KR20170138953A - Multiplexer and radio-frequency (rf) front-end module - Google Patents

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KR20170138953A
KR20170138953A KR1020170071719A KR20170071719A KR20170138953A KR 20170138953 A KR20170138953 A KR 20170138953A KR 1020170071719 A KR1020170071719 A KR 1020170071719A KR 20170071719 A KR20170071719 A KR 20170071719A KR 20170138953 A KR20170138953 A KR 20170138953A
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준페이 야스다
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가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
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Abstract

The present invention relates to a multiplexer and a high-frequency front-end module. When an elastic wave filter is used in the multiplexer, the multiplexer can suppress degradation of passing properties of other filters configuring the same multiplexer. The multiplexer comprises: a first filter (11) arranged between a common terminal (15) and a first terminal (16); and a second filter (12) which is arranged between the common terminal (15) and a second terminal (17) while having a higher pass-band frequency than the first filter (11). The second filter (12) has multiple inter-digital transducers (IDTs, 211 to 215) arranged to be coupled in a vertical manner. IDT electrodes (212b, 214b) on one side among multiple IDT electrodes configuring the IDTs (211 to 215) are connected to the common terminal (15). IDT electrodes (212b, 214b) on the other side are connected to the second terminal (17). The IDT electrodes on both sides have different main pitch (m) values regarding multiple electrode fingers. One or more among the IDT electrodes on the other side have the maximum main pitch (m) value regarding the electrode fingers.

Description

멀티플렉서 및 고주파 프론트엔드 모듈 {MULTIPLEXER AND RADIO-FREQUENCY (RF) FRONT-END MODULE}MULTIPLEXER AND RADIO-FREQUENCY (RF) FRONT-END MODULE}

본 발명은, 복수의 필터를 갖는 멀티플렉서, 및 이 멀티플렉서를 구비하는 고주파 프론트엔드 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a multiplexer having a plurality of filters and a high-frequency front end module including the multiplexer.

최근의 휴대 전화에는, 한 단말에서 복수의 주파수 대역 및 복수의 무선 방식, 이른바 멀티 밴드화 및 멀티 모드화에 대응하는 것이 요구되고 있다. 이것에 대응하기 위해, 하나의 안테나의 바로 아래에는, 복수의 무선 반송 주파수를 갖는 고주파 신호를 분파하는 멀티플렉서가 배치된다. 멀티플렉서를 구성하는 복수의 대역 통과 필터로서는, 통과 대역 내에 있어서의 저손실성 및 통과 대역 주변에 있어서의 통과 특성의 급준성을 특징으로 하는 탄성파 필터 등이 사용된다.BACKGROUND ART [0002] In recent mobile phones, a single terminal is required to support a plurality of frequency bands and a plurality of radio systems, so-called multi-band and multi-mode. In order to cope with this, a multiplexer for demultiplexing a high-frequency signal having a plurality of radio carrier frequencies is disposed immediately below one antenna. As the plurality of bandpass filters constituting the multiplexer, an acoustic wave filter or the like is used which is characterized by low loss within the pass band and the steepness of the pass characteristic around the pass band.

이 탄성파 필터의 일례로서, 특허문헌 1에는, 5개의 IDT(Inter Digital Transducer)부를 갖는 종결합형 탄성파 필터가 개시되어 있다. 이 탄성파 필터에서는, 5개의 IDT부가 탄성파의 전파 방향을 따라 압전 기판 상에 배치되어 있다.As an example of this acoustic wave filter, Patent Document 1 discloses a longitudinally coupled acoustic wave filter having five IDT (Inter Digital Transducer) portions. In this elastic wave filter, five IDT portions are arranged on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the acoustic wave.

국제 공개 제2013/069225호International Publication No. 2013/069225

특허문헌 1에 개시된 탄성파 필터에서는, 5개의 IDT부 중 제1 IDT 전극, 제3 IDT 전극 및 제5 IDT 전극이 한쪽의 입력측의 단자(불평형 단자)에 공통 접속되고, 제2 IDT 전극 및 제4 IDT 전극이, 상이한 다른 쪽의 출력측의 단자(평형 단자)에 각각 접속되어 있다. 또한, 특허문헌 1의 단락 [0025]의 기재에서는, 제1 및 제5 IDT 전극의 전극 핑거의 피치는 1.0582㎛, 제2 및 제4 IDT 전극의 전극 핑거의 피치는, 1.0569㎛, 제3 IDT 전극의 전극 핑거의 피치는 1.0612㎛로 되어 있다. 즉, 최대의 전극 핑거의 피치를 갖는 IDT 전극(특허문헌 1의 경우, 제3 IDT 전극)이 입력측 단자에 접속되어 있다.In the elastic wave filter disclosed in Patent Document 1, the first IDT electrode, the third IDT electrode, and the fifth IDT electrode among the five IDT portions are commonly connected to one input side terminal (unbalanced terminal), and the second IDT electrode and the fourth IDT electrodes are connected to the terminals (balanced terminals) on the other output side which are different from each other. In the description of paragraph [0025] of Patent Document 1, the pitch of the electrode fingers of the first and fifth IDT electrodes is 1.0582 μm, the pitch of the electrode fingers of the second and fourth IDT electrodes is 1.0569 μm, The pitch of the electrode fingers of the electrode is 1.0612 mu m. That is, the IDT electrode having the largest electrode finger pitch (in the case of Patent Document 1, the third IDT electrode) is connected to the input side terminal.

전술한 멀티 밴드화 등에 대응하기 위해서는, 복수의 필터를 갖는 멀티플렉서가 사용된다. 이것에 관하여 발명자는, 멀티플렉서의 필터로서 상기에 나타낸 바와 같은 전극 핑거의 피치를 갖는 탄성파 필터를 사용한 경우, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 경우가 있는 것을 알아 내었다.In order to cope with the above-described multi-banding and the like, a multiplexer having a plurality of filters is used. In this regard, the inventors have found that when the elastic wave filter having the pitch of the electrode fingers as described above is used as the filter of the multiplexer, the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer may be lowered.

따라서, 본 발명은, 멀티플렉서에 있어서 탄성파 필터를 사용하는 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제하는 것을 목적으로 한다.Therefore, it is an object of the present invention to suppress degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer when an acoustic wave filter is used in a multiplexer.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 형태에 관한 멀티플렉서는, 공통 단자, 제1 단자 및 제2 단자와, 상기 공통 단자와 상기 제1 단자를 연결하는 경로 상에 배치된 제1 필터와, 상기 공통 단자와 상기 제2 단자를 연결하는 경로 상에 배치되고, 상기 제1 필터보다 높은 통과 대역 주파수를 갖는 제2 필터를 구비하고, 상기 제2 필터는, 탄성파 필터이며, 탄성파의 전파 방향을 따라 배치된 복수의 IDT부를 갖고, 상기 복수의 IDT부 각각은, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극으로 구성되고, 상기 복수의 IDT부를 구성하는 복수의 상기 IDT 전극 중, 한쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 공통 단자측에 접속되고, 다른 쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 제2 단자측에 접속되고, 상기 한쪽의 IDT 전극 및 상기 다른 쪽의 IDT 전극 각각은, 압전 기판의 표면에 형성되고, 상기 탄성파의 전파 방향으로 배열되는 복수의 전극 핑거를 갖고, 상기 한쪽의 IDT 전극과 상기 다른 쪽의 IDT 전극에서는, 상기 전극 핑거의 메인 피치가 상이하고, 상기 다른 쪽의 IDT 전극 중 적어도 하나는, 복수의 상기 IDT 전극 중 상기 전극 핑거의 메인 피치가 최대이다.According to one aspect of the present invention, there is provided a multiplexer comprising: a common terminal; a first terminal; a second terminal; a first filter disposed on a path connecting the common terminal and the first terminal; And a second filter disposed on a path connecting the common terminal and the second terminal and having a higher passband frequency than the first filter, wherein the second filter is an elastic wave filter, and the propagation direction of the elastic wave is Wherein each of the plurality of IDT portions is constituted by a set of IDT electrodes opposed to each other, and of the plurality of IDT electrodes constituting the plurality of IDT portions, one of the plurality of IDT portions is common to the common Terminal and the second terminal, and the other IDT electrode is connected to the second terminal side of the common terminal and the second terminal, and the other IDT electrode and the other IDT electrode are connected to the second terminal side,Each of the electrodes has a plurality of electrode fingers formed on the surface of the piezoelectric substrate and arranged in the propagation direction of the acoustic wave, and the main pitches of the electrode fingers of the one IDT electrode and the other IDT electrode are different , And at least one of the other IDT electrodes has a main pitch of the electrode fingers of the plurality of IDT electrodes.

이와 같이, 다른 쪽의 IDT 전극 중 적어도 하나에 대해서, 전극 핑거의 메인 피치가 최대로 되도록 함으로써, 제1 필터의 주파수 통과 대역에 발생하는 제2 필터의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를 제1 필터의 통과 대역 밖으로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 멀티플렉서에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.Thus, by setting the main pitch of the electrode finger to at least one of the other IDT electrodes to be the maximum, the position of the unwanted wave whose return loss of the second filter generated in the frequency passband of the first filter becomes large is set to the first It is possible to move it out of the pass band of the filter. Thereby, when the acoustic wave filter is used in the multiplexer, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer.

또한, 상기 한쪽의 IDT 전극 중 적어도 하나는, 복수의 상기 IDT 전극 중 상기 전극 핑거의 메인 피치가 최소여도 된다.At least one of the IDT electrodes may have a minimum pitch between the electrode fingers of the plurality of IDT electrodes.

이와 같이, 한쪽의 IDT 전극 중 적어도 하나에 대해서, 전극 핑거의 메인 피치가 최소로 되도록 함으로써, 제1 필터의 통과 대역에 발생하는 제2 필터의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를, 제1 필터의 통과 대역보다도 고주파측이며, 제2 필터의 저주파측 스톱 밴드의 대역 내로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 멀티플렉서에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.In this manner, by setting the main pitch of the electrode finger to at least one of the IDT electrodes on one side, the position of the unwanted wave whose return loss of the second filter generated in the pass band of the first filter becomes large, Frequency band side of the second filter and can be moved to the band of the low-frequency side stop band of the second filter. Thereby, when the acoustic wave filter is used in the multiplexer, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer.

또한, 본 발명의 다른 일 형태에 관한 멀티플렉서는, 공통 단자, 제1 단자 및 제2 단자와, 상기 공통 단자와 상기 제1 단자를 연결하는 경로 상에 배치된 제1 필터와, 상기 공통 단자와 상기 제2 단자를 연결하는 경로 상에 배치되고, 상기 제1 필터보다 높은 통과 대역 주파수를 갖는 제2 필터를 구비하고, 상기 제2 필터는, 탄성파 필터이며, 탄성파의 전파 방향을 따라 배치된 복수의 IDT부를 갖고, 상기 복수의 IDT부 각각은, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극으로 구성되고, 상기 복수의 IDT부를 구성하는 복수의 상기 IDT 전극 중, 한쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 공통 단자측에 접속되고, 다른 쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 제2 단자측에 접속되고, 상기 한쪽의 IDT 전극 및 상기 다른 쪽의 IDT 전극 각각은, 압전 기판의 표면에 형성되고, 상기 탄성파의 전파 방향으로 배열되는 복수의 전극 핑거를 갖고, 상기 한쪽의 IDT 전극과 상기 다른 쪽의 IDT 전극에서는, 상기 전극 핑거의 메인 피치가 상이하고, 상기 한쪽의 IDT 전극이 갖는 상기 전극 핑거의 피치의 총 평균은, 상기 다른 쪽의 IDT 전극이 갖는 상기 전극 핑거의 피치의 총 평균보다도 작다.According to another aspect of the present invention, there is provided a multiplexer comprising: a common terminal; a first terminal; a second terminal; a first filter disposed on a path connecting the common terminal and the first terminal; And a second filter disposed on a path connecting the second terminal and having a higher passband frequency than the first filter, wherein the second filter is an elastic wave filter, and the plurality of IDT portions of the plurality of IDT portions, each of the plurality of IDT portions is constituted by a set of IDT electrodes opposed to each other, and of the plurality of IDT electrodes constituting the plurality of IDT portions, one of the IDT electrodes is connected to the common terminal and the And the other IDT electrode is connected to the second terminal side of the common terminal and the second terminal, and each of the one IDT electrode and the other IDT electrode is connected to the common terminal side of the two IDT electrodes, Piezoelectric And a plurality of electrode fingers formed on the surface of the substrate and arranged in the propagation direction of the elastic wave, wherein the electrode fingers of the one IDT electrode and the other IDT electrode have different main pitches, The total average of the pitches of the electrode fingers of the electrode is smaller than the total average of the pitches of the electrode fingers of the other IDT electrode.

