KR20200126462A - Display apparatus and manufacturing the same - Google Patents

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KR20200126462A
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inorganic
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이승재
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윤대상
이제호
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Abstract

The present invention provides a display device in which film deterioration due to external light is minimized, and a manufacturing method thereof. The manufacturing method comprises the steps of: forming an insulating inorganic film on a substrate; forming a display element on the insulating inorganic film; forming a first encapsulated inorganic film on the display element; irradiating light of an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulated inorganic film; and forming an encapsulated organic film on the first encapsulated inorganic film.

Description

디스플레이 장치 및 그 제조방법{Display apparatus and manufacturing the same}Display apparatus and manufacturing method thereof TECHNICAL FIELD

본 발명은 디스플레이 장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 외부 광에 의한 막 변성이 최소화된 디스플레이 장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a display device and a method of manufacturing the same in which film deterioration due to external light is minimized.

디스플레이 장치들 중, 유기발광 디스플레이 장치는 시야각이 넓고 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로서 주목을 받고 있다.Among display devices, an organic light emitting display device is attracting attention as a next-generation display device because it has a wide viewing angle, excellent contrast, and a fast response speed.

일반적으로 유기발광 디스플레이 장치는 기판 상에 박막트랜지스터 및 유기발광소자들을 형성하고, 유기발광소자들이 스스로 빛을 발광하여 작동한다. 이러한 유기발광 디스플레이 장치는 휴대폰 등과 같은 소형 제품의 디스플레이부로 사용되기도 하고, 텔레비전 등과 같은 대형 제품의 디스플레이부로 사용되기도 한다.In general, an organic light emitting display device operates by forming a thin film transistor and organic light emitting devices on a substrate, and the organic light emitting devices emit light by themselves. Such an organic light emitting display device is sometimes used as a display unit for small products such as a mobile phone, or as a display unit for large products such as a television.

유기발광소자들은 수분 및 산소에 취약한 특성을 갖는다. 이에 유기발광소자들 상에 봉지층을 구비하여 유기발광소자들을 밀봉함으로써, 외부로부터 유기발광소자들을 보호할 수 있다. 이러한 봉지층은 유기막과 무기막이 교번하여 적층된 다층 구조를 갖는다.Organic light emitting devices have properties that are vulnerable to moisture and oxygen. Accordingly, by providing an encapsulation layer on the organic light emitting devices to seal the organic light emitting devices, it is possible to protect the organic light emitting devices from outside. This encapsulation layer has a multilayer structure in which organic and inorganic layers are alternately stacked.

그러나 이러한 종래의 디스플레이 장치에는, 봉지층에 포함된 무기막이 외부 광에 의해 막 변성이 일어남에 따라 유기발광소자들의 광 특성 불량 및 디스플레이 장치의 신뢰성이 저하된다는 문제점이 존재하였다.However, in such a conventional display device, as the inorganic film included in the encapsulation layer is denatured by external light, there are problems in that optical characteristics of the organic light emitting devices are poor and the reliability of the display device is deteriorated.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 외부 광에 의한 막 변성이 최소화된 디스플레이 장치 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.The present invention has been made to solve various problems including the above problems, and an object of the present invention is to provide a display device and a method of manufacturing the same, in which film deterioration due to external light is minimized. However, these problems are exemplary, and the scope of the present invention is not limited thereby.

본 발명의 일 관점에 따르면, 기판 상에 절연무기막을 형성하는 단계, 상기 절연무기막 상부에 표시요소를 형성하는 단계 및 상기 표시요소 상에 제1 봉지무기막을 형성하는 단계, 상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계 및 상기 제1 봉지무기막 상에 봉지유기막을 형성하는 단계를 포함하는, 디스플레이 장치의 제조방법이 제공된다.According to one aspect of the present invention, the steps of forming an insulating inorganic film on a substrate, forming a display element on the insulating inorganic film, and forming a first encapsulating inorganic film on the display element, the first encapsulating inorganic film A method of manufacturing a display device is provided, comprising irradiating light of an ultraviolet (UV) wavelength on a film and forming an encapsulating organic film on the first encapsulating inorganic film.

본 실시예에 따르면, 상기 봉지유기막 상에 제2 봉지무기막을 형성하는 단계 및 상기 제2 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계;를 더 포함할 수 있다.According to the present exemplary embodiment, the method may further include forming a second encapsulation inorganic layer on the encapsulation organic layer and irradiating light having an ultraviolet (UV) wavelength on the second encapsulation inorganic layer.

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계는, 상기 제1 봉지무기막에서 수소(H2)를 발생시키는 단계일 수 있다.According to the present embodiment, the irradiation of light having an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulation inorganic film may be a step of generating hydrogen (H 2 ) in the first encapsulation inorganic film.

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 적은 수소(H)기 함량을 가질 수 있다.According to the present embodiment, the first encapsulating inorganic layer may have a smaller hydrogen (H) content than the insulating inorganic layer.

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막은 실리콘나이트라이드(SiNX) 및 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.According to the present embodiment, the first encapsulating inorganic layer may include at least one of silicon nitride (SiN X ) and silicon oxynitride (SiO X N Y ).

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계 이후, 상기 제1 봉지무기막은 하기 [반응식1]을 만족할 수 있다.According to the present embodiment, after the step of irradiating light having an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulated inorganic film, the first encapsulated inorganic film may satisfy the following [Reaction Formula 1].

[반응식1][Scheme 1]

N-Hx + Si-Hy → N-Hx-1 + Si-Hy-1 + H2 NH x + Si-H y → NH x-1 + Si-H y-1 + H 2

Si + N → Si-NSi + N → Si-N

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막은 실리콘옥사이드(SiOx)를 포함할 수 있다.According to the present embodiment, the first encapsulating inorganic layer may include silicon oxide (SiOx).

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계 이후, 상기 제1 봉지무기막은 하기 [반응식2]을 만족할 수 있다.According to the present embodiment, after the step of irradiating light having an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulation inorganic film, the first encapsulation inorganic film may satisfy the following [Scheme 2].

[반응식2][Scheme 2]

O-Hx + Si-Hy → O-Hx-1 + Si-Hy-1 + H2 OH x + Si-H y → OH x-1 + Si-H y-1 + H 2

Si + O → Si-OSi + O → Si-O

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계 이후, 자외선 파장의 영역에서 상기 제1 봉지무기막의 투과율이 상승될 수 있다.According to the present embodiment, after the step of irradiating light having an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulating inorganic film, the transmittance of the first encapsulating inorganic film may be increased in a region of the ultraviolet wavelength.

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계는, 자외선(UV) 파장의 빛을 발광하는 램프 또는 플라즈마 방식을 사용할 수 있다.According to the present embodiment, the irradiation of light having an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulating inorganic layer may use a lamp or plasma method that emits light of an ultraviolet (UV) wavelength.

본 발명의 다른 관점에 따르면, 기판; 상기 기판 상에 배치되고, 절연무기막 및 박막트랜지스터를 포함하는, 화소회로층; 상기 박막트랜지스터에 전기적으로 연결된, 표시요소; 및 상기 표시요소 상에 배치되고, 제1 봉지무기막 및 봉지유기막을 포함하며, 상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 적은 수소(H)기의 함량을 갖는, 박막봉지층을 구비하는, 디스플레이 장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, a substrate; A pixel circuit layer disposed on the substrate and including an insulating inorganic film and a thin film transistor; A display element electrically connected to the thin film transistor; And a first encapsulating inorganic film and an encapsulating organic film disposed on the display element, wherein the first encapsulating inorganic film has a lower content of hydrogen (H) than the insulating inorganic film. Thus, a display device is provided.

본 실시예에 따르면, 상기 박막봉지층은 상기 봉지유기막 상에 배치된 제2 봉지무기막을 더 포함하고, 상기 제2 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 적은 수소(H)기의 함량을 가질 수 있다.According to the present embodiment, the thin film encapsulation layer further includes a second encapsulation inorganic film disposed on the encapsulation organic film, and the second encapsulation inorganic film contains less hydrogen (H) than the insulating inorganic film. Can have.

본 실시예에 따르면, 상기 절연무기막 및 상기 제1 봉지무기막은 실리콘나이트라이드(SiNX) 및 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.According to the present embodiment, the insulating inorganic layer and the first encapsulating inorganic layer may include at least one of silicon nitride (SiN X ) and silicon oxynitride (SiO X N Y ).

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 적은 N-H 결합 및 Si-H 결합을 가질 수 있다.According to the present embodiment, the first encapsulating inorganic layer may have fewer N-H bonds and Si-H bonds than the insulating inorganic layer.

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 많은 Si-N 결합을 가질 수 있다.According to the present embodiment, the first encapsulating inorganic layer may have more Si-N bonds than the insulating inorganic layer.

본 실시예에 따르면, 상기 절연무기막 및 상기 제1 봉지무기막은 실리콘옥사이드(SiOx)를 포함할 수 있다.According to this embodiment, the insulating inorganic layer and the first encapsulating inorganic layer may include silicon oxide (SiOx).

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 적은 O-H 결합 및 Si-H 결합을 가질 수 있다.According to the present embodiment, the first encapsulating inorganic layer may have fewer O-H bonds and Si-H bonds than the insulating inorganic layer.

본 실시예에 따르면, 상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 많은 Si-O 결합을 가질 수 있다.According to this embodiment, the first encapsulating inorganic layer may have more Si-O bonds than the insulating inorganic layer.

본 실시예에 따르면, 자외선(UV) 영역에서 상기 제1 봉지무기막의 투과율은 상기 절연무기막의 투과율보다 더 높을 수 있다.According to this embodiment, the transmittance of the first encapsulating inorganic layer in the ultraviolet (UV) region may be higher than that of the insulating inorganic layer.

본 실시예에 따르면, 상기 표시요소는 화소전극, 상기 화소전극 상부에 위치하는 대향전극 및 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이에 개재되는 발광층을 포함하는 중간층을 구비하며, 상기 박막봉지층은 상기 대향전극 상에 배치되어 상기 표시요소를 외부로부터 완전히 밀봉할 수 있다.According to the present embodiment, the display element includes a pixel electrode, a counter electrode positioned above the pixel electrode, and an intermediate layer including a light emitting layer interposed between the pixel electrode and the counter electrode, and the thin film encapsulation layer is the opposite. It is disposed on the electrode to completely seal the display element from the outside.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features, and advantages other than those described above will become apparent from the detailed content, claims and drawings for carrying out the following invention.

