KR20180119267A - Easy setup menu providing method for equipment operation guide - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 장비를 운영하는 과정에서 해당 장비가 초기화되거나 자재가 변경될 경우, 해당 장비 및 자재에 최적화할 수 있도록 해당 장비의 운영파라메터를 쉽게 변경할 수 있는 이지셋업메뉴(Easy setup menu)를 제공할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a method of providing an easy setup menu for an equipment operation guide, and more particularly, to a method of providing an easy setup menu for an equipment operation guide when the equipment is initialized or a material is changed during operation of the semiconductor equipment, It provides an easy setup menu that allows you to easily change operating parameters.
특히, 본 발명은 설정된 메뉴에 따라 순차적으로 운영파라메터를 입력하도록 함으로써, 초심자와 같은 비숙련자들이 해당 장비를 운영하더라도 숙련자가 운영하는 것과 동일 내지 유사한 수준의 일정한 수율을 확보할 수 있도록 하는 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법에 관한 것이다.Particularly, according to the present invention, operation parameters are sequentially input according to a set menu, so that even if a novice, such as a novice, operates the corresponding equipment, an equipment operation guide The present invention relates to a method of providing a setup menu for use with a mobile terminal.
대부분의 전자기기들은 2진 숫자(Binary digit, 0과 1)로 이루어진 기계어(Machine language)에 의해 동작이 된다.Most electronic devices are operated by a machine language consisting of binary digits (0 and 1).
이러한 기계어는 모든 프로그래밍 언어의 기본이 되는 것으로, 인스트럭션 포멧이라는 고유의 명령 형식에 의해 데이터의 입출력 명령, 수치 및 논리 연산 명령, 자료 이동 및 분기 명령 등을 수행하게 된다.Such a machine language is the basis of all programming languages, and it carries out data input / output instruction, numerical value and logic operation instruction, data movement and branch instruction by a unique instruction format called instruction format.
그러나, 기계어는 직관적으로 이해하기가 어렵기 때문에, 사람이 이해할 수 있는 수준의 프로그램을 기계어로 번역하고, 이를 이용하여 해당 장비를 운용하는 방법을 사용하게 된다.However, because machine language is difficult to understand intuitively, it translates a program that is understandable to a person into a machine language, and uses the method of operating the corresponding equipment by using it.
이와 같이 일반 사용자들이 컴퓨터 시스템 또는 프로그램에서 데이터 입력이나 동작을 제어하기 위하여 사용하는 명령어 또는 기법을 UI(User interface, 유저인터페이스)라고 한다.A command or a technique used by a general user to control data input or operation in a computer system or a program is called a UI (user interface).
결과적으로, 유저인터페이스는 기계어를 모르는 비숙련자 또는 일반인이라도 쉽게 전자기기를 이용할 수 있도록 하기 위한 것이다.As a result, the user interface is intended to make electronic devices readily available even to non-experts or ordinary persons who do not know the machine language.
최근에는, 주로 터치스크린 등을 이용한 GUI(Graphical User Interface)를 이용하여 해당 전자기기를 셋업(Setup)하거나 동작을 제어 및 운용하는 방법을 채택하고 있다.Recently, a method of setting up a corresponding electronic device or controlling and operating the electronic device using a GUI (Graphical User Interface) using a touch screen or the like has been adopted.
하기의 선행기술문헌은 현재 보편적으로 사용되는 유저인터페이스에 대한 예를 나타낸 것으로, 대한민국 공개특허공보 제10-2004-0044801호 '휴대폰 메뉴 설정방법'(이하, '선행기술1'이라 한다)은 사용자가 자신이 이용하는 휴대폰의 메뉴를 자신이 원하는 메뉴로 설정하여 사용하도록 하며, 휴대폰 재부팅시에도 자신이 설정된 메뉴가 휴대폰 메뉴로 설정될 수 있도록 한 것이다.The following prior art document shows an example of a user interface that is commonly used at present. Korean Patent Application Publication No. 10-2004-0044801, entitled " Method of setting a mobile phone menu " The user sets a menu of the mobile phone he / she uses to a desired menu, and allows the user to set the menu to the mobile phone menu even when the mobile phone is rebooted.
다시 말해, 선행기술1은 사용자가 자신에게 맞도록 메뉴를 세팅하고, 세팅된 메뉴가 지속적으로 유지될 수 있도록 함으로써, 전자기기(휴대폰)을 자신에게 최적화하여 사용할 수 있도록 한 것이다.In other words, the prior art 1 allows the user to set the menu to suit his / her needs and optimize the electronic device (cellular phone) by using the menu so that the set menu can be continuously maintained.
그리고, 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0009390호 '개인에 특화된 메뉴설정방법'(이하, '선행기술2'라 한다)은, 개인별로 선호하는 메뉴를 설정하여 사용자가 원하는 메뉴를 빠르고 편리하게 설정하여 사용할 수 있도록 한 것이다.Korean Patent Laid-Open No. 10-2008-0009390 'Personalized menu setting method' (hereinafter, referred to as 'prior art 2') sets a menu preferred for each individual person so that a user can quickly and conveniently So that it can be set and used.
