KR20200142749A - 철-니켈 합금 포일 연마 조성물 및 이를 이용한 철-니켈 합금 포일 연마 방법 - Google Patents

철-니켈 합금 포일 연마 조성물 및 이를 이용한 철-니켈 합금 포일 연마 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 과산화수소 0.1 내지 10중량%, 과황산염 0.1 내지 3.0 중량%, 황산 0.01 내지 3.0 중량%, 유기산 0.1 내지 2.0 중량%, 불소 함유 화합물 0.01 내지 2.0 중량%, 안정제 0.05 내지 3.0 중량% 및 잔부 물을 포함하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 압연법 또는 전주법에 의해 제조된 철-니켈 합금 포일의 표면 조도 및 표면 균일성을 최적화하고, 유기발광 다이오드용 미세패턴 금속마스크(Fine Metal Mask)를 제조할 수 있는 연마 조성물이 제공된다. 본 발명에 따른 연마 조성물은 색변화 없이 맑은 상태를 유지하는 것으로 용액 안정성이 우수하며, 환경규제 물질을 포함하고 있지 않으므로, 폐액 처리시에도 안전하다. 또한, 본 발명에 따른 연마 조성물은 높은 철 및 니켈 농도에서도 안정하며, 연마율의 변화가 적으므로 같은 양의 연마액으로 처리할 수 있는 소재의 면적이 증가된되며, 이에 따라 연마액의 교체 시기를 연장하여 보다 경제적인 화학 연마 조성물을 제공할 수 있다. 나아가, 본 발명에 따른 연마 조성물 및 연마방법으로 철-니켈 합금 포일을 화학 연마함으로써, 표면 조도 및 표면 균일성이 우수한 철-니켈 합금 포일을 용이하게 제조할 수 있다. 또한, 낮은 표면 조도 및 이물, 스머트(smut) 및 금속 파티클 등이 없고, 표면 균일성이 우수한 철-니켈 합금 포일을 저비용으로 제조할 수 있으므로 상업적 가치가 우수하다.

Description

철-니켈 합금 포일 연마 조성물 및 이를 이용한 철-니켈 합금 포일 연마 방법 {POLISHING COMPOSITIONS FOR Fe-Ni ALLOY FOIL AND POLISHING METHOD USING THE SAME}
본 발명은 철-니켈 합금 포일 연마 조성물 및 이를 이용한 철-니켈 합금 포일 연마 방법 에 관한 것으로, 보다 상세하게는 저조도이며 균일성이 우수한 철-니켈 합금 소재를 제조할 수 있는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물, 이를 이용한 철-니켈 합금 포일 연마 방법 및 이를 이용하여 연마된 철-니켈 합금 포일에 관한 것이다.
일반적으로 철-니켈 합금 포일(foil)은 조성에 따라 다양한 성질을 갖고 있기 때문에 그 용도 또한 다양하다. 예를 들어, 철-니켈 합금 포일은 OLED (organic light emitting diode, 유기발광다이오드)용 금속 마스크, 자기기록용 박막 헤드, 리드 프레임, 새도우 마스크 등에 사용될 수 있다.
최근, 고해상도 및 저전력을 가지는 표시장치가 요구됨에 따라, 액정표시 장치나 전계 발광 표시장치와 같은 다양한 표시장치들이 개발되고 있다. 전계 발광 표시 장치는 액정표시장치에 비하여 저발광, 저소비전력, 및 고해상도 등의 우수한 특성을 가지며, 이에 따라, 차세대 표시장치로 각광 받고 있다.
이러한, 전계 표시장치는 발광층의 물질에 따라 유기발광 표시장치와 무기 발광 표시장치로 분류될 수 있다. 이중에서도, 유기 발광 표시 장치는 넓은 시야각을 가지고, 빠른 응답속도를 가지며, 저전력이 요구된다는 점에서 주목 받고 있다. 이러한 발광층을 구성하는 유기 물질은 미세 금속마스크 (fine metal mask) 방식에 의하여 기판 상에 화소를 형성하기 위한 패턴이 형성될 수 있다.
이때, 미세 금속마스크, 즉 증착용 마스크는 기판상에 형성될 패턴과 대응되는 관통 홀을 가질 수 있어, 기판 상에 미세금속마스크를 정렬시킨 후, 유기 물질을 증착함에 따라, 화소를 형성하는 빨강(Red), 초록(Green), 파랑(Blue)의 패턴을 형성할 수 있다. 증착용 마스크로 사용될 수 있는 금속판은 식각 공정(습식, 건식)에 의해서 복수개의 관통 홀이 형성될 수 있다. 상기, 복수개의 관통 홀이 균일하지 않을 경우, 증착의 균일성이 저하될 수 있고, 이로 인해 형성되는 패턴의 증착 효율이 저하됨에 따라 공정 효율이 저하되는 문제점이 있다.
한편, 상기 금속판은, 주로 철-니켈 합금 형태로 제조되고 있으며, 이러한, 철-니켈 합금 금속판(포일)은 열팽창계수(Coefficient of Thermal Expansion, CTE)가 낮아 유기발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes)용 기판 및 봉지재, FMM(Fine Metal Mask)용 소재 등으로 이용되기도 하며, 이차전지의 집전체나 전자소자의 기판 등으로 각광을 받고 있는 상황이다.