이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.These general and specific aspects may be practiced using a system, method, computer program, or any combination of systems, methods, and computer programs.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 외부 광에 의한 막 변성이 최소화된 디스플레이 장치 및 그 제조방법을 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to an embodiment of the present invention made as described above, it is possible to implement a display device and a method of manufacturing the same in which film deterioration due to external light is minimized. Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(1)를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(1)를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치에 포함될 수 있는 화소의 등가회로도이다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(1)의 제조공정의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도들이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 제조방법을 통해 제조된 디스플레이 장치(1)의 일부를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 관한 디스플레이 장치(1)의 무기막에 광 조사 처리(Solar Treatment)를 하기 전과 후의 성분 비교표이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(1)의 무기막에 광 조사 처리(Solar Treatment)를 하기 전과 후의 투과도 변화를 나타낸 그래프이다. 1 is a schematic perspective view of a display device 1 according to an exemplary embodiment of the present invention.
2 is a schematic plan view of a display device 1 according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is an equivalent circuit diagram of a pixel that may be included in a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 to 7 are cross-sectional views schematically showing a part of a manufacturing process of the display device 1 according to an embodiment of the present invention.
8 is a schematic cross-sectional view of a part of a display device 1 manufactured through a manufacturing method according to an exemplary embodiment of the present invention.
9 is a comparison table of components before and after performing a solar treatment on the inorganic film of the display device 1 according to an embodiment of the present invention.
10 is a graph showing changes in transmittance before and after performing a solar treatment on an inorganic layer of the display device 1 according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. Since the present invention can apply various transformations and have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and will be described in detail in the detailed description. Effects and features of the present invention, and a method of achieving them will be apparent with reference to the embodiments described later in detail together with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and when describing with reference to the drawings, the same or corresponding constituent elements are assigned the same reference numerals, and redundant descriptions thereof will be omitted. .

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, terms such as first and second are not used in a limiting meaning, but are used for the purpose of distinguishing one component from another component.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly indicates otherwise.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the following embodiments, terms such as include or have means that the features or elements described in the specification are present, and do not preclude the possibility of adding one or more other features or elements in advance.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. In the following embodiments, when a part such as a film, a region, or a component is on or on another part, not only the case directly above the other part, but also another film, region, component, etc. are interposed therebetween. This includes cases where there is.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, components may be exaggerated or reduced in size for convenience of description. For example, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, and the present invention is not necessarily limited to what is shown.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다. When a certain embodiment can be implemented differently, a specific process order may be performed differently from the described order. For example, two processes described in succession may be performed substantially simultaneously, or may be performed in an order opposite to the described order.

본 명세서에서 "A 및/또는 B"은 A이거나, B이거나, A와 B인 경우를 나타낸다. 그리고, "A 및 B 중 적어도 하나"는 A이거나, B이거나, A와 B인 경우를 나타낸다.In the present specification, "A and/or B" refers to A, B, or A and B. And, "at least one of A and B" represents the case of A, B, or A and B.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우, 또는/및 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우, 및/또는 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우를 나타낸다. In the following embodiments, when it is said that a film, a region, a component, etc. are connected, a film, a region, a component are directly connected, or/and another film, a region, a component between the film, a region, and the components. Indirectly connected cases are also included. For example, in this specification, when a film, a region, a component, etc. are electrically connected, a film, a region, a component, etc. are directly electrically connected, and/or another film, a region, a component, etc. are interposed therebetween. And indirectly electrically connected.

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(1)로서, 유기 발광 디스플레이 장치를 예로 하여 설명하지만, 본 발명의 디스플레이 장치는 이에 제한되지 않는다. 다른 실시예로서, 본 발명의 디스플레이 장치(1)는 무기 발광 표시 장치(Inorganic Light Emitting Display 또는 무기 EL 표시 장치)이거나, 양자점 발광 표시 장치(Quantum dot Light Emitting Display)와 같은 디스플레이 장치일 수 있다. 예컨대, 디스플레이 장치(1)에 구비된 표시요소의 발광층은 유기물을 포함하거나, 무기물을 포함하거나, 양자점을 포함하거나, 유기물과 양자점을 포함하거나, 무기물과 양자점을 포함할 수 있다.Hereinafter, as the display device 1 according to an embodiment of the present invention, an organic light emitting display device will be described as an example, but the display device of the present invention is not limited thereto. As another embodiment, the display device 1 of the present invention may be an inorganic light emitting display device (Inorganic Light Emitting Display or inorganic EL display device) or a display device such as a quantum dot light emitting display device (Quantum dot Light Emitting Display). For example, the emission layer of the display element provided in the display device 1 may include an organic material, an inorganic material, a quantum dot, an organic material and a quantum dot, or an inorganic material and a quantum dot.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(1)를 개략적으로 도시한 사시도이다.1 is a schematic perspective view of a display device 1 according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 디스플레이 장치(1)는 이미지를 구현하는 표시영역(DA)과 이미지를 구현하지 않는 비표시영역(NDA)을 포함한다. 디스플레이 장치(1)는 표시영역(DA)에 배치된 복수의 화소(P)들에서 방출되는 빛을 이용하여 이미지를 제공할 수 있다.Referring to FIG. 1, the display device 1 includes a display area DA for implementing an image and a non-display area NDA for not implementing an image. The display device 1 may provide an image by using light emitted from the plurality of pixels P arranged in the display area DA.

도 1에서는 표시영역(DA)이 사각형인 디스플레이 장치(1)를 도시하고 있으나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 표시영역(DA)의 형상은 원형, 타원, 또는 삼각형이나 오각형 등과 같은 다각형일 수 있다. 또한, 도 1의 디스플레이 장치(1)는 플랫한 형태의 평판 디스플레이 장치를 도시하나, 디스플레이 장치(1)는 플렉서블, 폴더블, 롤러블 디스플레이 장치 등 다양한 형태로 구현될 수 있음은 물론이다.In FIG. 1, the display device 1 in which the display area DA is a quadrangle is illustrated, but the present invention is not limited thereto. The shape of the display area DA may be a circle, an ellipse, or a polygon such as a triangle or a pentagon. In addition, although the display device 1 of FIG. 1 shows a flat-panel display device in a flat form, the display device 1 may be implemented in various forms such as a flexible, foldable, and rollable display device.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(1)를 개략적으로 나타낸 평면도이다.2 is a schematic plan view of a display device 1 according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 디스플레이 장치(1)는 표시영역(DA)에 배치된 복수의 화소(P)들을 포함한다. 복수의 화소(P)들은 각각 유기발광소자(OLED)와 같은 표시요소를 포함할 수 있다. 각 화소(P)는 유기발광소자(OLED)를 통해 예컨대, 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 빛을 방출할 수 있다. 본 명세서에서의 화소(P)라 함은 전술한 바와 같이 적색, 녹색, 청색, 백색 중 어느 하나의 색상의 빛을 방출하는 화소로 이해할 수 있다. Referring to FIG. 2, the display device 1 includes a plurality of pixels P disposed in the display area DA. Each of the plurality of pixels P may include a display element such as an organic light-emitting device OLED. Each pixel P may emit, for example, red, green, blue, or white light through the organic light-emitting device OLED. In the present specification, the pixel P may be understood as a pixel that emits light of any one color of red, green, blue, and white as described above.

표시영역(DA)은 박막봉지층(300)으로 커버되어 외기 또는 수분 등으로부터 보호될 수 있다. 박막봉지층(300)은 표시영역(DA)의 전면(全面)에 대응되도록 일체(一體)로 구비되며, 기판(100)의 가장자리 측으로 연장되어 일부는 비표시영역(NDA) 상에 위치할 수 있다. 박막봉지층(300)은 후술할 제1 스캔 구동회로(120), 제2 스캔 구동회로(130), 데이터 구동회로(150), 제1 전원공급배선(160), 및 제2 전원공급배선(170)의 일부 또는 전부를 덮도록 구비될 수 있다. 유기발광소자(OLED)는 수분 및 산소 등 외부요인에 취약한 특성을 갖는바, 박막봉지층(300)을 통해 유기발광소자(OLED)를 밀봉함으로써 디스플레이 장치(1)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The display area DA may be covered by the thin film encapsulation layer 300 to be protected from outside air or moisture. The thin film encapsulation layer 300 is provided integrally so as to correspond to the entire surface of the display area DA, and extends toward the edge of the substrate 100 so that a part of the encapsulation layer 300 may be located on the non-display area NDA. have. The thin film encapsulation layer 300 includes a first scan driving circuit 120, a second scan driving circuit 130, a data driving circuit 150, a first power supply wiring 160, and a second power supply wiring ( 170) may be provided to cover part or all of it. Since the organic light-emitting device (OLED) is vulnerable to external factors such as moisture and oxygen, the reliability of the display device 1 can be improved by sealing the organic light-emitting device (OLED) through the thin film encapsulation layer 300.

각 화소(P)는 비표시영역(NDA)에 배치된 외곽회로들과 전기적으로 연결될 수 있다. 비표시영역(NDA)에는 제1 스캔 구동회로(120), 제2 스캔 구동회로(130), 단자(140), 데이터 구동회로(150), 제1 전원공급배선(160), 및 제2 전원공급배선(170)이 배치될 수 있다.Each pixel P may be electrically connected to outer circuits disposed in the non-display area NDA. In the non-display area NDA, a first scan driving circuit 120, a second scan driving circuit 130, a terminal 140, a data driving circuit 150, a first power supply wiring 160, and a second power supply The supply wiring 170 may be arranged.

제1 스캔 구동회로(120)는 스캔선(SL)을 통해 각 화소(P)에 스캔 신호를 제공할 수 있다. 제1 스캔 구동회로(120)는 발광 제어선(EL)을 통해 각 화소에 발광 제어 신호를 제공할 수 있다. 제2 스캔 구동회로(130)는 표시영역(DA)을 사이에 두고 제1 스캔 구동회로(120)와 나란하게 배치될 수 있다. 표시영역(DA)에 배치된 화소(P)들 중 일부는 제1 스캔 구동회로(120)와 전기적으로 연결될 수 있고, 나머지는 제2 스캔 구동회로(130)에 연결될 수 있다. 다른 실시예로, 제2 스캔 구동회로(130)는 생략될 수 있다.The first scan driving circuit 120 may provide a scan signal to each pixel P through the scan line SL. The first scan driving circuit 120 may provide an emission control signal to each pixel through the emission control line EL. The second scan driving circuit 130 may be disposed in parallel with the first scan driving circuit 120 with the display area DA interposed therebetween. Some of the pixels P arranged in the display area DA may be electrically connected to the first scan driving circuit 120, and the rest may be connected to the second scan driving circuit 130. In another embodiment, the second scan driving circuit 130 may be omitted.

단자(140)는 기판(100)의 일 측에 배치될 수 있다. 단자(140)는 절연층에 의해 덮이지 않고 노출되어 인쇄회로기판(PCB)과 전기적으로 연결될 수 있다. 인쇄회로기판(PCB)의 단자(PCB-P)는 디스플레이 장치(1)의 단자(140)와 전기적으로 연결될 수 있다. 인쇄회로기판(PCB)은 제어부(미도시)의 신호 또는 전원을 디스플레이 장치(1)로 전달한다. The terminal 140 may be disposed on one side of the substrate 100. The terminal 140 may be exposed without being covered by an insulating layer to be electrically connected to the printed circuit board (PCB). The terminal PCB-P of the printed circuit board PCB may be electrically connected to the terminal 140 of the display device 1. The printed circuit board (PCB) transmits a signal or power from a control unit (not shown) to the display device 1.

