KR20200026569A - Display apparatus - Google Patents
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- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
Abstract
Description
본 출원은 표시 장치에 관한 것이다.The present application relates to a display device.
표시 장치는 텔레비전 또는 모니터의 표시 화면 이외에도 노트북 컴퓨터, 테블릿 컴퓨터, 스마트 폰, 휴대용 표시 기기, 휴대용 정보 기기 등의 표시 화면으로 널리 사용되고 있다.The display device is widely used as a display screen of a notebook computer, a tablet computer, a smartphone, a portable display device, a portable information device, etc. in addition to the display screen of a television or a monitor.
최근에는, 마이크로 발광 소자를 이용한 발광 표시 장치에 대한 연구 및 개발이 진행되고 있으며, 이러한 발광 표시 장치는 고화질과 고신뢰성을 갖기 때문에 차세대 표시로서 각광받고 있다. 이러한 발광 표시 장치는 자발광 소자로서, 소비 전력이 낮고, 고속의 응답 속도, 높은 발광 효율, 높은 휘도 및 광시야각을 갖는다. 이러한 발광 표시 장치는 텔레비전, 모니터, 노트북 컴퓨터, 스마트 폰, 테블릿 컴퓨터, 전자 패드, 웨어러블 기기, 워치 폰, 휴대용 정보 기기, 네비게이션, 또는 차량 제어 디스플레이 기기 등의 전자 제품 또는 가전 제품에 탑재되어 영상을 표시하는 디스플레이로 사용될 수 있는 차세대 디스플레이로 주목 받고 있다.Recently, research and development of a light emitting display device using a micro light emitting device have been conducted. Since such a light emitting display device has high image quality and high reliability, it has been spotlighted as a next generation display. Such a light emitting display device is a self-luminous element, and has low power consumption, high response speed, high light emission efficiency, high luminance, and a wide viewing angle. Such a light emitting display device is mounted on an electronic product or a home appliance such as a television, a monitor, a notebook computer, a smartphone, a tablet computer, an electronic pad, a wearable device, a watch phone, a portable information device, a navigation device, or a vehicle control display device It is attracting attention as a next generation display that can be used as a display for displaying a.
발광 표시 장치는 상부 발광(Top emission) 방식 또는 하부 발광(Bottom emission) 방식으로 영상을 표시한다.The light emitting display device displays an image in a top emission method or a bottom emission method.
종래의 상부 발광 방식의 발광 표시 장치는 서브 픽셀 영역에 배치된 구동 박막 트랜지스터를 포함하는 픽셀 회로, 구동 박막 트랜지스터에 연결된 애노드 전극, 애노드 전극 상에 배치된 발광층, 및 발광층 상에 배치된 캐소드 전극을 포함할 수 있다. 이때, 애노드 전극은 반사 금속 물질로 이루어지고, 캐소드 전극은 투과율 향상을 위해 투명 전도성 금속 물질로 이루어진다.A conventional top emission type light emitting display device includes a pixel circuit including a driving thin film transistor disposed in a sub pixel region, an anode connected to the driving thin film transistor, a light emitting layer disposed on the anode electrode, and a cathode electrode disposed on the light emitting layer. It may include. In this case, the anode electrode is made of a reflective metal material, and the cathode electrode is made of a transparent conductive metal material to improve transmittance.
그러나, 종래의 상부 발광 방식의 발광 표시 장치는 드라이 에칭 공정을 통해 패드 전극을 덮는 보호층의 패터닝 공정을 진행할 때, 별도의 패터닝 공정이 필요하며 플라즈마 데미지가 발생할 수 있는 문제점을 가진다. 이에 따라, 종래의 발광 표시 장치는 플라즈마 데미지를 방지하기 위한 별도의 에칭 보호층이 필요하며, 패널의 신뢰성을 악화시킨다.However, the conventional top emission type light emitting display device requires a separate patterning process and a plasma damage may occur when the protective layer patterning process covering the pad electrode is performed through a dry etching process. Accordingly, the conventional light emitting display device requires a separate etching protection layer for preventing plasma damage, and deteriorates the reliability of the panel.
본 출원은 패드 전극의 가장자리를 덮는 보호층의 패터닝 공정에서 봉지층을 마스크의 용도로 사용함으로써, 별도의 마스크 공정을 추가하지 않고 보호층을 선택적으로 패터닝할 수 있는 표시 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.The present application provides a display device capable of selectively patterning a protective layer without adding a separate mask process by using an encapsulation layer as a mask in a process of patterning a protective layer covering an edge of a pad electrode. Shall be.
그리고, 본 출원은 패드 전극과 이방성 도전 필름의 측면을 보호층과 봉지층을 통해 둘러쌈으로써, 이방성 도전 필름이 마련된 패드 컨택홀을 통한 투습을 방지할 수 있는 표시 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.In addition, the present application is to provide a display device that can prevent the moisture permeation through the pad contact hole provided with an anisotropic conductive film by surrounding the side of the pad electrode and the anisotropic conductive film through a protective layer and an encapsulation layer. do.
본 출원에 따른 표시 장치는 복수의 픽셀을 갖는 표시 영역과 적어도 하나의 패드 전극을 갖는 패드 영역을 포함하는 기판, 표시 영역을 덮으면서 패드 전극의 가장자리를 덮는 보호층, 및 표시 영역 상의 보호층을 덮는 제1 봉지층, 제1 봉지층을 덮으면서 패드 영역 상의 보호층을 추가로 덮는 제2 봉지층, 및 표시 영역 상의 제2 봉지층을 덮는 제3 봉지층을 구비한 봉지층을 포함한다.A display device according to the present application includes a substrate including a display area having a plurality of pixels and a pad area having at least one pad electrode, a protective layer covering the edge of the pad electrode while covering the display area, and a protective layer on the display area. An encapsulation layer includes a covering first encapsulation layer, a second encapsulation layer further covering the protective layer on the pad region while covering the first encapsulation layer, and a third encapsulation layer covering the second encapsulation layer on the display region.
기타 예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other examples are included in the detailed description and the drawings.
본 출원에 따른 표시 장치는 패드 전극의 가장자리를 덮는 보호층의 패터닝 공정에서 봉지층을 마스크의 용도로 사용함으로써, 별도의 마스크 공정을 추가하지 않고 보호층을 선택적으로 패터닝할 수 있다.The display device according to the present application may selectively pattern the protective layer without adding a separate mask process by using the encapsulation layer as a mask in the process of patterning the protective layer covering the edge of the pad electrode.
본 출원에 따른 표시 장치는 패드 전극과 이방성 도전 필름의 측면을 보호층과 봉지층을 통해 둘러쌈으로써, 이방성 도전 필름이 마련된 패드 컨택홀을 통한 투습을 방지할 수 있다.In the display device according to the present application, the side surfaces of the pad electrode and the anisotropic conductive film are surrounded by the protective layer and the encapsulation layer, thereby preventing moisture permeation through the pad contact hole provided with the anisotropic conductive film.
위에서 언급된 본 출원의 효과 외에도, 본 출원의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 출원이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.In addition to the effects of the present application mentioned above, other features and advantages of the present application will be described below, or will be clearly understood by those skilled in the art from such description and description.
도 1은 본 출원의 일 예에 따른 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 절단선 I-I'의 단면도이다.
도 3은 도 2의 A 영역의 확대도이다.
도 4는 본 출원의 일 예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 나타내는 공정 단면도로서, 이는 도 2에 도시된 I-I'의 공정 단면도이다.1 is a plan view illustrating a display device according to an example of the present application.
2 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.
3 is an enlarged view of region A of FIG. 2.
4 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a display device according to an example of the present application, which is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 2.
본 출원의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Advantages and features of the present application, and a method of achieving them will be apparent with reference to the examples described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the examples disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the examples are intended to complete the disclosure of the present invention and to those skilled in the art to which the present invention pertains. It is provided to inform the full scope of the invention, which is to be defined only by the scope of the claims.
본 출원의 예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 출원을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 출원의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 출원 상에서 언급한 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.Shapes, sizes, ratios, angles, numbers, and the like disclosed in the drawings for explaining the example of the present application are exemplary and the present invention is not limited to the illustrated matters. Like reference numerals refer to like elements throughout. In addition, in describing the present application, when it is determined that the detailed description of the related known technology may unnecessarily obscure the subject matter of the present application, the detailed description thereof will be omitted. When 'include', 'have', 'consist of', etc. mentioned in the present application are used, other parts may be added unless 'only' is used. In the case where the component is expressed in the singular, the plural includes the plural unless specifically stated otherwise.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.In interpreting a component, it is interpreted to include an error range even if there is no separate description.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.In the case of the description of the positional relationship, for example, if the positional relationship of the two parts is described as 'on', 'upper', 'lower', 'next to', etc. Alternatively, one or more other parts may be located between the two parts unless 'direct' is used.
제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.The first, second, etc. are used to describe various components, but these components are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another. Therefore, the first component mentioned below may be a second component within the technical spirit of the present invention.
본 출원의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질, 차례, 순서 또는 개수 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성 요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In describing the components of the present application, terms such as first and second may be used. These terms are only to distinguish the components from other components, and the terms are not limited in nature, order, order or number of the components. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, that component may be directly connected to or connected to that other component, but between components It will be understood that the elements may be "interposed" or each component may be "connected", "coupled" or "connected" through other components.
따라서, 본 출원에서의 표시 장치는 LCM, OLED 모듈 등과 같은 협의의 표시 장치 자체, 및 LCM, OLED 모듈 등을 포함하는 응용제품 또는 최종소비자용 장치인 세트 장치까지 포함할 수 있다.Accordingly, the display device in the present application may include a narrow display device itself, such as an LCM, an OLED module, and the like, or a set device that is an application product or an end consumer device including the LCM, an OLED module, and the like.
예를 들어, 디스플레이 패널이 유기 전계 발광(OLED) 디스플레이 패널인 경우에는, 다수의 게이트 라인과 데이터 라인, 및 게이트 라인과 데이터 라인의 교차 영역에 형성되는 복수의 픽셀(Pixel)을 포함할 수 있다. 그리고, 각 픽셀에 선택적으로 전압을 인가하기 위한 소자인 박막 트랜지스터를 포함하는 어레이 기판과, 어레이 기판 상의 유기 발광 소자(OLED)층, 및 유기 발광 소자층을 덮도록 어레이 기판 상에 배치되는 봉지 기판 또는 인캡슐레이션(Encapsulation) 기판 등을 포함하여 구성될 수 있다. 봉지 기판은 외부의 충격으로부터 박막 트랜지스터 및 유기 발광 소자층 등을 보호하고, 유기 발광 소자층으로 수분이나 산소가 침투하는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 어레이 기판 상에 형성되는 층은 무기 발광층(inorganic light emitting layer), 예를 들어 나노사이즈의 물질층(nano-sized material layer) 또는 양자점(quantum dot) 등을 포함할 수 있다.For example, when the display panel is an organic electroluminescent (OLED) display panel, the display panel may include a plurality of gate lines and data lines, and a plurality of pixels formed at an intersection of the gate lines and the data lines. . And an array substrate including a thin film transistor, which is an element for selectively applying a voltage to each pixel, an organic light emitting element (OLED) layer on the array substrate, and an encapsulation substrate disposed on the array substrate to cover the organic light emitting element layer. Or an encapsulation substrate. The encapsulation substrate protects the thin film transistor, the organic light emitting element layer, and the like from an external impact, and can prevent moisture and oxygen from penetrating into the organic light emitting element layer. The layer formed on the array substrate may include an inorganic light emitting layer, for example, a nano-sized material layer or a quantum dot.
