KR20190044966A

KR20190044966A - Liquid lens

Info

Publication number: KR20190044966A
Application number: KR1020170137647A
Authority: KR
Inventors: 김박아; 주작위; 홍웬렌
Original assignee: 전북대학교산학협력단
Priority date: 2017-10-23
Filing date: 2017-10-23
Publication date: 2019-05-02

Abstract

According to embodiments of the present invention, provided is a fluid lens, which comprises: a fluid lens unit provided between a lower substrate and an upper substrate; and a first sub-electrode and a second sub-electrode provided between the lower substrate and the fluid lens unit. The first sub-electrode and the second sub-electrode are separated from each other in a first direction. Each of the first sub-electrode and the second sub-electrode extends in a zigzag manner along a second direction crossing the first direction.

Description

Fluid lens {Liquid lens}

본 발명은 유체 렌즈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 지그재그 형상의 서브 전극들을 포함하는 유체 렌즈에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid lens, and more particularly, to a fluid lens including zigzag sub-electrodes.

일반적으로, 디지털 카메라와 같은 촬영 장치는 초점 및 배율 조절을 위한 고성능의 렌즈 구동 장치가 장착되어야 한다. 그러나, 이 같은 고성능의 렌즈 구동 장치를 장착할 경우, 촬영 장치의 부피가 커지게 되어 촬영 장치의 소형화를 구현하는데 문제가 있다.Generally, a photographing device such as a digital camera should be equipped with a high-performance lens driving device for focusing and magnification control. However, when such a high-performance lens driving apparatus is mounted, the volume of the photographing apparatus becomes large, which leads to a problem of realizing miniaturization of the photographing apparatus.

이와 같은 문제를 해결하기 위해서, 렌즈의 초점 및 배율의 조정이 가능한 유체 렌즈에 대한 연구가 진행되고 있다. 유체 렌즈는 전기 습윤 현상을 통해 유체 방울의 곡률을 조정함으로써 렌즈의 초점 거리를 조정할 수 있다.In order to solve such a problem, studies have been made on a fluid lens capable of adjusting the focus and magnification of the lens. The fluid lens can adjust the focal length of the lens by adjusting the curvature of the fluid droplet through electro-wetting phenomenon.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 성능이 향상된 유체 렌즈를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a fluid lens with improved performance.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈는 하부 기판과 상부 기판 사이에 제공되는 유체 렌즈부; 및 상기 하부 기판과 상기 유체 렌즈부 사이에 제공된 제1 서브 전극 및 제2 서브 전극을 포함할 수 있다. 상기 제1 서브 전극과 상기 제2 서브 전극은 제1 방향으로 서로 이격될 수 있다. 상기 제1 서브 전극은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 교대로 배치되는 제1 연장부들 및 제2 연장부들을 포함하되, 상기 제1 연장부들 및 상기 제2 연장부들은 서로 교차하는 방향으로 연장될 수 있다. 상기 제2 서브 전극은 상기 제2 방향을 따라 교대로 배치되는 제3 연장부들 및 제4 연장부들을 포함하되, 상기 제3 연장부들 및 상기 제4 연장부들은 서로 교차하는 방향으로 연장될 수 있다.A fluid lens according to embodiments of the present invention includes a fluid lens portion provided between a lower substrate and an upper substrate; And a first sub-electrode and a second sub-electrode provided between the lower substrate and the fluid lens unit. The first sub-electrode and the second sub-electrode may be spaced apart from each other in the first direction. Wherein the first sub-electrodes include first and second elongated portions alternately arranged in a second direction intersecting with the first direction, wherein the first and second elongated portions intersect with each other Lt; / RTI > The second sub-electrode may include third and fourth elongated portions alternately arranged along the second direction, and the third elongated portions and the fourth elongated portions may extend in directions intersecting with each other .

일 실시예에 따르면, 상기 제1 연장부들 및 상기 제2 연장부들은 상기 제2 방향을 따라 교대로 연결되고, 상기 제3 연장부들 및 상기 제4 연장부들은 상기 제2 방향을 따라 교대로 연결될 수 있다.According to an embodiment, the first extensions and the second extensions are alternately connected along the second direction, and the third extensions and the fourth extensions are alternately connected along the second direction .

일 실시예에 따르면, 서로 연결되는 상기 제1 연장부들과 상기 제2 연장부들 사이의 제1 각도는 서로 연결되는 상기 제3 연장부들과 상기 제4 연장부들 사이의 제2 각도와 실질적으로 동일할 수 있다.According to an embodiment, the first angle between the first extensions and the second extensions connected to each other is substantially equal to the second angle between the third extensions and the fourth extensions connected to each other .