한편, 앞서 살펴본 선행기술들은 모두 전자기기 자체를 이용하기 위한 메뉴에 관한 것으로, 개인적인 취향에 관한 설정이므로 특정한 방법에 구애될 필요는 없다.On the other hand, all of the prior arts mentioned above relate to a menu for using the electronic device itself, and it is not necessary to admit the specific method because it is related to a personal preference.
그러나, 제조설비 등과 같이 다른 제품을 제조하기 위한 전자기기의 경우에는, 메뉴의 설정방법에 따라 작업성 및 생산성이 달라진다는 점에서, 선행기술들과는 큰 차이가 있다.However, in the case of an electronic apparatus for manufacturing another product such as a manufacturing facility, there is a big difference from the prior art in that workability and productivity vary depending on the menu setting method.
특히, 반도체 장비와 같이 장비의 운용에 높은 전문성이 요구되는 경우, 장비의 운영을 위한 파라메터의 설정을 어떻게 하느냐에 따라 수율의 차이가 커지기 때문에 숙련자에 의존할 수밖에 없으며, 이로 인해 장비의 운용에 제약이 많다는 문제점이 있다.In particular, when high level of expertise is required for the operation of equipment, such as semiconductor equipment, the difference in yield is increased depending on how to set the parameters for operation of the equipment. Therefore, it is dependent on the expert. There are many problems.
또한, 부득이 한 이유로 초심자와 같은 비숙련자가 운영할 경우, 자재의 수율이 크게 저하되고, 이로 인해 제품의 생산성 및 신뢰성이 저하될 뿐만 아니라, 제품의 품질 및 가격 경쟁력 하락 등을 초래한다는 문제점이 있다.In addition, when unexperienced persons such as novices are operated by unavoidable reasons, the yield of the material is greatly lowered, resulting in a deterioration of the productivity and reliability of the product, and a deterioration in the quality and cost of the product .
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명은 반도체 장비를 운영하는 과정에서 해당 장비가 초기화되거나 자재가 변경될 경우, 해당 장비 및 자재에 최적화할 수 있도록 해당 장비의 운영파라메터를 쉽게 변경할 수 있는 이지셋업메뉴(Easy setup menu)를 제공할 수 있는 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법을 제공하는데 목적이 있다.In order to solve the above-described problems, the present invention provides a method and apparatus for easily changing operation parameters of a corresponding equipment so that the equipment can be optimized for the equipment and materials when the equipment is initialized or the material is changed in the process of operating the semiconductor equipment The present invention provides a method of providing an easy setup menu for an equipment operation guide capable of providing an easy setup menu.
한편, 앞서 살펴본 바와 같이 반도체 장비의 특성상 사용자의 숙련도에 의해 자재의 수율에 미치는 영향이 크기 때문에, 개인별 숙련도와 무관하게 일정한 수준의 수율을 확보할 필요가 있다.Meanwhile, as described above, since the characteristics of the semiconductor equipment have a large influence on the yield of the material due to the skill of the user, it is necessary to secure a certain level of yield irrespective of individual proficiency.
이에, 본 발명은 해당 장비별로 설정된 메뉴에 따라 순차적으로 운영파라메터를 입력하도록 함으로써, 초심자와 같은 비숙련자들이 해당 장비를 운영하더라도 숙련자가 운영하는 것과 동일 내지 유사한 수준의 일정한 수율을 확보할 수 있는 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법을 제공하는데 목적이 있다.Thus, according to the present invention, operating parameters are sequentially input according to a menu set for each equipment, so that even if a novice, such as a novice, operates the equipment, it is possible to obtain a constant yield of the same or similar level It is intended to provide a method of providing an easy setup menu for the operation guide.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법은, 반도체 장비의 제어모듈에서 실행되며, 운영파라메터를 설정하기 위한 셋업메뉴 제공 방법에 있어서, 해당 장비에서 작업될 자재에 대한 이지셋업(Easy setup)의 선택을 확인하는 이지셋업 확인단계; 확인된 이지셋업에 매칭되어 초심자용으로 설정된 순서에 따라 항목아이콘이 나열된 이지셋업메뉴창을 디스플레이하는 이지셋업메뉴창 디스플레이단계; 및 사용자에 의해 특정 항목아이콘이 선택되면, 해당 항목아이콘과 매칭된 파라메터입력창을 디스플레이하는 파라메터입력창 디스플레이단계;를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of providing an easy setup menu for an equipment operation guide, the method comprising the steps of: An easy setup confirmation step of confirming selection of an easy setup for a material to be processed; An easy setup menu window display step of displaying an easy setup menu window which is matched with the identified easy setup and in which the item icons are arranged in the order set for the beginner; And a parameter input window display step of displaying a parameter input window matched with the item icon when a specific item icon is selected by the user.
