KR20190129187A - 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템에 관한 것에 관한 것이고, 구체적으로 공정을 위한 장치, 설비 또는 기기의 서로 다른 위치에 다수 개의 스마트 센서를 부착하여 온도 또는 누설을 탐지하고 이에 기초하여 공정 제어가 가능한 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템에 관한 것이다. 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템은 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)를 포함하는 다수 개의 센서 그룹(11); 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)의 작동을 개시시키고, 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로부터 탐지 정보를 수신하는 리더 모듈(12); 및 리더 모듈(12)로부터 수신된 탐지 정보를 작동 탐지 서버(FDC)(141) 또는 관리 서버(142)로 전송하는 중계 모듈(13)을 포함하고, 상기 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 RF 신호의 수신에 의하여 작동이 개시되고, 탐지 정보를 작동 안테나를 통하여 전송한다.
Description
본 발명은 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템에 관한 것에 관한 것이고, 구체적으로 공정을 위한 장치, 설비 또는 기기의 서로 다른 위치에 다수 개의 스마트 센서를 부착하여 온도 또는 누설을 탐지하고 이에 기초하여 공정 제어가 가능한 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템에 관한 것이다.
반도체 장비와 같은 다양한 산업 설비는 전력에 의하여 작동되고, 전력의 사용에 따라 다양한 형태로 발열이 되고, 이에 따라 공정 과정에 영향을 미치는 온도가 변할 수 있으므로 온도 변화가 감시될 필요가 있다. 또한 다양한 기체 또는 액체가 공급이 요구되는 산업 설비에서 도관 또는 연결 부위에서 누설이 발생될 수 있고, 이로 인하여 위험이 발생될 수 있다. 그리고 다양한 산업 설비의 온도 또는 누설 탐지를 위한 탐지 기술이 이 분야에 공지되어 있다. 특허등록번호 제10-1654703호는 접촉식 온도계를 사용하여 온도를 측정하기 어려운 고온의 작업 환경에서 유로퓸과 그래핀 산화물을 포함하는 비접촉 온도 센서를 사용하여 효과적으로 간단하게 온도를 측정할 수 있는 유로퓸과 그래핀 산화물을 포함하는 비접촉 온도 센서에 대하여 개시한다. 특허등록번호 제10-1401275호는 열풍기 내의 측정 대상을 열전 소자를 이용하여 비접촉식으로 측정하는 장치에 대하여 개시한다. 또한 특허등록번호 제10-1750800호는 온도 측정의 정확도 향상을 위해 비회색체의 방사율을 모니터링을 하여 온도를 계산하는 비접촉식 온도 측정 방법 및 장치에 대하여 개시한다.
선행기술 또는 공지기술에서 개시하는 적외선 센서, 열전 소자 또는 비접촉식 센서는 측정 정확도가 낮거나, 측정 설비가 복잡하거나 또는 탐지 결과의 처리가 복잡하다는 단점을 가진다. 또한 측정 정밀도의 향상을 위하여 많은 비용이 필요하고 다양한 부위의 측정이 어렵다는 단점을 가진다. 추가로 열 발생에 따른 온도 변화 폭이 크거나 또는 공정 과정에 영향을 미치는 다양한 부위의 온도를 정확하게 실시간으로 측정하여 상관성을 분석하기 어렵다는 문제점을 가진다.
본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
본 발명의 목적은 다양한 부위에 설치된 다수 개의 스마트 센서로부터 실시간으로 전송되는 탐지 정보를 분석하여 공정 매개변수의 제어를 통하여 공정 안정성이 향상되도록 하면서 이와 동시에 공정 효율이 향상되도록 하는 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템은 적어도 하나의 스마트 센서를 포함하는 다수 개의 센서 그룹; 적어도 하나의 스마트 센서의 작동을 개시시키고, 각각의 스마트 센서로부터 탐지 정보를 수신하는 리더 모듈; 및 리더 모듈로부터 수신된 탐지 정보를 작동 탐지 서버(FDC) 또는 관리 서버로 전송하는 중계 모듈을 포함하고, 상기 적어도 하나의 스마트 센서는 RF 신호의 수신에 의하여 작동이 개시되고, 탐지 정보를 작동 안테나를 통하여 전송한다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 적어도 하나의 스마트 센서의 각각은 탐지 유닛; 작동 칩 및 탐지 유닛과 전기적으로 연결된 패턴 안테나로 이루어진 라벨 또는 스티커 구조가 된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개의 센서 그룹은 서로 다른 위치에 배치되어 실시간으로 온도 정보 또는 누설 정보를 탐지하고, 탐지 정보와 공정 매개변수의 연관성이 공정 매개변수 탐지 유닛에 의하여 탐지된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개의 센서 그룹은 적어도 하나의 공정 챔버, 적어도 하나의 공급 탱크, 클린 챔버; 공급 튜브; 공정 노(Processing Furnace) 또는 공정 소재가 된다.