일 실시예에 따르면, 상기 제1 각도 및 상기 제2 각도는 60° 내지 120°일 수 있다.According to one embodiment, the first angle and the second angle may be between 60 ° and 120 °.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 각도 및 상기 제2 각도는 실질적으로 직각일 수 있다.According to one embodiment, the first angle and the second angle may be substantially perpendicular.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 연장부들의 각각 및 상기 제3 연장부들의 각각은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 연장되고, 상기 제2 연장부들의 각각 및 상기 제4 연장부들의 각각은 상기 제3 방향과 교차하는 제4 방향으로 연장될 수 있다.According to one embodiment, each of the first extensions and each of the third extensions extend in a third direction that intersects the first direction and the second direction, and each of the second extensions and the third extensions Each of the fourth extensions may extend in a fourth direction that intersects the third direction.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 연장부들은 상기 제3 연장부들에 상기 제1 방향으로 각각 인접하고, 상기 제2 연장부들은 상기 제4 연장부들에 상기 제1 방향으로 각각 인접할 수 있다.According to an embodiment, the first extensions may be adjacent to the third extensions in the first direction, and the second extensions may be adjacent to the fourth extensions in the first direction, respectively.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 연장부들의 상기 제3 방향에 수직한 방향으로의 너비, 상기 제2 연장부들의 상기 제4 방향에 수직한 방향으로의 너비, 상기 제3 연장부들의 상기 제3 방향에 수직한 방향으로의 너비, 및 상기 제4 연장부들의 상기 제4 방향에 수직한 방향으로의 너비는 서로 실질적으로 동일할 수 있다.According to one embodiment, the width of the first extending portions in the direction perpendicular to the third direction, the width of the second extending portions in the direction perpendicular to the fourth direction, the width of the third extending portions, The width in the direction perpendicular to the three directions, and the width of the fourth extensions in the direction perpendicular to the fourth direction may be substantially equal to each other.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 연장부들의 상기 제3 방향으로의 길이, 상기 제2 연장부들의 상기 제4 방향으로의 길이, 상기 제3 연장부들의 상기 제3 방향으로의 길이, 및 상기 제4 연장부들의 상기 제4 방향으로의 길이는 서로 실질적으로 동일할 수 있다.According to an embodiment, the length of the first extending portions in the third direction, the length of the second extending portions in the fourth direction, the length of the third extending portions in the third direction, The lengths of the fourth extensions in the fourth direction may be substantially equal to each other.

일 실시예에 따르면, 상기 유체 렌즈부는 제1 유체 및 제2 유체를 포함하되, 상기 제1 유체 및 상기 제2 유체는 서로 섞이지 않고, 서로 다른 유전 상수를 가질 수 있다.According to one embodiment, the fluid lens portion includes a first fluid and a second fluid, wherein the first fluid and the second fluid are not mixed with each other and may have different dielectric constants.

일 실시예에 따르면, 상기 하부 기판과 상기 유체 렌즈부의 사이에 제공되어, 상기 제1 서브 전극 및 상기 제2 서브 전극을 덮는 유전 층을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment, the dielectric layer may further include a dielectric layer provided between the lower substrate and the fluid lens portion and covering the first sub-electrode and the second sub-electrode.

본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈는 하부 기판과 상부 기판 사이에 제공되는 유체 렌즈부; 및 상기 하부 기판과 상기 유체 렌즈부 사이에 제공된 제1 서브 전극 및 제2 서브 전극을 포함할 수 있다. 상기 제1 서브 전극과 상기 제2 서브 전극은 제1 방향으로 서로 이격되고, 상기 제1 서브 전극과 상기 제2 서브 전극의 각각은 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 지그재그로 연장될 수 있다. A fluid lens according to embodiments of the present invention includes a fluid lens portion provided between a lower substrate and an upper substrate; And a first sub-electrode and a second sub-electrode provided between the lower substrate and the fluid lens unit. The first sub-electrode and the second sub-electrode are spaced apart from each other in a first direction, and each of the first sub-electrode and the second sub-electrode extends in a zigzag manner along a second direction crossing the first direction .

일 실시예에 따르면, 상기 제1 서브 전극은 상기 제2 방향을 따라 교대로 배치되는 제1 연장부들 및 제2 연장부들을 포함할 수 있다. 상기 제2 서브 전극은 상기 제2 방향을 따라 교대로 배치되는 제3 연장부들 및 제4 연장부들을 포함할 수 있다. 상기 제1 연장부들 및 상기 제3 연장부들은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 연장되고, 상기 제2 연장부들 및 상기 제4 연장부들은 상기 제3 방향과 교차하는 제4 방향으로 연장될 수 있다.According to one embodiment, the first sub-electrode may include first extensions and second extensions disposed alternately along the second direction. The second sub-electrode may include third extensions and fourth extensions disposed alternately along the second direction. Wherein the first extending portions and the third extending portions extend in a third direction that intersects the first direction and the second direction, and the second extending portions and the fourth extending portions intersect the third direction And extend in the fourth direction.

본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈는 하부 기판과 상부 기판 사이에 제공되는 유체 렌즈부; 및 상기 하부 기판과 상기 유체 렌즈부 사이에 제공된 제1 서브 전극들 및 제2 서브 전극들을 포함할 수 있다. 상기 제1 서브 전극들과 상기 제2 서브 전극들은 제1 방향을 따라 교대로 배치되고, 상기 제1 서브 전극들의 각각과 상기 제2 서브 전극들의 각각은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 지그재그로 연장될 수 있다. A fluid lens according to embodiments of the present invention includes a fluid lens portion provided between a lower substrate and an upper substrate; And first sub-electrodes and second sub-electrodes provided between the lower substrate and the fluid lens unit. Wherein the first sub-electrodes and the second sub-electrodes are alternately arranged along a first direction, and each of the first sub-electrodes and the second sub-electrodes has a second direction crossing the first direction And can be extended in a zigzag manner.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 서브 전극들 및 상기 제2 서브 전극들은 상기 제1 방향으로 일정한 간격만큼 서로 이격할 수 있다.According to an embodiment, the first sub-electrodes and the second sub-electrodes may be spaced apart from each other by a predetermined distance in the first direction.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 서브 전극들의 각각은 상기 제2 방향을 따라 교대로 배치되는 제1 연장부들 및 제2 연장부들을 포함하고, 상기 제2 서브 전극들의 각각은 상기 제2 방향을 따라 교대로 배치되는 제3 연장부들 및 제4 연장부들을 포함할 수 있다. 상기 제1 연장부들 및 상기 제3 연장부들은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 연장되고, 상기 제2 연장부들 및 상기 제4 연장부들은 상기 제3 방향과 교차하는 제4 방향으로 연장될 수 있다.According to one embodiment, each of the first sub-electrodes includes first extensions and second extensions disposed alternately along the second direction, and each of the second sub-electrodes is connected to the second direction And third extensions and fourth extensions disposed alternately. Wherein the first extending portions and the third extending portions extend in a third direction that intersects the first direction and the second direction, and the second extending portions and the fourth extending portions intersect the third direction And extend in the fourth direction.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 연장부들 및 상기 제3 연장부들은 상기 제1 방향을 따라 연장되고 상기 제2 방향으로 배열되는 제1 열들을 이루고, 상기 제2 연장부들 및 상기 제4 연장부들은 상기 제1 방향을 따라 연장되고 상기 제2 방향으로 배열되는 제2 열들을 이룰 수 있다.According to one embodiment, the first extensions and the third extensions form first rows extending along the first direction and arranged in the second direction, and the second extensions and the fourth extensions, May extend in the first direction and in the second direction.

