KR20190018251A - Piezoelectric device, piezoelectric actuator including the device, and piezoelectric module including the actuator - Google Patents

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KR20190018251A KR1020170102974A KR20170102974A KR20190018251A KR 20190018251 A KR20190018251 A KR 20190018251A KR 1020170102974 A KR1020170102974 A KR 1020170102974A KR 20170102974 A KR20170102974 A KR 20170102974A KR 20190018251 A KR20190018251 A KR 20190018251A
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Abstract

According to an embodiment, a piezoelectric element comprises a piezoelectric part having a plate shape having a height, a lateral width greater than the height, and a vertical width greater than the lateral width, a plurality of internal electrodes disposed in parallel inside the piezoelectric part and spaced apart in the vertical width direction, an external electrode disposed on a side surface of the piezoelectric part defined by the height and the vertical width, and a protective part covering the piezoelectric part and the external electrode; and a polarization direction and a longitudinal direction of the piezoelectric part coincide with each other, and a sound signal is transmitted through one surface of the piezoelectric part defined by the vertical width and the lateral width.

Description

압전 소자, 이 소자를 포함하는 압전 액츄에이터, 및 이 엑츄에이터를 포함하는 압전 모듈{Piezoelectric device, piezoelectric actuator including the device, and piezoelectric module including the actuator}[0001] The present invention relates to a piezoelectric element, a piezoelectric actuator including the piezoelectric actuator, and a piezoelectric module including the piezoelectric actuator,

실시 예는 압전 소자, 이 소자를 포함하는 압전 액츄에이터, 및 이 엑츄에이터를 포함하는 압전 모듈에 관한 것이다.Embodiments relate to a piezoelectric element, a piezoelectric actuator including the element, and a piezoelectric module including the actuator.

일반적으로 압전 소자는 전기적 에너지와 기계적 에너지를 서로 간에 변화시킬 수 있는 특성을 지닌 소자를 말한다.Generally, a piezoelectric element is a device having a characteristic capable of changing electric energy and mechanical energy with each other.

압전 스피커는 이러한 압전 소자의 기계적 움직임을 진동판에 의해 음향적으로 변환시켜서 원하는 주파수 대역의 음향을 발생시키는 음향 부품의 대표적인 제품이다. 이때 압전 소자는 압전 세라믹에 가해지는 힘에 의해 전압이 발생하고, 그 힘의 세기에 따라 발생되는 전압의 양이 달라진다.A piezoelectric speaker is a representative product of acoustic components that generate acoustic waves of a desired frequency band by acoustically converting the mechanical movement of such piezoelectric elements by a diaphragm. At this time, the piezoelectric element generates a voltage by the force applied to the piezoelectric ceramics, and the amount of voltage generated according to the strength of the piezoelectric element changes.

일반적으로 특성이 좋은 압전 스피커는 높은 출력이 구현되고, 주파수별 음압이 높으며 평탄한 형태를 가지면서 넓은 음역을 가지는 것을 의미한다. 그러나, 기존의 압전 소자의 경우, 주된 변위 방향과 교차하는 방향으로 분극이 야기되므로, 진동력이 약한 문제점을 갖는다.In general, a piezoelectric speaker having a good characteristic means that a high output is realized, a sound pressure is high in frequency, a flat shape is formed, and a wide sound range is obtained. However, in the case of the conventional piezoelectric element, polarization is caused in a direction intersecting with the main displacement direction, so that the vibration power is weak.

실시 예는 높은 진동력과 낮은 공진 주파수를 갖는 압전 소자, 이 소자를 포함하는 압전 액츄에이터, 및 이 엑츄에이터를 포함하는 압전 모듈을 제공한다.An embodiment provides a piezoelectric element having a high vibration force and a low resonance frequency, a piezoelectric actuator including the element, and a piezoelectric module including the actuator.

일 실시 예에 의한 압전 소자는, 높이, 상기 높이보다 큰 횡폭, 상기 횡폭보다 큰 종폭을 가지며, 판 형상을 갖는 압전부; 상기 압전부의 내부에 나란하게 배치되고, 종폭 방향으로 이격된 다수의 내부 전극; 상기 높이와 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 측면에 배치되는 외부 전극; 및 상기 압전부와 상기 외부 전극을 덮는 보호부를 포함하고, 상기 압전부의 분극 방향과 종축 방향은 서로 일치하고, 상기 횡폭 및 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 일면을 통하여 음향신호를 전달할 수 있다.The piezoelectric device according to an embodiment includes a piezoelectric unit having a height, a width larger than the height, and a width longer than the width, the piezoelectric unit having a plate shape; A plurality of internal electrodes arranged in parallel within the piezoelectric portion and spaced apart in the longitudinal direction; An external electrode disposed on a side surface of the piezoelectric portion defined by the height and the vertical width; And a protective portion covering the piezoelectric portion and the external electrode. The polarization direction and the longitudinal direction of the piezoelectric portion coincide with each other, and the acoustic signal can be transmitted through one side of the piezoelectric portion defined by the lateral width and the vertical width.

예를 들어, 상기 외부 전극은 상기 압전부의 상기 측면 중 일측면에 배치되는 제1 외부 전극; 및 상기 압전부의 상기 측면 중 상기 일측면과 반대되는 타측면에 배치되는 제2 외부 전극을 포함할 수 있다.For example, the external electrode may include a first external electrode disposed on one side of the side surface of the piezoelectric portion; And a second external electrode disposed on the other side of the side surface of the piezoelectric portion opposite to the one side surface.

예를 들어, 상기 다수의 내부 전극은 상기 압전부의 상기 종축 방향으로 이격되어 상호 교호적으로 반복하여 배치되는 제1 내부전극 및 제2 내부전극을 포함하고, 상기 제1 및 제2 내부 전극 각각의 횡축 방향으로의 길이는 상기 횡폭보다 작으며, 상기 제1 내부 전극은 상기 압전부의 상기 일측면에 노출되어 상기 제1 외부 전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 내부 전극은 상기 압전부의 상기 타측면에 노출되어, 상기 제2 외부 전극과 전기적으로 연결될 수 있다.For example, the plurality of internal electrodes may include a first internal electrode and a second internal electrode alternately arranged alternately and spaced apart from each other in the longitudinal direction of the piezoelectric portion, and the first internal electrode and the second internal electrode, The first internal electrode is exposed to the one side surface of the piezoelectric portion and is electrically connected to the first external electrode, and the second internal electrode is electrically connected to the other side surface of the piezoelectric portion, And may be electrically connected to the second external electrode.

예를 들어, 상기 압전부는 상기 분극 방향으로 적층되며, 각각이 상기 다수의 내부 전극을 포함하며 세라믹계 압전 물질을 포함하는 복수의 단위 블럭; 및 상기 복수의 단위 블럭 중 서로 인접하는 단위 블럭을 접착시키는 제1 접착층을 포함할 수 있다.For example, the piezoelectric unit may include a plurality of unit blocks stacked in the polarization direction, each of the unit blocks including the plurality of internal electrodes and including a ceramic-based piezoelectric material; And a first adhesive layer for bonding adjacent unit blocks among the plurality of unit blocks.

예를 들어, 상기 복수의 단위 블럭 각각은 상기 다수의 내부 전극 중 상기 제1 접착층과 가장 인접한 내부 전극과 상기 제1 접착층 사이에 배치된 더미부; 및 상기 제1 및 제2 내부 전극 사이에 배치된 분극부를 포함할 수 있다.For example, each of the plurality of unit blocks may include a dummy portion disposed between the first adhesive layer and the inner electrode closest to the first adhesive layer among the plurality of inner electrodes; And a polarized portion disposed between the first and second internal electrodes.

예를 들어, 상기 다수의 내부 전극은 상기 압전부의 상기 타측면에 노출되고, 상기 제1 내부 전극과 이격되며, 상기 제1 내부 전극과 동일선 상에 배치된 제1 더미 전극; 및 상기 압전부의 상기 일측면에 노출되고, 상기 제2 내부 전극과 이격되며, 상기 제2 내부 전극과 동일선 상에 배치된 제2 더미 전극을 더 포함할 수 있다.For example, the plurality of internal electrodes may include a first dummy electrode exposed on the other side of the piezoelectric portion, spaced apart from the first internal electrode, and arranged on the same line as the first internal electrode; And a second dummy electrode exposed on the one side surface of the piezoelectric portion, spaced apart from the second internal electrode, and arranged on the same line as the second internal electrode.

예를 들어, 상기 다수의 내부 전극은 상기 더미부에서, 상기 압전부의 상기 일측면 및 상기 타측면에 각각 노출되며 서로 이격되어 동일선 상에 배치된 제3 및 제4 더미 전극을 더 포함할 수 있다.For example, the plurality of internal electrodes may further include third and fourth dummy electrodes disposed on the same and spaced apart from each other on the one side surface and the other side surface of the piezoelectric portion in the dummy portion .

예를 들어, 상기 횡축 방향으로, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 더미 전극 각각의 길이는 상기 내부 전극의 길이보다 작을 수 있다.For example, in the transverse direction, the length of each of the first, second, third, and fourth dummy electrodes may be smaller than the length of the internal electrode.

예를 들어, 상기 종축 방향으로, 상기 제1 접착층의 길이는 상기 분극부의 길이보다 작고, 상기 종축 방향으로, 상기 더미부의 길이는 상기 분극부의 길이보다 작을 수 있다.For example, in the longitudinal axis direction, the length of the first adhesive layer may be smaller than the length of the polarized portion, and in the longitudinal direction, the length of the dummy portion may be smaller than the length of the polarized portion.

예를 들어, 상기 종축 방향으로 상기 제1 접착층의 길이는 0 내지 20 ㎛ 이하이고, 상기 종축 방향으로 상기 더미부의 길이는 10 ㎛ 내지 50 ㎛이고, 상기 종축 방향으로 상기 분극부의 길이는 20 ㎛ 내지 100 ㎛일 수 있다.For example, the length of the first adhesive layer in the longitudinal direction is 0 to 20 μm or less, the length of the dummy portion in the longitudinal direction is 10 μm to 50 μm, and the length of the polarized portion in the longitudinal direction is 20 μm Lt; / RTI >

다른 실시 예에 의한 압전 액츄에이터는 제1 압전 소자; 상기 제1 압전 소자 위에 배치된 디스플레이부; 상기 제1 압전 소자와 상기 디스플레이부 사이에 배치된 제2 접착층; 및 상기 디스플레이부 위에 배치된 커버 부재를 포함하고, 상기 제1 압전 소자는 높이, 상기 높이보다 큰 횡폭, 상기 횡폭보다 큰 종폭을 가지며, 판 형상을 갖는 압전부; 상기 압전부의 내부에 나란하게 배치되고 종폭 방향으로 이격하는 다수의 내부 전극; 상기 높이와 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 측면에 배치되는 외부전극; 및 상기 압전부와 상기 외부 전극을 덮는 보호부를 포함하고, 상기 압전부의 분극 방향과 종축 방향은 서로 일치하고, 상기 횡폭 및 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 일면을 통하여 제1 음향신호를 전달할 수 있다.A piezoelectric actuator according to another embodiment includes a first piezoelectric element; A display unit disposed on the first piezoelectric element; A second adhesive layer disposed between the first piezoelectric element and the display portion; And a cover member disposed on the display portion, wherein the first piezoelectric element has a height, a width greater than the height, and a width longer than the width, the piezoelectric element having a plate shape; A plurality of internal electrodes arranged in parallel within the piezoelectric portion and spaced longitudinally apart; An external electrode disposed on a side surface of the piezoelectric portion defined by the height and the vertical width; And a protective portion covering the piezoelectric portion and the external electrode, wherein the polarization direction and the longitudinal direction of the piezoelectric portion coincide with each other, and the first acoustic signal can be transmitted through one side of the piezoelectric portion defined by the lateral width and the vertical width have.

예를 들어, 상기 압전 액츄에이터는 제2 음향 신호에 응답하여 생성한 전기적 신호를 출력하는 제2 압전 소자를 더 포함하고, 상기 제2 압전 소자의 종축 방향과 분극 방향은 서로 교차할 수 있다.For example, the piezoelectric actuator may further include a second piezoelectric element for outputting an electrical signal generated in response to the second acoustic signal, and the longitudinal direction and the polarization direction of the second piezoelectric element may intersect with each other.

예를 들어, 상기 압전 액츄에이터는 상기 제2 접착층과 상기 디스플레이부 사이에 배치되어 상기 디스플레이부를 보호하는 백 플레이트를 더 포함할 수 있다.For example, the piezoelectric actuator may further include a back plate disposed between the second adhesive layer and the display unit to protect the display unit.

예를 들어, 상기 압전 액츄에이터는 상기 압전 소자 아래에 배치된 진동판; 상기 진동판의 양단부 중 일단부의 아래에 배치되는 고정판; 및 상기 압전 소자와 상기 진동판을 접착시키는 제3 접착층을 더 포함할 수 있다.For example, the piezoelectric actuator includes a diaphragm disposed below the piezoelectric element; A fixing plate disposed under one end of both ends of the diaphragm; And a third adhesive layer for bonding the piezoelectric element to the diaphragm.

예를 들어, 상기 압전 엑츄에이터는 상기 진동판의 양단부 중 타단부의 아래에 배치되는 질량부를 더 포함할 수 있다.For example, the piezoelectric actuator may further include a mass portion disposed below the other end of both ends of the diaphragm.

또 다른 실시 예에 의한 압전 모듈은, 압전 액츄에이터; 및 상기 압전 액츄에이터를 구동하는 구동 제어부를 포함하고, 상기 압전 액츄에이터는 압전 소자; 상기 압전 소자 위에 배치된 디스플레이부; 상기 압전 소자와 상기 디스플레이부 사이에 배치된 제2 접착층; 및 상기 디스플레이부 위에 배치된 커버 부재를 포함하고, 상기 압전 소자는 높이, 상기 높이보다 큰 횡폭, 상기 횡폭보다 큰 종폭을 가지며, 판 형상을 갖는 압전부; 상기 압전부의 내부에 나란하게 배치되고 종폭 방향으로 이격하는 다수의 내부 전극; 상기 높이와 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 측면에 배치되는 외부전극; 및 상기 압전부와 상기 외부 전극을 덮는 보호부를 포함하고, 상기 압전부의 분극 방향과 종축 방향은 서로 일치하고, 상기 횡폭 및 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 일면을 통하여 음향신호를 전달할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a piezoelectric module comprising: a piezoelectric actuator; And a drive control section for driving the piezoelectric actuator, wherein the piezoelectric actuator comprises: a piezoelectric element; A display unit disposed on the piezoelectric element; A second adhesive layer disposed between the piezoelectric element and the display unit; And a cover member disposed on the display unit, wherein the piezoelectric element has a plate shape, the plate having a height, a width greater than the height, and a width greater than the width; A plurality of internal electrodes arranged in parallel within the piezoelectric portion and spaced longitudinally apart; An external electrode disposed on a side surface of the piezoelectric portion defined by the height and the vertical width; And a protective portion covering the piezoelectric portion and the external electrode. The polarization direction and the longitudinal direction of the piezoelectric portion coincide with each other, and the acoustic signal can be transmitted through one side of the piezoelectric portion defined by the lateral width and the vertical width.

실시 예에 따른 압전 소자, 이 소자를 포함하는 압전 액츄에이터, 및 이 엑츄에이터를 포함하는 압전 모듈은 변위량이 커서 진동력을 극대화시킬 수 있고, 낮은 공진 주파수를 가지며, 두께가 슬림하며, 보호부를 배치함으로써 외부 전극의 깨지거나 들뜨는 현상이 방지될 수 있고, 외부로부터 내부 전극을 완전히 절연시킴으로써, 적층된 복수의 단위 블럭으로 구현된 압전부의 휨 강도를 보강할 수 있고, 외부 전극이 배선이 접합되는 접합부를 보호부로 감싸도록 배치함으로써 접합부의 부착력을 보강할 수도 있고, 높은 설계의 자유도를 갖는다.The piezoelectric element according to the embodiment, the piezoelectric actuator including the element, and the piezoelectric module including the actuator can maximize the vibration power with a large displacement amount, have a low resonance frequency, have a slim thickness, It is possible to prevent the external electrode from being broken or lifted and to completely insulate the internal electrode from the outside to reinforce the flexural strength of the piezoelectric portion embodied as a plurality of stacked unit blocks, And it is possible to reinforce the bonding force of the joint portion by disposing it so as to be enclosed in the protective portion, and has a high degree of design freedom.

