KR20190005009A - Gantry beam reinforced by carbon composite material and reinforced beam for process equipment - Google Patents

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KR20190005009A KR1020170085499A KR20170085499A KR20190005009A KR 20190005009 A KR20190005009 A KR 20190005009A KR 1020170085499 A KR1020170085499 A KR 1020170085499A KR 20170085499 A KR20170085499 A KR 20170085499A KR 20190005009 A KR20190005009 A KR 20190005009A
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Abstract

According to the present invention, a beam and a plurality of reinforcement plates made of thermal expansion coefficient of different materials are attached to be spaced from each other by a predetermined interval in the longitudinal direction of the beam. Accordingly, when heat deflection occurs in accordance with an increase or a decrease in temperature, if any one portion of a portion to which the reinforcement plates are attached and a portion to which the reinforcement plates are not attached is expanded, the other portion is contracted. Therefore, a convex part and a recessed part by the heat deflection are alternatively formed so that an average deflection rate can be minimized in case of heat deflection.

Description

공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔과 공정 장치용 보강 빔{Gantry beam reinforced by carbon composite material and reinforced beam for process equipment}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a carbon composite material reinforced by a gantry beam,

본 발명은 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔과 공정 장치용 보강 빔에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 탄소복합소재로 형성된 보강판들이 빔에 부착되어 강도가 보강된 갠트리 빔과 공정 장치용 보강 빔에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carbon composite material reinforced gantry beam for a processing apparatus and a reinforcing beam for a processing apparatus. More particularly, the present invention relates to a gantry beam having reinforced strength attached to a beam, .

일반적으로 갠트리 빔은 수평으로 길게 배치되고, 양측 지지대에 의해 지지되는 구조물이다. 상기 갠트리 빔은, CVD(Chemical vapor deposition) 공정, 디스플레이나 반도체 제조 공정, 3D 프린터 공정 등에서 사용되는 공정 장치에 적용된다. In general, gantry beams are horizontally long and supported by both side supports. The gantry beam is applied to a process apparatus used in a CVD (Chemical Vapor Deposition) process, a display, a semiconductor manufacturing process, a 3D printer process, and the like.

도 1은 종래 기술에 따른 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔의 열변형 상태를 나타낸 평면도이다.1 is a plan view showing a thermal deformation state of a carbon composite material reinforced gantry beam for a process apparatus according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래의 갠트리 빔(1)은, 알루미늄 소재로 형성된 빔(2)과, 상기 빔(2)의 길이에 대응되는 길이로 길게 형성되어 상기 빔(2)의 측면에 부착되는 CFRP(carbon fiber reinforced plastic) 보강판(4)을 포함한다. 상기 CFRP 보강판(4)은 상기 빔(2)의 강성을 증가시켜 처짐량을 감소시키고 고유진동수를 증가시키는 역할을 한다. 상기 빔(2)의 고유진동수가 증가하면 갠트리 빔의 운전 중 가속/감속/정지 시에 상기 빔(2)의 저진동수(low frequency) 출렁거림을 억제하는 효과가 있다. 이로 인하여 공정 장비의 위치 안정화 시간을 단축시켜 장비의 생산성을 높일 수 있다.1, a conventional gantry beam 1 comprises a beam 2 made of an aluminum material and a plurality of gantry beams 2, which are elongated in length corresponding to the length of the beam 2 and are attached to the side of the beam 2 And a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) reinforcing plate 4. The CFRP reinforcing plate 4 increases rigidity of the beam 2 to reduce deflection and increase natural frequency. When the natural frequency of the beam 2 increases, there is an effect of suppressing low frequency oscillation of the beam 2 during acceleration / deceleration / stop of the operation of the gantry beam. This can shorten the position stabilization time of the process equipment and increase the productivity of the equipment.

그러나, 종래의 갠트리 빔(1)은, 알루미늄과 CFRP간의 열팽창 계수의 차이로 인해, 제조 후 운송시나 공정 장치가 설치된 공장 환경 내 주변온도가 일정 온도 이상 상승할 때는 상기 갠트리 빔(1)의 하면(1a)이 일방향(y)으로 볼록하게 변형되고, 온도가 일정 온도 이상 하강할 때는 상기 하면(1a)이 타방향(-y)으로 오목하게 변형되는 현상이 발생된다. However, in the conventional gantry beam 1, due to the difference in thermal expansion coefficient between aluminum and CFRP, when the ambient temperature in the factory environment in which the manufacturing equipment or the process equipment is installed is increased beyond a certain temperature, When the temperature is lowered by a predetermined temperature or more, the lower surface 1a is concavely deformed in the other direction (-y).

이러한 현상은, 상기 CFRP 보강판(4)이 상기 빔(2)의 길이방향의 변화를 억제시키기 때문에 일어나며, 이러한 변형으로 인해 공정 장치의 정밀도가 저하될 수 있고, 안정성이 저하되는 문제점이 있다.This phenomenon occurs because the CFRP stiffening plate 4 suppresses a change in the longitudinal direction of the beam 2, and the deformation can degrade the accuracy of the processing apparatus and degrade the stability.

또한, 공정에 사용되는 디스플레이의 크기가 커질수록 상기 갠트리 빔(1)의 길이도 길게 제조되는 바, 일방향으로만 오목 또는 볼록하게 변형될 경우에는 상기 갠트리 빔(1)의 길이가 길수록 열변형량이 증가되는 문제점이 있다. In addition, as the size of the display used in the process increases, the length of the gantry beam 1 is also increased. When the gantry beam 1 is deformed concavely or convexly in one direction, There is an increased problem.

