KR20190121929A

KR20190121929A - 다중 주파수를 이용한 플라즈마 피부 치료 장치

Info

Publication number: KR20190121929A
Application number: KR1020180045383A
Authority: KR
Inventors: 윤경언; 박근주
Original assignee: (주)퀀텀플라즈마
Priority date: 2018-04-19
Filing date: 2018-04-19
Publication date: 2019-10-29
Also published as: KR102055121B1

Abstract

본 발명은, 다수의 플라즈마 발생부를 구비하는 핸드피스; 상기 다수의 플라즈마 발생부에 각각 설치된 플라즈마전극에 RF전원을 공급하는 RF발생부; 상기 RF발생부의 RF주파수를 제어하는 제어부를 포함하는 플라즈마 피부 치료 장치를 제공한다. 본 발명에 따르면, 다수의 전극을 사용하여 넓은 영역에 걸쳐 플라즈마를 공급할 수 있으므로 시술자가 치료장치를 크게 이동시키지 않고도 넓은 환부에 편리하게 적용할 수 있다. 또한 시술자가 다수의 전극에 가해지는 RF주파수를 개별적으로 선택하거나 조절할 수도 있고, 환부의 크기에 맞게 전극의 위치를 조절할 수도 있으므로 하나의 플라즈마 치료 장치를 다양한 크기와 유형을 가지는 환부에 범용으로 사용할 수 있으며, 이를 통해 사용편의성과 경제성을 제고할 수 있다.

Description

다중 주파수를 이용한 플라즈마 피부 치료 장치{Plasma skin care apparatus using multiple frequency}

본 발명은 플라즈마 피부 치료장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 다수의 전극을 이용하여 보다 넓은 영역에 플라즈마를 공급할 수 있고 각 전극에 인가되는 RF전력의 주파수를 개별적으로 제어함으로써 보다 다양한 효과를 구현할 수 있는 플라즈마 피부 치료장치에 관한 것이다.

일반적으로 플라즈마(Plasma)는 강한 전기장이나 열원에 의해 가열된 물질이 이온, 전자, 양성자 등과 같이 다양한 물질의 혼합체로 변환된 것으로서 전체적으로는 중성을 띄지만 보통의 기체와는 전혀 다른 성질을 지닌다.

이러한 플라즈마는 반도체 제조장치에서는 주로 박막증착, 식각 등을 위한 용도로 사용되고, 폐기물 처리장치에서는 오염물을 분해하는 용도로 사용되며, 그 밖에도 표면 세정이나 개질을 위한 용도에 많이 사용되고 있다.

또한 플라즈마는 생성압력에 따라 저압 플라즈마 또는 대기압 플라즈마로 구분되거나, 온도에 따라 저온 플라즈마(Cold Plasma) 또는 열 플라즈마(Thermal Plasma)로 구분될 수 있다.

예를 들어 반도체 공정에서는 저압 저온 플라즈마가 주로 사용되고, 폐기물분해공정에서는 대기압 열 플라즈마가 주로 사용되며, 피부치료 분야에서는 대기압 저온 플라즈마가 널리 사용된다.

대기압 저온 플라즈마는 강력한 멸균효과와 세포 생장촉진 효과를 갖는 것으로 알려져 있으며, 이에 따라 무좀, 습진, 여드름, 아토피 등의 피부질환이나 상처, 화상 등을 치료하는 분야에서 대기압 저온 플라즈마를 이용한 피부 치료장치가 널리 사용되고 있다. 또한 피부 착색이나 피부주름을 개선하는 미용기기로서도 널리 사용되고 있다.

또한 최근에는 특정한 조건에서 플라즈마가 세포사멸을 유발하는 것으로 알려짐에 따라 암치료 분야에서도 플라즈마 치료 장치에 대한 연구 개발이 활발한 것으로 알려져 있다.

한편 플라즈마 피부 치료 장치는, AC 또는 DC 전원을 고주파 전원으로 변환하는 RF(radio frequency) 발생부, RF발생부에 연결된 플라즈마전극, 플라즈마 생성을 위한 방전가스 또는 촉매가스를 공급하는 가스공급부 등을 포함한다.

플라즈마전극은 사용할 때 인체의 피부로부터 소정 거리 이격되도록 설치되며, 피부가 플라즈마전극에 대응하는 접지전극의 역할을 하는 경우도 있고 별도의 접지전극이 설치되는 경우도 있다.

