KR20180108223A - Conductive substrate using graphene, preparing method of the same, and device including the same - Google Patents

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KR20180108223A
KR20180108223A KR1020170037696A KR20170037696A KR20180108223A KR 20180108223 A KR20180108223 A KR 20180108223A KR 1020170037696 A KR1020170037696 A KR 1020170037696A KR 20170037696 A KR20170037696 A KR 20170037696A KR 20180108223 A KR20180108223 A KR 20180108223A
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이정열
장순호
이우정
권태훈
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Abstract

The present invention relates to a conductive substrate, a preparing method thereof, and a device including the conductive substrate. The conductive substrate comprises: a substrate; a UV-patternable hard-coating film formed on the substrate and having a pattern; and a metal nanowire-graphene composite layer formed on a pattern of the UV-patternable hard-coating film.

Description

그래핀을 이용한 도전성 기판, 이의 제조 방법, 및 이를 포함하는 디바이스{CONDUCTIVE SUBSTRATE USING GRAPHENE, PREPARING METHOD OF THE SAME, AND DEVICE INCLUDING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a conductive substrate using graphene, a method of manufacturing the conductive substrate, and a device including the conductive substrate. [0002]

본원은, 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 포함하는 도전성 기판, 상기 도전성 기판의 제조 방법, 및 상기 도전성 기판을 포함하는 디바이스에 관한 것이다.The present invention relates to a conductive substrate comprising a metal nanowire-graphene composite layer, a method of manufacturing the conductive substrate, and a device comprising the conductive substrate.

터치 스크린 패널 (touch screen panel, TSP)은, 손으로 접촉하면 그 위치를 입력 받도록 하는 특수한 입력 장치를 장착한 화면으로서, 주로 정전용량 방식, 저항막 방식, 표면초음파 방식, 적외선 방식 등을 이용하여 제조된다. 현재, 모바일용 디스플레이에 널리 사용되고 있는 터치 스크린 패널은 주로 ITO, Al, Ti. Mo 등으로 제조되지만, 대형 스크린 디스플레이 (예를 들어, TV, 랩탑, 모니터, 특히 42인치 이상의 TV)를 위해서는 종래 터치 스크린 패널 보다 더 민감한 사양이 필요하다. 이러한 요구를 충족시키기 위해서는, 더 낮은 전기 전도성을 가지면서 저항이 낮은 물질에 대한 연구가 요구된다. A touch screen panel (TSP) is a screen equipped with a special input device for receiving the position of a touch when it is in contact with a hand. The touch screen panel is mainly composed of a capacitive type, a resistive type, a surface ultrasonic type, . Currently, touch screen panels widely used in mobile displays are mainly composed of ITO, Al, Ti. Mo and the like, but a specification that is more sensitive than a conventional touch screen panel is required for a large screen display (e.g., a TV, a laptop, a monitor, especially a TV of 42 inches or more). To meet this demand, research is needed on materials with lower electrical conductivity and lower resistance.

대한민국 공개특허 제2017-0023489호는, 디스플레이용 투명 다층 박막 및 그의 제조 방법에 대해 개시하고 있다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 2017-0023489 discloses a transparent multilayer thin film for display and a manufacturing method thereof.

본원은, 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 포함하는 도전성 기판, 상기 도전성 기판의 제조 방법, 및 상기 도전성 기판을 포함하는 디바이스를 제공하고자 한다.The present invention provides a conductive substrate including a metal nanowire-graphene composite layer, a method of manufacturing the conductive substrate, and a device including the conductive substrate.

그러나, 본원이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본원의 제 1 측면은, 기판; 상기 기판에 형성되는, 패턴을 가지는 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 (UV-patternable hard-coating film, UPHC); 및 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층의 패턴 상에 형성되는 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 포함하는, 도전성 기판을 제공한다.According to a first aspect of the present invention, A UV-patternable hard-coating film (UPHC) having a pattern formed on the substrate; And a metal nanowire-graphene composite layer formed on the pattern of the UV-patternable hard-coating layer.

본원의 일 구현예에 따르면, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층의 그래핀은, 그래핀 플레이크를 포함하는 것일 수 있다.According to one embodiment of the invention, the graphene of the metal nanowire-graphene composite layer may comprise graphene flakes.

본원의 제 2 측면은, 본원의 제 1측면에 따른 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 포함하는 도전성 기판을 포함하는, 디바이스를 제공한다.A second aspect of the invention provides a device comprising a conductive substrate comprising a metal nanowire-graphene composite layer according to the first aspect of the present disclosure.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 포함하는 도전성 기판을 포함하는 디바이스는, 디스플레이 또는 광전 디바이스 (photovoltaic device)일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, a device comprising a conductive substrate comprising the metal nanowire-graphene composite layer may be, but is not limited to, a display or a photovoltaic device.

본원의 제 3 측면은, 제 1 이형 필름 (release film)에 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층을 형성하고; 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층에 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 형성하고; 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 제 2 이형 필름을 형성하고; 상기 제 1 이형 필름을 제거하고 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층, 및 상기 제 2 이형 필름을 기판에 전사한 후 상기 제 2 이형 필름을 제거하고; 포토리소그래피 공정에 의해 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 및 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 패터닝 하는 것을 포함하는, 도전성 기판의 제조 방법을 제공한다.A third aspect of the invention provides a method of forming a hard-coating layer, comprising: forming a UV-patternable hard-coating layer on a first release film; Forming a metal nanowire-graphene composite layer on the UV-patternable hard-coating layer; Forming a second release film on the metal nanowire-graphene composite layer; Removing the first release film and transferring the UV-patternable hard-coating layer, the metal nanowire-graphene composite layer, and the second release film to a substrate and then removing the second release film; And patterning the UV-patternable hard-coating layer and the metal nanowire-graphene composite layer by a photolithography process.

본원의 구현예들에 따르면, 금속 나노와이어 및 그래핀의 복합체 층을 이용함으로써, 더 높은 전기 전도성을 나타내는 반면 낮은 저항을 갖는 도전성 기판을 제고할 수 있으며, 이러한 도전성 기판을 이용하여 대형 스크린 디스플레이에 적용될 수 있는 투명하고 유연한 터치 스크린 패널용 도전성 기판을 제조할 수 있다.According to embodiments of the present disclosure, by using the composite layer of metal nanowires and graphene, it is possible to provide a conductive substrate having higher electrical conductivity while having a lower resistance, and using such a conductive substrate, A transparent and flexible conductive substrate for a touch screen panel that can be applied can be manufactured.

본원의 구현예들에 따르면, 상기 도전성 기판을 제조하기 위하여, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 산화 방지층을 추가 코팅함으로써, 공정에서 발생될 수 있는 도전성 기판의 산화와 같은 손상을 방지할 수 있으며, 그에 따라 신뢰성이 향상될 수 있다.According to embodiments of the present application, an additional coating of an antioxidant layer on the metal nanowire-graphene composite layer to produce the conductive substrate can prevent damage, such as oxidation, of the conductive substrate, which can occur in the process And reliability can be improved accordingly.

본원의 구현예들에 따르면, 그래핀 플레이크, 금속 나노와이어 및 분산제 물질을 수성 바인더와 함께 첨가함으로써, 종래 그래핀 플레이크에서 발생되던 단점, 즉 화학적 및 물리적으로 연결되어 있지 않기 때문에 자체적으로 응집이 일어나는 현상을 방지할 수 있으며, 그에 따라 상기 도전성 기판의 면 저항 (sheet resistance) 및 광 투과율을 증가시킬 수 있다.According to embodiments of the present disclosure, the addition of graphene flakes, metal nanowires, and dispersant materials together with an aqueous binder has the disadvantages encountered with conventional graphene flakes, i.e., they are not chemically and physically connected, And thus the sheet resistance and light transmittance of the conductive substrate can be increased.

본원의 구현예들에 따르면, 종래 사용되던 포토레지스트 및 에칭 용액을 사용하지 않고, 필름 전사법을 이용하고UV-패터닝 가능한 하드 코팅층 (UPHC)을 이용하여 포토리소그래피 방법에 의해 상기 도전성 기판을 제조하여 터치 스크린 패널 등에 적용할 수 있다. 즉, 본원의 구현예들에 따른 제조 방법은, UV-패터닝 가능한 하드 코팅층에 형성된 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 이용하여, 종래의 스퍼터 (sputter), 습식 (wet), 포토레지스트 (photoresist)로 이루어지는 복잡한 공정에 비해, 공정을 편리하게 단순화 시킬 수 있다는 장점을 갖는다.According to embodiments of the present invention, the conductive substrate is manufactured by a photolithography method using a film transfer method and a UV-patternable hard coating layer (UPHC) without using a conventionally used photoresist and an etching solution Touch screen panel, and the like. That is, the manufacturing method according to the embodiments of the present invention can be applied to a conventional sputter, wet, photoresist, or the like using a metal nanowire-graphene composite layer formed on a UV- The process can be conveniently simplified.

본원의 구현예들에 따른 상기 도전성 기판은, 그래핀으로부터 유도되는 전도성 감소 및 금속 나노와이어로부터 유도되는 항복 전압 (breakdown voltage), 및 안전성 감소 등의 문제를 해결할 수 있기 때문에, 플렉서블 디스플레이 또는 대형 스크린 디스플레이의 패널로서 사용될 수 있을 뿐만 아니라 관련 기술분야의 종래 소재인 ITO를 대체할 수 있다.The conductive substrate according to embodiments of the present invention can solve problems such as reduction in conductivity induced from graphene, breakdown voltage induced from metal nanowires, and reduction in safety, so that a flexible display or a large screen It can be used not only as a panel of a display but also as a substitute for ITO which is a conventional material in the related technical field.

도 1은, 본원의 일 구현예에 있어서, UV-패터닝 가능한 하드 코팅층과 필름 전사법 (film transfer method)을 이용한 도전성 기판의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 2는, 본원의 일 구현예에 있어서, UV-패터닝 가능한 하드 코팅층과 필름 전사법 (film transfer method)을 이용한 도전성 기판의 제조 방법을 나타내는 모식도이다.
1 is a flowchart showing a method of manufacturing a conductive substrate using a UV-patternable hard coating layer and a film transfer method in one embodiment of the present invention.
2 is a schematic diagram showing a method of manufacturing a conductive substrate using a UV-patternable hard coating layer and a film transfer method in one embodiment of the present invention.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. It should be understood, however, that the present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In the drawings, the same reference numbers are used throughout the specification to refer to the same or like parts.

본원 명세서 전체에서, "산화 그래핀"이라는 용어는 그래핀 옥사이드 (graphene oxide) 또는 그래핀 산화물이라고도 불리우고, "GO"로 약칭될 수 있다. 상기 산화 그래핀은 탄소, 수소, 및 산소로 이루어진 층상 물질인 그라파이트 옥사이드 (graphite oxide)를 구성하는 원자 단층 간의 간격을 넓혀 얻어진 물질을 의미하는 것이다. 상기 그라파이트 옥사이드는, 전형적으로 휴머스 법 및 오퍼만법 (Hummers and Offeman method)으로 대표되는 방법에 의해 제조될 수 있으며, 예를 들어, 흑연 (graphite)을 황산, 질산나트륨, 과망간산 칼륨 등의 강한 산화제와 반응시켜 수득될 수 있다. 그라파이트 옥사이드의 원자 단층 간의 간격을 넓히는 방법으로는 공지된 다양한 방법이 채용될 수 있으며, 예를 들어 염기성 용매 중 분산, 초음파 처리, 열처리 등의 방법을 사용할 수 있다.Throughout this specification, the term "oxidized graphene" is also referred to as graphene oxide or graphene oxide and may be abbreviated as "GO ". The oxide graphene refers to a material obtained by widening a gap between atomic layers constituting graphite oxide which is a layered material composed of carbon, hydrogen, and oxygen. The graphite oxide can be produced typically by a method represented by the Hummers and Offeman method. For example, graphite can be produced by a method in which graphite is mixed with a strong acid such as sulfuric acid, sodium nitrate, potassium permanganate, Can be obtained by reacting with an oxidizing agent. As a method for increasing the distance between the atomic layers of the graphite oxide, various known methods may be employed. For example, dispersion in a basic solvent, ultrasonic treatment, and heat treatment may be used.

본원 명세서 전체에서, "그래핀 (graphene)"이라는 용어는 복수개의 탄소 원자들이 서로 공유 결합으로 연결되어 폴리시클릭 방향족 분자를 형성한 것을 의미하는 것으로서, 특히, 벌집 구조체 모양으로 빽빽하게 채워진 (densely packed) sp2-결합 탄소 원자들로 이루어진 1원자 두께의 평면상 시트를 의미한다. 본원 명세서 전체에서, 상기 그래핀은 비관형 (non-tubular) 물질인 것일 수 있으며, 그래핀 나노플레이트 [(graphene nanoplatelet, GNP; nanographene platelet, NGP)로 표현되기도 한다]일 수 있다. 상기 그래핀 나노플레이트의 두께는, 예를 들어, 약 0.34 nm 내지 100 nm일 수 있다. 상기 그래핀은 약 50 내지 750 m2/g의 비표면적을 가질 수 있고, 그 종횡비 (aspect ratio)는 약 1 내지 60,000일 수 있다. 그래핀 및 이의 제조방법 등에 관한 보다 세부적인 기술내용에 대해서는 본원 명세서 전체로서 참조로 포함되는 국제특허공개공보 WO 2014/076259호를 참조할 수 있다.Throughout this specification, the term "graphene " means that a plurality of carbon atoms are covalently linked to one another to form a polycyclic aromatic molecule, and in particular, a densely packed, means a planar sheet of one atom thick consisting of sp 2 -bonding carbon atoms. Throughout this specification, the graphene may be a non-tubular material and may also be referred to as a graphene nanoplatelet (GNP; nanographene platelet, NGP). The thickness of the graphene nanoplate may be, for example, about 0.34 nm to about 100 nm. The graphene may have a specific surface area of about 50 to 750 m 2 / g and an aspect ratio of about 1 to 60,000. For a more detailed description of graphene and its manufacturing method and the like, reference can be made to International Patent Publication No. WO 2014/076259, which is incorporated herein by reference in its entirety.

