KR20190033813A - 제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 전류 측정 장치 및 방법 - Google Patents

제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 전류 측정 장치 및 방법 Download PDF

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KR20190033813A KR1020170122458A KR20170122458A KR20190033813A KR 20190033813 A KR20190033813 A KR 20190033813A KR 1020170122458 A KR1020170122458 A KR 1020170122458A KR 20170122458 A KR20170122458 A KR 20170122458A KR 20190033813 A KR20190033813 A KR 20190033813A
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Abstract

본 발명에 따른 제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 방법은 전류 센서로부터 입력된 전류 신호를 수신하는 단계; 상기 입력된 전류 신호의 크기 정보에 기초하여 레퍼런스 실효값을 획득하는 단계; 상기 입력된 전류 신호의 비선형 특성을 보정하기 위한 복수의 보정부의 보정 이득을 기 설정된 보정 이득으로 셋팅하는 단계; 상기 입력된 전류 신호에 대한 실효값을 측정하는 단계; 상기 측정된 실효값과 상기 레퍼런스 실효값의 오차를 산출하는 단계 및 상기 산출된 오차에 기초하여 상기 복수의 보정부의 보정 이득을 조정하는 단계를 포함한다.

Description

제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 전류 측정 장치 및 방법{APPARATUS FOR MEASURING CURRENT AND METHOD FOR MODIFING NONLINEAR PROPERTIES THEREOF}
본 발명은 제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 세싱 데이터의 비선형 특성을 보정할 수 있는 전류 측정 장치 및 이의 보정 방법에 관한 것이다.
제조장비에 대한 잔여 수명 예측 및 고장 예지 진단을 위해 제조장비의 전류 사용량 정보, 진동 정보 등이 사용되고 있다. 이때, 제조장비에 입력되는 교류 전류를 측정하면, 제조장비에서 소비되는 전류 사용량 정보를 계산할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 전류 측정 장치(1)를 설명하기 위한 도면이다.
제조 장비(또는 부하, Load)에서 소비되는 교류 전류를 측정하기 위한 전류 측정 장치(1)는 도 1에 도시된 바와 같이, 부하(Load, 2)에 입력되는 전류를 센싱하기 위한 전류 센서(10), 상기 센싱된 전류 신호를 디지털 신호로 변환하기 위한 ADC(Analog-to-Digital Converter, 20) 및 상기 디지털 신호로 변환된 전류 신호를 이용하여 실효값을 산출하는 실효값 산출부(30)를 포함한다.
이때, 전류 센서(10)는 대전류를 입력받아 ADC(20)에서 입력받을 수 있는 크기의 전류 신호로 변환하는 기능을 수행한다. 전류 센서(10)는 저항을 이용하여 구현하는 것이 가능하지만, 대전류의 측정이 어렵고, 접촉식 방법으로 사용해야 하는 단점이 있다.
따라서, 비접촉싱 방법으로 대전류를 측정하기 위한 응용 분야에서는 주로 CT(Current Transformer) 센서가 전류 센서로 사용되고 있다.
도 2는 CT 센서를 이용한 전류 센서의 특성을 설명하기 위한 도면이다.
이러한 CT 센서는 입력되는 전류의 크기가 작은 범위에서는 선형적으로 동작하지만, 도 2와 같이 입력 전류의 크기가 커지면 비선형 특성이 발생하는 단점을 가지고 있다.
이에 따라, 종래 기술의 경우 전류 센서로부터 출력되는 신호를 입력받아 실효값을 계산할 때, 전류 센서의 비선형 특성이 발생하는 크기의 전류에 대해서는 전류의 실효값의 오차가 증가하여 실효값 추정 성능이 저하되는 문제가 있다.
이와 관련하여, 한국공개특허공보 제10-2015-0108150호(발명의 명칭: 교류 신호 실효값 산출기)는 교류신호의 실효값을 산출할 수 있는 산출회로에 관한 것으로서, 새 샘플값과 삭제되는 샘플값의 차이를 적분하여 교류신호 실효 값을 매 샘플주기마다 산출하는 기술을 개시하고 있다.
본 발명의 실시예는 전류 센서의 비선형 특성을 보정하여, 비선형 특성으로 인하여 발생되는 전류 실효값의 오차를 최소화시킬 수 있는 전류 측정 장치 및 방법을 제공한다.