일 실시예에 따르면, 서로 이격하는 제1 바디부 및 제2 바디부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 서브 전극들은 상기 제1 바디부에 전기적으로 연결되고, 상기 제2 서브 전극들은 상기 제2 바디부에 전기적으로 연결될 수 있다.According to one embodiment, the first body part and the second body part may be separated from each other. The first sub-electrodes may be electrically connected to the first body portion, and the second sub-electrodes may be electrically connected to the second body portion.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 바디부 및 상기 제2 바디부는 상기 제1 서브 전극들 및 상기 제2 서브 전극들을 사이에 두고 서로 이격할 수 있다.According to an embodiment, the first body part and the second body part may be spaced apart from each other with the first sub-electrodes and the second sub-electrodes interposed therebetween.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 실시예들에 따르면, 제1 방향 및 제2 방향으로 균일한 전기장이 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1 유체는 제1 방향 및 제2 방향으로 균일하게 변형될 수 있다. According to embodiments of the present invention, a uniform electric field can be formed in the first direction and the second direction. Accordingly, the first fluid can be uniformly deformed in the first direction and the second direction.

본 발명의 실시예들에 따르면, 평면적 관점에서, 제1 및 제2 서브 전극들의 중심 부분과 제1 및 제2 서브 전극들의 가장자리 부분에서 실질적으로 동일한 전기장이 형성될 수 있다. 이에 따라, 평면적 관점에서, 제1 유체가 제1 및 제2 서브 전극들의 중심 부분으로부터 벗어나 있더라도, 제1 유체는 균일하게 변형될 수 있다.According to the embodiments of the present invention, in the plan view, substantially the same electric field can be formed at the center portion of the first and second sub-electrodes and at the edge portions of the first and second sub-electrodes. Thus, from a plan viewpoint, even if the first fluid is deviated from the central portion of the first and second sub-electrodes, the first fluid can be deformed uniformly.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈의 단면도이다.
도 3a, 도 3b, 도 4a, 및 도 4b는 본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈의 동작을 설명하기 위한 도면들이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈를 이용하여 피사체를 관찰한 이미지들이다.1 is a plan view of a fluid lens according to embodiments of the present invention.
2 is a cross-sectional view of a fluid lens according to embodiments of the present invention.
FIGS. 3A, 3B, 4A, and 4B are views for explaining the operation of the fluid lens according to the embodiments of the present invention.
5A and 5B are images of a subject using a fluid lens according to embodiments of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish them, will become apparent by reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, the terms 'comprises' and / or 'comprising' mean that the stated element, step, operation and / or element does not imply the presence of one or more other elements, steps, operations and / Or additions.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 예를 들면, 직각으로 도시된 식각 영역은 라운드지거나 소정 곡률을 가지는 형태일 수 있다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.In addition, the embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional views and / or plan views, which are ideal illustrations of the present invention. In the drawings, the thicknesses of the films and regions are exaggerated for an effective description of the technical content. Thus, the shape of the illustrations may be modified by manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, the embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown, but also include changes in the shapes that are generated according to the manufacturing process. For example, the etched area shown at right angles may be rounded or may have a shape with a certain curvature. Thus, the regions illustrated in the figures have schematic attributes, and the shapes of the regions illustrated in the figures are intended to illustrate specific types of regions of the elements and are not intended to limit the scope of the invention.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈의 평면도이다. 도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈의 단면도이다. 예를 들어, 도 2는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면도일 수 있다.1 is a plan view of a fluid lens according to embodiments of the present invention. 2 is a cross-sectional view of a fluid lens according to embodiments of the present invention. For example, FIG. 2 may be a sectional view taken along line I-I 'of FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈는 하부 기판(100), 제1 전극(110), 제2 전극(120), 절연 층(130), 유체 렌즈부(140), 및 상부 기판(150)을 포함할 수 있다.1 and 2, a fluid lens according to embodiments of the present invention includes a lower substrate 100, a first electrode 110, a second electrode 120, an insulating layer 130, 140, and an upper substrate 150.

하부 기판(100)이 제공될 수 있다. 하부 기판(100)은 투명할 수 있다. 예를 들어, 하부 기판(100)은 유리 기판일 수 있다.A lower substrate 100 may be provided. The lower substrate 100 may be transparent. For example, the lower substrate 100 may be a glass substrate.

