humidity sensor and the second humidity sensor when the same environment continues. The first humidity sensor and the second humidity sensor were tested under 90%, 40%, and 0% relative humidity, respectively, at a 1KHz frequency in the chamber for 120 minutes, and during the test period, the impedance corresponding to the relative humidity was consistently maintained. . Due to this degree of consistency, the humidity sensor using IESM can be fully utilized in real life.

도 8은 일 실시예에 따른 습도 센서의 물 흡수 및 제거 시 차이를 설명하기 위한 그래프이다.8 is a graph for explaining a difference in absorbing and removing water by a humidity sensor according to an exemplary embodiment.

도 8(a) 및 도 8(b)는 각각 제 1 습도센서 및 제 2 습도센서에서 물 흡수 및 제거 시 임피던스 변화를 설명하기 위한 그래프이다. 물 흡수 및 제거 시 발생하는 차이는, 히스테리시스 손실 (hysyeresis loss) 에 의해 발생한다. 일 실시예에 따르면, 이러한 손실을 고려하여 습도가 센싱될 수 있다.8(a) and 8(b) are graphs for explaining changes in impedance when water is absorbed and removed by the first humidity sensor and the second humidity sensor, respectively. The difference that occurs during water absorption and removal is caused by hysyeresis loss. According to an embodiment, humidity may be sensed in consideration of this loss.

도 9는 일 실시예에 따른 습도 센서의 유연성을 설명하기 위한 도면이다. 도 9(a) 내지 도 9(c)를 참조하면, 습도센서는 각각 약 5.53mm, 10mm, 및 13.1mm 직경의 물체에 위치되어 습도를 센싱할 수 있다. 도 9(d)를 참조하면, 일 실시예에 따른 습도센서는 다양한 표면 상에서도 상대습도의 변화에 따라 임피던스가 변화하므로, 실생활에서도 유용하게 이용될 수 있다. 특히, 일 실시예에 따른 습도센서는 웨어러블 분야에서도 유용하게 활용될 수 있다.9 is a view for explaining the flexibility of the humidity sensor according to an embodiment. 9(a) to 9(c), the humidity sensor may sense humidity by being positioned on an object having a diameter of about 5.53 mm, 10 mm, and 13.1 mm, respectively. Referring to FIG. 9(d), the humidity sensor according to an exemplary embodiment changes impedance according to a change in relative humidity even on various surfaces, and thus may be usefully used in real life. In particular, the humidity sensor according to an embodiment may be usefully used in the wearable field.

도 9(e)는 임의의 표면에 이전된 후 IDEs의 FESEM (field emission scanning electron microscopy) 이미지를 도시한다. 도 9(e)에 도시된 바와 같이 IDEs가 굽어진 후 IDEs에 형성된 마이크로 크랙(micro crack) 에 의해 센서의 임피던스 응답이 증가한다.9(e) shows a field emission scanning electron microscopy (FESEM) image of IDEs after being transferred to an arbitrary surface. As shown in FIG. 9(e), after the IDEs are bent, the impedance response of the sensor increases due to micro cracks formed in the IDEs.

IESM은 임의의 표면에 자유롭게 위치할 수 있으므로, IESM을 이용한 습도센서는 실생활에서 유용하게 이용될 수 있다.Since the IESM can be freely positioned on any surface, the humidity sensor using the IESM can be usefully used in real life.

도 9(f)는 임의의 표면에 이전된 후 IDEs의 스팟 프로필을 도시한다. 다양한 표면 상에서도 IDEs는 그 조성을 유지할 수 있다.Figure 9(f) shows the spot profile of IDEs after being transferred to any surface. IDEs can maintain their composition even on a variety of surfaces.

도 10은 일 실시예에 따라 난막을 포함하는 전력 발생 장치를 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.10 is a diagram for describing a method of manufacturing a power generating device including a Nanmak according to an exemplary embodiment.

도 10 을 참조하면, 난막, 예를 들어, IESM을 이용하여 전력 발생 장치를 제조할 수 있다. 전력 발생 장치는 나노발생기 (nanogenerator) 로 지칭될 수 있다.Referring to FIG. 10, a power generating device may be manufactured using a Nanmak, for example, IESM. The power generating device may be referred to as a nanogenerator.

일 실시예에 따른 전력 발생 장치는, IESM의 상부 및 하부에 각각 상부 전극과 하부 전극을 형성하고, 전극들로부터 전선을 연결하고, 전극들을 봉지함으로써 제조될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 전극들을 봉지하는 봉지부는 폴리디메틸실록산 (polydimethylsiloxane;PDMS) 으로 형성될 수 있다. The power generating device according to an embodiment may be manufactured by forming an upper electrode and a lower electrode on the upper and lower portions of the IESM, respectively, connecting wires from the electrodes, and encapsulating the electrodes. According to an embodiment, the encapsulation portion for encapsulating the electrodes may be formed of polydimethylsiloxane (PDMS).

