KR20200073550A - Display device - Google Patents

Display device Download PDF

Info

Publication number
KR20200073550A
KR20200073550A KR1020180161835A KR20180161835A KR20200073550A KR 20200073550 A KR20200073550 A KR 20200073550A KR 1020180161835 A KR1020180161835 A KR 1020180161835A KR 20180161835 A KR20180161835 A KR 20180161835A KR 20200073550 A KR20200073550 A KR 20200073550A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light emitting
hole
layer
disposed
display device
Prior art date
Application number
KR1020180161835A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김용일
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020180161835A priority Critical patent/KR20200073550A/en
Publication of KR20200073550A publication Critical patent/KR20200073550A/en

Links

Images

Classifications

    • H01L51/5237—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
    • H01L27/3225—
    • H01L51/56—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H01L2251/301—
    • H01L2251/56—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass

Abstract

The present invention relates to a display device capable of reducing a non-display area. According to the present invention, the display device is surrounded by light-emitting elements and includes: a substrate hole passing through the substrate; a first cover layer of a hydrophobic material disposed on the side surface of a light emitting stack exposed by a through hole. Therefore, it is possible to prevent the light emitting stack from being damaged by moisture or oxygen from the outside, and since the substrate hole is disposed in an active area, the non-display area can be reduced.

Description

표시 장치{DISPLAY DEVICE}Display device {DISPLAY DEVICE}

본 명세서는 표시 장치에 관한 것으로, 특히 비표시 영역을 줄일 수 있는 표시 장치에 관한 것이다.The present specification relates to a display device, and more particularly, to a display device capable of reducing a non-display area.

다양한 정보를 화면으로 구현해 주는 영상 표시 장치는 정보 통신 시대의 핵심 기술로 더 얇고 더 가볍고 휴대가 가능하면서도 고성능의 방향으로 발전하고 있다. 이에 음극선관(CRT)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 평판 표시 장치가 각광받고 있다.A video display device that embodies various information as a screen is a key technology in the information and communication era, and is developing toward a thinner, lighter, more portable, and high-performance device. Accordingly, a flat panel display device that can reduce weight and volume, which is a disadvantage of a cathode ray tube (CRT), is in the spotlight.

평판표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display Device: LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 유기발광 표시장치(Organic Light Emitting Display Device: OLED), 그리고 전기영동 표시장치(Electrophoretic Display Device:ED) 등이 있다.As a flat panel display device, a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP), an organic light emitting display device (OLED), and an electrophoretic display device Device:ED).

이 평판 표시 장치는 TV, 모니터 및 휴대폰 등과 같은 다양한 형태의 기기에 사용될 뿐만 아니라, 카메라, 스피커 및 센서를 추가하여 발전하고 있다. 그러나, 카메라, 스피커 및 센서 등은 표시 장치의 비표시 영역에 배치되므로, 종래 표시 장치는 비표시 영역인 베젤 영역이 증가되어 표시 영역이 줄어드는 문제점이 있다.This flat panel display device is used not only for various types of devices such as TVs, monitors, and mobile phones, but also has been developed by adding cameras, speakers, and sensors. However, since the camera, speaker, sensor, and the like are disposed in the non-display area of the display device, the conventional display device has a problem in that the display area is reduced by increasing the non-display area of the bezel area.

상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 비표시 영역을 줄일 수 있는 표시 장치를 제공하는 것이다.In order to solve the above problem, the present invention provides a display device capable of reducing a non-display area.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 표시 장치는 발광 소자들에 의해 둘러싸이며, 기판을 관통하는 기판홀과; 관통홀에 의해 노출된 상기 발광 스택의 측면 상에 배치되는 소수성 재질의 제1 커버층을 구비함으로써 외부로부터의 수분이나 산소에 의해 발광 스택이 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 기판홀이 액티브 영역 내에 배치되므로 비표시 영역을 줄일 수 있다.In order to achieve the above object, the display device according to the present invention is surrounded by light-emitting elements, a substrate hole penetrating the substrate; By providing a first cover layer made of a hydrophobic material disposed on the side of the light emitting stack exposed by the through hole, it is possible to prevent the light emitting stack from being damaged by moisture or oxygen from outside, and the substrate hole is in the active area. Since it is arranged, the non-display area can be reduced.

본 발명에서는 카메라 모듈이 인입되는 관통홀이 액티브 영역 내에 배치됨으로써 표시 장치의 비표시 영역인 베젤 영역을 최소화할 수 있다.In the present invention, the through-hole through which the camera module is inserted is disposed in the active area, thereby minimizing the bezel area, which is a non-display area of the display device.

또한, 본 발명에서는 관통홀 및 사이드홀과, 제1 커버층을 동일한 건식 식각 장비 내에서 형성한 후, 증착 장비에서 제2 커버층을 형성한다. 이에 따라, 관통홀 및 사이드홀에 의해 노출된 발광 스택의 측면이 제1 커버층에 의해 보호된 후, 증착 장비로 이송되므로 발광 스택이 대기중의 산소 또는 수분에 노출되는 것을 방지할 수 있어 신뢰성이 향상된다.In addition, in the present invention, after forming the through hole and the side hole and the first cover layer in the same dry etching equipment, a second cover layer is formed in the deposition equipment. Accordingly, since the side surface of the light emitting stack exposed by the through hole and the side hole is protected by the first cover layer, it is transferred to the deposition equipment, so that the light emitting stack can be prevented from being exposed to oxygen or moisture in the atmosphere, thus being reliable. This is improved.

뿐만 아니라, 본 발명에서는 제1 및 제2 커버층을 이용하여 발광 스택의 외측면을 밀폐함으로써 외부의 수분이나 산소가 발광 스택의 계면으로 침투하는 것을 차단할 수 있어 발광 스택의 열화를 방지할 수 있다.In addition, in the present invention, the outer surface of the light emitting stack is sealed by using the first and second cover layers to prevent external moisture or oxygen from penetrating the interface of the light emitting stack, thereby preventing deterioration of the light emitting stack. .

도 1은 본 발명에 따른 기판홀을 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에서 선"Ⅰ-Ⅰ'"를 따라 절취한 기판홀을 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 도 2에서 A영역을 확대하여 상세히 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 기판홀 영역을 상세히 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 기판홀 내에 삽입되는 카메라모듈을 나타내는 단면도이다.
도 6a 내지 도 6f는 도 2에 도시된 기판홀을 가지는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판홀을 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 터치 센서의 다른 실시 예를 나타내는 단면도이다.1 is a view showing an organic light emitting display device having a substrate hole according to the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a substrate hole cut along the line “I-I” in FIG. 1.
3A and 3B are cross-sectional views showing in detail an enlarged area A in FIG. 2.
4 is a plan view showing in detail the substrate hole region illustrated in FIG. 1.
5 is a cross-sectional view illustrating a camera module inserted into the substrate hole shown in FIG. 2.
6A to 6F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the organic light emitting display device having the substrate hole shown in FIG. 2.
7 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a substrate hole according to a second embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view illustrating another embodiment of the touch sensor illustrated in FIG. 7.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2에 도시된 표시 장치는 액티브 영역(AA)과 패드 영역(PDA)을 구비한다.The display device illustrated in FIGS. 1 and 2 includes an active area AA and a pad area PDA.

패드 영역(PDA)에는 액티브 영역(AA)에 배치되는 다수의 신호 라인(106) 각각에 구동 신호를 공급하는 다수의 패드들(122)이 형성된다. 여기서, 신호 라인(106)은 스캔 라인(SL), 데이터 라인(DL), 고전위 전압(VDD) 공급 라인 및 저전위 전압(VSS) 공급 라인 중 적어도 어느 하나를 포함한다.In the pad area PDA, a plurality of pads 122 for supplying a driving signal to each of the plurality of signal lines 106 disposed in the active area AA is formed. Here, the signal line 106 includes at least one of a scan line SL, a data line DL, a high potential voltage (VDD) supply line, and a low potential voltage (VSS) supply line.

액티브 영역(AA)은 발광 영역(EA)과, 배리어 영역(BA) 및 홀 영역(HA)을 구비한다.The active area AA includes a light emitting area EA, a barrier area BA, and a hole area HA.

