KR20190063533A - Substrate storing container and substrate transfer method used therein - Google Patents

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KR20190063533A
KR20190063533A KR1020170162394A KR20170162394A KR20190063533A KR 20190063533 A KR20190063533 A KR 20190063533A KR 1020170162394 A KR1020170162394 A KR 1020170162394A KR 20170162394 A KR20170162394 A KR 20170162394A KR 20190063533 A KR20190063533 A KR 20190063533A
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임유성
신동현
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피에스케이홀딩스 (주)
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Abstract

The present invention provides a substrate storage container. According to one embodiment of the present invention, the substrate storage container includes: a housing providing a space therein; a support unit provided in the space along an inner wall of the housing and supporting a substrate; a sensor installed in the housing and detecting collision with the substrate stored in the housing; and a sensor control unit outputting a control signal in accordance with a collide sensing result of the sensor.

Description

기판 수납 용기 및 기판 수납 용기에서의 기판 이송 방법{SUBSTRATE STORING CONTAINER AND SUBSTRATE TRANSFER METHOD USED THEREIN}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate storage container,

본 발명은 기판 수납 용기 및 기판 수납 용기에서의 기판 이송 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate storage container and a substrate transfer method in a substrate storage container.

기판을 처리하는 공정에서, 캐리어와 같은 용기에 기판을 수납하거나 보관한다. 용기에는 공정에 제공될 기판 또는 공정처리가 완료된 기판이 수납된다. 용기에는 복수의 기판에 보관될 수 있다. 기판은 반송 로봇에 의해 반입 또는 반출된다.In the process of processing a substrate, the substrate is stored or stored in a container such as a carrier. The container contains a substrate to be provided for the process or a substrate on which the process is completed. The container can be stored on a plurality of substrates. The substrate is carried in or out by the carrying robot.

종래의 기판 수납 용기에서는 기판을 반입 또는 반출할 때, 반송 로봇의 티칭 포지션이 틀어지거나 오동작에 의해 기판이 기판 수납 용기와 충돌하면서 기판이 브로킨되는 문제점이 발생한다.In the conventional substrate storage container, there is a problem that when the substrate is carried in or out, the teaching position of the transfer robot is distorted or the substrate collides with the substrate storage container due to malfunction or the substrate is broken.

본 발명은 기판의 반입 또는 반출 과정에서 발생되는 기판의 충돌 유무를 감지할 수 있는 기판 수납 용기 및 기판 수납 용기에서의 기판 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The object of the present invention is to provide a substrate storage container capable of detecting the presence or absence of collision of a substrate generated during the carrying-in or -out of a substrate, and a substrate carrying method in a substrate storage container.

본 발명이 해결하고자 하는 과제가 상술한 과제들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 과제들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명의 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and the problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description and the accompanying drawings will be.

본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 공간을 제공하는 하우징; 상기 하우징의 내벽을 따라 상기 공간 내에 제공되어, 기판을 지지하는 지지부; 및 상기 하우징에 설치되고, 상기 하우징에 수납되는 기판과의 충돌을 검출하는 센서; 상기 센서의 충돌 감지결과에 따른 제어 신호를 출력하는 센서 제어부를 포함하는 기판 수납 용기가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an electronic device comprising: a housing for providing a space therein; A support provided in the space along the inner wall of the housing to support the substrate; And a sensor installed in the housing and detecting a collision with the substrate housed in the housing; And a sensor control unit for outputting a control signal according to the collision detection result of the sensor.

또한, 상기 센서 제어부는 상기 센서의 충돌 감지 신호에 기초하여 기판과 상기 하우징 간의 충돌 여부를 판별하여 제어 신호를 출력할 수 있다.Also, the sensor control unit may determine whether there is a collision between the substrate and the housing based on the collision detection signal of the sensor, and output a control signal.

또한, 기판과 상기 하우징 간의 충돌 발생시 상기 제어신호에 의해 경고음을 출력하는 표시부를 더 포함할 수 있다.The display device may further include a display unit for outputting a warning sound according to the control signal when a collision occurs between the substrate and the housing.

