KR20190115254A - 잉크젯 노즐의 퍼지 장치 및 퍼지 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 잉크젯 노즐의 퍼지 장치 및 퍼지 방법에 관한 것으로서, 퍼지 작업시 양압의 단계별 압력-시간의 제어가 가능하며, 양압의 공급은 시간에 따라 복수 단계의 계단 상승 구간을 거치도록 함으로써 양압 공급부로부터 잉크 드롭 홀까지 이르는 토출 라인에 변형이나 손상이 발생하는 것을 방지하고, 토출 라인에 다소의 추진력을 발생시켜서 토출 라인 내부에 기포(버블)나 미세 이물질(파티클)이 점착하는 것을 방지할 수 있으며, 시간에 따라 복수 단계의 계단 하강 구간을 가지도록 함으로써 압력의 갑작스러운 정지로 인해 토출 라인에 잔존하는 잉크의 움직임을 최소화하여 내부에 기포가 발생하는 것을 방지할 수 있다는 이점이 있으며, 양압이 작용할 때 잉크젯 노즐 헤드에 형성된 잉크 드롭 홀에 피에조 주파수를 동시에 구동시킴으로써, 양압이 공급되는 동안 토출 라인을 활성화함으로써 토출 누락 현상을 방지하고 토출 라인 중의 기포를 제거할 수 있으며 막힘을 방지할 수 있다는 이점도 있다.

Description

잉크젯 노즐의 퍼지 장치 및 퍼지 방법{Purge Apparatus of Inkjet Nozzle and Purge Method}
본 발명은 잉크젯 노즐의 퍼지 장치 및 퍼지 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 잉크 드롭시 잉크젯 노즐 헤드에 형성된 다수의 잉크 드롭 홀로부터 막힘 없이 고르게 잉크가 토출되도록 하는 잉크젯 노즐의 퍼지 장치 및 퍼지 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 잉크젯 프린터는 레이저 프린터에 비해 저렴한 비용으로 컬러인쇄물을 제작할 수 있고, 도트 프린터에 비해 높은 해상도를 실현할 수 있다는 장점 때문에 널리 사용되고 있다.
액체 잉크를 사용해서 프린팅하는 잉크젯 프린터의 특성은 산업현장에서도 응용되어 사용범위가 확대되고 있다.
특히, 잉크젯 프린팅 기술은 디스플레이 제조에 광범위하게 사용되고 있다.
디스플레이 제조에서 잉크젯 프린팅 기술이 처음 도입된 것은 컬러필터 제조 공정에서다.
이전에 컬러필터 제조에는 용액을 기판 위에 떨어뜨려 고속 회전시켜 얇게 퍼지게 하는 "스핀 코팅(Spin coating)" 방식이 주로 사용되어 왔지만, 이 방식으로 안료를 도포하면 재료 손실이 너무 많다는 단점이 있었다.
이에, 소재 사용률을 높이기 위해 잉크젯 프린팅 기법을 적용하기 사작했다.
LCD 분야도 잉크젯 장비의 사용이 많으며, 액정 도포와 화소를 구분하기 위한 뱅크(bank) 구조 형성에 주로 사용된다.
디스플레이 업계가 어떤 영역보다도 크게 기대하는 부분은 대형 OLED(유기발광다이오드) 제조에서의 용액 공정이다.
용액 공정이란 말 그대로 액체 잉크 상태의 OLED 발광 소재를 잉크젯 프린팅 기법으로 기판 위에 도포하여 일정한 막을 형성하는 것으로서, 액체 상태의 발광 재료를 각각 잉크젯 노즐을 통해 미세하게 분사하기 때문에 버려지는 소재가 거의 없으며, 이론적으로는 재료 사용 효율이 100%에 이른다는 장점이 있다.
과거에는, 분말 형태인 OLED 재료를 진공상태에서 증착공정을 거쳐 기판에 도포하는 방법을 사용하였으나, 이 방법은 공정이 복잡하고 재료 이용 효율이 높지 않았으며, RGB 증착방식으로는 재료 사용 효율이 10%, 화이트(W) OLED 방식으로는 40% 수준인 것으로 알려져 있다.