본 발명에 따른 시스템은 다수 개의 스마트 패시브 센서에 의하여 전력 소비에 따라 발열이 되는 장치 또는 설비의 감시 지점의 온도 또는 액체의 누수가 탐지되도록 한다. 스마트 패시브 센서는 별도의 배터리 또는 이와 유사한 전력 공급 수단이 없이 작동이 되고, 탐지 정보가 무선으로 안테나를 통하여 전송이 되도록 하는 것에 의하여 측정 설비 및 작동 구조가 간단해지도록 한다는 이점을 가진다. 예를 들어 반도체 장비에서 안전성이 확보되어야 하는 주요 부분에 스마트 패시브 센서가 부착되어 온도가 실시간으로 상시 모니터링이 되어 발열 여부가 미리 탐지될 수 있다. 전력 공급을 위한 메인 전원 공급 장치(Main Rack)의 주요 전원 부하 단부에 스마트 패시브 센서가 부착되어 부하 증가로 인하여 발생될 수 있는 화재와 같은 위험이 미연에 방지되도록 한다. 이와 같은 방법으로 온도 또는 화재 발생 여부를 탐지하는 것에 의하여 정기적으로 적외선 카메라와 같은 장치에 의하여 탐지하는 공지의 탐지 방법에 비하여 측정이 간단하면서 작동 상태에서 미리 결정된 지점의 실제 온도가 정확하게 탐지되도록 한다. 또한 본 발명에 따른 시스템은 예를 들어 반도체 장비에서 누수가 발생될 수 있는 다양한 지점에 부착되어 누수 여부가 실시간으로 확인되도록 한다. 본 발명에 따른 방법은 관리 포인트를 미리 설정하여 스마트 패시브 센서를 부착하여 온도 또는 누수를 탐지하는 것에 의하여 실시간으로 온도 변화 특성의 파악이 가능하도록 하면서 누수 탐지가 가능하도록 한다. 이에 의하여 공지의 열전(TC) 센서 또는 누수 센서가 적용되면 별도의 통신선이 배치되어야 하고, 단가가 높고, 배터리 사용에 따른 크기의 증가 또는 비용의 상승이 된다는 문제가 해결될 수 있도록 한다. 또한 본 발명에 시스템은 다수 개의 스마트 센서가 측정이 요구되는 포인트에 설치되어 실시간으로 탐지 정보를 전송하는 것에 의하여 공정 매개변수의 관리가 가능하도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 스마트 센서의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 스마트에 센서에 의하여 공정 매개변수가 제어되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 시스템이 공정 챔버에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 시스템이 화학 물질 취급 과정에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 시스템이 클린 장비에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 시스템이 이송 도관에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 시스템이 공정 노(furnace)에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 9는 본 발명에 따른 시스템이 웨이퍼와 같은 공정 소재에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 10은 본 발명에 따른 시스템에 의하여 공정 매개변수가 조절되는 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 스마트 센서의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 스마트에 센서에 의하여 공정 매개변수가 제어되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 시스템이 공정 챔버에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 시스템이 화학 물질 취급 과정에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 시스템이 클린 장비에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 시스템이 이송 도관에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 시스템이 공정 노(furnace)에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 9는 본 발명에 따른 시스템이 웨이퍼와 같은 공정 소재에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 10은 본 발명에 따른 시스템에 의하여 공정 매개변수가 조절되는 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 공정 인자 관리 시스템은 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)를 포함하는 다수 개의 센서 그룹(11); 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)의 작동을 개시시키고, 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로부터 탐지 정보를 수신하는 리더 모듈(12); 및 리더 모듈(12)로부터 수신된 탐지 정보를 작동 탐지 서버(FDC)(141) 또는 관리 서버(142)로 전송하는 중계 모듈(13)을 포함하고, 상기 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 RF 신호의 수신에 의하여 작동이 개시되고, 탐지 정보를 작동 안테나를 통하여 전송한다.
센서 그룹(11)은 적어도 하나의 스마트 센서(smart sensor)(11_1 내지 11_N)를 포함할 수 있고, 다수 개의 센서 그룹(11)이 전력 공급 또는 공정을 위한 설비, 장비 또는 기기의 서로 다른 위치에 부착될 수 있다. 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 예를 들어 50 내지 100 ㎜ × 15 내지 30 ㎜의 가로 및 세로 길이를 가지면서 0.5 내지 20 ㎜ 두께를 가지는 라벨 구조로 만들어질 수 있다. 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 라벨, 스티커 또는 탭 형태로 만들어질 수 있고, 설비, 장비 또는 기기의 다양한 위치에 간단하게 부착될 수 있는 구조를 가질 수 있다. 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 적용 온도 또는 부착 대상에 따라 합성수지 또는 금속 몰딩이 될 수 있고, 다양한 부착 수단을 가질 수 있다.
각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)에 온도, 습도 또는 누수를 탐지할 수 있는 탐지 수단, 안테나 또는 전자 칩(IC chip)이 배치될 수 있다. 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 에너지 하베스팅(energy harvesting) 방식으로 작동될 수 있고, 예를 들어 극초단파(UHF) 무선 신호를 수신하여 작동될 수 있다. 구체적으로 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 100 내지 1,000 MHz의 무선 신호를 수신하여 작동할 수 있고, 온도 또는 습도의 탐지를 위한 탐지 회로를 포함할 수 있다. 이와 같이 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 배터리 또는 이와 유사한 전력 공급 수단이 없이 작동되면서 내부에 배치된 탐지 회로 또는 이와 유사한 탐지 수단에 의하여 온도 또는 습도가 정밀하게 탐지될 수 있는 스마트 패시브 구조를 가질 수 있다. 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)를 포함하는 다수 개의 센서 그룹(11)이 측정 대상에 부착될 수 있고, 각각의 센서 그룹(11)은 각각 고유 코드를 가질 수 있고, 각각의 센서 그룹(11)에 속하는 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 고유 어드레스를 가질 수 있다.
리더 모듈(12)은 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로부터 RF 신호를 전송시켜 작동을 개시시키고, 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)의 안테나로부터 전송되는 탐지 신호를 수신하는 기능을 가질 수 있다. 구체적으로 리더 모듈(12)은 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로 RFID 신호를 전송하여 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)를 활성화를 시키고, 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로부터 탐지 정보를 수신하는 기능을 가질 수 있다. 리더 모듈(12)은 센서 그룹(11)의 고유 코드 및 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)의 고유 어드레스에 의하여 서로 다른 탐지 정보를 식별할 수 있고, 고유 어드레스가 고유 코드를 포함할 수 있다. 리더 모듈(12)에 의하여 수신된 탐지 정보는 중계 모듈(13)로 전송될 수 있다.
