KR20200098111A - Safety Rack Apparatus for Semiconductor Device - Google Patents

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KR20200098111A
KR20200098111A KR1020190015816A KR20190015816A KR20200098111A KR 20200098111 A KR20200098111 A KR 20200098111A KR 1020190015816 A KR1020190015816 A KR 1020190015816A KR 20190015816 A KR20190015816 A KR 20190015816A KR 20200098111 A KR20200098111 A KR 20200098111A
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강현규
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주식회사 에이티이엔지
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Abstract

The present invention relates to a safety rack configured to arrange a monitor, a keyboard, and a FOUP in a vertical direction. According to the safety rack according to the present invention, by allowing the monitor, keyboard and FOUP to be vertically arranged, the breakage of a FOUP is minimized, the keyboard malfunction is prevented, and tangling of a wiring is prevented. By storing related data manuals in an inner space of each stage of the safety rack (monitor mounting part, keyboard mounting part, and FOUP storage part) to minimize a risk of data loss, the work efficiency of an engineer is improved. In addition, the safety rack can be fixed more stably by direct connection with a semiconductor device manufacturing device. By placing the monitor at an eye level of the engineer and storing the FOUP in a designated location to provide the convenience of work since the keyboard operation becomes more convenient, a smoother semiconductor device manufacturing process is enabled.

Description

반도체 이송 장비 안전 랙 장치{Safety Rack Apparatus for Semiconductor Device}Safety Rack Apparatus for Semiconductor Device {Safety Rack Apparatus for Semiconductor Device}

반도체 디바이스를 제조하는 반도체 제조 라인에 있어서, 모니터, 키보드 및 불순물 주입 공정, 물질막 증착 공In the semiconductor manufacturing line that manufactures semiconductor devices, monitors, keyboards and impurity implantation processes, and material film deposition processes

정, 식각 공정등의 단위 공정이 수행되는 웨이퍼를 다수매 적재하여 공정 챔버 내부로 이송하는 풉(FOUP:FrontFOUP: Front that loads multiple wafers on which unit processes such as polishing and etching are performed and transfers them into the process chamber.

Opening Unified Pod)은 주로 랙(rack)에 위치하게 된다.Opening Unified Pod) is mainly located in a rack.

<3> 그러나, 종래에는 이러한 모니터, 키보드 및 풉이 일정 위치에 배치되지 못하여 배선이 매우 복잡하였으며, 관<3> However, conventionally, such a monitor, keyboard, and FOUP were not arranged in a certain position, so wiring was very complicated.

련 자료 메뉴얼 또한 정해진 위치에 놓여지지 않아 분실 위험이 컸다.The manuals for related data were also not placed in a fixed location, so there was a high risk of loss.

<4> 이처럼, 배선이 복잡하게 얽혀있을 경우, 합선의 위험이 매우 컸으며, 관련 자료 메뉴얼을 분실하였을 경우, 공<4> In this way, if the wiring is complicatedly entangled, the risk of short circuit is very high, and if the related data manual is lost,

정 설비 조작 미숙으로 반도체 디바이스 제조 공정에 차질을 빚게 되는 등의 문제점이 야기되었다.Problems such as impairment in the semiconductor device manufacturing process have occurred due to inexperience in the operation of fixed equipment.

상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 모니터, 키보드 및 풉이 일정한 위치에 배치될An object of the present invention for solving the conventional problems as described above, the monitor, the keyboard and the FOUP to be arranged in a certain position

수 있도록 하는 세이프티 랙을 제공함에 있다.It is to provide a safety rack that enables it.

<6> 본 발명의 다른 목적은, 모니터, 키보드 및 풉의 배선이 서로 얽히는 문제점을 해소할 수 있는 세이프티 랙을<6> Another object of the present invention is to provide a safety rack capable of solving the problem of intertwining wiring of a monitor, a keyboard, and a FOUP.

제공함에 있다.In the offering.

<7> 본 발명의 다른 목적은, 관련 자료 메뉴얼을 손쉽게 찾아볼 수 있도록 하는 세이프티 랙을 제공함에 있다.<7> Another object of the present invention is to provide a safety rack for easily browsing related data manuals.

<8> 본 발명의 다른 목적은, 작업의 효율성을 향상시켜 반도체 디바이스 제조 공정을 보다 원활히 진행시킬 수 있도<8> Another object of the present invention is to improve the efficiency of the operation so that the semiconductor device manufacturing process can proceed more smoothly.