또한, 액상 형태의 잉크젯을 사용할 경우 공정도 간단하여 8세대 크기의 원장 유리 기판을 절단하지 않고도 잉크젯 프린팅 공정이 가능하다.
이와 같이, 공정이 간소화되면 장비 투자비 등을 최소화할 수 있을 뿐 아니라 전체적인 공정 시간도 대폭 절약할 수 있다.
그러나, 잉크젯 프린터는 액체 잉크를 사용하기 때문에, 잉크 드롭시 잉크젯 노즐 헤드에 형성된 다수의 잉크 드롭 홀로부터 균일하게 잉크가 배출되지 않거나 막히는 현상이 발생되었다.
이러한 문제를 해결하기 위해 아세톤이나 알콜 등의 유기 용매를 사용하여 세정을 하기도 하지만 잉크 드롭 홀의 막힘 현상을 완전히 방지하는 것에는 한계가 있었다.
이러한 문제에 의해, 실제 잉크젯 프린팅 작업시 잉크가 디스플레이 등의 대상물에 도포된 후 번지거나 균일하지 아니한 두께로 도포되는 형상이 발생되었다.
또한, 종래의 잉크젯 프린터의 경우, 작업 환경(온도 또는 습도 등)이 변화하는 경우 잉크 드롭 홀을 통한 토출 수량이 변화하는 단점도 있었다.
또한, 잉크가 정상적으로 토출되지 않을 때 전압이나 시간 등 기본적인 조건을 변경하면서 리셋을 다수 회 수행하게 되므로 생산성이 크게 떨어지는 단점도 있었다.
선행문헌 : 한국등록특허공보 제10-1189616호(2012.10.04)
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 잉크 드롭시 잉크젯 노즐 헤드에 형성된 다수의 잉크 드롭 홀 모두로부터 막힘없이 균일하게 잉크가 배출되도록 할 수 있는 잉크젯 노즐의 퍼지 장치 및 퍼지 방법을 제공하는데 있다.
전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 잉크젯 노즐의 퍼지 장치는,
양압 공급부;
상기 양압 공급부와 병렬로 연결되는 음압 공급부;
상기 양압 공급부와 음압 공급부 사이를 연결하는 통로에 배치되는 음압/양압 전환밸브;
상기 음압/양압 전환밸브에 연결되는 공급조절밸브;
상기 공급조절밸브와 연결되는 잉크 저장부; 및,
상기 잉크 저장부에 연결되며 잉크 드롭 홀이 형성되는 잉크젯 노즐 헤드를 포함하되,
상기 양압 공급부는 단계별 압력-시간의 제어가 가능하며, 시간에 따라 복수 단계의 계단 상승 구간과 복수 단계의 계단 하강 단계를 거치는 양압을 공급하는 것을 특징으로 한다.
상기 잉크젯 노즐 헤드에는 피에조 구동기가 포함되는 것을 특징으로 한다.
상기 피에조 구동기는 상기 잉크 드롭 홀의 출구에 대향되도록 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 잉크젯 노즐 헤드는 일방향으로 연장 형상되어 있으며, 길이방향 양단 부근에는 상기 잉크 저장부로부터 연결되는 한 쌍의 잉크 유입공이 각각 형성되어 있고, 상기 잉크젯 노즐 헤드의 바닥에는 상기 길이방향을 따라 다수 개의 잉크 드롭 홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 잉크젯 노즐 헤드의 잉크 드롭 홀의 출구 쪽에 상기 잉크젯 노즐 헤드를 사이에 두고 광원과 카메라가 수평으로 이격되게 각각 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 노즐의 퍼지 방법은,
잉크 저장부를 통해 양압 또는 음압을 노즐 헤드에 공급하되, 상기 양압의 공급은 시간에 따라 복수 단계의 계단 상승 구간과 복수 단계의 계단 하강 단계를 거치는 것을 특징으로 한다.