다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 제 1 측면에 따른 제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 방법은 전류 신호의 비선형 특성을 보정하기 위한 복수의 보정부의 보정 이득을 기 설정된 보정 이득으로 셋팅하는 단계; 전류 센서로부터 입력된 상기 전류 신호를 수신하는 단계; 상기 입력된 전류 신호의 크기 정보에 기초하여 레퍼런스 실효값을 획득하는 단계; 상기 입력된 전류 신호에 대한 실효값을 측정하는 단계; 상기 측정된 실효값과 상기 레퍼런스 실효값의 오차를 산출하는 단계 및 상기 산출된 오차에 기초하여 상기 복수의 보정부의 보정 이득을 조정하는 단계를 포함한다.
상기 산출된 오차에 기초하여 상기 복수의 보정부의 보정 이득을 조정하는 단계는, 상기 복수의 보정부에 포함된 각각의 비교기에 대하여, 상기 측정된 실효값과 상기 레퍼런스 실효값의 오차가 상기 비교기에 대해 기 설정된 크기 이상이 될 때까지 상기 입력되는 전류 신호의 크기를 증가시키는 단계; 상기 기 설정된 크기 이상인 경우, 상기 측정된 실효값을 상기 복수의 보정부에 포함된 각각의 비교기에 대한 임계값으로 설정하는 단계 및 상기 레퍼런스 실효값을 상기 측정된 실효값으로 나누어 상기 복수의 보정부에 대한 상기 보정 이득을 산출하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 산출된 오차에 기초하여 상기 복수의 보정부의 보정 이득을 조정하는 단계는, 상기 복수의 보정부에 대한 보정 이득의 조정이 완료될 때까지 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 상기 측정된 실효값과 상기 복수의 보정부에 포함된 각각의 비교기에 설정된 임계값을 비교하는 단계; 상기 복수의 비교기에 대하여 상기 측정된 실효값보다 큰 임계값을 가지는 보정부는 상기 조정된 보정 이득으로 설정하고, 상기 측정된 실효값보다 작은 임계값을 가지는 보정부는 상기 기 설정된 보정이득으로 보정 이득을 설정하는 단계; 및 상기 조정된 보정 이득에 기초하여 상기 측정된 실효값을 보정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 제 2 측면에 따른 제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 전류 측정 장치는 전류 센서로부터 전류 신호를 수신하는 수신부, 상기 전류 신호에 대한 실효값을 측정하는 실효값 측정부 및 상기 입력된 전류 신호의 비선형 특성을 보정하기 위한 복수의 보정부를 포함한다. 이때, 상기 복수의 보정부는 상기 전류 신호의 크기 정보에 기초하여 획득된 레퍼런스 실효값과 상기 측정된 실효값과의 오차를 산출하고, 상기 산출된 오차에 기초하여 각각의 보정 이득을 조정한다.
상기 복수의 보정부는 상기 산출된 오차가 복수의 보정부에 포함된 비교기 각각에 대하여 기 설정된 임계값 이상이 될 때까지 상기 전류 신호의 크기를 증가시키고, 기 설정된 임계값 이상이 되는 경우, 상기 측정된 실효값을 각각의 비교기에 대한 상기 임계값으로 설정하며, 상기 레퍼런스 실효값을 상기 측정된 실효값으로 나누어 보정 이득으로 산출할 수 있다.
상기 보정 이득의 조정은 상기 복수의 보정부에 대한 보정 이득의 조정이 완료될 때까지 수행될 수 있다.
상기 복수의 보정부는 상기 측정된 실효값과 각각의 비교기에 설정된 임계값을 비교하고, 상기 복수의 비교기에 대하여 상기 측정된 실효값보다 큰 임계값을 가지는 경우 상기 조정된 보정 이득으로 설정하고, 상기 측정된 실효값보다 작은 임계값을 가지는 경우 상기 기 설정된 보정 이득으로 보정 이득을 설정하며, 상기 조정된 보정 이득에 기초하여 상기 측정된 실효값을 보정할 수 있다.
전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 전류 센서의 비선형 특성으로 인해 발생되는 전류 실효값의 오차를 보정하여, 전류 센서로 측정할 수 있는 입력 전류의 동적 범위를 확장시킬 수 있다는 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 전류 측정 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 CT 센서를 이용한 전류 센서의 특성을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전류 측정 장치의 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 비선형 특성 보정 방법의 순서도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에서 보정된 보정 이득에 의해 실효값을 보정하는 방법의 순서도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였다.
