KR20200098896A - Piezoelectric dispenser - Google Patents
Piezoelectric dispenser Download PDFInfo
- Publication number
- KR20200098896A KR20200098896A KR1020190016586A KR20190016586A KR20200098896A KR 20200098896 A KR20200098896 A KR 20200098896A KR 1020190016586 A KR1020190016586 A KR 1020190016586A KR 20190016586 A KR20190016586 A KR 20190016586A KR 20200098896 A KR20200098896 A KR 20200098896A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- valve rod
- piezoelectric
- lever
- present
- initial position
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 5
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B17/00—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors
- F04B17/003—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors driven by piezoelectric means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
Abstract
Description
본 발명은 노즐 팁의 토출구를 통해 일정량의 용액을 토출시키는 압전 디스펜서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 디스펜싱 작업 시작 전 밸브로드의 초기 위치를 조정하여 디스펜싱 작업의 품질을 일정하게 유지하는 압전 디스펜서에 관한 것이다.The present invention relates to a piezoelectric dispenser that discharges a certain amount of solution through a discharge port of a nozzle tip, and more particularly, a piezoelectric dispenser that maintains a constant quality of a dispensing operation by adjusting the initial position of the valve rod before the dispensing operation starts. It is about.
챔버 내부에 수용된 용액을 미세 크기의 토출구를 통하여 배출시키는 디스펜서는 반도체, 휴대 단말기 및 의료/바이오 산업 등 전방위의 산업 분야에 걸쳐 활용되고 있다. 특히 전자 부품의 소형화 집접화에 따라 미소영역에의 디스펜싱을 위해 압전 디스펜서가 널리 사용되고 있다.Dispensers that discharge the solution contained in the chamber through a fine-sized discharge port are being used in a wide range of industries such as semiconductors, portable terminals, and medical/bio industries. In particular, piezoelectric dispensers are widely used for dispensing in a small area according to the miniaturization of electronic components.
디스펜싱 작업의 정밀도를 높이기 위해서는 작업의 전 과정에 있어 일정한 양의 용액이 고르게 토출되어야 한다. 그러나 디스펜싱 작업의 초기에는 밸브로드의 위치가 임의로 결정됨에 따라, 용액의 토출이 일정하게 이루어질 수 없다. 따라서 디스펜싱 작업을 시작하기 전에 밸브로드의 초기 위치를 보정해야한다.In order to increase the precision of the dispensing operation, a certain amount of solution must be evenly discharged throughout the operation. However, since the position of the valve rod is arbitrarily determined at the beginning of the dispensing operation, the solution cannot be discharged constantly. Therefore, it is necessary to calibrate the initial position of the valve rod before starting the dispensing operation.
종래에는 밸브로드의 절대적인 위치를 감지한 후, 이미 설정된 밸브로드 위치의 초기값과 비교하여 보정하는 방법을 사용하였다. 그러나 초기값 설정에 오류가 있는 경우는 밸브로드 위치가 지속적으로 잘못 설정될 수 밖에 없는 문제점이 제기되었다. Conventionally, after detecting the absolute position of the valve rod, a method of compensating with the initial value of the previously set valve rod position was used. However, when there is an error in setting the initial value, a problem has been raised that the valve rod position must be continuously incorrectly set.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 별도의 초기값을 설정하지 않고 밸브로드의 초기 위치를 보정할 수 있는 압전 디스펜서를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a piezoelectric dispenser capable of correcting an initial position of a valve rod without setting a separate initial value.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 압전 디스펜서는, 노즐 팁의 토출구를 통해 일정량의 용액을 토출시키는 압전 디스펜서로서, 컨트롤러; 상기 컨트롤러의 제어에 따라, 레버의 일단과 접촉하여 상기 레버를 가압하는 압전 액츄에이터; 상기 레버의 타단과 결합되어 상방 또는 하방으로 직선운동을 하는 밸브로드; 및 디스펜싱 작업 시작 전에 상기 밸브로드의 초기 위치를 조절하는 밸브로드 초기화 장치를 포함하되, 상기 밸브로드 초기화 장치는 상기 압전 액츄에이터를 상방 또는 하방으로 이동시킴으로써 상기 밸브로드의 초기 위치를 조절할 수 있다.A piezoelectric dispenser according to an embodiment of the present invention for solving the above problem is a piezoelectric dispenser for discharging a predetermined amount of solution through a discharge port of a nozzle tip, comprising: a controller; A piezoelectric actuator for pressing the lever by contacting one end of the lever under the control of the controller; A valve rod that is coupled to the other end of the lever and makes a linear motion upward or downward; And a valve rod initialization device for adjusting an initial position of the valve rod before starting the dispensing operation, wherein the valve rod initialization device may adjust the initial position of the valve rod by moving the piezoelectric actuator upward or downward.