그리고, 디스플레이 패널은 디스플레이 패널에 부착되는 금속판(metal plate)과 같은 후면(backing)을 더 포함할 수 있다. 금속판에 한정되지 않고 다른 구조도 포함될 수 있다.The display panel may further include a backing such as a metal plate attached to the display panel. Not only the metal plate but also other structures may be included.
본 출원의 여러 예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.Each of the features of the various examples of the present application may be combined or combined with each other, partly or wholly, and technically various interlocking and driving are possible, and each of the examples may be independently implemented with respect to each other or may be implemented in association with each other. .
이하, 첨부된 도면 및 예를 통해 본 출원의 예를 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, an example of the present application will be described with reference to the accompanying drawings and examples.
도 1은 본 출원의 일 예에 따른 표시 장치를 나타내는 평면도이다.1 is a plan view illustrating a display device according to an example of the present application.
도 1을 참조하면, 표시 장치(100)는 기판(110), 픽셀 어레이층(190), 표시 구동 회로부(210), 및 스캔 구동 회로부(220)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the
기판(110)은 베이스 기판으로서, 플렉서블 기판일 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 투명 폴리이미드(Polyimide) 재질을 포함할 수 있다. 폴리이미드 재질의 기판(110)은 고온의 증착 공정이 이루어짐을 감안할 때, 고온에서 견딜 수 있는 내열성이 우수한 폴리이미드가 이용될 수 있다. 폴리이미드 재질의 기판(110)은 캐리어 유리 기판에 마련되어 있는 희생층의 전면(Front Surfacae)에 일정 두께로 코팅된 폴리이미드 수지가 경화되어 형성될 수 있다. 여기에서, 캐리어 유리 기판은 레이저 릴리즈 공정에 의한 희생층의 릴리즈에 의해 기판(110)으로부터 분리될 수 있다. 그리고, 희생층은 비정질 실리콘(a-Si) 또는 실리콘 질화막(SiNx)을 통해 이루어질 수 있다.The
일 예에 따르면, 기판(110)은 글라스 기판일 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 산화규소(SiO2) 또는 산화알루미늄(Al2O3)을 주성분으로서 포함할 수 있다.According to an example, the
기판(110)은 표시 영역(AA), 비표시 영역(NA), 및 패드 영역(PA)을 포함할 수 있다. 표시 영역(AA)은 영상이 표시되는 영역으로서, 기판(110)의 중앙 부분에 정의될 수 있다. 여기에서, 표시 영역(AA)은 픽셀 어레이층(190)의 활성 영역에 해당할 수 있다. 예를 들어, 표시 영역(AA)은 복수의 게이트 라인(미도시)과 복수의 데이터 라인(미도시)에 의해 교차되는 픽셀 영역마다 형성된 복수의 픽셀(미도시)로 이루어질 수 있다. 여기에서, 복수의 픽셀 각각은 광을 방출하는 최소 단위의 영역으로 정의될 수 있다.The
비표시 영역(NA)은 영상이 표시되지 않는 영역으로서, 패드 영역(PA)과 함께 표시 영역(AA)을 둘러쌀 수 있다. 즉, 비표시 영역(AA)은 표시 영역(AA)을 둘러싸는 기판(110)의 가장자리 부분에 정의될 수 있다.The non-display area NA is an area where no image is displayed and may surround the display area AA together with the pad area PA. That is, the non-display area AA may be defined at an edge portion of the
패드 영역(PA)은 기판(110)의 일측 가장자리에 배치될 수 있고, 패드 영역(PA)의 패드 전극은 표시 구동 회로(210)의 연성 회로 필름(211)과 전기적으로 연결될 수 있다. 따라서, 표시 장치(100)는 패드 전극을 통해 표시 구동 회로(210)로부터 신호 및 전원을 수신할 수 있다.The pad area PA may be disposed at one edge of the
픽셀 어레이층(190)은 박막 트랜지스터층 및 발광 소자층을 포함한다. 박막 트랜지스터층은 박막 트랜지스터, 게이트 절연막, 층간 절연막, 보호막, 평탄화층을 포함할 수 있다. 그리고, 발광 소자층은 복수의 유기 발광 소자 및 복수의 뱅크를 포함할 수 있다. 픽셀 어레이층(190)의 구체적인 구성은 이하의 도 2에서 상세히 설명한다.The
표시 구동 회로부(210)는 기판(110)의 패드 영역(PA)에 마련된 패드부(또는 패드 전극)에 연결되어 디스플레이 구동 시스템으로부터 공급되는 영상 데이터에 대응되는 영상을 각 픽셀에 표시할 수 있다. 일 예에 따르면, 표시 구동 회로부(210)는 복수의 연성 회로 필름(211), 복수의 데이터 구동 집적 회로(213), 인쇄 회로 기판(215) 및 타이밍 제어부(217)를 포함할 수 있다.The display
복수의 연성 회로 필름(211) 각각의 일측에 마련된 입력 단자들은 필름 부착 공정에 의해 인쇄 회로 기판(215)에 부착되고, 복수의 연성 회로 필름(211) 각각의 타측에 마련된 출력 단자들은 필름 부착 공정에 의해 패드부(또는 패드 전극)에 부착될 수 있다. 일 예에 따르면, 복수의 연성 회로 필름(211) 각각은 표시 장치(100)의 베젤 영역을 감소시키기 위하여 연성 회로 필름으로 구현되어 벤딩될 수 있다. 예를 들어, 복수의 연성 회로 필름(211)은 TCP(Tape Carrier Package) 또는 COF(Chip On Flexible Board 또는 Chip On Film)로 이루어질 수 있다.Input terminals provided on one side of each of the plurality of
복수의 데이터 구동 집적 회로(213) 각각은 복수의 연성 회로 필름(211) 각각에 개별적으로 실장될 수 있다. 이러한 복수의 데이터 구동 집적 회로(213) 각각은 타이밍 제어부(217)로부터 제공되는 픽셀 데이터와 데이터 제어 신호를 수신하고, 데이터 제어 신호에 따라 픽셀 데이터를 아날로그 형태의 픽셀별 데이터 신호로 변환하여 해당하는 데이터 라인에 공급할 수 있다.Each of the plurality of data driver integrated
인쇄 회로 기판(215)은 타이밍 제어부(217)를 지지하고, 표시 구동 회로부(210)의 구성들 간의 신호 및 전원을 전달할 수 있다. 인쇄 회로 기판(215)은 각 픽셀에 영상을 표시하기 위해 타이밍 제어부(217)로부터 공급되는 신호와 구동 전원을 복수의 데이터 구동 집적 회로(213) 및 스캔 구동 회로부(220)에 제공할 수 있다. 이를 위해, 신호 전송 배선과 각종 전원 배선이 인쇄 회로 기판(215) 상에 마련될 수 있다. 예를 들어, 인쇄 회로 기판(215)은 연성 회로 필름(211)의 개수에 따라 하나 이상으로 구성될 수 있다.The printed
타이밍 제어부(217)는 인쇄 회로 기판(215)에 실장되고, 인쇄 회로 기판(215)에 마련된 유저 커넥터를 통해 디스플레이 구동 시스템으로부터 제공되는 영상 데이터와 타이밍 동기 신호를 수신할 수 있다. 타이밍 제어부(217)는 타이밍 동기 신호에 기초해 영상 데이터를 픽셀 배치 구조에 알맞도록 정렬하여 픽셀 데이터를 생성하고, 생성된 픽셀 데이터를 해당하는 데이터 구동 집적 회로(213)에 제공할 수 있다. 그리고, 타이밍 제어부(217)는 타이밍 동기 신호에 기초해 데이터 제어 신호와 스캔 제어 신호 각각을 생성하고, 데이터 제어 신호를 통해 복수의 데이터 구동 집적 회로(213) 각각의 구동 타이밍을 제어하고, 스캔 제어 신호를 통해 스캔 구동 회로부(220)의 구동 타이밍을 제어할 수 있다. 여기에서, 스캔 제어 신호는 복수의 연성 회로 필름(211) 중 첫번째 또는/및 마지막 연성 회로 필름과 기판(110)의 비표시 영역(NA)을 통해서 해당하는 스캔 구동 회로부(220)에 공급될 수 있다.The
스캔 구동 회로부(220)는 기판(110)의 비표시 영역(NA)에 마련될 수 있다. 스캔 구동 회로부(220)는 표시 구동 회로부(210)로부터 제공되는 스캔 제어 신호에 따라 스캔 신호를 생성하고, 설정된 순서에 해당하는 스캔 라인에 공급할 수 있다. 일 예에 따르면, 스캔 구동 회로부(220)는 박막 트랜지스터와 함께 기판(110)의 비표시 영역(NA)에 형성될 수 있다.The scan
도 2는 도 1의 절단선 I-I'의 단면도이고, 도 3은 도 2의 A 영역의 확대도이다.2 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1, and FIG. 3 is an enlarged view of region A of FIG. 2.