이와 같이, 한쪽의 IDT 전극이 갖는 전극 핑거의 피치의 총 평균을, 다른 쪽의 IDT 전극이 갖는 전극 핑거의 피치의 총 평균보다도 작게 함으로써, 제1 필터의 주파수 통과 대역에 발생하는 제2 필터의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를 제1 필터의 통과 대역 밖으로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 멀티플렉서에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.By making the total average of the pitches of the electrode fingers of one IDT electrode smaller than the total average of the pitches of the electrode fingers of the other IDT electrode as described above, It becomes possible to move the position of the unwanted wave whose return loss becomes large out of the pass band of the first filter. Thereby, when the acoustic wave filter is used in the multiplexer, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer.

또한, 본 발명의 다른 일 형태에 관한 멀티플렉서는, 공통 단자, 제1 단자 및 제2 단자와, 상기 공통 단자와 상기 제1 단자를 연결하는 경로 상에 배치된 제1 필터와, 상기 공통 단자와 상기 제2 단자를 연결하는 경로 상에 배치되고, 상기 제1 필터보다 높은 통과 대역 주파수를 갖는 제2 필터를 구비하고, 상기 제2 필터는, 탄성파 필터이며, 탄성파의 전파 방향을 따라 배치된 복수의 IDT부를 갖고, 상기 복수의 IDT부 각각은, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극으로 구성되고, 상기 복수의 IDT부를 구성하는 복수의 상기 IDT 전극 중, 한쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 공통 단자측에 접속되고, 다른 쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 제2 단자측에 접속되고, 상기 한쪽의 IDT 전극 및 상기 다른 쪽의 IDT 전극 각각은, 압전 기판의 표면에 형성되고, 상기 탄성파의 전파 방향으로 배열되는 복수의 전극 핑거를 갖고, 상기 한쪽의 IDT 전극과 상기 다른 쪽의 IDT 전극에서는, 상기 전극 핑거의 메인 피치가 상이하고, 각각의 상기 IDT 전극에 있어서 상기 전극 핑거의 피치의 평균값을 구한 경우에, 최대의 상기 평균값을 갖는 IDT 전극이 상기 다른 쪽의 IDT 전극 중에 존재한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a multiplexer comprising: a common terminal; a first terminal; a second terminal; a first filter disposed on a path connecting the common terminal and the first terminal; And a second filter disposed on a path connecting the second terminal and having a higher passband frequency than the first filter, wherein the second filter is an elastic wave filter, and the plurality of IDT portions of the plurality of IDT portions, each of the plurality of IDT portions is constituted by a set of IDT electrodes opposed to each other, and of the plurality of IDT electrodes constituting the plurality of IDT portions, one of the IDT electrodes is connected to the common terminal and the And the other IDT electrode is connected to the second terminal side of the common terminal and the second terminal, and each of the one IDT electrode and the other IDT electrode is connected to the common terminal side of the two IDT electrodes, Piezoelectric And a plurality of electrode fingers formed on the surface of the substrate and arranged in the propagation direction of the elastic wave, wherein the electrode fingers of the one IDT electrode and the other IDT electrode have different main pitches, When the average value of the pitches of the electrode fingers is obtained in the electrode, the IDT electrode having the maximum average value exists in the other IDT electrode.

이와 같이, 각각의 IDT 전극에 있어서 전극 핑거의 피치의 평균값을 구한 경우에, 최대의 평균값을 갖는 IDT 전극이 다른 쪽의 IDT 전극 중에 존재함으로써, 제1 필터의 주파수 통과 대역에 발생하는 제2 필터의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를 제1 필터의 통과 대역 밖으로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 멀티플렉서에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.In this way, when the average value of the pitches of the electrode fingers is obtained for each of the IDT electrodes, the IDT electrode having the maximum average value exists in the other IDT electrode, It is possible to move the position of the unwanted wave whose return loss becomes large, out of the pass band of the first filter. Thereby, when the acoustic wave filter is used in the multiplexer, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer.

또한, 각각의 상기 IDT 전극에 있어서 상기 전극 핑거의 피치의 평균값을 구한 경우에, 최소의 상기 평균값을 갖는 IDT 전극이 상기 한쪽의 IDT 전극 중에 존재해도 된다.Further, in the case where the average value of the pitch of the electrode fingers is obtained in each of the IDT electrodes, the IDT electrode having the smallest average value may be present in the one IDT electrode.

이와 같이, 최소의 평균값을 갖는 IDT 전극이 한쪽의 IDT 전극 중에 존재함으로써, 제1 필터의 통과 대역에 발생하는 제2 필터의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를, 제1 필터의 통과 대역보다도 고주파측이며, 제2 필터의 저주파측 스톱 밴드의 대역 내로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 멀티플렉서에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.As described above, since the IDT electrode having the smallest average value is present in one IDT electrode, the position of the unwanted wave whose return loss of the second filter generated in the pass band of the first filter becomes larger than the pass band of the first filter Side band of the second filter, and can be moved into the band of the low-frequency-side stop band of the second filter. Thereby, when the acoustic wave filter is used in the multiplexer, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer.

또한, 상기 한쪽의 IDT 전극과 상기 공통 단자 사이에, 상기 제2 필터와 상이한 회로 소자가 접속되어 있어도 된다.Further, a circuit element different from the second filter may be connected between the one IDT electrode and the common terminal.

이와 같이, 한쪽의 IDT 전극과 공통 단자 사이에, 제2 필터와 상이한 회로 소자가 접속되어 있는 경우라도, 제1 필터의 주파수 통과 대역에 발생하는 제2 필터의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를 제1 필터의 통과 대역 밖으로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.Thus, even when a circuit element different from the second filter is connected between one of the IDT electrodes and the common terminal, the position of the unwanted wave whose return loss of the second filter generated in the frequency passband of the first filter becomes large It is possible to move out of the pass band of the first filter. This makes it possible to suppress the degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer.

또한, 제2 필터는, 3 이상의 홀수의 상기 IDT부를 갖고, 상기 한쪽의 IDT 전극의 수는, 상기 다른 쪽의 IDT 전극의 수보다 적어도 된다.Further, the second filter has odd number of IDT portions of 3 or more, and the number of the IDT electrodes is smaller than the number of the other IDT electrodes.

이것에 의하면, 제1 필터의 통과 대역에 발생하는 제2 필터의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를, 용이하게 고주파측으로 이동시킬 수 있고, 멀티플렉서에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.This makes it possible to easily move the position of the unwanted wave whose return loss of the second filter increases in the pass band of the first filter to the high frequency side easily. In the case where the acoustic wave filter is used in the multiplexer, the same multiplexer It is possible to suppress deterioration of the passing characteristics of the other filters.

또한, 상기 제2 필터는, 5 이상의 상기 IDT부를 갖고 있어도 된다.The second filter may have five or more IDT portions.

이것에 의하면, 제1 필터 및 제2 필터 각각의 주파수 통과 대역을 확장할 수 있다.According to this, the frequency pass band of each of the first filter and the second filter can be extended.

또한, 상기 제1 필터 및 상기 제2 필터는, 서로 수신 필터여도 된다.The first filter and the second filter may be reception filters.

이것에 의하면, 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있는, 복수의 수신 필터로 이루어지는 멀티플렉서를 제공할 수 있다.According to this, it is possible to provide a multiplexer including a plurality of receiving filters, which can suppress the degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer when the acoustic wave filter is used.

또한, 상기 제1 필터가 상기 공통 단자에 접속되어 있을 때, 상기 제2 필터가 상기 공통 단자에 접속되어 있어도 된다.Further, when the first filter is connected to the common terminal, the second filter may be connected to the common terminal.

이것에 의하면, 제1 필터의 통과 대역에 제2 필터의 리턴 로스가 커지는 불요파가 발생하는 경우라도, 상기 불요파를 제1 필터의 통과 대역 밖으로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 멀티플렉서에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.This makes it possible to move the spurious wave out of the pass band of the first filter, even when a spurious wave whose return loss of the second filter becomes large in the pass band of the first filter is generated. Thereby, when the acoustic wave filter is used in the multiplexer, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer.

또한, 본 발명의 다른 형태에 관한 고주파 프론트엔드 모듈은, 상기 멀티플렉서를 구비하고 있다.Further, a high-frequency front end module according to another aspect of the present invention includes the multiplexer.

이와 같이, 고주파 프론트엔드 모듈의 멀티플렉서에 있어서, 다른 쪽의 IDT 전극 중 적어도 하나가, 전극 핑거의 메인 피치가 최대로 되도록 함으로써, 제1 필터의 주파수 통과 대역에 발생하는 제2 필터의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를 제1 필터의 통과 대역 밖으로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 고주파 프론트엔드 모듈에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.As described above, in the multiplexer of the high-frequency front-end module, at least one of the other IDT electrodes has the main pitch of the electrode finger at the maximum, so that the return loss of the second filter generated in the frequency passband of the first filter is It becomes possible to move the position of the unwanted unwanted wave out of the pass band of the first filter. Thereby, when the acoustic wave filter is used in the high-frequency front end module, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer.

본 발명은, 멀티플렉서 또는 고주파 프론트엔드 모듈에 있어서 탄성파 필터를 사용하는 경우에, 동일한 멀티플렉서 또는 고주파 프론트엔드 모듈을 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.The present invention can suppress the degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer or high-frequency front end module when an acoustic wave filter is used in a multiplexer or a high-frequency front end module.