발광 영역(EA)에는 발광 소자(130)를 포함하는 단위 화소들이 배치된다. 단위 화소는 도 1에 도시된 바와 같이 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 서브 화소로 구성되거나, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 서브 화소로 구성된다. 각 서브 화소는 발광 소자(130)와, 발광 소자(130)를 독립적으로 구동하는 화소 구동 회로를 구비한다.The unit pixels including the light emitting device 130 are disposed in the light emitting area EA. The unit pixel is composed of red (R), green (G), and blue (B) sub-pixels, as shown in FIG. 1, or red (R), green (G), blue (B), and white (W) sub-pixels. It is composed of pixels. Each sub-pixel includes a light-emitting element 130 and a pixel driving circuit that independently drives the light-emitting element 130.

화소 구동 회로는 스위칭 트랜지스터(TS), 구동 트랜지스터(TD) 및 스토리지 커패시터(Cst)를 구비한다.The pixel driving circuit includes a switching transistor TS, a driving transistor TD, and a storage capacitor Cst.

스위칭 트랜지스터(TS)는 스캔 라인(SL)에 스캔 펄스가 공급되면 턴-온되어 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 신호를 스토리지 캐패시터(Cst) 및 구동 트랜지스터(TD)의 게이트 전극으로 공급한다.The switching transistor TS is turned on when the scan pulse is supplied to the scan line SL to supply the data signal supplied to the data line DL to the storage capacitor Cst and the gate electrode of the driving transistor TD.

구동 트랜지스터(TD)는 그 구동 트랜지스터(TD)의 게이트 전극에 공급되는 데이터 신호에 응답하여 고전위 전압(VDD) 공급 라인으로부터 발광 소자(130)로 공급되는 전류(I)을 제어함으로써 발광 소자(130)의 발광량을 조절하게 된다. 그리고, 스위칭 트랜지스터(TS)가 턴-오프되더라도 스토리지 캐패시터(Cst)에 충전된 전압에 의해 구동 트랜지스터(TD)는 다음 프레임의 데이터 신호가 공급될 때까지 일정한 전류(I)를 공급하여 발광 소자(130)가 발광을 유지하게 한다.The driving transistor TD controls the current I supplied from the high potential voltage (VDD) supply line to the light emitting device 130 in response to a data signal supplied to the gate electrode of the driving transistor TD. 130). In addition, even when the switching transistor TS is turned off, the driving transistor TD supplies a constant current I until the data signal of the next frame is supplied by the voltage charged in the storage capacitor Cst. 130) to maintain luminescence.

이러한 구동 트랜지스터(TD,150)은 도 2에 도시된 바와 같이 액티브 버퍼층(114) 상에 배치되는 액티브층(154)과, 게이트 절연막(116)을 사이에 두고 액티브층(154)과 중첩되는 게이트 전극(152)과, 층간 절연막(102) 상에 형성되어 액티브층(154)과 접촉하는 소스 및 드레인 전극(156,158)을 구비한다.2, the driving transistors TD and 150 include an active layer 154 disposed on the active buffer layer 114 and a gate overlapping the active layer 154 with the gate insulating layer 116 interposed therebetween. An electrode 152 and source and drain electrodes 156 and 158 formed on the interlayer insulating film 102 to contact the active layer 154 are provided.

액티브층(154)은 비정질 반도체 물질, 다결정 반도체 물질 및 산화물 반도체 물질 중 적어도 어느 하나로 형성된다. 이 액티브층(154)은 채널 영역, 소스 영역 및 드레인 영역를 구비한다. 채널 영역은 게이트 절연막(116)을 사이에 두고 게이트 전극(152)과 중첩되어 소스 및 드레인 전극(156,158) 사이의 채널영역을 형성한다. 소스 영역은 게이트 절연막(116)과 층간 절연막(102)을 관통하는 소스 컨택홀을 통해 소스 전극(156)과 전기적으로 접속된다. 드레인 영역은 게이트 절연막(116)과 층간 절연막(102)을 관통하는 드레인 컨택홀을 통해 드레인 전극(158)과 전기적으로 접속된다.The active layer 154 is formed of at least one of an amorphous semiconductor material, a polycrystalline semiconductor material, and an oxide semiconductor material. The active layer 154 includes a channel region, a source region and a drain region. The channel region overlaps the gate electrode 152 with the gate insulating layer 116 therebetween to form a channel region between the source and drain electrodes 156 and 158. The source region is electrically connected to the source electrode 156 through a source contact hole passing through the gate insulating layer 116 and the interlayer insulating layer 102. The drain region is electrically connected to the drain electrode 158 through a drain contact hole passing through the gate insulating layer 116 and the interlayer insulating layer 102.

이러한 액티브층(154)과 기판(101) 사이에는 멀티 버퍼층(112)과, 액티브 버퍼층(114)을 구비한다. 멀티 버퍼층(112)은 기판(101)에 침투한 수분 및/또는 산소가 확산되는 것을 지연시킨다. 이 멀티 버퍼층(112)은 기판(101) 전체에 형성될 수 있으며, 본격적인 표시패널의 제조 공정 전에, 다양한 공정이 보다 수월하게 진행될 수 있도록 해주면서, 박막 형성을 보다 안정적으로 구현할 수 있는 환경을 제공할 수 있다. 액티브 버퍼층(114)은 액티브층(154)을 보호하며, 기판(101)으로부터 유입되는 다양한 종류의 결함을 차단하는 기능을 수행한다. 이러한 멀티 버퍼층(112), 액티브 버퍼층(114) 및 기판(101) 중 적어도 어느 하나는 다층 구조로 이루어진다.A multi-buffer layer 112 and an active buffer layer 114 are provided between the active layer 154 and the substrate 101. The multi-buffer layer 112 delays diffusion of moisture and/or oxygen that has penetrated the substrate 101. The multi-buffer layer 112 may be formed on the entire substrate 101, and before the manufacturing process of the full-scale display panel, various processes may be performed more easily, while providing an environment in which thin film formation can be more stably implemented. Can. The active buffer layer 114 protects the active layer 154 and blocks various kinds of defects flowing from the substrate 101. At least one of the multi-buffer layer 112, the active buffer layer 114, and the substrate 101 has a multi-layer structure.

이 때, 액티브 버퍼층(114)과 접촉하는 멀티 버퍼층(112)의 최상층은 멀티 버퍼층(112)의 나머지 층들, 액티브 버퍼층(114) 및 게이트 절연막(116)과 식각 특성이 다른 재질로 형성된다. 액티브 버퍼층(114)과 접촉하는 멀티 버퍼층(112)의 최상층은 SiNx 및 SiOx 중 어느 하나로 형성되고, 멀티 버퍼층(112)의 나머지 층들, 액티브 버퍼층(114) 및 게이트 절연막(116)은 SiNx 및 SiOx 중 나머지 하나로 형성된다. 예를 들어, 액티브 버퍼층(114)과 접촉하는 멀티 버퍼층(112)의 최상층은 SiNx로 형성되고, 멀티 버퍼층(112a)의 나머지 층들, 액티브 버퍼층(114) 및 게이트 절연막(116)은 SiOx로 형성된다.At this time, the uppermost layer of the multi-buffer layer 112 in contact with the active buffer layer 114 is formed of a material having different etching characteristics from the rest of the layers of the multi-buffer layer 112, the active buffer layer 114, and the gate insulating layer 116. The uppermost layer of the multi-buffer layer 112 in contact with the active buffer layer 114 is formed of one of SiNx and SiOx, and the remaining layers of the multi-buffer layer 112, the active buffer layer 114 and the gate insulating layer 116 are of SiNx and SiOx It is formed as the other one. For example, the top layer of the multi-buffer layer 112 in contact with the active buffer layer 114 is formed of SiNx, and the remaining layers of the multi-buffer layer 112a, the active buffer layer 114 and the gate insulating layer 116 are formed of SiOx. .

발광 소자(130)는 구동 트랜지스터(150)의 드레인 전극(158)과 접속된 애노드 전극(132)과, 애노드 전극(132) 상에 형성되는 적어도 하나의 발광 스택(134)과, 저전압(VSS) 공급 라인에 접속되도록 발광 스택(134) 위에 형성된 캐소드 전극(136)을 구비한다. 여기서, 저전압(VSS) 공급 라인은 고전압(VDD)보다 낮은 저전압(VSS)을 공급한다.The light emitting device 130 includes an anode electrode 132 connected to the drain electrode 158 of the driving transistor 150, at least one light emitting stack 134 formed on the anode electrode 132, and a low voltage (VSS). The cathode electrode 136 is formed on the light emitting stack 134 to be connected to the supply line. Here, the low voltage (VSS) supply line supplies a low voltage (VSS) lower than the high voltage (VDD).