명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전류 측정 장치(100)의 블록도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전류 측정 장치(100)는 수신부(110), 실효값 측정부(120) 및 복수의 보정부(130)를 포함한다.
수신부(110)는 전류 센서에 의해 센싱된 전류 신호를 수신하고, 실효값 측정부(120)는 전류 신호에 대한 실효값을 측정한다. 그리고 복수의 보정부(130)는 입력된 전류 신호의 비선형 특성을 보정한다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 전류 측정 장치(100)를 사용하기 위해서는 전류 센서의 비선형 특성을 보정하기 위한 보정 과정이 선행적으로 필요하다.
이를 위해, 상기 복수의 보정부(130)의 보정 이득을 기 설정된 보정 이득으로 셋팅한다. 이때, 기 설정된 보정 이득은 복수의 보정부(130)에 대하여 모두 동일한 값으로 설정될 수 있다. 예를 들어, 도 3과 같이 복수의 보정부(130)에 대한 보정 이득 Gain1, Gain2,…,GainN을 1로 설정할 수 있다.
다음으로, 미리 크기 정보를 가지고 있는 전류 신호를 전류 측정 장치(100)에 입력시킨 뒤, 실효값 측정부(120)에 의해 측정된 실효값(IRMS)과 입력된 전류 신호의 크기 정보에 기초하여 레퍼런스 실효값(IREF)을 획득한 다음, 측정된 실효값(IRMS)과 레퍼런스 실효값(IREF)과의 오차를 수학식 1에 기초하여 산출한다.
[수학식 1]
Figure pat00001
다음으로, 산출된 오차가 기 설정된 크기 이상이 될 때까지 전류 신호의 크기를 증가시키면서 측정된 실효값(IRMS)과 레퍼런스 실효값(IREF)과의 오차를 산출한다. 그리고 오차가 기 설정된 크기 이상이 되는 경우, 측정된 실효값을 각각의 비교기에 대한 임계값(TH)으로 설정하고, 수학식 2와 같이 레퍼런스 실효값(IREF)을 측정된 실효값(IRMS)으로 나누어 보정 이득을 산출한다.
[수학식 2]
Figure pat00002
상기 보정 이득을 조정하는 과정은 복수의 보정부(130)에 대한 보정 이득이 산출되고, 상기 임계값(TH1, TH2,…,THN)이 모두 설정될 때까지 반복하여 수행되며, N번째 보정부에 대한 임계값(THN)과 보정 이득(GainN)이 결정되면 보정 이득을 조정하는 과정을 종료한다.
이와 같이, 복수의 보정부(130)에 대한 보정 이득(Gain) 및 비교기에 대한 임계값(TH)이 설정되고 나면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전류 측정 장치(100)는 비선형적 특성을 가지는 입력된 전류 신호에 대한 실효값을 보정하여 오차를 최소화시킬 수 있다.
구체적으로, 실효값 측정부(120)에 의해 측정된 실효값이 제 1 보정부의 임계값 (TH1)보다 작은 경우 모든 보정부(130)에 대한 보정 이득(G1, G2,…,GN)은 기 설정된 보정 이득인 1이 되어 측정된 실효값이 그대로 출력된다.
이와 달리 실효값 측정부(120)에 의해 측정된 실효값이 제 1 보정부의 임계값(TH1)보다 크고 제 2 보정부의 임계값(TH2)보다 작은 경우, 제 1 보정부의 보정 이득(G1)은 상기 조정된 보정 이득인 Gain1으로 설정되고, 나머지 보정부에 대한 보정 이득(G2,…,GN)은 기 설정된 보정 이득인 1로 설정되어, 측정된 실효값에 Gain1이 곱해져 출력된다.
본 발명의 일 실시예는 이와 같은 방법으로 실효값 측정부(120)에 의해 측정된 실효값의 크기에 따라, N개의 보정 이득이 적절히 선택되어 곱해짐에 따라 실효값이 보정될 수 있다.
참고로, 본 발명의 실시예에 따른 도 3에 도시된 구성 요소들은 소프트웨어 또는 FPGA(Field Programmable Gate Array) 또는 ASIC(Application Specific Integrated Circuit)와 같은 하드웨어 형태로 구현될 수 있으며, 소정의 역할들을 수행할 수 있다.
그렇지만 '구성 요소들'은 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니며, 각 구성 요소는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다.
따라서, 일 예로서 구성 요소는 소프트웨어 구성 요소들, 객체지향 소프트웨어 구성 요소들, 클래스 구성 요소들 및 태스크 구성 요소들과 같은 구성 요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함한다.
구성 요소들과 해당 구성 요소들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성 요소들로 결합되거나 추가적인 구성 요소들로 더 분리될 수 있다.