대기압 플라즈마는 유전체장벽방전(Dielectric Barrier Discharge), 글로우방전(Glow Discharge), 코로나방전(Corona Discharge) 등을 통해 생성할 수 있으나, 피부 치료 장치에서는 아크방전을 억제하여 피부손상을 방지하기 위해 유전체장벽방전(Dielectric Barrier Discharge)을 이용하며, 이를 위해서는 플라즈마전극에 유전체를 도포하거나 플라즈마전극과 피부의 사이에 유전체를 설치해야 한다.

그런데 종래의 플라즈마 피부 치료 장치는 다음과 같은 몇 가지 문제점을 안고 있다.

첫째, 플라즈마 발생영역이 제한적이므로 넓은 환부에 적용하는 경우에는 시술자가 장치를 계속 이동시켜야 하므로 사용이 불편한 단점이 있다.

둘째, 구체적인 용도에 따라 반응종(반응성 라디칼, 이온, 전자)의 밀도나 종류에 변화를 주어야 할 경우가 있는데, 종래의 장치는 RF주파수가 고정되어 있는 것은 물론이고 전극의 위치도 고정되어 있기 때문에 시술자가 현장에서 이를 적절히 조절할 수 없으므로 범용성이 낮은 문제가 있다.

등록특허 제10-1262632호(2013.05.08. 공고)

본 발명은 이러한 배경에서 안출된 것으로서, 넓은 환부에도 간편하게 적용할 수 있는 플라즈마 피부 치료장치를 제공하는데 그 목적이 있다. 또한 본 발명은 다수의 전극에 가해지는 RF주파수를 개별적으로 선택 및 조절할 수 있도록 함으로써 시술자가 필요에 따라 반응종의 밀도, 상태 등을 적절히 선택할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. 또한 본 발명은 전극을 가변식으로 설치함으로써 시술자가 환부의 크기에 맞게 전극의 위치를 적절히 선택할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 양상은, 다수의 플라즈마 발생부를 구비하는 핸드피스; 상기 다수의 플라즈마 발생부에 각각 설치된 플라즈마전극에 RF전원을 공급하는 RF발생부; 상기 RF발생부의 RF주파수를 제어하는 제어부를 포함하는 플라즈마 피부 치료 장치를 제공한다.

본 발명의 일 양상에 따른 플라즈마 피부 치료 장치에서, 상기 다수의 플라즈마 발생부는 각각, 양단이 밀폐된 통 형상의 모듈하우징; 상기 모듈하우징의 내부에 설치된 플라즈마전극; 상기 모듈하우징의 하단에 플라즈마전극의 길이방향을 따라 형성된 슬릿; 상기 모듈하우징을 관통하여 플라즈마전극과 RF발생부를 연결하는 전원라인; 상기 모듈하우징의 내부공간과 외부의 가스공급부를 연결하는 가스유로를 포함할 수 있다.

또한 본 발명의 일 양상에 따른 플라즈마 피부 치료 장치에서, 상기 핸드피스는, 양단으로 관통된 다수의 전극홀과 다수의 가스홀을 포함하는 지지체; 상기 전극홀에 삽입되고, 상기 RF발생부와 전기적으로 연결되며, 일단이 지지체의 외부로 돌출된 플라즈마전극; 상기 가스홀에 연결되고 상기 지지체의 외부로 돌출된 가스유로; 돌출된 플라즈마전극과 가스유로를 둘러싼 상태에서 일단이 지지체에 결합되고, 타단에는 관통부가 형성된 헤드를 포함할 수 있다.

또한 본 발명의 일 양상에 따른 플라즈마 피부 치료 장치에서, 상기 다수의 플라즈마 발생부는 각각, 통 형상의 모듈하우징; 상기 모듈하우징의 내부에 설치된 플라즈마전극과 가스유로; 상기 모듈하우징의 외부로 돌출된 플라즈마전극과 가스유로를 둘러싼 상태에서 상기 모듈하우징의 일단에 결합되며, 일단에는 플라즈마전극과 가스유로가 관통하는 차폐벽이 형성되고 타단에는 관통부가 형성된 헤드를 포함할 수 있다.

또한 본 발명의 일 양상에 따른 플라즈마 피부 치료 장치에서, 상기 제어부는 설정된 주기에 따라 RF발생부의 RF주파수를 변경할 수 있다.