또한, 상기 이지셋업 확인단계는, 운영파라메터를 변경하고자 하는 자재에 대한 디바이스정보를 입력받는 디바이스정보 입력과정;을 포함하고, 상기 이지셋업메뉴창 디스플레이단계는, 상기 디바이스정보에 따라 설정된 자재별 운영파라메터 중 수동설정파라메터를 입력받기 위한 항목아이콘이 나열된 이지셋업메뉴창을 생성하며, 상기 파라메터입력창 디스플레이단계는, 상기 항목아이콘에 매칭된 수동설정파라메터를 입력받기 위한 파라메터입력창을 생성하는 입력창생성과정;을 포함할 수 있다.The method of claim 1, wherein the step of displaying an easy setup menu comprises the steps of: displaying an easy setup menu window including at least one of an operation parameter, Wherein the step of displaying the parameter input window includes a step of displaying an input window for generating a parameter input window for receiving a manual setting parameter matched with the item icon, And a generating process.
또한, 상기 이지셋업메뉴창 디스플레이단계는, 상기 디바이스정보에 대한 운영파라메터를 호출하는 파라메터호출과정; 상기 운영파라메터 중 수동설정파라메터를 확인하는 파라메터확인과정; 상기 수동설정파라메터의 입력순서를 확인하는 설정순서확인과정; 및 상기 설정순서에 기초하여 분류된 수동설정파라메터에 대한 항목아이콘이 나열된 이지셋업메뉴창을 생성하는 메뉴창생성과정;을 포함할 수 있다.Also, the step of displaying the easy setup menu window may include: a parameter calling step of calling an operating parameter for the device information; A parameter checking step of checking a manual setting parameter among the operating parameters; A setting sequence checking step of checking an input sequence of the manual setting parameter; And a menu window creation step of creating an easy setup menu window in which item icons for the manual setting parameters classified based on the setting order are listed.
또한, 상기 파라메터입력창 디스플레이단계는, 현재 항목아이콘과 매칭된 파라메터입력창에 입력된 운영파라메터에 대한 정당성을 확인하고, 해당 운영파라메터의 정당성이 인정되면, 설정된 순서에 따라 다음 항목아이콘에 매칭된 파라메터입력창을 디스플레이할 수 있다.In the displaying of the parameter input window, the validity of the operation parameter inputted in the parameter input window matched with the current item icon is confirmed. If the validity of the operation parameter is recognized, Parameter input window can be displayed.
또한, 상기 파라메터입력창 디스플레이단계는, 설정 순서에 따라 나열된 항목아이콘 중 최우선 항목아이콘은 선택이 가능하도록 활성화하고, 나머지 항목아이콘은 선택이 불가능하도록 비활성화한 상태에서, 활성화된 항목아이콘과 매칭된 파라메터입력창에 입력된 운영파라메터에 대한 정당성이 확인되면, 설정된 순서에 따라 다음 항목아이콘을 활성화하여 선택이 가능하도록 할 수 있다.In the parameter input window display step, the highest priority item icon among the item icons listed in the setting order is activated so as to be selectable, while the remaining item icons are deactivated so that selection is not possible, and the parameters matched with the activated item icon Once the validity of the operating parameters entered in the input window is confirmed, the next item icon can be activated in order to enable selection.
상기와 같은 해결수단에 의해, 본 발명은 반도체 장비를 운영하는 과정에서 해당 장비가 초기화되거나 자재가 변경될 경우, 해당 장비 및 자재에 최적화할 수 있도록 해당 장비의 운영파라메터를 쉽게 변경할 수 있는 이지셋업메뉴(Easy setup menu)를 제공할 수 있는 장점이 있다.According to the present invention, when the semiconductor device is initialized or the material is changed in the process of operating the semiconductor device, the present invention provides an easy setup method for easily changing operation parameters of the equipment, Menu (Easy setup menu) can be provided.
이를 통해, 본 발명은 초심자와 같은 비숙련자들이 해당 장비를 운영하더라도, 숙련자가 운영하는 것과 동일 내지 유사한 수준의 일정한 수율을 확보할 수 있는 장점이 있다.Accordingly, the present invention has an advantage that even if a novice, such as a novice, operates the equipments, a certain yield can be obtained at the same level as that operated by an expert.
특히, 본 발명은 장비별로 설정된 메뉴에 따라 순차적으로 운영파라메터를 입력하도록 함으로써, 장비별로 특화된 이지셋업메뉴를 제공할 수 있는 장점이 있다.In particular, the present invention has an advantage of providing an easy setup menu specialized for each equipment by sequentially inputting operational parameters according to a menu set for each equipment.
또한, 본 발명은 해당 장비에 최적화된 순서에 따라 장비의 운영파라메터를 입력함에 있어, 현재 단계에서의 모든 운영파라메터에 대한 정당성이 확인된 경우에 다음 단계로 이동할 수 있도록 함으로써, 운영파라메터에 대한 입력오류를 미연에 방지하는 장점이 있다.In addition, according to the present invention, when the operation parameters of the equipment are input according to the order optimized for the equipment, if the validity of all the operation parameters at the present stage is confirmed, the system can move to the next step, There is an advantage to prevent errors in advance.
