KR20200025699A - X-ray Detector and X-ray apparatus - Google Patents

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Abstract

Provided is an X-ray detector with more improved characteristics. The X-ray detector includes a pixel that generates a pixel signal value according to the amount of irradiated X-rays, wherein the amount of irradiated X-rays and the pixel signal value are configured to have two or more different linear relationships.

Description

X선 디텍터 및 X선 촬영 장치 {X-ray Detector and X-ray apparatus}X-ray detector and X-ray apparatus

본 발명은 X선 디텍터 및 X선 촬영 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 넓은 다이나믹 영역(wide dynamic range)과 높은 컨트라스트(high contrast)의 X선 영상을 얻을 수 있는 X선 디텍터 및 이를 이용한 X선 촬영 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an X-ray detector and an X-ray imaging apparatus, and more particularly, an X-ray detector capable of obtaining a wide dynamic range and a high contrast X-ray image, and X-ray imaging using the same Relates to a device.

X선 촬영 장치의 일례인 맘모그래피 장치(Mammography apparatus)는 유방암 또는 미세석회화(macrocalcification) 등을 조기 진단하기 위한 것으로서, 일정량의 X선을 피검체인 유방에 조사하고, 유방을 투과한 X선을 센서로 수광해서 유방에 대한 이차원 X선 영상(이하, 이차원 영상이라 한다) 또는 삼차원 X선 영상(이하, 삼차원 영상이라 한다)을 구현한다.The Mammography apparatus, which is an example of an X-ray imaging apparatus, is used for early diagnosis of breast cancer or macrocalcification, and irradiates a certain amount of X-rays to a breast of a subject, and detects X-rays transmitted through the breasts. And a two-dimensional X-ray image (hereinafter referred to as a two-dimensional image) or a three-dimensional X-ray image (hereinafter referred to as a three-dimensional image) of the breast is implemented.

종래의 디지털 맘모그래피 장치에 사용되는 센서인 X선 디텍터는, X선량에 따라 발생되는 신호값이 일정 기울기로 선형 증가하다가 포화되는 특성을 갖는다.The X-ray detector, which is a sensor used in a conventional digital mammography apparatus, has a characteristic that a signal value generated according to X-ray dose increases linearly with a predetermined slope and then saturates.

이와 같은 특성의 종래의 X선 디텍터를 사용하게 되면, 생성된 X선 영상이 좁은 다이나믹 영역과 낮은 컨트라스트를 갖는 문제가 있다.When a conventional X-ray detector having such a characteristic is used, the generated X-ray image has a problem of having a narrow dynamic range and low contrast.

본 발명은 보다 개선된 특성을 지닌 X선 디텍터 및 X선 촬영 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide an X-ray detector and an X-ray imaging apparatus having more improved characteristics.

구체적으로 본 발명은 넓은 다이나믹 영역(wide dynamic range)과 높은 컨트라스트(high contrast)의 X선 영상을 얻을 수 있는 X선 디텍터 및 이를 이용한 X선 촬영 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Specifically, an object of the present invention is to provide an X-ray detector capable of obtaining a wide dynamic range and high contrast X-ray image, and an X-ray imaging apparatus using the same.

전술한 바와 같은 과제를 달성하기 위해, 본 발명은 조사된 X선량에 따라 픽셀 신호값을 발생하는 픽셀을 포함하고, 상기 X선량과 픽셀 신호값 사이는 서로 다른 2개 이상의 선형 관계를 갖도록 구성된 X선 디텍터를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a pixel for generating a pixel signal value according to the irradiated X-ray dose, wherein the X-ray dose and the pixel signal value is configured to have two or more linear relationships different from each other Provides a line detector.

여기서, 상기 X선량이 제1범위인 경우에, 상기 픽셀 신호값이 제1기울기의 선형 관계를 갖도록 구성되고, 상기 X선량이 제1범위 보다 큰 제2범위인 경우에, 상기 픽셀 신호값이 상기 제1기울기 보다 작은 제2기울기의 선형 관계를 갖도록 구성될 수 있다.Here, when the X-ray amount is the first range, the pixel signal value is configured to have a linear relationship of the first slope, and when the X-ray amount is the second range larger than the first range, the pixel signal value is It may be configured to have a linear relationship of the second slope smaller than the first slope.

상기 픽셀은, 포토다이오드와; 상기 포토다이오드와 병렬 연결된 커패시터를 포함할 수 있다.The pixel includes a photodiode; It may include a capacitor connected in parallel with the photodiode.

상기 포토다이오드는 PN 접합 다이오드로 구성되고, 상기 제1범위에서 제1용량값을 갖고 상기 제2범위에서 상기 제1용량값 보다 큰 제2용량값을 가질 수 있다.The photodiode may be configured of a PN junction diode, and may have a first capacitance value in the first range and a second capacitance value greater than the first capacitance value in the second range.

상기 포토다이오드는, 상기 제1범위에서 딥 디플리션(deep depletion) 상태를 갖고, 상기 제2범위에서 어큐뮬레이션(accumulation) 상태를 가질 수 있다.The photodiode may have a deep depletion state in the first range, and have an accumulation state in the second range.

상기 픽셀은, 상기 포토다이오드의 캐소드에 연결되는 리셋트랜지스터와; 상기 포토다이오드 및 리셋트랜지스터 사이의 노드에 연결되는 소스팔로우트랜지스터와; 상기 소스팔로우트랜지스터와 신호 출력배선 사이에 연결되는 선택트랜지스터를 더 포함할 수 있다.The pixel may include: a reset transistor connected to the cathode of the photodiode; A source follow transistor coupled to a node between the photodiode and a reset transistor; The transistor may further include a selection transistor connected between the source follower transistor and the signal output line.

상기 제1범위 및 제2범위 사이의 제1변환 지점에서 상기 픽셀 신호값의 포화값에 대해 75%~85%의 픽셀 신호값이 발생되도록 구성될 수 있다.The pixel signal value of 75% to 85% may be generated with respect to the saturation value of the pixel signal value at the first conversion point between the first range and the second range.

상기 제1변환 지점의 X선량은 150mR~250mR일 수 있다.X-ray dose of the first conversion point may be 150mR ~ 250mR.

상기 제2범위 및 상기 포화값이 발생되는 X선량의 범위 사이의 제2변환 지점의 X선량은 300mR~400mR일 수 있다.The X-ray dose of the second conversion point between the second range and the range of X-ray dose at which the saturation value is generated may be 300 mR to 400 mR.

다른 측면에서, 전술한 X선 디텍터와; 상기 X선 디텍터에 X선을 조사하는 제너레이터를 포함하는 X선 촬영 장치를 제공한다.In another aspect, the above-described X-ray detector; An X-ray imaging apparatus including a generator for irradiating X-rays to the X-ray detector is provided.

여기서, 상기 X선 디텍터 상의 유방을 가압하는 압박 패드를 포함할 수 있다.Here, it may include a compression pad for pressing the breast on the X-ray detector.

본 발명에서는 PN 접합 구조의 포토다이오드에 커패시터를 병렬 연결하여, X선량에 따라 2개의 서로 다른 선형 관계로 픽셀 신호값이 증가하여 포화되는 특성을 구현할 수 있다.In the present invention, by connecting a capacitor to the photodiode of the PN junction structure in parallel, it is possible to implement the characteristic that the pixel signal value is increased and saturated in two different linear relationships according to the X-ray dose.

이에 따라, X선 촬영 장치의 X선 디텍터는 넓은 다이나믹 영역과 높은 컨트라스트의 X선 영상을 구현할 수 있게 된다.Accordingly, the X-ray detector of the X-ray imaging apparatus can realize a wide dynamic range and a high contrast X-ray image.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 맘모그래피 장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 맘모그래피 장치의 X선 디텍터의 포화 특성을 도시한 그래프.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 맘모그래피 장치의 X선 디텍터의 포화 특성의 다른 예를 도시한 그래프.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 X선 디텍터의 구성을 개략적으로 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 픽셀 구조를 개략적으로 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 포토다이오드의 C-V 커브를 도시한 도면.
1 is a perspective view of a mammography apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a graph showing the saturation characteristics of the X-ray detector of the mammography apparatus according to the embodiment of the present invention.
3 is a graph showing another example of the saturation characteristics of the X-ray detector of the mammography apparatus according to the embodiment of the present invention.
4 is a view schematically showing the configuration of an X-ray detector according to an embodiment of the present invention.
5 schematically illustrates a pixel structure according to an embodiment of the invention.
6 illustrates a CV curve of a photodiode according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 맘모그래피 장치의 사시도이다. 아래에서는 편의상 본 발명에 따른 X선 촬영 장치의 일례로 맘모그래피 장치를 들어 설명하지만, 본 발명은 이에 한정되지는 않는다. 1 is a perspective view of a mammography apparatus according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, for convenience, the mammography apparatus is described as an example of the X-ray imaging apparatus according to the present invention, but the present invention is not limited thereto.

도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 맘모그래피 장치는 X선 촬영을 위한 본체(100)와, 본체(100)를 지탱하는 컬럼(200)을 포함한다.As shown, the mammography apparatus according to the embodiment of the present invention includes a main body 100 for X-ray imaging and a column 200 supporting the main body 100.

컬럼(200)은 하단부가 바닥에 고정된 수직 기둥 형상으로서, 본체(100)는 컬럼(200)의 길이방향을 따라 승강한다.The column 200 has a vertical columnar shape having a lower end fixed to the bottom, and the main body 100 moves up and down along the longitudinal direction of the column 200.

본체(100)는 상하 양단부가 서로 마주보는 C자 또는 이와 유사한 형상을 나타낸다. 본체(100)는 컬럼(200)을 따라 승강 가능하도록 컬럼(200)과 연결되는 컬럼 연결부(110), 컬럼 연결부(110)에 대해 회전 가능하도록 컬럼 연결부(110)에 연결되는 수직 연결부(120)를 포함할 수 있다.The main body 100 has a C or similar shape in which both upper and lower ends face each other. The main body 100 includes a column connection part 110 connected to the column 200 to be able to move up and down along the column 200, and a vertical connection part 120 connected to the column connection part 110 so as to be rotatable with respect to the column connection part 110. It may include.

본체(100)의 일단, 일례로 상단부에는 제너레이터(130)가 장착되어 타단인 하단부를 향해 X선을 조사하고, 본체(100)의 타단, 일례로 하단부에는 X선 디텍터(140)가 장착되어 그 사이에 놓인 피검체를 투과한 X선을 수광한다. 그리고 본체(100)에는 제너레이터(130)와 X선 디텍터(140) 사이에서 X선 디텍터(140) 또는 지지 패널(160)에 놓여진 유방을 가압하는 압박 패드(150)를 포함할 수 있다.The generator 130 is mounted at one end of the main body 100, for example, at the upper end, and irradiates X-rays toward the lower end, which is the other end, and the X-ray detector 140 is mounted at the other end of the main body 100, for example, at the lower end. X-rays transmitted through the subject placed in between are received. In addition, the main body 100 may include a compression pad 150 for pressing the breast placed on the X-ray detector 140 or the support panel 160 between the generator 130 and the X-ray detector 140.

이때, 본 발명의 실시예에 따른 맘모그래피 장치는 본체(100) 전체가 일정각도 회전하여 FFDM(full-field digital mammography) 모드를 촬영할 수 있고, 본체(100)의 상단부가 하단부에 대해 일정각도 상대회전하여 DBT(digital breast tomosynthesis) 또는 BTS(breast tomosynthesis) 모드를 촬영할 수 있다.In this case, in the mammography apparatus according to the embodiment of the present invention, the entire body 100 may be rotated by a predetermined angle to capture the full-field digital mammography (FFDM) mode, and the upper end of the main body 100 has a predetermined angle relative to the lower end. It can rotate to take a digital breast tomosynthesis (DBT) or breast tomosynthesis (BTS) mode.

한편, X선 디텍터(140)는 유방을 투과한 X선의 위치별 세기에 따른 이미지 정보를 획득한다. 이를 위한 X선 디텍터(140)는 복수의 센서가 픽셀 단위로 이차원적 배열된 형태, 단위 픽셀 센서가 복수의 행렬을 이루며 매트릭스(matrix) 형태로 배치된 형태이다.On the other hand, the X-ray detector 140 obtains image information according to the intensity of each position of the X-rays transmitted through the breast. The X-ray detector 140 for this purpose is a form in which a plurality of sensors are two-dimensionally arranged in units of pixels, and a unit pixel sensor forms a plurality of matrices and is arranged in a matrix form.

이하, 본 발명의 실시예에 따라, 넓은 다이나믹 영역과 높은 컨트라스트의 X선 영상을 얻을 수 있는 맘모그래피 장치의 X선 디텍터(140)에 대해 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, according to an embodiment of the present invention, the X-ray detector 140 of the mammography apparatus capable of obtaining a wide dynamic range and a high contrast X-ray image will be described in more detail.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 맘모그래피 장치의 X선 디텍터의 포화 특성을 도시한 그래프로서, 종래의 X선 디텍터의 포화 특성의 그래프를 함께 도시하였다. 도 2에서, 가로축은 X선량(mR)을, 세로축은 X선 디텍터에서 검출된 신호값을 나타낸다. 여기서, 신호값은 X선량이 0일때 0의 값을 갖는 오프셋(offset)된 신호값으로서 디지털값이다.2 is a graph showing the saturation characteristics of the X-ray detector of the mammography apparatus according to the embodiment of the present invention, together with the graph of the saturation characteristics of the conventional X-ray detector. In Fig. 2, the horizontal axis represents the X-ray dose mR, and the vertical axis represents the signal value detected by the X-ray detector. Here, the signal value is an offset signal value having a value of zero when the X-ray dose is zero, and is a digital value.

도 2에 도시한 바와 같이, 종래의 X선 디텍터는 X선량이 증가함에 따라 신호값이 선형으로 증가하게 되고 특정 X선량 지점(Ptr) 이상에서 신호값이 포화되는 특성을 갖게 된다. 일예로, 도면에서는 원점에서부터 대략 130mR 범위의 X선량에 대해, 신호값이 대략 13000까지 단일의 기울기(Sp)(즉, 단일의 게인(gain))로 선형 증가한 후 포화되는 특성을 보이고 있다.As shown in FIG. 2, the conventional X-ray detector has a characteristic that the signal value increases linearly as the X-ray dose increases and the signal value is saturated above a specific X-ray dose point Ptr. For example, in the drawing, for an X-ray dose in the range of about 130 mR from the origin, the signal value is linearly increased to a single slope Sp (that is, a single gain) to about 13000 and then saturated.

반면에, 본 실시예에 따른 X선 디텍터는 포화 특성에 있어, X선량과 신호값 사이의 선형 관계가 2개 이상의 서로 다른 선형 관계를 가질 수 있다.On the other hand, in the X-ray detector according to the present embodiment, in the saturation characteristic, the linear relationship between the X-ray dose and the signal value may have two or more different linear relationships.

이와 관련하여 본 실시예에서는, X선 디텍터의 포화 특성이 2개의 선형 관계를 갖도록 구성되는 경우를 예로 든다. 이 경우에, 포화 상태 이전의 X선량의 범위는 2개의 범위로서 상대적으로 낮은 선량의 범위인 제1범위와 상대적으로 높은 선량 범위인 제2범위로 구분될 수 있다. In this regard, in the present embodiment, the case where the saturation characteristics of the X-ray detector are configured to have two linear relationships is taken as an example. In this case, the range of X-ray dose before saturation can be divided into two ranges, the first range being a relatively low dose range and the second range being a relatively high dose range.

이처럼, 2개의 서로 다른 선형 관계의 포화 특성이 정의되는 경우에, 포화 특성 그래프에는 기울기가 변화되는 지점인 변환 지점이 존재하게 되는데, 제1범위와 제2범위 사이의 제1변환점(Pt1)과, 제1범위와 포화값 범위 사이의 제2변화점(또는 포화 지점)(Pt2)이 존재하게 된다.As such, when the saturation characteristics of two different linear relations are defined, a saturation characteristic graph has a transformation point, which is a point at which the slope is changed, and the first transformation point Pt1 between the first range and the second range and , There is a second point of change (or saturation point) Pt2 between the first range and the saturation value range.

이 경우에, 제1변환점(Pt1)은, 포화값(대략 14500)의 대략 75%~85% 바람직하게는 대략 80% 신호값에 해당되는 지점으로서 X선량이 대략 150mR~250mR 바람직하게는 대략 200mR 지점으로 설정될 수 있다. 그리고, 제2변환점(Pt2)은, 포화값이 시작되는 지점으로서 X선량이 대략 300mR~400mR 바람직하게는 350mR 지점으로 설정될 수 있다.In this case, the first conversion point Pt1 is a point corresponding to a signal value of about 75% to 85%, preferably about 80%, of the saturation value (about 14500), and the X-ray dose is about 150 mR to 250 mR preferably about 200 mR. Can be set to a point. In addition, the second conversion point Pt2 may be set to a point at which the saturation value starts, and the X-ray dose is approximately 300 mR to 400 mR, preferably 350 mR.

이때, 제1범위에서는 상대적으로 높은 기울기인 제1기울기(S1)의 게인 특성을 갖고, 제2범위에서는 상대적으로 낮은 기울기인 제2기울기(S2)의 게인 특성을 갖도록 구성될 수 있다.In this case, the first range may have a gain characteristic of a first slope S1 having a relatively high slope, and the second range may have a gain characteristic of a second slope S2 having a relatively low slope.

여기서, 제1범위는 X선 영상의 화질을 확보할 수 있는 영역(QA)을 포함하도록 정의될 수 있는데 이에 한정되지는 않는다.Here, the first range may be defined to include an area QA capable of securing the image quality of the X-ray image, but is not limited thereto.

제1범위는 상대적으로 낮은 X선량 범위로서 이 범위에서 높은 제1기울기(S1) 즉 높은 게인을 갖게 되므로, 컨트라스트가 향상될 수 있게 된다.Since the first range is a relatively low X-ray dose range and has a high first slope S1, that is, a high gain, the contrast can be improved.

제2범위는 상대적으로 높은 X선량 범위로서 이 범위에서 낮은 제2기울기(S2) 즉 낮은 게인을 갖게 되므로, 포화 지점(P2)이 증가할 수 있게 되어 다이나믹 영역이 증가 즉 넓어질 수 있게 된다.Since the second range is a relatively high X-ray dose range and has a low second slope S2, that is, a low gain in this range, the saturation point P2 can be increased so that the dynamic range can be increased or widened.

이처럼, 본 실시예에서와 같이, X선량과 신호값 간에 2개 이상의 서로 다른 선형 관계로서 포화값을 향해 기울기가 작아지는 형태의 선형 관계의 포화 특성을 갖는 X선 디텍터를 사용하게 된다.As described above, as in the present embodiment, an X-ray detector having a saturation characteristic of a linear relationship in which the slope becomes smaller toward the saturation value as two or more different linear relationships between the X-ray dose and the signal value is used.

이에 따라, 넓은 다이나믹 영역과 높은 컨트라스트의 X선 영상을 구현할 수 있다.As a result, a wide dynamic range and high contrast X-ray image can be realized.

한편, 도 2에서는 제1기울기(S1)가 종래의 기울기(Sp) 비해 작은 경우를 예로 들어 도시하였는데, 이에 한정되지는 않으며 제1기울기(S1)는 종래의 기울기 이상이 되도록 설정될 수 있다. 이와 관련하여 도 3에 도시한 바와 같이, 제1기울기(S1)가 종래의 기울기(Sp) 보다 크게 설정될 수 있다.Meanwhile, FIG. 2 illustrates a case where the first slope S1 is smaller than the conventional slope Sp, but is not limited thereto, and the first slope S1 may be set to be equal to or more than the conventional slope. In this regard, as shown in FIG. 3, the first slope S1 may be set larger than the conventional slope Sp.

위와 같은 본 실시예의 X선 디텍터의 포화 특성은 X선 디텍터에 형성된 각 픽셀의 포화특성에 기인하며, 이를 위해 선형로그 응답 픽셀(linear-logarithmic response pixel) 또는 고다이나믹영역 픽셀(high-dynamic-range (HDR) pixel)이라 불리는 픽셀 설계 기술이 적용될 수 있다.The saturation characteristic of the X-ray detector of the present embodiment as described above is due to the saturation characteristic of each pixel formed in the X-ray detector, and for this purpose, a linear-logarithmic response pixel or a high-dynamic-range pixel A pixel design technique called (HDR) pixel may be applied.

이에 대해, 도 4 및 5를 참조하여 설명한다.This will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 X선 디텍터의 구성을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 픽셀 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.4 is a diagram schematically illustrating a configuration of an X-ray detector according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a diagram schematically illustrating a pixel structure according to an embodiment of the present invention.