도 2 및 도 3을 참조하면, 표시 장치(100)는 기판(110), 차광층(LS), 버퍼층(120), 박막 트랜지스터(T), 게이트 절연막(130), 층간 절연막(140), 제1 보호층(150), 평탄화층(160), 유기 발광 소자(E), 뱅크(B), 제2 보호층(170), 봉지층(180), 제1 및 제2 보조 전원 라인(EVSS1, EVSS2), 라인 컨택 패턴(LCP), 컨택 패드(CP), 저장 커패시터(Cst), 신호 패드(SP), 패드 보조 전극(PAE), 및 패드 전극(PE)을 포함할 수 있다.2 and 3, the
기판(110)은 베이스 기판으로서, 구부리거나 휠 수 있는 투명 플렉서블 기판일 수 있다. 일 예에 따르면, 기판(110)은 투명 폴리이미드(Polyimide) 재질을 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않고 폴리에틸렌 테레프탈레이드 (Polyethylene terephthalate) 등의 투명 플라스틱 재질로 이루어질 수 있다. 그리고, 폴리이미드 재질의 기판(110)은 고온의 증착 공정이 이루어짐을 감안할 때, 고온에서 견딜 수 있는 내열성이 우수한 폴리이미드가 이용될 수 있다.The
일 예에 따르면, 기판(110)은 글라스 기판일 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 이산화규소(SiO2) 또는 산화알루미늄(Al2O3)을 주성분으로서 포함할 수 있다.According to an example, the
차광층(LS)은 박막 트랜지스터(T)와 중첩되도록 기판(110) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 차광층(LS)은 기판(110) 상에 금속을 증착한 후 노광 패터닝을 수행하여 형성될 수 있다. 일 예에 따르면, 차광층(LS)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 및 은(Ag) 등의 금속 또는 그들의 합금으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않고 당업계에 공지된 다양한 재료로 구현될 수 있다. 그리고, 차광층(LS)은 하부 차광층(LS1) 및 상부 차광층(LS2)을 포함할 수 있다.The light blocking layer LS may be disposed on the
하부 차광층(LS1)은 기판(110)과 상부 차광층(LS2) 사이에 형성되어 기판(110)과 상부 차광층(LS2) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있다. 그리고, 하부 차광층(LS1)은 상부 차광층(LS2)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The lower light blocking layer LS1 may be formed between the
상부 차광층(LS2)은 하부 차광층(LS1)의 상면에 형성될 수 있다. 구체적으로, 상부 차광층(LS2)은 하부 차광층(LS1)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 그리고, 상부 차광층(LS2)은 차광층(LS)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 하부 차광층(LS1)보다 두껍게 형성될 수 있다.The upper light blocking layer LS2 may be formed on an upper surface of the lower light blocking layer LS1. In detail, the upper light blocking layer LS2 may be formed of a metal having a lower resistance than the lower light blocking layer LS1. The upper light blocking layer LS2 may be formed thicker than the lower light blocking layer LS1 in order to reduce the overall resistance of the light blocking layer LS.
버퍼층(120)은 기판(110) 및 차광층(LS) 상에 배치될 수 있다. 일 예에 따르면, 버퍼층(120)은 복수의 무기막이 적층되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 버퍼층(120)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 및 실리콘 산질화막(SiON) 중 하나 이상의 무기막이 적층된 다중막으로 형성될 수 있다. 이러한 버퍼층은 기판(110)을 통해 유기 발광 소자(E)에 침투하는 수분을 차단하기 위하여, 기판(110)의 상면 전체에 형성될 수 있다. 따라서, 버퍼층(120)은 복수의 무기막을 포함함으로써, 패널의 수분 투습도(WVTR, Water Vapor Transmission Rate)를 향상시킬 수 있다.The
박막 트랜지스터(T)는 버퍼층(120) 상의 복수의 픽셀 영역 각각에 배치될 수 있다. 일 예에 따르면, 박막 트랜지스터(T)는 액티브층(ACT), 게이트 전극(GE), 소스 전극(SE), 및 드레인 전극(DE)을 포함할 수 있다.The thin film transistor T may be disposed in each of the plurality of pixel regions on the
액티브층(ACT)은 기판(110)의 픽셀 영역에 마련될 수 있다. 액티브층(ACT)은 게이트 전극(GE), 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)과 중첩되도록 배치될 수 있다. 액티브층(ACT)은 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)과 직접 접촉하고, 게이트 전극(GE)과 게이트 절연막(130)을 사이에 두고 마주할 수 있다.The active layer ACT may be provided in the pixel area of the
일 예에 따르면, 액티브층(ACT)은 채널 영역(ACT1) 및 소스/드레인 영역(ACT2)을 포함할 수 있다. 채널 영역(ACT1)은 액티브층(ACT)의 중앙 영역에 형성되고, 소스/드레인 영역(ACT2)은 채널 영역(ACT1)을 사이에 두고 서로 나란하게 형성될 수 있다. 채널 영역(ACT1)은 게이트 전극(GE)과 중첩되고, 소스/드레인 영역(ACT2)은 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)과 중첩될 수 있다.According to an example, the active layer ACT may include a channel region ACT1 and a source / drain region ACT2. The channel region ACT1 may be formed in the center region of the active layer ACT, and the source / drain region ACT2 may be formed in parallel with each other with the channel region ACT1 interposed therebetween. The channel region ACT1 may overlap the gate electrode GE, and the source / drain region ACT2 may overlap the source electrode SE and the drain electrode DE.
게이트 절연막(130)은 액티브층(ACT) 상에 마련될 수 있다. 구체적으로, 게이트 절연막(130)은 액티브층(ACT)의 채널 영역(ACT1) 상에 배치될 수 있고, 액티브층(ACT)과 게이트 전극(GE)을 절연시킬 수 있다.The
게이트 전극(GE)은 게이트 절연막(130) 상에 마련될 수 있다. 게이트 전극(GE)은 게이트 절연막(130)을 사이에 두고, 액티브층(ACT)의 채널 영역(ACT1)과 중첩될 수 있다.The gate electrode GE may be provided on the
일 예에 따르면, 게이트 전극(GE)은 하부 게이트 전극(GE1) 및 상부 게이트 전극(GE2)을 포함할 수 있다.In example embodiments, the gate electrode GE may include a lower gate electrode GE1 and an upper gate electrode GE2.
하부 게이트 전극(GE1)은 게이트 절연막(130)과 상부 게이트 전극(GE2) 사이에 형성되어 게이트 절연막(130)과 상부 게이트 전극(GE2) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있고, 상부 게이트 전극(GE2)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The lower gate electrode GE1 may be formed between the
상부 게이트 전극(GE2)은 하부 게이트 전극(GE1)의 상면에 형성될 수 있다. 일 예에 따르면, 상부 게이트 전극(GE2)의 두께는 하부 게이트 전극(GE1)의 두께보다 두껍게 형성됨으로써, 게이트 전극(GE)의 전체 저항이 감소할 수 있다.The upper gate electrode GE2 may be formed on an upper surface of the lower gate electrode GE1. According to an example, the thickness of the upper gate electrode GE2 is formed to be thicker than the thickness of the lower gate electrode GE1, so that the overall resistance of the gate electrode GE may be reduced.
층간 절연막(140)은 게이트 전극(GE) 상에 마련될 수 있다. 층간 절연막(140)은 박막 트랜지스터(T)를 보호하는 기능을 수행할 수 있다. 층간 절연막(140)은 액티브층(ACT)과 소스 전극(SE) 또는 드레인 전극(DE)을 접촉시키기 위하여 해당 영역이 제거될 수 있다. 예를 들어, 층간 절연막(140)은 소스 전극(SE)이 관통하는 제1 컨택홀 및 드레인 전극(DE)이 관통하는 제2 컨택홀을 포함할 수 있다.The interlayer insulating
소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)은 층간 절연막(140) 상에서 서로 이격되어 마련될 수 있다. 소스 전극(SE)은 층간 절연막(140)에 마련된 제1 컨택홀을 통해 액티브층(ACT)의 소스/드레인 영역(ACT2)의 일단과 접촉하고, 드레인 전극(DE)은 층간 절연막(140)에 마련된 제2 컨택홀을 통해 액티브층(ACT)의 소스/드레인 영역(ACT2)의 타단과 접촉할 수 있다. 그리고, 소스 전극(SE)은 제1 보호층(150)의 제3 컨택홀 및 평탄화층(160)의 제4 컨택홀을 통해 애노드 전극(AE)과 직접 접촉할 수 있다.The source electrode SE and the drain electrode DE may be spaced apart from each other on the
일 예에 따르면, 소스 전극(SE)은 하부 소스 전극(SE1) 및 상부 소스 전극(SE2)을 포함할 수 있다.According to an example, the source electrode SE may include a lower source electrode SE1 and an upper source electrode SE2.
하부 소스 전극(SE1)은 층간 절연막(140)과 상부 소스 전극(SE2) 사이에 형성되어 층간 절연막(140)과 상부 소스 전극(SE2) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있다. 그리고, 하부 소스 전극(SE1)은 상부 소스 전극(SE2)의 하면을 보호함으로써 상부 소스 전극(SE2)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The lower source electrode SE1 may be formed between the interlayer insulating
상부 소스 전극(SE2)은 하부 소스 전극(SE1)의 상면에 형성될 수 있다. 상부 소스 전극(SE2)은 하부 소스 전극(SE1)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 상부 소스 전극(SE2)의 두께는 소스 전극(SE)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 하부 소스 전극(SE1)의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다.The upper source electrode SE2 may be formed on an upper surface of the lower source electrode SE1. The upper source electrode SE2 may be made of a metal having a lower resistance than the lower source electrode SE1. The thickness of the upper source electrode SE2 may be formed thicker than the thickness of the lower source electrode SE1 in order to reduce the overall resistance of the source electrode SE.
일 예에 따르면, 드레인 전극(DE)은 하부 드레인 전극(DE1) 및 상부 드레인 전극(DE2)을 포함할 수 있다.In example embodiments, the drain electrode DE may include a lower drain electrode DE1 and an upper drain electrode DE2.
하부 드레인 전극(DE1)은 층간 절연막(140)과 상부 드레인 전극(DE2) 사이에 형성되어 층간 절연막(140)과 상부 드레인 전극(DE2) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있고, 상부 드레인 전극(DE2)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다. The lower drain electrode DE1 may be formed between the interlayer insulating
상부 드레인 전극(DE2)은 하부 드레인 전극(DE1)의 상면에 형성될 수 있다. 상부 드레인 전극(DE2)은 하부 드레인 전극(DE1)보다 두껍게 형성되어, 드레인 전극(DE)의 전체 저항을 감소시킬 수 있다.The upper drain electrode DE2 may be formed on an upper surface of the lower drain electrode DE1. The upper drain electrode DE2 may be formed thicker than the lower drain electrode DE1 to reduce the overall resistance of the drain electrode DE.