양압을 공급할 경우, 노즐 헤드에 형성된 잉크 드롭 홀에 피에조 주파수를 동시에 구동시키는 것을 특징으로 한다.
피에조 주파수는 1~10KHz의 범위에서 구동하는 것을 특징으로 한다.
상기 음압은 양압 공급 완료 후 작용하는 것을 특징으로 한다.
전술한 바와 같은 구성의 본 발명에 따르면, 양압 공급부는 양압의 단계별 압력-시간의 제어가 가능하며, 양압의 공급이 시간에 따라 복수 단계의 계단 상승 구간을 거치도록 함으로써 양압 공급부로부터 잉크 드롭 홀까지 이르는 토출 라인에 변형이나 손상이 발생하는 것을 방지하고 토출 라인에 다소의 추진력을 발생시켜서 토출 라인 내부에 기포(버블)나 미세 이물질(파티클)이 점착하는 것을 방지할 수 있으며, 연이어서 시간에 따라 복수 단계의 계단 하강 구간을 가지도록 함으로써 압력의 갑작스러운 정지로 인해 토출 라인에 잔존하는 잉크의 움직임을 최소화하여 내부에 기포가 발생하는 것을 방지할 수 있다는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 양압이 작용할 때 잉크젯 노즐 헤드에 형성된 잉크 드롭 홀에 피에조 주파수를 동시에 구동시킴으로써, 양압이 공급되는 동안 토출 라인을 활성화함으로써 토출 누락 현상을 방지하고 토출 라인 중의 기포를 제거할 수 있으며 막힘을 방지할 수 있으므로 사용 가능한 토출 라인의 수를 극대화할 수 있다는 이점도 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 일 회의 양압, 또는 양압 및 피에조 주파수의 동시 작용에 의해 잉크젯 노즐 헤드의 막힘 현상이 해소되기 때문에 초기 잉크젯 노즐 헤드의 설정(세팅)에 소요되는 시간이 크게 저감되는 등 시간적 손실(loss)를 최소화할 수 있다는 이점도 있다.
도 1은 본 발명에 따른 잉크젯 노즐의 퍼지 장치의 개략 구성도이다.
도 2는 도 1에서 잉크젯 노즐 헤드를 나타내는 전방 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 노즐의 퍼지 방법에서 시간에 따른 양압의 공급 형태를 나타내는 그래프이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 노즐의 퍼지 방법에서 시간에 따른 양압의 공급 형태를 나타내는 그래프이다.
도 5의 (a)와 (b)는 잉크젯 노즐을 퍼지하기 전의 노즐 헤드의 노즐 드롭 홀의 상태와 퍼지한 후 잉크젯 노즐 홀의 상태를 촬영한 사진이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1과 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 잉크젯 노즐의 퍼지 장치(1000)는, 양압 공급부(100), 상기 양압 공급부(100)와 병렬로 연결되는 음압 공급부(200), 상기 양압 공급부(100)와 음압 공급부(200) 사이를 연결하는 통로(120)에 배치되는 음압/양압 전환밸브(300), 상기 음압/양압 전환밸브(300)에 연결되는 공급조절밸브(400), 상기 공급조절밸브(400)와 연결되는 잉크 저장부(500), 및 상기 잉크 저장부(500)에 연결되며 잉크 드롭 홀(620)이 형성되는 잉크젯 노즐 헤드(600)를 포함하여 구성된다.
상기 양압 공급부(100, positive pressure supplier)와 음압 공급부(200, negative pressure supplier)는 공지된 일반적인 장치가 사용될 수 있다.
즉, 상기 양압 공급부(100)는 양압을 발생시키는 펌프 등으로 구성될 수 있으며, 음압 공급부(200)는 이젝터(ejector) 등이 사용될 수 있다.
상기 양압 공급부(100)는 시간에 따라 양압을 단계별로 조절할 수 있게 되어 있다.
즉, 상기 양압 공급부(100)는 단계별 압력-시간의 제어가 가능하게 되어 있다.
압력의 조절을 위해 레귤레이터(미도시) 및 레귤레이터에 연결된 제어부(미도시) 등이 부가적으로 설치될 수 있다.
