KR20200002304U - Pressure fluctuation preventing device applied to vacuum gate valve - Google Patents

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KR20200002304U KR2020190001472U KR20190001472U KR20200002304U KR 20200002304 U KR20200002304 U KR 20200002304U KR 2020190001472 U KR2020190001472 U KR 2020190001472U KR 20190001472 U KR20190001472 U KR 20190001472U KR 20200002304 U KR20200002304 U KR 20200002304U
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Abstract

본 개시내용에 따른 슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브는 유입구와 유출구가 형성되는 밸브 몸체와, 상기 유입구와 상기 유출구 사이의 유로와 수직방향으로 전·후진 이동하며 상기 유로를 개폐하는 차단판과, 상기 밸브 몸체의 내부에 위치하여 상기 차단판을 구동시키는 실린더와, 상기 밸브 몸체의 상하로 배치되는 플랜지에 구비되어 유로 및 이물질을 차단하는 더블씰 및 상기 밸브 몸체의 일측에 배치되고 상기 유입구와 유출구 사이의 기압을 맞춰주는 압력변동 충격방지장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따르면, 진공 게이트 밸브의 유입구와 유출구 간의 압력 차이를 미리 해소함으로써 차단판의 개방시 급격한 압력 변동으로 인한 충격을 방지할 수 있어 기기의 수명이 연장되고 작업의 안정성이 유지될 수 있는 효과가 있다. The vacuum gate valve of the slide type according to the present disclosure includes a valve body having an inlet and an outlet, a shut-off plate moving forward and backward in a vertical direction with a flow path between the inlet and the outlet to open and close the flow path, and the valve. A cylinder located inside the body to drive the blocking plate, a double seal provided on a flange disposed up and down of the valve body to block flow paths and foreign substances, and a double seal disposed on one side of the valve body, and between the inlet and the outlet It characterized in that it comprises a pressure fluctuation shock prevention device to match the atmospheric pressure.
According to this, the pressure difference between the inlet and outlet of the vacuum gate valve can be eliminated in advance, thereby preventing an impact caused by a sudden pressure fluctuation when the blocking plate is opened, thereby extending the life of the device and maintaining the stability of the operation. .

Description

진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치{Pressure fluctuation preventing device applied to vacuum gate valve}Pressure fluctuation preventing device applied to vacuum gate valve}

본 개시내용은 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체를 제조하는 시설에서 사용되는 진공 게이트 밸브의 개폐 작동시 급격한 압력 변동으로 인한 충격을 방지하기 위한 것이다.The present disclosure relates to a gate valve, and more particularly, to prevent an impact due to a sudden pressure fluctuation during an opening/closing operation of a vacuum gate valve used in a semiconductor manufacturing facility.

진공 게이트밸브는 반도체 제조용 공정챔버와 진공펌프 사이의 진공배관에 설치되는 것으로 진공배관이나 진공펌프 등 부대설비의 보수, 유지를 위해 진공배관 내의 유로(유체통로)를 차단하기 위해 사용되는 밸브를 말한다.The vacuum gate valve is installed in the vacuum pipe between the process chamber for semiconductor manufacturing and the vacuum pump, and refers to a valve used to block the flow path (fluid passage) in the vacuum pipe for maintenance and maintenance of auxiliary equipment such as vacuum pipe or vacuum pump. .

반도체 제조공정은 크게 노광공정, 현상공정, 증착공정 및 에칭공정으로 분류되는데, 이 중 증착공정은 많은 유해가스가 사용되므로 '가루형태의 부산물'(이하 '파우더'라 함)이 발생하게 된다. 이러한 파우더는 진공배관이나 진공게이트 내부에 축적되는데 특히, 게이트 밸브 개폐시 그 진동으로 인하여 디스크 상면에 쌓여 밸브 개방시 디스크와 함께 밸브 몸체 내부로 인입되어 진공 게이트밸브의 수명을 단축시키는 문제점을 발생시킨다.The semiconductor manufacturing process is largely classified into an exposure process, a development process, a deposition process, and an etching process. Among them, a lot of harmful gases are used in the deposition process, so a'by-product in the form of powder' (hereinafter referred to as'powder') is generated. Such powder accumulates in the vacuum pipe or the vacuum gate. In particular, it accumulates on the upper surface of the disk due to the vibration when the gate valve is opened and closed, and is introduced into the valve body together with the disk when the valve is opened, thereby reducing the life of the vacuum gate valve. .

이러한 문제점을 해결하기 위한 종래기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-0539691호에 개시된 진공 게이트밸브가 있다.As a prior art for solving this problem, there is a vacuum gate valve disclosed in Korean Patent Publication No. 10-0539691.

종래기술에 따른 진공 게이트밸브는 밸브내에 형성된 유로의 내측벽에 링을 설치함으로써 밸브가 개방된 상태에 있는 경우 유로를 통한 유체흐름은 그대로 유지한 채 진공배관 내의 파우더가 밸브 몸체 내부로 인입되는 것을 차단하게 된다.The vacuum gate valve according to the prior art prevents powder in the vacuum pipe from flowing into the valve body while maintaining the fluid flow through the flow path when the valve is in an open state by installing a ring on the inner wall of the flow path formed in the valve. Blocked.

그러나 종래기술은 밸브 개방시 디스크 상면에 쌓인 파우더가 디스크와 함께 밸브 몸체 내부로 인입되는 문제점이 있다.However, in the prior art, when the valve is opened, the powder accumulated on the upper surface of the disk is introduced into the valve body together with the disk.