상기 CFRP 보강판(4)을 상기 빔(2)의 대향면에 대칭적으로 부착하여 열변형을 억제할 수 있으나, 상기 빔(2)의 한 쪽 면에는 리니어 모터나 리니어 모션 가이드 레일 등이 부착되어야 하므로 상기 CFRP 보강판(4)을 대칭적으로 부착할 수 없는 경우가 많다. 따라서 상기 CFRP 보강판(4)을 상기 빔(2)의 일면에만 부착하면서도 열변형을 억제할 수 있는 기술의 필요성이 대두되었다. The CFRP reinforcing plate 4 can be symmetrically attached to the opposing face of the beam 2 to suppress thermal deformation. However, a linear motor, a linear motion guide rail, or the like is attached to one side of the beam 2 The CFRP reinforcing plate 4 can not be symmetrically attached in many cases. Therefore, there is a need for a technique capable of restraining thermal deformation while attaching the CFRP reinforcing plate 4 to only one side of the beam 2.

한국공개특허 10-2008-0086093Korean Patent Publication No. 10-2008-0086093

본 발명의 목적은, 주변 온도 변화에 따른 빔의 열변형량을 최소화시킬 수 있는 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔과 공정 장치용 보강 빔을 제공하는 데 있다. It is an object of the present invention to provide a carbon composite material reinforced gantry beam for a process apparatus and a reinforcing beam for a processing apparatus capable of minimizing thermal deformation amount of a beam according to an ambient temperature change.

본 발명에 따른 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔은, 빔과; 상기 빔과 열팽창 계수가 다른 탄소복합소재로 형성되고, 상기 빔의 일측면에서 상기 빔의 길이방향을 따라 미리 설정된 설정간격으로 이격된 위치에 각각 부착되어, 온도 상승으로 인한 열변형 발생시 상기 부착된 부분이 일방향으로 팽창되어 볼록부를 형성하면, 상기 부착된 부분들 사이의 나머지 부분들은 반대방향으로 팽창되어 오목부를 형성하여, 상기 볼록부와 상기 오목부가 상기 빔의 길이방향을 따라 교대로 반복적으로 형성되도록 하는 복수의 보강판들을 포함한다.A carbon composite material reinforced gantry beam for a process apparatus according to the present invention comprises: a beam; The beam is formed of a carbon composite material having a thermal expansion coefficient different from that of the beam and is attached to a position spaced apart from the one side of the beam by a preset interval along the longitudinal direction of the beam, When the portion is expanded in one direction to form a convex portion, the remaining portions between the attached portions are expanded in opposite directions to form a concave portion so that the convex portion and the concave portion are repeatedly formed alternately along the longitudinal direction of the beam And a plurality of reinforcing plates for allowing the reinforcing plate.

본 발명에 따른 공정 장치용 보강 빔은, 제1열팽창 계수를 갖는 소재로 형성된 빔과; 상기 제1열팽창 계수와 다른 제2열팽창 계수를 갖는 소재로 형성되고, 상기 빔의 일측면에서 상기 빔의 길이방향을 따라 미리 설정된 설정간격으로 이격된 위치에 각각 부착되어, 온도 상승으로 인한 열변형 발생시 상기 부착된 부분이 일방향으로 팽창되어 볼록부를 형성하면, 상기 부착된 부분들 사이의 부분들은 반대방향으로 팽창되어 오목부를 형성하여, 상기 볼록부와 상기 오목부가 상기 빔의 길이방향을 따라 교대로 반복적으로 형성되도록 하는 복수의 보강판들을 포함한다.A reinforcing beam for a processing apparatus according to the present invention comprises: a beam formed of a material having a first thermal expansion coefficient; And a second thermal expansion coefficient which is different from the first thermal expansion coefficient and is attached to a position spaced apart from the one side of the beam by a predetermined interval along the longitudinal direction of the beam, When the attached portion expands in one direction to form a convex portion, the portions between the attached portions are expanded in opposite directions to form a concave portion so that the convex portion and the concave portion are alternately arranged in the longitudinal direction of the beam And a plurality of reinforcing plates which are formed to be repeatedly formed.

본 발명의 다른 측면에 따른 공정 장치용 보강 빔은,제1열팽창 계수를 갖는 소재로 형성된 빔과; 상기 제1열팽창 계수와 다르고, 적어도 2개가 서로 다른 열팽창 계수를 갖는 소재로 형성되고, 상기 빔의 일측면에서 상기 빔의 길이방향을 따라 미리 설정된 설정간격으로 이격된 위치에 각각 부착되어, 온도 상승으로 인한 열변형 발생시 상기 부착된 부분이 일방향으로 팽창되어 볼록부를 형성하면, 상기 부착된 부분들 사이의 부분들은 반대방향으로 팽창되어 오목부를 형성하여, 상기 볼록부와 상기 오목부가 상기 빔의 길이방향을 따라 교대로 반복적으로 형성되도록 하는 복수의 보강판들을 포함한다.According to another aspect of the present invention, a reinforcing beam for a processing apparatus comprises: a beam formed of a material having a first thermal expansion coefficient; And at least two of them are formed of a material having a different coefficient of thermal expansion and are respectively attached to a position spaced apart from the one side of the beam by a preset interval along the longitudinal direction of the beam, The portions between the attached portions are expanded in opposite directions to form a concave portion so that the convex portion and the concave portion are formed in the longitudinal direction of the beam And a plurality of reinforcing plates which are alternately and repeatedly formed.

본 발명은, 빔과 열팽창 계수가 다른 소재로 형성된 복수의 보강판들이 상기 빔의 길이방향을 따라 소정 간격 이격되게 부착됨으로써, 온도 상승이나 온도 하강에 따른 열변형 발생시 상기 보강판들이 부착된 부분과 상기 보강판들이 부착되지 않는 부분들 중 어느 하나가 팽창 변형하면 다른 하나는 수축 변형하기 때문에, 열변형에 의한 볼록부와 오목부가 교대로 형성되어, 열변형량을 최소화시킬 수 있는 이점이 있다. A plurality of reinforcing plates formed of a material having a different coefficient of thermal expansion from a beam are attached to the beam with a predetermined spacing along the longitudinal direction of the beam so that when a thermal deformation occurs due to temperature rise or temperature drop, When one of the portions to which the reinforcing plates are not adhered is expanded and deformed, the other is contracted and deformed. Therefore, the convex portion and the concave portion due to thermal deformation are alternately formed, and the amount of thermal deformation can be minimized.

