KR20200001823U

KR20200001823U - Diaphragm pump

Info

Publication number: KR20200001823U
Application number: KR2020207000041U
Authority: KR
Inventors: 노리미츠 하마오; 고이치 하야카와
Original assignee: 가부시키가이샤 아이비에스
Priority date: 2017-12-28
Filing date: 2018-10-10
Publication date: 2020-08-18
Also published as: CN212898872U; JP2019120128A; TWI707087B; KR200494963Y1; JP6941366B2; WO2019130714A1; TW201930724A

Abstract

다이어프램의 열화를 방지함과 함께, 펌프의 압축비를 크게 할 수 있으며, 나아가서는 장수명이며 고성능의 다이어프램 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다. 펌프 헤드(1)와, 펌프 헤드(1) 내부의 다이어프램(2)과, 다이어프램(2)에 접속된 구동 기구(3)와, 펌프 헤드(1) 내부의 다이어프램(2)에 의해 구획된 펌프실(4)을 구비하는 다이어프램 펌프이다. 다이어프램(2)은, 외주부(2b)에 있어서 두께 방향으로 돌출되는 산형부(21)가 형성되고, 주위 단부(2c)가 펌프 헤드(1)에 고정됨과 함께, 중앙부(2a)에 구동 기구(3)가 접속되고, 구동 기구(3)에 의해 다이어프램(2)이 두께 방향으로 왕복 운동할 때, 산형부(21)에 있어서의 정점부(211)의 직경 방향 외측의 제1 경사부(212)가 경사 상태를 유지하면서, 산형부(21)에 있어서의 정점부(212)의 직경 방향 내측의 제2 경사부(213)가 정점부(211)를 지지점으로 하여 요동한다.Along with preventing diaphragm deterioration, it is possible to increase the compression ratio of the pump, and furthermore, it aims to provide a diaphragm pump with long life and high performance. A pump chamber divided by a pump head 1, a diaphragm 2 inside the pump head 1, a drive mechanism 3 connected to the diaphragm 2, and a diaphragm 2 inside the pump head 1 It is a diaphragm pump provided with (4). In the diaphragm 2, an angular portion 21 protruding in the thickness direction from the outer peripheral portion 2b is formed, the peripheral end 2c is fixed to the pump head 1, and a drive mechanism ( When 3) is connected and the diaphragm 2 reciprocates in the thickness direction by the drive mechanism 3, the first inclined part 212 outside the radial direction of the apex 211 in the mountain-shaped part 21 ) While maintaining the inclined state, the second inclined portion 213 on the radially inner side of the apex portion 212 in the mountain-shaped portion 21 swings with the apex portion 211 as a supporting point.

Description

Diaphragm pump

본 고안은, 다이어프램이 요동함으로써 유체를 이송하는 다이어프램 펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a diaphragm pump for transferring fluid by vibrating the diaphragm.

종래부터 유체를 이송하기 위한 펌프로서 다이어프램 펌프가 알려져 있다. 이 다이어프램 펌프는, 펌프 헤드와, 펌프 헤드의 내부에 마련된 가요성의 다이어프램과, 다이어프램에 접속된 구동 기구와, 펌프 헤드의 내부에 있어서 다이어프램에 의해 구획된 펌프실을 구비하고, 구동 기구에 의해 다이어프램이 두께 방향으로 왕복 운동하는 데 수반되어, 펌프실의 압력을 변화시켜 유체를 이송한다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).Conventionally, a diaphragm pump has been known as a pump for transferring fluid. This diaphragm pump includes a pump head, a flexible diaphragm provided inside the pump head, a drive mechanism connected to the diaphragm, and a pump chamber partitioned by the diaphragm inside the pump head, and the diaphragm is Concomitant with reciprocating motion in the thickness direction, the fluid is transferred by changing the pressure in the pump chamber (see, for example, Patent Document 1).

그런데, 종래의 다이어프램 펌프의 대부분은, 다이어프램이 평판상으로 형성되어 있기 때문에, 다이어프램이 펌프실측으로 팽창될 때마다, 다이어프램에 대하여 직경 방향으로 큰 인장력이 발생함으로써 늘어나게 되어 버려, 다이어프램이 단기간에 열화된다는 문제가 있었다.However, in most of the conventional diaphragm pumps, since the diaphragm is formed in a flat plate shape, each time the diaphragm is expanded toward the pump chamber, a large tensile force is generated on the diaphragm in the radial direction, thereby increasing it, and the diaphragm deteriorates in a short period of time. There was a problem of becoming.

그래서, 이와 같은 다이어프램 펌프에 대하여 인장력이 발생하는 것을 방지하기 위해서, 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, 다이어프램(102)에 두께 방향으로 완만하게 돌출된 늘어짐부(102a)가 형성된 것도 알려져 있다. 이에 의하면, 도 4의 (a)에 도시한 바와 같이, 다이어프램(102)이 펌프실(104)측으로 팽창될 때, 다이어프램(102)에 형성된 늘어짐부(102a)가 인장력을 흡수하기 때문에, 다이어프램(102)의 열화를 방지할 수 있다.Therefore, in order to prevent the occurrence of tensile force with respect to such a diaphragm pump, it is also known that a sagging portion 102a gently protruding in the thickness direction is formed on the diaphragm 102 as shown in FIG. 4B. have. According to this, as shown in Fig. 4A, when the diaphragm 102 expands toward the pump chamber 104, the sagging portion 102a formed in the diaphragm 102 absorbs the tensile force, so the diaphragm 102 ) Can prevent deterioration.