특히 최초 밸브 유로가 닫힌 상태에서, 디스크의 상, 하부 사이의 유입구와 유출구 간의 압력차가 발생한 상태에서 유로를 즉각적으로 열면 디스크의 상, 하부 압력차로 인하여 진공펌프에 손상을 줄 수 있는 문제점이 있었다.In particular, when the flow path is opened immediately when the pressure difference between the inlet and outlet between the top and bottom of the disk is generated when the first valve flow path is closed, the vacuum pump may be damaged due to the pressure difference between the top and the bottom of the disk.

한국등록특허 제 10-0539691호Korean Patent Registration No. 10-0539691

개시되는 내용은 디스크 개폐시 급격한 압력 변동으로 인해 발생될 수 있는 압력변동 충격을 감소시킴으로써 진공밸브, 컨트롤러, 배관, 펌프의 손상을 방지할 수 있도록 하여 기기 수명을 연장시킬 수 있도록 하는 압력변동 충격방지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The content disclosed is to prevent damage to vacuum valves, controllers, pipes, and pumps by reducing pressure fluctuations that may occur due to sudden pressure fluctuations when opening and closing the disk, thereby prolonging the life of the device. Its purpose is to provide a device.

전술한 실시예의 목적은, 상부에 유입구가 형성되고, 하부에 유출구가 형성되며 측면이 개구되어 슬라이드 통로가 형성되고, 슬라이드 통로의 상부측에 제1유로공이 형성되고, 하부측에 제2유로공이 형성된 밸브 몸체; 유입구와 상기 유출구 사이의 유로와 수직방향으로 전·후진 이동하며 상기 유로를 개폐하는 차단판; 밸브 몸체의 내부에 위치하여 상기 차단판을 구동시키는 제 1 실린더; 밸브 몸체의 일측에 배치되고 상기 유입구의 압력 가스를 유출구로 이동하도록 우회시키는 바이패스 부재를 구비하여 유입구와 유출구의 압력 차이를 조절하여 차단판의 개방시 급격한 압력 변동을 방지하도록 하는 압력변동 충격방지장치;를 포함하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치에 의해 달성될 수 있다. The object of the above-described embodiment is that an inlet is formed in the upper part, an outlet port is formed in the lower part, and the side is opened to form a slide passage, a first passage hole is formed in the upper side of the slide passage, and a second passage hole is formed in the lower side. Formed valve body; A blocking plate moving forward and backward in a vertical direction with a flow path between the inlet and the outlet and opening and closing the flow path; A first cylinder located inside the valve body to drive the blocking plate; It is disposed on one side of the valve body and has a bypass member that bypasses the pressure gas of the inlet port to move to the outlet port, and adjusts the pressure difference between the inlet port and the outlet port to prevent sudden pressure fluctuations when the blocking plate is opened. It can be achieved by a pressure fluctuation shock prevention device applied to the vacuum gate valve including;

상기 압력변동 충격방지장치는, 밸브 몸체에 결합되는 플랜지가 형성되고 내부에는 차단판이 삽입되는 슬릿홈이 형성되며, 상기 플랜지의 상부에는 밸브 몸체의 제1유로공과 통하는 제1바이패스공이 슬릿홈의 상부에 형성되고, 하부에는 제2유로공과 통하는 제2바이패스공이 형성된 본체; 본체에 형성되고, 상면에 제 3 관통홀이 형성되고, 내부에 가스가 이동하도록 실린더챔버가 형성되며, 상기 실린더챔버와 통하도록 상면에 형성된 제1,2통공이 형성된 바디; 바디의 제1,2통공에 각기 연결되며 공압이 주입되는 제1,2피팅구; 바디의 내부 실린더챔버에 삽입되어 제1,2피팅구로부터 유입되는 공압에 의해 개폐 작동하는 제 2 실린더; 제3관통홀에 통하며, 밸브 몸체의 유입구에 통하도록 형성된 제1유로공과 연결되어 가스가 이동하는 제1바이패스관; 바디의 실린더챔버와 통하도록 연결되며 본체의 플랜지에 연결되어 플랜지의 내부 유로와 통하는 제2바이패스관;을 포함하는 것을 특징으로 한다. In the pressure fluctuation shock prevention device, a flange coupled to the valve body is formed, and a slit groove into which a blocking plate is inserted is formed in the flange, and a first bypass hole communicating with the first flow path hole of the valve body is formed at an upper portion of the flange. A body formed on the upper side and having a second bypass hole communicating with the second passage hole; A body formed in the body, a third through hole is formed on an upper surface, a cylinder chamber is formed to move gas therein, and first and second through holes formed on the upper surface to communicate with the cylinder chamber are formed; First and second fittings respectively connected to the first and second through holes of the body and into which pneumatic pressure is injected; A second cylinder inserted into the inner cylinder chamber of the body and opened and closed by pneumatic pressure introduced from the first and second fittings; A first bypass pipe through which the gas moves through the third through hole and connected to the first passage hole formed to pass through the inlet of the valve body; And a second bypass pipe connected to communicate with the cylinder chamber of the body and connected to the flange of the body to communicate with the inner flow path of the flange.

상기 바디의 상부에 결합되며 조절판과, 상기 조절판을 관통하여 제 3 관통홀에 삽입되며 제1바이패스관과 통하는 제4관통홀이 형성된 결합부로 구성된 가스유량조절부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. And a gas flow rate control unit coupled to an upper portion of the body and comprising a control plate, and a coupling portion having a fourth through hole through the control plate and inserted into a third through-hole and communicating with the first bypass pipe. .

상기 조절판에 요홈이 형성되고, 요홈의 저면에 눈금을 갖는 표시부가 형성되며, 결합부의 상부에 결합되며 상기 조절판의 눈금을 지시하는 조절핀;을 포함하는 것을 특징으로 한다. It characterized in that it comprises a; a groove is formed in the adjustment plate, a display portion having a scale is formed on the bottom of the groove, the adjustment pin is coupled to the upper portion of the coupling portion to indicate the scale of the adjustment plate.