록 하는 세이프티 랙을 제공함에 있다.To provide a locking safety rack.

본 발명에 의하면, 모니터, 키보드 및 FOUP이 수직방향으로 배치될 수 있도록 함으로써, 풉의 파손을 최소화하According to the present invention, by allowing the monitor, keyboard and FOUP to be arranged in a vertical direction, it is possible to minimize damage to the FOUP.

고, 키보드 오동작을 방지하고, 배선의 얽힘을 방지하며, 관련 자료 메뉴얼을 세이프티 랙의 각 단(모니터 장착In addition, it prevents malfunction of the keyboard, prevents wires from being entangled, and documents related manuals at each stage of the safety rack (monitor mounting

부, 키보드 장착부, 풉 보관부) 안쪽 공간에 보관하여 자료 분실 위험을 최소화함으로써, 엔지니어의 작업 능률Part, keyboard mounting part, and hoop storage part) by minimizing the risk of data loss by storing it in the inner space.

을 향상시킨다.Improves.

<11> 또한, 반도체 디바이스 제조 장비와의 직접적인 체결로 세이프티 랙을 보다 안정적으로 고정시킬 수 있으며, 엔<11> In addition, the safety rack can be more stably fixed by direct connection with the semiconductor device manufacturing equipment.

지니어의 눈높이에 모니터를 위치시켜 작업의 편의성을 제공함으로써, 보다 원활한 반도체 디바이스 제조 공정Smoother semiconductor device manufacturing process by providing convenience of work by placing the monitor at the eye level of the Genie

이 이루어질 수 있게 된다.This will be possible.

이하, 첨부된 도면들(도 1 ~ 도 5)을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings (FIGS. 1 to 5 ). The present invention

은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 본 발명의 카테고리를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 분야의 통상의 지식을 가진Is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms within the scope not departing from the scope of the present invention, only this embodiment makes the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the field With

자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.It is provided to fully inform the person of the scope of the invention.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 세이프티 랙(100)의 정면 구조를 나타낸다. <13> 그리고, 도 2 및 도 3은1 shows a front structure of a safety rack 100 according to a preferred embodiment of the present invention. <13> And, Figures 2 and 3

상기 세이프티 랙(100)의 양쪽 측면 구조를 나타낸다.It shows the structure of both sides of the safety rack 100.

<14> 먼저, 도 1을 참조하면, 상기 세이프티 랙(100)은 모니터 장착부(102), 키보드 장착부(104), 풉 보관부(106),<14> First, referring to FIG. 1, the safety rack 100 includes a monitor mounting portion 102, a keyboard mounting portion 104, a FOUP storage portion 106,

높이 조절부(108) 및 랙 비틀림 방지 브라켓(110)이 형성되어 있다.The height adjustment unit 108 and the rack torsion prevention bracket 110 are formed.

<15> 여기서, 상기 모니터 장착부(102)는 엔지니어의 눈높이에 형성하여, 모니터가 엔지니어의 눈높이에 위치할 수<15> Here, the monitor mounting portion 102 is formed at the engineer's eye level, so that the monitor can be positioned at the engineer's eye level.

있도록 한다. 이처럼, 모니터가 엔지니어의 눈높이에 위치할 경우, 작업시 엔지니어의 모니터링 작업이 보다 편To be. In this way, if the monitor is located at the engineer's eye level, the engineer's monitoring work is more convenient during work.

리해져 작업 능률이 향상되는 장점이 있다.It has the advantage of improving work efficiency by understanding.

<16> 그리고, 상기 모니터 장착부(102) 하부에 키보드 장착부(104)가 형성되어 있다. 상기 키보드 장착부(104)는 엔In addition, a keyboard mounting portion 104 is formed under the monitor mounting portion 102. The keyboard mounting part 104 is

지니어가 서 있는 상태에서 키보드 조작이 용이한 위치에 형성하는 것이 바람직하다.It is desirable to form it in a position where it is easy to operate the keyboard while the genie is standing.

<17> 상기 키보드 장착부(104)에 키보드를 장착하고자 하는 경우, 손잡이(105)를 앞으로 잡아당겨 상기 키보드 장착<17> When mounting the keyboard to the keyboard mounting portion 104, pull the handle 105 forward to mount the keyboard

부(104)가 선반 형태를 이루도록 한 뒤, 그 상부에 키보드를 장착시킨다.After making the part 104 to form a shelf, the keyboard is mounted on the upper part.