중계 모듈(13)은 예를 들어 전기 신호 형태의 정보 처리가 이더넷 또는 이와 유사한 근거리 통신망(LAN)이 될 수 있고, 리더 모듈(12)과 데이터 통신이 가능하도록 연결될 수 있다. 다수 개의 리더 모듈(12)이 배치될 수 있고, 각각의 리더 모듈(12)은 적어도 하나의 중계 모듈(13)과 데이터 통신이 가능하도록 연결될 수 있다. 리더 모듈(12)과 중계 모듈(13)은 유선 또는 무선으로 연결될 수 있고, 리더 모듈(12)은 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로 수신된 탐지 정보를 고유 어드레스와 함께 연결 가능한 중계 모듈(13)로 전송할 수 있다. 다수 개의 센서 그룹(11)은 설비, 장비 또는 기기의 다양한 위치에 배치될 수 있고, 각각의 센서 그룹(11)은 적어도 하나의 리더 모듈(12)과 연결될 수 있다. 다수 개의 리더 모듈(12)이 동일하거나 서로 다른 센서 그룹(11)과 RF(Radio Frequency) 통신이 가능한 위치에 배치될 수 있다. 또는 리더 모듈(12)은 휴대용 가능하면서 이동 가능한 구조로 만들어질 수 있다. 그리고 리더 모듈(12)은 적어도 하나의 중계 모듈(13)과 근거리 통신이 가능하도록 연결될 수 있다. 다만 리더 모듈(12)과 중계 모듈(13)은 하나의 전자기기 구조로 만들어질 수 있고, 리더 모듈(12)과 중계 모듈(13)의 구조에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다.
중계 모듈(13)은 수신된 탐지 정보를 작동 탐지 서버(Fault Detection and Classification)(141) 또는 관리 서버(142)로 전송할 수 있다. 작동 탐지 서버(141) 또는 관리 서버(142)는 PC 컴퓨터 또는 이와 유사한 컴퓨터 구조를 가질 수 있고, 리더 모듈(12)로부터 전송된 신호를 처리하여 표시하는 디스플레이 유닛을 포함할 수 있다. 또한 탐지 정보를 저장하는 탐지 정보 데이터베이스 및 탐지 정보를 분석하고 그에 따른 조치를 취할 수 있는 처리 수단 또는 경보 수단을 포함할 수 있다. 그리고 분석 결과 또는 처리 결과를 미리 결정된 스마트 폰과 같은 휴대용 전자기기로 전송할 수 있는 통신 수단을 포함할 수 있다. 작동 탐지 서버(141) 또는 관리 서버(142)는 센서 그룹(11)으로부터 전송된 탐지 정보를 분석하여 탐지 결과에 영향을 미치는 공정 매개변수를 분석할 수 있다. 그리고 미리 결정된 공정 조건에 적합하도록 공정 매개변수를 제어할 수 있고, 제어된 조건에 따라 다시 탐지 정보를 수신하여 분석할 수 있다.
공정 매개변수의 분석 및 제어는 다양한 방법으로 이루어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명의 하나의 실시 예에 따르면, 리더 모듈(12)은 스마트폰과 같은 휴대용 전자기기에 의하여 작동되거나, 리더 모듈(12)이 휴대용 단말기 구조로 만들어질 수 있다. 리더 모듈(12)은 정해진 위치에 배치될 수 있고, 휴대용 전자기기에 의하여 작동이 개시될 수 있다. 그리고 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로부터 수신된 탐지 정보가 휴대용 전자기기로 전송될 수 있다. 다수 개의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 측정 대상의 서로 다른 위치에 부착될 수 있다. 리더 모듈(12)은 휴대 가능한 구조로 만들어질 수 있고, 리더 모듈(12)은 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 부착된 위치로 이동되어 작동될 수 있다. 그리고 리더 모듈(12)에서 수신된 탐지 정보가 중계 모듈(13) 또는 휴대용 전자기기로 전송될 수 있다. 리더 모듈(12)은 중계 모듈(13) 또는 휴대용 전자기기와 Wi-Fi 통신 또는 근거리 무선 통신에 의하여 연결될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 리더 모듈(12)은 다양한 구조로 만들어져 다양한 전자기기와 데이터 통신이 가능한 구조로 만들어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 2는 본 발명에 따른 스마트 센서의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)의 각각은 탐지 유닛(211); 작동 칩(212); 및 탐지 유닛(211)과 전기적으로 연결된 패턴 안테나(213a, 213b)로 이루어진 라벨 또는 스티커 구조가 될 수 있다.
