KR20200073408A

KR20200073408A - Cutting and Processing Method of Metal Plate and Stainless Steel Plate

Info

Publication number: KR20200073408A
Application number: KR1020180161515A
Authority: KR
Inventors: 박형우
Original assignee: 유한에스티 주식회사
Priority date: 2018-12-14
Filing date: 2018-12-14
Publication date: 2020-06-24

Abstract

A metal plate for laser processing (e.g., stainless steel plate, titanium plate), preferably an austenitic stainless steel sheet, suitable for use in a metal mask or the like which is precisely processed by a laser satisfies an equation of d<=0.0448·t-1.28, where d (μm) is an average grain diameter and t (μm) is a sheet thickness. According to a cutting and machining method of the austenitic stainless steel sheet for laser processing, the austenitic stainless steel sheet is annealed at 800 to 950 °C for 25 to 70 seconds.

Description

{Cutting and processing method of metal plate and stainless steel plate}

본 발명은, 레이저에 의해 정밀 가공되는 메탈 마스크 등에 사용하기 위해 적합한, 예를 들면 레이저 가공용 오스테나이트계 스테인리스 강판 등의 레이저 가공용 금속판과, 레이저 가공용 스테인리스 강판의 절단 및 가공 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a metal plate for laser processing such as an austenitic stainless steel sheet for laser processing and a method for cutting and processing a stainless steel sheet for laser processing, which is suitable for use in a metal mask or the like that is precisely processed by laser.

레이저 메탈 마스크(laser cut metal mask)란, 금속판에 레이저 광을 조사함으로써 금속판의 일부를 용해 및 천공함으로써 가공된, 미세한 세공(細孔)(또는 슬릿)으로 이루어지는 소정의 패턴 화상을 가지는 금속판이다. 이는 주로, 프린트 배선판과 같은 회로 기판에 솔더 페이스트(크림 납땜)를 스퀴지에 의해 스크린 인쇄하기 위해사용되는데, 도전성 잉크의 인쇄 등의 다른 용도에도 사용된다. 금속판으로는 스테인리스강, 티탄, 티탄합금,알루미늄, 알루미늄 합금, 니켈 등의 판이 이용된다. 메탈 마스크의 천공에는, 이전은 에칭이 이용되었는데,레이저 가공기의 보급에 따라, 보다 고밀도의 천공이 가능한 레이저 메탈 마스크가 많이 이용되고 있다. A laser cut metal mask is a metal plate having a predetermined pattern image made of fine pores (or slits) processed by dissolving and perforating a part of the metal plate by irradiating laser light onto the metal plate. It is mainly used for screen printing solder paste (cream soldering) on a circuit board such as a printed wiring board by a squeegee, and is also used for other applications such as printing of conductive ink. As the metal plate, a plate made of stainless steel, titanium, titanium alloy, aluminum, aluminum alloy, nickel, or the like is used. Etching has been previously used for drilling metal masks, and laser metal masks capable of higher density drilling have been widely used with the spread of laser processing machines.

스테인리스강은, 기계적 강도나 내식성이 뛰어나므로, 에칭 가공 또는 레이저 가공에 의해 제조되는 메탈 마스크용의 금속판으로서 널리 이용되고 있다. 최근, 레이저 가공기의 고성능화에 따라, 가공 정밀도의 향상뿐만아니라, 짧은 납기 대응이 가능해지고 있어, 스테인리스강으로 이루어지는 레이저 메탈 마스크의 수요가 더욱높아지고 있다.Since stainless steel has excellent mechanical strength and corrosion resistance, it is widely used as a metal plate for metal masks produced by etching or laser processing. In recent years, with the high performance of the laser processing machine, not only improved processing precision but also shorter delivery time are possible, and the demand for a laser metal mask made of stainless steel is further increased.

레이저 가공기의 기술 진보에 따라 레이저 메탈 마스크의 세공의 가공 정밀도의 향상과 열에 의한 변형 방지가도모되고, 이에 따라 레이저 메탈 마스크의 가공 정밀도가 향상되고 있다.With the progress of the laser processing machine, the processing precision of the pores of the laser metal mask is improved and the deformation prevention by heat is achieved, and accordingly, the processing precision of the laser metal mask is improved.

조사하는 레이저 광의 초점 스폿 직경의 축소, 혹은 펄스 레Reduction of the focal spot diameter of the irradiated laser light, or pulse level

이저의 채용, 또한 레이저 가공시의 입열의 억제를 병용함으로써, 열에 의한 변형을 방지하면서, 레이저 메탈마스크에 있어서의 세공에 대한 레이저 가공의 가공 정밀도의 향상이 도모되고 있다. By employing the use of an eraser and suppression of heat input during laser processing, it is possible to improve the processing precision of laser processing for pores in a laser metal mask while preventing deformation due to heat.