또한, 상기 밸브로드와 상기 노즐 팁의 내측 벽 사이의 접촉 여부를 감지하는 밸브로드 위치 센서를 더 포함할 수 있다. In addition, it may further include a valve rod position sensor for sensing whether the contact between the valve rod and the inner wall of the nozzle tip.
또한, 상기 밸브로드 초기화 장치는, 상기 밸브로드의 초기 위치를 조절하기 위해, 상기 밸브로드 위치 센서에 의해 상기 밸브로드가 상기 노즐 팁의 상기 내측 벽에 접촉하는 위치에 도달한 것이 감지될 때까지 상기 압전 액츄에이터를 상방 또는 하방으로 이동시킬 수 있다. In addition, the valve rod initialization device, in order to adjust the initial position of the valve rod, until it is detected by the valve rod position sensor that the valve rod reaches the position in contact with the inner wall of the nozzle tip The piezoelectric actuator may be moved upward or downward.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the present invention are included in the detailed description and drawings.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.According to the embodiments of the present invention, there are at least the following effects.
본 발명에 따른 압전 디스펜서는 자동으로 밸브로드의 초기 위치를 조정함으로써 작업의 편의성 및 정확성을 확보할 수 있고, 초기 세팅 오류로 인한 오작동을 방지할 수 있다.The piezoelectric dispenser according to the present invention automatically adjusts the initial position of the valve rod, thereby ensuring convenience and accuracy of operation, and preventing malfunction due to an initial setting error.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 압전 디스펜서의 단면도이다.
도 2는 도 1의 모식도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 압전 디스펜서의 밸브로드의 위치 초기화 과정을 도시한 순서도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브로드의 위치 초기화 과정에서 밸브로드의 위치 변화를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 압전 디스펜서의 모식도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 압전 디스펜서의 모식도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 압전 디스펜서의 모식도이다.1 is a cross-sectional view of a piezoelectric dispenser according to a first embodiment of the present invention.
2 is a schematic diagram of FIG. 1.
3 is a flowchart illustrating a process of initializing the position of the valve rod of the piezoelectric dispenser according to the first embodiment of the present invention.
4A and 4B are views showing a change in the position of the valve rod in the process of initializing the position of the valve rod according to the first embodiment of the present invention.
5 is a schematic diagram of a piezoelectric dispenser according to a second embodiment of the present invention.
6 is a schematic diagram of a piezoelectric dispenser according to a third embodiment of the present invention.
7 is a schematic diagram of a piezoelectric dispenser according to a fourth embodiment of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방식은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention, and a manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in a variety of different forms, only these embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and common knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to completely inform the scope of the invention to those who have, and the invention is only defined by the scope of the claims. The same reference numerals refer to the same components throughout the specification.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in the present specification may be used as meanings that can be commonly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. In addition, terms defined in a commonly used dictionary are not interpreted ideally or excessively unless explicitly defined specifically.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terms used in the present specification are for describing exemplary embodiments and are not intended to limit the present invention. In this specification, the singular form also includes the plural form unless specifically stated in the phrase. As used in the specification, “comprises” and/or “comprising” do not exclude the presence or addition of one or more other elements other than the mentioned elements.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 압전 디스펜서의 단면도이고, 도 2는 도 1의 모식도이다.1 is a cross-sectional view of a piezoelectric dispenser according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram of FIG. 1.
