KR20200091246A - Ozone generating device and ozone cell cleaning device - Google Patents

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KR20200091246A
KR20200091246A KR1020190008284A KR20190008284A KR20200091246A KR 20200091246 A KR20200091246 A KR 20200091246A KR 1020190008284 A KR1020190008284 A KR 1020190008284A KR 20190008284 A KR20190008284 A KR 20190008284A KR 20200091246 A KR20200091246 A KR 20200091246A
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(주) 알에프티에스아이
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Abstract

The present invention relates to an ozone-generating device and ozone cell-cleaning device. The ozone-generating device and ozone cell-cleaning device includes: an ozone-generating device, which includes a plurality of ozone cells having lower cells and upper cells inside thereof, and generates ozone when nitrogen and oxygen are supplied thereto; an ozone cell-cleaning device, which includes a feeding unit in which a cleaning gas for cleaning the ozone cells is stored, and a plasma chamber receiving the cleaning gas from the feeding unit and converting the cleaning gas into a plasma-state cleaning gas; a feeding valve which links the ozone cell-cleaning device with the ozone-generating device, and supplies nitrogen and oxygen, or the plasma-state cleaning gas; a vacuum pump linked to the feeding valve and converting the inner part of the ozone cell-cleaning device and ozone-generating device into a vacuum state; and a frame section including a table on which the ozone-generating device and ozone cell-cleaning device are installed, a conveying frame spaced apart from the bottom of the table by a predetermined interval and having a conveying wheel, a controlling frame linked to one side of the table and having a remote controlling unit, and support frames having a first support frame and a second support frame for linking the table with the conveying frame.

Description

오존 생성장치 및 오존셀 세정장치{Ozone generating device and ozone cell cleaning device}Ozone generating device and ozone cell cleaning device

본 발명은 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 오존 생성장치의 높낮이 및 위치 이동이 자유롭게 이루어지도록 함으로써, 사용처에 따라 다양한 위치에서 오존 산소의 공급 및 셀의 세정이 가능한 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ozone generating device and an ozone cell cleaning device. More specifically, the present invention relates to an ozone generating device and an ozone cell cleaning device capable of supplying ozone oxygen and cleaning cells at various positions depending on the use, by freely moving the height and position of the ozone generating device.

오존 생성장치는 내부에 설치된 복수개의 셀로부터 오존을 생성하는 것으로, 복수개의 셀측으로 공급되는 산소가 전기 방전에 의해 오존으로 변환된다. The ozone generating apparatus generates ozone from a plurality of cells installed therein, and oxygen supplied to the plurality of cells is converted into ozone by electric discharge.

종래 오존 생성장치로서, 대한민국 등록특허 제10-0416175호 "오존 생성 방법 및 장치"가 게재된 바 있다. As a conventional ozone generating device, Korean Patent Registration No. 10-0416175 "Ozone generating method and device" has been published.

게재된 바와 같은 종래 오존 생성장치는 장기간 사용할 경우, 내부에 구비된 셀의 표면에 이물질이 부착되거나 오염되는 경우가 발생된다. 이렇게 셀 표면에 이물질이 부착되면 오존생성률이 저하되어 일정 기간이 경과되면 셀을 교체해야 했다. In the conventional ozone generating device as described above, when used for a long time, a foreign substance is attached or contaminated on the surface of the cell provided therein. When foreign matter adhered to the cell surface in this way, the ozone production rate decreased, and the cell had to be replaced after a certain period of time.

즉, 셀의 수명이 다하지 않았음에도 불구하고 셀 표면의 오염을 세정하지 못해 셀을 교체해야만 하는 문제점이 있다.That is, there is a problem in that the cell must be replaced because the cell surface cannot be cleaned even though the cell has not reached the end of its life.

또한, 종래의 오존 생성장치의 경우, 고정된 위치에서만 오존의 생성이 이루어지도록 구성되는 것이어서 다양한 위치에서 오존의 생성이 어려움에 따라 오존 산소의 공급 범위가 매우 제한적일 수밖에 없는 문제점이 있다.In addition, in the case of the conventional ozone generating apparatus, since ozone is generated only at a fixed position, ozone oxygen supply range is very limited due to difficulty in generating ozone at various positions.

대한민국 등록특허 제10-0416175호Republic of Korea Registered Patent No. 10-0416175

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 전술한 배경기술에 의해서 안출된 것으로, 오존 생성장치의 높낮이 및 위치 이동이 자유롭게 이루어지도록 함으로써, 사용처에 따라 다양한 위치에서 오존 산소의 공급 및 셀의 세정이 가능한 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In order to solve this problem, the present invention was devised by the above-described background technology, and it is possible to supply ozone oxygen and clean cells at various locations depending on the place of use by allowing the height and position of the ozone generator to be freely moved. It is an object to provide an ozone generating device and an ozone cell cleaning device.

또한, 본 발명은 오존 생성장치와 오존셀 세정장치가 테이블에 모두 구성되어 셀의 내부에 발생하는 침식물의 제거시 오존 생성장치의 내부로 플라즈마 상태의 플라즈마 상태의 세정가스를 공급하여 셀의 세정이 이루어지도록 함으로써, 셀의 세정을 위해 오존 생성장치의 분해 및 조립 과정을 동반하지 않고, 셀의 교체 작업을 수행하지 않아도 됨에 따라 세정작업의 편의성을 향상시킬 뿐만 아니라, 오존 생성장치의 유지 보수 비용을 절감할 수 있는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, in the present invention, both the ozone generating device and the ozone cell cleaning device are configured on the table, and when the erosion generated inside the cell is removed, the cell is cleaned by supplying the plasma state cleaning gas into the ozone generating device. By doing this, it is not necessary to carry out the disassembly and assembly process of the ozone generating device for cleaning the cell, and it is not only necessary to perform the replacement operation of the cell, but also improves the convenience of the cleaning operation, as well as the maintenance cost of the ozone generating device. An object of the present invention is to provide an ozone generating device and an ozone cell cleaning device that can reduce energy consumption.

다만, 본 발명의 목적은 이에만 제한되는 것은 아니며, 명시적으로 언급하지 않더라도 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 이에 포함됨은 물론이다. However, the object of the present invention is not limited to this, and it is of course included in the object or effect that can be grasped from the solution means or the embodiment of the subject even if not explicitly stated.