또한 본 발명의 일 양상에 따른 플라즈마 피부 치료 장치에서, 상기 RF발생부는 다수의 플라즈마 발생부에 각각 연결되는 다수의 RF발생부를 포함하고, 상기 제어부는 다수의 RF발생부의 RF주파수를 독립적으로 제어할 수 있다.

또한 본 발명의 일 양상에 따른 플라즈마 피부 치료 장치에서, 상기 핸드피스는 플라즈마전극을 이동시키는 전극이동수단을 포함할 수 있다. 이때 상기 핸드피스는 플라즈마전극의 변위를 감지하는 변위센서 또는 위치를 감지하는 위치감지센서를 포함하고, 상기 제어부는 변위센서 또는 위치감지센서의 검출결과를 이용하여 각 플라즈마전극에 공급되는 RF전원의 RF주파수를 변경할 수 있다.

본 발명에 따르면, 다수의 전극을 사용하여 넓은 영역에 걸쳐 플라즈마를 공급할 수 있으므로 시술자가 치료장치를 크게 이동시키지 않고도 넓은 환부에 편리하게 적용할 수 있다.

또한 시술자가 다수의 전극에 가해지는 RF주파수를 개별적으로 선택하거나 조절할 수도 있고, 환부의 크기에 맞게 전극의 위치를 조절할 수도 있으므로 하나의 플라즈마 치료 장치를 다양한 크기와 유형을 가지는 환부에 범용으로 사용할 수 있으며, 이를 통해 사용편의성과 경제성을 제고할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 피부 치료장치의 개략 구성도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 피부 치료장치의 블록도
도 3는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 피부 치료장치의 블록도
도 4는 핸드피스의 일 실시예를 나타낸 단면도
도 5는 전극조립체를 예시한 분해 단면도
도 6은 헤드의 내부 구조를 예시한 단면도
도 7은 핸드피스의 다른 실시예를 나타낸 단면도
도 8은 플라즈마 발생부의 단면도
도 9 및 도 10은 플라즈마 발생부의 다양한 배치 유형을 나타낸 도면
도 11은 플라즈마 발생부를 이동시키는 모습을 나타낸 도면
도 12는 핸드피스의 또 다른 실시예를 나타낸 단면도
도 13은 플라즈마 발생부의 사시도
도 14는 핸드피스의 저면도
도 15는 플라즈마 발생부를 이동시키는 모습을 나타낸 도면

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

참고로 본 명세서에서 하나의 구성요소(element)가 다른 구성요소와 연결 또는 결합하는 경우는, 다른 구성요소와 직접적으로 연결 또는 결합하는 경우뿐만 아니라 중간에 다른 요소를 사이에 두고 간접적으로 연결 또는 결합하는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 포함 또는 구비하는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함하거나 구비할 수 있는 것을 의미한다.

또한 본 명세서에 첨부된 도면은 실제 제품의 형상이나 치수와 다르게 나타낸 부분을 포함할 수 있으나 이는 발명의 요지가 쉽게 이해되도록 표현하기 위한 것이므로 이로 인해 본 발명의 권리범위가 제한적으로 해석되어서는 아니 됨을 미리 밝혀 둔다.

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 피부 치료장치는, 도 1의 개략 구성도 및 도 2의 블록도에 나타낸 바와 같이, 본체(100), 제1 내지 제3 플라즈마발생부(210a,210b,210c)를 구비하는 핸드피스(200), 본체(100)와 핸드피스(200)를 연결하는 연결부(300)를 포함한다.

본체(100)는 RF발생부(110), 가스공급부(120), 입력부(130), 표시부(140), 전원공급부(150), 제어부(160) 등을 포함한다.

RF발생부(110)는 전원공급부(150)에서 제공되는 전원을 이용하여 제1 내지 제3 플라즈마발생부(210a,210b,210c)의 각 플라즈마전극(211)에 인가할 고주파전원을 생성한다.

본 발명의 실시예에서는 RF발생부(110)는 사용자의 선택, 설정 조건, 플라즈마전극(211)의 위치 등에 따라 다양한 주파수를 출력할 수 있다. 예를 들어 1kHz ~ 13.56MHz 범위의 저주파대역, 13.56MHz ~60MHz 범위의 고주파대역, 60MHz 이상 1GHz 미만의 초고주파대역 중에서 선택된 주파수를 출력할 수 있다.