상기 음압/양압 전환밸브(300)는 잉크 저장부(500) 내의 잉크 압력을 양압 또는 음압 상태로 조정하기 위한 밸브로서 일반적인 3방향 밸브가 사용 가능하며 제어부에 의해 자동 작동이 가능하다.
상기 공급조절밸브(400)는 상기 잉크 저장부(500)로 작용하는 압력을 차단하거나 공급하기 위한 구성요소이다.
또한, 상기 잉크 저장부(500)는 잉크젯 노즐 헤드(600)로 공급되는 잉크를 보관하기 위한 저장소이다.
상기 잉크젯 노즐 헤드(600)는 잉크 저장부(500)로부터 잉크를 전달 받아 대상물에 토출하여 도포하기 위한 구성요소로서, 바닥에는 다수 개(예컨대, 125개)의 노즐이 상기 잉크젯 노즐 헤드(600)의 길이방향을 따라 서로 이격되게 형성되어 있다.
상기 양압 공급부(100)에서의 양압의 공급은 시간에 따라 복수 단계의 계단 상승 구간과 복수 단계의 계단 하강 단계를 연이어서 거치도록 하는 것이 바람직하다.
양압의 공급이 시간에 따라 복수 단계의 계단 상승 구간을 가지도록 하면, 양압 공급부(100)로부터 잉크 드롭 홀(620)까지 이르는 토출 라인에 변형이나 손상이 발생하는 것이 방지되고, 토출 라인에 다소의 추진력을 발생시켜서 토출 라인 내부에 기포(버블)나 미세 이물질(파티클)이 점착하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 시간에 따라 복수 단계의 계단 하강 구간을 가지도록 하면, 압력의 갑작스러운 정지로 인한 토출 라인에 잔존하는 잉크의 움직임을 최소화하여 내부에 기포가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 잉크젯 노즐 헤드(600)에는 피에조 구동기(700)가 추가로 설치되는 것이 바람직하다.
이에 따라, 상기 양압 공급부(100)를 통해 양압이 공급되는 동안 피에조 구동기(700)를 통해 피에조 주파수를 작용시킴으로써 토출 라인을 활성화하여 토출 누락을 제거하고 토출 라인 중의 기포를 제거할 수 있으며, 이를 통해 토출 라인의 막힘을 방지하여 사용 가능한 토출 라인의 수를 극대화할 수 있다.
특히, 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 피에조 구동기(700)는 상기 잉크 드롭 홀(620)의 출구에 대향되도록 각각 배치되어 상기 잉크 드롭 홀(620)을 통과하는 잉크의 운동을 효과적으로 활성화시키는 것이 바람직하다.
상기 피에조 구동기(700)는 인가되는 전압에 의해 소정 주파수의 진동 및 변위를 발생시키는 장치로서 다층의 세라믹 필름 등의 소재를 사용할 수 있으며, 공지의 다른 장치가 적용되는 것이 가능하다.
또한, 상기 잉크젯 노즐 헤드(600)는 일방향으로 연장 형상되어 있으며, 길이방향 양단 부근에는 상기 잉크 저장부(500)로부터 연결되는 한 쌍의 잉크 유입공(610)이 각각 형성되어 있고, 상기 잉크젯 노즐 헤드(600)의 바닥에는 상기 길이방향을 따라 다수 개의 잉크 드롭 홀(620)이 형성되도록 할 수 있다.
상기 잉크 유입공(610)이 잉크젯 노즐 헤드(600)의 길이방향 양단에 각각 형성되어 있기 때문에, 길이방향으로 배치되는 다수 개의 잉크 드롭 홀(620)에 균일한 압력으로 잉크를 제공하는 것이 가능하게 된다.
도 2에 나타낸 잉크 드롭 홀(620)은 하나의 예시일 뿐이며 100개 이상이 촘촘하게 배치될 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 잉크젯 노즐의 퍼지 방법을 설명한다.