또한, 상기 센서는 상기 하우징과 기판의 충돌로 인해 발생되는 진동을 감지하는 진동 감지 센서일 수 있다.In addition, the sensor may be a vibration sensor that detects vibration generated due to collision between the housing and the substrate.

또한, 상기 센서는 상기 하우징과 기판의 충돌로 인해 발생되는 충돌 주파수를 감지하는 주파수 감지 센서일 수 있다.In addition, the sensor may be a frequency sensing sensor for sensing a collision frequency generated due to collision between the housing and the substrate.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 반송 로봇이 기판 수납 용기로부터 기판을 반출하거나 또는 기판 수납 용기에 기판을 반입하는 단계; 상기 기판 반출 또는 기판 반입 과정에서 기판과 상기 기판 수납 용기와의 충돌 유무를 감지하는 단계; 및 기판의 충돌이 감지되면 기판 반입 또는 기판 반출 동작을 중단시키고, 작업자에게 이를 알리는 표시 단계를 포함하는 기판 이송 방법이 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a substrate processing apparatus, comprising the steps of: carrying a substrate from a substrate storage container or bringing a substrate into a substrate storage container; Detecting whether the substrate collides with the substrate storage container during the substrate removal or substrate loading process; And a display step of, when a collision of the substrate is detected, stopping the substrate carry-in or the substrate carry-out operation and informing the operator of the collision.

또한, 상기 충돌 유무 감지 단계는 상기 기판 수납 용기에 설치된 센서가 상기 기판 수납 용기에서 발생되는 진동 또는 소음 주파수를 감지하는 단계; 및 센서 제어부에서 상기 센서의 감지 신호에 기초하여 기판과 상기 기판 수납 용기 간의 충돌 여부를 판별하여 제어 신호를 출력하는 단계를 포함할 수 있다.The step of detecting presence or absence of the collision may include detecting a vibration or noise frequency generated in the substrate storage container by a sensor installed in the substrate storage container. And a step of outputting a control signal by discriminating whether or not the substrate collides with the substrate storage container based on the sensing signal of the sensor in the sensor control unit.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판 수납 용기에 기판이 반입 또는 반출되는 과정에서 충돌이 발생되면 이를 감지하여 이를 작업자에게 알림으로써 추가적인 기판 이송 과정에서의 기판 충돌을 예방할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, if a collision occurs in the process of bringing a substrate into or out of a substrate storage container, the collision is detected and notified to the operator, thereby preventing a substrate collision in an additional substrate transfer process.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and the effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the present specification and attached drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비(1)를 간략하게 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명에 의한 기판 수납 용기의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 기판 수납 용기의 측단면도이다.
도 4는 기판 수납 용기의 블럭도이다.
도 5는 기판 수납 용기에 충돌하는 기판을 보여주는 도면이다.
도 6은 기판 이송 방법을 설명하기 위한 플로우 챠트이다.1 is a plan view schematically showing a substrate processing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a substrate storage container according to the present invention.
3 is a side sectional view of the substrate storage container shown in Fig.
4 is a block diagram of the substrate storage container.
5 is a view showing a substrate colliding with a substrate storage container.
6 is a flow chart for explaining the substrate transfer method.

본 발명의 다른 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술하는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 만일 정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술 혹은 과학 용어들을 포함)은 이 발명이 속한 종래 기술에서 보편적 기술에 의해 일반적으로 수용되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 공지된 구성에 대한 일반적인 설명은 본 발명의 요지를 흐리지 않기 위해 생략될 수 있다. 본 발명의 도면에서 동일하거나 상응하는 구성에 대하여는 가급적 동일한 도면부호가 사용된다. 본 발명의 이해를 돕기 위하여, 도면에서 일부 구성은 다소 과장되거나 축소되어 도시될 수 있다.Other advantages and features of the present invention and methods of achieving them will be apparent by referring to the embodiments described hereinafter in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Although not defined, all terms (including technical or scientific terms) used herein have the same meaning as commonly accepted by the generic art in the prior art to which this invention belongs. A general description of known configurations may be omitted so as not to obscure the gist of the present invention. In the drawings of the present invention, the same reference numerals are used as many as possible for the same or corresponding configurations. To facilitate understanding of the present invention, some configurations in the figures may be shown somewhat exaggerated or reduced.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다", "가지다" 또는 "구비하다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises", "having", or "having" are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, components, Steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, whether or not explicitly described or implied by the accompanying claims.