플라즈마전극(211)에 인가되는 RF주파수에 따라 플라즈마의 밀도, 반응종의 종류나 밀도 등이 달라지므로 본 발명의 실시예에 따른 치료장치를 이용하는 시술자는 치료 종류, 피부 상태, 환부 크기 등을 고려하여 적절한 RF주파수를 선택할 수 있다.

가스공급부(120)는 플라즈마 방전을 위한 방전가스 또는 촉매가스를 핸드피스(200)로 공급하는 것으로서, 가스탱크, 펌프, 정량공급장치(regulator) 등을 포함할 수 있다. 가스공급부(120)는 예를 들어 헬륨, 아르곤, 질소 등의 순수 기체를 공급할 수도 있고, 살균력이 높은 수산화기(OH-)를 생성하기 위해 이들 기체에 수증기를 혼합하여 공급할 수도 있다.

도면에는 나타내지 않았으나 가스공급부(120)는 서로 다른 가스를 공급하기 위한 다수의 가스탱크, 가스선택밸브 등을 포함할 수도 있다.

입력부(130)는 사용자의 조작명령을 입력하기 위한 것으로서, 조작명령은 온/오프명령, RF주파수선택명령, 가스선택명령, 전극이동명령 등을 포함할 수 있다. 입력부(130)의 종류는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 버튼, 스위치, 풋페달, 키패드, 터치스크린, 터치패드 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.

입력부(130)는 본체(100) 대신 핸드피스(130)에 설치될 수도 있고, 본체(100)와 핸드피스(130)에 모두 설치될 수도 있다.

표시부(140)는 플라즈마 피부 치료장치의 동작정보를 나타내는 디스플레이를 포함할 수 있다. 장치의 동작정보는 가동주파수, 가동시간, 피부온도 등의 정보를 포함할 수 있다.

전원공급부(150)는 외부 AC전원과 연결되며, 외부 AC전원의 전압/전류를 조절하기 위한 변압기 및/또는 변류기를 포함할 수도 있다.

제어부(160)는 RF발생부(110), 가스공급부(120), 입력부(130), 표시부(140) 및 전원공급부(150)의 동작전반을 제어한다. 제어부(160)는 제어프로그램을 구동하는 IC 칩의 형태로 제공될 수도 있다.

연결부(300)는 RF발생부(110)와 핸드피스(200)를 연결하는 전원라인(310)과 가스공급부(120)와 핸드피스(200)를 연결하는 가스라인(320)을 포함할 수 있다.

전원라인(310)은 핸드피스(200)의 내부에서 분기되어 제1 내지 제3 플라즈마발생부(210a,210b,210c)의 각 플라즈마전극(211)에 각각 연결된다. 따라서 제1 내지 제3 플라즈마발생부(210a,210b,210c)의 각 플라즈마전극(211)은 RF발생부(110)의 출력단에 서로 병렬로 연결된다.

가스라인(320)은 가스를 공급하는 호스 또는 파이프이며, 핸드피스(200)의 내부에서 분기되어 제1 내지 제3 플라즈마발생부(210a,210b,210c)의 각 플라즈마전극(211)의 단부 근처까지 연장된다.

도 2의 플라즈마 피부 치료장치에서는 제1 내지 제3 플라즈마발생부(210a,210b,210c)의 각 플라즈마전극에는 동일한 RF주파수의 전력이 인가된다.

다만 입력부(130)를 통해 RF주파수를 선택하거나 제어부(160)가 설정주기에 따라 RF주파수를 변경할 수도 있으므로 시술자는 본 발명에 따른 플라즈마 피부 치료장치를 사용하는 중에 RF주파수의 변경을 통해 플라즈마의 밀도, 반응종의 종류나 밀도 등을 변경함으로써 치료 종류, 피부 상태, 환부 크기 등에 따라 보다 적절하고 능동적인 치료를 수행할 수 있다.

도 2의 플라즈마 피부 치료장치에서는 모든 플라즈마전극에 동일한 RF주파수가 인가되므로 핸드피스(200)의 치료영역 전체에 걸쳐 거의 비슷한 상태의 플라즈마가 적용된다.

그런데 치료 종류에 따라서는 치료영역 전체에 걸쳐 플라즈마 밀도나 반응종의 밀도를 다르게 적용해야 하는 경우도 있다.