제어부에서 생성된 제어 신호는 인쇄회로기판(PCB)을 통해 제1 및 제2 스캔 구동회로(110, 120)에 각각 전달될 수 있다. 제어부는 제1 및 제2 연결배선(161, 171)을 통해 제1 및 제2 전원공급배선(160, 170)에 각각 제1 및 제2 전원(ELVDD, ELVSS)을 제공할 수 있다. 제1 전원전압(ELVDD)은 제1 전원공급배선(160)과 연결된 구동전압선(PL)을 통해 각 화소(P)에 제공되고, 제2 전원전압(ELVSS)은 제2 전원공급배선(170)과 연결된 각 화소(P)의 대향전극에 제공될 수 있다. The control signals generated by the controller may be transmitted to the first and second scan driving circuits 110 and 120 respectively through a printed circuit board (PCB). The control unit may provide first and second power sources ELVDD and ELVSS to the first and second power supply lines 160 and 170 through the first and second connection lines 161 and 171, respectively. The first power voltage ELVDD is provided to each pixel P through the driving voltage line PL connected to the first power supply line 160, and the second power voltage ELVSS is the second power supply line 170. It may be provided on the counter electrode of each pixel P connected to the.

데이터 구동회로(150)는 데이터선(DL)에 전기적으로 연결된다. 데이터 구동회로(150)의 데이터 신호는 단자(140)에 연결된 연결배선(151) 및 연결배선(151)과 연결된 데이터선(DL)을 통해 각 화소(P)에 제공될 수 있다. 도 2는 데이터 구동회로(150)가 인쇄회로기판(PCB)에 배치된 것을 도시하지만, 다른 실시예로, 데이터 구동회로(150)는 기판(100) 상에 배치될 수 있다. 예컨대, 데이터 구동회로(150)는 단자(140)와 제1 전원공급배선(160) 사이에 배치될 수 있다. The data driving circuit 150 is electrically connected to the data line DL. The data signal of the data driving circuit 150 may be provided to each pixel P through a connection line 151 connected to the terminal 140 and a data line DL connected to the connection line 151. 2 illustrates that the data driving circuit 150 is disposed on the printed circuit board (PCB), in another embodiment, the data driving circuit 150 may be disposed on the substrate 100. For example, the data driving circuit 150 may be disposed between the terminal 140 and the first power supply line 160.

제1 전원공급배선(160, first power supply line)은 표시영역(DA)을 사이에 두고 x방향을 따라 나란하게 연장된 제1 서브배선(162) 및 제2 서브배선(163)을 포함할 수 있다. 제2 전원공급배선(170, second power supply line)은 일측이 개방된 루프 형상으로 표시영역(DA)을 부분적으로 둘러쌀 수 있다.The first power supply line 160 may include a first sub-wire 162 and a second sub-wire 163 extending in parallel in the x direction with the display area DA interposed therebetween. have. The second power supply line 170 may partially surround the display area DA in a loop shape with one side open.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치에 포함될 수 있는 화소의 등가회로도이다.3 is an equivalent circuit diagram of a pixel that may be included in a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 각 화소(P)는 스캔라인(SL) 및 데이터선(DL)에 연결된 화소회로(PC) 및 화소회로(PC)에 연결된 유기발광소자(OLED)를 포함한다.Referring to FIG. 3, each pixel P includes a pixel circuit PC connected to a scan line SL and a data line DL, and an organic light emitting device OLED connected to the pixel circuit PC.

화소회로(PC)는 구동 박막트랜지스터(Td), 스위칭 박막트랜지스터(Ts) 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함한다. 스위칭 박막트랜지스터(Ts)는 스캔라인(SL) 및 데이터선(DL)에 연결되며, 스캔라인(SL)을 통해 입력되는 스캔 신호(Sn)에 따라 데이터선(DL)을 통해 입력된 데이터 신호(Dm)를 구동 박막트랜지스터(Td)로 전달한다. The pixel circuit PC includes a driving thin film transistor Td, a switching thin film transistor Ts, and a storage capacitor Cst. The switching thin film transistor Ts is connected to the scan line SL and the data line DL, and is inputted through the data line DL according to the scan signal Sn input through the scan line SL. Dm) is transferred to the driving thin film transistor Td.

스토리지 커패시터(Cst)는 스위칭 박막트랜지스터(Ts) 및 구동전압선(PL)에 연결되며, 스위칭 박막트랜지스터(Ts)로부터 전달받은 전압과 구동전압선(PL)에 공급되는 제1 전원전압(ELVDD, 또는 구동전압)의 차이에 해당하는 전압을 저장한다.The storage capacitor Cst is connected to the switching thin film transistor Ts and the driving voltage line PL, and the voltage received from the switching thin film transistor Ts and the first power supply voltage ELVDD supplied to the driving voltage line PL, or driving The voltage corresponding to the difference in voltage) is stored.

구동 박막트랜지스터(Td)는 구동전압선(PL)과 스토리지 커패시터(Cst)에 연결되며, 스토리지 커패시터(Cst)에 저장된 전압 값에 대응하여 구동전압선(PL)으로부터 유기발광소자(OLED)를 흐르는 구동 전류를 제어할 수 있다. 유기발광소자(OLED)는 구동 전류에 의해 소정의 휘도를 갖는 빛을 방출할 수 있다.The driving thin film transistor Td is connected to the driving voltage line PL and the storage capacitor Cst, and the driving current flowing from the driving voltage line PL to the OLED in response to the voltage value stored in the storage capacitor Cst Can be controlled. The organic light-emitting device (OLED) may emit light having a predetermined luminance by a driving current.

도 3에서는 화소회로(PC)가 2개의 박막트랜지스터 및 1개의 스토리지 커패시터를 포함하는 경우를 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 다른 실시예로, 화소회로(PC)는 7개의 박막트랜지스터 및 1개의 스토리지 커패시터를 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 화소회로(PC)는 2개 이상의 스토리지 커패시터를 포함할 수도 있다.In FIG. 3, a case where the pixel circuit PC includes two thin film transistors and one storage capacitor has been described, but the present invention is not limited thereto. In another embodiment, the pixel circuit PC may include seven thin film transistors and one storage capacitor. In another embodiment, the pixel circuit PC may include two or more storage capacitors.

도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(1)의 제조공정의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도들이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 제조방법을 통해 제조된 디스플레이 장치(1)의 일부를 개략적으로 도시한 단면도이다.4 to 7 are cross-sectional views schematically showing a part of a manufacturing process of the display device 1 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a display manufactured through a manufacturing method according to an embodiment of the present invention. It is a cross-sectional view schematically showing a part of the device 1.

먼저 도 4를 참조하면, 기판(100) 상에 절연무기막(110)을 형성할 수 있다.First, referring to FIG. 4, an insulating inorganic film 110 may be formed on the substrate 100.

기판(100)은 글래스 또는 고분자 수지를 포함할 수 있다. 고분자 수지는 폴리에테르술폰(PES, polyethersulfone), 폴리아크릴레이트(PAR, polyacrylate), 폴리에테르 이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelene n napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌 설파이드(PPS, polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(PI, polyimide), 폴리카보네이트(PC, polycarbonate) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(CAP, cellulose acetate propionate) 등을 포함할 수 있다. 고분자 수지를 포함하는 기판(100)은 플렉서블, 롤러블 또는 벤더블 특성을 가질 수 있다. 기판(100)은 전술한 고분자 수지를 포함하는 층 및 무기층(미도시)을 포함하는 다층 구조일 수 있다.The substrate 100 may include glass or a polymer resin. Polymer resins are polyethersulfone (PES), polyacrylate (PAR, polyacrylate), polyetherimide (PEI), polyethylene naphthalate (PEN, polyethyelene n napthalate), polyethylene terephthalide (PET, polyethyeleneterepthalate). , Polyphenylene sulfide (PPS), polyallylate, polyimide (PI), polycarbonate (PC, polycarbonate) or cellulose acetate propionate (CAP) can do. The substrate 100 including the polymer resin may have flexible, rollable, or bendable characteristics. The substrate 100 may have a multilayer structure including an inorganic layer (not shown) and a layer including the aforementioned polymer resin.

절연무기막(110)은 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다. 절연무기막(110)은 예컨대, 실리콘옥사이드(SiO2), 실리콘나이트라이드(SiNx), 실리콘옥시나이트라이드(SiON), 알루미늄옥사이드(Al2O3), 티타늄옥사이드(TiO2), 탄탈륨옥사이드(Ta2O5), 하프늄옥사이드(HfO2), 또는 징크옥사이드(ZnO2) 등을 포함할 수 있다.The inorganic insulating film 110 may be formed as a single layer or multiple layers. The insulating inorganic film 110 is, for example, silicon oxide (SiO 2 ), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), titanium oxide (TiO 2 ), tantalum oxide ( Ta 2 O 5 ), hafnium oxide (HfO 2 ), or zinc oxide (ZnO 2 ) may be included.

절연무기막(110)은 화소회로(PC)을 포함할 수 있다. 절연무기막(110)이 화소회로(PC)를 포함한다고 함은, 절연무기막(110)이 다층의 무기막들을 포함하고, 화소회로(PC)를 구성하는 전극 및 배선들이 무기막들 사이에 개재되며, 무기막들의 일부에 형성된 컨택홀을 통해 전극 및 배선들이 서로 전기적으로 연결되는 것으로 이해될 수 있다.The inorganic insulating layer 110 may include a pixel circuit PC. That the inorganic insulating film 110 includes the pixel circuit PC means that the inorganic insulating film 110 includes multiple inorganic films, and electrodes and wirings constituting the pixel circuit PC are interposed between the inorganic films. It may be understood that electrodes and wires are electrically connected to each other through contact holes formed in some of the inorganic layers.

도 8을 참조하면, 절연무기막(110)은 버퍼층(112), 게이트절연층(114) 및 층간절연층(116)을 포함할 수 있다. 즉, 절연무기막(110)은 버퍼층(112), 게이트절연층(114) 및 층간절연층(116)을 포함하는 다층 구조일 수 있다. 버퍼층(112), 게이트절연층(114) 및 층간절연층(116)은 예컨대, 실리콘옥사이드(SiOX), 실리콘나이트라이드(SiNX) 및 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 버퍼층(112), 게이트절연층(114) 및 층간절연층(116)은 화학기상증착법(CVD), 예컨대 플라즈마화학기상증착법(PECVD, Plasma Enhanced CVD)등으로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 8, the insulating inorganic layer 110 may include a buffer layer 112, a gate insulating layer 114, and an interlayer insulating layer 116. That is, the inorganic insulating layer 110 may have a multilayer structure including the buffer layer 112, the gate insulating layer 114, and the interlayer insulating layer 116. The buffer layer 112, the gate insulating layer 114, and the interlayer insulating layer 116 include, for example, at least one of silicon oxide (SiO X ), silicon nitride (SiN X ), and silicon oxynitride (SiO X N Y ). Can include. In addition, the buffer layer 112, the gate insulating layer 114, and the interlayer insulating layer 116 may be formed by a chemical vapor deposition method (CVD), for example, a plasma chemical vapor deposition method (PECVD, Plasma Enhanced CVD).