이와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 내부에 하부셀 및 상부셀로 구성되는 복수개의 오존셀을 구비하고, 질소 및 산소 공급시 오존을 생성하는 오존 생성장치; 상기 오존셀의 세정을 위한 세정용 가스가 저장되는 공급장치와, 상기 공급장치로부터 상기 세정용 가스를 공급받고, 공급된 세정용 가스를 플라즈마 상태의 세정가스로 변환하는 플라즈마 챔버를 포함하는 오존셀 세정장치; 상기 오존셀 세정장치와 상기 오존 생성장치를 연결하고, 상기 질소 및 산소, 또는 변환된 플라즈마 상태의 세정가스를 공급하는 공급밸브; 상기 공급밸브와 연결되며, 상기 오존셀 세정장치 및 오존 생성장치의 내부를 진공상태로 전환하는 진공펌프; 및 상기 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치가 장착되는 테이블과, 상기 테이블의 하부에 소정 간격 이격되게 구성되며 이송바퀴가 형성된 이송 프레임과, 상기 테이블의 일측에 연결되며 원격 제어부가 장착되는 제어 프레임과, 상기 테이블과 이송 프레임을 연결하도록 제1 및 제2지지 프레임으로 구성되는 지지 프레임을 포함하는 프레임부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention for achieving the above object, there is provided a plurality of ozone cells consisting of a lower cell and an upper cell therein, an ozone generator for generating ozone when supplying nitrogen and oxygen; An ozone cell comprising a supply device in which a cleaning gas for cleaning the ozone cell is stored, and a plasma chamber receiving the cleaning gas from the supply device and converting the supplied cleaning gas into a cleaning gas in a plasma state Cleaning device; A supply valve connecting the ozone cell cleaning device and the ozone generating device, and supplying the nitrogen and oxygen, or the converted plasma-type cleaning gas; A vacuum pump connected to the supply valve and converting the inside of the ozone cell cleaning device and ozone generating device into a vacuum state; And a table on which the ozone generating device and ozone cell cleaning device are mounted, a transport frame configured to be spaced apart at a predetermined interval below the table, and a transport frame on which a transport wheel is formed, and a control frame connected to one side of the table and equipped with a remote control unit. It characterized in that it comprises a; frame portion including a support frame consisting of a first and second support frame to connect the table and the transfer frame.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 지지 프레임은 상기 테이블의 양측면에 구성되며, 상기 제1 및 제2지지 프레임을 고정시키는 고정부재; 상기 제1 및 제2지지 프레임의 슬라이딩 이동을 가이드 하는 가이드 브라켓; 및 상기 테이블의 길이 방향을 따라 길게 형성되며, 상기 고정부재가 결합되는 이송 지지부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the support frame is configured on both sides of the table, the fixing member for fixing the first and second support frames; A guide bracket for guiding the sliding movement of the first and second supporting frames; And a transport support member formed long along the longitudinal direction of the table and to which the fixing member is coupled.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 고정부재는 상기 제1 및 제2지지 프레임 각각의 상단부에 형성되며, 상기 가이드 브라켓에 삽입되는 고정블록과, 상기 고정블록의 축중심으로부터 연장되게 형성되며, 상기 이송 지지부재의 내부로 인입되는 고정축과, 상기 고정축의 단부에 구성되며, 상기 이송 지지부재의 작동 여부에 따라 지지 프레임의 슬라이딩 이동 여부를 제어하는 고정핀으로 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the fixing member is formed at the upper end of each of the first and second supporting frames, and is fixed to be inserted into the guide bracket and extends from an axis center of the fixing block, It is characterized in that it comprises a fixed shaft that is introduced into the interior of the transfer support member, and a fixed pin that is configured at an end of the fixed shaft and controls whether the support frame slides or not according to whether the transfer support member is operated.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 공급장치는, 상기 세정용 가스가 저장되는 저장탱크와, 상기 저장탱크와 상기 플라즈마 챔버를 연결하며, 상기 세정용 가스를 공급하는 가스 공급부와, 상기 플라즈마 챔버와 상기 공급밸브를 연결하고, 상기 플라즈마 상태의 세정가스를 상기 공급밸브측으로 공급하는 세정가스 공급부를 더 포함하고, 상기 저장탱크는, 질소 및 산소가 각각 개별적으로 저장되는 질소 저장탱크 및 산소 저장탱크가 더 구성되며, 상기 가스 공급부는, 상기 공급밸브와 연결되어 상기 질소 및 산소, 또는 세정용 가스를 각각 상기 공급밸브측으로 공급하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the supply device, the storage tank for storing the cleaning gas, the storage tank and the plasma chamber, the gas supply for supplying the cleaning gas, and the plasma chamber And a cleaning gas supply unit connecting the supply valve and supplying the cleaning gas in the plasma state to the supply valve side, wherein the storage tank includes a nitrogen storage tank and an oxygen storage tank in which nitrogen and oxygen are respectively stored separately. Is further configured, the gas supply unit is connected to the supply valve, characterized in that for supplying the nitrogen and oxygen, or cleaning gas to the supply valve side, respectively.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 플라즈마 챔버는, 상기 공급장치로부터 공급되는 세정용 가스를 플라즈마 상태로 변환하는 가스 변환모듈과, 상기 공급장치와 연결되고, 상기 세정용 가스와 플라즈마 상태의 가스를 상기 공급밸브로 공급하는 가스 공급배관과, 상기 세정용 가스의 공급량, 상기 플라즈마 상태의 가스의 공급량을 측정하고, 측정된 공급량에 대한 수치를 표시하는 계측장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the plasma chamber, a gas conversion module for converting the cleaning gas supplied from the supply device into a plasma state, and connected to the supply device, the cleaning gas and plasma state gas It characterized in that it comprises a gas supply pipe for supplying to the supply valve, and the measuring device for measuring the supply amount of the cleaning gas, the supply amount of the gas in the plasma state, and displays a numerical value for the measured supply amount.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 오존 생성장치는, 복수개의 오존셀; 오존 생성장치의 구동을 제어하는 제어기판이 구성되고, 오존 생성을 위한 정보입력 및 입력된 정보의 표시 및 알람이 이루어지는 전면 컨트롤패널; 후방부에 형성되며, 오존 생성을 위해 산소 및 질소의 공급이 이루어지도록 구성되며, 생성된 오존을 사용처로 공급하는 후면 컨트롤 패널;을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the ozone generating device includes: a plurality of ozone cells; A control panel for controlling the operation of the ozone generator, and a front control panel for inputting information for generating ozone and displaying and alarming the input information; It is formed on the rear portion, and is configured to supply oxygen and nitrogen for ozone production, and is characterized in that it comprises a rear control panel for supplying the generated ozone to the user.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전면 컨트롤 패널은 질소 및 산소의 공급량에 대한 수치 데이터의 입력 및 표시가 이루어지는 전면 표시창; 오존의 생성 여부 및 오류 정보를 점등의 형태로 알람하는 알람등; 상기 오존셀로 공급되는 산소의 공급량 및 공급 압력을 조절하는 산소 흐름 제어부; 및 상기 오존 생성장치 및 오존셀로 전원을 공급하는 전원 공급부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the front control panel includes a front display window on which input and display of numerical data for supply of nitrogen and oxygen are made; An alarm lamp for alarming whether ozone is generated and error information in the form of lighting; An oxygen flow control unit that controls the supply amount and the supply pressure of oxygen supplied to the ozone cell; And a power supply unit supplying power to the ozone generator and the ozone cell.

이와 같은 본 발명의 실시예에 의하면, 오존 생성장치의 높낮이 및 위치 이동이 자유롭게 이루어지도록 함으로써, 사용처에 따라 다양한 위치에서 오존 산소의 공급 및 셀의 세정이 가능한 효과가 있다.According to this embodiment of the present invention, by allowing the height and position of the ozone generating device to be freely moved, there is an effect of supplying ozone oxygen and cleaning the cell at various positions depending on the place of use.

또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 셀의 세정을 위해 오존 생성장치의 분해 및 조립 과정을 동반하지 않고, 셀의 교체 작업을 수행하지 않아도 됨에 따라 세정작업의 편의성을 향상시킬 뿐만 아니라, 오존 생성장치의 유지 보수 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, it is not necessary to carry out the disassembly and assembly process of the ozone generating device for cleaning the cell, and it is not only necessary to perform the replacement operation of the cell, but also improves the convenience of the cleaning operation, and also generates ozone. There is an effect that can reduce the maintenance cost of the device.

더불어, 본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시 형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다. In addition, various and beneficial advantages and effects of the present invention are not limited to the above, and will be more readily understood in the course of describing the specific embodiments of the present invention.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치를 개략적으로 나타낸 정면도 및 배면도,
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임부를 나타낸 도면,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임부의 제어 프레임의 높이 조절 구조를 나타낸 도면,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치를 나타낸 도면,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치의 외면을 나타낸 확대도면,
도 8 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치의 셀 구조를 나타낸 도면이다.1 and 2 are a front view and a rear view schematically showing the ozone generating device and the ozone cell cleaning device according to an embodiment of the present invention,
3 and 4 is a view showing a frame portion according to an embodiment of the present invention,
5 is a view showing the height adjustment structure of the control frame of the frame unit according to an embodiment of the present invention,
6 is a view showing an ozone generating apparatus according to an embodiment of the present invention,
7 is an enlarged view showing the outer surface of the ozone generating apparatus according to an embodiment of the present invention,
8 to 10 is a view showing the cell structure of the ozone generating apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, when adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same components have the same reference numerals as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that detailed descriptions of related well-known structures or functions may obscure the subject matter of the present invention, detailed descriptions thereof will be omitted.

또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속" 된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, in describing the components of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the nature, order, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, the component may be directly connected to or connected to the other component, but another component between each component It should be understood that elements may be "connected", "coupled" or "connected".