하부 기판(100) 상에 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)이 제공될 수 있다. 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)은 서로 이격될 수 있다. 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)은 서로 동일한 레벨에 배치될 수 있다. 본 명세서에서, '레벨'은 기판(100)의 상면으로부터의 높이를 의미한다. 예를 들어, 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)은 동일한 평면 내에 제공될 수 있다.A first electrode 110 and a second electrode 120 may be provided on the lower substrate 100. The first electrode 110 and the second electrode 120 may be spaced apart from each other. The first electrode 110 and the second electrode 120 may be disposed at the same level. In this specification, 'level' means height from the upper surface of the substrate 100. For example, the first electrode 110 and the second electrode 120 may be provided in the same plane.

제1 전극(110)은 제1 바디부(110a), 제1 연결부들(110b), 및 제1 서브 전극들(110s)을 포함할 수 있다. 제2 전극(120)은 제2 바디부(120a), 제2 연결부들(120b), 및 제2 서브 전극들(120s)을 포함할 수 있다. 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)은 투명 도전 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ZnO(Zinc Oxide), 및/또는 투명 유기 도전 물질을 포함할 수 있다.The first electrode 110 may include a first body 110a, first connection portions 110b, and first sub-electrodes 110s. The second electrode 120 may include a second body portion 120a, second connection portions 120b, and second sub-electrodes 120s. The first electrode 110 and the second electrode 120 may include a transparent conductive material. For example, the first electrode 110 and the second electrode 120 may include indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), and / .

제1 서브 전극들(110s) 및 제2 서브 전극들(120s)은 제1 방향(D1)을 따라 교대로 그리고 반복적으로 제공될 수 있다. 예를 들어, 제1 서브 전극들(110s)의 각각은 인접하는 한 쌍의 제2 서브 전극들(120s) 사이에 제공될 수 있고, 제2 서브 전극들(120s)의 각각은 인접하는 한 쌍의 제1 서브 전극들(110s) 사이에 제공될 수 있다. 제1 서브 전극들(110s) 및 제2 서브 전극들(120s)은 제1 방향(D1)으로 서로 이격될 수 있다. 제1 및 제2 서브 전극들(110s, 120s)은 제1 방향(D1)으로 일정한 간격(SP)만큼 이격되어 배치될 수 있다.The first sub-electrodes 110s and the second sub-electrodes 120s may be alternately and repeatedly provided along the first direction D1. For example, each of the first sub-electrodes 110s may be provided between a pair of adjacent second sub-electrodes 120s, and each of the second sub-electrodes 120s may be provided between a pair of adjacent sub- And the first sub-electrodes 110s of the first sub-electrodes 110s. The first sub-electrodes 110s and the second sub-electrodes 120s may be spaced apart from each other in the first direction D1. The first and second sub-electrodes 110s and 120s may be spaced apart from each other by a predetermined gap SP in the first direction D1.

제1 서브 전극들(110s)의 각각은 제1 방향(D1)과 교차하는 제2 방향(D2)을 따라 지그재그로 연장될 수 있다. 예를 들어, 제1 서브 전극들(110s)의 각각은 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)과 교차하는 제3 방향(D3)으로 연장되는 제1 연장부들(110c) 및 제1 방향(D1), 제2 방향(D2), 및 제3 방향(D3)과 교차하는 제4 방향(D4)으로 연장되는 제2 연장부들(110d)을 포함할 수 있다.Each of the first sub-electrodes 110s may be zigzag along the second direction D2 intersecting the first direction D1. For example, each of the first sub-electrodes 110s includes first extending portions 110c extending in a third direction D3 intersecting the first direction D1 and the second direction D2, And second extending portions 110d extending in a fourth direction D4 intersecting the first direction D1, the second direction D2, and the third direction D3.

제1 연장부들(110c) 및 제2 연장부들(110d)은 제2 방향(D2)을 따라 교대로 그리고 반복적으로 제공될 수 있다. 예를 들어, 제1 연장부들(110c)의 각각은 인접하는 한 쌍의 제2 연장부들(110d)을 연결할 수 있고, 제2 연장부들(110d)의 각각은 인접하는 한 쌍의 제1 연장부들(110c)을 연결할 수 있다. 일 예로, 서로 연결되는 제1 연장부(110c) 및 제2 연장부(110d) 사이의 각도(θ1)는 60° 내지 120° 일 수 있다. 다른 예로, 서로 연결되는 제1 연장부(110c) 및 제2 연장부(110d) 사이의 각도(θ1)는 실질적으로 직각(90°)일 수 있다. 제1 및 제2 연장부들(110c, 110d)의 각각은 연장되는 방향으로의 길이 및 연장되는 방향에 수직한 방향으로의 너비를 가질 수 있다. 제1 및 제2 연장부들(110c, 110d)의 상기 길이들은 서로 실질적으로 동일할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 연장부들(110c, 110d)의 상기 너비들도 서로 실질적으로 동일할 수 있다.The first extensions 110c and the second extensions 110d may be alternately and repeatedly provided along the second direction D2. For example, each of the first extensions 110c may connect an adjacent pair of second extensions 110d, and each of the second extensions 110d may connect a pair of adjacent first extensions 110d, (110c). For example, the angle [theta] 1 between the first extended portion 110c and the second extended portion 110d that are connected to each other may be 60 [deg.] To 120 [deg.]. As another example, the angle [theta] 1 between the first extended portion 110c and the second extended portion 110d that are connected to each other may be substantially perpendicular (90 [deg.]). Each of the first and second extensions 110c and 110d may have a length in the extending direction and a width in the direction perpendicular to the extending direction. The lengths of the first and second extensions 110c and 110d may be substantially equal to each other. Also, the widths of the first and second extensions 110c and 110d may be substantially equal to each other.

제2 서브 전극들(120s)의 각각은 제2 방향(D2)을 따라 지그재그로 연장될 수 있다. 예를 들어, 제2 서브 전극들(120s)의 각각은 제3 방향(D3)으로 연장되는 제3 연장부들(120c) 및 제4 방향(D4)으로 연장되는 제4 연장부들(120d)을 포함할 수 있다. 즉, 제3 연장부들(120c)은 제1 연장부들(110c)과 나란한 방향으로 연장될 수 있고, 제4 연장부들(120d)은 제2 연장부들(110d)과 나란한 방향으로 연장될 수 있다.Each of the second sub-electrodes 120s may be zigzagged along the second direction D2. For example, each of the second sub-electrodes 120s includes third extensions 120c extending in a third direction D3 and fourth extensions 120d extending in a fourth direction D4 can do. That is, the third extensions 120c may extend in a direction parallel to the first extensions 110c, and the fourth extensions 120d may extend in a direction parallel to the second extensions 110d.

제3 연장부들(120c) 및 제4 연장부들(120d)은 제2 방향(D2)을 따라 교대로 그리고 반복적으로 제공될 수 있다. 예를 들어, 제3 연장부들(120c)의 각각은 인접하는 한 쌍의 제4 연장부들(120d)을 연결할 수 있고, 제4 연장부들(120d)의 각각은 인접하는 한 쌍의 제3 연장부들(120c)을 연결할 수 있다. 일 예로, 서로 연결되는 제3 연장부(120c) 및 제4 연장부(120d) 사이의 각도(θ2)는 60° 내지 120° 일 수 있다. 다른 예로, 서로 연결되는 제3 연장부(120c) 및 제4 연장부(120d) 사이의 각도(θ2)는 실질적으로 직각(90°)일 수 있다. 제3 및 제4 연장부들(120c, 120d)의 각각은 연장되는 방향으로의 길이 및 연장되는 방향에 수직한 방향으로의 너비를 가질 수 있다. 제3 및 제4 연장부들(120c, 120d)의 상기 길이들은 서로 실질적으로 동일할 수 있다. 또한, 제3 및 제4 연장부들(120c, 120d)의 상기 너비들도 서로 실질적으로 동일할 수 있다. The third extensions 120c and the fourth extensions 120d may be alternately and repeatedly provided along the second direction D2. For example, each of the third extensions 120c may connect an adjacent pair of fourth extensions 120d, and each of the fourth extensions 120d may be connected to a pair of adjacent third extensions 120d, (120c). For example, the angle? 2 between the third extending portion 120c and the fourth extending portion 120d that are connected to each other may be 60 ° to 120 °. As another example, the angle [theta] 2 between the third extended portion 120c and the fourth extended portion 120d that are connected to each other may be substantially perpendicular (90 [deg.]). Each of the third and fourth extensions 120c and 120d may have a length in the extending direction and a width in the direction perpendicular to the extending direction. The lengths of the third and fourth extensions 120c and 120d may be substantially equal to each other. Also, the widths of the third and fourth extensions 120c and 120d may be substantially equal to each other.

제1 연장부들(110c), 제2 연장부들(110d), 제3 연장부들(120c), 및 제4 연장부들(120d)의 상기 길이들은 서로 실질적으로 동일할 수 있다. 또한, 제1 연장부들(110c), 제2 연장부들(110d), 제3 연장부들(120c), 및 제4 연장부들(120d)의 상기 너비들은 서로 실질적으로 동일할 수 있다The lengths of the first extensions 110c, the second extensions 110d, the third extensions 120c, and the fourth extensions 120d may be substantially the same as each other. In addition, the widths of the first extensions 110c, the second extensions 110d, the third extensions 120c, and the fourth extensions 120d may be substantially equal to each other

제1 연장부들(110c) 및 제3 연장부들(120c)은 제1 방향(D1)을 따라 연장되고 제2 방향(D2)으로 배열되는 제1 열들(C1)을 이룰 수 있다. 제1 열들(C1)의 각각 내에서, 제1 연장부들(110c) 및 제3 연장부들(120c)은 제1 방향(D1)을 따라 교대로 그리고 제1 간격(SP1)으로 배열될 수 있다.The first extensions 110c and the third extensions 120c may form the first columns C1 extending along the first direction D1 and arranged in the second direction D2. Within each of the first rows C1, the first extensions 110c and the third extensions 120c may be arranged alternately along the first direction D1 and at a first spacing SP1.

제2 연장부들(110d) 및 제4 연장부들(120d)은 제1 방향(D1)을 따라 연장되고 제2 방향(D2)으로 배열되는 제2 열들(C2)을 이룰 수 있다. 제1 열들(C1) 및 제2 열들(C2)을 제2 방향을 따라 교대로 배열될 수 있다. 제2 열들(C2)의 각각 내에서, 제2 연장부들(110d) 및 제4 연장부들(120d)은 제1 방향(D1)을 따라 교대로 그리고 제2 간격(SP2)으로 배열될 수 있다. 제2 간격(SP2)은 제1 간격(SP1)과 동일할 수 있다. 또한, 제1 간격(SP1) 및 제2 간격(SP2)은 제1 및 제2 서브 전극들(110s, 120s)의 제1 방향(D1)으로의 간격(SP)과 동일할 수 있다.The second extensions 110d and fourth extensions 120d may form second rows C2 extending along the first direction D1 and arranged in the second direction D2. The first columns C1 and the second columns C2 may be alternately arranged along the second direction. Within each of the second rows C2, the second extensions 110d and fourth extensions 120d may be arranged alternately along the first direction D1 and at a second spacing SP2. The second spacing SP2 may be the same as the first spacing SP1. The first spacing SP1 and the second spacing SP2 may be the same as the spacing SP between the first and second sub-electrodes 110s and 120s in the first direction D1.