애노드 전극(132)은 구동 트랜지스터(150) 상에 배치되는 보호막(124) 및 평탄화층(104)을 관통하는 화소 컨택홀(126)을 통해 노출된 구동 트랜지스터(150)의 드레인 전극(158)과 전기적으로 접속된다. 각 서브 화소의 애노드 전극(122)은 뱅크(138)에 의해 노출되도록 평탄화층(104) 상에 배치된다.The anode electrode 132 and the drain electrode 158 of the driving transistor 150 exposed through the pixel contact hole 126 passing through the passivation layer and the passivation layer 124 disposed on the driving transistor 150 It is electrically connected. The anode electrode 122 of each sub-pixel is disposed on the planarization layer 104 to be exposed by the bank 138.

이러한 애노드 전극(132)이 배면 발광형 유기 발광 표시 장치에 적용되는 경우, 애노드 전극(132)은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)과 같은 투명 도전막으로 이루어진다. 또한, 애노드 전극(132)이 전면 발광형 유기 발광 표시 장치에 적용되는 경우, 애노드 전극(132)은 투명 도전막 및 반사효율이 높은 불투명 도전막을 포함하는 다층 구조로 이루어진다. 투명 도전막으로는 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)과 같은 일함수값이 비교적 큰 재질로 이루어지고, 불투명 도전막으로는 Al, Ag, Cu, Pb, Mo, Ti 또는 이들의 합금을 포함하는 단층 또는 다층 구조로 이루어진다. 예를 들어, 애노드 전극(132)은 투명 도전막, 불투명 도전막 및 투명 도전막이 순차적으로 적층된 구조로 형성된다.When the anode electrode 132 is applied to a rear emission type organic light emitting display device, the anode electrode 132 is made of a transparent conductive film such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO). In addition, when the anode electrode 132 is applied to a front emission type organic light emitting display device, the anode electrode 132 is formed of a multi-layer structure including a transparent conductive film and an opaque conductive film having high reflection efficiency. The transparent conductive film is made of a material having a relatively large work function value such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO), and the opaque conductive film is Al, Ag, Cu, Pb, Mo, It consists of a single-layer or multi-layer structure containing Ti or alloys thereof. For example, the anode electrode 132 is formed in a structure in which a transparent conductive film, an opaque conductive film, and a transparent conductive film are sequentially stacked.

발광 스택(134)은 애노드 전극(132) 상에 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층 순으로 또는 역순으로 적층되어 형성된다.The light emitting stack 134 is formed on the anode electrode 132 by being stacked in the order of the hole transport layer, the light emitting layer, and the electron transport layer.

캐소드 전극(136)은 발광 스택(134)을 사이에 두고 애노드 전극(132)과 대향하도록 발광 스택(134) 및 뱅크(138)의 상부면 및 측면 상에 형성된다.The cathode electrode 136 is formed on the top and side surfaces of the light emitting stack 134 and the bank 138 to face the anode electrode 132 with the light emitting stack 134 therebetween.

봉지 유닛(140)은 외부의 수분이나 산소에 취약한 발광 소자(130)로 외부의 수분이나 산소가 침투되는 것을 차단한다. 이를 위해, 봉지 유닛(140)은 다수의 무기 봉지층들(142,146)과, 다수의 무기 봉지층들(142,146) 사이에 배치되는 유기 봉지층(144)을 구비하며, 무기 봉지층(146)이 최상층에 배치되도록 한다. 이 때, 봉지 유닛(140)은 적어도 1층의 무기 봉지층(142,146)과 적어도 1층의 유기 봉지층(144)을 구비한다. 본 발명에서는 제1 및 제2 무기 봉지층들(142,146) 사이에 유기 봉지층(144)이 배치되는 봉지부(140)의 구조를 예로 들어 설명하기로 한다.The encapsulation unit 140 blocks the penetration of external moisture or oxygen into the light emitting device 130 that is vulnerable to external moisture or oxygen. To this end, the encapsulation unit 140 includes a plurality of inorganic encapsulation layers 142 and 146 and an organic encapsulation layer 144 disposed between the plurality of inorganic encapsulation layers 142 and 146, and the inorganic encapsulation layer 146 It should be placed on the top floor. At this time, the encapsulation unit 140 includes at least one layer of the inorganic encapsulation layers 142 and 146 and at least one layer of the organic encapsulation layer 144. In the present invention, the structure of the encapsulation unit 140 in which the organic encapsulation layer 144 is disposed between the first and second inorganic encapsulation layers 142 and 146 will be described as an example.

제1 무기 봉지층(142)는 발광 소자(130)와 가장 인접하도록 캐소드 전극(136)이 형성된 기판(101) 상에 형성된다. 이러한 제1 무기 봉지층(142)은 질화실리콘(SiNx), 산화 실리콘(SiOx), 산화질화실리콘(SiON) 또는 산화 알루미늄(Al2O3)과 같은 저온 증착이 가능한 무기 절연 재질로 형성된다. 이에 따라, 제1 무기 봉지층(142)이 저온 분위기에서 증착되므로, 제1 무기 봉지층(142)의 증착 공정시 고온 분위기에 취약한 발광 스택(134)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.The first inorganic encapsulation layer 142 is formed on the substrate 101 on which the cathode electrode 136 is formed to be closest to the light emitting device 130. The first inorganic encapsulation layer 142 is formed of an inorganic insulating material capable of low-temperature deposition such as silicon nitride (SiNx), silicon oxide (SiOx), silicon oxynitride (SiON), or aluminum oxide (Al2O3). Accordingly, since the first inorganic encapsulation layer 142 is deposited in a low temperature atmosphere, it is possible to prevent the light emitting stack 134 vulnerable to a high temperature atmosphere during the deposition process of the first inorganic encapsulation layer 142 from being damaged.

제 2 무기 봉지층(146)는 유기 봉지층(144)의 상부면 및 측면과, 유기 봉지층(144)에 의해 노출된 제1 무기 봉지층(142)의 상부면을 덮도록 형성된다. 이에 따라, 제1 및 제2 무기 봉지층(142,146)에 의해 유기 봉지층(144)의 상하측면이 밀폐되므로, 외부의 수분이나 산소가 유기 봉지층(144)으로 침투하거나, 유기 봉지층(144) 내의 수분이나 산소가 발광 소자(130)로 침투하는 것을 최소화하거나 차단한다. 이러한 제2 무기 봉지층(146)은 질화실리콘(SiNx), 산화 실리콘(SiOx), 산화질화실리콘(SiON) 또는 산화 알루미늄(Al2O3)과 같은 무기 절연 재질로 형성된다.The second inorganic encapsulation layer 146 is formed to cover the top and side surfaces of the organic encapsulation layer 144 and the top surface of the first inorganic encapsulation layer 142 exposed by the organic encapsulation layer 144. Accordingly, since the upper and lower sides of the organic encapsulation layer 144 are sealed by the first and second inorganic encapsulation layers 142 and 146, moisture or oxygen from outside penetrates into the organic encapsulation layer 144 or the organic encapsulation layer 144. ) Minimizes or blocks moisture or oxygen from penetrating the light emitting device 130. The second inorganic encapsulation layer 146 is formed of an inorganic insulating material such as silicon nitride (SiNx), silicon oxide (SiOx), silicon oxynitride (SiON), or aluminum oxide (Al2O3).

유기 봉지층(144)은 유기 발광 표시 장치의 휘어짐에 따른 각 층들 간의 응력을 완화시키는 완충역할을 하며, 평탄화 성능을 강화한다. 또한, 유기 봉지층(144)은 이물에 의해 크랙 또는 핀홀이 발생되는 것을 방지하도록 무기 봉지층(142,144)보다 두꺼운 두께로 형성된다. 이 유기 봉지층(144)은 아크릴 수지, 에폭시 수지, 폴리이미드, 폴리에틸렌 또는 실리콘옥시카본(SiOC)과 같은 유기 절연 재질로 형성된다. 이러한 유기 절연 재질로 형성되는 유기 봉지층(144)의 코팅시, 유기 봉지층(144)의 유동성을 제한하기 위해, 기판(101) 상에 외부댐(128) 및 내부댐(108)이 형성된다.The organic encapsulation layer 144 serves as a buffer for alleviating stress between layers due to bending of the organic light emitting display device, and enhances flattening performance. In addition, the organic encapsulation layer 144 is formed to have a thicker thickness than the inorganic encapsulation layers 142 and 144 to prevent cracks or pinholes from being generated by foreign substances. The organic encapsulation layer 144 is made of an organic insulating material such as acrylic resin, epoxy resin, polyimide, polyethylene, or silicon oxycarbon (SiOC). When coating the organic encapsulation layer 144 formed of such an organic insulating material, in order to limit the fluidity of the organic encapsulation layer 144, an external dam 128 and an internal dam 108 are formed on the substrate 101. .