도 4 및 5를 참조하면, 본 실시예의 X선 디텍터(140)는, 픽셀어레이(pixel array) 패널(210)과 로우(row)제어회로(220)와 리드아웃(read out)회로(230)를 포함할 수 있다.4 and 5, the X-ray detector 140 of the present embodiment includes a pixel array panel 210, a row control circuit 220, and a read out circuit 230. It may include.

픽셀어레이 패널(210)에는 다수의 픽셀(P)로 구성된 픽셀어레이가 배치되는데, 다수의 로우 라인과 다수의 컬럼 라인을 따라 매트릭스 형태로 배열된다.The pixel array panel 210 includes a pixel array including a plurality of pixels P, which are arranged in a matrix along a plurality of row lines and a plurality of column lines.

로우제어회로(220)는, 픽셀어레이 패널(210)을 로우 라인 단위로 제어하게 된다. 로우제어회로(220)는 로우 라인 단위로 선택신호(SEL)를 순차적으로 출력하고, 이에 응답하여 해당 로우 라인의 픽셀(P)이 선택될 수 있다.The row control circuit 220 controls the pixel array panel 210 in a row line unit. The row control circuit 220 sequentially outputs the selection signal SEL in units of row lines, and in response thereto, the pixels P of the corresponding row lines may be selected.

리드아웃회로(230)는, 각 컬럼 라인을 따라 연장된 신호 출력배선(RL)과 연결되며, 신호 출력배선(RL)을 통해 선택된 로우 라인의 픽셀(P)에서 출력된 픽셀 신호를 리드아웃하게 된다. 리드아웃회로(230)는, 입력된 픽셀 신호를 디지털 신호로 변환할 수 있다.The readout circuit 230 is connected to the signal output line RL extending along each column line, and reads out the pixel signal output from the pixel P of the selected row line through the signal output line RL. do. The readout circuit 230 may convert the input pixel signal into a digital signal.

픽셀(P)은 X선을 전기적 신호로 검출하는 단위 센서에 해당되는 구성으로서, 이는 포토다이오드(PD)를 포함할 수 있다. The pixel P corresponds to a unit sensor that detects X-rays as an electrical signal, and may include a photodiode PD.

그리고, 픽셀(P)에는 다수의 트랜지스터가 구비될 수 있는데, 본 실시예에서는 3개의 트랜지스터가 구비된 3T 구조의 픽셀(P)을 일예로 하여 설명한다.In addition, a plurality of transistors may be provided in the pixel P. In the present embodiment, a pixel P having a 3T structure including three transistors is described as an example.

이 경우에, 픽셀(P)은 리셋(reset)트랜지스터(Tr)와, 소스팔로우(source follow)트랜지스터(Tsf)와, 선택트랜지스터(Tse)를 포함할 수 있다.In this case, the pixel P may include a reset transistor Tr, a source follow transistor Tsf, and a selection transistor Tse.

리셋트랜지스터(Tr)는 픽셀(P)에 대한 리셋 기능을 수행하게 된다. 리셋트랜지스터(Tr)의 게이트전극은 리셋신호(RS)를 인가받고, 소스전극은 제1전원전압(VDD)으로서 고전위전원전압(VDD)을 인가받고, 드레인전극은 포토다이오드(PD)에 연결될 수 있다.The reset transistor Tr performs a reset function for the pixel P. The gate electrode of the reset transistor Tr receives the reset signal RS, the source electrode receives the high potential power voltage VDD as the first power supply voltage VDD, and the drain electrode is connected to the photodiode PD. Can be.

소스팔로우트랜지스터(Tsf)는, X선 조사에 따라 노드(N)에 발생된 픽셀 신호 즉 전압에 대한 버퍼 기능을 수행하게 된다. 소스팔로우트랜지스터(Tsf)의 게이트전극은 리셋트랜지스터(Tr)와 포토다이오드(PD) 간의 노드(N)에 연결되고, 소스전극은 제1전원전압(VDD)을 인가받게 되며, 드레인전극은 선택트랜지스터(Tse)에 연결될 수 있다.The source follow transistor Tsf performs a buffer function on the pixel signal, that is, the voltage, generated at the node N according to the X-ray irradiation. The gate electrode of the source follower transistor Tsf is connected to the node N between the reset transistor Tr and the photodiode PD, the source electrode receives the first power supply voltage VDD, and the drain electrode of the selection transistor (Tse) can be connected.

선택트랜지스터(Tse)는 선택신호(SEL)에 따라 픽셀 신호를 출력하는 기능을 수행하게 된다. 선택트랜지스터(Tse)의 게이트전극은 선택신호(SEL)를 인가받고, 소스전극은 소스팔로우트랜지스터(Tsf)의 드레인전극에 연결되고, 드레인전극은 신호 출력배선(RL)에 연결될 수 있다.The selection transistor Tse outputs a pixel signal according to the selection signal SEL. The gate electrode of the selection transistor Tse may receive the selection signal SEL, the source electrode may be connected to the drain electrode of the source follower transistor Tsf, and the drain electrode may be connected to the signal output line RL.

포토다이오드(PD)는 PN 접합(junction) 다이오드로 구성될 수 있다. 포토다이오드(PD)의 제1전극인 애노드(anode)는 제2전원전압(GND)으로서 저전위전원전압 일예로 접지전압을 인가받게 되고, 제2전극인 캐소드(cathode)는 리셋트랜지스터(Tr)의 드레인전극에 연결될 수 있다.The photodiode PD may be composed of a PN junction diode. An anode, which is a first electrode of the photodiode PD, receives a ground voltage as a low potential power supply voltage, for example, as a second power supply voltage GND, and a cathode, which is a second electrode, is a reset transistor Tr. It can be connected to the drain electrode of.

한편, 본 실시예에서는, 포토다이오드(PD)에 병렬로 연결된 커패시터(Ca)가 픽셀(P)에 형성될 수 있다. 즉, 커패시터(Ca)의 제1전극은 포토다이오드(PD)의 애노드에 연결되어 제2전원전압(GND)을 인가받고, 커패시터(Ca)의 제2전극은 포토다이오드(PD)의 캐소드에 연결될 수 있다.Meanwhile, in the present embodiment, a capacitor Ca connected in parallel to the photodiode PD may be formed in the pixel P. That is, the first electrode of the capacitor Ca is connected to the anode of the photodiode PD to receive the second power supply voltage GND, and the second electrode of the capacitor Ca is connected to the cathode of the photodiode PD. Can be.

이와 같이, 본 실시예에서는 PN 접합 구조의 포토다이오드(PD)에 커패시터(Ca)를 병렬 연결하여, X선량에 따라 2개의 서로 다른 선형 관계로 픽셀 신호값이 증가하여 포화되는 특성을 구현할 수 있다.As described above, in the present embodiment, the capacitor Ca is connected to the photodiode PD of the PN junction structure in parallel, thereby realizing a characteristic that the pixel signal value is increased and saturated in two different linear relations according to the X-ray dose. .

이와 관련하여, 포토다이오드(PD)의 캐소드 측 노드(N)에서의 픽셀 신호값 즉 전압값에 대한 게인은, 노드(N)에 연결된 병렬 관계의 포토다이오드(PD)의 및 커패시터(Ca)의 용량값에 반비례하게 된다.In this regard, the gain of the pixel signal value, that is, the voltage value, at the cathode side node N of the photodiode PD is determined by the photodiode PD and the capacitor Ca of the parallel relationship connected to the node N. It is inversely proportional to the dose value.

이러한바, PN 접합의 포토다이오드(PD)를 사용하여, 저선량의 제1범위에서 포토다이오드(PD)의 커패시터 즉 다이오드 커패시터가 작은 용량값을 갖고, 고선량의 제2범위에서 다이오드 커패시터가 상대적으로 큰 용량값을 갖도록 구성한다.As such, by using the photodiode PD of the PN junction, the capacitor of the photodiode PD, that is, the diode capacitor, has a small capacitance value in the first range of low dose, and the diode capacitor is relatively high in the second range of high dose. It is configured to have a large capacity value.

이에 대해, 본 실시예의 PN 접합 포토다이오드(PD)의 C-V 커브를 도시한 도 6을 함께 참조하여 설명한다.This will be described with reference to FIG. 6, which shows the C-V curve of the PN junction photodiode PD of the present embodiment.

도 6에 도시한 바와 같이, 본 실시예의 포토다이오드(PD)는 PN 접합 구조의 다이오드로서, 이의 동작 상태는 전압값에 따라 딥 디플리션(deep depletion) 상태와, 디플리션(depletion) 상태와, 어큐뮬레이션(accumulation) 상태를 가질 수 있다.As shown in FIG. 6, the photodiode PD of the present embodiment is a diode having a PN junction structure, and its operating state is a deep depletion state and a depletion state according to a voltage value. And, it may have an accumulation state (accumulation).

여기서, 딥 디플리션 상태는 상대적으로 낮은 저선량인 제1범위의 X선량이 조사되는 경우의 포토다이오드(PD)의 상태에 해당되며, 이 상태에서 포토다이오드(PD)의 다이오드 커패시터는 제1용량값으로서 최소 용량값(Cd_min)을 갖게 된다. Here, the deep depletion state corresponds to the state of the photodiode PD when the X-ray dose of the first range, which is a relatively low dose, is irradiated, and in this state, the diode capacitor of the photodiode PD is a first capacitor. The value has a minimum capacity value Cd_min.

어큐뮬레이션 상태는 상대적으로 높은 고선량인 제2범위의 X선량이 조사되는 경우의 포토다이오드(PD) 상태에 해당되며, 이 상태에서 포토다이오드(PD)의 다이오드 커패시터는 제2용량값으로서 최대 용량값(Cd_max)을 갖게 된다.The accumulation state corresponds to the photodiode (PD) state in the case where the X ray dose of the second range, which is a relatively high high dose, is irradiated. In this state, the diode capacitor of the photodiode PD is the maximum capacitance as the second capacitance value. It has a value Cd_max.

그리고, 디플리션 상태는 딥 디플리션 상태와 어큐뮬레이션 상태 사이의 임계 상태로서, 디플리션 상태를 경계로 하여 다이오드 커패시터의 최소 용량값(Cd_min)과 최대 용량값(Cd_max)이 전환될 수 있다. 이와 같은 디플리션 상태에서의 포토다이오드(PD) 전압은 피닝 전압(pinning voltage)이라고도 불리워진다.The depletion state is a threshold state between the deep depletion state and the accumulation state, and the minimum capacitance value Cd_min and the maximum capacitance value Cd_max of the diode capacitor may be switched on the basis of the depletion state. have. The photodiode (PD) voltage in this depletion state is also called a pinning voltage.

이처럼, 본 실시예의 포토다이오드(PD)는, 저선량인 제1범위에서는 다이오드 커패시터가 최소 용량값(Cd_min)을 갖고 상대적으로 고선량의 제2범위로 전환되면 최대 용량값(Cd_max)을 갖게 된다. As described above, the photodiode PD of the present embodiment has a maximum capacitance value Cd_max when the diode capacitor has a minimum capacitance value Cd_min in the first range of low dose and is converted to a second range of relatively high dose.

여기서, 다이오드 캐패시터의 최소 용량값(Cd_min)은 최대 용량값(Cd_max)에 비해 무시할 수 있을 정도로 매우 작은값이므로, 저선량의 제1범위에서 요구되는 게인인 제1기울기를 실현하는 것이 매우 어렵다.Since the minimum capacitance value Cd_min of the diode capacitor is negligibly small compared to the maximum capacitance value Cd_max, it is very difficult to realize the first slope, which is a gain required in the first range of low dose.

이에 따라, 제1범위에서 원하는 게인 즉 제1기울기를 실현하기 위해, 다이오드 캐패시터의 최소 용량값(Cd_min)에 비해 매우 큰 용량값을 갖는 커패시터(Ca)를 병렬 연결하게 된다.Accordingly, in order to realize a desired gain in the first range, that is, a first slope, the capacitor Ca having a very large capacitance value compared to the minimum capacitance value Cd_min of the diode capacitor is connected in parallel.

이처럼, X선량에 따라 용량값이 2개로 분리되도록 구성된 포토다이오드(PD)에 커패시터(Ca)를 병렬 연결함에 따라, 저선량의 제1범위에서 높은 게인인 제1기울기와 고선량의 제2범위에서 낮은 게인인 제2기울기가 실현될 수 있게 된다.As such, when the capacitor Ca is connected in parallel to the photodiode PD configured to separate two capacitance values according to the X-ray dose, the first slope, which is high gain in the first range of low dose, and the second range of high dose, The low gain second slope can be realized.

이와 관련하여, 제1범위에서는 상대적으로 작은 용량값인 (Ca + Cd_min)이 형성되어 상대적으로 큰 제1기울기가 정의될 수 있고, 제2범위에서는 상대적으로 큰 용량값인 (Ca + Cd_max)가 형성되어 상대적으로 작은 제2기울기가 정의될 수 있게 된다.In this regard, in the first range, a relatively small capacitance value (Ca + Cd_min) is formed so that a relatively large first slope can be defined, and in the second range, a relatively large capacitance value (Ca + Cd_max) is So that a relatively small second slope can be defined.

이때, 앞서 언급한 바와 같이, 최소 용량값(Cd_min)은 실질적으로 무시할 수 있을 정도로 매우 작은 값이므로, 저선량의 제1범위에서는 실질적으로 용량값이 Ca가 되고 이에 따라 큰 값의 게인이 정의된다 할 것이다.At this time, as mentioned above, since the minimum capacitance value Cd_min is a value that is so small that it is substantially negligible, the capacitance value becomes substantially Ca in the first range of the low dose, and thus a large gain is defined. will be.

전술한 바와 같이, 본 실시예에서는 PN 접합 구조의 포토다이오드에 커패시터를 병렬 연결하여, X선량에 따라 2개의 서로 다른 선형 관계로 픽셀 신호값이 증가하여 포화되는 특성을 구현할 수 있다.As described above, in this embodiment, by connecting a capacitor to a photodiode having a PN junction structure in parallel, a pixel signal value increases and saturates in two different linear relationships according to X-ray dose.

이에 따라, X선 디텍터는 넓은 다이나믹 영역과 높은 컨트라스트의 X선 영상, 특히 고조도에서 넓은 다이나믹 영역과 저조도에서 높은 콘트라스트의 X선 영상을 구현할 수 있게 된다.Accordingly, the X-ray detector can realize a wide dynamic range and high contrast X-ray image, particularly a high dynamic range at high illumination and a high contrast X-ray image at low light.

한편, 본 발명의 실시예는, 맘모그래피 장치 뿐만 아니라 이와 다른 용도의 X선 촬영 장치에도 적용될 수 있다.On the other hand, the embodiment of the present invention can be applied not only to the mammography apparatus but also to the X-ray imaging apparatus for other purposes.

전술한 본 발명의 실시예는 본 발명의 일예로서, 본 발명의 정신에 포함되는 범위 내에서 자유로운 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명은, 첨부된 특허청구범위 및 이와 등가되는 범위 내에서의 본 발명의 변형을 포함한다.Embodiment of the present invention described above is an example of the present invention, it is possible to change freely within the scope included in the spirit of the present invention. Accordingly, the invention includes modifications of the invention within the scope of the appended claims and their equivalents.