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치를 개략적으로 나타낸 정면도 및 배면도, 도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임부를 나타낸 도면, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임부의 제어 프레임의 높이 조절 구조를 나타낸 도면, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치를 나타낸 도면, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치의 외면을 나타낸 확대도면, 도 8 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 생성장치의 셀 구조를 나타낸 도면이다.1 and 2 are a front view and a rear view schematically showing an ozone generating device and an ozone cell cleaning device according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are views showing a frame part according to an embodiment of the present invention. , Figure 5 is a view showing the height adjustment structure of the control frame of the frame unit according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a view showing an ozone generating device according to an embodiment of the present invention, Figure 7 is an embodiment of the present invention An enlarged view showing the outer surface of the ozone generator according to an example, FIGS. 8 to 10 are views showing a cell structure of the ozone generator according to an embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명의 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치는 프레임부(100), 오존 생성장치(200), 오존셀 세정장치(300) 및 원격 제어부(400)를 포함하여 구성된다. As shown, the ozone generating device and ozone cell cleaning device of the present invention includes a frame unit 100, an ozone generating device 200, an ozone cell cleaning device 300, and a remote control unit 400.

프레임부(100)는 오존 생성장치(200) 및 오존셀 세정장치(300)가 장착되며, 오존산소가 필요한 위치로 상기 오존 생성장치(200)를 이송하여 오존산소의 공급이 이루어지도록 하고, 오존 생성장치(200)의 내부에 구성되는 오존셀(202)의 세정이 이루어지도록 오존셀 세정장치(300)의 구동을 지지하도록 하는 한편, 일측으로 원격 제어장치(500)가 장착되어 상기 오존 생성장치(200) 및 오존셀 세정장치(300)의 구동의 제어가 이루어지도록 하는 구성요소이다. The frame unit 100 is equipped with an ozone generating apparatus 200 and an ozone cell cleaning apparatus 300, and transports the ozone generating apparatus 200 to a location where ozone oxygen is required so that ozone oxygen is supplied and ozone is supplied. On the other hand, while supporting the driving of the ozone cell cleaning device 300 so that the cleaning of the ozone cell 202 constituted inside the generating device 200 is performed, the remote control device 500 is mounted on one side, and the ozone generating device It is a component to control the driving of the 200 and the ozone cell cleaning device 300.

이러한 프레임부(100)는 테이블(102), 이송 프레임(104), 고정 브라켓(106) 및 이송 손잡이(108)를 포함하여 구성된다.The frame portion 100 includes a table 102, a transfer frame 104, a fixed bracket 106 and a transfer handle 108.

이송 프레임(104)은 본 발명의 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치의 하중을 지지하는 한편, 원활한 이송이 이루어질 수 있도록 이송바퀴(104a)가 형성된다. The transfer frame 104 supports the loads of the ozone generating apparatus and ozone cell cleaning apparatus of the present invention, while the transfer wheel 104a is formed to enable smooth transfer.

이러한 이송 프레임(104)에는 상기 지지 프레임(110)이 슬라이딩 이동이 이루어지도록 구성되는 경우, 상기 고정부재(120), 가이드 브라켓(140) 및 이송 지지부재(150)가 더 구성됨이 바람직하다. When the support frame 110 is configured to perform sliding movement, it is preferable that the fixing member 120, the guide bracket 140, and the transport supporting member 150 are further configured in the transfer frame 104.

고정 브라켓(106)은 테이블(102)의 하부면에 고정 결합되며, 후술할 오존셀 세정장치(400)의 공급장치(410)가 테이블(102)의 하부면에 위치하도록 구성된다. The fixing bracket 106 is fixedly coupled to the lower surface of the table 102, and the supply device 410 of the ozone cell cleaning device 400, which will be described later, is configured to be located on the lower surface of the table 102.

테이블(102)은 상부면으로 오존 생성장치(200) 및 오존셀 세정장치(300)가 장착된다. The table 102 is equipped with an ozone generating device 200 and an ozone cell cleaning device 300 on the upper surface.

또한 테이블(102)은 전방으로 오존 생성장치(200) 및 오존셀 세정장치(300)를 이송하기 위해 작업자가 파지하는 이송 손잡이(108)가 결합되고, 이에 대응되는 후방부에는 원격 제어부(500)가 장착되는 제어 프레임(130)이 결합된다. In addition, the table 102 is coupled with a transport handle 108, which is held by an operator to transport the ozone generating device 200 and the ozone cell cleaning device 300 to the front, and the remote control part 500 is attached to the rear part corresponding thereto. The control frame 130 is mounted.

여기서, 제어 프레임(130)은 테이블(102)의 후방부 중앙에 분리 가능하게 결합되고, 원격 제어부(500)의 높이 조절이 이루어지도록 지지하는 조절 브라켓(138)과, 조절 브라켓(138)에 승하강 작동이 이루어지도록 결합되는 조절봉(136)과, 조절봉(136)의 상단부에 고정 결합되는 탈착부재(134)와, 탈착부재(134)의 끝단부에 결합되고, 원격 제어부(500)가 거치되는 받침판(132)을 포함하여 구성된다. Here, the control frame 130 is detachably coupled to the center of the rear portion of the table 102, and is mounted on the adjustment bracket 138 and the adjustment bracket 138 to support the height adjustment of the remote control unit 500. The control rod 136 is coupled so that the lowering operation is made, and the detachable member 134 fixedly coupled to the upper end of the control rod 136, and coupled to the end of the detachable member 134, the remote control unit 500 is It is configured to include a base plate 132 to be mounted.

이러한 제어 프레임(130)에는 조절 브라켓(138)에 나사 체결 방식으로 체결되어 조절 브라켓(138)과의 체결 여부에 따라 조절봉(136)의 승하강 작동이 이루어지도록 하는 조절 손잡이(135)가 구성된다. The control frame 130 is fastened to the adjustment bracket 138 by a screw fastening method, and the adjustment handle 135 is configured to allow the vertical movement of the adjustment rod 136 according to whether the adjustment bracket 138 is fastened. do.

아울러, 탈착부재(134)는 조정볼(136)의 상측 끝단부에 수직하게 결합이 이루어지며, 끝단부로 받침판(132)이 고정 결합된다.In addition, the detachable member 134 is vertically coupled to the upper end of the adjustment ball 136, the support plate 132 is fixedly coupled to the end.

받침판(132)은 원격 제어부(500)가 거치되는 상부 받침판 및 상기 상부 받침판이 체결되는 하부 받침판으로 이루어지며 고정 스크류 등을 통해 상기 상부 받침판이 하부 받침판에 체결되게 구성되고, 상기 상부 받침판이 하부 받침판에 체결되는 위치에 따라 길이 조절이 이루어지도록 구성될 수 있다. The base plate 132 is composed of an upper base plate on which the remote control unit 500 is mounted and a lower base plate to which the upper base plate is fastened, and the upper base plate is fastened to the lower base plate through a fixing screw or the like, and the upper base plate is lower base plate It may be configured to be adjusted in length according to the position to be fastened to.

또한, 테이블(102)의 양측으로는 지지 프레임(110)의 상부가 결합되어 상기 지지 프레임(110)에 의해 이송 프레임(104)과 연결이 이루어지도록 구성된다. In addition, the upper side of the support frame 110 is coupled to both sides of the table 102 is configured to be connected to the transfer frame 104 by the support frame 110.

이때, 지지 프레임(110)은 상단부가 테이블(102)의 양측면과 결합되고, 하단부가 이송 프레임(104)의 양측면에 결합되어 상기 테이블(102)과 이송 프레임(104)을 연결하는 한편, 테이블(102)의 하중을 지지하는 역할을 하는 구성요소이다. At this time, the support frame 110, the upper end is coupled to both sides of the table 102, the lower end is coupled to both sides of the transfer frame 104 to connect the table 102 and the transfer frame 104, while the table ( It is a component that plays a role in supporting the load of 102).

이러한 지지 프레임(110)은 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)으로 구성되며, 상기 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)이 서로 교차되는 형태를 이루도록 구성되며, 중앙부에 상기 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)이 서로 연결되게 구성될 수 있도록 결합수단(116)이 구성된다. The support frame 110 is composed of first and second support frames 112 and 114, and the first and second support frames 112 and 114 are configured to form an intersection with each other. The coupling means 116 are configured so that the first and second support frames 112, 114 can be configured to be connected to each other.