적어도 하나의 외부댐(128)은 도 1에 도시된 바와 같이 발광 소자(130)가 배치되는 액티브 영역(AA)을 완전히 둘러싸도록 형성되거나, 액티브 영역(AA)과 패드 영역(PDA) 사이에만 형성될 수도 있다. 다수개의 패드(122)이 배치되는 패드 영역(PDA)이 기판(101)의 일측에 배치되는 경우, 외부댐(128)은 기판(101)의 일측에만 배치된다. 그리고, 다수개의 패드(122)들이 배치되는 패드 영역(PDA)이 기판(101)의 양측에 배치되는 경우, 외부댐(128)은 기판(101)의 양측에 배치된다. 이 때, 외부댐(128)이 다수개 배치되는 경우, 외부댐(128)들은 소정 간격으로 이격되어 서로 나란하게 배치된다. 이러한 외부댐(128)에 의해, 패드 영역(PDA)으로 유기 봉지층(144)이 확산되는 것을 방지할 수 있다.The at least one external dam 128 is formed to completely surround the active area AA in which the light emitting device 130 is disposed as shown in FIG. 1, or is formed only between the active area AA and the pad area PDA. It may be. When the pad area PDA where the plurality of pads 122 is disposed is disposed on one side of the substrate 101, the external dam 128 is disposed only on one side of the substrate 101. In addition, when the pad regions PDA in which the plurality of pads 122 are disposed are disposed on both sides of the substrate 101, the external dams 128 are disposed on both sides of the substrate 101. At this time, when a plurality of external dams 128 are arranged, the external dams 128 are spaced apart at predetermined intervals and are arranged next to each other. The organic encapsulation layer 144 may be prevented from being diffused into the pad region PDA by the external dam 128.

적어도 하나의 내부댐(108)은 홀 영역(HA)에 배치되는 기판홀(120)을 완전히 둘러싸도록 배치된다. 이 때, 내부댐(108) 및 기판 홀(120) 주변에 배치되는 스캔 라인(SL), 데이터 라인(DL) 등을 포함하는 신호 라인들(106)은 기판홀(120)의 외곽을 따라 우회하도록 배치된다.The at least one internal dam 108 is disposed to completely surround the substrate hole 120 disposed in the hole area HA. At this time, the signal lines 106 including the scan line SL and the data line DL, which are disposed around the inner dam 108 and the substrate hole 120, are bypassed along the periphery of the substrate hole 120. It is arranged to.

이러한 내부댐(108)은 외부댐(128)과 마찬가지로, 단층 또는 다층 구조(108a,108b)로 형성된다. 즉, 내부댐(108) 및 외부댐(128) 각각은 평탄화층(104), 뱅크(138) 및 스페이서(도시하지 않음) 중 적어도 어느 하나와 동일 재질로 동시에 형성되므로, 마스크 추가 공정 및 비용 상승을 방지할 수 있다. 예를 들어, 내부댐(108)의 하부층(108a)은 평탄화층(104)과 동일 재질로 이루어지며, 내부댐(108)의 상부층(108b)는 뱅크(138)와 동일 재질로 이루어진다. 이러한 내부댐(108)에 의해, 수분 침투 경로로 이용될 수 있는 유기 봉지층(144)이 홀 영역(HA)으로 확산되는 것을 방지할 수 있다.The inner dam 108, like the outer dam 128, is formed of a single-layer or multi-layer structure (108a, 108b). That is, since each of the inner dam 108 and the outer dam 128 is simultaneously formed of the same material as at least one of the planarization layer 104, the bank 138, and the spacer (not shown), the mask addition process and cost increase Can be prevented. For example, the lower layer 108a of the inner dam 108 is made of the same material as the planarization layer 104, and the upper layer 108b of the inner dam 108 is made of the same material as the bank 138. By the internal dam 108, it is possible to prevent the organic encapsulation layer 144, which can be used as a water infiltration path, from diffusing into the hole region HA.

배리어 영역(BA)은 홀 영역(HA)과 발광 영역(EA) 사이에 배치된다. 이 배리어 영역(BA)에는 전술한 내부댐(108), 적어도 하나의 차단홈(110), 관통홀(190), 사이드홀(172), 제1 및 제2 커버층(170,180)이 배치된다.The barrier area BA is disposed between the hole area HA and the light emitting area EA. The above-described inner dam 108, at least one blocking groove 110, a through hole 190, a side hole 172, and first and second cover layers 170 and 180 are disposed in the barrier region BA.

차단홈(110)은 다수의 내부댐(108)과 기판홀(120) 사이에 배치된다. 이 차단홈(110)은 기판(101)과 평탄화층(104) 사이에 배치되는 멀티 버퍼층(112), 액티브 버퍼층(114), 게이트 절연막(116) 및 층간 절연막(102) 중 적어도 하나의 무기 절연층을 관통하도록 형성된다. 이 때, 차단홈(110)에 의해 노출된 무기 절연층(12,114,116,102)의 측면은 차단홈(110)에 의해 노출된 무기 절연층(12,114,116,102)의 바닥면과 예각 또는 직각을 이루도록 역테이퍼 형태로 형성된다. 이러한 차단홈(110)에 의해, 발광 스택(134) 및 캐소드 전극(136) 형성시, 발광 스택(134) 및 캐소드 전극(136)은 연속성을 가지지 않고 단선(disconnection)된다. 이에 따라, 외부로부터의 수분이 홀 영역(HA) 부근에 배치되는 발광 스택(134)을 따라 침투하더라도 차단홈(110)에 의해 발광 영역(EA)으로 유입되는 것을 차단 또는 지연시킬 수 있다. 또한, 홀 영역(HA) 부근에 배치되는 캐소드 전극(136)을 따라 정전기가 유입되더라도 차단홈(110)에 의해 발광 영역(EA)으로 정전기가 확산되는 것을 차단할 수 있다. 뿐만 아니라, 차단홈(110)은 유기 절연 재질에 비해 경도가 높아 벤딩 스트레스에 쉽게 크랙이 발생되는 무기 절연층(112,114,116,102)들을 제거하므로, 발광 영역(EA)으로 크랙이 전파되는 것을 차단할 수 있다.The blocking groove 110 is disposed between the plurality of internal dams 108 and the substrate hole 120. The blocking groove 110 is an inorganic insulating layer of at least one of the multi-buffer layer 112, the active buffer layer 114, the gate insulating layer 116 and the interlayer insulating layer 102 disposed between the substrate 101 and the planarization layer 104. It is formed to penetrate the layer. At this time, the side surface of the inorganic insulating layer (12,114,116,102) exposed by the blocking groove 110 is formed in a reverse taper shape to form an acute or right angle to the bottom surface of the inorganic insulating layer (12,114,116,102) exposed by the blocking groove (110) do. When the light emitting stack 134 and the cathode electrode 136 are formed by the blocking groove 110, the light emitting stack 134 and the cathode electrode 136 are disconnected without continuity. Accordingly, even if moisture from the outside penetrates along the light emitting stack 134 disposed near the hole area HA, it may be blocked or delayed from entering the light emitting area EA by the blocking groove 110. In addition, even if static electricity flows along the cathode electrode 136 disposed near the hole region HA, the diffusion of static electricity into the light emitting region EA by the blocking groove 110 may be prevented. In addition, since the blocking groove 110 has a higher hardness than the organic insulating material, the inorganic insulating layers 112, 114, 116, and 102, which are easily cracked by bending stress, are removed, thereby preventing the crack from propagating to the emission region EA.