스마트 센서는 스티커 또는 라벨 구조의 부착 몸체의 중앙에 형성되는 탐지 유닛(211); 및 탐지 유닛(211)을 작동시키는 작동 칩(212)을 포함할 수 있다. 부착 몸체는 전체적으로 라벨 형태가 되면서 분리 가능한 부착 구조를 가질 수 있다. 또한 예를 들어 50 내지 100 ㎜ × 15 내지 30 ㎜의 가로 및 세로 길이를 가지면서 0.5 내지 20 ㎜ 두께를 가지면서 한쪽 면이 부착 면이 될 수 있다. 탐지 유닛(211)은 저항 또는 자기장의 탐지가 가능한 회로 패턴이 형성된 탐지 회로를 포함할 수 있고, 아크릴, 폴리에스테르 또는 이와 유사한 소재에 의하여 내부가 밀폐가 될 수 있다. 또는 사용 조건에 따라 금속 또는 비금속 성분으로 몰딩이 될 수 있다. 집적 회로 구조를 가지는 작동 칩(212) 및 탐지 유닛(211)은 부착 몸체의 중앙에 배치될 수 있고, 패턴 안테나(213a, 213b)는 작동 칩(212)의 양쪽 부분에 평면 형상으로 배치될 수 있다. 스마트 센서는 전체적으로 직사각형 또는 이와 유사한 다각형 형상이 되거나, 원형 또는 이와 유사한 타원 형상이 될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 패턴 안테나(213a, 213b)는 작동 칩(212)을 중심으로 대칭 형상이 될 수 있고, 평면 형상으로 패턴이 만들어질 수 있다. 패턴 안테나(213a, 213b)는 구리, 크롬 또는 이와 유사한 소재로 만들어질 수 있고, 스마트 센서는 예를 들어 FER/RSSI(Fatal Event Rate/Received Signal Strength Indicator) 값에 기초하여 온도, 습도 또는 누수를 탐지할 수 있다. 작동 칩(212)은 패스워드 유닛, 탐지 처리 유닛 또는 메모리를 포함할 수 있다. 리더 모듈로부터 패스워드와 함께 RF 신호가 전송되면 패스워드 유닛에 의하여 확인이 되고, 패턴 안테나(213a, 213b)에 의하여 수신된 RF 신호에 의하여 활성화가 될 수 있다. 그리고 탐지 유닛(212)은 온도 센서 회로 또는 습도 센서 회로로부터 온도 또는 습도를 탐지하고, 탐지 정보는 탐지 처리 유닛에서 전송 가능한 신호로 변환이 되어 메모리에 저장이 되거나, 패턴 안테나(213a, 213b)를 통하여 RF 신호 형태로 리더 모듈로 전송할 수 있다.
스마트 센서는 측정 대상에 적합한 다양한 구조로 만들어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 3은 본 발명에 따른 스마트에 센서에 의하여 공정 매개변수가 제어되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3을 참조하면, 다수 개의 센서 그룹(31_1 내지 31_N)이 예를 들어 반도체 공정 설비와 같은 공정 장치의 다양한 위치에 배치될 수 있고, 다수 개의 센서 그룹(31_1 내지 31_N)은 서로 관련성을 가지는 하나의 센서 모듈(31)을 형성할 수 있다. 위에서 설명된 것처럼, 각각의 센서 그룹(31_1 내지 31_N)은 적어도 하나의 스마트 센서를 포함할 수 있다. 각각의 스마트 센서는 고유 어드레스를 가질 수 있고, 위치 정보 유닛(35)에 의하여 고유 어드레스를 가진 각각의 스마트 센서의 위치가 확인될 수 있다. 각각의 스마트 센서의 위치 정보는 다양한 방법으로 확인될 수 있고, 미리 결정이 되거나, RF 신호의 수신 감도에 의하여 확인되거나 또는 위치 확인을 위한 영상 회득 수단이 배치될 수 있다. 위치 정보 유닛(35)은 각각의 센서 그룹(31_1 내지 31_N)의 위치 및 각각의 센서 그룹(31_1 내지 31_N)에 속하는 각각의 스마트 센서의 위치를 확인하여 저장할 수 있다. 그리고 위치 정보 유닛(35)에 저장된 각각의 스마트 센서의 위치 정보가 정보 데이터 모니터링 유닛(32), 공정 매개변수 탐지 유닛(33) 및 공정 제어 유닛(34)으로 전송될 수 있다. 다수 개의 센서 그룹(31_1 내지 31_N)은 공정 관련성을 가지는 하나 또는 그 이상의 장치에 부착될 수 있고, 다수 개의 센서 그룹(31_1 내지 31_N)에서 탐지된 정보가 위에서 설명된 리더 모듈 또는 중계 모듈을 경유하여 정보 데이터 모니터링 유닛(32)으로 전송될 수 있다. 정보 데이터 모니터링 유닛(32)은 각각의 탐지 정보의 고유 어드레스 및 위치 정보를 확인하여 공정 매개변수 탐지 유닛(33)으로 전송할 수 있다. 공정 매개변수 탐지 유닛(33)은 온도, 습도 또는 누설에 영향을 미치는 공정 매개변수를 탐지하는 기능을 가진다. 또한 공정 매개변수 탐지 유닛(33)은 현재 탐지 정보가 적절한 수준에 해당하는지 여부를 판단하는 기능을 가질 수 있다. 그리고 탐지 정보와 관련 공정 매개변수에 대한 정보 또는 공정 매개변수의 적합성 여부에 대한 판단 결과를 공정 제어 유닛(34)으로 전송할 수 있다. 그리고 공정 제어 유닛(34)은 공정 매개변수 탐지 유닛(33)에 의하여 전송된 정보에 기초하여 공정 조건을 적절하게 제어할 수 있다.
