KR20190076747A - Apparatus Fixing Atypical Sample for Analyzing X-ray Diffraction - Google Patents

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Abstract

The present invention aims to provide an apparatus for fixating an atypical sample for analyzing an X-ray diffraction, which is able to, when fixating a sample for analyzing an XRD test of various atypical samples, keep an upper side, which serves as an analysis surface, horizontal, and to place and fixate the sample on the center of a holder. According to an embodiment of the present invention, the apparatus for fixating the atypical sample for analyzing the X-ray diffraction comprises: a sample alignment unit which, to analyze an X-ray diffraction in an XRD diffraction analyzer, fixates the atypical sample for analyzing the X-ray diffraction, and aligns the sample; an adhesive supply unit placed to correspond to the sample alignment unit to supply an adhesive to a lower side of the sample; a sample holder unit which fixates the sample by using the adhesive which is transferred and supplied on an upper side of the adhesive supply unit; and a moving unit which has the sample holder unit mounted to move the adhesive to an upper side of the adhesive supply unit to fixate the sample for the analysis.

Description

X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치 {Apparatus Fixing Atypical Sample for Analyzing X-ray Diffraction}[0001] The present invention relates to an X-ray diffraction (XRD)

본 발명은 X선회절 시험분석기를 이용하여 X선 튜브에서 발생하는 X선을 시편에 조사하여 회절 패턴과 강도를 검출할 때, 시편을 고정하는 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an amorphous specimen fixing apparatus for X-ray diffraction analysis for fixing a specimen when irradiating a specimen with X-rays generated in an X-ray tube using an X-ray diffraction test analyzer and detecting a diffraction pattern and intensity.

알려진 바에 따르면, X선회절(XRD; X-ray Diffraction)시험 분석기는 X선 튜브에서 발생하는 X선을 시편에 조사하여 얻은 회절 패턴과 강도를 검출하여, 시편의 결정구조 및 화합상태를 판별하고, 강도의 세기로 물질의 정성 및 정량 분석을 가능하게 한다. XRD시험에 철강시료, 분말시료 등이 적용되고, 시험법에는 일반적인 성분분석, 잔류 오스테나이트(Austenite), 잔류응력, 극점도해석(Pole Figure) 등이 있다.It is known that an X-ray diffraction (XRD) test analyzer detects a diffraction pattern and intensity obtained by irradiating a specimen with X-rays generated from an X-ray tube to determine the crystal structure and the state of the specimen , Enabling the qualitative and quantitative analysis of the material by the intensity of the intensity. Steel samples and powder samples are applied to the XRD test. Test methods include general component analysis, residual austenite, residual stress, and pole figure analysis (Pole figure).

XRD시험에 이용되는 시편의 규격은 정해져 있지만 철강시료의 경우, 두께 등이 일정하지 않고, 잔류응력시험의 경우, 비정형화 된 시편을 비파괴 상태로 분석한다. 따라서 기존에 사용되던 홀더(holder)로 분석이 불가능하다. 기존의 홀더는 비정형화된 시편에 대해 XRD시험 분석을 하였을 때, 신뢰성이 있고 재현성이 있는 데이터로 분석하여, 철강연구에 적용을 도모하는데 기여하고 있다.Specimens used for the XRD test are specified, but the steel specimens are not uniform in thickness. For the residual stress test, the irregular specimens are analyzed in a non-destructive state. Therefore, it can not be analyzed with a holder that has been used before. Existing holders contribute to the application of steel research by analyzing reliable and reproducible data when XRD test analysis is performed on non - standardized specimens.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 분석을 위하여 절단 가공된 시편(1)에서 XRD시험 분석이 이루어지는 상부(11)를 연삭장치(미도시)로 바르게 연마하고, 비정형으로 절단된 하부(12)를 홀더(2)의 내부에 장착한다. 이때, 홀더(2)와 시편(1) 사이에 접착제(예, 젤리 타입)(3)를 위치한 다음, 작업자가 시편(1)의 상부(11)를 눌러서 고정한다.Referring to FIGS. 1 to 3, the upper portion 11 of the specimen 1 subjected to the XRD test analysis is polished by an abrasive machine (not shown) and the lower portion 12 cut by the irregular shape Is mounted inside the holder (2). At this time, an adhesive (for example, jelly type) 3 is placed between the holder 2 and the specimen 1, and then the operator presses and fixes the upper portion 11 of the specimen 1.

이와 같은 방법으로 시편(1)을 홀더(2)에 고정함으로써 연마된 상부(11)에 손 지문과 오염원이 부착됨으로 정밀한 XRD시험 분석을 위해서는 상부(11)를 재연마할 필요성이 생긴다. 시편(1)을 작업자가 임의의 힘으로 누르고 붙이므로 XRD시험 분석이 이루어지는 상부(11)에 기울기(θ)가 형성된다(도 1, 도 2 참조). 따라서 XRD시험 분석기에서 분석 시, 분석 시간이 과다하게 소요되고, 오류가 발생될 수 있다.In this way, by fixing the test piece 1 to the holder 2, the fingerprint and the contamination source are adhered to the polished upper part 11, so that the upper part 11 needs to be re-fired for accurate XRD test analysis. Since the operator presses and holds the test piece 1 with an arbitrary force, a slope? Is formed in the upper portion 11 where the XRD test analysis is performed (see FIGS. 1 and 2). Therefore, in the XRD test analyzer, the analysis time is excessive and errors may occur.

시편(1)을 홀더(2)에 부착하기 위하여 사용하는 접착제(3)의 양이 많을 경우, 시편(1)의 외측으로 흘러나온 접착제(31)에 의하여(도 2 참조) XRD시험 분석기에서 XRD시험 분석 시, 2θ(degree)에 대한 강도(Intensity, CPS)로 나타나는 전체 데이터(D)에서 왜곡 데이터(DE)가 발생할 수 있다(도 3 참조). 또한 접착제(3)의 양이 적을 경우, XRD시험 분석기에서 XRD시험 분석 시, 홀더(2)의 내부에서 시편(1)이 떨어져 분석을 할 수 없게 된다.When the amount of the adhesive 3 used for attaching the test piece 1 to the holder 2 is large, an XRD test analyzer (see FIG. 2) During the test analysis, the distortion data DE may be generated in the entire data D represented by the intensity (CPS) with respect to 2? Degrees (see FIG. 3). Further, when the amount of the adhesive 3 is small, the specimen 1 falls off inside the holder 2 during the XRD test analysis in the XRD test analyzer, and analysis can not be performed.

본 발명의 목적은 비정형화된 다양한 시편의 XRD시험 분석을 위하여, 시편을 고정할 때, 분석면이 되는 상부를 수평으로 유지하고, 시편을 홀더의 중앙에 배치하여 고정하는 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an X-ray diffractometer for X-ray diffraction analysis of X-ray diffraction (XRD) analysis of various specimens having an irregular shape, wherein the specimen is held at the upper part of the specimen horizontally, And to provide a sample fixing device.

본 발명의 목적은 시편의 셋팅 시간을 단축하고, XRD시험 분석 시, 홀더의 내부에 시편을 견고하게 고정하며, 시편을 고정하는 접착제에 의한 데이터 오류를 방지하는 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an X-ray diffraction analysis apparatus for X-ray diffraction analysis, which shortens the setting time of a specimen, firmly fixes the specimen inside the holder during XRD test analysis and prevents data errors caused by an adhesive fixing the specimen .