제1 바디부(110a) 및 제2 바디부(120a)은 제2 방향(D2)으로 서로 이격하게 제공될 수 있다. 예를 들어, 제1 바디부(110a) 및 제2 바디부(120a)는 제1 서브 전극들(110s) 및 제2 서브 전극들(120s)을 사이에 두고 서로 이격할 수 있다. 제1 바디부(110a) 및 제2 바디부(120a)의 각각은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 몇몇 실시예들에 따르면, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 바디부(110a) 및 제2 바디부(120a)의 각각은 제1 방향(D1)으로 연장되는 바(bar) 형상을 가질 수 있다. 하지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 바디부(110a) 및 제2 바디부(120a)의 형상은 다양하게 변경될 수 있다.The first body part 110a and the second body part 120a may be spaced apart from each other in the second direction D2. For example, the first body part 110a and the second body part 120a may be spaced apart from each other with the first sub-electrodes 110s and the second sub-electrodes 120s interposed therebetween. Each of the first body part 110a and the second body part 120a may extend in the first direction D1. 1, each of the first body portion 110a and the second body portion 120a may have a bar shape extending in a first direction D1. In some embodiments, have. However, the present invention is not limited thereto, and the shapes of the first body part 110a and the second body part 120a may be variously changed.

제1 연결부들(110b)은 제1 서브 전극들(110s)과 제1 바디부(110a)를 전기적으로 연결할 수 있다. 예를 들어, 제1 서브 전극들(110s)의 각각은 그에 대응하는 제1 연결부(110b)를 통해 제1 바디부(110a)에 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 평면적 관점에서, 제1 연결부들(110b)의 각각은 제2 방향(D2)으로 연장될 수 있다.The first connection portions 110b may electrically connect the first sub-electrodes 110s and the first body portion 110a. For example, each of the first sub-electrodes 110s may be electrically connected to the first body portion 110a through a corresponding first connection portion 110b. For example, in a plan view, each of the first connection portions 110b may extend in the second direction D2.

제2 연결부들(120b)은 제2 서브 전극들(120s)과 제2 바디부(120a)를 전기적으로 연결할 수 있다. 예를 들어, 제2 서브 전극들(120s)의 각각은 그에 대응하는 제2 연결부(120b)를 통해 제2 바디부(120a)에 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 평면적 관점에서, 제2 연결부들(120b)의 각각은 제2 방향(D2)으로 연장될 수 있다.The second connection portions 120b may electrically connect the second sub-electrodes 120s and the second body portion 120a. For example, each of the second sub-electrodes 120s may be electrically connected to the second body portion 120a through a corresponding second connection portion 120b. For example, in a plan view, each of the second connection portions 120b may extend in the second direction D2.

몇몇 실시예들에 따르면, 도 1에 도시된 바와 달리, 제1 연결부들(110b) 및 제2 연결부들(120b)은 생략될 수 있다. 이러한 실시예들에서, 제1 서브 전극들(110s)은 제1 바디부(110a)에 직접 연결될 수 있고, 제2 서브 전극들(120s)은 제2 바디부(120a)에 직접 연결될 수 있다.According to some embodiments, unlike the one shown in FIG. 1, the first connecting portions 110b and the second connecting portions 120b may be omitted. In such embodiments, the first sub-electrodes 110s may be directly connected to the first body portion 110a, and the second sub-electrodes 120s may be directly connected to the second body portion 120a.

기판(100) 상에, 절연 층(130)이 제공될 수 있다. 절연 층(130)은 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)을 덮을 수 있다. 절연 층(130)은, 예를 들어, 무기 절연 물질 및/또는 유기 절연 물질을 포함할 수 있다.On the substrate 100, an insulating layer 130 may be provided. The insulating layer 130 may cover the first electrode 110 and the second electrode 120. The insulating layer 130 may comprise, for example, an inorganic insulating material and / or an organic insulating material.

절연 층(130) 상에, 유체 렌즈부(140)가 제공될 수 있다. 유체 렌즈부(140)는 제1 유체(142) 및 제2 유체(144)를 포함할 수 있다. 평면적 관점에서, 제1 유체(142)는 제1 및 제2 서브 전극들(110s, 120s) 중에서 적어도 일부와 중첩될 수 있다. 제1 유체(142)는 절연 층(130)과 접하는 반구형 형상 혹은 이와 유사한 형상을 가질 수 있고, 제2 유체(144)는 제1 유체(142)를 덮을 수 있다.On the insulating layer 130, a fluid lens portion 140 may be provided. The fluid lens portion 140 may include a first fluid 142 and a second fluid 144. From a plan viewpoint, the first fluid 142 may overlap at least a portion of the first and second sub-electrodes 110s, 120s. The first fluid 142 may have a hemispherical or similar shape in contact with the insulating layer 130 and the second fluid 144 may cover the first fluid 142.