탐지 정보에 따른 공정 매개변수의 결정 또는 공정 매개변수의 제어는 다양한 공정 장치에 적합하게 설정이 될 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 시스템이 공정 챔버에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 다수 개의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 웨이퍼와 같은 공정 소재(43)에 대한 공정이 진행되는 공정 설비(40)의 다수 개의 공정 챔버(41_1 내지 41_K)에 부착될 수 있다. 각각의 공정 챔버(41_1 내지 41_K)에 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 배치될 수 있고, 공정 소재(43)가 이송되는 이송 경로(42)에 또한 적어도 하나의 스마트 센서(11_L)가 배치될 수 있다. 각각의 공정 챔버(41_1 내지 41_K)에서 공정이 진행되는 과정에서 또는 이송 경로(42)를 따라 공정 소재(43)가 이송되는 과정에서 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로부터 실시간으로 온도와 같은 탐지 정보가 리더 유닛(44)으로 전송될 수 있다. 리더 유닛(44)은 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로 작동 개시를 위한 RF 신호를 전송할 수 있고, 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 RF 신호의 수신에 따라 작동이 개시되어 각각의 부착 위치에서 온도와 같은 공정 정보를 탐지하여 고유 어드레스와 함께 리더 유닛(44)으로 전송할 수 있다. 리더 유닛(44)은 수신된 탐지 정보를 처리 가능한 신호로 변환하여 온도 데이터 유닛(45)으로 전송할 수 있다. 온도 데이터 유닛(45)은 각각의 공정 챔버(41_1 내지 41_K)에 대한 온도 정보, 이송 경로(42)의 온도 정보 또는 다른 공정 위치의 온도 정보를 측정 시간, 측정 위치 및 고유 어드레스에 대한 정보와 결합하여 온도 분석 유닛(46)으로 전송할 수 있다. 온도 분석 유닛(46)은 공정 과정에서 또는 이송 과정에서 웨이퍼와 같은 공정 소재(43)에 대한 온도 변화를 분석할 수 있다. 분석 결과가 매개변수 매칭 유닛(47)으로 전송되어 공정 소재(43)에 대한 공정을 위한 최적의 공정 매개변수를 탐색할 수 있고, 탐색 결과가 공정 온도 제어 유닛(48)으로 전송될 수 있다. 공정 온도 제어 유닛(48)은 각각의 공정 챔버(41_1 내지 41_K)가 최적의 공정 조건이 되도록 공정 매개변수에 해당하는 공정 온도를 제어할 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 시스템이 화학 물질 취급 과정에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
공정 과정에서 사용되는 다양한 화학 물질이 저장 구역(50)에 보관된 공급 탱크(51_1 내지 51_L) 각각에 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 부착될 수 있고, 또한 저장 구역(50)의 다양한 위치에 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 배치될 수 있다. 화학 물질의 공급 탱크(51_1 내지 51_L)에 대하여 온도, 습도 및 누설이 탐지될 필요가 있고, 저장 구역(50) 및 공급 탱크(51_1 내지 51_L)가 정해진 온도 또는 습도 조건으로 유지될 필요가 있다. 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 부착 위치의 온도 및 습도 정보를 탐지하여 리더 유닛(44)으로 전송할 수 있다. 리더 유닛(44)은 온도 및 습도 정보를 온도 데이터 유닛(45) 및 누설 탐지 유닛(55)로 전송할 수 있고, 누설 탐지 유닛(55)은 습도를 탐지하면서 이와 동시에 탐지된 습도 정보로부터 누설을 탐지할 수 있다.
온도 데이터 유닛(45) 및 누설 탐지 유닛(55)은 온도 정보 및 습도 정보를 분류하여 온도 분석 유닛(561) 및 작동 분석 유닛(562)으로 전송할 수 있다. 온도 분석 유닛(561)과 작동 분석 유닛(562)은 미리 결정된 저장 구역(50) 및 공급 탱크(51_1 내지 51_K)에 대한 미리 결정된 조건에 대한 데이터를 가질 수 있고, 각각의 온도 또는 습도가 화학 물질의 상태, 이송 압력 또는 공정에 미치는 영향에 대한 데이터를 가질 수 있다. 그리고 온도 분석 유닛(561) 및 작동 분석 유닛(562)에 의하여 최적의 공정 조건을 위한 공정 매개변수 값이 탐색되어 공정 매개변수 설정 유닛(57)으로 전송될 수 있다. 그리고 공정 매개변수 설정 유닛(57)은 전송된 공정 매개변수 값에 기초하여 저장 구역(50) 및 각각의 공급 탱크(51_1 내지 51_L)에 대한 조건을 조절할 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 시스템이 클린 장비에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 6을 참조하면, 클린 장비의 클린 챔버(60)의 세척액 공급 탱크(61)에 다수 개의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 배치될 수 있고, 또한 증류수(DI)의 공급을 위한 이송 도관에 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 배치될 수 있다. 클린 챔버(60) 및 세척액 공급 탱크(61)의 온도는 정밀하게 관리가 될 필요가 있고, 이를 위하여 온도 또는 습도가 포인트 관리가 될 필요가 있다. 포인트 관리는 예를 들어 클린 챔버(60)에서 서로 다른 온도 상태가 될 수 있는 다수 위치, 세척액 공급 탱크(61)의 다수 위치 또는 이송 도관의 다수 위치에 스마트 센서(11_1 내지 11_N)를 설치하면서 하나의 위치의 온도 변화가 다른 위치의 온도 변화에 영향을 미치는 것을 탐지하는 것을 말한다. 이를 위하여 다수 위치의 온도가 실시간으로 동시에 측정될 필요가 있고, 실시간으로 측정된 온도 정보가 리더 유닛(44)으로 전송될 수 있다. 그리고 리더 유닛(44)에서 탐지된 온도 정보가 내부 온도 데이터 탐지 유닛(62)으로 전송될 수 있다. 내부 온도 데이터 탐지 유닛(62)은 각각의 위치에 대한 온도 정보를 시각에 따라 분류하여 온도-공정 매개변수 상관성 분석 유닛(63)으로 전송할 수 있다. 온도-공정 매개변수 상관성 분석 유닛(63)은 서로 다른 위치에서 온도 변화가 공정 매개변수에 미치는 영향을 분석하여 미세 공정 포인트 분석 유닛(64)으로 전송할 수 있다. 미세 공정 포인트 분석 유닛(64)은 각각의 포인트에서 온도 변화가 전체 공정 매개변수에 미치는 영향을 분석하여 최적의 공정 조건을 탐색하여 공정 제어 유닛(34)으로 전송할 수 있다. 이후 공정 제어 유닛(34)은 전송된 공정 조건에 따라 공정 조건을 설정하여 제어할 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 시스템이 이송 도관에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 7을 참조하면, 예를 들어 증류수(DI) 또는 이와 유사한 공급 튜브(71)에 다수 개의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 배치될 수 있고, 공급 튜브(71)가 배치된 주변 환경 설비(70)에 또한 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 배치될 수 있다. 그리고 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로부터 탐지된 온도 정보가 리더 유닛(44)을 경유하여 위치 온도 데이터 유닛(72)으로 전송될 수 있다. 위치 온도 데이터 유닛(72)은 동일 시각 또는 서로 다른 시각의 공급 튜브(71)의 서로 다른 위치에 온도를 분류하고, 분위기 온도와 함께 이송 구간 탐지 분석 유닛(73)으로 전송할 수 있다. 이송 구간 탐지 분석 유닛(73)은 서로 다른 위치에서 온도 변화의 영향을 분석하여 이송 액 탐지 유닛(74)으로 전송할 수 있다. 이송 액 상태 탐지 유닛(74)은 이송 액이 최적의 조건으로 이송될 수 있는 온도 조건을 탐색하여 공정 제어 유닛(34)으로 전송할 수 있다.