본 발명의 일 실시예에 따른 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치는, XRD시험 분석기에서 X선회절 분석을 하기 위하여, X선회절 분석용 비정형 시편을 고정하며, 상기 시편을 정렬하는 시편 정렬부, 상기 시편 정렬부에 대응하도록 구비되어 상기 시편의 하부에 접착제를 공급하는 접착제 공급부, 상기 접착제 공급부에서 공급되는 상기 접착제로 상기 시편 정렬부에 의하여 정렬된 상기 시편을 고정하는 시편 홀더부, 및 XRD시험 분석을 위한 상기 시편의 고정을 위하여 장착된 상기 시편 홀더부를 상기 시편 정렬부와 상기 접착제 공급부 사이로 이동시키는 이동부를 포함한다.The irregular specimen fixing apparatus for X-ray diffraction analysis according to an embodiment of the present invention includes an X-ray diffraction analysis apparatus for fixing an irregular specimen for X-ray diffraction analysis, A specimen holder portion provided corresponding to the specimen arranging portion and adapted to supply an adhesive to a lower portion of the specimen, a specimen holder portion that fixes the specimen arranged by the specimen aligning portion with the adhesive supplied from the adhesive supply portion, And a moving part for moving the specimen holder part mounted for fixation of the specimen for test analysis between the specimen arranging part and the adhesive supply part.

상기 시편 정렬부는, 공급되는 시편을 1차로 정렬하는 제1정렬부, 및 상기 제1정렬부 상에 구비되어 상기 시편을 2차로 정렬하는 제2정렬부를 포함할 수 있다.The specimen arranging unit may include a first aligning unit that first aligns the specimen to be supplied, and a second aligning unit that is provided on the first aligning unit and aligns the specimen in a second order.

상기 제1정렬부는 본체 상에 이격되어 조립되는 복수의 지지대, 상기 복수의 지지대 상에 연결대를 개재하여 상기 지지대에 조립되는 승강 프레임, 및 상기 연결대에 기어 결합되어 상하 방향으로 설치되는 기어축을 회전시켜 상기 승강 프레임을 승강시키는 모터를 포함할 수 있다.The first aligning unit may include a plurality of supports mounted on the main body so as to be spaced apart from each other, an elevating frame assembled to the supporting frame via the connecting rods on the plurality of supporting rods, and a gear shaft mounted on the connecting rods, And a motor for raising and lowering the lift frame.

상기 제2정렬부는 상기 승강 프레임의 내부에 회전 가능하게 설치되고 상기 시편이 배치되는 회전판, 상기 회전판의 일측에 구비되어 상기 회전판에 회전력을 제공하는 모터, 상기 회전판의 상면에 서로 교차하는 4방향으로 설치되어 상기 시편을 이동시키는 실린더, 및 상기 회전판의 중앙에 설치되는 전자석판을 포함할 수 있다.The second aligning portion includes a rotating plate rotatably installed in the lifting frame and provided with the specimen, a motor provided at one side of the rotating plate to provide a rotating force to the rotating plate, A cylinder installed to move the specimen, and an electroplate installed at the center of the rotating plate.

상기 접착제 공급부는 공급되는 접착제를 내부 홈에 수용하는 가열통, 상기 가열통에 구비되는 가열체, 상기 가열통에서 내부 홈에 배치되는 주입판, 및 상기 가열통을 관통하여 상기 주입판에 연결되어 상하 방향으로 신축 작동되는 실린더를 포함할 수 있다.The adhesive supply portion is connected to the injection plate through the heating cylinder, the heating body provided in the heating cylinder, the injection plate arranged in the inner groove in the heating cylinder, and the heating cylinder through the heating cylinder, And a cylinder that is stretchable and contractible in the vertical direction.

상기 접착제 공급부는 상기 가열통의 일측에 구비되어 내부 홈에 접착제를 다단으로 보관하는 공급통, 상기 공급통의 내부 홈에 설치되어 다단의 접착제를 지지하여 상승 공급하도록 스프링으로 지지되는 지지판, 및 상기 공급통의 상부에 구비되어 신축 작동되어 상승된 접착제를 관로로 연결된 상기 가열통으로 공급하는 실린더를 포함할 수 있다.The adhesive supply unit includes a supply cylinder provided at one side of the heating cylinder to store the adhesive in the inner groove in multiple stages, a support plate installed in the inner groove of the cylinder and supported by a spring to support and support the multi- And a cylinder provided at an upper portion of the supply cylinder and operated to expand and contract to supply the raised adhesive to the heating cylinder connected to the pipe.

상기 시편 홀더부는 상기 접착제 공급부로부터 공급되는 접착제를 상승시키는 제1안내 파이프를 구비하는 홀더 바디, 상기 홀더 바디 내에서 상기 제1안내 파이프의 상방 외곽에 구비되고 상기 시편 정렬부에서 정렬된 시편을 고정하는 제2안내 파이프, 상기 홀더 바디와 상기 제2안내 파이프 사이를 상하 방향에서 탄성 지지하는 스프링, 및 상단으로 상기 제2안내 파이프에 고정되고 하단으로 상기 홀더 바디를 관통하여 상기 제2안내 파이프의 상승을 한정하는 가이드를 포함할 수 있다.Wherein the specimen holder includes a holder body having a first guide pipe for raising an adhesive supplied from the adhesive supply unit, a holder body provided on an upper side of the first guide pipe in the holder body, A spring fixed to the second guide pipe at an upper end thereof and penetrating through the holder body at a lower end thereof to connect the second guide pipe to the second guide pipe, May include a guide that limits lift.

상기 이동부는 외부에서 상기 접착제 공급부 상으로 설치되는 레일, 상기 레일을 따라 이동하도록 상기 레일 상에 설치되고, 상기 시편 정렬부에서 정렬된 시편을 고정하는 상기 시편 홀더부를 장착하는 이동판, 및 상기 이동판에 연결되어 신축 작동으로 상기 이동판의 시편을 상하 방향에서 상기 시편 정렬부와 상기 접착제 공급부의 사이로 이동시키는 실린더를 포함할 수 있다.A movable plate mounted on the rail for moving along the rail, the moving plate mounting the specimen holder for fixing the specimen aligned in the specimen arranging portion, And a cylinder connected to the plate to move the specimen of the moving plate in the vertical direction between the specimen alignment unit and the adhesive supply unit in a stretching operation.

본 발명의 일 실시예는 시편 정렬부에서 시편을 정렬하고, 이동부에 구비되는 시편 홀더부를 시편 정렬부와 접착제 공급부 사이로 이동시켜서, 정렬된 시편에 접착제를 공급하여, 정렬된 시편을 시편 홀더부에 고정한다.In an embodiment of the present invention, the specimen is aligned in the specimen alignment section, the specimen holder section provided in the moving section is moved between the specimen alignment section and the adhesive supply section, the adhesive is supplied to the aligned specimen, .

따라서 비정형화된 다양한 시편에 대해 XRD시험 분석을 위해 시편을 고정할 때, XRD시험 분석이 이루어지는 시편의 상부가 수평으로 고정될 수 있고, 분석용 시편이 홀더의 중앙에 배치 및 고정될 수 있다.Therefore, when fixing the specimen for XRD test analysis on various non-standardized specimens, the top of the specimen on which the XRD test analysis is performed can be fixed horizontally, and the specimen for analysis can be placed and fixed in the center of the holder.

그리고 시편의 셋팅 시간이 단축되고, XRD시험 분석 시, 시편 홀더부의 내부에 정렬된 시편이 견고하게 고정되며, 정렬된 시편을 고정하는 접착제에 의한 데이터 오류가 방지될 수 있다. 따라서 XRD시험 분석 데이터의 신뢰도가 향상되고 재작업이 없어진다.The settling time of the specimen is shortened. In XRD test analysis, the specimen aligned inside the specimen holder part is firmly fixed, and data errors caused by the adhesive fixing the specimen can be prevented. This improves the reliability of XRD test analysis data and eliminates rework.

도 1은 종래의 XRD시험 분석기의 시편 홀더에 시편을 고정한 상태의 평면도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따라 자른 단면도이다.
도 3은 도 2의 상태로 XRD시험 분석기에서 얻어진 데이터이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치의 정면도이다.
도 5는 도 4에 적용되는 시편 정렬부의 평면도이다.
도 6은 도 5의 정면도이다.
도 7은 도 5에 적용되는 접착제 공급부의 단면도이다.
도 8은 도 5에 적용되는 시편 홀더부의 단면도이다.
도 9는 도 8의 평면도이다.
도 10은 이동부에 의하여, 도 7의 접착제 공급부 상에 도 8의 시편 홀더부를 이동한 상태의 단면도이다.
도 11은 도 10의 상태로 XRD시험 분석기에서 얻어진 데이터이다.1 is a plan view of a specimen held in a specimen holder of a conventional XRD test analyzer.
2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.
3 is the data obtained from the XRD test analyzer in the state of FIG.
4 is a front view of an amorphous specimen fixing apparatus for X-ray diffraction analysis according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view of the specimen arranging portion applied to Fig.
6 is a front view of Fig. 5. Fig.
7 is a cross-sectional view of the adhesive supply portion applied to Fig.
8 is a cross-sectional view of the specimen holder portion applied to Fig.
Fig. 9 is a plan view of Fig. 8. Fig.
Fig. 10 is a cross-sectional view of the specimen holder portion of Fig. 8 moved on the adhesive supply portion of Fig. 7 by the moving portion. Fig.
11 is the data obtained by the XRD test analyzer in the state of FIG.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치의 정면도이다. 도 4를 참조하면, 일 실시예의 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치는 XRD시험 분석기에서 X선회절시험 분석을 하기 위하여, X선회절 분석용 비정형 시편을 고정하도록 구성된다.4 is a front view of an amorphous specimen fixing apparatus for X-ray diffraction analysis according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, the amorphous specimen fixing apparatus for X-ray diffraction analysis of one embodiment is configured to fix an amorphous specimen for X-ray diffraction analysis in order to perform an X-ray diffraction test analysis in an XRD test analyzer.

예를 들면, X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치는 X선회절시험 분석을 위한 시편(4)을 분석하기 위하여, 시편(4)(도 6, 도 8 참조)을 정렬하는 시편 정렬부(40), 접착제 공급부(50), 시편 홀더부(60) 및 이동부(70)를 포함한다. 접착제 공급부(50)는 시편 정렬부(40)에 대응하도록 구비되어, 시편 정렬부(40)에서 시편 홀더부(60)로 이동되는 시편(4)의 하부에 접착제를 공급하도록 구성된다.For example, an amorphous specimen fixing apparatus for X-ray diffraction analysis includes a specimen arranging unit 40 (Fig. 6) for aligning specimen 4 (see Figs. 6 and 8) for analyzing specimen 4 for X- An adhesive supply portion 50, a specimen holder portion 60, and a moving portion 70. [ The adhesive supply part 50 is provided to correspond to the specimen alignment part 40 and is configured to supply the adhesive to the lower part of the specimen 4 which is moved from the specimen alignment part 40 to the specimen holder part 60.

시편 홀더부(60)는 시편 정렬부(40)와 접착제 공급부(50)의 사이(z축 방향)로 이송되어 공급되는 접착제로 시편 정렬부(40)에서 정렬된 시편(4)을 고정하도록 구성된다. 이동부(70)는 시편 홀더부(60)를 장착하고 XRD시험 분석을 위한 시편(4)의 이동 고정을 위하여 시편 정렬부(40)와 접착제 공급부(50) 사이로 시편 홀더부(60)를 이동시키도록 구성된다.The specimen holder 60 is configured to fix the specimen 4 aligned in the specimen aligning portion 40 with the adhesive supplied and conveyed between the specimen aligning portion 40 and the adhesive supplying portion 50 do. The moving unit 70 is mounted with the specimen holder 60 and moves the specimen holder 60 between the specimen aligning unit 40 and the adhesive supply unit 50 for moving and fixing the specimen 4 for XRD test analysis .

분석용 시편(4)은 다양한 형상을 가질 수 있으며, 시편(4)에서 분석하고자 하는 상부는 가공장치(예, 연마기)(미도시)에서 정밀하게 연마되고, 분석하지 않은 하부는 연마되지 않은 상태로 다양한 형상을 가질 수 있다. 도 6, 도 8에 도시된 시편(4)에서, 분석면은 평면이고, 분석 반대면은 비정형이다.The analytical test piece 4 may have various shapes and the upper part to be analyzed in the test piece 4 is precisely polished in a processing device (for example, a grinder) (not shown) And can have various shapes. In the specimen 4 shown in Figs. 6 and 8, the analytical plane is planar and the opposite side of the analytical plane is irregular.

도 5는 도 4에 적용되는 시편 정렬부의 평면도이고, 도 6은 도 5의 정면도이다. 도 4 내지 도 6을 참조하면, 시편 정렬부(40)는 투입되는 시편(4)을 1차로 정렬하는 제1정렬부(41), 및 제1정렬부(41) 상에 구비되어 시편(4)을 2차로 정렬하는 제2정렬부(42)를 포함한다. 제1정렬부(41)는 투입되는 시편(4)을 대략적으로 1차 정렬하고 제2정렬부(42)의 정렬 작업 후, 상하 방향으로 2차 정렬한다. 제2정렬부(42)는 제1정렬부(41)에서 시편(4)의 1차 정렬 후, 시편(4)을 평면 방향으로 정밀하게 정렬한다.Fig. 5 is a plan view of the specimen arranging portion applied to Fig. 4, and Fig. 6 is a front view of Fig. 5. Fig. 4 to 6, the specimen arranging section 40 includes a first aligning section 41 for first aligning the specimen 4 to be put in, and a second aligning section 41 provided on the first aligning section 41, And a second alignment unit 42 for aligning the first alignment unit 42 and the second alignment unit 42 in a second order. The first aligning portion 41 roughly first aligns the specimens 4 to be put in order, and after the aligning operation of the second aligning portions 42, the second aligning portions 41 vertically align. The second aligning section 42 aligns the specimen 4 in the planar direction after the first alignment of the specimen 4 in the first aligning section 41.

제1정렬부(41)는 일 실시예에 따른 고정장치의 본체(81) 상에 이격되어 조립되는 복수의 지지대(411), 승강 프레임(412) 및 모터(413)을 포함한다. 승강 프레임(412)은 복수의 지지대(411) 상에 연결대(414)를 개재하여 지지대(411)에 조립된다. 모터(413)는 연결대(414)에 기어 결합되어 상하 방향으로 설치되는 기어축(415)을 회전시켜, 승강 프레임(412)을 지지대(411) 상에서 승강시킨다.The first aligning unit 41 includes a plurality of supports 411, a lifting frame 412, and a motor 413, which are separated and assembled on the main body 81 of the fixing apparatus according to one embodiment. The lifting frame 412 is assembled to a support base 411 via a connecting base 414 on a plurality of supporting base 411. [ The motor 413 is geared to the linkage 414 and rotates the gear shaft 415 installed in the vertical direction to elevate the lift frame 412 on the support table 411.