버퍼층(112)은 기판(100) 상에 배치되어, 기판(100)의 상면을 평탄화하게 하고, 기판(100)으로부터 불순물이 유입되는 것을 차단하는 기능을 할 수 있다.The buffer layer 112 may be disposed on the substrate 100 to flatten the upper surface of the substrate 100 and may function to block impurities from flowing into the substrate 100.

상술한 것과 같이, 절연무기막(110)은 화소회로(PC)를 포함할 수 있으며, 화소회로(PC)는 도 8과 같이 박막트랜지스터(TFT)를 포함할 수 있다. 박막트랜지스터(TFT)는 반도체층(111), 반도체층(111)과 적어도 일부가 중첩하도록 배치된 게이트전극(113) 및 반도체층(111)과 전기적으로 연결된 소스전극(115a) 및 드레인전극(115b)을 포함한다. 도 8에서는, 게이트전극(113)이 반도체층(111) 상부에 위치한 탑게이트형의 박막트랜지스터(TFT)를 개시하나, 다른 실시예로 박막트랜지스터(TFT)는 게이트전극(113)이 반도체층(111) 하부에 위치한 바텀게이트형의 박막트랜지스터(TFT)로 구비될 수도 있다.As described above, the insulating inorganic layer 110 may include a pixel circuit PC, and the pixel circuit PC may include a thin film transistor TFT as shown in FIG. 8. The thin film transistor (TFT) includes a semiconductor layer 111, a gate electrode 113 disposed to partially overlap the semiconductor layer 111, and a source electrode 115a and a drain electrode 115b electrically connected to the semiconductor layer 111. ). In FIG. 8, a top gate type thin film transistor (TFT) is disclosed in which the gate electrode 113 is positioned on the semiconductor layer 111, but in another embodiment, the gate electrode 113 is a semiconductor layer ( 111) It may be provided as a bottom gate type thin film transistor (TFT) located below.

반도체층(111)은 버퍼층(112) 상에 형성될 수 있다. 반도체층(111)은 산화물반도체 또는 실리콘반도체를 포함할 수 있다. 반도체층(111)이 산화물반도체로 형성되는 경우, 예컨대 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn), 지르코늄(Zr), 바나듐(V), 하프늄(Hf) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge) 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 및 아연(Zn)을 포함하는 군에서 선택된 적어도 하나 이상의 물질의　산화물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 반도체층(111)은 ITZO(InSnZnO) 반도체층, IGZO(InGaZnO) 반도체층 등일 수 있다. 반도체층(111)이 실리콘반도체로 형성되는 경우, 예컨대 아모퍼스 실리콘(a-Si) 또는 저온 폴리 실리콘(Low Temperature Poly-Silicon; LTPS)을 포함할 수 있다.The semiconductor layer 111 may be formed on the buffer layer 112. The semiconductor layer 111 may include an oxide semiconductor or a silicon semiconductor. When the semiconductor layer 111 is formed of an oxide semiconductor, for example, indium (In), gallium (Ga), tin (Sn), zirconium (Zr), vanadium (V), hafnium (Hf) cadmium (Cd), germanium ( Ge) may include an oxide of at least one material selected from the group including chromium (Cr), titanium (Ti), and zinc (Zn). For example, the semiconductor layer 111 may be an ITZO (InSnZnO) semiconductor layer, an IGZO (InGaZnO) semiconductor layer, or the like. When the semiconductor layer 111 is formed of a silicon semiconductor, it may include, for example, amorphous silicon (a-Si) or low temperature poly-silicon (LTPS).

반도체층(111) 상에는 게이트절연층(114)을 사이에 두고 게이트전극(113)이 형성될 수 있다. 예컨대, 게이트전극(113)은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 니켈(Li), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 구리(Cu) 가운데 선택된 하나 이상의 금속으로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다. 게이트전극(113)은 게이트전극(113)에 전기적 신호를 인가하는 게이트 라인과 연결될 수 있다.A gate electrode 113 may be formed on the semiconductor layer 111 with the gate insulating layer 114 therebetween. For example, the gate electrode 113 is aluminum (Al), platinum (Pt), palladium (Pd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), nickel (Ni), neodymium (Nd), iridium ( Ir), chromium (Cr), nickel (Li), calcium (Ca), molybdenum (Mo), titanium (Ti), tungsten (W), copper (Cu) can be formed in a single layer or multi-layer have. The gate electrode 113 may be connected to a gate line that applies an electrical signal to the gate electrode 113.

게이트전극(113) 상에는 층간절연층(116)을 사이에 두고 소스전극(115a) 및/또는 드레인전극(115b)이 형성될 수 있다. 소스전극(115a) 및/또는 드레인전극(115b)은 층간절연층(116) 및 게이트절연층(114)에 형성된 컨택홀을 통해 반도체층(111)과 전기적으로 연결될 수 있다. A source electrode 115a and/or a drain electrode 115b may be formed on the gate electrode 113 with the interlayer insulating layer 116 therebetween. The source electrode 115a and/or the drain electrode 115b may be electrically connected to the semiconductor layer 111 through contact holes formed in the interlayer insulating layer 116 and the gate insulating layer 114.

다시 도 4를 참조하면, 절연무기막(110) 상에는 절연유기막(180)이 형성될 수 있다. 도 4에서 절연유기막(180)은 단층으로 도시되나, 절연유기막(180)은 다층으로 형성될 수 있다. 절연유기막(180)은 화소회로(PC)의 상면을 평탄화하게 하여, 유기발광소자(OLED)가 위치할 면을 평탄화하게 할 수 있다. Referring back to FIG. 4, an insulating organic layer 180 may be formed on the insulating inorganic layer 110. In FIG. 4, the insulating organic layer 180 is illustrated as a single layer, but the insulating organic layer 180 may be formed in multiple layers. The insulating organic layer 180 may flatten the top surface of the pixel circuit PC, thereby flattening the surface on which the organic light emitting device OLED will be positioned.

절연유기막(180)은 예컨대, BCB(Benzocyclobutene), 폴리이미드(polyimide), HMDSO(Hexamethyldisiloxane), Polymethylmethacrylate(PMMA)나, Polystylene(PS)과 같은 일반 범용고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 블렌드 등을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 절연유기막(180)은 유기물질 및 무기물질을 포함할 수도 있다.The insulating organic film 180 is, for example, a general-purpose polymer such as Benzocyclobutene (BCB), polyimide, Hexamethyldisiloxane (HMDSO), Polymethylmethacrylate (PMMA) or Polystylene (PS), a polymer derivative having a phenolic group, an acrylic polymer , Imide polymer, aryl ether polymer, amide polymer, fluorine polymer, p-xylene polymer, vinyl alcohol polymer, and blends thereof. In another embodiment, the insulating organic layer 180 may include an organic material and an inorganic material.

절연유기막(180) 상에는 화소전극(210)이 형성될 수 있다. 화소전극(210)은 (반)투광성 전극 또는 반사 전극일 수 있다. 화소전극(210)은 절연유기막(180)에 형성된 컨택홀을 통해 화소회로(PC)와 전기적으로 연결될 수 있다.A pixel electrode 210 may be formed on the insulating organic layer 180. The pixel electrode 210 may be a (semi)transmissive electrode or a reflective electrode. The pixel electrode 210 may be electrically connected to the pixel circuit PC through a contact hole formed in the insulating organic layer 180.

일 실시예로, 화소전극(210)은 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 및 이들의 화합물 등으로 형성된 반사막과, 반사막 상에 형성된 투명 또는 반투명 전극층을 구비할 수 있다. 투명 또는 반투명 전극층은 인듐틴산화물(ITO; indium tin oxide), 인듐아연산화물(IZO; indium zinc oxide), 아연산화물(ZnO; zinc oxide), 인듐산화물(In2O3; indium oxide), 인듐갈륨산화물(IGO; indium gallium oxide) 및 알루미늄아연산화물(AZO; aluminum zinc oxide)를 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 하나 이상을 구비할 수 있다. 예컨대, 화소전극(210)은 ITO/Ag/ITO로 적층된 구조로 구비될 수 있다. In one embodiment, the pixel electrode 210 includes a reflective film formed of Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, and compounds thereof, and a transparent or translucent electrode layer formed on the reflective film. can do. The transparent or translucent electrode layer is indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium oxide (In2O3), and indium gallium oxide (IGO). ; At least one selected from the group including indium gallium oxide) and aluminum zinc oxide (AZO) may be provided. For example, the pixel electrode 210 may be provided in a stacked structure of ITO/Ag/ITO.

절연유기막(180) 상에는 화소정의막(190)이 형성될 수 있다. 화소정의막(190)은 화소전극(210)의 중앙부가 노출되도록 하는 개구부(190OP)를 가짐으로써 화소의 발광영역을 정의하는 역할을 할 수 있다. 또한, 화소정의막(190)은 화소전극(210)의 가장자리와 화소전극(210) 상부의 대향전극(230)의 사이의 거리를 증가시킴으로써 화소전극(210)의 가장자리에서 아크 등이 발생하는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다. 화소정의막(190)는 예컨대, 폴리이미드, 폴리아마이드(Polyamide), 아크릴 수지, 벤조사이클로부텐, HMDSO(hexamethyldisiloxane) 및 페놀 수지 등과 같은 유기 절연 물질을 포함하며, 스핀 코팅 등의 방법으로 형성될 수 있다.A pixel defining layer 190 may be formed on the insulating organic layer 180. The pixel defining layer 190 has an opening 190OP through which the central portion of the pixel electrode 210 is exposed, thereby defining a light emitting area of the pixel. In addition, by increasing the distance between the edge of the pixel electrode 210 and the counter electrode 230 above the pixel electrode 210, the pixel defining layer 190 prevents arcing at the edge of the pixel electrode 210. It can play a role of preventing. The pixel defining layer 190 includes, for example, an organic insulating material such as polyimide, polyamide, acrylic resin, benzocyclobutene, hexamethyldisiloxane (HMDSO), and phenol resin, and may be formed by a method such as spin coating. have.