도 1 내지 도 2를 참고하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 압전 디스펜서(1)는 컨트롤러(110), 용액 토출 장치(130) 및 밸브로드 초기화 장치(120)를 포함할 수 있다.1 to 2, the
컨트롤러(110)는 압전 디스펜서(1)에 구비된 용액 토출 장치(130)의 구동을 제어하고, 밸브로드 위치 센서(191)로부터 수신한 데이터를 통해 밸브로드 초기화 장치(120)의 구동을 제어할 수 있다. The
용액 토출 장치(130)는 디스펜싱 작업을 위해 밸브로드(171)를 상하로 구동시키며 토출구(185)를 통해 일정량의 용액을 배출시키는 장치이다. 이하에서는 용액 토출 장치(130)의 구동에 대하여 구체적으로 알아본다.The
용액 토출 장치(130)는 밸브로드(171)의 상하 운동에 의해 토출구(185)가 개방 및 폐쇄를 반복함으로써 용액을 배출시킨다. 밸브로드(171)의 상하 운동은 압전 액츄에이터(151)의 신장 또는 수축에서 기인한다. 압전 액츄에이터(151)는 전압이 인가되면 신장/수축되고, 인가된 전압이 제거되면 수축/신장되는 동력원이다. 압전 액츄에이터(151)의 신장 또는 수축은 컨트롤러에 의해 제어된다. 압전 액츄에이터(151)의 동력은 레버(161)를 통해 밸브로드(171)로 전달될 수 있다. 압전 액츄에이터(151)는 신장/수축을 통해 레버(161)를 회전시킬 수 있는 공압 실린더 등으로 대체될 수도 있다.The
레버(161)의 일단은 압전 액츄에이터(151)의 하단과 접촉한다. 레버(161)의 타단은 밸브로드(171)의 상단과 연결되어있다. 레버(161)의 양단 사이의 어느 한 지점에는 힌지(162)가 설치될 수 있다. 힌지(162)를 중심으로 레버(161)는 시계방향/반시계방향으로 회전할 수 있다. 레버(161)와 밸브로드(171) 사이의 결합은 롤러에 의해 체결되거나, 스프링에 의한 면접촉 또는 점접촉에 의해 결합될 수 있다. 따라서 레버(161)가 회전운동을 하면, 이에 연결된 밸브로드(171)는 상하방향으로 직선운동을 할 수 있다. 이와 같은 연결 구조를 통해 압전 액츄에이터(151)의 동력이 밸브로드(171)에 전달된다. One end of the
압전 액츄에이터(151)에 의한 레버(161)의 회전운동을 보조하기 위하여, 레버(161)의 하부에는 복귀장치(152)가 구비될 수 있다. 복귀장치(152)는 레버(161)의 상부에 위치한 압전 액츄에이터(151)와 동일 축상에 위치하고, 압전 액츄에이터(151)의 신장/수축과 반대로 수축/신장함으로써 레버(161)의 회전운동을 보조할 수 있다. 복귀장치(152)는 수축/신장을 반복할 수 있는 탄성부재나 유압/공압 장치 등을 사용할 수 있다. In order to assist the rotational movement of the
압전 액츄에이터(151)가 신장되고 복귀장치(152)가 수축되는경우, 압전 액츄에이터(151)와 접촉하는 레버(161)의 일단은 하방으로 움직인다. 따라서 레버(161)는 힌지(162)를 중심으로 반시계방향으로 회전한다. 레버(161)의 회전에 따라, 레버(161)의 타단에 연결된 밸브로드(171)는 상방으로 직선운동하게 된다. When the
반대로 압전 액츄에이터(151)가 수축되고 복귀장치(152)가 신장되는 경우, 압전 액츄에이터(151)와 접촉하는 레버(161)의 일단은 상방으로 움직이다. 따라서 레버(161)는 힌지(162)를 중심으로 시계방향으로 회전한다. 레버(161)의 회전에 따라, 레버(161)의 타단에 연결된 밸브로드(171)는 하방으로 직선운동하게 된다. Conversely, when the
이하에서는 용액의 디스펜싱 과정에 대하여 간략히 설명한다.Hereinafter, the dispensing process of the solution will be briefly described.