이를 통해, 본 발명은 반도체 장비를 운영함에 있어, 체계적이고 효율적인 운영파라메터 설정 및 장비 운영이 가능하도록 하는 효과가 있다.Accordingly, the present invention has an effect of enabling systematic and efficient operation parameter setting and equipment operation in operating semiconductor equipment.
따라서, 반도체 분야 및 반도체 패키지 제조분야, 반도체 설비 제어 분야 및 반도체 설비용 인터페이스 분야는 물론, 이와 유사 내지 연관된 분야에서 신뢰성 및 경쟁력을 향상시킬 수 있다.Accordingly, reliability and competitiveness can be improved in the semiconductor field and the semiconductor package manufacturing field, the semiconductor facility control field, and the interface field for the semiconductor facility as well as the similar or related field.
도 1은 본 발명에 의한 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법의 일 실시예를 나타내는 흐름도이다.
도 2는 도 1의 각 단계별 일 실시예를 보다 구체적으로 나타내는 흐름도이다.
도 3은 도 1의 단계 'S100'에 대한 다른 일 실시예를 보다 구체적으로 나타내는 순서도이다.
도 4는 도 1의 단계 'S300'에 대한 다른 일 실시예를 보다 구체적으로 나타내는 순서도이다.1 is a flowchart illustrating an embodiment of an easy setup menu providing method for an apparatus operation guide according to the present invention.
FIG. 2 is a flowchart showing an embodiment of each step of FIG. 1 in more detail.
FIG. 3 is a flowchart showing another embodiment of step 'S100' of FIG. 1 in more detail.
FIG. 4 is a flow chart showing another embodiment of step S300 of FIG. 1 in more detail.
본 발명에 따른 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법에 대한 예는 다양하게 적용할 수 있으며, 이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 가장 바람직한 실시 예에 대해 설명하기로 한다.An example of a method of providing an easy setup menu for an equipment operation guide according to the present invention can be variously applied. In the following, the most preferred embodiments will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 의한 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법의 일 실시예를 나타내는 흐름도로서, 특히, 반도체 장비의 제어모듈 또는 제어장치(단말)에서 실행되며, 해당 장비의 운영파라메터를 설정하기 위한 셋업메뉴 제공 방법에 대하여 살펴보기로 한다.FIG. 1 is a flowchart illustrating an embodiment of an easy setup menu providing method for an equipment operation guide according to the present invention. Specifically, the flowchart is executed by a control module or a control device (terminal) of a semiconductor device, A method for providing a setup menu for a menu screen will be described.
도 1을 참조하면, 반도체 장비(설비)에 구성되는 제어모듈 또는 해당 장비와 연동되는 제어장치는, 이지셋업(Easy setup) 확인단계(S100), 이지셋업메뉴창 디스플레이단계(S200) 및 파라메터입력창 디스플레이단계(S300)를 수행하여, 비숙련자가 쉽게 해당 장비를 셋업할 수 있도록 한다.1, a control module included in a semiconductor device or a control device interlocked with the device includes an easy setup confirmation step S100, an easy setup menu window display step S200, and a parameter input A window display step (S300) is performed, so that a non-expert can easily set up the corresponding equipment.
구체적으로 살펴보면, 이지셋업 확인단계(S100)에서, 제어장치는 해당 장비에서 작업될 자재에 대한 이지셋업(Easy setup)의 선택을 확인할 수 있다.Specifically, in the easy setup confirmation step S100, the control device can confirm the selection of the easy setup for the material to be worked on the corresponding equipment.
예를 들어, 해당 장비에서 처리되는 자재의 종류가 변경될 경우, 사용자는 제어장치를 이용하여 자재의 변경을 선택하게 되고, 제어장치는 자재의 변경에 따른 작업메뉴를 디스플레이 한다.For example, when the kind of material processed in the equipment is changed, the user selects the change of the material using the control device, and the control device displays the operation menu corresponding to the change of the material.
이때, 제어장치는 일반적인 작업메뉴와 더불어 이지셋업을 진행하기 위한 아이콘을 동시에 디스플레이 할 수 있으며, 비숙련자인 사용자가 이지셋업 아이콘을 선택하면 이를 확인할 수 있다(S100).At this time, the control device can simultaneously display an icon for proceeding to an easy setup along with a general operation menu, and can confirm the selection of the easy setup icon by a user who is not skilled (S100).
이와 같이, 이지셋업 아이콘의 선택이 확인되면, 제어장치는 확인된 이지셋업에 매칭되어 초심자용으로 설정된 순서에 따라 항목아이콘이 나열된 이지셋업메뉴창을 디스플레이한다(S200). 예를 들어, 이지셋업은 새로운 자재의 설정, 현재 자재의 변경, 일부 운영파라메터의 변경 등에 따라 서로 다른 순서의 항목아이콘을 나열할 수 있다.When the selection of the easy setup icon is confirmed, the controller displays an easy setup menu window in which the item icons are listed in accordance with the order set for the beginner (S200). For example, an easy setup can list item icons in different orders depending on the setting of new materials, changes in current materials, and changes in some operating parameters.