본원에서 그래핀 또는 그래핀 플레이크는 상기 그래핀 옥사이드 (GO)를 환원시킴으로써 얻어질 수 있으며, 이와 같이 하여 얻어진 그래핀을 종종 "환원 산화 그래핀 (reduced graphene oxide, rGO)" 또는 "환원 그래핀 옥사이드 "라고 불려진다. 상기와 같은 환원 과정은 공지된 다양한 방법을 통해 수행될 수 있으며, 예를 들어, 히드라진 수화물 (hydrazine hydrate)을 비롯한 히드라진 화합물로 대표되는 1종 이상의 환원제와 반응시키는 방법, 수소 플라즈마에 노출하는 방법, 강한 빛에 노광하는 방법, 퍼니스 (furnace)를 사용하여 고온에서 가열하는 방법, 요소 (urea)를 첨가한 후 가열하는 방법 등을 들 수 있으나, 본 발명은 이에 제한되지 않을 수 있다.Graphene or graphene flakes herein can be obtained by reducing the graphene oxide (GO), and the graphene thus obtained is often referred to as "reduced graphene oxide (rGO) Oxide ". The reduction process may be performed by various known methods, for example, a method of reacting with one or more reducing agents represented by hydrazine compounds including hydrazine hydrate, a method of exposing to hydrogen plasma, A method of exposing to a strong light, a method of heating at a high temperature using a furnace, a method of heating after adding urea, and the like, but the present invention is not limited thereto.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다. Throughout this specification, when a member is " on " another member, it includes not only when the member is in contact with the other member, but also when there is another member between the two members.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 “포함” 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 “약”, “실질적으로” 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 “~(하는) 단계” 또는 “~의 단계”는 “~ 를 위한 단계”를 의미하지 않는다.Throughout this specification, when an element is referred to as " including " an element, it is understood that the element may include other elements as well, without departing from the other elements unless specifically stated otherwise. The terms " about ", " substantially ", etc. used to the extent that they are used throughout the specification are intended to be taken to mean the approximation of the manufacturing and material tolerances inherent in the stated sense, Accurate or absolute numbers are used to help prevent unauthorized exploitation by unauthorized intruders of the referenced disclosure. The word " step (or step) " or " step " used to the extent that it is used throughout the specification does not mean " step for.

본원 명세서 전체에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 “이들의 조합(들)”의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.Throughout this specification, the term " combination (s) thereof " included in the expression of the machine form means a mixture or combination of one or more elements selected from the group consisting of the constituents described in the expression of the form of a marker, Quot; means at least one selected from the group consisting of the above-mentioned elements.

본원 명세서 전체에서, “A 및/또는 B”의 기재는 “A 또는 B, 또는 A 및 B”를 의미한다.Throughout this specification, the description of "A and / or B" means "A or B, or A and B".

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본원의 구현예 및 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본원이 이러한 구현예 및 실시예와 도면에 제한되지 않을 수 있다.Hereinafter, embodiments and examples of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to these embodiments and examples and drawings.

본원의 제 1 측면은, 기판; 상기 기판에 형성되는, 패턴을 가지는 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 (UV-patternable hard-coating film, UPHC); 및 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층의 패턴 상에 형성되는 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 포함하는, 도전성 기판을 제공한다.According to a first aspect of the present invention, A UV-patternable hard-coating film (UPHC) having a pattern formed on the substrate; And a metal nanowire-graphene composite layer formed on the pattern of the UV-patternable hard-coating layer.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 도전성 기판은 상기 금속 나노와이어 및 그래핀을 동시에 포함함으로써, 높은 전기 전도성 및 낮은 저항을 갖는 것일 수 있다. In one embodiment of the invention, the conductive substrate may be one having high electrical conductivity and low resistance by simultaneously including the metal nanowire and graphene.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 도전성 기판은, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체 층에 형성되는 산화 방지층을 추가 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 도전성 기판은, 기판; 상기 기판에 형성되는, 패턴을 가지는 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 (UV-patternable hard-coating film); 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층의 패턴 상에 형성되는 금속 나노와이어-그래핀 복합체층; 및 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 형성되는 산화 방지층을 포함하는 것일 수 있다. In one embodiment of the present invention, the conductive substrate may further include an anti-oxidation layer formed on the metal nanowire-graphene composite layer. For example, the conductive substrate includes a substrate; A UV-patternable hard-coating film having a pattern formed on the substrate; A metal nanowire-graphene composite layer formed on the pattern of the UV-patternable hard-coating layer; And an anti-oxidation layer formed on the metal nanowire-graphene composite layer.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 형성되는 산화 방지층을 추가 포함함으로써, 공정에서 발생될 수 있는 도전성 기판의 산화와 같은 손상을 방지할 수 있으며, 그에 따라 제조되는 도전성 기판의 신뢰성이 향상될 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, by further including an oxidation-preventing layer formed on the metal nanowire-graphene composite layer, it is possible to prevent damage such as oxidation of a conductive substrate that may occur in the process, The reliability of the conductive substrate can be improved, but the present invention is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 기판은 디바이스에 적용되는 다양한 기판을 특별히 제한없이 사용할 수 있다. 예를 들어, 상기 기판은 그자체가 디스플레이 패널일 수 있으며, 투명하거나, 또는 투명하고 유연성을 가지는 것일 수 있으며, 유리, 금속, 산화물, 실리콘, 또는 고분자 기판을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 고분자 기판은 폴리카보네이트 (polycarbonate, PC), 폴리에틸설폰 (polyethylsulfone, PES), 폴리에틸렌프탈레이트 (polyethylene phthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트, (polyethylene terephthalate, PET), 폴리메틸메타크릴레이트 (polymethylmethacrylate, PMMA), 폴리스티렌 (polystyrene, PS), 싸이클릭 올레핀 공중합체 (cyclic olefin copolymer), 폴리에틸렌 나프탈레이트 (polyethylene naphthalate, PEN), 폴리이미드 (polyimide), 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 물질을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, the substrate can use various substrates to be applied to the device without particular limitation. For example, the substrate may itself be a display panel, transparent, or transparent and flexible, and may include glass, metal, oxide, silicon, or polymer substrates, . For example, the polymer substrate may be formed of a material selected from the group consisting of polycarbonate (PC), polyethylsulfone (PES), polyethylene phthalate, polyethylene terephthalate (PET), polymethylmethacrylate , Polymethylmethacrylate (PMMA), polystyrene (PS), cyclic olefin copolymer, polyethylene naphthalate (PEN), polyimide, and combinations thereof. But it is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 도전성 기판이 상기 투명한 기판 또는 투명하고 유연성을 가지는 기판을 포함하는 경우, 우수한 전기 전도성 및 투과율로 인하여, 종래의 ITO 또는 FTO 등의 투명 금속 산화물 전극의 대체재로서 사용될 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, when the conductive substrate includes the transparent substrate or the transparent and flexible substrate, excellent electrical conductivity and transmittance can be used as a substitute for a transparent metal oxide electrode such as a conventional ITO or FTO But may not be limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층에 대한 내용은, 참고문헌으로서 대한민국 공개특허 2016-0065914호에 기재된 내용을 참조할 수 있다.In one embodiment of the invention, the content of the UV-patternable hard-coating layer can be found in Korean Patent Publication No. 2016-0065914 as a reference.

상기 참고문헌을 참조하면, 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층은, 적어도 하나의 관능기를 가지며, 화학 방사선의 작용 하에 에틸렌계 불포화 화합물과 반응하여 중합되는 하나 이상의 단량체성 또는 중합체성 화합물, 실리카 나노입자, 광개시제, 기타 첨가제, 비관능성 중합체 및/또는 충전제를 포함하는 내블록성 (block-resistant) 열가소성 층이고, 화학 방사선에 의해 유도된 후속적 중합에 의해 최종-경화된 것을 특징으로 하는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 단량체성 또는 중합체성 화합물은, 에스테르, 카르보네이트, 아크릴레이트, 에테르, 우레탄 또는 아미드 또는 상기와 같은 구조 유형의 중합체성 화합물을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.Referring to the above reference, the UV-patternable hard-coating layer comprises at least one monomeric or polymeric compound having at least one functional group and being polymerized by reaction with an ethylenically unsaturated compound under the action of actinic radiation, , A block-resistant thermoplastic layer comprising a photoinitiator, other additives, a non-functional polymer and / or a filler, and may be characterized as being final-cured by subsequent polymerization induced by actinic radiation . For example, the monomeric or polymeric compound may include, but is not limited to, esters, carbonates, acrylates, ethers, urethanes or amides or polymeric compounds of the above-described structural types.

상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층은, 화학 방사선의 작용 하에 중합 가능한 적어도 하나의 기를 함유하는 이러한 단량체 및/또는 중합체의 임의의 원하는 혼합물을 또한 사용할 수 있다.The UV-patternable hard-coat layer may also use any desired mixture of such monomers and / or polymers containing at least one group polymerizable under the action of actinic radiation.

상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층은 통상의 용매에 의해 세척이 가능하고, UV 경화가 가능한 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층은 용매-세척에 의한 현상 방법에 대하여 화학적 내성을 가지므로, 기판 상의 릴리프 패턴의 형성을 초래하는 것일 수 있다. The UV-patternable hard-coat layer may be washable by conventional solvents and may be UV curable. For example, the UV-patternable hard-coating layer may be chemically resistant to the solvent-cleaning development process, thus resulting in the formation of a relief pattern on the substrate.

상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 위 또는 아래에 전도성 물질의 층이 있는 경우, 상기 전도성 패턴은 전통적인 리소그래피-에칭 공정 없이 통상의 용매와의 비-접촉 세척에 의해 얻어질 수 있다. 예를 들어, 상기 패터닝 동안에 위험한 강산, 강한 산화제 또는 상업적 에천트로부터 보호될 수 있다.If there is a layer of conductive material on or under the UV-patternable hard-coat layer, the conductive pattern can be obtained by a non-contact wash with conventional solvents without a traditional lithographic-etch process. For example, it can be protected from dangerous strong acids, strong oxidants or commercial etchants during the patterning.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 그래핀은 다양한 방법에 의하여 제조되는 그래핀 또는 도핑된-그래핀을 포함할 수 있으며, 예를 들어, 상기 그래핀은 그래핀 플레이크를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 상기 그래핀은 대량생산을 위해 대면적 그래핀을 형성하거나 그래핀 분말나 분산 용액을 제조하기 위하여 그래핀 플레이크를 제조하는 방법을 사용한다. 대면적 그래핀은 스마트폰의 터치패널 등에 쓰이는 투명 전극에 적합하고, 상기 그래핀 플레이크는 전도성 잉크나 고분자 복합재료, 촉매 등에 다양한 용도를 갖는다. 그래핀 플레이크는 흑연을 산화시켜 산화 그래핀을 만든 뒤 다시 환원시켜 제조되는데, 흑연을 산화하는 과정에 그래핀 고유의 구조가 깨지기 쉽고 결함도 생기기 때문에 고품질을 확보하는 데 어려움이 있어, 그래핀 플레이크를 이용하여 디바이스 제조 시 그 제조 공정, 물성 등의 향상이 여전히 요구된다.In one embodiment of the invention, the graphene may comprise graphene or doped-graphene prepared by a variety of methods, for example, the graphene may comprise graphene flakes, But may not be limited thereto. The graphene is produced by forming a large-area graphene for mass production or a graphene flake for producing a graphene powder or a dispersion solution. Large-area graphenes are suitable for transparent electrodes used in touch panels of smart phones, and the graphene flakes have various uses such as conductive inks, polymer composite materials, and catalysts. Graphene flake is produced by oxidizing graphite to produce oxidized graphene and then reducing it again. Since graphene's own structure is fragile and defective during the process of oxidizing graphite, it is difficult to obtain high quality, It is still required to improve the manufacturing process, physical properties, and the like when manufacturing devices.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 그래핀 플레이크는 나노 사이즈의 도전성 물질로서, 상대적으로 매우 낮은 저항값을 가지며, 전기 전도도가 높은 성질을 갖는다. In one embodiment of the present invention, the graphene flake is a nano-sized conductive material having a relatively low resistance value and a high electrical conductivity.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 그래핀 플레이크는 약 5 μm 이하의 길이를 갖는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 그래핀 플레이크의 길이는 약 5 μm 이하, 약 10 nm 내지 약 5 μm, 약 10 nm 내지 약 3 μm, 약 10 nm 내지 약 1 μm, 약 10 nm 내지 약 100 nm, 약 100 nm 내지 약 5 μm, 약 100 nm 내지 약 4 μm, 약 100 nm 내지 약 3 μm, 약 100 nm 내지 약 2 μm, 약 100 nm 내지 약 1 μm, 약 100 nm 내지 약 500 nm, 약 1 μm 내지 약 5 μm, 약 1 μm 내지 약 4 μm, 약 1 μm 내지 약 3 μm, 약 1 μm 내지 약 2 μm, 약 2 μm 내지 약 5 μm, 약 2 μm 내지 약 4 μm, 약 2 μm 내지 약 3 μm, 약 3 μm 내지 약 5 μm, 약 3 μm 내지 약 4 μm, 또는 약 4 μm 내지 약 5 μm인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the invention, the graphene flake may have a length of about 5 μm or less, but may not be limited thereto. For example, the length of the graphene flake may be less than about 5 占 퐉, about 10 nm to about 5 占 퐉, about 10 nm to about 3 占 퐉, about 10 nm to about 1 占 퐉, about 10 nm to about 100 nm, from about 100 nm to about 3 탆, from about 100 nm to about 2 탆, from about 100 nm to about 1 탆, from about 100 nm to about 500 nm, from about 1 탆 to about 5 탆, from about 100 nm to about 4 탆, From about 1 μm to about 4 μm, from about 1 μm to about 3 μm, from about 1 μm to about 2 μm, from about 2 μm to about 5 μm, from about 2 μm to about 4 μm, from about 2 μm to about 3 , about 3 μm to about 5 μm, about 3 μm to about 4 μm, or about 4 μm to about 5 μm.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어는 Ag, Au, Cu, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 금속을 포함하는 것일 수 있으며, 상기 금속 나노와이어는 금속, 또는 금속 합금을 포함하는 금속 혼합물을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. In one embodiment of the invention, the metal nanowire may comprise a metal selected from the group consisting of Ag, Au, Cu, and combinations thereof, and the metal nanowire may include a metal or a metal alloy But may be, but not limited to, a metal mixture.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어의 길이는 약 10 μm 이상인 것일 수 있으며, 두께는 약 1 nm 내지 약 1 μm인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. In one embodiment of the invention, the metal nanowires may have a length of greater than or equal to about 10 micrometers, and may have a thickness of from about 1 nanometer to about 1 micrometer, but are not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어의 길이가 약 10 μm 미만일 경우, 저항값이 측정되지 않을 수 있으며, 상기 금속 나노와이어의 길이가 약 1,000 μm 초과일 경우, 패턴을 형성하기 어렵거나, 높은 헤이즈 (haze) 또는 낮은 투과도를 나타내는 것일 수 있으므로, 상기 금속 나노와이어의 길이는 약 10 μm 내지 약 1,000 μm인 것이 적합하다. 예를 들어, 상기 금속 나노와이어의 길이는 약 10 μm 이상, 약 10 μm 내지 약 1,000 μm, 약 10 μm 내지 약 800 μm, 약 10 μm 내지 약 600 μm, 약 10 μm 내지 약 400 μm, 약 10 μm 내지 약 200 μm, 약 10 μm 내지 약 100 μm, 약 10 μm 내지 약 50 μm, 약 50 μm 내지 약 100 μm, 약 100 μm 내지 약 1,000 μm, 약 100 μm 내지 약 800 μm, 약 100 μm 내지 약 600 μm, 약 100 μm 내지 약 400 μm, 약 100 μm 내지 약 200 μm, 약 200 μm 내지 약 1,000 μm, 약 200 μm 내지 약 800 μm, 약 200 μm 내지 약 600 μm, 약 200 μm 내지 약 400 μm, 약 400 μm 내지 약 1,000 μm, 약 400 μm 내지 약 800 μm, 약 400 μm 내지 약 600 μm, 약 600 μm 내지 약 1,000 μm, 약 600 μm 내지 약 800 μm, 약 800 μm 내지 약 1,000 μm, 또는 약 10 μm 내지 약 30 μm, 인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, when the length of the metal nanowire is less than about 10 m, the resistance value may not be measured, and when the length of the metal nanowire is greater than about 1,000 m, , High haze, or low transmittance, the length of the metal nanowires is suitably from about 10 [mu] m to about 1,000 [mu] m. For example, the length of the metal nanowires may be at least about 10 占 퐉, about 10 占 퐉 to about 1,000 占 퐉, about 10 占 퐉 to about 800 占 퐉, about 10 占 퐉 to about 600 占 퐉, about 10 占 퐉 to about 400 占 퐉, from about 10 탆 to about 100 탆, from about 10 탆 to about 50 탆, from about 50 탆 to about 100 탆, from about 100 탆 to about 1,000 탆, from about 100 탆 to about 800 탆, from about 100 탆 to about 100 탆, About 200 μm to about 800 μm, about 200 μm to about 600 μm, about 200 μm to about 400 μm, about 100 μm to about 400 μm, about 100 μm to about 200 μm, about 200 μm to about 1,000 μm, from about 400 탆 to about 1,000 탆, from about 400 탆 to about 1,000 탆, from about 400 탆 to about 800 탆, from about 400 탆 to about 600 탆, from about 600 탆 to about 1,000 탆, Or from about 10 [mu] m to about 30 [mu] m.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어의 두께가 약 1 nm 미만일 경우, 저항값이 측정되지 않을 수 있으며, 상기 금속 나노와이어의 두께가 약 1,000 nm 초과일 경우, 두께가 지나치게 굵어져 높은 헤이즈 (haze) 값 또는 낮은 투과도를 나타내는 것일 수 있으므로, 상기 금속 나노와이어의 두께는 약 1 nm 내지 약 1,000 nm인 것이 적합하다. 예를 들어, 상기 금속 나노와이어의 두께는 약 1 nm 내지 약 1 μm, 약 1 nm 내지 약 1,000 nm, 약 1 nm 내지 약 800 nm, 약 1 nm 내지 약 600 nm, 약 1 nm 내지 약 400 nm, 약 1 nm 내지 약 200 nm, 약 1 nm 내지 약 100 nm, 약 1 nm 내지 약 50 nm, 약 100 nm 내지 약 1,000 nm, 약 100 nm 내지 약 800 nm, 약 100 nm 내지 약 600 nm, 약 100 nm 내지 약 400 nm, 약 100 nm 내지 약 200 nm, 약 200 nm 내지 약 1,000 nm, 약 200 nm 내지 약 800 nm, 약 200 nm 내지 약 600 nm, 약 200 nm 내지 약 400 nm, 약 400 nm 내지 약 1,000 nm, 약 400 nm 내지 약 800 nm, 약 400 nm 내지 약 600 nm, 약 600 nm 내지 약 1,000 nm, 약 600 nm 내지 약 800 nm, 또는 약 800 nm 내지 약 1,000 nm인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.If the thickness of the metal nanowire is less than about 1 nm, the resistance value may not be measured. If the thickness of the metal nanowire is greater than about 1,000 nm, the thickness of the metal nanowire is excessively thick The thickness of the metal nanowire is suitably from about 1 nm to about 1,000 nm since it may represent a haze value or a low transmittance. For example, the thickness of the metal nanowire may be from about 1 nm to about 1 μm, from about 1 nm to about 1,000 nm, from about 1 nm to about 800 nm, from about 1 nm to about 600 nm, from about 1 nm to about 400 nm From about 1 nm to about 200 nm, from about 1 nm to about 100 nm, from about 1 nm to about 50 nm, from about 100 nm to about 1,000 nm, from about 100 nm to about 800 nm, from about 100 nm to about 600 nm, From about 100 nm to about 400 nm, from about 100 nm to about 200 nm, from about 200 nm to about 1,000 nm, from about 200 nm to about 800 nm, from about 200 nm to about 600 nm, from about 200 nm to about 400 nm, From about 400 nm to about 800 nm, from about 400 nm to about 600 nm, from about 600 nm to about 1,000 nm, from about 600 nm to about 800 nm, or from about 800 nm to about 1,000 nm, But may not be limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층의 두께는 약 1 μm 내지 약 10 μm 일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the invention, the thickness of the metal nanowire-graphene composite layer may be from about 1 [mu] m to about 10 [mu] m, but is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층의 두께가 약 1 μm 미만일 경우, 전극으로서 역할을 수행하지 못할 수 있으며, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층의 두께가 약 10 μm 초과일 경우, 투과율이 현저하게 감소할 수 있으므로, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층의 두께는 약 1 μm 내지 약 10 μm 인 것이 적합하다. 예를 들어, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층의 두께는 약 1 μm 내지 약 10 μm, 약 1 μm 내지 약 8 μm, 약 1 μm 내지 약 6 μm, 약 1 μm 내지 약 4 μm, 약 1 μm 내지 약 2 μm, 약 2 μm 내지 약 10 μm, 약 2 μm 내지 약 8 μm, 약 2 μm 내지 약 6 μm, 약 2 μm 내지 약 4 μm, 약 4 μm 내지 약 10 μm, 약 4 μm 내지 약 8 μm, 약 4 μm 내지 약 6 μm, 약 6 μm 내지 약 10 μm, 약 6 μm 내지 약 8 μm, 약 8 μm 내지 약 10 μm, 또는 약 1 μm 내지 약 3 μm일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, when the thickness of the metal nanowire-graphene composite layer is less than about 1 μm, it may not serve as an electrode, and the thickness of the metal nanowire-graphene composite layer is about 10 the thickness of the metal nanowire-graphene composite layer is suitably from about 1 [mu] m to about 10 [mu] m, as the transmittance can be significantly reduced. For example, the thickness of the metal nanowire-graphene composite layer may be from about 1 μm to about 10 μm, from about 1 μm to about 8 μm, from about 1 μm to about 6 μm, from about 1 μm to about 4 μm, from about 1 from about 2 탆 to about 4 탆, from about 4 탆 to about 10 탆, from about 4 탆 to about 2 탆, from about 2 탆 to about 10 탆, from about 2 탆 to about 8 탆, from about 2 탆 to about 6 탆, From about 6 [mu] m to about 8 [mu] m, from about 8 [mu] m to about 10 [mu] m, or from about 1 [mu] m to about 3 [mu] m, .