밸브로드(171)가 상승하여 용액의 토출구(185)가 개방되어 있는 경우, 디스펜싱 용액은 유입구(181)를 통해 용액의 토출통로(182)로 유입된다. 이후 밸브로드(171)가 하강하면 토출통로(182)에 유입된 용액은 토출구(185)를 통하여 배출되며 디스펜싱 작업이 이루어진다. 밸브로드(171)가 노즐 팁(184)의 내측면에 접촉할 때까지 하강하면 토출통로(182)를 채우고 있던 용액은 모두 토출되고 토출구(185)는 폐쇄된다. 이후 밸브로드(171)는 다시 상승하여 용액이 토출 통로로 충전될 수 있다. When the
디스펜싱 작업의 전체 과정에서 일정한 양의 용액을 토출하기 위하여는 밸브로드(171)가 일정한 작업 스트로크를 유지해야한다. 그러나 디스펜싱 작업을 시작하기 직전에는 밸브로드(171)가 임의의 높이에 위치하게 되므로, 디스펜싱 초기에는 정상적인 디스펜싱 작업에서의 토출양과 상이한 양의 용액이 토출될 수 있다.In order to discharge a certain amount of solution during the entire dispensing process, the
따라서, 디스펜서의 구동 초기부터 일정한 디스펜싱 품질을 확보하기 위해서는 밸브로드(171)의 초기 위치를 조절하는 작업이 필요하다. 본 발명의 밸브로드 초기화 장치(120)는 밸브로드(171)의 일단이 노즐 팁(184)의 내측 벽에 접촉되도록 밸브로드(171)의 초기 위치를 조절한다.Therefore, it is necessary to adjust the initial position of the
밸브로드 초기화 장치(120)는 압전 액츄에이터(151)의 스트로크 손실을 예방하기 위해 구비되는 별도의 구동장치이다. 밸브로드 초기화 장치(120)는 압전 액츄에이터를 사용하거나, 모터와 볼스크류 또는 모터와 캠을 조합한 구성 등을 사용함으로써, 레버(161)와 접촉하는 압전 액츄에이터(151)에 상하방향의 외력을 가할 수 있다. 밸브로드 초기화 장치(120)는 용액 토출 장치(130)의 외부에 별도로 구비되어 용액 토출 장치(130)의 내부로 연결되며, 브라켓(141)을 통해 압전 액츄에이터(151)에 힘을 전달할 수 있다. The valve
구체적으로, 브라켓(141)의 상부에 밸브로드 초기화 장치(120)가 설치되고, 브라켓(141)의 하부에 압전액츄에이터(151)가 설치될 수 있다. 밸브로드 초기화 장치(120)가 브라켓(141)을 통해 압전 액츄에이터(151)에 하방으로 힘을 가하면, 압전 액츄에이터(151)는 하방으로 이동하여 밸브를 반시계방향으로 회전시키고, 그 결과 밸브로드(171)가 상승하게 된다. 밸브로드 초기화 장치(120)가 압전 액츄에이터(151)에 하방으로 가하던 힘을 제거하면, 압전 액츄에이터(151)는 상방으로 이동하여 밸브를 시계방향으로 회전시키고, 그 결과 밸브로드(171)는 하강하게 된다. Specifically, the valve
이처럼, 밸브로드 초기화 장치(120)는 액츄에이터(151)를 신장/수축시키지 아니하고 밸브로드(171)를 구동시킴으로써, 스트로크 손실을 예방할 수 있다. As such, the valve
밸브로드 초기화 장치(120)에 의한 밸브로드(171)의 초기 위치는 밸브로드(171)가 노즐팁의 내벽에 접촉하는 위치로 결정된다. 이와 같은 밸브로드(171)의 위치는 밸브로드 위치 센서(191)를 통해 감지할 수 있다. 밸브로드 위치 센서(191)는 밸브로드(171)의 절대적인 위치를 감지하는 것이 아닌, 밸브로드(171)와 노즐 팁(184) 내벽이 접촉했는지 여부를 감지하는 센서이다. 밸브로드(171)와 노즐 팁(184) 내벽이 접촉했다면, 밸브로드(171)는 디스펜싱 과정 중 가장 낮은 높이에 위치하는 것이고 이때 토출구(185)는 폐쇄된다. 밸브로드 위치 센서(191)는 접촉식 또는 비접촉식 센서를 사용할 수 있다. 밸브로드 위치 센서(191)는 밸브로드 초기화 장치(120)와 압전 액츄에이터(151)를 연결하는 브라켓(141)의 상부에 설치될 수 있다.The initial position of the
밸브로드 초기화 장치(120)는 밸브로드(171)가 노즐 팁(184) 내벽에 접촉한 것이 밸브로드 위치 센서(191)에 의해 감지될때까지 밸브로드(171)를 하강시킨다. 밸브로드 위치 센서(191)가 밸브로드(171)와 노즐 팁(184) 내벽의 접촉 상태를 감지하면 밸브로드 초기화 장치(120)는 구동을 멈추고 밸브로드(171) 위치 초기화 과정은 종료된다. 밸브로드(171) 위치의 초기화 과정은 이하에서 자세히 설명한다.The valve