화소정의막(190)에 의해 노출된 화소전극(210) 상에는 유기발광층을 포함하는 중간층(220)이 형성될 수 있다. 유기발광층은 적색, 녹색, 청색, 또는 백색의 빛을 방출하는 형광 또는 인광 물질을 포함하는 유기물을 포함할 수 있다. 유기발광층은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물로 형성될 수 있다. An intermediate layer 220 including an organic light emitting layer may be formed on the pixel electrode 210 exposed by the pixel definition layer 190. The organic emission layer may include an organic material including a fluorescent or phosphorescent material that emits red, green, blue, or white light. The organic light-emitting layer may be formed of a low molecular weight organic material or a high molecular weight organic material.

도시되지는 않았으나, 유기발광층의 아래 및 위에는, 홀 수송층(HTL; hole transport layer), 홀 주입층(HIL; hole injection layer), 전자 수송층(ETL; electron transport layer) 및 전자 주입층(EIL; electron injection layer) 등과 같은 기능층이 선택적으로 더 배치될 수 있다. 화소전극(210)은 복수 개 구비될 수 있는데, 중간층(220)은 복수의 화소전극(210) 각각에 대응하여 배치될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않는다. 중간층(220)은 복수의 화소전극(210)에 걸쳐서 일체인 층을 포함할 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다.Although not shown, below and above the organic light emitting layer, a hole transport layer (HTL), a hole injection layer (HIL), an electron transport layer (ETL), and an electron injection layer (EIL) A functional layer such as injection layer) may be optionally further disposed. A plurality of pixel electrodes 210 may be provided, and the intermediate layer 220 may be disposed corresponding to each of the plurality of pixel electrodes 210. However, it is not limited thereto. The intermediate layer 220 may be modified in various ways, such as including an integral layer over the plurality of pixel electrodes 210.

중간층(220) 상에는 대향전극(230)이 형성될 수 있다. 대향전극(230)은 투광성 전극 또는 반사 전극일 수 있다. 일 실시예로, 대향전극(230)은 투명 또는 반투명 전극일 수 있으며, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg 및 이들의 화합물을 포함하는 일함수가 작은 금속 박막으로 형성될 수 있다. A counter electrode 230 may be formed on the intermediate layer 220. The counter electrode 230 may be a translucent electrode or a reflective electrode. In one embodiment, the counter electrode 230 may be a transparent or translucent electrode, and is a metal thin film having a small work function including Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg, and compounds thereof. Can be formed.

선택적 실시예로, 대향전극(230) 상에는 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3 등의 TCO(transparent conductive oxide)막이 더 배치될 수 있다. 대향전극(230)은 표시영역(DA) 및 비표시영역(NDA)에 걸쳐 배치되며, 중간층(220)과 화소정의막(190)의 상부에 배치될 수 있다. 대향전극(230)은 복수의 유기발광소자(OLED)들에 있어서 일체(一體)로 형성되어 복수의 화소전극(210)에 대응할 수 있다.In an alternative embodiment, a transparent conductive oxide (TCO) film such as ITO, IZO, ZnO, or In 2 O 3 may be further disposed on the counter electrode 230. The counter electrode 230 is disposed over the display area DA and the non-display area NDA, and may be disposed on the intermediate layer 220 and the pixel defining layer 190. The counter electrode 230 may be formed integrally with the plurality of organic light emitting devices (OLEDs) to correspond to the plurality of pixel electrodes 210.

화소전극(210)이 반사전극, 대향전극(230)이 투광성 전극으로 구비되는 경우, 중간층(220)에서 방출되는 광은 대향전극(230) 측으로 방출되어, 디스플레이 장치는 전면(全面) 발광형이 될 수 있다. When the pixel electrode 210 is provided as a reflective electrode and the counter electrode 230 is a light-transmitting electrode, light emitted from the intermediate layer 220 is emitted toward the counter electrode 230, so that the display device is of a full emission type. Can be.

다른 실시예로, 화소전극(210)이 투명 또는 반투명 전극으로 구성되고, 대향전극(230)이 반사 전극으로 구성되는 경우, 중간층(220)에서 방출된 광은 기판(100) 측으로 방출되어, 디스플레이 장치는 배면 발광형이 될 수 있다. 그러나, 본 실시예는 이에 한정되지 않으며, 본 실시예의 디스플레이 장치는 전면 및 배면 양 방향으로 광을 방출하는 양면 발광형일 수도 있다.In another embodiment, when the pixel electrode 210 is composed of a transparent or semi-transparent electrode and the counter electrode 230 is composed of a reflective electrode, light emitted from the intermediate layer 220 is emitted toward the substrate 100, The device can be of a back-emitting type. However, the present embodiment is not limited thereto, and the display device of the present embodiment may be a two-sided light emitting type that emits light in both the front and rear directions.

그 후 도 5 내지 도 7에 도시된 것과 같이, 대향전극(230) 상에는 박막봉지층(300)이 형성될 수 있다. 박막봉지층(300)은 적어도 하나의 유기막 및 적어도 하나의 무기막을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예와 같은 전면발광형 디스플레이 장치(1)에 있어서, 박막봉지층(300)은 유기발광소자(OLED) 상부에 위치하여, 유기발광소자(OLED)에서 방출된 빛은 박막봉지층(300)을 통해 외부로 시인될 수 있다.Thereafter, as shown in FIGS. 5 to 7, a thin film encapsulation layer 300 may be formed on the counter electrode 230. The thin film encapsulation layer 300 may include at least one organic film and at least one inorganic film. In the top emission type display device 1 as in the embodiment of the present invention, the thin film encapsulation layer 300 is located on the organic light emitting device (OLED), and the light emitted from the organic light emitting device (OLED) is encapsulated in a thin film. It may be visually recognized to the outside through the layer 300.

이러한 박막봉지층(300)은 디스플레이 장치(1)의 상층부에 위치하여 외부에서 입사되는 자외선(UV)에 노출되기 쉽다. 특히, 박막봉지층(300)의 무기막에 자외선(UV)이 조사되는 경우 무기막의 광특성이 변화하여 가시광 영역에서 투과율이 상승하는 변화가 발생한다. 이러한 무기막의 투과율 상승은 청색광에서 더욱 큰 변화를 나타내는데, 이 경우 표시영역(DA)에서 표현되는 이미지가 청색화(bluish)되는 문제점이 있다. 또한, 박막봉지층(300)의 무기막에 자외선(UV)이 조사되는 경우 무기막 내에 수소결합이 해리됨에 따라 수소(H2)가 발생되고, 발생된 수소(H2)의 아웃개스로 인해 유기발광소자(OLED)의 불량이 발현되는 문제점이 있다.The thin film encapsulation layer 300 is located on the upper layer of the display device 1 and is easily exposed to ultraviolet rays (UV) incident from the outside. Particularly, when ultraviolet (UV) rays are irradiated to the inorganic film of the thin film encapsulation layer 300, the optical characteristics of the inorganic film change, and thus, a change in the transmittance increases in the visible light region. The increase in the transmittance of the inorganic layer shows a larger change in blue light, and in this case, there is a problem in that the image expressed in the display area DA becomes blueish. In addition, when the inorganic film of the thin film encapsulation layer 300 is irradiated with ultraviolet rays (UV), hydrogen (H 2 ) is generated as hydrogen bonds are dissociated in the inorganic film, and due to outgassing of the generated hydrogen (H 2 ). There is a problem in that the organic light emitting device (OLED) is defective.

본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(1)에서는 박막봉지층(300)에 포함된 무기막을 형성한 후, 무기막에 자외선(UV)을 선 조사하여 무기막의 막특성을 강제적으로 변화시킴으로써, 외부에서 입사되는 자외선(UV)에 의해 무기막의 투과율이 변화하여 표시영역(DA) 전체의 색감이 변화되거나, 수소(H2)와 같은 아웃개스로 인해 유기발광소자(OLED)의 불량을 최소화시킬 수 있다.In the display device 1 according to an embodiment of the present invention, after forming the inorganic film included in the thin film encapsulation layer 300, by forcibly changing the film properties of the inorganic film by irradiating ultraviolet rays (UV) on the inorganic film, The transmittance of the inorganic film is changed by ultraviolet rays (UV) incident from the outside, so that the color of the entire display area (DA) is changed, or defects in the organic light emitting diode (OLED) due to outgases such as hydrogen (H 2 ) are minimized. I can.

도 5를 참조하면, 대향전극(230) 상에는 제1 봉지무기막(310)을 형성할 수 있다. 제1 봉지무기막(310)은 예컨대, 실리콘옥사이드(SiO2), 실리콘나이트라이드(SiNx), 실리콘옥시나이트라이드(SiON), 알루미늄옥사이드(Al2O3), 티타늄옥사이드(TiO2), 탄탈륨옥사이드(Ta2O5), 하프늄옥사이드(HfO2), 또는 징크옥사이드(ZnO2) 등을 포함할 수 있다. 이러한 제1 봉지무기막(310)은 화학기상증착법(CVD), 예컨대 플라즈마화학기상증착법(PECVD, Plasma Enhanced CVD)등으로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 5, a first encapsulating inorganic layer 310 may be formed on the counter electrode 230. The first encapsulating inorganic film 310 is, for example, silicon oxide (SiO 2 ), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), titanium oxide (TiO 2 ), tantalum Oxide (Ta 2 O 5 ), hafnium oxide (HfO 2 ), or zinc oxide (ZnO 2 ) may be included. The first encapsulating inorganic film 310 may be formed by a chemical vapor deposition method (CVD), for example, a plasma chemical vapor deposition method (PECVD, Plasma Enhanced CVD).

제1 봉지무기막(310)을 형성한 후, 제1 봉지무기막(310)에 자외선(UV) 파장의 광을 조사한다. 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 방법으로는, 예컨대 Xe 계 램프, Metal-halide계 램프, UV계 램프, Mercury계 램프 등 UV 파장을 포함하는 램프 또는 UV 파장대 빛을 발광하는 플라즈마 처리 등을 이용할 수 있다. 자외선(UV)이 조사된 제1 봉지무기막(310)에서는 아웃개스(OG)가 발생할 수 있는데, 이는 제1 봉지무기막(310) 내부에서 수소결합이 해리되어, 수소가스(H2)가 발생하는 것으로 이해될 수 있다.After the first encapsulation inorganic film 310 is formed, the first encapsulation inorganic film 310 is irradiated with light having an ultraviolet (UV) wavelength. As a method of irradiating light of an ultraviolet (UV) wavelength, for example, a lamp including a UV wavelength such as an Xe-based lamp, a metal-halide-based lamp, a UV-based lamp, and a Mercury-based lamp, or a plasma treatment that emits light in the UV wavelength band. Can be used. Outgass (OG) may occur in the first encapsulated inorganic film 310 irradiated with ultraviolet (UV) rays, which is dissociated from hydrogen bonds within the first encapsulated inorganic film 310, so that hydrogen gas (H 2 ) is It can be understood as occurring.

