KR20180078015A - Silica composition porous structure and a method of fabricating the same - Google Patents

Silica composition porous structure and a method of fabricating the same Download PDF

Info

Publication number
KR20180078015A
KR20180078015A KR1020160182950A KR20160182950A KR20180078015A KR 20180078015 A KR20180078015 A KR 20180078015A KR 1020160182950 A KR1020160182950 A KR 1020160182950A KR 20160182950 A KR20160182950 A KR 20160182950A KR 20180078015 A KR20180078015 A KR 20180078015A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
compound
silica
methacrylate
pore structure
silica pore
Prior art date
Application number
KR1020160182950A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101889474B1 (en
Inventor
박형호
정해누리
나하윤
Original Assignee
연세대학교 산학협력단
주식회사 지엘켐
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 연세대학교 산학협력단, 주식회사 지엘켐 filed Critical 연세대학교 산학협력단
Priority to KR1020160182950A priority Critical patent/KR101889474B1/en
Publication of KR20180078015A publication Critical patent/KR20180078015A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101889474B1 publication Critical patent/KR101889474B1/en

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/113Silicon oxides; Hydrates thereof
    • C01B33/12Silica; Hydrates thereof, e.g. lepidoic silicic acid
    • C01B33/14Colloidal silica, e.g. dispersions, gels, sols
    • C01B33/157After-treatment of gels
    • C01B33/158Purification; Drying; Dehydrating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J27/00Catalysts comprising the elements or compounds of halogens, sulfur, selenium, tellurium, phosphorus or nitrogen; Catalysts comprising carbon compounds
    • B01J27/24Nitrogen compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/113Silicon oxides; Hydrates thereof
    • C01B33/12Silica; Hydrates thereof, e.g. lepidoic silicic acid
    • C01B33/14Colloidal silica, e.g. dispersions, gels, sols
    • C01B33/157After-treatment of gels
    • C01B33/159Coating or hydrophobisation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/12Surface area
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/16Pore diameter

Abstract

The present invention relates to a silica porous structure and a method of manufacturing the same. According to an embodiment of the present invention, the method comprises the steps of: providing a silica compound precursor including a liquid silicate-based compound precursor and a polymer surfactant; providing a dryness control compound helping a reaction of the silica compound precursor; mixing the silica compound precursor and the dryness control compound with a solvent to provide a precursor solution; and forming the silica porous structure by adding a surface modifying agent including a silane-based compound after a gelation process from the precursor solution, thereby modifying the surface of the gelled silica compound. The silica porous structure may have improved specific surface area and porosity.

Description

실리카 기공 구조체 및 그 제조 방법{SILICA COMPOSITION POROUS STRUCTURE AND A METHOD OF FABRICATING THE SAME}Technical Field [0001] The present invention relates to a silica pore structure,

본 발명은 실리카 기공 구조체 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 표면이 개질된 실리카 기공 구조체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a silica pore structure and a method for producing the same, and more particularly, to a silica pore structure having a surface modified and a method for producing the same.

일반적으로 에어로겔은 초미세, 다공성 저밀도 물질로서 촉매의 담체, 단열재, 소음차폐재, 입자가속기 등 다양한 응용이 이루어지고 있다. 특히, 높은 기공률과 수백 ㎡/g 이상의 높은 비표면적 및 낮은 밀도를 지니고 있는 고분자 에어로겔은 낮은 열전도도(~30 mW/mK)로 인하여 단열 등의 응용분야에서 높은 잠재력을 지니고 있다. 이러한 우수한 물성적 특성으로 인하여 에어로겔 소재 개발 연구는 물론, 투명단열재 및 환경 친화적 고온형 단열재, 고집적 소자용 극저유전 박막, 촉매 및 촉매 담채, 슈퍼 커패시터용 전극 및 해수 담수화용 전극 재료로서의 응용연구도 활발하게 진행되고 있다.In general, aerogels are ultra-fine and porous low-density materials, and various applications such as catalyst carrier, insulating material, noise shielding material and particle accelerator are being applied. In particular, polymer aerogels with high porosity and high specific surface area and low density of several hundreds ㎡ / g have a high potential in applications such as insulation due to their low thermal conductivity (~ 30 mW / mK). Due to these excellent physical properties, research on the development of aerogel materials as well as research on applications as transparent insulation materials, environmentally friendly high temperature insulation materials, ultra low dielectric thin films for highly integrated devices, catalysts and catalyst coatings, electrodes for supercapacitors, and seawater desalination .

에어로겔의 가장 큰 장점은 종래 스티로폼 등의 유기 단열재보다 낮은 0.03 W/m ·K 이하의 열전도율을 보이는 수퍼단열성(super-insulation)이다. 이와 같은 낮은 열전도율로 인하여 통상 유기단열재의 치명적인 약점인 화재 취약성과 화재시 유해가스 발생을 해결할 수 있다.The biggest advantage of aerogels is super-insulation, which has a thermal conductivity of 0.03 W / m · K or less, which is lower than that of organic insulation materials such as conventional styrofoam. Because of such low thermal conductivity, it is possible to solve the fire fragility which is a fatal weak point of the organic insulating material and the generation of noxious gas in case of fire.

일반적으로 에어로젤을 제조하기 위하여 실리카 알콕사이드(silica alkoxide)를 전구체로부터 습윤겔을 제조한 후, 습윤겔 내부의 액체성분을 미세구조 파괴 없이 제거함으로써 제조된다. 이러한 에어로겔 제조 공정의 핵심 기술은 습윤겔의 구조를 그대로 유지한 채 수축없이 겔을 건조시켜 제조할 수 있는 건조 공정 기술이다. 대표적인 건조 방법으로는 초임계 건조(super ciritical drying) 공정이 있다. 그러나, 초임계 건조 공정은 생산 원가가 높을 뿐만 아니라, 고압으로 인한 위험 부담이 크고, 연속 공정이 불가능한 고압 반응조(autoclave)를 이용하는 공정이기 때문에 공정의 경제성 및 연속성 면에서 많은 한계점을 가지고 있다.Generally, silica alkoxide is prepared by preparing a wet gel from a precursor to prepare an airgel, and then removing the liquid component in the wet gel without destroying the microstructure. The core technology of this aerogel manufacturing process is a drying process technique which can be manufactured by drying the gel without shrinking while maintaining the structure of the wet gel. A typical drying method is a super ciritical drying process. However, since the supercritical drying process is a process using not only a high production cost but also a high pressure due to high pressure and a high pressure autoclave in which continuous process is impossible, there are many limitations in economical efficiency and continuity of the process.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 간단한 공정을 통해 제조 단가를 감소시키고, 구조체의 표면에 소수성이 부여되며 비표면적 및 기공률이 향상되는 실리카 기공 구조체를 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide a silica pore structure in which the manufacturing cost is reduced through a simple process, hydrophobicity is imparted to the surface of the structure, and specific surface area and porosity are improved.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는 전술한 이점을 갖는 실리카 기공 구조체의 제조 방법을 제공하는 것이다.Another technical problem to be solved by the present invention is to provide a method of manufacturing a silica pore structure having the above-described advantages.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 실리카 기공 구조체의 제조 방법은, 액상의 실리케이트계 화합물 전구체 및 고분자 계면 활성제를 포함하는 실리카 화합물 전구체를 제공하는 단계; 상기 실리카 화합물 전구체의 반응을 돕는 건조 조절 화합물을 제공하는 단계; 상기 실리카 화합물 전구체 및 상기 건조 조절 화합물을 용매에 혼합하여 전구체 용액을 제공하는 단계; 및 상기 전구체 용액으로부터 겔화(gelation) 공정 이후 실란계 화합물을 포함하는 표면 개질제를 첨가함으로써, 상기 겔화된 실리카 화합물의 표면을 개질하여 실리카 기공 구조체를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 실리카 기공 구조체는 비표면적 및 기공률이 향상되는 것일 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a method for producing a silica pore structure, the method including: providing a silica compound precursor including a liquid silicate compound precursor and a polymer surfactant; Providing a dry conditioning compound to aid in the reaction of said silica compound precursor; Mixing the silica compound precursor and the dry regulating compound into a solvent to provide a precursor solution; And a step of modifying the surface of the gelled silica compound to form a silica pore structure by adding a surface modifier containing a silane compound after the gelation process from the precursor solution, Surface area and porosity may be improved.