일본 실용신안 출원 공개 평7-14179호 공보Japanese Utility Model Application Publication No. Hei 7-14179

그러나, 다이어프램(102)이 요동할 때, 다이어프램(102)의 늘어짐부(102a)가 불안정한 형상으로 되는 경우가 많았다. 구체적으로 설명하면 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, 다이어프램(102)의 동작의 하사점에서는 늘어짐부(102a)는 소정의 형상을 유지한 상태로 되어 있지만, 도 4의 (c)에 도시한 바와 같이, 상사점에서는 늘어짐부(102a)가 본래 지닌 형상의 영향 때문에 펌프실(104)과 반대측에 약간 만곡된 형상으로 되고, 다이어프램이 요동을 더욱 반복해 가면, 도 4의 (d)에 도시한 바와 같이, 상사점에 있어서 점차 크게 만곡된 형상으로 되어 있었다. 이 때문에, 그 만곡된 형상으로 된 부분에 유체가 잔류된 상태(데드 볼륨) D가 발생하여, 펌프실(104)의 최대 용량(압축 전의 용량)/펌프실의 최소 용량(압축 후의 용량)으로 표시되는 압축비가 작아지기 때문에, 유체의 흡인·토출의 효율이 저하된다는 문제가 있었다.However, when the diaphragm 102 swings, the sagging portion 102a of the diaphragm 102 often becomes an unstable shape. Specifically, as shown in (b) of FIG. 4, at the bottom dead center of the operation of the diaphragm 102, the sagging portion 102a is in a state in which a predetermined shape is maintained. As shown, at the top dead center, due to the influence of the original shape of the sagging portion 102a, it becomes a slightly curved shape on the opposite side of the pump chamber 104, and if the diaphragm swings more repeatedly, Fig. 4(d) As shown, at the top dead center, the shape was gradually largely curved. For this reason, a state in which fluid remains in the curved portion (dead volume) D occurs, which is expressed as the maximum capacity of the pump chamber 104 (capacity before compression)/the minimum capacity of the pump chamber (capacity after compression). Since the compression ratio becomes small, there is a problem that the efficiency of suction and discharge of the fluid is lowered.

본 고안은, 상술한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 다이어프램의 열화를 방지함과 함께, 펌프의 압축비를 크게 할 수 있으며, 나아가서는 장수명이며 고성능의 다이어프램 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above-described problems, and it is an object of the present invention to prevent deterioration of the diaphragm, increase the compression ratio of the pump, and further provide a diaphragm pump with long life and high performance.

본 고안은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 펌프 헤드와, 해당 펌프 헤드의 내부에 마련된 가요성의 다이어프램과, 해당 다이어프램에 접속된 구동 기구와, 상기 펌프 헤드의 내부에 있어서 상기 다이어프램에 의해 구획된 펌프실을 구비하고, 상기 구동 기구에 의해 상기 다이어프램이 두께 방향으로 왕복 운동하는 데 수반되어, 상기 펌프실의 압력을 변화시켜 유체를 이송하는 다이어프램 펌프이며, 상기 다이어프램은, 외주부에 있어서 두께 방향으로 돌출되는 산형부가 형성되고, 주위 단부가 상기 펌프 헤드에 고정됨과 함께, 중앙부에 상기 구동 기구가 접속되고, 상기 구동 기구에 의해 상기 다이어프램이 두께 방향으로 왕복 운동할 때, 상기 산형부에 있어서의 정점부의 직경 방향 외측의 제1 경사부가 경사 상태를 유지하면서, 상기 산형부에 있어서의 정점부의 직경 방향 내측의 제2 경사부가 정점부를 지지점으로 하여 요동하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a pump head, a flexible diaphragm provided inside the pump head, a drive mechanism connected to the diaphragm, and a pump chamber partitioned by the diaphragm inside the pump head. And a diaphragm pump that transfers fluid by changing the pressure in the pump chamber, accompanied by the reciprocating motion of the diaphragm in the thickness direction by the drive mechanism, and the diaphragm is a mountain shape protruding from the outer circumference in the thickness direction When a part is formed and the peripheral end is fixed to the pump head, the drive mechanism is connected to the central part, and the diaphragm reciprocates in the thickness direction by the drive mechanism, the radial direction of the apex of the mountain-shaped part It is characterized in that, while the outer first inclined portion maintains an inclined state, the second inclined portion radially inner side of the vertex in the mountain-shaped portion swings with the vertex as a supporting point.

이에 의하면, 다이어프램의 산형부의 제1 경사부가 경사 상태를 유지하면서, 제2 경사부가 정점부를 지지점으로 하여 요동함으로써, 다이어프램에 인장력이 거의 발생하지 않기 때문에, 다이어프램이 직경 방향으로 신장되는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 다이어프램의 열화를 방지할 수 있다.According to this, the diaphragm can be prevented from extending in the radial direction by swinging the second inclined portion with the apex as a support point while the first inclined portion of the diaphragm remains inclined. have. For this reason, deterioration of the diaphragm can be prevented.

또한, 다이어프램의 산형부의 제1 경사부가 경사 상태를 유지하면서, 제2 경사부가 정점부를 지지점으로 하여 요동함으로써, 다이어프램의 외주부에 있어서 불필요한 변형이 발생하기 어려워지기 때문에, 다이어프램의 외주부에 있어서 데드 볼륨이 발생하는 것을 방지 또는 경감시킬 수 있다. 이 때문에, 펌프실의 최대 용량(압축 전의 용량)/펌프실의 최소 용량(압축 후의 용량)으로 표시되는 압축비를 크게 할 수 있다.In addition, since the first inclined portion of the diaphragm's mountain-shaped portion remains inclined and the second inclined portion swings with the apex as a support point, it is difficult to generate unnecessary deformation in the outer peripheral portion of the diaphragm. It can be prevented or reduced from occurring. For this reason, the compression ratio expressed by the maximum capacity of the pump chamber (capacity before compression)/the minimum capacity of the pump chamber (capacity after compression) can be increased.

또한, 상기 펌프 헤드는, 상기 다이어프램의 상기 산형부의 제1 경사부의 경사 상태를 유지하기 위한 지지 부재가 마련되어도 된다. 이에 의하면, 다이어프램의 산형부의 제1 경사부의 경사 상태를 확실하게 유지하기 때문에, 제2 경사부가 정점부를 지지점으로 하여 안정적으로 요동할 수 있다.Further, the pump head may be provided with a support member for maintaining an inclined state of the first inclined portion of the mountain-shaped portion of the diaphragm. According to this, since the inclined state of the first inclined portion of the angular portion of the diaphragm is reliably maintained, the second inclined portion can stably swing with the apex portion as a supporting point.