이하 도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 일 예를 상세히 설명한다.Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 5. FIG.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비(1)를 간략하게 나타내는 평면도이다.1 is a plan view schematically showing a substrate processing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 기판 처리 설비(1)는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module, EFEM)(20) 및 공정 처리부(30)를 가진다. 설비 전방 단부 모듈(20)과 공정 처리부(30)는 일 방향으로 배치된다. 이하, 설비 전방 단부 모듈(20)과 공정 처리부(30)가 배열된 방향을 제 1 방향(X)이라 정의하고, 상부에서 바라볼 때 제 1 방향(X)에 수직인 방향을 제 2 방향(Y)이라 정의한다.Referring to FIG. 1, the substrate processing apparatus 1 has an equipment front end module (EFEM) 20 and a process processing section 30. The facility front end module 20 and the process processing section 30 are arranged in one direction. A direction in which the facility front end module 20 and the process processing section 30 are arranged is defined as a first direction X and a direction perpendicular to the first direction X as viewed from the top is defined as a second direction Y).

설비 전방 단부 모듈(20)은 로드 포트(load port, 10) 및 이송프레임(21)을 가진다. 로드포트(10)는 제1방향(11)으로 설비 전방 단부 모듈(20)의 전방에 배치된다. 로드포트(10)는 복수 개의 지지부(6)를 가진다. 각각의 지지부(6)는 제 2 방향(Y)으로 일렬로 배치되며, 공정에 제공될 기판(W) 및 공정처리가 완료된 기판(W)이 수납된 캐리어(100)(예를 틀어, 카세트, FOUP등)가 안착된다. 캐리어(100)에는 공정에 제공될 기판(W) 및 공정처리가 완료된 기판(W)이 수납된다. 이송프레임(21)은 로드포트(10)와 공정 처리실(30) 사이에 배치된다. 이송프레임(21)은 그 내부에 배치되고 로드포트(10)와 공정 처리부(30)간에 기판(W)을 이송하는 제 1 이송로봇(25)을 포함한다. 제 1 이송로봇(25)은 제 2 방향(Y)으로 구비된 이송 레일(27)을 따라 이동하여 캐리어(100)와 공정처리실(30)간에 기판(W)을 이송한다.The apparatus front end module 20 has a load port 10 and a transfer frame 21. [ The load port 10 is disposed in front of the facility front end module 20 in a first direction 11. The load port (10) has a plurality of support portions (6). Each of the supports 6 is arranged in a line in the second direction Y and includes a carrier 100 (e.g., a cassette, a cassette, or the like) FOUP, etc.) are seated. In the carrier 100, a substrate W to be supplied to the process and a substrate W to which the process is completed are accommodated. The transfer frame 21 is disposed between the load port 10 and the processing chamber 30. The transfer frame 21 includes a first transfer robot 25 disposed therein and transferring the substrate W between the load port 10 and the processing unit 30. [ The first transfer robot 25 moves along the transfer rail 27 provided in the second direction Y to transfer the substrate W between the carrier 100 and the process chamber 30.

공정처리실(30)은 로드락 챔버(40), 트랜스퍼 챔버(50), 그리고 공정 챔버(60)를 포함한다. The process chamber 30 includes a load lock chamber 40, a transfer chamber 50, and a process chamber 60.

로드락 챔버(40)는 이송프레임(21)에 인접하게 배치된다. 일 예로, 로드락 챔버(40)는 트랜스퍼 챔버(50)와 설비 전방 단부 모듈(20)사이에 배치될 수 있다. 로드락 챔버(40)는 공정에 제공될 기판(W)이 공정챔버(60)로 이송되기 전, 또는 공정 처리가 완료된 기판(W)이 설비 전방 단부 모듈(20)로 이송되기 전 대기하는 공간을 제공한다. The load lock chamber 40 is disposed adjacent to the transfer frame 21. [ In one example, the load lock chamber 40 may be disposed between the transfer chamber 50 and the equipment front end module 20. The load lock chamber 40 is a space in which the substrate W to be supplied to the process is transferred to the process chamber 60 or before the substrate W to be processed is transferred to the apparatus front end module 20 .