제2정렬부(42)는 회전판(421), 모터(422), 실린더(423) 및 전자석판(424)를 포함한다. 회전판(421)은 승강 프레임(412)의 내부에 회전 가능하게 설치되고 시편(4)이 배치된다. 시편(4)에서 분석면이 되는 연마된 면을 회전판(421)에 면접촉 되도록 올려 놓는다.The second aligning portion 42 includes a rotating plate 421, a motor 422, a cylinder 423, and an electret plate 424. The rotating plate 421 is rotatably installed inside the lifting frame 412 and the test piece 4 is disposed. In the specimen 4, the polished surface serving as the analytical surface is placed so as to be in surface contact with the rotating plate 421.

모터(422)는 회전판(421)의 일측에 구비되어 회전판(421)에 회전력을 제공한다. 모터(422)의 회전에 따라 회전판(421) 상의 시편(4)은 회전판(421)의 상부 또는 하부에 위치된다. 실린더(423)는 복수로 구비되며, 회전판(421)의 상면에 서로 교차하는 4방향(x, y축 방향)으로 설치되어, 회전판(421) 상에 고정 설치되는 시편(4)을 평면 방향으로 이동시켜, xy평면 상에서 시편(4)의 위치를 설정한다. The motor 422 is provided at one side of the rotating plate 421 to provide rotational force to the rotating plate 421. The specimen 4 on the rotating plate 421 is positioned at the upper portion or the lower portion of the rotating plate 421 in accordance with the rotation of the motor 422. A plurality of cylinders 423 are provided and mounted on the upper surface of the rotating plate 421 in four directions (x and y axis directions) intersecting with each other. The test piece 4 fixedly mounted on the rotating plate 421 is moved in a planar direction And the position of the specimen 4 is set on the xy plane.

시편(4)을 회전판(421)에 올려 놓는 1차 정렬시, 시편(4)의 최소 이송으로 중심에 일치할 수 있도록 가능한 회전판(421)의 중앙에 배치한다. 시편(4)이 회전판(421)에 안착되면, 제2정렬부(42)에서 4방향으로 설치된 4개의 실린더(423)가 작동되어 시편(4)의 측면을 밀어서, 회전판(421)의 중앙에 정확히 일치시킨다.Is arranged at the center of the rotary plate 421 so as to be coincident with the center by the minimum transfer of the test piece 4 during the primary alignment in which the test piece 4 is placed on the rotary plate 421. The four cylinders 423 installed in the four directions in the second alignment section 42 are operated to push the side surface of the test piece 4 to the center of the rotation plate 421 Match exactly.

이때, 4개의 실린더(423)는 동시에 작동하는 것보다 일측(예 x축 방향)에 대응되는 실린더를 신장하고, 이어서 다른 부분(예, y축 방향)의 실린더를 신장하여, 즉 2단계로 작동하여, 시편(4)을 회전판(421)의 중앙 부분으로 일치시키는 것이 바람직하다.At this time, the four cylinders 423 extend the cylinder corresponding to one side (for example, the x-axis direction) and then extend the cylinder for the other portion (for example, the y-axis direction) So that the specimen 4 is aligned with the central portion of the rotary plate 421. [

전자석판(424)는 회전판(421)의 중앙에 설치되어, 전원의 단속을 통하여 형성되는 자력으로 시편(4)(예, 시편이 자성체인 경우)을 고정시키거나 분리시킬 수 있다. 4개 실린더(423)의 작동으로 시편(4)이 회전판(421)의 중심에 일치되면, 4개의 실린더(423)는 수축되어 원위치 된다. 이 상태에서, 전자석판(424)은 자력으로 시편(4)을 회전판(421)의 중심에 견고히 고정시킨다.The electromagnetic plate 424 is provided at the center of the rotary plate 421 and can fix or separate the test piece 4 (for example, when the test piece is a magnetic body) by the magnetic force formed through the interrupted power supply. When the specimen 4 is aligned with the center of the rotary plate 421 by the operation of the four cylinders 423, the four cylinders 423 contract and return to their original positions. In this state, the electrostatic plate 424 firmly fixes the test piece 4 to the center of the rotary plate 421 with a magnetic force.

회전판(421)에 시편(4)의 고정이 완료되면, 제1정렬부(41)의 승강 프레임(412)에 설치되고 회전판(421)에 연결되는 모터(422)가 동작되어 회전판(421)을 180도로 회전시킨다. 이때, 회전판(421) 상부에 고정된 시편(4)의 방향이 상하로 뒤집어지면서, 시편 홀더부(60)에 시편(4)의 고정을 위한 1차 준비가 완료된다.When the test piece 4 is fixed to the rotating plate 421, a motor 422 installed on the lifting frame 412 of the first aligning unit 41 and connected to the rotating plate 421 is operated to rotate the rotating plate 421 Rotate 180 degrees. At this time, the direction of the specimen 4 fixed to the upper portion of the rotary plate 421 is turned upside down, and the first preparation for fixing the specimen 4 to the specimen holder 60 is completed.

정렬 후, 다음 공정인 시편(4)을 고정하기 위하여, 접착제 공급부(50), 시편 홀더부(60) 및 이동부(70)에 대하여 구체적으로 설명한다.The adhesive supplying section 50, the specimen holder section 60 and the moving section 70 will be described in detail in order to fix the specimen 4, which will be the next step, after alignment.

도 7은 도 5에 적용되는 접착제 공급부의 단면도이다. 도 1 및 도 7을 참조하면, 접착제 공급부(50)는 가열통(51), 가열체(52), 주입판(53) 및 실린더(54)를 포함한다. 접착제 공급부(50)는 시편 정렬부(40)에 대응하도록, 보다 구체적으로 회전판(421)의 하부에 구비되어, 회전판(421)에 정렬된 시편(4)의 하부(분석면 반대측)에 접착제(58)를 공급한다.7 is a cross-sectional view of the adhesive supply portion applied to Fig. 1 and 7, the adhesive supply portion 50 includes a heating cylinder 51, a heating body 52, an injection plate 53, and a cylinder 54. [ More specifically, the adhesive supply portion 50 is provided at a lower portion of the rotary plate 421 so as to correspond to the specimen alignment portion 40, and is provided with adhesive (not shown) on the lower portion 58).

가열통(51)은 공급되는 접착제(58)를 내부 홈(511)에 수용한다. 가열체(52)는 가열통(51)에 구비되어, 즉 코일 형태로 가열통(51)을 감고 있으며, 전원의 공급으로 열을 생성하여, 가열통(51) 및 그 내부 홈(511)을 가열한다.The heating cylinder 51 receives the supplied adhesive agent 58 in the inner groove 511. The heating body 52 is provided in the heating cylinder 51. That is, the heating cylinder 51 is wound in the form of a coil and generates heat by supplying power to the heating cylinder 51 and its inner groove 511 Heat it.

주입판(53)은 가열통(51)에서 내부 홈(511)에 배치되며, 대략 내부 홈(511)의 직경에 대응하는 판상으로 형성된다. 실린더(54)는 가열통(51)의 하부를 z축 방향으로 관통하여, 주입판(53)에 연결되어 상하 방향(z축 방향)으로 신축 작동된다.The injection plate 53 is disposed in the inner groove 511 in the heating cylinder 51 and is formed in a plate shape corresponding to the diameter of the approximately inner groove 511. The cylinder 54 penetrates the lower portion of the heating cylinder 51 in the z-axis direction and is connected to the injection plate 53 and is operated to expand and contract in the up-and-down direction (z-axis direction).

실린더(54)의 신축 작동으로 주입판(53)이 승강하면서 내부 홈(511)에 공급된 접착제(58)를 접착제 공급부(50)의 상부로 공급할 수 있다. 공급되는 접착제(58)는 시편 홀더부(60)로 공급되어 시편 홀더부(60)에 위치하는 회전판(421)에 정렬된 시편(4)을 고정한다.It is possible to supply the adhesive 58 supplied to the inner groove 511 to the upper portion of the adhesive supply portion 50 while the injection plate 53 is lifted and lowered by the expansion and contraction operation of the cylinder 54. [ The supplied adhesive 58 is supplied to the specimen holder portion 60 to fix the specimen 4 aligned on the rotary plate 421 located in the specimen holder portion 60.