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 있어서, 상기 금속 나노와이어와 상기 그래핀의 중량 비율은 약 10 내지 100 일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 상기 금속 나노와이어와 상기 그래핀의 중량 비율은 약 10 내지 100 : 1, 약 20 내지 100 : 1, 약 30 내지 100 : 1, 약 40 내지 100 : 1, 약 50 내지 100 : 1, 약 60 내지 100 : 1, 약 70 내지 100 : 1, 약 80 내지 100 : 1, 약 90 내지 100 : 1, 약 10 내지 90 : 1, 약 10 내지 80 : 1, 약 10 내지 70 : 1, 약 10 내지 60 : 1, 약 10 내지 50 : 1, 약 10 내지 40 : 1, 또는 약 10 내지 30 : 1일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.In one embodiment of the present invention, in the metal nanowire-graphene composite layer, the weight ratio of the metal nanowire and the graphene may be about 10 to 100, but is not limited thereto. For example, the weight ratio of the metal nanowire and the graphene may be about 10 to 100: 1, about 20 to 100: 1, about 30 to 100: 1, about 40 to 100: 1, about 50 to 100: About 60 to 100: 1, about 70 to 100: 1, about 80 to 100: 1, about 90 to 100: 1, about 10 to 90: 1, about 10 to 80: But is not limited to, about 10 to 60: 1, about 10 to 50: 1, about 10 to 40: 1, or about 10 to 30:

상기 나노 크기의 그래핀 플레이크는 화학적 또는 기계적으로 연결되어 있지 않기 때문에, 화학적 안정성 또는 기계적 안정성이 저하되는 단점을 갖는다. 즉, 단순한 그래핀 플레이크의 혼합 및 분산만으로는, 다수의 그래핀 플레이크 간 서로 접촉할 확률이 낮기 때문에, 전기 전도도가 필요한 값에 비해 낮게 형성되고, 접촉 확률을 높이기 위해 그래핀 플레이크의 농도를 높이게 되면, 광 투과도가 저하되는 문제점이 발생할 수 있다. Since the nano-sized graphene flakes are not chemically or mechanically connected, they have a disadvantage that their chemical stability or mechanical stability is lowered. That is, since the probability of contact between a plurality of graphene flakes is low only by mixing and dispersing a simple graphene flake, the electrical conductivity is formed lower than a required value, and when the concentration of graphene flake is increased , The light transmittance may be deteriorated.

상기와 같은 그래핀 플레이크에서 발생되던 문제점을 해결하기 위해, 본원의 일 구현예에 있어서, 상기 도전성 기판의 금속 나노와이어-그래핀 복합체 층은 바인더를 추가 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 바인더를 추가 포함함으로써, 점도 (viscosity), 부식성, 접착력 (adhesion), 및 금속 나노와이어의 분산력을 조절 또는 향상시킬 수 있다.In an embodiment of the present invention, the metal nanowire-graphene composite layer of the conductive substrate may further include a binder to solve the problems caused by the graphene flake. For example, by further including the binder, viscosity, corrosion, adhesion, and dispersion of the metal nanowires can be controlled or improved.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 도전성 기판은 그래핀 플레이크, 금속 나노와이어 및 바인더를 동시에 포함함에 따라, 종래 그래핀 플레이크에서 발생되는 응집으로 인한 문제점을 방지할 수 있으며, 그에 따라 상기 도전성 기판의 면 저항 (sheet resistance) 및 광 투과율을 증가시킬 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, since the conductive substrate includes graphene flakes, metal nanowires and a binder at the same time, it is possible to prevent problems caused by agglomeration generated in conventional graphene flakes, But may not be limited to, increased sheet resistance and light transmittance.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 바인더는, 예를 들어, 아크릴 수지, 스티렌 수지, 에폭시 수지, 아미드 수지, 아미드 에폭시 수지, 알키드 수지, 페놀 수지, 에스테르 수지, 우레탄 수지, 에폭시 수지와 (메타)아크릴산의 반응으로 얻어지는 에폭시 아크릴레이트 수지, 에폭시 아크릴레이트 수지, 산무수물의 반응으로 수득되는 산변성 에폭시 아크릴레이트 수지, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 종 이상을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, the binder is selected from, for example, acrylic resin, styrene resin, epoxy resin, amide resin, amide epoxy resin, alkyd resin, phenol resin, ester resin, urethane resin, An epoxy acrylate resin obtained by the reaction of acrylic acid, an epoxy acrylate resin, an acid-modified epoxy acrylate resin obtained by the reaction of an acid anhydride, and combinations thereof. But may not be limited.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 패터닝된 UV-패터닝 가능한 하드 코팅층 및 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 산화 방지층이 추가로 형성되는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 산화 방지층을 추가 포함함에 따라, 도전성 기판의 제조 공정에서 발생될 수 있는 도전성 기판의 산화와 같은 손상을 방지할 수 있으며, 그에 따라 신뢰성이 향상될 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the invention, the patterned UV-patternable hard coating layer and the metal nanowire-graphene composite layer may be further formed with an antioxidant layer. For example, by further including the antioxidant layer, it is possible to prevent damage such as oxidation of a conductive substrate, which may occur in a manufacturing process of a conductive substrate, thereby improving reliability. However, have.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 산화 방지층의 두께는 약 1 nm 내지 약 1 μm인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. In one embodiment herein, the thickness of the antioxidant layer may be from about 1 nm to about 1 占 퐉, but may not be limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 산화 방지층의 두께가 약 1 nm 미만일 경우 너무 얇아서 산화 방지 역할을 충분히 수행하지 못할 수 있으며, 상기 산화 방지층의 두께가 약 1 μm 초과일 경우, 저항값이 증가하여 터치 스크린 패널로서 활용되지 못할 수 있으므로, 상기 산화 방지층의 두께는 약 1 nm 내지 약 1 μm인 것이 적합하다. 예를 들어, 약 1 nm 내지 1 μm, 약 1 nm 내지 1,000 nm, 약 1 nm 내지 800 nm, 약 1 nm 내지 600 nm, 약 1 nm 내지 400 nm, 약 1 nm 내지 200 nm, 약 1 nm 내지 100 nm, 약 1 nm 내지 50 nm, 약 50 nm 내지 100 nm, 약 100 nm 내지 1,000 nm, 약 100 nm 내지 800 nm, 약 100 nm 내지 600 nm, 약 100 nm 내지 400 nm, 약 100 nm 내지 200 nm, 약 200 nm 내지 1,000 nm, 약 200 nm 내지 800 nm, 약 200 nm 내지 600 nm, 약 200 nm 내지 400 nm, 약 400 nm 내지 1,000 nm, 약 400 nm 내지 800 nm, 약 400 nm 내지 600 nm, 약 600 nm 내지 1,000 nm, 약 600 nm 내지 800 nm, 또는 약 800 nm 내지 1,000 nm인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, if the thickness of the antioxidant layer is less than about 1 nm, the antioxidant layer may be insufficiently antioxidized because it is too thin, and if the thickness of the antioxidant layer is greater than about 1 탆, The thickness of the antioxidant layer is suitably from about 1 nm to about 1 占 퐉. From about 1 nm to about 1 nm, from about 1 nm to about 1,000 nm, from about 1 nm to about 800 nm, from about 1 nm to about 600 nm, from about 1 nm to 400 nm, from about 1 nm to 200 nm, About 100 nm to about 100 nm, about 1 nm to about 50 nm, about 50 nm to about 100 nm, about 100 nm to about 1,000 nm, about 100 nm to about 800 nm, about 100 nm to about 600 nm, nm, about 200 nm to 1,000 nm, about 200 nm to 800 nm, about 200 nm to 600 nm, about 200 nm to 400 nm, about 400 nm to 1,000 nm, about 400 nm to 800 nm, , About 600 nm to about 1,000 nm, about 600 nm to about 800 nm, or about 800 nm to about 1,000 nm.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 산화 방지제는 테트라에틸 오르쏘실리케이트 (TEOS) 또는 다기능 아크릴레이트 단량체를 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 다기능 아크릴레이크 단량체는, 폴리메타아크릴레이트, 우레탄아크릴레이트, 트리메탄 프로판 트리아크릴레이트, 또는 부틸아크릴레이트를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment herein, the antioxidant may include, but is not limited to, tetraethyl orthosilicate (TEOS) or multifunctional acrylate monomers. For example, the multifunctional acryl lake monomer may include, but is not limited to, polymethacrylate, urethane acrylate, trimethane propane triacrylate, or butyl acrylate.