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 압전 디스펜서의 밸브로드의 위치 초기화 과정을 도시한 순서도이고, 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브로드의 위치 초기화 과정에서 밸브로드의 위치 변화를 도시한 도면이다.3 is a flow chart illustrating a process of initializing the position of the valve rod of the piezoelectric dispenser according to the first embodiment of the present invention, and FIGS. 4A and 4B are It is a diagram showing a change in the position of the rod.
도 3 내지 도 4b를 참고하면, 작업자는 용액의 디스펜싱을 시작하기에 앞서 노즐 몸체(183)에 노즐 팁(184)을 설치한다(S10). 이때 밸브로드(171)는 토출통로(182) 내부의 임의의 한 지점에 위치한다(도 4a). 밸브로드(171) 위치를 초기화 시키기 위하여 작업자가 밸브로드 초기화 장치(120)를 구동시키면, 밸브로드(171)는 하강운동을 시작한다(S20). 밸브로드(171)의 하강운동이 시작되면 일정 시간 간격을 두고 밸브로드 위치 센서(191)가 작동하는지 여부를 판단한다(S30). 밸브로드 위치 센서(191)은 밸브로드(171)가 노즐 팁(184)의 내측 벽에 근접하면 작동하기 시작한다. 밸브로드 위치 센서(191)의 작동 여부를 판단하는 시간 간격은 작업자에 의해 조절될 수 있다. 밸브로드(171)의 하강 변위는, 밸브로드 위치 센서(191)가 작동하기 전까지는 보다 큰 폭으로 형성된다. 그러나 밸브로드 위치 센서(191)가 작동하면 즉, 밸브로드(171)가 노즐 팁(184) 내측 벽과 근접 위치에 도달하면 밸브로드(171)는 미세하게 하강하기 시작한다(S40). 밸브로드(171)의 미세 하강은 밸브로드(171)가 노즐 팁(184) 내측 벽과 접촉할 때까지 계속된다(S50). 밸브로드(171)가 노즐 팁(184) 내측 벽과 접촉하면(도 4b) 밸브로드(171)의 위치 보정은 완료되고(S60), 디스펜싱 작업이 시작될 수 있다. 3 to 4B, the operator installs the
상술한 바와 같이 밸브로드(171)의 초기 위치를 자동으로 보정함으로써, 본 발명의 압전 디스펜서(1)는 작업의 편의성 및 균일성을 확보할 수 있다. 아울러 밸브로드(171)의 위치에 대한 초기값을 설정해두고, 해당 초기값과 비교하여 밸브로드(171)의 위치를 보정하는 방법과 비교하면, 본 발명의 압전 디스펜서(1)는 초기값 설정 오류의 가능성을 배제할 수 있다는 측면에서 유리하다. 아울러, 압전 액츄에이터(151)의 스트로크의 범위를 보정하는 방식과 비교하면, 압전 액츄에이터(151)의 구동 없이 별도의 밸브로드 초기화 장치(120)를 구동시킴으로써 밸브로드(171)의 위치를보정하는 바, 스트로크의 손실을 예방할 수 있다는 장점이 있다.By automatically correcting the initial position of the
이하에서는 본 발명의 압전 디스펜서(1,2,3,4)의 다양한 실시예에 대하여 살펴본다.Hereinafter, various embodiments of the
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 압전 디스펜서의 모식도이고, 도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 압전 디스펜서의 모식도이며, 도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 압전 디스펜서의 모식도이다.5 is a schematic diagram of a piezoelectric dispenser according to a second embodiment of the present invention, FIG. 6 is a schematic diagram of a piezoelectric dispenser according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a piezoelectric dispenser according to a fourth embodiment of the present invention It is a schematic diagram of