이와 같이 다양한 분야에 적용되는 철-니켈 합금을 제조하는 방법은 여러 가지가 있으나 압연(Rolling)법과 전주(Electro Forming)법이 널리 알려져 있고, 현재 주로 사용되는 방법은 압연법이다. 그러나, 압연법을 사용하는 경우, 철-니켈 합금의 용해, 단조, 열간 압연, 열처리, 냉간 압연, 열처리 등의 복잡한 공정을 거쳐야 하며 압연 공정은 대규모 설비를 필요로 하므로 에너지 소비가 매우 크다는 단점이 있다. 특히 마이크로미터 두께의 얇은 박막재를 생산할 경우 압연과 열처리를 반복하는 공정을 거쳐야 하고 두께가 얇아질수록 공정이 복잡해 짐은 물론, 크라운 등의 형상 결함이 많이 발생해 실수율도 점점 떨어지고, 일정 이하의 두께는 설비 및 생산에 제약을 받고 있는 실정이다.
이러한 압연법의 한계를 극복하기 위하여 최근, 전기주조(전주법, 또는 전기 도금법)에 의한 철-니켈 합금 박막의 제조에 관한 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 전기주조법은 전해조 내에 설치된 회전하는 원통형의 음극 드럼과 대향하는 한 쌍의 원호 형상의 양극에 둘러싸인 틈으로 급액 노즐을 통해 전해액을 공급하여 전류를 통전함으로써, 상기 음극 드럼의 표면에 철-니켈 합금을 전착시키고, 이를 박리시켜서 포일(금속박)을 얻는 방식으로, 전기주조장치, 전기도금액, 공정 조건 그리고 포일의 특성에 관한 많은 연구가 이루어지고 있다.
특허문헌 1 내지 3에 개시되어 있는 것과 같이, 철-니켈 합금의 유용한 금속 포일을 얻기 위해서는 철-니켈 합금 도금액의 금속 이온과 각종 첨가제가 중요하며 전주법에 의해 제조된 철-니켈 합금 포일은 평균 결정립이 미세하여 기계적 물성 특성이 우수하고, 낮은 제조 비용으로 제조가 가능하여 제조원가가 낮다는 장점이 있다.
그러나 철-니켈 합금 금속 중 50중량% 이상의 철이 함유된 합금을 전기도금으로 얻기 위해서는 철과 니켈의 높은 내부응력 및 석출시 입자 크기 구조에 따라 양호한 표면을 얻기 위하여 각종 첨가제 및 이들의 농도가 엄밀하게 관리되어야 한다. 그러나 상기와 같은 철-니켈 합금 전기도금의 제조 특성상 초기 전기 도금층과 금속 포일의 두께를 증가시키는 말기 전기 도금층의 표면을 동일하게 유지하기 어렵다. 또한, 전기도금용액의 관리 불균일 또는 전해설비 구조나 전해액 유동 등이 불안정한 경우에, 얻어진 금속 포일의 결정립 형상이 불균일해 지면서 표면조도가 높고 외관이 불균일한 제품이 생산되기도 한다.
따라서, CTE, 인장강도, 연성 및 경도가 우수하여 그 용도가 다양한 철-니켈 합금 포일에서 표면조도 및 외관 품질을 개선할 수 있는 방법 및 이에 따라, 개선된 표면 조도 및 외관 품질을 갖는 철-니켈 합금 포일이 요구된다.
미국 공개특허 제 4440609호 미국 공개특허 제 4101387호 미국 공개특허 제 4002543호
본 발명은 상기와 같은 실정을 감안하여 안출된 것으로, 철-니켈 합금 포일의 연마에 사용되는 연마 조성물을 제공하고자 한다. 또한, 본 발명은 상기 연마 조성물을 사용하여 철-니켈 합금 포일을 연마하는 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 과산화수소 0.1 내지 10중량%, 과황산염 0.1 내지 3.0 중량%, 황산 0.01 내지 3.0 중량%, 유기산 0.1 내지 2.0 중량%, 불소 함유 화합물 0.01 내지 2.0 중량%, 안정제 0.05 내지 3.0 중량% 및 잔부 물을 포함하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물이 제공된다.
상기 과황산염이 과황산칼륨, 과황산나트륨 및 과황산암모늄 중에서 선택된 1종 이상일 수 있다.
상기 유기산이 아세트산, 부탄산, 시트르산, 포름산, 글루콘산, 글리콜산, 말론산, 옥살산, 펜탄산, 설포벤조산, 설포석신산, 설포프탈산, 살리실산, 설포살리실산, 벤조산, 락트산, 글리세르산, 석신산, 말산, 타르타르산, 이소시트르산, 프로펜산, 이미노디아세트산 및 에틸렌디아민테트라아세트산 중에서 선택된 1종 이상일 수 있다.
상기 유기산염이 아세트산, 부탄산, 시트르산, 포름산, 글루콘산, 글리콜산, 말론산, 옥살산, 펜탄산, 설포벤조산, 설포석신산, 설포프탈산, 살리실산, 설포살리실산, 벤조산, 락트산, 글리세르산, 석신산, 말산, 타르타르산, 이소시트르산, 프로펜산, 이미노디아세트산 및 에틸렌디아민테트라아세트산 중에서 선택된 1종 이상의 칼륨염, 나트륨염 및 암모늄염 중에서 선택된 1종 이상일 수 있다.
상기 불소 함유 화합물이 불산, 불화암모늄, 불화나트륨, 불화칼륨, 중불화암모늄, 중불화나트륨 및 중불화칼륨 중에서 선택된 1종 이상일 수 있다.