이후, 사용자에 의해 특정 항목아이콘이 선택되면, 제어장치는 해당 항목아이콘과 매칭된 파라메터입력창을 디스플레이할 수 있다(S300).Thereafter, when a specific item icon is selected by the user, the control device can display a parameter input window matched with the corresponding item icon (S300).
이에, 사용자는 파라메터입력창에 원하는 운영파라메터를 입력하고, 각 단계별로 정당성에 대한 판단을 거칠 수 있으며, 정당성의 판단결과에 기초하여 정해진 순서에 따라 운영파라메터를 모두 입력할 수 있다. 여기서, 단계별 정당성은 해당 단계에서 입력된 운영파라메터가 정상범위 내의 값인지, 또는 각 운영파라메터의 상관관계에 오차가 발생하지 않는 지 등을 판단하는 것으로, 해당 반도체 장비의 동작을 제어하는 제어장치(또는 제어모듈)에 의해 수리적으로 판단되거나, 실제 동작(예를 들어, 초기화)을 통해 판단될 수 있다.Accordingly, the user can input a desired operation parameter into the parameter input window, judge the legitimacy of each step, and can input all the operation parameters according to the determined order based on the judgment result of the legitimacy. Here, the stepwise validity is determined by determining whether the operating parameter inputted in the step is within the normal range, or if there is no error in the correlation between the operating parameters, and the control device Or control module), or may be determined through actual operation (e.g., initialization).
도 2는 도 1의 각 단계별 일 실시예를 보다 구체적으로 나타내는 흐름도이다.FIG. 2 is a flowchart showing an embodiment of each step of FIG. 1 in more detail.
도 2를 참조하면, 반도체 장비를 운영하기 위한 제어장치는, 이지셋업 확인단계(S100)에서, 운영파라메터를 변경하고자 하는 자재에 대한 디바이스정보를 입력받는 디바이스정보 입력과정(S110)을 수행할 수 있다. 여기서, 디바이스정보는 해당 자재의 종류를 판별하기 위한 식별정보를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the control device for operating the semiconductor equipment can perform a device information input step (S110) of inputting device information on a material whose operation parameter is to be changed in an easy setup confirmation step (S100) have. Here, the device information may include identification information for identifying the type of the material.
사용자가 이지셋업메뉴를 실행한 후, 변경될 자재의 종류에 대한 식별정보를 입력하면, 제어장치는 입력된 식별정보를 확인하고 등록된 자재정보 중 해당 식별정보에 매칭된 자재의 물리적 정보를 확인할 수 있다(S120). 여기서, 물리적 정보는 디바이스정보에 포함되는 것으로, 자재의 크기, 형상, 패턴, 위치 등을 포함할 수 있으며, 해당 장비의 처리공정에 대응하여 다양하게 변경될 수 있음은 물론이다.After the user executes the easy setup menu and inputs identification information about the type of material to be changed, the control device confirms the input identification information and confirms the physical information of the material matched to the identification information in the registered material information (S120). Here, the physical information is included in the device information and may include a size, a shape, a pattern, a position, and the like of the material, and may be variously changed in accordance with the processing process of the equipment.
만약, 해당 자재가 등록되지 않은 자재인 경우, 제어장치는 변경될 자재에 대한 물리적 정보를 사용자에 의해 수동으로 입력받을 수 있다.If the material is not registered, the control device can manually input physical information about the material to be changed by the user.
이와 같이, 해당 자재에 대한 디바이스정보가 확인되면, 제어장치는 확인된 디바이스정보에 따라 설정된 자재별 운영파라메터를 입력받기 위한 항목아이콘이 나열된 이지셋업메뉴창을 생성할 수 있다.When the device information for the material is confirmed, the control device can generate an easy setup menu window in which item icons for receiving the set operating parameters of each material according to the confirmed device information are listed.
보다 구체적으로 살펴보면, 제어장치는 디바이스정보에 대한 운영파라메터를 호출할 수 있다(S210). 이때, 운영파라메터는 해당 자재를 처리하기 위한 반도체 장비의 각 구성들을 제어하기 위한 것으로, 각 구성들의 연동에 의해 자동으로 설정되는 파라메터(이하, '자동설정파라메터'라 한다)와 사용자에 의해 변경이 가능하도록 설정되는 파라메터(이하, '수동설정파라메터'라 한다)를 포함할 수 있다.More specifically, the control device may call an operation parameter for the device information (S210). In this case, the operating parameters are for controlling the respective configurations of the semiconductor equipment for processing the corresponding materials. The parameters are automatically set by the interlocking of the respective configurations (hereinafter, referred to as 'automatic setting parameters'), (Hereinafter, referred to as a " manual setting parameter ").
