KR20180007539A - Path Length Multiplier of light for Three dimensional surface measuring - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an optical path changing apparatus for 3D surface measurement. The optical path changing apparatus includes a ring-shaped path changing reflection part or ring-shaped reflection part for changing the path of light to a rotating body rotated by a motor. So, it is possible to easily secure continuous data by the rotation of the rotating body, to improve the accuracy of light collected, to control the distance and the refractive index of light reflected only by a rotational motion, to change the distance and the refractive index of the light constantly when the velocity of the rotational motion is constant, to precisely control the distance or the refractive index of the light, and to improve convenience for align setting because it can be used only if a reference beam is parallel to a rotation axis. The optical path changing apparatus includes a rotary motor; and a path length changing rotating body.

Description

3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치{Path Length Multiplier of light for Three dimensional surface measuring}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a three-

본 발명은 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치에 관한 것으로 더 상세하게는 빛의 경로를 회전체로 변경하여 연속적인 데이터를 용이하게 확보할 수 있도록 한 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical path length changing apparatus for three-dimensional surface measurement, and more particularly, to an optical path length changing apparatus for a three-dimensional surface measuring method for changing a light path to a rotating body, .

일반적으로, 측정 대상체의 3차원 형상을 측정하는 3차원 표면 측정장치는 간섭계적인 방법을 이용하여 측정대상체의 표면에 대한 간섭계 패턴을 생성하고 분석함으로써 물체의 입체 형상을 얻을 수 있다.Generally, a three-dimensional surface measuring apparatus for measuring a three-dimensional shape of a measurement object can obtain a three-dimensional shape of an object by generating and analyzing an interferometer pattern on the surface of the measurement object using an interferometric method.

도 1은 간섭계적인 방법을 이용한 3차원 표면 측정장치를 도시하고 있다.1 shows a three-dimensional surface measuring apparatus using an interferometric method.

도 1을 참고하면 간섭계적인 방법을 이용한 3차원 표면 측정장치는 빛을 방출하는 광원(1), 방출된 광원을 분할하는 광분할기(2), 광분할기(2)에서 분할된 광을 반사하며 광경로변경장치에 의해 이동되는 경로변경 반사부(3), 검출기(4)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a three-dimensional surface measuring apparatus using an interferometric method includes a light source 1 emitting light, a light splitter 2 dividing the emitted light source, a light splitter 2, And a detector 4, which is moved by the changing device to the path changing reflector 3 and the detector 4.

즉, 광분할기(2)는 광원(1)에서 방출된 빛을 분할하여 측정대상체(5)와 경로변경 반사부(3)로 조사되게 하고, 측정대상체(5)에 조사된 빛과 경로변경 반사부(3)로 조사된 빛은 측정대상체(5)와 경로변경 반사부(3)에서 각각 반사되어 광분할기(2)를 통해 검출기(4)로 수광되게 된다. That is, the light splitter 2 divides the light emitted from the light source 1 and causes it to be irradiated to the measurement target object 5 and the path changing reflecting portion 3, The light irradiated to the unit 3 is reflected by the measurement object 5 and the path change reflecting unit 3 and is received by the detector 4 through the light splitter 2.

상기 경로변경 반사부(3)는 광경로변경장치에 의해 이동되어 광분할기(2)와의 사이 거리가 조절됨으로써 측정대상체(5)의 표면에 대한 깊이 위치를 감지할 수 있도록 한다.The path changing reflecting part 3 is moved by the optical path changing device so that the distance between the path changing reflecting part 3 and the optical splitter 2 is adjusted, thereby enabling the depth position of the surface of the measuring object 5 to be detected.

상기 경로변경 반사부(3)를 이동시켜 광분할기(2)와의 사이 거리를 조절하는 광경로변경장치는 도 2에서 도시된 바와 같이 모터에 의해 회전되는 볼스크류에 의해 경로변경 반사부를 직선왕복이동시키는 LM가이드(6)를 이용하고 있다. The optical path changing device for moving the path changing reflecting portion 3 and adjusting the distance between the path changing reflecting portion 3 and the optical splitter 2 is a device for changing the path changing reflecting portion by a ball screw rotated by a motor, The LM guide 6 is used.

볼스크류구조의 LM가이드(6)는 모터의 회전방향을 계속해서 바꾸면서 경로변경 반사부의 위치를 변경하는 것으로 모터의 회전방향을 빠르게 반복적으로 변경하도록 사용되기 때문에 모터의 수명이 짧아 모터를 자주 교체해야하는 문제점이 있었다.Since the LM guide 6 of the ballscrew structure is used to change the rotation direction of the motor by changing the position of the path change reflecting portion while continuously changing the rotation direction of the motor, the life of the motor is shortened, There was a problem.

또한, 볼스크류구조의 LM가이드(6)는 모터가 정지된 후 다시 작동하면서 가속도가발생되고, 작동 중 정지하는 중에 감속이 발생하여 경로변경 반사부의 위치의 정확한 위치 감지가 쉽지 않고, 경로변경 반사부가 이동하는 중에 광선의 정렬(Align)을 위해 볼스크류의 평행도와 반사부의 위치 조절이 매우 중요한 문제가 있다. In addition, the LM guide 6 of the ball screw structure is accelerated while the motor is stopped and operated again, deceleration occurs during stoppage of the operation, so that it is not easy to accurately detect the position of the path change reflecting portion, There is a problem that the parallelism of the ball screw and the position of the reflection part are very important for the alignment of the light beam during the additional movement.

도 3은 종래 광경로변경장치의 다른 예를 도시한 도면으로, 도 3을 참고하면 광경로변경장치는 캠방식의 매커니즘을 이용하여 모터가 한방향으로 회전하여도 경로변경 반사부는 직선왕복이동하는 캠구조의 LM가이드(7)를 이용할 수도 있다.3 is a view showing another example of the conventional optical path changing apparatus. Referring to FIG. 3, in the optical path changing apparatus, when the motor rotates in one direction using a mechanism of a cam system, Structure LM guide 7 may be used.

그러나, 캠구조의 LM가이드(7)는 작동 중 진동이 많이 발생하는 문제점이 있고, 캠 구조 상 직선 왕복운동은 감가속 구간이 존재하여 경로변경 반사부의 위치의 정확한 위치 감지가 쉽지 않은 문제점이 있었다. However, there is a problem in that the LM guide 7 of the cam structure generates a lot of vibration during operation, and the linear reciprocating motion on the cam structure has a problem in that it is not easy to accurately detect the position of the path change reflecting portion .