도 1은 종래 기술에 따른 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔의 열변형 상태를 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔을 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔과 비교예들에 대한 열변형 해석 자료이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔의 열변형 해석 자료이다. 1 is a plan view showing a thermal deformation state of a carbon composite material reinforced gantry beam for a process apparatus according to the prior art.
2 is a perspective view illustrating a carbon composite material reinforced gantry beam for a process apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a thermal deformation analysis data of a carbon composite material reinforced gantry beam for a process apparatus and comparative examples according to an embodiment of the present invention.
4 is a thermal deformation analysis data of a carbon composite material reinforced gantry beam for a processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 설명하면, 다음과 같다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔을 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view illustrating a carbon composite material reinforced gantry beam for a process apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 CFRP 보강 갠트리 빔(10)은, 빔(12)과 보강판들(20)(30)을 포함한다.Referring to FIG. 2, a CFRP-enhanced gantry beam 10 according to an embodiment of the present invention includes a beam 12 and gussets 20, 30.

상기 빔(12)은, 갠트리 장치에 구비되고 수평으로 길게 배치되어 지지대들(미도시)에 의해 지지되도록 형성된다. 다만, 이에 한정되지 않고, 상기 빔(12)은 갠트리 장치 외에 다른 공정 장치에 사용되는 빔에도 적용 가능하다. The beam 12 is provided in the gantry apparatus and is horizontally arranged to be supported by supports (not shown). However, the present invention is not limited to this, and the beam 12 can be applied to a beam used in a processing apparatus other than a gantry apparatus.

상기 빔(12)은 금속 소재로 형성된다. 본 실시예에서는 상기 빔(12)은, 알루미늄으로 압출 성형된 것으로 예를 들어 설명한다. The beam 12 is formed of a metal material. In the present embodiment, the beam 12 is formed by extrusion molding with aluminum, for example.

상기 빔(12)은 전체가 동일한 소재로 형성되는 것도 가능하고, 서로 다른 소재들로 형성되는 것도 물론 가능하다. 또한, 상기 빔(12)이 열팽창계수가 서로 다른 소재들로 형성될 수 있다. 상기 빔(12)이 열팽창계수가 다른 소재들로 형성될 경우,이하 상기 빔(12)의 열팽창 계수는 각 소재들의 열팽창계수의 평균값으로 설명한다. 상기 빔(12)이 길이 방향(X)으로 일정 구간마다 열팽창 계수가 다른 소재로 형성될 경우, 이에 따라 각 구간마다 후술하는 보강판들의 열팽창 계수를 다르게 설정할 수 있다. The beam 12 may be formed of the same material or may be formed of different materials. Also, the beam 12 may be formed of materials having different thermal expansion coefficients. When the beam 12 is formed of materials having different thermal expansion coefficients, the thermal expansion coefficient of the beam 12 will be described as an average value of thermal expansion coefficients of the respective materials. When the beam 12 is formed of a material having a different thermal expansion coefficient in a certain section in the longitudinal direction X, the coefficient of thermal expansion of the reinforcing plates described later may be set differently for each section.

상기 빔(12)의 내부는 비어있는 중공 형태이거나, 트러스 구조 등을 포함할 수 있다.The interior of the beam 12 may be hollow, hollow, trussed, or the like.

상기 보강판들(20)(30)은, 상기 빔(12)의 적어도 일측면에 부착되어 상기 빔(12)의 강도를 보강하는 역할을 한다. 상기 보강판들(20)(30)은 상기 빔(12)에 접착 등의 방법으로 부착되는 것도 가능하고, 볼트 결합 등으로 체결 고정되는 것도 가능하다.The reinforcing plates 20 and 30 are attached to at least one side surface of the beam 12 to reinforce the strength of the beam 12. The reinforcing plates 20 and 30 may be attached to the beam 12 by an adhesive or the like, or they may be fastened and fixed by bolting or the like.

상기 보강판들(20)(30)은, 상기 빔(12)과 열팽창 계수가 다른 소재로 형성된다. 상기 보강판들(20)(30)은, 탄소복합소재로 형성되며, 탄소섬유강화플라스틱(CFRP)으로 형성된 것으로 예를 들어 설명한다. 상기 탄소섬유강화플라스틱에 사용되는 섬유는, 일방향 연속섬유(unidirectional continuous fiber), 직물형 섬유(woven fiber) 등이 모두 가능하다. 또한, 성형성을 높인 LFPS(long fiber prepreg sheet)를 사용하여 제조한 CFRP 보강판도 사용 가능하다. The reinforcing plates 20 and 30 are formed of a material having a thermal expansion coefficient different from that of the beam 12. The reinforcing plates 20 and 30 are formed of a carbon composite material and formed of carbon fiber reinforced plastic (CFRP). The fiber used in the carbon fiber-reinforced plastic may be unidirectional continuous fiber, woven fiber, or the like. In addition, a CFRP reinforced plate manufactured using an LFPS (long fiber prepreg sheet) having increased formability can also be used.

상기 보강판들(20)(30)은, 상기 빔(12)의 전,후면 중 적어도 일면에 부착된 제1보강판들(20)과, 상기 빔(12)의 상,하측면 중 적어도 일면에 부착된 제2보강판들(30)을 포함한다.The reinforcing plates 20 and 30 may include first reinforcing plates 20 attached to at least one of the front and rear surfaces of the beam 12 and at least one of the upper and lower surfaces of the beam 12, And second gusset plates 30 attached to the second gussets.

상기 제1보강판들(20)은 복수개가 서로 동일한 소재로 형성되는 것도 가능하고, 적어도 2개는 서로 다른 소재로 형성되는 것도 물론 가능하다. 또한, 상기 제1보강판들(20)은 서로 동일한 열팽창계수를 갖는 소재로 형성되는 것도 가능하고, 적어도 2개는 서로 다른 열팽창계수를 갖는 소재로 형성되는 것도 물론 가능하다. 상기 제1보강판들(20)의 열팽창계수는 상기 빔(12)에 부착되는 부분의 열팽창계수에 따라 대응되게 설정될 수 있다. The plurality of first gussets 20 may be formed of the same material, and at least two of the first gussets 20 may be formed of different materials. Also, the first gussets 20 may be formed of a material having the same thermal expansion coefficient, and at least two of the first gussets 20 may be formed of a material having a different thermal expansion coefficient. The coefficient of thermal expansion of the first gussets 20 may be set correspondingly according to the coefficient of thermal expansion of the portion attached to the beam 12.

상기 제1보강판들(20)은, 상기 빔(12)의 후면에만 부착된 것으로 예를 들어 설명하나, 이에 한정되지 않고 전면에만 부착되거나 전,후면에 모두 부착되는 것도 물론 가능하다.The first gussets 20 are attached only to the rear surface of the beam 12, but the present invention is not limited thereto.

상기 제1보강판들(20)은, 상기 빔(12)의 길이방향(X)을 따라 미리 설정된 제1설정간격(d1)으로 이격된 위치에 복수개가 부착된다.A plurality of first gussets 20 are attached at positions spaced apart from each other by a first predetermined spacing d1 that is set along a longitudinal direction X of the beam 12.

상기 제1보강판들(20)은 홀수개로 이루어져, 상기 빔(12)의 길이방향(X)에 대한 중간 지점에 부착되는 제1중간 보강판(21)과, 상기 제1중간 보강판(21)을 중심으로 좌우 대칭을 이루도록 상기 제1중간 보강판(21)에서 상기 제1설정간격(d1)으로 이격되게 부착되는 복수의 제1사이드 보강판들(22)(23)을 포함한다.The first gussets 20 are formed in an odd number and are attached to a midpoint of the longitudinal direction X of the beam 12 and a first intermediate reinforcing plate 21 attached to the first intermediate reinforcing plate 21 And a plurality of first side reinforcing plates 22 and 23 attached to the first intermediate reinforcing plate 21 so as to be spaced apart from each other at the first predetermined spacing d1 so as to be symmetrical about the center of the first intermediate reinforcing plate 21.

상기 제1보강판들(20) 중 적어도 하나는 항상 상기 중간 지점에 부착되어야 한다. 상기 빔(12)의 중간 지점의 강성이 가장 취약하고 처짐이 가장 크게 발생하기 때문에, 상기 제1중간 보강판(21)은 상기 중간 지점에 부착되어야 한다. 상기 제1중간 보강판(21)은 상기 중간 지점에 부착되고, 상기 중간 지점을 중심으로 좌우 대칭을 이루도록 상기 제1사이드 보강판들(22)(23)이 부착되면, 보강판들의 개수는 홀수개가 된다.At least one of the first gussets 20 should always be attached to the intermediate point. Since the stiffness at the intermediate point of the beam 12 is the weakest and the deflection is greatest, the first intermediate stiffener 21 should be attached to the intermediate point. When the first side grommets 21 and 22 are attached to the intermediate point and the first side grommets 22 and 23 are attached symmetrically about the intermediate point, Dogs.

상기 제1사이드 보강판들(22)(23)은 2개인 것으로 예를 들어 설명하나, 상기 제1사이드 보강판들(22)(23)의 개수는 상기 빔(12)의 길이나 상기 제1보강판들(20)의 크기 등에 따라 설정될 수 있다.The number of the first side reinforcing plates 22 and 23 is two, but the number of the first side reinforcing plates 22 and 23 is equal to the length of the beam 12, The size of the reinforcing plates 20, and the like.

상기 제1설정간격(d1)은 서로 동일하게 설정된다. 다만, 상기 제1사이드 보강판들(22)(23)이 상기 빔(12)의 양단으로부터 이격된 거리(d11)는 상기 제1설정간격(d1)과 다르게 설정될 수 있다. The first setting intervals d1 are set to be equal to each other. However, the distance d11 of the first side gathers 22 and 23 spaced from both ends of the beam 12 may be set differently from the first setting gap d1.

본 실시예에서는, 상기 빔(12)의 양단으로부터 이격된 거리(d11)는 상기 제1설정간격(d1)보다 작게 설정된 것으로 예를 들어 설명한다.In the present embodiment, the distance d11 spaced from both ends of the beam 12 is set to be smaller than the first setting interval d1, for example.

상기 제2보강판들(30)은 복수개가 서로 동일한 소재로 형성되는 것도 가능하고, 적어도 2개는 서로 다른 소재로 형성되는 것도 물론 가능하다. 또한, 상기 제2보강판들(30)은 서로 동일한 열팽창계수를 갖는 소재로 형성되는 것도 가능하고, 적어도 2개는 서로 다른 열팽창계수를 갖는 소재로 형성되는 것도 물론 가능하다. 상기 제2보강판들(30)의 열팽창계수는 상기 빔(12)에 부착되는 부분의 열팽창계수에 따라 대응되게 설정될 수 있다. The plurality of second gussets 30 may be formed of the same material, and at least two of the second gussets 30 may be formed of different materials. Also, the second gussets 30 may be formed of a material having the same thermal expansion coefficient, and at least two of the second gussets 30 may be formed of a material having a different thermal expansion coefficient. The coefficient of thermal expansion of the second gussets 30 may be set corresponding to the coefficient of thermal expansion of the portion of the second gussets 30 attached to the beam 12.

상기 제2보강판들(30)은, 상기 빔(12)의 하측면에만 부착된 것으로 예를 들어 설명하나, 이에 한정되지 않고 상측면에만 부착되거나 상,하측면에 모두 부착되는 것도 물론 가능하다.The second gussets 30 are attached to only the lower side of the beam 12, but the present invention is not limited thereto. It is of course possible that the second gussets 30 are attached to only the upper side or both the upper and lower sides .

상기 제2보강판들(30)은, 상기 빔(12)의 길이방향(X)을 따라 미리 설정된 제2설정간격(d2)으로 이격된 위치에 복수개가 부착된다.A plurality of second gussets 30 are attached to the beam 12 at positions spaced apart from each other by a second predetermined distance d2 along the longitudinal direction X of the beam 12.

상기 제2보강판들(30)은 홀수개로 이루어져, 상기 빔(12)의 길이방향(X)에 대한 중간 지점에 부착되는 제2중간 보강판(31)과, 상기 제2중간 보강판(31)을 중심으로 좌우 대칭을 이루도록 상기 제2중간 보강판(31)에서 상기 제2설정간격(d2)으로 이격되게 부착되는 복수의 제2사이드 보강판들(32)(33)을 포함한다. The second reinforcing plates 30 are formed of an odd number and are attached to a middle point with respect to the longitudinal direction X of the beam 12 and a second intermediate reinforcing plate 31 attached to the second intermediate reinforcing plates 31 And a plurality of second side reinforcing plates 32 and 33 spaced apart from the second intermediate reinforcing plate 31 at the second predetermined spacing d2 so as to be laterally symmetrical with respect to the first intermediate reinforcing plate 31. [

상기 제2보강판들(30) 중 적어도 하나는 항상 상기 중간 지점에 부착되어야 한다. 상기 빔(12)의 중간 지점의 강성이 가장 취약하고 처짐이 가장 크게 발생하기 때문에, 상기 제2중간 보강판(31)은 상기 중간 지점에 부착되어야 한다. At least one of the second gussets 30 should always be attached to the intermediate point. Since the stiffness at the intermediate point of the beam 12 is the weakest and the deflection is the greatest, the second intermediate stiffener 31 must be attached to the intermediate point.

상기 제2사이드 보강판들(32)(33)은 2개인 것으로 예를 들어 설명하나, 상기 제2사이드 보강판들(32)(33)의 개수는 상기 빔(12)의 길이나 상기 제2보강판들(30)의 크기 등에 따라 설정될 수 있다. The number of the second side gluing plates 32 and 33 is two, but the number of the second side gluing plates 32 and 33 is equal to the length of the beam 12, The size of the reinforcing plates 30, and the like.

상기 제2설정간격(d2)은 서로 동일하게 설정된다. 다만, 상기 제2사이드 보강판들(32)(33)이 상기 빔(12)의 양단으로부터 이격된 거리(d12)는 상기 제2설정간격(d2)과 다르게 설정될 수 있다. 본 실시예에서는, 상기 빔(12)의 양단으로부터 이격된 거리(d12)는 상기 제2설정간격(d2)보다 작게 설정된 것으로 예를 들어 설명한다.The second setting intervals d2 are set to be equal to each other. The distance d12 of the second side grommets 32 and 33 spaced from both ends of the beam 12 may be set different from the second setting gap d2. In the present embodiment, the distance d12 spaced from both ends of the beam 12 is set to be smaller than the second setting interval d2, for example.

상기 제2보강판들(30)의 개수는 상기 제1보강판들(20)의 개수와 동일하다. 상기 제2보강판들(30)의 크기는 상기 제1보강판들(20)의 크기와 다르게 설정된 것으로 예를 들어 설명한다. 다만, 이에 한정되지 않고 동일한 크기를 사용하는 것도 물론 가능하다. 상기 제2보강판들(30)과 상기 제1보강판들(20)의 크기가 다를 경우, 상기 제1설정 간격(d1)과 상기 제2설정 간격(d2)은 다르게 된다. 그러나, 상기 제보강판들(30)과 상기 제1보강판들(20)의 크기가 다르더라도 상기 제2보강판들(30)의 각 중심과 상기 제1보강판들(20)이 각 중심은 전개도 상에서 동일 연장선상에 배치되도록 부착되어야 한다.The number of the second gussets 30 is equal to the number of the first gussets 20. The size of the second gussets 30 is set to be different from that of the first gussets 20, for example. However, the present invention is not limited to this, and it is of course possible to use the same size. When the sizes of the second gussets 30 and the first gussets 20 are different from each other, the first setting space d1 and the second setting space d2 are different from each other. However, even if the sizes of the first and second reinforcing plates 30 and 30 are different from each other, the center of each of the second reinforcing plates 30 and the center of each of the first reinforcing plates 20 They shall be so placed as to be placed on the same extension line on the exploded view.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔과 비교예들에 대한 열변형 해석 자료이다.3 is a thermal deformation analysis data of a carbon composite material reinforced gantry beam for a process apparatus and comparative examples according to an embodiment of the present invention.

도 3a는, 상기 빔(12)에 일체형 보강판(50)을 부착한 대조군(S1)의 열변형 해석 자료이고, 도 3b는 상기 빔(12)에 10개로 분할된 10분할 보강판들(60)을 서로 이격되지 않게 부착한 시료(S2)의 열변형 해석 자료이고, 도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 시료(S3)의 열변형 해석 자료이다. FIG. 3A is a thermal deformation analysis data of the control S1 in which the integrated reinforcing plate 50 is attached to the beam 12, and FIG. 3B is a graph showing thermal deformation analysis data of the 10 split reinforcing plates 60 FIG. 3C is a thermal deformation analysis data of the sample S3 according to the embodiment of the present invention. FIG.

도 3a를 참조하면, 분할되지 않고 상기 빔(12)의 길이방향으로 길게 형성된 종래의 일체형 보강판(50)을 부착한 대조군(S1)의 경우, 기준온도보다 온도가 상승하여 열변형 발생시 상기 빔(12)과 상기 일체형 보강판(50)의 열팽창 계수의 차이로 인해 일방향(y)으로만 팽창되는 것을 알 수 있다. 여기서, 기준온도는 제조시 온도를 의미한다. 상기 기준온도보다 온도가 하강하여 열변형 발생시 상기 빔(12)과 상기 일체형 보강판(50)의 열팽창 계수의 차이로 인해 상기 일방향(y)에 반대방향으로 수축된다. 즉, 상기 빔(12)은 온도가 상승 또는 하강함에 따라 열변형이 억제되지 못하고 일방향으로 변형이 발생한다. 3A, in the case of the control S1 in which a conventional integrated reinforcing plate 50, which is not divided and is formed long in the longitudinal direction of the beam 12, is attached, the temperature rises above the reference temperature, (Y) due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the reinforcing plate 12 and the integral reinforcing plate 50. [ Here, the reference temperature means a temperature at the time of production. And is contracted in the direction opposite to the one direction y due to the difference in thermal expansion coefficient between the beam 12 and the integrated gusset 50 when the thermal deformation occurs. That is, as the temperature of the beam 12 rises or falls, thermal deformation is not suppressed, and deformation occurs in one direction.

표 1은 다양한 시료들에 대한 열변형량과 고유진동수를 나타낸 해석결과이다.Table 1 shows the analysis results of thermal deformation and natural frequencies for various samples.

표 1을 참조하면, 상기 대조군(S1)의 경우, 1℃증가시 열변형량이 가장 큰 것을 알 수 있다. 열변형량은, 진직도(Straightness)와 편평도(Flatness)로 나타내고 있다.Referring to Table 1, in the case of the control group (S1), it can be seen that the thermal deformation is largest when the temperature is increased by 1 ° C. The amount of thermal deformation is expressed by straightness and flatness.

Figure pat00001
Figure pat00001

도 3b를 참조하면, 10개로 분할되지만 이격되지 않은 상기 10분할 보강판들(60)이 부착된 시료(S2)의 경우, 기준온도보다 온도가 상승하여 열변형 발생시 상기 빔(12)과 상기 일체형 보강판(50)의 열팽창 계수의 차이로 인해 일방향(y)으로만 팽창되는 것을 알 수 있다. 상기 기준온도보다 온도가 하강하여 열변형 발생시 상기 빔(12)과 상기 일체형 보강판(50)의 열팽창 계수의 차이로 인해 상기 일방향(y)에 반대방향으로 수축된다. 즉, 상기 시료(S2)의 열변형은 상기 대조군(S1)과 거의 동등하게 나타난다.Referring to FIG. 3B, in the case of the sample S2 having the 10-split reinforcing plates 60 divided into 10 but not separated, the temperature rises above the reference temperature, and the beam 12 and the integral type (Y) due to the difference in the coefficient of thermal expansion of the reinforcing plate (50). And is contracted in the direction opposite to the one direction y due to the difference in thermal expansion coefficient between the beam 12 and the integrated gusset 50 when the thermal deformation occurs. That is, the thermal deformation of the sample S2 appears almost the same as the control S1.

표 1을 참조하면, 상기 시료(S2)의 경우, 1℃증가시 열변형량은 상기 대조군(S1)보다는 낮게 나타나지만, 상기 빔(12)만을 사용하는 경우에 비해서는 여전히 높은 것을 알 수 있다. 또한, 보강판 부착의 주요 목적인 고유진동수 증가효과도 저감됨을 알 수 있다.Referring to Table 1, it can be seen that the thermal deformation amount of the sample S2 is lower than that of the control S1 when the temperature is increased by 1 ° C, but is still higher than the case of using only the beam 12. Also, it can be seen that the effect of increasing the natural frequency, which is the main purpose of attaching the reinforcing plate, is also reduced.

표 1에서 5개나 8개로 분할되는 시료도 분할만 되고 서로 이격되지 않은 경우에 해당하며, 1℃증가시 열변형량은 상기 대조군(S1)보다는 낮게 나타나지만, 상기 빔(12)만을 사용하는 경우에 비해서는 여전히 높은 것을 알 수 있다.The number of samples divided into five or eight in Table 1 corresponds to a case where the samples are divided and not separated from each other. The thermal deformation amount is increased when the temperature is increased by one degree Celsius than the control S1. However, Is still high.

도 4는 도 3c에 도시된 보강 갠트리 빔의 열변형 배율을 50000배 증가시켜 나타낸 자료이다. FIG. 4 is a graph showing the thermal deformation magnification of the reinforcing gantry beam shown in FIG. 3C increased by 50000 times.

도 3c 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따라 서로 이격되게 상기 제1중간 보강판(21)과 2개의 제1사이드 보강판(22)(23)을 부착한 시료(S3)의 경우, 상기 기준온도보다 온도가 상승하여 열변형 발생시 상기 제1중간 보강판(21)과 상기 제1사이드 보강판(22)(23)이 각각 부착된 부분은 일방향(y)으로 팽창되어 하면이 볼록부(A)를 형성하고, 상기 제1중간 보강판(21)과 상기 제1사이드 보강판(22)(23)이 부착되지 않는 나머지 부분들은 반대방향으로 팽창하여 하면이 오목부(B)를 형성한다. 상기 기준온도보다 온도가 하강하여 열변형 발생시 상기 제1중간 보강판(21)과 상기 제1사이드 보강판(22)(23)이 각각 부착된 부분은 일방향(y)과 반대방향으로 수축되어 하면이 오목부를 형성하고, 상기 제1중간 보강판(21)과 상기 제1사이드 보강판(22)(23)이 부착되지 않는 나머지 부분들은 상기 일방향(y)으로 수축하여 하면이 볼록하게 형성된다. 3C and FIG. 4, in the case of the sample S3 having the first intermediate reinforcing plate 21 and the two first side reinforcing plates 22, 23 attached thereto spaced apart from each other according to the present invention, A portion where the first intermediate reinforcing plate 21 and the first side reinforcing plates 22 and 23 are respectively attached is expanded in one direction y to form a convex portion A and the other portions where the first intermediate reinforcing plate 21 and the first side reinforcing plates 22 and 23 are not attached are expanded in opposite directions to form a concave portion B . The portions where the first intermediate reinforcing plate 21 and the first side reinforcing plates 22 and 23 are respectively attached are contracted in the direction opposite to the one direction y when the thermal deformation occurs due to the temperature lower than the reference temperature, And the remaining portions where the first intermediate reinforcing plate 21 and the first side reinforcing plates 22 and 23 are not attached are contracted in the one direction y to form a convex lower surface.

즉, 온도 상승으로 인한 열변형 발생시 상기 보강판(20)(30)이 부착된 부분이 일방향으로 팽창되어 볼록부를 형성하면, 상기 부착된 부분들 사이의 나머지 부분들은 반대방향으로 팽창되어 오목부를 형성하여, 상기 볼록부와 상기 오목부가 상기 빔의 길이방향을 따라 교대로 반복적으로 형성된다. 반대로 온도 하강으로 인한 열변형 발생시 상기 보강판(20)(30)이 부착된 부분은 수축되어 오목부를 형성하면, 상기 부착된 부분들 사이의 나머지 부분들은 반대방향으로 수축되어 볼록부를 형성한다. That is, when a thermal deformation due to a temperature rise occurs, a portion to which the reinforcing plate 20 or 30 is attached is expanded in one direction to form a convex portion, the remaining portions between the attached portions expand in opposite directions to form a concave portion So that the convex portion and the concave portion are repeatedly formed alternately along the longitudinal direction of the beam. On the contrary, when thermal deformation due to the temperature drop occurs, the portion to which the reinforcing plate 20 (30) is attached is contracted to form a concave portion, and the remaining portions between the attached portions are contracted in opposite directions to form convex portions.

상기와 같이, 상기 볼록부(A)와 상기 오목부(B)가 반복적으로 형성됨으로써, 상,하 양방향으로 팽창 또는 수축이 분배되기 때문에, 일방향(y)으로만 팽창 또는 수축하여 변형이 발생하는 경우에 비해 변형량이 훨씬 감소될 수 있다. As described above, since the convex portion A and the concave portion B are repeatedly formed, the expansion or contraction is distributed in both upward and downward directions, so that the deformation occurs due to expansion or contraction only in one direction y The deformation amount can be much reduced as compared with the case.

또한, 표 1을 참조하면, 상기 시료(S3)의 경우, 상기 볼록부(A)와 상기 오목부(B)에서 각각 1℃증가시 열변형량도 최소인 것을 알 수 있다. Referring to Table 1, in the case of the sample S3, it can be seen that the amount of thermal deformation at the convex portion (A) and the concave portion (B) is also minimized when the temperature is increased by 1 ° C.

또한, 표 1을 참조하면, 상기 시료(S3)의 경우, 1차 고유진동 모드에서 고유 진동수가 대조군(S1) 보다 더 증가한 것을 알 수 있다. 즉 1차 고유진동 모드에서 대조군(S1)의 고유진동수는 136.7이고, 시료(S3)의 고유진동수는 141.9임을 알 수 있다. 이러한 바람직한 결과가 얻어지는 이유는 본 발명 시료(S3)가 중간부 강성을 효과적으로 증가시킴과 동시에 보강판이 부착되지 않은 부분에서 질량이 감소하기 때문이다. 고유진동수가 증가하면 갠트리 빔의 운전 중 가속/감속/정지 시에 빔의 저진동수 출렁거림을 억제하여 위치 안정화 시간이 단축되므로 공정 장비의 생산성을 높일 수 있다.
Referring to Table 1, it can be seen that, in the case of the sample S3, the natural frequency is increased more than the control S1 in the first natural vibration mode. That is, in the first natural frequency mode, the natural frequency of the control S1 is 136.7 and the natural frequency of the sample S3 is 141.9. The reason why such a desirable result is obtained is that the sample S3 of the present invention effectively increases the intermediate stiffness and at the same time the mass decreases in the portion where the reinforcing plate is not adhered. As the natural frequency increases, the position stabilization time is shortened by suppressing the low vibration of the beam during acceleration / deceleration / stop during operation of the gantry beam, so the productivity of process equipment can be increased.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

12: 빔 20: 제1 보강판
21: 제1중간 보강판 22,23: 제1사이드 보강판
30: 제2 보강판 31: 제2중간 보강판
32,33: 제2사이드 보강판12: beam 20: first reinforcing plate
21: first intermediate reinforcing plate 22, 23: first side reinforcing plate
30: second reinforcing plate 31: second intermediate reinforcing plate
32, 33: second side reinforcing plate

Claims (10)

빔과;
상기 빔과 열팽창 계수가 다른 탄소복합소재로 형성되고, 상기 빔의 일측면에서 상기 빔의 길이방향을 따라 미리 설정된 설정간격으로 이격된 위치에 각각 부착되어, 온도 상승으로 인한 열변형 발생시 상기 부착된 부분이 일방향으로 팽창되어 볼록부를 형성하면, 상기 부착된 부분들 사이의 나머지 부분들은 반대방향으로 팽창되어 오목부를 형성하여, 상기 볼록부와 상기 오목부가 상기 빔의 길이방향을 따라 교대로 반복적으로 형성되도록 하는 복수의 보강판들을 포함하는 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔.A beam;
The beam is formed of a carbon composite material having a thermal expansion coefficient different from that of the beam and is attached to a position spaced apart from the one side of the beam by a preset interval along the longitudinal direction of the beam, When the portion is expanded in one direction to form a convex portion, the remaining portions between the attached portions are expanded in opposite directions to form a concave portion so that the convex portion and the concave portion are repeatedly formed alternately along the longitudinal direction of the beam A reinforced gantry beam of carbon composite material for process equipment comprising a plurality of gussets. 청구항 1에 있어서,
상기 보강판들은,
상기 빔의 길이방향에 대한 중간 지점에 부착되는 중간 보강판과,
상기 중간 보강판을 중심으로 좌우 대칭을 이루고, 상기 중간 보강판에서 상기 설정간격으로 이격되게 부착되는 복수의 사이드 보강판들을 포함하는 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔.The method according to claim 1,
The reinforcing plates,
An intermediate reinforcing plate attached to an intermediate point with respect to the longitudinal direction of the beam,
And a plurality of side reinforcement plates symmetrically formed around the intermediate reinforcement plate and attached to the intermediate reinforcement plate at a predetermined interval. 청구항 1에 있어서,
상기 보강판은,
상기 빔의 전,후면 중 적어도 일면에서 미리 설정된 제1설정간격으로 이격된 위치에 부착된 복수의 제1보강판들과,
상기 빔의 상,하면 중 적어도 일면에서 미리 설정된 제2설정간격으로 이격된 위치에 부착된 복수의 제2보강판들을 포함하는 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔.The method according to claim 1,
The reinforcing plate
A plurality of first gussets attached at positions spaced apart from each other by a predetermined first predetermined interval on at least one of the front and rear surfaces of the beam,
And a plurality of second gussets attached at positions spaced apart from each other by at least a predetermined second predetermined interval on at least one side of the upper and lower surfaces of the beam. 청구항 3에 있어서,
상기 복수의 제1보강판들의 각 중심과 상기 복수의 제2보강판들의 각 중심은 동일 연장선상에 배치되도록 부착되는 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔.The method of claim 3,
Wherein the center of each of the plurality of first gussets and the center of each of the plurality of second gussets are attached so as to be disposed on the same extension line. 청구항 4에 있어서,
상기 제1보강판과 상기 제2보강판은 서로 다른 크기로 형성된 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔.The method of claim 4,
Wherein the first reinforcing plate and the second reinforcing plate are formed in different sizes. 청구항 1에 있어서,
상기 보강판은 상기 빔의 양단으로부터 소정거리 이격된 위치에 부착되는 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔.The method according to claim 1,
Wherein the reinforcing plate is attached at a position spaced a predetermined distance from both ends of the beam. 청구항 1에 있어서,
상기 빔은 알루미늄 소재로 형성된 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔.The method according to claim 1,
The beam is a carbon composite reinforced gantry beam for a process unit formed of an aluminum material. 청구항 1에 있어서,
상기 탄소복합소재는 탄소섬유강화플라스틱소재(CFRP)를 포함하는 공정 장치용 탄소복합소재 보강 갠트리 빔.The method according to claim 1,
The carbon composite material is a carbon composite reinforced gantry beam for a process apparatus including a carbon fiber reinforced plastic material (CFRP). 제1열팽창 계수를 갖는 소재로 형성된 빔과;
상기 제1열팽창 계수와 다른 제2열팽창 계수를 갖는 소재로 형성되고, 상기 빔의 일측면에서 상기 빔의 길이방향을 따라 미리 설정된 설정간격으로 이격된 위치에 각각 부착되어, 온도 상승으로 인한 열변형 발생시 상기 부착된 부분이 일방향으로 팽창되어 볼록부를 형성하면, 상기 부착된 부분들 사이의 부분들은 반대방향으로 팽창되어 오목부를 형성하여, 상기 볼록부와 상기 오목부가 상기 빔의 길이방향을 따라 교대로 반복적으로 형성되도록 하는 복수의 보강판들을 포함하는 공정 장치용 보강 빔.A beam formed of a material having a first thermal expansion coefficient;
And a second thermal expansion coefficient which is different from the first thermal expansion coefficient and is attached to a position spaced apart from the one side of the beam by a predetermined interval along the longitudinal direction of the beam, When the attached portion expands in one direction to form a convex portion, the portions between the attached portions are expanded in opposite directions to form a concave portion so that the convex portion and the concave portion are alternately arranged in the longitudinal direction of the beam A reinforcing beam for a process apparatus comprising a plurality of gussets that are formed to be repeatedly formed. 제1열팽창 계수를 갖는 소재로 형성된 빔과;
상기 제1열팽창 계수와 다르고, 적어도 2개가 서로 다른 열팽창 계수를 갖는 소재로 형성되고, 상기 빔의 일측면에서 상기 빔의 길이방향을 따라 미리 설정된 설정간격으로 이격된 위치에 각각 부착되어, 온도 상승으로 인한 열변형 발생시 상기 부착된 부분이 일방향으로 팽창되어 볼록부를 형성하면, 상기 부착된 부분들 사이의 부분들은 반대방향으로 팽창되어 오목부를 형성하여, 상기 볼록부와 상기 오목부가 상기 빔의 길이방향을 따라 교대로 반복적으로 형성되도록 하는 복수의 보강판들을 포함하는 공정 장치용 보강 빔.A beam formed of a material having a first thermal expansion coefficient;
And at least two of them are formed of a material having a different coefficient of thermal expansion and are respectively attached to a position spaced apart from the one side of the beam by a preset interval along the longitudinal direction of the beam, The portions between the attached portions are expanded in opposite directions to form a concave portion so that the convex portion and the concave portion are formed in the longitudinal direction of the beam And a plurality of reinforcing plates that are alternately and repeatedly formed along the length of the reinforcing plate.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004006813A (en) * 2002-04-16 2004-01-08 Anelva Corp Electrostatic chuck susceptor and substrate processor
KR20080086093A (en) 2007-03-21 2008-09-25 정훈택 Stracture of rainforcing the beam for gantry machine
KR100986349B1 (en) * 2007-11-05 2010-10-08 현대자동차주식회사 End plater for fuel cells and method for manufacturing the same

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004006813A (en) * 2002-04-16 2004-01-08 Anelva Corp Electrostatic chuck susceptor and substrate processor
KR20080086093A (en) 2007-03-21 2008-09-25 정훈택 Stracture of rainforcing the beam for gantry machine
KR100986349B1 (en) * 2007-11-05 2010-10-08 현대자동차주식회사 End plater for fuel cells and method for manufacturing the same

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