<18> 이처럼, 엔지니어의 키보드 조작 위치에 키보드가 장착되도록 함으로써, 키보드 오작동을 최소화한다.<18> As such, the keyboard malfunction is minimized by mounting the keyboard at the engineer's keyboard operation position.

<19> 그리고, 상기 키보드 장착부(104)의 하부에 풉 보관부(106)가 형성되어 있다. 상기 풉 보관부(106) 또한 손잡이In addition, a FOUP storage portion 106 is formed under the keyboard mounting portion 104. The FOUP storage unit 106 is also a handle

(107)를 앞으로 잡아당겨 상기 풉 보관부(106)가 선반 형태를 이루도록 한 뒤, 그 상부에 풉을 위치시킨다.Pull 107 forward so that the FOUP storage part 106 forms a shelf shape, and then locate the FOUP on the top thereof.

<20> 이처럼, 키보드 조작시 풉이 상기 풉 보관부(106)에 위치할 수 있도록 함으로써, 키보드 조작이 편리해지며, 풉<20> In this way, by allowing the FOUP to be located in the FOUP storage unit 106 when operating the keyboard, it becomes convenient to operate the keyboard.

의 손상을 방지할 수 있게 된다. 특히 풉을 수동 이동시키는 과정에서 풉이 손상되는 문제점을 원천적으로 방지It is possible to prevent damage to the. In particular, it prevents the problem of damage to the FOUP during manual movement of the FOUP.

할 수 있게 된다.You can do it.

<21> 그리고, 상기 세이프티 랙(100)의 하단부에 높이 조절부(108)가 형성되어 있다. 상기 높이 조절부(108)를 이용In addition, a height adjustment part 108 is formed at the lower end of the safety rack 100. Using the height adjustment unit 108

하여 반도체 디바이스 제조 설비의 높이와 세이프티 랙(100)의 높이를 동일하게 유지할 수 있게 된다.Thus, the height of the semiconductor device manufacturing facility and the height of the safety rack 100 can be kept the same.

<22> 그리고, 상기 세이프티 랙(100)의 상단부에 랙 비틀림 방지 브라켓(110)을 구비하여, 세이프티 랙(100)의 비틀<22> And, by providing a rack torsion prevention bracket 110 at the upper end of the safety rack 100, the twist of the safety rack 100

림을 최소화한다.Minimize the rim.

<23> 그리고, 상기 모니터 장착부(102), 키보드 장착부(104) 및 풉 보관부(106) 안쪽 공간에 관련 자료 메뉴얼을 보<23> In addition, the related document manual is provided in the space inside the monitor mounting part 102, the keyboard mounting part 104, and the FOUP storage part 106.

관하여 자료 분실 위험을 최소화함으로써, 엔지니어로 하여금 적시에 관련 자료 메뉴얼을 찾아볼 수 있도록 한By minimizing the risk of data loss, the engineer can search the relevant data manual in a timely manner.

다.All.

<24> 도 2에는 상기 세이프티 랙(100)의 일측 측면 구조로서, 상기 키보드 장착부(104) 및 풉 보관부(106)가 수평으<24> In Figure 2, as a side structure of the safety rack 100, the keyboard mounting portion 104 and the FOUP storage portion 106 is horizontally

로 펼쳐져 있는 상태가 도시되어 있다.The unfolded state is shown.

<25> 도 2를 참조하면, 상기 모니터 장착부(102) 주변에 모니터 열순환 환기부(112)가 형성되어 있다. 상기 모니터Referring to FIG. 2, a monitor heat circulation ventilation unit 112 is formed around the monitor mounting unit 102. Reminder monitor

열순환 환기부(112)로 인해 모니터에서 나오는 열이 외부로 방출된다.Heat from the monitor is discharged to the outside due to the heat circulation ventilation unit 112.

<26> 그리고, 상기 모니터 장착부(102) 주변에 모니터 전원 케이블 공급부(114)가 형성되어 있다.Then, a monitor power cable supply unit 114 is formed around the monitor mounting unit 102.

<27> 이처럼, 상기 모니터 전원 케이블 공급부(114)를 통해 모니터 전원 케이블이 공급되므로, 배선의 복잡함을 해소<27> In this way, since the monitor power cable is supplied through the monitor power cable supply unit 114, the complexity of wiring is eliminated.

할 수 있게 된다.You can do it.