도 8은 본 발명에 따른 시스템이 공정 노(furnace)에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 8을 참조하면, 웨이퍼 캐리어용 보트(boat)의 제조를 위한 공정 노(furnace)(81)의 온도 탐지를 위하여 스마트 센서 모듈이 적용될 수 있다. 공정 노(81)의 다양한 위치에 다수 개의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 배치될 수 있고, 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로부터 탐지된 온도 정보가 리더 유닛(44)을 통하여 온도 모니터링 유닛(83)으로 전송될 수 있다. 가열 유닛(82)에 의하여 공정 노(81)의 온도가 변할 수 있고, 보트(BT)의 제조를 위한 공정 온도가 온도 모니터링 유닛(83)에 의하여 감시될 수 있고, 감시 정보가 노 온도 분석 유닛(84)으로 전송될 수 있다. 노 온도 분석 유닛(84)은 가열 유닛(82)의 가열 수준에 따른 공정 노(81)의 서로 다른 위치에서 온도 변화를 분석하여 노 상태 탐지 유닛(85)으로 전송할 수 있다. 노 상태 탐지 유닛(85)은 서로 다른 부위에서 온도 변화에 따른 공정 노(81)의 정상 여부를 탐지하면서 이와 함께 공정 노(81)의 최적 공정 조건을 탐지하는 기능을 가질 수 있다. 그리고 탐색된 최적 공정 조건이 공정 제어 유닛(86)으로 전송되고 이에 따라 가열 유닛(82)의 작동이 조절될 수 있다.
도 9는 본 발명에 따른 시스템이 웨이퍼와 같은 공정 소재에 적용된 실시 예를 도시한 것이다.
도 9를 참조하면, 다수 개의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 웨이퍼와 같은 공정 소재(91)의 서로 다른 부위에 부착될 수 있다. 각각의 공정에서 또는 이송 과정에서 공정 소재(91)의 서로 다른 부위의 온도가 리더 유닛(44)을 경유하여 부위 온도 데이터 유닛(92)으로 전송될 수 있다. 부위 온도 데이터 유닛(92)에서 분류된 온도 정보가 프로세서 온도 데이터 유닛(93)으로 전송되어 각각의 공정 과정에서 공정 소재의 서로 다른 부위의 온도 변화가 분석될 수 있다. 그리고 분석 결과가 프로세서-온도 상관 탐지 유닛(94)으로 전송될 수 있다. 프로세서-온도 상관 탐지 유닛(94)에서 각각의 프로세서에서 공정 소재(91)를 위한 최적의 공정 매개변수를 탐지하고 이와 함께 서로 다른 부위의 온도 변화의 분석에 따라 공정 소재(91)의 정상 여부를 탐지하는 기능을 가질 수 있다. 그리고 탐지 결과가 공정 제어 유닛(34)으로 전송될 수 있다.
다양한 장치, 설비, 기기 또는 소재에 본 발명에 따른 시스템이 적용될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 9에 제시된 공정 소재(91)가 웨이퍼가 되는 경우 스마트 센서(11_1 내지 11_N)에 의하여 이송 경로를 비롯한 진공 챔버 내의 공정 과정에서 웨이퍼의 온도 변화가 실시간으로 추적될 수 있다. 예를 들어 진공 챔버로 유도하기 위한 로딩 유닛, 이송 유닛 및 척(chuck)에 배치되는 과정에서 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로부터 온도 정보를 수신하여 온도 변화를 추적할 수 있다. 진공 챔버의 내부는 전자파가 차단되므로 웨이퍼가 진공 챔버의 내부에 위치하는 경우 온도 정보를 수신하기 위한 진공 챔버를 관통하는 형태로 별도의 중계 안테나가 설치될 수 있다. 그리고 중계 안테나를 통하여 진공 챔버 내에 위치하는 웨이퍼와 리더 유닛(44) 사이에 RF 신호가 교환될 수 있다.
다양한 구조물, 장비, 설비, 장치, 소재 또는 이와 유사한 공정 수단에 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 부착되어 탐지 정보가 수신될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. 예를 들어 본 발명에 따른 시스템은 진공 챔버의 배기 설비에 적용될 수 있다. 구체적으로 진공 챔버는 1 도관에 연결되고, 1 도관에 진공 펌프가 설치될 수 있다. 진공 펌프는 스크러버와 2 도관에 의하여 연결되고, 스크러버에 배기 도관이 연결될 수 있다. 이와 같은 구조에서 2 도관의 내부에 이물질이 축적되어 기체가 정해진 비율로 배출되지 않는 경우 2 도관의 압력이 높아져 폭발과 같은 사고를 유발시킬 수 있다. 이와 같은 경우 1 도관 또는 2 도관의 주위에 다수 개의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)가 부착되어 시간에 따른 온도 변화가 감시될 수 있다. 2 도관의 내부에 이물질이 축적되어 압력이 상승되면 온도 변화가 커지고 이로 인하여 온도가 미리 결정된 범위를 벗어날 수 있다. 만약 온도 범위가 미리 결정된 범위를 벗어나면 경보를 발생시키거나 적절한 방법으로 이물질이 제거될 수 있다.