본원의 제 2 측면은, 본원의 제 1측면에 따른 도전성 기판을 포함하는, 디바이스를 제공한다. 본원의 제 2 측면에 따른 디바이스에 대하여, 본원의 제 1측면과 중복되는 부분들에 대해서는 상세한 설명을 생략하였으나, 그 설명이 생략되었더라도 본원의 제 1 측면에 기재된 내용은 본원의 제 2 측면에 동일하게 적용될 수 있다.The second aspect of the invention provides a device comprising a conductive substrate according to the first aspect of the present application. For the device according to the second aspect of the present application, a detailed description of the parts overlapping with the first aspect of the present application is omitted, but the description in the first aspect of the present application is omitted in the second aspect of the present application Lt; / RTI >

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 디바이스는 디스플레이 또는 광전 디바이스 (photovoltaic device)일 수 있다.In one embodiment of the invention, the device may be a display or a photovoltaic device.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 디스플레이는 유연 디스플레이, LCD 디스플레이, LED 디스플레이, OLED 디스플레이, 플랫 패널 디스플레이, 터치 스크린 패널, 플렉서블 디스플레이 등일 수 있으며; 또한, CRT 디스플레이, PDP 디스플레이, 터치패널, 또는 디지털 페이퍼일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 또한, 상기 디스플레이는 텔레비전 수상기, 각종 오디오/비디오 시스템, 홈 시어터 시스템 (home theater system), 데스크톱 컴퓨터 디바이스, 컴퓨터 모니터 디바이스, 카메라 디바이스, 동화상 촬영 디바이스, 전광판 또는 휴대용 단말 디바이스 등과 같이 정지 화상 또는 동화상을 표시할 수 있는 다양한 디바이스를 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 휴대용 단말 디바이스로는, 노트북 컴퓨터 디바이스, 셀룰러 폰, 스마트 폰, 태블릿 PC, 전자책 단말 디바이스, 개인용 디지털 보조 디바이스 (PDA), 내비게이션 단말 디바이스, 또는 휴대용 게임기 등 다양한 디바이스를 포함할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the display may be a flexible display, an LCD display, an LED display, an OLED display, a flat panel display, a touch screen panel, a flexible display, and the like; It may also be a CRT display, a PDP display, a touch panel, or a digital paper, but is not limited thereto. The display can also be used to display a still image or a moving image such as a television receiver, various audio / video systems, a home theater system, a desktop computer device, a computer monitor device, a camera device, And may include various devices that can be displayed. For example, the portable terminal device may include various devices such as a notebook computer device, a cellular phone, a smart phone, a tablet PC, an electronic book terminal device, a personal digital assistant device (PDA), a navigation terminal device, .

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 광전 디바이스는 광 에너지를 전기 에너지로 전환하거나, 또는 전기 에너지를 광 에너지로 전환할 수 있는 디바이스를 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 광전 디바이스는 태양 전지 등을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, the photoelectric device may include a device capable of converting light energy into electric energy, or converting electric energy into light energy. For example, the photoelectric device may include, but is not limited to, a solar cell or the like.

본원의 제 3 측면은, 제 1 이형 필름 (release film)에 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층을 형성하고; 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층에 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 형성하고; 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 제 2 이형 필름을 형성하고; 상기 제 1 이형 필름을 제거하고 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층, 및 상기 제 2 이형 필름을 기판에 전사한 뒤 상기 제 2 이형 필름을 제거하고; 포토리소그래피 공정에 의해 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 및 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 패터닝 하는 것을 포함하는, 도전성 기판의 제조 방법을 제공한다.A third aspect of the invention provides a method of forming a hard-coating layer, comprising: forming a UV-patternable hard-coating layer on a first release film; Forming a metal nanowire-graphene composite layer on the UV-patternable hard-coating layer; Forming a second release film on the metal nanowire-graphene composite layer; Removing the first release film and transferring the UV-patternable hard-coating layer, the metal nanowire-graphene composite layer, and the second release film to a substrate and removing the second release film; And patterning the UV-patternable hard-coating layer and the metal nanowire-graphene composite layer by a photolithography process.

본원의 제 3 측면에 따른 제조 방법에 대하여, 본원의 제 1측면과 중복되는 부분들에 대해서는 상세한 설명을 생략하였으나, 그 설명이 생략되었더라도 본원의 제 1 측면에 기재된 내용은 본원의 제 3 측면에 동일하게 적용될 수 있다.Although a detailed description of the manufacturing method according to the third aspect of the present invention is omitted for the sake of simplicity, the description of the first aspect of the present application is omitted from the third aspect of the present invention The same can be applied.

본원의 일 구현예에 따른 제조 방법에 있어서, 종래의 스퍼터, 습식, 포토레지스트, 에칭 등과 같은 복합한 공정을 사용하지 않고, 상기 도전성 기판의 제조 방법을 단순화시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 도전성 기판의 제조 방법은, 종래의 스퍼터, 습식, 포토레지스트, 에칭 등을 포함하는 복잡한 방법과 달리, 필름 전사법을 이용하여 포토리소그래피 공정에 의하여 기판 또는 전극 상에 직접 패턴을 형성하는 것이며, 상기와 같은 도전성 기판의 제조 방법을 이용하여 터치 스크린 패널을 제조할 경우, 그래핀으로부터 유도되는 전도성 감소 및 금속 나노와이어로부터 유도되는 항복 전압 (breakdown voltage), 및 안전성 감소 등의 문제를 해결할 수 있다.In the manufacturing method according to one embodiment of the present invention, the manufacturing method of the conductive substrate can be simplified without using a conventional process such as sputtering, wetting, photoresist, etching, and the like. For example, the method of manufacturing the conductive substrate may be a method of forming a pattern directly on a substrate or electrode by a photolithography process using a film transfer method, unlike a complicated method including conventional sputtering, wetting, photoresist, When a touch screen panel is manufactured using the above-described method for manufacturing a conductive substrate, problems such as a decrease in conductivity induced from graphene, a breakdown voltage induced from metal nanowires, and a decrease in safety Can be solved.

본원의 일 구현예에 따른 도전성 기판의 제조 방법은, 도 1 및 도 2에 나타낸 순서도 및 모식도를 통해 이하 상세하게 설명될 수 있다. A method of manufacturing a conductive substrate according to an embodiment of the present invention can be described in detail below with reference to flowcharts and schematic diagrams shown in Figs. 1 and 2.

도 1 및 도 2을 참고하면, 상기 도전성 기판의 제조 방법은, (a) 제 1 이형 필름에 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층을 형성하고; (b) 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층에 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 형성하고; (c) 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 제 2 이형 필름을 형성하고; (d) 상기 제 1 이형 필름을 제거하고 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층, 및 상기 제 2 이형 필름을 기판에 전사한 후 상기 제 2 이형 필름을 제거하고; (e) 포토리소그래피 공정을 통해 상기 전사된 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 및 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 패터닝하고; 및 (f) 상기 패터닝된 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 및 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 산화 방지층을 형성하는 것을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.1 and 2, a method of manufacturing the conductive substrate includes the steps of: (a) forming a UV-patternable hard-coating layer on a first release film; (b) forming a metal nanowire-graphene composite layer on the UV-patternable hard-coating layer; (c) forming a second release film on the metal nanowire-graphene composite layer; (d) removing the first release film and transferring the UV-patternable hard-coating layer, the metal nanowire-graphene composite layer, and the second release film to a substrate, and then removing the second release film ; (e) patterning the transferred UV-patternable hard-coating layer and the metal nanowire-graphene composite layer through a photolithography process; And (f) forming an antioxidant layer on the patterned UV-patternable hard-coating layer and the metal nanowire-graphene composite layer.

상기 (a) 단계에서는, UV-패터닝 가능한 하드-코팅 전구체를 포함하는 용액을 제 1 이형 필름에 코팅하여 형성된다. 상기 코팅 방법은 공지된 방법들이 특별히 제한 없이 사용될 수 있다. 예를 들어, 상기 패터닝된 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층은, 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅 전구체를 포함하는 용액을 제 1 이형 필름에 코팅한 뒤, 약 100℃ 내지 약 180℃ 범위의 온도에서 열처리 함으로써 열적 경화됨으로써 형성되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.In the step (a), a solution containing a UV-patternable hard-coating precursor is coated on the first release film. The coating method can be used without any particular limitation in known methods. For example, the patterned UV-patternable hard-coat layer may be formed by coating a solution comprising the UV-patternable hard-coating precursor on the first release film and then drying the solution at a temperature in the range of about 100 < But may be formed by thermal curing by heat treatment, but the present invention is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 이형 필름에 대한 내용은, 참고문헌으로서 일본 공개특허 2017-035885호에 기재된 내용을 참조할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the content of the release film is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2017-035885 as a reference.

상기 참고문헌을 참조하면, 상기 "이형 필름 (release film)"의 기재는 균일한 주행성 및 우수한 밀착성을 위하여, 기재 필름의 단면 또는 양면에 실리콘 조성물과 대전 방지 효과를 나타내는 무기 입자를 첨가하여 도포한 코팅층을 포함하는 필름을 의미하는 것일 수 있다. 상기 이형 필름은 균일하게 박리될 수 있으며, 잔류 접착력, 대전 방지 성능이 매우 우수하여 다양한 용도 및 공정 조건에 용이하게 적용될 수 있어, 점착성을 가진 부품 소재의 일시적 지지체 및 점착층 보호용으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 상기 이형 필름은 전기 또는 전자 디바이스, 예를 들어 디스플레이 소재의 점착층을 보호하거나, 기재로서 사용되는 기능성 필름을 의미하는 것일 수 있으며, 또는 MLCC 적층형 세라믹 콘덴서 (multu-layer cermic capacitor), 칩 바리스터, 칩 인덕터 등 세라믹 유전체 성형 공정의 기재로 사용될 수 있고, 또는 ACF 이방성 도전 필름, DAF (die attached film)과 같은 디스플레이의 기재 필름으로서 사용되는 것일 수 있다.Referring to the above reference, the base material of the above-mentioned "release film" is prepared by adding a silicone composition and an inorganic particle exhibiting an antistatic effect to either or both surfaces of a substrate film for uniform running and good adhesion And may mean a film comprising a coating layer. The releasing film can be uniformly peeled off, has excellent residual adhesive force and antistatic property, and can be easily applied to various applications and process conditions. Thus, it can be used for protecting a temporary support and an adhesive layer of a component material having adhesiveness. For example, the release film may be an electrical or electronic device, for example, a functional film used as a substrate to protect an adhesive layer of a display material, or an MLCC multichannel ceramic capacitor. , Chip varistors, chip inductors, etc., or may be used as a base film of a display such as ACF anisotropic conductive film, DAF (die attached film).

또한, 상기 이형 필름은 점착제, 접착제, 점약제 등을 위한 접착면 보호용 필름으로 사용되거나 수지의 시트를 형성하기 위한 캐리어 시트, 예를 들어, 세라믹 시트 또는 전극 시트로 사용될 수 있는 필름을 의미하는 것일 수 있다. 상기 시트 형태의 이형 필름은, 예를 들어 제품이 최종적으로 제조되거나 사용될 때까지 분진, 파편, 수분 및 기타 오염물에 의한 오염으로부터 접착 제품의 점착성 접착면을 일시적으로 보호하는 역할을 하는 것일 수 있으며, 따라서 제품의 사용 직전 또는 최종적으로 제조되기 직전에 접착면으로부터 분리되는 것일 수 있다.Further, the release film may be used as a film for protecting an adhesive surface for a pressure-sensitive adhesive, an adhesive, a dapper or the like, or a film which can be used as a carrier sheet for forming a sheet of resin, for example, a ceramic sheet or an electrode sheet . The release film in the form of a sheet may serve to temporarily protect the adhesive bonding surface of the adhesive product from contamination with dust, debris, moisture and other contaminants until the product is finally manufactured or used, Therefore, it may be separated from the adhesive side just before use of the product or just before being finally produced.

상기 이형 필름은, 기재 필름 및 상기 기재 필름의 적어도 하나의 면에 형성된 코팅층을 포함하는 것일 수 있다. 상기 코팅층은 제품의 표면에 박리성을 부여하면서 제품과의 밀착력을 부여할 수 있는 것일 수 있으며, 예를 들어, 실리콘 등이 코팅되어 있는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.The release film may comprise a base film and a coating layer formed on at least one surface of the base film. The coating layer may be one capable of imparting peelability to the surface of the product while adhering to the product, and may be, for example, coated with silicone or the like, but is not limited thereto.

상기 이형 필름의 코팅층을 이루는 코팅 조성물은, 코팅 방법 또는 용도에 따라 에멀젼형 또는 용제형으로 제조될 수 있으며, 상기 에멀전형의 조성물은 인라인 코팅에 주로 적용되고, 용제형의 조성물은 오프라인 코팅에 적용되는 것일 수 있다. 상기 에멀젼형의 조성물을 사용하는 경우 환경적으로 안정하며, 인라인 코팅으로 적용될 경우 작업성이 향상되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.The coating composition constituting the coating layer of the release film may be prepared in an emulsion type or a solvent type depending on the coating method or use, and the emulsion type composition is mainly applied to the inline coating, and the solvent type composition is applied to the off-line coating . When the emulsion type composition is used, it may be environmentally stable, but when applied as an in-line coating, workability may be improved, but the present invention is not limited thereto.

예를 들어, 상기 에멀젼형의 조성물을 이용하는 경우, 구체적으로 상기 코팅 조성물은 실리콘계 바인더 수지와 전도성 고분자, 백금 킬레이트 촉매 및 물을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. For example, when the emulsion type composition is used, specifically, the coating composition may include, but not limited to, a silicone-based binder resin and a conductive polymer, a platinum chelate catalyst, and water.

상기 코팅층은, 피전사체에 대한 박리성을 향상시키기 위해, 폴리아릴레이트 수지를 함유하는 것일 수 있다. 상기 폴리아릴레이트 수지를 포함함에 따라, 상기 이형 필름의 내열성이 향상되어, 가열 등의 공정을 거친 후에도 피전사체와의 박리성이 양호한 것일 수 있다.The coating layer may contain a polyarylate resin in order to improve the releasability of the coated body. By including the polyarylate resin, heat resistance of the release film is improved, and even after a process such as heating, peelability to a transferred body can be good.

상기 이형 필름의 기재 필름은, 기계적 강도, 내약품성, 내열성을 지니는 수지라면 제한 없이 사용될 수 있으며, 예를 들어, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀 수지; 나일론 6, 나일론 66 등의 폴리아미드 수지; 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌-2,6-나프탈레이트, 폴리트리메틸렌 테레프탈레이트; 또는 디에틸렌글리콜, 네오펜틸글리콜, 1.4-사이클로헥산디메탄올, 폴리알킬렌 글리콜 등의 디올 성분과 아디프산, 세바신산, 프탈산, 이소프날산, 2,6-나프탈렌 디카르복실산 등의 디카르복실산 성분을 공중합한 폴리에스테르 수지가 사용될 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.The base film of the release film can be used without limitation as long as it has mechanical strength, chemical resistance and heat resistance, and examples thereof include polyolefin resins such as polyethylene and polypropylene; Polyamide resins such as nylon 6 and nylon 66; Polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polytrimethylene terephthalate; Or a diol component such as diethylene glycol, neopentyl glycol, 1,4-cyclohexanedimethanol and polyalkylene glycol and a dicarboxylic acid such as adipic acid, sebacic acid, phthalic acid, isophthalic acid, and 2,6-naphthalenedicarboxylic acid A polyester resin obtained by copolymerizing a carboxylic acid component and a carboxylic acid component may be used, but the present invention is not limited thereto.

상기 기재 필름은 단층 또는 복층일 수 있으며, 상기 기재 필름은 필요에 따라 산화 방지제, 내광제, 젤화제, 유기 습윤제, 자외선 흡수제, 또는 계면활성제를 포함하는 각종 첨가제가 추가되는 것일 수 있다.The base film may be a single layer or a multi-layer, and the base film may be added with various additives including an antioxidant, an anti-light agent, a gelling agent, an organic wetting agent, an ultraviolet absorber, or a surfactant if necessary.

또한, 상기 기재 필름은 투명형 또는 착색형일 수 있으며, 착색형의 경우 착색하는 방법은 안료 또는 염료를 이용하여 착색시킬 수 있는 것이라면 특별히 제한되지 않을 수 있다.The base film may be transparent or colored, and in the case of the colored type, the method of coloring may be not particularly limited as long as it can be colored with a pigment or a dye.

이어서, (b) 단계에서는, 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층에 금속 나노와이어 및 그래핀 플레이크를 포함하는 용액을 코팅함으로써 금속 나노와이어-그래핀 복합체층이 형성된다. 상기 용액은 금속 나노와이어, 그래핀 플레이크 외에 바인더를 포함할 수 있으며, 상기 금속 나노와이어와 바인더의 첨가로 인하여 상기 그래핀 플레이크의 응집이 감소할 수 있다.Subsequently, in step (b), a metal nanowire-graphene composite layer is formed by coating a solution containing metal nanowires and graphene flakes on the UV-patternable hard-coating layer. The solution may include a binder in addition to the metal nanowire and the graphene flake, and the aggregation of the graphene flake may be reduced due to the addition of the metal nanowire and the binder.

(c) 단계에서는, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 제 2 이형 필름이 형성되는 것일 수 있으며, 이어서 (d) 단계에서는 상기 제 1 이형 필름이 제거된 후 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층, 및 상기 제 2 이형 필름이 상기 기판에 전사되는 것일 수 있다. 이때, 상기 UV 패터닝 가능한 하드-코팅층이 상기 기판에 접촉하는 방향으로 전사되는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 기판은 디스플레이 패널일 수 있으나, 이제 제한되는 것은 아니다. 상기 기판에 전사된 후, 상기 제 2 이형 필름은 이후 패터닝 공정 등을 위하여 제거되는 것일 수 있다.In step (c), a second release film may be formed on the metal nanowire-graphene composite layer. In step (d), after the first release film is removed, the UV-patternable hard- , The metal nanowire-graphene composite layer, and the second release film are transferred to the substrate. At this time, the UV patternable hard-coating layer may be transferred in a direction to contact the substrate. For example, the substrate may be a display panel, but is not limited thereto. After being transferred to the substrate, the second release film may be removed for a patterning process or the like.

다음으로, (e) 단계에서는, 상기 기판에 전사된 패터닝된 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 및 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 포토리소그래피 공정을 통해 패터닝을 진행한다. Next, in step (e), the patterned UV-patternable hard-coating layer transferred onto the substrate and the metal nanowire-graphene composite layer are patterned through a photolithography process.

상기 포토리소그래피는 본 기술 분야에 공지된 방법과 재료들을 이용할 수 있으며, 예를 들어, 네가티브 또는 포지티브 마스크 패턴을 통해 활성 광선을 패터닝하고자 하는 대상에 조사하는 방법 (마스크 노광법)을 들 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 상기 활성 광선의 광원으로서는, 공지의 광원, 예를 들어, 카본 아크등, 수은 증기 아크등, 초고압 수은등, 고압 수은등, 크세논 램프 등의 자외선, 가시광선 등을 유효하게 방사하는 것이 이용된다. 또한, Ar 이온 레이저, 반도체 레이저 등의 자외선, 가시광 등을 유효하게 방사하는 것도 이용된다. 또한, 사진용 플랫 전구, 태양 램프 등의 가시광을 유효하게 방사하는 것도 이용된다. 또한, 레이저 노광법 등을 이용한 직접 묘화법에 의해 활성 광선을 패터닝하고자 하는 대상에 조사하는 방법을 채용해도 된다. 예를 들어, 상기 포토리소그래피가 포지티브 타입으로 수행되는 경우, 포토리소그래피 공정에서 포토-마스크에 의해 가려지지 않은 영역은 활성 광원, 예를 들어 UV에 의하여 노광된다. 노광된 후, 상기 노광된 영역은 현상 용액에 의하여 제거됨으로써 패터닝이 완료되는 것일 수 있다. As the photolithography, methods and materials known in the art can be used. For example, a method of irradiating an object to be patterned with an actinic ray through a negative or positive mask pattern (mask exposure method) But is not limited thereto. As the light source of the active light ray, a known light source such as a carbon arc, a mercury vapor arc or the like, an ultraviolet ray such as an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, or a xenon lamp, visible light or the like is effectively radiated. It is also possible to effectively radiate ultraviolet rays or visible light such as Ar ion lasers and semiconductor lasers. It is also possible to effectively radiate visible light such as a photographic flat bulb or a solar lamp. A method of irradiating an object to be patterned with an actinic ray by a direct drawing method using a laser exposure method or the like may be employed. For example, when the photolithography is performed in a positive type, the region not covered by the photo-mask in the photolithographic process is exposed by an active light source, for example UV. After being exposed, the exposed region may be removed by the developing solution to complete the patterning.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 현상 용액은 유기 용매를 포함하는 것일 수 있으며, 예를 들어, 1,1,1-트리클로로에탄, N-메틸피롤리돈, N,N-디메틸포름아미드, 시클로헥사논, 메틸이소부틸케톤, 또는 γ-부틸로락톤을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 상기 포토리소그래피 공정에 의한 패터닝은, 종래의 스퍼터 (sputter), 습식 (wet), 포토레지스트 (photoresist)로 이루어지는 복잡한 공정을 단순화 시킬 수 있다. In one embodiment of the present invention, the developing solution may be an organic solvent, for example, 1,1,1-trichloroethane, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, Cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, or? -Butyrolactone, but the present invention is not limited thereto. The patterning by the photolithography process can simplify a complicated process including a conventional sputter, wet, and photoresist.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 UV-패터닝 가능한 하드 코팅층 및 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층이 적층된 막 또는 필름을 이용함으로써, 상기 패터닝이 더욱 용이하게 진행되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, the patterning may be facilitated by using a film or a film on which the UV-patternable hard coating layer and the metal nanowire-graphene composite layer are laminated, but is not limited thereto .

마지막으로, (f) 단계에서는, 상기 기판에 전사되고 패터닝된 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 및 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에, 산화 방지제를 포함하는 용액을 코팅하여 산화 방지층을 형성한다. 비제한적 예로서, 상기 산화 방지제는 TEOS 또는 다기능 아크릴레이트 단량체를 포함하는 것일 수 있으며, 상기 산화 방지제를 포함하는 용액이 코팅된 뒤 열처리를 통해 경화됨으로써 상기 기판 및 기판에 형성된 패터닝된 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 및 금속 나노와이어-그래핀 복합체층이 산화 방지층이 코팅된다.Finally, in step (f), a solution containing an antioxidant is coated on the patterned UV-patternable hard-coating layer and the metal nanowire-graphene composite layer transferred to the substrate to form an antioxidant layer. As a non-limiting example, the antioxidant may be one comprising TEOS or a multifunctional acrylate monomer, wherein the solution comprising the antioxidant is coated and then cured through heat treatment to form a patterned UV-patternable The hard-coating layer and the metal nanowire-graphene composite layer are coated with an antioxidant layer.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 도전성 기판은 상기 금속 나노와이어 및 그래핀을 동시에 포함함으로써, 높은 전기 전도성 및 낮은 저항을 갖는 것일 수 있다. In one embodiment of the invention, the conductive substrate may be one having high electrical conductivity and low resistance by simultaneously including the metal nanowire and graphene.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 기판은 디스플레이 패널일 수 있으며, 또는 투명하거나, 또는 투명하고 유연성을 가지는 것일 수 있으며, 유리, 금속, 산화물, 실리콘, 또는 고분자 기판을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 고분자 기판은 폴리카보네이트 (polycarbonate, PC), 폴리에틸설폰 (polyethylsulfone, PES), 폴리에틸렌 프탈레이트 (polyethylene phthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트 (polyethylene terephthalate, PET), 폴리메틸메타크릴레이트 (polymethylmethacrylate, PMMA), 폴리스티렌 (polystyrene, PS), 싸이클릭 올레핀 공중합체 (cyclic olefin copolymer), 폴리에틸렌 나프탈레이트 (polyethylene naphthalate, PEN), 폴리이미드 (polyimide), 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 물질을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the invention, the substrate may be a display panel, or it may be transparent, transparent, or flexible and may comprise glass, metal, oxide, silicon, or polymer substrates, But may not be limited. For example, the polymer substrate may be made of polycarbonate (PC), polyethylsulfone (PES), polyethylene phthalate, polyethylene terephthalate (PET), polymethylmethacrylate A material selected from the group consisting of polymethylmethacrylate (PMMA), polystyrene (PS), cyclic olefin copolymer, polyethylene naphthalate (PEN), polyimide, But is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 투명한 기판 또는 투명하고 유연성을 가지는 기판을 이용할 경우, 우수한 전기 전도성 및 투과율로 인하여, 상기 도전성 기판은 종래의 ITO 또는 FTO 등의 투명 금속 산화물 전극의 대체재로서 사용될 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present disclosure, when using the transparent substrate or the transparent and flexible substrate, the conductive substrate can be used as a substitute for a transparent metal oxide electrode such as a conventional ITO or FTO due to its excellent electrical conductivity and transmittance However, the present invention is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 패턴을 가지는 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층은 제 1 이형 필름 (release film)에 형성되는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 패턴을 가지는 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층은 제 1 이형 필름에 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅 용액을 코팅함으로써 형성되는 것일 수 있으며, 상기 제 1 형 필름이 제거된 후 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층이 기판에 전사되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the invention, the UV-patternable hard-coating layer having the pattern may be formed in a first release film. For example, a UV-patternable hard-coating layer having the pattern may be formed by coating the first mold release film with the UV-patternable hard-coating solution, and after the first type film is removed, the UV - The patternable hard-coating layer may be, but not limited to, transferred to the substrate.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층에 대한 내용은, 참고문헌으로서 대한민국 공개특허 2016-0065914호에 기재된 내용을 참조할 수 있다.In one embodiment of the invention, the content of the UV-patternable hard-coating layer can be found in Korean Patent Publication No. 2016-0065914 as a reference.

상기 참고문헌을 참조하면, 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층은, 적어도 하나의 관능기를 가지며, 화학 방사선의 작용 하에 에틸렌계 불포화 화합물과 반응하여 중합되는 하나 이상의 단량체성 또는 중합체성 화합물, 실리카 나노입자, 광개시제, 기타 첨가제, 비관능성 중합체 및/또는 충전제를 포함하는 내블록성 (block-resistant) 열가소성 층이고, 화학 방사선에 의해 유도된 후속적 중합에 의해 최종-경화된 것을 특징으로 하는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 단량체성 또는 중합체성 화합물은, 에스테르, 카르보네이트, 아크릴레이트, 에테르, 우레탄 또는 아미드 또는 상기와 같은 구조 유형의 중합체성 화합물을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.Referring to the above reference, the UV-patternable hard-coating layer comprises at least one monomeric or polymeric compound having at least one functional group and being polymerized by reaction with an ethylenically unsaturated compound under the action of actinic radiation, , A block-resistant thermoplastic layer comprising a photoinitiator, other additives, a non-functional polymer and / or a filler, and may be characterized as being final-cured by subsequent polymerization induced by actinic radiation . For example, the monomeric or polymeric compound may include, but is not limited to, esters, carbonates, acrylates, ethers, urethanes or amides or polymeric compounds of the above-described structural types.

상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층은, 화학 방사선의 작용 하에 중합 가능한 적어도 하나의 기를 함유하는 이러한 단량체 및/또는 중합체의 임의의 원하는 혼합물을 또한 사용할 수 있다.The UV-patternable hard-coat layer may also use any desired mixture of such monomers and / or polymers containing at least one group polymerizable under the action of actinic radiation.

상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층은 통상의 용매에 의해 세척이 가능하고, UV 경화가 가능한 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층은 용매-세척에 의한 현상 방법에 대하여 화학적 내성을 가지므로, 기판 상의 릴리프 패턴의 형성을 초래하는 것일 수 있다. The UV-patternable hard-coat layer may be washable by conventional solvents and may be UV curable. For example, the UV-patternable hard-coating layer may be chemically resistant to the solvent-cleaning development process, thus resulting in the formation of a relief pattern on the substrate.

상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 위 또는 아래에 전도성 물질의 층이 있는 경우, 상기 전도성 패턴은 전통적인 리소그래피-에칭 공정 없이 통상의 용매와의 비-접촉 세척에 의해 얻어질 수 있다. 예를 들어, 상기 패터닝 동안에 위험한 강산, 강한 산화제 또는 상업적 에천트로부터 보호될 수 있다.If there is a layer of conductive material on or under the UV-patternable hard-coat layer, the conductive pattern can be obtained by a non-contact wash with conventional solvents without a traditional lithographic-etch process. For example, it can be protected from dangerous strong acids, strong oxidants or commercial etchants during the patterning.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 그래핀은 다양한 방법에 의하여 제조되는 그래핀 또는 도핑된-그래핀을 포함할 수 있으며, 예를 들어, 상기 그래핀은 그래핀 플레이크를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 본원의 일 구현예에 있어서, 상기 그래핀은 그래핀 플레이크를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. In one embodiment of the invention, the graphene may comprise graphene or doped-graphene prepared by a variety of methods, for example, the graphene may comprise graphene flakes, But may not be limited thereto. In one embodiment of the invention, the graphene may comprise, but not be limited to, graphene flakes.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어는 Ag, Au, Cu, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 금속을 포함하는 것일 수 있으며, 상기 금속 나노와이어는 원소 금속, 또는 금속 합금을 포함하는 금속 혼합물을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. In one embodiment of the present invention, the metal nanowire may comprise a metal selected from the group consisting of Ag, Au, Cu, and combinations thereof, and the metal nanowire may be an elemental metal, But are not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 그래핀 플레이크는 나노 사이즈의 도전성 물질로서, 상대적으로 매우 낮은 저항값을 가지며, 전기 전도도가 높은 성질을 갖는다. In one embodiment of the present invention, the graphene flake is a nano-sized conductive material having a relatively low resistance value and a high electrical conductivity.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 그래핀 플레이크는 약 5 μm 이하의 길이를 갖는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 그래핀 플레이크의 길이는 약 5 μm 이하, 약 10 nm 내지 약 5 μm, 약 10 nm 내지 약 3 μm, 약 10 nm 내지 약 1 μm, 약 10 nm 내지 약 100 nm, 약 100 nm 내지 약 5 μm, 약 100 nm 내지 약 4 μm, 약 100 nm 내지 약 3 μm, 약 100 nm 내지 약 2 μm, 약 100 nm 내지 약 1 μm, 약 100 nm 내지 약 500 nm, 약 1 μm 내지 약 5 μm, 약 1 μm 내지 약 4 μm, 약 1 μm 내지 약 3 μm, 약 1 μm 내지 약 2 μm, 약 2 μm 내지 약 5 μm, 약 2 μm 내지 약 4 μm, 약 2 μm 내지 약 3 μm, 약 3 μm 내지 약 5 μm, 약 3 μm 내지 약 4 μm, 또는 약 4 μm 내지 약 5 μm인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the invention, the graphene flake may have a length of about 5 μm or less, but may not be limited thereto. For example, the length of the graphene flake may be less than about 5 占 퐉, about 10 nm to about 5 占 퐉, about 10 nm to about 3 占 퐉, about 10 nm to about 1 占 퐉, about 10 nm to about 100 nm, from about 100 nm to about 3 탆, from about 100 nm to about 2 탆, from about 100 nm to about 1 탆, from about 100 nm to about 500 nm, from about 1 탆 to about 5 탆, from about 100 nm to about 4 탆, From about 1 μm to about 4 μm, from about 1 μm to about 3 μm, from about 1 μm to about 2 μm, from about 2 μm to about 5 μm, from about 2 μm to about 4 μm, from about 2 μm to about 3 , about 3 μm to about 5 μm, about 3 μm to about 4 μm, or about 4 μm to about 5 μm.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어의 길이는 약 10 μm 이상인 것일 수 있으며, 두께는 약 1 nm 내지 1 μm인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. In one embodiment of the invention, the length of the metal nanowire may be about 10 μm or more, and the thickness may be about 1 nm to 1 μm, but the present invention is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어의 길이가 약 10 μm 미만일 경우, 저항값이 측정되지 않을 수 있으며, 상기 금속 나노와이어의 길이가 약 1,000 μm 초과일 경우, 패턴을 형성하기 어렵거나, 높은 헤이즈 (haze) 값 또는 낮은 투과도를 나타내는 것일 수 있으므로, 상기 금속 나노와이어의 길이는 약 10 μm 내지 약 1,000 μm인 것이 적합하다. 예를 들어, 상기 금속 나노와이어의 길이는 예를 들어 약 10 μm 이상, 약 10 μm 내지 약 1,000 μm, 약 10 μm 내지 약 800 μm, 약 10 μm 내지 약 600 μm, 약 10 μm 내지 약 400 μm, 약 10 μm 내지 약 200 μm, 약 10 μm 내지 약 100 μm, 약 10 μm 내지 약 50 μm, 약 50 μm 내지 약 100 μm, 약 100 μm 내지 약 1,000 μm, 약 100 μm 내지 약 800 μm, 약 100 μm 내지 약 600 μm, 약 100 μm 내지 약 400 μm, 약 100 μm 내지 약 200 μm, 약 200 μm 내지 약 1,000 μm, 약 200 μm 내지 약 800 μm, 약 200 μm 내지 약 600 μm, 약 200 μm 내지 약 400 μm, 약 400 μm 내지 약 1,000 μm, 약 400 μm 내지 약 800 μm, 약 400 μm 내지 약 600 μm, 약 600 μm 내지 약 1,000 μm, 약 600 μm 내지 약 800 μm, 약 800 μm 내지 약 1,000 μm, 또는 약 10 μm 내지 약 30 μm, 인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, when the length of the metal nanowire is less than about 10 m, the resistance value may not be measured, and when the length of the metal nanowire is greater than about 1,000 m, , High haze value, or low transmittance, the length of the metal nanowires is suitably from about 10 [mu] m to about 1,000 [mu] m. For example, the length of the metal nanowires may be, for example, at least about 10 占 퐉, from about 10 占 퐉 to about 1,000 占 퐉, from about 10 占 퐉 to about 800 占 퐉, from about 10 占 퐉 to about 600 占 퐉, From about 10 μm to about 200 μm, from about 10 μm to about 100 μm, from about 10 μm to about 50 μm, from about 50 μm to about 100 μm, from about 100 μm to about 1,000 μm, from about 100 μm to about 800 μm, From about 100 μm to about 600 μm, from about 100 μm to about 400 μm, from about 100 μm to about 200 μm, from about 200 μm to about 1,000 μm, from about 200 μm to about 800 μm, from about 200 μm to about 600 μm, From about 400 μm to about 1,000 μm, from about 400 μm to about 1,000 μm, from about 400 μm to about 800 μm, from about 400 μm to about 600 μm, from about 600 μm to about 1,000 μm, from about 600 μm to about 800 μm, Or about 10 [mu] m to about 30 [mu] m.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어의 두께가 약 1 nm 미만일 경우, 저항값이 측정되지 않을 수 있으며, 상기 금속 나노와이어의 두께가 약 1,000 nm 초과일 경우, 두께가 지나치게 굵어져 높은 헤이즈 (haze) 값 또는 낮은 투과도를 나타내는 것일 수 있으므로, 상기 금속 나노와이어의 두께는 약 1 nm 내지 약 1,000 nm인 것이 적합하다. 예를 들어, 상기 금속 나노와이어의 두께는 약 1 nm 내지 1 μm, 약 1 nm 내지 약 1,000 nm, 약 1 nm 내지 약 800 nm, 약 1 nm 내지 약 600 nm, 약 1 nm 내지 약 400 nm, 약 1 nm 내지 약 200 nm, 약 1 nm 내지 약 100 nm, 약 1 nm 내지 약 50 nm, 약 100 nm 내지 약 1,000 nm, 약 100 nm 내지 약 800 nm, 약 100 nm 내지 약 600 nm, 약 100 nm 내지 약 400 nm, 약 100 nm 내지 약 200 nm, 약 200 nm 내지 약 1,000 nm, 약 200 nm 내지 약 800 nm, 약 200 nm 내지 약 600 nm, 약 200 nm 내지 약 400 nm, 약 400 nm 내지 약 1,000 nm, 약 400 nm 내지 약 800 nm, 약 400 nm 내지 약 600 nm, 약 600 nm 내지 약 1,000 nm, 약 600 nm 내지 약 800 nm, 또는 약 800 nm 내지 약 1,000 nm인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.If the thickness of the metal nanowire is less than about 1 nm, the resistance value may not be measured. If the thickness of the metal nanowire is greater than about 1,000 nm, the thickness of the metal nanowire is excessively thick The thickness of the metal nanowire is suitably from about 1 nm to about 1,000 nm since it may represent a haze value or a low transmittance. For example, the thickness of the metal nanowires may range from about 1 nm to about 1 μm, from about 1 nm to about 1,000 nm, from about 1 nm to about 800 nm, from about 1 nm to about 600 nm, from about 1 nm to about 400 nm, From about 1 nm to about 200 nm, from about 1 nm to about 100 nm, from about 1 nm to about 50 nm, from about 100 nm to about 1,000 nm, from about 100 nm to about 800 nm, from about 100 nm to about 600 nm, from about 200 nm to about 400 nm, from about 200 nm to about 400 nm, from about 100 nm to about 200 nm, from about 200 nm to about 1,000 nm, from about 200 nm to about 800 nm, from about 200 nm to about 600 nm, From about 400 nm to about 800 nm, from about 400 nm to about 600 nm, from about 600 nm to about 1,000 nm, from about 600 nm to about 800 nm, or from about 800 nm to about 1,000 nm, But may not be limited.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 그래핀 플레이크는 상기 금속 나노와이어를 포함하는 용액에 함께 분산되어 금속 나노와이어-그래핀 복합체층 형성에 이용될 수 있다. In one embodiment of the invention, the graphene flakes may be dispersed together in a solution comprising the metal nanowires to form a metal nanowire-graphene composite layer.

상기 그래핀 플레이크는, 분산이 충분히 일어나지 않은 경우, 반데르발스 인력에 의해 뭉침이 발생할 수 있으며, 뭉침 현상이 발생할 경우 그 영역의 광 투과도가 저하될 우려가 있다. 또한, 상기 그래핀 플레이크의 뭉침 현상이 발생할 경우, 상기 도전성 기판의 영역별로 면 저항 값이 균일하지 않게 되고, 이에 따라 전기 전도성이 저하되는 문제점이 발생할 수 있다. 예를 들어, 나노 크기의 상기 그래핀 플레이크는 화학적 또는 기계적으로 연결되어 있지 않기 때문에, 화학적 안정성 또는 기계적 안정성이 저하되는 단점을 갖는다. 즉, 단순한 그래핀 플레이크의 혼합 및 분산만으로는, 다수의 그래핀 플레이크 간 서로 접촉할 확률이 낮기 때문에, 전기 전도도가 필요한 값에 비해 낮게 형성되고, 접촉 확률을 높이기 위해 그래핀 플레이크의 농도를 높이게 되면, 광 투과도가 저하되는 문제점이 발생할 수 있다. When the graphene flakes are not sufficiently dispersed, aggregation may occur due to van der Waals attraction, and when aggregation occurs, the light transmittance of the graphene flakes may be lowered. In addition, when the graphene flakes are agglomerated, the surface resistivity of the conductive substrate may not be uniform according to the area of the conductive substrate, thereby lowering the electrical conductivity. For example, since the nano-sized graphene flakes are not chemically or mechanically connected, their chemical stability or mechanical stability is deteriorated. That is, since the probability of contact between a plurality of graphene flakes is low only by mixing and dispersing a simple graphene flake, the electrical conductivity is formed lower than a required value, and when the concentration of graphene flake is increased , The light transmittance may be deteriorated.

상기와 같은 그래핀 플레이크에서 발생되던 문제점을 해결하기 위해, 본원의 일 구현예에 있어서, 상기 도전성 기판의 금속 나노와이어-그래핀 복합체 층은 바인더를 추가 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 바인더를 추가 포함함으로써, 점도 (viscosity), 부식성, 접착력 (adhesion), 및 나노와이어 분산력을 조절 또는 향상시킬 수 있다.In an embodiment of the present invention, the metal nanowire-graphene composite layer of the conductive substrate may further include a binder to solve the problems caused by the graphene flake. For example, by further including the binder, viscosity, corrosion, adhesion, and nanowire dispersibility can be controlled or improved.

예를 들어, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체 층은, 상기 UV-패터닝 가능한 하드 코팅층에 금속 나노와이어, 그래핀 플레이크, 및 바인더를 포함하는 용액을 코팅함으로써 형성되는 것일 수 있다. For example, the metal nanowire-graphene composite layer may be formed by coating the UV-patternable hard coat layer with a solution comprising metal nanowires, graphene flakes, and a binder.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 코팅은 공지된 방법으로 수행될 수 있으며, 예를 들어, 웹 코팅, 슬롯-다이 코팅, 이중 슬릿 코팅, 스핀 코팅, 딥 코팅, 스프레이 코팅, 절연 코팅, 또는 존 캐스팅을 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the invention, the coating may be performed in a known manner and may be carried out in a known manner, for example, by a web coating, slot-die coating, double slit coating, spin coating, dip coating, spray coating, Casting, but may not be limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 도전성 기판은 그래핀 플레이크, 금속 나노와이어 및 바인더를 동시에 포함함에 따라, 종래 그래핀 플레이크에서 발생되는 응집으로 인한 문제점을 방지할 수 있으며, 그에 따라 상기 도전성 기판의 면 저항 (sheet resistance) 및 광 투과율을 증가시킬 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, since the conductive substrate includes graphene flakes, metal nanowires and a binder at the same time, it is possible to prevent problems caused by agglomeration generated in conventional graphene flakes, But may not be limited to, increased sheet resistance and light transmittance.

상기 바인더는, 예를 들어, 아크릴 수지, 스티렌 수지, 에폭시 수지, 아미드 수지, 아미드 에폭시 수지, 알키드 수지, 페놀 수지, 에스테르 수지, 우레탄 수지, 에폭시 수지와 (메타)아크릴산의 반응으로 얻어지는 에폭시 아크릴레이트 수지, 에폭시 아크릴레이트 수지, 산무수물의 반응으로 수득되는 산변성 에폭시 아크릴레이트 수지, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 종 이상을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.The binder may be, for example, an acrylic resin, a styrene resin, an epoxy resin, an amide resin, an amide epoxy resin, an alkyd resin, a phenol resin, an ester resin, a urethane resin, an epoxy acrylate obtained by the reaction of an epoxy resin with (meth) But are not limited to, resins, epoxy acrylate resins, acid-modified epoxy acrylate resins obtained by the reaction of acid anhydrides, and combinations thereof.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 제 2 이형 필름이 형성되는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 이형 필름에 상기 UV-패터닝 가능한 하드 코팅층이 형성되고, 상기 UV-패터닝 가능한 하드 코팅층에 금속 나노와이어-그래핀 복합체층이 형성되고, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 제 2 이형 필름이 형성되는 것일 수 있다.In one embodiment of the invention, a second release film may be formed on the metal nanowire-graphene composite layer. For example, the UV-patternable hard coating layer is formed on the first release film, a metal nanowire-graphene composite layer is formed on the UV-patternable hard coating layer, and the metal nanowire- The second release film may be formed on the second release film.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 패터닝된 UV-패터닝 가능한 하드 코팅층 및 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에, 산화 방지제를 포함하는 용액을 코팅함으로써 산화 방지층이 추가로 형성되는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 산화 방지층을 추가 포함함에 따라, 도전성 기판의 제조 공정에서 발생될 수 있는 도전성 기판의 산화와 같은 손상을 방지할 수 있으며, 그에 따라 신뢰성이 향상될 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, an antioxidant layer may be further formed by coating a solution containing an antioxidant on the patterned UV-patternable hard coat layer and the metal nanowire-graphene composite layer. For example, by further including the antioxidant layer, it is possible to prevent damage such as oxidation of a conductive substrate, which may occur in a manufacturing process of a conductive substrate, thereby improving reliability. However, have.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 산화 방지층의 두께는 약 1 nm 내지 약 1 μm인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment herein, the thickness of the antioxidant layer may be from about 1 nm to about 1 占 퐉, but may not be limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 산화 방지층의 두께가 약 1 nm 미만일 경우 산화 방지 역할을 충분히 수행하지 못할 수 있으며, 상기 산화 방지층의 두께가 약 1 μm 초과일 경우, 저항값이 증가하여 터치 스크린 패널로서 활용되지 못할 수 있으므로, 상기 산화 방지층의 두께는 약 1 nm 내지 약 1 μm인 것이 적합하다. 예를 들어, 상기 산화 방지층의 두께는 약 1 nm 내지 1 μm, 약 1 nm 내지 1,000 nm, 약 1 nm 내지 800 nm, 약 1 nm 내지 600 nm, 약 1 nm 내지 400 nm, 약 1 nm 내지 200 nm, 약 1 nm 내지 100 nm, 약 1 nm 내지 50 nm, 약 50 nm 내지 100 nm, 약 100 nm 내지 1,000 nm, 약 100 nm 내지 800 nm, 약 100 nm 내지 600 nm, 약 100 nm 내지 400 nm, 약 100 nm 내지 200 nm, 약 200 nm 내지 1,000 nm, 약 200 nm 내지 800 nm, 약 200 nm 내지 600 nm, 약 200 nm 내지 400 nm, 약 400 nm 내지 1,000 nm, 약 400 nm 내지 800 nm, 약 400 nm 내지 600 nm, 약 600 nm 내지 1,000 nm, 약 600 nm 내지 800 nm, 또는 약 800 nm 내지 1,000 nm인 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, if the thickness of the antioxidant layer is less than about 1 nm, the antioxidant layer may not sufficiently perform the antioxidant function. If the thickness of the antioxidant layer is greater than about 1 탆, The thickness of the antioxidant layer is preferably from about 1 nm to about 1 占 퐉. For example, the thickness of the antioxidant layer may range from about 1 nm to 1 μm, from about 1 nm to 1,000 nm, from about 1 nm to 800 nm, from about 1 nm to 600 nm, from 1 nm to 400 nm, nm, about 1 nm to 100 nm, about 1 nm to 50 nm, about 50 nm to 100 nm, about 100 nm to 1,000 nm, about 100 nm to 800 nm, about 100 nm to 600 nm, From about 200 nm to about 400 nm, from about 400 nm to about 1,000 nm, from about 400 nm to about 800 nm, from about 100 nm to about 200 nm, from about 200 nm to about 1,000 nm, from about 200 nm to about 800 nm, From about 400 nm to about 600 nm, from about 600 nm to about 1,000 nm, from about 600 nm to about 800 nm, or from about 800 nm to about 1,000 nm.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 산화 방지제는 테트라에틸 오르쏘실리케이트 (TEOS) 또는 다기능 아크릴레이트 단량체를 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 상기 다기능 아크릴레이크 단량체는, 폴리메타아크릴레이트, 우레탄아크릴레이트, 트리메탄 프로판 트리아크릴레이트, 또는 부틸아크릴레이트를 포함하는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the invention, the antioxidant may include, but is not limited to, tetraethyl orthosilicate (TEOS) or multifunctional acrylate monomers. For example, the multifunctional acryl lake monomer may include, but is not limited to, polymethacrylate, urethane acrylate, trimethane propane triacrylate, or butyl acrylate.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 산화 방지제를 포함하는 용액은 코팅된 후에 열처리를 통해 경화되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, the solution containing the antioxidant may be cured through heat treatment after coating, but may not be limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 경화는 약 50℃ 내지 약 200℃의 온도 범위에어 수행되는 것일 수 있으며, 예를 들어, 약 50℃ 내지 약 200℃, 약 50℃ 내지 약 180℃, 약 50℃ 내지 약 150℃, 약 50℃ 내지 약 120℃, 약 50℃ 내지 약 80℃, 약 80℃ 내지 약 200℃, 약 80℃ 내지 약 180℃, 약 80℃ 내지 약 150℃, 약 80℃ 내지 약 120℃, 약 120℃ 내지 약 200℃, 약 120℃ 내지 약 180℃, 약 120℃ 내지 약 150℃, 약 150℃ 내지 약 200℃, 약 150℃ 내지 약 180℃, 약 180℃ 내지 약 200℃, 또는 약 80℃ 내지 약 100℃의 온도 범위에서 수행되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment herein, the curing may be performed in air at a temperature in the range of from about 50 DEG C to about 200 DEG C, and may be, for example, from about 50 DEG C to about 200 DEG C, from about 50 DEG C to about 180 DEG C, from about 50 About 80 ° C to about 150 ° C, about 50 ° C to about 120 ° C, about 50 ° C to about 80 ° C, about 80 ° C to about 200 ° C, about 80 ° C to about 180 ° C, About 120 DEG C to about 200 DEG C, about 120 DEG C to about 180 DEG C, about 120 DEG C to about 150 DEG C, about 150 DEG C to about 200 DEG C, about 150 DEG C to about 180 DEG C, Deg.] C, or from about 80 [deg.] C to about 100 [deg.] C, although the present invention is not limited thereto.