또한, 지지 프레임(110)의 상단부에는 테이블(102)의 양측면에 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)을 고정시키는 고정부재(120)가 구성된다. In addition, a fixing member 120 for fixing the first and second support frames 112 and 114 to both sides of the table 102 is configured at an upper end of the support frame 110.

이와 같은 지지 프레임(110)은 도 4에 도시된 바와 같이, 테이블(102)의 높낮이 조절이 가능하도록 상기 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 상단부가 테이블(102)의 길이 방향으로 이동이 이루어지되, 서로 반대되는 방향으로 슬라이딩 이동이 이루어지면서 테이블(102)의 높낮이를 조절할 수 있도록 구성될 수 있을 것이다. 4, the upper ends of the first and second support frames 112 and 114 are in the longitudinal direction of the table 102 so that the height of the table 102 can be adjusted as shown in FIG. 4. The movement is made, but may be configured to adjust the height of the table 102 while sliding movements are made in opposite directions.

이때, 상기 테이블(102)에는 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 슬라이딩 이동을 가이드 하는 가이드 브라켓(140) 및 이송 지지부재(150)가 더 구성되고, 상기 고정부재(120)의 작동 여부에 따라 지지 프레임(110)의 슬라이딩 이동이 이루어지도록 구성된다.At this time, the table 102 further comprises a guide bracket 140 and a transfer support member 150 for guiding the sliding movement of the first and second support frames 112 and 114, and the fixing member 120 It is configured to perform the sliding movement of the support frame 110 depending on whether or not it works.

여기서, 고정부재(120)는 제1 및 제2지지 프레임(112, 114) 각각의 상단부에 형성되며, 가이드 브라켓(140)에 삽입되는 고정블록(124)과, 상기 고정블록(124)의 축중심으로부터 연장되게 형성되며, 테이블(102)을 관통하여 이송 지지부재(150)의 내부로 인입되는 고정축(126) 및 상기 고정축(126)의 단부에 구성되며, 이송 지지부재(150)의 작동 여부에 따라 지지 프레임(110)의 슬라이딩 이동 여부를 제어하는 고정핀(122)으로 구성된다. Here, the fixing member 120 is formed on the upper end of each of the first and second support frames 112 and 114, the fixing block 124 inserted into the guide bracket 140, and the axis of the fixing block 124 It is formed to extend from the center, is formed at the end of the fixed shaft 126 and the fixed shaft 126 through the table 102 and introduced into the interior of the transfer support member 150, the transfer support member 150 of It is composed of a fixing pin 122 that controls whether the support frame 110 is sliding or not according to whether it is operated.

가이드 브라켓(140)은 테이블(102)의 양측부 내면에 형성되며, 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 상단부에 구성되는 고정블럭(124)이 삽입되도록 구성되고, 상기 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 슬라이딩 이동을 지지하는 구성요소이다. The guide bracket 140 is formed on the inner surfaces of both sides of the table 102, and is configured to insert fixed blocks 124 configured at upper ends of the first and second support frames 112 and 114, and the first and It is a component that supports the sliding movement of the second support frame (112, 114).

이러한 가이드 브라켓(140)은 상기 고정블럭(124)이 삽입되며, 지지 프레임(110)의 슬라이딩 이동을 지지하는 위치 가변홈(142)과, 고정축(126)이 관통하며, 지지 프레임(110)의 슬라이딩 이동을 안내하는 가이드공(144)이 형성된다. The guide bracket 140 is inserted into the fixed block 124, the position variable groove 142 supporting the sliding movement of the support frame 110, the fixed shaft 126 penetrates, and the support frame 110 A guide ball 144 for guiding the sliding movement of the is formed.

즉, 상기 고정블럭(124) 및 고정축(126)은 가이드 브라켓(140)에 형성된 위치 가변홈(142) 및 가이드공(144)을 따라 테이블(102)의 길이 방향으로 슬라이딩 이동이 이루어지도록 구성되는 것이다.That is, the fixed block 124 and the fixed shaft 126 are configured to slide in the longitudinal direction of the table 102 along the position variable groove 142 and the guide hole 144 formed in the guide bracket 140. Will be.

한편, 이송 지지부재(150)는 테이블(102)의 길이 방향을 따라 길게 형성되고, 전원의 인가 여부에 따라 고정핀(122)과 자화가 이루어지도록 구성되는 자화수단(154)이 내장되게 구성된다. On the other hand, the transfer support member 150 is formed to be elongated along the longitudinal direction of the table 102, the fixing pin 122 and magnetization means 154 configured to be magnetized according to whether power is applied is configured to be built in. .

여기서, 이송 지지부재(150)는 원격 제어부(500)를 통해 자화수단(154)의 자화 여부가 이루어지도록 제어되도록 구성되고, 상기 자화수단(154)과 고정핀(122)의 자화시 지지 프레임(110)의 슬라이딩 이동을 제한하고, 비자화시에만 상기 지지 프레임의 슬라이딩 이동이 이루어지도록 함으로써, 테이블(102)의 안정적인 높낮이 조절이 이루어지도록 할 수 있다.Here, the transfer support member 150 is configured to be controlled so that whether or not the magnetization means 154 is magnetized through the remote control unit 500, and when the magnetization of the magnetization means 154 and the fixing pin 122 is magnetized By limiting the sliding movement of 110) and making the sliding movement of the support frame only during non-magnetization, stable height adjustment of the table 102 can be made.

이때, 상기 결합수단(116)은 상기 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 회전 작동을 지지할 수 있도록 구성될 수 있으며, 통상의 고정볼트 및 와셔에 의해 제1 및 제2지지 프레임(112, 114)의 회전 결합이 이루어지도록 구성될 수 있으며, 제1 및 제2지지 프레임(112, 114) 사이에 베어링이 더 구비될 수도 있을 것이다.At this time, the coupling means 116 may be configured to support the rotational operation of the first and second supporting frames 112 and 114, and the first and second supporting frames by conventional fixing bolts and washers It may be configured such that rotational coupling of (112, 114) is made, and a bearing may be further provided between the first and second support frames (112, 114).

오존 생성장치(200)는 내부에 복수개의 오존셀(202)을 구비하고, 오존 생성장치(200)의 구동을 제어하는 제어기판(204)과, 상기 제어기판(204)과 연결되며, 오존 생성을 위한 각종 정보의 입력 및 입력된 정보의 표시가 이루어지는 전면 컨트롤패널(260)과, 후방부에 형성되며, 오존 생성을 위해 산소 및 질소의 공급이 이루어지도록 구성되며, 생성된 오존을 사용처로 공급하는 후면 컨트롤 패널(206)을 포함하여 구성된다. The ozone generator 200 is provided with a plurality of ozone cells 202 therein, a control panel 204 for controlling the operation of the ozone generator 200, and a control panel 204, and ozone generation The front control panel 260 on which input of various information for input and display of the input information is formed, and is formed on the rear portion, is configured to supply oxygen and nitrogen for ozone production, and supplies the generated ozone to the user It comprises a rear control panel 206.

이러한 오존 생성장치(200)는 후면 컨트롤 패널(206)과 연결되어 일정량의 산소 및 질소를 공급하는 산소 및 질소 공급탱크가 더 구성된다. The ozone generator 200 is further configured with an oxygen and nitrogen supply tank that is connected to the rear control panel 206 and supplies a predetermined amount of oxygen and nitrogen.

여기서, 후면 컨트롤 패널(206)은 전면 컨트롤 패널(260) 및 원격 제어부(500)와 각각 데이터 송수신이 이루어지도록 하는 통신부(210)가 구성된다. 또한 후면 컨트롤 패널(206)은 산소 및 질소 공급탱크와 각각 연결되며, 전면 컨트롤 패널(260)의 제어에 따라 일정량의 산소를 오존셀(202)측으로 공급하는 산소 공급부(230) 및 질소 공급부(220)와, 상기 산소 공급부(230) 및 질소 공급부(220)로 공급되는 산소와 질소의 공급 압력을 설정된 공급압력으로 공급이 이루어지도록 하는 산소 레귤레이터(232) 및 질소 레귤레이터(222)가 각각 구성된다. Here, the rear control panel 206 includes a front control panel 260 and a communication unit 210 that allows data transmission/reception with the remote control unit 500, respectively. In addition, the rear control panel 206 is connected to the oxygen and nitrogen supply tanks respectively, and the oxygen supply unit 230 and the nitrogen supply unit 220 supply a predetermined amount of oxygen to the ozone cell 202 side under the control of the front control panel 260 ), an oxygen regulator 232 and a nitrogen regulator 222 are configured to supply the oxygen and nitrogen supply pressures supplied to the oxygen supply unit 230 and the nitrogen supply unit 220 at a set supply pressure.