또한, 상기 구동 기구는, 상기 다이어프램을 서포트하는 서포트 부재가 마련되고, 해당 서포트 부재는, 상기 다이어프램의 상기 산형부를 제외한 부분을 상시 서포트함과 함께, 상기 산형부의 제2 경사부를 상기 다이어프램의 동작의 상사점에서는 서포트하는 한편, 상기 다이어프램의 동작의 하사점에서는 이격되어도 된다. 이에 의하면, 제2 경사부가 정점부를 지지점으로 하여 안정적으로 요동할 수 있다.In addition, the drive mechanism is provided with a support member for supporting the diaphragm, and the support member always supports a portion of the diaphragm except for the angular portion, and the second inclined portion of the angular portion is used for the operation of the diaphragm. While supporting at the top dead center, the diaphragm may be spaced apart at the bottom dead center. According to this, the 2nd inclined part can swing stably by making the apex part a support point.

또한, 상기 다이어프램과 상기 서포트 부재의 사이에 서포트측 완충재가 마련되고, 해당 서포트측 완충재는, 상기 서포트 부재의 주위 단면으로부터 직경 방향 외측으로 연장되는 양태로 마련되어도 된다. 이에 의하면, 서포트 부재가 다이어프램에 접촉하는 것을 방지함과 함께, 펌프 헤드의 내벽에 접촉하는 것을 방지하여, 다이어프램의 열화를 경감시킬 수 있다.Further, a support-side buffer material may be provided between the diaphragm and the support member, and the support-side buffer material may be provided in a manner that extends radially outward from the peripheral end face of the support member. According to this, while preventing the support member from contacting the diaphragm, it is possible to prevent the support member from contacting the inner wall of the pump head, thereby reducing deterioration of the diaphragm.

또한, 상기 구동 기구는, 상기 다이어프램을 억제하는 억제 부재가 마련됨과 함께, 상기 다이어프램과 상기 억제 부재의 사이에 억제측 완충재가 마련되고, 해당 억제측 완충재는, 상기 억제 부재의 주위 단면으로부터 직경 방향 외측으로 연장되는 양태로 마련되어도 된다. 이에 의하면, 억제 부재가 다이어프램에 접촉하는 것을 방지하여, 다이어프램의 열화를 경감시킬 수 있다.Further, in the drive mechanism, a restraining member for restraining the diaphragm is provided, and a restraining-side buffer material is provided between the diaphragm and the restraining member, and the restraining-side buffer material is radially directed from a peripheral end face of the restraining member. It may be provided in a form extending outward. According to this, the suppression member is prevented from contacting the diaphragm, and deterioration of the diaphragm can be reduced.

또한, 상기 다이어프램은, 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어져도 된다. 이에 의하면, 다이어프램의 산형부의 제1 경사부 및 제2 경사부에 어느 정도의 강성을 발생시키면서, 두께 방향으로 유연하게 변형될 수 있다.Further, the diaphragm may be made of polytetrafluoroethylene. Accordingly, it is possible to flexibly deform in the thickness direction while generating a certain degree of rigidity in the first and second inclined portions of the mountain-shaped portion of the diaphragm.

또한, 상기 서포트측 완충재 및/또는 억제측 완충재는, 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어져도 된다. 다이어프램과 완충재를 동일한 재질로 한 경우, 다이어프램과 완충재의 사이에 있어서 직경 방향으로 적당한 미끄럼이 발생하기 때문에, 다이어프램이 원활하게 변형될 수 있다.Further, the support-side buffer material and/or the suppression-side buffer material may be made of polytetrafluoroethylene. When the diaphragm and the cushioning material are made of the same material, proper sliding in the radial direction occurs between the diaphragm and the cushioning material, so that the diaphragm can be smoothly deformed.

이에 의하면, 다이어프램의 산형부의 제1 경사부가 경사 상태를 유지하면서, 제2 경사부가 정점부를 지지점으로 하여 요동함으로써, 다이어프램에 인장력이 거의 발생하지 않기 때문에, 다이어프램이 직경 방향으로 신장되는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 다이어프램의 열화를 방지할 수 있으며, 나아가서는 다이어프램 펌프의 제품 수명을 연장시키는 것이 가능해진다.According to this, the diaphragm can be prevented from extending in the radial direction by swinging the second inclined portion with the apex as a support point while the first inclined portion of the diaphragm remains inclined. have. For this reason, deterioration of the diaphragm can be prevented, and further, it becomes possible to extend the product life of the diaphragm pump.

또한, 다이어프램의 산형부의 제1 경사부가 경사 상태를 유지하면서, 제2 경사부가 정점부를 지지점으로 하여 요동함으로써, 다이어프램의 외주부에 있어서 불필요한 변형이 발생되기 어려워지기 때문에, 다이어프램의 외주부에 있어서 데드 볼륨이 발생하는 것을 방지 또는 경감시킬 수 있다. 이 때문에, 펌프실의 최대 용량(압축 전의 용량)/펌프실의 최소 용량(압축 후의 용량)으로 표시되는 압축비를 크게 할 수 있으며, 나아가서는 다이어프램 펌프의 성능을 향상시키는 것이 가능해진다.In addition, since the first inclined portion of the diaphragm's mountain-shaped portion remains inclined and the second inclined portion swings with the apex as a support point, it is difficult to generate unnecessary deformation in the outer peripheral portion of the diaphragm. It can be prevented or reduced from occurring. For this reason, the compression ratio expressed as the maximum capacity of the pump chamber (capacity before compression)/the minimum capacity of the pump chamber (capacity after compression) can be increased, and further, it becomes possible to improve the performance of the diaphragm pump.

도 1은 다이어프램 펌프를 정면에서 볼 때의 단면도이다.
도 2는 도 1의 다이어프램의 주요부를 확대한 정면에서 볼 때의 단면도이다.
도 3은 도 1의 다이어프램의 (a) 상사점의 상태, (b) 하사점의 상태를 나타내는 정면에서 볼 때의 단면도이다.
도 4는 종래의 다이어프램 펌프를 나타내는 정면에서 볼 때의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a diaphragm pump as viewed from the front.
FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of the diaphragm of FIG. 1 as viewed from the front enlarged.
3 is a cross-sectional view of the diaphragm of FIG. 1 as viewed from the front showing (a) a state of a top dead center and (b) a state of a bottom dead center.
4 is a front cross-sectional view showing a conventional diaphragm pump.

다음으로, 본 고안에 따른 다이어프램 펌프(이하, '본 펌프'라고 함)의 실시 형태에 대하여 도 1 내지 도 3을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 명세서에 있어서, 「상」이란 도 1에 마주 대한 경우의 상측을 말하며, 「하」란 도 1에 마주 대한 경우의 하측을 말한다.Next, an embodiment of a diaphragm pump (hereinafter, referred to as “the main pump”) according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. In addition, in this specification, "upper" refers to the upper side when facing to FIG. 1, and "lower" refers to the lower side when facing to FIG. 1.