본 발명의 제2 내지 제4 실시예는 제1 실시예와 마찬가지로, 컨트롤러(210,310,410), 용액 토출 장치(230,330,430) 및 밸브로드 초기화 장치(220,320,420)를 포함할 수 있으며, 용액 토출 장치(230,330,430)에 포함되는 액츄에이터(251,351,451), 레버(261,361,461), 밸브로드(271,371,471) 및 밸브로드 위치 센서(291,391,491) 등의 구성도 본 발명의 제1 실시예와 동일한 기능을 한다. 이하에서는 제1 실시예와 비교할 때, 제2 내지 제4 실시예가 갖는 차이점을 위주로 설명한다.Like the first embodiment, the second to fourth embodiments of the present invention may include controllers 210,310,410, solution discharging devices 230,330,430, and valve rod initialization devices 220,320,420, and the solution discharging devices 230,330,430 Configurations of the included actuators 251,351,451, levers 261,361,461, valve rods 271,371,471, and valve rod position sensors 291,391,491 also function in the same way as in the first embodiment of the present invention. Hereinafter, when compared with the first embodiment, differences between the second to fourth embodiments will be mainly described.
도 5를 참고하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 압전 디스펜서(2)는 밸브로드(271)를 구동시키는 레버(261)의 하부에 밸브로드 위치 센서(291)를 구비할 수 있다.Referring to FIG. 5, the
도 6을 참고하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 압전 디스펜서(3)는 밸브로드 초기화 장치(320)를 용액 토출 장치(330) 내부에 구비할 수 있다. 구체적으로, 밸브로드 초기화 장치(320)를 브라켓(341)의 하부에 설치하고 그와 대응되는 브라켓(341)의 상부에 복귀장치(352)를 설치할 수 있다. 밸브로드 초기화 장치(320)가 구동되어 밸브로드 초기화 장치(320)와 접촉하는 브라켓(341)의 일단을 상방으로 들어올리면, 브라켓(341)은 힌지(362)를 중심으로 반시계방향으로 회전하면서 하부에 위치한 액츄에이터를 하방으로 이동시킨다. 이때 밸브로드 초기화 장치(320)가 설치된 브라켓(341)의 상방에는 복귀장치(352)가 수축하면서 브라켓(341)을 지지한다. 반대로, 밸브로드 초기화 장치(320)가 브라켓(341)에 가하던 힘이 제거되면, 복귀장치(352)가 신장하면서 브라켓(341)이 시계방향으로 회전한다. 이때, 브라켓(341)의 하부에 있던 액츄에이터(351)는 상방으로 이동하게 된다.Referring to FIG. 6, the
아울러, 본 발명의 제3 실시예에 따른 압전 디스펜서(3)는 레버(361)의 하부에 밸브로드 위치 센서(391)를 구비할 수 있다.In addition, the
도 7을 참고하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 압전 디스펜서(4)는 본 발명의 제3 실시예에 따른 압전 디스펜서(3)와 마찬가지로, 밸브로드 초기화 장치(420)를 용액 토출 장치(430)의 내부, 구체적으로 브라켓(441)의 하부에 설치하고, 브라켓(441)을 회전시킴으로써 액츄에이터(451)에 힘을 가할 수 있다. 아울러, 본 발명의 제4 실시예에 따른 압전 디스펜서(4)는 브라켓(441)의 상부에 밸브로드 위치 센서(491)를 구비할 수 있다.Referring to FIG. 7, in the
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will appreciate that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting. The scope of the present invention is indicated by the claims to be described later rather than the detailed description, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be interpreted as being included in the scope of the present invention. do.