본 발명에 따른 잉크젯 노즐의 퍼지 방법은, 실제 잉크 도포 작업시 다수(예컨대, 125개)의 잉크 드롭 홀(620) 중 일부가 막혀서 잉크가 토출되지 않거나 약하게 토출되는 것을 사전에 방지하기 위한 전처리 작업으로 이루어지는 것이 바람직하다.
이를 위해, 도 3에 도시한 바와 같이, 잉크 저장부(500)를 통해 양압 또는 음압을 잉크젯 노즐 헤드(600)에 공급하되, 상기 양압의 공급은 시간에 따라 복수 단계의 계단 상승 구간과 복수 단계의 계단 하강 단계를 거치도록 한다.
양압의 공급이 시간에 따라 복수 단계의 계단 상승 구간을 가지도록 하면, 양압 공급부(100)로부터 잉크 드롭 홀(620)까지 이르는 토출 라인에 변형이나 손상이 발생하는 것을 방지하고, 토출 라인에 다소의 추진력을 발생시켜서 토출 라인 내부에 기포(버블)나 미세 이물질(파티클)이 점착하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 시간에 따라 복수 단계의 계단 하강 구간을 가지도록 하면, 압력의 갑작스러운 정지로 인한 토출 라인에 잔존하는 잉크의 움직임을 최소화하여 내부에 기포가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 3에는 양압 공급의 하나의 실시예가 도시되어 있는데, 총 5단계로 양압이 작용하도록 되어 있다.
즉, 20.00KPa에서 1,500밀리초 동안 유지하는 1단계 상승(S1), 60.00KPa에서 3,500밀리초 동안 유지하는 2단계 상승(S2), 20.00KPa에서 1,000밀리초 동안 유지하는 3단계 하강(S3), 10.00KPa에서 1,000밀리초 동안 유지하는 4단계 하강(S4), 및 0KPa에서 1,000밀리초 동안 유지하는 5단계 하강 구간(S5)으로 이루어질 수 있다.
그러나, 계단 상승 구간을 3개 이상, 계단 하강 구간을 2개 또는 4개 이상 설정하여도 무방하다.
또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 양압을 공급할 경우 잉크젯 노즐 헤드(600)에 형성된 잉크 드롭 홀(620)에 피에조 주파수를 동시에 구동시키도록 할 수 있다.
이에 따라, 양압이 공급되는 동안 잉크 드롭 홀(620)에 피에조 주파수가 작용되어 토출 라인을 활성화함으로써 토출 누락 현상을 방지하고 토출 라인 중의 기포를 제거할 수 있으며 막힘을 방지할 수 있다.
특히, 상기 피에조 주파수는 1~10KHz의 범위에서 구동하는 것이 바람직하다.
피에조 주파수가 1KHz 미만일 경우 토출 라인을 활성화 시키기에는 부족하고 10KHz를 초과할 경우에는 양압에 의한 토출 효과를 상쇄시켜서 오히려 잉크 드롭 홀(620)의 막힘 문제가 해소되지 않는 경우가 발생할 수 있다.
즉, 상기 피에조 주파수의 구동은 양압에 의한 잉크의 토출 효과를 활성화시키기 위해 보조하는 기능을 수행하며, 양압의 기능을 저지할 정도의 주파수가 작용하는 것을 피하도록 하는 것이 좋다.
도 4에는 양압 공급 및 피에조 주파수 구동에 관한 하나의 실시예가 도시되어 있는데, 양압은 아래의 총 5단계로 공급되고 피에조 주파수는 5KHz로 작용하게 되어 있다.
즉, 양압은 20.00KPa에서 1,500밀리초 동안 유지하는 1단계 상승(S1), 60.00KPa에서 3,500밀리초 동안 유지하는 2단계 상승(S2), 20.00KPa에서 1,000밀리초 동안 유지하는 3단계 하강(S3), 10.00KPa에서 1,000밀리초 동안 유지하는 4단계 하강(S4), 및 0KPa에서 1,000밀리초 동안 유지하는 5단계 하강(S5) 구간으로 이루어질 수 있으며, 동시에 5KHz의 피에조 주파수를 작용하도록 할 수 있다.