본 펌프는, 펌프 헤드(1)와, 펌프 헤드(1)의 내부에 마련된 다이어프램(2)과, 다이어프램(2)에 접속된 구동 기구(3)와, 다이어프램(2)에 의해 구획된 펌프실(4)을 구비하고, 구동 기구(3)에 의해 다이어프램(2)이 두께 방향으로 왕복 운동함으로써, 펌프실(4)의 압력을 변화시켜 유체를 이송한다.This pump includes a pump head 1, a diaphragm 2 provided inside the pump head 1, a drive mechanism 3 connected to the diaphragm 2, and a pump chamber partitioned by the diaphragm 2 ( 4) is provided, and the diaphragm 2 reciprocates in the thickness direction by the drive mechanism 3 to change the pressure in the pump chamber 4 to transfer the fluid.

상기 펌프 헤드(1)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 내부 공간의 상면에 횡단면 원형의 돔형상의 오목부(11)가 마련되어 있다. 이 펌프 헤드(1)는, 오목부(11)를 덮는 양태로 다이어프램(2)이 마련되고, 오목부(11)를 상벽으로 하며, 또한 다이어프램(2)을 저벽으로 하는 펌프실(4)이 형성된다. 또한, 오목부(11)의 중앙부에는, 유체가 유통하는 유통구(12)가 마련되어 있다.As shown in FIG. 1, the pump head 1 is provided with a dome-shaped concave portion 11 having a circular cross section on the upper surface of the inner space. In this pump head 1, a diaphragm 2 is provided in a manner that covers the concave portion 11, and a pump chamber 4 having the concave portion 11 as an upper wall and the diaphragm 2 as a bottom wall is formed. do. Further, in the central portion of the concave portion 11, a flow port 12 through which the fluid flows is provided.

또한, 상기 펌프 헤드(1)는, 내부 공간의 측벽부에 다이어프램(2)의 주위 단부(2c)를 고정하는 다이어프램 고정부(13)가 마련되어 있다. 이 다이어프램 고정부(13)는, 다이어프램(2)의 표면측에 마련된 제1 고정부(13a)와, 다이어프램(2)의 측면측에 마련된 제2 고정부(13b)와, 다이어프램(2)의 이면측에 마련된 제3 고정부(13c)를 구비하고, 이들 제1 내지 제3 고정부(13a, 13b, 13c)에 의해, 다이어프램(2)의 주위 단부(2c)가, 표면측, 이면측, 측면으로 둘러싸이는 양태로 고정되어 있다. 이에 의해, 다이어프램(2)이 두께 방향으로 왕복 운동할 때 주위 단부(2c)로부터 펌프실(4)의 내부로 외기가 들어가거나, 혹은 주위 단부(2c)로부터 펌프실(4)의 외부로 유체가 누출되는 것을 방지할 수 있다.Further, the pump head 1 is provided with a diaphragm fixing portion 13 that fixes the peripheral end 2c of the diaphragm 2 on the side wall of the inner space. The diaphragm fixing part 13 includes a first fixing part 13a provided on the surface side of the diaphragm 2, a second fixing part 13b provided on the side surface of the diaphragm 2, and the diaphragm 2 A third fixing portion 13c provided on the back side is provided, and by these first to third fixing portions 13a, 13b, 13c, the peripheral end 2c of the diaphragm 2 is formed on the front side and the rear side. , It is fixed in the aspect enclosed by the side. Thereby, when the diaphragm 2 reciprocates in the thickness direction, outside air enters the inside of the pump chamber 4 from the peripheral end 2c, or fluid leaks out of the pump chamber 4 from the peripheral end 2c. Can be prevented.

또한, 상기 제3 고정부(13c)의 근방에는, 하방으로 돌출된 돌기(14)가 마련되어 있으며, 해당 돌기(14)가 다이어프램(2)의 단부를 하방으로 가압하고 있다. 이에 의해, 다이어프램(2)의 주위 단부(2c)로부터 펌프실(4)의 내부로 외기가 들어가거나, 혹은 주위 단부(2c)로부터 펌프실(4)의 외부로 유체가 누출되는 것을 보다 확실하게 방지하고 있다.Further, in the vicinity of the third fixing portion 13c, a projection 14 protruding downward is provided, and the projection 14 presses the end of the diaphragm 2 downward. Thereby, it is more reliably prevented that external air enters the inside of the pump chamber 4 from the peripheral end 2c of the diaphragm 2 or leaks out of the pump chamber 4 from the peripheral end 2c. have.

상기 다이어프램(2)은, 폴리테트라플루오로에틸렌(등록상표: 테플론)으로 형성된 평면에서 볼 때 원형의 가요성 박막형 부재이며, 두께 방향으로 유연하게 변형 가능하게 마련되어 있다.The diaphragm 2 is a circular flexible thin-film member formed from polytetrafluoroethylene (registered trademark: Teflon) in plan view, and is provided to be flexibly deformable in the thickness direction.

또한, 상기 다이어프램(2)은, 상측에 억제 부재로서의 상측 홀더(33)가 마련되고, 하측에 서포트 부재로서의 하측 홀더(34)가 마련되어 있다. 이 상측 홀더(33) 및 하측 홀더(34)는, 합성 수지로 형성된 대략 원반형 부재이며, 다이어프램(2)을 상하 방향으로부터 끼움 지지하고 있다. 또한, 상측 홀더(33)는, 상면이 펌프 헤드(1)의 오목부(11)의 내면을 따르는 형상으로 형성되어 있다.Further, the diaphragm 2 is provided with an upper holder 33 as a restraining member on the upper side, and a lower holder 34 as a support member on the lower side. The upper holder 33 and the lower holder 34 are substantially disc-shaped members made of synthetic resin, and hold the diaphragm 2 in the vertical direction. Further, the upper holder 33 is formed in a shape whose upper surface is along the inner surface of the concave portion 11 of the pump head 1.