제1 보호층(150)은 층간 절연막(140), 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE) 상에 마련될 수 있다. 제1 보호층(150)은 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)을 보호하는 기능을 수행할 수 있다. 제1 보호층(150)은 애노드 전극(AE)이 관통하는 제3 컨택홀을 포함할 수 있다. 여기에서, 제1 보호층(150)의 제3 컨택홀은 애노드 전극(AE)을 관통시키기 위하여 평탄화층(160)의 제4 컨택홀과 연결될 수 있다.The
평탄화층(160)은 기판(110) 상에 배치되고, 복수의 픽셀 영역 각각에 배치된 박막 트랜지스터(T)를 덮을 수 있다. 구체적으로, 평탄화층(160)은 박막 트랜지스터(T) 상에 마련되어, 박막 트랜지스터(T)의 상단을 평탄화시킬 수 있다. 일 예에 따르면, 애노드 전극(AE)과 컨택 패드(CP)는 평탄화층(160)의 상단에서 서로 이격되게 마련될 수 있다. 예를 들어, 평탄화층(160)은 애노드 전극(AE)이 관통하는 제4 컨택홀을 포함할 수 있다. 여기에서, 평탄화층(160)의 제4 컨택홀은 애노드 전극(AE)을 관통시키기 위하여 제1 보호층(150)의 제3 컨택홀과 연결될 수 있다.The
유기 발광 소자(E)는 복수의 픽셀 영역의 평탄화층(160) 상에 배치되고, 박막 트랜지스터(T)와 전기적으로 연결될 수 있다. 유기 발광 소자(E)는 애노드 전극(AE), 발광층(EL), 및 캐소드 전극(CE)을 포함할 수 있다.The organic light emitting device E may be disposed on the
애노드 전극(AE)은 복수의 픽셀 영역의 평탄화층(160) 상에 마련되고, 박막 트랜지스터(T)의 소스 전극(SE)과 전기적으로 연결될 수 있다. 애노드 전극(AE)은 평탄화층(160)에 마련된 제4 컨택홀을 통해 박막 트랜지스터(T)의 소스 전극(SE)에 접촉될 수 있다. 애노드 전극(AE)은 제1 애노드 전극(AE1), 제2 애노드 전극(AE2), 및 제3 애노드 전극(AE3)을 포함할 수 있다.The anode AE may be provided on the
제1 애노드 전극(AE1)은 제3 애노드 전극(AE3)과 제2 애노드 전극(AE2) 사이에 형성될 수 있다. 일 예에 따르면, 제1 애노드 전극(AE1)은 제3 애노드 전극(AE3)과 제2 애노드 전극(AE2)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 제1 애노드 전극(AE1)은 애노드 전극(AE)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 제3 애노드 전극(AE3)과 제2 애노드 전극(AE2) 각각보다 두껍게 형성될 수 있다.The first anode AE1 may be formed between the third anode AE3 and the second anode AE2. According to an example, the first anode AE1 may be formed of a metal having a lower resistance than the third anode AE3 and the second anode AE2. The first anode AE1 may be formed thicker than each of the third anode AE3 and the second anode AE2 in order to reduce the overall resistance of the anode AE.
제2 애노드 전극(AE2)은 제1 애노드 전극(AE1) 상에 형성될 수 있다. 구체적으로, 제2 애노드 전극(AE2)은 제1 애노드 전극(AE1)이 외부로 노출되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제2 애노드 전극(AE2)은 제1 애노드 전극(AE1)의 상면을 덮도록 형성됨으로써 제1 애노드 전극(AE1)이 부식되는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 제2 애노드 전극(AE2)의 산화도는 제1 애노드 전극(AE1)의 산화도보다 낮을 수 있다. 그리고, 제2 애노드 전극(AE2)은 제1 애노드 전극(AE1)보다 내식성이 강한 물질로 이루어질 수 있다.The second anode electrode AE2 may be formed on the first anode electrode AE1. In detail, the second anode AE2 may prevent the first anode AE1 from being exposed to the outside. Therefore, the second anode AE2 is formed to cover the top surface of the first anode AE1, thereby preventing the first anode AE1 from corroding. For example, the oxidation degree of the second anode electrode AE2 may be lower than that of the first anode electrode AE1. The second anode AE2 may be made of a material having higher corrosion resistance than the first anode AE1.
제3 애노드 전극(AE3)은 평탄화층(160)의 평탄면 상에 마련될 수 있다. 구체적으로, 제3 애노드 전극(AE3)의 산화도는 제1 애노드 전극(AE1)의 산화도보다 낮을 수 있다.The third anode electrode AE3 may be provided on the flat surface of the
발광층(EL)은 애노드 전극(AE)과 컨택 패드(CP) 상에 마련될 수 있다. 발광층(EL)은 픽셀 영역별로 구분되지 않고 전체 픽셀에 공통되도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 발광층(EL)은 정공 수송층(Hole transporting layer), 발광층(Organic light emitting layer), 전자 수송층(Electron transporting layer)을 포함할 수 있다. 일 예에 따르면, 발광층(EL)은 발광층의 발광 효율 및 수명 등을 향상시키기 위한 적어도 하나 이상의 기능층을 더 포함할 수 있다. 그리고, 컨택 패드(CP) 상에 배치된 발광층(EL)은 컨택 패드(CP)와 캐소드 전극(CE) 간의 캐소드 컨택을 위해 제거될 수 있다.The emission layer EL may be provided on the anode AE and the contact pad CP. The emission layer EL may be formed to be common to all pixels without being classified for each pixel region. For example, the emission layer EL may include a hole transporting layer, an organic light emitting layer, and an electron transporting layer. According to an example, the light emitting layer EL may further include at least one or more functional layers for improving the light emitting efficiency and lifespan of the light emitting layer. In addition, the emission layer EL disposed on the contact pad CP may be removed for the cathode contact between the contact pad CP and the cathode electrode CE.
캐소드 전극(CE)은 발광층(EL) 상에 마련될 수 있다. 캐소드 전극(CE)은 픽셀 영역별로 구분되지 않고 전체 픽셀에 공통되는 전극 형태로 구현될 수 있다. 일 예에 따르면, 캐소드 전극(CE)은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)과 같은 투명 도전성 산화물(TCO)로 이루어질 수 있다.The cathode electrode CE may be provided on the emission layer EL. The cathode electrode CE may be implemented in the form of an electrode that is common to all pixels without being divided into pixel regions. In example embodiments, the cathode electrode CE may be formed of a transparent conductive oxide (TCO) such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).
뱅크(B)는 평탄화층(160) 상에 배치되어 복수의 애노드 전극(AE)과 복수의 컨택 패드(CP)를 구획할 수 있다. 구체적으로, 뱅크(B)는 애노드 전극(AE)과 컨택 패드(CP)를 전기적으로 절연시킬 수 있다. 뱅크(B)는 컨택 패드(CP)의 상면 일부를 덮을 수 있고, 뱅크(B)에 덮이지 않은 컨택 패드(CP) 상면의 다른 일부와 측면은 캐소드 컨택 영역(CCA)에 노출될 수 있다.The bank B may be disposed on the
그리고, 뱅크(B)는 애노드 전극(AE)의 일부를 덮을 수 있다. 따라서, 뱅크(B)는 복수의 애노드 전극(AE) 및 컨택 패드(CP) 사이에 배치되어, 서로 인접한 애노드 전극들(AE)과 컨택 패드(CP)를 전기적으로 절연할 수 있다.The bank B may cover a portion of the anode AE. Therefore, the bank B may be disposed between the plurality of anode electrodes AE and the contact pads CP to electrically insulate the anode electrodes AE and the contact pads CP adjacent to each other.
제2 보호층(170)은 표시 영역(AA)을 덮으면서 패드 전극(PE)의 가장자리를 덮을 수 있다. 구체적으로, 제2 보호층(170)은 표시 영역(AA)의 유기 발광 소자(E) 상에 배치되면서, 패드 영역(PA) 중 패드 전극(PE)의 중앙부를 제외한 영역에 배치될 수 있다. 여기에서, 패드 전극(PE)의 중앙부는 이방성 도전 필름(ACF)을 통해 연성 회로 필름(211)과 접촉되는 영역에 해당할 수 있다.The
일 예에 따르면, 제2 보호층(170)은 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition, ALD)에 의해 유기 발광 소자(E), 패드 전극(PE), 및 제1 보호층(150)의 표면 전체에 코팅될 수 있다. 여기에서, 제2 보호층(170)은 다양한 물질이 원자층 증착법(ALD)에 의해 코팅되어 형성될 수 있고, 유기 발광 소자(E), 패드 전극(PE), 및 제1 보호층(150)을 구성하는 물질과 상관 없이 안정적으로 증착될 수 있다. 예를 들어, 제2 보호층(170)은 기판(110) 전체에 코팅된 후 패드 전극(PE)의 중앙부와 중첩되는 영역이 제거됨으로써, 제2 보호층(170)은 패드 영역(PA) 중 패드 전극(PE)의 중앙부를 제외한 영역과, 표시 영역(AA)의 유기 발광 소자(E)의 표면 전체에 배치될 수 있다.According to an example, the
일 예에 따르면, 제2 보호층(170)은 봉지층(180)이 형성되기 전에, 기판(110)의 상면, 측면, 하면을 모두 둘러쌀 수 있다. 그리고, 패드 전극(PE)과 중첩되는 제2 보호층(170)은 제거될 수 있고, 기판(110)의 측면을 덮는 제2 보호층(170)은 패드 전극(PE) 상에 연성 회로 필름(211)이 배치되기 전에 제거될 수 있다. 여기에서, 기판(110)의 하면을 덮는 제2 보호층(170)은 연성 회로 필름(211)이 부착된 후에도 남아 있을 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.According to an example, before the
제2 보호층(170)은 패드 전극(PE)의 가장자리를 제외한 나머지 부분과 중첩되는 제1 패드 컨택홀(PCH1)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 패드 컨택홀(PCH1)은 패드 전극(PE)과 연성 회로 필름(211)을 전기적으로 연결시키는 이방성 도전 필름(ACF)을 수용할 수 있다. 따라서, 이방성 도전 필름(ACF)은 패드 전극(PE)의 가장자리를 덮는 제2 보호층(170)에 의해 둘러싸일 수 있다. 다시 말해서, 이방성 도전 필름(ACF)은 제2 보호층(170)의 제1 패드 컨택홀(PCH1)에 의해 둘러싸일 수 있다.The
제2 보호층(170)은 제1 보호층(150) 상에서 노출된 패드 전극(PE)의 상면 가장자리 및 측면을 덮을 수 있다. 구체적으로, 패드 전극(PE)은 제1 보호층(150) 상에서 표시 영역(AA)의 애노드 전극(AE)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 그리고, 패드 전극(PE)은 애노드 전극(AE)의 패터닝 공정에서 함께 패터닝됨으로써, 패드 전극(PE)의 상면 가장자리와 측면이 노출될 수 있다. 이 때, 제2 보호층(170)은 표시 영역(AA)에서 발광층(EL)과 캐소드 전극(CE)을 사이에 두고 애노드 전극(AE)과 마주할 수 있고, 패드 영역(PA)에서 패드 전극(PE)의 상면 가장자리 및 측면과 직접 접촉될 수 있다. 그리고, 제2 봉지층(182)은 패드 전극(PE)의 상면 가장자리와 측면을 덮는 제2 보호층(170)을 덮을 수 있다.The
봉지층(180)은 표시 영역(AA) 상의 제2 보호층(170)을 덮을 수 있다. 구체적으로, 봉지층(180)은 캐소드 전극(CE)의 상단 전체에 마련될 수 있다. 봉지층(180)은 외부에서 유입될 수 있는 수분 등의 침투를 막아 발광층(EL)의 열화를 방지할 수 있다. 일 예에 따르면, 봉지층(180)은 적어도 하나의 무기막과 적어도 하나의 유기막의 조합으로 이루어질 수 있다.The
봉지층(180)은 제1 내지 제3 봉지층(181, 182, 183)을 포함할 수 있다.The