관통홀(190)은 홀 영역(HA) 및 그 주변 영역에 배치되는 다수의 박막층을 관통하도록 형성된다. 예를 들어, 관통홀(190)은 홀 영역(HA) 및 그 주변 영역의 무기 절연층(114,116,102), 발광 스택(134), 캐소드 전극(136) 및 무기 봉지층(142,146)을 관통하여 기판(101) 또는 멀티 버퍼층(112)의 상부면을 노출시키도록 형성된다. 이러한 관통홀(190)에 의해 홀 영역(HA)의 무기 절연층(102), 발광 스택(134) 및 무기 봉지층(142,146) 등이 제거됨으로써 기판홀(120)을 형성하는 레이저 트리밍(Laser Trimming) 공정이 간소화된다.The through-hole 190 is formed to penetrate a plurality of thin film layers disposed in the hole region HA and its surrounding regions. For example, the through-hole 190 penetrates the substrate ( 101) or the multi-buffer layer 112 is formed to expose the upper surface. The laser trimming to form the substrate hole 120 by removing the inorganic insulating layer 102, the light emitting stack 134, and the inorganic encapsulation layers 142 and 146 of the hole region HA by the through hole 190 ) The process is simplified.

사이드홀(172)은 관통홀(190)에 의해 노출된 발광 스택(134)의 일부를 제거함으로써 형성된다. 이 경우, 사이드홀(172)에 의해 노출된 발광 스택(134)의 측면은 관통홀(190)에 의해 노출된 무기 봉지층(142,146)의 측면보다 내측에 위치한다. 즉, 사이드홀(172)에 의해 노출된 발광 스택(134)의 측면은 관통홀(190)에 의해 노출된 무기 봉지층(142,146)의 측면보다 기판홀(120)에 멀게 형성된다. 이에 따라, 외부로부터의 수분 또는 산소가 발광 스택(134)까지 침투할 수 있는 경로가 멀어지므로 외부로부터의 수분 또는 산소가 발광 스택(134)으로 유입되는 것을 지연시킬 수 있다.The side hole 172 is formed by removing a portion of the light emitting stack 134 exposed by the through hole 190. In this case, the side surface of the light emitting stack 134 exposed by the side hole 172 is located inside the side surface of the inorganic encapsulation layers 142 and 146 exposed by the through hole 190. That is, the side surface of the light emitting stack 134 exposed by the side hole 172 is formed farther from the substrate hole 120 than the side surface of the inorganic encapsulation layers 142 and 146 exposed by the through hole 190. Accordingly, since a path through which moisture or oxygen from the outside can penetrate to the light emitting stack 134 becomes far, it is possible to delay the flow of moisture or oxygen from the outside into the light emitting stack 134.

제1 커버층(170)은 홀 영역(HA)을 제외한 나머지 영역(EA,BA,PDA)에 형성되거나, 배리어 영역(BA)에만 형성될 수 있다. 이 제1 커버층(170)은 관통홀(190)에 의해 노출된 각 무기 절연층들(114,116,102,142,146)과 발광 스택(134)의 측면 상에 배치되므로, 관통홀(190)에 의해 노출된 각 무기 절연층들(114,116,102,142,146) 간의 계면들을 밀폐한다. 이에 따라, 제1 커버층(170)은 외부의 수분이나 산소가 각 무기 절연층들(114,116,102,142,146) 간의 계면으로 침투하는 것을 최소화하거나 차단할 수 있다.The first cover layer 170 may be formed in the remaining regions EA, BA, and PDA except for the hole region HA, or may be formed only in the barrier region BA. Since the first cover layer 170 is disposed on the side surfaces of each of the inorganic insulating layers 114, 116, 102, 142, 146 and the light emitting stack 134 exposed by the through hole 190, each weapon exposed by the through hole 190 The interfaces between the insulating layers 114, 116, 102, 142, 146 are sealed. Accordingly, the first cover layer 170 may minimize or block external moisture or oxygen from penetrating into the interface between the inorganic insulating layers 114, 116, 102, 142, and 146.

이러한 제1 커버층(170)은 소수성 재질로 형성된다. 제1 커버층(170)은 탄소와 불소를 포함하는 플루오르 카본(CxFy, 여기서, x 및 y는 자연수)으로 이루어진다. 예를 들어, 제1 커버층(170)은 C4F8, C3F6 및 C5F8 중 적어도 어느 하나를 이용하여 단층 또는 다층 구조로 이루어진다.The first cover layer 170 is formed of a hydrophobic material. The first cover layer 170 is made of carbon and fluorine carbon containing fluorine (CxFy, where x and y are natural numbers). For example, the first cover layer 170 is formed of a single-layer or multi-layer structure using at least one of C4F8, C3F6, and C5F8.

소수성 재질로 형성되는 제1 커버층(170)은 발광 스택(134)보다 두께가 얇게 형성되므로 사이드홀(172) 내부에 도 3a 또는 도 3b에 도시된 바와 같이 제1 커버층(170)이 형성된다. 도 3a에 도시된 제1 커버층(170)은 사이드홀(172) 내부의 일부를 채워 제1 커버층(170)과 발광 스택(134) 사이에는 공극이 형성된다. 도 3b에 도시된 제1 커버층(170)은 사이드홀(172) 내부를 완전히 채워 제1 커버층(170)은 발광 스택(134)의 측면과 접촉하게 된다.Since the first cover layer 170 formed of a hydrophobic material is formed to have a thinner thickness than the light emitting stack 134, the first cover layer 170 is formed inside the side hole 172 as shown in FIGS. 3A or 3B. do. The first cover layer 170 illustrated in FIG. 3A fills a portion of the side hole 172 and thus a void is formed between the first cover layer 170 and the light emitting stack 134. The first cover layer 170 shown in FIG. 3B completely fills the inside of the side hole 172 so that the first cover layer 170 contacts the side surface of the light emitting stack 134.

이와 같이, 제1 커버층(170)은 사이드홀(172)에 의해 노출된 발광 스택(134)의 측면이 노출되는 것을 방지하므로, 외부로부터의 수분 또는 산소가 발광 스택(134)으로 침투하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 소수성 재질인 제1 커버층(170)은 수분 또는 산소와 반발력을 가지므로, 외부로부터의 수분 또는 산소가 발광 스택(134)으로 침투하는 것을 방지할 수 있다. 뿐만 아니라, 제1 커버층(172)은 관통홀(190) 형성후, 제2 커버층(180) 형성되기 전에 발광 스택(134)이 외부로 노출되는 것을 방지할 수 있다.As described above, the first cover layer 170 prevents the side surface of the light emitting stack 134 exposed by the side hole 172 from being exposed, so that moisture or oxygen from outside penetrates into the light emitting stack 134. Can be prevented. In addition, since the first cover layer 170, which is a hydrophobic material, has repelling power with moisture or oxygen, it is possible to prevent moisture or oxygen from the outside from penetrating into the light emitting stack 134. In addition, the first cover layer 172 may prevent the light emitting stack 134 from being exposed to the outside after the through hole 190 is formed and before the second cover layer 180 is formed.

제2 커버층(180)은 제1 커버층(170) 상에 무기 절연 재질로 형성된다. 이 제2 커버층(180)에 의해, 제1 커버층(170)이 보호되므로, 외부의 수분이나 산소가 발광 스택(134)으로 침투하는 것을 최소화하거나 차단할 수 있다.The second cover layer 180 is formed of an inorganic insulating material on the first cover layer 170. Since the first cover layer 170 is protected by the second cover layer 180, it is possible to minimize or block penetration of external moisture or oxygen into the light emitting stack 134.

홀 영역(HA)은 액티브 영역(AA) 내에 배치되므로, 홀 영역(HA)은 발광 소자(130)를 각각 포함하는 다수의 서브 화소(SP)에 의해 둘러싸일 수 있다. 이 홀 영역(HA)에 배치되는 적어도 하나의 기판홀(120)은 원형 형상을 가지는 것으로 예시되어 있으나, 다각형 또는 타원형태로 형성될 수도 있다. 이러한 기판 홀(120) 주변에 배치되는 스캔 라인(SL), 데이터 라인(DL) 등을 포함하는 신호 라인들(106)은 도 4에 도시된 바와 같이 기판홀(120)의 외곽을 따라 우회하도록 배치된다.Since the hole area HA is disposed in the active area AA, the hole area HA may be surrounded by a plurality of sub-pixels SP each including the light emitting device 130. At least one substrate hole 120 disposed in the hole area HA is illustrated as having a circular shape, but may be formed in a polygonal or elliptical shape. The signal lines 106 including the scan line SL, the data line DL, and the like, which are disposed around the substrate hole 120, are to be bypassed along the periphery of the substrate hole 120 as shown in FIG. 4. Is placed.