트랜스퍼 챔버(50)는 로드락 챔버(40)에 인접하게 배치된다. 트랜스퍼 챔버(50)는 상부에서 바라볼 때, 다각형의 몸체를 갖는다. 도 1을 참조하면, 트랜스퍼 챔버(50)는 상부에서 바라볼 때, 오각형의 몸체를 갖는다. 몸체의 외측에는 로드락 챔버(40)와 복수개의 공정챔버(60)들이 몸체의 둘레를 따라 배치된다. 몸체의 각 측벽에는 기판(W)이 출입하는 통로(미도시)가 형성되며, 통로는 트랜스퍼 챔버(50)와 로드락 챔버(40) 또는 공정챔버(60)들을 연결한다. 각 통로에는 통로를 개폐하여 내부를 밀폐시키는 도어(미도시)가 제공된다. 트랜스퍼 챔버(50)의 내부공간에는 로드락 챔버(40)와 공정챔버(60)들간에 기판(W)을 이송하는 제 2 이송로봇(53)이 배치된다. 제 2 이송로봇(53)은 로드락 챔버(40)에서 대기하는 미처리된 기판(W)을 공정챔버(60)로 이송하거나, 공정처리가 완료된 기판(W)을 로드락 챔버(40)로 이송한다. 그리고, 복수개의 공정챔버(60)에 기판(W)을 순차적으로 제공하기 위하여 공정챔버(60)간에 기판(W)을 이송한다. 도 1과 같이, 트랜스퍼 챔버(50)가 오각형의 몸체를 가질 때, 설비 전방 단부 모듈(20)과 인접한 측벽에는 로드락 챔버(40)가 각각 배치되며, 나머지 측벽에는 공정챔버(60)들이 연속하여 배치된다. 트랜스퍼 챔버(50)는 상기 형상뿐만 아니라, 요구되는 공정모듈에 따라 다양한 형태로 제공될 수 있다.The transfer chamber 50 is disposed adjacent to the load lock chamber 40. The transfer chamber 50 has a polygonal body when viewed from the top. Referring to Figure 1, the transfer chamber 50 has a pentagonal body when viewed from the top. On the outside of the body, a load lock chamber 40 and a plurality of process chambers 60 are disposed along the periphery of the body. Each side wall of the body is provided with a passage (not shown) through which the substrate W enters and exits, and the passage connects the transfer chamber 50 to the load lock chamber 40 or the process chamber 60. Each passage is provided with a door (not shown) for opening and closing the passage to seal the inside thereof. The transfer chamber 50 is provided with a load lock chamber 40 and a second transfer robot 53 for transferring the substrate W between the process chambers 60. The second transfer robot 53 transfers the unprocessed substrate W waiting in the load lock chamber 40 to the process chamber 60 or transfers the processed substrate W to the load lock chamber 40 do. Then, the substrate W is transferred between the process chambers 60 to sequentially provide the plurality of process chambers 60 with the substrates W. 1, when the transfer chamber 50 has a pentagonal body, a load lock chamber 40 is disposed on the side wall adjacent to the facility front end module 20, respectively, and the process chambers 60 are continuously . The transfer chamber 50 may be provided in various forms depending on the shape, as well as the required process module.

공정챔버(60)는 트랜스퍼 챔버(50)의 둘레를 따라 배치된다. 공정챔버(60)는 복수개 제공될 수 있다. 각각의 공정챔버(60)내에서는 기판(W)에 대한 공정처리가 진행된다. 공정챔버(60)는 제 2 이송로봇(53)으로부터 기판(W)을 이송받아 공정처리를 하고, 공정처리가 완료된 기판(W)을 제 2 이송로봇(53)으로 제공한다. 각각의 공정챔버(60)에서 진행되는 공정처리는 서로 상이할 수 있다. The process chamber 60 is disposed along the periphery of the transfer chamber 50. A plurality of process chambers 60 may be provided. In each of the process chambers 60, the processing of the substrate W proceeds. The process chamber 60 transfers the substrate W from the second transfer robot 53 to process the substrate W and provides the processed substrate W to the second transfer robot 53. The process processes in each of the process chambers 60 may be different from each other.