특히 본 실시 형태에서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 상측 홀더(33)는, 다이어프램(2)의 사이에 폴리테트라플루오로에틸렌(등록상표: 테플론)으로 이루어지는 완충재(35)가 마련되어 있다. 이 완충재(35)는, 상측 홀더(33)의 주위 단면으로부터 직경 방향 외측으로 연장되는 양태로 마련되어 있기 때문에, 상측 홀더(33)가 다이어프램(2)에 접촉하는 것을 방지하여, 다이어프램(2)의 열화를 경감시킬 수 있다.In particular, in the present embodiment, as shown in FIG. 3, the upper holder 33 is provided with a buffer material 35 made of polytetrafluoroethylene (registered trademark: Teflon) between the diaphragms 2. Since the cushioning material 35 is provided in a form extending radially outward from the peripheral end face of the upper holder 33, the upper holder 33 is prevented from contacting the diaphragm 2, and the diaphragm 2 Deterioration can be reduced.

또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 하측 홀더(34)는, 상측 홀더(33)로부터 직경 방향으로 길게 형성되어 있으며, 다이어프램(2)의 산형부(21)만큼을 제외한 하면을 상시 서포트함과 함께, 산형부(21)의 제2 경사부(213)를 다이어프램(2)의 동작의 상사점에서는 서포트하는 한편, 하사점에서는 이격하도록 되어 있다. 이에 의해 제2 경사부(213)가 정점부(211)를 지지점으로 하여 안정적으로 요동할 수 있다.In addition, as shown in Fig. 3, the lower holder 34 is formed to be elongated in the radial direction from the upper holder 33, and always supports the lower surface except for the angular portion 21 of the diaphragm 2 and Together, the second inclined portion 213 of the ridge 21 is supported at the top dead center of the operation of the diaphragm 2, while being spaced apart at the bottom dead center. As a result, the second inclined portion 213 can stably swing with the apex portion 211 as a support point.

또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 하측 홀더(34)는, 다이어프램(2)과의 사이에 폴리테트라플루오로에틸렌(등록상표: 테플론)으로 이루어지는 완충재(36)가 마련되어 있다. 이 완충재(36)는, 하측 홀더(34)의 주위 단면으로부터 직경 방향 외측으로 연장되는 양태로 마련되어 있기 때문에, 하측 홀더(34)가, 다이어프램(2)에 접촉하는 것을 방지함과 함께, 펌프 헤드(1)의 내벽에 접촉하는 것을 방지하여, 다이어프램(2)의 열화를 경감시킬 수 있다.In addition, as shown in FIG. 3, the lower holder 34 is provided with a cushioning material 36 made of polytetrafluoroethylene (registered trademark: Teflon) between the diaphragm 2 and the diaphragm 2. Since the cushioning material 36 is provided in a manner that extends radially outward from the peripheral end face of the lower holder 34, the lower holder 34 is prevented from contacting the diaphragm 2 and the pump head By preventing contact with the inner wall of (1), deterioration of the diaphragm 2 can be reduced.

또한, 상기 다이어프램(2)은, 중앙부(2a)가 상측 홀더(33) 및 하측 홀더(34)를 통해 구동 기구(3)의 커넥팅 로드(31)에 접속되어 있다. 이 때문에, 다이어프램(2)은, 구동 기구(3)에 의해 두께 방향으로 왕복 운동을 행함으로써, 펌프실(4)의 압력을 변화시켜, 유통구(12)를 통해 유체를 이송한다. 구체적으로는, 구동 기구(3)에 의해 다이어프램(2)이 하방으로 이동하면, 펌프실(4)의 용적이 증대하여 부압이 발생하고, 유체가 유통구(12)를 통해 펌프실(4)에 흡인된다. 한편, 구동 기구(3)에 의해 다이어프램(2)이 상방으로 이동하면, 펌프실(4)의 용적이 감소하여 정압이 발생하고, 유체가 펌프실(4)로부터 유통구(12)를 통해 토출된다.Further, the diaphragm 2 has a central portion 2a connected to the connecting rod 31 of the drive mechanism 3 via an upper holder 33 and a lower holder 34. For this reason, the diaphragm 2 changes the pressure in the pump chamber 4 by reciprocating motion in the thickness direction by the drive mechanism 3 and transfers the fluid through the flow port 12. Specifically, when the diaphragm 2 is moved downward by the drive mechanism 3, the volume of the pump chamber 4 increases and negative pressure is generated, and the fluid is sucked into the pump chamber 4 through the flow port 12. do. On the other hand, when the diaphragm 2 moves upward by the drive mechanism 3, the volume of the pump chamber 4 decreases to generate a static pressure, and the fluid is discharged from the pump chamber 4 through the flow port 12.

또한, 상기 다이어프램(2)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 중앙부(2a)가 상측 홀더(33) 및 하측 홀더(34)에 끼움 지지됨으로써 평탄하게 형성되어 있다. 그리고, 구동 기구(3)에 의해 다이어프램(2)이 두께 방향으로 왕복 운동할 때, 다이어프램(2)의 중앙부(2a)는 평탄한 상태를 유지하면서 상하로 요동한다.In addition, as shown in FIG. 3, the diaphragm 2 is formed flat by fitting the central portion 2a between the upper holder 33 and the lower holder 34. Then, when the diaphragm 2 reciprocates in the thickness direction by the drive mechanism 3, the central portion 2a of the diaphragm 2 swings up and down while maintaining a flat state.

또한, 상기 다이어프램(2)은, 도 3의 (b)에 도시한 바와 같이, 외주부(2b)에 있어서 펌프실(4)측으로 돌출되는 양태로 산형으로 굴곡된 산형부(21)가 미리 마련되어 있다. 이 산형부(21)는, 중앙부에 위치하는 정점부(211)와, 다이어프램(2)의 주위 단부(2c)로부터 직경 방향 내측으로 비스듬히 상방으로 연장되는 양태로 기립하는 제1 경사부(212)와, 정점부(211)로부터 직경 방향 내측으로 비스듬히 하방으로 연장되는 양태로 하강하는 제2 경사부(213)를 구비하고 있다. 그리고, 구동 기구(3)에 의해 다이어프램(2)이 두께 방향으로 왕복 운동할 때, 산형부(21)의 제1 경사부(212)가 경사 상태를 유지하면서, 산형부(21)의 제2 경사부(213)가 정점부(211)를 지지점으로 하여 요동하도록 되어 있다.In addition, the diaphragm 2, as shown in Fig. 3(b), is previously provided with an angular portion 21 bent in a mountain shape in a manner protruding from the outer circumferential portion 2b toward the pump chamber 4 side. The mountain-shaped portion 21 is a first inclined portion 212 that is erected in a manner that extends obliquely upward from the apex portion 211 located in the central portion and the peripheral end portion 2c of the diaphragm 2 in the radial direction. Wow, a second inclined portion 213 that descends in a manner extending obliquely downward from the apex portion 211 inward in the radial direction is provided. And, when the diaphragm 2 reciprocates in the thickness direction by the drive mechanism 3, the 1st inclined part 212 of the mountain-shaped part 21 maintains the inclined state, and the 2nd of the mountain-shaped part 21 The inclined portion 213 is configured to swing with the apex portion 211 as a support point.