제1 봉지층(181)은 표시 영역(AA) 상의 제2 보호층(170) 전면을 덮을 수 있다. 예를 들어, 제1 봉지층(181)은 이산화 실리콘(SiO2), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산질화막(SiON) 또는 이들의 다중층으로 이루어진 무기막일 수 있다.The
제2 봉지층(182)은 제1 봉지층(181)을 덮으면서, 패드 영역(PA) 상의 제2 보호층(170)을 추가로 덮을 수 있다. 예를 들어, 제2 봉지층(182)은 아크릴계 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드계 수지(polyamides resin), 또는 폴리이미드계 수지(polyimides resin)로 이루어진 유기막일 수 있다.The
제2 봉지층(182)은 패드 전극(PE)의 가장자리를 제외한 나머지 부분과 중첩되는 제2 패드 컨택홀(PCH2)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 제2 패드 컨택홀(PCH2)은 패드 전극(PE)과 연성 회로 필름(211)을 전기적으로 연결시키는 이방성 도전 필름(ACF)을 수용할 수 있다. 여기에서, 제2 패드 컨택홀(PCH2)은 이방성 도전 필름(ACF)을 관통시키기 위하여 제2 보호층(170)의 제1 패드 컨택홀(PCH1)과 연결될 수 있다. 따라서, 이방성 도전 필름(ACF)은 제1 및 제2 패드 컨택홀(PCH1, PCH2)에 의해 둘러싸일 수 있다.The
제3 봉지층(183)은 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)을 덮을 수 있다. 예를 들어, 제3 봉지층(183)은 이산화 실리콘(SiO2), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산질화막(SiON) 또는 이들의 다중층으로 이루어진 무기막일 수 있다.The
일 예에 따르면, 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)과 패드 영역(PA) 상의 제2 봉지층(182)은 서로 이격될 수 있다. 구체적으로, 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)은 제2 보호층(170)과 제1 봉지층(181) 상에 배치되고, 패드 영역(PA) 상의 제2 봉지층(182)은 제2 보호층(170) 상에 배치될 수 있다. 여기에서, 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)과 패드 영역(PA) 상의 제2 봉지층(182)이 이격된 영역에서 제2 보호층(170)이 노출될 수 있고, 제3 봉지층(183)이 노출된 제2 보호층(170)과 접촉하여 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)을 덮을 수 있다. 또한, 제3 봉지층(183)의 끝단은 표시 영역(AA)과 패드 영역(PA)의 사이에서 제2 보호층(170)과 접촉함으로써, 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)과 패드 영역(PA) 상의 제2 봉지층(182)을 분리시킬 수 있다. 이와 같이, 제3 봉지층(183)은 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)을 덮음으로써, 유기 발광 소자(E)에 수분이나 산소가 침투하는 것을 방지할 수 있다.In example embodiments, the
연성 회로 필름(211)은 전도성 입자를 포함하는 이방성 도전 필름(ACF)을 매개로 패드 전극(PE)에 부착될 수 있다. 일 예에 따르면, 연성 회로 필름(211)은 패드 영역(PA) 상의 제2 봉지층(182)의 일부를 덮으면서, 이방성 도전 필름(ACF)을 통해 패드 전극(PE)과 연결될 수 있다. 이 때, 이방성 도전 필름(ACF)의 상면은 연성 회로 필름(211)에 의해 덮이고, 이방성 도전 필름(ACF)의 측면은 제2 보호층(170)과 제2 봉지층(182)에 의해 둘러싸이며, 이방성 도전 필름(ACF)의 하면은 패드 전극(PE)과 직접 접촉될 수 있다. 따라서, 이방성 도전 필름(ACF)은 연성 회로 필름(211), 제2 보호층(170), 제2 봉지층(182), 및 패드 전극(PE)에 의해 둘러싸여 외부로 노출되지 않기 때문에, 본 출원에 따른 표시 장치는 이방성 도전 필름(ACF)이 마련된 제1 및 제2 패드 컨택홀(PCH1, PCH2)을 통한 외부 투습을 방지할 수 있다.The
제1 보조 전원 라인(EVSS1)은 라인 컨택 패턴(LCP)과 전기적으로 연결되고, 게이트 전극(GE)과 동일층에서 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 구체적으로, 제1 보조 전원 라인(EVSS1)은 게이트 절연막(130) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 보조 전원 라인(EVSS1)은 버퍼층(120)과 게이트 절연막(130)을 사이에 두고 제2 보조 전원 라인(EVSS2)과 중첩될 수 있다. 제1 보조 전원 라인(EVSS1)은 하부 제1 보조 전원 라인(EVSSa)과 상부 제1 보조 전원 라인(EVSSb)을 포함할 수 있다. 이러한 제1 보조 전원 라인(EVSS1)은 기판(110)의 일측 가장자리에 배치된 패드 전극(PE)을 통해 표시 구동 회로부(210)로부터 공급되는 저전위 전압을 컨택 패드(CP)에 제공할 수 있다.The first auxiliary power line EVSS1 may be electrically connected to the line contact pattern LCP, and may be formed of the same material on the same layer as the gate electrode GE. In detail, the first auxiliary power line EVSS1 may be disposed on the
하부 제1 보조 전원 라인(EVSSa)은 게이트 절연막(130)과 상부 제1 보조 전원 라인(EVSSb) 사이에 형성되어 게이트 절연막(130)과 상부 제1 보조 전원 라인(EVSSb) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있다. 그리고, 하부 제1 보조 전원 라인(EVSSa)은 상부 제1 보조 전원 라인(EVSSb)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The lower first auxiliary power line EVSSa is formed between the
상부 제1 보조 전원 라인(EVSSb)은 하부 제1 보조 전원 라인(EVSSa)의 상면에 형성될 수 있다. 구체적으로, 상부 제1 보조 전원 라인(EVSSb)은 하부 제1 보조 전원 라인(EVSSa)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 그리고, 상부 제1 보조 전원 라인(EVSSb)은 제1 보조 전원 라인(EVSS1)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 하부 제1 보조 전원 라인(EVSSa)보다 두껍게 형성될 수 있다.The upper first auxiliary power line EVSSb may be formed on an upper surface of the lower first auxiliary power line EVSSa. In detail, the upper first auxiliary power line EVSSb may be formed of a metal having a lower resistance than the lower first auxiliary power line EVSSa. The upper first auxiliary power line EVSSb may be formed thicker than the lower first auxiliary power line EVSSa to reduce the overall resistance of the first auxiliary power line EVSS1.
제2 보조 전원 라인(EVSS2)은 라인 컨택 패턴(LCP)과 전기적으로 연결되고, 차광층(LS)과 동일층에서 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 구체적으로, 제2 보조 전원 라인(EVSS2)은 기판(110) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2 보조 전원 라인(EVSS2)은 버퍼층(120)과 게이트 절연막(130)을 사이에 두고 제1 보조 전원 라인(EVSS1)과 중첩될 수 있다. 제2 보조 전원 라인(EVSS2)은 하부 제2 보조 전원 라인(EVSSc)과 상부 제2 보조 전원 라인(EVSSd)을 포함할 수 있다. 이러한 제2 보조 전원 라인(EVSS2)은 기판(110)의 일측 가장자리에 배치된 패드 전극(PE)을 통해 표시 구동 회로부(210)로부터 공급되는 저전위 전압을 컨택 패드(CP)에 제공할 수 있다. The second auxiliary power line EVSS2 is electrically connected to the line contact pattern LCP and may be made of the same material as the light blocking layer LS. In detail, the second auxiliary power line EVSS2 may be disposed on the
이와 같이, 제1 및 제2 보조 전원 라인(EVSS1, EVSS2)은 라인 컨택 패턴(LCP)과 전기적으로 연결됨으로써, 컨택 패드(CP)와 연결되는 전극들의 두께의 합을 증가시킬 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 보조 전원 라인(EVSS1, EVSS2)은 라인 컨택 패턴(LCP)과 전기적으로 연결됨으로써, 컨택 패드(CP)와 연결되는 전극들의 전체 저항을 감소시킬 수 있다.As such, the first and second auxiliary power lines EVSS1 and EVSS2 may be electrically connected to the line contact pattern LCP to increase the sum of the thicknesses of the electrodes connected to the contact pad CP. Therefore, the first and second auxiliary power lines EVSS1 and EVSS2 are electrically connected to the line contact pattern LCP, thereby reducing the overall resistance of the electrodes connected to the contact pad CP.
하부 제2 보조 전원 라인(EVSSc)은 기판(110)과 상부 제2 보조 전원 라인(EVSSd) 사이에 형성되어 기판(110)과 상부 제2 보조 전원 라인(EVSSd) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있다. 그리고, 하부 제2 보조 전원 라인(EVSSc)은 상부 제2 보조 전원 라인(EVSSd)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The lower second auxiliary power line EVSSc may be formed between the
상부 제2 보조 전원 라인(EVSSd)은 하부 제2 보조 전원 라인(EVSSc)의 상면에 형성될 수 있다. 구체적으로, 상부 제2 보조 전원 라인(EVSSd)은 하부 제2 보조 전원 라인(EVSSc)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 그리고, 상부 제2 보조 전원 라인(EVSSd)은 제2 보조 전원 라인(EVSS2)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 하부 제2 보조 전원 라인(EVSSc)보다 두껍게 형성될 수 있다.The upper second auxiliary power line EVSSd may be formed on an upper surface of the lower second auxiliary power line EVSSc. In detail, the upper second auxiliary power line EVSSd may be formed of a metal having a lower resistance than the lower second auxiliary power line EVSSc. The upper second auxiliary power line EVSSd may be formed thicker than the lower second auxiliary power line EVSSc to reduce the overall resistance of the second auxiliary power line EVSS2.
라인 컨택 패턴(LCP)은 평탄화층(160) 상에서 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)과 서로 이격되게 배치될 수 있다. 그리고, 라인 컨택 패턴(LCP)은 평탄화층(160)에 마련된 컨택홀을 통해 컨택 패드(CP)와 전기적으로 연결될 수 있다. 구체적으로, 라인 컨택 패턴(LCP)은 평탄화층(160)에 마련된 컨택홀을 통해 컨택 패드(CP)와 접촉되고, 층간 절연막(140)에 마련된 컨택홀을 통해 제1 보조 전원 라인(EVSS1)과 접촉되며, 층간 절연막(140)과 버퍼층(120)에 마련된 컨택홀을 통해 제2 보조 전원 라인(EVSS2)과 접촉될 수 있다. 따라서, 컨택 패드(CP)와 연결된 라인 컨택 패턴(LCP)은 제1 및 제2 보조 전원 라인(EVSS1, EVSS2) 각각과 전기적으로 연결됨으로써, 컨택 패드(CP)와 연결되는 전극들의 두께의 합을 증가시킬 수 있다. 따라서, 라인 컨택 패턴(LCP)은 제1 및 제2 보조 전원 라인(EVSS1, EVSS2) 각각과 전기적으로 연결됨으로써, 컨택 패드(CP)와 연결되는 전극들의 전체 저항을 감소시킬 수 있다.The line contact pattern LCP may be disposed on the
라인 컨택 패턴(LCP)은 하부 라인 컨택 패턴(LCP1) 및 상부 라인 컨택 패턴(LCP2)을 포함할 수 있다.The line contact pattern LCP may include a lower line contact pattern LCP1 and an upper line contact pattern LCP2.