이에, 제어장치는 운영파라메터 중 수동설정파라메터를 확인하고(S220), 해당 반도체 장비 및 반도체 장비에서 처리되는 과정에 기초하여 설정된 수동설정파라메터의 입력순서를 확인할 수 있다(S230). 예를 들어, 해당 반도체 장비가 스퍼터링(Sputtering)을 위한 장비인 경우, 자재의 로딩, 스퍼터링 및 언로딩 순서에 따라, 각 구성의 제어를 위한 운영파라메터에 따라 수동설정파라메터의 입력순서가 설정될 수 있다.Then, the control device confirms the manual setting parameter of the operation parameters (S220), and confirms the input order of the manual setting parameters set based on the process performed in the semiconductor device and the semiconductor device (S230). For example, if the semiconductor device is a sputtering device, the order of inputting the manual setting parameters may be set according to the operational parameters for controlling each configuration, according to the order of loading, sputtering, and unloading of the materials have.
이와 같이, 수동설정파라메터의 입력순서가 확인되면, 제어장치는 설정순서에 기초하여 분류된 수동설정파라메터에 대한 항목아이콘이 나열된 이지셋업메뉴창을 생성할 수 있다(S240). 예를 들어, 해당 반도체 장비가 스퍼터링(Sputtering)을 위한 장비인 경우, 항목아이콘은 로딩과정, 스퍼티링과정 및 언로딩과정으로 분류할 수 있으며, 수동설정파라메터 또한 각 과정별로 분류되어 매칭될 수 있다.When the input order of the manual setting parameters is confirmed, the control device can generate an easy setup menu window in which the item icons for the manual setting parameters classified based on the setting order are listed (S240). For example, if the semiconductor device is a device for sputtering, the item icon may be classified as a loading process, a spanning process, and an unloading process. Also, the manual setting parameters may be classified and matched have.
이에, 제어장치는 항목아이콘에 매칭된 수동설정파라메터를 확인 한 후(S310), 확인된 수동설정입력파라메터를 입력받기 위한 파라메터입력창을 생성할 수 있다(S320).In operation S310, the control device confirms the manual setting parameter matched with the item icon, and generates a parameter input window for receiving the confirmed manual setting input parameter in operation S320.
따라서, 사용자는 이지셋업을 선택하면, 설정된 순서에 따라 이지셋업메뉴의 항목아이콘을 선택하여 수동설정입력파라메터를 입력할 수 있으므로, 운영파라메터 중 일부를 누락하거나 잘못입력하는 등의 실수를 하지 않고, 신속하고 정확하게 운영파라메터를 입력할 수 있으며, 이를 통해 해당 장비를 최적의 상태로 운영할 수 있다.Therefore, when the user selects the easy setup, the user can input the manual setting input parameter by selecting the item icon of the easy setup menu according to the set order. Therefore, the user can easily input the manual setting input parameter without making mistakes, Quick and accurate operation parameters can be entered, allowing the equipment to operate optimally.
도 3은 도 1의 단계 'S100'에 대한 다른 일 실시예를 보다 구체적으로 나타내는 순서도이다.FIG. 3 is a flowchart showing another embodiment of step 'S100' of FIG. 1 in more detail.
도 3을 참조하면, 해당 반도체 장비를 최초로 구동시키는 경우, 사용자가 해당 장비에 대한 이지셋업을 선택하고(S101), 새로운 디바이스의 추가메뉴를 선택하면(S102), 제어장치는 새로운 디바이스에 대한 정보를 입력할 수 있는 디바이스 시트를 생성하여 디스플레이할 수 있다(S103).Referring to FIG. 3, when the semiconductor device is driven for the first time, the user selects an easy setup for the device (S101) and selects a new device addition menu (S102) (S103). The device sheet can be displayed on the device sheet.
이에, 사용자가 디스플레이된 디바이스 시트에 해당 자재의 디바이스정보를 입력하면(S140), 제어장치는 입력된 디바이스정보에 따라 도 1에 나타난 이지셋업메뉴창 디스플레이단계(S200)를 수행할 수 있다.If the user inputs the device information of the corresponding material in the displayed device sheet (S140), the control device can perform the step S200 of displaying the easy setup menu window shown in FIG. 1 according to the input device information.
만약, 해당 반도체 장비를 운영하는 과정에서, 기존의 자재를 다른 자재로 변경하고자 하는 경우(S105), 제어장치는 디바이스 시트를 변경할 수 있도록 디스플레이할 수 있으며(S106), 사용자는 디스플레이된 디바이스 시트에서 자재에 대한 디바이스정보를 변경하여 입력할 수 있다(S104).If the user desires to change the existing material to another material in operation S105, the controller can display the device sheet so that the device sheet can be changed in operation S106. The device information about the material can be changed and input (S104).
이때, 해당 반조체 장비에서 운영이 가능한 자재들에 대한 정보가 데이터베이스로 저장된 경우, 사용자가 특정 자재에 대한 식별정보를 입력하면, 제어장치는 해당 식별정보에 매칭된 자재의 물리적 정보를 호출하여 디스플레이하고, 사용자로 하여금 확인하도록 할 수 있다.In this case, when the information about the materials that can be operated by the corresponding semisolid device is stored in the database, when the user inputs the identification information about the specific material, the control device calls the physical information of the matched material to the identification information, , And allow the user to confirm.