특히 본 실시 형태에서는, 다이어프램(2)의 산형부(21)의 제1 경사부(212)의 경사 상태를 유지하기 위한 지지 부재(15)가 마련되어 있다. 이 지지 부재(15)는, 다이어프램(2)의 산형부(21)의 제1 경사부(212)를 하측을 지지하는 하측 지지 부재(15a)와, 제1 경사부(212)의 상측을 지지하는 상측 지지 부재(15b)로 이루어지고, 제1 경사부(212)를 상하 방향으로부터 지지하고 있다. 이에 의하면, 제1 경사부(212)의 경사 상태를 확실하게 유지할 수 있어, 제2 경사부(213)가 정점부(211)를 지지점으로 하여 안정적으로 요동할 수 있다. 또한, 지지 부재(15)와 제1 경사부(212)의 사이는 밀착 상태여도 되고, 소정의 간극이 마련된 상태여도 된다.Particularly in this embodiment, the support member 15 for maintaining the inclined state of the first inclined portion 212 of the mountain-shaped portion 21 of the diaphragm 2 is provided. This support member 15 supports the lower support member 15a for supporting the lower side of the first inclined portion 212 of the ridge 21 of the diaphragm 2 and the upper side of the first inclined portion 212 It is composed of the upper support member 15b and supports the first inclined portion 212 from the vertical direction. Accordingly, the inclined state of the first inclined portion 212 can be reliably maintained, and the second inclined portion 213 can stably swing with the apex portion 211 as a support point. Further, between the support member 15 and the first inclined portion 212 may be in a close contact state or a state in which a predetermined gap is provided.

상기 구동 기구(3)는, 회전축을 갖는 모터(도시생략)와, 모터의 회전축에 설치된 편심 부재(32)와, 편심 부재(32)에 마련되고, 다이어프램(2)에 접속된 커넥팅 로드(31)를 구비하고 있다. 편심 부재(32)는, 하단부가 중심으로부터 어긋난 위치에 있어서 모터의 회전축에 설치되어 있다. 커넥팅 로드(31)는, 편심 부재(32)의 중앙에 마련된 구멍에 베어링 메탈을 통해 삽입되어 있으며, 상단부에 마련된 나사에 의해 상측 홀더(33)에 접속되고, 상측 홀더(33) 및 하측 홀더(34)를 통해 다이어프램(2)의 중앙부(2a)에 접속되어 있다. 이에 의해, 모터의 회전 운동이 편심 부재(32)를 통해 커넥팅 로드(31)의 상하 방향 왕복 운동으로 변환된다.The drive mechanism 3 includes a motor (not shown) having a rotation shaft, an eccentric member 32 provided on the rotation shaft of the motor, and a connecting rod 31 provided on the eccentric member 32 and connected to the diaphragm 2. ). The eccentric member 32 is provided on the rotation shaft of the motor at a position where the lower end portion is shifted from the center. The connecting rod 31 is inserted through a bearing metal in a hole provided in the center of the eccentric member 32, is connected to the upper holder 33 by a screw provided at the upper end, and is connected to the upper holder 33 and the lower holder ( It is connected to the central part 2a of the diaphragm 2 through 34). Thereby, the rotational motion of the motor is converted into a vertical reciprocating motion of the connecting rod 31 through the eccentric member 32.

그렇게 하여, 본 펌프가 유체를 토출하는 경우, 커넥팅 로드(31)는, 상방으로 이동함으로써, 다이어프램(2)의 중앙부(2a)를 상방으로 밀어올린다. 한편, 본 펌프가 유체를 흡인하는 경우, 커넥팅 로드(31)는, 하방으로 이동함으로써, 다이어프램(2)의 중앙부(2a)를 하방으로 내린다.In this way, when the pump discharges the fluid, the connecting rod 31 moves upward, thereby pushing the central portion 2a of the diaphragm 2 upward. On the other hand, when this pump sucks a fluid, the connecting rod 31 moves downward to lower the central portion 2a of the diaphragm 2.

다음으로, 본 펌프의 동작에 대하여 도 3을 참조하여 설명한다.Next, the operation of this pump will be described with reference to FIG. 3.

본 펌프가 유체를 토출하는 경우, 도 3의 (b)의 하사점의 위치로부터, 커넥팅 로드(31)가 상방으로 이동함으로써, 다이어프램(2)의 중앙부(2a)를 상방으로 밀어올린다.When this pump discharges a fluid, the connecting rod 31 moves upward from the position of the bottom dead center in Fig. 3B, thereby pushing the central portion 2a of the diaphragm 2 upward.

그렇게 하면, 다이어프램(2)은, 중앙부(2a)가 커넥팅 로드(31)에 의해 상방으로 밀어올려지는 데 수반되어, 산형부(21)의 제1 경사부(212)가 경사 상태를 유지하면서, 산형부(21)의 제2 경사부(213)가 정점부(211)를 지지점으로 하여 상방으로 요동함으로써, 다이어프램(2)의 중앙부(2a)와 제2 경사부(213)가 동일 평면상에 평탄하게 이어지는 단면 대략 사다리꼴 형상의 상태로 되고, 도 3의 (a)의 상사점의 위치로 이행한다.Then, the diaphragm 2 is accompanied by the central portion 2a being pushed upward by the connecting rod 31, while the first inclined portion 212 of the angular portion 21 maintains an inclined state, The second inclined portion 213 of the angular portion 21 swings upward with the apex portion 211 as a support point, so that the central portion 2a and the second inclined portion 213 of the diaphragm 2 are on the same plane. The cross section that continues flat becomes a state of a substantially trapezoidal shape, and shifts to the position of the top dead center in Fig. 3A.