일 실시예에서, 상기 고분자 계면 활성제는 아크릴레이트계 계면 활성제로서, 상기 고분자 계면 활성제는 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 3-트라이메톡시실릴프로필 메타아크릴레이트, C1~C12의 알킬메타아크릴레이트, 2-에톡시에틸 메타아크릴레이트, 2-부톡시에틸 메타아크릴레이트, 에틸렌글리콜메틸에스터아크릴레이트, 시클로헥실 메타아크릴레이트, 벤질 메타아크릴레이트, 페닐 메타아크릴레이트, 2-(메틸티오)에틸 메타아크릴레이트, 헥사플루오로이소프로필 아크릴레이트, 트리플루오로에틸 메타아크릴레이트, 펜타플루오로프로필 메타아크릴레이트, 헵타플루오로부틸 메타아크릴레이트, 옥타플루오로펜틸 메타아크릴레이트, 테트라플루오르프로필 메타아크릴레이트 및 헥사플루오르부틸 메타아크릴레이트 중 하나를 포함할 수 있다. In one embodiment, the polymer surfactant is an acrylate surfactant, and the polymer surfactant is selected from the group consisting of polymethyl methacrylate (PMMA), 3-trimethoxysilylpropyl methacrylate, C1-C12 alkyl methacrylate , 2-ethoxyethyl methacrylate, 2-butoxyethyl methacrylate, ethylene glycol methyl ester acrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, phenyl methacrylate, 2- (methylthio) ethyl methacrylate Acrylate, hexafluoroisopropyl acrylate, trifluoroethyl methacrylate, pentafluoropropyl methacrylate, heptafluorobutyl methacrylate, octafluoropentyl methacrylate, tetrafluoropropyl methacrylate, and tetrafluoropropyl methacrylate. Hexafluorobutyl methacrylate, and hexafluorobutyl methacrylate.

또한, 상기 표면 개질제는, 메틸실란 및 메틸실라잔으로서, 상기 메틸실란은 트리메틸클로로실란, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 디메틸디메톡시실란, 디메틸디에톡시실란, 트리메틸메톡시실란, 트리메틸에톡시실란, 메틸클로로실란, 메틸디클로로실란, 메틸폴리실란, 디메틸폴리실란, 메틸트리염화실란, 디메틸트리염화실란, 페닐메틸염화실란, 페닐디메틸염화실란, 폴리메틸페닐실란, 폴리디메틸디페닐실란, 폴리실라메틸레노실란, 폴리(1,2-디메틸실라잔), (1,2-디메틸실라잔)(1-메틸실라잔), N-메틸실라잔, 메틸디실라잔, 디메틸디실라잔, 트리메틸디실라잔, 테트라메틸디실라잔, 및 헥사메틸디실라잔 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. 상기 상기 건조 조절 화합물은 옥살산계 화합물, 포름아마이드계 화합물, N,N-디메틸포름아마이드계 화합물, 및 글리세롤계 화합물 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.The surface modifier may be methylsilane or methylsilane, and the methylsilane may be trimethylchlorosilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, trimethylmethoxysilane, But are not limited to, trimethyl ethoxysilane, methyl chlorosilane, methyldichlorosilane, methyl polysilane, dimethyl polysilane, methyltri chloride silane, dimethyltri chloride silane, phenylmethyl chlorosilane, phenyldimethyl chlorosilane, polymethylphenylsilane, , Polysilamethylrenosilane, poly (1,2-dimethylsilazane), (1,2-dimethylsilazane) (1-methylsilazane), N-methylsilazane, methyldisilazane, dimethyldisilazane , Trimethyl disilazane, tetramethyl disilazane, and hexamethyl disilazane. The drying control compound may include at least one of an oxalic acid compound, a formamide compound, an N, N-dimethylformamide compound, and a glycerol compound.

일 실시예에서는, 상기 표면 개질된 실리카 화합물을 숙성하는 단계; 및 상기 숙성된 겔을 건조하는 단계를 더 포함할 수 있고, 상기 전구체 용액에 산 또는 염기 촉매(base 또는 acid catalyst)를 첨가하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 산성 촉매는 염산, 구연산, 인산, 아세트산, 옥살린산, 황산, 불산 암모늄 또는 질산을 포함할 수 있고, 상기 염기성 촉매는 암모니아, 암모늄히드록시드, 수산화나트륨(NaOH) 또는 수산화칼륨 또는 피레리딘(piperidine)을 포함할 수 있다.In one embodiment, aging the surface modified silica compound; And drying the aged gel. The method may further include adding an acid or a base catalyst to the precursor solution. The acidic catalyst may include hydrochloric acid, citric acid, phosphoric acid, acetic acid, oxalic acid, sulfuric acid, ammonium fluoride or nitric acid, and the basic catalyst may include ammonia, ammonium hydroxide, sodium hydroxide (NaOH) Piperidine. ≪ / RTI >

일 실시예에서, 상기 용매는 초순수(deionized water), 알코올계, 카보네이트계, 에테르계 또는 케톤계 용매일 수 있다. 또한, 상기 겔화 공정은 가수분해 반응, 축합 반응, 리간드 치환 반응, 또는 이들의 조합으로 수행될 수 있다.In one embodiment, the solvent may be deionized water, alcoholic, carbonate, ether or ketone based. In addition, the gelation step may be carried out by a hydrolysis reaction, a condensation reaction, a ligand substitution reaction, or a combination thereof.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 실리카 기공 구조체는, 소수성으로 개질된 표면, 및 향상된 비표면적 및 기공률을 갖는 실리카 기공 구조체일 수 있다. 상기 소수성으로 개질된 표면은 메틸기 및 실리콘을 함유하는 표면 개질제에 의하여 상기 실리카 기공 구조체의 표면을 소수성의 메틸기로 치환함으로써 개질될 수 있다. 또한, 상기 표면 개질제는 메틸실란 및 메틸실라잔으로서, 상기 메틸실란은 트리메틸클로로실란, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 디메틸디메톡시실란, 디메틸디에톡시실란, 트리메틸메톡시실란, 트리메틸에톡시실란, 메틸클로로실란, 메틸디클로로실란, 메틸폴리실란, 디메틸폴리실란, 메틸트리염화실란, 디메틸트리염화실란, 페닐메틸염화실란, 페닐디메틸염화실란, 폴리메틸페닐실란, 폴리디메틸디페닐실란, 폴리실라메틸레노실란, 폴리(1,2-디메틸실라잔), (1,2-디메틸실라잔)(1-메틸실라잔), N-메틸실라잔, 메틸디실라잔, 디메틸디실라잔, 트리메틸디실라잔, 테트라메틸디실라잔, 및 헥사메틸디실라잔을 포함할 수 있다.The silica pore structure according to another embodiment of the present invention may be a silica pore structure having a hydrophobically modified surface and an improved specific surface area and porosity. The hydrophobically modified surface may be modified by replacing the surface of the silica pore structure with a hydrophobic methyl group by a surface modifier containing a methyl group and silicon. The surface modifier may be methylsilane or methylsilane, and the methylsilane may be trimethylchlorosilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, trimethylmethoxysilane, trimethyl But are not limited to, ethoxysilane, methylchlorosilane, methyldichlorosilane, methylpolysilane, dimethylpolysilane, methyltriylchlorosilane, dimethyltrichlorosilane, phenylmethylchlorosilane, phenyldimethylchlorosilane, polymethylphenylsilane, (1,2-dimethylsilazane), (1,2-dimethylsilazane) (1-methylsilazane), N-methylsilazane, methyldisilazane, dimethyldisilazane, Trimethyldisilazane, tetramethyldisilazane, and hexamethyldisilazane. The term " a "

일 실시예에서, 상기 실리카 기공 구조체는 건조 조절 화합물에 의하여 비표면적 및 기공률이 조절될 수 있다. 상기 건조 조절 화합물은 화합물은 옥살산계 화합물, 포름아마이드계 화합물, N,N-디메틸포름아마이드계 화합물, 및 글리세롤계 화합물 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있으며, 상기 실리카 기공 구조체는 50 vol% 이상 99 vol%의 기공률을 가질 수 있고, 350 ㎡/g 내지 ~ 1000 ㎡/g의 비표면적을 가질 수 있다.In one embodiment, the silica pore structure can be controlled in specific surface area and porosity by a dry modifying compound. The dry control compound may contain at least one of oxalic acid compound, formamide compound, N, N-dimethylformamide compound, and glycerol compound, and the silica pore structure may contain at least 50 vol% vol%, and may have a specific surface area of from 350 m 2 / g to 1000 m 2 / g.

본 발명의 실시예에 따르면, 실리카 화합물 전구체, 실란계 화합물 전구체를포함하는 표면 개질제, 및 옥살산계 화합물을 포함하는 건조 조절 화합물을 이용하여 졸-겔(sol-gel) 공정을 수행함으로써, 별도의 추가적 공정 없이 제조 중에 표면에 소수성이 부여되고 제조 공정 중에 표면의 소수성이 증대되고, 비표면적 및 기공률이 향상되며, 열전도도가 감소하는 실리카 기공 구조체가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a sol-gel process is performed using a silica compound precursor, a surface modifier containing a silane compound precursor, and a drying control compound containing an oxalic acid compound, It is possible to provide a silica pore structure in which hydrophobicity is imparted to the surface during the production without increasing the process, hydrophobicity of the surface is increased during the production process, specific surface area and porosity are improved, and thermal conductivity is decreased.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 건조 조절 화합물을 촉매로서 이용함으로써 초임계 건조 공정이 아닌 일반적인 상압 공정에 의하여 실리카 기공 구조체를 제조하는 경우에도 이의 일반적인 물성인 높은 비표면적 및 기공률, 낮은 열전도도, 및 큰 기공 사이즈의 특성이 저하되지 않는 실리카 기공 구조체의 제조 방법이 제공될 수 있다.In addition, according to the embodiment of the present invention, even when a silica pore structure is manufactured by a normal atmospheric pressure process rather than a supercritical drying process by using the drying control compound as a catalyst, its general properties such as high specific surface area and porosity, And a method of manufacturing a silica pore structure in which the characteristics of a large pore size are not deteriorated can be provided.

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 실리카 기공 구조체의 제조 순서를 설명하기 위한 것이다.
도 2 은 본 발명의 일 실시예에 따른 실리카 기공 구조체 및 비교예의 적외선 분광 분석 결과 그래프이다.
도 3a 및 도 3b 는 본 발명의 일 실시예에 따른 실리카 기공 구조체 및 비교예를 나타내는 이미지이다.
도 4a 및 도 4b 는 본 발명의 일 실시예에 따른 실리카 기공 구조체 및 비교예의 기공률 및 비표면적을 나타내는 분석 결과 그래프이다.
FIG. 1 is a view for explaining a manufacturing procedure of a silica pore structure according to an embodiment of the present invention.
2 is a graph showing the results of infrared spectroscopic analysis of a silica pore structure and a comparative example according to an embodiment of the present invention.
3A and 3B are images showing a silica pore structure and a comparative example according to an embodiment of the present invention.
4A and 4B are graphs showing the results of analysis of porosity and specific surface area of the silica pore structure and the comparative example according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.The embodiments of the present invention are described in order to more fully explain the present invention to those skilled in the art, and the following embodiments may be modified into various other forms, It is not limited to the embodiment. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be more faithful and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art.

도면에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 또한, 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.Like numbers refer to like elements in the drawings. Also, as used herein, the term "and / or" includes any and all combinations of any of the listed items.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니다. 또한, 본 명세서에서 단수로 기재되어 있다 하더라도, 문맥상 단수를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"이란 용어는 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.The terms used herein are used to illustrate the embodiments and are not intended to limit the scope of the invention. Also, although described in the singular, unless the context clearly indicates a singular form, the singular forms may include plural forms. Also, the terms "comprise" and / or "comprising" used herein should be interpreted as referring to the presence of stated shapes, numbers, steps, operations, elements, elements and / And does not exclude the presence or addition of other features, numbers, operations, elements, elements, and / or groups.

본 명세서에서 기판 또는 다른 층 "상에(on)" 형성된 층에 대한 언급은 상기 기판 또는 다른 층의 바로 위에 형성된 층을 지칭하거나, 상기 기판 또는 다른 층 상에 형성된 중간 층 또는 중간 층들 상에 형성된 층을 지칭할 수도 있다. 또한, 당해 기술 분야에서 숙련된 자들에게 있어서, 다른 형상에 "인접하여(adjacent)" 배치된 구조 또는 형상은 상기 인접하는 형상에 중첩되거나 하부에 배치되는 부분을 가질 수도 있다. Reference herein to a layer formed "on" a substrate or other layer refers to a layer formed directly on top of the substrate or other layer, or may be formed on intermediate or intermediate layers formed on the substrate or other layer Layer. ≪ / RTI > It will also be appreciated by those skilled in the art that structures or shapes that are "adjacent" to other features may have portions that overlap or are disposed below the adjacent features.

본 명세서에서, "아래로(below)", "위로(above)", "상부의(upper)", "하부의(lower)", "수평의(horizontal)" 또는 "수직의(vertical)"와 같은 상대적 용어들은, 도면들 상에 도시된 바와 같이, 일 구성 부재, 층 또는 영역들이 다른 구성 부재, 층 또는 영역과 갖는 관계를 기술하기 위하여 사용될 수 있다. 이들 용어들은 도면들에 표시된 방향뿐만 아니라 소자의 다른 방향들도 포괄하는 것임을 이해하여야 한다. 또한, 도면의 부재들의 참조 부호는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부재를 지칭한다. As used herein, the terms "below," "above," "upper," "lower," "horizontal," or " May be used to describe the relationship of one constituent member, layer or regions with other constituent members, layers or regions, as shown in the Figures. It is to be understood that these terms encompass not only the directions indicated in the Figures but also the other directions of the devices. In addition, reference numerals of members in the drawings refer to the same members throughout the drawings.

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 실리카 기공 구조체를 제조하는 순서를 나타내는 순서도이다.1 is a flowchart showing a procedure for manufacturing a silica pore structure according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 소정의 용기 내에 실리카 기공 구조체를 생성하기 위한 실리카 화합물 전구체를 제공할 수 있다. 상기 실리카 화합물 전구체는 실리케이트계 화합물 및 고분자 계면 활성제를 포함할 수 있다. 상기 규소계 전구체로는 물유리, 소듐 메타실리케이트, 규산나트륨, 규산, 및 콜로이달 실리카 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. 또한, 상기 고분자자 계면 활성제는 아크릴레이트계 고분자 계면 활성제를 포함할 수 있으며, 상기 아크릴레이트계 고분자 계면 활성제는 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 3-트라이메톡시실릴프로필 메타아크릴레이트, C1~C12의 알킬메타아크릴레이트, 2-에톡시에틸 메타아크릴레이트, 2-부톡시에틸 메타아크릴레이트, 에틸렌글리콜메틸에스터아크릴레이트, 시클로헥실 메타아크릴레이트, 벤질 메타아크릴레이트, 페닐 메타아크릴레이트, 2-(메틸티오)에틸 메타아크릴레이트, 헥사플루오로이소프로필 아크릴레이트, 트리플루오로에틸 메타아크릴레이트, 펜타플루오로프로필 메타아크릴레이트, 헵타플루오로부틸 메타아크릴레이트, 옥타플루오로펜틸 메타아크릴레이트, 테트라플루오르프로필 메타아크릴레이트 및 헥사플루오르부틸 메타아크릴레이트 중 하나를 포함할 수 있다. 바람직하게는, 상기 규소계 전구체는 바람직하게는 물유리 형태이며. 상기 아크릴레이트계 고분자 계면 활성제 역시 폴리메틸메타크릴레이트일 수 있다. 그러나, 이는 예시적일 뿐 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.Referring to Figure 1, a silica compound precursor for producing a silica pore structure in a given vessel can be provided. The silica compound precursor may include a silicate compound and a polymeric surfactant. The silicon-based precursor may include at least one of water glass, sodium metasilicate, sodium silicate, silicic acid, and colloidal silica. The polymeric surfactant may include an acrylate polymer surfactant. The acrylate polymer surfactant may be selected from the group consisting of polymethyl methacrylate (PMMA), 3-trimethoxysilylpropyl methacrylate, C12 alkyl methacrylate, 2-ethoxyethyl methacrylate, 2-butoxyethyl methacrylate, ethylene glycol methyl ester acrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, phenyl methacrylate, 2- (Methylthio) ethyl methacrylate, hexafluoroisopropyl acrylate, trifluoroethyl methacrylate, pentafluoropropyl methacrylate, heptafluorobutyl methacrylate, octafluoropentyl methacrylate, tetra Fluoropropyl methacrylate and hexafluorobutyl methacrylate It may include one. Preferably, the silicon-based precursor is preferably in the form of a water glass. The acrylate-based polymer surfactant may also be polymethyl methacrylate. However, it should be understood that the present invention is not limited thereto.

이후, 상기 용기 내에 소정의 용매를 마련한 후, 상기 실리케이트계 화합물 전구체 및 상기 고분자 계면 활성제를 용매에 혼합하여 혼합 용액을 형성할 수 있다. 이후, 상기 혼합 용액에 대한 교반 공정을 수행할 수 있다. 그 결과, 상기 전구체들이 혼합된 전구체 용액을 획득할 수 있다. 전구체 용액 내에는 전구체 물질들이 균일하게 분산되거나 용해될 수 있다. 사용되는 용매는 초순수(deionized water), 알코올계, 카보네이트계, 에테르계 및 케톤계 용매 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 초순수 일 수 있다. 그러나, 상기 용매의 종류는 이에 한정되지 아니하고, 유기 용매일 수도 있다. 상기 용매는 단독으로 또는 하나 이상 혼합하여 사용할 수도 있다. Then, after a predetermined solvent is prepared in the container, the silicate compound precursor and the polymer surfactant may be mixed with a solvent to form a mixed solution. Thereafter, a stirring process for the mixed solution may be performed. As a result, a precursor solution mixed with the precursors can be obtained. Precursor materials can be uniformly dispersed or dissolved in the precursor solution. The solvent used may include at least one of deionized water, alcohol-based, carbonate-based, ether-based, and ketone-based solvents, preferably ultra pure water. However, the type of the solvent is not limited thereto, and organic solvents may be used. These solvents may be used alone or in combination.

일 실시예에서, 상기 전구체 용액에 소정의 촉매가 더 첨가될 수 있다. 상기 촉매는 전구체 물질의 가수 분해 반응 및 축중합 반응을 유발 및/또는 촉진할 수 있다. 상기 촉매는 예컨대, 산성 또는 염기성 촉매(base 또는 acid catalyst)일 수 있다. 구체적인 예로, 상기 산성 촉매는 염산, 구연산, 인산, 아세트산, 옥살린산, 황산, 불산 암모늄 또는 질산일 수 있다. 상기 염기성 촉매는 암모니아, 암모늄히드록시드, 수산화나트륨(NaOH) 또는 수산화칼륨 또는 피레리딘(piperidine)일 수 있다. 그러나, 상기 촉매 물질은 이에 한정되지 않고 다양하게 변화될 수 있다. 상기 촉매를 첨가한 후, 분산을 위해 교반 공정이 더 수행될 수 있다. 상기 교반 공정은 수백 rpm 정도, 예컨대, 약 400 rpm 정도의 속도로 수행할 수 있다. 그러나 이는 예시적인 것일 뿐 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.In one embodiment, a predetermined catalyst may be added to the precursor solution. The catalyst can induce and / or accelerate the hydrolysis and condensation reactions of the precursor material. The catalyst may be, for example, an acid or base catalyst. As a specific example, the acidic catalyst may be hydrochloric acid, citric acid, phosphoric acid, acetic acid, oxalic acid, sulfuric acid, ammonium fluoride or nitric acid. The basic catalyst may be ammonia, ammonium hydroxide, sodium hydroxide (NaOH) or potassium hydroxide or piperidine. However, the catalytic material is not limited thereto and can be variously changed. After the catalyst is added, a stirring process may be further performed for dispersion. The stirring process may be performed at a speed of several hundred rpm, for example, about 400 rpm. However, the present invention is not limited thereto.

또한, 본 발명의 실리카 기공 구조체를 제조하기 위하여, 촉매로서 상기 소정의 용기 내에 건조 조절 화합물이 더 첨가될 수 있다. 상기 건조 조절 화합물은 겔화 과정에서 실리카 기공 구조체의 비표면적 및 기공률을 적절하게 조절하고, 상기 실리카 기공 구조체의 건조시 발생하는 수축도를 감소시킬 수 있다. 상기 건조 조절 화합물은 옥살산계 화합물, 글리세롤, N,N-디메틸포름아마이드, 및 포름아마이드 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있으나, 이는 예시적일 뿐 본 발명에 한정되는 것은 아니다. 일 실시예에서, 상기 건조 조절 화합물은 옥살산계 화합물을 포함할 수 있으며, 상기 옥살산계 화합물은 옥살산나트륨, 옥살산칼륨, 옥살산소듐, 옥살산암모늄, 옥살산 수산화나트륨, 및 옥살산칼슘을 포함할 수 있다. Further, in order to produce the silica pore structure of the present invention, a drying control compound may be further added to the predetermined vessel as a catalyst. The drying control compound can appropriately control the specific surface area and the porosity of the silica pore structure during the gelation process and reduce the shrinkage of the silica pore structure during drying. The drying control compound may include at least one of an oxalic acid compound, glycerol, N, N-dimethylformamide, and formamide, but the present invention is not limited thereto. In one embodiment, the dry modifying compound may comprise an oxalate-based compound, and the oxalate-based compound may include sodium oxalate, potassium oxalate, sodium oxalate, ammonium oxalate, sodium oxalate, and calcium oxalate.

상기 용기 내에서는 상기 촉매에 의한 상기 전구체 용액의 가수분해 반응을 진행한 후, 축합 반응(condensation reaction)을 통한 겔화(gelation) 공정이 진행될 수 있다(S20). 예를 들면, 상기 촉매로서 불소 암모늄, 염산, 및 건조 조절 화합물을 이용하는 경우, 상기 불소 암모늄이 가수 분해 반응에 대한 촉매 역할을 하고, 상기 염산은 축중합 반응의 촉매로서 작용하여 이로 인하여 Si-O-Si 결합이 형성되어 겔화(gelation)이 완성될 수 있다. 이 때, 건조 조절 화합물은 물유리에 대한 상기 건조 조절 화합물의 몰 분율을 조절함으로써, 본 발명의 실리카 기공 구조체의 비표면적 및 기공률을 조절할 수 있다. In the vessel, a hydrolysis reaction of the precursor solution by the catalyst is performed, and then a gelation process through a condensation reaction may proceed (S20). For example, when ammonium fluoride, hydrochloric acid, and a drying regulating compound are used as the catalyst, the fluoroammonium serves as a catalyst for the hydrolysis reaction, and the hydrochloric acid serves as a catalyst for the condensation polymerization reaction, -Si bond can be formed and gelation can be completed. At this time, the dry modifying compound can control the specific surface area and porosity of the silica pore structure of the present invention by controlling the mole fraction of the dry modifying compound relative to water glass.

상기 이러한 반응 공정(가수분해 반응, 축합 반응, 비표면적 및 기공률 조절 반응)은 소정의 온도 및 압력에서 수행할 수 있다. 예를 들면, 약 100 내지 300 범위의 온도 및 약 100 내지 250 bar 의 압력에서 상기한 반응 공정을 수행할 수 있다. 그러나, 이러한 온도 및 압력 조건은 예시적인 것에 불과하고, 반응 시간 및 반응 조건에 따라 다양하게 변화될 수 있다. Such a reaction process (hydrolysis reaction, condensation reaction, specific surface area and porosity regulating reaction) can be carried out at a predetermined temperature and pressure. For example, the above reaction process can be carried out at a temperature in the range of about 100 to 300 and at a pressure of about 100 to 250 bar. However, such temperature and pressure conditions are merely illustrative, and may vary widely depending on reaction time and reaction conditions.

이후, 상기 전구체 용액으로부터 겔화된 실리카 화합물에 대하여 표면 개질제를 처리함으로써, 상기 실리카 화합물의 표면에 형성된 친수성 화합물을 상기 표면 개질제의 소수성 리간드로 치환하여 상기 실리카 화합물의 표면을 개질할 수 있다(S30). 상기 표면 개질제는 메틸기를 포함하는 실란계 화합물로서, 상기 실란계 화합물은 메틸실란 및 메틸실라잔을 포함할 수 있다. 상기 메틸실란은 트리메틸클로로실란, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 디메틸디메톡시실란, 디메틸디에톡시실란, 트리메틸메톡시실란, 트리메틸에톡시실란, 메틸클로로실란, 메틸디클로로실란, 메틸폴리실란, 디메틸폴리실란, 메틸트리염화실란, 디메틸트리염화실란, 페닐메틸염화실란, 페닐디메틸염화실란, 폴리메틸페닐실란, 폴리디메틸디페닐실란, 폴리실라메틸레노실란, 폴리(1,2-디메틸실라잔), (1,2-디메틸실라잔)(1-메틸실라잔), N-메틸실라잔, 메틸디실라잔, 디메틸디실라잔, 트리메틸디실라잔, 테트라메틸디실라잔, 및 헥사메틸디실라잔 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. 그러나, 이들은 예시적일 뿐 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다.Subsequently, the surface of the silica compound can be modified by replacing the hydrophilic compound formed on the surface of the silica compound with the hydrophilic ligand of the surface modifier by treating the surface modifier with the silica compound gelled from the precursor solution (S30) . The surface modifier may be a silane-based compound containing a methyl group, and the silane-based compound may include methylsilane and methylsilazane. The methylsilane may be selected from the group consisting of trimethylchlorosilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, methylchlorosilane, methyldichlorosilane, methylpolysiloxane, A silane coupling agent such as silane, dimethyl polysilane, methyltriylsilane, dimethyltrifluoro silane, phenylmethylchlorosilane, phenyldimethylchlorosilane, polymethylphenylsilane, polydimethyldiphenylsilane, polysilamethylrenosilane, poly (1,2- (1,2-dimethylsilazane) (1-methylsilazane), N-methylsilazane, methyldisilazane, dimethyldisilazane, trimethyldisilazane, tetramethyldisilazane, and hexamethyl Disilazane, and the like. However, these are only exemplary and the present invention is not limited thereto.

상기 겔화된 상기 실리카 화합물에 형성된 표면의 친수성 화합물은 상기 표면 개질제의 메틸기로 치환되어 수축 정도가 감소될 수 있다. 겔화 공정에서 사용되는 건조 조절 화합물과 상기 표면 개질제에 의하여 본 발명의 실리카 기공 구조체는 이후 초임계 건조 공정이 아닌 상압 건조 공정으로 건조되는 경우에도 겔의 수축도가 감소하고 일반적인 물성들이 하락하지 아니할 수 있다.The surface hydrophilic compound formed on the gelled silica compound may be substituted with the methyl group of the surface modifier to reduce the degree of shrinkage. The drying control compound used in the gelation process and the silica pore structure of the present invention by the surface modifier can be used not only in the supercritical drying process but also in the case of drying in an atmospheric pressure drying process, have.

이후, 상기 전구체 용액으로부터 겔화된 물질에 대한 소정의 건조 공정을 수행하여, 겔화된 물질로부터 용매를 제거할 수 있다(S40). 그 결과, 별도의 추가 적인 표면 처리없이, 간단하게 표면에 소수성을 갖는 실리카 기공 구조체를 얻을 수 있다(S50). 이 경우, 상기 건조 공정은 초임계 공정이 아닌 상압 건조로 진행될 수 있다. 일반적으로 상압 건조의 경우 초임계 건조 방식으로 제조할 때 보다 비표면적, 열전도도, 기공률과 같은 물성이 나빠지는 경향이 있으나, 본 발명의 실리카 기공 구조체는 촉매로서 건조 조절 화합물을 더 이용함으로써, 상기 물성들이 나빠지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 제조 방법은, 표면 개질 공정(S30) 및 건조 공정(S40)이 순차적으로 수행되는 것으로 기재되었으나, 이는 동시에 수행되어도 무방하다.Thereafter, a predetermined drying process for the gelled material from the precursor solution may be performed to remove the solvent from the gelled material (S40). As a result, a silica pore structure having hydrophobicity on the surface can be obtained simply without additional surface treatment (S50). In this case, the drying process may be performed at atmospheric pressure drying rather than a supercritical process. Generally, atmospheric pressure drying tends to deteriorate physical properties such as specific surface area, thermal conductivity and porosity as compared with the case of the supercritical drying method, but the silica pore structure of the present invention can be obtained by further using a drying control compound as a catalyst, It is possible to prevent the physical properties from deteriorating. Further, although it has been described that the surface modification step (S30) and the drying step (S40) are performed sequentially, the production method of the present invention may be performed at the same time.

일 실시예에서, 상기 실리카 기공 구조체는 표면 개질 과정에서 첨가된 표면 개질제와 고분자 계면 활성제에 의해 소수성(hydrophobic property)을 가질 수 있다. 실리카 기공 구조체가 소수성을 가질 때 수분 흡착에 의해 특성이 열화 또는 변성되는 문제를 감소 또는 억제할 수 있기 때문에, '소수성'은 다양한 응용 분야, 예를 들면 코팅 재료로 유용하게 작용할 수 있다. 다른 응용 예로, 실리카 기공 구조체는 오일 흡수 및 제거제로 활용될 수 있다.In one embodiment, the silica pore structure may have hydrophobic properties due to the surface modifier and polymer surfactant added during the surface modification process. 'Hydrophobic' can be useful in a variety of applications, such as coating materials, for example, because silica pore structures can reduce or inhibit degradation or degradation of properties due to moisture adsorption when they have hydrophobicity. In another application, a silica pore structure can be utilized as an oil absorber and remover.

이러한 실리카 기공 구조체는 고온 안정성과 유연성 및 우수한 기계적 강도를 가질 수 있고, 아울러, 높은 비표면적, 낮은 열전도도, 낮은 밀도(초경량성)과 소수성의 표면 특성을 가질 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 전구체, 용매 및 촉매의 종류, 농도, 사용량 등을 제어함으로써 실리카 기공 구조체의 기공률, 기공 크기, 밀도, 기계적 강도를 조절할 수 있다. 예를 들면, 건조 조절 화합물의 농도가 커질수록 실리카 기공 구조체의 기공률이 향상되고, 상기 실리카 기공 구조체의 수축 정도가 감소하여 표면적이 커질 수 있다. Such a silica pore structure can have high temperature stability, flexibility and excellent mechanical strength, and can also have high specific surface area, low thermal conductivity, low density (light weight) and hydrophobic surface properties. Also, according to the embodiment of the present invention, the porosity, pore size, density, and mechanical strength of the silica pore structure can be controlled by controlling the kind, concentration, and amount of the precursor, solvent and catalyst. For example, as the concentration of the drying control compound increases, the porosity of the silica pore structure increases, and the degree of shrinkage of the silica pore structure decreases, thereby increasing the surface area.

예를 들면, 건조 조절 화합물을 상기 실리케이트계 화합물 전구체인 물유리에 대해 일정 몰수비로 첨가할 시 실리카 기공 구조체의 기공률이 향상되고, 상기 실리카 기공 구조체의 수축 정도가 감소하여 최종적으로는 표면적이 증가할 수 있다. 따라서, 본 발명의 실리카 기공 구조체는 낮은 열전도도를 제공할 수 있으며, 비표면적의 증가로 오일 흡수 및 제거제, 약물 전달 매개제로서 높은 활용도를 제공할 수 있다.For example, when the dry controlling compound is added at a certain molar ratio to water glass as the silicate compound precursor, the porosity of the silica pore structure is improved, the degree of shrinkage of the silica pore structure is decreased, and finally the surface area is increased have. Therefore, the silica pore structure of the present invention can provide low thermal conductivity, and can increase the specific surface area to provide high utilization as an oil absorption and remover, drug delivery mediator.

도 1 을 참조하여 설명한 방법은 졸겔(sol-gel) 공정을 이용해서 실리카 기공 구조체를 제조하는 방법이다. 도 1 에서 설명한 구체적인 공정 조건들은 예시적인 것에 불과하고, 경우에 따라, 다양하게 변화될 수 있다. The method described with reference to FIG. 1 is a method of manufacturing a silica pore structure using a sol-gel process. The specific process conditions described in Fig. 1 are merely illustrative, and may be varied in various cases.

일 실시예에서, 실리카 기공 구조체의 기공률은 50 % 내지 99 %의 범위 내이고, 바람직하게는 70 % 내지 99 %의 범위 내일 수 있으며, 요구되는 강도와 유연성을 고려하여 적절히 조절될 수 있다. 실리카 기공 구조체가 높은 기공률을 갖는 경우, 실리카 기공 구조체는 에어로겔(aerogel)이라 할 수 있다. 상기 기공률이 클수록 낮은 밀도로 인하여 열전도도가 낮아질 수 있고, 기공률이 작아질수록 실리카의 밀도가 증가하면서 열전도도가 높아질 수 있다. 그러나, 어느 경우에나, 본 발명의 실시예에 따르면, 높은 기공률을 가지면서도, 단열재로서 이용될 수 있을 정도로 낮은 열전도도를 가질 수 있다. In one embodiment, the porosity of the silica pore structure may be in the range of 50% to 99%, preferably in the range of 70% to 99%, and may be suitably adjusted in consideration of the required strength and flexibility. When the silica pore structure has a high porosity, the silica pore structure may be referred to as an aerogel. The higher the porosity, the lower the thermal conductivity due to the lower density, and the lower the porosity, the higher the density of silica and the higher the thermal conductivity. However, in any case, according to the embodiment of the present invention, it is possible to have a thermal conductivity which is high enough to be used as an insulating material while having a high porosity.

또한, 실리카 기공 구조체는 바인더나 섬유와 같은 보강 첨가물을 포함하지 않기 때문에, 상기 보강 첨가물에 의해 기공률 및 비표면적이 감소하고 열전도도 및 밀도가 상승하는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 실리카 기공 구조체는 높은 기공률, 높은 비표면적, 낮은 열전도도 및 낮은 밀도를 가질 수 있다. In addition, since the silica pore structure does not include a reinforcing additive such as a binder or a fiber, the porosity and specific surface area can be reduced and the thermal conductivity and density can be prevented from rising by the reinforcing additive. Thus, silica pore structures can have high porosity, high specific surface area, low thermal conductivity, and low density.

본 발명의 일 실시예에서, 실리카 기공 구조체는 약 350 ㎡/g 내지 1000 ㎡/g 범위 내의 비표면적을 가질 수 있다. 실리카 기공 구조체는 50 vol% 내지 99 vol% 범위 내의 기공률을 가질 수 있다. 또한, 실리카 기공 구조체의 열전도도는 약 0.03 W/mk 이하로 낮을 수 있다. 한편, 실리카 기공 구조체의 평균 기공 직경(average pore diameter)은, 1 nm 내지 100 nm 의 범위 내일 수 있다. 실리카 기공 구조체의 소수성이 갖는 접촉각은 90 ° 내지 180 °의 범위 내일 수 있다. In one embodiment of the present invention, the silica pore structure may have a specific surface area in the range of about 350 m 2 / g to 1000 m 2 / g. The silica pore structure may have a porosity within the range of 50 vol% to 99 vol%. Also, the thermal conductivity of the silica pore structure may be as low as about 0.03 W / mk or less. On the other hand, the average pore diameter of the silica pore structure may be in the range of 1 nm to 100 nm. The contact angle of the hydrophobic nature of the silica pore structure may be in the range of 90 ° to 180 °.

실리카 기공 구조체의 기공들은 대체로 나노스케일(nanoscale)을 가질 수 있고, 이 경우, 실리카 기공 구조체는 '나노 기공 구조체(nanopore structure)'라고 지칭될 수 있다. 경우에 따라, 실리카 기공 구조체의 기공들 중 일부는 마이크로스케일(microscale)을 가질 수도 있다. 또한, 상기 실리카 기공 구조체의 형태 및 크기는 다양하게 변화될 수 있다. 예를 들어, 상기 실리카 기공 구조체는 벌크(bulk) 형태가 아닌 박막이나 파티클 형태를 가질 수 있고, 그 밖에도 다양한 형태를 가질 수 있다.The pores of the silica pore structure may have a nanoscale, and in this case, the silica pore structure may be referred to as a " nanopore structure ". In some cases, some of the pores of the silica pore structure may have a microscale. In addition, the shape and size of the silica pore structure may be variously changed. For example, the silica pore structure may have a thin film or particle shape other than a bulk shape, and may have various other shapes.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 실리카 기공 구조체는 고온 안정성을 가질 수 있고, 아울러, 높은 비표면적, 낮은 열전도도, 낮은 밀도(초경량성)와 소수성의 표면 특성을 가질 수 있다. 따라서, 실리카 기공 구조체는 상용화 가능성 및 활용 가치를 크게 향상시킬 수 있다. As described above, the silica pore structure according to the embodiment of the present invention can have high temperature stability, and can also have a high specific surface area, a low thermal conductivity, a low density (light weight) and a hydrophobic surface property. Therefore, the silica pore structure can greatly improve the commercialization possibility and utilization value.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 실리카 기공 구조체 및 비교예의 적외선 분광 분석(FT-IR) 결과 그래프이다. FIG. 2 is a graph of an infrared spectroscopic analysis (FT-IR) of a silica pore structure and a comparative example according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 약 500 및 1100 cm- 1 의 파장에서 비교예(No oxalic acid)투명도보다 본 발명의 실리카 기공 구조체(Added oxalic acid)의 투명도가 감소하므로, 비교예에 비하여 본 발명의 일 실시예에 따른 실리카 기공 구조체가 Si-O-Si 결합을 더 많이 포함함을 알 수 있다. 또한, 비교예에서는 Si-C 결합을 나타내는 약 880 및 2975 cm-1 파장에서 낮은 피크 형태로 관찰되나, 상기 실리카 기공 구조체에서는 상기 영역에서 더 높은 형태의 피크가 관찰됨을 알 수 있다. 이는 실시예에서 첨가되는 건조 조절 화합물인 옥살산계 화합물이 본 발명의 실리카 기공 구조체 형성에 참여됨을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 2, the transparency of the silica pore structure of the present invention (added oxalic acid) is lower than that of Comparative Example (No oxalic acid) at a wavelength of about 500 and 1100 cm - 1 . It can be seen that the silica pore structure according to the embodiment contains more Si-O-Si bonds. In the comparative example, a low peak shape was observed at a wavelength of about 880 and 2975 cm -1, which indicates Si-C bond, but a higher type peak was observed in the above silica pore structure. It can be confirmed that the oxalic acid compound, which is a drying regulating compound added in the Examples, participates in the formation of the silica pore structure of the present invention.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 실리카 기공 구조체 및 비교예를 나타내는 SEM 이미지 사진이다. 도 3a는 실리카 에어로겔 제조시 옥살산계 화합물이 첨가되지 아니한 비교예에 대한 SEM 사진이고, 도 3b는 옥살산계 화합물이 첨가되어 제조된 본 발명의 일 실시예에 따른 실리카 기공 구조체에 대한 SEM 사진이다.3A and 3B are SEM image photographs showing a silica pore structure and a comparative example according to an embodiment of the present invention. FIG. 3A is an SEM photograph of a comparative example in which an oxalic acid compound is not added in the production of silica airgel, and FIG. 3B is an SEM photograph of a silica pore structure according to an embodiment of the present invention prepared by adding an oxalic acid compound.

도 3a를 참조하면, 비교예의 경우 겔 내의 실리카 입자의 크기가 크고 각기 다른 것을 확인할 수 있다. 그러나, 도 3b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 실리카 기공 구조체는 겔 내의 실리카 입자의 크기가 작고, 각각의 입자 크기도 비교적 균일함을 알 수 있다. 이와 같이, 실리카 기공 구조체 내의 실리카 입자들이 균일하게 작은 크기를 갖기 때문에, 상기 실리카 기공 구조체의 기공의 크기를 증가시킬 수 있고, 상기 기공들도 유사한 크기를 가질 수 있게 된다.Referring to FIG. 3A, in the comparative example, it can be seen that the size of the silica particles in the gel is large and different from each other. However, referring to FIG. 3B, it can be seen that the silica pore structure manufactured according to an embodiment of the present invention has a small silica particle size in the gel and a relatively uniform particle size. Thus, since the silica particles in the silica pore structure are uniformly small in size, the pore size of the silica pore structure can be increased, and the pores can have a similar size.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 실리카 기공 구조체 및 비교예의 기공률 및 비표면적을 나타내는 분석 결과 그래프이다.4A and 4B are graphs showing the results of analysis of porosity and specific surface area of the silica pore structure and the comparative example according to an embodiment of the present invention.

도 4a를 참조하면, BET 비표면적 분석 장비(Brunauer Emmett Teller Specific Surface Area)를 이용하여 분석한 결과로서, 비교예 및 실시예의 구조체의 표면에 특정 가스를 흡탈착 시켜 부분 압력(P/Po)별 흡착량을 측정한 것이다. 분석 그래프에 따르면, 비교예(No oxide acid)의 가스의 흡착량에 비하여 실시예의 실리카 기공 구조체(added oxalic acid)의 가스 흡착량이 더 많음을 알 수 있다. 이는 본 발명의 실리카 기공 구조체의 비표면적이 상대적으로 더 큰 것을 나타낸다. Referring to FIG. 4A, as a result of analysis using a BET specific surface area analyzer (Brunauer Emmett Teller Specific Surface Area), specific gases were absorbed and desorbed on the surfaces of the structures of Comparative Examples and Examples, And the adsorption amount was measured. According to the analytical graph, it can be seen that the amount of adsorbed silica in the silica pore structure of the Example is larger than the adsorption amount of the gas of the comparative example (No oxide acid). This shows that the specific surface area of the silica pore structure of the present invention is relatively larger.

도 4b를 참조하면, BJH(Barrett-Joyner-Halenda) 분석을 이용하여 비교예 및 실시예의 기공 분포도를 분석한 결과이다. 분석 그래프에 따르면, 건조 조절 화합물인 옥살산계 화합물이 첨가되어 형성된 실시예의 실리카 기공 구조체(Added oxalic acid)가 옥살산계 화합물이 첨가되지 않고 형성된 비교예의 실리카 구조체(No oxalic acid)보다 기공의 크기가 균질함을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 4B, the pore distribution of Comparative Examples and Examples was analyzed using BJH (Barrett-Joyner-Halenda) analysis. According to the analysis graph, it was found that the pore size of the silica pore structure (added oxalic acid) of the example formed by adding the oxalic acid compound as the drying control compound was smaller than that of the comparative silica (No oxalic acid) .

상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이기 보다는, 구체적인 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 예를 들어, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 도 1의 실리카 기공 구조체의 제조 공정은 다양하게 변화될 수 있음을 알 수 있다. 또한, 실시예들에 따른 상기 실리카 기공 구조체는 단열 재료나 방음 재료, 우주 재료 이외에도 다양한 분야에 여러 가지 목적으로 적용될 수 있음을 알 수 있다. 예를 들어, 소수성 및 높은 비표면적 특징에 근거하여 상기 실리카 기공 구조체는 오일 흡수 및 제거제에 활용될 수 있다. 따라서, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특히 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정해져야 한다.While a great many have been described above, they should be construed as illustrative of specific embodiments rather than as limiting the scope of the invention. For example, it will be understood by those skilled in the art that the manufacturing process of the silica pore structure of FIG. 1 can be variously changed. Further, it can be understood that the silica pore structure according to the embodiments can be applied for various purposes in various fields other than the heat insulating material, the sound insulating material, and the space material. For example, based on hydrophobicity and high specific surface area characteristics, the silica pore structure can be utilized in oil absorption and removers. Therefore, the scope of the present invention is not to be determined by the described embodiments, but rather by the technical idea described in the claims.

Claims (17)

액상의 실리케이트계 화합물 전구체 및 고분자 계면 활성제를 포함하는 실리카 화합물 전구체를 제공하는 단계;
상기 실리카 화합물 전구체의 반응을 돕는 건조 조절 화합물을 제공하는 단계;
상기 실리카 화합물 전구체 및 상기 건조 조절 화합물을 용매에 혼합하여 전구체 용액을 제공하는 단계; 및
상기 전구체 용액으로부터 겔화(gelation) 공정 이후 실란계 화합물을 포함하는 표면 개질제를 첨가함으로써, 상기 겔화된 실리카 화합물의 표면을 개질하여 실리카 기공 구조체를 형성하는 단계를 포함하고,
상기 실리카 기공 구조체는 비표면적 및 기공률이 향상되는 실리카 기공 구조체의 제조 방법.
Providing a silica compound precursor comprising a liquid silicate compound precursor and a polymeric surfactant;
Providing a dry conditioning compound to aid in the reaction of said silica compound precursor;
Mixing the silica compound precursor and the dry regulating compound into a solvent to provide a precursor solution; And
Forming a silica pore structure by modifying the surface of the gelled silica compound by adding a surface modifier containing a silane compound after the gelation process from the precursor solution;
Wherein the silica pore structure has improved specific surface area and porosity.
제 1 항에 있어서,
상기 고분자 계면 활성제는 아크릴레이트계 계면 활성제로서,
상기 고분자 계면 활성제는 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 3-트라이메톡시실릴프로필 메타아크릴레이트, C1~C12의 알킬메타아크릴레이트, 2-에톡시에틸 메타아크릴레이트, 2-부톡시에틸 메타아크릴레이트, 에틸렌글리콜메틸에스터아크릴레이트, 시클로헥실 메타아크릴레이트, 벤질 메타아크릴레이트, 페닐 메타아크릴레이트, 2-(메틸티오)에틸 메타아크릴레이트, 헥사플루오로이소프로필 아크릴레이트, 트리플루오로에틸 메타아크릴레이트, 펜타플루오로프로필 메타아크릴레이트, 헵타플루오로부틸 메타아크릴레이트, 옥타플루오로펜틸 메타아크릴레이트, 테트라플루오르프로필 메타아크릴레이트 및 헥사플루오르부틸 메타아크릴레이트 중 하나를 포함하는 실리카 기공 구조체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The polymeric surfactant is an acrylate-based surfactant,
The polymer surfactant may be selected from the group consisting of polymethyl methacrylate (PMMA), 3-trimethoxysilylpropyl methacrylate, C1-C12 alkyl methacrylate, 2-ethoxyethyl methacrylate, 2- Acrylates such as ethylene glycol methyl ester acrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, phenyl methacrylate, 2- (methylthio) ethyl methacrylate, hexafluoroisopropylacrylate, trifluoroethyl methacrylate A process for producing a silica pore structure comprising one of a perfluoroalkyl methacrylate, a perfluoroalkyl methacrylate, a perfluoropropyl methacrylate, a heptafluorobutyl methacrylate, octafluoropentyl methacrylate, tetrafluoropropyl methacrylate and hexafluorobutyl methacrylate .
제 1 항에 있어서,
상기 표면 개질제는, 메틸실란 및 메틸실라잔으로서,
상기 메틸실란은 트리메틸클로로실란, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 디메틸디메톡시실란, 디메틸디에톡시실란, 트리메틸메톡시실란, 트리메틸에톡시실란, 메틸클로로실란, 메틸디클로로실란, 메틸폴리실란, 디메틸폴리실란, 메틸트리염화실란, 디메틸트리염화실란, 페닐메틸염화실란, 페닐디메틸염화실란, 폴리메틸페닐실란, 폴리디메틸디페닐실란, 폴리실라메틸레노실란, 폴리(1,2-디메틸실라잔), (1,2-디메틸실라잔)(1-메틸실라잔), N-메틸실라잔, 메틸디실라잔, 디메틸디실라잔, 트리메틸디실라잔, 테트라메틸디실라잔, 및 헥사메틸디실라잔 중 하나인 실리카 기공 구조체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The surface modifier may be methylsilane or methylsilazane,
The methylsilane may be selected from the group consisting of trimethylchlorosilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, methylchlorosilane, methyldichlorosilane, methylpolysiloxane, A silane coupling agent such as silane, dimethyl polysilane, methyltriylsilane, dimethyltrifluoro silane, phenylmethylchlorosilane, phenyldimethylchlorosilane, polymethylphenylsilane, polydimethyldiphenylsilane, polysilamethylrenosilane, poly (1,2- (1,2-dimethylsilazane) (1-methylsilazane), N-methylsilazane, methyldisilazane, dimethyldisilazane, trimethyldisilazane, tetramethyldisilazane, and hexamethyl Lt; RTI ID = 0.0 > 1, < / RTI >
제 1 항에 있어서,
상기 건조 조절 화합물은 옥살산계 화합물, 포름아마이드계 화합물, N,N-디메틸포름아마이드계 화합물, 및 글리세롤계 화합물 중 어느 하나 이상을 포함하는 실리카 기공 구조체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the dry modifying compound comprises at least one of an oxalic acid compound, a formamide compound, an N, N-dimethylformamide compound, and a glycerol compound.
제 1 항에 있어서,
상기 표면 개질된 실리카 화합물을 숙성하는 단계;
상기 숙성된 겔을 건조하는 단계를 더 포함하는 실리카 기공 구조체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Aging the surface-modified silica compound;
And drying the aged gel. ≪ RTI ID = 0.0 > 21. < / RTI >
제 1 항에 있어서,
상기 용매는 초순수(deionize water), 알코올계, 카보네이트계, 에테르계 또는 케톤계 용매인 실리카 기공 구조체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the solvent is deionized water, alcohol-based, carbonate-based, ether-based or ketone-based solvent.
제 1 항에 있어서,
상기 전구체 용액에 산 또는 염기 촉매(base 또는 acid catalyst)를 첨가하는 단계를 더 포함하는 실리카 기공 구조체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Further comprising adding an acid or base catalyst to the precursor solution. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
제 7 항에 있어서,
상기 산성 촉매는 염산, 구연산, 인산, 아세트산, 옥살린산, 황산, 불산 암모늄 또는 질산을 포함하는 실리카 기공 구조체의 제조 방법.
8. The method of claim 7,
Wherein the acidic catalyst comprises hydrochloric acid, citric acid, phosphoric acid, acetic acid, oxalic acid, sulfuric acid, ammonium fluoride or nitric acid.
제 7 항에 있어서,
상기 염기성 촉매는 암모니아, 암모늄히드록시드, 수산화나트륨(NaOH) 또는 수산화칼륨 또는 피레리딘(piperidine)을 포함하는 실리카 기공 구조체의 제조 방법.
8. The method of claim 7,
Wherein the basic catalyst comprises ammonia, ammonium hydroxide, sodium hydroxide (NaOH) or potassium hydroxide or piperidine.
제 1 항에 있어서,
상기 겔화(gelation) 공정은 가수분해 반응, 축합 반응, 리간드 치환 반응, 또는 이들의 조합으로 수행되는 실리카 기공 구조체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The gelation process is performed by a hydrolysis reaction, a condensation reaction, a ligand substitution reaction, or a combination thereof.
소수성으로 개질된 표면, 및 향상된 비표면적 및 기공률을 갖는 실리카 기공 구조체.A hydrophobically modified surface, and an improved specific surface area and porosity. 제 11 항에 있어서,
상기 실리카 기공 구조체는 70 vol% 이상 99 vol%의 기공률을 갖는 실리카 기공 구조체.
12. The method of claim 11,
Wherein the silica pore structure has a porosity of 70 vol% to 99 vol%.
제 11 항에 있어서,
상기 실리카 기공 구조체는 350 ㎡/g 내지 ~ 1000 ㎡/g의 비표면적을 갖는 실리카 기공 구조체.
12. The method of claim 11,
Wherein the silica pore structure has a specific surface area of from 350 m 2 / g to 1000 m 2 / g.
제 11 항에 있어서,
상기 실리카 기공 구조체는 건조 조절 화합물에 의하여 비표면적 및 기공률이 조절되는 실리카 기공 구조체.
12. The method of claim 11,
The silica pore structure is controlled in specific surface area and porosity by a drying control compound.
제 14 항에 있어서,
상기 건조 조절 화합물은 옥살산계 화합물, 포름아마이드계 화합물, N,N-디메틸포름아마이드계 화합물, 및 글리세롤계 화합물 중 어느 하나 이상을 포함하는 실리카 기공 구조체.
15. The method of claim 14,
The dry controlling compound includes at least one of an oxalic acid compound, a formamide compound, an N, N-dimethylformamide compound, and a glycerol compound.
제 11 항에 있어서,
상기 소수성으로 개질된 표면은 메틸기 및 실리콘을 함유하는 표면 개질제에 의하여 상기 실리카 기공 구조체의 표면을 소수성의 메틸기로 치환함으로써 개질되는 실리카 기공 구조체.
12. The method of claim 11,
Wherein the hydrophobically modified surface is modified by replacing the surface of the silica pore structure with a hydrophobic methyl group by a surface modifier containing a methyl group and silicon.
제 16 항에 있어서,
상기 표면 개질제는 메틸실란 및 메틸실라잔으로서,
상기 메틸실란은 트리메틸클로로실란, 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 디메틸디메톡시실란, 디메틸디에톡시실란, 트리메틸메톡시실란, 트리메틸에톡시실란, 메틸클로로실란, 메틸디클로로실란, 메틸폴리실란, 디메틸폴리실란, 메틸트리염화실란, 디메틸트리염화실란, 페닐메틸염화실란, 페닐디메틸염화실란, 폴리메틸페닐실란, 폴리디메틸디페닐실란, 폴리실라메틸레노실란, 폴리(1,2-디메틸실라잔), (1,2-디메틸실라잔)(1-메틸실라잔), N-메틸실라잔, 메틸디실라잔, 디메틸디실라잔, 트리메틸디실라잔, 테트라메틸디실라잔, 및 헥사메틸디실라잔 실리카 기공 구조체.
17. The method of claim 16,
Wherein the surface modifier is methylsilane and methylsilazane,
The methylsilane may be selected from the group consisting of trimethylchlorosilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, methylchlorosilane, methyldichlorosilane, methylpolysiloxane, A silane coupling agent such as silane, dimethyl polysilane, methyltriylsilane, dimethyltrifluoro silane, phenylmethylchlorosilane, phenyldimethylchlorosilane, polymethylphenylsilane, polydimethyldiphenylsilane, polysilamethylrenosilane, poly (1,2- (1,2-dimethylsilazane) (1-methylsilazane), N-methylsilazane, methyldisilazane, dimethyldisilazane, trimethyldisilazane, tetramethyldisilazane, and hexamethyl Disilazane silica pore structure.
KR1020160182950A 2016-12-29 2016-12-29 Silica composition porous structure and a method of fabricating the same KR101889474B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160182950A KR101889474B1 (en) 2016-12-29 2016-12-29 Silica composition porous structure and a method of fabricating the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160182950A KR101889474B1 (en) 2016-12-29 2016-12-29 Silica composition porous structure and a method of fabricating the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180078015A true KR20180078015A (en) 2018-07-09
KR101889474B1 KR101889474B1 (en) 2018-08-20