상기 안정제가 염화암모늄, 염화칼륨, 염화나트륨, 황산칼륨, 황산수소칼륨, 황산구리 5수화물 중에서 선택된 1종 이상일 수 있다.
상기 연마 조성물의 pH가 0.5 내지 3.0일 수 있다.
상기 철-니켈 합금 포일은 니켈을 32 내지 50중량% 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 철-니켈 합금 포일을 제공하는 단계; 및 상기 철-니켈 합금 포일을 과산화수소 0.1 내지 10중량%, 과황산염 0.1 내지 3.0 중량%, 황산 0.01 내지 3.0 중량%, 유기산 0.1 내지 2.0 중량%, 불소 함유 화합물 0.01 내지 2.0 중량%, 안정제 0.05 내지 3.0 중량% 및 잔부 물을 포함하는 연마 조성물로 연마하는 단계를 포함하는 철-니켈 합금 포일 연마방법이 제공된다.
상기 연마하는 단계는 철-니켈 합금 포일을 연마 조성물에 침지하거나, 철-니켈 합금 포일 상에 연마 조성물을 분무하는 방식으로 수행될 수 있다.
상기 연마하는 단계가 0.5 내지 5.0kg/㎠ 의 유압에서 수행될 수 있다.
상기 연마 조성물의 온도가 20 내지 50℃일 수 있다.
상기 철-니켈 합금 포일은 니켈을 32 내지 50중량% 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 압연법 또는 전주법에 의해 제조된 철-니켈 합금 포일의 표면 조도 및 표면 균일성을 최적화하고, 유기발광 다이오드용 미세패턴 금속마스크(Fine Metal Mask)를 제조할 수 있는 연마 조성물이 제공된다. 본 발명에 따른 연마 조성물은 색변화 없이 맑은 상태를 유지하는 것으로 용액 안정성이 우수하며, 환경규제 물질을 포함하고 있지 않으므로, 폐액 처리시에도 안전하다. 또한, 본 발명에 따른 연마 조성물은 높은 철 및 니켈 농도에서도 안정하며, 연마율의 변화가 적으므로 같은 양의 연마액으로 처리할 수 있는 소재의 면적이 증가되며, 이에 따라 연마액의 교체 시기를 연장하여 보다 경제적인 화학 연마 조성물을 제공할 수 있다.
나아가, 본 발명에 따른 연마 조성물 및 연마방법으로 철-니켈 합금 포일을 화학 연마함으로써, 표면 조도 및 표면 균일성이 우수한 철-니켈 합금 포일을 용이하게 제조할 수 있다.
또한, 낮은 표면 조도 및 이물, 스머트(smut) 및 금속 파티클 등이 없고, 표면 균일성이 우수한 철-니켈 합금 포일을 저비용으로 제조할 수 있으므로 상업적 가치가 우수하다.
이하, 다양한 실시예를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시 형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
본 발명은 철-니켈 합금 포일 연마 조성물, 이를 이용한 철-니켈 합금 포일 연마 방법 및 이를 이용하여 연마된 철-니켈 합금 포일에 관한 것으로, 보다 상세하게는 저조도이며 균일성이 우수한 철-니켈 합금 소재를 제조할 수 있는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물, 이를 이용한 철-니켈 합금 포일 연마 방법 및 이를 이용하여 연마된 철-니켈 합금 포일에 관한 것이다.
본 발명자는 철-니켈 합금 박의 표면조도를 낮추고 표면 균일성을 높일 수 있는 방안에 대해 깊이 연구하였다. 그 결과, 본 발명에 따른 연마 조성물 및 연마방법을 이용하면, 표면 조도가 낮고 표면 균일성이 우수한 철-니켈 합금 포일을 제공할 수 있음을 확인하고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 과산화수소 0.1 내지 10중량%, 과황산염 0.1 내지 3.0 중량%, 황산 0.01 내지 3.0 중량%, 유기산 0.1 내지 2.0 중량%, 불소 함유 화합물 0.01 내지 2.0 중량%, 안정제 0.05 내지 3.0 중량% 및 잔부 물을 포함하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물이 제공된다.
본 발명의 연마 조성물은 수용액으로서, 잔부는 물이며, 사용될 수 있는 물은 특별하게 제한되지 않는다. 예를 들어, 상기 물은 순수, 초순수, 정제수 및 증류수 등을 사용할 수 있으나, 바람직하게는 반도체급 또는 전자급 초순수일 수 있다.
과산화수소는 주산화제로서 금속막을 연마하는 역할을 수행한다. 상기 과산화수소는 연마 조성물 총 중량을 기준으로 0.1 내지 10.0 중량% 포함되는 것이 바람직하고, 0.5 내지 5.0 중량% 포함되는 것이 보다 바람직하다. 0.1 중량% 미만인 경우, 연마성능이 열위하여, 표면 조도 개선에 불리한 반면, 10.0 중량% 초과일 경우, 수용액 상태인 연마조성물의 용액안정성이 떨어져 연마공정 중 과산화수소의 급격한 산화작용에 의해 표면연마가 불균일해지는 현상의 원인이 된다.