이하에 첨부되는 도면들은 본 발명에 관한 이해를 돕기 위한 것으로, 상세한 설명과 함께 본 발명에 대한 실시 예들을 제공한다. 다만, 본 발명의 기술적 특징이 특정 도면에 한정되는 것은 아니며, 각 도면에서 개시하는 특징들은 서로 조합되어 새로운 실시 예로 구성될 수 있다.
도 1은 일 실시 예에 의한 압전 소자의 분해 사시도를 나타낸다.
도 2는 도 1에 도시된 압전 소자의 실시 예에 의한 외관 결합 사시도를 나타낸다.
도 3은 도 1에 도시된 압전부 및 내부 전극의 일 실시 예에 의한 외관 사시도를 나타낸다.
도 4는 도 3에 도시된 압전부 및 내부 전극의 일 실시 예에 의한 평면도를 나타낸다.
도 5는 도 3에 도시된 압전부 및 내부 전극의 다른 실시 예에 의한 평면도를 나타낸다.
도 6은 도 3에 도시된 압전부 및 내부 전극의 또 다른 실시 예에 의한 평면도를 나타낸다.
도 7 (a) 내지 (e)는 제1 내지 제4 더미 전극 각각의 실시 예에 의한 평면 형상을 나타낸다.
도 8a 내지 도 8c는 압전부의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 사시도를 나타낸다.
도 9는 비교 례에 의한 압전 소자의 사시도를 나타낸다.
도 10은 일 실시 예에 의한 압전 엑츄에이터의 단면도를 나타낸다.
도 11은 다른 실시 예에 의한 압전 엑츄에이터의 단면도를 나타낸다.
도 12는 또 다른 실시 예에 의한 압전 엑츄에이터의 단면도를 나타낸다.
도 13은 일 실시 예에 의한 압전 모듈의 사시도를 나타낸다.
도 14는 스피커 역할을 하는 압전 소자의 실시 예에 의한 구동 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 15는 수신기 역할을 하는 압전 소자의 실시 예에 의한 구동 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 16은 실시 예에 의한 제1 음향신호의 왜곡 보상 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 17a는 기존의 휴대 전화의 외관 사시도를 개략적으로 나타내고, 도 17b는 실시 예에 의한 휴대 전화의 외관 사시도를 나타낸다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the invention and are incorporated in and constitute a part of this specification, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention. It is to be understood, however, that the technical features of the present invention are not limited to the specific drawings, and the features disclosed in the drawings may be combined with each other to constitute a new embodiment.
1 is an exploded perspective view of a piezoelectric element according to an embodiment.
Fig. 2 is a perspective view showing the appearance of the piezoelectric element shown in Fig. 1. Fig.
3 is an external perspective view of the piezoelectric portion and the internal electrode shown in FIG. 1 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a plan view of the piezoelectric portion and the internal electrode shown in FIG. 3 according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view of another embodiment of the piezoelectric portion and the internal electrode shown in Fig.
6 is a plan view of another embodiment of the piezoelectric portion and the internal electrode shown in Fig.
Figs. 7 (a) to 7 (e) show a planar shape of each of the first to fourth dummy electrodes.
8A to 8C show process perspective views for explaining the manufacturing method of the piezoelectric portion.
9 is a perspective view of a piezoelectric element according to a comparative example.
10 is a cross-sectional view of a piezoelectric actuator according to an embodiment.
11 is a sectional view of a piezoelectric actuator according to another embodiment.
12 is a sectional view of a piezoelectric actuator according to another embodiment.
13 is a perspective view of a piezoelectric module according to an embodiment.
14 is a flowchart for explaining a driving method according to an embodiment of a piezoelectric element serving as a speaker.
15 is a flowchart for explaining a driving method according to an embodiment of a piezoelectric element serving as a receiver.
16 is a flowchart for explaining a distortion compensation method of the first sound signal according to the embodiment.
Fig. 17A schematically shows an external perspective view of a conventional cellular phone, and Fig. 17B shows an external perspective view of the cellular phone according to the embodiment.

이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시 예를 들어 설명하고, 발명에 대한 이해를 돕기 위해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되지 않아야 한다. 본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings in order to facilitate understanding of the present invention. However, the embodiments according to the present invention can be modified into various other forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. Embodiments of the invention are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art.

본 발명에 따른 실시 예의 설명에 있어서, 각 element의 " 상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)”로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiment according to the present invention, in the case of being described as being formed on the "upper" or "on or under" of each element, on or under includes both elements being directly contacted with each other or one or more other elements being indirectly formed between the two elements. Also, when expressed as "on" or "on or under", it may include not only an upward direction but also a downward direction with respect to one element.

또한, 이하에서 이용되는 "제1" 및 "제2," "상/상부/위" 및 "하/하부/아래" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서 이용될 수도 있다.It is also to be understood that the terms "first" and "second," "upper / upper / upper," and "lower / lower / lower" But may be used to distinguish one entity or element from another entity or element, without necessarily requiring or implying an order.

이하, 실시 예에 의한 압전 소자(1000), 이 소자(1000)를 포함하는 압전 액츄에이터(2000A 내지 2000C), 및 이 엑츄에이터를 포함하는 압전 모듈(3000)을 데카르트 좌표계를 이용하여 설명하지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 데카르트 좌표계에 의하면, x축, y축 및 z축은 서로 직교하지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, x축, y축, z축은 직교하는 대신에 서로 교차할 수 있다.Hereinafter, the piezoelectric device 1000 according to the embodiment, the piezoelectric actuators 2000A to 2000C including the device 1000, and the piezoelectric module 3000 including the actuator will be described using a Cartesian coordinate system. Is not limited to this. That is, according to the Cartesian coordinate system, the x-axis, the y-axis and the z-axis are orthogonal to each other, but the embodiment is not limited to this. That is, the x-axis, the y-axis, and the z-axis may cross each other instead of being orthogonal.

도 1은 일 실시 예에 의한 압전 소자(1000)의 분해 사시도를 나타내고, 도 2는 도 1에 도시된 압전 소자(1000)의 실시 예에 의한 외관 결합 사시도를 나타내고, 도 3은 도 1에 도시된 압전부(100) 및 내부 전극(200)의 일 실시 예에 의한 외관 사시도를 나타내고, 도 4는 도 3에 도시된 압전부(100) 및 내부 전극(200)의 일 실시 예에 의한 평면도를 나타낸다.Fig. 1 is an exploded perspective view of a piezoelectric device 1000 according to an embodiment. Fig. 2 is an external perspective view of an embodiment of the piezoelectric device 1000 shown in Fig. 1. Fig. 3 is a cross- FIG. 4 is a plan view of the piezoelectric unit 100 and the internal electrode 200 shown in FIG. 3 according to an embodiment of the present invention. .

도 1 내지 도 4를 참조하면, 일 실시 예에 의한 압전 소자(1000)는 압전부(100), 내부 전극(200), 외부 전극(300) 및 보호부(passivation layer)(400)를 포함할 수 있다.1 to 4, a piezoelectric device 1000 according to an embodiment includes a piezoelectric unit 100, an internal electrode 200, an external electrode 300, and a passivation layer 400 .

실시 예에 의한 압전 소자(1000)는 전기적 신호를 음향 신호로 변환하는 일종의 스피커로서 동작할 수 있다. 또한, 실시 예에 의한 압전 소자(1000)는 음향 신호를 전기적 신호로 변환하는 일종의 수신기(receiver)(또는, 마이크)로서 동작할 수도 있다.The piezoelectric element 1000 according to the embodiment can operate as a kind of speaker for converting an electrical signal into an acoustic signal. In addition, the piezoelectric element 1000 according to the embodiment may operate as a receiver (or a microphone) which converts a sound signal into an electrical signal.

압전부(100)는 높이(또는, 두께)(H), 횡폭(W) 및 종폭(또는, 길이)(L)을 갖는 판 형상일 수 있으나, 실시 예는 압전부(100)의 특정한 형상에 국한되지 않는다. 여기서, 횡폭(W)은 높이(H)보다 크고, 종폭(L)은 횡폭(W)보다 클 수 있다.The piezoelectric unit 100 may have a plate shape having a height (or a thickness) H, a width W and a longitudinal width L (or a length L), but the embodiment is not limited to the specific shape of the piezoelectric unit 100 It is not limited. Here, the lateral width W may be greater than the height H and the longitudinal width L may be greater than the lateral width W. [

압전부(100)는 N개의 단위 블럭과 N-1개의 제1 접착층(120)을 포함할 수 있다. 여기서, N은 2이상의 양의 정수일 수 있다.The piezoelectric unit 100 may include N unit blocks and N-1 first adhesive layers 120. Here, N may be a positive integer of 2 or more.

이하, 실시 예에 의한 압전 소자(100)는 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 N=4인 경우를 설명하지만, 하기의 설명은 N이 4보다 적거나 큰 경우에도 적용될 수 있다. 또한, 도 4는 설명의 편의상 제1 내지 제4 단위 블럭(B1 내지 B4)의 일부만을 도시한다.Hereinafter, the case where N = 4 is shown in the first to third embodiments of the piezoelectric element 100 according to the embodiment, but the following description can also be applied to a case where N is less than or greater than four. 4 shows only a part of the first to fourth unit blocks B1 to B4 for convenience of explanation.

제1 내지 제4 단위 블럭(B1 내지 B4)은 분극 방향으로 적층된다. 여기서, 분극 방향이란 분극이 발생하는 방향으로서 내부 전극(200)이 배열된 방향과 일치한다. 또한, 분극 방향은 압전부(100)의 종축 방향(예를 들어, z축 방향)일 수 있다.The first to fourth unit blocks B1 to B4 are stacked in the polarization direction. Here, the polarization direction coincides with the direction in which the internal electrodes 200 are arranged as the direction in which the polarization occurs. In addition, the polarization direction may be the longitudinal direction (e.g., the z-axis direction) of the piezoelectric unit 100.

제1 내지 제4 단위 블럭(B1 내지 B4) 각각은 내부 전극(200)을 포함하며 세라믹계 압전 물질을 포함할 수 있다. 세라믹계 압전 물질은 단결정일 수도 있고, 다결정일 수도 있다. 예를 들어, 단결정 세라믹계 압전 물질은 PZN-PT[Pb(Zn2/3Nb1/3)O3-PbTiO3] 또는 PMN-PT [Pb(Mg2/3Nb1/3)O3-PbTiO3] 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또는, 다결정 세라믹계 압전 물질은 Pb계 또는 non-Pb계 기본 조성을 포함할 수 있다. 예를 들어, Pb계 기본 조성을 갖는 다결정 세라믹계 압전 물질은 Pb(Zr, Ti)O3 또는 PZT(Pb Zirconate Titanate) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또는, non-Pb계 기본 조성을 갖는 다결정 세라믹계 압전 물질은 K0.5Na0.5NbO3 또는 KNN 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Each of the first to fourth unit blocks B1 to B4 includes the internal electrode 200 and may include a ceramic piezoelectric material. The ceramic piezoelectric material may be a single crystal or a polycrystal. For example, single crystal ceramic-based piezoelectric material PZN-PT [Pb (Zn 2/3 Nb 1/3) O 3 -PbTiO 3] or PMN-PT [Pb (Mg 2/3 Nb 1/3) O 3 - PbTiO 3 ]. Alternatively, the polycrystalline ceramic piezoelectric material may include a Pb-based or non-Pb-based basic composition. For example, the polycrystalline ceramic piezoelectric material having a Pb-based basic composition may include at least one of Pb (Zr, Ti) O 3 or PZT (Pb Zirconate Titanate). Alternatively, the polycrystalline ceramic piezoelectric material having a non-Pb-based basic composition may include at least one of K 0.5 Na 0.5 NbO 3 or KNN.

그러나, 제1 내지 제4 단위 블럭(B1 내지 B4)의 재질은 세라믹계 압전 물질에 국한되지 않는다. 즉, 적층이 가능하고, 슬라이싱될 수 있으며, 내부 전극(IE1, IE2, DE1 내지 DE4)을 증착 또는 인쇄시킬 수 있다면, 제1 내지 제4 단위 블럭(B1 내지 B4)의 재질은 특정한 종류의 압전 물질에 국한되지 않는다. 예를 들어, 내부 전극(IE1, IE2, DE1 내지 DE4)은 스크린 프린팅(screen printing) 기법으로 인쇄되어 형성될 수 있다.However, the material of the first to fourth unit blocks B1 to B4 is not limited to the ceramic-based piezoelectric material. That is, if stacking is possible, slicing can be performed, and internal electrodes IE1, IE2, DE1 to DE4 can be deposited or printed, the material of the first to fourth unit blocks B1 to B4 is a specific type of piezoelectric It is not limited to materials. For example, the internal electrodes IE1, IE2, and DE1 to DE4 may be formed by printing using a screen printing technique.

다른 실시 예에 의하면, 제1 내지 제4 단위 블럭(B1 내지 B4)의 재질은 폴리머계 압전 물질일 수도 있다.According to another embodiment, the material of the first to fourth unit blocks B1 to B4 may be a polymer-based piezoelectric material.

제1 접착층(120)은 복수의 단위 블럭(B1 내지 B4) 사이에 배치되어 이들(B1 내지 B4)을 서로 접착시키는 역할을 한다. 전술한 바와 같이, N=4인 경우, 압전부(100)는 3개의 제1 접착층(120:A11, A12, A13)을 포함할 수 있다. 제1-1 접착층(A11)은 서로 인접하는 제1 및 제2 단위 블럭(B1 및 B2)을 접착시키는 역할을 하고, 제1-2 접착층(A12)은 서로 인접하는 제2 및 제3 단위 블럭(B2 및 B3)을 접착시키는 역할을 하고, 제1-3 접착층(A13)은 서로 인접하는 제3 및 제4 단위 블럭(B3 및 B4)을 접착시키는 역할을 한다.The first adhesive layer 120 is disposed between the plurality of unit blocks B1 to B4 and serves to bond the first to fourth adhesive layers B1 to B4 to each other. As described above, when N = 4, the piezoelectric unit 100 may include three first adhesive layers 120 (A11, A12, A13). The 1-1 adhesive layer A11 serves to adhere the first and second unit blocks B1 and B2 adjacent to each other and the 1-2 adhesive layer A12 serves to attach the second and third unit blocks A12, B2 and B3, and the first-third adhesive layer A13 serves to bond the third and fourth unit blocks B3 and B4 adjacent to each other.

또한, 제1 접착층(120)은 에폭시 계열의 접착 물질을 포함할 수 있으나, 실시 예는 제1 접착층(120)의 특정한 구성 물질에 국한되지 않는다.In addition, the first adhesive layer 120 may include an epoxy-based adhesive material, but the embodiment is not limited to the specific constituent materials of the first adhesive layer 120.

또한, 제1 접착층(120)의 탄성 계수를 낮출 경우 압전 소자(1000)의 공진 주파수(fo)를 낮출 수 있다. 만일, 제1 접착층(120)의 탄성 계수가 1 MPa보다 작다면 제1 접착층(120)이 갖는 고유한 물성이 저하되어 접착력이 약할 수 있다. 따라서, 제1 접착층(120)의 탄성 계수는 1 MPa 이상일 수 있다. 예를 들어, 제1 접착층(120)의 탄성 계수는 1 MPa 내지 25000 MPa, 바람직하게는 100 MPa 내지 10000 MPa, 더욱 바람직하게는 200 MPa 내지 4000 MPa일 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 이와 같이, 제1 접착층(120)의 탄성 계수를 조정할 경우, 압전 소자(1000)의 공진 주파수(fo)는 예를 들어, 1 ㎑로부터 200 ㎐ 내지 300 ㎐까지 낮출 수 있다. 이는, 전체 탄성 계수 대비 전체 질량(mass) 증가율을 높여, 공진 주파수(fo)를 낮추는 원리이다.Further, when lower the elastic modulus of the first adhesive layer 120 can lower the resonant frequency (f o) of the piezoelectric element (1000). If the elastic modulus of the first adhesive layer 120 is less than 1 MPa, the inherent physical properties of the first adhesive layer 120 may be deteriorated and the adhesive force may be weak. Therefore, the modulus of elasticity of the first adhesive layer 120 may be 1 MPa or more. For example, the modulus of elasticity of the first adhesive layer 120 may be from 1 MPa to 25000 MPa, preferably from 100 MPa to 10000 MPa, more preferably from 200 MPa to 4000 MPa, but the embodiment is not limited thereto. In this way, the resonance frequency (f o) of the case to adjust the elastic modulus of the first adhesive layer 120, the piezoelectric element 1000 is, for example, can be as low as 200 to 300 ㎐ ㎐ from 1 ㎑. This is a principle to lower the resonance frequency (f o ) by raising the total mass increase rate relative to the total modulus of elasticity.

한편, 내부 전극(200)은 압전부(100)의 내부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 내부 전극(200)은 압전부(100)의 내부에 나란하게 배치되고, 종폭 방향으로 이격하는 다수의 내부 전극(200)을 포함할 수 있다.Meanwhile, the internal electrode 200 may be disposed inside the piezoelectric portion 100. For example, the internal electrode 200 may include a plurality of internal electrodes 200 disposed in parallel to the piezoelectric portion 100 and spaced apart in the longitudinal direction.

일 실시 예에 의하면, 다수의 내부 전극(200)은 제1 및 제2 내부 전극(IE1 및 IE2)을 포함할 수 있다.According to an embodiment, the plurality of inner electrodes 200 may include first and second inner electrodes IE1 and IE2.

또한, 복수의 단위 블럭(B1 내지 B4) 각각에 포함된 내부 전극(200)의 개수는 서로 동일할 수도 있고, 서로 다를 수도 있다. 예를 들어, 도 3 및 도 4의 경우, 제1 내지 제4 단위 블럭(B1 내지 B4) 각각에 포함된 내부 전극(200)의 개수는 모두 6개로서 동일할 수 있다. 예를 들어, 제2 단위 블럭(B2)은 3개의 제1 내부 전극(IE1:IE211, IE212, IE213)과 3개의 제2 내부 전극(IE2:IE221, IE222, IE223)을 포함할 수 있다. 후술되는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 제1 및 제3 단위 블럭(B1, B3) 각각은 제2 단위 블럭(B2)과 같이 3개의 제1 내부 전극(IE1)과 3개의 제2 내부 전극(IE2)을 포함할 수 있다.In addition, the number of internal electrodes 200 included in each of the plurality of unit blocks B 1 to B 4 may be the same or different from each other. For example, in the case of FIGS. 3 and 4, the number of the internal electrodes 200 included in each of the first to fourth unit blocks B1 to B4 may be six and the same. For example, the second unit block B2 may include three first internal electrodes IE1 (IE211, IE212, IE213) and three second internal electrodes IE2 (IE221, IE222, IE223). 5 and 6, each of the first and third unit blocks B1 and B3 includes three first inner electrodes IE1 and three second inner blocks IE1, such as a second unit block B2, And an electrode (IE2).