또한, 접착제 공급부(50)는 공급통(55), 지지판(56) 및 실린더(57)를 더 포함한다. 공급통(55)은 가열통(51)의 일측에 구비되어 내부 홈(551)에 접착제(58)를 다단으로 보관할 수 있도록 구성된다.Further, the adhesive supply portion 50 further includes a supply cylinder 55, a support plate 56, and a cylinder 57. The feed cylinder 55 is provided at one side of the heating cylinder 51 and is configured to store the adhesive 58 in the inner groove 551 in multiple stages.

지지판(56)은 공급통(55)의 내부 홈(551)의 바닥에 설치되어 다단의 접착제(58)를 지지하여, 상승 공급하도록 스프링(59)으로 지지된다. 스프링(59)의 탄성력에 의하여, 지지판(56)은 접착제(58)를 내부 홈(551)에서 상부로 상승 공급할 수 있다.The support plate 56 is mounted on the bottom of the inner groove 551 of the feed cylinder 55 and supported by the spring 59 to support and feed the multi-stage adhesive 58. By the elastic force of the spring 59, the support plate 56 can elevate the adhesive 58 upward from the inner groove 551.

실린더(57)는 공급통(55)의 상부에 구비되어 신축 작동되어, 상승되는 접착제(58)를 가열통(51)으로 공급한다. 이를 위하여, 공급통(55)과 가열통(51)은 관로(531)로 연결된다. 실린더(57)의 작동으로 접착제(58)는 관로(531)를 통하여 공급통(55)에서 가열통(51)으로 공급된다.The cylinder 57 is provided at the upper portion of the feed cylinder 55 and is expanded and contracted to feed the adhesive 58 to the heating cylinder 51. To this end, the supply cylinder 55 and the heating cylinder 51 are connected to the pipe 531. The operation of the cylinder 57 causes the adhesive 58 to be supplied from the feed cylinder 55 to the heating cylinder 51 via the pipe 531. [

도 8은 도 5에 적용되는 시편 홀더부의 단면도이고, 도 9는 도 8의 평면도이다. 도 1, 도 8 및 도 9를 참조하면, 시편 홀더부(60)는 제1안내 파이프(61), 홀더 바디(63), 제2안내 파이프(62), 스프링(64) 및 가이드(65)를 포함한다.Fig. 8 is a sectional view of the specimen holder portion applied to Fig. 5, and Fig. 9 is a plan view of Fig. 1, 8 and 9, the specimen holder 60 includes a first guide pipe 61, a holder body 63, a second guide pipe 62, a spring 64 and a guide 65, .

도 10은 이동부에 의하여, 도 7의 접착제 공급부 상에 도 8의 시편 홀더부를 이동한 상태의 단면도이다. 도 10을 참조하면, 시편 홀더부(60)는 시편 정렬부(40)와 접착제 공급부(50) 사이로 이동되어, 접착제 공급부(50)에서 공급되는 접착제(58)로 시편 정렬부(40)에 의하여 정렬된 시편(4)을 고정한다.Fig. 10 is a cross-sectional view of the specimen holder portion of Fig. 8 moved on the adhesive supply portion of Fig. 7 by the moving portion. Fig. 10, the specimen holder 60 is moved between the specimen aligning portion 40 and the adhesive supplying portion 50 and is moved by the specimen aligning portion 40 to the adhesive 58 supplied from the adhesive supplying portion 50 The aligned specimen 4 is fixed.

도 8 내지 도 10을 참조하면, 홀더 바디(63)는 하측 중앙에 제1안내 파이프(61)를 구비한다. 제1안내 파이프(61)는 접착제 공급부(50)에서 상승하는 접착제(58)에 대응하도록 구비된다. 홀더 바디(63)는 이동부(70)에 장착되어 이동부(70)의 작동에 따라 외부에서 시편 정렬부(40)와 접착제 공급부(50) 사이로 이동된다.8 to 10, the holder body 63 includes a first guide pipe 61 at a lower center thereof. The first guide pipe (61) is provided to correspond to the adhesive (58) rising in the adhesive supply part (50). The holder body 63 is mounted on the moving part 70 and moved between the specimen alignment part 40 and the adhesive supplying part 50 from the outside according to the operation of the moving part 70.

따라서 시편 홀더부(60)가 시편 정렬부(40)와 접착제 공급부(50) 사이로 이송되었을 때, 홀더 바디(63)에 구비되는 제1안내 파이프(61)는 접착제 공급부(50)로부터 공급되는 접착제(58)를 상승 안내(도 10 참조)할 수 있다. 이때, 상하 뒤집어진 회전판(421)에 구비된 시편(4)은 시편 홀더부(60)의 제2안내 파이프(62)내에 위치한다. 제1안내 파이프(61)는 공급되는 접착제(58)가 흘러내리지 않도록 그 선단(611)을 확장한 라운드 구조로 형성될 수 있다.Therefore, when the specimen holder 60 is transferred between the specimen alignment unit 40 and the adhesive supply unit 50, the first guide pipe 61 provided in the holder body 63 receives the adhesive supplied from the adhesive supply unit 50, (See Fig. 10). At this time, the specimen 4 provided on the swiveling rotary plate 421 is positioned in the second guide pipe 62 of the specimen holder 60. The first guide pipe 61 may be formed in a round structure in which the distal end 611 is extended so that the supplied adhesive 58 does not flow down.

제2안내 파이프(62)는 홀더 바디(63) 내에서 제1안내 파이프(61)의 상방 외곽에 구비되어, 제1안내 파이프(61)로 상승 안내되는 접착제(58)를 상방의 시편 정렬부(40)의 회전판(421)에 부착된 시편(4)의 하부로 더욱 안내할 수 있다. 상승되는 접착제(58)는 회전판(421)의 중심에 구비되는 전자석판(424)에 부착된 시편(4)의 하부(분석면 반대측)에 부착된다.The second guide pipe 62 is provided on the upper outer side of the first guide pipe 61 in the holder body 63 so that the adhesive 58 upwardly guided by the first guide pipe 61 is inserted into the upper part of the sample- To the lower portion of the specimen 4 attached to the rotary plate 421 of the rotor 40. The raised adhesive 58 is adhered to the lower part of the specimen 4 (opposite to the analysis surface) attached to the electroplate 424 provided at the center of the rotary plate 421.

스프링(64)은 홀더 바디(63)와 제2안내 파이프(62)의 상하 방향 사이에 개재되어, 제2안내 파이프(62)를 상하 방향에서 탄성적으로 지지한다. 제2안내 파이프(62)는 상승되는 접착제(58)에 의하여 상승력을 받게 되고, 회전판(421)에 의하여 하강력을 받게 된다. 이때, 스프링(64)은 제2안내 파이프(62)를 홀더 바디(63) 내에서 탄성적으로 지지한다.The spring 64 is interposed between the vertical direction of the holder body 63 and the second guide pipe 62 to elastically support the second guide pipe 62 in the vertical direction. The second guide pipe 62 is subjected to the upward force by the adhesive 58 to be lifted, and is subjected to the downward force by the rotary plate 421. At this time, the spring 64 elastically supports the second guide pipe 62 in the holder body 63.