도 11은 일 실시예에 따른 전력 발생 장치에서 전기가 발생하는 원리를 설명하기 위한 도면이다.11 is a diagram for describing a principle of generating electricity in a power generating device according to an exemplary embodiment.

도 11을 참조하면, IESM은 다공 구조를 가지므로, IESM에 압력이 가해지는 경우 다공 구조가 눌리면서 마찰전기를 발생시킴으로써, 전기가 발생한다. IESM의 다공 구조 특성으로 인해, 일 실시예에 따른 전력 발생 장치는 압력이 가해진 영역에서만 전기가 발생하는 특성을 가진다.Referring to FIG. 11, since the IESM has a porous structure, when pressure is applied to the IESM, the porous structure is pressed and triboelectricity is generated, thereby generating electricity. Due to the porous structure of the IESM, the power generating device according to an embodiment has a characteristic that electricity is generated only in a region to which pressure is applied.

도 12는 일 실시예에 따른 전력 발생 장치에서 발생한 전기의 전압을 나타내는 도면이다. 도 12 의 좌측 그래프는 발전된 신호를 나타내고, 우측 그래프는 정류회로를 거친 신호를 나타낸다. 12 is a diagram illustrating a voltage of electricity generated by a power generating device according to an exemplary embodiment. The left graph of FIG. 12 shows the developed signal, and the right graph shows the signal passed through the rectifier circuit.

도 13은 일 실시예에 따른 자가 발전 습도 센서의 블록도이다.13 is a block diagram of a self-generated humidity sensor according to an embodiment.

일 실시예에 따른 자가 발전 습도 센서는 전력 발생 장치 (100) 및 습도 센서 (300) 를 포함할 수 있다. 일 실시예에 따른 자가 발전 습도 센서는 전력 발생 장치 (100) 와 습도 센서 (300) 사이에 위치하는 저항 (200) 을 더 포함할 수 있다. The self-generated humidity sensor according to an embodiment may include a power generating device 100 and a humidity sensor 300. The self-generated humidity sensor according to an embodiment may further include a resistor 200 positioned between the power generating device 100 and the humidity sensor 300.

일 실시예에 따른 자가 발전 습도 센서에서는, 하나의 IESM을 이용하여 전력 발생 장치와 습도 센서가 모두 구현될 수 있다. 하나의 IESM을 이용하여 전력 발생 장치와 습도 센서가 모두 구현하는 방법은 도 14를 참조하여 설명한다.In the self-generated humidity sensor according to an embodiment, both a power generating device and a humidity sensor may be implemented using one IESM. A method of implementing both the power generating device and the humidity sensor using one IESM will be described with reference to FIG. 14.

도 14는 일 실시예에 따른 자가 발전 습도 센서를 도시한다.14 illustrates a self-generated humidity sensor according to an embodiment.

도 14를 참조하면, 자가 발전 습도 센서는 난막 (110), 예를 들어, IESM (110), 2개의 전극 (120), 및 봉지부 (130) 를 포함하는 전력 발생 장치를 포함할 수 있고, IESM (110) 상에 형성된 IDEs (320) 를 이용하여 습도를 센싱할 수 있다. 전극 (120) 은 구리 전극을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 14, the self-generating humidity sensor may include a power generation device including a egg membrane 110, for example, an IESM 110, two electrodes 120, and an encapsulation unit 130, Humidity can be sensed using IDEs 320 formed on IESM 110. The electrode 120 may comprise a copper electrode.

일 실시예에 따른 자가 발전 습도 센서는 전력 발생 장치와 습도 센서 사이에 위치하는 저항 (200) 과 저항전극 (210) 을 더 포함할 수 있다. 저항 (200) 은 봉지부에 프린팅될 수 있고, 저항 (200) 은 PEDOT:PSS (poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate), PMMA (poly methyl methacrylate), 등의 재질로 프린팅될 수 있다. 저항전극 (210) 은 Ag 를 포함할 수 있고, Ag 나노 파티클에 의해 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다The self-generating humidity sensor according to an embodiment may further include a resistor 200 and a resistance electrode 210 positioned between the power generating device and the humidity sensor. The resistor 200 may be printed on the encapsulation, and the resistor 200 may be printed with a material such as PEDOT:PSS (poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate), PMMA (poly methyl methacrylate), or the like. The resistance electrode 210 may include Ag, and may be formed of Ag nanoparticles, but is not limited thereto.