하부 라인 컨택 패턴(LCP1)은 층간 절연막(140)과 상부 라인 컨택 패턴(LCP2) 사이에 형성되어 층간 절연막(140)과 상부 라인 컨택 패턴(LCP2) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있다. 그리고, 하부 라인 컨택 패턴(LCP1)은 상부 라인 컨택 패턴(LCP2)의 하면을 보호함으로써 상부 라인 컨택 패턴(LCP2)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The lower line contact pattern LCP1 may be formed between the interlayer insulating
상부 라인 컨택 패턴(LCP2)은 하부 라인 컨택 패턴(LCP1)의 상면에 형성될 수 있다. 상부 라인 컨택 패턴(LCP2)은 하부 라인 컨택 패턴(LCP1)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 상부 라인 컨택 패턴(LCP2)의 두께는 라인 컨택 패턴(LCP)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 하부 라인 컨택 패턴(LCP1)의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다.The upper line contact pattern LCP2 may be formed on an upper surface of the lower line contact pattern LCP1. The upper line contact pattern LCP2 may be formed of a metal having a lower resistance than the lower line contact pattern LCP1. The thickness of the upper line contact pattern LCP2 may be formed thicker than the thickness of the lower line contact pattern LCP1 in order to reduce the overall resistance of the line contact pattern LCP.
컨택 패드(CP)는 복수의 픽셀 영역의 평탄화층(160) 상에 배치되고, 라인 컨택 패턴(LCP)과 전기적으로 연결될 수 있다. 컨택 패드(CP)는 평탄화층(160)에 마련된 컨택홀을 통해 라인 컨택 패턴(LCP)과 전기적으로 연결될 수 있다. 컨택 패드(CP)는 제1 금속막(CP1), 제2 금속막(CP2), 및 제3 금속막(CP3)을 포함할 수 있다.The contact pad CP may be disposed on the
제1 금속막(CP1)은 제3 금속막(CP3)과 제2 금속막(CP2) 사이에 배치될 수 있다. 일 예에 따르면, 제1 금속막(CP1)은 제3 금속막(CP3)과 제2 금속막(CP2)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 제1 금속막(CP1)은 컨택 패드(CP)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 제3 금속막(CP3)과 제2 금속막(CP2) 각각보다 두껍게 형성될 수 있다.The first metal film CP1 may be disposed between the third metal film CP3 and the second metal film CP2. In example embodiments, the first metal film CP1 may be formed of a metal having a lower resistance than the third metal film CP3 and the second metal film CP2. The first metal film CP1 may be formed thicker than each of the third metal film CP3 and the second metal film CP2 in order to reduce the overall resistance of the contact pad CP.
제2 금속막(CP2)은 제1 금속막(CP1) 상에 형성될 수 있다. 구체적으로, 제2 금속막(CP2)은 제1 금속막(CP1)이 외부로 노출되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제2 금속막(CP2)은 제1 금속막(CP1)의 상면을 덮도록 형성됨으로써 제1 금속막(CP1)이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The second metal film CP2 may be formed on the first metal film CP1. In detail, the second metal film CP2 may prevent the first metal film CP1 from being exposed to the outside. Therefore, the second metal film CP2 may be formed to cover the top surface of the first metal film CP1, thereby preventing the first metal film CP1 from corroding.
제3 금속막(CP3)은 평탄화층(160)의 평탄면 상에 마련될 수 있다. 구체적으로, 제3 금속막(CP3)의 산화도는 제1 금속막(CP1)의 산화도보다 낮을 수 있다.The third metal film CP3 may be provided on the flat surface of the
일 예에 따르면, 컨택 패드(CP)의 상면 또는 측면은 캐소드 전극(CE)과 직접 접촉됨으로써, 캐소드 전극(CE)에 공급되는 캐소드 전압(CE)의 전압 강하(IR drop)에 의한 휘도 불균일을 방지할 수 있다.According to an example, the upper surface or the side surface of the contact pad CP is in direct contact with the cathode electrode CE, thereby preventing luminance unevenness due to a voltage drop IR drop of the cathode voltage CE supplied to the cathode electrode CE. It can prevent.
신호 패드(SP)는 버퍼층(120) 상에 형성될 수 있다. 예를 들어, 신호 패드(SP)는 게이트 전극(GE)과 동일층에서 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 신호 패드(SP)는 하부 신호 패드(SP1) 및 상부 신호 패드(SP2)를 포함할 수 있다.The signal pad SP may be formed on the
하부 신호 패드(SP1)는 버퍼층(120)과 상부 신호 패드(SP2) 사이에 형성되어 버퍼층(120)과 상부 신호 패드(SP2) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있다. 그리고, 하부 신호 패드(SP1)는 상부 신호 패드(SP2)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The lower signal pad SP1 may be formed between the
상부 신호 패드(SP2)는 하부 신호 패드(SP1)의 상면에 형성될 수 있다. 구체적으로, 상부 신호 패드(SP2)는 하부 신호 패드(SP1)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 그리고, 상부 신호 패드(SP2)는 신호 패드(SP)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 하부 신호 패드(SP1)보다 두껍게 형성될 수 있다.The upper signal pad SP2 may be formed on an upper surface of the lower signal pad SP1. In detail, the upper signal pad SP2 may be formed of a metal having a lower resistance than the lower signal pad SP1. The upper signal pad SP2 may be formed thicker than the lower signal pad SP1 in order to reduce the overall resistance of the signal pad SP.
패드 보조 전극(PAE)은 층간 절연막(140) 상에 마련될 수 있다. 예를 들어, 패드 보조 전극(PAE)은 층간 절연막(140)에 마련된 컨택홀을 통해 신호 패드(SP)와 접촉할 수 있고, 제1 보호층(150)에 마련된 컨택홀을 통해 패드 전극(PE)과 접촉할 수 있다. 패드 보조 전극(PAE)은 하부 패드 보조 전극(PAE1) 및 상부 패드 보조 전극(PAE2)을 포함할 수 있다.The pad auxiliary electrode PAE may be provided on the
하부 패드 보조 전극(PAE1)은 층간 절연막(140)과 상부 패드 보조 전극(PAE2) 사이에 형성되어 층간 절연막(140)과 상부 패드 보조 전극(PAE2) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있다. 그리고, 하부 패드 보조 전극(PAE1)은 상부 패드 보조 전극(PAE2)의 하면을 보호함으로써 상부 패드 보조 전극(PAE2)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The lower pad auxiliary electrode PAE1 may be formed between the interlayer insulating
상부 패드 보조 전극(PAE2)은 하부 패드 보조 전극(PAE1)의 상면에 형성될 수 있다. 상부 패드 보조 전극(PAE2)은 하부 패드 보조 전극(PAE1)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 상부 패드 보조 전극(PAE2)의 두께는 패드 보조 전극(PAE)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 하부 패드 보조 전극(PAE1)의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다.The upper pad auxiliary electrode PAE2 may be formed on an upper surface of the lower pad auxiliary electrode PAE1. The upper pad auxiliary electrode PAE2 may be formed of a metal having a lower resistance than the lower pad auxiliary electrode PAE1. The thickness of the upper pad auxiliary electrode PAE2 may be thicker than the thickness of the lower pad auxiliary electrode PAE1 in order to reduce the overall resistance of the pad auxiliary electrode PAE.
패드 전극(PE)은 제1 보호층(150) 상에 형성될 수 있다. 예를 들어, 패드 전극(PE)은 제1 보호층(150)에 마련된 컨택홀을 통하여 패드 보조 전극(PAE)과 접촉할 수 있다. 패드 전극(PE)은 제1 패드 전극(PE1), 제2 패드 전극(PE2), 및 제3 패드 전극(PE3)을 포함할 수 있다.The pad electrode PE may be formed on the first
제1 패드 전극(PE1)은 제2 패드 전극(PE2)과 제3 패드 전극(PE3) 사이에 배치될 수 있다. 일 예에 따르면, 제1 패드 전극(PE1)은 제2 패드 전극(PE2)과 제3 패드 전극(PE3)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 제1 패드 전극(PE1)은 패드 전극(PE)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 제2 패드 전극(PE2) 및 제3 패드 전극(PE3) 각각보다 두껍게 형성될 수 있다.The first pad electrode PE1 may be disposed between the second pad electrode PE2 and the third pad electrode PE3. In example embodiments, the first pad electrode PE1 may be formed of a metal having a lower resistance than the second pad electrode PE2 and the third pad electrode PE3. The first pad electrode PE1 may be formed thicker than each of the second pad electrode PE2 and the third pad electrode PE3 in order to reduce the overall resistance of the pad electrode PE.
제2 패드 전극(PE2)은 제1 패드 전극(PE1) 상에 형성될 수 있다. 구체적으로, 제2 패드 전극(PE2)은 제1 패드 전극(PE1)이 외부로 노출되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제2 패드 전극(PE2)은 제1 패드 전극(PE1)의 상면 및 측면을 덮도록 형성됨으로써 제1 패드 전극(PE1)이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The second pad electrode PE2 may be formed on the first pad electrode PE1. In detail, the second pad electrode PE2 may prevent the first pad electrode PE1 from being exposed to the outside. Accordingly, the second pad electrode PE2 may be formed to cover the top and side surfaces of the first pad electrode PE1, thereby preventing the first pad electrode PE1 from corroding.
제3 패드 전극(PE3)은 제1 보호층(150)의 컨택홀을 통해 노출된 상부 패드 보조 전극(PAE2)의 상면을 덮도록 형성됨으로써 상부 패드 보조 전극(PAE2)의 부식을 방지할 수 있다. 따라서, 제3 패드 전극(PE3)이 상부 패드 보조 전극(PAE2)의 부식을 방지할 수 있기 때문에, 패드 보조 전극(PAE)은 전술한 2층 구조로 형성될 수 있다.The third pad electrode PE3 may be formed to cover the top surface of the upper pad auxiliary electrode PAE2 exposed through the contact hole of the
저장 커패시터(Cst)는 하부 커패시터 전극(BC), 중앙 커패시터 전극(MC), 및 상부 커패시터 전극(TC)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 하부 커패시터 전극(BC)과 중앙 커패시터 전극(MC)은 버퍼층(120)을 사이에 두고 서로 마주할 수 있고, 중앙 커패시터 전극(MC)과 상부 커패시터 전극(TC)은 층간 절연막(140)을 사이에 두고 서로 마주할 수 있다. 따라서, 저장 커패시터(Cst)는 하부 커패시터 전극(BC)과 중앙 커패시터 전극(MC) 간에 커패시턴스를 형성하면서, 중앙 커패시터 전극(MC)과 상부 커패시터 전극(TC) 간에도 커패시턴스를 형성함으로써, 전체 커패시턴스를 증가시킬 수 있다.The storage capacitor Cst may include a lower capacitor electrode BC, a center capacitor electrode MC, and an upper capacitor electrode TC. In detail, the lower capacitor electrode BC and the center capacitor electrode MC may face each other with the
하부 커패시터 전극(BC)은 제1 하부 커패시터 전극(BC1) 및 제2 하부 커패시터 전극(BC2)을 포함할 수 있다. 여기에서, 하부 커패시터 전극(BC)은 차광층(LS) 및 제2 보조 전원 라인(EVSS2) 각각과 동일층에서 동일한 물질로 이루어질 수 있다.The lower capacitor electrode BC may include a first lower capacitor electrode BC1 and a second lower capacitor electrode BC2. The lower capacitor electrode BC may be made of the same material as the light blocking layer LS and the second auxiliary power line EVSS2 in the same layer.
제1 하부 커패시터 전극(BC1)은 기판(110)과 제2 하부 커패시터 전극(BC2) 사이에 형성되어 기판(110)과 제2 하부 커패시터 전극(BC2) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있다. 그리고, 제1 하부 커패시터 전극(BC1)은 제2 하부 커패시터 전극(BC2)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The first lower capacitor electrode BC1 may be formed between the
제2 하부 커패시터 전극(BC2)은 제1 하부 커패시터 전극(BC1)의 상면에 형성될 수 있다. 구체적으로, 제2 하부 커패시터 전극(BC2)은 제1 하부 커패시터 전극(BC1)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 그리고, 제2 하부 커패시터 전극(BC2)은 하부 커패시터 전극(BC)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 제1 하부 커패시터 전극(BC1)보다 두껍게 형성될 수 있다.The second lower capacitor electrode BC2 may be formed on an upper surface of the first lower capacitor electrode BC1. In detail, the second lower capacitor electrode BC2 may be formed of a metal having a lower resistance than the first lower capacitor electrode BC1. The second lower capacitor electrode BC2 may be formed thicker than the first lower capacitor electrode BC1 in order to reduce the overall resistance of the lower capacitor electrode BC.
중앙 커패시터 전극(MC)은 제1 중앙 커패시터 전극(MC1) 및 제2 중앙 커패시터 전극(MC2)을 포함할 수 있다. 여기에서, 중앙 커패시터 전극(MC)은 게이트 전극(GE) 및 제1 보조 전원 라인(EVSS1) 각각과 동일층에서 동일한 물질로 이루어질 수 있다.The center capacitor electrode MC may include a first center capacitor electrode MC1 and a second center capacitor electrode MC2. Here, the central capacitor electrode MC may be made of the same material in the same layer as each of the gate electrode GE and the first auxiliary power line EVSS1.
제1 중앙 커패시터 전극(MC1)은 버퍼층(120)과 제2 중앙 커패시터 전극(MC2) 사이에 형성되어 버퍼층(120)과 제2 중앙 커패시터 전극(MC2) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있다. 그리고, 제1 중앙 커패시터 전극(MC1)은 제2 중앙 커패시터 전극(MC2)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The first center capacitor electrode MC1 may be formed between the
제2 중앙 커패시터 전극(MC2)은 제1 중앙 커패시터 전극(MC1)의 상면에 형성될 수 있다. 구체적으로, 제2 중앙 커패시터 전극(MC2)은 제1 중앙 커패시터 전극(MC1)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 그리고, 제2 중앙 커패시터 전극(MC2)은 제2 커패시터 전극의 전체 저항을 줄이기 위하여, 제1 중앙 커패시터 전극(MC1)보다 두껍게 형성될 수 있다.The second center capacitor electrode MC2 may be formed on an upper surface of the first center capacitor electrode MC1. In detail, the second center capacitor electrode MC2 may be formed of a metal having a lower resistance than the first center capacitor electrode MC1. The second center capacitor electrode MC2 may be formed thicker than the first center capacitor electrode MC1 in order to reduce the overall resistance of the second capacitor electrode.
상부 커패시터 전극(TC)은 제1 상부 커패시터 전극(TC1) 및 제2 상부 커패시터 전극(TC2)을 포함할 수 있다. 여기에서, 상부 커패시터 전극(TC)은 소스 전극(SE), 드레인 전극(DE), 및 라인 컨택 패턴(LCP) 각각과 동일층에서 동일한 물질로 이루어질 수 있다.The upper capacitor electrode TC may include a first upper capacitor electrode TC1 and a second upper capacitor electrode TC2. The upper capacitor electrode TC may be made of the same material as the source electrode SE, the drain electrode DE, and the line contact pattern LCP in the same layer.
제1 상부 커패시터 전극(TC1)은 층간 절연막(140)과 제2 상부 커패시터 전극(TC2) 사이에 형성되어 층간 절연막(140)과 제2 상부 커패시터 전극(TC2) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있다. 그리고, 제1 상부 커패시터 전극(TC1)은 제2 상부 커패시터 전극(TC2)의 하면을 보호함으로써 제2 상부 커패시터 전극(TC2)의 하면이 부식되는 것을 방지할 수 있다.The first upper capacitor electrode TC1 may be formed between the interlayer insulating
제2 상부 커패시터 전극(TC2)은 제1 상부 커패시터 전극(TC1)의 상면에 형성될 수 있다. 제2 상부 커패시터 전극(TC2)은 제1 상부 커패시터 전극(TC1)에 비하여 상대적으로 저항이 낮은 금속으로 이루어질 수 있다. 제2 상부 커패시터 전극(TC2)의 두께는 상부 커패시터 전극(TC)의 전체 저항을 줄이기 위하여, 제1 상부 커패시터 전극(TC1)의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다.The second upper capacitor electrode TC2 may be formed on an upper surface of the first upper capacitor electrode TC1. The second upper capacitor electrode TC2 may be made of a metal having a lower resistance than the first upper capacitor electrode TC1. The thickness of the second upper capacitor electrode TC2 may be formed thicker than the thickness of the first upper capacitor electrode TC1 in order to reduce the overall resistance of the upper capacitor electrode TC.
도 4는 본 출원의 일 예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 나타내는 공정 단면도로서, 이는 도 2에 도시된 I-I'의 공정 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a display device according to an example of the present application, which is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 2.
도 4a에서, 제2 보호층(170)은 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition, ALD)에 의해 유기 발광 소자(E), 패드 전극(PE), 및 제1 보호층(150)의 표면 전체에 코팅될 수 있다. 여기에서, 제2 보호층(170)은 다양한 물질이 원자층 증착법(ALD)에 의해 코팅되어 형성될 수 있고, 유기 발광 소자(E), 패드 전극(PE), 및 제1 보호층(150)을 구성하는 물질과 상관 없이 안정적으로 증착될 수 있다. 예를 들어, 제2 보호층(170)은 기판(110) 전체에 코팅된 후 패드 전극(PE)의 중앙부와 중첩되는 영역이 제거됨으로써, 제2 보호층(170)은 패드 영역(PA) 중 패드 전극(PE)의 중앙부를 제외한 영역과, 표시 영역(AA)의 유기 발광 소자(E)의 표면 전체에 배치될 수 있다.In FIG. 4A, the second
일 예에 따르면, 제2 보호층(170)은 금속 산화막, 금속 질화막, 또는 실리콘 산화막이 원자층 증착법(ALD)을 통해 기판(110) 전체에 코팅됨으로써 형성될 수 있다. 이 때, 제2 보호층(170)은 원자층 증착법(ALD)에 의해 기판(110)의 상면 뿐만 아니라, 기판(110) 측면과 하면까지 형성될 수 있다. 제2 보호층(170)은 원자층 증착법(ALD)을 통해 형성됨으로써, 박막의 두께 균일도와 물성을 향상시키고 공정 온도를 낮출 수 있다. 따라서, 제2 보호층(170)은 봉지층(180)이 형성되기 전에, 기판(110)의 상면, 측면, 및 하면을 모두 둘러쌀 수 있다.According to an example, the second
도 4b에서, 봉지층(180)은 제1 내지 제3 봉지층(181, 182, 183)을 포함할 수 있다.In FIG. 4B, the
제1 봉지층(181)은 표시 영역(AA) 상의 제2 보호층(170) 전면을 덮을 수 있다.The
제2 봉지층(182)은 제1 봉지층(181)을 덮으면서, 패드 영역(PA) 상의 제2 보호층(170)을 추가로 덮을 수 있다. 제2 봉지층(182)은 패드 전극(PE)의 가장자리를 제외한 나머지 부분과 중첩되는 제2 패드 컨택홀(PCH2)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 제2 패드 컨택홀(PCH2)은 패드 전극(PE)과 연성 회로 필름(211)을 전기적으로 연결시키는 이방성 도전 필름(ACF)을 수용할 수 있다. 그리고, 패드 전극(PE)의 중앙부와 중첩되는 제2 보호층(170)은 제2 봉지층(182)을 마스크로 사용한 웨트 에칭(Wet etching) 공정에 의하여 패터닝될 수 있다.The
제3 봉지층(183)은 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)을 덮을 수 있다.The
일 예에 따르면, 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)과 패드 영역(PA) 상의 제2 봉지층(182)은 서로 이격될 수 있다. 구체적으로, 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)은 제2 보호층(170)과 제1 봉지층(181) 상에 배치되고, 패드 영역(PA) 상의 제2 봉지층(182)은 제2 보호층(170) 상에 배치될 수 있다. 여기에서, 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)과 패드 영역(PA) 상의 제2 봉지층(182)이 이격된 영역에서 제2 보호층(170)이 노출될 수 있고, 제3 봉지층(183)이 노출된 제2 보호층(170)과 접촉하여 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)을 덮을 수 있다. 또한, 제3 봉지층(183)의 끝단은 표시 영역(AA)과 패드 영역(PA)의 사이에서 제2 보호층(170)과 접촉함으로써, 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)과 패드 영역(PA) 상의 제2 봉지층(182)을 분리시킬 수 있다. 이와 같이, 제3 봉지층(183)은 표시 영역(AA) 상의 제2 봉지층(182)을 덮음으로써, 유기 발광 소자(E)에 수분이나 산소가 침투하는 것을 방지할 수 있다.In example embodiments, the
도 4c에서, 제2 보호층(170)은 제2 봉지층(182)을 마스크로 사용한 웨트 에칭(Wet etching) 공정에 의하여 패터닝될 수 있다. 구체적으로, 제2 보호층(170)이 기판(110) 전체에 코팅된 후, 제2 보호층(170) 상에 패터닝된 제2 봉지층(182)을 마스크로 사용한 웨트 에칭 공정에 의하여, 제2 보호층(170)의 제1 패드 컨택홀(PCH1)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 웨트 에칭 공정은 수산화나트륨(NaOH), 수산화칼륨(KOH), 수산화암모늄(NH4OH), 또는 이들을 조합한 알칼리 화합물을 에칭액으로 사용하여 수행될 수 있다. 또한, 웨트 에칭 공정은 봉지층(180)이 마련된 후 수행되기 때문에, 표시 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 제2 보호층(170)은 패드 전극(PE)의 중앙부와 중첩되는 영역이 제거됨으로써, 패드 영역(PA) 중 패드 전극(PE)의 중앙부를 제외한 영역과, 표시 영역(AA)의 유기 발광 소자(E)의 표면 전체에 배치될 수 있다.In FIG. 4C, the second
만일, 제2 보호층(170)이 드라이 에칭(Dry etching) 공정을 통해 패터닝되는 경우, 드라이 에칭을 위한 별도의 패터닝 공정이 필요하고 플라즈마 데미지가 발생할 수 있다. 그리고, 제2 보호층(170)이 드라이 에칭(Dry etching) 공정을 통해 패터닝되는 경우, 플라즈마 데미지를 방지하기 위하여 별도의 에칭 보호층이 필요하며, 패널의 신뢰성을 악화시키는 문제점을 갖는다.If the second