제1 유체(142) 및 제2 유체(144)는 서로 섞이지 않을 수 있다. 예를 들어, 제1 유체(142)와 제2 유체(144) 중에서 어느 하나는 친수성을 띨 수 있고, 다른 하나는 소수성을 띨 수 있다. 제1 유체(142) 및 제2 유체(144)는 서로 다른 유전 상수를 가질 수 있고, 서로 다른 굴절률을 가질 수 있다. 제1 유체(142) 및 제2 유체(144)는 투명할 수 있다. 일 예로, 제1 유체(142)는 미네랄 오일, 실리콘 오일, 해바라기 오일, 및 헥사데칸 중에서 어느 하나를 포함할 수 있고, 제2 유체(144)는 물 및 글리세롤 중에서 어느 하나를 포함할 수 있다.The first fluid 142 and the second fluid 144 may not mix with each other. For example, one of the first fluid 142 and the second fluid 144 may be hydrophilic and the other may be hydrophobic. The first fluid 142 and the second fluid 144 may have different dielectric constants and may have different refractive indices. The first fluid 142 and the second fluid 144 may be transparent. In one example, the first fluid 142 may comprise any one of mineral oil, silicone oil, sunflower oil, and hexadecane, and the second fluid 144 may comprise either water or glycerol.

유체 렌즈부(140) 상에, 상부 기판(150)이 제공될 수 있다. 상부 기판(150)은 투명할 수 있다. 예를 들어, 상부 기판(150)은 유리 기판일 수 있다.On the fluid lens portion 140, an upper substrate 150 may be provided. The upper substrate 150 may be transparent. For example, the upper substrate 150 may be a glass substrate.

도 3a, 도 3b, 도 4a, 및 도 4b는 본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈의 동작을 설명하기 위한 도면들이다. 도 3a 및 도 3b는 각각 제1 전극 및 제2 전극에 전압이 가해지지 않을 때의 유체 렌즈의 평면도 및 단면도에 해당한다. 도 3b는 도 3a의 I-I'선에 따른 단면도일 수 있다. 도 4a 및 도 4b는 각각 제1 전극 및 제2 전극에 전압이 가해질 때의 유체 렌즈의 평면도 및 단면도에 해당한다. 도 4b는 도 4a의 I-I'선에 따른 단면도일 수 있다. 도 3a, 도 3b, 도 4a, 및 도 4b는 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 유체 렌즈와 실질적으로 동일할 수 있다. 설명의 간소화를 위하여, 유체 렌즈의 구성들에 대한 중복되는 설명은 생략한다.FIGS. 3A, 3B, 4A, and 4B are views for explaining the operation of the fluid lens according to the embodiments of the present invention. 3A and 3B correspond to a plan view and a cross-sectional view of a fluid lens when no voltage is applied to the first electrode and the second electrode, respectively. FIG. 3B is a sectional view taken along the line I-I 'of FIG. 3A. 4A and 4B correspond to a plan view and a cross-sectional view of a fluid lens when a voltage is applied to the first electrode and the second electrode, respectively. 4B is a cross-sectional view taken along line I-I 'of FIG. 4A. 3A, 3B, 4A, and 4B can be substantially the same as the fluid lens described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. For the sake of simplicity of description, redundant description of the configurations of the fluid lens is omitted.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)에 전압이 가해지지 않을 수 있다. 따라서, 제1 전극(110)과 제2 전극(120) 사이에, 전기장이 발생하지 않을 수 있다. 제1 유체(142)는 제1 곡률 및 그에 따른 제1 초점 거리를 가질 수 있다.Referring to FIGS. 3A and 3B, a voltage may not be applied to the first electrode 110 and the second electrode 120. Therefore, an electric field may not be generated between the first electrode 110 and the second electrode 120. The first fluid 142 may have a first curvature and hence a first focal length.

도 4a 및 도 4b를 참조하면, 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)에 전압이 가해질 수 있다. 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)에 가해지는 전압은 교류일 수 있다. 이에 따라, 제1 전극(110)과 제2 전극(120) 사이에, 구체적으로 제1 서브 전극들(110s)과 제2 서브 전극들(120s) 사이에, 전기장(EF)이 형성될 수 있다. Referring to FIGS. 4A and 4B, a voltage may be applied to the first electrode 110 and the second electrode 120. The voltage applied to the first electrode 110 and the second electrode 120 may be alternating current. Accordingly, an electric field EF may be formed between the first electrode 110 and the second electrode 120, specifically between the first sub-electrodes 110s and the second sub-electrodes 120s .

전기장(EF)은 제1 유체(142)에 영향을 미칠 수 있다. 전기장(EF)에 의하여, 제1 유체(142)의 형상이 변화할 수 있다. 이에 따라, 제1 유체(142)는 상기 제1 곡률과 다른 제2 곡률 및 상기 제1 초점 거리와 다른 제2 초점 거리를 가질 수 있다. The electric field EF may affect the first fluid 142. The shape of the first fluid 142 can be changed by the electric field EF. Accordingly, the first fluid 142 may have a second curvature different from the first curvature and a second focal length different from the first focal distance.

본 발명의 실시예들에 따르면, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 균일한 전기장(EF)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 서브 전극들(110s, 120s) 사이에 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 (혹은, 제3 방향(D3) 및 제4 방향(D4)으로) 균일한 전기장(EF)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1 유체(142)는 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 (혹은, 방향(D3) 및 제4 방향(D4)으로) 균일하게 변형될 수 있다. According to the embodiments of the present invention, as shown in Figs. 4A and 4B, a uniform electric field EF can be formed. For example, in the first direction D1 and the second direction D2 (or in the third direction D3 and the fourth direction D4) between the first and second sub-electrodes 110s and 120s ) A uniform electric field EF can be formed. Accordingly, the first fluid 142 can be uniformly deformed in the first direction D1 and the second direction D2 (or in the direction D3 and the fourth direction D4).