도 1a는 실시 형태에 관한 멀티플렉서를 포함하는 통신 장치의 회로 구성도이다.
도 1b는 실시 형태에 관한 멀티플렉서의 삽입 손실(통과 특성)을 나타내는 모식도이다.
도 2는 실시 형태에 관한 멀티플렉서이며, 제1 필터 및 제2 필터를 갖는 멀티플렉서를 도시하는 회로 구성도이다.
도 3은 도 2에 도시하는 멀티플렉서의 제2 필터를 도시하는 모식적 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시하는 제2 필터의 IDT부를 모식적으로 도시하는 도면이며, (a)는 평면도, (b)는 단면도이다.
도 5는 비교예에 관한 멀티플렉서의 제2 필터를 도시하는 모식적 평면도이다.
도 6은 제1 필터의 주파수 통과 대역에 있어서의 삽입 손실을 나타내는 도면이다.
도 7은 제1 필터의 주파수 통과 대역에 있어서의, 제2 필터의 리턴 로스를 나타내는 도면이다.
도 8은 실시 형태에 관한 멀티플렉서를 포함하는 고주파 프론트엔드 모듈의 회로 구성도이다.
도 9는 그 밖의 형태에 관한 멀티플렉서의 제2 필터측의 구성을 도시하는 모식적 평면도이다.
1A is a circuit configuration diagram of a communication apparatus including a multiplexer according to the embodiment.
1B is a schematic diagram showing insertion loss (passing characteristic) of a multiplexer according to the embodiment.
2 is a circuit diagram showing a multiplexer having a first filter and a second filter, which is a multiplexer according to the embodiment;
3 is a schematic plan view showing a second filter of the multiplexer shown in Fig.
Fig. 4 is a diagram schematically showing the IDT portion of the second filter shown in Fig. 2. Fig. 4 (a) is a plan view and Fig. 4 (b) is a sectional view.
5 is a schematic plan view showing a second filter of a multiplexer according to a comparative example.
6 is a diagram showing the insertion loss in the frequency passband of the first filter.
7 is a diagram showing the return loss of the second filter in the frequency passband of the first filter.
8 is a circuit configuration diagram of a high-frequency front end module including a multiplexer according to the embodiment.
Fig. 9 is a schematic plan view showing the configuration of the second filter side of the multiplexer according to another embodiment. Fig.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해, 실시 형태 및 도면을 사용하여 상세하게 설명한다. 또한, 이하에서 설명하는 실시 형태는, 모두 포괄적 또는 구체적인 예를 나타내는 것이다. 이하의 실시 형태에서 나타나는 수치, 형상, 재료, 구성 요소, 구성 요소의 배치 및 접속 형태 등은 일례이며, 본 발명을 한정하는 취지는 아니다. 이하의 실시 형태에 있어서의 구성 요소 중, 독립 청구항에 기재되어 있지 않은 구성 요소에 대해서는, 임의의 구성 요소로서 설명된다. 또한, 도면에 도시되는 구성 요소의 크기 또는 크기의 비는, 반드시 엄밀한 것은 아니다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the embodiments and drawings. Further, the embodiments described below are all inclusive or specific examples. The numerical values, shapes, materials, constituent elements, arrangements and connection forms of the constituent elements and the like appearing in the following embodiments are merely examples, and are not intended to limit the present invention. Among the constituent elements in the following embodiments, constituent elements not described in the independent claims are described as arbitrary constituent elements. Also, the ratio of the size or size of the constituent elements shown in the drawings is not necessarily strict.

(실시 형태)(Embodiments)

[1. 멀티플렉서의 전체 구성][One. Overall Configuration of Multiplexer]

도 1a는, 실시 형태에 관한 멀티플렉서(1)를 포함하는 통신 장치(9)의 회로 구성도이다. 도 1b는, 실시 형태에 관한 멀티플렉서(1)의 삽입 손실(통과 특성)을 나타내는 모식도이다.1A is a circuit configuration diagram of a communication device 9 including a multiplexer 1 according to the embodiment. Fig. 1B is a schematic diagram showing the insertion loss (passing characteristic) of the multiplexer 1 according to the embodiment. Fig.

통신 장치(9)는, 도 1a에 도시된 바와 같이, 멀티플렉서(1)와, 고주파 신호 처리 회로인 RFIC(Radio Frequency Integrated Circuit)(4)를 구비한다. 멀티플렉서(1)는, 공통 단자(15)를 통해 안테나 소자(2)에 접속된다.The communication apparatus 9 includes a multiplexer 1 and a radio frequency integrated circuit (RFIC) 4 as a high-frequency signal processing circuit, as shown in Fig. 1A. The multiplexer 1 is connected to the antenna element 2 via the common terminal 15. [

도 1a는, 멀티플렉서(1)의 일례로서, LTE(Long Term Evolution) 규격의 Band25(송신 통과 대역: 1850-1915㎒, 수신 통과 대역: 1930-1995㎒), 및 Band66(송신 통과 대역: 1710-1780㎒, 수신 통과 대역: 2110-2200㎒)에 적용되는 쿼드플렉서를 나타내고 있다.1A shows an example of the multiplexer 1, and Band 25 (transmission band: 1850-1915 MHz, reception band-pass band: 1930-1995 MHz) and Band-66 (transmission band: 1710- 1780 MHz, and the reception pass band: 2110-2200 MHz).

멀티플렉서(1)는, 송신측 필터(101, 103)와, 수신측 필터(102, 104)와, 공통 단자(15)와, 송신 입력 단자(106, 108)와, 수신 출력 단자(107, 109)를 구비한다. 송신측 필터(101, 103) 및 수신측 필터(102, 104)는, 각각의 인출선이 묶여 공통 단자(15)에 접속되어 있다.The multiplexer 1 includes transmission filters 101 and 103, reception filters 102 and 104, a common terminal 15, transmission input terminals 106 and 108, reception output terminals 107 and 109 . Each of the transmission filters 101 and 103 and the reception filters 102 and 104 is connected to the common terminal 15 by bundling the respective outgoing lines.

송신측 필터(101, 103) 각각은, RFIC(4)에서 생성된 송신파를, 각각의 송신 입력 단자(106, 108)를 경유하여 입력하고, 각 송신 통과 대역에서 필터링하여 공통 단자(15)로 출력하는 대역 통과 필터이다.Each of the transmission filters 101 and 103 receives a transmission wave generated in the RFIC 4 via each of the transmission input terminals 106 and 108 and filters the transmission wave in each transmission band, Which is a band-pass filter.

수신측 필터(102, 104) 각각은, 공통 단자(15)로부터 입력된 수신파를 입력하고, 각 수신 통과 대역에서 필터링하여 각각의 수신 출력 단자(107, 109)로 출력하는 대역 통과 필터이다.Each of the receiving filters 102 and 104 is a band-pass filter that receives a receiving wave input from the common terminal 15, filters the signals in the respective receiving bands, and outputs them to the respective receiving output terminals 107 and 109.

여기서, 본 실시 형태의 멀티플렉서(1)의 요지를 파악하기 위해, 도 1a의 멀티플렉서(1)에 포함되는 임의의 2개의 필터에 착안한다. 그리고, 착안한 2개의 필터 각각을, 제1 필터(11) 및 제2 필터(12)라고 칭한다.Here, in order to understand the essence of the multiplexer 1 of the present embodiment, attention should be paid to any two filters included in the multiplexer 1 of Fig. 1A. Each of the two noted filters is referred to as a first filter 11 and a second filter 12.

도 2는, 제1 필터(11) 및 제2 필터(12)를 포함하는 멀티플렉서(1A)를 도시하는 회로 구성도이다.Fig. 2 is a circuit diagram showing a multiplexer 1A including a first filter 11 and a second filter 12. Fig.

도 2에 도시된 바와 같이, 제1 필터(11)는 공통 단자(15)와 제1 단자(16)를 연결하는 경로 상에 배치되어 있다. 제2 필터(12)는, 공통 단자(15)와 제2 단자(17)를 연결하는 경로 상에 배치되어 있다. 적어도, 제1 필터(11)가 공통 단자(15)에 접속되어 필터링을 행하고 있을 때, 제2 필터(12)는 공통 단자(15)에 접속되어 있다.As shown in FIG. 2, the first filter 11 is disposed on a path connecting the common terminal 15 and the first terminal 16. The second filter 12 is disposed on a path connecting the common terminal 15 and the second terminal 17. [ The second filter 12 is connected to the common terminal 15 at least when the first filter 11 is connected to the common terminal 15 and filtering is performed.

제2 필터(12)는 통과 대역의 주파수가 제1 필터(11)보다도 높다. 본 실시 형태에서는, 일례로서, 제1 필터(11)를 Band25의 수신 통과 대역(Band25Rx)의 필터로 하고, 제2 필터(12)를 Band66의 수신 통과 대역(Band66Rx)의 필터로 하여 설명한다.The frequency of the pass band of the second filter (12) is higher than that of the first filter (11). In the present embodiment, as an example, the first filter 11 is assumed to be a band-pass band (band 25 Rx) filter and the second filter 12 is assumed to be a band-pass band (band 66 Rx) filter.

[2. 제2 필터의 IDT부의 구조][2. Structure of the IDT portion of the second filter]

도 3은, 멀티플렉서(1A)의 제2 필터(12)를 도시하는 모식적 평면도이다.3 is a schematic plan view showing the second filter 12 of the multiplexer 1A.

제2 필터(12)는, 종결합형의 탄성파 필터이며, 복수의 IDT부(211, 212, 213, 214 및 215)를 갖고 있다. 또한, 제1 필터(11)는 직렬 공진자 및 병렬 공진자를 갖는 래더형 필터여도 되고, 종결합형의 탄성파 필터여도 된다.The second filter 12 is a longitudinally coupled acoustic wave filter and has a plurality of IDT portions 211, 212, 213, 214 and 215. The first filter 11 may be a ladder filter having a series resonator and a parallel resonator, or a longitudinally coupled acoustic wave filter.

제2 필터(12)를 설명하기 전에, 제2 필터(12)를 구성하는 IDT부(211 내지 215)의 구조에 대해서, IDT부(211 내지 215)와 공통되는 IDT부(22)를 사용하여 설명한다.The structure of the IDT portions 211 to 215 constituting the second filter 12 is described by using the IDT portion 22 common to the IDT portions 211 to 215 Explain.

도 4는, IDT부(22)를 모식적으로 도시하는 도면이며, (a)는 평면도, (b)는 단면도이다. 또한, IDT부(22)는, 탄성파 필터의 전형적인 구조를 설명하기 위한 것이며, 전극을 구성하는 전극 핑거의 개수나 길이 등은, 이것에 한정되지 않는다.4 is a diagram schematically showing the IDT portion 22, wherein (a) is a plan view and (b) is a sectional view. The IDT portion 22 is for explaining a typical structure of the acoustic wave filter, and the number and length of the electrode fingers constituting the electrode are not limited to this.

IDT부(22)는, 빗살 형상을 갖는 IDT(Inter Digital Transducer) 전극(22a 및 22b)으로 구성되어 있다.The IDT portion 22 is composed of IDT (Inter Digital Transducer) electrodes 22a and 22b having a comb shape.

도 4의 (a)에 도시한 바와 같이, 압전 기판(326) 상에는, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극(22a 및 22b)이 형성되어 있다. IDT 전극(22a)은, 서로 평행한 복수의 전극 핑거(222a)와, 복수의 전극 핑거(222a)를 접속하는 버스 바 전극(221a)으로 구성되어 있다. 또한, IDT 전극(22b)은 서로 평행한 복수의 전극 핑거(222b)와, 복수의 전극 핑거(222b)를 접속하는 버스 바 전극(221b)으로 구성되어 있다. 복수의 전극 핑거(222a 및 222b)는, 탄성파의 전파 방향과 직교하는 방향을 따라 형성되어 있다. 즉, 전극 핑거(222a 및 222b)는 탄성파의 전파 방향으로 배열되어 형성되어 있다.As shown in Fig. 4 (a), on the piezoelectric substrate 326, a set of IDT electrodes 22a and 22b facing each other is formed. The IDT electrode 22a is composed of a plurality of electrode fingers 222a parallel to each other and a bus bar electrode 221a connecting a plurality of electrode fingers 222a. The IDT electrode 22b is composed of a plurality of electrode fingers 222b parallel to each other and a bus bar electrode 221b connecting a plurality of electrode fingers 222b. The plurality of electrode fingers 222a and 222b are formed along a direction orthogonal to the propagation direction of the acoustic wave. That is, the electrode fingers 222a and 222b are arranged in the propagation direction of the acoustic wave.

또한, 복수의 전극 핑거(222a 및 222b), 그리고 버스 바 전극(221a 및 221b)으로 구성되는 IDT 전극(22a 및 22b)은, 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, 밀착층(323)과 주전극층(324)의 적층 구조로 되어 있다.4 (b), the IDT electrodes 22a and 22b composed of the plurality of electrode fingers 222a and 222b and the bus bar electrodes 221a and 221b are formed on the adhesive layer 323, And a main electrode layer 324 are stacked.

밀착층(323)은, 압전 기판(326)과 주전극층(324)의 밀착성을 향상시키기 위한 층이며, 재료로서, 예를 들어 Ti가 사용된다. 밀착층(323)의 막 두께는, 예를 들어 12㎚이다.The adhesion layer 323 is a layer for improving the adhesion between the piezoelectric substrate 326 and the main electrode layer 324, and for example, Ti is used as the material. The thickness of the adhesion layer 323 is, for example, 12 nm.

주전극층(324)은, 재료로서, 예를 들어 Cu를 1% 함유한 Al이 사용된다. 주전극층(324)의 막 두께는, 예를 들어 162㎚이다.As the material of the main electrode layer 324, for example, Al containing 1% of Cu is used. The thickness of the main electrode layer 324 is, for example, 162 nm.

보호층(325)은, IDT 전극(22a 및 22b)을 덮도록 형성되어 있다. 보호층(325)은, 주전극층(324)을 외부 환경으로부터 보호하고, 주파수 온도 특성을 조정하고, 및 내습성을 높이는 등을 목적으로 하는 층이며, 예를 들어 이산화규소를 주성분으로 하는 막이다.The protective layer 325 is formed so as to cover the IDT electrodes 22a and 22b. The protective layer 325 is intended to protect the main electrode layer 324 from the external environment, to adjust the frequency-temperature characteristics, and to increase the moisture resistance, and is, for example, a film containing silicon dioxide as a main component .

압전 기판(326)은, 예를 들어 소정의 커트 각을 갖는 LiTaO3 압전 단결정, LiNbO3 압전 단결정, 또는 압전 세라믹스로 이루어진다.The piezoelectric substrate 326 is made of, for example, LiTaO 3 piezoelectric single crystal having a predetermined cut angle, LiNbO 3 piezoelectric single crystal, or piezoelectric ceramics.

여기서, IDT부(22)의 설계 파라미터에 대하여 설명한다. 탄성 표면파 공진자의 파장은, 도 4의 (b)에 도시하는 IDT(22)를 구성하는 복수의 전극 핑거(222a 및 222b)의 반복 피치 λ로 규정된다. 또한, IDT 전극의 교차 폭 L은, 도 4의 (a)에 도시하는 바와 같이, IDT 전극(22a)의 전극 핑거(222a)와 IDT 전극(22b)의 전극 핑거(222b)를 탄성파의 전파 방향으로부터 본 경우의 중복되는 전극 핑거 길이이다. 또한, 듀티비 D는, 복수의 전극 핑거(222a 및 222b)의 라인 폭 점유율이며, 복수의 전극 핑거(222a 및 222b)의 라인 폭과 스페이스 폭의 가산값에 대한 당해 라인 폭의 비율이다. 보다 구체적으로는, 듀티비는, IDT 전극(22a 및 22b)을 구성하는 전극 핑거(222a 및 222b)의 라인 폭을 W로 하고, 인접하는 전극 핑거(222a)와 전극 핑거(222b) 사이의 스페이스 폭을 S로 한 경우, W/(W+S)로 정의된다.Here, the design parameters of the IDT portion 22 will be described. The wavelength of the surface acoustic wave resonator is defined by a repetitive pitch lambda of a plurality of electrode fingers 222a and 222b constituting the IDT 22 shown in Fig. 4B. The intersection width L of the IDT electrode is set such that the electrode finger 222a of the IDT electrode 22a and the electrode finger 222b of the IDT electrode 22b extend in the propagation direction of the acoustic wave Is the overlapping electrode finger length in the case of FIG. The duty ratio D is a line width occupancy rate of a plurality of electrode fingers 222a and 222b and is a ratio of the line width to an added value of a line width and a space width of a plurality of electrode fingers 222a and 222b. More specifically, the duty ratio is set such that the line width of the electrode fingers 222a and 222b constituting the IDT electrodes 22a and 22b is W and the space between the adjacent electrode fingers 222a and 222b When the width is S, it is defined as W / (W + S).

[3. 실시 형태에 있어서의 제2 필터의 구성][3. Configuration of Second Filter in Embodiment]

전술한 바와 같이, 제2 필터(12)는, 종결합형의 탄성파 필터이며, 도 3에 도시하는 바와 같이 복수의 IDT부(211 내지 215)를 갖고 있다. 또한, 제2 필터(12)는 반사기(220 및 221)와, 제1 포트(230) 및 제2 포트(240)를 구비하고 있다. 제1 포트(230)는, 공통 단자(15) 및 제2 단자(17) 중, 복수의 IDT부(211 내지 215)로부터 보아 공통 단자(15)측에 설치되어 있다. 제2 포트(240)는, 공통 단자(15) 및 제2 단자(17) 중, 복수의 IDT부(211 내지 215)로부터 보아 제2 단자(17)측에 설치되어 있다.As described above, the second filter 12 is a longitudinally coupled acoustic wave filter, and has a plurality of IDT portions 211 to 215 as shown in Fig. The second filter 12 also has reflectors 220 and 221 and a first port 230 and a second port 240. The first port 230 is provided on the common terminal 15 side of the common terminal 15 and the second terminal 17 as viewed from the plurality of IDT portions 211 to 215. The second port 240 is provided on the second terminal 17 side of the common terminal 15 and the second terminal 17 as viewed from the plurality of IDT portions 211 to 215.

이 제2 필터(12)에서는, 예를 들어 공통 단자(15)로부터 고주파 신호가 입력되면, 공통 단자(15)와 기준 단자(접지) 사이에서 전위차가 발생하고, 이에 의해, 압전 기판(326)이 변형됨으로써 탄성 표면파가 발생한다. 여기서, IDT부(211 내지 215)의 각각의 전극 핑거의 피치 λ와 통과 대역의 파장을 대략 일치시켜 둠으로써, 제2 필터(12)를 사용하여, 통과시키고자 하는 주파수 성분을 갖는 고주파 신호를 통과시킬 수 있다.In the second filter 12, for example, when a high frequency signal is inputted from the common terminal 15, a potential difference is generated between the common terminal 15 and the reference terminal (ground) A surface acoustic wave is generated. Here, by making the pitch lambda of each electrode finger of the IDT portions 211 to 215 substantially coincide with the wavelength of the pass band, the second filter 12 is used to obtain a high frequency signal having a frequency component to be passed through Can pass.

제2 필터(12)의 IDT부(211)는, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극(211a 및 211b)을 갖고 있다. 마찬가지로, IDT부(212 내지 215) 각각은, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극 212a 및 212b와, 213a 및 213b와, 214a 및 214b와, 215a 및 215b를 갖고 있다. IDT부(211 내지 215)는 종결합하도록 탄성파의 전파 방향을 따라 차례로 배치되어 있다. 즉, IDT부(212 및 214)는, IDT부(213)를 상기 전파 방향으로 끼워 넣도록 배치되고, IDT부(211 및 215)는 IDT부(212 내지 214)를 상기 전파 방향으로 끼워 넣도록 배치되어 있다. 반사기(220 및 221)는, IDT부(211 내지 215)를 상기 전파 방향으로 끼워 넣도록 배치되어 있다.The IDT portion 211 of the second filter 12 has a set of IDT electrodes 211a and 211b facing each other. Similarly, each of the IDT portions 212 to 215 has a set of IDT electrodes 212a and 212b, 213a and 213b, 214a and 214b, and 215a and 215b, which are opposed to each other. The IDT portions 211 to 215 are arranged in order along the propagation direction of the acoustic wave so as to be longitudinally coupled. That is, the IDT portions 212 and 214 are arranged so as to sandwich the IDT portion 213 in the propagation direction, and the IDT portions 211 and 215 are arranged to sandwich the IDT portions 212 to 214 in the propagation direction Respectively. The reflectors 220 and 221 are arranged so as to sandwich the IDT portions 211 to 215 in the propagation direction.

IDT부(212 및 214)는, 제1 포트(230)와 기준 단자(접지) 사이에 병렬 접속되어 있다. 구체적으로는, IDT 전극(212a 및 214a)은, 기준 단자에 접속되어 있다. 또한, IDT 전극(212b 및 214b)은, 제1 포트(230)를 통해, 공통 단자(15) 및 제2 단자(17) 중 공통 단자(15)측에 접속되어 있다.The IDT portions 212 and 214 are connected in parallel between the first port 230 and the reference terminal (ground). Specifically, the IDT electrodes 212a and 214a are connected to a reference terminal. The IDT electrodes 212b and 214b are connected to the common terminal 15 side of the common terminal 15 and the second terminal 17 through the first port 230. [

IDT부(211, 213 및 215)는, 제2 포트(240)와 기준 단자 사이에 병렬 접속되어 있다. 구체적으로는, IDT 전극(211a, 213a 및 215a)은, 기준 단자에 접속되어 있다. 또한, IDT 전극(211b, 213b 및 215b)은, 제2 포트(240)를 통해, 공통 단자(15) 및 제2 단자(17) 중 제2 단자(17)측에 접속되어 있다.The IDT portions 211, 213, and 215 are connected in parallel between the second port 240 and the reference terminal. More specifically, the IDT electrodes 211a, 213a, and 215a are connected to a reference terminal. The IDT electrodes 211b, 213b and 215b are connected to the second terminal 17 side of the common terminal 15 and the second terminal 17 through the second port 240. [

이와 같이 제2 필터(12)에서는, 복수의 IDT부(211 내지 215) 중, 한쪽의 IDT 전극(212b 및 214b)는 공통 단자(15)측에 접속되고, 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b 및 215b)은 제2 단자(17)측에 접속되어 있다. 즉, 한쪽의 IDT 전극(212b 및 214b)의 접속처는 공통 단자(15)이고, 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b 및 215b)의 접속처는 제2 단자(17)이다.In this manner, in the second filter 12, one of the IDT electrodes 212b and 214b among the plurality of IDT portions 211 to 215 is connected to the common terminal 15 side, and the other IDT electrode 211b and 213b And 215b are connected to the second terminal 17 side. That is, the connection destination of one of the IDT electrodes 212b and 214b is the common terminal 15 and the connection destination of the other of the IDT electrodes 211b, 213b, and 215b is the second terminal 17.

여기서, 표 1에, IDT부(211 내지 215)의 설계 파라미터(전극 핑거의 메인 피치 λm, 교차 폭 L, IDT 쌍의 수 N, 듀티비 D)를 나타낸다.Table 1 shows the design parameters (main pitch lambda m of the electrode finger, cross width L, number N of IDT pairs, duty ratio D) of the IDT portions 211 to 215.

Figure pat00001
Figure pat00001

또한, 반사기(220 및 221)의 전극 핑거 피치는 1.855㎛로, IDT부(211 내지 215)의 전극 핑거 메인 피치 λ1 내지 λ5보다 크다.The electrode finger pitches of the reflectors 220 and 221 are 1.855 占 퐉 and larger than the electrode finger main pitches? 1 to? 5 of the IDT portions 211 to 215, respectively.

또한, 표 1에 나타내는 전극 핑거의 메인 피치 λm은, 각각의 IDT 전극(211b 내지 215b)의 중앙부에 있어서의 전극 핑거의 피치이다. 메인 피치 λm은, IDT 전극(211b)을 예로 들어 설명하면, IDT 전극(211b)의 모든 전극 핑거 중 50% 이상을 차지하는 전극 핑거에 의해 각각 형성되는 피치이다. 종결합형의 탄성파 필터에서는, 이웃에 위치하는 IDT 전극(212b)과의 결합도를 조정하기 위해, IDT 전극(211b)의 양단부에 있어서의 전극 핑거의 피치를 중앙부보다도 작게 하는 경우가 있다. 그로 인해, 전극 핑거의 피치 λ는, IDT 전극(211b) 전체에서 본 경우에, 탄성파의 전파 방향에 있어서의 IDT 전극(211b)의 중앙부와, 양단부에서 상이한 값이 된다. 따라서, 본 실시 형태에서는, IDT 전극(211b 내지 215b)의 전극 핑거의 피치 λ를 비교하는 경우, 메인 피치 λm으로 비교하는 경우도 있다.The main pitch lambda m of the electrode fingers shown in Table 1 is the pitch of the electrode fingers in the center of each of the IDT electrodes 211b to 215b. The main pitch lambda m is a pitch formed by the electrode fingers occupying 50% or more of all the electrode fingers of the IDT electrode 211b, taking the IDT electrode 211b as an example. In the longitudinally coupled acoustic wave filter, the pitch of the electrode fingers at both ends of the IDT electrode 211b may be made smaller than the center portion in order to adjust the degree of coupling with the adjacent IDT electrode 212b. Therefore, the pitch lambda of the electrode finger becomes a different value at the central portion of the IDT electrode 211b in the propagation direction of the acoustic wave and at both ends when viewed from the entire IDT electrode 211b. Therefore, in the present embodiment, when the pitches lambda of the electrode fingers of the IDT electrodes 211b to 215b are compared, the comparison may be made at the main pitch lambda m.

본 실시 형태에서는, 표 1에 나타내는 바와 같이, 각각의 전극 핑거의 메인 피치 λm이 이하의 관계를 갖고 있다.In this embodiment, as shown in Table 1, the main pitch lambda m of each electrode finger has the following relationship.

(λ2=λ4)<(λ1=λ5)<λ3(? 2 =? 4) <(? 1 =? 5) <? 3

즉, 공통 단자(15)에 접속되어 있는 한쪽의 IDT 전극(212b, 214b)의 전극 핑거의 메인 피치 λ2, λ4와, 제2 단자(17)에 접속되어 있는 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b, 215b)의 전극 핑거의 메인 피치 λ1, λ3, λ5가 상이하다.Namely, the main pitches lambda 2 and lambda 4 of the electrode fingers of one of the IDT electrodes 212b and 214b connected to the common terminal 15 and the other IDT electrodes 211b and 213b connected to the second terminal 17 , 215b are different from each other in the main pitches lambda 1, lambda 3 and lambda 5 of the electrode fingers.

또한, 복수의 IDT 전극(211b 내지 215b)의 각각의 메인 피치 λ1 내지 λ5 중, 제2 단자(17)에 접속되어 있는 다른 쪽의 IDT 전극(213b)의 전극 핑거의 메인 피치 λ3이, 최대로 되어 있다. 또한, 메인 피치 λ1 내지 λ5 중, 공통 단자(15)에 접속되어 있는 IDT 전극(212b, 214b)의 메인 피치 λ2, λ4가, 최소로 되어 있다.The main pitch lambda 3 of the electrode fingers of the other IDT electrode 213b connected to the second terminal 17 out of the main pitches lambda 1 to lambda 5 of the plurality of IDT electrodes 211b to 215b is the maximum pitch . Of the main pitches lambda 1 to lambda 5, the main pitches lambda 2 and lambda 4 of the IDT electrodes 212b and 214b connected to the common terminal 15 are minimized.

또한, 본 실시 형태에서는, 한쪽의 IDT 전극(212b, 214b)이 갖는 복수의 전극 핑거의 피치 λ의 총 평균은, 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b, 215b)이 갖는 복수의 전극 핑거의 피치 λ의 총 평균보다도 작다. 복수의 전극 핑거의 피치 λ의 총 평균은, IDT 전극의 중앙부 및 단부를 포함하는 전극 핑거의 피치 λ를 가중 평균함으로써 구해진다. 본 실시 형태에서는, 한쪽의 IDT 전극(212b, 214b)의 전극 핑거의 피치의 총 평균은 1.789㎛이고, 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b, 215b)의 전극 핑거의 피치의 총 평균은 1.819㎛이다.In this embodiment, the total average of the pitch lambda of the plurality of electrode fingers included in one of the IDT electrodes 212b and 214b is the pitch of the plurality of electrode fingers of the other IDT electrodes 211b, 213b, and 215b is smaller than the total average of?. The total average of the pitch lambda of the plurality of electrode fingers is obtained by weighted average of the pitch lambda of the electrode fingers including the center portion and the end portion of the IDT electrode. The total average of the pitches of the electrode fingers of one of the IDT electrodes 212b and 214b is 1.789 占 퐉 and the total average of the pitches of the electrode fingers of the other IDT electrode 211b, 213b, and 215b is 1.819 占 퐉 to be.

또한, 본 실시 형태에서는, 각각의 IDT 전극(211b 내지 215b)에 있어서, 복수의 전극 핑거의 피치 λ의 평균값을 구한 경우에, 최대의 평균값을 갖는 IDT 전극이, 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b, 215b) 중 어느 하나 중에 존재한다. 복수의 전극 핑거의 피치 λ의 평균값이라 함은, IDT 전극의 중앙부 및 단부를 포함하는 전극 핑거의 피치 λ의 가중 평균을 IDT 전극마다 구한 값이다. 본 실시 형태에서는, 최대의 평균값을 갖는 IDT 전극은 IDT 전극(213b)이고, 최소의 평균값을 갖는 IDT 전극은 IDT 전극(212b 및 214b)이다.In this embodiment, in the case where the average value of the pitch lambda of the plurality of electrode fingers is obtained in each of the IDT electrodes 211b to 215b, the IDT electrode having the maximum average value is arranged on the other IDT electrode 211b, 213b, and 215b. The average value of the pitch lambda of the plurality of electrode fingers is a value obtained by obtaining a weighted average of the pitch lambda of the electrode fingers including the center portion and the end portion of the IDT electrode for each IDT electrode. In the present embodiment, the IDT electrode having the maximum average value is the IDT electrode 213b, and the IDT electrode having the smallest average value is the IDT electrode 212b and 214b.

[4. 비교예에 있어서의 제2 필터의 구성][4. Configuration of Second Filter in Comparative Example]

도 5는, 비교예에 관한 멀티플렉서의 제2 필터(552)를 나타내는 모식적 평면도이다.5 is a schematic plan view showing a second filter 552 of a multiplexer according to a comparative example.

제2 필터(552)는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 복수의 IDT부(511 내지 515)와, 반사기(220 및 221)와, 제1 포트(230) 및 제2 포트(240)를 구비하고 있다.5, the second filter 552 includes a plurality of IDT portions 511 to 515, reflectors 220 and 221, a first port 230 and a second port 240 .

IDT부(511)는, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극(511a 및 511b)을 갖고 있다. 마찬가지로, IDT부(512 내지 515) 각각은, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극 512a 및 512b와, 513a 및 513b와, 514a 및 514b와, 515a 및 515b를 갖고 있다. IDT부(511 내지 515)는, 종결합하도록 탄성파의 전파 방향을 따라 차례로 배치되어 있다.The IDT portion 511 has a set of IDT electrodes 511a and 511b facing each other. Similarly, each of the IDT portions 512 to 515 has a set of IDT electrodes 512a and 512b, 513a and 513b, 514a and 514b, and 515a and 515b, which are opposed to each other. The IDT portions 511 to 515 are arranged in order along the propagation direction of the acoustic wave so as to be longitudinally coupled.

IDT부(511, 513 및 515)는, 제1 포트(230)와 기준 단자(접지) 사이에 병렬 접속되어 있다. 구체적으로는, IDT 전극(511a, 513a 및 515a)은 기준 단자에 접속되어 있다. 또한, IDT 전극(511b, 513b 및 515b)은, 제1 포트(230)를 통해 공통 단자(15)에 접속되어 있다.The IDT portions 511, 513, and 515 are connected in parallel between the first port 230 and the reference terminal (ground). Specifically, the IDT electrodes 511a, 513a, and 515a are connected to a reference terminal. The IDT electrodes 511b, 513b, and 515b are connected to the common terminal 15 through the first port 230. [

IDT부(512 및 514)는, 제2 포트(240)와 기준 단자 사이에 병렬 접속되어 있다. 구체적으로는, IDT 전극(512a 및 514a)은 기준 단자에 접속되어 있다. 또한, IDT 전극(512b 및 514b)은, 제2 포트(240)를 통해 제2 단자(17)에 접속되어 있다.IDT portions 512 and 514 are connected in parallel between the second port 240 and the reference terminal. Specifically, the IDT electrodes 512a and 514a are connected to a reference terminal. The IDT electrodes 512b and 514b are connected to the second terminal 17 through the second port 240. [

이와 같이, 비교예의 제2 필터(552)에서는, 복수의 IDT부(511 내지 515) 중, 한쪽의 IDT 전극(511b, 513b 및 515b)은 공통 단자(15)에 접속되고, 다른 쪽의 IDT 전극(512b 및 514b)은 제2 단자(17)에 접속되어 있다.As described above, in the second filter 552 of the comparative example, the IDT electrodes 511b, 513b, and 515b of the plurality of IDT portions 511 to 515 are connected to the common terminal 15, And the terminals 512b and 514b are connected to the second terminal 17.

여기서, 표 2에, 비교예의 IDT부(511 내지 515)의 설계 파라미터를 나타낸다.Table 2 shows the design parameters of the IDT portions 511 to 515 of the comparative example.

Figure pat00002
Figure pat00002

또한, 반사기(220 및 221)의 전극 핑거 피치는 1.861㎛로, IDT부(511)의 전극 핑거 메인 피치 λ1보다 크고, IDT부(513)의 전극 핑거 메인 피치 λ3보다 작다.The electrode finger pitch of the reflectors 220 and 221 is 1.861 mu m which is larger than the electrode finger main pitch lambda 1 of the IDT portion 511 and smaller than the electrode finger main pitch lambda 3 of the IDT portion 513. [

비교예에서는, 표 2에 나타내는 바와 같이, 전극 핑거의 메인 피치 λm이 이하의 관계를 갖고 있다.In the comparative example, as shown in Table 2, the main pitch lambda m of the electrode finger has the following relationship.

(λ2=λ4)<(λ1=λ5)<λ3(? 2 =? 4) <(? 1 =? 5) <? 3

비교예에 있어서의 전극 핑거의 메인 피치 λm의 대소 관계는, 실시 형태와 동일하다. 단, 비교예에서는, IDT 전극(511b, 513b, 515b)이 공통 단자(15)에 접속되고, IDT 전극(512b, 514b)이 제2 단자(17)에 접속되어 있는 점에서, 본 실시 형태와 상이하다.The magnitude of the main pitch lambda m of the electrode finger in the comparative example is the same as in the embodiment. Note that in the comparative example, since the IDT electrodes 511b, 513b, and 515b are connected to the common terminal 15 and the IDT electrodes 512b and 514b are connected to the second terminal 17, It is different.

[5. 실시 형태 및 비교예의 주파수 특성][5. Frequency characteristics of the embodiment and the comparative example]

이하, 본 실시 형태 및 비교예에 있어서의 멀티플렉서의 주파수 특성에 대하여 설명한다.Hereinafter, the frequency characteristics of the multiplexer in the present embodiment and the comparative example will be described.

도 6은, 제1 필터(11)의 주파수 통과 대역에 있어서의 삽입 손실을 나타내는 도면이다. 실시 형태에 대응하는 평가 회로로서는, 도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 제1 필터(11) 및 제2 필터(12) 중 한쪽의 인출선을 서로 묶은 회로를 사용하였다. 비교예에 대응하는 평가 회로로서는, 실시 형태의 제2 필터(12)를 비교예의 제2 필터(552)로 치환한 회로를 사용하였다.Fig. 6 is a diagram showing the insertion loss in the frequency passband of the first filter 11. Fig. As an evaluation circuit corresponding to the embodiment, a circuit in which one of the first filter 11 and the second filter 12 is connected to each other is used as shown in Fig. 6 (a). As the evaluation circuit corresponding to the comparative example, a circuit obtained by replacing the second filter 12 of the embodiment with the second filter 552 of the comparative example was used.

도 6의 (b)는 1850㎒ 내지 2050㎒에 있어서, 실시 형태 및 비교예의 각각의 삽입 손실(통과 특성)을 나타내는 도면이다. 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 비교예에서는, Band25Rx의 대역 내인 1975㎒ 부근에 있어서, 삽입 손실이 크게 되어 있다. 그것에 반해, 실시 형태에서는, 비교예에 비해 1975㎒ 부근에 있어서의 삽입 손실이 작게 되어 있다. 이 차이에 대해서, 도 7을 참조하여 설명한다.6 (b) is a diagram showing the insertion loss (transmission characteristic) of each of the embodiment and the comparative example at 1850 MHz to 2050 MHz. As shown in Fig. 6B, in the comparative example, the insertion loss is large at around 1975 MHz within the band of Band25Rx. On the other hand, in the embodiment, the insertion loss in the vicinity of 1975 MHz is smaller than that in the comparative example. This difference will be described with reference to FIG.

도 7은, 제1 필터(11)의 주파수 통과 대역에 있어서의, 제2 필터(12)(또는 552)의 리턴 로스를 나타내는 도면이다. 실시 형태에 대응하는 평가 회로로서는, 도 7의 (a)에 나타내는 바와 같이, 제1 필터(11) 및 제2 필터(12)의 묶음을 해제하고, 제2 필터(12)만으로 구성되는 회로를 사용하였다. 비교예에 대응하는 평가 회로로서는, 비교예의 제2 필터(552)만으로 구성되는 회로를 사용하였다.7 is a diagram showing the return loss of the second filter 12 (or 552) in the frequency passband of the first filter 11. 7 (a), the first filter 11 and the second filter 12 are unbundled, and a circuit constituted by only the second filter 12 is used as the evaluation circuit corresponding to the embodiment Respectively. As the evaluation circuit corresponding to the comparative example, a circuit comprising only the second filter 552 of the comparative example was used.

도 7의 (b)는, 1850㎒ 내지 2050㎒에 있어서, 실시 형태 및 비교예의 각각의 리턴 로스를 나타내는 도면이다. 도 7의 (b)에 나타내는 바와 같이, 비교예에서는, Band25Rx의 대역 내인 1975㎒ 부근에 있어서, 리턴 로스가 커지는 불요파가 발생하고 있다. 이것은, 비교예의 제2 필터(552)에 있어서, 1975㎒로 입력된 신호가 충분히 반사되지 않고 일부가 흡수되고 있는 것을 나타내고 있다. 비교예에서는, 이 불요파가 1975㎒ 부근에 존재하기 때문에, 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 1975㎒ 부근에 있어서의 삽입 손실이 크게 되어 있다고 생각된다.7B is a diagram showing the return loss of each of the embodiment and the comparative example at 1850 MHz to 2050 MHz. As shown in Fig. 7 (b), in the comparative example, spurious waves having a large return loss are generated around 1975 MHz within the band of Band25Rx. This indicates that the signal input at 1975 MHz is not sufficiently reflected in the second filter 552 of the comparative example, and part of the signal is absorbed. In the comparative example, since this unnecessary wave exists in the vicinity of 1975 MHz, it is considered that the insertion loss in the vicinity of 1975 MHz is large as shown in Fig. 6 (b).

그것에 반해, 실시 형태에서는, Band25Rx의 대역 내에 있어서 리턴 로스가 작다. 이것은, IDT 전극(211b 내지 215b)의 전극 핑거의 피치 λ를 바꿈으로써, 제1 필터(11)의 주파수 통과 대역(Band25Rx)에 발생하는 제2 필터(12)의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를, 통과 대역 밖으로 이동시키고 있기 때문이다. 구체적으로는, 제2 단자(17)에 접속되는 IDT 전극(211b, 213b, 215b)의 전극 핑거의 메인 피치 λm을 크게, 또는 공통 단자(15)에 접속되는 IDT 전극(212b, 214b)의 전극 핑거의 메인 피치 λm을 작게 함으로써, 상기 불요파의 위치를 제1 필터(11)의 통과 대역보다도 고주파측으로 이동시킬 수 있기 때문이다. 이에 의해, 실시 형태의 제2 필터(12)를 사용한 멀티플렉서(1A)에서는, 제1 필터(11)의 통과 대역에 있어서, 삽입 손실이 커지는 것을 억제할 수 있다.On the other hand, in the embodiment, the return loss is small in the band of Band25Rx. This is because the pitch lambda of the electrode finger of the IDT electrodes 211b to 215b is changed so that the position of the unwanted wave whose return loss of the second filter 12 is increased in the frequency pass band Band25Rx of the first filter 11 Is shifted out of the pass band. Specifically, the main pitch lambda m of the electrode fingers of the IDT electrodes 211b, 213b, and 215b connected to the second terminal 17 is set to be large or the electrode fingers of the IDT electrodes 212b and 214b connected to the common terminal 15 This is because the position of the spurious wave can be shifted to the higher frequency side than the pass band of the first filter 11 by reducing the main pitch lambda m of the finger. Thus, in the multiplexer 1A using the second filter 12 of the embodiment, it is possible to suppress the insertion loss from becoming large in the pass band of the first filter 11.

[6. 정리][6. theorem]

이상, 본 실시 형태에 관한 멀티플렉서(1A)는, 공통 단자(15), 제1 단자(16) 및 제2 단자(17)와, 공통 단자(15)와 제1 단자(16)를 연결하는 경로 상에 배치된 제1 필터(11)와, 공통 단자(15)와 제2 단자(17)를 연결하는 경로 상에 배치되고, 제1 필터(11)보다 높은 통과 대역 주파수를 갖는 제2 필터(12)를 구비하고 있다.The multiplexer 1A according to the present embodiment has the common terminal 15, the first terminal 16 and the second terminal 17 and the path connecting the common terminal 15 and the first terminal 16 And a second filter (11) disposed on a path connecting the common terminal (15) and the second terminal (17) and having a higher passband frequency than the first filter (11) 12).

제2 필터(12)는, 탄성파 필터이며, 탄성파의 전파 방향을 따라 배치된 복수의 IDT부(211 내지 215)를 갖고 있다. 복수의 IDT부(211 내지 215) 각각은, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극으로 구성되고, 복수의 IDT부(211 내지 215)를 구성하는 복수의 IDT 전극 중, 한쪽의 IDT 전극(212b, 214b)은, 공통 단자(15) 및 제2 단자(17) 중 공통 단자(15)측에 접속되고, 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b, 215b)은, 공통 단자(15) 및 제2 단자(17) 중 제2 단자(17)측에 접속되어 있다. 한쪽의 IDT 전극(212b, 214b) 및 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b, 215b) 각각은, 압전 기판(326)의 표면에 형성되고, 탄성파의 전파 방향으로 배열되는 복수의 전극 핑거를 갖고 있다. 한쪽의 IDT 전극(212b, 214b)과 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b, 215b)에서는, 탄성파의 전파 방향으로 배열되는 복수의 전극 핑거의 메인 피치 λm이 상이하고, 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b, 215b) 중 적어도 하나는, 복수의 IDT 전극(211b 내지 215b) 중 전극 핑거의 메인 피치 λm이 최대이다.The second filter 12 is an acoustic wave filter and has a plurality of IDT portions 211 to 215 arranged along the propagation direction of an acoustic wave. Each of the plurality of IDT portions 211 to 215 is constituted by a set of IDT electrodes opposed to each other and of the plurality of IDT electrodes 211 to 215 constituting one of the plurality of IDT electrodes 212b and 214b Are connected to the common terminal 15 side of the common terminal 15 and the second terminal 17 and the other IDT electrodes 211b, 213b and 215b are connected to the common terminal 15 and the second terminal 17 17 are connected to the second terminal 17 side. Each of the IDT electrodes 212b and 214b and the other IDT electrodes 211b and 213b and 215b are formed on the surface of the piezoelectric substrate 326 and have a plurality of electrode fingers arranged in the propagation direction of the acoustic wave . The main pitches lambda m of the plurality of electrode fingers arranged in the propagation direction of the elastic wave are different from each other in the IDT electrodes 212b and 214b on one side and the IDT electrodes 211b and 213b on the other side, , 213b, and 215b have the largest main pitch lambda m of the electrode fingers among the plurality of IDT electrodes 211b to 215b.

이 구성에 의하면, 제1 필터(11)의 주파수 통과 대역에 발생하는 제2 필터(12)의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를 제1 필터(11)의 통과 대역 밖으로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 멀티플렉서(1A)에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.According to this configuration, it is possible to move the position of the unwanted wave, which increases in the return loss of the second filter 12 occurring in the frequency passband of the first filter 11, out of the passband of the first filter 11. Thus, when the acoustic wave filter is used in the multiplexer 1A, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of the other filters constituting the same multiplexer.

또한, 한쪽의 IDT 전극(212b, 214b) 중 적어도 하나는, 복수의 IDT 전극(211b 내지 215b) 중 전극 핑거의 메인 피치 λm이 최소여도 된다.At least one of the IDT electrodes 212b and 214b may have a minimum main pitch lambda m of electrode fingers among the plurality of IDT electrodes 211b to 215b.

이것에 의하면, 제1 필터(11)의 통과 대역에 발생하는 제2 필터(12)의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를, 제1 필터(11)의 통과 대역보다도 고주파측이며, 제2 필터(12)의 저주파측 스톱 밴드의 대역 내로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 멀티플렉서(1A)에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.According to this configuration, the position of the unwanted wave whose return loss of the second filter 12 increases in the pass band of the first filter 11 is higher than the pass band of the first filter 11, It is possible to move it into the band of the stop band on the low frequency side of the antenna 12. Thus, when the acoustic wave filter is used in the multiplexer 1A, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of the other filters constituting the same multiplexer.

또한, 본 실시 형태에 관한 멀티플렉서(1A)는, 한쪽의 IDT 전극(212b, 214b)이 갖는 전극 핑거의 피치 λ의 총 평균은, 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b, 215b)이 갖는 전극 핑거의 피치 λ의 총 평균보다도 작다.The total average of the pitch lambda of the electrode fingers of one of the IDT electrodes 212b and 214b of the multiplexer 1A according to this embodiment is smaller than the average of the pitch lambda of the electrode fingers of the other IDT electrodes 211b, Is smaller than the total average of the pitch &lt; RTI ID = 0.0 &gt;

또한, 본 실시 형태에 관한 멀티플렉서(1A)는, 각각의 IDT 전극(211b 내지 215b)에 있어서 전극 핑거의 피치 λ의 평균값을 구한 경우에, 최대의 평균값을 갖는 IDT 전극이 다른 쪽의 IDT 전극(211b, 213b, 215b) 중에 존재한다.In the multiplexer 1A according to the present embodiment, when the average value of the pitch lambda of the electrode finger is obtained in each of the IDT electrodes 211b to 215b, the IDT electrode having the maximum average value is determined to be the other IDT electrode 211b, 213b, and 215b.

이 구성에 의하면, 제1 필터(11)의 주파수 통과 대역에 발생하는 제2 필터(12)의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를 제1 필터(11)의 통과 대역 밖으로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 멀티플렉서(1A)에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.According to this configuration, it is possible to move the position of the unwanted wave, which increases in the return loss of the second filter 12 occurring in the frequency passband of the first filter 11, out of the passband of the first filter 11. Thus, when the acoustic wave filter is used in the multiplexer 1A, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of the other filters constituting the same multiplexer.

(그 밖의 형태 등)(Other forms, etc.)

이상, 본 발명의 실시 형태에 관한 멀티플렉서(1, 1A)에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에는 한정되지 않는다. 예를 들어, 상기 실시 형태에 다음과 같은 변형을 실시한 형태도, 본 발명에 포함될 수 있다.The multiplexers 1 and 1A according to the embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to the above embodiments. For example, the following modifications to the above embodiment may be included in the present invention.