이때, 상기 산소 및 질소 레귤레이터(232, 222)는 전면 컨트롤 패널(260)로부터 전송되는 산소 및 질소의 공급 압력에 따라 공급이 이루어지도록 한다. In this case, the oxygen and nitrogen regulators 232 and 222 are supplied according to the supply pressure of oxygen and nitrogen transmitted from the front control panel 260.

또한, 후면 컨트롤 패널(206)에는 오존셀(202)로부터 생성된 오존을 사용처로 공급이 이루어지도록 오존 공급배관과 연결되는 오존 공급부(240)가 구성되며, 상기 산소 및 질소의 공급 압력, 생성된 오존의 공급 압력을 표시하는 다수개의 압력 게이지(250)가 더 구성된다. In addition, the rear control panel 206 is configured with an ozone supply unit 240 connected to an ozone supply pipe to supply ozone generated from the ozone cell 202 to a user, and the oxygen and nitrogen supply pressure is generated. A plurality of pressure gauges 250 are further configured to indicate the supply pressure of ozone.

또한, 후면 컨트롤 패널(206)에는 오존 생성을 위해 내부에 발생된 열을 냉각시키는 냉각수단(302)으로 냉각수를 공급하거나, 오존셀(202)을 냉각시킨 냉각수를 배출하는 냉각수 공급 및 배출부(212, 214)가 형성된다.In addition, a cooling water supply and discharge unit for supplying cooling water to a cooling means 302 that cools heat generated therein for generating ozone, or discharging cooling water cooling the ozone cell 202 to the rear control panel 206 ( 212, 214) are formed.

아울러, 전면 컨트롤 패널(260)은 오존 생성장치(200)로 전원 공급 여부를 제어하고, 오존의 생성 여부에 대한 알람이 이루어지도록 구성되며, 오존 생성 조건 데이터 및 오존 농도 설정 데이터 등의 입력 및 표시가 이루어지도록 구성된다. In addition, the front control panel 260 is configured to control whether or not power is supplied to the ozone generator 200, and to generate an alarm for whether ozone is generated, and input and display ozone generation condition data and ozone concentration setting data. It is configured to be made.

이와 같은 전면 컨트롤 패널(260)은 각종 수치 데이터의 입력 및 표시가 이루어지는 전면 표시창(270)과, 오존의 생성 여부 및 오류 정보 등을 점등의 형태로 알람하는 알람등(264), 오존셀(202)로 공급되는 산소의 공급량 및 공급 압력을 조절하는 산소 흐름 제어부(280) 및 오존 생성장치(200) 및 오존셀(202)로 소정의 전원을 공급하는 전원 공급부(290)를 포함하여 구성된다. The front control panel 260 includes a front display window 270 for inputting and displaying various numerical data, an alarm lamp 264 for alarming ozone generation and error information in the form of lighting, and an ozone cell 202 It is configured to include a power supply unit 290 for supplying a predetermined power to the oxygen flow control unit 280 and the ozone generator 200 and the ozone cell 202 to adjust the supply amount and supply pressure of oxygen supplied to the.

여기서, 전면 표시창(270)은 전면 컨트롤 패널(260)에 구성된 각종 스위치 및 버튼들의 잠금 상태 정보를표시하는 록킹 표시부(271)와, 오존 생성장치(200)의 구동을 위한 각종 메뉴들의 선택이 이루어지도록 하고, 원격 제어, 또는 로컬 제어의 선택이 이루어지도록 구성되는 메뉴 선택부(272)와, 상기 메뉴 선택부(272)의 선택에 따라 로컬 제어, 또는 원격 제어 모드를 표시하는 제어상태 표시부(273)와, 오존셀(202)로 공급되는 전원의 공급 상태를 표시하는 전원 상태 표시부(274)와, 오존셀(202)로부터 생성되는 오존의 상태 정보 및 농도 정보 등을 표시하며, 오존 생성장치(200)의 오작동에 대한 비상 경보를 표시하는 오존 상태 표시부(275) 및 오존셀(202)의 작동 상태 메세지를 표시하는 디스플레이부(276)를 포함하여 구성된다. Here, the front display window 270 is selected from a variety of menus for driving the locking display unit 271 and the ozone generator 200, which displays the lock status information of various switches and buttons configured on the front control panel 260. A control state display unit 273 for displaying a local control or a remote control mode according to the selection of the menu selection unit 272, and a menu selection unit 272 configured to perform remote control or local control selection. ), a power status display unit 274 for displaying the supply status of the power supplied to the ozone cell 202, and ozone generating apparatus (202) displaying status information and concentration information of ozone generated from the ozone cell 202, It comprises a ozone status display unit 275 for displaying an emergency alert for the malfunction of 200) and a display unit 276 for displaying the operation status message of the ozone cell (202).

한편, 본 발명의 오존셀(202)은 복수개로 구성되며, 오존 생성장치(200)의 내부에 수직한 방향으로 소정 간격 이격되게 배치된다. 오존셀(202)은 두 개의 전극으로 형성된 캐패시터로 작용되며, 질소 공급부(220) 및 산소 공급부(230)로부터 공급된 질소 및 산소가 전극 사이로 흐르면, 전극 사이로 전기 방전이 일어나고, 광화학 및 전자효과로 인해 이온이 형성된다. 그리고, 전기 방전의 확산 결과로 오존의 생성이 이루어지도록 구성된다. On the other hand, the ozone cell 202 of the present invention is composed of a plurality, it is arranged to be spaced apart a predetermined interval in a direction perpendicular to the interior of the ozone generator 200. The ozone cell 202 acts as a capacitor formed by two electrodes, and when nitrogen and oxygen supplied from the nitrogen supply unit 220 and the oxygen supply unit 230 flow between the electrodes, electrical discharge occurs between the electrodes, resulting in photochemical and electronic effects. Due to this, ions are formed. And, it is configured to generate ozone as a result of diffusion of the electric discharge.

이러한 오존셀(202)은 도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 하부셀(310) 및 상부셀(340)로 이루어지며, 상기 하부셀(310) 및 상부셀(340)에는 냉각수의 유입 및 배출이 이루어지는 냉각수 유입관(304) 및 냉각수 배출관(306)이 각각 구성되고, 생성된 오존을 오존 공급부(240)로 이송하는 오존 이송관(308)이 구성된다. 8 to 10, the ozone cell 202 is composed of a lower cell 310 and an upper cell 340, and cooling water is introduced into the lower cell 310 and the upper cell 340. The cooling water inlet pipe 304 and the cooling water discharge pipe 306 in which discharge is performed are respectively configured, and an ozone transfer pipe 308 for transferring the generated ozone to the ozone supply unit 240 is configured.

여기서, 하부셀(310)은 외주면으로 냉각수 유입관(304), 냉각수 배출관(306) 및 오존 이송관(308)이 각각 소정 간격 이격되게 구성되는 하부 플레이트(312)가 구성되고, 하부 플레이트(312)의 상부면으로 복수의 에폭시 패널(320) 및 세라믹 패널(330)이 적층 구성된다. Here, the lower cell 310 is composed of a lower plate 312, which is configured such that the cooling water inlet pipe 304, the cooling water discharge pipe 306, and the ozone transport pipe 308 are spaced apart from each other by a predetermined interval, and the lower plate 312. ), a plurality of epoxy panels 320 and a ceramic panel 330 are stacked.

이때, 에폭시 패널(320) 및 세라믹 패널(330)은 하부 플레이트(312)의 상부로 순차적으로 적층이 이루어지도록 구성되며, 최상단에는 세라믹 패널(300)이 위치하도록 구성된다. At this time, the epoxy panel 320 and the ceramic panel 330 is configured to be sequentially stacked to the top of the lower plate 312, the uppermost ceramic panel 300 is configured to be located.