이를 위하여, 가이드(65)는 상단으로 제2안내 파이프(62)에 고정되고, 하단으로 홀더 바디(63)를 관통하여 제2안내 파이프(62)의 상승을 한정하도록 구성된다. 스프링(64)은 압축 코일 스프링으로 형성되어 가이드(65)의 외주에 배치된다.To this end, the guide 65 is fixed to the upper end of the second guide pipe 62, and is configured to penetrate the holder body 63 at the lower end to define the upward movement of the second guide pipe 62. The spring 64 is formed of a compression coil spring and is disposed on the outer periphery of the guide 65.

다시 도 1을 참조하면, 이동부(70)는 시편 홀더부(60)를 외부에서 시편 정렬부(40)와 접착제 공급부(50) 사리로 이동시킬 수 있도록 구성된다. 일례로써, 이동부(70)는 레일(71), 이동판(72) 및 실린더(73)를 포함한다.Referring again to FIG. 1, the moving unit 70 is configured to move the specimen holder unit 60 from the outside to the specimen alignment unit 40 and the adhesive supply unit 50. By way of example, the moving part 70 includes a rail 71, a moving plate 72, and a cylinder 73.

레일(71)은 본체(81)에 설치되며, x축에 대하여 외부에서 시편 정렬부(40) 상이고, z축에 대하여 접착제 공급부(50)와 시편 정렬부(40) 사이로 설치된다. 이동판(72)은 레일(71)을 따라 이동하도록 레일(71) 상에 설치되며, 시편(4)을 고정하는 시편 홀더부(60)를 장착하고 있다.The rail 71 is provided on the main body 81 and is provided on the specimen alignment section 40 from the outside with respect to the x axis and between the adhesive supply section 50 and the specimen alignment section 40 with respect to the z axis. The moving plate 72 is mounted on the rail 71 so as to move along the rail 71 and has a specimen holder 60 for fixing the specimen 4 thereon.

실린더(73)는 이동판(72)에 연결되어, 신축 작동으로 이동판(72)에 고정된 시편 홀더부(60)를 상하 방향에서 시편 정렬부(40)와 접착제 공급부(50)의 사이로 이동시킨다. 즉 시편 홀더부(60)가 시편 정렬부(40)의 회전판(421)과 접착제 공급부(50)의 가열통(51) 사이로 이동되어, 시편(4)이 제2안내 파이프(62) 내에 위치하게 된다.The cylinder 73 is connected to the moving plate 72 to move the specimen holder 60 fixed to the moving plate 72 in the vertical and horizontal directions between the specimen alignment unit 40 and the adhesive supply unit 50 . The specimen holder 60 is moved between the rotary plate 421 of the specimen alignment unit 40 and the heating cylinder 51 of the adhesive supply unit 50 so that the specimen 4 is placed in the second guide pipe 62 do.

도 4 내지 도 9에 도시된 바와 같이 작동하여, 회전판(421) 상부에 고정된 시편(4)의 방향이 상하로 뒤집어지고, 시편(4)이 시편 홀더부(60)의 제2안내 파이프(62) 내에 위치하면서, 시편 홀더부(60)에 시편(4)을 고정하기 위한 최종 준비가 완료된다.4 to 9 so that the direction of the specimen 4 fixed to the upper portion of the rotary plate 421 is turned upside down and the specimen 4 is turned over the second guide pipe The final preparation for fixing the specimen 4 to the specimen holder portion 60 is completed.

도 1에 도시된 바와 같이, 이동부(70)의 실린더(73)가 신장되어, 이동판(72)이 레일(71)을 타로 이동되어, 이동판(72)에 설치된 시편 홀더부(60)가 접착제 공급부(50)와 시편 정렬부(40) 사이에 위치된다.The cylinder 73 of the moving part 70 is extended so that the moving plate 72 moves the rail 71 to the specimen holder 60 provided on the moving plate 72, Is placed between the adhesive supply part (50) and the specimen alignment part (40).

도 7, 도 8 및 도 10을 참조하여, 정렬된 시편(4)을 고정하는 과정에 대하여 상세히 설명한다. 시편 홀더부(60)의 홀더 바디(63)는 회전판(421)의 중심에 일치하여 시편(4)을 고정하는 작업을 대기한다. 즉 홀더 바디(63)가 이동하여 제2안내 파이프(62) 내에 시편(4)을 고정하고 있는 회전판(421)의 중심에 일치한다.The process of fixing the aligned specimen 4 will be described in detail with reference to FIGS. 7, 8 and 10. FIG. The holder body 63 of the specimen holder 60 is in alignment with the center of the rotary plate 421 and waits for the operation of fixing the specimen 4. That is, the holder body 63 moves and coincides with the center of the rotary plate 421 fixing the specimen 4 in the second guide pipe 62.

이 상태에서, 승강 프레임(412)을 고정하고 있는 지지대(411)의 상부에 구비된 모터(413)가 구동되어 기어축(415)을 회전시키므로 기어축(415)에 설치된 연결대(414)가 지지대(411)에서 하강한다. 따라서 승강 프레임(412) 및 이에 구비된 회전판(421)이 하강한다.In this state, the motor 413 provided on the upper part of the supporting table 411 fixing the lift frame 412 is driven to rotate the gear shaft 415, so that the connecting rod 414 provided on the gear shaft 415 is rotated (411). Therefore, the lifting frame 412 and the rotating plate 421 provided thereunder descend.

회전판(421)은 하강하여, 홀더 바디(63)의 내부에 위치하는 제2안내 파이프(62)의 상면에 접촉된다. 동시에 회전판(421)의 중심에 고정된 시편(4)은 제2안내 파이프(62)의 내부로 삽입되어, 제2안내 파이프(62)의 내부에 위치한다. 따라서 시편(4)의 중앙 부분이 제1안내 파이프(61)와 접촉하고, 승강 프레임(412)을 이동하던 모터(413)가 구동을 멈춤으로써, 시편(4)을 고정하기 위한 준비가 완료된다(도 8 참조).The rotary plate 421 is lowered and brought into contact with the upper surface of the second guide pipe 62 located inside the holder body 63. [ At the same time, the specimen 4 fixed to the center of the rotating plate 421 is inserted into the second guide pipe 62 and positioned inside the second guide pipe 62. The central portion of the specimen 4 comes into contact with the first guide pipe 61 and the motor 413 which has moved on the lifting frame 412 stops driving so that the preparation for fixing the specimen 4 is completed (See FIG. 8).

시편(4)은 제2안내 파이프(62)의 내부에 위치하고, 시편(4)의 하면(분석면의 반대측)은 제1안내 파이프(61)와 접촉하는 상태에서, 가열체(52)가 열을 발생하여 가열통(51) 내부를 가열하고, 실린더(57)가 신장되어 실린더(57)의 전면에 접촉되어 있던 접착제(58)가 관로(531)를 통하여 가열통(51)의 내부로 이동되어 적치된다.The test piece 4 is placed inside the second guide pipe 62 and the heating body 52 is heated in a state in which the lower surface (opposite side of the analysis surface) of the specimen 4 is in contact with the first guide pipe 61, And the inside of the heating cylinder 51 is heated so that the cylinder 57 is extended and the adhesive 58 which has been in contact with the front surface of the cylinder 57 is moved into the heating cylinder 51 through the channel 531 .