이러한 홀 영역(HA)에는 기판(101)을 관통하는 기판홀(120) 내로 인입되는 카메라, 스피커, 플래시 라이트 광원 또는 지문 센서와 같은 생체 인식 센서 등을 구비하는 전자 부품이 배치된다. 본 발명에서는 홀 영역(HA)에 도 4에 도시된 바와 같이 카메라 모듈(160)이 배치되는 구조를 예로 들어 설명하기로 한다.Electronic components including a biometric sensor such as a camera, a speaker, a flash light source or a fingerprint sensor, which are introduced into the substrate hole 120 passing through the substrate 101, are disposed in the hole area HA. In the present invention, a structure in which the camera module 160 is disposed as illustrated in FIG. 4 in the hole area HA will be described as an example.

카메라 모듈(160)은 카메라 렌즈(164)와 카메라 구동부(162)를 구비한다.The camera module 160 includes a camera lens 164 and a camera driver 162.

카메라 구동부(162)는 표시 패널의 기판(101)의 배면에 배치되어 카메라 렌즈(164)와 연결된다.The camera driver 162 is disposed on the rear surface of the substrate 101 of the display panel and is connected to the camera lens 164.

카메라 렌즈(164)는 액티브 영역(AA)의 최하부에 배치되는 하부 박막층(예를 들어, 기판(101) 또는 백플레이트)에서부터 액티브 영역(AA)의 최상부에 배치되는 상부 박막층(예를 들어, 편광판(166))까지 관통하는 기판홀(120) 내에 배치된다. 이에 따라, 카메라 렌즈(164)는 커버 글래스(168)와 마주보도록 배치된다. 여기서, 기판홀(120)은 관통홀(190)보다 작은 선폭으로 관통홀(190)과 중첩되도록 배치된다. 기판홀(120)은 기판(101), 멀티 버퍼층(112), 액티브 버퍼층(114), 제1 커버층(170) 및 편광판(166)을 관통하도록 배치되거나, 기판(101) 및 편광판(166)을 관통하도록 배치된다.The camera lens 164 is an upper thin film layer (for example, a polarizing plate) disposed on the uppermost portion of the active region AA from a lower thin film layer (eg, a substrate 101 or a back plate) disposed at the bottom of the active region AA. (166)) is disposed in the substrate hole 120 through. Accordingly, the camera lens 164 is disposed to face the cover glass 168. Here, the substrate hole 120 is disposed to overlap the through hole 190 with a line width smaller than that of the through hole 190. The substrate hole 120 is disposed to penetrate the substrate 101, the multi-buffer layer 112, the active buffer layer 114, the first cover layer 170, and the polarizing plate 166, or the substrate 101 and the polarizing plate 166 It is arranged to penetrate.

이러한 카메라 모듈(160)이 액티브 영역(AA) 내에 배치됨으로써 표시 장치의 비표시 영역인 베젤 영역을 최소화할 수 있다.Since the camera module 160 is disposed in the active area AA, a bezel area that is a non-display area of the display device may be minimized.

도 6a 내지 도 6e는 도 5에 도시된 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.6A to 6E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the organic light emitting display device illustrated in FIG. 5.

구체적으로, 기판(101) 상에 도 6a에 도시된 바와 같이 멀티 버퍼층(112) 및 액티브 버퍼층(114)이 형성된다. 여기서, 기판(101)은 벤딩(Bending)이 가능하도록 가요성(flexibility)을 가지는 플라스틱 재질로 형성된다. 예를 들어, 기판(101)은 PI(Polyimide), PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylene naphthalate), PC(polycarbonate), PES(polyethersulfone), PAR(polyarylate), PSF(polysulfone), COC(ciclic-olefin copolymer) 등의 재질로 형성된다.Specifically, a multi-buffer layer 112 and an active buffer layer 114 are formed on the substrate 101 as shown in FIG. 6A. Here, the substrate 101 is formed of a plastic material having flexibility to allow bending. For example, the substrate 101 is polyimide (PI), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polycarbonate (PC), polyethersulfone (PES), polyarylate (PAR), polysulfone (PSF), ciclic- olefin copolymer).

그런 다음, 액티브 버퍼층(114) 상에 액티브층(154)이 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 통해 형성된 다음, 액티브층(154) 상에 무기 절연 재질로 이루어진 게이트 절연막(116)이 형성된다. 게이트 절연막(116) 상에 게이트 전극(152)이 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 통해 형성된 다음, 무기 절연 재질로 이루어진 층간 절연막(102)이 형성된다. 그 층간 절연막(102b)이 포토리소그래피 공정과 식각 공정에 의해 패터닝됨으로써 액티브층(154)을 노출시키는 소스 및 드레인 컨택홀(도시하지 않음)이 형성된다. 그런 다음, 층간 절연막(102), 게이트 절연막(116) 및 액티브 버퍼층(114)이 포토리소그래피 공정과 식각 공정에 의해 패터닝됨으로써 멀티 버퍼층(112)의 상부면을 노출시키는 차단홈(110)이 형성된다. 이 때, 멀티버퍼층(112)의 일부도 식각 공정에 의해 패터닝될 수 있어 차단홈(110)은 멀티 버퍼층(112)의 측면을 노출시킬 수도 있다.Then, the active layer 154 is formed on the active buffer layer 114 through a photolithography process and an etching process, and then a gate insulating film 116 made of an inorganic insulating material is formed on the active layer 154. After the gate electrode 152 is formed on the gate insulating layer 116 through a photolithography process and an etching process, an interlayer insulating film 102 made of an inorganic insulating material is formed. The interlayer insulating film 102b is patterned by a photolithography process and an etching process to form source and drain contact holes (not shown) exposing the active layer 154. Then, the interlayer insulating film 102, the gate insulating film 116 and the active buffer layer 114 are patterned by a photolithography process and an etching process to form a blocking groove 110 exposing the upper surface of the multi-buffer layer 112. . At this time, a part of the multi-buffer layer 112 may also be patterned by an etching process, so that the blocking groove 110 may expose the side surface of the multi-buffer layer 112.

그런 다음, 층간 절연막(102) 상에 소스 및 드레인 전극(156,158)이 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 통해 형성된다. 그런 다음, 보호막(124), 평탄화층(104) 및 애노드 전극(132) 각각이 포토리소그래피 공정과 식각 공정에 의해 순차적으로 형성된다. 그런 다음, 뱅크(138), 내부댐(108) 및 외부댐(128)이 동일한 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정과 식각 공정에 의해 동시에 형성된다.Then, the source and drain electrodes 156 and 158 are formed on the interlayer insulating film 102 through a photolithography process and an etching process. Then, each of the protective film 124, the planarization layer 104, and the anode electrode 132 is sequentially formed by a photolithography process and an etching process. Then, the bank 138, the inner dam 108 and the outer dam 128 are formed simultaneously by a photolithography process and an etching process using the same mask.

뱅크(138)가 형성된 기판(101) 상에 새도우 마스크를 이용한 증착 공정을 통해 도 6b에 도시된 바와 같이 발광 스택(134) 및 캐소드 전극(136)이 순차적으로 형성된다. 이 때, 발광 스택(134) 및 캐소드 전극(136)은 차단홈(110)에 의해 연속성을 가지지 않고 단선(disconnection)된다. 그런 다음, 캐소드 전극(136) 상에 적어도 하나의 무기 봉지층(142,146) 및 적어도 하나의 유기 봉지층(144)이 적층됨으로써 봉지 유닛(140)이 형성된다. 이 때, 유기 봉지층(144)은 내부댐(108) 및 외부댐(128)에 의해 홀 영역(HA) 및 패드 영역(PDA)을 제외한 나머지 영역에 형성된다.The light emitting stack 134 and the cathode electrode 136 are sequentially formed on the substrate 101 on which the bank 138 is formed, as shown in FIG. 6B through a deposition process using a shadow mask. At this time, the light emitting stack 134 and the cathode electrode 136 are disconnected without continuity by the blocking groove 110. Then, at least one inorganic encapsulation layer 142 and 146 and at least one organic encapsulation layer 144 are stacked on the cathode electrode 136 to form the encapsulation unit 140. At this time, the organic encapsulation layer 144 is formed in the remaining regions except for the hole region HA and the pad region PDA by the inner dam 108 and the outer dam 128.