100: 본체 110: 컬럼 연결부
120: 수직 연결부 130: 제너레이터
140: X선 디텍터 150: 압박 패드
160: 지지 패널 200: 컬럼
210: 픽셀어레이 패널 220: 로우제어회로
230: 리드아웃회로
S1,S2: 제1,2기울기
P: 픽셀
PD: 포토다이오드
Ca: 커패시터
Tr: 리셋트랜지스터
Tsf: 소스팔로우트랜지스터
Tse: 선택트랜지스터
100: main body 110: column connection portion
120: vertical connection portion 130: generator
140: X-ray detector 150: pressure pad
160: support panel 200: column
210: pixel array panel 220: row control circuit
230: lead-out circuit
S1, S2: 1st, 2nd Slope
P: pixels
PD: photodiode
Ca: Capacitor
Tr: Reset Transistor
Tsf: SourceFollowersTransistors
Tse: Select transistor

Claims (11)

조사된 X선량에 따라 픽셀 신호값을 발생하는 픽셀을 포함하고,
상기 X선량과 픽셀 신호값 사이는 서로 다른 2개 이상의 선형 관계를 갖도록 구성된
X선 디텍터.
A pixel generating a pixel signal value according to the irradiated X-ray dose,
Configured to have two or more linear relationships between the X-ray dose and the pixel signal value
X-ray detector.
제 1 항에 있어서,
상기 X선량이 제1범위인 경우에, 상기 픽셀 신호값이 제1기울기의 선형 관계를 갖도록 구성되고,
상기 X선량이 제1범위 보다 큰 제2범위인 경우에, 상기 픽셀 신호값이 상기 제1기울기 보다 작은 제2기울기의 선형 관계를 갖도록 구성된
X선 디텍터.
The method of claim 1,
When the X-ray dose is in the first range, the pixel signal value is configured to have a linear relationship of the first slope,
The pixel signal value having a linear relationship of a second slope smaller than the first slope, when the X-ray amount is a second range greater than the first range
X-ray detector.
제 2 항에 있어서,
상기 픽셀은,
포토다이오드와;
상기 포토다이오드와 병렬 연결된 커패시터를 포함하는
X선 디텍터.
The method of claim 2,
The pixel,
A photodiode;
A capacitor connected in parallel with the photodiode
X-ray detector.
제 3 항에 있어서,
상기 포토다이오드는 PN 접합 다이오드로 구성되고, 상기 제1범위에서 제1용량값을 갖고 상기 제2범위에서 상기 제1용량값 보다 큰 제2용량값을 갖는
X선 디텍터.
The method of claim 3, wherein
The photodiode is composed of a PN junction diode, and has a first capacitance value in the first range and a second capacitance value greater than the first capacitance value in the second range.
X-ray detector.
제 4 항에 있어서,
상기 포토다이오드는, 상기 제1범위에서 딥 디플리션(deep depletion) 상태를 갖고, 상기 제2범위에서 어큐뮬레이션(accumulation) 상태를 갖는
X선 디텍터.
The method of claim 4, wherein
The photodiode has a deep depletion state in the first range, and has an accumulation state in the second range.
X-ray detector.
제 3 항에 있어서,
상기 픽셀은,
상기 포토다이오드의 캐소드에 연결되는 리셋트랜지스터와;
상기 포토다이오드 및 리셋트랜지스터 사이의 노드에 연결되는 소스팔로우트랜지스터와;
상기 소스팔로우트랜지스터와 신호 출력배선 사이에 연결되는 선택트랜지스터를 더 포함하는
X선 디텍터.
The method of claim 3, wherein
The pixel,
A reset transistor coupled to the cathode of the photodiode;
A source follow transistor coupled to a node between the photodiode and a reset transistor;
Further comprising a selection transistor connected between the source follow transistor and the signal output wiring
X-ray detector.
제 2 항에 있어서,
상기 제1범위 및 제2범위 사이의 제1변환 지점에서 상기 픽셀 신호값의 포화값에 대해 75%~85%의 픽셀 신호값이 발생되도록 구성된
X선 디텍터.
The method of claim 2,
A pixel signal value of 75% to 85% is generated with respect to a saturation value of the pixel signal value at a first conversion point between the first range and the second range.
X-ray detector.
제 7 항에 있어서,
상기 제1변환 지점의 X선량은 150mR~250mR인
X선 디텍터.
The method of claim 7, wherein
X-ray dose of the first conversion point is 150mR ~ 250mR
X-ray detector.
제 7 항에 있어서,
상기 제2범위 및 상기 포화값이 발생되는 X선량의 범위 사이의 제2변환 지점의 X선량은 300mR~400mR인
X선 디텍터.
The method of claim 7, wherein
The X-ray dose of the second conversion point between the second range and the range of X-ray dose at which the saturation value is generated is 300 mR to 400 mR.
X-ray detector.
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 하나의 항의 X선 디텍터와;
상기 X선 디텍터에 X선을 조사하는 제너레이터
를 포함하는 X선 촬영 장치.
An X-ray detector of any one of claims 1 to 9;
Generator for irradiating X-rays to the X-ray detector
X-ray imaging apparatus comprising a.
제 10 항 중에 있어서,
상기 X선 디텍터 상의 유방을 가압하는 압박 패드
를 포함하는 X선 촬영 장치.
The method of claim 10,
Compression pads for pressing the breast on the X-ray detector
X-ray imaging apparatus comprising a.
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