따라서, 본 출원에 따른 표시 장치는 제2 봉지층(182)을 마스크로 사용하여 제2 보호층(170)의 패터닝 공정을 수행함으로써, 패터닝을 위한 추가적인 마스크 공정을 필요로 하지 않고, 제2 보호층(170)을 선택적으로 패터닝할 수 있다. 그리고, 본 출원에 따른 표시 장치는 웨트 에칭 공정을 사용함으로써, 플라즈마 데미지의 발생을 사전에 차단하여 별도의 에칭 보호층을 필요로 하지 않으므로, 공정 비용을 절감할 수 있다.Accordingly, the display device according to the present application performs the patterning process of the second
그리고, 기판(110)의 측면을 덮는 제2 보호층(170)은 패드 전극(PE) 상에 연성 회로 필름(211)이 배치되기 전에 커팅(Cutting)될 수 있다. 일 예에 따르면, 기판(110)의 상면을 덮는 제2 보호층(170)의 두께 균일도와 기판(110)의 측면을 덮는 제2 보호층(170)의 두께 균일도는 서로 다를 수 있다. 따라서, 표시 장치는 기판(110)의 측면을 덮는 제2 보호층(170)을 제거함으로써, 표시 영역(AA)과 패드 영역(PA)의 일부를 덮는 제2 보호층(170)의 두께 균일도와 물성을 향상시킬 수 있다. 여기에서, 기판(110)의 하면을 덮는 제2 보호층(170)은 연성 회로 필름(211)이 부착된 후에도 남아 있을 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 결과적으로, 본 출원에 따른 표시 장치(100)는 원자층 증착법(ALD)을 통해 제2 보호층(170)을 형성하는 공정을 포함함으로써, 제2 보호층(170)과 동일한 물질로 이루어지고 기판(110)의 하면에 배치되는 코팅막(170)을 더 포함할 수 있다.In addition, the second
도 4d에서, 연성 회로 필름(211)은 전도성 입자를 포함하는 이방성 도전 필름(ACF)을 매개로 패드 전극(PE)에 부착될 수 있다. 일 예에 따르면, 연성 회로 필름(211)은 패드 영역(PA) 상의 제2 봉지층(182)의 일부를 덮으면서, 이방성 도전 필름(ACF)을 통해 패드 전극(PE)과 연결될 수 있다. 이 때, 이방성 도전 필름(ACF)의 상면은 연성 회로 필름(211)에 의해 덮이고, 이방성 도전 필름(ACF)의 측면은 제2 보호층(170)과 제2 봉지층(182)에 의해 둘러싸이며, 이방성 도전 필름(ACF)의 하면은 패드 전극(PE)과 직접 접촉될 수 있다. 따라서, 이방성 도전 필름(ACF)은 연성 회로 필름(211), 제2 보호층(170), 제2 봉지층(182), 및 패드 전극(PE)에 의해 둘러싸여 외부로 노출되지 않기 때문에, 본 출원에 따른 표시 장치는 이방성 도전 필름(ACF)이 마련된 제1 및 제2 패드 컨택홀(PCH1, PCH2)을 통한 외부 투습을 방지할 수 있다.In FIG. 4D, the
이상에서 설명한 본 출원은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 출원의 기술적 사항을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 출원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 출원의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 출원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The present application described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical details of the present application. It will be apparent to those who have the knowledge of. Therefore, the scope of the present application is represented by the following claims, and it should be construed that all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts thereof are included in the scope of the present application.
100: 표시 장치
110: 기판
120: 버퍼층
T: 트랜지스터
LS: 차광층
130: 게이트 절연막
140: 층간 절연막
150: 제1 보호층
160: 평탄화층
170: 제2 보호층
180: 봉지층
181, 182, 183: 제1 내지 제3 봉지층
E: 유기 발광 소자
AE: 애노드 전극
EL: 발광층
CE: 캐소드 전극
CP: 컨택 패드
EVSS1, EVSS2: 제1 및 제2 보조 전원 라인
LCP: 라인 컨택 패턴
Cst: 저장 커패시터
SP: 신호 패드
PAE: 패드 보조 전극
PE: 패드 전극
B: 뱅크
210: 표시 구동 회로부
211: 연성 회로 필름
220: 스캔 구동 회로부100: display device
110: substrate 120: buffer layer
T: transistor LS: light shielding layer
130: gate insulating film 140: interlayer insulating film
150: first protective layer 160: planarization layer
170: second protective layer 180: encapsulation layer
181, 182, and 183: first to third encapsulation layers E: organic light emitting element
AE: anode electrode EL: light emitting layer
CE: cathode electrode CP: contact pad
EVSS1, EVSS2: first and second auxiliary power lines
LCP: Line Contact Pattern Cst: Storage Capacitor
SP: Signal Pad PAE: Pad Auxiliary Electrode
PE: pad electrode B: bank
210: display driver circuit portion 211: flexible circuit film
220: scan driving circuit portion
Claims (11)
상기 표시 영역을 덮으면서 상기 패드 전극의 가장자리를 덮는 보호층; 및
상기 표시 영역 상의 상기 보호층을 덮는 제1 봉지층, 상기 제1 봉지층을 덮으면서 상기 패드 영역 상의 보호층을 추가로 덮는 제2 봉지층, 및 상기 표시 영역 상의 제2 봉지층을 덮는 제3 봉지층을 구비한 봉지층을 포함하는, 표시 장치.A substrate including a display area having a plurality of pixels and a pad area having at least one pad electrode;
A protective layer covering an edge of the pad electrode while covering the display area; And
A first encapsulation layer covering the protective layer on the display area, a second encapsulation layer further covering the protective layer on the pad area while covering the first encapsulation layer, and a third encapsulation layer on the second encapsulation layer on the display area A display device comprising an encapsulation layer having an encapsulation layer.
상기 패드 전극은 상기 복수의 픽셀 각각의 애노드 전극과 동일한 물질로 이루어지고,
상기 보호층은 상기 표시 영역에서 상기 복수의 픽셀 각각의 발광층과 캐소드 전극을 사이에 두고 상기 애노드 전극과 마주하며, 상기 패드 영역에서 상기 패드 전극의 상면 가장자리 및 측면과 직접 접촉되는, 표시 장치.The method of claim 1,
The pad electrode is made of the same material as the anode electrode of each of the plurality of pixels,
And the passivation layer facing the anode electrode with the light emitting layer and the cathode electrode of each of the plurality of pixels in the display area interposed therebetween, and directly contacting an upper edge and a side surface of the pad electrode in the pad area.
전도성 입자를 포함하는 이방성 도전 필름을 매개로 상기 패드 전극에 부착된 연성 회로 필름을 더 포함하는, 표시 장치.The method of claim 1,
And a flexible circuit film attached to the pad electrode via an anisotropic conductive film containing conductive particles.
상기 이방성 도전 필름의 측면은 상기 패드 전극의 가장자리를 덮는 상기 보호층과, 상기 보호층을 덮는 제2 봉지층에 의해 둘러싸이는, 표시 장치.The method of claim 3, wherein
The side surface of the anisotropic conductive film is surrounded by the protective layer covering the edge of the pad electrode and the second encapsulation layer covering the protective layer.
상기 보호층은 상기 패드 전극의 가장자리를 제외한 나머지 부분과 중첩되는 제1 패드 컨택홀을 포함하고, 상기 이방성 도전 필름은 상기 제1 패드 컨택홀에 의해 둘러싸이는, 표시 장치.The method of claim 3, wherein
The protective layer includes a first pad contact hole overlapping the remaining portion except the edge of the pad electrode, and the anisotropic conductive film is surrounded by the first pad contact hole.
상기 제2 봉지층은 상기 패드 전극의 가장자리를 제외한 나머지 부분과 중첩되는 제2 패드 컨택홀을 포함하고, 상기 이방성 도전 필름은 상기 제2 패드 컨택홀에 의해 둘러싸이는, 표시 장치.The method of claim 3, wherein
The second encapsulation layer includes a second pad contact hole overlapping the remaining portion except for the edge of the pad electrode, and the anisotropic conductive film is surrounded by the second pad contact hole.
상기 연성 회로 필름은 상기 패드 영역 상의 제2 봉지층의 일부를 덮는, 표시 장치.The method of claim 3, wherein
And the flexible circuit film covers a portion of the second encapsulation layer on the pad region.
상기 표시 영역 상의 제2 봉지층과 상기 패드 영역 상의 제2 봉지층은 서로 이격되고, 상기 제3 봉지층은 상기 표시 영역 상의 제2 봉지층의 측면을 덮는, 표시 장치.The method of claim 1,
The second encapsulation layer on the display area and the second encapsulation layer on the pad area are spaced apart from each other, and the third encapsulation layer covers a side surface of the second encapsulation layer on the display area.
상기 제3 봉지층의 끝단은 상기 표시 영역과 상기 패드 영역의 사이에서 상기 보호층과 접촉함으로써, 상기 표시 영역 상의 제2 봉지층과 상기 패드 영역 상의 제2 봉지층을 서로 분리시키는, 표시 장치.The method of claim 1,
An end of the third encapsulation layer is in contact with the protective layer between the display area and the pad area to separate the second encapsulation layer on the display area from the second encapsulation layer on the pad area.
상기 보호층과 동일한 물질로 이루어지고 상기 기판의 하면에 배치되는 코팅막을 더 포함하는, 표시 장치.The method of claim 1,
And a coating film made of the same material as the passivation layer and disposed on a bottom surface of the substrate.
상기 제1 및 제3 봉지층은 이산화 실리콘(SiO2), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산질화막(SiON) 또는 이들의 다중층으로 이루어진 무기막이고, 상기 제2 봉지층은 아크릴계 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드계 수지(polyamides resin), 또는 폴리이미드계 수지(polyimides resin)로 이루어진 유기막인, 표시 장치.The method of claim 1,
The first and third encapsulation layers are inorganic films made of silicon dioxide (SiO 2), silicon nitride film (SiNx), silicon oxynitride film (SiON), or multiple layers thereof, and the second encapsulation layer is an acrylic resin. The display device which is an organic film which consists of an epoxy resin, a phenolic resin, a polyamides resin, or a polyimides resin.
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