본 발명의 연마조성물은 보조 산화제로 과황산염을 포함한다. 상기 과황산염은 연마 조성물 총 중량을 기준으로 0.1 내지 3.0 중량% 포함되는 것이 바람직하고, 0.5 내지 2.0 중량% 포함되는 것이 보다 바람직하다. 0.1중량% 미만인 경우, 연마속도가 떨어져 충분한 연마가 이루어 지지 않아 평활한 조도를 얻을 수 없다. 반대로 3.0 중량% 초과인 경우, 과연마 발생으로 소재 표면 얼룩 발생의 원인이 될 수 있다
상기 과황산염은 특별하게 한정하는 것은 아니나, 과황산칼륨(K2S2O8), 과황산나트륨(Na2S2O8) 및 과황산암모늄((NH4)2S2O8) 중에서 선택된 1종 이상일 수 있다. 즉, 상기 과황산칼륨, 과황산나트륨 및 과황산암모늄 중 1종 이상의 화합물 또는 혼합물의 형태일 수 있다.
본 발명의 연마 조성물은 pH 조절제로 황산을 포함한다. 상기 황산은 연마 조성물 총 중량을 기준으로 0.01 내지 3.0 중량% 포함되는 것이 바람직하며, 0.1 내지 2.0 중량% 포함되는 것이 보다 바람직하다. 0.01중량% 미만인 경우, 산화철 발생의 원인이 되며, 3.0 중량% 초과인 경우, 연마속도가 지나치게 높아져 과연마의 원인이 된다.
유기산 및/또는 유기산염은 철 및 니켈 이온의 킬레이트로 사용된다. 상기 유기산은 연마 조성물 내의 함량 증가에 따라 연마 속도를 높이고, 유기산염은 연마 조성물 내의 함량이 증가함에 따라 연마 속도를 낮춘다. 상기 유기산염은 킬레이트로 작용하여 연마 조성물 내의 금속 이온과 착화합물을 형성함으로써 소재의 연마 속도를 조절한다. 즉, 연마 조성물 내의 유기산 및/또는 유기산염의 함량을 적절한 수준으로 조절함으로써 연마 속도를 조절할 수 있다.
상기 유기산 또는 유기산염은 연마 조성물 총 중량을 기준으로 0.1 내지 2.0 중량% 포함되는 것이 바람직하며, 0.3 내지 1.5 중량% 포함되는 것이 보다 바람직하다. 0.1중량% 미만인 경우, 처리 능력, 구체적으로, 포일의 균일한 표면조도 및 외관을 얻기 위한 연마처리 상태의 능력 저하로 연마액의 교체 주기가 짧아지는 문제가 있고, 2.0 중량% 초과인 경우 연마 속도의 지나친 증가로 인해 과연마 현상을 발생시킬 수 있다. 즉, 상기 조성 범위를 벗어나는 경우 표면 연마가 정상적으로 이루어지지 않음으로써 재처리가 요구되거나, 처리 속도를 감소시키는 공정처리 능력이 저하된다.
상기 유기산은 카르복시산, 디카르복시산, 트리카르복시산 또는 테트라카르복시산을 포함하는 것일 수 있으며 예를 들어, 아세트산(acetic acid), 부탄산(butanoic acid), 시트르산(citric acid), 포름산(formic acid), 글루콘산(gluconic acid), 글리콜산(glycolic acid), 말론산(malonic acid), 옥살산(oxalic acid), 펜탄산 (pentanoic acid), 설포벤조산(sulfobenzoic acid), 설포석신산(sulfosuccinic acid), 설포프탈산 (sulfophthalic acid), 살리실산(salicylic acid), 설포살리실산(sulfosalicylic acid), 벤조산(benzoic acid), 락트산(lactic acid), 글리세르산(glyceric acid), 석신산(succinic acid), 말산(malic acid), 타르타르산(tartaric acid), 이소시트르산(isocitric acid), 프로펜산(propenoic acid), 이미노디아세트산 (imminodiacetic acid), 및 에틸렌디아민테트라아세트산(ethylenediaminetetraacetic acid; EDTA) 중 에서 선택된 1종 이상의 화합물 또는 혼합물일 수 있다.
한편, 유기산염은 상기 유기산의 칼륨염, 나트륨염 및 암모늄염 중에서 선택된 1종 이상일 수 있다.
불소 함유 화합물은 철-니켈 합금 포일 표면에 형성된 부동태 피막의 제거를 위해 사용된다. 상기 불소 함유 화합물은 연마 조성물 총 중량을 기준으로 0.1 내지 2.0 중량% 포함되는 것이 바람직하며, 0.5 내지 1.5 중량% 포함되는 것이 보다 바람직하다. 0.01 중량% 미만인 경우, 부동태막 제거 능력 부족으로 표면 연마가 불가능하며, 2.0 중량% 초과인 경우, 과연마 및 장비 부품(Parts) 등의 손상의 원인이 될 수 있다.
상기 불소 함유 화합물은 특별하게 한정되지 않으며, 예를 들어, 불산(Hydrofluoric acid), 불화암모늄(ammonium fluoride), 불화나트륨(sodium fluoride), 불화칼륨 (potassium fluoride), 중불화암모늄(ammonium bifluoride), 중불화나트륨(sodium bifluoride) 및 중불화칼륨(potassium bifluoride) 중 에서 선택된 1종 이상의 화합물 또는 혼합물일 수 있다.