Family

ID=62919142

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160182950A KR101889474B1 (en) 2016-12-29 2016-12-29 Silica composition porous structure and a method of fabricating the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101889474B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020111765A1 (en) * 2018-11-27 2020-06-04 주식회사 엘지화학 Method for synthesizing prehydrolyzed polysilicate

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110048674A (en) * 2009-11-03 2011-05-12 한국과학기술연구원 Method for preparing large-area silica aerogel coatings by using dcca
WO2014132652A1 (en) * 2013-02-28 2014-09-04 パナソニック株式会社 Heat insulating structure using aerogel

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110048674A (en) * 2009-11-03 2011-05-12 한국과학기술연구원 Method for preparing large-area silica aerogel coatings by using dcca
WO2014132652A1 (en) * 2013-02-28 2014-09-04 パナソニック株式会社 Heat insulating structure using aerogel

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020111765A1 (en) * 2018-11-27 2020-06-04 주식회사 엘지화학 Method for synthesizing prehydrolyzed polysilicate
CN112135860A (en) * 2018-11-27 2020-12-25 株式会社Lg化学 Process for the synthesis of prehydrolyzed polysilicates
CN112135860B (en) * 2018-11-27 2022-05-03 株式会社Lg化学 Process for the synthesis of prehydrolyzed polysilicates
US11945915B2 (en) 2018-11-27 2024-04-02 Lg Chem, Ltd. Method for synthesizing pre-hydrolyzed polysilicate

Also Published As

Publication number Publication date
KR101889474B1 (en) 2018-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107018658B (en) Method for preparing hydrophobic silica aerogel and hydrophobic silica aerogel prepared thereby
JP6655776B2 (en) Silica airgel, heat insulating material and method for producing silica airgel
EP3305726B1 (en) Method for preparing metal oxide-silica composite aerogel
KR101955184B1 (en) Method of preparing for aerogel blanket with low dust and high thermal insulation
US20160060808A1 (en) Heat insulation sheet and method of producing the same
KR101941648B1 (en) Preparation method of hydrophobic metal oxide-silica complex aerogel and hydrophobic metal oxide-silica complex aerogel produced by the same
KR101409884B1 (en) Preparation method of hydrophobic monolith type silica aerogel
US8496871B2 (en) Silica structure and method of producing the same, and heat insulating material
Kanamori Organic–inorganic hybrid aerogels with high mechanical properties via organotrialkoxysilane-derived sol–gel process
JP7071542B2 (en) How to make an airgel blanket
KR20130001255A (en) Process for producing porous silica, and porous silica
KR102092769B1 (en) Method of preparing for silica aerogel and silica aerogel prepared by the same
KR100710887B1 (en) Method for manufacturing aerogel blanket
KR101800938B1 (en) Preparation method of hydrophobic silica aerogel and hydrophobic silica aerogel produced by the same
JP2008208019A (en) Porous material and method for preparing the same
EP3345867B1 (en) Method for manufacturing silica aerogel
CN102439067A (en) A particle containing a hydrophobic region and a hydrophilic region and methods to make same
WO2014126490A1 (en) Flexible hybrid aerogels prepared under subcritical conditions and their preparation process
JP7065412B2 (en) Insulation sheet and its manufacturing method, as well as electronic devices and battery units
CN104876226B (en) A kind of method for quickly preparing Hydrophobic silica aeroge with the subcritical drying of methanol
KR101227065B1 (en) Aerogel and Preparation Method Thereof
KR101889474B1 (en) Silica composition porous structure and a method of fabricating the same
KR102117617B1 (en) Method for preparing hydrophobic silica aerogel and hydrophobic silica aerogel prepared by using the same
KR101932321B1 (en) Polymer-silica composition porous structure and method of fabricating the same
Kim et al. Surface silylation and pore structure development of silica aerogel composites from colloid and TEOS-based precursor

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
N231 Notification of change of applicant
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right