본 발명에 따른 시스템은 다양한 용도로 적용될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 10은 본 발명에 따른 시스템에 의하여 공정 매개변수가 조절되는 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
도 10을 참조하면, 다수 개의 스마트 센서로부터 탐지된 정보에 기초하여 공정 매개변수가 조절되는 과정은 다수 개의 스마트 센서 각각이 부착되어야 하는 공정 부위 또는 공정 소재가 선택되는 단계(S11); 각각의 스마트 센서의 고유 어드레스가 부착 위치 정보와 함께 부여되는 단계(S12); 각각의 스마트 센서의 탐지 주기가 설정되는 단계(S13); 설정된 탐지 주기에 따라 각각의 스마트 센서의 작동을 위하여 RF 리더가 작동되는 단계(S14); 각각의 스마트 센서가 작동이 되어 온도, 습도 또는 누설이 탐지되는 단계(S151, S152); 탐지 정보가 각각의 스마트 센서의 안테나를 통하여 전송되어 리더 모듈에 의하여 수신되는 단계(S16); 탐지 정보가 분석되는 단계(S17); 분석 결과에 따라 공정-시간-온도/습도 관계가 분석되는 단계(S18); 탐지 정보와 공정 매개변수 사이에 상관성이 분석되는 단계(S19); 및 분석 결과에 따라 최적 공정 조건을 위한 공정 조건이 탐색되는 단계(S20)를 포함한다.
다수 개의 스마트 센서는 라벨, 스티커 또는 태그 구조로 만들어질 수 있고, 실시간으로 부착 위치에서 탐지된 정보를 리더 모듈로 전송할 수 있다. 전송된 탐지 정보가 분석되고 이에 기초하여 공정 조건에 영향을 미치는 공정 매개변수가 조절될 수 있다.
본 발명에 따른 시스템은 다양한 방법으로 작동될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 시스템은 다수 개의 스마트 패시브 센서에 의하여 전력 소비에 따라 발열이 되는 장치 또는 설비의 감시 지점의 온도 또는 액체의 누수가 탐지되도록 한다. 스마트 패시브 센서는 별도의 배터리 또는 이와 유사한 전력 공급 수단이 없이 작동이 되고, 탐지 정보가 무선으로 안테나를 통하여 전송이 되도록 하는 것에 의하여 측정 설비 및 작동 구조가 간단해지도록 한다는 이점을 가진다. 예를 들어 반도체 장비에서 안전성이 확보되어야 하는 주요 부분에 스마트 패시브 센서가 부착되어 온도가 실시간으로 상시 모니터링이 되어 발열 여부가 미리 탐지될 수 있다. 전력 공급을 위한 메인 전원 공급 장치(Main Rack)의 주요 전원 부하 단부에 스마트 패시브 센서가 부착되어 부하 증가로 인하여 발생될 수 있는 화재와 같은 위험이 미연에 방지되도록 한다. 이와 같은 방법으로 온도 또는 화재 발생 여부를 탐지하는 것에 의하여 정기적으로 적외선 카메라와 같은 장치에 의하여 탐지하는 공지의 탐지 방법에 비하여 측정이 간단하면서 작동 상태에서 미리 결정된 지점의 실제 온도가 정확하게 탐지되도록 한다. 또한 본 발명에 따른 시스템은 예를 들어 반도체 장비에서 누수가 발생될 수 있는 다양한 지점에 부착되어 누수 여부가 실시간으로 확인되도록 한다. 본 발명에 따른 방법은 관리 포인트를 미리 설정하여 스마트 패시브 센서를 부착하여 온도 또는 누수를 탐지하는 것에 의하여 실시간으로 온도 변화 특성의 파악이 가능하도록 하면서 누수 탐지가 가능하도록 한다. 이에 의하여 공지의 열전(TC) 센서 또는 누수 센서가 적용되면 별도의 통신선이 배치되어야 하고, 단가가 높고, 배터리 사용에 따른 크기의 증가 또는 비용의 상승이 된다는 문제가 해결될 수 있도록 한다. 또한 본 발명에 시스템은 다수 개의 스마트 센서가 측정이 요구되는 포인트에 설치되어 실시간으로 탐지 정보를 전송하는 것에 의하여 공정 매개변수의 관리가 가능하도록 한다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
11: 센서 그룹 11_1 내지 11_N: 스마트 센서
12: 리더 모듈 13: 중계 모듈
31: 센서 모듈 31_1 내지 31_N: 센서 그룹
32: 정보 데이터 모니터링 유닛 33: 공정 매개변수 탐지 유닛
34: 공정 제어 유닛 35: 위치 정보 유닛
40: 공정 설비 41_1 내지 41_K: 공정 챔버
42: 이송 경로 43: 공정 소재
44: 리더 유닛 45: 온도 데이터 유닛
46: 온도 분석 유닛 47: 매칭 유닛
48: 공정 온도 제어 유닛 50: 저장 구역
51_1 내지 51_L: 공급 탱크 55: 누설 탐지 유닛
57: 공정 매개변수 설정 유닛 60: 챔버
61: 세척액 공급 탱크 62: 내부 온도 데이터 탐지 유닛
63: 온도-공정 매개변수 상관성 분석 유닛
64: 미세 공정 포인트 분석 유닛 70: 환경 설비
71: 공급 튜브 72: 위치 온도 데이터 유닛
73: 이송 구간 탐지 분석 유닛 74: 이송 액 상태 탐지 유닛
81: 공정 노 82: 가열 유닛
83: 온도 모니터링 유닛 84: 노 온도 분석 유닛
85: 노 상태 탐지 유닛 86: 공정 제어 유닛
91: 공정 소재 92: 부위 온도 데이터 유닛
93: 프로세서 온도 데이터 유닛 94: 프로세서-온도 상관 탐지 유닛
141: 작동 탐지 서버 142: 관리 서버
211: 탐지 유닛 212: 작동 칩
213a, 213b: 패턴 안테나 561: 온도 분석 유닛
562: 작동 분석 유닛 BT: 보트
12: 리더 모듈 13: 중계 모듈
31: 센서 모듈 31_1 내지 31_N: 센서 그룹
32: 정보 데이터 모니터링 유닛 33: 공정 매개변수 탐지 유닛
34: 공정 제어 유닛 35: 위치 정보 유닛
40: 공정 설비 41_1 내지 41_K: 공정 챔버
42: 이송 경로 43: 공정 소재
44: 리더 유닛 45: 온도 데이터 유닛
46: 온도 분석 유닛 47: 매칭 유닛