그런 다음, 홀 영역(HA)에 배치되는 게이트 절연막(116), 층간 절연막(102), 발광 스택(134), 캐소드 전극(136), 제1 및 제2 무기 봉지층(142,146)이 포토리소그래피 공정과 식각공정에 의해 제거됨으로써 관통홀(190)이 형성된다. 그런 다음, 관통홀(190)에 의해 노출된 발광 스택(134), 또는 발광 스택(134) 및 캐소드 전극(136)이 건식 식각 공정을 통해 2차 식각되므로, 도 6c에 도시된 바와 같이 사이드홀(172)이 형성된다.Then, the gate insulating layer 116, the interlayer insulating layer 102, the light emitting stack 134, the cathode electrode 136, and the first and second inorganic encapsulation layers 142 and 146 disposed in the hole region HA are photolithographically processed. And removed through the etching process to form the through hole 190. Then, since the light emitting stack 134 exposed by the through hole 190, or the light emitting stack 134 and the cathode electrode 136 are secondarily etched through a dry etching process, a side hole as shown in FIG. 6C. 172 is formed.

그런 다음, 사이드홀(172) 형성시 이용된 건식 식각 장비 내에서 CH4, CHF3, C2F6 및 C4F8 중 적어도 어느 하나를 이용한 가스를 이용한 표면 처리 공정을 통해 소수성 재질의 제1 커버층(170)이 도 6d에 도시된 바와 같이 전면 형성된다.Then, the first cover layer 170 of the hydrophobic material is formed through a surface treatment process using gas using at least one of CH4, CHF3, C2F6, and C4F8 in the dry etching equipment used when forming the side hole 172. The front surface is formed as shown in 6d.

그런 다음, 증착 챔버 내에서 무기 절연 물질이 제1 커버층(170) 상에 전면 형성된 후, 포토리소그래피 공정과 식각 공정에 의해 패터닝됨으로써 도 6e에 도시된 바와 같이 제2 커버층(180)이 형성된다. 그런 다음, 도 6f에 도시된 바와 같이, 레이저 트리밍(Laser Trimming) 공정을 통해 홀 영역에 배치되는 기판(101), 멀티 버퍼층(112) 및 제1 커버층(170)이 제거됨으로써 기판홀(120)이 형성된다.Then, after the inorganic insulating material is entirely formed on the first cover layer 170 in the deposition chamber, the second cover layer 180 is formed as illustrated in FIG. 6E by being patterned by a photolithography process and an etching process. do. Then, as shown in FIG. 6F, the substrate hole 120 is removed by removing the substrate 101, the multi-buffer layer 112 and the first cover layer 170 disposed in the hole region through a laser trimming process. ) Is formed.

이와 같이, 본 발명에서는 제1 및 제2 커버층(170,180)을 이용하여 발광 스택(134)의 외측면을 밀폐함으로써 외부의 수분이나 산소가 발광 스택(134)의 계면으로 침투하는 것을 차단할 수 있어 발광 스택(134)의 열화를 방지할 수 있다.As described above, in the present invention, the outer surface of the light emitting stack 134 is sealed by using the first and second cover layers 170 and 180 to prevent external moisture or oxygen from penetrating into the interface of the light emitting stack 134. Deterioration of the light emitting stack 134 can be prevented.

또한, 본 발명에서는 관통홀(190) 및 사이드홀(172)을 형성하기 위한 건식 식각 장비 내에서 제1 커버층(170)이 형성된 후, 제1 커버층(170)이 형성된 기판(101)이 제2 커버층(180)을 형성하기 위한 증착 장비로 이송된다. 이에 따라, 관통홀(190) 및 사이드홀(172)에 의해 노출된 발광 스택(134)의 측면이 제1 커버층(170)에 의해 보호된 후, 증착 장비로 이송되므로 발광 스택(134)이 대기중의 산소 또는 수분에 노출되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the present invention, after the first cover layer 170 is formed in the dry etching equipment for forming the through hole 190 and the side hole 172, the substrate 101 on which the first cover layer 170 is formed is formed. It is transferred to the deposition equipment for forming the second cover layer 180. Accordingly, after the side surfaces of the light emitting stack 134 exposed by the through holes 190 and the side holes 172 are protected by the first cover layer 170, the light emitting stack 134 is transferred to the deposition equipment. It can prevent exposure to oxygen or moisture in the atmosphere.

도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.7 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 유기 발광 표시 장치는 도 2에 도시된 유기 발광 표시 장치와 대비하여 발광 영역(EA)에 배치되는 터치 센서를 더 구비하는 것을 제외하고는 동일한 구성요소를 구비한다. 이에 따라, 동일한 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The organic light emitting display device illustrated in FIG. 7 has the same components except for further comprising a touch sensor disposed in the light emitting area EA in contrast to the organic light emitting display device illustrated in FIG. 2. Accordingly, detailed description of the same components will be omitted.

터치 센서는 다수의 터치 전극들(192)과, 그 터치 전극들(192)을 연결하는 다수의 브릿지(194)를 구비한다.The touch sensor includes a plurality of touch electrodes 192 and a plurality of bridges 194 connecting the touch electrodes 192.

터치 전극들(192) 및 브릿지(194) 중 적어도 어느 하나는 ITO 또는 IZO와 같은 투명 도전막으로 이루어지거나, 메쉬 형태로 형성된 메쉬 금속막으로 이루어지나, 투명 도전막과 그 투명 도전막의 상부 또는 하부에 메쉬 금속막으로 이루어질 수도 있다. 여기서, 메쉬 금속막은 투명 도전막보다 전도성이 좋은 Ti, Al, Mo, MoTi, Cu, Ta 및 ITO 중 적어도 한 층의 도전층을 이용하여 메쉬 형태로 형성된다. 예를 들어, 메쉬 금속막은 Ti/Al/Ti, MoTi/Cu/MoTi 또는 Ti/Al/Mo와 같이 적층된 3층 구조로 형성된다. 메쉬 금속막 및 브릿지(194) 중 적어도 어느 하나는 뱅크(138)와 중첩된다.At least one of the touch electrodes 192 and the bridge 194 is made of a transparent conductive film such as ITO or IZO, or a mesh metal film formed in a mesh form, but the transparent conductive film and the upper or lower part of the transparent conductive film The mesh may be made of a metal film. Here, the mesh metal film is formed in a mesh form using at least one conductive layer of Ti, Al, Mo, MoTi, Cu, Ta, and ITO, which has better conductivity than the transparent conductive film. For example, the mesh metal film is formed of a stacked three-layer structure such as Ti/Al/Ti, MoTi/Cu/MoTi or Ti/Al/Mo. At least one of the mesh metal film and the bridge 194 overlaps the bank 138.

다수의 브릿지(194) 및 터치 전극들(192) 중 어느 하나는 도 7에 도시된 바와 같이 제2 커버층(180) 상에 형성되거나, 도 8에 도시된 바와 같이 제1 커버층(170) 상에 배치된다.One of the plurality of bridges 194 and the touch electrodes 192 is formed on the second cover layer 180 as illustrated in FIG. 7, or the first cover layer 170 as illustrated in FIG. 8 It is placed on.

도 7에서는 브릿지(194)가 제2 커버층(180) 상에 배치되고 터치 전극(192)이 터치 절연막(198) 상에 배치된다. 제2 커버층(180)은 터치 전극(192) 및 브릿지(194)를 포함하는 터치 센서 하부에 배치되어 터치 버퍼막의 역할을 겸한다. 이외에도 브릿지(194)가 터치 절연막(198) 상에 배치되고 터치 전극(192)이 제2 커버층(180) 상에 배치될 수도 있다. 터치 절연막(198)은 다수의 브릿지(194) 및 터치 전극들(192)을 전기적으로 연결시키는 터치 컨택홀(196)을 포함한다. 이 터치 절연막(198)은 배리어 영역(BA)으로 신장될 수 도 있다.In FIG. 7, a bridge 194 is disposed on the second cover layer 180 and a touch electrode 192 is disposed on the touch insulating layer 198. The second cover layer 180 is disposed under the touch sensor including the touch electrode 192 and the bridge 194 to serve as a touch buffer film. In addition, the bridge 194 may be disposed on the touch insulating layer 198 and the touch electrode 192 may be disposed on the second cover layer 180. The touch insulating layer 198 includes a plurality of bridges 194 and a touch contact hole 196 that electrically connects the touch electrodes 192. The touch insulating layer 198 may be extended to the barrier region BA.