이런 경우를 위해서는, 도 3의 블록도에 나타낸 바와 같이, 본체(100)에 각각 다른 주파수의 RF전원을 생성하는 제1 내지 제3 RF발생부(110a,110b,110c)를 설치할 수 있다. 예를 들어 제1 RF발생부(110a)는 1kHz ~ 13.56MHz 범위의 저주파대역 RF전원을 생성하고, 제2 RF발생부(110b)는 13.56MHz ~60MHz 범위의 고주파대역 RF전원을 생성하고, 제3 RF발생부(110c)는 60MHz 이상 1GHz 미만의 초고주파대역 RF전원을 생성할 수 있다. 다만 이에 한정되는 것은 아니므로 제1 내지 제3 RF발생부(110a,110b,110c) 중에서 2개만 설치할 수도 있다.

그리고 제1 내지 제3 RF발생부(110a,110b,110c)와 제1 내지 제3 플라즈마발생부(210a,210b,210c)의 각 플라즈마전극은 각각 별도의 전원라인(310a,310b,310c)으로 연결될 수 있다.

이렇게 하면 제1 내지 제3 플라즈마발생부(210a,210b,210c)의 각 플라즈마전극에 대해 필요에 따라 서로 다른 주파수의 RF전원을 인가하거나 같은 주파수의 RF전원을 인가할 수 있으며, 이를 통해 전체 치료영역 걸쳐서 플라즈마 밀도, 반응종의 밀도 등을 적절히 조절할 수 있다.

이하에서는 핸드피스(200)의 구조를 보다 구체적으로 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 핸드피스(200)는 도 4의 단면도 및 도 5의 분해사시도에 나타낸 바와 같이, 하우징(202), 하우징(202)의 내부에 설치되며 일단에서 타단까지 관통하는 다수의 전극홀(205)과 다수의 가스홀(206)을 구비하는 지지체(204), 다수의 전극홀(205)마다 삽입된 플라즈마전극(211), 다수의 가스홀(206)마다 삽입되거나 연결된 가스유로(213), 지지체(204)의 단부에 형성된 체결부(207)에 결합되며 지지체(204)의 단부로 돌출된 플라즈마전극(211)과 가스유로(213)를 둘러싸는 헤드(215)를 포함할 수 있다.

헤드(215)의 단부에는 내부에서 생성된 플라즈마를 외부로 배출하기 위한 관통부(216)가 형성될 수 있다.

지지체(204)의 체결부(207)는 헤드(215)와 나사 결합하는 나사산을 포함할 수 있다. 이와 달리 지지체(204)의 일측으로 돌출된 체결부(207)를 헤드(215)에 억지끼움식으로 결합할 수도 있고, 그 밖에 다른 방식으로 헤드(215)를 지지체(204)에 결합할 수도 있다.

지지체(204)는 플라즈마전극(211)을 지지하는 것이므로 플라스틱, 세라믹 등의 절연재질인 것이 바람직하다.

플라즈마전극(211)의 형상은 특별히 한정되지 않으며, 구체적인 필요에 따라 막대형상, 원반형상 등 다양한 형상의 전극이 사용될 수 있다.

유전체장벽방전을 위하여 플라즈마전극(211)의 표면에는 유전체(212)가 도포되는 것이 바람직하다. 유전체(212)는 플라즈마전극(211)의 전체 표면에 도포될 수도 있고, 도면에 나타낸 바와 같이 지지체(204)의 외부로 돌출되는 부분을 포함하는 일부분에만 도포될 수도 있다.

도 6에 나타낸 바와 같이 가스유로(213)를 통해 헤드(215)의 내부로 방전가스 또는 촉매가스가 공급된 상태에서, 플라즈마전극(211)에 RF주파수 전력을 공급하면 플라즈마전극(211)과 피부 사이에 유전체 장벽방전으로 인한 플라즈마(P)가 발생한다. 발생한 플라즈마(P)는 헤드(215)의 관통부(216)를 통해 배출된 후 피시술자의 피부에 접촉하거나 침투하여 소정의 치료효과를 발휘한다.

한편 피시술자의 피부가 플라즈마전극(211)에 대응하는 접지전극으로 활용될 수도 있다. 필요에 따라서는 도 6에 나타낸 바와 같이 헤드(215)의 관통부(216)의 주변에 환형의 접지전극(217)을 설치할 수도 있다. 이렇게 하면 플라즈마전극(211)과 환형의 접지전극(217)의 사이에 환형의 플라즈마(P)가 발생할 수 있다.

플라즈마(P)의 형상은 플라즈마전극(211)이나 접지전극(217)의 형상에 따라 달라질 수 있으므로 필요에 따라 적절한 형상의 플라즈마전극(211)이나 접지전극(217)을 사용할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 핸드피스(200a)는 도 7에 나타낸 바와 같이, 하우징(202), 하우징(202)의 내부에 설치된 지지체(204), 상기 지지체(204)에 의해 지지되는 제1 내지 제3 플라즈마발생부(210a,210b,210c)를 포함할 수 있다.

제1 내지 제3 플라즈마발생부(210a,210b,210c)는 도 8에 나타낸 바와 같이 모듈화된 것으로서, 각각 모듈하우징(209), 모듈하우징(209)의 일단을 관통하여 내부까지 연장된 플라즈마전극(211)과 가스유로(213), 모듈하우징(209)의 타단에 결합되어 플라즈마전극(211)과 가스유로(213)를 둘러싸는 헤드(215)를 포함할 수 있다.

헤드(215)의 일단에는 차폐벽(218)이 형성되고, 타단에는 관통부(215)가 형성된다. 플라즈마전극(211)과 가스유로(213)는 차폐벽(218)을 관통하여 헤드(215)의 내부까지 연장될 수 있다.

헤드(215)의 일단은 모듈하우징(209)의 타단에 삽입될 수 있으나, 결합방식이 이에 한정되는 것은 아니다.

플라즈마전극(211)의 형상은 특별히 한정되지 않으며, 구체적인 필요에 따라 막대형상, 원반형상 등 다양한 형상의 전극이 사용될 수 있다. 또한 플라즈마전극(211)의 전체 표면에 유전체(212)가 도포될 수도 있고, 도면에 나타낸 바와 같이 지지체(204)의 외부로 돌출되는 부분을 포함하는 일부분에만 유전체(212)가 도포될 수도 있다. 또한 피시술자의 피부를 접지전극으로 활용하거나, 도 6에 나타낸 바와 같이 접지전극(200)을 별도로 설치할 수 있다.

도 4 및 도 7에 예시한 핸드피스(200,200a)는 3개의 플라즈마 발생부(210a,210b,210c)를 포함하는 것으로 나타내었으나 그 개수가 이에 한정되지 않음은 물론이다. 또한 플라즈마 발생부(210a,210b,210c)는 필요에 따라 다양한 형태로 배치될 수 있다.

예를 들어 도 9에 다양하게 예시한 바와 같이 다수의 플라즈마 발생부(210a,210b,210c, ...)를 핸드피스 하우징(202)의 중심을 기준으로 대칭적으로 배치할 수 있다. 이와 달리 도 10에 나타낸 바와 같이 다수의 플라즈마 발생부(210a,210b,210c, ...)를 매트릭스 형태로 배치할 수도 있다.

또한 이상에서는 플라즈마 발생부(210a,210b,210c)가 하우징(202)에 대해 고정된 것으로 나타내었으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

예를 들어 도 11에 나타낸 바와 같이 하우징(202)의 내부에 다수의 가이드레일(291,292,293,294)을 설치하고 각 가이드레일(291,292,293,294)마다 플라즈마 발생부(210a,210b,210c,210d)를 이동 가능하게 결합할 수 있다. 이때 각 플라즈마 발생부(210a,210b,210c,210d)의 모듈하우징(209) 또는 플라즈마전극(211)을 가이드레일(291,292,293,294)에 이동 가능하게 결합할 수 있다.

또한 도면에는 나타내지 않았지만, 핸드피스(200,200a)에는 입력부(130)를 통해 전극이동명령이 입력되거나 제어부(150)에서 설정된 바에 따라 전극이동명령을 생성하였을 때 이에 대응하여 모듈하우징(209) 또는 플라즈마전극(211)을 가이드레일(291,292,293,294)을 따라 이동시킬 수 있는 모터 등의 액츄에이터가 설치될 수도 있다.

또한 핸드피스(200,200a)에는 플라즈마 발생부(210a,210b,210c,210d) 또는 플라즈마전극의 이동변위 또는 위치를 검출할 수 있는 변위센서 또는 위치감지센서가 설치될 수 있다.

한편 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 피부 치료장치의 제어부(150)는 이러한 변위센서 또는 위치감지센서의 검출결과에 대응하여 RF발생부(110)에서 발생하는 RF주파수를 변경할 수 있다.

예를 들어 도 11(b)에 나타낸 바와 같이 플라즈마 발생부(210a,210b,210c,210d)가 중심에서 바깥쪽으로 이동함에 따라 각 플라즈마전극(211) 간의 간격이 멀어지면 핸드피스(200,200a) 하부의 플라즈마 밀도가 낮아지므로 제어부(160)는 플라즈마의 밀도를 높이는 방향으로 RF주파수를 조절할 수 있다.

이와 반대로 도 11(a)에 나타낸 바와 같이 플라즈마 발생부(210a,210b,210c,210d)가 중심쪽으로 이동함에 따라 각 플라즈마전극(211) 간의 간격이 가까워지면 핸드피스(200,200a) 하부의 플라즈마 밀도가 높아지므로 제어부(160)는 플라즈마의 밀도를 낮추는 방향으로 RF주파수를 조절할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 핸드피스(400)는 도 12에 나타낸 바와 같이, 하우징(402), 하우징(402)의 내부에 설치된 제1 내지 제3 플라즈마발생부(410a,410b,410c)를 포함할 수 있다.

제1 내지 제3 플라즈마발생부(410a,410b,410c)는 도 13에 나타낸 바와 같이 모듈화된 것으로서, 각각 양단이 막힌 통 형상의 모듈하우징(420), 모듈하우징(420)의 내부에 설치된 봉 형상의 플라즈마전극(430), 모듈하우징(420)의 상면에 형성되고 내부공간과 각각 연통하는 전극홀(421)과 가스홀(422), 모듈하우징(420)의 하단에 플라즈마전극(430)의 길이방향을 따라 형성된 슬릿(450)을 포함할 수 있다.

모듈하우징(420)은 핸드피스 하우징(402)과 일체로 형성될 수도 있고, 핸드피스 하우징(402)에 결합될 수도 있다. 어떤 경우이든 모듈하우징(420)의 하단에 형성된 슬릿(450)은 핸드피스 하우징(402)의 하부로 개방되어야 한다.

전원라인(310)은 하우징(402)의 일단을 통해 인입된 후 전원홀(421)을 통과하여 플라즈마전극(430)에 연결된다. 가스라인(320)은 하우징(402)의 일단을 통해 인입된 후 가스홀(422)에 결합되거나 가스홀(422)을 통과하여 플라즈마전극(430) 하부까지 연장된다.

이 경우에도 도면에 나타낸 바와 같이 플라즈마전극(430)의 표면 전체에 유전체(432)를 도포할 수도 있고, 피시술자의 피부에 가까운 일부분에만 유전체(432)를 도포할 수도 있다. 또한 이 경우에도 피시술자의 피부를 접지전극으로 활용하거나, 도면에는 나타내지 않았지만 슬릿(450)의 주변부를 따라 접지전극을 별도로 설치할 수도 있다.

도 14는 도 12에 예시한 핸드피스(400)의 저면도로서 플라즈마를 방출하는 3개의 슬릿(450)이 서로 평행하게 배치되어 있음을 나타내고 있다. 플라즈마 발생부(410a,410b,410c)의 개수, 슬릿(450)의 길이나 폭 등은 필요에 따라 다양하게 선택될 수 있다.

이 경우에도 플라즈마 발생부(410a,410b,410c)를 이동 가능하게 설치할 수 있다. 즉, 도 15에 나타낸 바와 같이, 핸드피스 하우징(402)의 내부에 가이드레일(460)을 설치하고 다수의 플라즈마 발생부(410a,410b,410c) 중에서 적어도 하나의 모듈하우징(420) 또는 플라즈마전극(430)을 가이드레일(460)에 이동 가능하게 결합할 수 있다.

또한 도면에는 나타내지 않았지만, 핸드피스(400)에는 모듈하우징(420) 또는 플라즈마전극(430)을 가이드레일(460)을 따라 이동시킬 수 있는 액츄에이터가 설치될 수 있다.

또한 핸드피스(400)에는 플라즈마 발생부(410a,410b,410c)의 이동변위 또는 위치를 검출할 수 있는 변위센서 또는 위치감지센서가 설치될 수 있고, 제어부(150)는 변위센서 또는 위치감지센서의 검출결과에 대응하여 RF발생부(110)에서 발생하는 RF주파수를 변경할 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않고 구체적인 적용 과정에서 다양한 형태로 변형 또는 수정되어 실시될 수 있으며, 변형 또는 수정된 실시예도 후술하는 특허청구범위에 개시된 본 발명의 기술적 사상을 포함한다면 본 발명의 권리범위에 속함은 물론이다.

