KR20180063963A - Method for supplying chemical solution - Google Patents

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Abstract

Disclosed is a method for supplying chemical solution. According to the method for supplying chemical solution, when the amount of the chemical solution remaining in a first chemical solution supply device is equal to or less than a predetermined amount while the chemical solution is supplied to a chemical solution production apparatus by using the first chemical solution supply device, a second chemical solution supply device is driven to supply the chemical solution to the production apparatus together with the first chemical solution supply device. Then, when the chemical liquid is supplied to the production apparatus using only the second chemical solution supply device, the production apparatus is charged with the chemical solution. When the amount of the chemical solution remaining in the second chemical solution supply device is equal to or less than a predetermined value while the chemical solution is supplied to the production apparatus by using the second chemical solution supply device, the first chemical solution supply device is driven to supply the chemical solution to the production apparatus together with the second chemical solution supply device. Then, the chemical solution is charged into the second chemical solution supply device while supplying the chemical solution to the production apparatus by using only the first chemical solution supply device. Thus, the chemical solution may be continuously supplied to the production apparatus. Therefore, the productivity may be improved. In addition, since the driving force of the first or second chemical solution supply device for discharging the chemical solution is adjusted to constantly maintain the pressure of the chemical solution supplied to the production apparatus, the reliability of the product may be improved.

Description

약액공급방법 {METHOD FOR SUPPLYING CHEMICAL SOLUTION}METHOD FOR SUPPLYING CHEMICAL SOLUTION

본 발명은 약액을 연속적으로 공급하기 위한 약액공급방법에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid supply method for continuously supplying a chemical liquid.

반도체 소자, 평판 표시 장치 또는 태양 전지(Solar Cell) 등의 제조시에는 산화막, 금속막 또는 반도체막 등과 같이 특수한 기능을 수행하는 박막을 실리콘 또는 유리 등과 같은 기판에 형성한다. 그리고, 기판에 박막을 형성하기 위해서는, 박막을 형성하기 위한 제조장치로 레지스트액, 현상액, 컬러 필터 또는 접착제 등과 같은 약액을 공급하여 기판에 도포한다. 이때, 약액은 약액공급장치에서 제조장치로 공급된다. 약액공급장치는 제약 공정 등 기타 다른 공정에서도 사용된다.A thin film which performs a specific function such as an oxide film, a metal film, or a semiconductor film is formed on a substrate such as silicon or glass at the time of manufacturing a semiconductor device, a flat panel display device or a solar cell. In order to form a thin film on a substrate, a chemical liquid such as a resist solution, a developing solution, a color filter, or an adhesive is supplied to a manufacturing apparatus for forming a thin film and is applied to a substrate. At this time, the chemical liquid is supplied from the chemical liquid supply apparatus to the manufacturing apparatus. The chemical liquid supply device is also used in other processes such as a pharmaceutical process.

일반적으로, 약액공급장치는 제1하우징, 상기 제1하우징의 내부에 설치되며 신축되면서 자신의 내부에 수용된 약액을 제조장치로 공급하는 튜브, 상기 제1하우징과 연통되며 작동액을 수용하는 제2하우징 및 상기 제2하우징의 작동액을 상기 제1하우징으로 유입시켜 상기 튜브를 수축하는 액츄에이터를 포함한다.In general, the chemical liquid supply device includes a first housing, a tube which is installed inside the first housing and which supplies the chemical solution accommodated in the housing while being expanded and contracted, a second tube communicating with the first housing, And an actuator for contracting the tube by flowing a working fluid of the housing and the second housing into the first housing.

그리하여, 상기 액츄에이터를 일측으로 구동하여 작동액을 상기 제2하우징에서 상기 제1하우징으로 이동시키면, 상기 튜브가 작동액에 의해 수축되며, 상기 튜브가 수축됨으로 인하여 상기 튜브의 약액이 제조장치로 공급된다. 상기 튜브의 약액이 제조장치로 공급되면, 상기 액츄에이터가 타측으로 구동하고, 상기 튜브에 약액이 충진되면 상기 튜브가 신장된다.Thus, when the actuator is driven to one side and the working fluid is moved from the second housing to the first housing, the tube is contracted by the working fluid, and the tube is contracted to supply the chemical solution of the tube to the manufacturing apparatus do. When the chemical liquid of the tube is supplied to the manufacturing apparatus, the actuator is driven to the other side, and when the chemical liquid is filled in the tube, the tube is elongated.

상기와 같은 종래의 약액공급장치는 상기 튜브의 약액을 제조장치로 공급한 후, 상기 튜브에 약액을 충진하는 동안에는 제조장치로 약액을 공급할 수 없으므로, 약액을 연속적으로 공급할 수 없다. 이로 인해, 생산성이 저하되는 단점이 있다.In the conventional chemical liquid supply apparatus as described above, since the chemical liquid can not be supplied to the manufacturing apparatus while the chemical liquid is supplied to the manufacturing apparatus and the tube is filled with the chemical liquid, the chemical liquid can not be continuously supplied. As a result, the productivity is lowered.

약액공급장치 및 약액공급방법과 관련한 선행기술은 한국특허공개공보 제10-2012-0089712호(2012년 08월 13일) 등에 개시되어 있다.Prior art relating to the chemical liquid supply device and the chemical liquid supply method is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2012-0089712 (Aug. 13, 2012).

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 모든 문제점들을 해결할 수 있는 약액공급방법을 제공하는 것일 수 있다.It is an object of the present invention to provide a method of supplying a chemical solution capable of solving all the problems of the prior art as described above.

본 발명의 다른 목적은 약액을 연속적으로 공급함으로써, 생산성을 향상시킬 수 있는 약액공급방법을 제공하는 것일 수 있다.Another object of the present invention is to provide a chemical liquid supply method capable of improving productivity by continuously supplying a chemical liquid.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 약액공급방법은, 약액이 토출되는 토출관을 각각 가지는 제1약액공급장치와 제2약액공급장치를 포함하며, 각 상기 토출관을 통하여 토출되는 약액을 합쳐서 상기 제조장치로 공급하는 약액공급방법에 있어서, 상기 제조장치로 공급되는 약액은 상기 제1약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치 및 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치와 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치에 의한 순서로 연속적으로 공급되고, 상기 제1약액공급장치에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 상기 제2약액공급장치에 약액이 충진되고, 상기 제2약액공급장치에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 상기 제1약액공급장치에 약액이 충진될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a chemical liquid supply method including a first chemical liquid supply device and a second chemical liquid supply device each having a discharge pipe through which a chemical liquid is discharged, In the chemical liquid supply method for supplying the chemical liquid to the manufacturing apparatus, the chemical liquid supplied to the manufacturing apparatus is discharged by the first chemical liquid supply device, by the first chemical liquid supply device and the second chemical liquid supply device, By the first chemical liquid supply device and the second chemical liquid supply device, and then by the first chemical liquid supply device, and the chemical liquid is supplied to the manufacturing device by the first chemical liquid supply device While the chemical liquid is being supplied to the manufacturing apparatus by the second chemical liquid supply device, the first chemical liquid supply device There is a chemical solution can be filled.