상부셀(340)은 하부셀(310)과 마찬가지로 외주면으로 냉각수 유입관(304), 냉각수 배출관(306) 및 오존 이송관(308)이 각각 소정 간격 이격되게 구성되는 상부 플레이트(342)가 구성되고, 상부 플레이트(342)의 상부면으로 에폭시 패널(320) 및 텅스텐 패널이 적층되게 구성된다. The upper cell 340, like the lower cell 310, is composed of an upper plate 342 in which cooling water inflow pipe 304, cooling water discharge pipe 306, and ozone transport pipe 308 are configured to be spaced apart at predetermined intervals, respectively. , Epoxy panel 320 and a tungsten panel are stacked on the upper surface of the upper plate 342.

한편, 본 발명의 오존 생성장치(200)에는 그 상부면으로 오존셀(202)의 세정 후 배출되는 오염된 플라즈마 상태의 가스를 배기하는 스크러버(205)가 더 구성됨이 바람직하다. 스크러버(205)는 오염된 플라즈마 상태의 가스를 연소한 후 배기가 이루어지도록 구성된다. On the other hand, the ozone generating apparatus 200 of the present invention is preferably further configured with a scrubber 205 for exhausting the gas in a contaminated plasma state discharged after cleaning the ozone cell 202 to its upper surface. The scrubber 205 is configured to exhaust gas after burning the contaminated plasma state gas.

오존셀 세정장치(400)는 오존 생성장치(200)의 내부로 플라즈마 상태의 세정가스를 공급하여 오존셀(202)의 세정이 이루어지도록 구성되는 것으로, 장기간 이용된 오존셀(202)의 교체 작업을 수행하지 않고, 세정이 가능하도록 구성됨에 따라 오존 생성장치(200)의 관리가 매우 용이하게 이루어지도록 한다. The ozone cell cleaning device 400 is configured to supply the cleaning gas in the plasma state to the inside of the ozone generating device 200 so that the ozone cell 202 is cleaned, and the ozone cell 202 used for a long time is replaced. Without performing, it is possible to manage the ozone generating apparatus 200 very easily as it is configured to be cleaned.

이때, 오존셀(202)은 장기간 사용에 따라 내부 특성의 변화로 인해 같은 농도의 오존 생성시 더욱 높은 전력이 소모된다. 이에 본 발명은 일정 주기에 따라 오존 생성장치(200)에 내장되는 오존셀(202)을 세정하여 오존셀(202)의 내부에 발생하는 침전물을 제거함으로써, 오존셀(202)의 교체 작업이 불필요 하고, 이에 따라 오존 생성장치(200)의 관리 비용을 절감할 수 있을 것이다.At this time, the ozone cell 202 consumes higher power when ozone of the same concentration is generated due to a change in internal characteristics according to long-term use. Accordingly, the present invention removes the sediment generated inside the ozone cell 202 by cleaning the ozone cell 202 built in the ozone generator 200 according to a predetermined cycle, thereby eliminating the need to replace the ozone cell 202. And, accordingly, the management cost of the ozone generator 200 may be reduced.

이러한 오존셀 세정장치(400)는 공급장치(410), 공급밸브(420), 진공펌프(430), 플라즈마 챔버(440) 및 계측장치(450)를 포함하여 구성된다. The ozone cell cleaning device 400 includes a supply device 410, a supply valve 420, a vacuum pump 430, a plasma chamber 440, and a measuring device 450.

공급장치(410)는 오존셀(202)의 세정을 위한 세정용 가스가 저장되며, 저장된 세정용 가스를 플라즈마 챔버(440)로 공급이 이루어지도록 상기 플라즈마 챔버(440)와 연결되게 구성된다. The supply device 410 is configured to be connected to the plasma chamber 440 so that the cleaning gas for cleaning the ozone cell 202 is stored, and the stored cleaning gas is supplied to the plasma chamber 440.

공급장치(410)는 세정가스는 NF3, F2, COF2, C3F8, C4F8 등의 불소(F)가 포함된 가스 중 하나로 이루어진 세정용 가스가 저장되는 저장탱크(412)와, 저장탱크(412)의 일측에 구성되며, 플라즈마 챔버(440)로 세정용 가스를 공급하는 가스 공급부(414)와, 플라즈마 챔버(440)와 연결되게 구성되며, 플라즈마 상태로 변환된 세정가스를 오존셀(202)측으로 공급하여 세정이 이루어지도록 하는 세정가스 공급부(416)로 구성된다. The supply device 410 is a storage tank 412 in which cleaning gas is made of one of NF 3 , F 2 , COF 2 , C 3 F 8 , and C 4 F 8 containing fluorine (F). ), is configured on one side of the storage tank 412, is configured to be connected to the gas supply unit 414 for supplying the cleaning gas to the plasma chamber 440, and the plasma chamber 440, the cleaning converted to a plasma state It is composed of a cleaning gas supply unit 416 to supply the gas to the ozone cell 202 side to be cleaned.

여기서, 본 발명의 저장탱크(412)는 상기 오존 생성장치(200)로 산소 및 질소를 공급하는 산소 공급탱크와 질소 공급탱크가 더 구비되어 오존 생성시 일정량의 산소 및 질소를 공급하도록 구성될 수 있다. 즉, 본 발명의 저장탱크(412)는 산소, 질소 및 세정가스와 같은 각각의 매체들이 저장되는 다수개의 탱크로 구성되는 것이다.Here, the storage tank 412 of the present invention is further provided with an oxygen supply tank and a nitrogen supply tank for supplying oxygen and nitrogen to the ozone generator 200 may be configured to supply a predetermined amount of oxygen and nitrogen during ozone generation have. That is, the storage tank 412 of the present invention is composed of a plurality of tanks in which respective media such as oxygen, nitrogen and cleaning gas are stored.

또한, 가스 공급부(414)는 저장탱크(412) 중 세정용 가스가 저장된 가스 저장탱크와 플라즈마 챔버(440)에 구성되는 가스 변환모듈(442)를 연결하여 세정용 가스가 가스 변환모듈(442)로 이송되어 플라즈마 상태의 가스로 변환이 이루어지도록 한다. In addition, the gas supply unit 414 connects the gas storage module 442 configured in the plasma chamber 440 and the gas storage tank in which cleaning gas is stored in the storage tank 412, and the cleaning gas is converted into a gas conversion module 442. It is transferred to the gas in the plasma state to be converted.

이러한 가스 공급부(414)는 상단부가 가스 공급배관(444)과 연결되고, 하단부가 공급밸브(420)와 연결되게 구성된다. The gas supply unit 414 is configured such that the upper end is connected to the gas supply pipe 444 and the lower end is connected to the supply valve 420.

또한, 세정가스 공급부(416)는 가스 변환모듈(442)로부터 변환된 플라즈마 상태의 가스를 오존 생성장치(200)측으로 공급하여 오존셀(202)의 세정이 이루어지도록 한다. In addition, the cleaning gas supply unit 416 supplies the gas in the plasma state converted from the gas conversion module 442 to the ozone generator 200 so that the ozone cell 202 is cleaned.

이러한 세정가스 공급부(416)는 상단부가 가스 공급배관(444)과 연결되고, 하단부가 공급밸브(420)와 연결되게 구성된다. The cleaning gas supply unit 416 is configured such that the upper end is connected to the gas supply pipe 444 and the lower end is connected to the supply valve 420.

이러한 공급장치(410)는 원격 제어부(500)의 제어에 따라 상기 세정용 가스 및 플라즈마 상태의 가스의 공급량이 제어되도록 구성됨이 바람직하나, 이에 한정하는 것은 아니다. The supply device 410 is preferably configured to control the supply of the cleaning gas and plasma gas under the control of the remote control unit 500, but is not limited thereto.