100: 본체 110: RF발생부 120: 가스공급부
130: 입력부 140: 표시부 150: 전원공급부
160: 제어부 200: 핸드피스 202: 하우징
204: 지지체 205: 전극홀 206: 가스홀
207: 체결부 209: 모듈하우징 210a: 제1 플라즈마 발생부
210b: 제2 플라즈마 발생부 210c: 제3 플라즈마 발생부
211: 플라즈마전극 212: 유전체 213: 가스유로
215: 헤드 216: 관통부 217: 접지전극
218: 차폐벽 291,292,293,294: 가이드레일 300: 연결부
310: 전원라인 320: 가스라인 400: 핸드피스
402: 하우징 410a: 제1 플라즈마 발생부
410b: 제2 플라즈마 발생부 410c: 제3 플라즈마 발생부
420: 모듈하우징 421: 전원홀 422: 가스홀
430: 플라즈마전극 432: 유전체 450: 슬릿
460: 가이드레일

Claims

다수의 플라즈마 발생부를 구비하는 핸드피스;
상기 다수의 플라즈마 발생부에 각각 설치된 플라즈마전극에 RF전원을 공급하는 RF발생부;
상기 RF발생부의 RF주파수를 제어하는 제어부
를 포함하는 플라즈마 피부 치료 장치
제1항에 있어서, 상기 다수의 플라즈마 발생부는 각각,
양단이 밀폐된 통 형상의 모듈하우징;
상기 모듈하우징의 내부에 설치된 플라즈마전극;
상기 모듈하우징의 하단에 플라즈마전극의 길이방향을 따라 형성된 슬릿;
상기 모듈하우징을 관통하여 플라즈마전극과 RF발생부를 연결하는 전원라인;
상기 모듈하우징의 내부공간과 외부의 가스공급부를 연결하는 가스유로
를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 피부 치료장치
제1항에 있어서, 상기 핸드피스는,
양단으로 관통된 다수의 전극홀과 다수의 가스홀을 포함하는 지지체;
상기 전극홀에 삽입되고, 상기 RF발생부와 전기적으로 연결되며, 일단이 지지체의 외부로 돌출된 플라즈마전극;
상기 가스홀에 연결되고 상기 지지체의 외부로 돌출된 가스유로;
돌출된 플라즈마전극과 가스유로를 둘러싼 상태에서 일단이 지지체에 결합되고, 타단에는 관통부가 형성된 헤드
를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 피부 치료 장치
제1항에 있어서, 상기 다수의 플라즈마 발생부는 각각,
통 형상의 모듈하우징;
상기 모듈하우징의 내부에 설치된 플라즈마전극과 가스유로;
상기 모듈하우징의 외부로 돌출된 플라즈마전극과 가스유로를 둘러싼 상태에서 상기 모듈하우징의 일단에 결합되며, 일단에는 플라즈마전극과 가스유로가 관통하는 차폐벽이 형성되고 타단에는 관통부가 형성된 헤드
를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 피부 치료 장치
제1항에 있어서,
상기 제어부는 설정된 주기에 따라 RF발생부의 RF주파수를 변경하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 피부 치료 장치
제1항에 있어서,
상기 RF발생부는 다수의 플라즈마 발생부에 각각 연결되는 다수의 RF발생부를 포함하고, 상기 제어부는 다수의 RF발생부의 RF주파수를 독립적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 피부 치료 장치
제6항에 있어서,
상기 다수의 RF발생부는, 1kHz ~ 13.56MHz 범위의 RF전원을 공급하는 제1 RF발생부와, 13.56MHz ~60MHz 범위의 RF전원을 공급하는 제2 RF발생부와, 60MHz 이상 1GHz 미만의 RF전원을 공급하는 제3 RF발생부 중에서 적어도 2개를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 피부 치료 장치
제1항에 있어서,
상기 핸드피스는 플라즈마전극을 이동시키는 전극이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 피부 치료 장치
제8항에 있어서,
상기 핸드피스는 플라즈마전극의 변위를 감지하는 변위센서 또는 위치를 감지하는 위치감지센서를 포함하고, 상기 제어부는 변위센서 또는 위치감지센서의 검출결과를 이용하여 각 플라즈마전극에 공급되는 RF전원의 RF주파수를 변경하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 피부 치료 장치