본 발명의 연마 조성물은 안정제를 추가로 포함한다. 상기 안정제는 연마처리에 따라 철 및 니켈 이온 농도 증가에 따른 용액 안정성을 유지시켜줄 수 있는 안정제를 의미하며, 안정제의 적절한 사용을 통하여, 연마 조성물의 수명을 연장할 수 있다. 상기 안정제는 연마 조성물 총 중량을 기준으로 0.05 내지 3.0 중량%포함되는 것이 바람직하며, 0.1 내지 2.0 중량% 포함되는 것이 보다 바람직하다. 0.05 중량% 미만인 경우, 연마조성물의 처리 능력 저하로 용액 수명을 단축시키는 반면, 3.0 중량% 초과인 경우, 연마 조성물 내 타 조성물과의 반응성 증가로 인해 소재의 조도 및 약액 석출물 생성 등의 악영향을 발생시킬 수 있다.
상기 안정제는 무기염인 것이 바람직하며 구체적으로, 염화암모늄, 염화칼륨, 염화나트륨, 황산칼륨, 황산수소칼륨, 황산구리 5수화물 중에서 선택된 1종 이상의 화합물 또는 혼합물일 수 있다.
상기 연마조성물의 pH는 0.5 내지 3.0인 것이 바람직하다. pH가 0.5 미만이면, 철-니켈 합금 포일의 표면에서 반응이 급격하며 수소 발생이 크고 피트 발생이 우려되는 반면, pH가 3.0을 초과하면 철 이온의 산화에 의해 연마 조성물의 혼탁도가 심하고, 연마 후 표면에 이물질이 묻어나오는 문제점이 발생할 우려가 있다.
또한, 본 발명의 연마 조성물은 필요에 따라, 연마 조절제, 계면 활성제, 보조 킬레이트 등의 성분을 추가로 포함할 수 있다.
한편, 본 발명에서 상기 철-니켈 합금 포일은 니켈을 32 내지 50중량% 포함하는 것일 수 있다. 니켈 함량이 32 내지 50중량%인 철-니켈 합금 포일은 OLED용 소재로 사용하기에 적합하다. 니켈 함량이 32 중량% 미만인 경우, 열팽창계수가 급격하게 증가하는 문제가 있고, 50중량% 초과인 경우, 열팽창계수가 유리 등에 비해 지나치게 커져 플렉서블 디스플레이용 소재로 적합하게 사용할 수 없게 되는 문제가 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 철-니켈 합금 포일을 제공하는 단계; 및 상기 철-니켈 합금 포일을 과산화수소 0.1 내지 10중량%, 과황산염 0.1 내지 3.0 중량%, 황산 0.01 내지 3.0 중량%, 유기산 0.1 내지 2.0 중량%, 불소 함유 화합물 0.01 내지 2.0 중량%, 안정제 0.05 내지 3.0 중량% 및 잔부 초순수를 포함하는 연마 조성물로 연마하는 단계를 포함하는 철-니켈 합금 포일 연마방법이 제공된다.
본 발명의 연마방법은 압연법, 전주법 등에 의해 제조된 철-니켈 합금박포일 연마에 적용될 수 있으며, 특히, 전주법으로 제조되는 철-니켈 합금포일의 결정립 및 결정구조 특성을 고려하면, 전주법으로 제조되는 철-니켈 합금포일의 연마에 보다 바람직하다. 철-니켈 합금포일 및 연마 조성물에 대해서는 상술하였으므로, 여기에서는 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 연마하는 단계는 철-니켈 합금 포일을 연마 조성물에 침지하거나, 철-니켈 합금 포일 상에 연마 조성물을 분무하는 방식으로 수행될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 연마하는 단계는 0.5 내지 5.0kg/㎠ 의 유압에서 수행되는 것이 바람직하며, 0.5 내지 4.0 kg/㎠ 인 것이 보다 바람직하다. 즉, 연마조성물의 압력이 0.5 내지 5.0kg/㎠ 일 수 있다. 유압이 0.5kg/㎠ 미만이면 연마조성물의 유동이 약하여 반응성이 저하되어 균일한 연마효과가 미약하고, 5.0kg/㎠를 초과하면 연마 조성물의 유동 캐비테이션 및 위치별 편차에 의하여 표면 얼룩 무늬가 발생한다. 유압은 주로 연마 조성물을 분사하여 행하는 분사식에 적용되지만, 침지식의 경우에도, 연마 조성물에 유압을 가하여 제공할 수 있으며, 이러한 경우에 상기 유압 조건으로 연마 조성물을 제공할 수 있다.
상기 연마하는 단계에서 연마 조성물의 온도는 20 내지 50℃인 것이 바람직하고, 25 내지 40 ℃인 것이 보다 바람직하다. 20℃ 미만이면 연마속도의 제어가 어려울 뿐만 아니라, 표면외관을 균일하게 유지시키는 것이 곤란하고, 하절기 용액 온도 제어에 별도의 에너지를 필요로 하므로 바람직하지 않다. 반면, 50℃를 초과하면 연마반응이 급속히 진행되고 흰색 얼룩 발생이 심할 뿐만 아니라 설비의 온도 안정성을 해친다.
본 발명의 다른 또 하나의 측면에 따르면, 상기의 연마방법으로 연마된 철-니켈 합금 포일이 제공되며, 상기 철-니켈 합금 포일의 표면조도는 Ra=0.10㎛, 및 Rz=1.2㎛ 일 수 있다.
