KR20180074100A - Hydrogen detecting sensor - Google Patents
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- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 79
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 title claims abstract description 79
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 71
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 34
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 230000009975 flexible effect Effects 0.000 claims description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- -1 optical Chemical compound 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/005—H2
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/20—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring contours or curvatures, e.g. determining profile
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
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Abstract
Description
본 발명은 수소 검출 센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판; 상기 기판 상에 형성되는 적어도 하나의 접착층; 및 상기 접착층 상에 형성되되 팔라듐 성분을 포함하는 Pd층; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a hydrogen detection sensor, and more particularly, to a hydrogen detection sensor comprising a substrate; At least one adhesive layer formed on the substrate; And a Pd layer formed on the adhesive layer and containing a palladium component; To a hydrogen detection sensor.
수소(H2)는 높은 연소열(142kJ/g)을 가지며 연소 후 오직 친환경적인 물만 만들기 때문에 다음 세대에 가장 각광받는 연료 에너지이다. 하지만 매우 넓은 폭발농도범위(4-75%)를 가지며 낮은 점화 에너지(0.017mJ), 큰 확산상수(0.61cm2s-1) 및 높은 불꽃 전파 속도를 가지기 때문에 잠재적 위험요소를 가지고 있다(Sensors and Actuators B 157, 2011, 329-352, J. Mater. Chem. A, 2015, 3, 1317). 이러한 이유 때문에 수소 누출을 검출할 수 있는 수소 센서의 필요성이 커지고 있다. 수소를 검출할 수 있는 방법에는 Optical, Catalytic, Thermal conductivity, Electrochemical, Resistance based, Work function based, Mechanical, Acoustic 등의 크게 8가지 방법이 있다(Sensors and Actuators B 157, 2011, 329-352). 이 중 광학적(optical) 수소 센서는 수소에 노출되었을 때 자유전자가 증가하여 LSPR 값이 감소하는 것을 이용하며, 기체변색(gasochromic) 센서는 이러한 광학적 특성을 이용하여 수소 노출 시 색깔이 변하는 것을 확인할 수 있도록 한다(RSC Adv., 2015, 5, 9028-9034).Hydrogen (H 2 ) has the highest heat of combustion (142 kJ / g) and is the most fueled energy in the next generation, making only eco-friendly water after combustion. However, it has a potential explosive potential because it has a very broad explosive concentration range (4-75%), low ignition energy (0.017 mJ), large diffusion constant (0.61 cm 2 s -1 ) Actuators B 157, 2011, 329-352, J. Mater. Chem. A, 2015, 3, 1317). For this reason, there is a growing need for a hydrogen sensor capable of detecting hydrogen leakage. There are eight ways to detect hydrogen (Sensors and Actuators B 157, 2011, 329-352), including optical, catalytic, thermal conductivity, electrochemical, resistance based, work function based, mechanical and acoustic. Of these, the optical hydrogen sensor utilizes a decrease in the LSPR value due to an increase in free electrons when exposed to hydrogen, and a gasochromic sensor uses such optical characteristics to confirm that the color changes upon exposure to hydrogen (RSC Adv., 2015, 5, 9028-9034).
일반적으로 사용되는 Pd 수소 센서는 Pd이 수소가스에 노출되었을 때 PdHX가 생성되는 것을 이용한 전기적(resistance based) 센서이다. 이러한 전기적 센서는 PdHX가 생성되면 표면 모폴러지(morphology)의 변화로 갭(gap)이 이어져 전자 통로를 만들어 저항이 감소하거나(Appl. Phys. Lett. 86, 203104, 2005), PdHX로 인하여 저항이 증가하는 것을 이용한다(Adv. Mater. 19, 2007, 2818-2823). 그러나, 이러한 전기적 센서는 제작 공정이 복잡하고 장소의 제약이 있다는 단점을 가지고 있다.A commonly used Pd hydrogen sensor is a resistance based sensor that uses PdH x to be generated when Pd is exposed to hydrogen gas. This electrical sensor when PdH X is generated surface mopol sludge gap (gap) to a change in the (morphology) is continued creating a electron passage resistance is reduced, or (Appl. Phys. Lett. 86 , 203104, 2005), due to PdH X (Adv. Mater. 19, 2007, 2818-2823). However, such an electrical sensor has a disadvantage in that the manufacturing process is complicated and there are restrictions on the place.
따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 모두 해결하는 것을 그 목적으로 한다.Accordingly, it is an object of the present invention to solve all the problems described above.
또한, 본 발명은 전기적 연결 없이 간편하게 시각적으로 수소 검출 여부를 확인할 수 있도록 함으로써, 다른 방법들보다 안전하고 장소제약 없이 이용할 수 있도록 하는 것을 다른 목적으로 한다.Another object of the present invention is to make it possible to easily and visually confirm whether or not hydrogen is detected without electrical connection, so that it can be used more safely and without limitation in places than other methods.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 대표적인 구성은 다음과 같다.In order to accomplish the above object, a representative structure of the present invention is as follows.
본 발명의 일 태양에 따르면, 수소 검출 센서에 있어서, 기판; 상기 기판 상에 형성되는 적어도 하나의 접착층; 및 상기 접착층 상에 형성되되 팔라듐 성분을 포함하는 Pd층; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서가 제공된다.According to one aspect of the present invention, there is provided a hydrogen detection sensor comprising: a substrate; At least one adhesive layer formed on the substrate; And a Pd layer formed on the adhesive layer and containing a palladium component; And a hydrogen detecting sensor for detecting hydrogen contained in the hydrogen gas.
이 외에도, 본 발명을 구현하기 위한 다른 방법, 장치, 시스템 및 상기 방법을 실행하기 위한 컴퓨터 프로그램을 기록하기 위한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체가 더 제공된다.In addition, there is further provided another method, apparatus, system for implementing the invention and a computer readable recording medium for recording a computer program for executing the method.
본 발명에 따르면, 전기적 연결 없이 간편하게 시각적으로 수소 검출 여부를 확인할 수 있도록 함으로써, 다른 방법들보다 안전하고 장소제약 없이 이용할 수 있도록 할 수 있다.According to the present invention, it is possible to easily and visually confirm whether or not hydrogen is detected without electrical connection, so that it can be used more safely and without any place limitation than other methods.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 수소 검출 센서의 구성도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 수소 검출 센서가 평면 형태일 때 동작하는 모습을 설명하기 위한 예시도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 수소 검출 센서가 곡면 형태일 때 동작하는 모습을 설명하기 위한 예시도.1 is a configuration diagram of a hydrogen detection sensor according to an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is an exemplary view for explaining a state in which the hydrogen detection sensor according to an embodiment of the present invention operates in a planar form; FIG.
FIG. 3 is an exemplary view for explaining how a hydrogen detection sensor according to an embodiment of the present invention operates when it is curved. FIG.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings, which illustrate, by way of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different, but need not be mutually exclusive. For example, certain features, structures, and characteristics described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention in connection with an embodiment.
또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.It is also to be understood that the position or arrangement of the individual components within each disclosed embodiment may be varied without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description is, therefore, not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is to be limited only by the appended claims, along with the full scope of equivalents to which such claims are entitled, if properly explained. In the drawings, like reference numerals refer to the same or similar functions throughout the several views.
이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, so that those skilled in the art can easily carry out the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 수소 검출 센서의 구성도를 도시하고 있다.1 is a block diagram of a hydrogen detection sensor according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 수소 검출 센서는 기판(110), 접착층(120), Pd층(130) 등을 포함할 수 있다. 참고로, 수소 검출 센서는 제어 장치(가령, 제어 컴퓨터, 제어 서버, 제어 단말 등으로 불리울 수도 있음)를 포함할 수도 있다.1, the hydrogen detecting sensor according to the present invention may include a
구체적으로, 본 발명에 따른 수소 검출 센서는, 수소 검출 센서가 수소 환경에 노출되면 수소 검출 센서의 곡률이 변화하고, 이 곡률 변화를 통하여 수소 검출 여부를 시각적으로 확인할 수 있도록 지원한다. 전기적 저항을 이용하는 기존의 센서와는 달리, 본 발명에 따른 수소 검출 센서는 간편하게 시각적으로 수소 검출 센서의 곡률 변화 정도를 확인할 수 있는 기계적 센서이기 때문에, 다른 방법들보다 안전하게 수소를 모니터링할 수 있다.Specifically, the hydrogen detection sensor according to the present invention changes the curvature of the hydrogen detection sensor when the hydrogen detection sensor is exposed to a hydrogen environment, and it is possible to visually confirm whether the hydrogen detection is performed through the change of the curvature. Unlike the conventional sensor using electrical resistance, the hydrogen detection sensor according to the present invention is a mechanical sensor that can easily visually confirm the degree of change of the curvature of the hydrogen detection sensor, so that hydrogen can be monitored more safely than other methods.
또한, 수소 검출 센서는 캔틸레버 형태일 수 있으며, 장소제약 없이 설치될 수 있는데, 예시적으로, 적정한 수소분위기를 유지해야 하는 상황에서 대형 가스라인의 윈도우에 설치되어 알람의 역할로 이용될 수 있으며, 수소 에너지로 구동되는 다양한 장치에 적용될 수 있다.In addition, the hydrogen detecting sensor may be in the form of a cantilever, and may be installed without any restriction on location. For example, the hydrogen detecting sensor may be installed in a window of a large gas line, It can be applied to various devices driven by hydrogen energy.
한편, 본 발명에 따른 수소 검출 센서는 수소의 농도가 높아짐에 따라 곡률 변화의 정도가 달라질 수 있는데, 이에 대해서는 도 2 및 도 3을 참조하여 후술하도록 한다.Meanwhile, in the hydrogen detection sensor according to the present invention, the degree of change of curvature may be changed as the concentration of hydrogen increases, which will be described later with reference to FIG. 2 and FIG.
다음으로, 기판(110)은 플렉시블한 성질을 가지며, 기판(110)의 탄성계수는 4 Gpa 이하일 수 있다. 구체적으로, 기판(110)은 폴리머 성분을 포함할 수 있는데, PI, PP, PET, PS, PE 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 폴리머를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아닐 것이다.Next, the
다음으로, 기판(110) 상에는 적어도 하나 이상의 접착층(120)이 형성될 수 있는데, 접착층(120)은 기판(110)과 Pd층(130)이 분리되지 않도록 하는 기능을 수행한다. 예시적으로, 접착층(120)은 Ti, Au, Cr 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함할 수 있다.Next, at least one
한편, 접착층(120)은 두 층으로 형성될 수도 있는데, 이 경우에는, 기판(110) 상에 제1 접착층이 형성되고, 제1 접착층 상에 제2 접착층이 형성된다고 할 때, 제1 접착층은 Ti, Au, Cr 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함하고, 제2 접착층은 Ti, Au, Cr 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함하되, 제1 접착층과는 다른 금속으로 선택될 수 있을 것이다.On the other hand, the
다음으로, 접착층(120) 상에 형성되는 Pd층(130)은 팔라듐 성분을 포함하는데, Pd층(130)이 수소 환경에 반응하여 팽창함으로써, 수소 검출 센서의 곡률이 변화될 수 있다. 구체적으로, Pd층(130)이 수소 환경에 반응하면 PdHX가 생성되는데, Pd보다 부피가 큰 PdHX로 인하여 Pd층(130)이 팽창하게 되고, 이로 인해 플렉시블한 성질을 가지는 기판(110)이 구부러져 수소 검출 센서의 곡률에 변화가 생길 수 있다.Next, the
한편, Pd층(130)의 두께는 기판(110)의 두께에 따라 100nm 이하일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.Meanwhile, the thickness of the
한편, 본 발명에 따른 수소 검출 센서는 1회용이 아니라 반영구적 사용이 가능하다. 즉, 수소 검출 센서가 수소 환경에 노출되면 수소 검출 센서의 곡률이 변화하였다가, 수소가 없는 환경이 되면 원래의 상태로 회복될 수 있다. 이에 대해서는 수소가 없는 Ar, N2, air 분위기에서 수소 검출 센서가 다시 회복되는 것을 실험으로 확인하였으며, air에서 가장 빠른 회복속도를 보였다.Meanwhile, the hydrogen detecting sensor according to the present invention can be used semi-permanently instead of disposable. That is, when the hydrogen detection sensor is exposed to the hydrogen environment, the curvature of the hydrogen detection sensor changes, and when the environment is in the absence of hydrogen, the original state can be recovered. In this study, it was confirmed that the hydrogen detection sensor was recovered again in the atmosphere of Ar, N 2 , air without hydrogen, and showed the fastest recovery speed in air.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 수소 검출 센서가 동작하는 예를 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, an example of the operation of the hydrogen detection sensor according to an embodiment of the present invention will be described in more detail.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 수소 검출 센서가 평면 형태일 때 동작하는 모습을 설명하기 위한 예시도이다.FIG. 2 is an exemplary view for explaining how a hydrogen detecting sensor according to an embodiment of the present invention operates when it is in a planar form.