일 실시예에 따른 자가 발전 습도 센서는, 하나의 IESM (110) 을 이용하여 전기를 발생시킴과 동시에 습도가 센싱할 수 있다. 일 실시예에 따르면, IESM (110) 의 일부 영역의 상하부에 전극 (120) 이 형성되고, IESM (110) 의 다른 영역에 IDEs (320) 가 형성됨으로써, 전기를 발생시킴과 동시에 습도가 센싱될 수 있다.The self-generating humidity sensor according to an embodiment may generate electricity and sense humidity at the same time using one IESM 110. According to an embodiment, the electrodes 120 are formed in the upper and lower portions of the IESM 110, and the IDEs 320 are formed in the other regions of the IESM 110, thereby generating electricity and sensing humidity. I can.

일 실시예에 따른 자가 발전 습도 센서는 추가 배터리가 필요하지 않으므로, 웨어러블 분야에서 유용하게 이용될 수 있다. 본 개시에서는 습도 센서가 이용되는 것으로 설명되었으나, IESM을 이용한 다른 센서나 다른 디바이스가, IESM을 이용한 전력 발생 장치와 함께 구현될 수 있다. 즉, IESM을 이용하는 다양한 자가 발전 센서, 또는 자가 발전 디바이스가 구현될 수 있다.The self-generating humidity sensor according to an exemplary embodiment does not require an additional battery, and thus may be usefully used in the wearable field. In the present disclosure, it has been described that the humidity sensor is used, but other sensors or other devices using the IESM may be implemented together with the power generation apparatus using the IESM. That is, various self-powered sensors or self-powered devices using IESM may be implemented.

전술한 내용은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above contents may be modified and modified without departing from the essential characteristics of the present invention by those of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain the technical idea, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

100 : 전기 발생 장치
110 : 난막
120 : 전극
130 : 봉지부
200 : 저항
300 : 습도 센싱 장치
320 : 인터디지털 전극
100: electricity generating device
110: Nanmak
120: electrode
130: sealing part
200: resistance
300: humidity sensing device
320: interdigital electrode

Claims (10)

난막 (egg membrane); 및
상기 난막에 형성된 인터디지털 전극을 포함하는 습도 센서.
Egg membrane; And
A humidity sensor comprising an interdigital electrode formed on the egg membrane.
제 1 항에 있어서,
상기 난막은 달걀의 난막인 습도 센서.
The method of claim 1,
The egg membrane is a humidity sensor that is an egg egg membrane.
제 1 항에 있어서,
상기 인터디지털 전극의 핑거폭 (finger width) 및 스페이싱폭 (spacing width) 은 서로 동일한 습도 센서.
The method of claim 1,
A humidity sensor having the same finger width and spacing width of the interdigital electrode.
제 3 항에 있어서,
상기 핑거폭 및 상기 스페이싱폭은 100 μm 인 습도 센서.
The method of claim 3,
The finger width and the spacing width is 100 μm humidity sensor.
제 1 항에 있어서,
상기 습도 센서는 별도의 기판을 구비하지 않는 습도 센서.
The method of claim 1,
The humidity sensor is a humidity sensor that does not have a separate substrate.
제 1 항에 있어서,
상기 난막은 액티브 센싱 레이어 및 기판으로 기능하는 습도 센서.
The method of claim 1,
The egg membrane is a humidity sensor that functions as an active sensing layer and a substrate.
제 1 항에 있어서,
임피던스 응답 및 커패시턴스 응답 모두에 의해 습도를 센싱할 수 있는 습도 센서.
The method of claim 1,
Humidity sensor capable of sensing humidity by both impedance response and capacitance response.
제 1 항에 있어서,
상기 난막이 전기 발생 동력으로 기능하는 습도 센서.
The method of claim 1,
A humidity sensor in which the egg membrane functions as electricity generation power.
제 8 항에 있어서,
상기 난막에서 상기 인터디지털 전극이 위치하지 않은 영역에서 마찰전기가 발생하는 습도 센서.
The method of claim 8,
A humidity sensor generating triboelectric electricity in a region in the egg membrane where the interdigital electrode is not located.
제 8 항에 있어서,
상기 난막의 상부 및 하부에 각각 위치하는 2개의 전극; 및
상기 2개의 전극을 봉지하는 봉지부를 더 포함하는 습도 센서.
The method of claim 8,
Two electrodes respectively positioned above and below the egg membrane; And
Humidity sensor further comprising a sealing portion for sealing the two electrodes.
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