본원의 일 구현예에 있어서, 상기 경화는 약 5분 내지 약 30 분 동안 수행되는 것일 수 있다. 예를 들어, 상기 경화는 약 50℃ 내지 200℃의 온도 범위에서, 약 5 분 내지 약 30 분, 약 5 분 내지 약 20 분, 약 5 분 내지 약 15 분, 약 5 분 내지 약 10 분, 약 10 분 내지 약 20 분, 약 10 분 내지 약 15 분, 약 15 분 내지 약 30 분, 약 15 분 내지 약 20 분, 또는 약 20 분 내지 약 30 분 동안 수행되는 것일 수 있으나, 이에 제한되지 않을 수 있다.In one embodiment of the invention, the curing may be performed for about 5 minutes to about 30 minutes. For example, the curing may be performed at a temperature ranging from about 50 DEG C to 200 DEG C for about 5 minutes to about 30 minutes, about 5 minutes to about 20 minutes, about 5 minutes to about 15 minutes, about 5 minutes to about 10 minutes, For about 10 minutes to about 20 minutes, for about 10 minutes to about 15 minutes, for about 15 minutes to about 30 minutes, for about 15 minutes to about 20 minutes, or for about 20 minutes to about 30 minutes, .

본원의 구현예들에 따르면, 그래핀 플레이크, 금속 나노와이어 및 선택적으로 분산제 물질을 수성 바인더와 함께 첨가함으로써, 종래 그래핀 플레이크에서 발생되던 단점, 즉 화학적 및 물리적으로 연결되어 있지 않기 때문에 자체적으로 응집이 일어나는 현상을 방지할 수 있으며, 그에 따라 상기 도전성 기판의 면 저항 (sheet resistance) 및 광 투과율을 증가시킬 수 있다.According to embodiments of the present disclosure, the addition of graphene flakes, metal nanowires, and optionally dispersant materials together with aqueous binders has the disadvantages encountered with conventional graphene flakes, that is, they are not chemically and physically connected, Can be prevented, and the sheet resistance and light transmittance of the conductive substrate can be increased.

본원의 구현예들에 따르면, 종래 사용되던 포토레지스트 및 에칭 용액을 사용하지 않고, 필름 전사법을 이용하고UV-패터닝 가능한 하드 코팅층 (UPHC)을 이용하여 포토리소그래피 방법에 의해 상기 도전성 기판을 제조하여 터치 스크린 패널 등에 적용할 수 있다. 즉, 본원의 구현예들에 따른 제조 방법은, UV-패터닝 가능한 하드 코팅층에 형성된 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 이용하여, 종래의 스퍼터 (sputter), 습식 (wet), 포토레지스트 (photoresist)로 이루어지는 복잡한 공정에 비해, 공정을 편리하게 단순화 시킬 수 있다는 장점을 갖는다.According to embodiments of the present invention, the conductive substrate is manufactured by a photolithography method using a film transfer method and a UV-patternable hard coating layer (UPHC) without using a conventionally used photoresist and an etching solution Touch screen panel, and the like. That is, the manufacturing method according to the embodiments of the present invention can be applied to a conventional sputter, wet, photoresist, or the like using a metal nanowire-graphene composite layer formed on a UV- The process can be conveniently simplified.

이하, 본원의 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명하고자 하나, 하기의 실시예는 본원의 이해를 돕기 위하여 예시하는 것 일뿐, 본원의 내용이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples. However, the following examples are given to aid understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the following examples.

[실시예] [Example]

1. UV-패터닝 가능한 하드 코팅층 (UPHC)의 제조1. Fabrication of UV-patternable hard coat layer (UPHC)

UV-패터닝 가능한 하드 코팅층 (UPHC)의 제조 방법은, 참고문헌으로서 대한민국 공개특허 2016-0065914호의 내용을 참조할 수 있다.For a method of manufacturing a UV-patternable hard coating layer (UPHC), reference can be made to Korean Patent Laid-Open Publication No. 2016-0065914.

상기 참고문헌을 참조하혀, 본 실시예에서 사용되는 UV-패터닝 가능한 하드 코팅 전구체 용액의 구성 성분은 다음과 같다: Bayhydrol UV XP 2720/1은 Bayer MaterialScience AG에 의한 물 중의 음이온성 UV-경화성 폴리우레탄 분산액이고; Bayhydrol UH XP 2648은 Bayer MaterialScience AG에 의한 물 중의 폴리카르보네이트를 함유한 지방족, 음이온성 폴리우레탄 분산액이고; 4-히드록시-4-메틸-펜탄온은 Kraemer & Martin GmbH에 의한 용매이고; 1-메톡시-2-프로판올은 Kraemer & Martin GmbH에 의한 용매이고; Tegoglide 410은 Evonik Tego Chemie GmbH에 의한 유동 촉진제이고; BYK 346은 BYK 케미에 의한 습윤제이고; Irgacure 500은 BASF에 의한 광개시제이고; Borchi-gel 625는 알킬페놀 에톡실레이트 (APEO)가 없는 비이온성, 폴리우레탄-기반 증점제이고; Bindzil cc401은 AkzoNobel에 의한 수 기반 실리카 나노입자 분산액이고; 디메틸에탄올아민은 Sigma Aldrich에 의한 pH 값 조절제이고; Ebecryl 1200은 Allnex에 의한 아크릴계 아크릴레이트 올리고머성 수지이고; PETIA (펜타에리트리톨 트리아크릴레이트)는 올넥스에 의한 반응성 희석제이고; DPHA (디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트)는 올넥스에 의한 반응성 희석제이고; 이르가큐어 184: 부틸 아세테이트 (1:1)는 바스프에 의한 광개시제이고; BYK 306은 BYK 케미에 의한 습윤제이고; 부틸 아세테이트는 올넥스에 의한 용매이고; Desmodur N3390은 바이엘 머티리얼사이언스 아게에 의한 지방족 폴리이소시아네이트 (HDI-트리머리세이트)이고; 디부틸 주석 디라우레이트-0.1중량% (ml)는 시그마 알드리치에 의한 촉매이고; MIBK-ST는 Nissan Chemical에 의한 용매 기반 (메틸 이소부틸 케톤) 실리카 나노입자 분산액이다. With reference to the above references, the components of the UV-patternable hardcoat precursor solution used in this example are as follows: Bayhydrol UV XP 2720/1 is an anionic UV-curable polyurethane dispersion in water by Bayer MaterialScience AG; Bayhydrol UH XP 2648 is an aliphatic, anionic polyurethane dispersion containing polycarbonate in water by Bayer MaterialScience AG; 4-hydroxy-4-methyl-pentanone is a solvent by Kraemer & Martin GmbH; 1-Methoxy-2-propanol is a solvent by Kraemer & Tegoglide 410 is a flow promoter by Evonik Tego Chemie GmbH; BYK 346 is a wetting agent by BYK chemie; Irgacure 500 is a photoinitiator by BASF; Borchi-gel 625 is a nonionic, polyurethane-based thickener without alkylphenol ethoxylate (APEO); Bindzil cc401 is a water-based dispersion of silica nanoparticles by AkzoNobel; Dimethylethanolamine is a pH adjusting agent by Sigma Aldrich; Ebecryl 1200 is an acrylic acrylate oligomeric resin by Allnex; PETIA (pentaerythritol triacrylate) is a reactive diluent by OLNEX; DPHA (dipentaerythritol hexaacrylate) is a reactive diluent by Alnex; Irgacure 184: Butylacetate (1: 1) is a photoinitiator by BASF; BYK 306 is a wetting agent by BYK chemie; Butyl acetate is a solvent by Olex; Desmodur N3390 is an aliphatic polyisocyanate (HDI-trihexylate) by Bayer Material Science AG; Dibutyltin dilaurate-0.1 wt% (ml) is a catalyst by Sigma Aldrich; MIBK-ST is a solvent-based (methyl isobutyl ketone) silica nanoparticle dispersion by Nissan Chemical.

1-1. UPHC 전구체 용액 제조1-1. UPHC precursor solution preparation

UPHC 전구체 용액 1: UPHC precursor solution 1 :

250 mL 둥근 바닥 플라스크에서, 10 g의 히드록실 프로필 메틸 셀룰 로스 (HPMC)를 교반하면서 75.5 mL의 가열된 물 (80-85 )에 첨가하였다. 핫플레이트를 끄고 HPMC 및 수 혼합 물을 연속해서 교반하여 HPMC를 분산시켰다. 124.5 mL의 냉수를 혼합물에 첨가하고 20 분간 격렬하게 교반하였다. 혼합물을 5 μm 필터를 통해 여과하여 용해되지 않은 입자를 제거하여 UPHC 전구체 용액 1을 제조하였다.In a 250 mL round bottomed flask, 10 g of hydroxylpropyl methylcellulose (HPMC) was added to 75.5 mL of heated water (80-85) with stirring. The hot plate was turned off and HPMC and water mixtures were continuously stirred to disperse the HPMC. 124.5 mL cold water was added to the mixture and vigorously stirred for 20 minutes. The mixture was filtered through a 5 [mu] m filter to remove undissolved particles to produce UPHC Precursor Solution 1.

UPHC 전구체 용액 2: UPHC precursor solution 2 :

100 mL 둥근 바닥 플라스크에서, 2 g의 조닐 (Zonyl) FSO-100 플루오로계면활성제 α-플루오로-Ω-(2-히드록시에틸) 폴리 (디플루오로메틸렌) 중합체와 폴리에틸렌글리콜 (1:1) 및 18.5 mL의 물을 첨가하였다. 혼합물을 70℃로 가열하여 조닐 FSO-100을 용해시켜 UPHC 전구체 용액 2를 제조하였다.In a 100 mL round bottom flask, 2 g of Zonyl FSO-100 fluorosurfactant a-fluoro-O- (2-hydroxyethyl) poly (difluoromethylene) polymer and polyethylene glycol (1: ) And 18.5 mL of water. The mixture was heated to 70 占 폚 to dissolve Zonyl FSO-100 to prepare UPHC precursor solution 2.

0.094 mL의 UPHC 전구체 용액 1과 0.0016 mL의 UPHC 전구체 용액 2 각각을 4.36 내지 4.69 mL의 물을 조합하여 15 분 동안 교반하였다.0.094 mL of UPHC Precursor Solution 1 and 0.0016 mL of UPHC Precursor Solution 2 were each combined with 4.36 to 4.69 mL of water and stirred for 15 minutes.

1-2. UPHC 형성1-2. UPHC Formation

상기 1-1에서 제조된 UPHC 전구체 용액 1 및 2 각각을 제 1 이형 필름 (PET 필름) 상에 롤-투-롤 방법에 의해 코팅하였다. 상기 필름을 100 W에서 코로나에 의해 예비-처리하였다. 상기 UPHC 배합물을 단일 층으로 코팅한 후 130℃에서 실행되는 오븐에 통과시키고, 그 동안 용매는 증발에 의해 제거하였다. 오븐에 의한 가열 시간은 약 6 분이었다. Each of the UPHC precursor solutions 1 and 2 prepared in the above 1-1 was coated on a first release film (PET film) by a roll-to-roll method. The film was pre-treated with a corona at 100 W. The UPHC formulation was coated with a single layer and then passed through an oven which was run at < RTI ID = 0.0 > 130 C < / RTI > while the solvent was removed by evaporation. The heating time by the oven was about 6 minutes.