도 4는 도 1의 단계 'S300'에 대한 다른 일 실시예를 보다 구체적으로 나타내는 순서도이다.FIG. 4 is a flow chart showing another embodiment of step S300 of FIG. 1 in more detail.
도 4를 참조하면, 이지셋업메뉴창이 출력(디스플레이)되면(S200), 사용자는 원하는 항목아이콘을 선택할 수 있다(S301).Referring to FIG. 4, when the easy setup menu window is displayed (S200), the user can select a desired item icon (S301).
이에, 제어장치는 선택된 항목아이콘에 매칭된 파라메터입력창을 출력할 수 있고(S302), 사용자는 출력된 파라메터입력창에 해당 운영파라메터를 입력할 수 있다(S303).Then, the control device can output a parameter input window matched with the selected item icon (S302), and the user can input the corresponding operation parameter into the output parameter input window (S303).
해당 파라메터입력창에 대한 운영파라메터(보다 구체적으로는 운영파라메터 중 수동설정파라메터)의 입력이 완료되면(S304), 제어장치는 현재 항목아이콘과 매칭된 파라메터입력창에 입력된 운영파라메터에 대한 정당성을 확인할 수 있다(S305).When the input of the operation parameter (more specifically, the manual setting parameter among the operation parameters) for the corresponding parameter input window is completed (S304), the control device displays the legitimacy of the operation parameter input in the parameter input window matched with the current item icon (S305).
그 결과, 해당 운영파라메터의 정당성이 인정되면, 제어장치는 설정된 순서에 따라 다음 항목아이콘에 매칭된 파라메터입력창을 디스플레이할 수 있다.As a result, if the validity of the operation parameter is recognized, the control device can display a parameter input window matched with the next item icon according to the set order.
만약, 입력된 운영파라메터에 오류가 확인되면, 제어장치는 해당 오류에 따른 오류메시지 및 오류파라메터에 대한 정보를 출력할 수 있고(S307), 사용자는 출력된 정보를 확인하여 해당 운영파라메터를 정정할 수 있다.If an error is detected in the input operation parameter, the control device can output an error message and error parameter information corresponding to the error (S307). The user confirms the output information and corrects the operation parameter .
한편, 사용자의 실수 등으로 인해 특정 운영파라메터에 오류가 있음에도 불구하고, 다음 단계로 진행되는 경우가 발생할 수 있으며, 이 경우 해당 자재에 대한 수율저하는 물론 해당 반도체 장비에 대한 오동작이나 손상을 유발시킬 수 있는 문제가 있다.On the other hand, even if there is an error in a certain operation parameter due to a user's mistake, the process may proceed to the next step. In this case, the yield of the material may be lowered, There is a problem.
이에, 본 발명은 앞서 살펴본 바와 같이, 초심자용으로 설정된 순서에 따라 나열된 항목아이콘 중 최우선 항목아이콘은 선택이 가능하도록 활성화한 상태에서, 해당 항목아이콘에 매칭된 파라메터입력창에 수동설정파라메터를 입력하도록 할 수 있다(S303).As described above, according to the present invention, in the state in which the top-priority item icon among the item icons listed in the order set for the beginner is activated so as to be selectable, the manual setting parameter is input to the parameter input window matched with the corresponding item icon (S303).
이때, 제어장치는 사용자가 다른 항목아이콘을 선택하는 것을 방지하기 위하여, 나머지 항목아이콘은 선택이 불가능하도록 비활성화한 상태로 설정할 수 있다.At this time, in order to prevent the user from selecting another item icon, the control device can be set to a state in which it is inactivated so that the remaining item icon can not be selected.
이후, 제어장치는 활성화된 항목아이콘과 매칭된 파라메터입력창에 입력된 운영파라메터에 대한 정당성이 확인되면(S305), 설정된 순서에 따라 다음 항목아이콘을 활성화하여 선택이 가능하도록 할 수 있다(S306).If the validity of the operation parameter input in the parameter input window matched with the activated item icon is confirmed (S305), the controller can activate the next item icon according to the set order (S306) .
결과적으로, 본 발명은 각 항목아이콘이 순차적으로 활성화되도록 함으로써, 사용자의 오조작이나 조작미숙으로 인해 잘못된 운영파라메터가 입력되어 설정되는 것을 방지할 수 있다.As a result, according to the present invention, by sequentially activating each item icon, erroneous operating parameters can be prevented from being input and set due to erroneous operation or inactivity of the user.
따라서, 반도체 장비의 운영파라메터를 설정함에 있어, 초심자와 같은 비숙련자들도 정확한 운영파라메터의 설정이 가능하도록 함으로써, 해당 장비를 이용한 자재의 수율을 숙련자 수준과 동일 내지 유사한 수준으로 일정하게 유지할 수 있다.Therefore, in setting the operating parameters of the semiconductor equipment, it is possible for non-experts such as beginners to set the correct operating parameters so that the yield of the materials using the equipment can be kept constant at the same level as the expert level .