<28> 그리고, 상기 세이프티 랙(100)의 하단부에 배선 공급부(118)가 형성되어 있다.In addition, a wiring supply unit 118 is formed at the lower end of the safety rack 100.

<29> 본 발명에 따른 상기 세이프티 랙(100)에 의하면, 모니터 및 키보드에 연결되는 배선을 하단에서 집중시켜 연결<29> According to the safety rack 100 according to the present invention, the wiring connected to the monitor and the keyboard is concentrated and connected from the bottom.

함으로써, 배선의 복잡함 및 지저분함을 해소할 수 있게 된다.By doing so, it becomes possible to eliminate the complexity and mess of wiring.

<30> 그리고, 상기 세이프티 랙(100)의 하단부에 랙 고정 브라켓(120)이 형성되어 있다. 상기 랙 고정 브라켓(120)은In addition, a rack fixing bracket 120 is formed at the lower end of the safety rack 100. The rack fixing bracket 120 is

상기 세이프티 랙(100)의 지정위치가 이탈하는 것을 방지하고, 지진으로부터 상기 세이프티 랙(100)을 보호하기To prevent deviation of the designated position of the safety rack 100 and to protect the safety rack 100 from earthquake

위한 버퍼 역할을 한다.It acts as a buffer for

<31> 그리고, 상기 풉 보관부(106)에는 풉 보관부 지지대(116)가 형성되어 있어, 상기 풉 보관부(106)가 풉의 무게로<31> In addition, the FOOP storage unit 106 has a FOUP storage unit support 116 formed, so that the FOUP storage 106 is

인해 하부로 쳐지는 것을 방지하게 된다.Therefore, it is prevented from being struck downward.

<32> 그리고, 상기 세이프티 랙(100)의 후면에는 도어(122)가 형성되어 있다. 상기 도어(122)로 인해 상기 세이프티랙(100) 내부가 커버되어 미관상 지저분함을 해소하게 된다.In addition, a door 122 is formed on the rear surface of the safety rack 100. Due to the door 122, the interior of the safety rack 100 is covered, thereby eliminating the appearance of messiness.

도 3에는 상기 세이프티 랙(100)의 타측 측면 구조로서, 상기 키보드 장착부(104) <33> 및 풉 보관부(106)가 펼쳐지3 shows the structure of the other side of the safety rack 100, in which the keyboard mounting portion 104 and the pawl storage portion 106 are unfolded.

지 않은 상태가 도시되어 있다.Not shown.

<34> 도 3을 참조하면, 상기 세이프티 랙(100)의 상부에는 블라인드(124)가 형성되어 있다. 상기 블라인드(124)는 상Referring to FIG. 3, a blind 124 is formed on the safety rack 100. The blinds 124 are upper

기 세이프티 랙(100)과 반도체 디바이스 제조 설비를 직접적으로 체결하여 상기 세이프티 랙(100)을 단단히 고The safety rack 100 is securely fixed by directly connecting the safety rack 100 and the semiconductor device manufacturing facility.

정시킬 수 있으며, 반도체 디바이스 제조 설비와의 일정 간격을 유지할 수 있도록 한다.It can be set, and a certain distance from the semiconductor device manufacturing equipment can be maintained.

<35> 도 4에는 상기 세이프티 랙(100)의 후면 구조로서, 도어가 닫혀져 있는 상태가 도시되어 있다.4 shows a rear structure of the safety rack 100, in which the door is closed.

<36> 도 4를 참조하면, 상기 세이프티 랙(100)의 후면은 도어(122)에 의해 커버된다. 따라서, 상기 세이프티 랙(10Referring to FIG. 4, the rear surface of the safety rack 100 is covered by a door 122. Thus, the safety rack 10

0)을 사용하지 않을 경우에는 도어(122)를 이용하여 상기 세이프티 랙(100)을 커버함으로써, 작업장의 지저분함0) When not in use, by using the door 122 to cover the safety rack 100, the workplace is messy.

을 방지할 수 있게 된다.Can be prevented.

<37> 한편, 도 5에는 본 발명에 따른 상기 세이프티 랙(100)의 후면 사시 구조가 도시되어 있다.Meanwhile, FIG. 5 shows a rear perspective structure of the safety rack 100 according to the present invention.