상기 철-니켈 합금 포일은 드럼면(광택면)과 용액면(매트면) 모두에서, Ra=0.10㎛, 및 Rz=1.2㎛의 표면조도를 나타내며, 0.10㎛ 이하의 낮은 Ra와 1.2㎛ 이하의 낮은 Rz를 갖는 고품위 표면조도를 갖는 소재는 OLED용 소재로서 요구되는 조건(JIS 규격)을 만족한다. 표면조도(Ra) > 0.10㎛, 또는/및 Rz >1.2㎛이면, 표면이 불균일하여 에칭 공정시, 에칭 깊이의 차이가 발생할 우려가 많아진다. 한편, 드럼면이란 전주장치의 드럼과 직접 접촉되어 있는 면을 말하며, 용액면이란 용액과 접촉되는 면으로서 드럼면의 반대면을 말한다.
상술한 것과 같이, 본 발명의 연마 조성물 및 연마 방법을 적용하면, 철-니켈 합금 포일을 전주법에 의해 연속적으로 제조한 후, 이어서 연속적으로 연마함으로써 표면조도가 낮고 외관 균일성이 우수한 철-니켈 합금 포일을 간편하고 용이하게 제조할 수 있다.
구체적으로 전주법에 의해 제조된 철-니켈 합금포일은 32 내지 50중량% 의 니켈, 잔부 철 및 불가피한 불순물을 포함하는 얇은 극박재 (두께 6 ~ 50㎛)로 제조되며, 이에 따라, 기존 압연방식에서 구현하기 어려운 나노 사이즈의 평균 결정립을 갖는 극박이 용이하게 제조될 수 있다. 이러한, 전주법으로 제조된 철-니켈 합금 포일을 연속적으로 본 발명에 따른 연마 조성물 및 연마 방법으로 화학 연마함으로써, 낮은 표면조도와 고광택의 표면 균일성을 아울러 겸비한 철-니켈 합금 포일이 제공된다.
본 발명에 따라 연마된 철-니켈 합금 포일은 OLED용 소재(예컨대, 봉지재, FMM, 기판 등)뿐만 아니라, 리튬 이온 전지용 전극재료로서도 사용할 수 있으며, 특별히 이에 한정하는 것은 아니다.
이하, 구체적인 실시예를 통해 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다. 하기 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 예시에 불과하며, 본 발명의 범위가 이에 한정되는 것은 아니다.
실시예
과산화수소, 황산, 유기산, 과황산염, 불소함유화합물 및 안정제의 함량을 표 1에 나타낸 것과 같이 제어하여 연마 조성물을 제조하였다. 과황산염은 과황산칼륨(K2S2O8) 를 사용하였고, 불소 함유 화합물로는 불화암모늄(ammonium fluoride) 를 사용하였으며, 안정제로는 염화칼륨 을 사용하였다. 표 1에 ○로 표시된 조성 이외의 잔부는 순수이다.
구분 과산화수소(중량%) 황산(중량%) 유기산(중량%) 과황산염(중량%) 불화물(중량%) 안정제(중량%)
0.09 0.1~10.0 11 0.01 2 3.1 0.1 1 2.1 0.1 1 3.1 0.01 0.1 2.1 0.05 1 3.1
실시예1 - 0 - 0 - - 0 - - 0 - - - 0 - 0 - -
실시예2 - 0 - 0 - - - 0 - 0 - - 0 - - 0 - -
실시예3 - 0 - 0 - - 0 - - 0 - - - - 0 0 - -
실시예4 - 0 - - 0 - 0 - - - 0 - - 0 - 0 - -
실시예5 - 0 - - 0 - 0 - - - 0 - - 0 - - 0 -
실시예6 - 0 - - 0 - - 0 - - - 0 0 - - - - 0
실시예7 - 0 - - - 0 - 0 - - - 0 - - 0 - - -
실시예8 - 0 - 0 - - - 0 - - 0 - 0 - - - 0 -
실시예9 - 0 - - 0 - 0 - - - - 0 - 0 - - - 0
실시예10 0 - - - 0 - - - 0 0 - - - 0 - - 0 -
실시예11 - 0 - - 0 - - - 0 - - 0 0 - - 0 - -
비교예1 - - 0 - 0 - 0 - - - 0 - - 0 - 0 - -
비교예2 - - 0 - - 0 0 - - - 0 - - 0 - - 0 -
비교예3 0 - - - 0 - - 0 - - - 0 0 - - - - 0
비교예4 0 - - - - 0 - - - - - 0 - - 0 - - -
비교예5 - 0 - 0 - - - 0 - - 0 - - 0 - - 0 -
비교예6 - 0 - - 0 - 0 - - - 0 - - 0 - - 0 -
비교예7 - 0 - - 0 - - 0 - - - 0 - - 0 - 0 -
비교예8 - 0 - - 0 - - 0 - - 0 - - 0 - - - 0
비교예9 - 0 - - - 0 - 0 - 0 - - 0 - - 0 - -
비교예10 황산 / 과산화수소 / 불화물 = 2 / 0.6 / 1.5
비교예11 황산 / 과산화수소 / 불화물 = 4 / 2 / 2
비교예12 인산 / 과산화수소 / 불화물 = 3 / 0.6 / 1.5
비교예13 인산 / 과산화수소 / 불화물 = 3 / 0.6 / 3
상기 표 1에 개시된 연마 조성물을 이용하여, 전주법으로 제조된 철-니켈 합금 포일의 연마를 수행하였다. 상기 철-니켈 합금 포일의 니켈 함량은 38중량%였으며, 두께는 20㎛였다. 연마 후 철-니켈 합금 포일의 두께는 18㎛였다.