실시예에 따르면, 진공 게이트 밸브의 유입구와 유출구 간의 압력 차이를 미리 해소함으로써 차단판의 개방시 급격한 압력 변동으로 인한 충격을 방지할 수 있어 기기의 수명이 연장되고 작업의 안정성이 유지될 수 있는 효과가 있다. According to the embodiment, the pressure difference between the inlet and the outlet of the vacuum gate valve can be eliminated in advance, thereby preventing shock due to sudden pressure fluctuations when the blocking plate is opened, thereby extending the life of the device and maintaining the stability of the operation. There is.

도 1은 실시예에 따른 슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브의 전체적인 사시도
도 2는 실시예에 따른 게이트 밸브의 단면도이며, 차단판이 개방된 상태를 나타낸 단면도,
도 3은 압력변동 충격방지장치의 분해사시도,
도 4는 밸브 몸체와 압력변동 충격방지장치를 분리한 분해 단면도,
도 5는 밸브 몸체와 압력변동 충격방지장치를 분리하여 다른 방향에서 본 분해사시도,
도 6은 압력변동 충격방지장치의 폐쇄 작동을 나타낸 단면도,
도 7은 압력변동 충격방지장치의 개방 작동을 나타낸 단면도.1 is an overall perspective view of a slide type vacuum gate valve according to an embodiment
2 is a cross-sectional view of a gate valve according to the embodiment, and a cross-sectional view showing a state in which a blocking plate is opened;
3 is an exploded perspective view of a pressure fluctuation shock prevention device
4 is an exploded cross-sectional view of a valve body and a pressure fluctuation shock prevention device separated;
5 is an exploded perspective view viewed from a different direction by separating the valve body and the pressure fluctuation shock prevention device,
6 is a cross-sectional view showing the closing operation of the pressure fluctuation shock prevention device,
7 is a cross-sectional view showing the opening operation of the pressure fluctuation shock prevention device.

본 개시내용의 실시예들은 본 개시내용의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이며, 본 개시내용에 따른 권리 범위가 이하에서 개시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.The embodiments of the present disclosure are illustrated for the purpose of describing the technical idea of the present disclosure, and the scope of the rights according to the present disclosure is limited to the embodiments disclosed below or specific descriptions of these embodiments. no.

본 개시내용에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시내용이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 가진다. 본 개시내용에 사용되는 모든 용어들은 본 개시내용을 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며, 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.All technical terms and scientific terms used in the present disclosure, unless otherwise defined, have meanings generally understood by those of ordinary skill in the art to which the present disclosure belongs. All terms used in the present disclosure are selected for the purpose of more clearly explaining the present disclosure, and are not selected to limit the scope of the rights according to the present disclosure.

본 개시내용에서 사용되는 "포함하는", "구성되는", "형성되는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(Open-ended terms)로 이해되어야 한다.Expressions such as "comprising", "consisting of", "formed", "having" and the like used in the present disclosure include other embodiments, unless otherwise stated in the phrase or sentence in which the expression is included. It should be understood as open-ended terms that imply possibilities.

본 개시내용에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.Expressions such as "first" and "second" used in the present disclosure are used to distinguish a plurality of components from each other, and do not limit the order or importance of the components.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여, 본 개시내용의 바람직한 실시예에 따른 슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브의 구성, 동작, 및 작용효과에 대해 살펴본다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응되는 구성요소는 편의상 생략되거나 개략적으로 도시될 수 있다. 그러나 구성요소에 관한 기술이 생략되어도 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, looks at the configuration, operation, and effects of the slide type vacuum gate valve according to a preferred embodiment of the present disclosure. In the accompanying drawings, the same or corresponding components may be omitted or schematically illustrated for convenience. However, even if description of a component is omitted, it is not intended that the component is not included in any embodiment.

첨부된 도면 중에서, 도 1은 실시예에 따른 슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브의 전체적인 사시도, 도 2는 실시예에 따른 게이트 밸브의 단면도이며, 차단판이 개방된 상태를 나타낸 단면도, 도 3은 압력변동 충격방지장치의 분해사시도, 도 4는 밸브 몸체와 압력변동 충격방지장치를 분리한 분해 단면도, 도 5는 밸브 몸체와 압력변동 충격방지장치를 분리하여 다른 방향에서 본 분해사시도, 도 6은 압력변동 충격방지장치의 폐쇄 작동을 나타낸 단면도, 도 7은 압력변동 충격방지장치의 개방 작동을 나타낸 단면도이다.In the accompanying drawings, FIG. 1 is an overall perspective view of a vacuum gate valve of a slide type according to an embodiment, FIG. 2 is a cross-sectional view of a gate valve according to the embodiment, a cross-sectional view showing an open state of a blocking plate, and FIG. 3 is a pressure fluctuation shock An exploded perspective view of the prevention device, FIG. 4 is an exploded cross-sectional view of the valve body and the pressure fluctuation shock prevention device separated, FIG. 5 is an exploded perspective view of the valve body and the pressure fluctuation shock prevention device separated from the other direction, and FIG. 6 is a pressure fluctuation shock A cross-sectional view showing the closing operation of the prevention device, Figure 7 is a cross-sectional view showing the opening operation of the pressure fluctuation shock prevention device.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 게이트 밸브(100)는 반도체를 제조하는 시설에서 사용되는 장치로서, 유입구(20)와 유출구(30)가 형성되는 밸브 몸체(10)와, 유입구(20)와 유출구(30) 사이의 유로와 수직방향으로 전·후진 이동하며 상기 유로를 개폐하는 차단판(40)과, 밸브 몸체(10)의 내부에 위치하여 상기 차단판을 구동시키는 제 1 실린더(50)와, 밸브 몸체(10)의 상하로 배치되는 플랜지(60)에 구비되어 유로 및 이물질을 차단하는 더블씰(70)을 포함한다. 1 and 2, the gate valve 100 is a device used in a semiconductor manufacturing facility, a valve body 10 in which an inlet 20 and an outlet 30 are formed, and an inlet 20 ) And the flow path between the outlet 30 and the flow path forward and backward, and a blocking plate 40 for opening and closing the flow path, and a first cylinder located inside the valve body 10 to drive the blocking plate ( 50), and a double seal 70 provided on the flange 60 disposed in the upper and lower sides of the valve body 10 to block the flow path and foreign substances.