도 8에서는 브릿지(194)가 제1 커버층(170) 상에 배치되고 터치 전극(192)이 제2 커버층(180) 상에 배치된다. 이외에도 브릿지(194)가 제2 커버층(180) 상에 배치되고 터치 전극(192)이 제1 커버층(170) 상에 배치될 수도 있다. 제2 커버층(180)은 터치 전극(192)과 브릿지(194) 사이에 배치되어 터치 절연막의 역할을 겸한다. 이에 따라, 제2 커버층(180)은 터치 전극(192)과 브릿지(194)들을 전기적으로 연결시키는 터치 컨택홀(196)을 포함한다.In FIG. 8, the bridge 194 is disposed on the first cover layer 170 and the touch electrode 192 is disposed on the second cover layer 180. In addition, the bridge 194 may be disposed on the second cover layer 180 and the touch electrode 192 may be disposed on the first cover layer 170. The second cover layer 180 is disposed between the touch electrode 192 and the bridge 194 to serve as a touch insulating film. Accordingly, the second cover layer 180 includes a touch contact hole 196 that electrically connects the touch electrodes 192 and the bridges 194.

이와 같이, 제2 커버층(180)은 배리어 영역(BA)에 배치되어 터치 절연막 또는 터치 버퍼층의 역할을 겸할 뿐만 아니라, 외부의 수분이나 산소가 발광 스택(134)의 외측면으로 침투하는 것을 차단한다.As described above, the second cover layer 180 is disposed in the barrier region BA and serves as a touch insulating layer or a touch buffer layer, as well as blocking external moisture or oxygen from penetrating the outer surface of the light emitting stack 134. do.

이상의 설명은 본 발명을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 명세서에 개시된 실시 예들은 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 특허청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 균등한 범위 내에 있는 모든 기술도 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석해야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the present invention, and various modifications may be made without departing from the technical spirit of the present invention by those skilled in the art to which the present invention pertains. Therefore, the embodiments disclosed in the specification of the present invention are not intended to limit the present invention. The scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technologies within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

101 : 기판 106 : 신호 라인
108,128 : 댐 110 : 차단홈
112,114: 버퍼층 120 : 기판홀
122 : 패드 130 : 발광 소자
132 : 애노드 전극 134 : 발광 스택
136 : 캐소드 전극 138 : 뱅크
160 : 카메라 모듈 170,180: 커버층
190 : 관통홀 192 : 터치 전극
194 : 브릿지 196 : 터치 컨택홀
198 : 터치 절연막 101: substrate 106: signal line
108,128: Dam 110: Blocking groove
112, 114: buffer layer 120: substrate hole
122: pad 130: light-emitting element
132: anode electrode 134: light emitting stack
136: cathode electrode 138: bank
160: camera module 170,180: cover layer
190: through hole 192: touch electrode
194: Bridge 196: Touch contact hole
198: touch insulating film

Claims (11)

기판 상에 배치되며, 각각 발광 스택을 구비하는 다수의 발광 소자들과;
상기 발광 소자들에 의해 둘러싸이며, 상기 기판을 관통하는 기판홀과;
상기 기판홀을 둘러싸도록 배치되며, 상기 발광 스택을 관통하는 관통홀과;
상기 관통홀에 의해 노출된 상기 발광 스택의 측면 상에 배치되는 소수성 재질의 제1 커버층을 구비하는 표시 장치.A plurality of light emitting elements disposed on the substrate and each having a light emitting stack;
A substrate hole surrounded by the light emitting elements and penetrating the substrate;
A through hole disposed to surround the substrate hole and penetrating the light emitting stack;
A display device comprising a first cover layer made of a hydrophobic material disposed on a side surface of the light emitting stack exposed by the through hole. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 커버층은 CxFy로 이루어지는 표시 장치.According to claim 1,
The first cover layer is a display device made of CxFy. 제 1 항에 있어서,
상기 관통홀은 상기 발광 소자 상에 배치되는 무기 봉지층을 관통하는 표시 장치.According to claim 1,
The through hole is a display device penetrating the inorganic encapsulation layer disposed on the light emitting element. 제 3 항에 있어서,
상기 관통홀에 의해 노출된 무기 봉지층의 하부에 배치되는 상기 발광 스택의 적어도 일부를 제거하는 사이드홀을 더 구비하는 표시 장치.The method of claim 3,
And a side hole for removing at least a portion of the light emitting stack disposed under the inorganic encapsulation layer exposed by the through hole. 제 4 항에 있어서,
상기 제1 커버층의 두께는 상기 발광 스택의 두께보다 얇은 표시 장치.The method of claim 4,
The thickness of the first cover layer is less than that of the light emitting stack. 제 4 항에 있어서,
상기 제1 커버층은 상기 사이드홀 내에 배치되는 표시 장치.The method of claim 4,
The first cover layer is a display device disposed in the side hole. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 커버층 상에 배치되는 무기 절연 재질의 제2 커버층을 더 구비하는 표시 장치.According to claim 1,
A display device further comprising a second cover layer made of an inorganic insulating material disposed on the first cover layer. 제 7 항에 있어서,
상기 봉지 유닛 상에 배치되며, 터치 전극 및 브릿지를 포함하는 터치 센서를 더 구비하는 표시 장치.The method of claim 7,
A display device disposed on the encapsulation unit and further comprising a touch sensor including a touch electrode and a bridge. 제 8 항에 있어서,
상기 제2 커버층은 상기 터치 전극 및 상기 브릿지 하부에 배치되는 표시 장치.The method of claim 8,
The second cover layer is a display device disposed under the touch electrode and the bridge. 제 8 항에 있어서,
상기 제2 커버층은 상기 터치 전극 및 상기 브릿지 사이에 배치되는 표시 장치.The method of claim 8,
The second cover layer is a display device disposed between the touch electrode and the bridge. 제 1 항에 있어서,
상기 기판홀 내부에 배치되는 카메라 모듈을 더 구비하는 표시 장치.According to claim 1,
A display device further comprising a camera module disposed inside the substrate hole.
KR1020180161835A 2018-12-14 2018-12-14 Display device KR20200073550A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180161835A KR20200073550A (en) 2018-12-14 2018-12-14 Display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180161835A KR20200073550A (en) 2018-12-14 2018-12-14 Display device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20200073550A true KR20200073550A (en) 2020-06-24

Family

ID=71407895

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180161835A KR20200073550A (en) 2018-12-14 2018-12-14 Display device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20200073550A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11239397B2 (en) * 2019-12-11 2022-02-01 Mikro Mesa Technology Co., Ltd. Breathable and waterproof micro light emitting diode display
WO2022211398A1 (en) * 2021-03-29 2022-10-06 삼성에스디아이 주식회사 Polarizing plate and optical display apparatus comprising same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11239397B2 (en) * 2019-12-11 2022-02-01 Mikro Mesa Technology Co., Ltd. Breathable and waterproof micro light emitting diode display
WO2022211398A1 (en) * 2021-03-29 2022-10-06 삼성에스디아이 주식회사 Polarizing plate and optical display apparatus comprising same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102563782B1 (en) Display device
KR20200073544A (en) Display device
US11575109B2 (en) Display device
US11322564B2 (en) Display device
US11038141B2 (en) Semiconductor device
US9799713B2 (en) Organic light-emitting diode display with barrier layer
JP2019075229A (en) Display device
KR20170003768A (en) flexible organic light emitting diode display device and method of fabricating the same
US11930657B2 (en) Display apparatus having substrate hole
KR20210079816A (en) Display apparatus comprisnig see-through area for camera
US11232755B2 (en) Display substrate and manufacturing method therefor, and display device
KR20200073543A (en) Display device
WO2020215630A1 (en) Display substrate, display apparatus, and method of fabricating display substrate
KR20200073550A (en) Display device
KR102533228B1 (en) Organic light emitting display device
KR20200076278A (en) Organic light emitting display device
US20240138181A1 (en) Display apparatus having substrate hole
US20210193757A1 (en) Display device comprising see-through area for camera
KR102538361B1 (en) Organic light emitting display device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination