KR20180047897A - Electrodeposited copper foil with its surfaceprepared, process for producing the same and usethereof - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a surface treatment electrolysis copper foil produced by a foil manufacturing process and a surface treatment process. Wherein the surface treatment electrolysis copper foil comprises a base material and a surface protrusion unit formed on one surface of the base material. A ratio of thickness (Y=a/b) of a protrusion unit to thickness of the base material (b) and thickness of the surface protrusion unit (a) is equal to or larger than 0.15 and equal to or less than 0.69.

Description

표면처리 전해동박, 이의 제조방법, 및 이의 용도{ELECTRODEPOSITED COPPER FOIL WITH ITS SURFACEPREPARED, PROCESS FOR PRODUCING THE SAME AND USETHEREOF}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an electrolytic copper foil for surface treatment, a method for producing the same,

본 발명은 향상된 유전율을 갖는 표면처리 전해동박, 그의 제조방법 및 이러한 표면처리 전해동박을 예를 들면 프린트 배선판에 사용한 것과 같은 용도에 관한 것이다. The present invention relates to a surface treated electrolytic copper foil having an improved dielectric constant, a method for producing the same, and a use such as a surface treatment electrolytic copper foil for use in, for example, a printed wiring board.

최근 노트북 크기의 퍼스널 컴퓨터와 같은 전자 장치가 점점 소형화, 경량화되고 있다. 또한 IC의 배선도 미세화되고 있다. 이러한 전자장치에 사용되는 기판에 형성되는 배선패턴에서 리드 폭이 십여 마이크론(㎛)까지 미세화되고 있고, 이에따라 배선패턴을 형성하는 금속박도 점차 얇아지고 있다. 특히, 종래에서는 리드 폭이 100㎛ 정도의 배선패턴을 형성하는데 사용된 금속박의 두께는 이 배선패턴의 폭에 대응하여 15∼35㎛ 정도이지만 십여㎛의 배선패턴을 형성하는데 사용되는 금속박의 두께도 이에 대응하여 얇아질 필요가 있다. BACKGROUND ART [0002] In recent years, electronic devices such as a notebook personal computer have become increasingly smaller and lighter. Also, the wiring of the IC is being refined. In the wiring pattern formed on the substrate used for such an electronic device, the lead width is reduced to a few tens of microns (mu m), and the metal foil forming the wiring pattern is also becoming thinner. Particularly, although the thickness of the metal foil used for forming the wiring pattern having the lead width of about 100 mu m is about 15 to 35 mu m corresponding to the width of the wiring pattern in the past, the thickness of the metal foil used for forming the wiring pattern of about 10 mu m It needs to be thinned correspondingly.

이와 같은 배선패턴을 형성하는 금속박으로는 예를 들면 알루미늄박, 동박 등이 사용되고 있다. 이와 같은 금속박 중에서는 동박이 바람직하고, 특히 전해동박을 사용하는 것이 바람직하다. As the metal foil for forming such a wiring pattern, for example, aluminum foil, copper foil and the like are used. Among such metal foils, copper foil is preferable, and electrolytic copper foil is preferably used.

이와 같은 배선패턴을 형성하기 위해 사용되는 전해동박은 통상 도 1에 나타낸 바와 같은 전해 제박장치에 의해 제박되고, 도 2에 나타낸 표면처리장치에 의해 밀착성 향상을 위한 조화처리나 방청처리 등이 실시된다. The electrolytic copper foil used for forming such a wiring pattern is usually stripped by an electrolytic electrification and emulsification apparatus as shown in Fig. 1, and the surface treatment apparatus shown in Fig. 2 conducts harmonization treatment and anti-rust treatment for improving adhesion.

도 1에 나타낸 전해 제박장치는 회전하는 드럼형상의 캐소드(2)(표면은 SUS 또는 티탄제)와 이 캐소드에 대하여 동심원 형상으로 배치된 애노드(1)(아연 또는 귀금속 산화물 피복 티탄전극)로 이루어지며, 전해액(3)을 유통시키면서 양극 사이에 전류를 흘려, 이 캐소드 표면에 소정의 두께로 동을 석출시키고, 그 후 이 캐소드 표면으로부터 동을 금속박 형상으로 벗겨낸다. 이 단계의 동박(4)이 미처리 동박이다. 또한 이 미처리 동박의 전해액과 접하고 있는 면이 매트면(matte side), 회전하는 드럼 형상의 캐소드(2)와 접하고 있는 면이 광택면(shiny side)이다.1 comprises a rotating drum-shaped cathode 2 (surface made of SUS or titanium) and an anode 1 (zinc or noble metal oxide-coated titanium electrode) arranged concentrically with respect to the cathode And a current is flowed between the positive and negative electrodes while flowing the electrolytic solution 3. The copper is deposited on the surface of the cathode to a predetermined thickness and then copper is peeled off from the surface of the cathode. The copper foil 4 at this stage is an untreated copper foil. The surface of the untreated copper foil in contact with the electrolyte is a matte side and the surface in contact with the rotating drum-shaped cathode 2 is a shiny side.

제박된 미처리 동박(4)은 절연기판과 적층하여 동장적층판을 제조하기 위하여 접착 강도(박리 강도)를 높일 필요가 있다. 그런 점에서, 도 2에 나타낸 바와 같은 표면처리장치에 의해, 전기화학적 혹은 화학적인 표면처리를 연속적으로 수행한다. 도 2는 전기화학적으로 표면처리를 연속적으로 수행하는 장치를 나타낸 것으로, 미처리동박(4)을 전해액(5)이 충전된 전해조, 전해액(5)이 충전된 전해조에 연속적으로 통과시켜, 전극(7)을 애노드로하고 동박 자체를 캐소드로 하여 표면처리를 실시하고, 절연기판(수지필름)과의 밀착성을 높이기 위하여 입자 상태의 동을 미처리 동박(4)의 표면으로 석출시킨다. 이 공정이 조화처리 공정이며, 조화처리는 통상, 미처리 동박(4)의 매트면 또는 샤이니면에 실시된다. 이들의 표면처리를 실시한 후의 동박이 표면처리동박(8)이며, 절연기판과 적층하여 회로기판으로 만든다.The untreated untreated copper foil 4 needs to be laminated with an insulating substrate to increase the adhesive strength (peel strength) in order to produce the copper clad laminate. In this regard, electrochemical or chemical surface treatment is continuously performed by the surface treatment apparatus as shown in Fig. 2 shows an apparatus for continuously performing surface treatment electrochemically. An untreated copper foil 4 is continuously passed through an electrolytic bath filled with an electrolytic solution 5 and an electrolytic bath filled with an electrolytic solution 5, ) Is used as an anode and the copper foil itself is used as a cathode to perform surface treatment. In order to improve the adhesion with the insulating substrate (resin film), copper in the form of particles is precipitated on the surface of the untreated copper foil 4. This step is a roughening treatment step, and the roughening treatment is usually carried out on the matte surface or the shiny surface of the untreated copper foil 4. The copper foil after the surface treatment is a surface-treated copper foil 8, which is laminated with an insulating substrate to form a circuit board.

미처리 동박(4)의 샤이니면의 표면상태는 드럼 표면상태와 대략 동일하다. 즉, 드럼의 10점 평균 표면조도(Rz)는 1.2∼2.5㎛ 정도로 샤이니면의 10점 평균 표면조도(Rz)도 대략 비슷하다. The surface state of the shiny side of the untreated copper foil 4 is substantially the same as the drum surface state. That is, the 10-point average surface roughness (Rz) of the drum is about 1.2 to 2.5 mu m, and the 10-point average surface roughness (Rz) of the shiny surface is also about the same.

한편, 매트면의 표면조도는 동의 석출상태 및 두께에 따라 다르지만, 매트면의 표면조도는 샤이니면의 표면조도 보다 큰 것으로, 일반적으로 10점 평균 표면조도(Rz)가 2.5∼10㎛ 정도이다. 종래로부터 35㎛ 정도의 평균두께를 가진 전해동박에서 이러한 매트면의 표면조도가 문제가 되는 것은 드물었지만 두께가 십여 ㎛의 전해동박에서는 이러한 매트면의 표면조도는 전해동박 전체의 두께의 수십 %에 상당하고, 이러한 매트면의 상태가 형성되는 배선패턴 특히 보드 자체의 전기적 특성에 커다란 영향을 미친다. On the other hand, the surface roughness of the mat surface differs depending on the copper deposition state and thickness, but the surface roughness of the mat surface is larger than the surface roughness of the shiny surface. Generally, the 10 point average surface roughness Rz is about 2.5 to 10 mu m. In the electrolytic copper foil having an average thickness of about 35 탆, the surface roughness of such a mat surface is rarely a problem. However, in an electrolytic copper foil having a thickness of several tens of 탆, the surface roughness of such a mat surface corresponds to several tens% Such a state of the mat surface has a great influence on the electrical characteristics of the wiring pattern to be formed, particularly the board itself.

특히, 표면처리동박의 매트면에 석출되는 돌기의 크기나 형상에 따라 전해동박의 표면조도, 색상 그리고 광택에 차이가 발생하게 되고, 전해동박의 인장강도나 연신율, 박리강도 등이 달라진다. 종래에는 이러한 매트면 돌기의 크기나 형상을 표면조도(예를 들어, Rz, Ra, Rmax, Rpc 등)라는 물리적 파라미터로 표현(특허문헌 1, 특허문헌 2 및 특허문헌 3 참조)였으나 도 3a와 도 3b와 같이 기존의 접촉식 조도계나 비접촉식 조도계로 측정되지 않는 많은 영역들이 존재하였다. 이로 인해, 기존의 매트면의 표면조도값은 표면처리동박의 매트면의 물리적, 화학적 특성을 충분하게 표현하는데 한계가 있었다. Particularly, the surface roughness, color and gloss of the electrolytic copper foil differ depending on the size and shape of the protrusions deposited on the mat surface of the surface-treated copper foil, and the tensile strength, elongation, peel strength and the like of the electrolytic copper foil are changed. Conventionally, the size and shape of the mat surface protrusions are expressed by physical parameters of surface roughness (for example, Rz, Ra, Rmax, Rpc, etc.) (see Patent Document 1, Patent Document 2 and Patent Document 3) As shown in FIG. 3B, there are many areas which are not measured by a conventional contact type illuminometer or a non-contact type illuminometer. As a result, the surface roughness value of the existing mat surface has a limit to sufficiently express the physical and chemical characteristics of the mat surface of the surface-treated copper foil.

한편, 도 4를 참조하면, 동일한 전착량을 갖는 동일한 두께의 전해동박(10)이라 하더라도 전해동박의 기재부(11) 표면에 형성되는 매트면의 돌기부(12) 패턴의 상대적 비율에 따라 완성된 전해동박의 인장강도, 내굴곡성, 박리강도, 유전율과 같은 전기적 특성 등이 크게 달라질 수 있다. 4, even when the electrolytic copper foil 10 having the same electrodeposition amount and having the same thickness, the electrolytic copper foil 10 of the electrolytic copper foil is formed in accordance with the relative proportion of the pattern of the protruding portions 12 formed on the surface of the base portion 11 of the electrolytic copper foil. Electrical properties such as tensile strength, flexural resistance, peel strength, and dielectric constant can be greatly changed.

KRKR 10-112947110-1129471 B1B1 KRKR 10-2015-001485010-2015-0014850 AA KRKR 10-109019910-1090199 B1B1

본 발명자들은 표면처리공정을 거쳐 제조되는 전해동박의 기재부(11)에대한 매트면의 돌기부(12)의 상대적 비율에 따라 완성된 전해동박의 인장강도, 내굴곡성, 박리강도와 같은 물리적 특성과 유전율과 같은 전기적 특성이 크게 달라짐을 알게 되었다. The present inventors have found that the physical properties and permittivity of the electrolytic copper foil, such as the tensile strength, the bending resistance and the peel strength, of the electrolytic copper foil produced through the surface treatment process are varied according to the relative ratio of the protruding portion 12 of the mat surface to the base portion 11 of the electrolytic copper foil The same electrical characteristics have been found to vary greatly.

따라서, 본 발명은 인장강도, 내굴곡성, 박리강도와 같은 물리적 특성과 유전율과 같은 전기적 특성이 우수한 전해동박, 이 전해동박을 이용한 동박적층판 및 프린트 배선판을 제공하는 것을 목적으로 한다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide an electrolytic copper foil excellent in electrical characteristics such as physical properties such as tensile strength, bending resistance and peel strength and permittivity, and a copper clad laminate and a printed wiring board using the electrolytic copper foil.

또한, 본 발명은 표면처리 전해동박의 기재부(11)에 대한 매트면 돌기부(12)의 상대적 비율(Y=a/b)을 최적화시킨 전해동박과 이러한 전해동박을 제조하는 방법을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다. It is another object of the present invention to provide an electrolytic copper foil in which the relative ratio (Y = a / b) of the matte surface protruding portion 12 to the substrate portion 11 of the surface treated electrolytic copper foil is optimized and a method for manufacturing such electrolytic copper foil do.

또한, 본 발명은 표면처리 전해동박의 기재부(11)에 대한 매트면 돌기부(12)의 상대적 비율(Y=a/b)을 최적화시킨 전해동박과 이 전해동박을 이용한 동박적층판 및 프린트 배선판을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. The present invention also provides an electrolytic copper foil in which the relative ratio (Y = a / b) of the matte surface protruding portion 12 to the substrate portion 11 of the surface treated electrolytic copper foil is optimized and a copper clad laminate and a printed wiring board using the electrolytic copper foil For another purpose.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 과제에 제한되지 않으며, 위에서 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래에 기재된 발명의 설명으로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problem to be solved by the present invention is not limited to the above-mentioned problems, and other technical problems not mentioned above can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the invention described below.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 제박 공정과 표면처리 공정에 의해 제조되는 표면처리 전해동박은, 기재와 이 기재의 일 표면상에 형성되는 표면돌기부로 이루어지고, 상기 기재의 두께(b)와, 상기 표면돌기부의 두께(a)에 대한 상대적 비율을 나타내는 돌기부 두께비(Y=a/b)가 0.15이상, 0.69 이하인 것을 특징으로 한다. According to one aspect of the present invention, there is provided a surface treated electrolytic copper foil produced by a stripping process and a surface treatment process comprising a substrate and a surface protruding portion formed on one surface of the substrate, (Y = a / b), which represents the relative ratio of the thickness (b) to the thickness (a) of the surface protrusions, is 0.15 or more and 0.69 or less.

상기 표면돌기부는 제박 공정에 의해 상기 기재의 일 표면상에 형성되는 표면돌기층과 표면처리 공정에 의해 상기 표면돌기층 위에 형성되는 표면처리층을 포함한다. The surface projecting portion includes a surface projecting layer formed on one surface of the substrate by a lapping process and a surface treatment layer formed on the surface projecting layer by a surface treatment process.

상기 표면돌기부의 두께(a)는 2~8㎛(보다 바람직하게는, 2.1~7.8㎛)이고, 상기 기재부 두께(b)는 10~14㎛(보다 바람직하게는, 10.4~13.8㎛)이다. The thickness a of the surface protruding portion is 2 to 8 占 퐉 (more preferably 2.1 to 7.8 占 퐉) and the thickness of the base portion b is 10 to 14 占 퐉 (more preferably 10.4 to 13.8 占 퐉) .

상기 기재의 일 표면은 매트면이고, 이 매트면의 표면조도는 10점 평균조도 Rz로 1.8~4.6㎛이다. One surface of the substrate is a mat surface, and the surface roughness of the mat surface is 1.8 to 4.6 탆 at a 10-point average roughness Rz.

상기 표면처리 공정은 표면돌기층에 표면처리층을 형성하기 위한 조화처리공정을 포함한다. The surface treatment step includes a roughening treatment step for forming a surface treatment layer on the surface projecting layer.

본 발명의 일 태양에 따른 상기 표면처리 전해동박의 표면처리층에 폴리이미드 수지를 부착한 동장적층판과 이 동장적층판에 회로 패턴을 형성한 프린트 배선판은 본 발명의 일 태양에 따른 표면처리 전해동박의 한 용도에 해당한다. The copper clad laminate having the polyimide resin adhered to the surface treatment layer of the surface treated electrolytic copper foil according to one aspect of the present invention and the printed circuit board having the circuit pattern formed on the copper clad laminate can be used for a surface treatment electrolytic copper foil according to one aspect of the present invention .

본 발명의 다른 일 태양에 따른 표면처리 전해동박의 제조방법은, (a) 구리 농도가 60g/L 내지 120g/L 이고, 황산 농도가 50g/L 내지 120g/L 인 황산동 수용액에 첨가제로서 음이온 첨가제 6 ~ 18ppm, 레벨러 0.1 ~ 4.5ppm을 첨가하여 TOC 농도가 3~18ppm인 전해액을 제조하고, 이 전해액의 전해 온도를 40℃ 내지 60℃로 하고, 전류밀도를 50ASD 내지 80ASD로 하여 제박기의 드럼 표면에 구리(Cu)를 전착하여 기재와 표면돌기층으로 이루어지는 미처리 동박을 제조하는 단계; 및 (b) 상기 미처리 동박의 표면돌기층에 조화처리공정에 의한 표면처리층을 형성하여 표면처리 전해동박을 제조하는 단계를 포함하고; 상기 기재의 두께(b)와, 상기 표면돌기층과 표면처리층으로 이루어지는 표면돌기부의 두께(a)에 대한 상대적 비율을 나타내는 돌기부 두께비(Y=a/b)가 0.15이상, 0.69 이하인 것을 특징으로 한다. A method for producing a surface treated electrolytic copper foil according to another aspect of the present invention comprises the steps of: (a) adding anionic additive 6 as an additive to an aqueous solution of copper sulfate having a copper concentration of 60 g / L to 120 g / L and a sulfuric acid concentration of 50 g / L to 120 g / And an electrolyte having a TOC concentration of 3 to 18 ppm is prepared by adding an electrolyte at a temperature of 40 to 60 DEG C and a current density of 50 to 80 ASD to a drum surface (Cu) is electrodeposited to produce an untreated copper foil comprising a substrate and a surface projection layer; And (b) forming a surface treatment layer on the surface projection layer of the untreated copper foil by a roughening treatment step to produce a surface treatment electrolytic copper foil; (Y = a / b), which represents the relative ratio of the thickness (b) of the substrate to the thickness (a) of the surface projection part made of the surface projection layer and the surface treatment layer, is 0.15 or more and 0.69 or less do.

상기 음이온 첨가제는 Cl, F, Br, I, PO4중 어느 하나 이상을 포함하는데, 바람직하게, 상기 음이온 첨가제는 Cl이고, 상기 전해액에 Cl은 7.3~16.2ppm 첨가된다. The anion additive includes at least one of Cl, F, Br, I and PO4. Preferably, the anion additive is Cl and 7.3 to 16.2 ppm of Cl is added to the electrolyte solution.

또한, 상기 레벨러는 젤라틴, 콜라겐, PEG(Polyethylene glycol)중 어느 하나 이상을 포함하는데, 바람직하게, 상기 레벨러는 젤라틴이고, 상기 전해액에 젤라틴은 0.5~3.4ppm 첨가된다. Also, the leveler includes at least one of gelatin, collagen, and PEG (polyethylene glycol). Preferably, the leveler is gelatin, and 0.5 to 3.4 ppm of gelatin is added to the electrolyte solution.

또한, 본 발명의 또 다른 일 태양에 따른 표면처리 전해동박은, 구리 농도가 60g/L 내지 120g/L 이고, 황산 농도가 50g/L 내지 120g/L 인 황산동 수용액에 첨가제로서 음이온 첨가제 6 ~ 18ppm, 레벨러 0.1 ~ 4.5ppm을 첨가하여 TOC 농도가 3~18ppm인 전해액을 제조하고, 이 전해액의 전해 온도를 40℃ 내지 60℃로 하고, 전류밀도를 50ASD 내지 80ASD로 하여 제박기의 드럼 표면에 구리(Cu)를 전착하여 기재와 표면돌기층으로 이루어지는 미처리 동박을 제조한 후, 이 미처리 동박의 표면돌기층에 조화처리공정에 의한 표면처리층을 형성하는 것에 의해 제조되는데, 상기 기재의 두께(b)와, 상기 표면돌기층과 표면처리층으로 이루어지는 표면돌기부의 두께(a)에 대한 상대적 비율을 나타내는 돌기부 두께비(Y=a/b)가 0.15이상, 0.69 이하인 것을 특징으로 한다. Further, the surface treated electrolytic copper foil according to another aspect of the present invention is characterized in that an aqueous solution of copper sulfate having a copper concentration of 60 g / L to 120 g / L and a sulfuric acid concentration of 50 g / L to 120 g / L is added as an additive in an amount of 6 to 18 ppm, And an electrolyte solution having a TOC concentration of 3 to 18 ppm is prepared by adding 0.1 to 4.5 ppm of a leveler to an electrolyte solution having an electrolytic solution temperature of 40 to 60 캜 and a current density of 50 to 80 ASD, Cu) is electrodeposited to produce an untreated copper foil made of a substrate and a surface projection layer, and then a surface treatment layer is formed on the surface projection layer of the untreated copper foil by a roughening treatment step. The thickness (b) (Y = a / b), which represents the relative ratio of the surface protruding layer to the thickness (a) of the surface protruding portion made of the surface protruding layer, is 0.15 or more and 0.69 or less.

본 발명에 따른 표면처리 전해동박은 인장강도와 내굴곡성, 박리강도와 같은 물리적 특성이 우수할 뿐만 아니라 유전율이 낮아서 신호 전송에 따른 손실이 저감되는 등 전기적 특성도 우수하다. 따라서, 본 발명에 따른 표면처리 전해동박은 소형화, 경량화, 및 IC 배선이 미세화되고 있는 전자장치의 프린트 배선기판을 위한 동작적층판으로 사용하기에 적합하다. The surface treated electrolytic copper foil according to the present invention is excellent in physical properties such as tensile strength, bending resistance and peel strength, and has a low dielectric constant, thereby reducing electrical loss due to signal transmission. Therefore, the surface-treated electrolytic copper foil according to the present invention is suitable for use as an operating laminate for a printed wiring board of an electronic device in which miniaturization, light weight, and IC wiring are miniaturized.

또한, 본 발명에 따른 표면처리 전해동박은 우수한 물리적 특성과 전기적 특성으로 인해 리튬 이차전지의 음극 집전체로도 유효하게 적용할 수 있다. Also, the surface treated electrolytic copper foil according to the present invention can be effectively applied to an anode current collector of a lithium secondary battery due to excellent physical properties and electrical characteristics.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술되는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 미처리 전해동박을 전착하기 위한 제박장치의 개략 단면도이다.
도 2는 도 1의 제박장치에 의해 제조되는 미처리 동박을 표면처리하기 위한 표면처리장치의 일 실시예의 개략 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 표면처리 전해동박의 표면에 형성되는 돌기에 대한 SEM 단면 사진이다.
도 4는 통상적인 표면처리 전해동박의 개략 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표면처리 전해동박의 개략 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면처리 전해동박의 다른 개략 단면도이다.
도 7은 유전율 측정 장치에 대한 개략 단면도이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are incorporated in and constitute a part of the specification, illustrate preferred embodiments of the invention and, together with the description of the invention given below, serve to further the understanding of the technical idea of the invention. And should not be construed as limiting.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an anti-skimming device for electrodepositioning an untreated electrolytic copper foil.
2 is a schematic cross-sectional view of one embodiment of a surface treatment apparatus for surface treatment of an untreated copper foil produced by the stripping apparatus of Fig.
3A and 3B are SEM cross-sectional photographs of protrusions formed on the surface of the surface-treated electrolytic copper foil.
4 is a schematic cross-sectional view of a conventional surface treatment electrolytic copper foil.
5 is a schematic cross-sectional view of a surface treatment electrolytic copper foil according to an embodiment of the present invention.
6 is another schematic sectional view of a surface treatment electrolytic copper foil according to an embodiment of the present invention.
7 is a schematic cross-sectional view of a dielectric constant measuring apparatus.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일부 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concepts of the terms appropriately It should be interpreted in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined. Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are only some of the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

먼저, 본 발명의 일 실시형태에 따른 표면처리 전해동박에 대하여 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5는 본 발명의 일 실시형태에 따른 표면처리 전해동박(21)에 관한 개략적인 단면도이다. First, a surface treatment electrolytic copper foil according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a surface treated electrolytic copper foil 21 according to an embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 표면처리 전해동박(21)은 도 1의 제박장치에 의해 생성되는 원박과 이 원박의 일 면(예를 들어, 매트면)에 형성되는 표면처리층으로 이루어진다. 상기 원박은 도 1의 제박장치에 의해 생성되는 미처리 동박으로서 이 미처리 동박의 전해액과 접하고 있는 면이 매트면(matte side), 회전하는 드럼 형상의 캐소드와 접하고 있는 면이 광택면(shiny side)이다. As shown in FIG. 5, the surface treatment electrolytic copper foil 21 according to the present invention is composed of a raw foil produced by the stripping apparatus of FIG. 1 and a surface treatment layer formed on one surface (for example, a mat surface) . The raw foil is an untreated copper foil produced by the stripping apparatus of Fig. 1, which has a matte side in contact with the electrolytic solution of the untreated copper foil and a shiny side in contact with the rotating drum-shaped cathode .

도 5의 미처리 동박은 다시 소정 두께로 동이 석출되어 형성되는 기재(22)와 이 기재의 일 표면(예를 들어, 매트면)에 형성되는 표면돌기층(24)으로 이루어진다. 이 표면돌기층(24)위에는 다시 도 2의 표면처리장치를 통해 표면처리층(25)을 형성함으로써 본 발명의 일 실시형태에 따른 표면처리 전해동박(21)이 완성된다. The untreated copper foil of FIG. 5 is composed of a substrate 22 formed by copper precipitation to a predetermined thickness and a surface projection layer 24 formed on one surface (for example, a mat surface) of the substrate. The surface treatment layer 25 is formed on the surface projection layer 24 through the surface treatment apparatus of FIG. 2 to complete the surface treatment electrolytic copper foil 21 according to the embodiment of the present invention.

따라서, 본 발명의 일 실시형태에 따른 표면처리 전해동박(21)은 기재(22)와 이 기재(22)상에 표면돌기층(24)과 표면처리층(25)으로 이루어지는 표면돌기부(23)로 구성된다. The surface treatment electrolytic copper foil 21 according to the embodiment of the present invention includes the substrate 22 and the surface protruding portion 23 made of the surface protruding layer 24 and the surface treatment layer 25 on the substrate 22 .

이때, 도 5와 같이 기재(22)의 두께를 b라 하고, 표면돌기부(23)의 두께를 a라고 하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 표면처리 전해동박(21)은 기재의 두께(b)에 대한 표면돌기부(23)의 두께(a)의 상대적 비율을 나타내는 파라미터인 돌기부 두께비(Y=a/b)가 0.15이상, 0.69 이하의 수치범위를 갖는 것을 특징으로 한다. 5, the surface treatment electrolytic copper foil 21 according to the embodiment of the present invention has the thickness b of the substrate and the thickness of the surface protruding portion 23 as a, (Y = a / b), which is a parameter representing a relative ratio of the thickness (a) of the surface projection portion 23 to the surface projection portion 23, is 0.15 or more and 0.69 or less.

상기 돌기부 두께비(Y=a/b)가 0.15를 하회하게 되면, 표면처리 전해동박의 표면조도가 과도하게 낮아짐으로써 프린트 배선판의 형성을 위해 표면처리 전해동박에 적층되는 기재 필름(예를 들어, 폴리이미드 필름)과의 박리강도가 떨어지게 된다. 이 경우, 프린트 배선판에서의 탈리(de-lamination) 현상이 나타날 우려가 있다. When the ratio (Y = a / b) of the protrusions is less than 0.15, the surface roughness of the surface treated electrolytic copper foil is excessively lowered, so that a base film (for example, a polyimide film The peeling strength between the substrate and the substrate is reduced. In this case, a de-lamination phenomenon may occur in the printed wiring board.

또한, 상기 돌기부 두께비(Y=a/b)가 0.69를 초과하게 되면, 표면처리 전해동박의 박리강도는 개선되지만 유전율이나 통신손실율과 같은 전기적 특성이 나빠지게 된다. In addition, if the ratio of the protruded portions (Y = a / b) exceeds 0.69, the peeling strength of the surface treated electrolytic copper foil is improved, but the electrical characteristics such as the dielectric constant and the communication loss ratio are deteriorated.

따라서, 본 발명의 일 실시형태에 따른 표면처리 전해동박은 상기 돌기부 두께비(Y=a/b)를 0.15 ~ 0.69로 최적화시킴으로써 프린트 배선판용 전해동박이 가져야 할 물리적 특성(특히, 기재필름과의 박리강도)과 전기적 특성을 기존의 전해동박에 비해 현저히 개선시키고 있다.Therefore, the surface-treated electrolytic copper foil according to one embodiment of the present invention has the physical properties (particularly, the peel strength with the base film) to be possessed by the electrolytic copper foil for a printed wiring board by optimizing the protrusion thickness ratio (Y = a / b) to 0.15 to 0.69, And electrical characteristics compared to conventional electrolytic copper foil.

이러한 돌기부 두께비(Y=a/b)를 구현하기 위하여, 본 발명의 일 실시형태에 따른 표면처리 전해동박은 표면돌기부(23)의 두께 a가 2~8㎛(보다 바람직하게는, 2.1~7.8㎛)를 갖고, 기재(22)의 두께 b가 10~14㎛(보다 바람직하게는, 10.4~13.8㎛)를 갖도록 제조된다. In order to realize such a protrusion thickness ratio (Y = a / b), the surface treated electrolytic copper foil according to the embodiment of the present invention has a thickness a of the surface protrusion 23 of 2 to 8 탆 (more preferably 2.1 to 7.8 탆 ), And the thickness b of the base material 22 is 10 to 14 mu m (more preferably, 10.4 to 13.8 mu m).

또한, 본 발명의 일 실시형태에 따른 표면처리 전해동박의 매트면 표면조도는 10점 평균 표면조도 Rz로 1.8~4.6㎛를 나타낸다. Further, the surface roughness of the mat surface of the surface treated electrolytic copper foil according to the embodiment of the present invention shows 1.8 to 4.6 탆 at 10 point average surface roughness Rz.

또한, 상기 표면처리층(25)에는 Cr 및/또는 크로메이트 피막을 형성시켜 방청처리를 수행하거나 필요에 따라 실란 커플링 처리 또는 방청처리+실란 커플링을 함께 실시할 수 있다. In addition, the surface treatment layer 25 may be formed with a Cr and / or a chromate film to perform anti-rust treatment or, if necessary, a silane coupling treatment or an anti-rust treatment + silane coupling.

본 발명에 따른 상기 돌기부 두께비(Y=a/b)를 구성하는 기재(22)의 두께 b와 표면돌기부(23)의 두께 a를 도 6을 참조하여 보다 구체적으로 정의한다. The thickness b of the base material 22 and the thickness a of the surface protruding portion 23 constituting the protrusion thickness ratio (Y = a / b) according to the present invention are more specifically defined with reference to FIG.

먼저, 본 발명의 일 실시형태에 따른 표면처리 전해동박(21)을 이온 밀링에 의해 MD(Machine Direction) 방향으로 절단한 후 절단된 단면을 2~10K 배율의 SEM으로 관찰하여 그 두께를 아래와 같이 측정한다. First, the surface-treated electrolytic copper foil 21 according to the embodiment of the present invention is cut in the MD (Machine Direction) direction by ion milling, and then the cut section is observed with an SEM at a magnification of 2 to 10K to measure its thickness as follows do.

표면돌기부(23)의 두께 a = a(max) - a(min)으로 정의한다. The thickness of the surface protruding portion 23 is defined as a = a (max) - a (min).

이때, a(max)는 측정 샘플 구간 30um내에서 표면돌기부의 돌기중 최고점의 5점 평균값으로 정의하고, a(min)은 측정 샘플 구간 30um내에서 표면돌기부의 돌기중 최저점의 5점 평균값으로 정의한다. A (max) is defined as a mean value of 5 points of the highest point of the protrusions of the surface protrusion within a measurement sample interval of 30um, and a (min) is defined as a mean value of 5 points of the lowest point of the protrusions of the surface protrusion within 30um of the measurement sample interval. do.

상기 기재(22)의 두께 b는 샤이니면에서 매트면의 상기 a(min)에 이르는 거리로 정의한다.       The thickness b of the base material 22 is defined as a distance from the shiny surface to the a (min) of the mat surface.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 표면처리 전해동박(21)의 표면처리층(25)에 폴리이미드(Polyimide) 수지가 부착된 구조를 가진 동장적층판이 제공된다. 폴리이미드 수지는 IC칩 본딩 등의 안정성을 위해 전해동박과 열팽창률이 유사하고 내열성이 뛰어난 특성이 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a copper clad laminate having a structure in which a polyimide resin is adhered to a surface treatment layer (25) of the surface treatment electrolytic copper foil (21). The polyimide resin is similar in thermal expansion coefficient to an electrolytic copper foil and has excellent heat resistance for stability such as IC chip bonding.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 상기 동장적층판을 구비하고, 에칭 공정에 의해 상기 동장적층판에 소정의 회로 패턴이 형성되는 프린트 배선판이 제공된다.According to still another aspect of the present invention, there is provided a printed wiring board having the copper-clad laminate and a predetermined circuit pattern formed on the copper clad laminate by an etching process.

<< 실시예Example  And 비교예Comparative Example >>

이하에서, 본 발명의 특성을 만족하는 실시예와 이에 비교되는 비교예의 표면처리 전해동박을 제조하고, 이 실시예 및 비교예의 표면처리 전해동박간의 물성을 비교하는 것에 의해 본 발명의 특징을 보다 명확히 살펴보기로 한다. Hereinafter, the surface-treated electrolytic copper foil of the example satisfying the characteristics of the present invention and the comparative example to be compared with the electrolytic copper foil of the present invention and the properties of the surface-treated electrolytic copper foil of this example and the comparative example are compared, .

(미처리 (Untreated 전해동박의An electric boat 제조) Produce)

실시예 및 비교예에 따른 미처리 전해동박은, 전해조 내에 회전드럼 및 드럼에 대해 소정의 간격을 갖고 위치하는 양극판을 포함하는 구조의 도 1과 같은 제박기를 이용하여 제조된다. 이때, 양극판과 회전드럼간의 간격은 대략 5 내지 20mm 범위에서 조절 가능하며, 간격의 표준편차는 2mm 이내에서 제어 되어야 한다. The untreated electrolytic copper foil according to the examples and the comparative example is produced by using the negative electrode forming machine as shown in Fig. 1 of the structure including the rotating drum and the positive electrode plate positioned at a predetermined interval with respect to the drum in the electrolytic bath. At this time, the gap between the positive electrode plate and the rotary drum is adjustable in the range of about 5 to 20 mm, and the standard deviation of the gap should be controlled within 2 mm.

이러한 제박기를 이용한 제박공정에 있어서 사용되는 전해액은 황산동이 이용될 수 있으며, 첨가제로서 레벨러, 음이온 첨가제, 브라이트너 등을 적절히 혼합하여 사용함으로써 드럼상에 동박을 전착시켜 미처리 전해동박을 제조한다. The electrolytic solution used in the stamping process using such a vapor deposition machine may be copper sulfate, and a copper electrolytic copper foil is manufactured by electrodepositing the copper foil on the drum by appropriately mixing a leveler, an anion additive, brightener, or the like as an additive.

이때, 상기 황산동 전해액의 조성은 60 ~ 120g/L의 동, 50 ~ 120g/L의 황산을 포함하고, 상기 음이온 첨가제는 Cl, F, Br, I, PO4중 어느 하나 이상을 6~18ppm(보다 바람직하게는, 7.3~16.2ppm)첨가하고, 레벨러는 젤라틴, 콜라겐, PEG(Polyethylene glycol)중 어느 하나 이상을 0.1~4.5ppm(보다 바람직하게는, 0.5~3.4ppm) 첨가하는 것에 의해 TOC(Total Organic Carbon) 농도가 3~18ppm이 되도록 조절한다. 또한, 이러한 전해액 조성 및 첨가제 조성하에서 전류 밀도는 50ASD 내지 80ASD 범위 및 전해액의 온도가 40~60℃인 전해조건 하에서 전해동박을 제조함으로써 실시예에 해당하는 미처리 전해동박을 제조한다. In this connection, the composition of the copper sulfate electrolytic solution is 60 ~ 120g / L East, 50 ~ 120g / including L of sulfuric acid, and the anionic additive is Cl, F, Br, I, PO to any one or more of 6 4 ~ 18ppm ( (More preferably, from 0.5 to 3.4 ppm) by adding at least one of gelatin, collagen, and PEG (polyethylene glycol) Total Organic Carbon) concentration should be adjusted to 3 ~ 18ppm. Also, an electrolytic copper foil is manufactured under such electrolytic conditions that the current density is in the range of 50 ASD to 80 ASD and the electrolytic solution temperature is in the range of 40 to 60 占 폚 under the composition of the electrolytic solution and the additive composition, thereby producing an untreated electrolytic copper foil corresponding to the embodiment.

반면, 비교예에 해당하는 미처리 전해동박을 제조하기 위해서는, 상술한 실시예의 제조방법과는 다른 방법이 적용되며, 구체적으로는, 제박 과정에서 전해액으로 이용되는 황산동(60 ~ 120g/L의 동, 50 ~ 120g/L의 황산)내에 첨가되는 첨가제의 종류 및 함량을 아래 [표 1]과 같이 실시예와 달리하여 동박을 전착함으로써 비교예에 해당하는 미처리 전해동박을 제조한다.On the other hand, in order to produce an untreated electrolytic copper foil according to the comparative example, a method different from the manufacturing method of the above-described embodiment is applied. Specifically, copper sulfate (60 to 120 g / L copper, 50 To 120 g / L of sulfuric acid), the copper foil is electrodeposited in the manner as shown in [Table 1] below to prepare an untreated electrolytic copper foil according to the comparative example.

실시예 및 비교예에 따른 전해동박을 제박하기 위한 구체적인 전해액 및 첨가제의 조성과 전해 조건은 다음과 같다. The compositions and electrolysis conditions of the electrolytic solution and additive for pretreating the electrolytic copper foil according to Examples and Comparative Examples are as follows.

구리 : 85~90g/LCopper: 85 ~ 90g / L

황산 : 75~90g/LSulfuric acid: 75 to 90 g / L

전해액 온도 : 55℃Electrolyte temperature: 55 ° C

전류밀도 : 70~80ASD Current density: 70 ~ 80 ASD

첨가제 종류 : Cl, 젤라틴(gelatin) Additive type: Cl, gelatin

첨가제 함량 : [표 1]참조Additive content: Refer to [Table 1]

CuCu
[g/L][g / L]
H2SO4H2SO4
[g/L][g / L]
gelatingelatin
[ppm][ppm]
ClCl
[ppm][ppm]
TOCTOC
[ppm][ppm]
전류밀도Current density
[[ ASDASD ]]
액온Solution temperature
[℃][° C]
실시예Example 1 One 8585 7575 3.43.4 15.715.7 1818 8080 5555 실시예Example 2 2 8787 9090 0.50.5 7.37.3 44 7575 5555 실시예Example 3 3 8585 8585 0.60.6 16.216.2 33 8080 5555 실시예Example 4 4 8686 7777 3.23.2 7.77.7 1818 7575 5555 실시예Example 5 5 8585 7878 0.50.5 14.814.8 44 7070 5555 실시예Example 6 6 8989 8383 3.13.1 7.97.9 1717 7070 5555 실시예Example 7 7 9090 9090 0.70.7 8.28.2 44 7575 5555 비교예Comparative Example 1 One 8888 8787 3.33.3 18.318.3 1919 7070 5555 비교예Comparative Example 2 2 8585 7878 0.20.2 2.32.3 22 7575 5555 비교예Comparative Example 3 3 8585 7676 5.85.8 1515 3232 8080 5555 비교예Comparative Example 4 4 8787 7979 4.84.8 24.324.3 1616 7070 5555

(표면처리 (Surface treatment 전해동박의An electric boat 제조) Produce)

상술한 실시예 및 비교예의 미처리 전해동박은 도 2와 같은 표면처리장치를 통해 표면처리공정을 거치는 것에 의해 표면처리 전해동박으로 제조된다. The untreated electrolytic copper foil of the above-described Examples and Comparative Examples is produced as a surface treatment electrolytic copper foil by passing through a surface treatment process through a surface treatment apparatus as shown in Fig.

표면처리공정은 미처리 전해동박의 표면(매트면과 샤이니면)에 버닝 도금 처리하여 극미세 동입자를 형성하고, 동입자 탈락을 방지하기 위하여 플랜도금 후 방청 처리하는 공정으로 미처리 전해동박의 표면에 요철을 형성시켜 전해동박의 기계적, 화학적 결합력을 향상시키는 것을 목적으로 한다. In the surface treatment process, the surface of the untreated electrolytic copper foil (matte surface and shiny surface) is subjected to burning plating to form ultrafine copper particles and to prevent copper particles from falling off. So as to improve the mechanical and chemical bonding force of the electrolytic copper foil.

표면처리 공정은 예를 들어 아래 [표 2]와 같이 이루어지는데, 본 발명에 따른 표면처리공정이 반드시 이러한 예로 한정되는 것은 아니며, 미처리 전해동박의 표면에 미세 구리노듈을 형성시키는 다양한 조화처리나 미처리 전해동박의 물리적 및/또는 화학적 특성을 개선하기 위한 공지의 다양한 표면처리공정이 채택 가능함은 물론이다. The surface treatment process is performed, for example, as shown in Table 2 below. However, the surface treatment process according to the present invention is not necessarily limited to this example. The surface treatment process according to the present invention is not necessarily limited to this example, and various harmonization treatments for forming fine copper nodules on the surface of the untreated electrolytic copper foil, It is needless to say that various known surface treatment processes may be adopted to improve the physical and / or chemical properties.

표면처리공정Surface treatment process
T1 공정T1 process

전류[electric current[ ASDASD ]] 25~3025 to 30
온도[℃]Temperature [° C] 20~3020 ~ 30 Cu농도Cu concentration [g/L] [g / L] 10~2010-20 HH 22 SOSO 4 4 농도[g/L]Concentration [g / L] 80~12080-120
T2 공정T2 process

전류[electric current[ ASDASD ]] 5~155 to 15
온도[℃]Temperature [° C] 30~5030 to 50 Cu 농도 [g/L]Cu concentration [g / L] 40~6040 to 60 HH 22 SOSO 4 4 농도[g/L]Concentration [g / L] 80~12080-120

T4 공정T4 process

전류[electric current[ ASDASD ]] 1~51-5
온도[℃]Temperature [° C] 20~3020 ~ 30 PHPH 10~1110 to 11 Ni농도Ni concentration [g/L][g / L] 1~21-2 Ni피막량Ni coating amount [ppm][ppm] 5~305 to 30

T5 공정T5 process

전류[electric current[ ASDASD ]] 1~51-5
온도[℃]Temperature [° C] 20~3020 ~ 30 PHPH 10~1110 to 11 Zn농도[g/L]Zn concentration [g / L] 1~21-2 Zn피막량Amount of Zn coating [ppm][ppm] 5~305 to 30

T6 공정T6 process

전류[electric current[ ASDASD ]] 1~51-5
온도[℃]Temperature [° C] 20~3020 ~ 30 PHPH 10~1110 to 11 Cr농도Cr concentration [g/L][g / L] 1~21-2 Cr피막량Cr coating amount [ppm][ppm] 1~51-5 T7공정T7 process 실란커플링제Silane coupling agent [g/L][g / L] 0.1~50.1 to 5 건조 공정Drying process 온도 : 130~250℃, 시간 : 2~6초Temperature: 130 ~ 250 ℃, Time: 2 ~ 6 seconds

상기 [표 2]의 T1공정은 버닝도금조에서 Cu농도 10~20g/L, H2SO4농도 80~120g/L, 온도 20~30℃의 전해액에서 전류를 25~30ASD로 인가하여 미처리 전해동박의 표면에 극미세 동입자를 형성하는 버닝 도금 처리공정이다. 이때, 생성된 극미세 동입자를 잡아주기 위한 실링 도금 처리공정이 T2공정이며, T2공정은 Cu농도 40~60g/L, H2SO4농도 80~120g/L, 온도 30~50℃의 전해액에서 전류를 5~15ASD로 인가하여 처리한다. T4~T6공정은 Ni, Zn, Cr 등과 같은 무기물로 표면을 처리함으로써 동박 표면의 내화학성/내산성/내산화성 등의 물성을 향상시켜 주는 공정이다. In the T1 step of Table 2, a current is applied at 25 to 30 ASD in an electrolytic solution having a Cu concentration of 10 to 20 g / L, a H 2 SO 4 concentration of 80 to 120 g / L and a temperature of 20 to 30 ° C in a burning plating bath, To form micro fine copper particles on the surface of the substrate. At this time, the sealing process for capturing the ultrafine copper particles is a T2 process. In the T2 process, an electrolytic solution having a Cu concentration of 40 to 60 g / L, a H 2 SO 4 concentration of 80 to 120 g / The current is applied at 5 to 15 ASD. The T4 to T6 process is a process which improves the physical properties such as chemical resistance / acid resistance / oxidation resistance of the copper foil surface by treating the surface with an inorganic substance such as Ni, Zn, Cr and the like.

T7공정은 실란 커플링제 처리로 전해동박의 화학적 결합력을 향상시키는 공정이다. 이때 바람직한 실란 커플링제로서는 4차 아미노 계열의 에톡시 또는 메톡시 실란이 적당하며, 농도는 0.1~5g/L로 0.1~10ppm 두께의 피막을 형성시키는 것이 적당하다. 실란 커플링제 처리 후 130~250℃에서 2~6초간 건조공정을 실시함으로써 실시예 및 비교예에 따른 표면처리 전해동박의 샘플을 얻을 수 있다.The T7 process is a process for improving the chemical bonding force of an electrolytic copper foil by a silane coupling agent treatment. As the preferable silane coupling agent, ethoxy or methoxy silane of a quaternary amino type is suitable, and it is suitable to form a film having a thickness of 0.1 to 5 g / L and a thickness of 0.1 to 10 ppm. After the treatment with the silane coupling agent, the drying process is performed at 130 to 250 ° C for 2 to 6 seconds to obtain a sample of the surface treated electrolytic copper foil according to the examples and the comparative examples.

상기 [표 1]의 제박공정을 통해 제조된 실시예 및 비교예의 미처리 전해동박 샘플에 대해서는 단위중량, 인장강도, 내굴곡성과 같은 물리적 특성을 측정하고, 상기 [표 2]의 표면처리공정을 거쳐 제조된 실시예 및 비교예의 표면처리 전해동박 샘플에 대해서는 박리강도와 유전율을 각각 측정하고, 이를 [표 3]및 [표 4]에 기재하였다. Physical properties such as unit weight, tensile strength and flexural resistance were measured for the untreated electrolytic copper foil samples prepared in Examples and Comparative Examples prepared in the lumbering process in Table 1, The peel strength and the dielectric constant of the surface treated electrolytic copper foil samples of the examples and comparative examples were measured and are shown in [Table 3] and [Table 4].

전해동박의 성능 평가Performance evaluation of electrolytic copper foil

1) 내굴곡성 측정1) Measurement of Flexibility

JIS-P8115에 준하여 내굴곡성을 측정하였다. Flexural resistance was measured according to JIS-P8115.

2) 박리강도 측정 2) Peel strength measurement

실시예 및 비교예의 표면처리 전해동박 샘플의 매트면측에 폴리이미드 필름을 부착한 후 박리 강도를 측정하였다. 박리 강도의 측정은 JIS C6471에 준하여 180도 방향으로 벗겨내어 수행하였다.A polyimide film was attached to the mat surface side of the surface treated electrolytic copper foil samples of Examples and Comparative Examples and then the peel strength was measured. The peel strength was measured in accordance with JIS C6471 in a 180 degree direction.

3) 유전율 측정 3) Measurement of dielectric constant

IPC-TM-650에 준하여 유전율을 측정하였다. 즉, 도 7과 같은 마이크로 전송선로를 만들어 신호 전송상태를 확인한다. Ref 대비 마이크로 스트립 라인의 일정 주파수 주입시 손실되는 양을 계산한다. 유전율이 낮을수록 전송 손실 없이 신호가 잘 전달되고 있음을 나타낸다. 표면처리 전해동박의 유전율은 4% 이하인 것이 바람직하며, 4%를 초과하게 되면 사용상에 문제를 유발할 수 있다. The dielectric constant was measured according to IPC-TM-650. That is, a micro transmission line as shown in FIG. 7 is formed to check a signal transmission state. Calculate the amount of loss that would be lost when injecting a constant frequency of Ref vs. microstrip line. The lower the dielectric constant, the better the signal is transmitted without loss of transmission. The dielectric constant of the surface treated electrolytic copper foil is preferably 4% or less, and if it exceeds 4%, it may cause problems in use.

단위 중량Unit weight
[g/㎡][g / ㎡]
인장강도The tensile strength
[[ kgfkgf /㎟]/ Mm &lt; 2 &
내굴곡성 횟수Number of Flexibilities
[MIT 횟수][Number of MITs]
실시예Example 1 One 9494 3333 731731 실시예Example 2 2 9696 3333 721721 실시예Example 3 3 9494 3838 772772 실시예Example 4 4 9393 3939 731731 실시예Example 5 5 9494 3737 773773 실시예Example 6 6 9494 3434 691691 실시예Example 7 7 9595 3535 688688 비교예Comparative Example 1 One 9393 4040 798798 비교예Comparative Example 2 2 9494 4444 846846 비교예Comparative Example 3 3 9696 2626 583583 비교예Comparative Example 4 4 9595 2424 612612

<미처리 전해동박의 물리적 특성 비교><Comparison of physical properties of untreated electrolytic copper foil>

상기 [표 3]을 참조하면, 실시예 1 내지 실시예 7의 미처리 전해동박은 단위중량, 인장강도(30kgf/㎟ 이상), 내굴곡성(MIT 횟수 : 680회 이상)과 같이 프린트 배선판용 전해동박이 갖추어야할 물리적 특성이 우수한 반면에, 비교예 3 및 비교예 4의 미처리 전해동박은 인장강도가 30kgf/㎟을 하회할 뿐만 아니라 내굴곡성을 나타내는 MIT 횟수가 650회 이하로 그 물성이 실시예에 비해 현저히 떨어지고 있다. Referring to Table 3, the untreated electrolytic copper foils of Examples 1 to 7 should have an electrolytic copper foil for a printed wiring board such as a unit weight, a tensile strength (30 kgf / mm 2 or more) and a bending resistance (MIT frequency: 680 times or more) Whereas the untreated electrolytic copper foils of Comparative Examples 3 and 4 had a tensile strength of less than 30 kgf / mm 2, and the number of MITs exhibiting flexural resistance was 650 or less, which was significantly lower than that of Examples have.

aa
[㎛][Mu m]
bb
[㎛][Mu m]
YY
[a/b][a / b]
단위중량Unit weight
[g/㎡][g / ㎡]
RzRz
[㎛][Mu m]
박리강도Peel strength
[[ KgfKgf /mm]/ mm]
유전율permittivity
[%][%]
실시예Example 1 One 7.87.8 11.311.3 0.690.69 104104 4.64.6 1.381.38 3.803.80 실시예Example 2 2 6.36.3 12.712.7 0.500.50 105105 4.44.4 1.291.29 3.613.61 실시예Example 3 3 4.54.5 13.513.5 0.330.33 104104 3.33.3 1.211.21 3.523.52 실시예Example 4 4 4.34.3 10.410.4 0.410.41 107107 3.13.1 1.011.01 3.603.60 실시예Example 5 5 2.12.1 13.813.8 0.150.15 108108 2.82.8 1.091.09 3.083.08 실시예Example 6 6 6.46.4 11.511.5 0.560.56 106106 4.14.1 1.321.32 3.673.67 실시예Example 7 7 5.55.5 12.912.9 0.430.43 107107 3.03.0 1.061.06 3.633.63 비교예Comparative Example 1 One 1.91.9 1414 0.140.14 108108 2.52.5 0.770.77 2.872.87 비교예Comparative Example 2 2 1.31.3 10.310.3 0.130.13 105105 2.22.2 0.720.72 2.562.56 비교예Comparative Example 3 3 10.610.6 7.77.7 1.381.38 108108 8.28.2 1.571.57 4.34.3 비교예Comparative Example 4 4 10.310.3 9.09.0 1.141.14 108108 7.57.5 1.751.75 4.154.15

<표면처리 전해동박의 물리적, 전기적 특성 비교><Comparison of physical and electrical characteristics of surface treated electrolytic copper foil>

(a : 표면돌기부(23)의 두께, b : 기재(22)의 두께, Y(a/b) : 돌기부 두께비, Rz : 표면처리 전해동박의 매트면 10점 평균 표면조도)b: the thickness of the base material 22; Y (a / b): thickness ratio of protrusions; Rz: average surface roughness of the mat surface 10 points of the surface treatment electrolytic copper foil)

상기 [표 4]를 참조하면, 실시예 1 내지 실시예 7의 표면처리 전해동박은 표면돌기부(23)의 두께 a가 2~8㎛(보다 바람직하게는, 2.1~7.8㎛)이고, 기재(22)의 두께 b가 10~14㎛(보다 바람직하게는, 10.4~13.8㎛)이며, 돌기부 두께비(Y=a/b)는 0.15이상, 0.69 이하의 수치범위를 갖게 된다. 이로 인해, 실시예 1 내지 실시예 7의 표면처리 전해동박은 표면조도 Rz가 1.8㎛~4.6㎛로 비교적 낮고, 우수한 박리강도(1.0Kgf/mm 이상)와 유전율(4% 이하)을 나타낸다. The surface treated electrolytic copper foil of each of Examples 1 to 7 has a thickness a of 2 to 8 탆 (more preferably, 2.1 to 7.8 탆) of the surface protruding portion 23, (More preferably, 10.4 to 13.8 占 퐉), and the thickness ratio (Y = a / b) of the projection portions has a numerical value range of 0.15 or more and 0.69 or less. As a result, the surface treated electrolytic copper foils of Examples 1 to 7 exhibit relatively low surface roughness Rz of 1.8 to 4.6 탆, excellent peel strength (1.0 Kgf / mm or more) and dielectric constant (4% or less).

이에 반해, 비교예 1 및 비교예 2의 표면처리 전해동박은 돌기부 두께비(Y=a/b)가 0.15를 하회함으로써 박리강도가 1.00Kgf/mm 이하로 현저히 떨어짐을 알 수 있다. 또한, 비교예 3 및 비교예 4의 표면처리 전해동박은 돌기부 두께비(Y=a/b)가 0.69를 초과함으로써 유전율이 4% 이상이 되어 신호의 전송 손실이 증가한다. On the other hand, the surface treated electrolytic copper foils of Comparative Example 1 and Comparative Example 2 exhibited significantly lowered peel strength of 1.00 Kgf / mm or less because the projection thickness ratio (Y = a / b) was less than 0.15. In the surface treated electrolytic copper foil of Comparative Example 3 and Comparative Example 4, the dielectric constant is 4% or more because the protrusion thickness ratio (Y = a / b) exceeds 0.69, and the signal transmission loss increases.

이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not to be limited to the details thereof and that various changes and modifications will be apparent to those skilled in the art. And various modifications and variations are possible within the scope of the appended claims.

21 : 표면처리 전해동박
22 : 기재
23 : 표면돌기부
24 : 표면돌기층
25 : 표면처리층
21: surface treatment electrolytic copper foil
22: substrate
23:
24: surface projection layer
25: Surface treatment layer

Claims (14)

제박 공정과 표면처리 공정에 의해 제조되는 표면처리 전해동박으로서,
상기 표면처리 전해동박은 기재와 이 기재의 일 표면상에 형성되는 표면돌기부로 이루어지고,
상기 기재의 두께(b)와, 상기 표면돌기부의 두께(a)에 대한 상대적 비율을 나타내는 돌기부 두께비(Y=a/b)가 0.15이상, 0.69 이하인 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박.
As a surface treated electrolytic copper foil produced by the lapping and surface treatment processes,
Wherein the surface-treated electrolytic copper foil comprises a base material and a surface projection part formed on one surface of the base material,
Wherein a ratio (Y = a / b) of a protrusion portion (Y = a / b) indicating a relative ratio of the thickness (b) of the substrate to the thickness (a) of the surface projection portion is 0.15 or more and 0.69 or less.
제 1 항에 있어서,
상기 표면돌기부는 제박 공정에 의해 상기 기재의 일 표면상에 형성되는 표면돌기층과 표면처리 공정에 의해 상기 표면돌기층 위에 형성되는 표면처리층을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박.
The method according to claim 1,
Wherein the surface projection portion comprises a surface projection layer formed on one surface of the substrate by a lapping process and a surface treatment layer formed on the surface projection layer by a surface treatment process.
제 2 항에 있어서,
상기 표면돌기부의 두께(a)가 2~8㎛인 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박.
3. The method of claim 2,
Wherein the surface projection portion has a thickness (a) of 2 to 8 占 퐉.
제 3 항에 있어서,
상기 표면돌기부의 두께(a)가 2.1~7.8㎛인 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박.
The method of claim 3,
Wherein the surface projection portion has a thickness (a) of 2.1 to 7.8 占 퐉.
제 2 항에 있어서,
상기 기재의 두께(b)가 10~14㎛인 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박.
3. The method of claim 2,
And the thickness (b) of the substrate is 10 to 14 占 퐉.
제 5 항에 있어서,
상기 기재의 두께(b)가 10.4~13.8㎛인 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박.
6. The method of claim 5,
Characterized in that the thickness (b) of the substrate is 10.4 to 13.8 占 퐉.
제 2 항에 있어서,
상기 기재의 일 표면이 매트면인 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박.
3. The method of claim 2,
Wherein one surface of the base material is a matte surface.
제 7 항에 있어서,
상기 매트면의 표면조도가 10점 평균 표면조도 Rz로 1.8~4.6㎛인 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박.
8. The method of claim 7,
Wherein the surface roughness of the mat surface is 1.8 to 4.6 占 퐉 in terms of 10-point average surface roughness Rz.
청구항 1 내지 청구항 8중 어느 한 항에 기재된 표면처리 전해동박의 표면처리층에 폴리이미드 수지를 부착한 것을 특징으로 하는 동장적층판.A copper clad laminate characterized by having a polyimide resin adhered to a surface treatment layer of a surface treated electrolytic copper foil according to any one of claims 1 to 8. 청구항 9의 동장적층판에 회로 패턴이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프린트 배선판. The printed wiring board according to claim 9, wherein a circuit pattern is formed on the copper-clad laminate. (a) 구리 농도가 60g/L 내지 120g/L 이고, 황산 농도가 50g/L 내지 120g/L 인 황산동 수용액에 첨가제로서 음이온 첨가제 6 ~ 18ppm, 레벨러 0.1 ~ 4.5ppm을 첨가하여 TOC 농도가 3~18ppm인 전해액을 제조하고, 이 전해액의 전해 온도를 40℃ 내지 60℃로 하고, 전류밀도를 50ASD 내지 80ASD로 하여 제박기의 드럼 표면에 구리(Cu)를 전착하여 기재와 표면돌기층으로 이루어지는 미처리 동박을 제조하는 단계; 및
(b) 상기 미처리 동박의 표면돌기층에 조화처리공정에 의한 표면처리층을 형성하여 표면처리 전해동박을 제조하는 단계를 포함하고;
상기 기재의 두께(b)와, 상기 표면돌기층과 표면처리층으로 이루어지는 표면돌기부의 두께(a)에 대한 상대적 비율을 나타내는 돌기부 두께비(Y=a/b)가 0.15이상, 0.69이하인 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박의 제조방법.
(a) adding 6 to 18 ppm of an anionic additive and 0.1 to 4.5 ppm of a leveler as an additive to an aqueous solution of copper sulfate having a copper concentration of 60 g / L to 120 g / L and a sulfuric acid concentration of 50 g / L to 120 g / (Cu) is electrodeposited on the surface of the drum of the pre-charging step at an electrolytic temperature of 40 to 60 DEG C and a current density of 50 ASD to 80 ASD to form an untreated Producing a copper foil; And
(b) forming a surface treatment layer on the surface projection layer of the untreated copper foil by a roughening treatment step to produce a surface treatment electrolytic copper foil;
(Y = a / b), which represents the relative ratio of the thickness (b) of the substrate to the thickness (a) of the surface projection part made of the surface projection layer and the surface treatment layer, is 0.15 or more and 0.69 or less Wherein the surface treated electrolytic copper foil is produced by the method.
제 11 항에 있어서,
상기 음이온 첨가제는 Cl, F, Br, I, PO4중 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박의 제조방법.
12. The method of claim 11,
Wherein the anionic additive comprises at least one of Cl, F, Br, I, and PO4.
제 11 항에 있어서,
상기 레벨러는 젤라틴, 콜라겐, PEG(Polyethylene glycol)중 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박의 제조방법.
12. The method of claim 11,
Wherein the leveler comprises at least one of gelatin, collagen, and polyethylene glycol (PEG).
구리 농도가 60g/L 내지 120g/L 이고, 황산 농도가 50g/L 내지 120g/L 인 황산동 수용액에 첨가제로서 음이온 첨가제 6 ~ 18ppm, 레벨러 0.1 ~ 4.5ppm을 첨가하여 TOC 농도가 3~18ppm인 전해액을 제조하고, 이 전해액의 전해 온도를 40℃ 내지 60℃로 하고, 전류밀도를 50ASD 내지 80ASD로 하여 제박기의 드럼 표면에 구리(Cu)를 전착하여 기재와 표면돌기층으로 이루어지는 미처리 동박을 제조한 후, 이 미처리 동박의 표면돌기층에 조화처리공정에 의한 표면처리층을 형성한 표면처리 전해동박에 있어서,
상기 기재의 두께(b)와, 상기 표면돌기층과 표면처리층으로 이루어지는 표면돌기부의 두께(a)에 대한 상대적 비율을 나타내는 돌기부 두께비(Y=a/b)가 0.15이상, 0.69이하인 것을 특징으로 하는 표면처리 전해동박.
An electrolyte solution having a TOC concentration of 3 to 18 ppm by adding an anionic additive of 6 to 18 ppm and a leveler of 0.1 to 4.5 ppm as an additive to an aqueous solution of copper sulfate having a copper concentration of 60 g / L to 120 g / L and a sulfuric acid concentration of 50 g / L to 120 g / , Copper (Cu) is electrodeposited on the surface of the drum of the former stage with the electrolytic solution having an electrolytic temperature of 40 to 60 캜 and a current density of 50 ASD to 80 ASD to produce an untreated copper foil comprising a substrate and a surface projection layer In the surface treated electrolytic copper foil on which the surface treatment layer is formed by the roughening treatment step on the surface projection layer of the untreated copper foil,
(Y = a / b), which represents the relative ratio of the thickness (b) of the substrate to the thickness (a) of the surface projection part made of the surface projection layer and the surface treatment layer, is 0.15 or more and 0.69 or less Surface treatment of electrolytic copper foil.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110042438A (en) * 2019-04-24 2019-07-23 福建清景铜箔有限公司 The preparation method of electrolytic copper foil
KR20190131231A (en) * 2018-05-16 2019-11-26 일진머티리얼즈 주식회사 Electrolytic Copper Foil and secondary battery using thereof
KR20210092645A (en) * 2020-01-15 2021-07-26 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 Deep trench isolation structure and method of making the same

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200500199A (en) 2003-02-12 2005-01-01 Furukawa Circuit Foil Copper foil for fine patterned printed circuits and method of production of same
TW200535259A (en) 2004-02-06 2005-11-01 Furukawa Circuit Foil Treated copper foil and circuit board
KR101126831B1 (en) * 2009-09-02 2012-03-23 엘에스엠트론 주식회사 A Copper Foil And Method For Producing The Same
JP2015028197A (en) 2013-07-30 2015-02-12 株式会社Shカッパープロダクツ Roughened copper foil, copper-clad laminate sheet and printed wiring board
JP5885791B2 (en) * 2013-08-20 2016-03-15 Jx金属株式会社 Surface-treated copper foil and laminate using the same, copper foil with carrier, copper foil, printed wiring board, electronic device, method for manufacturing electronic device, and method for manufacturing printed wiring board
JP5710737B1 (en) * 2013-11-29 2015-04-30 Jx日鉱日石金属株式会社 Surface-treated copper foil, laminated board, printed wiring board, printed circuit board, and electronic equipment

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190131231A (en) * 2018-05-16 2019-11-26 일진머티리얼즈 주식회사 Electrolytic Copper Foil and secondary battery using thereof
US11362336B2 (en) 2018-05-16 2022-06-14 Iljin Materials Co., Ltd. Electrolytic copper foil and secondary battery using the same
CN110042438A (en) * 2019-04-24 2019-07-23 福建清景铜箔有限公司 The preparation method of electrolytic copper foil
CN110042438B (en) * 2019-04-24 2021-02-05 福建清景铜箔有限公司 Method for preparing electrolytic copper foil
KR20210092645A (en) * 2020-01-15 2021-07-26 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 Deep trench isolation structure and method of making the same
US11450574B2 (en) 2020-01-15 2022-09-20 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited Deep trench isolation structure and method of making the same

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