또한, 각 단위 블럭(B1 내지 B4)에서 제1 및 제2 내부 전극(IE1 및 IE2)은 분극 방향인 압전부(100)의 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로 이격되어 상호 교호적으로 반복하여 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 4를 참조하면, 제2 단위 블럭(B2) 내에서 제1 내부 전극(IE1:IE211, IE212, IE213)과 제2 내부 전극(IE2:IE221, IE222, IE223)은 z축 방향으로 이격되어 상호 교호적으로 반복하여 배치됨을 알 수 있다.In the unit blocks B1 to B4, the first and second internal electrodes IE1 and IE2 are spaced apart from each other in the longitudinal direction (e.g., the z-axis direction) of the piezoelectric unit 100, As shown in FIG. 4, the first internal electrodes IE1 (IE211, IE212, IE213) and the second internal electrodes IE2 (IE221, IE222, IE223) are arranged in the z-axis direction And are repeatedly arranged mutually alternately.

또한, 제1 내부 전극(IE1:IE211, IE212, IE213) 및 제2 내부 전극(IE2:IE221, IE222, IE223) 각각의 횡축 방향(예를 들어, x축 방향)으로의 길이(x1, x2)는 압전부(100)의 횡축 방향(예를 들어, x축 방향)으로의 횡폭(W)보다 작을 수 있다.The lengths (x1, x2) in the transverse direction (e.g., the x-axis direction) of the first internal electrodes (IE1: IE211, IE212, IE213) and the second internal electrodes (IE2: IE221, IE222, IE223) May be smaller than the transverse width W of the piezoelectric portion 100 in the transverse direction (for example, the x-axis direction).

압전부(100)의 측면이란, 높이(H)와 종폭(L)에 의해 정의되는 면으로서, 서로 반대되는 일측면(S1) 및 타측면(S2)을 포함할 수 있다.The side surface of the piezoelectric portion 100 is a surface defined by the height H and the longitudinal width L and may include one side surface S1 and the other side surface S2 opposite to each other.

또한, 제1 내부 전극(IE1:IE211, IE212, IE213)은 압전부(100)의 일측면(S1)에 노출되어 제1 외부 전극(310)과 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제2 내부 전극(IE2:IE221, IE222, IE223)은 압전부(100)의 타측면(S2)에 노출되어, 제2 외부 전극(320)과 전기적으로 연결될 수 있다.The first internal electrode IE1 (IE211, IE212, IE213) may be exposed to one side S1 of the piezoelectric unit 100 and electrically connected to the first external electrode 310. [ The second internal electrode IE2 (IE221, IE222, IE223) may be exposed to the other side S2 of the piezoelectric unit 100 and electrically connected to the second external electrode 320. [

또한, 제1 내부 전극(IE1)은 양(+)의 전극이고 제2 내부 전극(IE2)은 음(-)의 전극일 수 있다. 또는, 제1 내부 전극(IE1)은 음(-)의 전극이고 제2 내부 전극(IE2)은 양(+)의 전극일 수 있다.The first internal electrode IE1 may be a positive electrode and the second internal electrode IE2 may be a negative electrode. Alternatively, the first internal electrode IE1 may be a negative (-) electrode and the second internal electrode IE2 may be a positive (+) electrode.

한편, 외부 전극(300)은 압전부(100)의 측면(S1, S2)에 배치되며, 제1 및 제2 외부 전극(310, 320)을 포함할 수 있다.The external electrode 300 may be disposed on the sides S1 and S2 of the piezoelectric unit 100 and may include first and second external electrodes 310 and 320. [

제1 외부 전극(310)은 압전부(100)의 측면 중 일측면(S1)에 배치되어 제1 내부 전극(IE1)과 연결될 수 있다. 또한, 제1 외부 전극(310)은 후술되는 제2 더미 전극(DE2) 및 제3 더미 전극(DE3)과 전기적으로 연결될 수도 있다.The first external electrode 310 may be disposed on one side S1 of the side surface of the piezoelectric unit 100 and may be connected to the first internal electrode IE1. Also, the first external electrode 310 may be electrically connected to the second dummy electrode DE2 and the third dummy electrode DE3, which will be described later.

제2 외부 전극(320)은 압전부(100)의 측면 중 타측면(S2)에 배치되어 제2 내부 전극(IE2)과 연결될 수 있다. 또한, 제2 외부 전극(320)은 후술되는 제1 더미 전극(DE1) 및 제4 더미 전극(DE4)과 전기적으로 연결될 수도 있다.The second external electrode 320 may be disposed on the other side S2 of the side surface of the piezoelectric unit 100 and connected to the second internal electrode IE2. Also, the second external electrode 320 may be electrically connected to the first dummy electrode DE1 and the fourth dummy electrode DE4, which will be described later.

복수의 단위 블럭(B1 내지 B4) 각각에 포함된 제1 내부 전극(IE1)은 하나의 제1 외부 전극(310)에 공통으로 전기적으로 연결되고, 복수의 단위 블럭(B1 내지 B4) 각각에 포함된 제2 내부 전극(IE2)은 하나의 제2 외부 전극(320)에 공통으로 전기적으로 연결될 수 있다.The first internal electrodes IE1 included in each of the plurality of unit blocks B1 to B4 are electrically connected in common to one first external electrode 310 and included in each of the plurality of unit blocks B1 to B4 The second internal electrode IE2 may be electrically connected to one second external electrode 320 in common.

또한, 제1 내지 제4 단위 블럭(B1 내지 B4) 각각은 더미부(DA:Dummy Area) 및 분극부(PA:Polarization Area)를 포함할 수 있다.In addition, each of the first to fourth unit blocks B1 to B4 may include a dummy area (DA) and a polarization area (PA).

더미부(DA)란, 각 단위 블럭(B1 내지 B4)에서 내부 전극(200) 중 제1 접착층(120)과 가장 인접한 내부 전극과 제1 접착층(120) 사이의 영역으로서 정의될 수 있다. 예를 들어, 도 4에 예시된 바와 같이, 제2 단위 블럭(B2) 내에 6개의 내부 전극(IE211 내지 IE213, IE221 내지 IE223)이 배치된다고 가정할 때, 6개의 내부 전극(IE211 내지 IE213, IE221 내지 IE223)중 내부 전극(IE223)이 제1 접착층(A12)과 가장 인접하여 배치되므로, 내부 전극(IE223)과 제1 접착층(A12) 사이의 영역이 더미부(DA)에 해당할 수 있다.The dummy portion DA can be defined as an area between the first adhesive layer 120 and the inner electrode closest to the first adhesive layer 120 among the inner electrodes 200 in each unit block B1 to B4. For example, assuming that six internal electrodes (IE211 to IE213, IE221 to IE223) are arranged in the second unit block B2 as shown in Fig. 4, six internal electrodes (IE211 to IE213, IE221 The region between the internal electrode IE223 and the first adhesive layer A12 may correspond to the dummy portion DA since the internal electrode IE223 is disposed closest to the first adhesive layer A12.

또한, 분극부(PA)란, 제1 및 제2 내부 전극(IE1, IE2) 사이의 영역으로서 정의될 수 있다. 예를 들어, 도 4를 참조하면, 제1 내부 전극(IE213)과 제2 내부 전극(IE223) 사이의 영역이 분극부(PA)에 해당할 수 있다.Further, the polarized portion PA can be defined as an area between the first and second internal electrodes IE1 and IE2. For example, referring to FIG. 4, a region between the first internal electrode IE 213 and the second internal electrode IE 223 may correspond to the polarization unit PA.

또한, 제1 접착층(120:A11 내지 A13) 및 더미부(DA) 각각에서는 분극이 일어나지 않고, 분극부(PA)에서만 분극이 일어난다. 따라서, 압전부(100)의 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로의 전체 종폭(L) 중에서 분극이 일어나지 않는 부분을 줄이기 위해, 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로 제1 접착층(120:A11 내지 A13)의 제1 길이(z1)와 더미부(DA)의 제2 길이(z2)는 짧을수록 바람직하다.Further, polarization does not occur in each of the first adhesive layers 120 (A11 to A13) and the dummy portion (DA), and polarization occurs only in the polarized portion PA. Therefore, in order to reduce the portion in which the polarization does not occur in the entire longitudinal width L in the longitudinal axis direction (for example, the z axis direction) of the piezoelectric portion 100, It is preferable that the first length z1 of the adhesive layer 120 (A11 to A13) and the second length z2 of the dummy portion DA be shorter.

더미부(DA)는 압전 소자(1000)의 분극 후의 기계적 스트레스 및 탄성 계수 대비 질량 증가율을 높여 공진 주파수(fo)를 낮춰줄 수 있으므로, 더미부(DA)는 존재함이 바람직할 수 있다. 즉, 제2 길이(z2)는 '0'보다 클 수 있다.A pile section (DA) is because it can lower the piezoelectric element 1000 increases the mechanical stress and weight increase modulus compared after polarization resonance frequency (f o) of the pile unit (DA) is the is present may be preferred. That is, the second length z2 may be greater than zero.

종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로, 제1 접착층(120:A11 내지 A13)의 제1 길이(z1)는 분극부(PA)의 제3 길이(z3)보다 작을 수 있다. 이는 제1 접착층(120:A11 내지 A13)의 제1 길이(z1)가 커질 경우, 압전 소자(1000)의 무게가 증가하여 진동력이 감쇄될 수 있기 때문이다. 또한, 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로, 더미부(DA)의 제2 길이(z2)는 분극부(PA)의 제3 길이(z3)보다 작을 수 있다.The first length z1 of the first adhesive layer 120 (A11 to A13) may be smaller than the third length z3 of the polarized portion PA in the longitudinal direction (e.g., the z-axis direction). This is because when the first length z1 of the first adhesive layer 120 (A11 to A13) is large, the weight of the piezoelectric element 1000 increases and the vibration force can be attenuated. Further, the second length z2 of the dummy portion DA may be smaller than the third length z3 of the polarized portion PA in the longitudinal direction (e.g., z-axis direction).

예를 들어, 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로 제1 접착층(120:A11 내지 A13)의 제1 길이(z1)는 0 내지 20 ㎛, 바람직하게는 2 ㎛ 내지 10 ㎛일 수 있다. 예를 들어, 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로 더미부(DA)의 제2 길이(z2)는 0보다 크고 50 ㎛이하, 바람직하게는 10 ㎛ 내지 50 ㎛, 더욱 바람직하게는 30 ㎛ 또는 40 ㎛일 수 있다. 예를 들어, 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로 분극부(PA)의 제3 길이(z3)는 20 ㎛ 내지 100 ㎛일 수 있다. 그러나, 실시 예는 제1 내지 제3 길이(z1, z2, z3)의 특정한 값에 국한되지 않는다.For example, the first length z1 of the first adhesive layer 120 (A11 to A13) in the longitudinal direction (e.g., z-axis direction) may be 0 to 20 占 퐉, preferably 2 占 퐉 to 10 占 퐉 . For example, the second length z2 of the dummy portion DA in the longitudinal direction (e.g., the z-axis direction) is greater than 0 and less than 50 占 퐉, preferably 10 占 퐉 to 50 占 퐉, more preferably 30 Mu m or 40 mu m. For example, the third length z3 of the polarized portion PA in the longitudinal direction (e.g., the z-axis direction) may be 20 [mu] m to 100 [mu] m. However, the embodiment is not limited to the specific values of the first to third lengths z1, z2, z3.

도 5는 도 1에 도시된 압전부(100) 및 내부 전극(200)의 다른 실시 예에 의한 평면도를 나타낸다.FIG. 5 is a plan view of another embodiment of the piezoelectric unit 100 and the internal electrode 200 shown in FIG.

다른 실시 예에 의하면, 도 4에 도시된 내부 전극(200)과 달리, 도 5에 도시된 내부 전극(200)은 제1 및 제2 더미 전극(DE1, DE2)을 더 포함한다. 이를 제외하면, 도 5에 도시된 내부 전극(200)은 도 4에 도시된 내부 전극(200)과 동일하므로, 동일한 부분에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하여 중복되는 설명을 생략한다.According to another embodiment, unlike the internal electrode 200 shown in FIG. 4, the internal electrode 200 shown in FIG. 5 further includes first and second dummy electrodes DE1 and DE2. Except for this, the internal electrode 200 shown in FIG. 5 is the same as the internal electrode 200 shown in FIG. 4, so that the same reference numerals are used for the same parts, and a duplicate description will be omitted.

앞서 설명한 바와 같이, 도 4에 도시된 제2 단위 블럭(B2)과 마찬가지로, 도 5에 도시된 제1 단위 블럭(B1)도 3개의 제1 내부 전극(IE1:IE111, IE112, IE113)과 3개의 제2 내부 전극(IE2:IE121, IE122, IE123)을 포함할 수 있다.Like the second unit block B2 shown in FIG. 4, the first unit block B1 shown in FIG. 5 also includes three first internal electrodes IE1 (IE111, IE112, IE113) and 3 Second internal electrodes (IE2: IE121, IE122, IE123).

제1 더미 전극(DE1)은 압전부(100)의 타측면(S2)에 노출되고, 제1 내부 전극(IE1)과 이격되며, 제1 내부 전극(IE1)과 동일선 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 압전부(100)의 가장 왼쪽에 배치된 제1 더미 전극(DE1)은 제1 내부 전극(IE111)과 x축 방향으로 동일한 선상에 배치됨을 알 수 있다.The first dummy electrode DE1 may be exposed on the other side S2 of the piezoelectric portion 100 and may be spaced apart from the first internal electrode IE1 and disposed on the same line as the first internal electrode IE1. For example, it can be seen that the first dummy electrode DE1 disposed on the leftmost side of the piezoelectric unit 100 is arranged on the same line as the first internal electrode IE111 in the x-axis direction.

또한, 제2 더미 전극(DE2)은 압전부(100)의 일측면(S1)에 노출되고, 제2 내부 전극(IE2)과 이격되며, 제2 내부 전극(IE2)과 동일선 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 압전부(100)의 가장 왼쪽에 배치된 제2 더미 전극(DE2)은 제2 내부 전극(IE121)과 x축 방향으로 동일한 선상에 배치됨을 알 수 있다.The second dummy electrode DE2 may be exposed on one side S1 of the piezoelectric unit 100 and spaced apart from the second internal electrode IE2 and may be arranged on the same line as the second internal electrode IE2 have. For example, it can be seen that the second dummy electrode DE2 disposed on the leftmost side of the piezoelectric unit 100 is arranged on the same line in the x-axis direction as the second internal electrode IE121.

제1 내부 전극(IE1)이 제1 외부 전극(310)과 전기적으로 연결되고 제1 더미 전극(DE1)이 제2 외부 전극(320)과 전기적으로 연결될 경우, 전기적인 단락(short)을 방지하기 위해, 제1 더미 전극(DE1)과 제1 내부 전극(IE1)은 서로 전기적으로 이격된다. 또한, 제2 내부 전극(IE1)이 제2 외부 전극(320)과 전기적으로 연결되고 제2 더미 전극(DE2)이 제1 외부 전극(310)과 전기적으로 연결될 경우, 전기적인 단락을 방지하기 위해, 제2 더미 전극(DE2)과 제2 내부 전극(IE2)은 서로 전기적으로 이격된다.When the first inner electrode IE1 is electrically connected to the first outer electrode 310 and the first dummy electrode DE1 is electrically connected to the second outer electrode 320, The first dummy electrode DE1 and the first internal electrode IE1 are electrically separated from each other. When the second internal electrode IE1 is electrically connected to the second external electrode 320 and the second dummy electrode DE2 is electrically connected to the first external electrode 310, , The second dummy electrode DE2 and the second internal electrode IE2 are electrically separated from each other.

예를 들어, 제1 내부 전극(IE1) 및 제2 내부 전극(IE2) 각각의 횡축 방향(예를 들어, x축 방향)으로의 길이(x1, x2) 각각이 200 ㎛ 내지 500 ㎛일 경우, 제1 더미 전극(DE1)과 제1 내부 전극(IE1)이 서로 이격된 거리(Δx1) 및 제2 더미 전극(DE2)과 제2 내부 전극(IE2)이 서로 이격된 거리(Δx2) 각각은 100 ㎛ 내지 300 ㎛일 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.For example, when each of the lengths (x1, x2) in the transverse direction (for example, the x-axis direction) of each of the first internal electrode IE1 and the second internal electrode IE2 is 200 μm to 500 μm, The distance Δx1 between the first dummy electrode DE1 and the first internal electrode IE1 and the distance Δx2 between the second dummy electrode DE2 and the second internal electrode IE2 are 100 Mu] m to 300 [mu] m, although the embodiment is not limited thereto.

도 6은 도 1에 도시된 압전부(100) 및 내부 전극(200)의 또 다른 실시 예에 의한 평면도를 나타낸다.6 is a plan view of another embodiment of the piezoelectric unit 100 and the internal electrode 200 shown in FIG.