48: 공정 온도 제어 유닛 50: 저장 구역
51_1 내지 51_L: 공급 탱크 55: 누설 탐지 유닛
57: 공정 매개변수 설정 유닛 60: 챔버
61: 세척액 공급 탱크 62: 내부 온도 데이터 탐지 유닛
63: 온도-공정 매개변수 상관성 분석 유닛
64: 미세 공정 포인트 분석 유닛 70: 환경 설비
71: 공급 튜브 72: 위치 온도 데이터 유닛
73: 이송 구간 탐지 분석 유닛 74: 이송 액 상태 탐지 유닛
81: 공정 노 82: 가열 유닛
83: 온도 모니터링 유닛 84: 노 온도 분석 유닛
85: 노 상태 탐지 유닛 86: 공정 제어 유닛
91: 공정 소재 92: 부위 온도 데이터 유닛
93: 프로세서 온도 데이터 유닛 94: 프로세서-온도 상관 탐지 유닛
141: 작동 탐지 서버 142: 관리 서버
211: 탐지 유닛 212: 작동 칩
213a, 213b: 패턴 안테나 561: 온도 분석 유닛
562: 작동 분석 유닛 BT: 보트
Claims (4)
- 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)를 포함하는 다수 개의 센서 그룹(11);
적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)의 작동을 개시시키고, 각각의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)로부터 탐지 정보를 수신하는 리더 모듈(12); 및
리더 모듈(12)로부터 수신된 탐지 정보를 작동 탐지 서버(FDC)(141) 또는 관리 서버(142)로 전송하는 중계 모듈(13)을 포함하고,
상기 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)는 RF 신호의 수신에 의하여 작동이 개시되고, 탐지 정보를 작동 안테나를 통하여 전송하는 것을 특징으로 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템. - 청구항 1에 있어서, 적어도 하나의 스마트 센서(11_1 내지 11_N)의 각각은 탐지 유닛(211); 작동 칩(212); 및 탐지 유닛(211)과 전기적으로 연결된 패턴 안테나(213a, 213b)로 이루어진 라벨 또는 스티커 구조가 되는 것을 특징으로 하는 공정 인자 관리 시스템.
- 청구항 1에 있어서, 다수 개의 센서 그룹(11)은 서로 다른 위치에 배치되어 실시간으로 온도 정보 또는 누설 정보를 탐지하고, 탐지 정보와 공정 매개변수의 연관성이 공정 매개변수 탐지 유닛(33)에 의하여 탐지되는 것을 특징으로 하는 공정 인자 관리 시스템.
- 청구항 1에 있어서, 다수 개의 센서 그룹(11)은 적어도 하나의 공정 챔버(41_1 내지 41_K), 적어도 하나의 공급 탱크(51_1 내지 51_L), 클린 챔버(60); 공급 튜브(71); 공정 노(Processing Furnace)(81); 또는 공정 소재(91)가 되는 것을 특징으로 하는 공정 인자 관리 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180053453A KR20190129187A (ko) | 2018-05-10 | 2018-05-10 | 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180053453A KR20190129187A (ko) | 2018-05-10 | 2018-05-10 | 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020200047273A Division KR20200049723A (ko) | 2020-04-20 | 2020-04-20 | 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20190129187A true KR20190129187A (ko) | 2019-11-20 |
Family
ID=68729197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020180053453A KR20190129187A (ko) | 2018-05-10 | 2018-05-10 | 스마트 센서에 의한 공정 인자 관리 시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20190129187A (ko) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101401275B1 (ko) | 2013-01-22 | 2014-05-29 | 한국표준과학연구원 | 비접촉식 온도 측정 장치 및 비접촉식 온도 측정 방법 |
| KR101654703B1 (ko) | 2015-07-30 | 2016-09-06 | 연세대학교 산학협력단 | 유로퓸과 그래핀 산화물을 포함하는 비접촉식 온도 센서 및 이의 제조 방법, 그리고 이를 사용한 비접촉식 온도 측정 방법 |
| KR101750800B1 (ko) | 2014-10-14 | 2017-06-26 | 주식회사 엘지화학 | 비회색체의 비접촉식 온도 측정 방법 및 장치 |
-
2018
- 2018-05-10 KR KR1020180053453A patent/KR20190129187A/ko active Application Filing
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101654703B1 (ko) | 2015-07-30 | 2016-09-06 | 연세대학교 산학협력단 | 유로퓸과 그래핀 산화물을 포함하는 비접촉식 온도 센서 및 이의 제조 방법, 그리고 이를 사용한 비접촉식 온도 측정 방법 |
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