<38> 도 5를 참조하면, 상기 세이프티 랙(100)의 각 단, 즉 모니터 장착부(102), 키보드 장착부(104) 및 풉 보관부5, each end of the safety rack 100, that is, the monitor mounting portion 102, the keyboard mounting portion 104, and the FOUP storage portion

(106)의 뒷편에 관련 자료 메뉴얼을 보관할 수 있는 내부 공간(126a, 126b, 126c)이 형성되어 있다. 상기 내부In the back of (106), internal spaces (126a, 126b, 126c) for storing manuals for related materials are formed. Above inside

공간(126a,126b,126c)에 모니터, 키보드 및 풉 운용에 관련된 메뉴얼이나 참고자료등을 보관함으로써, 자료 분By storing manuals and reference materials related to monitor, keyboard and FOOP operation in the spaces 126a, 126b, and 126c,

실 위험을 최소화할 수 있으며, 필요시 손쉽게 꺼내볼 수 있어 엔지니어의 작업 능률 또한 향상시킬 수 있게 된The actual risk can be minimized, and the engineer's work efficiency can be improved as it can be easily taken out when necessary.

다.All.

<39> 상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 세이프티 랙(100)은 블라인드 일체형으로서, 반도체 디바이스 제조 설비와<39> As described above, the safety rack 100 according to the present invention is a blind integrated type, and a semiconductor device manufacturing facility and

약 10~32W 볼트를 이용하여 직접적으로 고정됨으로써, 안전성을 확보할 수 있다.Safety can be secured by being directly fixed using about 10~32W bolts.

<40> 그리고, 상기 도 1 및 도 2등에 도시된 것과 같이, 모니터 장착부(102), 키보드 장착부(104) 및 풉 보관부(10And, as shown in Figs. 1 and 2, the monitor mounting portion 102, the keyboard mounting portion 104, and the FOUP storage portion 10

6)가 수직으로 배열되어 있어, 작업을 효율성을 극대화시킨다.6) are arranged vertically, maximizing work efficiency.

<41> 그리고, 관련 자료 메뉴얼을 세이프티 랙의 각 단, 즉 상기 모니터 장착부(102), 키보드 장착부(104) 및 풉 보<41> In addition, the related data manual is provided at each end of the safety rack, that is, the monitor mounting portion 102, the keyboard mounting portion 104, and the

관부(106) 안쪽 공간(126a,126b,126c)에 보관하여 자료 분실 위험을 최소화함으로써, 엔지니어의 작업 능률을By minimizing the risk of data loss by storing it in the inner spaces (126a, 126b, 126c) of the pipe part (106), the work efficiency of the engineer is improved.

향상시킨다.Improve.

<42> 또한, 상기 모니터 열순환 환기부(112)를 통해 모니터에서 발생하는 열을 외부로 방출하므로 세이프티 랙(100)In addition, since heat generated from the monitor is discharged to the outside through the monitor heat circulation ventilation unit 112, the safety rack 100

및 반도체 디바이스 제조 설비가 과열되는 것을 방지할 수 있다.And the semiconductor device manufacturing equipment can be prevented from overheating.

<43> 또한, 상기 랙 비틀림 방지 브라켓(110) 및 랙 고정 브라켓(120)으로 인해 세이프티 랙(100)의 변형과 이탈을<43> In addition, deformation and separation of the safety rack 100 due to the rack torsion prevention bracket 110 and the rack fixing bracket 120

충분히 방지할 수 있으며, 상기 모니터 전원 케이블 공급부(114) 및 배선 공급부(118)를 이용하여 배선을 연결It can be sufficiently prevented, and the monitor power cable supply unit 114 and the wiring supply unit 118 are used to connect the wiring.

함으로써, 배선의 복잡함 및 지저분함을 해소할 수 있게 된다.By doing so, it becomes possible to eliminate the complexity and mess of wiring.

Claims (1)

엔지니어의 눈높이에 모니터가 위치할 수 있도록, 엔지니어의 눈높이 위치에 형성되어 있는 모니터 장착부;
상기 모니터 장착부의 수직선상 하부에 형성되는 키보드 장착부; 및
상기 키보드 장착부의 수직선상 하부에 형성되는 풉 보관부를 포함함을 특징으로 하는 세이프티 랙.A monitor mounting portion formed at the engineer's eye level so that the monitor can be positioned at the engineer's eye level;
A keyboard mounting portion formed below a vertical line of the monitor mounting portion; And
Safety rack, characterized in that it comprises a storage unit formed in the lower vertical line of the keyboard mounting portion.
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