또 다른 실시 예에 의하면, 도 5에 도시된 내부 전극(200)과 달리, 도 6에 도시된 내부 전극(200)은 제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)을 더 포함한다. 이를 제외하면, 도 6에 도시된 내부 전극(200)은 도 5에 도시된 내부 전극(200)과 동일하므로, 동일한 부분에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하여 중복되는 설명을 생략한다.According to another embodiment, unlike the internal electrode 200 shown in FIG. 5, the internal electrode 200 shown in FIG. 6 further includes third and fourth dummy electrodes DE3 and DE4. Except for this, the internal electrode 200 shown in FIG. 6 is the same as the internal electrode 200 shown in FIG. 5, so that the same parts are denoted by the same reference numerals and the duplicated description will be omitted.

전술한 바와 같이, 도 4 및 도 5에 도시된 제1 및 제2 단위 블럭(B1, B2)과 마찬가지로, 도 6에 도시된 제3 단위 블럭(B3)도 3개의 제1 내부 전극(IE1:IE311, IE312, IE313)과 3개의 제2 내부 전극(IE2:IE321, IE322, IE323)을 포함할 수 있다.As described above, like the first and second unit blocks B1 and B2 shown in FIGS. 4 and 5, the third unit block B3 shown in FIG. 6 also includes three first internal electrodes IE1, IE311, IE312, IE313) and three second internal electrodes (IE2: IE321, IE322, IE323).

제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)은 모두 더미부(DA)에 배치될 수 있다. 제3 더미 전극(DE3:DE31, DE32)은 압전부(100)의 일측면(S1)에 노출되고, 제4 더미 전극(DE4:DE41, DE42)은 압전부(100)의 타측면(S2)에 노출될 수 있다. 제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)은 서로 이격되어 동일선 상에 배치될 수 있다.The third and fourth dummy electrodes DE3 and DE4 may all be disposed in the dummy portion DA. The third dummy electrodes DE3 and DE32 are exposed on one side S1 of the piezoelectric unit 100 and the fourth dummy electrodes DE4 and DE42 are exposed on the other side S2 of the piezoelectric unit 100. [ Lt; / RTI > The third and fourth dummy electrodes DE3 and DE4 may be arranged on the same line spaced apart from each other.

제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)은 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제4 단위 블럭(B1 내지 B4) 각각의 더미부(DA)들 각각에 배치될 수 있다. 즉, 제2 단위 블럭(B2)의 더미부(DA)에도 제3 및 제4 더미 전극(DE31, DE41)이 배치되고, 제3 단위 블럭(B3)의 더미부(DA)에도 제3 및 제4 더미 전극(DE32, DE42)이 배치될 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.The third and fourth dummy electrodes DE3 and DE4 may be disposed in each of the dummy portions DA of the first to fourth unit blocks B1 to B4 as shown in FIG. The third and fourth dummy electrodes DE31 and DE41 are arranged in the dummy part DA of the second unit block B2 and the third and fourth dummy electrodes DE31 and DE41 are arranged in the dummy part DA of the third unit block B3. 4 dummy electrodes DE32 and DE42 may be disposed, but the embodiments are not limited thereto.

다른 실시 예에 의하면, 도 6에 도시된 바와 달리, 제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)는 제1 내지 제4 단위 블럭(B1 내지 B4) 각각의 더미부(DA)들 중 어느 하나의 더미부(DA)에만 배치될 수도 있다.6, the third and fourth dummy electrodes DE3 and DE4 may be formed in any one of the dummy portions DA of the first to fourth unit blocks B1 to B4, The dummy part DA of the first embodiment.

제3 더미 전극(DE3:DE31, DE32)이 제1 외부 전극(310)과 전기적으로 연결되고 제4 더미 전극(DE4:DE41, DE42)이 제2 외부 전극(320)과 전기적으로 연결될 경우, 제1 외부 전극(310)과 제2 외부 전극(320)의 전기적인 단락을 방지하기 위해, 제3 더미 전극(DE3)과 제4 더미 전극(DE4)은 서로 전기적으로 이격된다. 예를 들어, 제3 더미 전극(DE3)과 제4 더미 전극(DE4)이 서로 이격된 거리(Δx3)는 100 ㎛ 내지 300 ㎛일 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.When the third dummy electrode DE3 (DE31, DE32) is electrically connected to the first external electrode 310 and the fourth dummy electrode DE4 (DE41, DE42) is electrically connected to the second external electrode 320, The third dummy electrode DE3 and the fourth dummy electrode DE4 are electrically isolated from each other in order to prevent an electrical short between the first external electrode 310 and the second external electrode 320. [ For example, the distance DELTA x3 between the third dummy electrode DE3 and the fourth dummy electrode DE4 may be 100 mu m to 300 mu m, but the embodiment is not limited to this.

또한, 내부 전극 즉, 제1 내부 전극(IE1), 제2 내부 전극(IE2), 제1 내지 제4 더미 전극(DE1 내지 DE4) 각각의 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로의 두께는 1 ㎛ 내지 2 ㎛일 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.The thickness of each of the internal electrodes, i.e., the first internal electrode IE1, the second internal electrode IE2, and the first to fourth dummy electrodes DE1 to DE4 in the longitudinal direction (e.g., the z-axis direction) May be from 1 [mu] m to 2 [mu] m, although the embodiment is not limited thereto.

비록 도시되지는 않았지만, 또 다른 실시 예에 의하면, 내부 전극(200)은 제1 및 제2 더미 전극(DE1, DE2)을 포함하지 않고, 제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)만을 포함할 수도 있다. 이 경우, 도 6에 도시된 제1 및 제2 더미 전극(DE1, DE2)은 생략될 수 있다.Although not shown, according to another embodiment, the internal electrode 200 does not include the first and second dummy electrodes DE1 and DE2, but includes only the third and fourth dummy electrodes DE3 and DE4 You may. In this case, the first and second dummy electrodes DE1 and DE2 shown in Fig. 6 may be omitted.

비록 도시되지는 않았지만, 또 다른 실시 예에 의하면, 제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)이 각 단위 블럭(B1 내지 B4)의 더미부(DA)에 배치된 도 6과 달리, 제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)은 단위 블럭과 단위 블럭 사이의 제1 접착층(120:A11, A12, A13)에 배치될 수도 있다.6, in which the third and fourth dummy electrodes DE3 and DE4 are disposed in the dummy portion DA of each unit block B1 to B4, although not shown, according to another embodiment, And fourth dummy electrodes DE3 and DE4 may be disposed in the first adhesive layer 120 (A11, A12, A13) between the unit block and the unit block.

비록 도시되지는 않았지만, 또 다른 실시 예에 의하면, 제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)이 각 단위 블럭(B1 내지 B4)의 더미부(DA)에 배치된 도 6과 달리, 제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)은 각 단위 블럭(B1 내지 B4)의 더미부(DA)와 제1 접착층(120:A11, A12, A13) 사이에 배치될 수도 있다. 이 경우, 각 단위 블럭(B1 내지 B4)에서 더미부(DA)와 제1 접착층(120) 사이에서 제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)이 배치될 영역이 추가로 확보될 수 있다.6, in which the third and fourth dummy electrodes DE3 and DE4 are disposed in the dummy portion DA of each unit block B1 to B4, although not shown, according to another embodiment, And fourth dummy electrodes DE3 and DE4 may be disposed between the dummy portion DA of each unit block B1 to B4 and the first adhesive layer 120 (A11, A12, and A13). In this case, a region in which the third and fourth dummy electrodes DE3 and DE4 are disposed between the dummy portion DA and the first adhesive layer 120 in each of the unit blocks B1 to B4 can be additionally secured.

도 6에서, 횡축 방향(예를 들어, x축 방향)으로, 제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4) 각각의 길이(x5, x6)는 내부 전극(x1, x2) 각각의 길이보다 작고 제1 및 제2 더미 전극(DE1, DE2) 각각의 길이(x3, x4)보다 클 수 있다.6, the lengths (x5, x6) of the third and fourth dummy electrodes DE3, DE4 are smaller than the lengths of the internal electrodes x1, x2, respectively, in the abscissa direction (for example, May be greater than the length (x3, x4) of each of the first and second dummy electrodes DE1, DE2.

내부 전극(200) 및 외부 전극(300)은 도전형 물질로서 구현될 수 있으며, 실시 예는 내부 전극(200) 및 외부 전극(300) 각각의 특정한 물질에 국한되지 않는다.The inner electrode 200 and the outer electrode 300 may be implemented as a conductive material, and embodiments are not limited to specific materials of the inner electrode 200 and the outer electrode 300, respectively.

또한, 전술한 바와 같이 각 단위 블럭(B1 내지 B4)에 포함된 내부 전극(IE1, IE2, DE1 내지 DE4)에 관련된 특징 즉, 내부 전극(IE1, IE2, DE1 내지 DE4)의 개수, 제1 및 제2 내부 전극(IE1, IE2) 각각의 길이(x1, x2), 제1 및 제2 더미 전극(DE1, DE2)의 길이(x3, x4)와 종축 방향으로의 폭 등은 모두 동일한 것으로 설명되지만 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 이러한 내부 전극(IE1, IE2, DE1 내지 DE4)에 관련된 특징은 단위 블럭별로 다를 수도 있다.As described above, the characteristics related to the internal electrodes IE1, IE2, and DE1 to DE4 included in the unit blocks B1 to B4, that is, the number of the internal electrodes IE1, IE2, DE1 to DE4, The lengths x1 and x2 of the second internal electrodes IE1 and IE2 and the lengths x3 and x4 of the first and second dummy electrodes DE1 and DE2 and the width in the vertical direction are all described as being the same The embodiment is not limited to this. That is, the characteristics related to the internal electrodes IE1, IE2, and DE1 to DE4 may be different for each unit block.

도 4를 참조하면, 제1 내부 전극(IE1)과 타측면(S2) 사이에 전극이 존재하지 않는 빈 공간(ES1, ES2)의 횡축 방향(예를 들어, x축 방향)으로의 폭은 1 ㎛ 내지 2 ㎛일 수 있다. 이때, 압전부(100)에서 복수의 단위 블럭(B1 내지 B4)이 적층되어 배치됨에 따라, 이러한 빈 공간(ES1, ES2)이 누적됨로써 복수의 단위 블럭(B1 내지 B4)이 서로 벌어지거나 휨으로써, 압전 소자(1000)의 신뢰성이 저하될 가능성도 배제할 수 없다.4, the width in the transverse direction (for example, the x-axis direction) of the empty spaces ES1 and ES2 in which no electrode is present between the first internal electrode IE1 and the other side S2 is 1 Mu m to 2 mu m. At this time, since the plurality of unit blocks B1 to B4 are stacked and arranged in the piezoelectric unit 100, the empty spaces ES1 and ES2 are accumulated so that the plurality of unit blocks B1 to B4 are flared or bent The reliability of the piezoelectric element 1000 may be deteriorated.

따라서, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 빈 공간(ES1, ES2)에 제1 및 제2 더미 전극(DE1, DE2)이 교차하여 배치되거나 도 6에 도시된 바와 같이 제3 및 제4 더미 전극(DE3, DE4)이 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로 순차적으로 배치될 경우, 빈 공간(ES1, ES2)의 누적으로 인한 복수의 단위 블럭(B1 내지 B4)의 벌어짐이나 압전부(100)의 휨 현상이 방지되어, 압전 소자(1000)의 신뢰성이 개선될 수 있다.Therefore, as shown in FIGS. 5 and 6, the first and second dummy electrodes DE1 and DE2 are disposed in the empty spaces ES1 and ES2 in an alternating manner, or the third and fourth dummy electrodes ES1 and ES2, When the electrodes DE3 and DE4 are sequentially arranged in the longitudinal direction (for example, the z-axis direction), expansion of the plurality of unit blocks B1 to B4 due to accumulation of the empty spaces ES1 and ES2, The flexure phenomenon of the piezoelectric element 100 is prevented, and the reliability of the piezoelectric element 1000 can be improved.

또한, 압전부(100)의 휨 현상을 더욱 방지하기 위해, 복수의 단위 블럭(B1 내지 B4) 사이에 홈부를 마련할 수도 있다. 예를 들어, 홈부는 제1 접착층(120)에 배치될 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.Further, in order to further prevent a warping phenomenon of the piezoelectric portion 100, a groove portion may be provided between the plurality of unit blocks B1 to B4. For example, the grooves may be disposed in the first adhesive layer 120, but embodiments are not limited thereto.

즉, 도 3에서 제1 접착층(A13)은 다른 제1 접착층(A11, A12)과 동일한 형상을 가질 수도 있고, 제1 접착층(A11, A12)은 다른 제1 접착층(A13)과 동일한 형상을 가질 수도 있다.3, the first adhesive layer A13 may have the same shape as the other first adhesive layers A11 and A12, and the first adhesive layers A11 and A12 may have the same shape as the other first adhesive layers A13 It is possible.

또한, 홈부는 압전부(100)의 일측면(S1)과 타측면(S2)에 서로 대칭적으로 배치될 수 있다. 비록, 도 3의 경우 홈부(HO)가 일측면(S1)에만 형성되지만, 타측면(S2)에도 대칭적으로 형성될 수 있다.The grooves may be disposed symmetrically with respect to one side S1 and the other side S2 of the piezoelectric unit 100. [ Although the groove HO is formed only on one side S1 in the case of FIG. 3, it may also be formed symmetrically on the other side S2.

도 7 (a) 내지 (e)는 제1 내지 제4 더미 전극(DE1 내지 DE4) 각각의 실시 예에 의한 평면 형상을 나타낸다.7 (a) to 7 (e) show planar shapes according to the embodiments of the first to fourth dummy electrodes DE1 to DE4, respectively.

또한, 전술한 제1 내지 제4 더미 전극(DE1 내지 DE4)은 다양한 평면 형상을 가질 수 있으며, 실시 예는 제1 내지 제4 더미 전극(DE1 내지 DE4)의 특정한 평면 형상에 국한되지 않는다. 예를 들어, 제1 내지 제4 더미 전극(DE1 내지 DE4) 각각은 도 7 (a)에 도시된 바와 같이 메쉬(mesh) 형태의 평면 형상을 가질 수도 있고, 도 7 (b)에 도시된 바와 같이 사선 형태의 평면 형상을 가질 수도 있고, 도 7 (c)에 도시된 바와 같이 홀(hole) 형태의 평면 형상을 가질 수도 있고, 도 7 (d)에 도시된 바와 같이 가로 선 형태의 평면 형상을 가질 수도 있고, 도 7 (e)에 도시된 바와 같이 세로 선 형태의 평면 형상을 가질 수도 있다.In addition, the first to fourth dummy electrodes DE1 to DE4 described above may have various planar shapes, and the embodiment is not limited to the specific planar shapes of the first to fourth dummy electrodes DE1 to DE4. For example, each of the first to fourth dummy electrodes DE1 to DE4 may have a mesh-like planar shape as shown in Fig. 7 (a), and may have a planar shape as shown in Fig. 7 (b) 7 (c), it may have a planar shape in the form of a hole, or may have a planar shape in the form of a horizontal line, as shown in Fig. 7 (d) Or may have a planar shape in the form of a vertical line as shown in Fig. 7 (e).

한편, 다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 보호부(400)는 내부 전극(200)이 매립된 압전부(100)와 외부 전극(400)을 덮도록 배치될 수 있다. 이를 위해, 보호부(400)는 제1 및 제2 보호부(410, 420)를 포함할 수 있다.1 and 2, the protection unit 400 may be disposed so as to cover the piezoelectric unit 100 in which the internal electrode 200 is embedded and the external electrode 400. For this purpose, the protection unit 400 may include first and second protection units 410 and 420.

일 실시 예에 의하면, 도 1에 예시된 바와 같이 제1 보호부(410)는 압전부(100)의 횡폭(W)과 종폭(L)에 의해 정의되는 상부면과 제1 및 제2 외부 전극(310, 320) 각각의 상부면을 덮도록 배치되고, 제2 보호부(420)는 압전부(100)의 상부면의 반대측 하부면과 제1 및 제2 외부 전극(310, 320) 각각의 상부면의 반대측 하부면을 덮도록 배치될 수도 있다.1, the first protection unit 410 includes a top surface defined by a width W and a longitudinal width L of the piezoelectric unit 100, a top surface defined by the width W and the longitudinal width L of the piezoelectric unit 100, The second protective portion 420 is disposed to cover the upper surface of each of the first and second external electrodes 310 and 320 and the lower surface of the upper surface of the piezoelectric portion 100, And may be arranged to cover the opposite lower surface of the upper surface.

다른 실시 예에 의하면, 제1 또는 제2 보호부(410, 420) 중 적어도 하나는 제1 및 제2 외부 전극(310, 320) 각각의 모든 측면을 추가로 더 덮도록 배치될 수도 있다. 이 경우, 도 2에 예시된 바와 같이 압전부(100), 압전부(100) 내에 배치된 내부 전극(200) 및 외부 전극(300)은 보호부(400)에 의해 완전히 밀봉된 형태일 수 있다.According to another embodiment, at least one of the first or second protective portions 410 and 420 may be arranged to further cover all the sides of the first and second external electrodes 310 and 320, respectively. In this case, as illustrated in FIG. 2, the piezoelectric portion 100, the internal electrode 200 and the external electrode 300 disposed in the piezoelectric portion 100 may be in a completely sealed form by the protection portion 400 .

또한, 보호부(400)는 전기적 절연성과 방수성이 우수한 재질로 구현될 수 있다. 아울러, 보호부(400)는 접착력이 높고, 기계적 변형률이 낮은 재질로 구현될 수 있다. 예를 들어, 보호부(400)는 Urethane, Epoxy, Silicone 또는 Acryl 중 적어도 하나를 포함할 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.In addition, the protection unit 400 may be formed of a material having excellent electrical insulation and waterproofness. In addition, the protective portion 400 may be formed of a material having a high adhesive force and a low mechanical strain. For example, the protector 400 may include at least one of Urethane, Epoxy, Silicone, or Acryl, but the embodiment is not limited thereto.

또한, 보호부(400)는 2 MPa 내지 300 MPa의 탄성율(modulus)과, 5MPa 내지 45 MPa의 접착력과, 30 내지 70의 경도와, 20 ㎛ 내지 70 ㎛의 두께(t1) 및 1x109Ω 이상의 절연률을 가질 수 있다.Further, the protection unit 400 is 2 MPa to about a 300 MPa modulus of elasticity (modulus) and, 5MPa to 45 MPa in the adhesive strength and, from 30 to 70 hardness, and a thickness of 20 ㎛ to 70 ㎛ (t1) and 1x10 least 9 Ω of It can have an insulation rate.

전술한 보호부(400)가 배치됨으로써, 큰 폭으로 진동하는 압전 소자(1000)의 외부 전극(300)의 깨지거나 들뜨는 현상이 방지될 수 있고, 외부로부터 내부 전극(200)을 완전히 절연시킴으로써, 적층된 복수의 단위 블럭(B1 내지 B4)으로 구현된 압전부(100)의 휨 강도(bending strength)를 보강할 수 있다.By disposing the protection unit 400 described above, it is possible to prevent the outer electrode 300 of the piezoelectric element 1000 vibrating at a large amplitude from being broken or lifted, and by completely insulating the inner electrode 200 from the outside, The bending strength of the piezoelectric unit 100 implemented by the plurality of unit blocks B1 to B4 stacked can be reinforced.

게다가, 추후에 도 13에서 설명되는 바와 같이, 외부 전극(300)이 배선(2610, 2620)을 통해 구동 제어부(2500)와 연결될 때, 외부 전극(300)과 배선(2610, 2620)이 접합되는 접합부(예를 들어, 솔더링(soldering)부)를 보호부(400)로 감싸도록 배치함으로써, 접합부의 부착력을 보강할 수도 있다.13, when the external electrode 300 is connected to the driving control unit 2500 through the wirings 2610 and 2620, the external electrode 300 and the wirings 2610 and 2620 are bonded to each other By arranging the joint portion (for example, soldering portion) so as to surround the protective portion 400, the adhesion force of the joint portion can be reinforced.

이하, 도 4에 도시된 압전부(100)의 제조 방법을 첨부된 도 8a 내지 도 8c를 참조하여 다음과 같이 설명한다. 그러나, 도 4에 도시된 압전부(100)는 도 8a 내지 도 8c와 다른 방법으로 제조될 수 있다. 또한, 도 5 및 도 6에 도시된 압전부(100)도 도 8a 내지 도 8c에 도시된 방법에 의해 제조될 수 있음은 물론이다. 또한, 하기의 설명에서 단위 블럭의 개수는 4개인 것으로 가정한다.Hereinafter, a method of manufacturing the piezoelectric portion 100 shown in FIG. 4 will be described with reference to FIGS. 8A to 8C. However, the piezoelectric portion 100 shown in Fig. 4 can be manufactured by a method different from Figs. 8A to 8C. It is needless to say that the piezoelectric unit 100 shown in Figs. 5 and 6 can also be manufactured by the method shown in Figs. 8A to 8C. In the following description, it is assumed that the number of unit blocks is four.

도 8a 내지 도 8c는 압전부(100)의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 사시도를 나타낸다.8A to 8C show a process perspective view for explaining the manufacturing method of the piezoelectric unit 100. Fig.

도 8a를 참조하면, 내부 전극(200)이 내부에 배치된 압전 구조물(100A)을 준비한다.Referring to FIG. 8A, a piezoelectric structure 100A in which an internal electrode 200 is disposed is prepared.

도 8a에 도시된 바와 같이 압전 구조물(100A)에 배치된 내부 전극(200)은 제1 내지 제4 더미 전극(DE1 내지 DE4)을 포함하지 않는 도 4에 도시된 내부 전극(200)이다. 만일, 압전 구조물(100A)에 배치된 내부 전극(200)이 도 5에 도시된 제1 및 제2 더미 전극(DE1, DE2)을 포함할 경우, 도 8a 내지 도 8c는 도 5에 도시된 압전부(100)의 제조 방법에 해당할 수 있다.As shown in FIG. 8A, the internal electrode 200 disposed in the piezoelectric structure 100A is the internal electrode 200 shown in FIG. 4, which does not include the first to fourth dummy electrodes DE1 to DE4. If the internal electrode 200 disposed in the piezoelectric structure 100A includes the first and second dummy electrodes DE1 and DE2 shown in FIG. 5, FIGS. 8A to 8C show the relationship between the voltage It may correspond to the manufacturing method of the front part 100.

또는, 도 8a에 도시된 압전 구조물(100A)에 배치된 내부 전극(200)이 도 6에 도시된 제1 내지 제4 더미 전극(DE1 내지 DE4)을 포함할 경우, 도 8a 내지 도 8c는 도 6에 도시된 압전부(100)의 제조 방법에 해당할 수 있다.Alternatively, when the internal electrode 200 disposed in the piezoelectric structure 100A shown in FIG. 8A includes the first through fourth dummy electrodes DE1 through DE4 shown in FIG. 6, FIGS. 8A through 8C are diagrams 6 may correspond to a manufacturing method of the piezoelectric unit 100 shown in FIGS.

이후, 도 8b를 참조하면, 도 8a에 도시된 압전 구조물(100A)을 z축 방향으로 수직으로 적층한다. 이때, 인접하는 압전 구조물(100A)을 제1 접착층(120:A11, A12, A13)에 의해 접합시킬 수 있다.8B, the piezoelectric structure 100A shown in FIG. 8A is vertically stacked in the z-axis direction. At this time, the adjacent piezoelectric structures 100A can be bonded by the first adhesive layer 120 (A11, A12, A13).

이후, 도 8b에 도시된 결과물을 화살표 방향(A1)으로 슬라이싱(slicing)할 경우, 도 8c에 도시된 압전부(100)가 완성될 수 있다.8B is sliced in the direction of arrow A1, the piezoelectric unit 100 shown in FIG. 8C can be completed.

예를 들어, 도 8a에 도시된 압전 구조물(100A)의 횡축 방향(예를 들어, x축 방향)으로의 폭(X1)이 17 ㎜이고, 종축 방향(예를 들어, y축 방향)으로의 폭(Y1)이 46 ㎜이고, 두께 방향(예를 들어, z축 방향)으로의 두께(Z1)가 1.5 ㎜이고, 도 8b에 도시된 적층된 결과물의 두께 방향(예를 들어, z축 방향)으로의 두께(Z2)가 46.5 ㎜이고, 도 8c에 도시된 슬라이싱된 결과물의 두께 방향(예를 들어, y축 방향)으로의 두께(Y2)(즉, 도 3에 도시된 높이(H))가 0.45 ㎜일 경우, 69개의 압전부(100)가 획득될 수 있다.For example, when the width X1 of the piezoelectric structure 100A shown in FIG. 8A in the transverse direction (for example, the x-axis direction) is 17 mm and the width X1 in the vertical direction The thickness Z1 in the thickness direction (for example, the z-axis direction) is 1.5 mm and the thickness Y1 in the thickness direction of the laminated resultant shown in Fig. 8B And the thickness Y2 in the thickness direction (e.g., the y-axis direction) of the sliced resultant shown in Fig. 8C (i.e., the height H shown in Fig. 3) ) Is 0.45 mm, 69 piezoelectric units 100 can be obtained.

이하, 비교 례 및 실시 예에 의한 압전 소자를 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 살펴본다.Hereinafter, a piezoelectric device according to a comparative example and an example will be described with reference to the accompanying drawings.

도 9는 비교 례에 의한 압전 소자(10)의 사시도를 나타낸다.9 shows a perspective view of the piezoelectric element 10 according to a comparative example.

도 9에 도시된 비교 례에 의한 압전 소자(10)는 내부 전극(20) 및 압전부(30)를 포함할 수 있다. 여기서, 내부 전극(20) 및 압전부(30)는 전술한 실시 예에 의한 내부 전극(200) 및 압전부(100)와 각각 동일한 역할을 수행할 수 있다.The piezoelectric element 10 according to the comparative example shown in Fig. 9 may include the internal electrode 20 and the piezoelectric portion 30. Fig. Here, the internal electrode 20 and the piezoelectric unit 30 may play the same role as the internal electrode 200 and the piezoelectric unit 100 according to the above-described embodiment.

전술한 실시 예에 의한 압전 소자(1000)가 스피커의 역할을 수행할 경우, 횡폭(W) 및 종폭(L)에 의해 정의되는 압전부(100)의 일면을 통해 음향신호가 전달될 수도 있다. 또는, 전술한 실시 예에 의한 압전 소자(1000)가 수신기의 역할을 수행할 경우, 외부의 음향신호에 상응하는 전기적 신호가 생성될 수도 있다.When the piezoelectric element 1000 according to the above embodiment performs a role of a speaker, an acoustic signal may be transmitted through one surface of the piezoelectric portion 100 defined by the width W and the width L. Alternatively, when the piezoelectric element 1000 according to the above-described embodiment performs a role of a receiver, an electrical signal corresponding to an external acoustic signal may be generated.

만일, 실시 예에 의한 압전 소자(1000)가 스피커의 역할을 수행할 경우, 외부 전극(300)을 통해 내부 전극(200)으로 펄스 신호가 인가될 경우, 압전부(100)가 진동함으로써 음향신호가 생성될 수 있다. 여기서, 펄스 신호는 진폭과 주파수를 가지는 전기적 신호로서, 전압 신호 또는 전류 신호일 수 있다. 예를 들어, 펄스 신호는 압전 물질에 진동을 부여하기 위한 교류 특성을 가질 수 있다. 이때, 압전부(100)는 주(main) 변위 방향(예를 들어, z축 방향)과 서브(sub) 변위 방향(예를 들어, y축 방향)으로 모두 진동한다.When the piezoelectric element 1000 according to the embodiment performs a role of a speaker and a pulse signal is applied to the internal electrode 200 through the external electrode 300, Can be generated. Here, the pulse signal is an electrical signal having amplitude and frequency, and may be a voltage signal or a current signal. For example, the pulse signal may have ac characteristics for imparting vibration to the piezoelectric material. At this time, the piezoelectric unit 100 vibrates in both the main displacement direction (e.g., the z-axis direction) and the sub displacement direction (e.g., the y-axis direction).

또한, 도 9에 도시된 비교 례에 의한 압전 소자(10)가 스피커의 역할을 수행할 경우, 외부 전극(미도시)을 통해 내부 전극(20)으로 펄스 신호가 인가될 경우, 압전부(30)가 진동함으로써 음향신호가 생성될 수 있다. 이때, 압전부(10)는 주 변위 방향(예를 들어, z축 방향)과 서브 변위 방향(예를 들어, y축 방향)으로 모두 진동한다.When the piezoelectric element 10 according to the comparative example shown in FIG. 9 performs a role of a speaker, when a pulse signal is applied to the internal electrode 20 through an external electrode (not shown) The sound signal can be generated. At this time, the piezoelectric portion 10 vibrates in both the main displacement direction (e.g., the z-axis direction) and the sub displacement direction (e.g., the y-axis direction).

도 9에 도시된 압전 소자(10)의 경우, 분극 방향(예를 들어, y축 방향)과 주 변위 방향(예를 들어, z축 방향)이 서로 교차함으로써, 압전부(30)의 변위량이 크지 않다.9, the polarization direction (e.g., the y-axis direction) and the main displacement direction (for example, the z-axis direction) intersect with each other so that the displacement amount of the piezoelectric unit 30 not big.

반면에, 실시 예에 의한 압전 소자(100)의 경우, 분극 방향(예를 들어, z축 방향)과 주 변위 방향(예를 들어, z축 방향)이 일치함으로써, 주 변위 방향인 화살표 방향(DD1, DD2)으로의 변위량이 도 9에 도시된 비교 례에 의한 압전 소자(10)보다 상대적으로 더 커진다.On the other hand, in the case of the piezoelectric element 100 according to the embodiment, the polarization direction (for example, the z-axis direction) and the main displacement direction (for example, DD1 and DD2 are relatively larger than those of the piezoelectric element 10 according to the comparative example shown in Fig.

도 9에 도시된 비교 례에 의한 압전 소자(10)의 변형률(ε31)은 다음 수학식 1과 같이 표현되고, 실시 예에 의한 압전 소자(1000)의 변형률(ε33)은 다음 수학식 2와 같이 표현될 수 있다. 여기서, 변형률(εjk)에서, j 및 k는 압전부(30, 100)의 진동 방향 및 정렬 방향을 각각 나타낸다. j(또는, k)의 값의 1, 2 및 3은 x축, y축 및 z축 방향을 각각 의미한다.The strain (? 31 ) of the piezoelectric element 10 according to the comparative example shown in FIG. 9 is expressed by the following equation (1), and the strain? 33 of the piezoelectric element 1000 according to the embodiment is expressed by the following equation Can be expressed as Here, in the strain? Jk , j and k represent the vibration direction and the alignment direction of the piezoelectric units 30 and 100, respectively. The values 1, 2, and 3 of j (or k) mean the x-axis, y-axis, and z-axis directions, respectively.

Figure pat00001
Figure pat00001

Figure pat00002
Figure pat00002

여기서, d31은 압전 소자(10)의 제1 압전 상수를 나타내고, d33은 압전 소자(1000)의 제2 압전 상수를 나타내고, v는 압전 소자(10, 1000)에 인가되는 펄스 즉, 전압을 나타내고, t는 압전부(10, 100)의 두께를 나타낸다.Here, d 31 represents a first piezoelectric constant of the piezoelectric element 10, d 33 represents a second piezoelectric constant of the piezoelectric element 1000, v is a pulse applied to the piezoelectric elements 10 and 1000, that is, , And t represents the thickness of the piezoelectric units 10 and 100. [

위 수학식 2에 표기된 실시 예에 의한 압전 소자(1000)의 변형률(ε33)이 수학식 1에 표기된 비교 례에 의한 압전 소자(10)의 변형률(ε31)보다 더 크다. 이는 두께(t)가 감소하고, 제1 압전 상수(d31)보다 제2 압전 상수(d33)가 더 크기 때문이다. 즉, j와 k가 일치할 경우, 압전 소자의 변형률이 커질 수 있다.The strain? 33 of the piezoelectric device 1000 according to the embodiment shown in the above-mentioned formula (2) is larger than the strain? 31 of the piezoelectric device 10 according to the comparative example shown in the formula (1). This is because the thickness t decreases and the second piezoelectric constant d 33 is larger than the first piezoelectric constant d 31 . That is, when j and k match, the strain of the piezoelectric element can be increased.

또한, 일반적으로 압전부(30, 100)의 진동력은 다음 수학식 3과 같이 표현된다.In general, the vibration force of the piezoelectric units 30 and 100 is expressed by the following equation (3).

Figure pat00003
Figure pat00003

여기서, F는 진동력을 나타내고, d는 압전 상수를 나타내고, s는 스티프니스(stiffness)로서 탄성율의 역수이다.Here, F represents a vibration force, d represents a piezoelectric constant, and s represents a reciprocal of a modulus of elasticity as a stiffness.

수학식 3을 참조하면, s와 t는 비교 례보다 실시 예가 더 작고, d는 실시 예가 비교 례보다 크므로, 실시 예에 의한 압전 소자(1000)의 진동력이 비교 례에 의한 압전 소자(10)보다 더 큼을 알 수 있다.Referring to Equation (3), s and t are smaller than those of the comparative example, and d is larger than that of the comparative example, so that the vibration force of the piezoelectric element 1000 according to the embodiment is smaller than that of the piezoelectric element 10 ).

도 9에 도시된 압전 소자(10)의 변위량을 키우기 위해, 압전부(30)를 분극 방향(예를 들어, y축 방향)으로 실시 예에 의한 제1 접착층(120:A11, A12, A13)을 이용하여 수직으로 적층할 수 있다. 그러나, 이 경우, 압전 소자(10)를 이용하는 제품의 y축 방향으로의 두께가 증가할 수 있다.The first bonding layers 120 (A11, A12, A13) according to the embodiment are formed in the polarization direction (e.g., the y-axis direction) in order to increase the amount of displacement of the piezoelectric element 10 shown in Fig. Can be vertically stacked. However, in this case, the thickness of the product using the piezoelectric element 10 in the y-axis direction can be increased.

반면에, 실시 예에 의한 압전 소자(1000)의 경우 압전 소자(1000)의 변위량을 더욱 증가시키기 위해 복수의 단위 블럭(B1 내지 B4)의 개수를 증가시켜도 압전 소자(1000)를 이용하는 제품의 y축 방향으로의 두께가 증가하지 않는다.On the other hand, in the case of the piezoelectric element 1000 according to the embodiment, even if the number of the plurality of unit blocks B 1 to B 4 is increased to further increase the amount of displacement of the piezoelectric element 1000, The thickness in the axial direction does not increase.

실시 예에 의한 압전부(100)의 길이 변화는 다음 수학식 4과 같이 표현될 수 있다.The change in length of the piezoelectric unit 100 according to the embodiment can be expressed by the following equation (4).

Figure pat00004
Figure pat00004

여기서, ΔL은 압전부(100)의 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로의 길이 변화를 나타낸다.Here,? L represents a change in length in the longitudinal direction (for example, the z-axis direction) of the piezoelectric unit 100.