이때, 상측 홀더(33)는 펌프 헤드(1)의 오목부(11)의 내면에 근접한 상태로 되어, 펌프실(4)의 용적이 감소하여 정압이 발생하고, 유체가 펌프실(4)로부터 유통구(12)를 통해 토출된다.At this time, the upper holder 33 is in a state close to the inner surface of the concave portion 11 of the pump head 1, and the volume of the pump chamber 4 decreases to generate a static pressure, and the fluid flows from the pump chamber 4 It is discharged through (12).

한편, 본 펌프가 유체를 흡인하는 경우, 도 3의 (a)의 상사점의 위치로부터, 커넥팅 로드(31)가 하방으로 이동함으로써, 다이어프램(2)의 중앙부(2a)를 하방으로 내린다.On the other hand, when this pump sucks a fluid, the connecting rod 31 moves downward from the position of the top dead center in Fig. 3A, thereby lowering the central portion 2a of the diaphragm 2.

그렇게 하면, 다이어프램(2)은, 중앙부(2a)가 커넥팅 로드(31)에 의해 하방으로 내려지는 데 수반되어, 산형부(21)의 제1 경사부(212)가 경사 상태를 유지하면서, 산형부(21)의 제2 경사부(213)가 정점부(211)를 지지점으로 하여 하방으로 요동함으로써, 다이어프램(2)의 중앙부(2a)가 평탄한 상태를 유지하는 한편, 제1 경사부(212)와 제2 경사부(213)가 원래의 산형의 상태로 복귀되어, 도 3의 (b)의 하사점의 위치로 이행한다.Then, the diaphragm 2 is accompanied by lowering of the central portion 2a by the connecting rod 31, and the first inclined portion 212 of the angular portion 21 maintains an inclined state, while the angular portion The second inclined portion 213 of (21) swings downward with the apex 211 as a support point, so that the central portion 2a of the diaphragm 2 is maintained in a flat state, while the first inclined portion 212 And the second inclined portion 213 return to the original mountain-shaped state, and shift to the position of the bottom dead center in Fig. 3B.

이때, 상측 홀더(33)는 펌프 헤드(1)의 오목부(11)의 내면으로부터 이격된 상태로 되어, 펌프실(4)의 용적이 증대하여 부압이 발생하고, 유체가 펌프실(4)에 유통구(12)를 통해 흡인된다.At this time, the upper holder 33 is spaced apart from the inner surface of the concave portion 11 of the pump head 1, so that the volume of the pump chamber 4 increases, resulting in negative pressure, and the fluid circulates in the pump chamber 4 It is sucked through the sphere 12.

이와 같이, 다이어프램(2)이 두께 방향의 상하로 왕복 운동할 때, 다이어프램(2)의 산형부(21)에 있어서의 제1 경사부(212)가 경사 상태를 유지하면서, 제2 경사부(213)가 정점부(211)를 지지점으로 하여 요동함으로써, 다이어프램(2)에 인장력이 거의 발생하지 않기 때문에, 직경 방향으로 신장되는 것을 방지할 수 있다. 실제로, 본 실시 형태에 있어서, 상사점과 하사점에서의 다이어프램(2)의 반경을 측정한바, 상사점에서는 45.8㎜, 하사점에서는 45.9㎜이며, 상사점과 하사점에서의 다이어프램(2)의 반경에 거의 차가 없음을 확인하였다. 이 때문에, 다이어프램(2)의 열화를 방지할 수 있으며, 나아가서는 본 펌프의 제품 수명을 연장시키는 것이 가능해진다.In this way, when the diaphragm 2 reciprocates vertically in the thickness direction, the first inclined portion 212 in the ridge 21 of the diaphragm 2 maintains an inclined state, while the second inclined portion ( When 213 swings with the apex 211 as a supporting point, since the diaphragm 2 hardly generates a tensile force, it is possible to prevent it from elongating in the radial direction. Actually, in the present embodiment, the radius of the diaphragm 2 at the top and bottom dead centers was measured. It was 45.8 mm at the top dead center and 45.9 mm at the bottom dead center, and the diaphragm 2 at the top dead center and the bottom dead center It was confirmed that there was almost no difference in the radius. For this reason, deterioration of the diaphragm 2 can be prevented, and further, it becomes possible to extend the product life of this pump.

또한, 다이어프램(2)의 산형부(21)에 있어서의 제1 경사부(212)가 경사 상태를 유지하면서, 제2 경사부(213)가 정점부(211)를 지지점으로 하여 요동함으로써, 다이어프램(2)의 외주부(2b)에 있어서 불필요한 변형이 발생하기 어려워지기 때문에, 다이어프램(2)의 외주부(2b)에 있어서 데드 볼륨이 발생하는 것을 방지 또는 경감시킬 수 있다. 이 때문에, 펌프실(4)의 최대 용량(압축 전의 용량)/펌프실(4)의 최소 용량(압축 후의 용량)으로 표시되는 압축비를 크게 할 수 있으며, 나아가서는 본 펌프의 성능을 향상시키는 것이 가능해진다.Further, while the first inclined portion 212 in the angular portion 21 of the diaphragm 2 maintains an inclined state, the second inclined portion 213 swings with the apex 211 as a supporting point, so that the diaphragm Since unnecessary deformation is less likely to occur in the outer peripheral portion 2b of (2), it is possible to prevent or reduce the occurrence of a dead volume in the outer peripheral portion 2b of the diaphragm 2. For this reason, the compression ratio expressed as the maximum capacity of the pump chamber 4 (capacity before compression)/the minimum capacity of the pump chamber 4 (capacity after compression) can be increased, and further, it becomes possible to improve the performance of this pump. .

또한, 상기 다이어프램(2)은, 산형부(21)가 미리 마련되어 있는 것으로 하여 설명하였지만, 지지 부재(15)에 의해 산형부(21)가 사후적으로 마련되어도 된다.In addition, the diaphragm 2 has been described on the assumption that the mountain-shaped portion 21 is provided in advance, but the mountain-shaped portion 21 may be provided by the support member 15 afterwards.