2. 그래핀 플레이크를 포함하는 은 (Ag) 나노와이어 용액의 제조2. Preparation of silver (Ag) nanowire solution containing graphene flakes

은 (Ag) 나노와이어 용액은, 바인더를 포함하는 Ag 나노와이어, 습윤성을 증대시키기 위한 바인더, 및 그래핀 플레이크를 포함한다. 상기 Ag 나노와이어는 길이 10 μm 이상, 두께는 1 nm 내지 1 μm이다. 또한, 그래핀 플레이크는 5 μm 이하의 길이를 갖는다. 상기 바인더는 중간층의 접착성 및 습윤성을 향상시키기 위해 추가되었다. 상기 Ag 나노와이어-그래핀 복합체층을 만들기 위해, 웹 코팅 법 (web coating method)를 사용하였다. 상기 웹 코팅 방법을 이용함으로써, 상기 그래핀으로부터 유도되는 전도성 문제 및 상기 Ag 나노와이어로부터 유도되는 항복 전압 및 안전성 감소 등의 문제를 보완할 수 있다.The silver (Ag) nanowire solution includes Ag nanowires including a binder, a binder for increasing wettability, and graphene flakes. The Ag nanowire has a length of 10 μm or more and a thickness of 1 nm to 1 μm. In addition, the graphene flakes have a length of 5 μm or less. The binder was added to improve the adhesion and wettability of the intermediate layer. To make the Ag nanowire-graphene composite layer, a web coating method was used. By using the above-mentioned web coating method, it is possible to solve the problem of conductivity derived from the graphene, the breakdown voltage induced from the Ag nanowire, and the reduction of safety.

0.22 내지 0.55 mL의 Ag 나노와이어 용액, 0.094 mL의 UPHC 전구체 용액 1 및 0.0016 mL의 UPHC 전구체 용액 2 각각, 및 4.36 내지 4.69 mL의 물을 조합함으로써 배합된 0.10중량% 내지 0.25 중량% 범위의 Ag 나노와이어의 나노와이어 분산액을 샘플 바이알에 첨가했다. 상기 현탁액을 주변 조건에서 적어도 15 분 동안 교반하였다.0.2 to 0.55 mL of Ag nanowire solution, 0.094 mL of UPHC precursor solution 1 and 0.0016 mL of UPHC precursor solution 2, and 4.36 to 4.69 mL of water, A wire nanowire dispersion was added to the sample vial. The suspension was stirred at ambient conditions for at least 15 minutes.

3. 산화 방지제를 포함하는 용액의 제조3. Preparation of solutions containing antioxidants

산화 방지제를 포함하는 용액은, Ag 나노와이어 및 그래핀 플레이크의 산화를 방지하기 위한 층으로서 사용된다. 상기 산화 방지제를 포함하는 용액은 TEOS, 폴리메타아크릴레이트, 우레탄아크릴레이트, 트리메탄 프로판 트리아크릴레이트, 또는 부틸아크릴레이트를 기반으로 하였다. 또한, 탈이온수에 희석된 에탄올 및 아세트산이 추가되었다. A solution containing an antioxidant is used as a layer for preventing oxidation of Ag nanowire and graphene flake. The solution containing the antioxidant was based on TEOS, polymethacrylate, urethane acrylate, trimethane propane triacrylate, or butyl acrylate. Ethanol and acetic acid diluted in deionized water were also added.

4. 도전성 기판의 제조4. Fabrication of conductive substrate

4-1. 실시예 1: 도전성 기판의 제조 4-1. Example 1: Preparation of conductive substrate

상기 제조된 제 1 이형 필름에 형성된UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 (UPHC)에, 상기 Ag나노와이어, 그래핀 플레이크 및 바인더를 함유하는 용액을 코팅하여 Ag나노와이어-그래핀 복합체층을 형성하였다. 상기 용액 전체 중량에 대하여 Ag 나노와이어 0.15 wt%, 그래핀 플레이크 0.0052 wt%, 및 바인더 0.01 wt%가 포함된다. 상기 Ag나노와이어-그래핀 복합체층에 제 2 이형 필름을 형성한 뒤, 상기 제 1 이형 필름을 제거하였다. 이후, 상기 UV-패터닝 가능한 하드 코팅층이 별도의 PET기판에 접촉되는 방향으로 전사하였다. 상기 기판으로 전사된 후, 포토리소그래피 공정에 의해 상기 UV-패터닝 가능한 하드 코팅층 및 상기 Ag 나노와이어-그래핀 복합체층의 패터닝을 진행하였다. 상기 패터닝이 완료된 2 μm 두께의 상기 층에, 상기 제조된 산화 방지제 용액을 코팅한 후 100℃에서 10 분 동안 가열하여 상기 산화 방지층을 경화시킴으로서 도전성 기판을 제조하였다.A solution containing the Ag nanowires, the graphene flakes and the binder was coated on a UV-patternable hard-coating layer (UPHC) formed on the prepared first release film to form an Ag nanowire-graphene composite layer. 0.15 wt% Ag nanowire, 0.0052 wt% graphene flake, and 0.01 wt% binder, based on the total weight of the solution. After forming a second release film on the Ag nanowire-graphene composite layer, the first release film was removed. Thereafter, the UV-patternable hard coat layer was transferred in a direction in which it contacted the separate PET substrate. After transferring to the substrate, the UV-patternable hard coating layer and the Ag nanowire-graphene composite layer were patterned by a photolithography process. The layer having a thickness of 2 탆 was coated with the prepared antioxidant solution and heated at 100 캜 for 10 minutes to cure the antioxidant layer to prepare a conductive substrate.

4-2. 실시예 2: 도전성 기판의 제조 4-2. Example 2: Fabrication of conductive substrate

상기 실시예 1과 동일하게 도전성 기판을 제조하였으며, 다만, 상기 Ag나노와이어, 그래핀 플레이크 및 바인더를 함유하는 용액 전체 중량에 대하여 Ag 나노와이어 0.15 wt%, 그래핀 플레이크 0.01 wt%, 및 바인더 0.01 wt%를 포함하는 점에서만 차이가 있다.Except that 0.15 wt% of Ag nanowire, 0.01 wt% of graphene flake and 0.01 wt% of graphene powder were added to the total weight of the solution containing the Ag nanowire, graphene flake and binder in the same manner as in Example 1, wt%. < / RTI >

비교예: 그래핀 플레이크를 포함하지 않는 도전성 기판의 제조Comparative Example: Preparation of a conductive substrate not containing graphene flakes

비교예로서, 제 1 이형 필름 상에 상기 실시예 1-1 내지 상기 실시예 1-2에서 제조된 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 (UPHC)을 형성하고, 그래핀 플레이크를 포함하지 않으며 상기 용액의 전체 중량에 대해 Ag 나노와이어 0.15 wt% 및 바인더 0.01 wt%를 포함하는 용액을 상기 UPHC에 코팅하였다. 상기 코팅 후 제 2 이형 필름을 형성한 뒤, 상기 제 1 이형 필름; 상기 UV-패터닝 가능한 하드 코팅층; 상기 금속 나노와이어 층; 및 상기 제 2 이형 필름에서 제 1 이형 필름을 제거하였다. 제거 후, 상기 UV-패터닝 가능한 하드 코팅층이 기판에 접촉되는 방향으로 전사하였다. 기판으로 전사된 후, 포토리소그래피 공정에 의해 상기 UV-패터닝 가능한 하드 코팅층 및 상기 은 나노와이어층의 패터닝을 진행하였다. 코팅 후 포토리소그래피 공정에 의해 패터닝을 진행하였다. 패터닝이 완료된 2 μm 두께의 상기 층에, 산화 방지제 용액을 코팅한 후 100℃에서 10 분 동안 가열하여 상기 산화 방지층을 경화시킴으로서 도전성 기판을 제조하였다.As a comparative example, the UV-patternable hard-coating layer (UPHC) prepared in Examples 1-1 to 1-2 above was formed on the first release film, and the solution of the solution A solution containing 0.15 wt% of Ag nanowire and 0.01 wt% of binder with respect to the total weight was coated on the UPHC. After forming the second release film after the coating, the first release film; The UV-patternable hard coating layer; The metal nanowire layer; And the first release film was removed from the second release film. After removal, the UV-patternable hard coat layer was transferred in the direction of contact with the substrate. After the transfer to the substrate, the UV-patternable hard coating layer and the silver nanowire layer were patterned by a photolithography process. After coating, patterning was carried out by a photolithography process. An antioxidant solution was coated on the layer having a thickness of 2 탆, which had been patterned, and then heated at 100 캜 for 10 minutes to cure the antioxidant layer to prepare a conductive substrate.

5. 도전성 기판의 특성 분석5. Characteristic Analysis of Conductive Substrate

상기 실시예 1 및 실시예 2, 및 비교예에서 제조된 도전성 기판에 대하여, 각각 투과율, 헤이즈 (hase), 표면 저항, 면 저항의 균일성을 측정하여 하기 표 1에 나타내었다. 본원의 Ag 나노와이어 및 그래핀 복합체를 포함하는 실시예 1 및 실시예 2의 도전성 기판이, 그래핀을 포함하지 않는 비교예의 도전성 기판에 비하여 면 저항의 균일성이 향상되었고, 헤이즈와 투과율이 기존에 비하여 향상되었다.The transmittance, the haze, the surface resistance and the uniformity of the surface resistance were measured for the conductive substrates prepared in Examples 1 and 2 and Comparative Examples, respectively, and the results are shown in Table 1 below. The electroconductive substrate of Example 1 and Example 2 including the Ag nanowire and the graphene composite of the present invention improved the uniformity of surface resistance as compared with the electroconductive substrate of the comparative example not containing graphene and had improved haze and transmittance .

Figure pat00001
Figure pat00001

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.It will be understood by those of ordinary skill in the art that the foregoing description of the embodiments is for illustrative purposes and that those skilled in the art can easily modify the invention without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

Claims (18)

기판;
상기 기판에 형성되는, 패턴을 가지는 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 (UV-patternable hard-coating film); 및
상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층의 패턴 상에 형성되는 금속 나노와이어-그래핀 복합체층
을 포함하는, 도전성 기판.
Board;
A UV-patternable hard-coating film having a pattern formed on the substrate; And
The metal nanowire-graphene composite layer formed on the pattern of the UV-patternable hard-
And a conductive substrate.
제 1 항에 있어서,
상기 그래핀은 그래핀 플레이크를 포함하는 것인, 도전성 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the graphene comprises a graphene flake.
제 1 항에 있어서,
상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층은 바인더를 추가 포함하는 것인, 도전성 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the metal nanowire-graphene composite layer further comprises a binder.
제 1 항에 있어서,
상기 금속 나노와이어는 Ag, Au, Cu, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 금속을 포함하는 것인, 도전성 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the metal nanowire comprises a metal selected from the group consisting of Ag, Au, Cu, and combinations thereof.
제 1 항에 있어서,
상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층의 두께는 1 nm 내지 1 μm인 것인, 도전성 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the metal nanowire-graphene composite layer has a thickness of 1 nm to 1 占 퐉.
제 1 항에 있어서,
상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 형성되는 산화 방지층을 추가 포함하는, 도전성 기판.
The method according to claim 1,
And an antioxidant layer formed on the metal nanowire-graphene composite layer.
제 1 항에 있어서,
상기 기판은 디스플레이 패널인 것인, 도전성 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the substrate is a display panel.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 따른 도전성 기판을 포함하는, 디바이스.
A device comprising a conductive substrate according to any one of claims 1 to 7.
제 8 항에 있어서,
상기 디바이스는 디스플레이 또는 광전 디바이스 (photovoltaic device)인, 디바이스.
9. The method of claim 8,
Wherein the device is a display or a photovoltaic device.
제 9 항에 있어서,
상기 디스플레이는 플랫 패널 디스플레이, 또는 터치 스크린 패널을 포함하는 것인, 디바이스.
10. The method of claim 9,
Wherein the display comprises a flat panel display, or a touch screen panel.
제 1 이형 필름 (release film)에 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층을 형성하고;
상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층에 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 형성하고;
상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층에 제 2 이형 필름을 형성하고;
상기 제 1 이형 필름을 제거하고 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층, 상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층, 및 상기 제 2 이형 필름을 기판에 전사한 뒤 상기 제 2 이형 필름을 제거하고;
포토리소그래피 공정에 의해 상기 UV-패터닝 가능한 하드-코팅층 및 금속 나노와이어-그래핀 복합체층을 패터닝 하는 것
을 포함하는, 도전성 기판의 제조 방법.
Forming a UV-patternable hard-coating layer on a first release film;
Forming a metal nanowire-graphene composite layer on the UV-patternable hard-coating layer;
Forming a second release film on the metal nanowire-graphene composite layer;
Removing the first release film and transferring the UV-patternable hard-coating layer, the metal nanowire-graphene composite layer, and the second release film to a substrate and removing the second release film;
Patterning the UV-patternable hard-coating layer and the metal nanowire-graphene composite layer by a photolithography process
And forming a conductive layer on the conductive substrate.
제 11 항에 있어서,
상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층은 금속 나노와이어 및 그래핀 플레이크를 포함하는 용액을 코팅하여 형성되는 것인, 도전성 기판의 제조 방법.
12. The method of claim 11,
Wherein the metal nanowire-graphene composite layer is formed by coating a solution containing metal nanowires and graphene flakes.
제 12 항에 있어서,
상기 코팅은 웹 코팅, 스핀 코팅, 딥 코팅, 슬롯-다이 코팅, 이중 슬릿 코팅, 절연 코팅, 존 캐스팅, 또는 스프레이 코팅에 의해 수행되는 것인, 도전성 기판의 제조 방법.
13. The method of claim 12,
Wherein the coating is performed by web coating, spin coating, dip coating, slot-die coating, double slit coating, insulating coating, zone casting, or spray coating.
제 12 항에 있어서,
상기 금속 나노와이어 및 그래핀 플레이크를 포함하는 용액은 바인더를 추가 포함하는 것인, 도전성 기판의 제조 방법.
13. The method of claim 12,
Wherein the solution comprising the metal nanowire and the graphene flake further comprises a binder.
제 11 항에 있어서,
상기 금속 나노와이어-그래핀 복합체층의 두께는 1 nm 내지 1 μm인 것인, 도전성 기판의 제조 방법.
12. The method of claim 11,
Wherein the thickness of the metal nanowire-graphene composite layer is 1 nm to 1 占 퐉.
제 11 항에 있어서,
상기 패터닝 후에 산화 방지층을 형성하는 것을 추가 포함하는, 도전성 기판의 제조 방법.
12. The method of claim 11,
Further comprising forming an antioxidant layer after the patterning.
제 16 항에 있어서,
상기 산화 방지층은 산화 방지제를 포함하는 용액을 코팅하여 형성되는 것인, 도전성 기판의 제조 방법.
17. The method of claim 16,
Wherein the antioxidant layer is formed by coating a solution containing an antioxidant.
제 17 항에 있어서,
상기 산화 방지제는 테트라에틸 오르쏘실리케이트, 폴리메타아크릴레이트, 우레탄아크릴레이트, 트리메탄 프로판 트리아크릴레이트, 또는 부틸아크릴레이트를 포함하는 것인, 도전성 기판의 제조 방법.
18. The method of claim 17,
Wherein the antioxidant comprises tetraethyl orthosilicate, polymethacrylate, urethane acrylate, trimethanepropane triacrylate, or butyl acrylate.
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WO2020141835A1 (en) * 2018-12-31 2020-07-09 부산대학교 산학협력단 Polymer dispersant capable of hybridizing nano-metal and nano-carbon, manufacturing method therefor, and method for manufacturing hybrid film using same
CN111145962B (en) * 2020-01-14 2024-04-26 浙江清华柔性电子技术研究院 Flexible electrode and preparation method thereof

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