이상에서 본 발명에 의한 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법에 대하여 설명하였다. 이러한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.The method of providing the easy setup menu for the equipment operation guide according to the present invention has been described above. It will be understood by those skilled in the art that the technical features of the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다.It is to be understood, therefore, that the embodiments described above are in all respects illustrative and not restrictive.
Claims (5)
해당 장비에서 작업될 자재에 대한 이지셋업(Easy setup)의 선택을 확인하는 이지셋업 확인단계;
확인된 이지셋업에 매칭되어 초심자용으로 설정된 순서에 따라 항목아이콘이 나열된 이지셋업메뉴창을 디스플레이하는 이지셋업메뉴창 디스플레이단계; 및
사용자에 의해 특정 항목아이콘이 선택되면, 해당 항목아이콘과 매칭된 파라메터입력창을 디스플레이하는 파라메터입력창 디스플레이단계;를 포함하는 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법.
A method of providing a setup menu to be executed in a control module of a semiconductor equipment and for setting operational parameters,
An easy setup confirmation step of confirming selection of an easy setup for the material to be worked on the equipment;
An easy setup menu window display step of displaying an easy setup menu window which is matched with the identified easy setup and in which the item icons are arranged in the order set for the beginner; And
And a parameter input window display step of displaying a parameter input window matched with the item icon when a specific item icon is selected by the user.
상기 이지셋업 확인단계는,
운영파라메터를 변경하고자 하는 자재에 대한 디바이스정보를 입력받는 디바이스정보 입력과정;을 포함하고,
상기 이지셋업메뉴창 디스플레이단계는,
상기 디바이스정보에 따라 설정된 자재별 운영파라메터 중 수동설정파라메터를 입력받기 위한 항목아이콘이 나열된 이지셋업메뉴창을 생성하며,
상기 파라메터입력창 디스플레이단계는,
상기 항목아이콘에 매칭된 수동설정파라메터를 입력받기 위한 파라메터입력창을 생성하는 입력창생성과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the easy setup confirmation step comprises:
And a device information input step of inputting device information about a material whose operation parameter is to be changed,
Wherein the step of displaying the easy setup menu window comprises:
An easy setup menu window in which an item icon for receiving a manual setting parameter among the operating parameters for each material set according to the device information is listed,
The step of displaying the parameter input window may include:
And generating a parameter input window for receiving a manual setting parameter matched with the item icon. The method of claim 1, further comprising:
상기 이지셋업메뉴창 디스플레이단계는,
상기 디바이스정보에 대한 운영파라메터를 호출하는 파라메터호출과정;
상기 운영파라메터 중 수동설정파라메터를 확인하는 파라메터확인과정;
상기 수동설정파라메터의 입력순서를 확인하는 설정순서확인과정; 및
상기 설정순서에 기초하여 분류된 수동설정파라메터에 대한 항목아이콘이 나열된 이지셋업메뉴창을 생성하는 메뉴창생성과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법.
3. The method of claim 2,
Wherein the step of displaying the easy setup menu window comprises:
A parameter calling process for calling an operating parameter for the device information;
A parameter checking step of checking a manual setting parameter among the operating parameters;
A setting sequence checking step of checking an input sequence of the manual setting parameter; And
And generating an easy setup menu window in which item icons for the manually set parameters classified based on the setting order are listed.
상기 파라메터입력창 디스플레이단계는,
현재 항목아이콘과 매칭된 파라메터입력창에 입력된 운영파라메터에 대한 정당성을 확인하고, 해당 운영파라메터의 정당성이 인정되면, 설정된 순서에 따라 다음 항목아이콘에 매칭된 파라메터입력창을 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The step of displaying the parameter input window may include:
A parameter input window matched with the next item icon is displayed according to the set order when the validity of the operation parameter inputted in the parameter input window matched with the current item icon is recognized, How to provide easy setup menu for equipment operation guide.
상기 파라메터입력창 디스플레이단계는,
설정 순서에 따라 나열된 항목아이콘 중 최우선 항목아이콘은 선택이 가능하도록 활성화하고, 나머지 항목아이콘은 선택이 불가능하도록 비활성화한 상태에서,
활성화된 항목아이콘과 매칭된 파라메터입력창에 입력된 운영파라메터에 대한 정당성이 확인되면, 설정된 순서에 따라 다음 항목아이콘을 활성화하여 선택이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 장비운영가이드용 이지셋업메뉴 제공 방법.5. The method of claim 4,
The step of displaying the parameter input window may include:
In the setting order, the highest priority item icon among the listed item icons is activated so as to be selectable, while the remaining item icons are deactivated so that they can not be selected,
When the validity of the operating parameter inputted in the parameter input window matched with the activated item icon is confirmed, the next item icon is activated in accordance with the set order so that the selection is made possible. .
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2017
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