수학식 3 및 4를 참조하면, 실시 예의 경우 적층되는 단위 블럭의 개수(N)가 증가하고, 인가 전압(v)이 커지고, 압전부(100)의 두께(t)(즉, 높이(H))가 얇아질수록, 압전부(100)의 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로의 진동력(F) 및 길이 변화(ΔL)를 더 증가시킬 수 있음을 알 수 있다.(3) and (4), the number N of stacked unit blocks increases, the applied voltage v increases, and the thickness t of the piezoelectric unit 100 (i.e., the height H) It can be seen that the vibration force F and the change in length DELTA L in the longitudinal direction (e.g., the z-axis direction) of the piezoelectric unit 100 can be further increased as the piezoelectric thin film thickness becomes thinner.

결국, 전술한 실시 예에 의한 압전 소자(1000)는 분극 방향과 동일한 방향으로 복수의 단위 블럭(B1 내지 B4)이 적층되어 배치됨으로 인해, 압전부(100)의 진동력이 높을 뿐만 아니라, 제1 접착층(120:A11, A12, A13)의 탄성 계수 등을 조정함으로써 공진 주파수(fo)를 낮출 수 있다.As a result, in the piezoelectric element 1000 according to the above-described embodiment, since the plurality of unit blocks B1 to B4 are stacked and disposed in the same direction as the polarization direction, not only the piezoelectric force of the piezoelectric unit 100 is high, first adhesive layer: by adjusting the elastic coefficient of the (120 A11, A12, A13) can lower the resonant frequency (f o).

실시 예에서와 같이, 압전 소자(1000)의 진동력이 높을 경우, 압전 소자(1000)는 스피커나 수신기 이외에 햅틱(haptic) 기능을 제공할 수 있으며, 근접 센서에도 적용될 수 있다.As in the embodiment, when the vibration force of the piezoelectric element 1000 is high, the piezoelectric element 1000 can provide a haptic function in addition to a speaker or a receiver, and can be applied to a proximity sensor.

이하, 전술한 실시 예에 의한 압전 소자(1000)를 포함하는 압전 엑츄에이터의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, embodiments of the piezoelectric actuator including the piezoelectric element 1000 according to the above-described embodiment will be described with reference to the accompanying drawings.

도 10은 일 실시 예에 의한 압전 엑츄에이터(2000A)의 단면도를 나타낸다.10 shows a cross-sectional view of a piezoelectric actuator 2000A according to an embodiment.

도 10에 도시된 압전 엑츄에이터(2000A)는 커버 부재(1100), 디스플레이부(1200A), 제2 접착층(1300) 및 압전 소자(1400)를 포함할 수 있다.The piezoelectric actuator 2000A shown in Fig. 10 may include a cover member 1100, a display portion 1200A, a second adhesive layer 1300, and a piezoelectric element 1400. Fig.

디스플레이부(1200A)는 커버 부재(1100)의 아래에 배치될 수 있다.The display portion 1200A may be disposed under the cover member 1100. [

커버 부재(1100)는 리지드(rigid)하거나 또는 플렉서블(flexible)할 수 있다. 바람직하게는, 커버 부재(1100)는 휘어지거나(bending) 접힐 수 있도록(foldable) 플렉서블할 수 있다.The cover member 1100 may be rigid or flexible. Preferably, the cover member 1100 may be flexible to be foldable or bending.

예를 들어, 커버 부재(1100)는 플라스틱이나 글래스(glass)를 포함할 수 있다. 자세하게, 커버 부재(1100)는 폴리이미드(Polyimide, PI), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 프로필렌 글리콜(propylene glycol, PPG), 폴리 카보네이트(PC) 등의 강화 혹은 연성 플라스틱을 포함하거나 사파이어를 포함할 수 있다.For example, the cover member 1100 may include plastic or glass. In detail, the cover member 1100 includes a reinforced or soft plastic such as polyimide (PI), polyethylene terephthalate (PET), propylene glycol (PPG), polycarbonate (PC) . ≪ / RTI >

또한, 커버 부재(1100)는 광등방성 필름을 포함할 수 있다. 일례로, 커버 부재(1100)는 COC(Cyclic Olefin Copolymer), COP(Cyclic Olefin Polymer), 광등방 폴리카보네이트(polycarbonate, PC) 또는 광등방 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 등을 포함할 수 있다.Further, the cover member 1100 may include an optically isotropic film. For example, the cover member 1100 may include a cyclic olefin copolymer (COC), a cyclic olefin polymer (COP), a polycarbonate (PC), a light polymethyl methacrylate (PMMA), or the like.

디스플레이부(1200A)는 유기전계발광표시(OLED) 패널 기판일 수 있다. 이 경우, 디스플레이부(1200A)는 별도의 광원이 필요하지 않은 자발광 소자를 포함한다.The display portion 1200A may be an organic light emitting display (OLED) panel substrate. In this case, the display portion 1200A includes a self-luminous element that does not require a separate light source.

제2 접착층(1300)은 디스플레이부(1200A)와 압전 소자(1400) 사이에 배치되어, 이들(1200A, 1400)을 접착시키는 역할을 한다. 예를 들어, 제2 접착층(1300)의 재질은 전술한 제1 접착층(120)의 재질과 동일할 수도 있고 다를 수도 있다. 예를 들어, 제2 접착층(1300)은 광학용 투명 접착제일 수 있으나, 실시 예는 제2 접착층(1300)의 특정한 재질에 국한되지 않는다.The second adhesive layer 1300 is disposed between the display portion 1200A and the piezoelectric element 1400 and serves to adhere the first and second adhesive layers 1300 and 1400 to each other. For example, the material of the second adhesive layer 1300 may be the same as or different from the material of the first adhesive layer 120 described above. For example, the second adhesive layer 1300 may be a transparent adhesive for optical, but the embodiment is not limited to the specific material of the second adhesive layer 1300. [

일 실시 예에 의하면, 압전 소자(1400)는 제1 압전 소자(1410)와 제2 압전 소자(1420)를 포함할 수 있다.According to one embodiment, the piezoelectric element 1400 may include a first piezoelectric element 1410 and a second piezoelectric element 1420.

제1 압전 소자(1410)는 전술한 실시 예에 의한 압전 소자(1000)에 해당할 수 있다. 즉, 제1 압전 소자(1410)는 후술되는 구동 제어부(2500)로부터 펄스를 제공받아, 압전부(100)를 진동시킴으로써 생성한 음향 신호(이하, '제1 음향 신호'라 함)를 전달하는 일종의 스피커의 역할을 수행할 수 있다.The first piezoelectric element 1410 may correspond to the piezoelectric element 1000 according to the above-described embodiment. That is, the first piezoelectric element 1410 receives a pulse from the drive control unit 2500 to be described later, and transmits an acoustic signal (hereinafter, referred to as a 'first acoustic signal') generated by vibrating the piezoelectric unit 100 It can act as a kind of speaker.

제2 압전 소자(1420)는 도 9에 도시된 비교 례에 의한 압전 소자(10)에 해당할 수 있다. 즉, 제2 압전 소자(1420)는 외부로부터 음향 신호(이하, '제2 음향 신호'라 함)가 감지될 때, 압전부(30)를 진동시키고, 압전부(30)의 진동에 상응하는 전기적 신호를 구동 제어부(2500)로 출력할 수 있다. 제2 압전 소자(1420)는 제2 음향 신호를 전달받는 일종의 수신기의 역할을 수행할 수 있다.The second piezoelectric element 1420 may correspond to the piezoelectric element 10 according to the comparative example shown in Fig. That is, when the second piezoelectric element 1420 detects an acoustic signal (hereinafter referred to as a second acoustic signal) from the outside, the second piezoelectric element 1420 vibrates the piezoelectric unit 30 and generates a voltage corresponding to the vibration of the piezoelectric unit 30 And can output an electric signal to the drive control section 2500. The second piezoelectric element 1420 may serve as a receiver for receiving the second acoustic signal.

이와 같이, 도 10에 도시된 바와 같이, 압전 소자(1400)는 실시 예에 의한 압전 소자(1410)와 비교 례에 의한 압전 소자(1420)를 모두 포함하는 하이브리드(hybrid) 타입일 수 있다.10, the piezoelectric element 1400 may be of a hybrid type including both the piezoelectric element 1410 according to the embodiment and the piezoelectric element 1420 according to the comparative example.

다른 실시 예에 의하면, 압전 소자(1400)는 제1 압전 소자(1410)만을 포함하고, 제2 압전 소자(1420)를 생략할 수 있다. 이 경우, 제1 압전 소자(1410)는 전술한 실시 예에 의한 압전 소자(1000)일 수 있으며, 스피커와 수신기의 역할을 모두 수행할 수 있다.According to another embodiment, the piezoelectric element 1400 includes only the first piezoelectric element 1410, and the second piezoelectric element 1420 can be omitted. In this case, the first piezoelectric element 1410 may be a piezoelectric element 1000 according to the above-described embodiment, and may perform both a speaker and a receiver.

또 다른 실시 예에 의하면, 압전 소자(1400)는 복수의 제1 압전 소자(1410)를 포함할 수도 있다.According to another embodiment, the piezoelectric element 1400 may include a plurality of first piezoelectric elements 1410. [

도 11은 다른 실시 예에 의한 압전 엑츄에이터(2000B)의 단면도를 나타낸다.11 shows a cross-sectional view of a piezoelectric actuator 2000B according to another embodiment.

도 11에 도시된 압전 엑츄에이터(2000B)는 커버 부재(1100), 디스플레이부(1200B), 제2 접착층(1300), 압전 소자(1400) 및 백 플레이트(back plate)(1500)를 포함할 수 있다.The piezoelectric actuator 2000B shown in Fig. 11 may include a cover member 1100, a display portion 1200B, a second adhesive layer 1300, a piezoelectric element 1400 and a back plate 1500 .

도 11에 도시된 커버 부재(1100), 제2 접착층(1300) 및 압전 소자(1400)는 도 10에 도시된 커버 부재(1100), 제2 접착층(1300) 및 압전 소자(1400)에 각각 해당하므로, 동일한 참조부호를 사용하였으며, 중복되는 설명을 생략한다.The cover member 1100, the second adhesive layer 1300 and the piezoelectric element 1400 shown in Fig. 11 correspond to the cover member 1100, the second adhesive layer 1300 and the piezoelectric element 1400 shown in Fig. 10, respectively The same reference numerals are used and redundant description is omitted.

디스플레이부(1200B)는 커버 부재(1100)의 아래에 배치될 수 있으며, 박막트랜지스터(TFT:Thin Film Transistor)를 포함할 수 있다.The display portion 1200B may be disposed under the cover member 1100 and may include a thin film transistor (TFT).

백 플레이트(1500)는 제2 접착층(1300)과 디스플레이부(1200B) 사이에 배치되어 디스플레이부(1200B)를 보호하는 역할을 수행한다.The back plate 1500 is disposed between the second adhesive layer 1300 and the display portion 1200B to protect the display portion 1200B.

도 10 및 도 11에서, 압전 소자(1400)가 진동할 때, 압전 소자(1400)의 상부에 배치된 디스플레이부(1200A, 1200B)도 진동한다. 이때, 디스플레이부(1200A, 1200B)의 화소가 진동에 의해 깨질 수도 있다. 그러나, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 제2 접착층(1300)이 디스플레이부(1200A, 1200B)와 압전 소자(1400) 사이에 배치될 경우, 디스플레이부(1200A, 1200B)의 화소가 진동에 의해 깨질 염려가 해소될 수 있다.10 and 11, when the piezoelectric element 1400 vibrates, the display portions 1200A and 1200B arranged on the upper portion of the piezoelectric element 1400 also vibrate. At this time, the pixels of the display portions 1200A and 1200B may be broken by vibration. However, when the second adhesive layer 1300 is disposed between the display portions 1200A and 1200B and the piezoelectric element 1400 as shown in Figs. 10 and 11, the pixels of the display portions 1200A and 1200B are vibrated So that the risk of breakage can be solved.

압전소자(1400)는 디스플레이부(1200A, 1200B)를 향하는 방향에 대하여 수직인 방향(예를 들어, x축 방향 또는 z축 방향)으로 진동하며, 수축과 팽창을 반복한다. 압전소자(1400)와 마주보는 디스플레이부(1200A, 1200B)의 하면은 압전소자(1400)의 진동력을 전달받아 x축 방향 또는 z축 방향으로 진동한다. 하면이 x축 방향 또는 z축 방향으로 수축과 팽창을 반복하면서 예를 들어, y축 방향으로 디스플레이부(1200A, 1200B)의 상하 진동을 발생시키며 소리를 발생시킬 수 있으며, 이때 디스플레이부(1200A, 1200B)는 평판형 스피커의 진동판 역할을 할 수 있다. 또한, 디스플레이부(1200A, 1200B)에 발생하는 파형은 굴곡파 형태일 수 있다. 구체적으로 단일의 압전소자(1400)를 디스플레이 영역에 대하여 상하 및/또는 좌우 비대칭 배치하거나, 복수 개의 압전소자(1400)를 사용하는 등의 방법을 통하여 분산 모드(distributed mode)의 스피커를 구현할 수 있다. 분산 모드는 낮은 지향성 및 넓은 주파수 특성을 가지고 있으나, 진동력이 낮은 경향이 있다.The piezoelectric element 1400 vibrates in a direction (for example, the x-axis direction or the z-axis direction) perpendicular to the direction toward the display portions 1200A and 1200B, and repeats contraction and expansion. The lower surfaces of the display portions 1200A and 1200B facing the piezoelectric element 1400 receive the vibration force of the piezoelectric element 1400 and vibrate in the x-axis direction or the z-axis direction. The display unit 1200A and the display unit 1200B may generate vibrations in the y-axis direction while repeating contraction and expansion in the x-axis direction or the z-axis direction. At this time, 1200B may serve as diaphragms of a flat-plate speaker. Also, the waveforms generated in the display units 1200A and 1200B may be in the form of a bending wave. Specifically, a distributed mode speaker can be realized by arranging a single piezoelectric element 1400 asymmetrically up and down and / or horizontally with respect to the display area, or by using a plurality of piezoelectric elements 1400 or the like . The dispersion mode has low directivity and wide frequency characteristics, but the vibration power tends to be low.

실시 예의 압전소자(1400)를 적용하면 진동력을 증가시킬 수 있으며, 공진 주파수도 낮출 수 있어, 가청 주파수 대역에서 원활한 출력을 가지는 분산 모드의 평판형 스피커를 구현할 수 있다.Application of the piezoelectric element 1400 of the embodiment can increase the vibration power and lower the resonance frequency, thereby realizing a dispersion mode planar speaker having smooth output in the audible frequency band.

도 12는 또 다른 실시 예에 의한 압전 엑츄에이터(2000C)의 단면도를 나타낸다.12 shows a cross-sectional view of a piezoelectric actuator 2000C according to another embodiment.

도 12에 도시된 압전 액츄에이터(2000C)는 진동판(1600), 제3 접착층(1610), 고정판(1700), 질량부(1800) 및 압전 소자(1900)를 포함할 수 있다.The piezoelectric actuator 2000C shown in Fig. 12 may include a diaphragm 1600, a third adhesive layer 1610, a fixing plate 1700, a mass portion 1800, and a piezoelectric element 1900. [

압전 소자(1900)는 전술한 압전 소자(1000) 또는 도 10 또는 도 11에 도시된 압전 소자(1400)에 해당할 수 있다.The piezoelectric element 1900 may correspond to the above-described piezoelectric element 1000 or the piezoelectric element 1400 shown in Fig. 10 or Fig.

진동판(1600)은 압전 소자(1900) 아래에 배치될 수 있으며, 금속 물질 예를 들어, 알루미늄(Al)과 같은 금속 재료, 폴리머 재료 및 펄프 등으로 구현될 수 있다.The diaphragm 1600 may be disposed under the piezoelectric element 1900 and may be formed of a metal material such as aluminum (Al), a polymer material, a pulp, or the like.

제3 접착층(1610)은 압전 소자(1900)와 진동판(1600) 사이에 배치되어 이들(1900, 1600)을 서로 접착시키는 역할을 한다.The third adhesive layer 1610 is disposed between the piezoelectric element 1900 and the vibration plate 1600 and serves to adhere the piezoelectric elements 1900 and 1600 to each other.

고정판(1700)은 진동판(1600)의 양단부 중 일단부의 아래에 배치되어, 진동판(1600)을 지지하는 역할을 한다.The fixing plate 1700 is disposed below one end of the both ends of the diaphragm 1600 and serves to support the diaphragm 1600.

질량부(1800)는 진동판(1600)의 양단부 중 타단부의 아래에 배치될 수 있다.The mass portion 1800 may be disposed below the other end of both ends of the diaphragm 1600.

도 12에 도시된 바와 같이, 압전 액츄에이터(2000C)가 외팔보(cantilever) 방식의 구조를 가질 경우, 압전 소자(1900)의 변위량은 더욱 커질 수 있다. 또한, 질량부(1800)가 배치됨으로써, 압전 액츄에이터(2000C)의 진동력을 더욱 강화될 수 있다.As shown in Fig. 12, when the piezoelectric actuator 2000C has a cantilever structure, the amount of displacement of the piezoelectric element 1900 can be further increased. Further, by arranging the mass portion 1800, the vibration force of the piezoelectric actuator 2000C can be further strengthened.

예를 들어, 도 12에 도시된 압전 소자(1900)의 종폭(L)이 46 ㎜이고, 압전 소자(1900)의 높이(H)가 2.4 ㎜이고, 진동판(1600)의 두께(t2)가 0.2 ㎜일 때, 변위량은 도 9에 도시된 압전 소자(10)보다 약 6배 이상으로 증가할 수 있다.12 is 46 mm, the height H of the piezoelectric element 1900 is 2.4 mm, and the thickness t2 of the diaphragm 1600 is 0.2 Mm, the amount of displacement can be increased to about six times or more as compared with the piezoelectric element 10 shown in Fig.

또한, 제3 접착층(1610)은 에폭시 계열의 접착 물질을 포함할 수 있으나, 실시 예는 제3 접착층(1610)의 특정한 구성 물질에 국한되지 않는다. 또한, 제1 접착층(120)과 마찬가지로, 제3 접착층(1610)의 탄성 계수를 낮출 경우 제1 압전 소자(1900)의 공진 주파수(fo)를 낮출 수 있다. 예를 들어, 제3 접착층(1610)의 탄성 계수는 1 MPa 내지 25000 MPa, 바람직하게는 100 MPa 내지 10000 MPa, 더욱 바람직하게는 50 MPa 내지 2000 MPa일 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.In addition, the third adhesive layer 1610 may include an epoxy based adhesive material, but the embodiment is not limited to the specific constituent materials of the third adhesive layer 1610. Further, similarly to the first adhesive layer 120, when the elastic modulus of the third adhesive layer 1610 is lowered, the resonance frequency f o of the first piezoelectric element 1900 can be lowered. For example, the modulus of elasticity of the third adhesive layer 1610 may be from 1 MPa to 25000 MPa, preferably from 100 MPa to 10000 MPa, more preferably from 50 MPa to 2000 MPa, but the embodiment is not limited thereto.

제3 접착층(1610)의 재질과 제1 접착층(120)은 서로 동일할 수 있으며, 제3 접착층(1610)의 재질은 제1 접착층(120)의 재질과 동일한 탄성 계수를 가질 수 있다.The material of the third adhesive layer 1610 and the first adhesive layer 120 may be equal to each other and the material of the third adhesive layer 1610 may have the same elastic modulus as the material of the first adhesive layer 120. [

또한, 압전 액츄에이터(2000C)의 설계를 최적화 하기 위해서, 고정판(1700)과 제1 압전 소자(1900)의 재질과 형상에 의해 결정되는 탄성 계수와 무게 추 역할을 하는 질량부(1800)의 질량으로부터 정해지는 공진 주파수(fo)를 외팔보 구조를 갖는 도 12에 도시된 압전 엑츄에이터(2000C)의 진동 주파수와 일치시킬 필요가 있다. 즉, 다음 수학식 5의 관계가 만족되도록 압전 액츄에이터(2000C)를 설계할 수 있다.In order to optimize the design of the piezoelectric actuator 2000C, the elastic coefficient determined by the material and shape of the fixed plate 1700 and the first piezoelectric element 1900 and the mass of the mass portion 1800 serving as a weight It is necessary to match the determined resonance frequency f o with the vibration frequency of the piezoelectric actuator 2000C shown in Fig. 12 having a cantilever structure. That is, it is possible to design the piezoelectric actuator 2000C so that the following equation (5) is satisfied.

Figure pat00005
Figure pat00005

여기서, ξ는 다음 수학식 6과 같이 표현되고, η는 다음 수학식 7과 같이 표현된다.Here,? Is expressed by the following equation (6), and? Is expressed by the following equation (7).

Figure pat00006
Figure pat00006

여기서, tsub는 도 12? 구조에서 압전 소자(1900)를 제외한 부분의 두께를 나타내고, tp는 압전 소자(1900)의 두께(즉, 높이(H))를 나타낸다.Here, t sub is as shown in Fig. And the thickness t p denotes the thickness (i.e., the height H) of the piezoelectric element 1900. The thickness of the piezoelectric element 1900 is the same as that of the piezoelectric element 1900 shown in Fig.

Figure pat00007
Figure pat00007

여기서, Esub는 도 12에서 압전 소자(1900)를 제외한 부분의 탄성계수를 나타내고, Ep는 압전 소자(1900)의 탄성 계수를 나타낸다.Here, E sub represents the elastic modulus of the portion excluding the piezoelectric element 1900 in FIG. 12, and E p represents the elastic modulus of the piezoelectric element 1900.

또한, 실시 예에 의한 압전 액츄에이터(2000A 내지 2000C)는 도 10 내지 도 12에 국한되지 않는다. 즉, 압전 액츄에이터가 TFT-LCD 구조, OLED 구조 또는 플렉서블(flexible) OLED 구조 등을 가질 때, 압전 소자는 이러한 구조에서 가장 하부에 배치될 수 있다.The piezoelectric actuators 2000A to 2000C according to the embodiment are not limited to Figs. 10 to 12. Fig. That is, when the piezoelectric actuator has a TFT-LCD structure, an OLED structure, or a flexible OLED structure, the piezoelectric element can be disposed at the bottom in this structure.

이하, 전술한 실시 예에 의한 압전 액츄에이터를 포함하는 압전 모듈의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, embodiments of the piezoelectric module including the piezoelectric actuator according to the above-described embodiments will be described with reference to the accompanying drawings.

도 13은 일 실시 예에 의한 압전 모듈(3000)의 사시도를 나타낸다.13 is a perspective view of a piezoelectric module 3000 according to an embodiment.

도 13에 도시된 압전 모듈(3000)은 압전 액츄에이터, 구동 제어부(2500) 및 배선(2610, 2620)을 포함할 수 있다.The piezoelectric module 3000 shown in FIG. 13 may include a piezoelectric actuator, a drive control portion 2500, and wirings 2610 and 2620.

압전 액츄에이터는 도 10 내지 도 12에 예시된 압전 액츄에이터(2000A 내지 2000C)에 해당할 수 있다. 설명의 편의상, 도 13에서 압전 액츄에이터에서 압전 소자 이외의 구성 요소들은 생략되었다.The piezoelectric actuators may correspond to the piezoelectric actuators 2000A to 2000C illustrated in Figs. 10 to 12. Fig. For convenience of explanation, in Fig. 13, components other than the piezoelectric element in the piezoelectric actuator are omitted.

도 13에 도시된 압전 소자는 압전부(100), 내부 전극(200), 제1 및 제2 외부 전극(310, 320)을 포함할 수 있다. 압전부(100)에서 복수의 단위 블럭은 제1 접착층(120:A11, A12, A13)에 의해 서로 접합된다. 이러한 압전부(100), 내부 전극(200), 제1 및 제2 외부 전극(310, 320), 제1 접착층(120)은 도 1 내지 도 4에 도시된 압전부(100), 내부 전극(200), 제1 및 제2 외부 전극(310, 320) 및 제1 접착층(120:A11, A12, A13)에 각각 해당하므로, 동일한 참조부호를 사용하며, 중복되는 설명을 생략한다.13 may include the piezoelectric unit 100, the internal electrode 200, and the first and second external electrodes 310 and 320. In the piezoelectric unit 100, a plurality of unit blocks are bonded to each other by the first adhesive layers 120 (A11, A12, A13). The piezoelectric unit 100, the internal electrode 200, the first and second external electrodes 310 and 320, and the first adhesive layer 120 may be formed of the piezoelectric unit 100 shown in FIGS. 1 to 4, 200, the first and second external electrodes 310 and 320, and the first adhesive layer 120 (A11, A12, and A13), the same reference numerals are used, and redundant description will be omitted.

구동 제어부(2500)는 압전 액츄에이터를 구동시키는 역할을 한다. 특히, 구동 제어부(2500)는 배선(2610, 2620)을 통해 압전 소자와 연결되어, 압전 소자를 구동시키는 역할을 한다. 배선은 구동 제어부(2500)와 제1 외부 전극(310)을 전기적으로 연결하는 제1 배선(2610)과, 구동 제어부(2500)와 제2 외부 전극(320)을 전기적으로 연결하는 제2 배선(2620)을 포함할 수 있다.The drive control unit 2500 serves to drive the piezoelectric actuator. In particular, the driving control unit 2500 is connected to the piezoelectric elements through the wirings 2610 and 2620, and drives the piezoelectric elements. The wiring includes a first wiring 2610 electrically connecting the driving control unit 2500 and the first external electrode 310 and a second wiring electrically connecting the driving control unit 2500 and the second external electrode 320 2620).

구동 제어부(2500)는 FPCB(Flexible Printed Circuit Board) 등의 기판(미도시)에 연결될 수 있다. FPCB는 구동 제어부(2500)로부터 외부 전극(300)으로 인가될 펄스를 구동 제어부(2500)로 제공할 수도 있고, 구동 제어부(2500)로부터 제공되는 제2 음향신호에 해당하는 전기적 신호를 제공받을 수도 있다.The driving control unit 2500 may be connected to a substrate (not shown) such as an FPCB (Flexible Printed Circuit Board). The FPCB may provide a pulse to be applied to the external electrode 300 from the drive control unit 2500 to the drive control unit 2500 or may receive an electrical signal corresponding to the second sound signal provided from the drive control unit 2500 have.

구동 제어부(2500)가 압전 액츄에이터의 압전 소자를 구동시키는 동작에 대해 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.An operation of the drive control unit 2500 for driving the piezoelectric element of the piezoelectric actuator will be described in detail as follows.

도 14는 스피커 역할을 하는 압전 소자의 실시 예에 의한 구동 방법(3100)을 설명하기 위한 플로우차트이다.Fig. 14 is a flowchart for explaining a driving method 3100 according to an embodiment of a piezoelectric element serving as a speaker.

먼저, 압전 소자가 스피커의 역할을 할 경우, 구동 제어부(2500)는 압전 소자를 다음과 같이 구동시킨다.First, when the piezoelectric element serves as a speaker, the drive control section 2500 drives the piezoelectric element as follows.

구동 제어부(2500)는 압전부(100)를 진동시키기 위해 적합한 레벨을 갖는 구동 펄스를 외부 전극(300)을 통해 내부 전극(200)으로 인가한다(제3102 단계). 예를 들어, 펄스 신호가 전압 형태일 경우, 양(+)의 전압을 제1 외부 전극(310)을 통해 제1 내부 전극(IE1)으로 인가하고, 음(-)의 전압을 제2 외부 전극(320)을 통해 제2 내부 전극(IE2)으로 인가할 수 있다. 또는, 음(-)의 전압을 제1 외부 전극(310)을 통해 제1 내부 전극(IE1)으로 인가하고, 양(+)의 전압을 제2 외부 전극(320)을 통해 제2 내부 전극(IE2)으로 인가할 수도 있다.The driving control unit 2500 applies a driving pulse having a suitable level to the internal electrode 200 through the external electrode 300 to vibrate the piezoelectric unit 100 (Step 3102). For example, when the pulse signal has a voltage form, a positive voltage is applied to the first internal electrode IE1 through the first external electrode 310 and a negative voltage is applied to the second external electrode 310. [ To the second internal electrode (IE2) through the second internal electrode (320). Or a negative voltage is applied to the first internal electrode IE1 through the first external electrode 310 and a positive voltage is applied to the second internal electrode IE2 through the second external electrode 320, IE2).

제1 및 제2 내부 전극(IE1, IE2)에 양 및 음의 전압을 각각 인가되면, 압전부(100)가 종축 방향(예를 들어, z축 방향)으로 진동한다(제3104 단계).When the positive and negative voltages are respectively applied to the first and second internal electrodes IE1 and IE2, the piezoelectric unit 100 vibrates in the longitudinal direction (e.g., the z-axis direction) (Step 3104).

이때, 압전부(100)가 진동하고, 이러한 진동이 압전 소자(100)의 횡폭(W)과 종폭(L)에 의해 정의되는 일면을 통해 압전 액츄에이터의 디스플레이부(1200A, 1200B)로 전달되면, 가진 점에서 디스플레이부(1200A, 1200B)가 종축 방향과 교차하는 수직 방향(예를 들어, y축 방향)으로 진동함으로 벤딩파(bending wave) 형태로 제1 음향신호가 전달될 수 있다(제3106 단계). 여기서, 가진 점이란, 압전 액츄에이터가 배치되는 지점을 의미한다.When the piezoelectric unit 100 vibrates and the vibration is transmitted to the display units 1200A and 1200B of the piezoelectric actuator through one side defined by the lateral width W and the longitudinal width L of the piezoelectric element 100, The display unit 1200A and the display unit 1200B oscillate in a vertical direction (e.g., a y-axis direction) intersecting with the vertical axis direction so that the first acoustic signal can be transmitted in the form of a bending wave step). Here, the excitation point means the point where the piezoelectric actuator is disposed.

도 15는 수신기 역할을 하는 압전 소자의 실시 예에 의한 구동 방법(3200)을 설명하기 위한 플로우차트이다.15 is a flowchart for explaining a driving method 3200 according to an embodiment of a piezoelectric element serving as a receiver.

도 13에 도시된 압전 소자가 수신기의 역할을 할 경우, 구동 제어부(2500)는 압전 소자를 다음과 같이 구동시킨다.When the piezoelectric element shown in FIG. 13 serves as a receiver, the drive control section 2500 drives the piezoelectric element as follows.

외부로부터 제2 음향신호가 압전부(100)로 전달될 경우, 압전부(100)는 진동한다(제3202 단계).When the second acoustic signal is transmitted from the outside to the piezoelectric device 100, the piezoelectric device 100 vibrates (Step 3202).

이러한 진동은 내부 전극(200)과 외부 전극(300)을 통해 전기적 신호 형태로 변환되어 구동 제어부(2500)로 전달된다(제3204 단계).The vibration is converted into an electric signal form through the internal electrode 200 and the external electrode 300, and is transmitted to the drive control unit 2500 (Step 3204).

구동 제어부(2500)는 진동에 상응하여 생성된 전기적 신호를 이용하여 음향 신호를 감지한다(제3206 단계).The drive control unit 2500 senses an acoustic signal using the electrical signal generated in accordance with the vibration (operation 3206).

도 14 및 도 15에서 설명된 바와 같이, 압전 소자는 전기적 신호를 제1 음향 신호로 변환할 수도 있고, 제2 음향신호를 전기적 신호로 변환할 수도 있다.14 and 15, the piezoelectric element may convert an electrical signal into a first acoustic signal or a second acoustic signal into an electrical signal.

한편, 압전부(100)의 진동에 의해 제1 음향신호가 전달되고 있는 동안, 전달되는 제1 음향 신호가 외부의 조건 변화에 의해 왜곡될 수 있다. 예를 들어, 제1 음향신호가 전달되고 있는 동안 사용자가 디스플레이부(2100A, 2100B)를 터치할 경우, 전달되는 제1 음향 신호에 왜곡이 야기될 수 있다.On the other hand, while the first acoustic signal is being transmitted by the vibration of the piezoelectric unit 100, the transmitted first acoustic signal may be distorted by a change in external conditions. For example, when the user touches the display portions 2100A and 2100B while the first sound signal is being transmitted, distortion may be caused in the transmitted first sound signal.

이하, 압전 모듈에서 제1 음향신호의 왜곡을 보상하는 실시 예에 의한 왜곡 보상 방법을 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.Hereinafter, a distortion compensation method according to an embodiment for compensating distortion of a first sound signal in a piezoelectric module will be described with reference to the accompanying drawings.

도 16은 실시 예에 의한 제1 음향신호의 왜곡 보상 방법(3300)을 설명하기 위한 플로우차트이다.16 is a flowchart for explaining a first sound signal distortion compensation method 3300 according to the embodiment.

구동 제어부(2500)는 제1 음향신호를 전달하는 디스플레이부의 패널(이하, '디스플레이 패널'이라 함)의 변위에 변화가 있는가를 검사한다(제3302 단계).The drive control unit 2500 checks whether there is a change in the displacement of the panel of the display unit (hereinafter referred to as 'display panel') that transmits the first sound signal (operation 3302).

만일, 디스플레이 패널의 변위 변화가 있을 경우, 변위 변화량을 구한다(제3304 단계).If there is a displacement change of the display panel, a displacement change amount is obtained (operation 3304).

이후, 변위 변화량을 보상하도록, 인가 펄스 즉, 전기적 신호의 레벨을 조정하고, 조정된 레벨을 갖는 펄스를 배선(2610, 2620)과 외부 전극(300)을 통해 내부 전극(IE1, IE2)으로 공급한다(제3306 단계). 따라서, 제1 음향 신호의 왜곡이 보상될 수 있다.Thereafter, the level of the applied pulse, that is, the electric signal is adjusted so as to compensate for the displacement variation, and a pulse having the adjusted level is supplied to the internal electrodes IE1 and IE2 through the wirings 2610 and 2620 and the external electrode 300 (Operation 3306). Thus, the distortion of the first acoustic signal can be compensated.

전술한 실시 예에 의한 압전 모듈은 스피커 또는 수신기 중 적어도 하나를 갖는 다양한 기기에 응용될 수 있다. 예를 들어, 실시 예에 의한 압전 모듈은 모바일 전화, 멀티미디어 인터넷 휴대 전화, 무선 장치, 스마트 폰, 블루투스 장치, 휴대 정보 단말기(PDA), 휴대용 컴퓨터, 넷북(netbook), 노트북, 스마트북, 테블릿(tablets), 자동차용 디스플레이 장치(주행계 및 속도계 포함), 조종석 제어 장치나 디스플레이 장치 등의 전자 기기에 포함될 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.The piezoelectric module according to the above-described embodiment can be applied to various devices having at least one of a speaker and a receiver. For example, the piezoelectric module according to an embodiment may be used in various applications such as mobile phones, multimedia Internet mobile phones, wireless devices, smart phones, Bluetooth devices, PDAs, portable computers, netbooks, a display device (including a traveling system and a speedometer), a cockpit control device, a display device, and the like, but the embodiment is not limited thereto.