본 발명의 목적은 빛의 경로를 회전체로 변경하여 연속적인 데이터를 용이하게 확보할 수 있고 빛의 거리를 정확하게 조절할 수 있는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치를 제공하는 데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an optical path length changing device for three-dimensional surface measurement which can easily maintain continuous data by changing a light path to a rotating body and accurately adjust the distance of light.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치는, 광원에서 방출된 빛의 경로 길이를 변경하여 측정대상체의 표면 깊이를 측정하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치로써, 회전모터, 상기 회전모터에 의해 회전되며 빛의 경로 길이를 변경시키는 경로길이 변경회전체를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided an optical path length changing apparatus for three-dimensional surface measurement according to the present invention, comprising: a light path length measuring unit for measuring a surface depth of a measurement object by changing a path length of light emitted from a light source; The length changing device includes a rotating motor, and a path length changing rotator that is rotated by the rotating motor and changes a path length of the light.

본 발명에서 상기 경로길이 변경회전체는 빛이 지나가는 경로에 빛을 반사하는 경로변경 반사부가 구비되는 반사용 회전체이고, 상기 경로변경 반사부는 반사면이 원주방향으로 광분할기와 서로 다른 거리를 가지도록 형성될 수 있다. In the present invention, the path length changing rotary body is a semi-rotating body provided with a path change reflecting part for reflecting light in a path through which light passes, and the path changing reflecting part has a different distance from the light splitting part in the circumferential direction .

본 발명에서 상기 반사용 회전체는 상기 경로변경 반사부의 반사면을 통해 반사되는 참조 빔과 나란하게 배치되는 회전축을 중심으로 회전될 수 있다.In the present invention, the anti-rotation body may be rotated around a rotation axis disposed in parallel with a reference beam reflected through the reflection surface of the path change reflective portion.

본 발명에서 상기 경로변경 반사부의 반사면이 계단형으로 형성될 수 있다.In the present invention, the reflecting surface of the path change reflecting portion may be formed in a stepped shape.

본 발명에서 상기 경로변경 반사부는 반사용 회전체의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 다수의 층을 가지도록 형성되고, 각 층의 표면에 반사면이 구비되어 계단형상을 가져 기준선에서 첫번째 층에서 상기 광분할기와 가장 먼 거리를 가지게 되고, 기준선으로부터 360도 반경에서 마지막 층에서 상기 광분할기와 가장 가까운 거리를 가지게 될 수 있다. In the present invention, the path change reflector is formed to have a plurality of layers having a height of 360 degrees with respect to a reference line passing through the center of rotation of the anti-rotation body, So as to have the farthest distance from the optical splitter in the first layer at the baseline and the closest distance from the optical splitter at the last layer in the 360 degree radius from the baseline.

본 발명에서 상기 경로변경 반사부의 반사면이 경사면으로 형성될 수 있다. In the present invention, the reflecting surface of the path changing reflecting portion may be formed as an inclined surface.

본 발명에서 상기 경로변경 반사부는 반사용 회전체의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 경사면으로 형성되어 기준선에서 상기 광분할기와 가장 먼 거리를 가지게 되고, 기준선으로부터 360도 반경에서 상기 기준선과 만나는 부분에서 가장 높은 높이를 가져 상기 광분할기와 가장 가까운 거리를 가지게 될 수 있다.In the present invention, the path change reflecting portion is formed as an inclined surface having a height of 360 degrees with respect to a reference line passing through the center of rotation of the semi-rotating body so as to have a maximum distance from the optical splitter at the reference line, And has the highest height at a portion where the reference line intersects the radius, so that it can have the closest distance to the optical splitter.

본 발명에서 상기 경로길이 변경회전체는 빛이 지나가는 경로에 위치되어 빛을 굴절시켜 투과하는 굴절부가 구비된 굴절용 회전체를 포함하며, 상기 굴절부는 원주방향으로 두께가 다른 형상을 가지도록 형성되어 수광부로 전달되는 빛의 전달 속도 차이로 인한 광 경로 길이 변경 효과를 발생시킬 수 있다. In the present invention, the path length changing rotary body includes a refracting rotational body having a refracting portion positioned in a path through which light passes and refracting light, and the refracting portion is formed to have a different thickness in the circumferential direction The effect of changing the optical path length due to the difference in propagation speed of light transmitted to the light receiving unit can be generated.

본 발명에서 상기 굴절용 회전체의 회전축은 상기 광원을 통해 방출되는 빛과 나란하게 배치될 수 있다.In the present invention, the rotation axis of the refractive rotating body may be arranged in parallel to the light emitted through the light source.

본 발명에서 상기 굴절부는 점차 두께가 두꺼워지는 계단형으로 형성될 수 있다.In the present invention, the refracting portion may be formed in a stepped shape in which the thickness gradually increases.

본 발명에서 상기 굴절부는 굴절용 회전체의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 다수의 층을 가지는 계단형상을 가져 기준선에서 첫번째 층에서 투과되는 거리가 가장 짧아 빛이 조사되는 부분과 상기 수광부 사이에 가장 짧은 거리를 가지게 하고, 기준선으로부터 360도 반경의 마지막 층에서 투과되는 거리가 가장 길어 빛이 조사되는 부분과 상기 수광부 사이에 가장 긴 거리를 가지도록 할 수 있다.In the present invention, the refracting portion has a stepped shape having a plurality of layers whose height gradually increases with a radius of 360 degrees based on a reference line passing through the rotation center of the refractive rotating body, so that the distance through the first layer at the reference line is the shortest, And the longest distance from the base layer to the last layer having a radius of 360 degrees is the longest so that the longest distance between the light-irradiated portion and the portion irradiated with the light can be obtained.

본 발명에서 상기 굴절부가 경사면으로 형성될 수 있다.In the present invention, the refracting portion may be formed as an inclined surface.

본 발명에서 상기 굴절부는 굴절용 회전체의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 경사면을 가지도록 형성되어 투과되는 길이를 점차 증대시킴으로써 두께가 가장 얇은 기준선에서 빛이 조사되는 부분과 상기 수광부 사이에 거리를 가장 짧은 거리를 가지게 하고, 기준선으로부터 360도 반경에서 상기 기준선과 만나는 부분에서 가장 높은 높이를 가져 빛이 조사되는 부분과 상기 수광부 사이에 거리를 가장 먼 거리를 가지게 할 수 있다.In the present invention, the refracting portion is formed so as to have an inclined surface whose height gradually increases with a radius of 360 degrees with reference to a reference line passing through the center of rotation of the refracting rotary body, and the length of the transmitted light is gradually increased to irradiate light at the thinnest baseline And a distance between the light receiving portion and the portion irradiated with the light is set to be the highest distance in the portion where the light emitting portion is in contact with the reference line at a radius of 360 degrees from the reference line .

본 발명은 빛의 경로를 회전체로 변경하며 회전체가 경사면을 가지도록 형성되어 연속적인 데이터를 용이하게 확보할 수 있는 효과가 있다.The present invention has an effect that the light path is changed to a rotating body and the rotating body is formed to have an inclined surface so that continuous data can be easily secured.

본 발명은 빛의 경로를 회전체로 변경하며 평면의 반사면 또는 굴절면이 계단형으로 형성되어 수집되는 빛의 정확도를 향상시키는 효과가 있다. The present invention has an effect of improving the accuracy of collected light by changing the light path to a rotating body and forming a stepwise reflection surface or a refracting surface.

본 발명은 회전운동만으로 반사되는 빛의 거리 또는 빛의 굴절율을 조절하여 회전운동이 정속일 경우 빛의 거리와 굴절율도 일정하게 변경하게 되어 빛의 거리 또는 빛의 굴절율을 정확하게 조절할 수 있는 효과가 있다.The present invention adjusts the distance of light or the refractive index of light reflected only by the rotational motion to change the distance and the refractive index of the light constantly when the rotational motion is constant so that the distance of light or the refractive index of light can be accurately controlled .

또한, 본 발명은 참조 빔(reference beam)과 회전축간의 평행도만 맞으면 사용이 가능해 얼라인 세팅 시 편의성을 향상시키는 효과가 있다.
Further, since the present invention can be used only when the parallelism between the reference beam and the rotation axis is matched, convenience for alignment is improved.

도 1은 일반적인 간섭계적인 방법을 이용한 3차원 표면 측정장치를 도시한 개략도.
도 2는 종래 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치의 일 예를 도시한 사시도.
도 3은 종래 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치의 다른 예를 도시한 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치에서 반사형의 일 실시 예를 도시한 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치에서 반사형의 다른 실시 예를 도시한 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치에서 투과형의 일 실시예를 도시한 사시도.
도 7은 본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치에서 투과형의 다른 실시예를 도시한 사시도.1 is a schematic view showing a three-dimensional surface measuring apparatus using a general interferometric method;
2 is a perspective view showing an example of a conventional optical path length changing apparatus for three-dimensional surface measurement.
3 is a perspective view showing another example of a conventional optical path length changing apparatus for three-dimensional surface measurement.
4 is a perspective view showing an embodiment of a reflection type in an optical path length changing apparatus for three-dimensional surface measurement according to the present invention.
5 is a perspective view showing another embodiment of the reflection type in the optical path length changing apparatus for three-dimensional surface measurement according to the present invention.
6 is a perspective view showing an embodiment of a transmission type in an optical path length changing apparatus for three-dimensional surface measurement according to the present invention.
7 is a perspective view showing another embodiment of the transmission type in the optical path length changing apparatus for three-dimensional surface measurement according to the present invention.

본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 상세한 설명에 앞서, 이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니된다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to the detailed description of the present invention, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

본 발명은 광원에서 방출된 빛의 경로 길이를 변경하여 측정대상체의 표면 깊이를 측정하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치로써, 회전모터(10)에 의해 회전되며 빛의 경로 길이를 변경시키는 경로길이 변경회전체를 포함한다. The present invention relates to an optical path length changing apparatus for three-dimensional surface measurement for measuring the surface depth of a measurement object by changing a path length of light emitted from a light source, Path length change rotation.

경로길이 변경회전체는 빛이 지나가는 경로에 빛을 반사하는 경로변경 반사부(3)가 구비되는 반사용 회전체(20)이고, 상기 경로변경 반사부(3)는 반사면이 원주방향으로 광분할기(2)와 서로 다른 거리를 가지도록 형성될 수 있고, 이에 대한 실시 예는 도 4 및 도 5를 참고하여 하기에서 상세하게 설명한다.
The path length changing rotation body is a turning rotation body 20 provided with a path changing reflecting portion 3 for reflecting light on a path through which light passes, and the path changing reflecting portion 3 has a reflecting surface, May be formed to have different distances from the divider 2, and an embodiment thereof will be described in detail below with reference to Figs. 4 and 5.

본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치는, 빛을 방출하는 광원(1), 광원에서 방출된 빛을 분할하는 광분할기(2), 광분할기(2)에서 분할된 광을 반사하는 경로변경 반사부(3), 측정대상체(5)에서 반사된 빛과 상기 경로변경 반사부(3)에서 반사된 빛을 검출기를 포함하는 3차원 표면 측정에서 상기 경로변경 반사부(3)의 반사면과 상기 광분할기(2) 사이 거리를 조절하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치이다.The optical path length changing apparatus for three-dimensional surface measurement according to the present invention comprises a light source 1 for emitting light, a light splitter 2 for dividing the light emitted from the light source, (3), a path changing reflector (3) for reflecting the light reflected from the object to be measured (5) and a light reflected from the path changing reflector (3) (3) for adjusting the distance between the reflecting surface and the optical splitter (2).

도 1을 참고하면, 광원에서 방출된 빛은 광분할기(2)에서 분할되어 각각 측정대상체(5)와 경로변경 반사부(3)로 조사된다.Referring to FIG. 1, the light emitted from the light source is divided by the light splitter 2, and is irradiated to the measurement target object 5 and the path change reflecting unit 3, respectively.

그리고, 측정대상체(5)로 조사된 빛은 측정대상체(5)에서 반사되어 상기 광분할기(2)를 통과한 후 검출기(4)로 수광된다. 또한 상기 경로변경 반사부(3)로 조사된 빛은 경로변경 반사부(3)에 의해 반사되어 상기 광분할기(2)를 통해 상기 검출기(4)로 향하게 되어 상기 검출기(4)에서 수광된다. The light irradiated to the measurement target object 5 is reflected by the measurement target object 5, passes through the optical splitter 2, and is then received by the detector 4. [ The light directed to the path changing reflecting portion 3 is reflected by the path changing reflecting portion 3 and is directed to the detector 4 through the light splitting portion 2 and is received by the detector 4. [

즉, 광분할기(2)를 통해 분할된 빛이 각각 측정대상체(5)와 경로변경 반사부(3)에 반사되어 검출기(4)로 수광되는 순간의 각각 빛의 총 이동거리가 같다면 빛이 간섭을 일으켜 검출기(4)에서 감지하게 된다That is to say, when the light beams divided by the light splitter 2 are respectively reflected by the measurement target object 5 and the path change reflecting unit 3 and are received by the detector 4, Which causes interference and is detected by the detector 4

그리고, 상기 경로변경 반사부(3)의 반사면과 검출기(4) 사이의 거리가 변경되면 즉, 경로변경 반사부(3)의 반사면이 움직이는 위치에 따라서 측정대상체(5) 표면의 깊이 위치를 감지 할 수 있다.When the distance between the reflecting surface of the path changing reflecting part 3 and the detector 4 is changed, that is, the depth changing position of the surface of the measurement target object 5 in accordance with the moving position of the reflecting surface of the path changing reflecting part 3 Can be detected.

상기 경로변경 반사부(3)에 의해 반사되어 상기 검출기(4)로 수광되는 빛은 참조 빔(Reference Beam)이라고 하며, 측정대상체에 조사된 후 반사되어 검출기(4)로 수광되는 빛은 시료빔(Sample Beam)이라고 할 수 있다. The light reflected by the path changing reflector 3 and received by the detector 4 is referred to as a reference beam. Light reflected by the measurement target and reflected by the detector 4 and then received by the detector 4, (Sample Beam).

상기 경로변경 반사부(3)의 반사면과 검출기(4) 사이의 거리를 변경하여 측정대상체(5)의 표면의 깊이 위치를 감지하는 것은 간섭계적인 방법을 이용한 3차원 표면 측정장치에서 공지의 기술로 더 상세한 설명은 생략함을 밝혀둔다. In order to detect the depth position of the surface of the measurement target object 5 by changing the distance between the reflection surface of the path changing reflector 3 and the detector 4, And a detailed description thereof is omitted.

도 4는 본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치에서 반사형의 일 실시 예를 도시한 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치에서 반사형의 다른 실시 예를 도시한 사시도로써, 도 4 및 도 5는 간섭계적인 방법을 이용한 3차원 표면 측정장치에서 사용되는 반사형 광경로 길이 변경장치에 대한 각각의 실시예를 도시한 도면이다. FIG. 4 is a perspective view showing an embodiment of a reflection type in an optical path length changing apparatus for three-dimensional surface measurement according to the present invention, and FIG. 5 is a perspective view showing an optical path length changing apparatus for three- FIG. 4 and FIG. 5 are views showing respective embodiments of a reflection type optical path length changing apparatus used in a three-dimensional surface measuring apparatus using an interferometric method. FIG.

도 4 및 도 5를 참고하면 본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치는 회전모터(10) 및 상기 회전모터(10)에 의해 회전되며 상기 광분할기와 마주보는 면에 상기 경로변경 반사부(3)가 구비되는 반사용 회전체(20)를 포함한다.4 and 5, the apparatus for changing the optical path length for three-dimensional surface measurement according to the present invention comprises a rotating motor 10 and a rotating motor 10, And a reflection unit (20) having a reflection unit (3).

본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치는 상기 광분할기의 전방 측에 광케이블을 연결할 수 있는 케이블 클램핑부(30)를 더 포함할 수 있다. The apparatus for changing the optical path length for three-dimensional surface measurement according to the present invention may further comprise a cable clamping unit 30 for connecting the optical cable to the front side of the optical splitter.

상기 반사용 회전체(20)는 상기 회전모터(10)의 회전력을 전달받아 회전하며, 본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치는 상기 회전모터(10)의 회전력을 상기 반사용 회전체(20)로 전달하는 회전력 전달부(11)를 더 포함할 수 있다.The rotating mirror 10 is rotated by receiving the rotating force of the rotating motor 10, and the apparatus for changing the optical path length for three-dimensional surface measurement according to the present invention rotates the rotational force of the rotating motor 10 And a rotational force transmitting portion (11) for transmitting the rotational force to the rotating body (20).

상기 회전력 전달부(11)는 벨트 구조로 회전모터(10)의 회전력을 상기 반사용 회전체(20)로 전달하는 것을 일 예로 한다.The rotational force transmitting portion 11 transmits the rotational force of the rotational motor 10 to the semi-rotary body 20 in a belt structure.

상기 반사용 회전체(20)의 회전축은 상기 경로변경 반사부(3)의 반사면을 통해 반사되는 참조 빔과 나란하게 배치되는 것을 일 예로 한다.The rotating shaft of the semi-rotating body 20 is arranged in parallel to the reference beam reflected through the reflecting surface of the path changing reflecting part 3. [

상기 반사용 회전체(20)의 회전축은 지지체(110)에 회전 가능하게 결합되며, 상기 지지체(110)는 베이스부재(100)의 상면에 수직으로 세워져 고정되는 것을 일 예로 한다. The rotating shaft of the semi-rotating body 20 is rotatably coupled to the supporting body 110 and the supporting body 110 is vertically erected and fixed to the upper surface of the base body 100.

상기 경로변경 반사부(3)는 상기 반사용 회전체(20)의 전면 즉, 상기 광분할기와 마주보는 면에 링형상으로 형성되고 상기 광분할기에서 분할된 빛이 부딪칠 수 있도록 위치된다. The path changing reflecting portion 3 is formed in a ring shape on the front surface of the semi-rotating body 20, that is, the surface facing the light splitting unit 20, and is positioned so that the light split by the light splitting unit can strike.

상기 경로변경 반사부(3)의 반사면은 원주방향으로 상기 광분할기와 서로 다른 거리를 가지도록 형성된다. The reflecting surface of the path changing reflecting portion 3 is formed to have a different distance from the optical splitter in the circumferential direction.

도 4는 상기 경로변경 반사부(3)의 반사면이 계단형으로 형성되는 것을 예시한 도면이다. 4 is a view illustrating that the reflecting surface of the path changing reflecting portion 3 is formed in a stepped shape.

즉, 도 4를 참고하면 상기 경로변경 반사부(3)는 반사용 회전체(20)의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 다수의 층을 가지도록 형성되고, 각 층의 표면에 반사면이 구비되어 계단형상을 가지는 것을 일 예로 한다.4, the path changing reflector 3 is formed to have a plurality of layers having a height of 360 degrees with respect to a reference line passing through the center of rotation of the anti-rotation body 20, And the reflective surface is provided on the surface of the layer to have a stepped shape.

상기 경로변경 반사부(3)는 반사용 회전체(20)의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 다수의 층을 가지는 계단형상을 가져 기준선에서 첫번째 층에서 상기 광분할기와 가장 먼 거리를 가지게 되고, 기준선으로부터 360도 반경에서 마지막 층에서 상기 광분할기와 가장 가까운 거리를 가지게 된다.The path changing reflector 3 has a step shape having a plurality of layers whose height gradually increases with a radius of 360 degrees with reference to a reference line passing through the center of rotation of the anti-rotation body 20, And has the closest distance to the optical splitter at the last layer at a 360 degree radius from the baseline.

상기 반사용 회전체(20)는 상기 경로변경 반사부(3)의 반사면을 통해 반사되는 참조 빔과 나란하게 배치되는 회전축을 중심으로 회전되고, 상기 광분할기에서 분할된 빛이 높이가 가장 낮은 첫번째 층의 반사면에서 높이가 가장 높은 마지막 층의 반사면까지 순차적으로 부딪쳐 반사되고, 상기 반사용 회전체(20)의 회전에 의해 높이가 가장 낮은 첫번째 층의 반사면에서 높이가 가장 높은 마지막 층의 반사면까지 순차적으로 부딪쳐 반사되는 것이 계속 반복되게 된다. The semi-rotating body 20 is rotated around a rotation axis arranged in parallel with a reference beam reflected through a reflecting surface of the path change reflecting unit 3, and the light split by the beam splitter has a lowest height The reflection surface of the first layer is sequentially reflected from the reflection surface of the first layer to the reflection surface of the last layer having the highest height and is reflected by the rotation of the reflection rotation body 20, And the reflection is continuously repeated.

상기 경로변경 반사부(3)는 순차적으로 높이가 높아지는 계단형으로 형성되어 평면의 반사면에 의해 순차적인 데이터를 연속적으로 확보함과 동시에 수집되는 빛의 정확도를 향상시킬 수 있도록 한다.The path change reflecting part 3 is formed in a stepwise manner so that the height of the path changing reflecting part 3 is sequentially increased, so that sequential data can be continuously secured by the planar reflecting surface, and the accuracy of collected light can be improved.

도 5는 상기 경로변경 반사부(3)의 반사면이 경사형으로 형성되는 것을 예시한 도면이다. 5 is a diagram illustrating that the reflecting surface of the path changing reflecting portion 3 is formed in an inclined shape.

즉, 도 5를 참고하면 상기 경로변경 반사부(3)는 반사용 회전체(20)의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 경사면을 가지도록 형성되고, 경사면 상에 반사면이 구비되어 반사면이 경사진 경사면의 형상을 가지는 것을 일 예로 한다.5, the path changing reflector 3 is formed so as to have a slope whose height gradually increases with a radius of 360 degrees with reference to a reference line passing through the center of rotation of the semi-rotating body 20, An example in which the reflecting surface is provided and the reflecting surface has a shape of an inclined surface inclined.

상기 경로변경 반사부(3)는 반사용 회전체(20)의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 경사면으로 형성되어 기준선에서 상기 광분할기와 가장 먼 거리를 가지게 되고, 기준선으로부터 360도 반경에서 상기 기준선과 만나는 부분에서 가장 높은 높이를 가져 상기 광분할기와 가장 가까운 거리를 가지게 된다.The path changing reflector 3 is formed as an inclined surface whose height gradually increases from a reference line passing through the center of rotation of the semi-rotatable rotating body 20 to a 360-degree radius, And has the highest height at the portion where it meets the reference line at a radius of 360 degrees from the baseline so that it has the closest distance to the optical splitter.

상기 반사용 회전체(20)는 상기 경로변경 반사부(3)의 반사면을 통해 반사되는 참조 빔과 나란하게 배치되는 회전축을 중심으로 회전되고, 상기 반사용 회전체(20)의 회전에 의해 상기 광분할기에서 분할된 빛이 높이가 가장 낮은 기준선에서 점차 높이가 높아지는 경사를 가지는 반사면에 부딪쳐 반사되는 것이 계속 반복되게 된다. The semi-rotating body 20 is rotated around a rotating axis arranged parallel to a reference beam reflected through a reflecting surface of the path changing reflecting portion 3, and is rotated by the rotation of the semi-rotating body 20 The light split by the beam splitter strikes the reflecting surface having the inclination which gradually increases in height at the lowest height, and is continuously repeated.

상기 경로변경 반사부(3)는 반사면이 순차적으로 높이가 높아지는 경사면으로 형성되어 연속적인 데이터를 보다 확실하게 확보할 수 있도록 한다.
The path change reflecting portion 3 is formed as an inclined surface in which the reflection surfaces are sequentially height-increased, so that continuous data can be ensured more reliably.

본 발명에서 상기 경로길이 변경회전체는 빛이 지나가는 경로에 위치되어 빛을 굴절시켜 투과하는 굴절부(41)가 구비된 굴절용 회전체(40)를 포함하며, 상기 굴절부(41)는 원주방향으로 두께가 다른 형상을 가지도록 형성되어 수광부(52)로 전달되는 빛의 전달 속도 차이로 인한 광경로의 길이 변경 효과를 발생시킬 수 있고, 이에 대한 실시 예는 도 6 및 도 7을 참고하여 하기에서 상세하게 설명한다. In the present invention, the path length changing rotary body includes a refracting rotational body (40) having a refracting portion (41) located in a path through which light passes and refracting light, and the refracting portion (41) And the length of the light path due to the difference in the propagation speed of the light transmitted to the light receiving part 52 can be generated. Referring to FIGS. 6 and 7, This will be described in detail below.

도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 3차원 표면 측정장치용 광경로 길이 변경장치에서 투과형의 3차원 표면 측정장치에 적용되는 실시예를 도시한 사시도로써, 투과형 3차원 표면 측정장치는 광원에서 방출된 빛을 굴절시켜 수광부(52)로 전달하여 빛이 조사되는 부분(51)과 수광부(52) 사이에 광경로차이를 발생시킴으로써 측정 가능한 깊이가 변경되는 것이고, 실질적으로 도 4 및 도 5의 반사형 즉, 광분할기를 이용한 간섭계적인 방법과 동일한 것으로 이는 공지의 투과형 3차원 표면 측정장치의 원리와 동일하므로 더 상세한 설명은 생략함을 밝혀둔다.6 and 7 are perspective views illustrating an embodiment of a transmission type three-dimensional surface measuring apparatus in an optical path length changing apparatus for a three-dimensional surface measuring apparatus according to the present invention, wherein the transmission type three- And the reflected light is transmitted to the light receiving portion 52 to change the measurable depth by generating a light path difference between the light irradiated portion 51 and the light receiving portion 52, Type, that is, an interferometric method using a beam splitter, which is the same as the principle of a known transmission type three-dimensional surface measuring apparatus, and thus a detailed description thereof is omitted.

본 발명에 따른 3차원 표면 측정장치용 광경로 길이 변경장치의 다른 실시 예는 회전모터(10), 상기 회전모터(10)에 의해 회전되며 광원과 마주보는 면에 광원의 빛을 굴절시켜 투과시키는 굴절부(41)가 구비된 굴절용 회전체(40)를 포함한다.Another aspect of the optical path length changing apparatus for a three-dimensional surface measuring apparatus according to the present invention is a rotating motor 10 which includes a rotating motor 10, a rotating motor 10, And a refraction rotating body (40) provided with a refraction portion (41).

상기 굴절용 회전체(40)의 전방 측에는 빛이 조사되는 부분(51)이 배치된다. 또한, 본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치는 빛이 조사되는 부분(51)의 앞측에 구비되고 광케이블을 연결할 수 있는 케이블 클램핑부(30)를 더 포함할 수 있다. A portion (51) irradiated with light is disposed on the front side of the refractive rotating body (40). In addition, the apparatus for changing the optical path length for three-dimensional surface measurement according to the present invention may further include a cable clamping unit 30 provided at a front side of the light-irradiated portion 51 and capable of connecting the optical cable.

상기 굴절용 회전체(40)는 상기 회전모터(10)의 회전력을 전달받아 회전하며, 본 발명에 따른 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치는 상기 회전모터(10)의 회전력을 상기 굴절용 회전체(40)로 전달하는 회전력 전달부(11)를 더 포함할 수 있다.The apparatus for changing the optical path length for three-dimensional surface measurement according to the present invention is characterized in that the rotating force of the rotating motor 10 is transmitted to the refraction rotating body And a rotational force transmitting portion 11 for transmitting the rotational force to the rotating body 40.

상기 회전력 전달부(11)는 벨트 구조로 회전모터(10)의 회전력을 상기 굴절용 회전체(40)로 전달하는 것을 일 예로 한다.The rotational force transmitting portion 11 transmits the rotational force of the rotary motor 10 to the refraction rotator 40 in a belt structure.

상기 굴절용 회전체(40)의 회전축은 상기 광원을 통해 방출되는 빛과 나란하게 배치되는 것을 일 예로 한다.The rotation axis of the refractive rotating body 40 is arranged in parallel to the light emitted through the light source.

상기 굴절용 회전체(40)의 회전축은 지지체(110)에 회전 가능하게 결합되며, 상기 지지체(110)는 베이스부재(100)의 상면에 수직으로 세워져 고정되는 것을 일 예로 한다. The rotating shaft of the refraction rotating body 40 is rotatably coupled to the supporting body 110 and the supporting body 110 is vertically erected and fixed to the upper surface of the base body 100 as an example.

상기 굴절부(41)는 상기 굴절용 회전체(40)의 전면 즉, 상기 광원와 마주보는 면에 링형상으로 형성되고 상기 광원에서 방출된 빛이 투과될 수 있도록 위치된다. The refracting portion 41 is formed in a ring shape on a front surface of the refraction rotating body 40, that is, a surface facing the light source, and is positioned so that light emitted from the light source can be transmitted.

상기 굴절부(41)는 원주방향으로 서로 다른 두께를 가지도록 형성되어 투과되는 거리의 차이를 발생시켜 빛이 조사되는 부분(51)과 상기 수광부(52) 사이에 광경로 차이를 발생시킨다. 상기 굴절부(31)는 동일한 굴절율을 가지고 원주방향으로 서로 다른 두께를 가지도록 형성되어 투과되는 거리에 차이를 발생시켜 빛이 조사되는 부분(51)과 상기 수광부(52) 사이에 광경로 차이를 발생시키는 것을 일 예로 한다. The refracting portions 41 are formed to have different thicknesses in the circumferential direction to generate a difference in distance to be transmitted, thereby generating a light path difference between the light-irradiated portion 51 and the light receiving portion 52. The refracting portions 31 are formed to have the same refractive index and have different thicknesses in the circumferential direction to generate a difference in the distance to be transmitted so that a light path difference between the light irradiated portion 51 and the light receiving portion 52 As an example.

도 6은 상기 굴절부(41)가 계단형으로 형성되고, 각 층에서 서로 다른 굴절거리를 가지는 것을 도시한 도면이다. Fig. 6 is a view showing that the refracting portions 41 are formed in a step-like shape and have different refraction distances in each layer.

즉, 도 6을 참고하면 상기 굴절부(41)는 굴절용 회전체(40)의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 다수의 층을 가지도록 형성되고, 각 층에서 평면의 투과부가 형성되는 계단형상을 가지는 것을 일 예로 한다.6, the refracting portion 41 is formed so as to have a plurality of layers having a height of 360 degrees with respect to a reference line passing through the center of rotation of the refractive rotating body 40, And has a stepped shape in which a planar transmitting portion is formed.

상기 굴절부(41)는 굴절용 회전체(40)의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 다수의 층을 가지는 계단형상을 가져 기준선에서 첫번째 층에서 투과되는 거리가 가장 짧아 빛이 조사되는 부분(51)과 상기 수광부(52) 사이에 가장 짧은 거리를 가지게 하고, 기준선으로부터 360도 반경의 마지막 층에서 투과되는 거리가 가장 길어 빛이 조사되는 부분(51)과 상기 수광부(52) 사이에 가장 긴 거리를 가지도록 굴절되는 거리가 원주방향으로 점차 커지는 형상을 가지는 것을 일 예로 한다.The refracting portion 41 has a stepped shape having a plurality of layers whose height gradually increases with a radius of 360 degrees based on a reference line passing through the center of rotation of the refractive rotating body 40, The distance between the light-irradiated portion 51 and the light-receiving portion 52 is the shortest, and the distance through which the light is radiated from the last layer of the 360-degree radius from the reference line is the longest, And the distance that the light is refracted so as to have the longest distance between the light-receiving portions 52 is gradually increased in the circumferential direction.

상기 굴절용 회전체(40)는 상기 광원에서 방출되는 빛과 나란하게 배치되는 회전축을 중심으로 회전되고, 빛이 조사되는 부분(51)을 통과한 빛이 높이가 가장 낮은 첫번째 층에서 높이가 가장 높은 마지막 층까지 순차적으로 굴절되고 투과되어, 각층의 투과되는 거리는 첫번째 층에서 높이가 가장 높은 마지막 층까지 순차적으로 커져 빛이 조사되는 부분(51)과 상기 수광부(52) 사이에 거리를 점차 길어지게 한다. 또한, 상기 굴절용 회전체(40)의 회전에 의해 높이가 가장 낮은 첫번째 층에서 높이가 가장 높은 마지막 층까지 순차적으로 투과되어 굴절되는 것이 계속 반복되게 된다.The refraction rotating body 40 is rotated around a rotation axis disposed parallel to the light emitted from the light source, and the light passing through the portion 51 irradiated with light is rotated in the first layer having the lowest height And the distance of each layer is successively increased from the first layer to the highest layer at the highest height to gradually increase the distance between the light-irradiated portion 51 and the light-receiving portion 52 do. In addition, the rotation of the refractive rotating body 40 causes the first layer having the lowest height to sequentially reach the last layer having the highest height, and is repeatedly refracted.

상기 굴절부(41)는 평면의 굴절면을 가지고 순차적으로 높이가 높아지는 계단형으로 형성되어 평면의 굴절면에 의해 수집되는 빛의 정확도를 향상시킨다.
The refracting portion 41 is formed in a stepped shape having a planar refracting surface and a height gradually increased to improve the accuracy of light collected by the planar refracting surface.

도 7은 상기 굴절부(41)가 경사면으로 형성되는 것을 예시한 도면이다. 7 is a view illustrating that the refracting portion 41 is formed as an inclined surface.

즉, 도 7을 참고하면 상기 굴절부(41)는 굴절용 회전체(40)의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 경사면을 가지도록 형성되어 점차 두께가 두꺼워지는 형상을 가지는 것을 일 예로 한다.7, the refracting portion 41 is formed so as to have an inclined surface with a height gradually increasing at a radius of 360 degrees with reference to a reference line passing through the center of rotation of the refractive rotating body 40, As an example.

즉, 상기 굴절부(41)는 굴절용 회전체(40)의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 경사면으로 형성되어 빛이 투과되는 길이를 점차 증대시켜 기준선에서 빛이 조사되는 부분(51)과 상기 수광부(52) 사이에 거리를 가장 가깝게 하고, 기준선으로부터 360도 반경에서 상기 기준선과 만나는 부분에서 가장 높은 높이를 가져 빛이 조사되는 부분(51)과 상기 수광부(52) 사이에 거리를 가장 가먼 거리를 가지게 한다. That is, the refracting portion 41 is formed as an inclined surface having a height of 360 degrees with respect to a reference line passing through the center of rotation of the refracting rotational body 40 so that the length of the light is gradually increased, The distance between the irradiated portion 51 and the light receiving portion 52 is the closest and the portion 51 having the highest height at the portion where the radial distance from the reference line and the reference line meet is 51, ) To have the distance that has the greatest distance between them.

상기 굴절부(41)는 상기 광원에서 방출되는 나란하게 배치되는 회전축을 중심으로 회전되고, 상기 굴절용 회전체(40)의 회전에 의해 빛이 높이가 가장 낮은 기준선에서 점차 높이가 높아지는 경사면을 가지는 굴절부(41)를 통해 굴절되어 투과되는 것이 계속 반복되게 된다. The refraction unit 41 is rotated around a rotation axis arranged in parallel and emitted from the light source, and has a slope whose height gradually increases at a reference line having the lowest height by the rotation of the refraction rotating body 40 Refracted and transmitted through the refracting portion 41 is continuously repeated.

상기 굴절부(41)는 순차적으로 높이가 높아지는 경사면으로 굴절면이 형성되어 데이터를 연속적으로 용이하게 확보할 수 있도록 한다.
The refracting portion 41 is formed with a refracting surface with an inclined surface which is sequentially height-increased, so that data can be continuously and easily secured.

본 발명은 빛의 경로를 회전체로 변경하며 회전체가 경사면을 가지도록 형성되어 연속적인 데이터를 용이하게 확보할 수 있다.The present invention changes the light path to a rotating body and the rotating body is formed to have a slope so that continuous data can be easily secured.

본 발명은 빛의 경로를 회전체로 변경하며 평면의 반사면 또는 굴절면이 계단형으로 형성되어 수집되는 빛의 정확도를 향상시킨다. The present invention changes the path of light to a rotating body, and the reflective surface or the refracting surface of the plane is formed in a stepped shape to improve the accuracy of collected light.

본 발명은 회전운동만으로 반사되는 빛의 거리 또는 빛의 굴절율을 조절하여 회전운동이 정속일 경우 빛의 거리와 굴절율도 일정하게 변경하게 되어 빛의 거리 또는 빛의 굴절율을 정확하게 조절할 수 있다.The present invention adjusts the distance of light or the refractive index of light reflected only by the rotational motion to change the distance and the refractive index of the light constantly when the rotational motion is a constant speed so that the distance of light or the refractive index of light can be accurately controlled.

또한, 본 발명은 참조 빔(reference beam)과 회전축간의 평행도만 맞으면 사용이 가능해 얼라인 세팅 시 편의성을 향상시킨다.
Further, the present invention can be used only when the parallelism between the reference beam and the rotation axis is correct, thereby improving the convenience in alignment.

이상에서와 같이 도면과 명세서에서 최적의 실시예가 개시되었다. 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이며, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, an optimal embodiment has been disclosed in the drawings and specification. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit of the invention, The scope should be determined by the technical idea of the appended claims.

1 : 광원 2 : 광분할기
3 : 경로변경 반사부 4 : 검출기
5 : 측정대상체 10 : 회전모터
11 : 회전력 전달부 20 : 반사용 회전체
30 : 케이블 클램핑부 40 : 굴절용 회전체
41 : 굴절부 51 : 빛이 조사되는 부분
52 : 수광부 100 : 베이스부재
110 : 지지체1: light source 2: light splitter
3: path changing reflector 4: detector
5: Measuring object 10: Rotary motor
11: Torque transmitting portion 20: Semi-rotating body
30: cable clamping part 40: refracting rotating body
41: refraction part 51: part where light is irradiated
52: light receiving unit 100: base member
110: Support

Claims (13)

광원에서 방출된 빛의 경로 길이를 변경하여 측정대상체의 표면 깊이를 측정하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치로써,
회전모터;
상기 회전모터에 의해 회전되며 빛의 경로 길이를 변경시키는 경로길이 변경회전체를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.A light path length changing device for three-dimensional surface measurement for measuring the surface depth of a measurement object by changing a path length of light emitted from a light source,
A rotary motor;
And a path length changing rotator which is rotated by the rotation motor and changes the path length of the light. 청구항 1에 있어서,
상기 경로길이 변경회전체는 빛이 지나가는 경로에 빛을 반사하는 경로변경 반사부가 구비되는 반사용 회전체이고,
상기 경로변경 반사부는 반사면이 원주방향으로 광분할기와 서로 다른 거리를 가지도록 형성된 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method according to claim 1,
Wherein the path length changing rotary body is a semi-rotary body having a path change reflecting portion for reflecting light in a path through which light passes,
Wherein the path change reflector is formed such that the reflection surface has a different distance from the light splitter in the circumferential direction. 청구항 2에 있어서,
상기 반사용 회전체는 상기 경로변경 반사부의 반사면을 통해 반사되는 참조 빔과 나란하게 배치되는 회전축을 중심으로 회전되는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method of claim 2,
Wherein the semi-rotating body is rotated about a rotation axis arranged parallel to a reference beam reflected through a reflecting surface of the path change reflecting portion. 청구항 2에 있어서,
상기 경로변경 반사부의 반사면이 계단형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method of claim 2,
Wherein the reflecting surface of the path change reflecting portion is formed in a stepped shape. 청구항 2에 있어서,
상기 경로변경 반사부는 반사용 회전체의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 다수의 층을 가지도록 형성되고, 각 층의 표면에 반사면이 구비되어 계단형상을 가지며,
기준선에서 첫번째 층에서 상기 광분할기와 가장 먼 거리를 가지게 되고, 기준선으로부터 360도 반경에서 마지막 층에서 상기 광분할기와 가장 가까운 거리를 가지게 되는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method of claim 2,
Wherein the path change reflecting portion is formed to have a plurality of layers with a height gradually increasing to a radius of 360 degrees based on a reference line passing through the center of rotation of the semi-rotatable rotating body, the surface of each layer having a reflecting surface,
Wherein the optical splitter has a maximum distance from the optical splitter in the first layer at the baseline and a closest distance from the optical splitter in the final layer at a 360 degree radius from the baseline. 청구항 2에 있어서,
상기 경로변경 반사부의 반사면이 경사면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method of claim 2,
Wherein the reflecting surface of the path change reflecting portion is formed as an inclined surface. 청구항 2에 있어서,
상기 경로변경 반사부는 반사용 회전체의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 경사면으로 형성되어 기준선에서 상기 광분할기와 가장 먼 거리를 가지게 되고, 기준선으로부터 360도 반경에서 상기 기준선과 만나는 부분에서 가장 높은 높이를 가져 상기 광분할기와 가장 가까운 거리를 가지게 되는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method of claim 2,
Wherein the path change reflecting portion is formed as an inclined surface whose height gradually increases with a radius of 360 degrees with reference to a reference line passing through the center of rotation of the semi-rotatable rotating body, and has a maximum distance from the optical splitter at a reference line, Wherein the optical path length changing unit has a highest height at a portion where the optical path length of the optical path length of the optical path length adjusting unit is smaller than a distance between the optical splitter and the reference line. 청구항 1에 있어서,
상기 경로길이 변경회전체는 빛이 지나가는 경로에 위치되어 빛을 굴절시켜 투과시키는 굴절부가 구비된 굴절용 회전체를 포함하며,
상기 굴절부는 원주방향으로 두께가 다른 형상을 가지도록 형성되어 수광부로 전달되는 빛의 전달 속도 차이로 인한 광 경로 길이 변경 효과를 발생시키는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method according to claim 1,
The path length changing rotary body includes a refracting rotational body disposed in a path through which light passes and having a refracting portion for refracting and transmitting light,
Wherein the refracting portion is formed so as to have a different thickness in the circumferential direction to generate an effect of changing the optical path length due to a difference in propagation speed of light transmitted to the light receiving portion. 청구항 8에 있어서,
상기 굴절용 회전체의 회전축은 상기 광원을 통해 방출되는 빛과 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method of claim 8,
Wherein the rotation axis of the refractive rotating body is disposed in parallel to the light emitted through the light source. 청구항 8에 있어서,
상기 굴절부는 각층의 두께가 점차 두께가 두꺼워지는 계단형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method of claim 8,
Wherein the refracting portion is formed in a stepped shape in which the thickness of each layer is gradually thickened. 청구항 8에 있어서,
상기 굴절부는 굴절용 회전체의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 다수의 층을 가지는 계단형상을 가져 기준선에서 첫번째 층에서 투과되는 거리가 가장 짧아 빛이 조사되는 부분과 상기 수광부 사이에 가장 ?裏? 거리를 가지게 하고, 기준선으로부터 360도 반경의 마지막 층에서 투과되는 거리가 가장 길어 빛이 조사되는 부분과 상기 수광부 사이에 가장 먼 거리를 가지는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method of claim 8,
The refracting portion has a stepped shape having a plurality of layers whose height gradually increases with a radius of 360 degrees based on a reference line passing through the center of rotation of the refracting rotary body so that the distance through the first layer at the reference line is the shortest, Between the light-receiving portions, Distance from the reference line, and the distance that is transmitted from the last layer of the 360-degree radius from the reference line is the longest, thereby having the longest distance between the light-irradiated portion and the light-receiving portion. 청구항 8에 있어서,
상기 굴절부가 경사면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method of claim 8,
Wherein the refracting portion is formed as an inclined surface. 청구항 8에 있어서,
상기 굴절부는 굴절용 회전체의 회전중심을 지나는 기준선을 기준으로 360도 반경으로 높이가 점차 높아지는 경사면을 가지도록 형성되어 투과되는 길이를 점차 증대시킴으로써 두께가 가장 얇은 기준선에서 빛이 조사되는 부분과 상기 수광부 사이에 거리를 가장 가까운 거리를 가지게 하고, 기준선으로부터 360도 반경에서 상기 기준선과 만나는 부분에서 가장 높은 높이를 가져 빛이 조사되는 부분과 상기 수광부 사이에 거리를 가장 먼 거리를 가지게 하는 것을 특징으로 하는 3차원 표면 측정용 광경로 길이 변경장치.The method of claim 8,
The refracting portion is formed so as to have a slope that gradually increases in height with a radius of 360 degrees with reference to a reference line passing through the center of rotation of the refracting rotary body, and gradually increases the length to be transmitted so that a portion irradiated with light at the thinnest baseline, And a distance between the light receiving portion and the light receiving portion is set to be the closest distance and the highest height is obtained at a portion where the light receiving portion is in contact with the reference line at a radius of 360 degrees from the reference line, A light path length changing device for three-dimensional surface measurement.
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