도 5의 (a)와 (b)에는 잉크젯 노즐을 퍼지하기 전의 잉크젯 노즐 헤드의 노즐 드롭 홀의 상태와 퍼지한 후 잉크젯 노즐 헤드의 상태를 카메라로 촬영한 사진이 나타나 있다.
이를 위해, 상기 잉크젯 노즐 헤드(600)의 잉크 드롭 홀(620)의 출구 쪽에 상기 잉크젯 노즐 헤드(600)를 사이에 두고 광원(미도시)과 카메라(미도시)가 수평으로 이격되게 배치될 수 있다.
이를 통해, 상기 잉크젯 노즐 헤드(600)의 잉크 드롭 홀(620)의 막힘 여부를 확실히 확인할 수 있다.
도시한 바와 같이, 양압의 단계별 공급과 피에조 주파수의 작용을 통해 잉크 드롭 홀이 막힘없이 완벽하게 세정된 것을 알 수 있다.
한편, 상기 음압은 양압 공급 완료 후 작용함으로써 잉크가 잉크젯 노즐 헤드(600)의 잉크 드롭 홀(620) 측에 정지상태로 대기할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
기술되지 않은 구성부호 900은 토출된 잉크를 받기 위한 잉크 더미 트레이를 표시한다.
본 발명의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위 내에서 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
100... 양압 공급부
200... 음압 공급부
300... 음압/양압 전환밸브
400... 공급조절밸브
500... 잉크 저장부
600... 잉크젯 노즐 헤드
700... 피에조 구동기
1000... 잉크젯 노즐의 퍼지 장치

Claims (9)

  1. 양압 공급부;
    상기 양압 공급부와 병렬로 연결되는 음압 공급부;
    상기 양압 공급부와 음압 공급부 사이를 연결하는 통로에 배치되는 음압/양압 전환밸브;
    상기 음압/양압 전환밸브에 연결되는 공급조절밸브;
    상기 공급조절밸브와 연결되는 잉크 저장부; 및,
    상기 잉크 저장부에 연결되며 잉크 드롭 홀이 형성되는 잉크젯 노즐 헤드를 포함하되,
    상기 양압 공급부는 단계별 압력-시간의 제어가 가능하며, 시간에 따라 복수 단계의 계단 상승 구간과 복수 단계의 계단 하강 단계를 거치는 양압을 공급하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 노즐의 퍼지 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 잉크젯 노즐 헤드에는 피에조 구동기가 포함되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 노즐의 퍼지 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 피에조 구동기는 상기 잉크 드롭 홀의 출구에 대향되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 노즐의 퍼지 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 잉크젯 노즐 헤드는 일방향으로 연장 형상되어 있으며, 길이방향 양단 부근에는 상기 잉크 저장부로부터 연결되는 한 쌍의 잉크 유입공이 각각 형성되어 있고, 상기 잉크젯 노즐 헤드의 바닥에는 상기 길이방향을 따라 다수 개의 잉크 드롭 홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 노즐의 퍼지 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 잉크젯 노즐 헤드의 잉크 드롭 홀의 출구 쪽에 상기 잉크젯 노즐 헤드를 사이에 두고 광원과 카메라가 수평으로 이격되게 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 노즐의 퍼지 장치.
  6. 잉크젯 노즐의 퍼지 방법에 있어서,
    잉크 저장부를 통해 양압 또는 음압을 노즐 헤드에 공급하되, 상기 양압의 공급은 시간에 따라 복수 단계의 계단 상승 구간과 복수 단계의 계단 하강 단계를 거치는 것을 특징으로 하는 잉크젯 노즐의 퍼지 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    양압을 공급할 경우, 노즐 헤드에 형성된 잉크 드롭 홀에 피에조 주파수를 동시에 구동시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 노즐의 퍼지 방법.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    피에조 주파수는 1~10KHz의 범위에서 구동하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 노즐의 퍼지 방법.
  9. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 음압은 양압 공급 완료 후 작용하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 노즐의 퍼지 방법.
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