그러나,종래 기술의 수법에서는, 가공 속도의 저하를 피할 수 없고, 레이저 메탈 마스크의 가공 비용이대폭 상승하여, 생산성이 크게 저하되었다.However, in the conventional technique, a reduction in processing speed cannot be avoided, and the processing cost of the laser metal mask is greatly increased, and productivity is greatly reduced.

또한, 레이저 가공 후의 처리로는, 레이저 가공으로 발생한 이면측의 드로스나버를 제거하기 위해서 전해/화학연마 또는 기계 연마를 행하는데 추가하여, 스퀴지성(스퀴지에 의한 납땜 공급량의 균일성)을 향상시키기 위해서 표면측에는 경면 마무리를 행했다. 이 때문에, 작업 시간이 장시간화하여, 고비용이 되었다.In addition, as a treatment after laser processing, in addition to performing electrolytic/chemical polishing or mechanical polishing to remove dross NAVER on the back side generated by laser processing, the squeegee property (uniformity of the amount of solder supplied by the squeegee) is improved. In order to make it, a mirror surface finish was performed on the surface side. For this reason, the working time is prolonged, and the cost is high.

본 발명은, 레이저에 의해 정밀가공되는 메탈 마스크 등에 사용하기 위해 적합한 레이저 가공용 금속판, 특히레이저 가공용 오스테나이트계 스테인리스 강판과, 레이저 가공용 스테인리스 강판의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 구체적으로는, 본 발명은, 레이저 가공성이 뛰어나고, 개구 단면의 치수 정밀도가 향상된(예를 들면, 세공 확산이 판 두께 250㎛에 대하여 10% 이하의 정밀도인 25㎛ 이하이다) 레이저 메탈 마스크의제조를 가능하게 하고, 또한 미세 슬릿 가공에도 적합한, 레이저 가공용 금속판, 바람직하게는 오스테나이트계스테인리스 강판과, 이 스테인리스 강판의 절단 및 가공방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a metal plate for laser processing, particularly an austenitic stainless steel sheet for laser processing and a method for manufacturing a stainless steel sheet for laser processing, which is suitable for use in a metal mask or the like that is precisely processed by laser. Specifically, the present invention is excellent in laser workability, and the dimensional accuracy of the opening cross section is improved (for example, the pore diffusion is 25 μm or less with a precision of 10% or less with respect to the plate thickness of 250 μm). It is an object of the present invention to provide a metal sheet for laser processing, preferably an austenitic stainless steel sheet, and a method for cutting and processing the stainless steel sheet, which makes it possible and suitable for fine slit processing.

본 발명에 오스테나이트계 스테인리스강에 열간 압연, 냉간 압연 및 소둔을 실시하여 오스테Austenitic stainless steel according to the present invention is hot-rolled, cold-rolled and annealed to austenite

나이트계 스테인리스 강판으로 하고, 이 스테인리스 강판에 압하율로 20% 이상의 조질 압연을 행하고, 필요에따라, 조질 압연 후에 500∼820℃에서 20∼150초간의 왜 제거 소둔을 행하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공용오스테나이트계 스테인리스 강판의 제조 방법이다. 조질 압연과 왜 제거 소둔에서는 오스테나이트계 스테인리스 강판의 평균 결정 입경은 실질적으로 변화하지 않으므로, 열간 압연, 냉간 압연 및 소둔을 실시하여 얻어진냉연 강판의 평균 결정 입경이 상기 (1)식을 만족시키도록 한다. 이를 위해서는, 냉간 압연(냉간 압연을 2회이상 행하는 경우에는, 조질 압연 전의 최종 냉간 압연)을 30% 이상의 압하율로 행하여, 소둔(마찬가지로 소둔을 2회 이상 행하는 경우에는 조질 압연 전의 최종 소둔)을 800∼950℃에서 25∼70초의 온도에서의 균열에 의해행하는 것이 바람직하다.It is made of a night stainless steel sheet, and is subjected to temper rolling of 20% or more at a rolling reduction rate, and if necessary, after the temper rolling, the annealing is performed at 500 to 820°C for 20 to 150 seconds to remove and anneal the laser. It is a method of manufacturing an austenitic stainless steel sheet. The average crystal grain size of the austenitic stainless steel sheet does not substantially change during temper rolling and dry removal annealing, so that the average grain size of the cold rolled steel sheet obtained by performing hot rolling, cold rolling and annealing satisfies the above formula (1). do. To this end, cold rolling (final cold rolling before temper rolling, if cold rolling is performed twice or more) is performed at a rolling reduction rate of 30% or more, and annealing (similarly, final annealing before temper rolling, when annealing is performed twice or more) 800 It is preferable to perform cracking at a temperature of 25 to 70 seconds at 950°C.