일 실시예로, 제1 봉지무기막(310)이 실리콘나이트라이드(SiNX) 또는 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY)로 형성되는 경우, 자외선(UV)이 조사된 제1 봉지무기막(310)은 하기 [반응식1]과 같은 화학반응을 만족할 수 있다.In one embodiment, when the first encapsulating inorganic film 310 is formed of silicon nitride (SiN X ) or silicon oxynitride (SiO X N Y ), the first encapsulating inorganic film irradiated with ultraviolet rays (UV) ( 310) may satisfy a chemical reaction such as the following [Scheme 1].

[반응식1][Scheme 1]

N-Hx + Si-Hy → N-Hx -1 + Si-Hy -1 + H2 NH x + Si-H y → NH x -1 + Si-H y -1 + H 2

Si + N → Si-NSi + N → Si-N

상기 [반응식1]을 참조하면, 제1 봉지무기막(310) 내에 N-H결합 및 Si-H결합이 분해되어 수소가스(H2)가 발생하고, Si-N결합은 증가하는 것을 알 수 있다. 즉, 제1 봉지무기막(310)에 자외선(UV)을 선 조사함에 따라 제1 봉지무기막(310) 내의 조성비에 있어서, N-H결합 및 Si-H결합은 상대적으로 줄어들고, Si-N결합은 상대적으로 증가하는 것을 알 수 있다.Referring to [Scheme 1], it can be seen that NH bonds and Si-H bonds are decomposed in the first encapsulating inorganic layer 310 to generate hydrogen gas (H 2 ), and Si-N bonds increase. That is, as the first encapsulation inorganic film 310 is irradiated with ultraviolet (UV) rays, in the composition ratio in the first encapsulation inorganic film 310, the NH bond and the Si-H bond are relatively reduced, and the Si-N bond is You can see that it increases relatively.

따라서, 동일 물질, 예컨대 실리콘나이트라이드(SiNX) 또는 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY)로 형성되는 절연무기막(110)에 비해, 제1 봉지무기막(310)은 더 적은 수소(H)기 함량을 포함하고, 상대적으로 더 적은 N-H결합 및 Si-H결합을 포함하며, 상대적으로 더 많은 Si-N결합을 포함할 수 있다.Therefore, compared to the insulating inorganic film 110 formed of the same material, for example, silicon nitride (SiN X ) or silicon oxynitride (SiO X N Y ), the first encapsulating inorganic film 310 has less hydrogen (H ) Group content, relatively fewer NH bonds and Si-H bonds, and may contain relatively more Si-N bonds.

일 실시예로, 제1 봉지무기막(310)이 실리콘옥사이드(SiOX)로 형성되는 경우, 자외선(UV)이 조사된 제1 봉지무기막(310)은 하기 [반응식2]과 같은 화학반응을 만족할 수 있다.In one embodiment, when the first encapsulating inorganic film 310 is formed of silicon oxide (SiO X ), the first encapsulating inorganic film 310 irradiated with ultraviolet rays (UV) is a chemical reaction as shown in [Scheme 2] below. Can be satisfied.

[반응식2][Scheme 2]

O-Hx + Si-Hy → O-Hx -1 + Si-Hy -1 + H2 OH x + Si-H y → OH x -1 + Si-H y -1 + H 2

Si + O → Si-OSi + O → Si-O

상기 [반응식2]를 참조하면, 제1 봉지무기막(310) 내에 O-H결합 및 Si-H결합이 분해되어 수소가스(H2) 가 발생하고, Si-O결합은 증가하는 것을 알 수 있다. 즉, 제1 봉지무기막(310)에 자외선(UV)을 선 조사함에 따라 제1 봉지무기막(310) 내의 조성비에 있어서, O-H결합 및 Si-H결합은 상대적으로 줄어들고, Si-O결합은 상대적으로 증가하는 것을 알 수 있다.Referring to [Scheme 2], it can be seen that OH bonds and Si-H bonds are decomposed in the first encapsulating inorganic film 310 to generate hydrogen gas (H 2 ), and Si-O bonds increase. That is, as the first encapsulation inorganic film 310 is irradiated with ultraviolet (UV) rays, in the composition ratio in the first encapsulation inorganic film 310, OH bonds and Si-H bonds are relatively reduced, and Si-O bonds are You can see that it increases relatively.

따라서, 동일 물질, 예컨대 실리콘옥사이드(SiOX)로 형성되는 절연무기막(110)에 비해, 제1 봉지무기막(310)은 더 적은 수소(H)기 함량을 포함하고, 상대적으로 더 적은 O-H결합 및 Si-H결합을 포함하며, 상대적으로 더 많은 Si-O 결합을 포함할 수 있다.Therefore, compared to the insulating inorganic film 110 formed of the same material, for example, silicon oxide (SiO X ), the first encapsulating inorganic film 310 contains a smaller hydrogen (H) group content and relatively less OH. It includes bonds and Si-H bonds, and may contain relatively more Si-O bonds.

그 후, 도 6과 같이 제1 봉지무기막(310) 상에 봉지유기막(320)을 형성할 수 있다. 봉지유기막(320)은 제1 봉지무기막(310) 보다 두껍게 형성되어, 그 상면이 대략 평탄화하게 형성될 수 있다. 도시되어 있지는 않으나, 제1 봉지무기막(310)은 표시영역(DA)에서 기판(100)의 가장자리 측으로 연장되는 반면, 봉지유기막(320)은 표시영역(DA)을 둘러싸도록 형성된 댐부(미도시)까지만 형성될 수 있다. 댐부는 봉지유기막(320)이 오버플로우되는 것을 방지할 수 있다.Thereafter, as shown in FIG. 6, an encapsulation organic film 320 may be formed on the first encapsulation inorganic film 310. The encapsulation organic layer 320 may be formed to be thicker than the first encapsulation inorganic layer 310, so that the upper surface thereof may be formed to be substantially flattened. Although not shown, the first encapsulation inorganic layer 310 extends from the display area DA to the edge of the substrate 100, while the encapsulation organic layer 320 surrounds the display area DA (not shown). Can only be formed until The dam part may prevent the encapsulation organic layer 320 from overflowing.

봉지유기막(320)은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 봉지유기막(320)은 아크릴레이트(acrylate)를 포함할 수 있다. The encapsulation organic layer 320 may include a polymer-based material. Polymer-based materials may include acrylic resins, epoxy resins, polyimide and polyethylene. In one embodiment, the encapsulation organic layer 320 may include acrylate.

그 후, 도 7과 같이 봉지유기막(320) 상에 제2 봉지무기막(330)을 형성할 수 있다. 제2 봉지무기막(330)을 형성하는 방법은, 도 5를 참조하여 설명한 제1 봉지무기막(310)을 형성하는 방법과 동일하다.Thereafter, as shown in FIG. 7, a second encapsulation inorganic film 330 may be formed on the encapsulation organic film 320. The method of forming the second encapsulated inorganic layer 330 is the same as the method of forming the first encapsulated inorganic layer 310 described with reference to FIG. 5.

제2 봉지무기막(330)은 예컨대, 실리콘옥사이드(SiO2), 실리콘나이트라이드(SiNx), 실리콘옥시나이트라이드(SiON), 알루미늄옥사이드(Al2O3), 티타늄옥사이드(TiO2), 탄탈륨옥사이드(Ta2O5), 하프늄옥사이드(HfO2), 또는 징크옥사이드(ZnO2) 등을 포함할 수 있다. 이러한 제2 봉지무기막(330)은 화학기상증착법(CVD), 예컨대 플라즈마화학기상증착법(PECVD, Plasma Enhanced CVD)등으로 형성될 수 있다.The second encapsulating inorganic film 330 is, for example, silicon oxide (SiO 2 ), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), titanium oxide (TiO 2 ), tantalum Oxide (Ta 2 O 5 ), hafnium oxide (HfO 2 ), or zinc oxide (ZnO 2 ) may be included. The second encapsulation inorganic film 330 may be formed by a chemical vapor deposition method (CVD), for example, a plasma chemical vapor deposition method (PECVD, Plasma Enhanced CVD).

제2 봉지무기막(330)을 형성한 후, 제2 봉지무기막(330)에 자외선(UV) 파장의 광을 조사한다. 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 방법으로는, 예컨대 Xe 계 램프, Metal-halide계 램프, UV계 램프, Mercury계 램프 등 UV 파장을 포함하는 램프 또는 UV 파장대 빛을 발광하는 플라즈마 처리 등을 이용할 수 있다. 자외선(UV)이 조사된 제2 봉지무기막(330)에서는 아웃개스(OG)가 발생할 수 있는데, 이는 제2 봉지무기막(330) 내에서 수소결합이 해리되어, 수소가스(H2)가 발생하는 것으로 이해될 수 있다.After the second encapsulation inorganic film 330 is formed, the second encapsulation inorganic film 330 is irradiated with light having an ultraviolet (UV) wavelength. As a method of irradiating light of an ultraviolet (UV) wavelength, for example, a lamp including a UV wavelength such as an Xe-based lamp, a metal-halide-based lamp, a UV-based lamp, a Mercury-based lamp, or a plasma treatment that emits light in the UV wavelength band Can be used. Outgass (OG) may occur in the second encapsulated inorganic film 330 irradiated with ultraviolet (UV) rays, which dissociates hydrogen bonds in the second encapsulated inorganic film 330, and thus hydrogen gas (H 2 ) is It can be understood as occurring.

일 실시예로, 제2 봉지무기막(330)이 실리콘나이트라이드(SiNX) 또는 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY)로 형성되는 경우, 자외선(UV)이 조사된 제2 봉지무기막(330)에는 전술한 [반응식1]과 같은 화학반응이 일어날 수 있다. 또한 일 실시예로, 제2 봉지무기막(330)이 실리콘옥사이드(SiOX)로 형성되는 경우, 자외선(UV)이 조사된 제2 봉지무기막(330)에는 전술한 [반응식2]과 같은 화학반응이 일어날 수 있다.In one embodiment, when the second encapsulation inorganic film 330 is formed of silicon nitride (SiN X ) or silicon oxynitride (SiO X N Y ), the second encapsulation inorganic film irradiated with ultraviolet rays (UV) ( In 330), a chemical reaction such as the above-described [Scheme 1] may occur. In addition, as an embodiment, when the second encapsulation inorganic film 330 is formed of silicon oxide (SiO X ), the second encapsulation inorganic film 330 irradiated with ultraviolet rays (UV) is shown in [Reaction Equation 2]. Chemical reactions can take place.