구체적으로 철-니켈 합금 포일의 연마는 표 1의 실시예 1 내지 6 및 비교예 1 내지 7의 연마 조성물을 이용한 경우, 연마조성물의 pH 1.5, 온도 30℃ 및 공급 유압 3.0 kg/㎠로 설정하고 30 내지 120초 동안 철-니켈 합금 포일에 상기 연마 조성물을 분사하여 수행되었으며, 실시예 7 내지 9 및 비교예 8, 10 및 12의 연마 조성물을 이용한 경우, 연마조성물의 pH 1.8, 온도 40~50℃ 및 공급 유압 1.0 kg/㎠로 설정하고, 30 내지 120초 동안 철-니켈 합금 포일을 상기 연마 조성물에 침지하여 수행하였다. 또한, 실시예 10 및 11과 비교예 9, 11 및 13은 연마 조성물 pH 1.8, 온도 40 내지 50℃로 설정하고, 30 내지 120초 동안 철-니켈 합금 포일을 상기 연마 조성물에 침지하여, 수행하였다.
1. 표면조도의 평가
상기 연마된 철-니켈 합금포일의 표면조도를 평가하여 그 결과를 표 2에 나타내었다. 표면조도의 평가는 상기 연마된 철-니켈 합금포일을 초순수를 이용하여 세정을 실시하고, Air Gun Dry 방식으로 표면의 수분을 제거한 후, 소재 표면에 대해 3D Profiler(면적: 0.5mmX0.4mm)를 이용해 표면의 조도 형성 정도를 분석하여 수행되었다. 3D Profiler를 이용한 표면조도(Ra 및 Rz 측정) 분석을 5점 만점으로 평가하였으며, 조도 형성 정도에 따라 최우수(5점), 우수(4점), 양호(3점), 미흡 (2점), 불량 (1점)으로 부여하였다. 한편, Ra 및 Rz는 드럼면(광택면)과 용액면 (매트면) 모두에서의 조도를 의미한다.
2. 표면 균일성의 평가
상기 연마된 철-니켈 합금포일의 표면 균일성을 평가하여 그 결과를 표 2에 나타내었다. 표면 균일성의 평가는 상기 연마된 철-니켈 합금포일을 초순수를 이용하여 세정을 실시하고, Air Gun Dry 방식으로 표면의 수분을 제거한 후, 연마 후 표면을 광택계(elcometer, 영국)로 측정하고 육안 관찰을 통한 표면 오염 및 잔존물의 유무 상태를 관찰하여 수행되었다. 광택도가 400 이상이고 오염이 없을 경우 최우수(5점), 광택도가 200 내지 400이고 표면 이상이 없을 경우 우수(4점), 광택도가 200 내지 400이고 표면 결함 및 오염이 1 내지 2개일 경우 양호(3점), 광택도가 200 이하일 경우 미흡(2점), 광택도가 200 이하이며 피트(pit) 발생시 불량(1점)으로 부여하였다.
3. 용액안정성 및 처리 능력 평가
표 1의 연마조성물의 용액안정성을 평가하여 표 2에 나타내었다. 용액안정성의 평가는 상기 연마 조성물 내에 인바 소재 합금을 1,000ppm에서 10,000ppm에 이르기까지 1,000ppm 간격으로 용해하였으며, 용해 시간은 30분으로 한정하였다. 각 ppm 별로 용해 후 인바 소재에 대해 옥사이드 제거력, 표면 조도, 표면 균일성을 측정하였다. 위의 평가 결과에 의거하여 용액 안정성을 평가하여, 최우수(5점), 우수(4점), 양호(3점), 미흡(2점), 불량(1점)으로 부여하였다.
표면 조도(Roughness) 표면 균일성 용액 안정성 종합(Total)
Ra Rz
실시예 1 3 3 3 3 양호
실시예 2 3 3 3 3 양호
실시예 3 4 4 4 4 우수
실시예 4 3 3 3 3 양호
실시예 5 3 4 3 3 양호
실시예 6 3 3 3 3 양호
실시예 7 3 3 3 3 양호
실시예 8 4 4 5 5 우수
실시예 9 4 3 5 4 우수
실시예 10 5 5 5 5 우수
실시예 11 4 4 5 4 우수
비교예 1 2 2 2 3 불량
비교예 2 2 1 3 4 불량
비교예 3 1 2 2 3 불량
비교예 4 2 2 2 2 불량
비교예 5 2 2 2 2 불량
비교예 6 1 1 3 3 불량
비교예 7 2 1 2 2 불량
비교예 8 2 2 2 2 불량
비교예 9 2 2 1 2 불량
비교예 10 1 1 3 2 불량
비교예 11 1 1 3 2 불량
비교예 12 1 1 3 2 불량
비교예 13 1 1 3 2 불량
본원발명에서 제안하는 조성 및 함량을 만족하는 실시예 1 내지 11은 비교예 1 내지 13에 비하여 표면 조도가 우수할 뿐만 아니라, 목표로 하는 인바 소재 두께 구현을 위한 표면 균일성을 얻을 수 있었다. 또한, 유기산, 안정제 및 과황산염의 적정 혼합비의 조절을 통해 우수한 용액 안정성 능력을 보유한 연마 조성물에 대한 확인이 가능하였다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.