공급밸브(420)는 공급장치(410)와 오존 생성장치(200)를 연결하고, 오존 생성장치(200)의 전면 컨트롤 패널(260), 또는 원격 제어부(500)의 제어에 따라 상기 오존 생성장치(200)로 공급되는 산소, 질소 및 플라즈마 상태의 가스와 같은 매체들에 대한 공급량을 조절하는 구성요소이다. The supply valve 420 connects the supply device 410 and the ozone generator 200, and the ozone generator is controlled by the front control panel 260 of the ozone generator 200 or the remote control unit 500. It is a component that controls the amount of supply to the medium, such as oxygen, nitrogen and plasma gas supplied to the (200).

이러한 공급밸브(420)는 공급장치(410)의 가스 공급부(414) 및 세정가스 공급부(416)와 각각 연결되게 구성된다. 또한, 공급밸브(420)는 각각의 매체들을 오존 생성장치(200)로 공급 및 이송하는 이송라인이 더 구성된다. The supply valve 420 is configured to be connected to the gas supply unit 414 and the cleaning gas supply unit 416 of the supply device 410, respectively. In addition, the supply valve 420 is further configured with a transport line for supplying and transporting each medium to the ozone generator 200.

진공펌프(430)는 전면 컨트롤 패널(260), 또는 원격 제어부(500)의 제어에 따라 오존 생성장치(200) 및 플라즈마 챔버(440)가 진공상태를 이루도록 하는 구성요소이다. The vacuum pump 430 is a component that allows the ozone generator 200 and the plasma chamber 440 to form a vacuum under the control of the front control panel 260 or the remote control unit 500.

플라즈마 챔버(440)는 공급장치(410)로부터 공급되는 세정용 가스를 플라즈마 상태로 변환하는 가스 변환모듈(442)과, 가스 공급부(414) 및 세정가스 공급부(416)와 각각 연결되게 구성되고, 세정용 가스와 가스 변환모듈(442)로부터 변환된 플라즈마 상태의 가스를 공급 및 이송하는 가스 공급배관(414)으로 구성된다.The plasma chamber 440 is configured to be connected to the gas conversion module 442 for converting the cleaning gas supplied from the supply device 410 into a plasma state, the gas supply unit 414 and the cleaning gas supply unit 416, respectively. It is composed of a gas supply pipe 414 for supplying and transferring the gas in the plasma state converted from the cleaning gas and the gas conversion module 442.

이때, 가스 변환모듈(442)은 세정용 가스의 변환시 진공펌프(430)에 의해 내부 공간이 진공 상태로 이루어진 후 변환이 이루어지도록 구성된다. At this time, the gas conversion module 442 is configured to be converted after the interior space is vacuumed by the vacuum pump 430 when converting the cleaning gas.

또한, 가스 공급배관(414)은 가스 공급부(414)와 가스 변환모듈(442)을 연결하고, 가스 변환모듈(442)과 세정가스 공급부(416)를 연결하는 이중관 형태로 이루어질 수 있다.In addition, the gas supply pipe 414 may be formed in the form of a double pipe connecting the gas supply unit 414 and the gas conversion module 442, and connecting the gas conversion module 442 and the cleaning gas supply unit 416.

즉, 세정용 가스의 공급시에는 세정가스 공급부(416)와의 연결을 차단하고, 플라즈마 상태의 가스를 공급하는 경우에는 가스 공급부(414)와의 연결을 차단하여 각각의 매체들이 서로 혼합되지 않도록 구성되는 것이다.That is, when supplying the cleaning gas, the connection with the cleaning gas supply unit 416 is blocked, and when supplying the gas in the plasma state, the connection with the gas supply unit 414 is blocked so that the respective media are not mixed with each other. will be.

계측장치(450)는 가스 변환모듈(442)측으로 공급되는 세정용 가스의 공급량, 플라즈마 상태의 가스의 공급량을 측정하고, 측정된 공급량에 대한 수치를 표시하는 장치이다. The measuring device 450 is a device that measures the supply amount of the cleaning gas supplied to the gas conversion module 442 side and the supply amount of the gas in the plasma state, and displays a numerical value for the measured supply amount.

이러한 계측장치(452)는 공급량 수치를 표시하는 계측정보 표시부(452)를 구성함이 바람직하다. It is preferable that such a measurement device 452 constitutes a measurement information display unit 452 that displays a supply amount value.

원격 제어부(500)는 제어 프레임(130) 상에 구성되며, 오존 생성장치(200) 및 오존셀 세정장치(400)와 연동되어 각각의 장치들에 대한 구동을 제어하는 것으로, 전면 컨트롤패널(260)로부터 원격 제어신호가 전송되는 경우, 오존 생성장치(200)의 산소 및 실조의 공급량, 공급압력을 제어할 수 있으며, 오존셀(202)의 전원 인가 여부를 제어한다. The remote control unit 500 is configured on the control frame 130, and is linked to the ozone generating device 200 and the ozone cell cleaning device 400 to control driving of each device, and the front control panel 260 ), when the remote control signal is transmitted, it is possible to control the supply amount and the supply of oxygen and deterioration of the ozone generator 200, and controls whether the ozone cell 202 is powered.

원격 제어부(500)는 오존셀 세정장치(400)의 세정주기와 세정용 가스 및 플라즈마 상태의 가스에 대한 공급량 등을 제어한다. 이를 위해 원격 제어부(500)는 공급밸브(420) 및 가스 공급배관(444)의 개폐를 조절하도록 제어한다. The remote control unit 500 controls the cleaning cycle of the ozone cell cleaning device 400 and the supply amount for cleaning gas and plasma gas. To this end, the remote control unit 500 controls the opening and closing of the supply valve 420 and the gas supply pipe 444.

또한, 원격 제어부(500)는 플라즈마 챔버(440)에서 발생된 플라즈마 상태의 가스가 오존 생성장치(200)로 공급되는 공급시기와 공급량을 제어한다. 이를 위해 원격 제어부(500)는 전면 컨트롤 패널(260)과 통신부(210)를 통해 데이터 송수신이 이루어지도록 구성된다. In addition, the remote control unit 500 controls the supply timing and the amount of supply of the gas in the plasma state generated in the plasma chamber 440 to the ozone generator 200. To this end, the remote control unit 500 is configured to transmit and receive data through the front control panel 260 and the communication unit 210.

또한, 원격 제어부(500)는 전면 컨트롤 패널(260)을 통해 오존셀(202)과 접촉하여 오염된 플라즈마 세정가스가 외부로 배기되도록 한다. 그리고, 스크러버(206)의 연소온도를 조절하여 유해물질이 소각되도록 한다. In addition, the remote control unit 500 contacts the ozone cell 202 through the front control panel 260 so that the contaminated plasma cleaning gas is exhausted to the outside. Then, the combustion temperature of the scrubber 206 is adjusted to incinerate harmful substances.

이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 하며, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. The terms "comprise", "compose" or "have" as described above mean that the component can be inherent, unless otherwise stated, and do not exclude other components. It should be interpreted that it may further include other components, and all terms, including technical or scientific terms, unless otherwise defined, are generally understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. It has the same meaning as that.

또한, 이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In addition, the above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention. . Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the claims below, and all technical spirits within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

100: 프레임부 110: 지지 프레임
120: 고정부재 130: 제어 프레임
140; 가이드 브라켓 150: 이송 지지부재
200: 오존 생성장치 202: 오존셀
210: 통신부 220: 질소 공급부
230: 산소 공급부 240: 오존 공급부
250: 압력 게이지 260: 전면 컨트롤 패널
270: 전면 표시창 280: 산소 흐름 제어부
290: 전원 공급부 310: 하부셀
340: 상부셀 400: 오존셀 세정장치
410: 공급장치 420: 공급밸브
430: 진공펌프 440: 플라즈마 챔버
450: 계측장치 500: 원격 제어부100: frame portion 110: support frame
120: fixing member 130: control frame
140; Guide bracket 150: Transfer support member
200: ozone generator 202: ozone cell
210: communication unit 220: nitrogen supply unit
230: oxygen supply unit 240: ozone supply unit
250: pressure gauge 260: front control panel
270: front display 280: oxygen flow control
290: power supply 310: lower cell
340: upper cell 400: ozone cell cleaning device
410: supply device 420: supply valve
430: vacuum pump 440: plasma chamber
450: measuring device 500: remote control

Claims (7)