접착제 공급부(50)의 가열통(51)으로 이동된 접착제(58)는 가열체(52)의 열에 의하여 고체에서 액체화 된다. 접착제 공급부(50)의 실린더(54)가 신장되어 주입판(53)을 가열통(51)의 내부에서 상승시켜, 액상의 접착제(58)를 가열통(51)의 상부로 밀어 올린다. 따라서 액상의 접착제(58)는 홀더 바디(63) 내부의 제1안내 파이프(61)를 통하여 제2안내 파이프(62) 내부로 배출된다(도 10 참조).The adhesive 58 moved to the heating cylinder 51 of the adhesive supply part 50 is liquidized in the solid by the heat of the heating body 52. [ The cylinder 54 of the adhesive supply portion 50 is extended to raise the injection plate 53 inside the heating cylinder 51 and push the liquid adhesive 58 upward to the top of the heating cylinder 51. [ Therefore, the liquid adhesive 58 is discharged into the second guide pipe 62 through the first guide pipe 61 inside the holder body 63 (see FIG. 10).

배출된 액상의 접착제(58)는 제2안내 파이프(62) 내부에서, 시편(4)의 하면(분석면의 반대측)에 고르게 도포되어, 일정한 시간이 지나면서 시편(4)을 견고하게 고정시킨다. 이때, 접착제(58)의 정량은 시편(4)의 크기에 따라 조절이 가능하며, 그 접착제(58)의 양은 공급통(55)에서 가열통(51)으로 이동되는 접착제(58)의 수량으로 조절할 수 있다.The discharged liquid adhesive 58 is evenly applied to the lower surface (opposite side of the analysis surface) of the test piece 4 in the second guide pipe 62 and firmly fixes the test piece 4 over a certain period of time . The quantity of the adhesive 58 is adjusted by the quantity of the adhesive 58 which is moved from the supply cylinder 55 to the heating cylinder 51 Can be adjusted.

이와 같은 동작으로 시편(4)의 하면에 접착제(58)를 공급하여 고정하는 공정이 완료되면, 시편(4)을 누르고 있던 회전판(421)을 홀더 바디(63)에 조립된 제2안내 파이프(62)와 분리하다. 이를 위하여, 지지대(411)에 조립된 모터(413)가 역회전 하여 기어축(415)을 회전시켜 승강 프레임(412)을 홈 위치로 이동(상승)시킨다.When the process of supplying and fixing the adhesive 58 to the lower surface of the test piece 4 is completed by this operation, the rotary plate 421 holding the test piece 4 is inserted into the second guide pipe 62). To this end, the motor 413 assembled to the support base 411 rotates in the reverse direction to rotate the gear shaft 415 to move (lift) the lift frame 412 to the home position.

이와 같은 동작으로 승강 프레임(412)이 홈 위치(최 상승 위치)로 이동되면, 이동부(70)의 실린더(73)가 수축되어 시편 홀더부(60)를 장착하고 있는 이동판(72)이 시편 정렬부(40)와 접착제 공급부(50) 사이에서 외부의 홈 위치로 이동한다. 이로써, 모든 동작이 완료된다. 이동판(72)이 홈 위치에 이르면, 이동판(72)에 설치된 시편 홀더부(60)를 분석장치로 이동하여, 분석장치에서 분석 작업을 진행할 수 있게 된다.When the lifting frame 412 is moved to the home position (the most raised position) in this manner, the moving plate 72 of the moving unit 70 is contracted and the specimen holder unit 60 is mounted And moves to the outer groove position between the specimen alignment unit 40 and the adhesive supply unit 50. Thus, all the operations are completed. When the moving plate 72 reaches the groove position, the specimen holder 60 mounted on the moving plate 72 is moved to the analyzer so that the analyzing apparatus can perform the analyzing operation.

만약, 시편 홀더부(60)에 새로운 시편을 고정하기 위하여 기존의 시편은 제거되어야 한다. 그 제거 공정은 홀더 바디(63)의 제1안내 파이프(61)의 후면에서 누르면, 시편은 제1안내 파이프(61)의 전면으로 쉽게 분리되어 제2안내 파이프(62)로 토출될 수 있다.If a new specimen is to be fixed to the specimen holder 60, the existing specimen must be removed. The removal process can be easily released to the front surface of the first guide pipe 61 and discharged to the second guide pipe 62 when the test piece is pressed from the rear surface of the first guide pipe 61 of the holder body 63. [

도 11은 도 10의 상태로 XRD시험 분석기에서 얻어진 데이터이다. 도 11을 참조하면, 도 3의 데이터 왜곡(DE)과 달리, 일 실시예의 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치를 적용한 경우, 시편(4)의 하면에 접착제(58)가 도포됨으로써, 시편(4)의 외곽으로 접착제(58)가 흘러나오지 않게 되고, 이로 인하여, 2θ(degree)에 대한 강도(Intensity, CPS)로 나타나는 전체 데이터(D)에서 왜곡 데이터가 발생되지 않았다. 따라서 분석 데이터의 신뢰도가 향상되고, 재작업이 요구되지 않는다.11 is the data obtained by the XRD test analyzer in the state of FIG. 11, when an irregular specimen fixing apparatus for X-ray diffraction analysis according to an embodiment is applied, an adhesive 58 is applied to the lower surface of the specimen 4, unlike the data distortion (DE) of FIG. 3, The adhesive 58 does not flow out to the outer periphery of the lens 4 and the distortion data is not generated in the entire data D represented by the intensity (intensity) (CPS) with respect to 2? Therefore, the reliability of the analysis data is improved, and rework is not required.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, And it goes without saying that the invention belongs to the scope of the invention.

4: 시편 40: 시편 정렬부
41, 42: 제1, 제2정렬부 50: 접착제 공급부
51: 가열통 52: 가열체
53: 주입판 54: 실린더
55: 공급통 56: 지지판
57: 실린더 58: 접착제
59: 스프링 60: 시편 홀더부
61, 62: 제1, 제2안내 파이프 63: 홀더 바디
64: 스프링 65: 가이드
70: 이동부 71: 레일
72: 이동판 73: 실린더
81: 본체 411: 지지대
412: 승강 프레임 413: 모터
414: 연결대 415: 기어축
421: 회전판 422: 모터
423: 실린더 424: 전자석판
511: 내부 홈 531: 관로
551: 내부 홈 D: 데이터4: Specimen 40: Specimen Arrangement
41, 42: first and second alignment units 50: adhesive supply unit
51: heating cylinder 52: heating body
53: injection plate 54: cylinder
55: Feeder 56: Support plate
57: cylinder 58: adhesive
59: spring 60: specimen holder part
61, 62: first and second guide pipes 63: holder body
64: spring 65: guide
70: moving part 71: rail
72: moving plate 73: cylinder
81: Main body 411: Support
412: lifting frame 413: motor
414: connecting rod 415: gear shaft
421: Rotating plate 422: Motor
423: cylinder 424: electronic plate
511: inner groove 531: channel
551: Internal home D: Data

Claims (8)