본 발명에 관련된 Related to the present invention

레이저 가공의 가공 정밀도는, 지금까지는 레이저 장치 혹은 가공 조건에 의존하고 있었다. 본 발명에 의하면,레이저 가공용 금속판의 평균 결정 입경 d(㎛)과 판 두께 t(㎛)가 상기 (1)식의 관계를 만족하도록 관리함으로써도, 레이저 가공의 가공 정밀도를 향상시킬 수 있다.The processing precision of laser processing has hitherto been dependent on the laser device or processing conditions. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if it manages so that the average crystal grain diameter d(micrometer) and the plate thickness t(micrometer) of the metal plate for laser processing satisfy|fills the relationship of said (1) Formula, the processing precision of laser processing can be improved.

결정 입자를 미립화함으로써, 대부분의 오스테나이트계 스테인리스 강판에서는, 레이저 가공으로 형성된 세공의내면에 부착되는 드로스가 적고, 또한 이면측(레이저 출사측)의 세공 둘레 가장자리부에 형성되는 버가 낮아진다는 효과도 얻어지는 것이 밝혀졌다. 그 결과, 전해 연마 또는 화학 연마에 의한 드로스나 버의 제거나, 세공내면이나 스퀴지면의 평활화(경면 처리)도 단시간에 처리 가능해지고, 레이저 메탈 마스크의 제조 시간의 단축(납기 단축)이나 비용 억제가 가능해지므로, 본 발명의 실용상의 의의는 매우 크다.By atomizing the crystal grains, in most austenitic stainless steel sheets, the effect that fewer dross adheres to the inner surface of the pores formed by laser processing and also lowers the burrs formed at the periphery of the pores on the back side (laser exit side) It was also found to be obtained. As a result, removal of dross or burrs by electropolishing or chemical polishing, and smoothing (mirror treatment) of the inner surface of the pores or squeeze surface can be processed in a short time, reducing the manufacturing time of laser metal masks (shortening delivery times) and reducing costs. Since it becomes possible, the practical significance of the present invention is very large.

도 1은 실시예에서 채용한 설명도이다.1 is an explanatory diagram employed in Examples.

피가공재인 금속판이스테인리스 강판, 특히 오스테나이트계 스테인리스강인 경우를 예로 든다. 그러나, 본 발명에 있어서 금속판은스테인리스 강판에는 한정되지 않는다. 예를 들면, 티탄, 티탄 합금판, 순니켈판, 알루미늄판, 알루미늄 합금판과 같은, 스테인리스 강판 이외의 다른 금속판에 대해서도 본 발명은 동일하게 적용된다. 단, 본 발명에 관련된 레이저 가공용 오스테나이트계 스테인리스 강판의 제조 방법은, 특히 각 공정의 조건에 대해서는, 오스테나이트계 스테인리스 강판 이외의 금속판에는 적용되지 않는다.For example, the metal plate to be processed is a stainless steel sheet, particularly austenitic stainless steel. However, in the present invention, the metal plate is not limited to a stainless steel plate. For example, the present invention applies equally to other metal plates other than stainless steel plates, such as titanium, titanium alloy plates, pure nickel plates, aluminum plates, and aluminum alloy plates. However, the manufacturing method of the austenitic stainless steel sheet for laser processing which concerns on this invention does not apply to the metal plate other than an austenitic stainless steel sheet especially about the conditions of each process.

스테인리스 강판은, 강도나 녹 발생의 관점에서, 오스테나이트계 스테인리스 강판인 것이 바람직하다. 단, 페라이트계 스테인리스강도 사용가능하다. 오스테나이트계를 포함하는 냉간 압연 스테인리스 강판은, JIS G4305에 규정되어 있다. 오스테나이트계 스테인리스 강판 중에서도, SUS301, SUS304, SUS301L, SUS304L의 조질압연재나, JIS G 4313(용수철용 스테인리스 강대)에 규정되어 있는 SUS301-CSP나 SUS304-CSP를 이용하는 것이,미립화되기 쉬우므로, 바람직하다.It is preferable that a stainless steel sheet is an austenitic stainless steel sheet from a viewpoint of strength and rust generation. However, ferritic stainless steel can also be used. The cold rolled stainless steel sheet containing austenite is specified in JIS G4305. Among the austenitic stainless steel sheets, it is preferable to use SUS301, SUS304, SUS301L, and SUS304L tempered rolling materials or SUS301-CSP or SUS304-CSP specified in JIS G 4313 (stainless steel strip for springs) because it is easy to atomize. Do.

1: 레이저 2: 스테인리스 강판
2a: 레이저 입사면1: laser 2: stainless steel sheet
2a: Laser incident surface

Claims

After hot-rolling, cold-rolling and annealing the austenitic stainless steel into an austenitic stainless steel sheet, the austenitic stainless steel sheet is subjected to final cold rolling at a rolling reduction rate of 30% or more, and thereafter at 800 to 950°C. Cutting and processing austenitic stainless steel sheet for laser processing, characterized in that the annealing for 25 to 70 seconds in