내부에 하부셀 및 상부셀로 구성되는 복수개의 오존셀을 구비하고, 질소 및 산소 공급시 오존을 생성하는 오존 생성장치;
상기 오존셀의 세정을 위한 세정용 가스가 저장되는 공급장치와, 상기 공급장치로부터 상기 세정용 가스를 공급받고, 공급된 세정용 가스를 플라즈마 상태의 세정가스로 변환하는 플라즈마 챔버를 포함하는 오존셀 세정장치;
상기 오존셀 세정장치와 상기 오존 생성장치를 연결하고, 상기 질소 및 산소, 또는 변환된 플라즈마 상태의 세정가스를 공급하는 공급밸브;
상기 공급밸브와 연결되며, 상기 오존셀 세정장치 및 오존 생성장치의 내부를 진공상태로 전환하는 진공펌프; 및
상기 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치가 장착되는 테이블과, 상기 테이블의 하부에 소정 간격 이격되게 구성되며 이송바퀴가 형성된 이송 프레임과, 상기 테이블의 일측에 연결되며 원격 제어부가 장착되는 제어 프레임과, 상기 테이블과 이송 프레임을 연결하도록 제1 및 제2지지 프레임으로 구성되는 지지 프레임을 포함하는 프레임부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
An ozone generator having a plurality of ozone cells composed of a lower cell and an upper cell, and generating ozone when supplying nitrogen and oxygen;
An ozone cell comprising a supply device in which a cleaning gas for cleaning the ozone cell is stored, and a plasma chamber receiving the cleaning gas from the supply device and converting the supplied cleaning gas into a cleaning gas in a plasma state Cleaning device;
A supply valve connecting the ozone cell cleaning device and the ozone generating device, and supplying the nitrogen and oxygen, or the converted plasma-type cleaning gas;
A vacuum pump connected to the supply valve and converting the inside of the ozone cell cleaning device and ozone generating device into a vacuum state; And
A table on which the ozone generating device and an ozone cell cleaning device are mounted, a transport frame configured to be spaced apart at a predetermined interval below the table, and a transport frame on which a transport wheel is formed, and a control frame connected to one side of the table and equipped with a remote control, A frame portion including a support frame composed of first and second support frames to connect the table and the transfer frame;
Ozone generating apparatus and ozone cell cleaning apparatus comprising a.
제1항에 있어서,
상기 지지 프레임은
상기 테이블의 양측면에 구성되며, 상기 제1 및 제2지지 프레임을 고정시키는 고정부재;
상기 제1 및 제2지지 프레임의 슬라이딩 이동을 가이드 하는 가이드 브라켓; 및
상기 테이블의 길이 방향을 따라 길게 형성되며, 상기 고정부재가 결합되는 이송 지지부재;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
According to claim 1,
The support frame
A fixing member configured on both side surfaces of the table and fixing the first and second supporting frames;
A guide bracket for guiding the sliding movement of the first and second supporting frames; And
It is formed long along the longitudinal direction of the table, the transfer support member is coupled to the fixing member;
Ozone generating device and ozone cell cleaning device comprising a.
제1항에 있어서,
상기 고정부재는
상기 제1 및 제2지지 프레임 각각의 상단부에 형성되며, 상기 가이드 브라켓에 삽입되는 고정블록과,
상기 고정블록의 축중심으로부터 연장되게 형성되며, 상기 이송 지지부재의 내부로 인입되는 고정축과,
상기 고정축의 단부에 구성되며, 상기 이송 지지부재의 작동 여부에 따라 지지 프레임의 슬라이딩 이동 여부를 제어하는 고정핀
으로 구성되는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
According to claim 1,
The fixing member
The first and second support frame is formed on the upper end of each, the fixed block is inserted into the guide bracket,
It is formed to extend from the center of the axis of the fixed block, and the fixed shaft is introduced into the interior of the transfer support member,
A fixed pin configured at an end of the fixed shaft and controlling whether the support frame is sliding or not according to whether the transfer support member is operated.
Ozone generating device and ozone cell cleaning device, characterized in that consisting of.
제1항에 있어서,
상기 공급장치는,
상기 세정용 가스가 저장되는 저장탱크와, 상기 저장탱크와 상기 플라즈마 챔버를 연결하며, 상기 세정용 가스를 공급하는 가스 공급부와, 상기 플라즈마 챔버와 상기 공급밸브를 연결하고, 상기 플라즈마 상태의 세정가스를 상기 공급밸브측으로 공급하는 세정가스 공급부를 더 포함하고,
상기 저장탱크는, 질소 및 산소가 각각 개별적으로 저장되는 질소 저장탱크 및 산소 저장탱크가 더 구성되며,
상기 가스 공급부는, 상기 공급밸브와 연결되어 상기 질소 및 산소, 또는 세정용 가스를 각각 상기 공급밸브측으로 공급하는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
According to claim 1,
The supply device,
A storage tank in which the cleaning gas is stored, a connection between the storage tank and the plasma chamber, a gas supply unit supplying the cleaning gas, a connection between the plasma chamber and the supply valve, and cleaning gas in the plasma state Further comprising a cleaning gas supply for supplying the supply valve side,
In the storage tank, nitrogen and oxygen storage tanks and oxygen storage tanks are separately stored, respectively.
The gas supply unit is connected to the supply valve, ozone generating device and ozone cell cleaning device, characterized in that for supplying the nitrogen and oxygen, or cleaning gas to the supply valve side, respectively.
제1항에 있어서,
상기 플라즈마 챔버는,
상기 공급장치로부터 공급되는 세정용 가스를 플라즈마 상태로 변환하는 가스 변환모듈과,
상기 공급장치와 연결되고, 상기 세정용 가스와 플라즈마 상태의 가스를 상기 공급밸브로 공급하는 가스 공급배관과,
상기 세정용 가스의 공급량, 상기 플라즈마 상태의 가스의 공급량을 측정하고, 측정된 공급량에 대한 수치를 표시하는 계측장치
를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
According to claim 1,
The plasma chamber,
A gas conversion module for converting the cleaning gas supplied from the supply device into a plasma state,
A gas supply pipe which is connected to the supply device and supplies the cleaning gas and plasma gas to the supply valve;
A measuring device that measures the supply amount of the cleaning gas and the supply amount of the gas in the plasma state and displays a numerical value for the measured supply amount
Ozone generating device and ozone cell cleaning device comprising a.
제1항에 있어서,
상기 오존 생성장치는,
복수개의 오존셀;
오존 생성장치의 구동을 제어하는 제어기판이 구성되고, 오존 생성을 위한 정보입력 및 입력된 정보의 표시 및 알람이 이루어지는 전면 컨트롤패널;
후방부에 형성되며, 오존 생성을 위해 산소 및 질소의 공급이 이루어지도록 구성되며, 생성된 오존을 사용처로 공급하는 후면 컨트롤 패널;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
According to claim 1,
The ozone generating device,
A plurality of ozone cells;
A control panel for controlling the operation of the ozone generator, and a front control panel for inputting information for generating ozone and displaying and alarming the input information;
A rear control panel formed at a rear portion, configured to supply oxygen and nitrogen for ozone production, and supplying the generated ozone to a user;
Ozone generating device and ozone cell cleaning device comprising a.
제6항에 있어서,
상기 전면 컨트롤 패널은
질소 및 산소의 공급량에 대한 수치 데이터의 입력 및 표시가 이루어지는 전면 표시창;
오존의 생성 여부 및 오류 정보를 점등의 형태로 알람하는 알람등;
상기 오존셀로 공급되는 산소의 공급량 및 공급 압력을 조절하는 산소 흐름 제어부; 및
상기 오존 생성장치 및 오존셀로 전원을 공급하는 전원 공급부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존 생성장치 및 오존셀 세정장치.
The method of claim 6,
The front control panel
A front display window for inputting and displaying numerical data on the supply of nitrogen and oxygen;
An alarm lamp for alarming whether ozone is generated and error information in the form of lighting;
An oxygen flow control unit that controls the supply amount and the supply pressure of oxygen supplied to the ozone cell; And
A power supply unit supplying power to the ozone generator and the ozone cell;
Ozone generating device and ozone cell cleaning device comprising a.
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