또한 실시예의 주된 구성은, 밸브 몸체(10)의 일측에 배치되고 유입구(20)와 유출구(30) 사이의 기압을 맞춰주는 압력변동 충격방지장치(A);를 포함한다.In addition, the main configuration of the embodiment includes; a pressure fluctuation shock prevention device (A) disposed on one side of the valve body 10 and matching the atmospheric pressure between the inlet 20 and the outlet 30.

도 1에 도시된 바와 같이, 밸브 몸체(10)는 반도체 제조 반응기와 연결된 유입구(20)와, 배기펌프와 연결된 유출구(30)가 각기 형성된다. As shown in FIG. 1, the valve body 10 has an inlet 20 connected to a semiconductor manufacturing reactor and an outlet 30 connected to an exhaust pump, respectively.

유입구(20)와 유출구(30)는 밸브 몸체(10)의 다양한 위치에 설치될 수 있지만 차단판(40)의 이동을 원활하게 하기 위해 밸브 몸체(10)의 상부와 하부에 대칭적으로 설치하는 것이 바람직하다.The inlet 20 and the outlet 30 may be installed in various positions of the valve body 10, but are symmetrically installed on the upper and lower portions of the valve body 10 to facilitate the movement of the blocking plate 40. It is desirable.

한편, 유입구(20)와 유출구(30) 사이에는 밸브 몸체(10)의 상, 하부를 관통하는 통로가 형성되어 가스가 통과하게 된다. Meanwhile, a passage through the upper and lower portions of the valve body 10 is formed between the inlet 20 and the outlet 30 so that gas passes.

통로의 수직방향으로는 차단판(40)이 제 1 실린더(50)에 의해 전, 후진 직선 이동하며 통로를 개폐하게 된다.In the vertical direction of the passage, the blocking plate 40 moves forward and backward linearly by the first cylinder 50 to open and close the passage.

제 1 실린더(50)는 밸브 몸체(10) 내부에 위치하여 차단판(40)을 구동하는 부분으로 공압 내지 유압에 의해 전, 후진이 가능하도록 피스톤이 밸브 몸체(10)의 외부 일측에 장착된다.The first cylinder 50 is located inside the valve body 10 to drive the blocking plate 40, and a piston is mounted on the outer side of the valve body 10 to enable forward and backward movement by pneumatic or hydraulic pressure. .

밸브 몸체(10)의 내부에는 차단판의 상,하면에 접촉하는 더블씰(70)이 구비된다.The inside of the valve body 10 is provided with a double seal 70 in contact with the upper and lower surfaces of the blocking plate.

더블씰은 차단판(40)이 전, 후진하여 마찰력 등을 받을 경우 내측으로 휘어지거나, 원래의 위치로 복원될 수 있다.The double seal may be bent inward or restored to its original position when the blocking plate 40 is moved forward or backward to receive frictional force or the like.

이를 위해 유연한 재질, 예를 들어 NBR 고무(acrylonitrile-butadiene rubber), 실리콘(Silicon), 불소고무(FKM), 퍼블루오로카본 고무(FFKM), 테프론(teflon) 등으로 이루어짐이 바람직하다. 또한 도시되지는 않았으나 스테인레스 주름관으로 구성될 수 있다.For this purpose, it is desirable to be made of a flexible material, for example, acrylonitrile-butadiene rubber, silicon, fluorine rubber (FKM), perblue aurocarbon rubber (FFKM), Teflon, and the like. Also, although not shown, it may be composed of a stainless corrugated pipe.

밸브 유로를 여는 동작을 할 때, 압력변동 충격방지장치(A)를 열어 밸브의 유입구(20)와 유출구(30)의 압력을 어느 정도 비슷한 정도로 맞추는 작업을 한다. When the valve flow path is opened, the pressure fluctuation shock prevention device (A) is opened to adjust the pressure of the inlet port 20 and the outlet port 30 of the valve to a somewhat similar degree.

유입구(20)와 유출구(30) 간의 압력 차가 크게 되면 압력변동 충격방지장치(A) 개방시 강력한 난기류가 밸브 몸체(10) 상 하부에 형성되어 난기류에 의해 밸브 상부에 쌓여있던 가루형태의 부산물들이 차단판(40) 위로 떨어지게 된다.When the pressure difference between the inlet (20) and the outlet (30) increases, a strong turbulent flow is formed in the upper and lower portions of the valve body (10) when the pressure fluctuation shock prevention device (A) is opened. It falls over the blocking plate 40.

이때, 상기 언급한 바와 같이 더블씰(70)은 차단판(40)이 개폐작동하는 과정에서 위에 쌓인 부산물이 밸브 몸체 내에 유입되지 않도록 차단하게 된다. At this time, as mentioned above, the double seal 70 blocks the by-products accumulated thereon from entering the valve body during the opening and closing operation of the blocking plate 40.