본 발명의 실시예들에 따르면, 도 4a에 도시된 바와 같이, 평면적 관점에서 균일한 전기장(EF)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 평면적 관점에서, 제1 및 제2 서브 전극들(110s, 120s)의 중심 부분과 제1 및 제2 서브 전극들(110s, 120s)의 가장자리 부분에서 실질적으로 동일한 전기장이 형성될 수 있다. 이에 따라, 평면적 관점에서, 제1 유체(142)가 제1 및 제2 서브 전극들(110s, 120s)의 중심 부분으로부터 벗어나 있더라도, 제1 유체(142)는 균일하게 변형될 수 있다.According to the embodiments of the present invention, as shown in Fig. 4A, a uniform electric field EF can be formed in plan view. For example, from the plan viewpoint, substantially the same electric field may be formed at the center portion of the first and second sub-electrodes 110s and 120s and at the edge portions of the first and second sub-electrodes 110s and 120s have. Thus, from the plan viewpoint, the first fluid 142 can be uniformly deformed even if it deviates from the center portion of the first and second sub-electrodes 110s and 120s.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈를 이용하여 피사체(딸기 모양)를 관찰한 이미지들이다. 도 5a는 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)에 전압이 인가되지 않았을 때의 이미지를 나타내고, 도 5b는 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)에 전압이 인가되었을 때의 이미지를 나타낸다.5A and 5B are images obtained by observing a subject (strawberry shape) using a fluid lens according to embodiments of the present invention. 5A shows an image when no voltage is applied to the first electrode 110 and the second electrode 120. FIG. 5B shows an image when no voltage is applied to the first electrode 110 and the second electrode 120. FIG. .

도 5a를 참조하면, 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)에 전압이 인가되지 않았을 때, 유체 렌즈에 의하여 피사체의 실상이 선명하게 관찰됨을 확인할 수 있다. 이에 반해, 도 5b를 참조하면, 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)에 전압이 인가되었을 때, 초점 재조정 후 유체 렌즈에 의하여 피사체의 축소된 실상이 관찰됨을 확인할 수 있다. 5A, when a voltage is not applied to the first electrode 110 and the second electrode 120, it can be seen that the actual image of the subject is clearly observed by the fluid lens. Referring to FIG. 5B, when a voltage is applied to the first electrode 110 and the second electrode 120, it is confirmed that a reduced image of the subject is observed by the fluid lens after the focus is readjusted.

이를 통해, 본 발명의 실시예들에 따른 유체 렌즈의 제1 전극(110) 및 제2 전극(120)에 전압이 인가되면, 유체 렌즈의 초점 심도가 변함을 확인할 수 있다.As a result, when the voltage is applied to the first electrode 110 and the second electrode 120 of the fluid lens according to the embodiments of the present invention, the focus depth of the fluid lens changes.

이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative and not restrictive in every respect.

Claims

A fluid lens unit provided between the lower substrate and the upper substrate; And
And a first sub-electrode and a second sub-electrode provided between the lower substrate and the fluid lens unit,
The first sub-electrode and the second sub-electrode are spaced apart from each other in the first direction,
Wherein the first sub-electrodes include first and second elongated portions alternately arranged in a second direction intersecting with the first direction, wherein the first and second elongated portions intersect with each other Lt; / RTI >
And the third sub-electrodes include third and fourth elongated portions alternately arranged along the second direction, wherein the third elongated portions and the fourth elongated portions extend in a direction intersecting with each other, .

The method according to claim 1,
The first extensions and the second extensions are alternately connected along the second direction,
And the third extensions and the fourth extensions are alternately connected along the second direction.

3. The method of claim 2,
Wherein a first angle between the first extensions and the second extensions connected to each other is substantially equal to a second angle between the third extensions and the fourth extensions connected to each other.

The method of claim 3,
Wherein the first angle and the second angle are 60 [deg.] To 120 [deg.].

The method of claim 3,
Wherein the first angle and the second angle are substantially perpendicular.

The method according to claim 1,
Each of the first extensions and each of the third extensions extend in a third direction intersecting the first direction and the second direction,
Each of the second extensions and each of the fourth extensions extending in a fourth direction intersecting the third direction.

The method according to claim 6,
Wherein the first extending portions are adjacent to the third extending portions in the first direction,
And the second extending portions are respectively adjacent to the fourth extending portions in the first direction.

The method according to claim 6,
A width of the first extending portions in a direction perpendicular to the third direction, a width of the second extending portions in a direction perpendicular to the fourth direction, a width in a direction perpendicular to the third direction of the third extending portions, And the widths of the fourth extensions in a direction perpendicular to the fourth direction are substantially equal to each other.

The method according to claim 6,
The length of the first extending portions in the third direction, the length of the second extending portions in the fourth direction, the length of the third extending portions in the third direction, And the lengths in the fourth direction are substantially equal to each other.

The method according to claim 1,
The fluid lens portion including a first fluid and a second fluid,
Wherein the first fluid and the second fluid do not mix with each other and have different dielectric constants.

The method according to claim 1,
And a dielectric layer provided between the lower substrate and the fluid lens portion, the dielectric layer covering the first sub-electrode and the second sub-electrode.