이하, 본 발명에 의한 캐리어(100)에 대해서 상술한다. 상술한 캐리어(100)는 본 발명에 의한 기판 수납 용기(100)로 제공된다.Hereinafter, the carrier 100 according to the present invention will be described in detail. The above-described carrier 100 is provided in the substrate storage container 100 according to the present invention.

도 2는 본 발명에 의한 기판 수납 용기의 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 기판 수납 용기의 측단면도이며, 도 4는 기판 수납 용기의 블럭도이다.FIG. 2 is a perspective view of the substrate storage container according to the present invention, FIG. 3 is a side sectional view of the substrate storage container shown in FIG. 2, and FIG. 4 is a block diagram of the substrate storage container.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 의한 기판 수납 용기(100)는 공정에 제공될 기판 및 공정처리가 완료된 기판이 수납된다. 2 to 4, a substrate storage container 100 according to the present invention stores a substrate to be provided in the process and a substrate on which the process is completed.

기판 수납 용기(100)는 하우징(110), 커버(120), 지지부(130), 센서(140), 센서 제어부(150) 그리고 표시부(160)를 포함할 수 있다.The substrate storage container 100 may include a housing 110, a cover 120, a support 130, a sensor 140, a sensor control unit 150, and a display unit 160.

하우징(110)은 기판 수납 용기(100)의 외벽으로 제공된다. 하우징(110)의 일면은 개방될 수 있다. 개방된 일면을 통해 기판이 반입 또는 반출된다.The housing 110 is provided to the outer wall of the substrate storage container 100. One side of the housing 110 can be opened. The substrate is brought in or out through an open face.

커버(120)는 개방된 하우징(110)의 일면을 개폐한다. 기판이 반입 또는 반출될 때에는 커버(120)는 개방된다. 기판의 반입 또는 반출이 완료된 후, 기판을 보관할 때에는 커버(120)는 폐쇄된다.The cover 120 opens and closes one side of the opened housing 110. When the substrate is carried in or out, the cover 120 is opened. After the carrying-in or carrying-out of the substrate is completed, the cover 120 is closed when the substrate is stored.

지지부(130)는 하우징(110)의 내벽을 따라 제공될 수 있다. 지지부(130)는 기판의 가장자리를 지지할 수 있다. 지지부(130)는 하우징(110)의 내벽 양측에 각각 제공될 수 있다. 한 쌍의 지지부(130)는 하나의 기판을 지지하도록 제공될 수 있다. 지지부(130)는 상하로 복수가 서로 적층되어 제공될 수 있다. 일 예로, 한 쌍의 지지부(130)가 상하로 이격되어 복수개 제공될 수 있다. 한 쌍의 지지부(130)에는 하나의 기판이 지지된다.The support 130 may be provided along the inner wall of the housing 110. The support 130 can support the edge of the substrate. The support portions 130 may be provided on both sides of the inner wall of the housing 110, respectively. The pair of supports 130 may be provided to support one substrate. The support portions 130 may be provided in a stacked manner. As an example, a pair of supports 130 may be vertically spaced apart. One substrate is supported on the pair of supports 130.

센서(140)는 하우징에 설치된다. 센서(140)는 기판(W)이 하우징(110)에 반입 또는 기판이 하우징(110)으로부터 반출되는 과정에서 발생되는 기판의 충돌을 검출한다. 일 예로, 센서(140)는 하우징(110)과 기판의 충돌로 인해 발생되는 진동을 감지하는 진동 감지 센서일 수 있다. 또 다른 예로, 센서(140)는 하우징(110)과 기판의 충돌로 인해 발생되는 충돌 주파수를 감지하는 주파수 감지 센서일 수 있다. 여기서, 충돌 주파수는 기판의 충돌시 발생되는 특정 소음(소리)의 주파수일 수 있다. The sensor 140 is installed in the housing. The sensor 140 detects a collision of the substrate W generated in the process of bringing the substrate W into the housing 110 or moving the substrate out of the housing 110. For example, the sensor 140 may be a vibration sensor that detects vibrations generated by collision between the housing 110 and the substrate. As another example, the sensor 140 may be a frequency sensing sensor that senses a collision frequency generated due to a collision between the housing 110 and the substrate. Here, the collision frequency may be a frequency of a specific noise (sound) generated when the substrate collides with the substrate.