또한, 상기 다이어프램(2)은, 지지 부재(15)에 의해 산형부(21)에 있어서의 제1 경사부(212)를 상하 방향으로부터 지지하는 것으로 하였지만, 지지 부재(15)의 상측 또는 하측 중 어느 한쪽만을 지지해도 되고, 혹은 지지하지 않아도 된다. 단, 지지 부재(15)에 의해 산형부(21)에 있어서의 제1 경사부(212)를 지지하지 않는 경우, 제1 경사부(212)의 강성을 크게 하는 등, 다이어프램(2)의 왕복 운동의 과정에 있어서 제1 경사부(212)의 경사 상태를 유지할 수 있는 구조로 하는 것이 바람직하다.In addition, the diaphragm 2 is supposed to support the first inclined portion 212 in the mountain-shaped portion 21 from the vertical direction by the support member 15, but either the upper or lower side of the support member 15 You may or may not support either. However, when the first inclined portion 212 in the mountain-shaped portion 21 is not supported by the support member 15, the stiffness of the first inclined portion 212 is increased, etc., the reciprocation of the diaphragm 2 It is preferable to have a structure capable of maintaining the inclined state of the first inclined portion 212 in the course of movement.

또한, 상기 다이어프램(2)은, 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어지는 것으로 하였지만, 그 밖의 소재여도 된다. 단, 다이어프램(2)이 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어지는 경우, 다이어프램(2)의 산형부(21)의 제1 경사부(212) 및 제2 경사부(213)에 어느 정도의 강성을 발생시키면서, 두께 방향으로 유연하게 변형될 수 있어 바람직하다.Further, the diaphragm 2 is made of polytetrafluoroethylene, but other materials may be used. However, when the diaphragm 2 is made of polytetrafluoroethylene, while generating a certain degree of rigidity in the first inclined portion 212 and the second inclined portion 213 of the angular portion 21 of the diaphragm 2 , It is preferable because it can be flexibly deformed in the thickness direction.

또한, 상기 완충재(35, 36)는, 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어지는 것으로 하였지만, 그 밖의 소재여도 된다. 단, 다이어프램(2)과 완충재(35, 36)를 동일한 재질로 한 경우, 다이어프램(2)과 완충재(35, 36)의 사이에 있어서 직경 방향으로 적당한 미끄럼이 발생하기 때문에, 다이어프램(2)이 원활하게 변형될 수 있어 바람직하다.In addition, the cushioning materials 35 and 36 are made of polytetrafluoroethylene, but other materials may be used. However, if the diaphragm 2 and the cushioning material 35, 36 are made of the same material, proper sliding in the radial direction occurs between the diaphragm 2 and the cushioning material 35, 36, so that the diaphragm 2 It is preferable because it can be deformed smoothly.

이상, 도면을 참조하여 본 고안의 실시 형태를 설명하였지만, 본 고안은, 도시한 실시 형태의 것에 한정되지는 않는다. 도시된 실시 형태에 대하여, 본 고안과 동일한 범위 내에 있어서, 혹은 균등한 범위 내에 있어서, 다양한 수정이나 변형을 가하는 것이 가능하다.As described above, embodiments of the present invention have been described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to those of the illustrated embodiments. With respect to the illustrated embodiment, it is possible to apply various modifications and variations within the same range as the present invention or within an equivalent range.

1: 펌프 헤드
11: 오목부
12: 유통구
13: 다이어프램 고정부
13a: 제1 고정부
13b: 제2 고정부
13c: 제3 고정부
14: 돌기부
15: 지지 부재
15a: 하측 지지 부재
15b: 상측 지지 부재
2: 다이어프램
2a: 중앙부
2b: 외주부
2c: 주위 단부
21: 산형부
211: 정점부
212: 제1 경사부
213: 제2 경사부
3: 구동 기구
31: 커넥팅 로드
32: 편심 부재
33: 상측 홀더
34: 하측 홀더
35, 36: 완충재
4: 펌프실1: pump head
11: recess
12: outlet
13: Diaphragm fixing part
13a: first fixing part
13b: second fixing part
13c: third fixing part
14: protrusion
15: support member
15a: lower support member
15b: upper support member
2: diaphragm
2a: central part
2b: outer periphery
2c: peripheral end
21: umbel
211: apex
212: first slope
213: second slope
3: drive mechanism
31: connecting rod
32: eccentric member
33: upper holder
34: lower holder
35, 36: cushioning material
4: pump room

Claims

A pump head, a flexible diaphragm provided inside the pump head, a drive mechanism connected to the diaphragm, and a pump chamber partitioned by the diaphragm in the pump head, and the diaphragm by the drive mechanism It is a diaphragm pump that transfers fluid by changing the pressure in the pump chamber, accompanied by reciprocating motion in this thickness direction,
In the diaphragm, an angular portion protruding in the thickness direction is formed in an outer circumferential portion, a peripheral end portion is fixed to the pump head, and the driving mechanism is connected to the central portion,
When the diaphragm reciprocates in the thickness direction by the drive mechanism, while the first inclined portion outside the radial direction of the apex portion in the mountain-shaped portion maintains an inclined state, A diaphragm pump, characterized in that the second inclined portion swings with the apex portion as a support point.

The method of claim 1,
The pump head is provided with a support member for maintaining an inclined state of the first inclined portion of the mountain-shaped portion of the diaphragm.

The method of claim 1,
The drive mechanism is provided with a support member for supporting the diaphragm,
The support member always supports a portion of the diaphragm other than the mountain-shaped portion, and supports the second inclined portion of the mountain-shaped portion at the top dead center of the operation of the diaphragm, while being spaced apart from the bottom dead center of the operation of the diaphragm, Diaphragm pump.

The method of claim 3,
A support-side cushioning material is provided between the diaphragm and the support member,
The support-side buffer member is provided in a manner that extends radially outward from the peripheral end face of the support member.

The method of claim 1,
While the drive mechanism is provided with a suppression member for suppressing the diaphragm,
A suppression-side cushioning material is provided between the diaphragm and the suppression member,
The diaphragm pump is provided in such a manner that the suppression-side buffer member extends radially outward from the peripheral end face of the suppression member.

The method of claim 1,
The diaphragm is made of polytetrafluoroethylene, a diaphragm pump.

The method of claim 6,
The diaphragm pump, wherein the support-side buffer material and/or the suppression-side buffer material is made of polytetrafluoroethylene.