XRD시험 분석기에서 X선회절 분석을 하기 위하여, X선회절 분석용 비정형 시편을 고정하며,
상기 시편을 정렬하는 시편 정렬부;
상기 시편 정렬부에 대응하도록 구비되어 상기 시편의 하부에 접착제를 공급하는 접착제 공급부;
상기 접착제 공급부에서 공급되는 상기 접착제로 상기 시편 정렬부에 의하여 정렬된 상기 시편을 고정하는 시편 홀더부; 및
XRD시험 분석을 위한 상기 시편의 고정을 위하여 장착된 상기 시편 홀더부를 상기 시편 정렬부와 상기 접착제 공급부 사이로 이동시키는 이동부
를 포함하는 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치.For X-ray diffraction analysis in the XRD test analyzer, an amorphous specimen for X-ray diffraction analysis was fixed,
A specimen aligning unit for aligning the specimen;
An adhesive supply unit provided corresponding to the specimen arranging unit to supply an adhesive to a lower portion of the specimen;
A specimen holder part for fixing the specimen aligned by the specimen arranging part with the adhesive supplied from the adhesive supply part; And
A moving part for moving the specimen holder part mounted for fixing the specimen for XRD test analysis between the specimen arranging part and the adhesive supply part,
Ray diffraction analysis of the specimen. 제1항에 있어서,
상기 시편 정렬부는,
공급되는 시편을 1차로 정렬하는 제1정렬부, 및
상기 제1정렬부 상에 구비되어 상기 시편을 2차로 정렬하는 제2정렬부
를 포함하는 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치.The method according to claim 1,
The sample-
A first alignment section for primarily aligning the supplied specimen, and
A second aligning part provided on the first aligning part to align the specimen with the second aligning part,
Ray diffraction analysis of the specimen. 제2항에 있어서,
상기 제1정렬부는
본체 상에 이격되어 조립되는 복수의 지지대,
상기 복수의 지지대 상에 연결대를 개재하여 상기 지지대에 조립되는 승강 프레임, 및
상기 연결대에 기어 결합되어 상하 방향으로 설치되는 기어축을 회전시켜 상기 승강 프레임을 승강시키는 모터
를 포함하는 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치.3. The method of claim 2,
The first sorting unit
A plurality of supports,
An elevating frame assembled to the supporting frame via a connecting rod on the plurality of supporting frames,
A motor for gearing up and down the lifting frame by rotating a gear shaft mounted in the up-and-
Ray diffraction analysis of the specimen. 제3항에 있어서,
상기 제2정렬부는
상기 승강 프레임의 내부에 회전 가능하게 설치되고 상기 시편이 배치되는 회전판,
상기 회전판의 일측에 구비되어 상기 회전판에 회전력을 제공하는 모터,
상기 회전판의 상면에 서로 교차하는 4방향으로 설치되어 상기 시편을 이동시키는 실린더, 및
상기 회전판의 중앙에 설치되는 전자석판
을 포함하는 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치.The method of claim 3,
The second sorting unit
A rotating plate rotatably installed in the lifting frame,
A motor provided at one side of the rotating plate to provide rotational force to the rotating plate,
A cylinder installed in four directions intersecting with each other on an upper surface of the rotary plate to move the specimen;
An electronic slab installed at the center of the rotary plate
Ray diffraction analysis of the specimen. 제1항에 있어서,
상기 접착제 공급부는
공급되는 접착제를 내부 홈에 수용하는 가열통,
상기 가열통에 구비되는 가열체,
상기 가열통에서 내부 홈에 배치되는 주입판, 및
상기 가열통을 관통하여 상기 주입판에 연결되어 상하 방향으로 신축 작동되는 실린더
를 포함하는 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치.The method according to claim 1,
The adhesive supply portion
A heating cylinder for accommodating the supplied adhesive in the inner groove,
A heating body provided in the heating cylinder,
An injection plate disposed in the inner groove in the heating cylinder, and
A cylinder connected to the injection plate through the heating cylinder to expand and contract in the vertical direction,
Ray diffraction analysis of the specimen. 제5항에 있어서,
상기 접착제 공급부는
상기 가열통의 일측에 구비되어 내부 홈에 접착제를 다단으로 보관하는 공급통,
상기 공급통의 내부 홈에 설치되어 다단의 접착제를 지지하여 상승 공급하도록 스프링으로 지지되는 지지판, 및
상기 공급통의 상부에 구비되어 신축 작동되어 상승된 접착제를 관로로 연결된 상기 가열통으로 공급하는 실린더
를 포함하는 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치.6. The method of claim 5,
The adhesive supply portion
A supply cylinder provided at one side of the heating cylinder for storing the adhesive in a plurality of stages in an inner groove,
A support plate installed in an inner groove of the supply cylinder and supported by a spring to support and feed the multi-stage adhesive,
A cylinder for supplying an elevated adhesive to the heating cylinder connected to the pipe through a pipe,
Ray diffraction analysis of the specimen. 제1항에 있어서,
상기 시편 홀더부는
상기 접착제 공급부로부터 공급되는 접착제를 상승시키는 제1안내 파이프를 구비하는 홀더 바디,
상기 홀더 바디 내에서 상기 제1안내 파이프의 상방 외곽에 구비되고 상기 시편 정렬부에서 정렬된 시편을 고정하는 제2안내 파이프,
상기 홀더 바디와 상기 제2안내 파이프 사이를 상하 방향에서 탄성 지지하는 스프링, 및
상단으로 상기 제2안내 파이프에 고정되고 하단으로 상기 홀더 바디를 관통하여 상기 제2안내 파이프의 상승을 한정하는 가이드
를 포함하는 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치.The method according to claim 1,
The specimen holder part
A holder body having a first guide pipe for raising an adhesive supplied from the adhesive supply unit,
A second guide pipe provided on the upper side of the first guide pipe in the holder body and fixing the specimen aligned in the specimen arranging portion,
A spring elastically supporting between the holder body and the second guide pipe in a vertical direction,
A guide pipe fixed to the second guide pipe at an upper end thereof and passing through the holder body at a lower end thereof,
Ray diffraction analysis of the specimen. 제1항에 있어서,
상기 이동부는
외부에서 상기 접착제 공급부 상으로 설치되는 레일,
상기 레일을 따라 이동하도록 상기 레일 상에 설치되고, 상기 시편 정렬부에서 정렬된 시편을 고정하는 상기 시편 홀더부를 장착하는 이동판, 및
상기 이동판에 연결되어 신축 작동으로 상기 이동판의 시편을 상하 방향에서 상기 시편 정렬부와 상기 접착제 공급부의 사이로 이동시키는 실린더
를 포함하는 X선회절 분석용 비정형 시편 고정장치.The method according to claim 1,
The moving unit
A rail installed on the adhesive supply unit from the outside,
A moving plate mounted on the rail for moving along the rail, the moving plate mounting the specimen holder portion for fixing the specimen aligned in the specimen arranging portion,
And a cylinder connected to the moving plate for moving the specimen of the moving plate between the specimen alignment unit and the adhesive supply unit in the vertical direction by a stretching operation
Ray diffraction analysis of the specimen.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113670820A (en) * 2021-08-16 2021-11-19 哈尔滨学院 Civil engineering building monitoring system
KR20240061159A (en) 2022-10-31 2024-05-08 한국에너지기술연구원 Automatic XRD Analysis System and Control Method Thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999026057A1 (en) * 1997-11-12 1999-05-27 Yalcin Ozbey Specimen holder for color measurement and method of using the same
JP2000356579A (en) * 1999-06-11 2000-12-26 Seiko Instruments Inc Sample holder and sample fixing method
US20120126115A1 (en) * 2010-11-24 2012-05-24 Heino Heise Specimen holder having alignment marks
KR20160134194A (en) * 2015-05-15 2016-11-23 주식회사 포스코 Specimen holding apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999026057A1 (en) * 1997-11-12 1999-05-27 Yalcin Ozbey Specimen holder for color measurement and method of using the same
JP2000356579A (en) * 1999-06-11 2000-12-26 Seiko Instruments Inc Sample holder and sample fixing method
US20120126115A1 (en) * 2010-11-24 2012-05-24 Heino Heise Specimen holder having alignment marks
KR20160134194A (en) * 2015-05-15 2016-11-23 주식회사 포스코 Specimen holding apparatus

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113670820A (en) * 2021-08-16 2021-11-19 哈尔滨学院 Civil engineering building monitoring system
CN113670820B (en) * 2021-08-16 2023-10-20 哈尔滨学院 Civil engineering building monitoring system
KR20240061159A (en) 2022-10-31 2024-05-08 한국에너지기술연구원 Automatic XRD Analysis System and Control Method Thereof

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