압력변동 충격방지장치(A)는 밸브 몸체(10)의 일측에 배치되고 유입구(20)와 유출구(30) 사이의 기압을 맞춰주게 된다. The pressure fluctuation shock prevention device (A) is disposed on one side of the valve body 10 and adjusts the atmospheric pressure between the inlet 20 and the outlet 30.

차단판(40)이 밸브 통로를 닫는 동작을 할 때 밸브 몸체(10)의 동작속도에 따른 진동발생으로 인하여 밸브 상부 진공배관에 쌓여있던 가루형태의 부산물들이 차단판(40) 위로 쌓이게 된다. When the shut-off plate 40 closes the valve passage, due to the generation of vibration according to the operating speed of the valve body 10, powdery by-products accumulated in the vacuum pipe above the valve are accumulated on the shut-off plate 40.

이후 다시 밸브 통로를 여는 동작을 할 때, 차단판(40)과 더블씰(70) 사이의 간격에 비례하여 부산물이 밸브 몸체(10) 내부로 인입될 수 있다Then, when the valve passage is opened again, by-products may be introduced into the valve body 10 in proportion to the distance between the blocking plate 40 and the double seal 70.

압력변동 충격방지장치(A)는 밸브 유로 개방 전 차단판(40) 상, 하부의 압력차를 조절하기 위해 밸브 몸체(10)의 일측에 배치된다. The pressure fluctuation shock prevention device (A) is disposed on one side of the valve body 10 to adjust the pressure difference between the upper and lower portions of the blocking plate 40 before opening the valve flow path.

일반적으로 진공으로 된 게이트 밸브(100)를 열기 전 차단판(40) 상부의 유입구(20) 측은 대기압인 760 torr이고, 차단판(40) 하부의 유출구(30) 측은 진공상태에 있다. In general, before opening the gate valve 100 with a vacuum, the inlet 20 side of the upper part of the blocking plate 40 is 760 torr, which is the atmospheric pressure, and the outlet 30 side of the lower part of the blocking plate 40 is in a vacuum state.

따라서 이 상태에서 게이트 밸브(100)를 열게 되면 차단판(40) 상, 하부 압력 차이로 인하여 진공 펌프 등에 손상을 가져올 수 있다.Therefore, if the gate valve 100 is opened in this state, damage to the vacuum pump may be caused due to a difference in pressure above and below the blocking plate 40.

따라서, 압력변동 충격방지장치(A)는 상기와 같은 문제점을 방지하기 위해 유입구(20)와 유출구(30) 사이의 기압을 맞춰주는 기능을 하게 된다. Therefore, the pressure fluctuation shock prevention device (A) functions to match the air pressure between the inlet 20 and the outlet 30 in order to prevent the above problems.

압력변동 충격방지장치(A)는 밸브 몸체(10)에 결합되는 본체(100), 본체(100)에 형성된 바디(200), 상기 바디(200)에 공압을 선택적으로 주입하는 제1,2피팅구(210)(220), 상기 바디(200)의 내부에서 작동하는 제 2 실린더(250), 상기 밸브 몸체(10)와 바디(200)에 연결되는 제1,2바이패스관(270)(280)을 포함한다.Pressure fluctuation shock prevention device (A) is the body 100 coupled to the valve body 10, the body 200 formed in the body 100, the first and second fittings selectively injecting pneumatic pressure into the body 200 The spheres 210 and 220, the second cylinder 250 operating inside the body 200, the valve body 10 and the first and second bypass pipes 270 connected to the body 200 ( 280).

본체(100)는 밸브 몸체(10)에 결합되는 플랜지(180)가 형성되고 내부에는 차단판(40)이 삽입되는 슬릿홈(190)이 형성되며, 상기 플랜지(180)의 상부에는 밸브 몸체(10)의 제1유로공(11)과 통하는 제1바이패스공(170)이 슬릿홈(190)의 상부에 형성되고, 하부에는 제2유로공(12)과 통하는 제2바이패스공(160)이 형성된다. The main body 100 has a flange 180 coupled to the valve body 10 and a slit groove 190 into which the blocking plate 40 is inserted, and a valve body ( A first bypass hole 170 communicating with the first passage hole 11 of 10) is formed in the upper portion of the slit groove 190, and a second bypass hole 160 communicating with the second passage hole 12 in the lower portion. ) Is formed.

바디(200)는 본체(100)에 형성되고, 상면에 제 3 관통홀(103)이 형성되고, 내부에 가스가 이동하도록 실린더챔버(290)가 형성되며, 상기 실린더챔버(290)와 통하도록 제1,2통공(117)(118)이 형성된다. The body 200 is formed in the body 100, a third through hole 103 is formed on the upper surface, and a cylinder chamber 290 is formed to move gas therein, and to communicate with the cylinder chamber 290. First and second through holes 117 and 118 are formed.

제1,2피팅구(210)(220)는 상기 바디(200)의 제1,2통공(117)(118)에 각기 연결되며 공압이 선택적으로 주입될 수 있다. The first and second fittings 210 and 220 are respectively connected to the first and second through-holes 117 and 118 of the body 200, and pneumatic pressure may be selectively injected.

제 2 실린더(250)는 상기 바디(200)의 내부 실린더챔버(290)에 삽입되어 제1,2피팅구(210)(220)로부터 유입되는 공압에 의해 개폐 작동한다. The second cylinder 250 is inserted into the inner cylinder chamber 290 of the body 200 and is opened and closed by pneumatic pressure introduced from the first and second fittings 210 and 220.

제1바이패스관(270)은 상기 제3관통홀(103)에 통하며, 밸브 몸체(10)의 유입구(20)에 통하도록 형성된 제1유로공(11)과 연결되어 가스가 이동하게 된다. The first bypass pipe 270 passes through the third through hole 103 and is connected to the first passage hole 11 formed to pass through the inlet 20 of the valve body 10 to move the gas. .

제2바이패스관(280)은 상기 바디(200)의 실린더챔버(290)와 통하도록 연결되며 본체(100)의 플랜지(180)에 연결되어 플랜지(180)의 내부 유로(183)와 통한다. The second bypass pipe 280 is connected to communicate with the cylinder chamber 290 of the body 200 and is connected to the flange 180 of the body 100 to communicate with the inner flow path 183 of the flange 180.

도 7을 참조하면, 제1피팅구(210)에 공압이 주입되면 제2실린더(250)가 좌측으로 이동하게 되어 실린더챔버(290)의 제1격실(291)이 개방상태가 된다. Referring to FIG. 7, when pneumatic pressure is injected into the first fitting 210, the second cylinder 250 moves to the left, so that the first compartment 291 of the cylinder chamber 290 is opened.

도 6을 참조하면, 제2피팅구(220)로 공압이 주입되면 제2실린더(250)가 우측으로 이동하게 되어 실린더챔버(290)의 제1격실(291)이 폐쇄상태가 된다. Referring to FIG. 6, when pneumatic pressure is injected into the second fitting unit 220, the second cylinder 250 moves to the right, so that the first compartment 291 of the cylinder chamber 290 is closed.

상기 바디(200)의 상부에 결합되며 조절판(410)과, 상기 조절판(410)을 관통하여 제 3 관통홀(103)에 삽입되며 제1바이패스관(270)과 통하는 제4관통홀(422)이 형성된 결합부(420)로 구성된 가스유량조절부(400);를 포함한다. A fourth through hole 422 coupled to the upper portion of the body 200 and passing through the control plate 410 and the control plate 410 and inserted into the third through hole 103 and communicating with the first bypass pipe 270. Includes;) gas flow rate control unit 400 consisting of a coupling portion 420 is formed.

상기 조절판(410)에 요홈(412)이 형성되고, 요홈(412)의 저면에 눈금을 갖는 표시부(413)가 형성되며, 결합부(420)의 상부에 결합되며 상기 조절판(410)의 눈금을 지시하는 조절핀(414);을 포함한다(도 3 참조). A groove 412 is formed in the adjustment plate 410, a display portion 413 having a scale is formed on the bottom surface of the groove 412, and is coupled to the upper portion of the coupling portion 420 to adjust the scale of the adjustment plate 410 Indicating control pin 414; includes (see Fig. 3).

조절핀(414)을 회전시켜서 표시부(413)의 원하는 눈금을 지시하도록 하면, 결합부(420)가 조절핀(414)에 동반하여 회전되므로 제4관통홀(422)이 제1바이패스관(270)과 통하는 단면적의 크기를 조절할 수 있게 됨으로써 제1바이패스관(270)으로부터의 가스 유입량을 조절할 수 있게 된다. When the adjustment pin 414 is rotated to indicate the desired scale of the display unit 413, the coupling unit 420 is rotated along with the adjustment pin 414, so that the fourth through hole 422 becomes the first bypass pipe ( Since the size of the cross-sectional area communicating with the 270 can be adjusted, the amount of gas inflow from the first bypass pipe 270 can be adjusted.

상기 바디(200)의 실린더챔버(290)는 제3관통홀(103)에 통하는 제1통공(117)이 일측에 형성되고, 내주면 양측에는 제2바이패스관(280)과 통하는 제2통공(118)이 형성된다. The cylinder chamber 290 of the body 200 has a first through hole 117 through the third through hole 103 formed on one side, and a second through hole through the second bypass pipe 280 on both sides of the inner circumferential surface ( 118) is formed.

상기 실린더챔버(290)는 상기 제1통공(117)과 제2통공(118)이 형성된 제1격실(291)과, 제2피팅구(220)와 통하는 제1통로(292)에 형성된 제2격실(293)과, 제1격실(291)과 제2격실(293)에 통하며 제1,2격실(291)(293)보다 작은 직경으로 형성되는 로드홀(294)이 형성되고, 상기 로드홀(294)에 통하며 제1피팅구(210)와 통하도록 하는 제2통로(295)가 형성되어 이루어진다. The cylinder chamber 290 includes a first compartment 291 in which the first through hole 117 and the second through hole 118 are formed, and a second passage 292 communicating with the second fitting hole 220. Compartment 293 and a rod hole 294 communicating with the first and second compartments 293 and having a diameter smaller than that of the first and second compartments 291 and 293 is formed, and the rod A second passage 295 through the hole 294 and through the first fitting 210 is formed.

상기 제2실린더(250)는 제1격실(291)에 결합되는 제1실린더 디스크(251)와, 제2격실(293)에 결합되는 제2실린더 디스크(252) 및 제1실린더 디스크(251)와 제2실린더 디스크(252)를 연결하며 로드홀(294)에 결합되는 실린더로드(255)를 포함하여 이루어진다. The second cylinder 250 includes a first cylinder disk 251 coupled to the first compartment 291, a second cylinder disk 252 and a first cylinder disk 251 coupled to the second compartment 293 And a cylinder rod 255 that connects the second cylinder disk 252 and is coupled to the rod hole 294.

상기 플랜지(180)는 제2바이패스관(280)과 통하는 유로(183)가 내부에 형성되고, 유로(183)에 통하는 제2바이패스공(160)이 슬릿홈(190)의 하부 외면에 통하도록 형성된다. The flange 180 has a flow path 183 communicating with the second bypass pipe 280 formed therein, and a second bypass hole 160 passing through the flow path 183 is formed on the lower outer surface of the slit groove 190. It is formed to communicate.

이하, 도 6 및 도 7에 따라 본 개시내용에 따른 게이트 밸브가 열리는 과정에 대해 살펴본다.Hereinafter, a process of opening the gate valve according to the present disclosure will be described in accordance with FIGS. 6 and 7.

최초 밸브 유로가 닫힌 상태에서, 상술한 바와 같이 차단판(40)의 상, 하부 사이의 유입구(20)와 유출구(30) 간의 압력차가 발생하고, 이 때 통로를 즉각적으로 열면 차단판(40) 상, 하부 압력차로 인하여 진공펌프에 손상을 줄 수 있다. When the first valve flow path is closed, as described above, a pressure difference between the inlet 20 and the outlet 30 between the upper and lower portions of the blocking plate 40 occurs, and when the passage is immediately opened, the blocking plate 40 The vacuum pump may be damaged due to the upper and lower pressure difference.

따라서, 도 7에 도시된 바와 같이, 압력변동 충격방지장치(A)를 개방하여 제1,2바이패스 관(270,280)를 통하여 차단판(40) 상, 하부 압력을 조절한다. Accordingly, as shown in FIG. 7, the pressure fluctuation shock prevention device A is opened to adjust the upper and lower pressures of the blocking plate 40 through the first and second bypass pipes 270 and 280.

제1피팅구를 통해 공압이 유입되면 제2실린더가 도 7과 같이 좌측으로 이동하게 되고, 제1실린더 디스크가 이동하므로 제2통공이 개방된다.When pneumatic pressure is introduced through the first fitting, the second cylinder moves to the left as shown in FIG. 7, and the first cylinder disk moves to open the second through hole.

아울러 제2실린더 디스크가 이동하여 제1통로를 막는다. In addition, the second cylinder disk moves to block the first passage.

이후 제1바이패스 관으로 차단판의 상부측 가스가 유입되고, 제1통공을 경유하여 실린더챔버로 유입된 후 제2통공을 통해 이동하여 제2바이패스 관을 통해 플랜지의 유로를 경유하여 제2바이패스공을 배출된다.After that, the gas on the upper side of the blocking plate flows into the first bypass pipe, flows into the cylinder chamber through the first through hole, moves through the second through hole, and passes through the flow path of the flange through the second bypass pipe. 2 The bypass hole is discharged.

제2바이패스공을 통해 밸브 몸체의 제2유로공으로 유입된 가스는 차단판의 하부측 통로로 공급됨으로써 차단판의 상,하부 가스압이 균일하게 조절될 수 있다. The gas flowing into the second flow path hole of the valve body through the second bypass hole is supplied to the lower passage of the blocking plate, so that the upper and lower gas pressures of the blocking plate can be uniformly adjusted.

비록 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 고안의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.Although it has been described in connection with the preferred embodiment, it will be easily recognized by those skilled in the art that various modifications and variations are possible without departing from the gist and scope of the design, and all such changes and modifications fall within the scope of the appended claims. Is self-explanatory.

100 : 게이트 밸브 10 : 밸브 몸체
20 : 유입구 30 : 유출구
40 : 차단판 50 : 제 1 실린더
103 : 제 3 관통홀 117 : 제1통공
118 : 제2통공 180 : 플랜지
200 : 바디 210 : 제1피팅구
220 : 제2피팅구 250 : 제 2 실린더
270 : 제1바이패스관 280 : 제2바이패스관
190 ; 슬릿홈 290 : 실린더챔버
400 : 가스유량조절부 410 : 조절판
420 : 결합부 413 : 표시부
414 : 조절핀 100: gate valve 10: valve body
20: inlet 30: outlet
40: blocking plate 50: first cylinder
103: third through hole 117: first through hole
118: second through hole 180: flange
200: body 210: first fitting
220: second fitting 250: second cylinder
270: first bypass pipe 280: second bypass pipe
190; Slit groove 290: cylinder chamber
400: gas flow control unit 410: control plate
420: coupling portion 413: display portion
414: control pin

Claims (8)

상부에 유입구가 형성되고, 하부에 유출구가 형성되며 측면이 개구되어 슬라이드 통로가 형성되고, 슬라이드 통로의 상부측에 제1유로공이 형성되고, 하부측에 제2유로공이 형성된 밸브 몸체;
상기 유입구와 상기 유출구 사이의 유로와 수직방향으로 전·후진 이동하며 상기 유로를 개폐하는 차단판;
상기 밸브 몸체의 내부에 위치하여 상기 차단판을 구동시키는 제 1 실린더;
상기 밸브 몸체의 일측에 배치되고 상기 유입구의 압력 가스를 유출구로 이동하도록 우회시키는 바이패스 부재를 구비하여 유입구와 유출구의 압력 차이를 조절하여 차단판의 개방시 급격한 압력 변동을 방지하도록 하는 압력변동 충격방지장치;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치. A valve body having an inlet at an upper portion, an outlet at a lower portion, an open side surface to form a slide passage, a first passage hole formed at an upper side of the slide passage, and a second passage hole formed at a lower side;
A blocking plate moving forward and backward in a vertical direction with a flow path between the inlet and the outlet and opening and closing the flow path;
A first cylinder located inside the valve body to drive the blocking plate;
A pressure fluctuation impact that is disposed on one side of the valve body and has a bypass member that bypasses the pressure gas of the inlet port to move to the outlet port to control the pressure difference between the inlet port and the outlet port to prevent sudden pressure fluctuations when the blocking plate is opened. Prevention device;
Pressure fluctuation shock prevention device applied to the vacuum gate valve comprising a. 제 1항에 있어서,
상기 압력변동 충격방지장치는,
상기 밸브 몸체에 결합되는 플랜지가 형성되고 내부에는 차단판이 삽입되는 슬릿홈이 형성되며, 상기 플랜지의 상부에는 밸브 몸체의 제1유로공과 통하는 제1바이패스공이 슬릿홈의 상부에 형성되고, 하부에는 제2유로공과 통하는 제2바이패스공이 형성된 본체;
상기 본체에 형성되고, 상면에 제 3 관통홀이 형성되고, 내부에 가스가 이동하도록 실린더챔버가 형성되며, 상기 실린더챔버와 통하도록 상면에 형성된 제1,2통공이 형성된 바디;
상기 바디의 제1,2통공에 각기 연결되며 공압이 주입되는 제1,2피팅구;
상기 바디의 내부 실린더챔버에 삽입되어 제1,2피팅구로부터 유입되는 공압에 의해 개폐 작동하는 제 2 실린더;
상기 제3관통홀에 통하며, 밸브 몸체의 유입구에 통하도록 형성된 제1유로공과 연결되어 가스가 이동하는 제1바이패스관;
상기 바디의 실린더챔버와 통하도록 연결되며 본체의 플랜지에 연결되어 플랜지의 내부 유로와 통하는 제2바이패스관;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치. The method of claim 1,
The pressure fluctuation shock prevention device,
A flange coupled to the valve body is formed, and a slit groove into which a blocking plate is inserted is formed in the flange, and a first bypass hole communicating with the first passage hole of the valve body is formed in the upper portion of the slit groove, and in the lower portion of the flange. A body having a second bypass hole communicating with the second passage hole;
A body formed in the main body, a third through hole formed on an upper surface thereof, a cylinder chamber formed to move gas therein, and first and second through holes formed on the upper surface to communicate with the cylinder chamber;
First and second fittings respectively connected to the first and second through holes of the body and into which pneumatic pressure is injected;
A second cylinder inserted into the inner cylinder chamber of the body and opened and closed by pneumatic pressure introduced from the first and second fittings;
A first bypass pipe through which the gas moves through the third through hole and connected to the first passage hole formed to pass through the inlet of the valve body;
A second bypass pipe connected to communicate with the cylinder chamber of the body and connected to the flange of the body to communicate with the inner flow path of the flange;
Pressure fluctuation shock prevention device applied to the vacuum gate valve comprising a. 제 2항에 있어서,
상기 바디의 상부에 결합되며 조절판과, 상기 조절판을 관통하여 제 3 관통홀에 삽입되며 제1바이패스관과 통하는 제4관통홀이 형성된 결합부로 구성된 가스유량조절부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치. The method of claim 2,
A gas flow rate control unit coupled to an upper portion of the body, comprising a control plate, and a coupling portion having a fourth through hole passing through the control plate and inserted into a third through hole, and having a fourth through hole communicating with the first bypass pipe;
Pressure fluctuation shock prevention device applied to the vacuum gate valve comprising a. 제 1항에 있어서,
상기 조절판에 요홈이 형성되고, 요홈의 저면에 눈금을 갖는 표시부가 형성되며,
상기 결합부의 상부에 결합되며 상기 조절판의 눈금을 지시하는 조절핀;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치. The method of claim 1,
A groove is formed in the control plate, and a display portion having a scale is formed on the bottom of the groove,
A control pin coupled to an upper portion of the coupling part and indicating a scale of the control plate;
Pressure fluctuation shock prevention device applied to the vacuum gate valve comprising a. 제 1항에 있어서,
상기 바디의 실린더챔버는 제3관통홀에 통하는 제1통공이 일측에 형성되고, 내주면 양측에는 제2바이패스관과 통하는 제2통공이 형성된 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치. The method of claim 1,
In the cylinder chamber of the body, a first through hole through the third through hole is formed on one side, and a second through hole through the second bypass pipe is formed on both sides of the inner circumferential surface to prevent pressure fluctuations and impacts applied to the vacuum gate valve. Device. 제 5항에 있어서,
상기 실린더챔버는
상기 제1통공과 제2통공이 형성된 제1격실과, 제2피팅구와 통하는 제1통로에 형성된 제2격실과, 제1격실과 제2격실에 통하며 제1,2격실보다 작은 직경으로 형성되는 로드홀이 형성되고, 상기 로드홀에 통하며 제1피팅구와 통하도록 하는 제2통로가 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치. The method of claim 5,
The cylinder chamber is
The first compartment having the first through hole and the second through hole, the second compartment formed in the first passage through the second fitting hole, and the second compartment through the first and second compartments and formed with a diameter smaller than that of the first and second compartments A pressure fluctuation shock prevention device applied to a vacuum gate valve, characterized in that the rod hole is formed, and a second passage is formed to pass through the load hole and to communicate with the first fitting. 제 6항에 있어서,
상기 제2실린더는
제1격실에 결합되는 제1실린더 디스크와, 제2격실에 결합되는 제2실린더 디스크 및 제1실린더 디스크와 제2실린더 디스크를 연결하며 로드홀에 결합되는 실린더로드를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치. The method of claim 6,
The second cylinder
Characterized in that it comprises a first cylinder disk coupled to the first compartment, a second cylinder disk coupled to the second compartment, and a cylinder rod coupled to the rod hole and connecting the first cylinder disk and the second cylinder disk. Pressure fluctuation shock prevention device applied to vacuum gate valve. 제 1항에 있어서,
상기 플랜지는
제2바이패스관과 통하는 유로가 내부에 형성되고, 유로에 통하는 제2바이패스공이 슬릿홈의 하부 외면에 통하도록 형성된 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 압력변동 충격방지장치.



The method of claim 1,
The flange
A pressure fluctuation shock prevention device applied to a vacuum gate valve, characterized in that a flow path communicating with the second bypass pipe is formed therein, and a second bypass hole passing through the flow path is formed to pass through the lower outer surface of the slit groove.
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