이하에서는 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 방법에 대하여 설명하도록 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 비선형 특성 보정 방법의 순서도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에서 보정된 보정 이득에 의해 실효값을 보정하는 방법의 순서도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 방법은 먼저 도 4를 참조하면, 모든 보정부(130)의 보정 이득을 기 설정된 보정 이득, 예를 들어 1로 설정한다(S105).
다음으로, 전류 센서로부터 입력 전류를 수신하면(S110), 전류 신호의 크기 정보에 기초한 레퍼런스 실효값을 획득하고(S115), 입력된 전류 신호에 대한 실효값을 측정한다(S120).
다음으로, 측정된 실효값과 레퍼런스 실효값의 오차를 산출하고(S125), 산출된 오차가 기 설정된 크기 미만인 경우(S130) 오차가 일정 크기 이상이 될 때까지 전류의 크기를 증가시킨다(S135).
이와 같은 과정에 따라 오차가 기 설정된 크기 이상이 된 경우(S130), 측정된 실효값을 비교기의 임계값으로 설정하고(S140), 레퍼런스 실효값을 측정된 실효값으로 나누어 보정 이득을 산출한다(S145).
이와 같은 과정을 N 번째 보정부까지 수행하여, N 번째 보정부의 임계값 및 보정 이득이 결정된 경우(S150), 보정 과정을 종료한다.
다음으로 보정된 보정 이득에 의해 실효값을 보정하는 과정을 도 5를 참조하여 설명하면, 먼저 측정된 실효값과 1번째 보정부에 포함된 비교기에 설정된 임계값을 비교한다(S205).
비교 결과 실효값이 임계값보다 작은 경우(S210) 모든 보정부의 보정 이득을 1로 설정하여 측정된 실효값이 그대로 출력된다(S215).
반면, 측정된 실효값이 1번째 보정부에 포함된 비교기의 임계값 이상이고 2번째 보정부에 포함된 비교기의 임계값보다 작은 경우(S210), 1번째 보정부의 보정 이득은 조정된 보정 이득(Gain1)으로 설정되고(S220), 나머지 보정 이득은 기 설정된 보정 이득인 1로 설정하게 된다. 이에 따라 측정된 실효값에 조정된 보정 이득(Gain1)이 곱해져 출력된다.
이와 같은 방법에 따라, 실효값을 N 번째 보정부에 포함된 임계값과 비교하여 N개의 보정 이득(Gain1, Gain2,…,GainN)이 적절히 선택되어 전류 측정 장치(100)에 의해 측정된 실효값이 보정되게 된다.
참고로, 본 발명의 일 실시예에서 N개의 보정 이득(Gain1, Gain2,…,GainN)을 모두 1로 설정할 경우, 종래 기술에 따른 전류 측정 장치와 동일한 성능을 가질 수 있다.
한편 상술한 설명에서, 단계 S105 내지 S220는 본 발명의 구현예에 따라서, 추가적인 단계들로 더 분할되거나, 더 적은 단계들로 조합될 수 있다. 또한, 일부 단계는 필요에 따라 생략될 수도 있고, 단계 간의 순서가 변경될 수도 있다. 아울러, 기타 생략된 내용이라 하더라도 도 3에서의 전류 측정 장치(100)에 관하여 이미 기술된 내용은 도 4 및 도 5의 비선형 특성 보정 방법에도 적용된다.
한편, 본 발명의 일 실시예는 컴퓨터에 의해 실행되는 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램 또는 컴퓨터에 의해 실행가능한 명령어를 포함하는 기록 매체의 형태로도 구현될 수 있다. 컴퓨터 판독 가능 매체는 컴퓨터에 의해 액세스될 수 있는 임의의 가용 매체일 수 있고, 휘발성 및 비휘발성 매체, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. 또한, 컴퓨터 판독가능 매체는 컴퓨터 저장 매체 및 통신 매체를 모두 포함할 수 있다. 컴퓨터 저장 매체는 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈 또는 기타 데이터와 같은 정보의 저장을 위한 임의의 방법 또는 기술로 구현된 휘발성 및 비휘발성, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. 통신 매체는 전형적으로 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈, 또는 반송파와 같은 변조된 데이터 신호의 기타 데이터, 또는 기타 전송 메커니즘을 포함하며, 임의의 정보 전달 매체를 포함한다.
본 발명의 방법 및 시스템은 특정 실시예와 관련하여 설명되었지만, 그것들의 구성 요소 또는 동작의 일부 또는 전부는 범용 하드웨어 아키텍쳐를 갖는 컴퓨터 시스템을 사용하여 구현될 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
a: AC 라인
b: 중립 라인
1: 전류 측정 장치
2: 부하
10: 전류 센서
20: ADC
30: 실효값 산출부
100: 전류 측정 장치
110: 수신부
120: 실효값 측정부
130: 보정부