도 8은, 멀티플렉서(1B)를 포함하는 고주파 프론트엔드 모듈(8)을 나타내는 회로 구성도이다. 도 8에 나타내는 고주파 프론트엔드 모듈(8)에서는, 입력된 신호를 증폭시키기 위해, 제1 단자(16)와 RFIC(4) 사이, 및 제2 단자(17)와 RFIC(4) 사이에 각각 LNA(Low Noise Amplifier)(3)가 설치되어 있다. 또한, 안테나 소자(2)와의 접속 상태를 전환하기 위해, 제1 필터(11)와 공통 단자(15) 사이, 및 제2 필터(12)와 공통 단자(15) 사이에 멀티 포트 스위치(5)가 설치되어 있다. 멀티 포트 스위치(5)는, 동시에 ON/OFF 할 수 있는 스위치이며, 제1 필터(11)가 공통 단자(15)에 접속되어 있을 때, 즉, 제1 필터(11)가 신호 처리를 하고 있는 경우에, 제2 필터(12)도 공통 단자(15)에 접속되도록 할 수 있다.8 is a circuit configuration diagram showing a high-frequency front end module 8 including a multiplexer 1B. In the high-frequency front end module 8 shown in Fig. 8, an LNA (LNA) is provided between the first terminal 16 and the RFIC 4 and between the second terminal 17 and the RFIC 4 in order to amplify the input signal. (Low Noise Amplifier) 3 are provided. Port switch 5 is provided between the first filter 11 and the common terminal 15 and between the second filter 12 and the common terminal 15 in order to switch the connection state with the antenna element 2, Respectively. When the first filter 11 is connected to the common terminal 15, that is, when the first filter 11 is performing signal processing The second filter 12 can also be connected to the common terminal 15. [

이러한 회로 구성을 갖는 고주파 프론트엔드 모듈(8)에 있어서도 상기 실시 형태와 마찬가지로, 멀티플렉서(1A)의 일부로서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.In the high-frequency front end module 8 having such a circuit configuration, in the case where the acoustic wave filter is used as a part of the multiplexer 1A as in the above-described embodiment, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of other filters constituting the same multiplexer .

또한, 본 실시 형태에서는, 멀티플렉서(1A)의 제1 필터(11) 및 제2 필터(12)의 양쪽이 수신 필터인 예를 설명하였지만, 그것에 한정되지 않고, 양쪽이 송신 필터여도 되고, 한쪽이 수신 필터이고 다른 한쪽이 송신 필터여도 된다. 구체적으로는, Band66Rx의 대역 통과 필터를 제2 필터(12)로 하고, Band25Tx 및 Band66Tx의 대역 통과 필터 중 어느 하나를 제1 필터(11)로 해도 된다. 또한, Band25Rx의 대역 통과 필터를 제2 필터(12)로 하고, Band66Tx 및 Band25Tx의 대역 통과 필터 중 어느 하나를 제1 필터(11)로 해도 된다. 또한, Band25Tx의 통과 대역 필터를 제2 필터(12)로 하고, Band66Tx의 대역 통과 필터를 제1 필터(11)로 해도 된다.In the present embodiment, an example in which both the first filter 11 and the second filter 12 of the multiplexer 1A are reception filters is described. However, the present invention is not limited to this. Both of them may be transmission filters, It may be a receive filter and the other may be a transmit filter. Specifically, the band-pass filter of Band66Rx may be used as the second filter 12, and the band-pass filter of Band25Tx and Band66Tx may be used as the first filter 11. [ The band-pass filter of Band25Rx may be used as the second filter 12, and the band-pass filter of Band66Tx and Band25Tx may be used as the first filter 11. [ Alternatively, the band-pass filter of Band25Tx may be used as the second filter 12, and the band-pass filter of Band66Tx may be used as the first filter 11. [

또한, 예를 들어 상기 실시 형태에 다음과 같은 변형을 실시한 형태도, 본 발명에 포함될 수 있다.Further, for example, the following modifications to the above embodiment may be included in the present invention.

도 9는, 그 밖의 형태에 관한 멀티플렉서의 제2 필터(12)측의 구성을 도시하는 모식적 평면도이다.Fig. 9 is a schematic plan view showing the configuration of a multiplexer according to another embodiment on the side of the second filter 12; Fig.

이 형태에 관한 멀티플렉서에서는, 제2 필터(12)의 한쪽의 IDT 전극(212b, 214b)과 공통 단자(15) 사이에 회로 소자(350)가 접속되어 있다. 구체적으로는, 제1 포트(230)와 공통 단자(15) 사이에, 제2 필터(12)와 상이한 회로 소자(350)가 직렬 접속되어 있다. 이 회로 소자(350)는, 예를 들어 인덕터, 캐패시터, 스위치, LC 공진자 또는 탄성파 공진자 등이다. 예를 들어, LC 공진자 및 탄성파 공진자는, 직렬 공진자여도 되고, 병렬 공진자여도 되고, 직렬 공진자 및 병렬 공진자의 양쪽을 포함하는 공진자여도 된다. 회로 소자(350)는, 주파수 트랩을 위해, 또는 임피던스 정합을 위해 설치되어 있어도 된다.In the multiplexer according to this embodiment, the circuit element 350 is connected between the common terminal 15 and one of the IDT electrodes 212b and 214b of the second filter 12. Specifically, a circuit element 350 different from the second filter 12 is connected in series between the first port 230 and the common terminal 15. The circuit element 350 is, for example, an inductor, a capacitor, a switch, an LC resonator, or an acoustic wave resonator. For example, the LC resonator and the acoustic wave resonator may be a series resonator, a parallel resonator, or a resonator including both a series resonator and a parallel resonator. The circuit element 350 may be provided for frequency trapping or for impedance matching.

본 발명에서는, 상기한 바와 같이 한쪽의 IDT 전극(212b, 214b)과 공통 단자(15) 사이에 회로 소자(350)가 접속되어 있는 경우라도, 제1 필터(11)의 주파수 통과 대역에 발생하는 제2 필터(12)의 리턴 로스가 커지는 불요파의 위치를 제1 필터(11)의 통과 대역 밖으로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 멀티플렉서(1A)에 있어서 탄성파 필터를 사용한 경우에, 동일한 멀티플렉서를 구성하는 다른 필터의 통과 특성을 저하시키는 것을 억제할 수 있다.In the present invention, even when the circuit element 350 is connected between the IDT electrodes 212b and 214b and the common terminal 15 as described above, It is possible to move the position of the unnecessary wave whose return loss of the second filter 12 becomes large outside the pass band of the first filter 11. [ Thus, when the acoustic wave filter is used in the multiplexer 1A, it is possible to suppress the degradation of the passing characteristics of the other filters constituting the same multiplexer.

또한, 상기 실시 형태에서는, 멀티플렉서(1, 1A), 고주파 프론트엔드 모듈(8)로서, IDT 전극을 갖는 탄성 표면파 필터를 예시하였다. 그러나, 본 발명에 관한 멀티플렉서(1, 1A) 및 고주파 프론트엔드 모듈(8)을 구성하는 각 필터는, 탄성 경계파를 사용한 탄성파 필터여도 된다. 이것에 의해서도, 상기 실시 형태에 관한 멀티플렉서 등이 갖는 효과와 마찬가지의 효과가 발휘된다.In the above-described embodiment, a surface acoustic wave filter having IDT electrodes is exemplified as the multiplexers 1 and 1A and the high-frequency front end module 8. However, each of the filters constituting the multiplexer 1, 1A and the high-frequency front end module 8 according to the present invention may be an acoustic wave filter using a boundary acoustic wave. This also provides the same effects as the effects of the multiplexer and the like according to the above embodiment.

또한, 탄성 표면파 필터를 구성하는 압전 기판(326)은, 고음속 지지 기판과, 저음속막과, 압전막이 이 순서로 적층된 적층 구조여도 된다. 압전막은, 예를 들어 50°Y 커트 X 전반 LiTaO3 압전 단결정 또는 압전 세라믹스(X축을 중심축으로 하고 Y축으로부터 50°회전한 축을 법선으로 하는 면에서 절단한 탄탈산리튬 단결정 또는 세라믹스이며, X축 방향으로 탄성 표면파가 전파되는 단결정 또는 세라믹스)로 이루어진다. 압전막은, 예를 들어 두께가 600㎚이다. 고음속 지지 기판은, 저음속막, 압전막 및 IDT 전극을 지지하는 기판이다. 고음속 지지 기판은, 또한 압전막을 전파하는 표면파나 경계파의 탄성파보다도, 고음속 지지 기판 중의 벌크파의 음속이 고속으로 되는 기판이며, 탄성파를 압전막 및 저음속막이 적층되어 있는 부분에 가두어, 고음속 지지 기판으로부터 하방으로 누설되지 않도록 기능한다. 고음속 지지 기판은, 예를 들어 실리콘 기판이며, 두께는 예를 들어 200㎛이다. 저음속막은, 압전막을 전파하는 탄성파보다도, 저음속막 내의 벌크파의 음속이 저속으로 되는 막이며, 압전막과 고음속 지지 기판 사이에 배치된다. 이 구조와, 탄성파가 본질적으로 저음속인 매질에 에너지가 집중된다고 하는 성질에 의해, 탄성 표면파 에너지의 IDT 전극 밖으로의 누설이 억제된다. 저음속막은, 예를 들어 이산화규소를 주성분으로 하는 막이며, 두께는 예를 들어 670㎚이다. 이 적층 구조에 의하면, 압전 기판(326)을 단층으로 사용하고 있는 구조와 비교하여, 공진 주파수 및 반공진 주파수에 있어서의 Q값을 대폭 높이는 것이 가능해진다. 즉, Q값이 높은 탄성 표면파 공진자를 구성할 수 있으므로, 당해 탄성 표면파 공진자를 사용하여, 삽입 손실이 작은 필터를 구성하는 것이 가능해진다.The piezoelectric substrate 326 constituting the surface acoustic wave filter may be a laminated structure in which a high-sound-speed supporting substrate, a low-sound-attenuating film, and a piezoelectric film are laminated in this order. The piezoelectric film, such as 50 ° Y cut X-wide LiTaO 3, and the piezoelectric single crystal or piezoelectric ceramic (X axis as the central axis and a tantalate cut at the side of an axis 50 ° rotated from the Y axis to the normal lithium single crystal or a ceramic, X Single crystal or ceramics in which a surface acoustic wave propagates in the axial direction). The piezoelectric film has, for example, a thickness of 600 nm. The treble support substrate is a substrate for supporting the bass sound film, the piezoelectric film and the IDT electrode. The high-sound-speed support substrate is a substrate on which a sound velocity of a bulk wave in a high-sound-speed supporting substrate is higher than that of a surface wave or a boundary acoustic wave propagating through the piezoelectric film. The acoustic wave is confined in a portion where the piezoelectric film and the low- And functions so as not to leak downward from the treble support substrate. The high-sound speed supporting substrate is, for example, a silicon substrate and has a thickness of, for example, 200 mu m. The bass sound film is a film in which the sound velocity of the bulk wave in the bass sound film becomes lower than that of the acoustic wave propagating in the piezoelectric film, and is disposed between the piezoelectric film and the treble sound support substrate. The leakage of the surface acoustic wave energy out of the IDT electrode is suppressed by this structure and by the property that energy is concentrated in the medium in which the acoustic wave is essentially low. The bass film is, for example, a film mainly composed of silicon dioxide, and has a thickness of, for example, 670 nm. According to this laminated structure, the Q value at the resonance frequency and the anti-resonance frequency can be significantly increased as compared with the structure using the piezoelectric substrate 326 as a single layer. In other words, since a surface acoustic wave resonator having a high Q value can be formed, it is possible to construct a filter having a small insertion loss by using the surface acoustic wave resonator.

본 발명은, 멀티 밴드화 및 멀티 모드화된 주파수 규격에 적용할 수 있는 저손실 멀티플렉서 및 고주파 프론트엔드 모듈로서, 휴대 전화 등의 통신 기기에 널리 이용할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely applied to a communication device such as a cellular phone as a low-loss multiplexer and a high-frequency front-end module that can be applied to multiband and multi-mode frequency standards.