도 17a는 기존의 휴대 전화(4000A)의 외관 사시도를 개략적으로 나타내고, 도 17b는 실시 예에 의한 휴대 전화(4000B)의 외관 사시도를 나타낸다.Fig. 17A schematically shows an external perspective view of a conventional cellular phone 4000A, and Fig. 17B shows an external perspective view of the cellular phone 4000B according to the embodiment.

도 17a에 도시된 기존의 휴대 전화(4000A)는 제1 음향신호를 전달하기 위한 스피커(4100)와 제2 음향 신호를 외부로부터 전달받기 위한 수신기(4200)를 갖는다. 따라서, 기존의 휴대 전화(4000A)는 스피커(4100)와 수신기(4200)를 위한 홀을 마련해야 한다. 특히, 수신기(4200)가 베젤에 배치될 경우, 휴대 전화(4000A)는 베젤을 반드시 요구하는 등, 설계의 자유도가 제한되는 문제점이 있다.The conventional cellular phone 4000A shown in Fig. 17A has a speaker 4100 for transmitting a first sound signal and a receiver 4200 for receiving a second sound signal from the outside. Therefore, the existing cellular phone 4000A must provide a hole for the speaker 4100 and the receiver 4200. [ Particularly, when the receiver 4200 is disposed on the bezel, the cellular phone 4000A necessarily requires a bezel, which limits the degree of freedom of design.

반면에, 실시 예에 의한 휴대 전화(4000B)는 압전 소자(1000)를 이용하여 제1 음향신호(4300)를 전달하거나, 제2 음향신호(4300)를 전달받을 수 있으므로, 도 17a에 도시된 스피커(4100)나 수신기(4200)를 위한 홀이 필요없게 된다. 따라서, 베젤의 폭을 줄여 휴대 전화(4000B)의 디스플레이 면의 거의 전체를 디스플레이 표시 영역이 차지할 수 있도록 구현하는 등 기존보다 설계의 자유도가 높으면서 고출력의 스피커를 구현할 수 있다.On the other hand, since the cellular phone 4000B according to the embodiment can transmit the first sound signal 4300 or receive the second sound signal 4300 using the piezoelectric element 1000, Holes for the speaker 4100 and the receiver 4200 become unnecessary. Accordingly, by reducing the width of the bezel, the display display area can occupy almost the entire display surface of the cellular phone 4000B, thereby realizing a high-output speaker with high design freedom.

특히 휴대 전화(4000B)의 경우, 내부 공간이 협소하다. 홀을 제거하는 경우, 디스플레이부를 진동판으로 사용해야 하며, 진동소자 또한 얇은 형태로 부착되어야 하며, 따라서 평판형태의 압전 소자가 필요하다. 기존 홀에 사용되던 스피커의 진동판과, 진동판의 역할을 하는 디스플레이의 강성, 탄성 또는 질량 등 중 적어도 하나가 상이하며, 디스플레이는 기존 진동판에 비해 상대적으로 진동을 발생시키기 위해서는 더 많은 진동력이 필요하다.Particularly, in the case of the cellular phone 4000B, the internal space is narrow. In the case of removing the holes, the display portion should be used as a diaphragm, and the vibrating element should also be attached in a thin form, and thus a plate-shaped piezoelectric element is required. At least one of the diaphragm of the speaker used in the existing hall and the rigidity, the elasticity or the mass of the display serving as the diaphragm are different, and the display requires more vibrational force in order to generate vibration relative to the conventional diaphragm .

이상에서 실시 예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

10, 1000, 1400, 1410, 1420, 1900: 압전 소자 20, 200: 내부 전극
30, 100: 압전부 120: 제1 접착층
300: 외부 전극 310: 제1 외부 전극
320: 제2 외부 전극 400: 보호부
410: 제1 보호부 420: 제2 보호부
1100: 커버 부재 1200A, 1200B: 디스플레이부
1300: 제2 접착층 1500: 백 플레이트
1600: 진동판 1610: 제3 접착층
1700: 고정판 1800: 질량부
2000A, 2000B, 2000C: 압전 액츄에이터
2500: 구동 제어부 2610, 2620: 배선
3000: 압전 모듈 4000A, 4000B: 휴대 전화
4100: 스피커 4200: 수신기
10, 1000, 1400, 1410, 1420, 1900: piezoelectric element 20, 200: internal electrode
30, 100: piezoelectric part 120: first adhesive layer
300: external electrode 310: first external electrode
320: second external electrode 400: protective portion
410: first protection part 420: second protection part
1100: cover member 1200A, 1200B:
1300: second adhesive layer 1500: back plate
1600: diaphragm 1610: third adhesive layer
1700: Fixing plate 1800: Mass part
2000A, 2000B, 2000C: Piezoelectric actuators
2500: drive control section 2610, 2620: wiring
3000: Piezoelectric module 4000A, 4000B: Mobile phone
4100: speaker 4200: receiver

Claims (16)

높이, 상기 높이보다 큰 횡폭, 상기 횡폭보다 큰 종폭을 가지며, 판 형상을 갖는 압전부;
상기 압전부의 내부에 나란하게 배치되고, 종폭 방향으로 이격된 다수의 내부 전극;
상기 높이와 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 측면에 배치되는 외부전극; 및
상기 압전부와 상기 외부 전극을 덮는 보호부를 포함하고,
상기 압전부의 분극 방향과 종축 방향은 서로 일치하고,
상기 횡폭 및 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 일면을 통하여 음향신호를 전달하는 압전소자.
A piezoelectric part having a height, a lateral width larger than the height, and a longitudinal width larger than the lateral width, the piezoelectric part having a plate shape;
A plurality of internal electrodes arranged in parallel within the piezoelectric portion and spaced apart in the longitudinal direction;
An external electrode disposed on a side surface of the piezoelectric portion defined by the height and the vertical width; And
And a protective portion covering the piezoelectric portion and the external electrode,
The polarization direction and the longitudinal direction of the piezoelectric portion coincide with each other,
Wherein the acoustic signal is transmitted through one surface of the piezoelectric portion defined by the lateral width and the vertical width.
제1 항에 있어서, 상기 외부 전극은
상기 압전부의 상기 측면 중 일측면에 배치되는 제1 외부 전극; 및
상기 압전부의 상기 측면 중 상기 일측면과 반대되는 타측면에 배치되는 제2 외부 전극을 포함하는 압전 소자.
2. The plasma display panel as claimed in claim 1,
A first external electrode disposed on one side of the side surface of the piezoelectric portion; And
And a second external electrode disposed on the other side of the side surface of the piezoelectric portion opposite to the one side surface.
제2 항에 있어서, 상기 다수의 내부 전극은
상기 압전부의 상기 종축 방향으로 이격되어 상호 교호적으로 반복하여 배치되는 제1 내부전극 및 제2 내부전극을 포함하고,
상기 제1 및 제2 내부 전극 각각의 횡축 방향으로의 길이는 상기 횡폭보다 작으며,
상기 제1 내부 전극은 상기 압전부의 상기 일측면에 노출되어 상기 제1 외부 전극과 전기적으로 연결되고,
상기 제2 내부 전극은 상기 압전부의 상기 타측면에 노출되어, 상기 제2 외부 전극과 전기적으로 연결되는 압전 소자.
3. The plasma display panel of claim 2, wherein the plurality of internal electrodes
A first internal electrode and a second internal electrode which are mutually alternately and repeatedly arranged apart from each other in the longitudinal direction of the piezoelectric portion,
The length in the direction of the transverse axis of each of the first and second internal electrodes is smaller than the width,
The first internal electrode is exposed to the one side surface of the piezoelectric portion and is electrically connected to the first external electrode,
And the second internal electrode is exposed to the other side surface of the piezoelectric portion and is electrically connected to the second external electrode.
제3 항에 있어서, 상기 압전부는
상기 분극 방향으로 적층되며, 각각이 상기 다수의 내부 전극을 포함하며 세라믹계 압전 물질을 포함하는 복수의 단위 블럭; 및
상기 복수의 단위 블럭 중 서로 인접하는 단위 블럭을 접착시키는 제1 접착층을 포함하는 압전 소자.
The piezoelectric device according to claim 3, wherein the piezoelectric portion
A plurality of unit blocks stacked in the polarization direction, each of the unit blocks including the plurality of internal electrodes and including a ceramic piezoelectric material; And
And a first adhesive layer for bonding adjacent unit blocks among the plurality of unit blocks.
제4 항에 있어서, 상기 복수의 단위 블럭 각각은
상기 다수의 내부 전극 중 상기 제1 접착층과 가장 인접한 내부 전극과 상기 제1 접착층 사이에 배치된 더미부; 및
상기 제1 및 제2 내부 전극 사이에 배치된 분극부를 포함하는 압전 소자.
5. The apparatus of claim 4, wherein each of the plurality of unit blocks
A dummy portion disposed between the inner electrode closest to the first adhesive layer and the first adhesive layer among the plurality of inner electrodes; And
And a polarized portion disposed between the first and second internal electrodes.
제5 항에 있어서, 상기 다수의 내부 전극은
상기 압전부의 상기 타측면에 노출되고, 상기 제1 내부 전극과 이격되며, 상기 제1 내부 전극과 동일선 상에 배치된 제1 더미 전극; 및
상기 압전부의 상기 일측면에 노출되고, 상기 제2 내부 전극과 이격되며, 상기 제2 내부 전극과 동일선 상에 배치된 제2 더미 전극을 더 포함하는 압전 소자.
The method of claim 5, wherein the plurality of internal electrodes
A first dummy electrode exposed on the other side of the piezoelectric portion, spaced apart from the first internal electrode, and arranged on the same line as the first internal electrode; And
And a second dummy electrode exposed on the one side surface of the piezoelectric portion and spaced apart from the second internal electrode and arranged on the same line as the second internal electrode.
제5 항 또는 제6 항에 있어서, 상기 다수의 내부 전극은
상기 더미부에서, 상기 압전부의 상기 일측면 및 상기 타측면에 각각 노출되며 서로 이격되어 동일선 상에 배치된 제3 및 제4 더미 전극을 더 포함하는 압전 소자.
The method as claimed in claim 5 or 6, wherein the plurality of inner electrodes
Further comprising third and fourth dummy electrodes disposed on the same and separated from each other on the one side surface and the other side surface of the piezoelectric portion in the dummy portion.
제7 항에 있어서, 상기 횡축 방향으로, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 더미 전극 각각의 길이는 상기 내부 전극의 길이보다 작은 압전 소자.The piezoelectric element according to claim 7, wherein, in the transverse direction, the length of each of the first, second, third and fourth dummy electrodes is smaller than the length of the internal electrode. 제5 항에 있어서, 상기 종축 방향으로, 상기 제1 접착층의 길이는 상기 분극부의 길이보다 작고,
상기 종축 방향으로, 상기 더미부의 길이는 상기 분극부의 길이보다 작은 압전 소자.
6. The liquid crystal display according to claim 5, wherein, in the longitudinal axis direction, the length of the first adhesive layer is smaller than the length of the polarized portion,
And the length of the dummy portion is smaller than the length of the polarized portion in the longitudinal direction.
제9 항에 있어서, 상기 종축 방향으로 상기 제1 접착층의 길이는 0 내지 20 ㎛ 이하이고,
상기 종축 방향으로 상기 더미부의 길이는 10 ㎛ 내지 50 ㎛이고,
상기 종축 방향으로 상기 분극부의 길이는 20 ㎛ 내지 100 ㎛인 압전 소자.
The method according to claim 9, wherein the length of the first adhesive layer in the longitudinal direction is 0 to 20 mu m or less,
The length of the dummy portion in the direction of the longitudinal axis is 10 占 퐉 to 50 占 퐉,
And the length of the polarized portion in the longitudinal direction is 20 占 퐉 to 100 占 퐉.
제1 압전 소자;
상기 제1 압전 소자 위에 배치된 디스플레이부;
상기 제1 압전 소자와 상기 디스플레이부 사이에 배치된 제2 접착층; 및
상기 디스플레이부 위에 배치된 커버 부재를 포함하고,
상기 제1 압전 소자는
높이, 상기 높이보다 큰 횡폭, 상기 횡폭보다 큰 종폭을 가지며, 판 형상을 갖는 압전부;
상기 압전부의 내부에 나란하게 배치되고, 종폭 방향으로 이격된 다수의 내부 전극;
상기 높이와 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 측면에 배치되는 외부전극; 및
상기 압전부와 상기 외부 전극을 덮는 보호부를 포함하고,
상기 압전부의 분극 방향과 종축 방향은 서로 일치하고,
상기 횡폭 및 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 일면을 통하여 제1 음향신호를 전달하는 압전 액츄에이터.
A first piezoelectric element;
A display unit disposed on the first piezoelectric element;
A second adhesive layer disposed between the first piezoelectric element and the display portion; And
And a cover member disposed on the display unit,
The first piezoelectric element
A piezoelectric part having a height, a lateral width larger than the height, and a longitudinal width larger than the lateral width, the piezoelectric part having a plate shape;
A plurality of internal electrodes arranged in parallel within the piezoelectric portion and spaced apart in the longitudinal direction;
An external electrode disposed on a side surface of the piezoelectric portion defined by the height and the vertical width; And
And a protective portion covering the piezoelectric portion and the external electrode,
The polarization direction and the longitudinal direction of the piezoelectric portion coincide with each other,
Wherein the piezoelectric actuator transmits the first acoustic signal through one surface of the piezoelectric portion defined by the lateral width and the vertical width.
제11 항에 있어서, 제2 음향 신호에 응답하여 생성한 전기적 신호를 출력하는 제2 압전 소자를 더 포함하고,
상기 제2 압전 소자의 종축 방향과 분극 방향은 서로 교차하는 압전 액츄에이터.
12. The image pickup apparatus according to claim 11, further comprising a second piezoelectric element for outputting an electric signal generated in response to the second acoustic signal,
Wherein the longitudinal axis direction and the polarization direction of the second piezoelectric element cross each other.
제11 항에 있어서, 상기 제2 접착층과 상기 디스플레이부 사이에 배치되어 상기 디스플레이부를 보호하는 백 플레이트를 더 포함하는 압전 엑츄에이터.12. The piezoelectric actuator according to claim 11, further comprising a back plate disposed between the second adhesive layer and the display unit to protect the display unit. 제11 항에 있어서, 상기 압전 액츄에이터는
상기 압전 소자 아래에 배치된 진동판;
상기 진동판의 양단부 중 일단부의 아래에 배치되는 고정판; 및
상기 압전 소자와 상기 진동판을 접착시키는 제3 접착층을 더 포함하는 압전 엑츄에이터.
12. The piezoelectric actuator according to claim 11, wherein the piezoelectric actuator
A diaphragm disposed below the piezoelectric element;
A fixing plate disposed under one end of both ends of the diaphragm; And
And a third adhesive layer for bonding the piezoelectric element to the diaphragm.
제14 항에 있어서, 상기 진동판의 양단부 중 타단부의 아래에 배치되는 질량부를 더 포함하는 압전 엑츄에이터.15. The piezoelectric actuator according to claim 14, further comprising a mass portion disposed below the other end of both ends of the vibration plate. 압전 액츄에이터; 및
상기 압전 액츄에이터를 구동하는 구동 제어부를 포함하고,
상기 압전 액츄에이터는
압전 소자;
상기 압전 소자 위에 배치된 디스플레이부;
상기 압전 소자와 상기 디스플레이부 사이에 배치된 제2 접착층; 및
상기 디스플레이부 위에 배치된 커버 부재를 포함하고,
상기 압전 소자는
높이, 상기 높이보다 큰 횡폭, 상기 횡폭보다 큰 종폭을 가지며, 판 형상을 갖는 압전부;
상기 압전부의 내부에 나란하게 배치되고, 종폭 방향으로 이격된 다수의 내부 전극;
상기 높이와 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 측면에 배치되는 외부전극; 및
상기 압전부와 상기 외부 전극을 덮는 보호부를 포함하고,
상기 압전부의 분극 방향과 종축 방향은 서로 일치하고,
상기 횡폭 및 상기 종폭에 의해 정의되는 상기 압전부의 일면을 통하여 음향신호를 전달하는 압전 모듈.
Piezoelectric actuators; And
And a drive control section for driving the piezoelectric actuator,
The piezoelectric actuator
A piezoelectric element;
A display unit disposed on the piezoelectric element;
A second adhesive layer disposed between the piezoelectric element and the display unit; And
And a cover member disposed on the display unit,
The piezoelectric element
A piezoelectric part having a height, a lateral width larger than the height, and a longitudinal width larger than the lateral width, the piezoelectric part having a plate shape;
A plurality of internal electrodes arranged in parallel within the piezoelectric portion and spaced apart in the longitudinal direction;
An external electrode disposed on a side surface of the piezoelectric portion defined by the height and the vertical width; And
And a protective portion covering the piezoelectric portion and the external electrode,
The polarization direction and the longitudinal direction of the piezoelectric portion coincide with each other,
And transmits the acoustic signal through one surface of the piezoelectric portion defined by the lateral width and the vertical width.
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WO2021242519A1 (en) * 2020-05-29 2021-12-02 Qualcomm Incorporated Audio speaker and proximity sensor with piezoelectric polymer technology

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JP2012138505A (en) * 2010-12-27 2012-07-19 Taiyo Yuden Co Ltd Piezoelectric actuator

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