Claims (8)

  1. 제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 방법에 있어서,
    전류 신호의 비선형 특성을 보정하기 위한 복수의 보정부의 보정 이득을 기 설정된 보정 이득으로 셋팅하는 단계;
    전류 센서로부터 입력된 상기 전류 신호를 수신하는 단계;
    상기 입력된 전류 신호의 크기 정보에 기초하여 레퍼런스 실효값을 획득하는 단계;
    상기 입력된 전류 신호에 대한 실효값을 측정하는 단계;
    상기 측정된 실효값과 상기 레퍼런스 실효값의 오차를 산출하는 단계 및
    상기 산출된 오차에 기초하여 상기 복수의 보정부의 보정 이득을 조정하는 단계를 포함하는 비선형 특성 보정 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 산출된 오차에 기초하여 상기 복수의 보정부의 보정 이득을 조정하는 단계는,
    상기 복수의 보정부에 포함된 각각의 비교기에 대하여, 상기 측정된 실효값과 상기 레퍼런스 실효값의 오차가 상기 비교기에 대해 기 설정된 크기 이상이 될 때까지 상기 입력되는 전류 신호의 크기를 증가시키는 단계;
    상기 기 설정된 크기 이상인 경우, 상기 측정된 실효값을 상기 복수의 보정부에 포함된 각각의 비교기에 대한 임계값으로 설정하는 단계 및
    상기 레퍼런스 실효값을 상기 측정된 실효값으로 나누어 상기 복수의 보정부에 대한 상기 보정 이득을 산출하는 단계를 포함하는 것인 비선형 특성 보정 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 산출된 오차에 기초하여 상기 복수의 보정부의 보정 이득을 조정하는 단계는,
    상기 복수의 보정부에 대한 보정 이득의 조정이 완료될 때까지 수행되는 것인 비선형 특성 보정 방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 측정된 실효값과 상기 복수의 보정부에 포함된 각각의 비교기에 설정된 임계값을 비교하는 단계;
    상기 복수의 비교기에 대하여 상기 측정된 실효값보다 큰 임계값을 가지는 보정부는 상기 조정된 보정 이득으로 설정하고, 상기 측정된 실효값보다 작은 임계값을 가지는 보정부는 상기 기 설정된 보정이득으로 보정 이득을 설정하는 단계; 및
    상기 조정된 보정 이득에 기초하여 상기 측정된 실효값을 보정하는 단계를 더 포함하는 비선형 특성 보정 방법.
  5. 제조장비 센싱 데이터의 전처리를 위한 전류 센싱 데이터의 비선형 특성을 보정하는 전류 측정 장치에 있어서,
    전류 센서로부터 전류 신호를 수신하는 수신부,
    상기 전류 신호에 대한 실효값을 측정하는 실효값 측정부 및
    상기 입력된 전류 신호의 비선형 특성을 보정하기 위한 복수의 보정부를 포함하되,
    상기 복수의 보정부는 상기 전류 신호의 크기 정보에 기초하여 획득된 레퍼런스 실효값과 상기 측정된 실효값과의 오차를 산출하고, 상기 산출된 오차에 기초하여 각각의 보정 이득을 조정하는 것인 전류 측정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 복수의 보정부는 상기 산출된 오차가 복수의 보정부에 포함된 비교기 각각에 대하여 기 설정된 임계값 이상이 될 때까지 상기 전류 신호의 크기를 증가시키고, 기 설정된 임계값 이상이 되는 경우, 상기 측정된 실효값을 각각의 비교기에 대한 상기 임계값으로 설정하며, 상기 레퍼런스 실효값을 상기 측정된 실효값으로 나누어 보정 이득으로 산출하는 것인 전류 측정 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 보정 이득의 조정은 상기 복수의 보정부에 대한 보정 이득의 조정이 완료될 때까지 수행되는 것인 전류 측정 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 복수의 보정부는 상기 측정된 실효값과 각각의 비교기에 설정된 임계값을 비교하고, 상기 복수의 비교기에 대하여 상기 측정된 실효값보다 큰 임계값을 가지는 경우 상기 조정된 보정 이득으로 설정하고, 상기 측정된 실효값보다 작은 임계값을 가지는 경우 상기 기 설정된 보정 이득으로 보정 이득을 설정하며, 상기 조정된 보정 이득에 기초하여 상기 측정된 실효값을 보정하는 것인 전류 측정 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2023143788A1 (de) * 2022-01-27 2023-08-03 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung zum ermitteln eines kompensierten effektivwerts und verfahren zum ermitteln eines kompensierten effektivwerts

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WO2023143788A1 (de) * 2022-01-27 2023-08-03 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung zum ermitteln eines kompensierten effektivwerts und verfahren zum ermitteln eines kompensierten effektivwerts

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