1, 1A, 1B : 멀티플렉서
2 : 안테나 소자
3 : LNA
4 : RFIC(고주파 신호 처리 회로)
5 : 멀티 포트 스위치
8 : 고주파 프론트엔드 모듈
9 : 통신 장치
11 : 제1 필터
12 : 제2 필터
15 : 공통 단자
16 : 제1 단자
17 : 제2 단자
22 : IDT부
22a, 22b : IDT 전극
101, 103 : 송신측 필터
102, 104 : 수신측 필터
106, 108 : 송신 입력 단자
107, 109 : 수신 출력 단자
211, 212, 213, 214, 215 : IDT부
211b, 213b, 215b : 다른 쪽의 IDT 전극
212b, 214b : 한쪽의 IDT 전극
220, 221 : 반사기
221a, 221b : 버스 바 전극
222a, 222b : 전극 핑거
230 : 제1 포트
240 : 제2 포트
326 : 압전 기판
350 : 회로 소자
511, 512, 513, 514, 515 : IDT부(비교예)
511b, 513b, 515b : 한쪽의 IDT 전극(비교예)
512b, 514b : 다른 쪽의 IDT 전극(비교예)
552 : 제2 필터(비교예)
λ : 전극 핑거의 피치
λm, λ1, λ2, λ3, λ4, λ5 : 전극 핑거의 메인 피치
1, 1A, 1B: Multiplexer
2: Antenna element
3: LNA
4: RFIC (high frequency signal processing circuit)
5: Multiport switch
8: High-frequency front-end module
9: Communication device
11: first filter
12: second filter
15: Common terminal
16: first terminal
17: Second terminal
22: IDT section
22a and 22b: IDT electrodes
101, 103: transmission side filter
102, 104: Receiving filter
106, 108: transmission input terminal
107, 109: Receive output terminal
211, 212, 213, 214, 215: IDT portion
211b, 213b, and 215b: the other IDT electrode
212b and 214b: one IDT electrode
220, 221: reflector
221a and 221b: bus bar electrodes
222a, 222b: electrode finger
230: First port
240: second port
326: Piezoelectric substrate
350: circuit element
511, 512, 513, 514, 515: IDT portion (comparative example)
511b, 513b and 515b: one IDT electrode (comparative example)
512b and 514b: the other IDT electrode (comparative example)
552: Second filter (comparative example)
λ: pitch of electrode finger
? 1,? 2,? 3,? 4,? 5: the main pitch of the electrode finger

Claims (11)

공통 단자, 제1 단자 및 제2 단자와,
상기 공통 단자와 상기 제1 단자를 연결하는 경로 상에 배치된 제1 필터와,
상기 공통 단자와 상기 제2 단자를 연결하는 경로 상에 배치되고, 상기 제1 필터보다 높은 통과 대역 주파수를 갖는 제2 필터를 구비하고,
상기 제2 필터는, 탄성파 필터이며, 탄성파의 전파 방향을 따라 배치된 복수의 IDT부를 갖고,
상기 복수의 IDT부 각각은, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극으로 구성되고,
상기 복수의 IDT부를 구성하는 복수의 상기 IDT 전극 중, 한쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 공통 단자측에 접속되고, 다른 쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 제2 단자측에 접속되고,
상기 한쪽의 IDT 전극 및 상기 다른 쪽의 IDT 전극 각각은, 압전 기판의 표면에 형성되고, 상기 탄성파의 전파 방향으로 배열되는 복수의 전극 핑거를 갖고,
상기 한쪽의 IDT 전극과 상기 다른 쪽의 IDT 전극에서는, 상기 전극 핑거의 메인 피치가 상이하고,
상기 다른 쪽의 IDT 전극 중 적어도 하나는, 복수의 상기 IDT 전극 중 상기 전극 핑거의 메인 피치가 최대인, 멀티플렉서.
A common terminal, a first terminal and a second terminal,
A first filter disposed on a path connecting the common terminal and the first terminal,
And a second filter disposed on a path connecting the common terminal and the second terminal and having a higher passband frequency than the first filter,
Wherein the second filter is an elastic wave filter and has a plurality of IDT portions arranged along the propagation direction of an acoustic wave,
Each of the plurality of IDT portions is composed of a set of IDT electrodes facing each other,
One of the plurality of IDT electrodes constituting the plurality of IDT portions is connected to the common terminal side of the common terminal and the second terminal and the other IDT electrode is connected to the common terminal and the second terminal A second terminal connected to the second terminal,
The one IDT electrode and the other IDT electrode are formed on the surface of the piezoelectric substrate and have a plurality of electrode fingers arranged in the propagation direction of the elastic wave,
The main pitch of the electrode finger is different between the one IDT electrode and the other IDT electrode,
And at least one of the other IDT electrodes has a maximum main pitch of the electrode finger among the plurality of IDT electrodes.
제1항에 있어서,
상기 한쪽의 IDT 전극 중 적어도 하나는, 복수의 상기 IDT 전극 중 상기 전극 핑거의 메인 피치가 최소인, 멀티플렉서.
The method according to claim 1,
Wherein at least one of the IDT electrodes has a minimum main pitch of the electrode finger among the plurality of IDT electrodes.
공통 단자, 제1 단자 및 제2 단자와,
상기 공통 단자와 상기 제1 단자를 연결하는 경로 상에 배치된 제1 필터와,
상기 공통 단자와 상기 제2 단자를 연결하는 경로 상에 배치되고, 상기 제1 필터보다 높은 통과 대역 주파수를 갖는 제2 필터를 구비하고,
상기 제2 필터는, 탄성파 필터이며, 탄성파의 전파 방향을 따라 배치된 복수의 IDT부를 갖고,
상기 복수의 IDT부 각각은, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극으로 구성되고,
상기 복수의 IDT부를 구성하는 복수의 상기 IDT 전극 중, 한쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 공통 단자측에 접속되고, 다른 쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 제2 단자측에 접속되고,
상기 한쪽의 IDT 전극 및 상기 다른 쪽의 IDT 전극 각각은, 압전 기판의 표면에 형성되고, 상기 탄성파의 전파 방향으로 배열되는 복수의 전극 핑거를 갖고,
상기 한쪽의 IDT 전극과 상기 다른 쪽의 IDT 전극에서는, 상기 전극 핑거의 메인 피치가 상이하고,
상기 한쪽의 IDT 전극이 갖는 상기 전극 핑거의 피치의 총 평균은, 상기 다른 쪽의 IDT 전극이 갖는 상기 전극 핑거의 피치의 총 평균보다도 작은, 멀티플렉서.
A common terminal, a first terminal and a second terminal,
A first filter disposed on a path connecting the common terminal and the first terminal,
And a second filter disposed on a path connecting the common terminal and the second terminal and having a higher passband frequency than the first filter,
Wherein the second filter is an elastic wave filter and has a plurality of IDT portions arranged along the propagation direction of an acoustic wave,
Each of the plurality of IDT portions is composed of a set of IDT electrodes facing each other,
One of the plurality of IDT electrodes constituting the plurality of IDT portions is connected to the common terminal side of the common terminal and the second terminal and the other IDT electrode is connected to the common terminal and the second terminal A second terminal connected to the second terminal,
The one IDT electrode and the other IDT electrode are formed on the surface of the piezoelectric substrate and have a plurality of electrode fingers arranged in the propagation direction of the elastic wave,
The main pitch of the electrode finger is different between the one IDT electrode and the other IDT electrode,
Wherein the total average of the pitches of the electrode fingers of the one IDT electrode is smaller than the total average of the pitches of the electrode fingers of the other IDT electrode.
공통 단자, 제1 단자 및 제2 단자와,
상기 공통 단자와 상기 제1 단자를 연결하는 경로 상에 배치된 제1 필터와,
상기 공통 단자와 상기 제2 단자를 연결하는 경로 상에 배치되고, 상기 제1 필터보다 높은 통과 대역 주파수를 갖는 제2 필터를 구비하고,
상기 제2 필터는, 탄성파 필터이며, 탄성파의 전파 방향을 따라 배치된 복수의 IDT부를 갖고,
상기 복수의 IDT부 각각은, 서로 대향하는 1세트의 IDT 전극으로 구성되고,
상기 복수의 IDT부를 구성하는 복수의 상기 IDT 전극 중, 한쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 공통 단자측에 접속되고, 다른 쪽의 IDT 전극이 상기 공통 단자 및 상기 제2 단자 중 상기 제2 단자측에 접속되고,
상기 한쪽의 IDT 전극 및 상기 다른 쪽의 IDT 전극 각각은, 압전 기판의 표면에 형성되고, 상기 탄성파의 전파 방향으로 배열되는 복수의 전극 핑거를 갖고,
상기 한쪽의 IDT 전극과 상기 다른 쪽의 IDT 전극에서는, 상기 전극 핑거의 메인 피치가 상이하고,
각각의 상기 IDT 전극에 있어서 상기 전극 핑거의 피치의 평균값을 구한 경우에, 최대의 상기 평균값을 갖는 IDT 전극이 상기 다른 쪽의 IDT 전극 중에 존재하는, 멀티플렉서.
A common terminal, a first terminal and a second terminal,
A first filter disposed on a path connecting the common terminal and the first terminal,
And a second filter disposed on a path connecting the common terminal and the second terminal and having a higher passband frequency than the first filter,
Wherein the second filter is an elastic wave filter and has a plurality of IDT portions arranged along the propagation direction of an acoustic wave,
Each of the plurality of IDT portions is composed of a set of IDT electrodes facing each other,
One of the plurality of IDT electrodes constituting the plurality of IDT portions is connected to the common terminal side of the common terminal and the second terminal and the other IDT electrode is connected to the common terminal and the second terminal A second terminal connected to the second terminal,
The one IDT electrode and the other IDT electrode are formed on the surface of the piezoelectric substrate and have a plurality of electrode fingers arranged in the propagation direction of the elastic wave,
The main pitch of the electrode finger is different between the one IDT electrode and the other IDT electrode,
And an average value of pitches of the electrode fingers is obtained in each of the IDT electrodes, an IDT electrode having the maximum average value exists in the other IDT electrode.
제4항에 있어서,
각각의 상기 IDT 전극에 있어서 상기 전극 핑거의 피치의 평균값을 구한 경우에, 최소의 상기 평균값을 갖는 IDT 전극이 상기 한쪽의 IDT 전극 중에 존재하는, 멀티플렉서.
5. The method of claim 4,
Wherein an average value of the pitches of the electrode fingers is obtained in each of the IDT electrodes, and an IDT electrode having a minimum average value is present in the one IDT electrode.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 한쪽의 IDT 전극과 상기 공통 단자 사이에, 상기 제2 필터와 상이한 회로 소자가 접속되어 있는, 멀티플렉서.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
And a circuit element different from said second filter is connected between said one IDT electrode and said common terminal.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 필터는, 3 이상의 홀수의 상기 IDT부를 갖고,
상기 한쪽의 IDT 전극의 수는, 상기 다른 쪽의 IDT 전극의 수보다 적은, 멀티플렉서.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
The second filter has odd number of IDT portions of 3 or more,
The number of the IDT electrodes being smaller than the number of the other IDT electrodes.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 필터는, 5 이상의 상기 IDT부를 갖는, 멀티플렉서.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
And the second filter has at least 5 IDT portions.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 필터 및 상기 제2 필터는, 서로 수신 필터인, 멀티플렉서.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein the first filter and the second filter are mutually reception filters.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 필터가 상기 공통 단자에 접속되어 있을 때, 상기 제2 필터가 상기 공통 단자에 접속되어 있는, 멀티플렉서.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
And the second filter is connected to the common terminal when the first filter is connected to the common terminal.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 멀티플렉서를 구비하는, 고주파 프론트엔드 모듈.A high frequency front end module comprising the multiplexer according to any one of claims 1 to 5.
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