1, 2, 3, 4: 압전 디스펜서
110, 210, 310, 410: 컨트롤러
120, 220, 320, 420: 밸브로드 초기화 장치
130, 230, 330, 430: 용액 토출 장치
141, 241, 341, 441: 브라켓
151, 251, 351, 451: 압전 액츄에이터
152, 252, 352, 452: 복귀장치
161, 261, 361, 461: 레버
162, 262, 362, 462: 힌지
171, 271, 371, 471: 밸브로드
183, 283, 383, 483: 노즐 몸체
184, 284, 384,484: 노즐 팁
191, 291, 391, 491: 밸브로드 위치 센서1, 2, 3, 4: piezoelectric dispenser
110, 210, 310, 410: controller
120, 220, 320, 420: valve rod initialization device
130, 230, 330, 430: solution discharge device
141, 241, 341, 441: bracket
151, 251, 351, 451: piezoelectric actuator
152, 252, 352, 452: return device
161, 261, 361, 461: lever
162, 262, 362, 462: hinge
171, 271, 371, 471: valve rod
183, 283, 383, 483: nozzle body
184, 284, 384,484: nozzle tip
191, 291, 391, 491: valve rod position sensor
Claims (3)
컨트롤러;
상기 컨트롤러의 제어에 따라, 레버의 일단과 접촉하여 상기 레버를 가압하는 압전 액츄에이터;
상기 레버의 타단과 결합되어 상방 또는 하방으로 직선운동을 하는 밸브로드; 및
디스펜싱 작업 시작 전에 상기 밸브로드의 초기 위치를 조절하는 밸브로드 초기화 장치를 포함하되,
상기 밸브로드 초기화 장치는 상기 압전 액츄에이터를 상방 또는 하방으로 이동시킴으로써 상기 밸브로드의 초기 위치를 조절하는, 압전 디스펜서.As a piezoelectric dispenser that discharges a certain amount of solution through the discharge port of the nozzle tip,
controller;
A piezoelectric actuator for pressing the lever by contacting one end of the lever under the control of the controller;
A valve rod that is coupled to the other end of the lever and makes a linear motion upward or downward; And
Including a valve rod initialization device for adjusting the initial position of the valve rod before starting the dispensing operation,
The valve rod initializing device adjusts the initial position of the valve rod by moving the piezoelectric actuator upward or downward.
상기 밸브로드와 상기 노즐 팁의 내측 벽 사이의 접촉 여부를 감지하는 밸브로드 위치 센서를 더 포함하는, 압전 디스펜서.The method of claim 1,
The piezoelectric dispenser further comprising a valve rod position sensor for sensing whether the valve rod and the inner wall of the nozzle tip contact.
상기 밸브로드 초기화 장치는, 상기 밸브로드의 초기 위치를 조절하기 위해, 상기 밸브로드 위치 센서에 의해 상기 밸브로드가 상기 노즐 팁의 상기 내측 벽에 접촉하는 위치에 도달한 것이 감지될 때까지 상기 압전 액츄에이터를 상방 또는 하방으로 이동시키는, 압전 디스펜서.