Claims (13)

  1. 과산화수소 0.1 내지 10중량%, 과황산염 0.1 내지 3.0 중량%, 황산 0.01 내지 3.0 중량%, 유기산 또는 유기산염 0.1 내지 2.0 중량%, 불소 함유 화합물 0.01 내지 2.0 중량%, 안정제 0.05 내지 3.0 중량% 및 잔부 물을 포함하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 과황산염이 과황산칼륨, 과황산나트륨 및 과황산암모늄 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 유기산이 아세트산, 부탄산, 시트르산, 포름산, 글루콘산, 글리콜산, 말론산, 옥살산, 펜탄산, 설포벤조산, 설포석신산, 설포프탈산, 살리실산, 설포살리실산, 벤조산, 락트산, 글리세르산, 석신산, 말산, 타르타르산, 이소시트르산, 프로펜산, 이미노디아세트산 및 에틸렌디아민테트라아세트산 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 유기산염이 아세트산, 부탄산, 시트르산, 포름산, 글루콘산, 글리콜산, 말론산, 옥살산, 펜탄산, 설포벤조산, 설포석신산, 설포프탈산, 살리실산, 설포살리실산, 벤조산, 락트산, 글리세르산, 석신산, 말산, 타르타르산, 이소시트르산, 프로펜산, 이미노디아세트산 및 에틸렌디아민테트라아세트산 중에서 선택된 1종 이상의 칼륨염, 나트륨염 및 암모늄염 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 불소 함유 화합물이 불산, 불화암모늄, 불화나트륨, 불화칼륨, 중불화암모늄, 중불화나트륨 및 중불화칼륨 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 안정제가 염화암모늄, 염화칼륨, 염화나트륨, 황산칼륨, 황산수소칼륨, 황산구리 5수화물 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연마 조성물의 pH가 0.5 내지 3.0인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 철-니켈 합금 포일은 니켈을 32 내지 50중량% 포함하는 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 포일 연마 조성물.
  9. 철-니켈 합금 포일을 제공하는 단계; 및
    상기 철-니켈 합금 포일을 과산화수소 0.1 내지 10중량%, 과황산염 0.1 내지 3.0 중량%, 황산 0.01 내지 3.0 중량%, 유기산 0.1 내지 2.0 중량%, 불소 함유 화합물 0.01 내지 2.0 중량%, 안정제 0.05 내지 3.0 중량% 및 잔부 물을 포함하는 연마 조성물로 연마하는 단계를 포함하는 철-니켈 합금 포일 연마방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 연마하는 단계는 철-니켈 합금 포일을 연마 조성물에 침지하거나, 철-니켈 합금 포일 상에 연마 조성물을 분무하는 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 포일의 연마방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 연마하는 단계가 0.5 내지 5.0kg/㎠ 의 유압에서 수행되는 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 포일의 연마방법.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 연마 조성물의 온도가 20 내지 50℃인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 포일의 연마방법.
  13. 제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 철-니켈 합금 포일은 니켈을 32 내지 50중량% 포함하는 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 포일의 연마방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115448282A (zh) * 2022-09-15 2022-12-09 广东邦普循环科技有限公司 一种镍铁合金制备磷酸铁锂的方法及应用

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4002543A (en) 1974-04-01 1977-01-11 Oxy Metal Industries Corporation Electrodeposition of bright nickel-iron deposits
US4101387A (en) 1974-04-22 1978-07-18 Oxy Metal Industries Corporation Composition for electrodeposition of metal deposits, its method of preparation and uses thereof
US4440609A (en) 1980-12-31 1984-04-03 International Business Machines Corporation Method of electrodepositing a low coercine force, corrosion-resistant alloy of nickel, iron and boron
KR20040035074A (ko) * 2002-10-18 2004-04-29 주식회사 동진쎄미켐 텅스텐 막에 대한 연마 속도가 우수하고 안정성이 뛰어난화학-기계적 연마 슬러리 조성물
JP2005340755A (ja) * 2003-11-14 2005-12-08 Showa Denko Kk 研磨組成物および研磨方法
KR20170063597A (ko) * 2014-09-29 2017-06-08 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드 연마용 조성물 및 연마 방법
KR20180085520A (ko) * 2017-01-19 2018-07-27 이정길 티타늄 및 티타늄합금 제품용 광택 화학연마제 조성물

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4002543A (en) 1974-04-01 1977-01-11 Oxy Metal Industries Corporation Electrodeposition of bright nickel-iron deposits
US4101387A (en) 1974-04-22 1978-07-18 Oxy Metal Industries Corporation Composition for electrodeposition of metal deposits, its method of preparation and uses thereof
US4440609A (en) 1980-12-31 1984-04-03 International Business Machines Corporation Method of electrodepositing a low coercine force, corrosion-resistant alloy of nickel, iron and boron
KR20040035074A (ko) * 2002-10-18 2004-04-29 주식회사 동진쎄미켐 텅스텐 막에 대한 연마 속도가 우수하고 안정성이 뛰어난화학-기계적 연마 슬러리 조성물
JP2005340755A (ja) * 2003-11-14 2005-12-08 Showa Denko Kk 研磨組成物および研磨方法
KR20170063597A (ko) * 2014-09-29 2017-06-08 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드 연마용 조성물 및 연마 방법
KR20180085520A (ko) * 2017-01-19 2018-07-27 이정길 티타늄 및 티타늄합금 제품용 광택 화학연마제 조성물

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115448282A (zh) * 2022-09-15 2022-12-09 广东邦普循环科技有限公司 一种镍铁合金制备磷酸铁锂的方法及应用
CN115448282B (zh) * 2022-09-15 2024-01-05 广东邦普循环科技有限公司 一种镍铁合金制备磷酸铁锂的方法及应用

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