도 8을 참조하면, 전술한 제조방법을 통해 제조된 디스플레이 장치(1)는 자외선(UV) 조사 처리를 거친 제1 봉지무기막(310) 및 제2 봉지무기막(330)과, 자외선(UV) 조사 처리를 거치지 않은 절연무기막(110)을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 절연무기막(110)에 포함된 버퍼층(112), 게이트절연층(114) 및 층간절연층(116) 중 일부는 자외선(UV) 조사 처리를 거치고, 다른 일부는 자외선(UV) 조사 처리를 거치지 않을 수 있다.Referring to FIG. 8, the display device 1 manufactured through the above-described manufacturing method includes a first encapsulation inorganic film 310 and a second encapsulation inorganic film 330 and ultraviolet (UV) irradiation treatment. ) It may include an insulating inorganic film 110 that has not undergone irradiation treatment. In another embodiment, some of the buffer layer 112, the gate insulating layer 114, and the interlayer insulating layer 116 included in the insulating inorganic layer 110 are subjected to ultraviolet (UV) irradiation, and others are ultraviolet (UV) radiation. ) May not go through the investigation process.

일 실시예로, 제1 봉지무기막(310)과 절연무기막(110)(예컨대, 게이트절연층(114))이 동일 물질(예컨대, 실리콘나이트라이드(SiNX))를 포함하는 경우, 제1 봉지무기막(310)과 절연무기막(110) 내의 성분비에 차이가 있을 수 있다. 전술한 것과 같이, 자외선(UV) 조사 처리를 거친 제1 봉지무기막(310)은 자외선(UV) 조사 처리를 거치지 않은 절연무기막(110)에 비해 N-H결합의 비율은 적고, Si-N결합 및 Si-N결합의 비율은 더 클 수 있다.In one embodiment, when the first encapsulating inorganic layer 310 and the insulating inorganic layer 110 (eg, gate insulating layer 114) contain the same material (eg, silicon nitride (SiN X )), the first 1 There may be a difference in the ratio of components in the inorganic encapsulation layer 310 and the inorganic insulating layer 110. As described above, the first encapsulating inorganic film 310 that has undergone ultraviolet (UV) irradiation treatment has a smaller proportion of NH bonds than that of the insulating inorganic film 110 not subjected to ultraviolet (UV) irradiation treatment, and Si-N bonds And the ratio of Si-N bonds may be larger.

이러한 막 내 성분 비의 차이는 제2 봉지무기막(330)의 경우에도 동일할 수 있다.The difference in the ratio of components in the film may be the same for the second encapsulated inorganic film 330.

자외선(UV) 조사 처리를 거친 제1 봉지무기막(310)은 자외선(UV) 조사 처리를 거치지 않은 절연무기막(110)에 비해 N-H결합의 비율은 적고, Si-N결합 및 Si-N결합의 비율은 더 크다는 것은, 자외선(UV) 조사를 통해 제1 봉지무기막(310) 내에 수소결합이 해리되어 수소가스(H2)가 발생한 것을 의미할 수 있다. 따라서, 제1 봉지무기막(310)의 막 내에 포함된 수소(H)의 비율은 절연무기막(110)의 막 내에 포함된 수소(H)의 비율에 비해 더 적을 수 있다. 즉, 동일 물질로 형성된 무기막들에 있어서, 자외선(UV) 조사 처리 유무에 따라 막 내 성분 비가 변화할 수 있다.The first encapsulated inorganic film 310 that has undergone ultraviolet (UV) irradiation treatment has a smaller proportion of NH bonds than that of the insulating inorganic film 110 not subjected to ultraviolet (UV) irradiation treatment, and has a Si-N bond and a Si-N bond. The higher ratio of may mean that hydrogen gas (H 2 ) is generated by dissociation of hydrogen bonds in the first encapsulated inorganic film 310 through ultraviolet (UV) irradiation. Accordingly, the ratio of hydrogen (H) contained in the film of the first encapsulating inorganic film 310 may be less than the ratio of hydrogen (H) contained in the film of the insulating inorganic film 110. That is, in the inorganic films formed of the same material, the ratio of components in the film may be changed depending on the presence or absence of ultraviolet (UV) irradiation treatment.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 관한 디스플레이 장치(1)의 무기막에 광 조사 처리(Solar Treatment)를 하기 전과 후의 성분 비교표이다.9 is a comparison table of components before and after performing a solar treatment on the inorganic film of the display device 1 according to an embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 디스플레이 장치(1)의 무기막, 예를 들어 제1 봉지무기막(310) 및/또는 제2 봉지무기막(330)에 자외선(UV) 조사 처리를 하기 전과 후의 성분을 비교한 표를 도시하고 있다. 본 실험예에서, 제1 봉지무기막(310) 및/또는 제2 봉지무기막(330)은 실리콘나이트라이드(SiNX) 또는 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY)로 형성된다. 도 9의 표는 FT-IR 분석을 통해 도출되었다.Referring to FIG. 9, components before and after ultraviolet (UV) irradiation treatment on the inorganic film of the display device 1, for example, the first encapsulation inorganic film 310 and/or the second encapsulation inorganic film 330 A comparison table is shown. In this experimental example, the first encapsulating inorganic film 310 and/or the second encapsulating inorganic film 330 is formed of silicon nitride (SiN X ) or silicon oxynitride (SiO X N Y ). The table in FIG. 9 was derived through FT-IR analysis.

먼저, 제1 봉지무기막(310) 및/또는 제2 봉지무기막(330)이 실리콘나이트라이드(SiNX)로 형성되는 경우, 자외선(UV) 조사 처리를 하기 전과 후의 실리콘나이트라이드(SiNX)막 내에 포함된 N-H결합은 3.3% 에서 2.2%로 1.1% 감소하였고, Si-N결합은 10.0% 에서 10.4%로 0.4% 증가하였으며, Si-N결합~Si-O결합은 86.7% 에서 87.5%로 0.8% 증가하였음을 알 수 있다. First, when the first bag inorganic film 310 and / or second sealing inorganic film 330 is formed of silicon nitride (SiN X), ultraviolet (UV) silicon nitride before and after the irradiation treatment (SiN X ) NH bonds in the film decreased by 1.1% from 3.3% to 2.2%, Si-N bonds increased by 0.4% from 10.0% to 10.4%, and Si-N bonds to Si-O bonds increased from 86.7% to 87.5% It can be seen that it increased by 0.8%.

또한, 제1 봉지무기막(310) 및/또는 제2 봉지무기막(330)이 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY)로 형성되는 경우, 자외선(UV) 조사 처리를 하기 전과 후의 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY)막 내에 포함된 N-H결합은 4.5% 에서 3.9%로 0.6% 감소하였고, Si-N결합~Si-O결합은 87.1% 에서 87.7%로 0.6% 증가하였음을 알 수 있다.In addition, when the first encapsulating inorganic film 310 and/or the second encapsulating inorganic film 330 is formed of silicon oxynitride (SiO X N Y ), silicon oxynitride before and after ultraviolet (UV) irradiation treatment It can be seen that the NH bonds contained in the lide (SiO X N Y ) film decreased by 0.6% from 4.5% to 3.9%, and the Si-N bonds to Si-O bonds increased by 0.6% from 87.1% to 87.7%.

이를 통해, 무기막에 의도적으로 자외선(UV) 조사 처리를 하는 경우 N-H결합은 감소하고, Si-N결합 및 Si-N결합~Si-O결합은 증가함을 알 수 있다. 디스플레이 장치(1) 내에서 기판(100)과 유기발광소자(OLED) 사이에 개재된 절연무기막(110)과 같은 경우, 유기발광소자(OLED) 상부에 위치한 제1 봉지무기막(310) 및 제2 봉지무기막(330)에 비해 자외선(UV) 또는 외부 광에 의한 변성 문제가 덜 발생되고, 따라서 자외선(UV) 조사 처리를 하지 않을 수 있다.Through this, it can be seen that when the inorganic film is intentionally irradiated with ultraviolet (UV) rays, N-H bonds decrease, and Si-N bonds and Si-N bonds to Si-O bonds increase. In the case of the insulating inorganic film 110 interposed between the substrate 100 and the organic light emitting device (OLED) in the display device 1, the first encapsulating inorganic film 310 located on the organic light emitting device (OLED) and Compared to the second encapsulating inorganic layer 330, the problem of denaturation due to ultraviolet (UV) or external light is less generated, and thus, ultraviolet (UV) irradiation treatment may not be performed.

이 경우 의도적으로 자외선(UV) 조사 처리된 제1 봉지무기막(310) 및 제2 봉지무기막(330)의 막 성분은 동일 물질로 형성된 절연무기막(110)에 비해 상대적으로 더 적은 비율의 N-H결합을 포함하고, 상대적으로 더 많은 비율의 Si-N결합 및 Si-N결합~Si-O결합을 포함한다. 즉, 동일한 실리콘나이트라이드(SiNX)막 또는 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY)막 내에서 자외선(UV) 조사 처리 유무에 따라 막 내에 포함된 N-H결합, Si-N결합 및 Si-N결합~Si-O결합의 비율이 달라질 수 있다.In this case, the film components of the first encapsulating inorganic film 310 and the second encapsulating inorganic film 330 intentionally treated with ultraviolet (UV) irradiation are relatively smaller than those of the insulating inorganic film 110 formed of the same material. It includes NH bonds, and a relatively larger proportion of Si-N bonds and Si-N bonds to Si-O bonds. In other words, NH bonds, Si-N bonds, and Si-N bonds included in the film depending on the presence or absence of ultraviolet (UV) irradiation treatment in the same silicon nitride (SiN X ) film or silicon oxynitride (SiO X N Y ) film The ratio of ~Si-O bonds may vary.

무기막에 의도적으로 자외선(UV) 조사 처리를 하는 경우 N-H결합이 감소하고, Si-N결합 및 Si-N결합~Si-O결합이 증가한다는 것은, 막 내에서 수소(H) 결합이 해리되어 수소가스(H2) 발생한 것으로 이해될 수 있다. 수소가스(H2)와 같은 아웃개스는 디스플레이 장치(1)의 막들 사이를 이동하면서 유기발광소자(OLED)의 불량을 야기할 수 있기에, 무기막에 의도적으로 자외선(UV) 조사 처리를 하여 수소가스(H2)를 공정 중에 배출시킴으로써 디스플레이 장치(1)의 신뢰성을 더욱 향상시킬 수 있다.When the inorganic film is intentionally irradiated with ultraviolet (UV) rays, the NH bond decreases, and the increase in Si-N bonds and Si-N bonds to Si-O bonds means that hydrogen (H) bonds are dissociated within the film. It can be understood that hydrogen gas (H 2 ) is generated. Since outgas such as hydrogen gas (H 2 ) may cause defects in the organic light emitting device (OLED) while moving between the films of the display device 1, the inorganic film is intentionally irradiated with ultraviolet rays (UV) to prevent hydrogen. By discharging the gas H 2 during the process, the reliability of the display device 1 can be further improved.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(1)의 무기막에 광 조사 처리(Solar Treatment)를 하기 전과 후의 투과도 변화를 나타낸 그래프이다.10 is a graph showing a change in transmittance before and after performing a solar treatment on an inorganic layer of the display device 1 according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 디스플레이 장치(1)의 무기막, 예를 들어 제1 봉지무기막(310) 및/또는 제2 봉지무기막(330)에 자외선(UV) 조사 처리를 하기 전과 후의 투과도 변화 그래프를 도시하고 있다. 본 실험예에서, 무기막은 실리콘나이트라이드(SiNX) 또는 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY)로 형성되며, 그래프는 가시광선 영역에서 투과율을 변화를 나타내고 있다.Referring to FIG. 10, changes in transmittance before and after ultraviolet (UV) irradiation treatment on the inorganic film of the display device 1, for example, the first encapsulation inorganic film 310 and/or the second encapsulation inorganic film 330 It shows a graph. In this experimental example, the inorganic film is formed of silicon nitride (SiN X ) or silicon oxynitride (SiO X N Y ), and the graph shows a change in transmittance in the visible region.

실리콘나이트라이드(SiNX)막 및 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY)막은 모두 자외선(UV) 조사 처리 한 후에 투과율이 상승되었다. 특히, 실리콘나이트라이드(SiNX)막 및 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY)막은 낮은 파장대 영역, 예컨대 청색광 영역에서 투과율이 큰 폭으로 상승된 것을 알 수 있다. The transmittance of the silicon nitride (SiN X ) film and the silicon oxynitride (SiO X N Y ) film was increased after ultraviolet (UV) irradiation treatment. In particular, it can be seen that the transmittance of the silicon nitride (SiN X ) film and the silicon oxynitride (SiO X N Y ) film is significantly increased in a low wavelength region, for example, a blue light region.

이와 같이 자외선(UV) 조사 처리된 무기막은 청색광 영역에서 투과율이 상승되므로, 증가된 투과율을 고려하여 유기발광소자(OLED)에서 발광하는 R, G, B의 값을 설정함으로써, 표시영역(DA)에서 표현되는 이미지가 청색화(bluish)되는 것을 방지할 수 있다.Since the transmittance of the inorganic film irradiated with ultraviolet rays (UV) is increased in the blue light region, by setting the values of R, G, and B emitted from the organic light emitting device (OLED) in consideration of the increased transmittance, the display area DA It is possible to prevent the image expressed in blue from becoming blue.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것 이다. The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely exemplary, and those of ordinary skill in the art will appreciate that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

1: 디스플레이 장치
100: 기판
110: 절연무기막
112: 버퍼층
114: 게이트절연층
116: 층간절연층
180: 절연유기막
190: 화소정의막
210: 화소전극
220: 중간층
230: 대향전극
300: 박막봉지층
310: 제1 봉지무기막
320: 봉지유기막
330: 제2 봉지무기막1: display device
100: substrate
110: insulating inorganic film
112: buffer layer
114: gate insulating layer
116: interlayer insulating layer
180: insulating organic film
190: pixel definition film
210: pixel electrode
220: middle floor
230: counter electrode
300: thin film encapsulation layer
310: first bagged weapon membrane
320: encapsulated organic membrane
330: second bagged weapon membrane

Claims (20)

기판 상에 절연무기막을 형성하는 단계;
상기 절연무기막 상부에 표시요소를 형성하는 단계; 및
상기 표시요소 상에 제1 봉지무기막을 형성하는 단계;
상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계; 및
상기 제1 봉지무기막 상에 봉지유기막을 형성하는 단계;
를 포함하는, 디스플레이 장치의 제조방법.Forming an insulating inorganic film on the substrate;
Forming a display element on the insulating inorganic layer; And
Forming a first encapsulating inorganic film on the display element;
Irradiating light having an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulated inorganic film; And
Forming an encapsulation organic film on the first encapsulation inorganic film;
Containing, a method of manufacturing a display device. 제1항에 있어서,
상기 봉지유기막 상에 제2 봉지무기막을 형성하는 단계; 및
상기 제2 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계;를 더 포함하는, 디스플레이 장치의 제조방법.The method of claim 1,
Forming a second encapsulation inorganic film on the encapsulation organic film; And
Irradiating light having an ultraviolet (UV) wavelength on the second encapsulated inorganic film. The method of manufacturing a display device further comprising. 제1항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계는, 상기 제1 봉지무기막에서 수소(H2)를 발생시키는 단계인, 디스플레이 장치의 제조방법.The method of claim 1,
The step of irradiating light having an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulating inorganic film is a step of generating hydrogen (H 2 ) in the first encapsulating inorganic film. 제3항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 적은 수소(H)기 함량을 갖는, 디스플레이 장치의 제조방법.The method of claim 3,
The first encapsulation inorganic film has a hydrogen (H) content less than that of the insulating inorganic film, the method of manufacturing a display device. 제1항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막은 실리콘나이트라이드(SiNX) 및 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY) 중 적어도 하나를 포함하는, 디스플레이 장치의 제조방법.The method of claim 1,
The first encapsulation inorganic layer includes at least one of silicon nitride (SiN X ) and silicon oxynitride (SiO X N Y ). 제5항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계 이후, 상기 제1 봉지무기막은 하기 [반응식1]을 만족하는, 디스플레이 장치의 제조방법.
[반응식1]
N-Hx + Si-Hy → N-Hx -1 + Si-Hy -1 + H2
Si + N → Si-NThe method of claim 5,
After the step of irradiating the light having an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulation inorganic film, the first encapsulation inorganic film satisfies the following [Reaction Formula 1], a method of manufacturing a display device.
[Scheme 1]
NH x + Si-H y → NH x -1 + Si-H y -1 + H 2
Si + N → Si-N 제1항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막은 실리콘옥사이드(SiOx)를 포함하는, 디스플레이 장치의 제조방법. The method of claim 1,
The first encapsulation inorganic layer includes silicon oxide (SiOx). 제7항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계 이후, 상기 제1 봉지무기막은 하기 [반응식2]을 만족하는, 디스플레이 장치의 제조방법.
[반응식2]
O-Hx + Si-Hy → O-Hx -1 + Si-Hy -1 + H2
Si + O → Si-OThe method of claim 7,
After the step of irradiating light having an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulating inorganic film, the first encapsulating inorganic film satisfies the following [Scheme 2].
[Scheme 2]
OH x + Si-H y → OH x -1 + Si-H y -1 + H 2
Si + O → Si-O 제1항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계 이후, 자외선 파장의 영역에서 상기 제1 봉지무기막의 투과율이 상승되는, 디스플레이 장치의 제조방법.The method of claim 1,
After the step of irradiating the light having an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulated inorganic film, the transmittance of the first encapsulated inorganic film is increased in a region of the ultraviolet wavelength. 제1항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막 상에 자외선(UV) 파장의 광을 조사하는 단계는, 자외선(UV) 파장의 빛을 발광하는 램프 또는 플라즈마 방식을 사용하는, 디스플레이 장치의 제조방법.The method of claim 1,
The step of irradiating light having an ultraviolet (UV) wavelength on the first encapsulating inorganic layer includes using a lamp or plasma method that emits light of an ultraviolet (UV) wavelength. 기판;
상기 기판 상에 배치되고, 절연무기막 및 박막트랜지스터를 포함하는, 화소회로층;
상기 박막트랜지스터에 전기적으로 연결된, 표시요소; 및
상기 표시요소 상에 배치되고, 제1 봉지무기막 및 봉지유기막을 포함하며, 상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 적은 수소(H)기의 함량을 갖는, 박막봉지층;
을 구비하는, 디스플레이 장치.Board;
A pixel circuit layer disposed on the substrate and including an insulating inorganic film and a thin film transistor;
A display element electrically connected to the thin film transistor; And
A thin film encapsulation layer disposed on the display element and including a first encapsulation inorganic film and an encapsulation organic film, wherein the first encapsulation inorganic film has a smaller hydrogen (H) content than the insulating inorganic film;
Having a display device. 제11항에 있어서,
상기 박막봉지층은 상기 봉지유기막 상에 배치된 제2 봉지무기막을 더 포함하고, 상기 제2 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 적은 수소(H)기의 함량을 갖는, 디스플레이 장치.The method of claim 11,
The thin film encapsulation layer further includes a second encapsulation inorganic film disposed on the encapsulation organic film, and the second encapsulation inorganic film has a smaller content of hydrogen (H) than the insulating inorganic film. 제11항에 있어서,
상기 절연무기막 및 상기 제1 봉지무기막은 실리콘나이트라이드(SiNX) 및 실리콘옥시나이트라이드(SiOXNY) 중 적어도 하나를 포함하는, 디스플레이 장치.The method of claim 11,
The display device, wherein the insulating inorganic layer and the first encapsulating inorganic layer include at least one of silicon nitride (SiN X ) and silicon oxynitride (SiO X N Y ). 제13항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 적은 N-H 결합 및 Si-H 결합을 갖는, 디스플레이 장치.The method of claim 13,
The display device, wherein the first encapsulation inorganic layer has fewer NH bonds and Si-H bonds than the insulation inorganic layer. 제13항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 많은 Si-N 결합을 갖는, 디스플레이 장치.The method of claim 13,
The display device, wherein the first encapsulating inorganic layer has more Si-N bonds than the insulating inorganic layer. 제11항에 있어서,
상기 절연무기막 및 상기 제1 봉지무기막은 실리콘옥사이드(SiOx)를 포함하는, 디스플레이 장치.The method of claim 11,
The display device, wherein the insulating inorganic layer and the first encapsulating inorganic layer include silicon oxide (SiOx). 제16항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 적은 O-H 결합 및 Si-H 결합을 갖는, 디스플레이 장치.The method of claim 16,
The first encapsulation inorganic layer has fewer OH bonds and Si-H bonds than the insulating inorganic layer. 제16항에 있어서,
상기 제1 봉지무기막은 상기 절연무기막에 비해 더 많은 Si-O 결합을 갖는, 디스플레이 장치.The method of claim 16,
The display device, wherein the first encapsulating inorganic layer has more Si-O bonds than the insulating inorganic layer. 제11항에 있어서,
자외선(UV) 영역에서 상기 제1 봉지무기막의 투과율은 상기 절연무기막의 투과율보다 더 높은, 디스플레이 장치.The method of claim 11,
The display device, wherein the transmittance of the first encapsulating inorganic film in an ultraviolet (UV) region is higher than that of the insulating inorganic film. 제11항에 있어서,
상기 표시요소는 화소전극, 상기 화소전극 상부에 위치하는 대향전극 및 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이에 개재되는 발광층을 포함하는 중간층을 구비하며,
상기 박막봉지층은 상기 대향전극 상에 배치되어 상기 표시요소를 외부로부터 완전히 밀봉하는, 디스플레이 장치.The method of claim 11,
The display element includes a pixel electrode, a counter electrode positioned above the pixel electrode, and an intermediate layer including a light emitting layer interposed between the pixel electrode and the counter electrode,
The thin film encapsulation layer is disposed on the counter electrode to completely seal the display element from the outside.
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