The method of claim 2,
The valve rod initialization device, in order to adjust the initial position of the valve rod, the piezoelectric power until it is detected by the valve rod position sensor that the valve rod reaches a position in contact with the inner wall of the nozzle tip. Piezoelectric dispenser for moving the actuator upward or downward.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190016586A KR102190562B1 (en) | 2019-02-13 | 2019-02-13 | Piezoelectric dispenser |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190016586A KR102190562B1 (en) | 2019-02-13 | 2019-02-13 | Piezoelectric dispenser |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20200098896A true KR20200098896A (en) | 2020-08-21 |
KR102190562B1 KR102190562B1 (en) | 2020-12-15 |
Family
ID=72235674
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190016586A KR102190562B1 (en) | 2019-02-13 | 2019-02-13 | Piezoelectric dispenser |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102190562B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115228691A (en) * | 2022-08-18 | 2022-10-25 | 深圳市轴心压电技术有限公司 | Piezoelectric injection valve with cold end regulation feedback correction |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150128674A (en) * | 2013-03-13 | 2015-11-18 | 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 | Method and apparatus for dispensing a viscous material on a substrate |
KR101614312B1 (en) * | 2014-11-18 | 2016-04-22 | 주식회사 프로텍 | Piezoelectric Dispenser and Method for Compensating Stroke of the Same |
JP6558127B2 (en) | 2015-07-31 | 2019-08-14 | 株式会社三洋物産 | Game machine |
-
2019
- 2019-02-13 KR KR1020190016586A patent/KR102190562B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150128674A (en) * | 2013-03-13 | 2015-11-18 | 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 | Method and apparatus for dispensing a viscous material on a substrate |
KR101614312B1 (en) * | 2014-11-18 | 2016-04-22 | 주식회사 프로텍 | Piezoelectric Dispenser and Method for Compensating Stroke of the Same |
JP6558127B2 (en) | 2015-07-31 | 2019-08-14 | 株式会社三洋物産 | Game machine |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115228691A (en) * | 2022-08-18 | 2022-10-25 | 深圳市轴心压电技术有限公司 | Piezoelectric injection valve with cold end regulation feedback correction |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102190562B1 (en) | 2020-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI540256B (en) | Piezoelectric dispenser and method of calibrating stroke of the same | |
JP5100074B2 (en) | Pneumatic delivery system and method using linear actuation | |
JP3958926B2 (en) | Apparatus and method for dispensing fluids | |
US8033801B2 (en) | Liquid chemical supply system and liquid chemical supply control device | |
KR102235382B1 (en) | Coating apparatus | |
JP5416672B2 (en) | Chemical supply device | |
KR102190562B1 (en) | Piezoelectric dispenser | |
JP6443642B2 (en) | Discharge amount adjustment method for droplet coating apparatus | |
CN113543892B (en) | System and method for dispenser control | |
US5927605A (en) | Suck back valve | |
KR101885236B1 (en) | Resin applying apparatus | |
US6539986B2 (en) | Liquid discharging apparatus and method for discharging liquid | |
KR20150102229A (en) | Piezoelectric Dispenser | |
JP6183597B2 (en) | Droplet applicator | |
KR20090002639A (en) | Valve and apparatus and method for treating substrate with the same | |
JP2015055225A (en) | Constant delivery pump | |
WO2006070998A1 (en) | Pneumatic cylinder using elastic rubber and system and method for controlling position of pneumatic cylinder | |
JP4382595B2 (en) | Viscous fluid supply device and method for preventing solidification thereof | |
US20230204028A1 (en) | Low hysteresis piezo-electric pump | |
JP4917624B2 (en) | Viscous fluid supply device, method for preventing solidification thereof, and program | |
JP2006057663A (en) | Chemical liquid valve | |
KR102281686B1 (en) | Chemical liquid feeding apparatus and control method therefor | |
TWI631440B (en) | Servo cylinder system | |
KR101852266B1 (en) | Flowrate Measuring Type Apparatus for Dispensing Viscous Liquid | |
KR20020044872A (en) | Valve for semiconductor equipment |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |