KR20170140596A - Energy Generating Module - Google Patents

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KR20170140596A
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김영범
양휘철
홍순욱
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한양대학교 산학협력단
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Abstract

Provided is a power generation module. The power generation module includes: a first substrate; a first electrode on the first substrate; a first dielectric layer on the first electrode; a conductive liquid on the first dielectric layer; a second substrate on the first substrate; a second electrode disposed on the second substrate, and spaced apart from the first dielectric layer with the conductive liquid therebetween; a dielectric elastic partition wall disposed between the first substrate and the second substrate; and providing a gap between the first substrate and the second substrate. The conductive liquid is disposed in an interval provided by the dielectric elastic partition wall. The efficiency of generating electric energy is able to be improved.

Description

발전 모듈{Energy Generating Module}Energy Generating Module

본 발명은 발전 모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 역전기습윤 발전 모듈 및 유전성 탄성체 발전 모듈이 융합된 발전 모듈에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a power generation module, and more particularly, to a power generation module in which a back electromotive power generation module and a dielectric elasticity generation module are fused.

에너지 하베스팅(energy harvesting)은, 주변에서 버려지는 에너지를 수확(harvest)하고, 전기 에너지로 변환하여 이용하는 기술이다. 에너지 하베스팅은 압전 효과, 열전 효과, 또는 광전 효과 등의 물리 현상을 이용하여 전기에너지를 생산한다. 압전 효과를 이용한 발전은, 기계적 압력에 의해 물질에, 양전하와 음전하가 나뉘는 유전 분극이 일어나고, 이때 표면의 전하 밀도가 변하면서 전기가 흐르게 되는 것을 이용한다. 압전 효과를 이용한 발전은, 자동차 도로, 교량, 또는 철도 등의 도로 교통 기술에 적용되어 주목을 받았으나, 발전 용량과 효율이 너무 낮아 그 실효성을 인정받고 있지 못하고 있다.Energy harvesting is a technology that harvests the energy that is drained from the environment and converts it into electric energy. Energy harvesting produces electrical energy using physical phenomena such as piezoelectric effect, thermoelectric effect, or photoelectric effect. Generation using the piezoelectric effect utilizes a phenomenon in which dielectric polarization occurs in which a positive charge and a negative charge are separated by a mechanical pressure, and electric charge flows while the charge density of the surface changes. The power generation using the piezoelectric effect has received attention because it is applied to road traffic technology such as an automobile road, a bridge, or a railway, but its efficiency and power generation capacity are so low that its effectiveness has not been recognized.

이에 따라, 높은 발전 용량 및 효율을 갖는 압전 소자인, 역전기습윤(Reverse Electrowetting-on-Dielectric, REWOD) 기술에 대해 활발한 연구가 진행되고 있다.Accordingly, active research is being conducted on a reverse electrowetting-on-dielectric (REWOD) technology, which is a piezoelectric device having a high generating capacity and efficiency.

예를 들어, 대한민국 특허 등록 번호 10-0806872(출원인: 삼성전자주식회사, 출원번호: 10-2009-0099437)는 전기습윤 현상을 이용하는 가변 커패시터에 관한 것으로, 전극, 유체 채널, 절연막, 및 도전성 유체를 포함하는, 제조 공정이 용이하고, 신뢰성 및 내구성이 탁월하며, 튜닝 범위에 제한이 없는 가변 커패시터를 개시한다.For example, Korean Patent Registration No. 10-0806872 (Applicant: Samsung Electronics Co., Ltd., Application No.: 10-2009-0099437) relates to a variable capacitor using an electrowetting phenomenon and includes an electrode, a fluid channel, an insulating film, Which is easy to manufacture, excellent in reliability and durability, and has no limitation in the tuning range.

대한민국 특허 등록 번호 10-0806872Korea Patent Registration No. 10-0806872

본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는, 전기 에너지 생성 효율이 높은 발전 모듈을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a power generation module having high electric energy generation efficiency.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 내구성이 향상된 발전 모듈을 제공하는 데 있다.It is another object of the present invention to provide a power module having improved durability.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 수명이 증가된 발전 모듈을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a power generation module having an increased life span.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다.The technical problem to be solved by the present invention is not limited to the above.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 발전 모듈을 제공한다.In order to solve the above technical problems, the present invention provides a power generation module.

일 실시 예에 따르면, 상기 발전 모듈은, 제1 기판, 상기 제1 기판 상의 제1 전극, 상기 제1 전극 상의 제1 유전층, 상기 제1 유전층 상의 전도성 액체, 상기 제1 기판 상의 제2 기판, 상기 제2 기판 상에 배치되고, 상기 전도성 액체를 사이에 두고 상기 제1 유전층과 이격된 제2 전극, 및 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 배치되고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 간격을 제공하는 유전성 탄성체 격벽을 포함하되, 상기 유전성 탄성체 격벽이 제공하는 간격 내에 상기 전도성 액체가 배치되는 것을 포함한다.According to one embodiment, the power generation module includes a first substrate, a first electrode on the first substrate, a first dielectric layer on the first electrode, a conductive liquid on the first dielectric layer, a second substrate on the first substrate, A second electrode disposed on the second substrate and spaced apart from the first dielectric layer with the conductive liquid therebetween, and a second electrode disposed between the first substrate and the second substrate, And a dielectric elastomeric bulkhead providing spacing between the substrates, wherein the conductive liquid is disposed within an interval provided by the dielectric elastomer bulkhead.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 전극은 제1 탄성 전극 및 제1 비탄성 전극을 포함하고, 상기 제2 전극은 제2 탄성 전극 및 제2 비탄성 전극을 포함하되, 상기 제1 기판 상에 상기 제1 탄성 전극이 배치되고, 상기 제1 탄성 전극 상에 제1 비탄성 전극이 배치되고, 상기 제2 기판 상에 상기 제2 탄성 전극이 배치되고, 상기 제2 탄성 전극 상에 상기 제2 비탄성 전극이 배치되는 것을 포함할 수 있다.According to an embodiment, the first electrode includes a first elastic electrode and a first non-elastic electrode, and the second electrode includes a second elastic electrode and a second non-elastic electrode, Wherein the first elastic electrode is disposed on the first elastic electrode, the first non-elastic electrode is disposed on the first elastic electrode, the second elastic electrode is disposed on the second substrate, and the second non- And the like.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 비탄성 전극은, 상기 제1 유전층이 배치되는 일면을 제외하고 상기 제1 탄성 전극 내에 매립되고, 상기 제2 비탄성 전극은, 일면을 제외하고 상기 제2 탄성 전극 내에 매립되어, 상기 전도성 액체를 사이에 두고 상기 제1 유전층과 이격된 것을 포함할 수 있다.According to one embodiment, the first non-elastic electrode is embedded in the first elastic electrode except for one surface on which the first dielectric layer is disposed, and the second non-elastic electrode is embedded in the second elastic electrode May be buried and spaced apart from the first dielectric layer with the conductive liquid therebetween.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 유전층은, 상기 제1 비탄성 전극을 사이에 두고, 상기 제1 탄성 전극과 이격되는 것을 포함할 수 있다.According to one embodiment, the first dielectric layer may be spaced apart from the first elastic electrode with the first non-elastic electrode interposed therebetween.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 탄성 전극은, 상기 제1 비탄성 전극이 매립되지 않은 일면을 포함하고, 상기 제2 탄성 전극은, 상기 제2 비탄성 전극이 매립되지 않은 일면을 포함하고, 상기 유전성 탄성체 격벽은, 상기 제1 탄성 전극의 상기 일면 및 상기 제2 탄성 전극의 상기 일면 사이에 배치되는 것을 포함할 수 있다.According to an embodiment, the first elastic electrode includes one surface on which the first non-elastic electrode is not embedded, and the second elastic electrode includes one surface on which the second non-elastic electrode is not embedded, The elastic barriers may be disposed between the one surface of the first elastic electrode and the one surface of the second elastic electrode.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 탄성 전극, 상기 제2 탄성 전극 및 상기 유전성 탄성체 격벽은 외부 물리력에 의해 변형되고, 복원되는 것을 포함할 수 있다.According to an embodiment, the first elastic electrode, the second elastic electrode, and the dielectric elastic partition may be deformed and restored by an external physical force.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 탄성 전극, 상기 제2 탄성 전극, 및 상기 유전성 탄성체 격벽이 변형 및 복원되는 동안, 상기 제1 비탄성 전극 상에 배치된 상기 제1 유전체층은 보호되는 것을 포함할 수 있다.According to one embodiment, while the first elastic electrode, the second elastic electrode, and the dielectric elastomer partition are deformed and restored, the first dielectric layer disposed on the first non-elastic electrode may be protected have.

일 실시 예에 따르면, 상기 발전 모듈은, 상기 제1 유전층 및 상기 전도성 액체 사이에 배치되는 제1 소수성 물질층을 더 포함할 수 있다.According to one embodiment, the power generation module may further include a first hydrophobic material layer disposed between the first dielectric layer and the conductive liquid.

일 실시 예에 따르면, 상기 발전 모듈은, 상기 제2 전극 및 상기 전도성 액체 사이에 배치되는 제2 유전층, 및 상기 제2 유전층 및 상기 전도성 액체 사이에 배치되는 제2 소수성 물질층을 더 포함할 수 있다.According to one embodiment, the power generation module may further comprise a second dielectric layer disposed between the second electrode and the conductive liquid, and a second hydrophobic material layer disposed between the second dielectric layer and the conductive liquid. have.

일 실시 예에 따르면, 상기 발전 모듈은, 외부 물리력에 의해 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 간격이 변화되고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 간격에 따라서, 상기 전도성 액체와 상기 제1 유전층 접촉 면적이 변화되고, 상기 전도성 액체와 상기 제1 유전층의 접촉 면적의 변화에 의해 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 전위차이가 변화될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the gap between the first substrate and the second substrate is changed by an external physical force, and the gap between the first substrate and the second substrate is changed, The potential difference between the first electrode and the second electrode can be changed by changing the contact area of the first dielectric layer and the contact area between the conductive liquid and the first dielectric layer.

일 실시 예에 따르면, 상기 발전 모듈은, 상기 제2 전극 및 상기 전도성 액체 사이에 배치되는 제2 유전층, 및 상기 제2 유전층 및 상기 전도성 액체 사이에 배치되는 제2 소수성 물질층을 더 포함하되, 외부 물리력에 의해 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 간격이 변화되고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 간격에 따라서, 상기 전도성 액체와 상기 소수성 물질층의 접촉 면적이 변화되고, 상기 전도성 액체와 상기 소수성 물질층의 접촉 면적의 변화에 의해 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 전위차이가 변화될 수 있다.According to one embodiment, the power generation module further comprises a second dielectric layer disposed between the second electrode and the conductive liquid, and a second hydrophobic material layer disposed between the second dielectric layer and the conductive liquid, A distance between the first substrate and the second substrate is changed by an external physical force and a contact area between the conductive liquid and the hydrophobic material layer is changed according to an interval between the first substrate and the second substrate, The potential difference between the first electrode and the second electrode can be changed by changing the contact area between the conductive liquid and the hydrophobic material layer.

일 실시 예에 따르면, 상기 발전 모듈은, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 배치되고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 간격을 제공하는 상기 유전성 탄성체 격벽을 포함하되, 외부 물리력에 의해 상기 유전성 탄성체 격벽이 변형되고, 상기 유전성 탄성체 격벽의 변형에 의해 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 전위차이가 변화될 수 있다.According to one embodiment, the power generation module includes: the dielectric elastic partition wall disposed between the first substrate and the second substrate and providing a gap between the first substrate and the second substrate, And the potential difference between the first electrode and the second electrode may be changed by deformation of the dielectric elastic partition.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 외부 전원과 연결되지 않은 것을 포함할 수 있다.According to one embodiment, the first electrode and the second electrode may not be connected to an external power source.

본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈은, 제1 기판 상의 제1 전극 및 제2 기판 상의 제2 전극 사이에 배치되어, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 전도성 액체가 배치되는 간격을 제공하는 유전성 탄성체 격벽을 포함할 수 있다. 상기 발전 모듈에 외부 물리력이 인가되는 경우, 상기 전도성 액체와 상기 제1 및 제2 전극의 중첩 면적이 변화되는 것과 함께, 상기 유전성 탄성체 격벽의 변형으로, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극의 전위 차이가 용이하게 생성될 수 있다. 이로 인해, 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈은 역전기습윤 발전 모듈과 유전성 탄성체 발전 모듈이 융합된 발전 시스템을 포함하여, 전기 에너지 생성 효율이 향상될 수 있다.A power generation module according to an embodiment of the present invention is disposed between a first electrode on a first substrate and a second electrode on a second substrate to provide an interval in which a conductive liquid is disposed between the first substrate and the second substrate And a dielectric barrier layer. Wherein when an external physical force is applied to the power generation module, an overlapping area of the conductive liquid and the first and second electrodes is changed, and deformation of the dielectric elastic partition wall causes the potential of the first electrode and the second electrode A difference can be easily generated. Accordingly, the power generation module according to the embodiment of the present invention includes a power generation system in which the back electromotive power generation module and the dielectric elastic power generation module are fused, and the electric energy generation efficiency can be improved.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈은, 상기 제1 전극으로 제1 탄성 전극 및 제1 비탄성 전극을 포함하고, 상기 제2 전극으로 제2 탄성 전극 및 제2 비탄성 전극을 포함할 수 있다. 상기 제1 비탄성 전극은, 상기 제1 비탄성 전극 상에 배치되는 제1 유전층 및 제1 소수성 물질층을 외부 물리력으로부터 보호할 수 있고, 상기 제2 비탄성 전극은, 상기 제2 비탄성 전극 상에 배치되는 제2 유전층 및 제2 소수성 물질층을 외부 물리력으로부터 보호할 수 있다. 이로 인해, 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈은 내구성이 향상되고, 수명이 증가될 수 있다.The power module according to an embodiment of the present invention may include a first elastic electrode and a first non-elastic electrode as the first electrode, and a second elastic electrode and a second non-elastic electrode as the second electrode . Wherein the first non-elastic electrode is capable of protecting a first dielectric layer and a first hydrophobic material layer disposed on the first non-elastic electrode from external physical forces, and the second non-elastic electrode is disposed on the second non- The second dielectric layer and the second hydrophobic material layer can be protected from external physical forces. Accordingly, the durability of the power module according to the embodiment of the present invention can be improved and the service life can be increased.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈의 제1 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 외부 물리력이 인가된 발전 모듈의 제1 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈의 제2 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 외부 물리력이 인가된 발전 모듈의 제2 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈의 제3 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 외부 물리력이 인가된 발전 모듈의 제3 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈의 제4 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 외부 물리력이 인가된 발전 모듈의 제4 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a first embodiment of a power generation module according to an embodiment of the present invention.
2 is a view for explaining a power generating module to which an external physical force is applied according to an embodiment of the present invention.
3 is a view for explaining a second embodiment of the power generation module according to the embodiment of the present invention.
4 is a view for explaining a second embodiment of a power module to which an external physical force is applied according to an embodiment of the present invention.
5 is a view for explaining a third embodiment of the power generation module according to the embodiment of the present invention.
6 is a view for explaining a third embodiment of a power generation module to which an external physical force is applied according to an embodiment of the present invention.
7 is a view for explaining a fourth embodiment of the power generation module according to the embodiment of the present invention.
8 is a view for explaining a fourth embodiment of a power module to which an external physical force is applied according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the technical spirit of the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art.

본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.In this specification, when an element is referred to as being on another element, it may be directly formed on another element, or a third element may be interposed therebetween. Further, in the drawings, the thicknesses of the films and regions are exaggerated for an effective explanation of the technical content.

또한, 본 명세서의 다양한 실시 예 들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.Also, while the terms first, second, third, etc. in the various embodiments of the present disclosure are used to describe various components, these components should not be limited by these terms. These terms have only been used to distinguish one component from another. Thus, what is referred to as a first component in any one embodiment may be referred to as a second component in another embodiment. Each embodiment described and exemplified herein also includes its complementary embodiment. Also, in this specification, 'and / or' are used to include at least one of the front and rear components.