센서 제어부(150)는 센서(140)의 충돌 감지결과에 따른 제어 신호를 출력한다. 센서 제어부(150)는 센서(140)의 충돌 감지 신호에 기초하여 기판(W)과 하우징(110) 간의 충돌 여부를 판별하여 제어 신호를 출력할 수 있다. 제어 신호는 기판 처리 설비(1)로 제공될 수 있다. 기판 처리 설비(1)는 제어 신호를 받으면 기판 이송 동작을 즉각 중단하여 향후 발생될 수 있는 기판 충돌을 방지할 수 있다. The sensor control unit 150 outputs a control signal according to the collision detection result of the sensor 140. The sensor control unit 150 can determine whether there is a collision between the substrate W and the housing 110 based on the collision detection signal of the sensor 140 and output a control signal. The control signal may be provided to the substrate processing equipment 1. [ When the substrate processing apparatus 1 receives the control signal, the substrate transfer operation can be immediately stopped to prevent a substrate collision that may occur in the future.

표시부(160)는 기판(W)과 하우징(1100 간의 충돌 발생시 제어신호에 의해 경고음 또는 경고등을 출력할 수 있는 표시 장치일 수 있다. The display unit 160 may be a display device capable of outputting a warning sound or a warning light in response to a control signal when a collision occurs between the substrate W and the housing 1100. [

아래에서는 상술한 기판 수납 용기(100)에서의 기판 이송 방법을 설명한다.The substrate transfer method in the above-described substrate storage container 100 will be described below.

도 5는 기판 수납 용기에 충돌하는 기판을 보여주는 도면이고, 도 6은 기판 이송 방법을 설명하기 위한 플로우 챠트이다.FIG. 5 is a view showing a substrate colliding with a substrate storage container, and FIG. 6 is a flow chart for explaining a substrate transfer method.

도 5 및 도 6을 참조하면, 기판 이송 방법은 기판 반입/반출 단계(S100), 충돌 유무 감지 단계(S200) 그리고 경고 표시 단계(S300)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 5 and 6, the substrate transferring method may include a step S100 of loading / unloading a substrate, a step S200 of detecting whether or not there is a collision, and a step S300 of displaying a warning.

기판이 기판 수납 용기(100)에 반입되는 과정에서 반송 로봇의 티칭 포지션이 틀어지거나 오동작으로 기판이 기판 수납 용기(100)와 충돌하게 되면, 하우징(110)에 충격이 발생되고, 기판 수납 용기(100)에 설치된 센서(140)가 이러한 충격에 의한 진동을 감지하게 된다. 센서 제어부(150)는 이러한 센서(140)의 감지 신호에 기초하여 기판(W)과 기판 수납 용기(100) 간의 충돌 여부를 판별하여 제어 신호를 출력한다. 그리고, 기판의 충돌이 감지되면 기판 반입 또는 기판 반출 동작을 중단시키고, 표시부(160)에서는 센서 제어부(150)로부터 제공받은 제어 신호에 의해 경고음 또는 경고등을 표시하게 된다. When the substrate is brought into the substrate storage container 100 and the substrate is collided with the substrate storage container 100 due to a misalignment or a malfunction of the teaching position of the transfer robot, an impact is generated in the housing 110, The sensor 140 installed in the vehicle 100 senses the vibration due to the impact. The sensor control unit 150 determines whether there is a collision between the substrate W and the substrate storage container 100 based on the detection signal of the sensor 140 and outputs a control signal. When the collision of the substrate is detected, the substrate loading / unloading operation is stopped. On the display unit 160, a warning sound or a warning light is displayed by the control signal provided from the sensor control unit 150. [

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The foregoing detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the foregoing is intended to illustrate and explain the preferred embodiments of the present invention, and the present invention may be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, it is possible to make changes or modifications within the scope of the concept of the invention disclosed in this specification, within the scope of the disclosure, and / or within the skill and knowledge of the art. The above-described embodiments illustrate the best mode for carrying out the technical idea of the present invention, and various modifications required for specific application fields and uses of the present invention are also possible. Accordingly, the detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. It is also to be understood that the appended claims are intended to cover such other embodiments.