본 실시예에 따른 약액공급방법은, 제1약액공급장치를 이용하여 약액을 제조장치로 공급하는 도중, 제1약액공급장치에 잔존하는 약액의 양이 소정 이하가 되면, 제2약액공급장치를 구동시켜 제1약액공급장치와 함께 약액을 제조장치로 공급한다. 그 후, 제2약액공급장치만을 이용하여 약액을 제조장치로 공급하면서, 제1약액공급장치에 약액을 충진한다. 그리고, 제2약액공급장치를 이용하여 약액을 제조장치로 공급하는 도중, 제2약액공급장치에 잔존하는 약액의 양이 소정 이하가 되면, 제1약액공급장치를 구동시켜 제2약액공급장치와 함께 약액을 제조장치로 공급한다. 그 후, 제1약액공급장치만을 이용하여 약액을 제조장치로 공급하면서, 제2약액공급장치에 약액을 충진한다. 그러므로, 연속적으로 약액을 제조장치로 공급할 수 있다. 따라서, 생산성이 향상되는 효과가 있을 수 있다.The method of supplying a chemical solution according to the present embodiment is a method of supplying a chemical solution to a manufacturing apparatus by using a first chemical solution supply apparatus, wherein when the amount of chemical solution remaining in the first chemical solution supply apparatus becomes a predetermined amount or less, And supplies the chemical liquid to the manufacturing apparatus together with the first chemical liquid supply apparatus. Thereafter, while the chemical liquid is supplied to the manufacturing apparatus by using only the second chemical liquid supply apparatus, the first chemical liquid supply apparatus is filled with the chemical liquid. When the amount of the chemical liquid remaining in the second chemical liquid supply device becomes equal to or less than a predetermined amount while the chemical liquid is supplied to the manufacturing apparatus using the second chemical liquid supply device, the first chemical liquid supply device is driven, And the chemical liquid is supplied to the manufacturing apparatus. Thereafter, while the chemical liquid is supplied to the manufacturing apparatus by using only the first chemical liquid supply apparatus, the chemical liquid is filled in the second chemical liquid supply apparatus. Therefore, the chemical liquid can be continuously supplied to the production apparatus. Therefore, productivity may be improved.

또한, 약액을 토출시키는 제1약액공급장치 또는 제2약액공급장치의 구동력을 조절하여, 제조장치로 공급되는 약액이 일정한 압력을 유지하도록 하므로, 제품의 신뢰성이 향상되는 효과가 있을 수 있다.Further, the driving force of the first chemical liquid supply device or the second chemical liquid supply device for discharging the chemical liquid may be adjusted so that the chemical liquid supplied to the manufacturing device maintains a constant pressure, thereby improving the reliability of the product.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액공급방법에 사용되는 약액공급장치의 사시도.
도 2는 도 1의 "A-A"선 개략 단면도.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액공급방법을 보인 흐름도.1 is a perspective view of a chemical liquid supply apparatus used in a chemical liquid supply method according to an embodiment of the present invention;
2 is a schematic sectional view of "AA"
FIGS. 3A and 3B are flowcharts showing a method of supplying a chemical solution according to an embodiment of the present invention; FIGS.

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.It should be noted that, in the specification of the present invention, the same reference numerals as in the drawings denote the same elements, but they are numbered as much as possible even if they are shown in different drawings.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.Meanwhile, the meaning of the terms described in the present specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.The word " first, "" second," and the like, used to distinguish one element from another, are to be understood to include plural representations unless the context clearly dictates otherwise. The scope of the right should not be limited by these terms.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the terms "comprises" or "having" does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.It should be understood that the term "at least one" includes all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first item, the second item and the third item" means not only the first item, the second item or the third item, but also the second item and the second item among the first item, Means any combination of items that can be presented from more than one.

"및/또는"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및/또는 제3항목"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 또는 제3항목들 중 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.It should be understood that the term "and / or" includes all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "first item, second item and / or third item" may include not only the first item, the second item or the third item but also two of the first item, Means a combination of all items that can be presented from the above.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결된다 또는 설치된다"고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 설치될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결된다 또는 설치된다"라고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "∼사이에"와 "바로 ∼사이에" 또는 "∼에 이웃하는"과 "∼에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected or installed" to another element, it may be directly connected or installed with the other element, although other elements may be present in between. On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected or installed" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. On the other hand, other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "between" or "neighboring to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.

각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, S100, S110, S120 등)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 결정하여 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고, 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며, 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.In each step, the identification codes (for example, S100, S110, S120, etc.) are used for convenience of explanation, and the identification codes do not describe and explain the order of each step, Unless the order is described, it may happen differently from the stated order. That is, each step may occur in the same order as described, may be performed substantially concurrently, or may be performed in reverse order.

이하에서는 본 실시예에 따른 약액공급방법에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of supplying a chemical solution according to this embodiment will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

약액은 반도체 소자, 평판 표시 장치 또는 태양 전지(Solar Cell) 등과 같은 제품의 제조시, 실리콘 기판 또는 유리 기판 등과 같은 기판에 특수한 기능을 수행하는 박막을 형성하기 위하여, 기판에 도포하여 코팅하는 레지스트액, 현상액, 컬러 필터 또는 접착제 등을 포함할 수 있다. 약액은 약액공급장치에서 기판에 박막을 형성하는 제조장치로 공급될 수 있다. 그리고, 약액공급장치는 제약 공정 등 기타 다른 공정에서도 사용될 수 있다.In order to form a thin film that performs a specific function on a substrate such as a silicon substrate or a glass substrate during the manufacture of a product such as a semiconductor device, a flat panel display device, or a solar cell, , A developer, a color filter or an adhesive, and the like. The chemical liquid may be supplied to a production apparatus that forms a thin film on a substrate in a chemical liquid supply apparatus. Further, the chemical liquid supply device can be used in other processes such as a pharmaceutical process.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액공급방법에 사용되는 약액공급장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 "A-A"선 개략 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view of a chemical liquid supply apparatus used in a chemical liquid supply method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along line "A-A" of FIG.

도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 약액공급방법에 사용되는 약액공급장치는 제1약액공급장치(100)와 제2약액공급장치(200)를 포함할 수 있다. 이때, 제1약액공급장치(100)와 제2약액공급장치(200) 중, 어느 하나만에 의하여 약액이 상기 제조장치로 공급될 수 있고, 두개의 의하여 동시에 약액이 상기 제조장치로 공급될 수 있다.As shown in the figure, the chemical liquid supply device used in the chemical liquid supply method according to the present embodiment may include the first chemical liquid supply device 100 and the second chemical liquid supply device 200. At this time, the chemical liquid can be supplied to the manufacturing apparatus by only one of the first chemical liquid supply apparatus 100 and the second chemical liquid supply apparatus 200, and the chemical liquid can be supplied to the manufacturing apparatus simultaneously by the two .

제1약액공급장치(100)에 대하여 설명한다.The first chemical liquid supply device 100 will be described.

제1약액공급장치(100)는 약액을 이송하기 위한 구동력을 발생하는 액츄에이터(110), 액츄에이터(110)의 구동력에 의하여 약액을 이송하는 약액이송부(130)를 포함할 수 있다.The first chemical liquid supply device 100 may include an actuator 110 for generating driving force for transferring the chemical liquid and a chemical liquid transferring unit 130 for transferring the chemical liquid by the driving force of the actuator 110.

액츄에이터(110)는 모터(111)와 제1하우징(113)과 승강부재(117)를 포함할 수 있다.The actuator 110 may include a motor 111, a first housing 113, and an elevating member 117.

제1하우징(113)의 내부에는 작동액이 유입되는 제1공간(113a)이 형성될 수 있고, 작동액은 별도의 공급유닛에 의하여 제1하우징(113)의 측면 중앙부측에 형성된 유입구(113b)를 통하여 제1공간(113a)으로 유입될 수 있다. 작동액은 제1공간(113a)의 상측 부위에 저장될 수 있다.A first space 113a through which the working fluid flows may be formed in the first housing 113 and an inlet 113b formed in the side of the center of the side of the first housing 113 by a separate supply unit To the first space 113a. The working fluid can be stored in the upper portion of the first space 113a.

제1하우징(113)의 상면에는 커버(115)가 착탈가능하게 결합될 수 있으며, 제1공간(113a)에 유입된 작동액에 기포 등이 발생한 경우, 커버(115)에 설치된 밸브(미도시)를 개방하여 기포 등을 제거하는 작업을 할 수 있다.The cover 115 may be detachably coupled to the upper surface of the first housing 113. When bubbles or the like are generated in the working fluid flowing into the first space 113a, ) Can be opened to remove bubbles and the like.

모터(111)는 제1하우징(113)의 외측에 설치될 수 있고, 승강부재(117)는 제1하우징(113)의 내부에 승강가능하게 설치될 수 있다. 즉, 승강부재(117)는 제1공간(113a)의 하측 부위에 승강가능하게 설치될 수 있으며, 모터(111)에 의하여 승강할 수 있다. 모터(111)에 의하여 승강부재(117)가 승강할 수 있도록, 모터(111)와 승강부재(117) 사이에는 동력전달모듈이 설치될 수 있다.The motor 111 may be installed outside the first housing 113 and the elevating member 117 may be installed inside the first housing 113 to be movable up and down. That is, the elevating member 117 can be installed on the lower part of the first space 113a so as to be able to move up and down by the motor 111. A power transmission module may be installed between the motor 111 and the elevating member 117 so that the elevating member 117 can be moved up and down by the motor 111. [

약액이송부(130)는 내부에 제2공간(131a)이 형성된 제2하우징(131)을 포함할 수 있고, 제2공간(131a)은 작동액이 유입된 제1공간(113a)의 상측 부위와 연통될 수 있다. 제1공간(113a)과 제2공간(131a)을 연통시키기 위하여, 제2하우징(131)의 측면에는 배출공(113c)과 대응되게 형성되어 배출공(113c)과 연통되는 복수의 유입공(131b)이 형성될 수 있다.The chemical solution transferring part 130 may include a second housing 131 having a second space 131a formed therein and a second space 131a may be formed at an upper portion of the first space 113a into which the working fluid is introduced As shown in FIG. A plurality of inflow holes 113c are formed in the side surface of the second housing 131 so as to communicate with the first space 113a and the second space 131a so as to communicate with the discharge holes 113c, 131b may be formed.

제2공간(131a)에는 탄성을 가지면서 신축(伸縮)되는 튜브(135)가 설치될 수 있다. 튜브(135)의 일측 부위는 튜브(135)의 약액을 공급받는 상기 제조장치와 연통될 수 있고, 타측 부위는 약액을 튜브(135)의 내부로 공급하기 위한 공급부(미도시)와 연통될 수 있다.The second space 131a may be provided with a tube 135 which is elastic and stretchable. One side of the tube 135 can communicate with the manufacturing apparatus to which the chemical solution of the tube 135 is supplied and the other side can communicate with a supply unit (not shown) for supplying the chemical solution to the inside of the tube 135 have.

도 1 및 도 2에는 설명의 편의를 위하여 튜브(135)의 상측 부위가 상기 제조장치와 연통된 것을 도시하고, 하측 부위가 상기 공급부와 연통된 것을 도시한다. 그리고, 튜브(135)의 상측 부위를 상기 제조장치와 연통시키기 위하여 제2하우징(131)의 상면에는 토출관(131c)이 형성될 수 있다.1 and 2 show that the upper portion of the tube 135 is in communication with the manufacturing apparatus for convenience of explanation and the lower portion is in communication with the supply portion. In addition, a discharge pipe 131c may be formed on the upper surface of the second housing 131 to allow the upper portion of the tube 135 to communicate with the manufacturing apparatus.

그리하여, 모터(111)에 의하여, 도 2에 점선으로 도시된 바와 같이, 승강부재(117)가 상사점으로 상승하면, 제1공간(113a)에 저장된 작동액이 배출공(113c) → 유입공(131b)을 통하여 제2공간(131a)으로 유입되면서 튜브(135)를 수축시키며, 튜브(135)의 수축에 의하여 약액 토출관(131c)을 통하여 상기 제조장치로 토출된다. 그리고, 튜브(135)의 약액이 토출되어 배출되면, 도 2에 실선으로 도시된 바와 같이, 모터(111)에 의하여 승강부재(117)가 하사점으로 하강한다. 그 후, 상기 공급부를 통하여 약액이 튜브(135)로 유입되면, 튜브(135)가 신장한다. 튜브(135)의 신장에 의하여 제1공간(113a)에 저장된 작동액이 배출공(113c) → 유입공(131b)을 통하여 제2공간(131a)으로 유입된다.2, when the elevating member 117 rises to the top dead center, the working fluid stored in the first space 113a flows from the discharge hole 113c to the inflow hole 113c, The tube 135 is shrunk by the contraction of the tube 135 and is discharged to the manufacturing apparatus through the chemical liquid discharge pipe 131c. When the chemical liquid in the tube 135 is discharged and discharged, the elevator 117 descends by the motor 111 by the bottom dead center as shown by the solid line in Fig. Thereafter, when the chemical liquid flows into the tube 135 through the supply portion, the tube 135 is elongated. The working fluid stored in the first space 113a by the extension of the tube 135 flows into the second space 131a through the discharge hole 113c and the inflow hole 131b.

토출관(131c)에는 토출관(131c)을 개폐하는 밸브(131d)가 설치될 수 있고, 상기 공급부와 연통된 튜브(135)의 하측 부위에는 상기 공급부와 연통된 튜브(135)의 하측 부위를 개폐하는 밸브(131e)가 설치될 수 있다. 그리고, 제2하우징(131)의 외면에는 튜브(135)를 신축시키는 작동액의 압력을 감지하는 센서(150)가 설치될 수 있다. 튜브(135)를 신축시키는 작동액의 압력은 제2하우징(131)의 내부 압력과 동일한 의미이다.The discharge tube 131c may be provided with a valve 131d for opening and closing the discharge tube 131c and a lower portion of the tube 135 communicated with the supply portion may be provided at a lower portion of the tube 135 communicated with the supply portion A valve 131e for opening and closing can be provided. A sensor 150 may be installed on the outer surface of the second housing 131 to sense the pressure of the actuating liquid to expand and contract the tube 135. The pressure of the working liquid for expanding and contracting the tube 135 is the same as the inner pressure of the second housing 131.

제2약액공급장치(200)의 구성은 제1약액공급장치(100)의 구성과 동일할 수 있으며, 모터(211)를 가지는 액츄에이터(210), 제2하우징(231)과 토출관(231c)과 밸브(231d, 231e)를 가지는 약액이송부(230), 그리고 센서(250)를 포함할 수 있다.The structure of the second liquid medicament supplying device 200 may be the same as that of the first liquid medicament supplying device 100 and includes the actuator 210 having the motor 211, the second housing 231 and the discharge tube 231c, A chemical liquid transfer section 230 having valves 231d and 231e, and a sensor 250.

제1약액공급장치(100)의 토출관(131c)에서 토출되는 약액 및 제2약액공급장치(200)의 토출관(231c)에서 토출되는 약액은 상기 제조장치에 설치된 노즐을 통하여 상기 제조장치로 공급될 수 있다. 즉, 제1약액공급장치(100)의 토출관(131c)에서 토출되는 약액 및 제2약액공급장치(200)의 토출관(231c)에서 토출되는 약액은 상기 노즐에서 합쳐진 후, 상기 제조장치로 공급될 수 있다. 그리고, 상기 노즐측에는 상기 제조장치로 공급되는 약액의 압력을 감지하는 센서(310)가 설치될 수 있다.The chemical liquid discharged from the discharge pipe 131c of the first chemical liquid supply device 100 and the chemical liquid discharged from the discharge pipe 231c of the second chemical liquid supply device 200 are supplied to the manufacturing apparatus Can be supplied. That is, the chemical liquid discharged from the discharge pipe 131c of the first chemical liquid supply device 100 and the chemical liquid discharged from the discharge pipe 231c of the second chemical liquid supply device 200 are combined at the nozzle, Can be supplied. A sensor 310 for sensing the pressure of the chemical liquid supplied to the manufacturing apparatus may be installed on the nozzle side.

본 실시예에 따른 약액공급방법에 대하여 도 1 내지 도 3b를 참조하여 설명한다. 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액공급방법을 보인 흐름도이다.A method of supplying a chemical solution according to this embodiment will be described with reference to Figs. 1 to 3B. FIGS. 3A and 3B are flowcharts illustrating a method of supplying a chemical solution according to an embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 약액공급방법은, 상기 제조장치로 약액을 연속적으로 공급하기 위하여, 제1약액공급장치(100)와 제2약액공급장치(200)를 이용하여 약액을 공급할 수 있다.The chemical liquid supply method according to the present embodiment can supply the chemical liquid using the first chemical liquid supply device 100 and the second chemical liquid supply device 200 in order to continuously supply the chemical liquid to the production apparatus.

이때, 상기 제조장치로 공급되는 약액은 제1약액공급장치(100)에 의해서, 제1약액공급장치(100)와 제2약액공급장치(200)에 의해서 또는 제2약액공급장치(200)에 의해서 공급될 수 있다. 더 구체적으로 설명하면, 약액은 제1약액공급장치(100)에 의한 공급 → 제1약액공급장치(100)와 제2약액공급장치(200)에 의한 공급 → 제2약액공급장치(200)에 의한 공급 → 제2약액공급장치(200)와 제1약액공급장치(100)에 의한 공급 → 제1약액공급장치(100)에 의한 공급의 순서로 공급될 수 있다.At this time, the chemical liquid supplied to the manufacturing apparatus is supplied to the first chemical liquid supply device 100 by the first chemical liquid supply device 100 and the second chemical liquid supply device 200 or by the second chemical liquid supply device 200 Lt; / RTI > More specifically, the chemical liquid is supplied by the first chemical liquid supply device 100 → supplied by the first chemical liquid supply device 100 and the second chemical liquid supply device 200 → is supplied to the second chemical liquid supply device 200 Supply by the second chemical liquid supply device 200 and supply by the first chemical liquid supply device 100 → supply by the first chemical liquid supply device 100.

그리고, 제1약액공급장치(100)에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 제2약액공급장치(200)에 약액이 충진되고, 제2약액공급장치(200)에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 제1약액공급장치(100)에 약액이 충진될 수 있다.The second liquid medicament supplying device 200 is filled with the chemical liquid while the chemical liquid is being supplied to the manufacturing apparatus by the first chemical liquid supplying device 100 and the chemical liquid is supplied by the second chemical liquid supplying device 200 to the manufacturing device 200. [ The first chemical liquid supply device 100 can be filled with the chemical liquid.

그리고, 제1약액공급장치(100)는 구동 후, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 제1설정압력 이상일 때, 약액을 토출시킬 수 있고, 제2약액공급장치(100)는 구동 후, 제2약액공급장치(200)는 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상일 때, 약액을 토출시킬 수 있다. 이때, 상기 제1설정압력은 상기 제조장치에서 요구하는 약액의 토출 압력 보다 높은 압력일 수 있다.After the first chemical liquid supply device 100 is driven, the chemical liquid supply device 100 can discharge the chemical liquid when the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 is equal to or higher than the first set pressure, The second chemical liquid supply device 200 can discharge the chemical liquid when the internal pressure is equal to or higher than the first set pressure. At this time, the first predetermined pressure may be higher than the discharge pressure of the chemical liquid required by the manufacturing apparatus.

그리고, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제조장치에서 요구하는 약액의 토출 압력인 제2설정압력과 유사한가를 계속 감지하면서, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하여 제2약액공급장치(200)의 구동 여부를 결정할 수 있고, 제2약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하여 제1약액공급장치(100)의 구동 여부를 결정할 수 있다.While continuously sensing whether the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is similar to the second set pressure, which is the discharge pressure of the chemical liquid required in the manufacturing apparatus, the internal pressure of the first chemical liquid supply apparatus 100, It is possible to determine whether to drive the second liquid medicament supplying device 200 in comparison with the pressure and to drive the first liquid medicament supplying device 100 by comparing the internal pressure of the second liquid medicament supplying device 100 with the second set pressure. Can be determined.

상기 제1설정압력 및 상기 제2설정압력은 약액의 점도 및 상기 제조장치의 특성 등에 따라 적절하게 설정할 수 있다.The first set pressure and the second set pressure can be set appropriately according to the viscosity of the chemical liquid and the characteristics of the manufacturing apparatus.

본 실시예에 따른 약액공급방법에 대하여 더 구체적으로 설명한다.The chemical liquid supply method according to the present embodiment will be described more specifically.

도시된 바와 같이, 단계(S110)에서 전원을 온(ON)시킬 수 있고, 전원이 온되면, 제1약액공급장치(100) 및 제2약액공급장치(200)가 구동 대기 상태가 될 수 있다. 제1약액공급장치(100) 및 제2약액공급장치(200)가 구동 대기 상태인 경우에는 밸브(131d)(231d)에 의하여 토출관(131c)(231c)이 각각 폐쇄되어 있다.The power can be turned on in step S110 and the first liquid medicament-supplying device 100 and the second liquid medicament-supplying device 200 can be put in a driving standby state when the power is turned on . The discharge pipes 131c and 231c are closed by the valves 131d and 231d when the first chemical liquid supply device 100 and the second chemical liquid supply device 200 are in a standby state for driving.

그 후, 제1약액공급장치(100)를 구동(S121)시킨 다음, 소정 시간이 경과한 후, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하는 단계(S123)를 수행할 수 있다.Thereafter, a step S123 of driving the first liquid medicament supplying device 100 (S121) and comparing the internal pressure of the first liquid medicament supplying device 100 with the first set pressure after a predetermined time has elapsed, Can be performed.

제1약액공급장치(100)의 내부 압력은 센서(150)를 이용하여 감지할 수 있다. 이때, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력은 튜브(135)를 수축시키기 위하여 튜브(135)에 작용하는 작동액의 압력일 수 있으며, 센서(150)는 제1약액공급장치(100)의 제2공간(131a)으로 유입되어 튜브(135)를 수축시키는 작동액의 압력을 감지할 수 있다.The internal pressure of the first chemical liquid supply apparatus 100 can be sensed by using the sensor 150. The internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 may be the pressure of the working liquid acting on the tube 135 to contract the tube 135 and the sensor 150 may be the pressure of the first chemical liquid supply device 100, The pressure of the working fluid flowing into the second space 131a of the tube 135 and contracting the tube 135 can be sensed.

제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하여, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 미만이면, 제1약액공급장치(100)의 구동력을 조절(S125)한 다음, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하는 단계(S121)를 재수행할 수 있다.When the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 is less than the first set pressure in comparison with the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 and the first set pressure, It is possible to re-execute the step S121 of adjusting the driving force (S125) and comparing the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 with the first set pressure.

제1약액공급장치(100)의 제2공간(131a)으로 유입되는 작동액의 양은 승강부재(117)의 상승거리에 비례하므로, 모터(111)의 회전수를 조절하면 제1약액공급장치(100)의 구동력을 조절할 수 있다.The amount of the working liquid flowing into the second space 131a of the first liquid medicament supplying device 100 is proportional to the rising distance of the elevating member 117. Therefore, when the rotational speed of the motor 111 is adjusted, 100 can be adjusted.

그리고, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하여, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이면, 제1약액공급장치(100)의 밸브(131d)를 개방하여 토출관(131c)으로 약액을 토출(S131)시킬 수 있다.When the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 is equal to or higher than the first set pressure in comparison with the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 and the first set pressure, The valve 131d of the discharge pipe 131c is opened to discharge the chemical liquid to the discharge pipe 131c (S131).

제1약액공급장치(100)가 구동한 다음, 소정 시간 경과 후, 제1약액공급장치(100)의 토출관(131c)을 개방시켜야 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이 될 수 있음은 당연하다.It is necessary to open the discharge tube 131c of the first chemical liquid supply device 100 after a predetermined time elapses after the first chemical liquid supply device 100 is driven so that the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 It is a matter of course that the set pressure can be exceeded.

전술한 바와 같이, 상기 제1설정압력은 상기 제조장치에서 요구하는 약액의 토출 압력인 상기 제2설정압력 보다 높은 것이 바람직하다. 즉, 약액이 토출관(131c)을 통하여 상기 제조장치로 이동하는 도중에는 압력 손실 등이 발생한다. 그러므로, 상기 제1설정압력이 상기 제2설정압력 보다 높아야, 약액이 상기 제조장치로 공급될 때, 상기 제2설정압력과 비슷한 압력으로 공급될 수 있다.As described above, it is preferable that the first set pressure is higher than the second set pressure, which is the discharge pressure of the chemical liquid required by the manufacturing apparatus. That is, during the movement of the chemical liquid through the discharge tube 131c to the manufacturing apparatus, pressure loss or the like occurs. Therefore, when the chemical liquid is supplied to the manufacturing apparatus, the first set pressure may be higher than the second set pressure, and may be supplied at a pressure similar to the second set pressure.

제1약액공급장치(100)에서 약액이 토출된 후, 소정 시간이 경과하면, 제2약액공급장치(200)에서의 약액 토출을 중단(S133)한다. 즉, 제2약액공급장치(200)에서 약액이 토출되지 않도록 토출관(231c)을 폐쇄한 다음, 제2약액공급장치(200)에 약액을 재충진(S135)한다.When the predetermined time has elapsed after the chemical liquid is discharged from the first chemical liquid supply device 100, the chemical liquid discharge from the second chemical liquid supply device 200 is stopped (S133). That is, the discharge tube 231c is closed so that the chemical liquid is not discharged in the second chemical liquid supply device 200, and the chemical liquid is refilled in the second chemical liquid supply device 200 (S135).

최초의 상태에서는 제1약액공급장치(100) 및 제2약액공급장치(200)에 약액을 충진한 다음, 제1약액공급장치(100)를 먼저 구동시킨다. 최초의 상태에서는, 제2약액공급장치(200)의 토출관(231c)은 폐쇄(S133)되어 있고, 제2약액공급장치(200)에는 약액을 충진되어 있다. 단계(S133)에 대해서는 아래에서 부가하여 설명한다.In the initial state, the first chemical solution supply device 100 and the second chemical solution supply device 200 are filled with the chemical solution, and then the first chemical solution supply device 100 is driven first. In the initial state, the discharge tube 231c of the second chemical liquid supply device 200 is closed (S133), and the second chemical liquid supply device 200 is filled with the chemical liquid. The step S133 will be further described below.

제1약액공급장치(100)에서 약액이 토출되면, 단계(S141)에서는 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 대비한다. 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력은 상기 제조장치측에 설치된 센서(310)를 이용하여 감지할 수 있다.When the chemical liquid is discharged from the first chemical liquid supply device 100, the chemical liquid is supplied to the manufacturing apparatus at step S141 and the second set pressure is compared with the pressure of the chemical liquid. The pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus can be sensed by using the sensor 310 installed on the manufacturing apparatus side.

그리하여, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 범위 밖이면, 제1약액공급장치(100)의 구동력을 조절하는 단계(S143)를 수행한 다음, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 단계(S141)를 재수행할 수 있다. 그리고, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 범위 이내이면, 구동 중인 제1약액공급장치(100)의 내부 압력을 상기 제2설정압력과 대비하는 단계(S150)를 수행할 수 있다.Thus, if the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is outside the second set pressure range, a step S143 of adjusting the driving force of the first chemical liquid supply apparatus 100 is performed, and then, (S141) of comparing the pressure of the first set pressure with the second set pressure. If the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is within the second set pressure range, a step S150 of comparing the internal pressure of the first chemical liquid supply apparatus 100 during operation with the second set pressure is performed .

구동 중인 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 이유는 제1약액공급장치(100)의 약액의 양을 감지하기 위함이다. 즉, 구동 중인 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면, 제1약액공급장치(100)의 약액이 소모되었다는 것을 의미하다.The reason for comparing the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 in operation with the second set pressure is to detect the amount of the chemical liquid in the first chemical liquid supply device 100. That is, when the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 in operation is less than the second set pressure, it means that the chemical liquid in the first chemical liquid supply device 100 has been consumed.

그러므로, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하여, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 이상이면 제1약액공급장치(100)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 단계(S150)를 계속 수행한다. 그리고, 제1약액공급장치(100)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면 제1약액공급장치(100)의 약액이 소모되으므로, 제2약액공급장치(200)를 구동시키는 단계(S161)를 수행한다.Therefore, when the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 is equal to or higher than the second set pressure, the first chemical liquid supply device 100 may be operated in a state where the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 is compared with the second set pressure. (S150) of comparing the internal pressure of the first set pressure with the second set pressure. If the internal pressure of the first chemical liquid supply device 100 is less than the second set pressure, the chemical solution of the first chemical liquid supply device 100 is consumed. Therefore, the step S161 of driving the second chemical liquid supply device 200 ).

제2약액공급장치(200)를 구동시킨 다음, 소정 시간이 경과한 후, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하는 단계(S163)를 수행할 수 있다.It is possible to perform step S163 of driving the second liquid medicament supplying device 200 and comparing the internal pressure of the second liquid medicament supplying device 200 with the first set pressure after a predetermined time has elapsed.

제2약액공급장치(200)의 내부 압력은 센서(250)를 이용하여 감지할 수 있으며, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력은 제2약액공급장치(200)의 튜브(미도시)를 수축시키는 작동액의 압력일 수 있다. 그러므로, 센서(250)는 제2약액공급장치(200)의 제2공간(미도시)으로 유입되어 제2약액공급장치(200)의 상기 튜브를 수축시키는 작동액의 압력을 감지할 수 있다.The internal pressure of the second liquid medicament supplying device 200 can be sensed using the sensor 250 and the internal pressure of the second liquid medicament supplying device 200 can be sensed using a tube (not shown) Of the working fluid. Therefore, the sensor 250 can sense the pressure of the working fluid that flows into the second space (not shown) of the second liquid medicament supplying device 200 and shrinks the tube of the second liquid medicament supplying device 200.

제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하여, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 미만이면, 제2약액공급장치(200)의 구동력을 조절(S165)한 다음, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하는 단계(S161)를 재수행할 수 있다.When the internal pressure of the second chemical liquid supply device 200 is less than the first set pressure in comparison with the internal pressure of the second chemical liquid supply device 200 and the first set pressure, The driving force may be adjusted (S165), and then the step S161 may be performed again in which the internal pressure of the second chemical liquid supply device 200 is compared with the first set pressure.

제2약액공급장치(200)의 구동력의 조절은, 전술한 제1약액공급장치(100)의 구동력 조절과 동일하게, 모터(211)의 회전수를 조절하여 조절할 수 있다.The driving force of the second liquid medicament supplying device 200 can be adjusted by adjusting the rotational speed of the motor 211 in the same manner as the driving force adjustment of the first liquid medicament supplying device 100 described above.

그리고, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제1설정압력을 대비하여, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이면, 제2약액공급장치(200)의 밸브(231d)를 개방하여 약액을 토출(S171)시킬 수 있다.If the internal pressure of the second chemical liquid supply device 200 is equal to or higher than the first set pressure in comparison with the internal pressure of the second chemical liquid supply device 200 and the first set pressure, (S171) by opening the valve 231d of the chemical solution.

제2약액공급장치(200)가 구동한 다음, 소정 시간 경과 후, 제2약액공급장치(200)의 토출관(231c)을 개방시켜야 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이 될 수 있음은 당연하다.It is necessary to open the discharge pipe 231c of the second chemical liquid supply device 200 after a predetermined time elapses after the second chemical liquid supply device 200 is driven so that the internal pressure of the second chemical liquid supply device 200 It is a matter of course that the set pressure can be exceeded.

제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이 될 수 있도록, 제2약액공급장치(200)가 구동한 다음, 소정 시간 경과 후, 제2약액공급장치(200)의 토출관(231c)이 밸브(231d)에 의하여 개방되어야 함은 당연하다.The second chemical liquid supply device 200 is driven so that the internal pressure of the second chemical liquid supply device 200 becomes equal to or higher than the first set pressure, It goes without saying that the discharge pipe 231c must be opened by the valve 231d.

제2약액공급장치(200)에서 약액이 토출된 후, 소정 시간이 경과하면, 제1약액공급장치(100)에서의 약액 토출을 중단(S173)한다. 즉, 제1약액공급장치(100)에서 약액이 토출되지 않도록 토출관(131c)을 폐쇄한 다음, 제1약액공급장치(100)에 약액을 재충진(S175)한다.When the predetermined time has elapsed after the chemical liquid is discharged from the second chemical liquid supply device 200, the chemical liquid discharge from the first chemical liquid supply device 100 is stopped (S173). That is, the discharge tube 131c is closed so that the chemical liquid is not discharged from the first chemical liquid supply device 100, and the chemical liquid is refilled in the first chemical liquid supply device 100 (S175).

제2약액공급장치(200)에서 약액이 토출된 후, 소정 시간이 경과한 다음 제1약액공급장치(100)의 토출관(131c)을 폐쇄하는 이유는, 제1약액공급장치(100)의 약액을 최대한 상기 제조장치측으로 토출시키기 위함이다. 전술한, 단계(S133)와 단계(S173)는 동일한 이유이다.The reason why the discharge tube 131c of the first chemical liquid supply device 100 is closed after a predetermined time has elapsed after the chemical liquid is discharged from the second chemical liquid supply device 200 is that the first chemical liquid supply device 100 So as to discharge the chemical solution to the manufacturing apparatus side as much as possible. The above-described steps (S133) and (S173) are the same reason.

제2약액공급장치(200)에서 약액이 토출되면, 단계(S181)에서는 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 대비한다. 상기 제2설정압력은 상기 제조장치측에 설치된 센서(310)를 이용하여 감지할 수 있다.When the chemical liquid is discharged from the second chemical liquid supply device 200, the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is compared with the second set pressure in step S181. The second set pressure can be sensed by using the sensor 310 installed on the manufacturing apparatus side.

그리하여, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 범위 밖이면, 제2약액공급장치(200)의 구동력을 조절하는 단계(S183)를 수행한 다음, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 단계(S181)를 재수행할 수 있다. 그리고, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 범위 이내이면, 구동 중인 제2약액공급장치(200)의 내부 압력을 상기 제2설정압력과 대비하는 단계(S190)를 수행할 수 있다.Thus, if the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is out of the second set pressure range, a step S183 of adjusting the driving force of the second chemical liquid supply apparatus 200 is performed, (S181) of comparing the pressure of the first set pressure with the second set pressure. If the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is within the second set pressure range, a step (S190) of comparing the internal pressure of the second chemical liquid supply apparatus 200 in operation with the second set pressure .

구동 중인 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 이유는 제2약액공급장치(200)의 약액의 양을 감지하기 위함이다. 즉, 구동 중인 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면, 제2약액공급장치(200)의 약액이 소모되었다는 것을 의미하다.The reason for comparing the internal pressure of the second chemical liquid supply device 200 in operation with the second set pressure is to detect the amount of the chemical liquid in the second chemical liquid supply device 200. That is, when the internal pressure of the second liquid supply device 200 in operation is less than the second set pressure, it means that the chemical liquid in the second liquid supply device 200 has been consumed.

그러므로, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하여, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 이상이면 제2약액공급장치(200)의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하는 단계(S190)를 계속 수행한다. 그리고, 제2약액공급장치(200)의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면 제2약액공급장치(200)의 약액이 소모되었으므로, 제1약액공급장치(100)를 구동시키는 단계(S121)를 수행한다.Therefore, when the internal pressure of the second chemical liquid supply device 200 is equal to or greater than the second set pressure, the internal pressure of the second chemical liquid supply device 200 is compared with the second set pressure, (S190) of comparing the internal pressure of the first set pressure with the second set pressure. If the internal pressure of the second liquid medicament supplying device 200 is less than the second set pressure, the liquid medicine of the second liquid medicament supplying device 200 is consumed. Therefore, the step S121 of driving the first liquid medicament supplying device 100, .

제1약액공급장치(100)를 구동(S121)시킨 후에는 전술한 방법을 계속하여 수행하면 된다.After the first chemical liquid supply device 100 is driven (S121), the above-described method may be continuously performed.

본 실시예에 따른 약액공급방법은, 제1약액공급장치(100)를 이용하여 약액을 상기 제조장치로 공급하는 도중, 제1약액공급장치(100)에 잔존하는 약액의 양이 소정 이하가 되면, 제2약액공급장치(200)를 구동시켜 제1약액공급장치(100)와 함께 약액을 상기 제조장치로 공급한다. 그 후, 제2약액공급장치(200)만을 이용하여 약액을 상기 제조장치로 공급하면서, 제1약액공급장치(100)에 약액을 충진한다. 그리고, 제2약액공급장치(200)를 이용하여 약액을 상기 제조장치로 공급하는 도중, 제2약액공급장치(200)에 잔존하는 약액의 양이 소정 이하가 되면, 제1약액공급장치(100)를 구동시켜 제2약액공급장치(200)와 함께 약액을 상기 제조장치로 공급한다. 그 후, 제1약액공급장치(100)만을 이용하여 약액을 상기 제조장치로 공급하면서, 제2약액공급장치(200)에 약액을 충진한다. 그러므로, 연속적으로 약액을 상기 제조장치로 공급할 수 있다.The method of supplying a chemical solution according to this embodiment is a method of supplying a chemical solution to the manufacturing apparatus by using the first chemical solution supply apparatus 100 when the amount of the chemical solution remaining in the first chemical solution supply apparatus 100 becomes a predetermined amount or less , The second chemical liquid supply device 200 is driven to supply the chemical liquid together with the first chemical liquid supply device 100 to the manufacturing device. Thereafter, while the chemical liquid is supplied to the manufacturing apparatus using only the second chemical liquid supply apparatus 200, the first chemical liquid supply apparatus 100 is filled with the chemical liquid. When the amount of the chemical liquid remaining in the second chemical liquid supply device 200 becomes equal to or less than a predetermined amount while the chemical liquid is supplied to the manufacturing apparatus using the second chemical liquid supply device 200, To supply the chemical liquid together with the second chemical liquid supply device 200 to the production apparatus. Thereafter, while the chemical liquid is supplied to the production apparatus by using only the first chemical liquid supply apparatus 100, the second chemical liquid supply apparatus 200 is filled with the chemical liquid. Therefore, it is possible to continuously supply the chemical liquid to the production apparatus.

또한, 약액을 토출시키는 제1약액공급장치(100) 또는 제2약액공급장치(200)의 구동력을 조절하여, 상기 제조장치로 공급되는 약액이 일정한 압력을 유지하도록 할 수 있다.The driving force of the first chemical liquid supply device 100 or the second chemical liquid supply device 200 for discharging the chemical liquid may be adjusted so that the chemical liquid supplied to the manufacturing device maintains a constant pressure.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of. Therefore, the scope of the present invention is defined by the appended claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

110: 액츄에이터
130: 약액이송부
135: 튜브
131c, 231c: 토출관
131d, 231d: 밸브110: Actuator
130: The chemical solution is sent
135: tube
131c and 231c: discharge pipe
131d, 231d: valve

Claims (6)

약액이 토출되는 토출관을 각각 가지는 제1약액공급장치와 제2약액공급장치를 포함하며, 각 상기 토출관을 통하여 토출되는 약액을 합쳐서 상기 제조장치로 공급하는 약액공급방법에 있어서,
상기 제조장치로 공급되는 약액은 상기 제1약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치 및 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치와 상기 제2약액공급장치에 의하여 → 상기 제1약액공급장치에 의한 순서로 연속적으로 공급되고,
상기 제1약액공급장치에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 상기 제2약액공급장치에 약액이 충진되고, 상기 제2약액공급장치에 의하여 약액이 상기 제조장치에 공급되는 도중에 상기 제1약액공급장치에 약액이 충진되는 것을 특징으로 하는 약액공급방법.A chemical liquid supply method for supplying a chemical liquid discharged through each of the discharge tubes to a manufacturing apparatus, comprising a first chemical liquid supply device and a second chemical liquid supply device each having a discharge pipe through which a chemical liquid is discharged,
The chemical liquid supplied to the manufacturing apparatus is discharged by the first chemical liquid supply device by the first chemical liquid supply device and the second chemical liquid supply device by the second chemical liquid supply device, By the second chemical liquid supply device → sequentially by the first chemical liquid supply device,
Wherein during the supply of the chemical liquid to the manufacturing apparatus by the first chemical liquid supply apparatus, the chemical liquid is filled in the second chemical liquid supply apparatus, and while the chemical liquid is supplied to the manufacturing apparatus by the second chemical liquid supply apparatus, Characterized in that the supply device is filled with a chemical liquid. 제1항에 있어서,
상기 제1약액공급장치 및 상기 제2약액공급장치는 내부의 압력이 각각 상기 제조장치에서 요구하는 약액의 토출 압력 보다 높은 제1설정압력일 때, 약액을 각각 토출하고,
상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제조장치에서 요구하는 약액의 토출 압력인 제2설정압력과 유사한가를 감지하면서, 상기 제1약액공급장치의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하여 상기 제2약액공급장치의 구동 여부를 결정하고, 상기 제2약액공급장치의 내부 압력과 상기 제2설정압력을 대비하여 상기 제1약액공급장치의 구동 여부를 결정하는 것을 특징으로 하는 약액공급방법.The method according to claim 1,
Wherein the first chemical liquid supply device and the second chemical liquid supply device respectively discharge the chemical liquid when the internal pressure is a first set pressure higher than the discharge pressure of the chemical liquid required by the manufacturing apparatus,
Wherein the controller is configured to detect whether the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is similar to the second set pressure which is the discharge pressure of the chemical liquid required by the manufacturing apparatus, Determines whether or not the second chemical liquid supply device is driven, and determines whether the first chemical liquid supply device is driven by comparing the internal pressure of the second chemical liquid supply device with the second set pressure. 제1항에 있어서,
상기 제1약액공급장치를 구동시킨 다음, 상기 제1약액공급장치의 내부 압력을 상기 제1설정압력과 대비하며, 상기 제1약액공급장치의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이면 상기 제1약액공급장치에서 약액을 토출시키는 단계;
상기 제1약액공급장치에서 약액이 토출되면, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 대비하며, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 범위 밖이면, 상기 제1약액공급장치의 구동력을 조절하여 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 다시 대비하고, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 범위 이내이면, 상기 제1약액공급장치의 내부 압력을 상기 제2설정압력과 대비하는 단계;
상기 제1약액공급장치의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면 상기 제2약액공급장치를 구동시킨 다음, 상기 제2약액공급장치의 내부 압력을 상기 제1설정압력과 대비하며, 상기 제2약액공급장치의 내부 압력이 상기 제1설정압력 이상이면 상기 제2약액공급장치에서 약액을 토출시키는 단계;
상기 제2약액공급장치에서 약액이 토출되면, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력과 상기 제2설정압력을 대비하며, 상기 제조장치로 유입되는 약액의 압력이 상기 제2설정압력 범위 이내이면, 상기 제2약액공급장치의 내부 압력을 상기 제2설정압력과 대비하는 단계;
상기 제2약액공급장치의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면 상기 제1약액공급장치를 구동시키는 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 약액공급방법.The method according to claim 1,
The first chemical liquid supply device is driven and then the internal pressure of the first chemical liquid supply device is compared with the first set pressure and when the internal pressure of the first chemical liquid supply device is equal to or higher than the first set pressure, Discharging the chemical liquid from the chemical liquid supply device;
Wherein when the chemical liquid is discharged from the first chemical liquid supply device, the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is compared with the second predetermined pressure, and if the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is out of the second set pressure range, Wherein the control unit controls the driving force of the first chemical liquid supply unit so as to compare the second set pressure with the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus. When the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is within the second set pressure range, Comparing the internal pressure of the first chemical liquid supply device with the second set pressure;
When the internal pressure of the first chemical liquid supply device is less than the second set pressure, the internal pressure of the second chemical liquid supply device is compared with the first set pressure after driving the second chemical liquid supply device, Discharging the chemical liquid in the second chemical liquid supply apparatus when the internal pressure of the chemical liquid supply apparatus is equal to or higher than the first set pressure;
Wherein when the chemical liquid is discharged from the second chemical liquid supply device, the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is compared with the second predetermined pressure, and if the pressure of the chemical liquid flowing into the manufacturing apparatus is within the second set pressure range, Comparing the internal pressure of the second chemical liquid supply device with the second set pressure;
And driving the first chemical liquid supply device when the internal pressure of the second chemical liquid supply device is less than the second set pressure. 제3항에 있어서,
상기 제1약액공급장치 및 상기 제2약액공급장치는 내부에 약액을 수용하며 신축되면서 약액을 상기 토출관으로 토출시키는 튜브를 각각 포함하고,
상기 제1약액공급장치의 내부 압력 및 제2약액공급장치의 내부 압력은 상기 튜브를 수축시키는 작동액의 압력인 것을 특징으로 하는 약액공급방법.The method of claim 3,
Wherein the first chemical liquid supply device and the second chemical liquid supply device each include a tube for receiving the chemical liquid therein and discharging the chemical liquid into the discharge tube while being expanded and contracted,
Wherein the internal pressure of the first chemical liquid supply device and the internal pressure of the second chemical liquid supply device are pressures of the working liquid which shrink the tube. 제3항에 있어서,
상기 제1약액공급장치의 구동 후, 상기 제1약액공급장치의 내부 압력이 상기 제1설정압력 미만이면, 상기 제1약액공급장치의 구동력을 조절한 후, 상기 제1약액공급장치를 구동시키고,
상기 제1약액공급장치에서 약액이 토출되면, 소정 시간이 경과 후, 상기 제2약액공급장치의 상기 토출관을 폐쇄한 다음 상기 제2약액공급장치에 약액을 충진하며,
상기 제2약액공급장치의 구동 후, 상기 제2약액공급장치의 내부 압력이 상기 제2설정압력 미만이면, 상기 제2약액공급장치의 구동력을 조절한 후, 상기 제2약액공급장치를 구동시키고,
상기 제2약액공급장치에서 약액이 토출되면, 소정 시간이 경과 후, 상기 제1약액공급장치의 상기 토출관을 폐쇄한 다음 상기 제2약액공급장치에 약액을 충진하는 것을 특징으로 하는 약액공급방법.The method of claim 3,
After the driving of the first chemical liquid supply device, if the internal pressure of the first chemical liquid supply device is less than the first set pressure, the driving force of the first chemical liquid supply device is adjusted and then the first chemical liquid supply device is driven ,
When the chemical liquid is discharged from the first chemical liquid supply device, after the discharge tube of the second chemical liquid supply device is closed after a predetermined time has elapsed, the second chemical liquid supply device is filled with the chemical liquid,
After the driving of the second chemical liquid supply device, if the internal pressure of the second chemical liquid supply device is less than the second set pressure, the driving force of the second chemical liquid supply device is adjusted and then the second chemical liquid supply device is driven ,
Wherein when the chemical liquid is discharged from the second chemical liquid supply device, the discharge tube of the first chemical liquid supply device is closed after a predetermined time has elapsed, and then the chemical liquid is filled in the second chemical liquid supply device . 제3항에 있어서,
상기 제1설정압력은 상기 제조장치에서 요구하는 약액의 토출 압력인 상기 제2설정압렵 보다 높은 것을 특징으로 하는 약액공급방법.The method of claim 3,
Wherein the first setting pressure is higher than the second setting pressure which is the discharge pressure of the chemical liquid required by the manufacturing apparatus.
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