명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. The singular forms "a", "an", and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise. It is also to be understood that the terms such as " comprises "or" having "are intended to specify the presence of stated features, integers, Should not be understood to exclude the presence or addition of one or more other elements, elements, or combinations thereof.

또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 발전 모듈을 나타내는 단면도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 인가된 경우를 설명하는 단면도이다. FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a power module according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a case where an external force is applied to the power module according to the first embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 발전 모듈은, 제1 기판(110), 제1 전극(120), 제1 유전층(130), 제1 소수성 물질층(140), 제2 기판(210), 제2 전극(210), 전도성 액체(310), 또는 유전성 탄성체 격벽(320)을 포함할 수 있다.1 and 2, a power module according to a first embodiment of the present invention includes a first substrate 110, a first electrode 120, a first dielectric layer 130, a first hydrophobic material layer 140 A second substrate 210, a second electrode 210, a conductive liquid 310, or a dielectric elastomeric barrier 320.

상기 제1 기판(110)은 탄성 물질로 형성되어, 외부 물리력이 인가된 경우 변형 및 복원될 수 있다.The first substrate 110 may be formed of an elastic material and deformed and restored when an external physical force is applied thereto.

상기 제1 전극(120)은 상기 제1 기판(110) 상에 배치될 수 있다. 상기 제1 전극(120)은 패터닝(patterning)된 전극이고, 탄성 물질로 형성되어 외부 물리력이 인가된 경우 변형 및 복원될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 전극(120)은 그라파이트(graphite) 분말, 카본 블랙(carbon black) 또는 카본 그리스(carbon grease)와 같은 탄소 계열 물질을 포함할 수 있다. 또는, 다른 예를 들어, 상기 제1 전극(120)은 Al, Ni, Ag, Au, Pd, 또는 Pt와 같은 전도성 금속 물질 중에서 적어도 어느 하나를 포함하거나, 또는 이들의 혼합물을 포함할 수 있다.The first electrode 120 may be disposed on the first substrate 110. The first electrode 120 is a patterned electrode. The first electrode 120 is formed of an elastic material and can be deformed and restored when an external physical force is applied. For example, the first electrode 120 may include a carbon-based material such as graphite powder, carbon black, or carbon grease. Alternatively, for example, the first electrode 120 may include at least one of conductive metal materials such as Al, Ni, Ag, Au, Pd, or Pt, or a mixture thereof.

상기 제1 유전층(130)은 상기 제1 전극(120) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 유전층(130)은 SiO2, Al2O3, HfO2, TiO2, BaTiO3, Si2N3 또는 AlN 중에서 적어도 어느 하나를 포함하거나, 또는, 이들이 혼합된 구조 또는 적층된 구조를 포함할 수 있다.The first dielectric layer 130 may be disposed on the first electrode 120. For example, the first dielectric layer 130 may include at least one of SiO 2 , Al 2 O 3 , HfO 2 , TiO 2 , BaTiO 3 , Si 2 N 3, and AlN, And may include a laminated structure.

상기 제1 소수성 물질층(140)은 상기 제1 유전층(130) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 소수성 물질층(140)은 테플론, PTFE, PCTFE, 또는 PVDF 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 상기 제1 소수성 물질층(140)은, 상기 전도성 액체(310)와의 접촉면에서 발생할 수 있는 접촉각 이력을 최소화할 수 있다. 다시 말하면, 상기 전도성 액체(320)는 응집력(cohesive force)이 상기 전도성 액체(320)의 상기 제1 소수성 물질층(140)에 대한 부착력(adhesive force)보다 강할 수 있다. 이에 따라, 상기 전도성 액체(320)와 상기 제1 소수성 물질층(140)의 접촉 면적이 감소되고, 상기 전도성 액체(320)와 상기 제1 소수성 물질층(140)의 상호 작용(interaction force)은 최소화될 수 있다. 이로 인해, 후술되는 바와 같이, 외부 물리력의 인가 여부에 따른, 상기 전도성 액체(320)와 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 전극(220)의 중첩 면적의 변화량이 증가될 수 있다. 또한, 상기 제1 소수성 물질층(140)은, 상기 제1 유전층(130)으로 전하가 트랩(trap) 되는 것을 방지할 수 있다.The first hydrophobic material layer 140 may be disposed on the first dielectric layer 130. For example, the first hydrophobic material layer 140 may include at least one of Teflon, PTFE, PCTFE, or PVDF. The first hydrophobic material layer 140 may minimize the contact angle history that may occur at the contact surface with the conductive liquid 310. In other words, the conductive liquid 320 may have a cohesive force that is stronger than the adhesive force of the conductive liquid 320 to the first hydrophobic layer 140. The contact area between the conductive liquid 320 and the first hydrophobic material layer 140 is reduced and the interaction force between the conductive liquid 320 and the first hydrophobic material layer 140 is Can be minimized. As a result, the amount of change in the overlapping area of the conductive liquid 320 with the first electrode 120 and the second electrode 220 can be increased depending on whether an external physical force is applied, as described later. In addition, the first hydrophobic material layer 140 may prevent trapping of charges in the first dielectric layer 130.

상기 제2 기판(210)은, 상기 제1 기판(110) 상에 배치될 수 있다. 상기 제2 기판(210)은, 상기 제1 전극(120)이 배치되는 상기 제2 기판(110)의 일면과 대향하도록 배치되는 것을 포함할 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 제2 기판(210)은 상기 제1 기판(110)과 동일한 물질로 형성될 수 있다.The second substrate 210 may be disposed on the first substrate 110. The second substrate 210 may be disposed to face one surface of the second substrate 110 on which the first electrode 120 is disposed. According to one embodiment, the second substrate 210 may be formed of the same material as the first substrate 110.

상기 제2 전극(220)은, 상기 제2 기판(210) 상에 배치될 수 있다. 상기 제2 전극(220)은 상기 제1 유전층(130)이 배치되는 상기 제1 전극(120)의 일면과 대향하도록 배치되는 것을 포함할 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 제2 전극(220)은 상기 제1 전극(120)과 동일한 물질로 형성될 수 있다.The second electrode 220 may be disposed on the second substrate 210. The second electrode 220 may be disposed to face one surface of the first electrode 120 on which the first dielectric layer 130 is disposed. According to one embodiment, the second electrode 220 may be formed of the same material as the first electrode 120.

상기 유전성 탄성체 격벽(310)은, 상기 제1 기판(110) 및 상기 제2 기판(210) 사이에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)은 상기 제1 기판(110) 및 상기 제2 기판(210) 사이에 간격을 제공할 수 있다. 다시 말하면, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)은 상기 제1 소수성 물질층(140) 및 상기 제2 전극(220) 사이에 간격을 제공할 수 있다. 상기 유전성 탄성체 격벽(310)이 제공하는 상기 제1 기판(110) 및 상기 제2 기판(210) 사이의 간격이 외부 물리력에 의해 영향받아 변형 및 복원될 수 있다.The dielectric elastic partition 310 may be disposed between the first substrate 110 and the second substrate 210. Accordingly, the dielectric elastic partition 310 may provide a gap between the first substrate 110 and the second substrate 210. In other words, the dielectric elastomer partition 310 may provide a gap between the first hydrophobic material layer 140 and the second electrode 220. The gap between the first substrate 110 and the second substrate 210 provided by the dielectric elastic partition 310 may be deformed and restored by the external physical force.

상기 전도성 액체(320)는, 상기 제1 기판(110) 및 상기 제2 기판(210) 사이에, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)이 제공하는 간격 내에 배치될 수 있다. 상기 전도성 액체(320)는 액체 금속 또는 이온성 액체를 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 전도성 액체(320)는 내부에 이온 또는 전하를 포함할 수 있다. 이로 인해, 상기 전도성 액체(320)는 용이하게 분극 상태를 형성할 수 있다.The conductive liquid 320 may be disposed between the first substrate 110 and the second substrate 210 in an interval provided by the dielectric elastic partition 310. The conductive liquid 320 may comprise a liquid metal or an ionic liquid. Accordingly, the conductive liquid 320 may contain ions or electric charges therein. Accordingly, the conductive liquid 320 can easily form a polarized state.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 인가된 경우, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)이 제공하는 상기 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(210) 사이의 간격이 축소되고, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)의 형태에 변형이 발생될 수 있다.2, when an external physical force is applied to the power generation module according to the first embodiment of the present invention, the first substrate 110 and the second substrate provided by the dielectric elastic partition 310 210 may be reduced, and deformation may occur in the shape of the dielectric elastic partition 310.

이에 따라, 상기 제1 소수성 물질층(140), 상기 제1 유전층(130), 및 상기 제1 전극(120)과 상기 전도성 액체(310)의 중첩 면적(overlapping surface)이 증가되고, 상기 제2 전극(220)과 상기 전도성 액체(320)의 중첩 면적이 증가될 수 있다. 이와 같이, 상기 전도성 액체(320)의 중첩 면적 증가는, 상기 전도성 액체(320)의 분극 크기를 변화시켜, 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 전극(220) 사이의 전위 차이를 발생시킬 수 있다. 이로 인해, 상기 발전 모듈이 전기 에너지를 생성할 수 있다.Accordingly, the overlapping surface of the first hydrophobic material layer 140, the first dielectric layer 130, and the first electrode 120 and the conductive liquid 310 is increased, The overlapping area of the electrode 220 and the conductive liquid 320 can be increased. The increase in the overlapping area of the conductive liquid 320 may change the polarization magnitude of the conductive liquid 320 to generate a potential difference between the first electrode 120 and the second electrode 220 . As a result, the power generation module can generate electric energy.

또한, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)의 형태가 변형에 의해, 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 전극(220) 사이의 전위 차이가 증가될 수 있다. 이로 인해, 상기 발전 모듈의 전기 에너지 생성 효율이 향상될 수 있다.In addition, a difference in potential between the first electrode 120 and the second electrode 220 can be increased by the deformation of the dielectric elastic partition 310. Thus, the electric energy generation efficiency of the power generation module can be improved.

본 발명의 제1 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 제거된 경우, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)이 제공하는 상기 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(210) 사이의 간격, 상기 전도성 액체(320)의 형태, 및 상기 유전성 탄성체 격벽(310)의 형태는 복원될 수 있다.When the external physical force is removed from the power module according to the first embodiment of the present invention, the distance between the first substrate 110 and the second substrate 210 provided by the dielectric elastic partition 310, The shape of the liquid 320 and the shape of the dielectric elastomer partition 310 can be restored.

이에 따라, 상기 제1 소수성 물질층(140), 상기 제1 유전층(130), 및 상기 제1 전극(120)과 상기 전도성 액체(320)의 중첩 면적(overlapping surface)이 감소되고, 상기 제2 전극(220)과 상기 전도성 액체(320)의 중첩 면적이 감소될 수 있다. 이와 같이, 상기 전도성 액체(320)의 중첩 면적 감소는, 상기 전도성 액체(320)의 분극 크기를 변화시켜, 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 전극(220) 사이의 전위 차이를 발생시킬 수 있다. 이로 인해, 상기 발전 모듈이 전기 에너지를 생성할 수 있다.Accordingly, the overlapping surface of the first hydrophobic material layer 140, the first dielectric layer 130, and the first electrode 120 and the conductive liquid 320 is reduced, The overlapping area of the electrode 220 and the conductive liquid 320 can be reduced. The reduction of the overlapping area of the conductive liquid 320 may change the polarization magnitude of the conductive liquid 320 to generate a potential difference between the first electrode 120 and the second electrode 220 . As a result, the power generation module can generate electric energy.

또한, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)의 형태가 복원되어, 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 전극(220) 사이의 전위 차이가 증가될 수 있다. 이로 인해, 상기 발전 모듈의 전기 에너지 생성 효율이 향상될 수 있다.In addition, the shape of the dielectric elastic partition 310 may be restored to increase the potential difference between the first electrode 120 and the second electrode 220. Thus, the electric energy generation efficiency of the power generation module can be improved.

본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈은, 상기 제1 기판(110) 상의 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 기판(210) 상의 상기 제2 전극(220) 사이에 배치되어, 상기 제1 기판(110) 및 상기 제2 기판(210) 사이에 상기 전도성 액체(320)가 제공되는 간격을 제공하는 상기 유전성 탄성체 격벽(310)을 포함할 수 있다. 이로 인해, 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈은 역전기습윤(Reverse Electrowetting-on-Dielectric, REWOD) 발전과 유전성 탄성체 발전이 융합된 발전 시스템을 포함하여, 전기 에너지 생성 효율이 향상될 수 있다.The power generation module according to the embodiment of the present invention is disposed between the first electrode 120 on the first substrate 110 and the second electrode 220 on the second substrate 210, And the dielectric elastomer partition 310 providing an interval between the substrate 110 and the second substrate 210 at which the conductive liquid 320 is provided. Therefore, the power generation module according to the embodiment of the present invention includes a power generation system in which a reverse electrowetting-on-dielectric (REWOD) power generation and a dielectric elastic power generation are fused together, so that the electric energy generation efficiency can be improved.

본 발명의 실시 예와 달리, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)이 생략된 경우, 발전 모듈의 전기 에너지 생성 효율이 감소될 수 있다. 이로 인해, 예를 들어, 자동차, 기차 등 운송 수단의 진동을 이용한 발전 모듈, 인간의 움직임을 이용한 발전 모듈 등으로 적용함에 있어서 한계가 생길 수 있다. 또는, 다른 예를 들어, 와이어리스 마이크로센서(wireless microsensors), 임플란트 디바이스(implant devices), 또는 웨어러블 디바이스(wearable devices)와 같은 소형 전자 기기의 전력 공급원으로 활용하는 것이 용이하지 않다.Unlike the embodiment of the present invention, when the dielectric elastic partition 310 is omitted, the electric energy generation efficiency of the power generation module can be reduced. This may cause a limitation in application to, for example, a power generation module using vibration of a vehicle such as an automobile or a train, or a power generation module using human motion. Or as a power source for small electronic devices such as, for example, wireless microsensors, implant devices, or wearable devices.

하지만, 본 발명의 실시 예와 같이, 발전 모듈의 상기 제1 기판(110) 상의 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 기판(210) 상의 상기 제2 전극(220) 사이에 상기 유전성 탄성체 격벽(310)이 배치되어, 상기 제1 기판(110) 및 상기 제2 기판(210) 사이에 간격이 제공되는 경우, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)의 변형에 의해 생성되는 전기 에너지를 추가로 얻을 수 있다. 다시 말하면, 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈은 기존의 역전기습윤 발전 효과를 포함하는 동시에, 유전성 탄성체 발전 효과를 포함할 수 있다. 이에 따라, 발전 모듈의 전기 에너지 생성 효율이 향상될 수 있다.However, as in the embodiment of the present invention, between the first electrode 120 on the first substrate 110 of the power generation module and the second electrode 220 on the second substrate 210, When the first substrate 110 and the second substrate 210 are spaced apart from each other and the first substrate 310 and the second substrate 310 are spaced apart from each other, have. In other words, the power generation module according to the embodiment of the present invention may include the effect of generating a reverse electro-wetting power generation, and the effect of generating a dielectric elastomer. Accordingly, the electric energy generation efficiency of the power generation module can be improved.

도 3은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발전 모듈을 나타내는 단면도이고, 도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 인가된 경우를 설명하는 단면도이다.FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a power module according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a case where an external force is applied to the power module according to the second embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발전 모듈은, 제1 기판(110), 제1 전극(120), 제1 유전층(130), 제1 소수성 물질층(140), 제2 기판(210), 제2 전극(210), 제2 유전층(230), 제2 소수성 물질층(240), 전도성 액체(310), 또는 유전성 탄성체 격벽(320)을 포함할 수 있다.3 and 4, a power module according to a second embodiment of the present invention includes a first substrate 110, a first electrode 120, a first dielectric layer 130, a first hydrophobic material layer 140 A second substrate 210, a second electrode 210, a second dielectric layer 230, a second hydrophobic material layer 240, a conductive liquid 310, or a dielectric elastomeric barrier 320 .

상기 제1 기판(110), 상기 제1 전극(120), 상기 제1 유전층(130), 상기 제1 소수성 물질층(140), 상기 제2 기판(210), 상기 제2 전극(210), 상기 전도성 액체(310), 또는 상기 유전성 탄성체 격벽(320)은 도 1 및 도 2에서 설명한 바와 동일하게 제공될 수 있다.The first substrate 110, the first electrode 120, the first dielectric layer 130, the first hydrophobic material layer 140, the second substrate 210, the second electrode 210, The conductive liquid 310 or the dielectric elastomer partition 320 may be provided in the same manner as described with reference to FIGS.

상기 제2 유전층(230)은, 상기 제2 전극(220) 상에, 상기 전도성 액체(320)를 사이에 두고 상기 제1 소수성 물질층(140)과 대향하도록 배치될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 제2 유전층(230)은 도 1 및 도 2에서 설명한 상기 제1 유전층(130)과 동일하게 제공될 수 있다.The second dielectric layer 230 may be disposed on the second electrode 220 so as to face the first hydrophobic material layer 140 with the conductive liquid 320 interposed therebetween. According to one embodiment, the second dielectric layer 230 may be provided in the same manner as the first dielectric layer 130 described with reference to FIGS.

상기 제2 소수성 물질층(240)은, 상기 제2 유전층(230) 상에 상기 전도성 액체(320)를 사이에 두고, 상기 제1 소수성 물질층(140)과 대향하도록 배치될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 제2 소수성 물질층(240)은 도 1 및 도 2에서 설명한 상기 제1 소수성 물질층(140)과 동일하게 제공될 수 있다.The second hydrophobic material layer 240 may be disposed on the second dielectric layer 230 with the conductive liquid 320 therebetween and opposite the first hydrophobic material layer 140. According to one embodiment, the second hydrophobic material layer 240 may be provided in the same manner as the first hydrophobic material layer 140 described in FIGS. 1 and 2.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 인가되거나, 또는 제거된 경우, 도 2를 참조하여 설명된 것과 같이, 전기 에너지가 생성될 수 있다. 다시 말하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 인가되거나, 또는 제거된 경우, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)이 제공하는 상기 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(210) 사이의 간격 및 상기 유전성 탄성체 격벽(310)의 형태가 변화될 수 있다.As shown in FIG. 4, when an external physical force is applied to or removed from the power generation module according to the second embodiment of the present invention, electric energy can be generated as described with reference to FIG. In other words, when external physical force is applied to or removed from the power module according to the second embodiment of the present invention, the first substrate 110 and the second substrate 210 provided by the dielectric elastic partition 310 And the shape of the dielectric elastic partition 310 may be changed.

이에 따라, 상기 제1 소수성 물질층(140), 상기 제1 유전층(130), 및 상기 제1 전극(120)과 상기 전도성 액체(310)의 중첩 면적, 또는 상기 제2 소수성 물질층(240), 상기 제2 유전층(230), 및 상기 제2 전극(220)과 상기 전도성 액체(320)의 중첩 면적이 변화되어, 상기 전도성 액체(320)의 분극 크기를 변화시키고, 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 전극(220) 사이의 전위 차이를 발생시켜, 상기 발전 모듈이 전기 에너지를 생성할 수 있다.Accordingly, the overlapping area of the first hydrophobic material layer 140, the first dielectric layer 130, and the first electrode 120 and the conductive liquid 310, or the overlapping area of the second hydrophobic material layer 240, The second dielectric layer 230 and the second electrode 220 and the conductive liquid 320 are changed to change the polarization size of the conductive liquid 320 and the first electrode 120 And the second electrode 220, so that the power generation module can generate electric energy.

또한, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)의 형태가 변형되어 발생되는 기계적 에너지에 의해, 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 전극(220) 사이의 전위 차이가 증가될 수 있다. 이로 인해, 상기 발전 모듈의 전기 에너지 생성 효율이 향상될 수 있다.In addition, a potential difference between the first electrode 120 and the second electrode 220 can be increased by the mechanical energy generated by deforming the shape of the dielectric elastic partition 310. Thus, the electric energy generation efficiency of the power generation module can be improved.

상술된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발전 모듈은 상기 유전성 탄성체 격벽(310)을 포함할 수 있다. 이로 인해, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명된 것과 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈은 전기 에너지 생성 효율이 향상될 수 있다.As described above, the power generation module according to the second embodiment of the present invention may include the dielectric elastic partition 310. Therefore, as described with reference to FIGS. 1 and 2, the power generation module according to the embodiment of the present invention can improve the electric energy generation efficiency.

도 5는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발전 모듈을 나타내는 단면도이고, 도 6은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 인가된 경우를 설명하는 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a power module according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a case where an external force is applied to the power module according to the third embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발전 모듈은, 제1 기판(110), 제1 탄성 전극(122) 및 제1 비탄성 전극(124)을 포함하는 제1 전극(120), 제1 유전층(130), 제1 소수성 물질층(140), 제2 기판(210), 제2 탄성 전극(222) 및 제2 비탄성 전극(224)을 포함하는 제2 전극(210), 전도성 액체(310), 또는 유전성 탄성체 격벽(320)을 포함할 수 있다.5 and 6, a power module according to a third exemplary embodiment of the present invention includes a first substrate 110, a first elastic electrode 122, and a first non-elastic electrode 124, A second electrode 210 including a first dielectric layer 120, a first dielectric layer 130, a first hydrophobic material layer 140, a second substrate 210, a second elastic electrode 222 and a second non-elastic electrode 224, ), Conductive liquid 310, or dielectric elastomeric barrier 320.

상기 제1 기판(110), 상기 제1 유전층(130), 상기 제1 소수성 물질층(140), 상기 제2 기판(210), 상기 전도성 액체(310), 또는 상기 유전성 탄성체 격벽(320)은 도 1 및 도 2에서 설명한 바와 동일하게 제공될 수 있다.The first substrate 110, the first dielectric layer 130, the first hydrophobic material layer 140, the second substrate 210, the conductive liquid 310, or the dielectric elastomer partition 320 May be provided as described in Figs. 1 and 2.

상기 제1 전극(120)에 포함되는 상기 제1 탄성 전극(122)은 상기 제1 기판(110) 상에 배치될 수 있다. 상기 제1 탄성 전극(122)은 탄성 물질로 형성되어 변형 및 복원될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 탄성 전극(122)은 카본 페이스트(carbon paste), 카본 나노튜브(Carbon Nano Tube, CNT), 또는 나노와이어(nanowire) 전극 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The first elastic electrode 122 included in the first electrode 120 may be disposed on the first substrate 110. The first elastic electrode 122 may be formed of an elastic material and deformed and restored. For example, the first elastic electrode 122 may include at least one of a carbon paste, a carbon nanotube (CNT), and a nanowire electrode.

상기 제1 전극(120)에 포함되는 상기 제1 비탄성 전극(124)은 상기 제1 탄성 전극(122) 상에 배치될 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 비탄성 전극(124)은 일면을 제외하고 상기 제1 탄성 전극(122) 내에 매립되고, 상기 일면 상에 상기 제1 유전층(130)이 상기 제1 탄성 전극(122)과 이격되어 배치될 수 있다. 상기 제1 비탄성 전극(124) 상의 상기 제1 유전층(130) 상에 상기 제1 소수성 물질층(140)이 배치되고, 상기 제1 유전층(130) 및 상기 제1 소수성 물질층(140)은 상기 제1 탄성 전극(122)과 직접적으로 접촉(directly contact)되지 않을 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 탄성 전극(122)이 외부 물리력에 의해 영향 받아 형태가 변형 및 복원되는 것으로부터, 상기 제1 유전층(130) 및 상기 제1 소수성 물질층(140)의 변형이 최소화될 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 비탄성 전극(124)은 박막(layer) 형태가 아닌 기판(substrate) 형태로, 상기 제1 기판(110), 상기 제1 탄성 전극(122), 및 상기 유전성 탄성체 격벽(310)이 외부 물리력에 의해 변형 및 복원될 시, 상기 제1 유전층(130) 및 상기 제1 소수성 물질층(140)을 외부 물리력에 의한 충격으로부터 보호할 수 있다.The first inelastic electrode 124 included in the first electrode 120 may be disposed on the first elastic electrode 122. In other words, the first inelastic electrode 124 is embedded in the first elastic electrode 122 except for one surface, and the first dielectric layer 130 is separated from the first elastic electrode 122 . Wherein the first layer of hydrophobic material 140 is disposed on the first dielectric layer 130 on the first inelastic electrode 124 and the first dielectric layer 130 and the first hydrophobic material layer 140 are deposited on the first dielectric layer 130, And may not directly contact the first elastic electrode 122. Accordingly, since the first elastic electrode 122 is deformed and restored by the external physical force, deformation of the first dielectric layer 130 and the first hydrophobic material layer 140 can be minimized have. In other words, the first inelastic electrode 124 is in the form of a substrate rather than a thin layer, and the first substrate 110, the first elastic electrode 122, and the dielectric elastic partition 310 Is deformed and restored by the external physical force, the first dielectric layer 130 and the first hydrophobic material layer 140 can be protected from external physical force.

상기 제2 전극(220)에 포함되는 상기 제2 탄성 전극(222)은 상기 제2 기판(210) 상에 배치될 수 있다. 상기 제2 탄성 전극(222)은 상기 제1 탄성 전극(122)과 동일한 물질로 형성될 수 있다.The second elastic electrode 222 included in the second electrode 220 may be disposed on the second substrate 210. The second elastic electrode 222 may be formed of the same material as the first elastic electrode 122.

상기 제2 전극(220)에 포함되는 상기 제2 비탄성 전극(224)은 상기 제2 탄성 전극(222) 상에 배치될 수 있다. 다시 말하면, 상기 제2 비탄성 전극(224)은 일면을 제외하고 상기 제2 탄성 전극(222) 내에 매립되고, 상기 일면 상에 상기 제2 유전층(230)이 상기 제2 탄성 전극(222)과 이격되어 배치될 수 있다. 상기 제2 비탄성 전극(224) 상의 상기 제2 유전층(230) 상에 상기 제2 소수성 물질층(240)이 배치되고, 상기 제2 유전층(230) 및 상기 제2 소수성 물질층(240)은 상기 제2 탄성 전극(222)과 직접적으로 접촉(directly contact)되지 않을 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 탄성 전극(222)이 외부 물리력에 의해 영향 받아 형태가 변형 및 복원되는 것으로부터, 상기 제2 유전층(230) 및 상기 제2 소수성 물질층(240)의 변형이 최소화될 수 있다. 다시 말하면, 상기 제2 비탄성 전극(224)은 박막(layer) 형태가 아닌 기판(substrate) 형태로, 상기 제2 기판(210), 상기 제2 탄성 전극(222), 및 상기 유전성 탄성체 격벽(310)이 외부 물리력에 의해 변형 및 복원될 시, 상기 제2 유전층(230) 및 상기 제2 소수성 물질층(240)을 외부 물리력에 의한 충격으로부터 보호할 수 있다.The second inelastic electrode 224 included in the second electrode 220 may be disposed on the second elastic electrode 222. In other words, the second inelastic electrode 224 is embedded in the second elastic electrode 222 except for one surface, and the second dielectric layer 230 is separated from the second elastic electrode 222 on the one surface . The second dielectric layer 240 is disposed on the second dielectric layer 230 on the second inelastic electrode 224 and the second dielectric layer 230 and the second hydrophobic material layer 240 are disposed on the second dielectric layer 230 on the second non- And may not directly contact the second elastic electrode 222. Accordingly, since the second elastic electrode 222 is deformed and restored by the external physical force, deformation of the second dielectric layer 230 and the second hydrophobic material layer 240 can be minimized have. In other words, the second inelastic electrode 224 is in the form of a substrate, not in the form of a layer, and the second substrate 210, the second elastic electrode 222, and the dielectric elastic partition 310 Is deformed and restored by the external physical force, the second dielectric layer 230 and the second hydrophobic material layer 240 can be protected from external physical force.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 인가되거나, 또는 제거된 경우, 도 2를 참조하여 설명된 것과 같이, 전기 에너지가 생성될 수 있다. 다시 말하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 인가되거나, 또는 제거된 경우, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)이 제공하는 상기 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(210) 사이의 간격 및 상기 유전성 탄성체 격벽(310)의 형태가 변화될 수 있다.As shown in FIG. 6, when an external physical force is applied to or removed from the power generation module according to the third embodiment of the present invention, electric energy can be generated as described with reference to FIG. In other words, when external force is applied to or removed from the power module according to the third embodiment of the present invention, the first substrate 110 and the second substrate 210 provided by the dielectric elastic partition 310 And the shape of the dielectric elastic partition 310 may be changed.

이에 따라, 상기 제1 소수성 물질층(140), 상기 제1 유전층(130), 및 상기 제1 전극(120)과 상기 전도성 액체(310)의 중첩 면적, 또는 상기 제2 소수성 물질층(240), 상기 제2 유전층(230), 및 상기 제2 전극(220)과 상기 전도성 액체(320)의 중첩 면적이 변화되어, 상기 전도성 액체(320)의 분극 크기를 변화시키고, 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 전극(220) 사이의 전위 차이를 발생시켜, 상기 발전 모듈이 전기 에너지를 생성할 수 있다.Accordingly, the overlapping area of the first hydrophobic material layer 140, the first dielectric layer 130, and the first electrode 120 and the conductive liquid 310, or the overlapping area of the second hydrophobic material layer 240, The second dielectric layer 230 and the second electrode 220 and the conductive liquid 320 are changed to change the polarization size of the conductive liquid 320 and the first electrode 120 And the second electrode 220, so that the power generation module can generate electric energy.

또한, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)의 형태가 변형되어 발생되는 기계적 에너지에 의해, 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 전극(220) 사이의 전위 차이가 증가될 수 있다. 이로 인해, 상기 발전 모듈의 전기 에너지 생성 효율이 증가될 수 있다.In addition, a potential difference between the first electrode 120 and the second electrode 220 can be increased by the mechanical energy generated by deforming the shape of the dielectric elastic partition 310. As a result, the electric energy generating efficiency of the power generation module can be increased.

상술된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발전 모듈은 상기 유전성 탄성체 격벽(310)을 포함할 수 있다. 이로 인해, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명된 것과 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈은 전기 에너지 생성 효율이 향상될 수 있다.As described above, the power generation module according to the third embodiment of the present invention may include the dielectric elastic partition 310. Therefore, as described with reference to FIGS. 1 and 2, the power generation module according to the embodiment of the present invention can improve the electric energy generation efficiency.

또한, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발전 모듈은, 상기 제1 비탄성 전극(124)을 포함할 수 있다. 상기 제1 비탄성 전극(124)은, 상기 제1 비탄성 전극(124) 상에 배치되는 상기 제1 유전층(130) 및 상기 제1 소수성 물질층(140)의 형태가 외부 물리력에 의해 손상되지 않도록 보호할 수 있다. 이로 인해, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발전 모듈의 내구성이 향상될 수 있다.In addition, the power module according to the third embodiment of the present invention may include the first inelastic electrode 124. The first inelastic electrode 124 is disposed on the first inelastic electrode 124 such that the shape of the first dielectric layer 130 and the first hydrophobic material layer 140 disposed on the first inelastic electrode 124 is protected can do. Thus, the durability of the power generation module according to the third embodiment of the present invention can be improved.

본 발명의 제3 실시 예와 달리, 발전 모듈이 상기 제1 비탄성 전극(124)을 포함하지 못하는 경우, 상기 제1 유전층(130) 및 상기 제1 소수성 물질층(140)은 상기 제1 전극(120) 상에 배치될 수 있다. 이에 따라, 외부 물리력이 인가된 경우, 탄성 물질로 형성된 상기 제1 전극(120)이 변형되고, 상기 변형에 의해 상기 제1 유전층(130) 및 상기 제1 소수성 물질층(140)이 변형되어, 영구적으로 손상될 수 있다. 따라서, 발전 모듈이 상기 제1 비탄성 전극(124)을 포함하지 못하는 경우, 발전 모듈의 내구성이 저하되어, 수명이 감소될 수 있다. 이로 인해, 예를 들어, 와이어리스 마이크로센서(wireless microsensors), 임플란트 디바이스(implant devices), 또는 웨어러블 디바이스(wearable devices)와 같은 소형 전자 기기의 전력 공급원으로 활용하는 것이 용이하지 않다.The first dielectric layer 130 and the first hydrophobic material layer 140 may be formed on the first electrode 130 and the second dielectric layer 130 in the case where the power module does not include the first inelastic electrode 124. [ 120). Accordingly, when the external physical force is applied, the first electrode 120 formed of the elastic material is deformed, and the first dielectric layer 130 and the first hydrophobic material layer 140 are deformed by the deformation, It can be permanently damaged. Therefore, when the power generation module does not include the first inelastic electrode 124, the durability of the power generation module is lowered, and the service life can be reduced. This makes it difficult to utilize it as a power source for small electronic devices such as, for example, wireless microsensors, implant devices, or wearable devices.

하지만, 본 발명의 실시 예와 같이, 발전 모듈에 상기 제1 비탄성 전극(124)이 포함된 경우, 상기 제1 비탄성 전극(124) 상에 배치되는 상기 제1 유전층(130) 및 상기 제1 소수성 물질층(140)이 외부 물리력으로부터 보호되어, 발전 모듈의 내구성이 향상되고, 수명이 증가될 수 있다.However, when the power module includes the first inelastic electrode 124, the first dielectric layer 130 disposed on the first inelastic electrode 124 and the first dielectric layer 130 disposed on the first inelastic electrode 124, as in the embodiment of the present invention, The material layer 140 is protected from external physical forces, the durability of the power generation module can be improved, and the lifetime can be increased.

도 7은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발전 모듈을 나타내는 단면도이고, 도 8은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 인가된 경우를 설명하는 단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a power module according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a case where an external physical force is applied to the power module according to the fourth embodiment of the present invention.

도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발전 모듈은, 제1 기판(110), 제1 탄성 전극(122) 및 제1 비탄성 전극(124)을 포함하는 제1 전극(120), 제1 유전층(130), 제1 소수성 물질층(140), 제2 기판(210), 제2 탄성 전극(222) 및 제2 비탄성 전극(224)을 포함하는 제2 전극(210), 제2 유전층(230), 제2 소수성 물질층(240), 전도성 액체(310), 또는 유전성 탄성체 격벽(320)을 포함할 수 있다.7 and 8, a power module according to a fourth exemplary embodiment of the present invention includes a first substrate 110, a first elastic electrode 122, and a first non-elastic electrode 124, A second electrode 210 including a first dielectric layer 120, a first dielectric layer 130, a first hydrophobic material layer 140, a second substrate 210, a second elastic electrode 222 and a second non-elastic electrode 224, A second dielectric layer 230, a second hydrophobic material layer 240, a conductive liquid 310, or a dielectric elastomeric barrier 320.

상기 제1 기판(110), 상기 제1 유전층(130), 상기 제1 소수성 물질층(140), 상기 제2 기판(210), 상기 제2 유전층(230), 상기 제2 소수성 물질층(240), 상기 전도성 액체(310), 또는 상기 유전성 탄성체 격벽(320)은 도 1 및 도 2에서 설명한 바와 동일하게 제공되고, 상기 제1 탄성 전극(122), 상기 제1 비탄성 전극(124), 제2 탄성 전극(222) 또는 제2 비탄성 전극(224)은 도 5 및 도 6에서 설명한 바와 동일하게 제공될 수 있다.The first substrate 110, the first dielectric layer 130, the first hydrophobic material layer 140, the second substrate 210, the second dielectric layer 230, the second hydrophobic material layer 240 The conductive liquid 310 or the dielectric elastomer partition 320 is provided in the same manner as described with reference to FIGS. 1 and 2, and the first elastic electrode 122, the first inelastic electrode 124, 2 elastic electrode 222 or the second non-elastic electrode 224 may be provided as described in Figs. 5 and 6.

도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 인가되거나, 또는 제거된 경우, 도 2를 참조하여 설명된 것과 같이, 전기 에너지가 생성될 수 있다. 다시 말하면, 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발전 모듈에 외부 물리력이 인가되거나, 또는 제거된 경우, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)이 제공하는 상기 제1 기판(110)과 상기 제2 기판(210) 사이의 간격 및 상기 유전성 탄성체 격벽(310)의 형태가 변화될 수 있다.As shown in FIG. 8, when an external physical force is applied to or removed from the power generation module according to the fourth embodiment of the present invention, electric energy can be generated as described with reference to FIG. In other words, when external force is applied to or removed from the power module according to the fourth embodiment of the present invention, the first substrate 110 and the second substrate 210 provided by the dielectric elastic partition 310 And the shape of the dielectric elastic partition 310 may be changed.

이에 따라, 상기 제1 소수성 물질층(140), 상기 제1 유전층(130), 및 상기 제1 전극(120)과 상기 전도성 액체(310)의 중첩 면적, 또는 상기 제2 소수성 물질층(240), 상기 제2 유전층(230), 및 상기 제2 전극(220)과 상기 전도성 액체(320)의 중첩 면적이 변화되어, 상기 전도성 액체(320)의 분극 크기를 변화시키고, 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 전극(220) 사이의 전위 차이를 발생시켜, 상기 발전 모듈이 전기 에너지를 생성할 수 있다.Accordingly, the overlapping area of the first hydrophobic material layer 140, the first dielectric layer 130, and the first electrode 120 and the conductive liquid 310, or the overlapping area of the second hydrophobic material layer 240, The second dielectric layer 230 and the second electrode 220 and the conductive liquid 320 are changed to change the polarization size of the conductive liquid 320 and the first electrode 120 And the second electrode 220, so that the power generation module can generate electric energy.

또한, 상기 유전성 탄성체 격벽(310)의 형태가 변형되어 발생되는 기계적 에너지에 의해, 상기 제1 전극(120) 및 상기 제2 전극(220) 사이의 전위 차이가 증가될 수 있다. 이로 인해, 상기 발전 모듈의 전기 에너지 생성 효율이 향상될 수 있다.In addition, a potential difference between the first electrode 120 and the second electrode 220 can be increased by the mechanical energy generated by deforming the shape of the dielectric elastic partition 310. Thus, the electric energy generation efficiency of the power generation module can be improved.

상술된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발전 모듈은 상기 유전성 탄성체 격벽(310)을 포함할 수 있다. 이로 인해, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명된 것과 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈은 전기 에너지 생성 효율이 향상될 수 있다.As described above, the power generation module according to the fourth embodiment of the present invention may include the dielectric elastic partition 310. Therefore, as described with reference to FIGS. 1 and 2, the power generation module according to the embodiment of the present invention can improve the electric energy generation efficiency.

또한, 상술된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발전 모듈은 상기 제1 비탄성 전극(124) 및 상기 제2 비탄성 전극(224)을 포함할 수 있다. 이로 인해, 도 5 및 도 6을 참조하여 설명된 것과 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 발전 모듈의 내구성이 향상될 수 있다.In addition, as described above, the power module according to the fourth embodiment of the present invention may include the first inelastic electrode 124 and the second inelastic electrode 224. Thus, as described with reference to FIGS. 5 and 6, the durability of the power generation module according to the embodiment of the present invention can be improved.

이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the scope of the present invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will also be appreciated that many modifications and variations will be apparent to those skilled in the art without departing from the scope of the present invention.

110: 제1 기판
120: 제1 전극
122: 제1 탄성 전극
124: 제1 비탄성 전극
130: 제1 유전층
140: 제1 소수성 물질층
210: 제2 기판
220: 제2 전극
222: 제2 탄성 전극
224: 제2 비탄성 전극
230: 제2 유전층
240: 제2 소수성 물질층
310: 유전성 탄성체 격벽
320: 전도성 액체
330: 외부 물리력110: first substrate
120: first electrode
122: first elastic electrode
124: first inelastic electrode
130: first dielectric layer
140: first hydrophobic material layer
210: a second substrate
220: second electrode
222: second elastic electrode
224: second inelastic electrode
230: second dielectric layer
240: Second hydrophobic material layer
310: dielectric elastic partition
320: Conductive liquid
330: External Physical Force

Claims (13)

제1 기판;
상기 제1 기판 상의 제1 전극;
상기 제1 전극 상의 제1 유전층;
상기 제1 유전층 상의 전도성 액체;
상기 제1 기판 상의 제2 기판;
상기 제2 기판 상에 배치되고, 상기 전도성 액체를 사이에 두고 상기 제1 유전층과 이격된 제2 전극; 및
상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 배치되고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 간격을 제공하는 유전성 탄성체 격벽을 포함하되, 상기 유전성 탄성체 격벽이 제공하는 간격 내에 상기 전도성 액체가 배치되는 것을 포함하는 발전 모듈.A first substrate;
A first electrode on the first substrate;
A first dielectric layer on the first electrode;
A conductive liquid on the first dielectric layer;
A second substrate on the first substrate;
A second electrode disposed on the second substrate and spaced apart from the first dielectric layer with the conductive liquid therebetween; And
And a dielectric elastomeric barrier disposed between the first substrate and the second substrate and providing a gap between the first substrate and the second substrate, wherein the conductive liquid is disposed within an interval provided by the dielectric elastomer bulkhead, ≪ / RTI > 제1항에 있어서,
상기 제1 전극은 제1 탄성 전극 및 제1 비탄성 전극을 포함하고, 상기 제2 전극은 제2 탄성 전극 및 제2 비탄성 전극을 포함하되,
상기 제1 기판 상에 상기 제1 탄성 전극이 배치되고, 상기 제1 탄성 전극 상에 제1 비탄성 전극이 배치되고,
상기 제2 기판 상에 상기 제2 탄성 전극이 배치되고, 상기 제2 탄성 전극 상에 상기 제2 비탄성 전극이 배치되는 것을 포함하는 발전 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the first electrode comprises a first elastic electrode and a first non-elastic electrode, the second electrode comprises a second elastic electrode and a second non-elastic electrode,
Wherein the first elastic electrode is disposed on the first substrate, the first non-elastic electrode is disposed on the first elastic electrode,
Wherein the second elastic electrode is disposed on the second substrate, and the second inelastic electrode is disposed on the second elastic electrode. 제2항에 있어서,
상기 제1 비탄성 전극은, 상기 제1 유전층이 배치되는 일면을 제외하고 상기 제1 탄성 전극 내에 매립되고,
상기 제2 비탄성 전극은, 일면을 제외하고 상기 제2 탄성 전극 내에 매립되어, 상기 전도성 액체를 사이에 두고 상기 제1 유전층과 이격된 것을 포함하는 발전 모듈.3. The method of claim 2,
Wherein the first inelastic electrode is embedded in the first elastic electrode except one surface on which the first dielectric layer is disposed,
Wherein the second inelastic electrode is embedded in the second elastic electrode except for one surface and is spaced apart from the first dielectric layer with the conductive liquid therebetween. 제3 항에 있어서,
상기 제1 유전층은, 상기 제1 비탄성 전극을 사이에 두고, 상기 제1 탄성 전극과 이격되는 것을 포함하는 발전 모듈.The method of claim 3,
Wherein the first dielectric layer is spaced apart from the first elastic electrode with the first non-elastic electrode interposed therebetween. 제3 항에 있어서,
상기 제1 탄성 전극은, 상기 제1 비탄성 전극이 매립되지 않은 일면을 포함하고,
상기 제2 탄성 전극은, 상기 제2 비탄성 전극이 매립되지 않은 일면을 포함하고,
상기 유전성 탄성체 격벽은, 상기 제1 탄성 전극의 상기 일면 및 상기 제2 탄성 전극의 상기 일면 사이에 배치되는 것을 포함하는 발전 모듈.The method of claim 3,
Wherein the first elastic electrode includes one surface on which the first inelastic electrode is not embedded,
Wherein the second elastic electrode includes one surface on which the second inelastic electrode is not embedded,
Wherein the dielectric elastic partition is disposed between the one surface of the first elastic electrode and the one surface of the second elastic electrode. 제3항에 있어서,
외부 물리력에 의해 상기 제1 탄성 전극, 상기 제2 탄성 전극 및 상기 유전성 탄성체 격벽이 변형되고, 복원되는 것을 포함하는 발전 모듈.The method of claim 3,
Wherein the first elastic electrode, the second elastic electrode, and the dielectric elastic partition are deformed and restored by an external physical force. 제6항에 있어서,
상기 제1 탄성 전극, 상기 제2 탄성 전극, 및 상기 유전성 탄성체 격벽이 변형 및 복원되는 동안, 상기 제1 비탄성 전극 상에 배치된 상기 제1 유전체층은 보호되는 것을 포함하는 발전 모듈.The method according to claim 6,
Wherein the first dielectric layer disposed on the first non-elastic electrode is protected while the first elastic electrode, the second elastic electrode, and the dielectric elastomer partition are deformed and restored. 제1항에 있어서,
상기 제1 유전층 및 상기 전도성 액체 사이에 배치되는 제1 소수성 물질층을 더 포함하는 발전 모듈.The method according to claim 1,
Further comprising a first hydrophobic material layer disposed between the first dielectric layer and the conductive liquid. 제1항에 있어서,
상기 제2 전극 및 상기 전도성 액체 사이에 배치되는 제2 유전층; 및
상기 제2 유전층 및 상기 전도성 액체 사이에 배치되는 제2 소수성 물질층을 더 포함하는 발전 모듈.The method according to claim 1,
A second dielectric layer disposed between the second electrode and the conductive liquid; And
And a second hydrophobic material layer disposed between the second dielectric layer and the conductive liquid. 제1항에 있어서,
외부 물리력에 의해 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 간격이 변화되고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 간격에 따라서, 상기 전도성 액체와 상기 제1 유전층 접촉 면적이 변화되고, 상기 전도성 액체와 상기 제1 유전층의 접촉 면적의 변화에 의해 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 전위차이가 변화되는 것을 포함하는 발전 모듈.The method according to claim 1,
Wherein a distance between the first substrate and the second substrate is changed by an external physical force and a contact area of the conductive liquid and the first dielectric layer is changed in accordance with an interval between the first substrate and the second substrate, Wherein a potential difference between the first electrode and the second electrode is changed by a change in a contact area between the conductive liquid and the first dielectric layer. 제10항에 있어서,
상기 제2 전극 및 상기 전도성 액체 사이에 배치되는 제2 유전층; 및
상기 제2 유전층 및 상기 전도성 액체 사이에 배치되는 제2 소수성 물질층을 더 포함하되,
외부 물리력에 의해 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 간격이 변화되고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이의 간격에 따라서, 상기 전도성 액체와 상기 소수성 물질층의 접촉 면적이 변화되고, 상기 전도성 액체와 상기 소수성 물질층의 접촉 면적의 변화에 의해 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 전위차이가 변화되는 것을 포함하는 발전 모듈.11. The method of claim 10,
A second dielectric layer disposed between the second electrode and the conductive liquid; And
Further comprising a second hydrophobic material layer disposed between the second dielectric layer and the conductive liquid,
A distance between the first substrate and the second substrate is changed by an external physical force and a contact area between the conductive liquid and the hydrophobic material layer is changed according to an interval between the first substrate and the second substrate, And a potential difference between the first electrode and the second electrode is changed by a change in a contact area between the conductive liquid and the hydrophobic material layer. 제1항에 있어서,
상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 배치되고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 간격을 제공하는 상기 유전성 탄성체 격벽을 포함하되,
외부 물리력에 의해 상기 유전성 탄성체 격벽이 변형되고, 상기 유전성 탄성체 격벽의 변형에 의해 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 전위차이가 변화되는 것을 포함하는 발전 모듈.The method according to claim 1,
And a dielectric elastomeric barrier disposed between the first substrate and the second substrate and providing a gap between the first substrate and the second substrate,
Wherein the dielectric elastic partition wall is deformed by an external physical force and a potential difference between the first electrode and the second electrode is changed by deformation of the dielectric elastic partition. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 외부 전원과 연결되지 않은 것을 포함하는 발전 모듈.
13. The method according to any one of claims 1 to 12,
Wherein the first electrode and the second electrode are not connected to an external power source.
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