100: 기판 수납 용기 110 : 하우징
120 : 커버 130 : 지지부
140 : 센서 150 : 센서 제어부
160 : 표시부 100: substrate storage container 110: housing
120: Cover 130: Support
140: sensor 150: sensor control unit
160:

Claims (7)

기판을 수납하는 용기에 있어서,
내부에 공간을 제공하는 하우징;
상기 하우징의 내벽을 따라 상기 공간 내에 제공되어, 기판을 지지하는 지지부; 및
상기 하우징에 설치되고, 상기 하우징에 수납되는 기판과의 충돌을 검출하는 센서;
상기 센서의 충돌 감지결과에 따른 제어 신호를 출력하는 센서 제어부를 포함하는 기판 수납 용기.In a container for housing a substrate,
A housing for providing space therein;
A support provided in the space along the inner wall of the housing to support the substrate; And
A sensor installed in the housing and detecting a collision with a substrate accommodated in the housing;
And a sensor control unit for outputting a control signal according to a collision detection result of the sensor. 제 1 항에 있어서,
상기 센서 제어부는
상기 센서의 충돌 감지 신호에 기초하여 기판과 상기 하우징 간의 충돌 여부를 판별하여 제어 신호를 출력하는 기판 수납 용기.The method according to claim 1,
The sensor control unit
And a controller for determining whether the substrate collides with the housing based on a collision detection signal of the sensor, and outputting a control signal. 제 2 항에 있어서,
기판과 상기 하우징 간의 충돌 발생시 상기 제어신호에 의해 경고음을 출력하는 표시부를 더 포함하는 기판 수납 용기.3. The method of claim 2,
And a display unit for outputting a warning sound by the control signal when a collision occurs between the substrate and the housing. 제 1 항에 있어서,
상기 센서는
상기 하우징과 기판의 충돌로 인해 발생되는 진동을 감지하는 진동 감지 센서인 기판 수납 용기.The method according to claim 1,
The sensor
Wherein the substrate storage container is a vibration detection sensor that detects vibration generated due to collision between the housing and the substrate. 제1항에 있어서,
상기 센서는
상기 하우징과 기판의 충돌로 인해 발생되는 충돌 주파수를 감지하는 주파수 감지 센서인 기판 수납 용기.The method according to claim 1,
The sensor
And a frequency sensing sensor for sensing a collision frequency generated due to the collision between the housing and the substrate. 기판 수납 용기에서의 기판 이송 방법에 있어서:
반송 로봇이 기판 수납 용기로부터 기판을 반출하거나 또는 기판 수납 용기에 기판을 반입하는 단계;
상기 기판 반출 또는 기판 반입 과정에서 기판과 상기 기판 수납 용기와의 충돌 유무를 감지하는 단계; 및
기판의 충돌이 감지되면 기판 반입 또는 기판 반출 동작을 중단시키고, 작업자에게 이를 알리는 표시 단계를 포함하는 기판 이송 방법.A substrate transfer method in a substrate storage container comprising:
The carrying robot carries the substrate out of the substrate storage container or the substrate into the substrate storage container;
Detecting whether the substrate collides with the substrate storage container during the substrate removal or substrate loading process; And
And stopping the substrate carry-in or the substrate carry-out operation when the collision of the substrate is detected, and notifying the operator of the interruption. 제 6 항에 있어서,
상기 충돌 유무 감지 단계는
상기 기판 수납 용기에 설치된 센서가 상기 기판 수납 용기에서 발생되는 진동 또는 소음 주파수를 감지하는 단계; 및
센서 제어부에서 상기 센서의 감지 신호에 기초하여 기판과 상기 기판 수납 용기 간의 충돌 여부를 판별하여 제어 신호를 출력하는 단계를 포함하는 기판 이송 방법.
The method according to claim 6,
The collision presence / absence detection step
Sensing a vibration or noise frequency generated in the substrate storage container by a sensor installed in the substrate storage container; And
Determining whether a substrate collides with the substrate storage container on the basis of a sensor signal from the sensor control unit, and outputting a control signal.
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