구체적으로, 도 2(a)와 같은 평면 형태의 수소 검출 센서가 수소 환경에 노출되면, 소정의 시간이 지난 후 Pd층(130)이 팽창함으로써 수소 검출 센서의 곡률이 점점 커져 도 2(b)와 같은 형태가 된다. 이때, 수소의 농도가 더 높아지면 수소 검출 센서의 곡률이 더욱 커져 도 2(c)와 같은 형태가 될 수 있다.2 (a) is exposed to a hydrogen environment, the
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 수소 검출 센서가 곡면 형태일 때 동작하는 모습을 설명하기 위한 예시도이다.3 is an exemplary view for explaining a state in which the hydrogen detection sensor according to another embodiment of the present invention operates in a curved shape.
구체적으로, 도 3(a)와 같은 곡면 형태의 수소 검출 센서가 수소 환경에 노출되면, 소정의 시간이 지난 후 Pd층(130)이 팽창하여 플렉시블한 성질을 가지는 기판(110)에 영향을 미치고, 수소 검출 센서의 곡률이 점점 작아져 도 3(b)와 같은 형태가 될 수 있다. 또한, 수소의 농도가 높아짐에 따라 도 3(b)의 형태에서 우측으로 오목한 곡면 형태로 곡률이 변화할 수도 있다.3 (a) is exposed to a hydrogen environment, the
이상 설명된 본 발명에 따른 실시예들은 다양한 컴퓨터 구성요소를 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령어의 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체는 프로그램 명령어, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 기록되는 프로그램 명령어는 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 분야의 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체의 예에는, 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체, CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체, 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 ROM, RAM, 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령어를 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령어의 예에는, 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드도 포함된다. 상기 하드웨어 장치는 본 발명에 따른 처리를 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.The embodiments of the present invention described above can be implemented in the form of program instructions that can be executed through various computer components and recorded on a computer-readable recording medium. The computer-readable recording medium may include program commands, data files, data structures, and the like, alone or in combination. The program instructions recorded on the computer-readable recording medium may be those specially designed and constructed for the present invention or may be those known and used by those skilled in the computer software arts. Examples of computer-readable recording media include magnetic media such as hard disks, floppy disks and magnetic tape, optical recording media such as CD-ROMs and DVDs, magneto-optical media such as floptical disks, media, and hardware devices specifically configured to store and execute program instructions such as ROM, RAM, flash memory, and the like. Examples of program instructions include machine language code such as those generated by a compiler, as well as high-level language code that can be executed by a computer using an interpreter or the like. The hardware device may be configured to operate as one or more software modules for performing the processing according to the present invention, and vice versa.
이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, Those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be construed as being limited to the above-described embodiments, and all of the equivalents or equivalents of the claims, as well as the following claims, I will say.
110 : 기판
120 : 접착층
130 : Pd층110: substrate 120: adhesive layer
130: Pd layer
Claims (13)
기판;
상기 기판 상에 형성되는 적어도 하나의 접착층; 및
상기 접착층 상에 형성되되 팔라듐 성분을 포함하는 Pd층;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.In the hydrogen detection sensor,
Board;
At least one adhesive layer formed on the substrate; And
A Pd layer formed on the adhesive layer and containing a palladium component;
And a hydrogen sensor.
상기 수소 검출 센서가 수소 환경에 노출되면, 상기 수소 검출 센서의 곡률이 변화하고, 상기 곡률 변화를 통하여 수소 검출 여부를 시각적으로 확인하도록 지원하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.The method according to claim 1,
Wherein the curvature of the hydrogen detection sensor is changed when the hydrogen detection sensor is exposed to a hydrogen environment, and visually confirming whether or not hydrogen is detected through the curvature change.
상기 수소 검출 센서는 수소의 농도가 높아짐에 따라 곡률 변화의 정도가 달라지는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.3. The method of claim 2,
Wherein the degree of curvature change of the hydrogen detection sensor is varied as the concentration of hydrogen increases.
상기 Pd층이 상기 수소 환경에 반응하여 팽창함으로써, 상기 수소 검출 센서의 곡률이 변화되는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.3. The method of claim 2,
And the Pd layer expands in response to the hydrogen environment, thereby changing the curvature of the hydrogen detection sensor.
상기 Pd층이 상기 수소 환경에 반응하여 PdHX가 생성됨으로써 상기 Pd층이 팽창하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.5. The method of claim 4,
Wherein the Pd layer reacts with the hydrogen environment to generate PdH X , thereby expanding the Pd layer.
상기 수소 검출 센서는 캔틸레버 형태인 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.The method according to claim 1,
Wherein the hydrogen detection sensor is in the form of a cantilever.
상기 기판은 플렉시블한 성질을 가지며, 상기 기판의 탄성계수는 4 Gpa 이하인 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.The method according to claim 1,
Wherein the substrate has a flexible property and the modulus of elasticity of the substrate is 4 Gpa or less.
상기 기판은 폴리머 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.8. The method of claim 7,
Wherein the substrate comprises a polymer component.
상기 기판은 PI, PP, PET, PS, PE 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.9. The method of claim 8,
Wherein the substrate comprises at least one polymer selected from PI, PP, PET, PS, PE, and the like.
상기 접착층은 Ti, Au, Cr 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.The method according to claim 1,
Wherein the adhesive layer comprises at least one metal selected from Ti, Au, Cr, and the like.
상기 접착층은 제1 접착층; 및 제2 접착층으로 형성되되,
제1 접착층은 Ti, Au, Cr 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함하고,
제2 접착층은 Ti, Au, Cr 등으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 포함하되, 제1 접착층과는 다른 금속으로 선택되는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.The method according to claim 1,
Wherein the adhesive layer comprises: a first adhesive layer; And a second adhesive layer,
The first adhesive layer includes at least one kind of metal selected from Ti, Au, and Cr,
Wherein the second adhesive layer comprises at least one metal selected from Ti, Au, and Cr, and is selected from a metal different from the first adhesive layer.
상기 Pd층의 두께는 100nm 이하인 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.The method according to claim 1,
Wherein the thickness of the Pd layer is 100 nm or less.
상기 수소 검출 센서가 수소 환경에 노출되면, 상기 수소 검출 센서의 곡률이 변화하였다가, 수소가 없는 환경이 되면 원래의 상태로 회복되는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서.The method according to claim 1,
Wherein when the hydrogen detection sensor is exposed to a hydrogen environment, the curvature of the hydrogen detection sensor is changed, and when the hydrogen detection sensor is in an environment free from hydrogen, the hydrogen detection sensor is restored to its original state.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160177807A KR20180074100A (en) | 2016-12-23 | 2016-12-23 | Hydrogen detecting sensor |
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Country Status (1)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3754329A1 (en) | 2019-06-21 | 2020-12-23 | Materion GmbH | Hydrogen sensor and method for producing the same, measuring device and method for measuring hydrogen concentration |
-
2016
- 2016-12-23 KR KR1020160177807A patent/KR20180074100A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
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| EP3754329A1 (en) | 2019-06-21 | 2020-12-23 | Materion GmbH | Hydrogen sensor and method for producing the same, measuring device and method for measuring hydrogen concentration |
| US11428659B2 (en) | 2019-06-21 | 2022-08-30 | Materion Gmbh | Hydrogen sensor and method for its production, measuring device, and method for measuring a hydrogen concentration |
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